KR101901249B1 - 전사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전사 공정시 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격을 균일하게 할 수 있는 전사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 전사 장치는 전사 재료층이 형성되는 전사 기판과, 상기 전사 재료층이 전사되는 피전사 기판이 내부 공간에 안착되는 챔버와; 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판 쪽으로 승강하여 상기 챔버의 내부 공간을 제1 및 제2 밀폐 공간으로 구분하는 차압부와; 상기 제1 및 제2 밀폐 공간 사이의 압력차에 의해 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판이 가압되도록 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력을 제어하는 압력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

전사 장치 및 방법{TRANSCRIPTING DEVICE AND TRANSCRIPTING METHOD}
본 발명은 전사 공정시 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격을 균일하게 할 수 있는 전사 장치 및 방법에 관한 것이다.
종래 유기 전계 발광 표시 장치는 스스로 발광하는 자발광 소자로서 백라이트가 불필요하므로 경량박형이 가능할 뿐만 아니라 공정이 단순하며, 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트비(contrast ratio) 등의 뛰어난 특징이 있어 차세대 평면 디스플레이로서 적합하다.
특히, 유기 전계 발광 표시 패널은 애노드 전극으로부터의 정공과 캐소드 전극으로부터의 전자가 유기 발광층 내에서 결합되어 생성된 여기자가 다시 바닥상태로 돌아오면서 발생하는 에너지에 의해 발광하게 된다.
이러한 유기 전계 발광 표시 패널의 유기 발광층은 빠른 시간 내에 고정밀 패턴이 형성가능한 주울 히팅(Joule Heating)을 이용한 열전사방법을 사용하여 형성된다. 열전사 방법은 발광재료층이 형성된 전사 기판과 피전사 기판이 대향하게 배치된 후, 발광재료층이 형성된 전사 기판에 전기 에너지를 인가하여 발광 재료층을 피전사기판에 전사하는 방법이다.
발광재료층이 피전사기판에 전사되는 과정에서 가압 장치는 피전사 기판의 전면과 접촉하여 피전사 기판을 물리적으로 가압함으로써 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격이 균일하게 유지한다. 여기서, 가압 장치의 평행도 및 평탄도 등에 따라 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격의 균일도가 결정된다. 즉, 가압 장치의 평행도 및 평탄도가 기준에서 벗어날 경우, 피전사 기판이 눌리는 정도가 위치에 따라서 달라지게 되고 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격이 불균일해진다. 전사 기판과 피전사 기판의 간격이 불균일해지면 발광 재료층의 전사 선폭이 불균일해진다. 이에 따라, 발광재료층이 전사되어 형성된 유기 발광층이 인접 화소로 침범하거나 유기 발광층이 화소 영역에 원하는 두께만큼 형성되지 못해 화질이 불균일해지는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 전사 공정시 전사 기판과 피전사 기판 사이의 간격을 균일하게 할 수 있는 전사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전사 장치는 전사 재료층이 형성되는 전사 기판과, 상기 전사 재료층이 전사되는 피전사 기판이 내부 공간에 안착되는 챔버와; 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판 쪽으로 승강하여 상기 챔버의 내부 공간을 제1 및 제2 밀폐 공간으로 구분하는 차압부와; 상기 제1 및 제2 밀폐 공간 사이의 압력차에 의해 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판이 가압되도록 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력을 제어하는 압력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 차압부는 상기 피전사 기판의 전사 영역과 대응하는 영역이 개구된 액자 형태로 형성되어 상기 피전사 기판 쪽으로 승강하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 차압부의 내측에 위치하는 제1 밀폐 공간은 상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 밀착시 상기 차압부의 외측에 위치하는 제2 밀폐 공간보다 저진공을 유지하며, 상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 분리시 상기 제1 밀폐 공간과 상기 제2 밀폐 공간의 압력은 동일한 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 압력 제어부는 상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 밀착시 상기 제1 밀폐 공간에 불활성 가스를 주입하는 가스 공급부와; 상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 분리시 상기 제2 밀폐 공간에 주입된 가스를 배기하는 배기 펌프를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전사 방법은 전사 재료층이 형성되는 