KR101880688B1 - 자외선 오존 세정 장치 - Google Patents

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KR101880688B1 KR1020170044948A KR20170044948A KR101880688B1 KR 101880688 B1 KR101880688 B1 KR 101880688B1 KR 1020170044948 A KR1020170044948 A KR 1020170044948A KR 20170044948 A KR20170044948 A KR 20170044948A KR 101880688 B1 KR101880688 B1 KR 101880688B1
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Abstract

본 발명은, UV 램프와 대상물 사이의 거리를 조절할 수 있어 대상물에 따라 자외선의 조사 높이를 용이하게 가변할 수 있고, UV 램프 교체가 용이하며, 출납구가 2중으로 단열되고 핫 플레이트의 승강이 가능함으로써, 핫 플레이트로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 자외선 오