전사 기판과, 상기 전사 재료층이 전사되는 피전사 기판을 챔버의 내부 공간으로 제공하는 단계와; 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판 쪽으로 차압부가 승강하여 상기 챔버의 내부 공간을 제1 및 제2 밀폐 공간으로 구분하는 단계와; 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력차에 의해 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 밀착시키는 단계와; 상기 전사 기판의 전사 재료층을 상기 피전사 기판에 전사하는 단계와; 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 차압부는 상기 피전사 기판의 전사 영역과 대응하는 영역이 개구된 액자 형태로 형성되어 상기 피전사 기판 쪽으로 승강하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력을 제어하여 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 밀착시키는 단계는 상기 차압부의 내측에 위치하는 상기 제1 밀폐 공간에 불활성 가스를 주입하여 상기 제1 밀폐 공간을 상기 차압부의 외측에 위치하는 제2 밀폐 공간보다 저진공으로 유지시키는 단계와; 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력차에 의해 상기 피전사 기판을 상기 전사 기판쪽으로 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명은 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 분리하기 전에 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력이 동일해지도록 제2 밀폐 공간의 가스를 배기하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 차압부에 의해 챔버의 내부 공간이 제1 및 제2 밀폐 공간으로 분리되며, 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력차에 의해 제1 및 제2 밀폐 공간 사이에 위치하는 피전사 기판을 가압함으로써 전사 기판과 피전사 기판의 간격이 균일해진다. 이에 따라, 본 발명은 전사 공정시 발광 재료층의 전사 선폭 및 두께가 균일해지며 인접 화소의 오염을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 전사 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전사 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 전사 장치의 다른 실시 예들을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전사 장치를 이용하여 형성되는 유기 전계 발광 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 전사 장치를 이용하여 형성되는 유기 전계 발광 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 소자의 제조용 전사 장치를 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 전사 장치를 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 전사 장치는 스테이지(111), 외부 전원 공급부(114), 차압부(120), 배기 펌프(124) 및 가스 공급부(126)를 구비한다.
스테이지(111)는 챔버(110) 내에 위치하며, 이 스테이지(111) 상에는 공통 전극(104), 발열 금속 배선(106) 및 발광재료층(108)이 형성된 전사 기판(102)이 안착된다.
차압부(120)는 피전사 기판(101)의 전사 영역과 대응하는 영역에서 개구되고, 피전사 기판(101)의 비전사 영역과 대응하는 영역에서 액자형태로 형성된다. 이에 따라, 차압부(120)는 전사 기판(102) 상에 피전사 기판(101)이 밀착되면, 피전사 기판(101)쪽으로 하강하여 피전사 기판(101)을 사이에 두고 챔버(110)를 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)으로 구분한다. 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)은 배기 펌프(124) 및 가스 공급부(126)를 포함하는 압력 제어부에 의해 압력차가 발생된다. 저진공 상태의 제1 밀폐 공간(CS1)의 압력이 고진공 상태의 제2 밀폐 공간(CS2) 쪽으로 적용되므로 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 사이에 위치하는 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 가압된다. 이와 같이, 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)의 압력차에 의해 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 더욱 밀착되므로 피전사 기판(101)과 전사 기판(102)은 균일한 갭을 유지할 수 있다.
그리고, 차압부(120)는 피전사 기판(101) 상에 전사 기판(102) 상에 형성된 발광 재료층(108)이 전사되면, 챔버(110) 상부쪽으로 상승하여 피전사 기판(101)과 분리된다.
이러한 차압부(120)의 하부면에는 차압부(120)와 피전사 기판(101)이 밀착되도록 패킹부(122)가 형성되므로 차압부(120)와 피전사 기판(101)의 전면 사이의 제1 밀폐 공간(CS1)의 밀폐력이 향상된다. 패킹부(122)는 탄성이 우수한 고분자 물질로 형성되는 오링 등이 이용된다.
외부 전원 공급부(114)는 전사 기판(102) 상에 형성된 공통 전극(104)과 마주보도록 공통 전극(104) 상부에 배치된다. 이 외부 전원 공급부(114)는 전사 기판(102) 상에 피전사 기판(101)이 균일한 간격을 사이에 두고 장착되면, 공통 전극(104)쪽으로 하강하여 공통 전극(104)에 발열 전압을 공급한다. 이에 따라, 공통 전극(104)과 접속된 발열 금속 배선(106)의 저항에 의해 주울 열이 발생되며, 발열 금속 배선(106)에서 발생된 주울 열은 발열 금속 배선(106) 상에 위치하는 발광재료층(108)에 전달된다. 발광 재료층(108)에 전달된 주울 열에 의해 발광재료층(108)이 피전사 기판(101)으로 승화되면서 화소 영역에 유기 발광층이 형성된다.
가스 공급부(126)는 밸브의 개폐여부에 따라 챔버(110) 내부에 N2와 같은 불활성 가스를 주입함으로써 챔버(110) 내부의 압력을 제어한다. 특히, 가스 공급부(126)는 차압부(120)에 의해 마련되는 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 각각에 가스를 주입하도록 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 각각과 연결되도록 형성된다.
배기 펌프(124)는 밸브의 개폐여부에 따라 챔버(110) 내부에 주입된 가스를 배기시켜 챔버(110) 내부의 압력을 제어한다. 특히, 배기 펌프(124)는 차압부(120)에 의해 마련되는 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 각각에 주입된 가스를 배기하도록 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 각각과 연결되도록 형성된다.
한편, 도 1 및 도 2에서는 전사 기판(102) 상에 피전사 기판(101)이 안착되는 것을 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 피전사 기판(101) 상에 전사 기판(102)이 안착될 수도 있다.
구체적으로, 도 3a에 도시된 전사 장치는 스테이지(111) 상에 피전사 기판(101)이 안착되고, 외부 전원 공급부(114)는 챔버(110)의 하부에서 상부로 상승하여 전사 기판(102) 상에 형성된 공통 전극(104)과 접속된다. 그리고, 차압부(120)는 챔버(110)의 상부에서 전사 기판(102)의 전면 쪽으로 하강하여 챔버(110)를 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)으로 구분한다. 제1 및 제2 밀폐 공간(C1,C2)은 배기 펌프(124) 및 가스 공급부(126)에 의해 압력차가 발생되며, 저진공 상태의 제1 밀폐 공간(CS1)의 압력이 고진공 상태의 제2 밀폐 공간(CS2) 쪽으로 적용되므로 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 사이에 위치하는 전사 기판(102)은 피전사 기판(101)쪽으로 가압된다. 이와 같이, 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)의 압력차에 의해 전사 기판(102)은 피전사 기판(101)쪽으로 더욱 밀착되므로 피전사 기판(101)과 전사 기판(102)은 균일한 갭을 유지할 수 있다.
도 3b에 도시된 전사 장치는 스테이지(111) 상에 피전사 기판(101)이 안착되고, 외부 전원 공급부(114)는 챔버(110)의 하부에서 상부로 상승하여 전사 기판(102) 상에 형성된 공통 전극(104)과 접속된다. 그리고, 차압부(120)는 챔버(110)의 하부에서 스테이지(111)의 배면쪽으로 상승하여 챔버(110)를 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)으로 구분한다. 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)은 배기 펌프(124) 및 가스 공급부(126)에 의해 압력차가 발생된다. 저진공 상태의 제1 밀폐 공간(CS1)의 압력이 고진공 상태의 제2 밀폐 공간(CS2) 쪽으로 적용되므로 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 사이에 위치하는 스테이지(111) 상의 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 가압된다. 이와 같이, 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)의 압력차에 의해 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 더욱 밀착되므로 피전사 기판(101)과 전사 기판(102)은 균일한 갭을 유지할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이며, 도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이 박막트랜지스터(도시하지 않음), 애노드 전극(132), 뱅크 절연막(134) 및 정공 관련층(136)이 순차적으로 형성된 피전사 기판(101)을 마련한다(S1단계).
구체적으로, 0.3~0.7mm두께의 피전사 기판(101) 상에 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극 및 반도체층을 가지는 박막트랜지스터가 형성된다. 그런 다음, 박막트랜지스터가 형성된 피전사 기판(101) 상에 투명 도전층을 증착한 다음, 그 투명 도전층이 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝됨으로써 박막트랜지스터의 드레인 전극과 전기적으로 접속되는 애노드 전극(132)이 형성된다. 애노드 전극(132)이 형성된 피전사 기판(101) 상에 아크릴계 수지 또는 폴리이미드와 같은 유기 절연 물질이 전면 형성된 후 포토리소그래피 공정으로 유기 절연 물질이 패터닝됨으로써 각 화소 영역의 애노드 전극(132)을 노출시키는 뱅크 절연막(136)이 형성된다. 뱅크 절연막(136)이 형성된 피전사 기판(101) 전면 상에 정공관련층(136)이 열증착 방법을 통해 형성된다.
도 5b를 참조하면, 공통 전극(104) 및 발열 금속 배선(106)과, 발광재료층(108)이 순차적으로 형성된 전사 기판(102)을 마련한다(S2단계).
구체적으로, 0.3~0.7mm두께의 전사 기판(102) 상에 Mo와 같은 발열 금속층이 증착된 다음, 그 발열 금속층이 포토리소그래피 공정으로 패터닝됨으로써 피전사 기판(101)의 화소 영역을 따라 스트라이프 형태로 형성되는 발열 금속 배선(106)과, 그 발열 금속 배선(106)의 양측에 발열 금속 배선(106)과 공통으로 접속되는 공통 전극(104)이 형성된다. 그런 다음, 발열 금속 배선(106) 및 공통 전극(104)이 형성된 전사 기판(102) 상에 발광재료층(108)이 열 증착 방법을 통해 형성된다. 발광 재료층(108)은 공통 전극(104)이 형성된 영역을 제외한 나머지 영역의 전사 기판(102) 상에 형성된다.
그런 다음, 약 10-6~10-8Torr의 고진공 상태의 챔버(110) 내의 스테이지(111) 상에 도 5c에 도시된 바와 같이 전사 기판(102)이 안착된다. 안착된 전사 기판(102) 상에 피전사 기판(101)이 얼라인 공정을 통해 얼라인된 후 전사 기판(102) 및 피전사 기판(101)은 밀착된다(S3단계).
그런 다음, 액자 형태의 차압부(120)는 도 5d에 도시된 바와 같이 피전사 기판(101)과 밀착되도록 피전사 기판(101) 쪽으로 하강하게 된다. 이에 따라, 차압부(120)를 기준으로 챔버(110)의 내부 공간은 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)으로 구분된다. 즉, 차압부(120)를 기준으로 차압부(120) 내측에 위치하는 제1 밀폐공간(CS1)과, 차압부(120)를 기준으로 차압부(120) 외측에 위치하며 제1 밀폐 공간(CS1)을 둘러싸는 제2 밀폐공간(CS2)이 마련된다.
그런 다음, 가스 공급부(126)를 이용하여 제1 밀폐 공간(CS1)에 N2와 같은 불활성 가스를 주입함으로써 제1 밀폐 공간(CS1)의 진공도는 제2 밀폐 공간(CS2)의 진공도보다 낮아진다. 이 때, 제2 밀폐 공간(CS2)은 배기 펌프(124)를 통해 배기됨으로써 고진공 상태를 유지한다. 즉, 제1 밀폐 공간(CS1)은 10-3Torr~대기압의 높은 압력(P1)을 유지하는 반면에 제2 밀폐 공간(CS2)은 제1 밀폐 공간(CS1)보다 낮은 10-6~10-8Torr의 압력(P2)을 유지한다. 이에 따라, 저진공 상태의 제1 밀폐 공간(CS1)의 압력이 고진공 상태의 제2 밀폐 공간(CS2)측으로 적용되므로 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2) 사이에 위치하는 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 가압된다. 이와 같이, 제1 및 제2 밀폐 공간(CS1,CS2)의 압력차(P1>P2)에 의해 피전사 기판(101)은 전사 기판(102)쪽으로 더욱 밀착되므로 피전사 기판(101)과 전사 기판(102)은 균일한 갭을 유지할 수 있다. 특히, 본 발명은 기구적인 가압 장치가 아닌 압력차를 이용하여 피전사 기판(101)을 가압하므로 피전사 기판(101)의 전면이 균일하게 가압되어 전사 기판(102)쪽으로 밀착된다.
그런 다음, 도 5e에 도시된 바와 같이 외부 전원 공급부(114)를 이용하여 공통 전극(104)에 발열 전압을 인가한다. 이에 따라, 공통 전극(104)에 공통 접속된 발열 금속 배선(106)의 저항에 의해 주울 열이 발생된다. 발열 금속 배선(106)에서 발생된 주울 열은 발열 금속 배선(106) 상에 위치하는 발광재료층(108)에 전달된다. 발광재료층(108)에 전달된 주울 열에 의해 발광재료층(108)이 피전사 기판(101)으로 승화되면서 화소 영역에 유기 발광층(138)이 형성된다(S4단계).
그런 다음, 도 5f에 도시된 바와 같이 제1 밀폐 공간(CS1)에 주입된 가스가 배기펌프(124)를 통해 배기됨으로써 제1 밀폐 공간(CS1)의 압력(P1)은 제2 밀폐 공간(CS2)의 압력(P2)과 동일해진다.
그런 다음, 차압부(120)와 피전사 기판(101)이 분리되도록 차압부(120)를 상승시킨 후, 전사 기판(102)과 피전사기판(101)을 탈착한다(S5단계).
그런 다음, 도 5g에 도시된 바와 같이 유기 발광층(138)이 형성된 피전사 기판(101) 상에는 정공 관련층(140)이 열증착 방법을 통해 형성된 다음, Al등과 같은 불투명 도전막이 열증착 방법 또는 스퍼터링 방법을 전면 도포됨으로써 캐소드 전극(142)이 형성된다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
101 : 피전사 기판 102 : 전사 기판
111 : 스테이지 114 : 외부 전원 공급부
120 : 차압부 122 : 패킹부
124 : 배기펌프 126 : 가스 공급부

Claims (8)

  1. 전사 재료층이 형성되는 전사 기판과, 상기 전사 재료층이 전사되는 피전사 기판이 내부 공간에 안착되는 챔버와;
    상기 피전사 기판의 전사 영역과 대응하는 영역이 개구된 액자 형태로 형성되어 상기 피전사 쪽으로 승강하여 상기 챔버의 내부 공간을 제1 및 제2 밀폐 공간으로 구분하는 차압부와;
    상기 제1 및 제2 밀폐 공간 사이의 압력차에 의해 상기 전사 기판 및 피전사 기판 중 어느 한 기판이 가압되도록 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력을 제어하는 압력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전사 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 차압부의 내측에 위치하는 제1 밀폐 공간은 상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 밀착시 상기 차압부의 외측에 위치하는 제2 밀폐 공간보다 저진공을 유지하며,
    상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 분리시 상기 제1 밀폐 공간과 상기 제2 밀폐 공간의 압력은 동일한 것을 특징으로 하는 전사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 압력 제어부는
    상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 밀착시 상기 제1 밀폐 공간에 불활성 가스를 주입하는 가스 공급부와;
    상기 피전사 기판과 상기 전사 기판의 분리시 상기 제2 밀폐 공간에 주입된 가스를 배기하는 배기 펌프를 구비하는 것을 특징으로 하는 전사 장치.
  5. 전사 재료층이 형성되는 전사 기판과, 상기 전사 재료층이 전사되는 피전사 기판을 챔버의 내부 공간으로 제공하는 단계와;
    상기 피전사 기판의 전사 영역과 대응하는 영역이 개구된 액자 형태로 형성된 차압부가 상기 피전사 기판 쪽으로 승강하여 상기 챔버의 내부 공간을 제1 및 제2 밀폐 공간으로 구분하는 단계와;
    상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력차에 의해 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 밀착시키는 단계와;
    상기 전사 기판의 전사 재료층을 상기 피전사 기판에 전사하는 단계와;
    상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력을 제어하여 상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 밀착시키는 단계는
    상기 차압부의 내측에 위치하는 상기 제1 밀폐 공간에 불활성 가스를 주입하여 상기 제1 밀폐 공간을 상기 차압부의 외측에 위치하는 제2 밀폐 공간보다 저진공으로 유지시키는 단계와;
    상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력차에 의해 상기 피전사 기판을 상기 전사 기판쪽으로 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 전사 기판과 상기 피전사 기판을 분리하기 전에 상기 제1 및 제2 밀폐 공간의 압력이 동일해지도록 제2 밀폐 공간의 가스를 배기하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 방법.
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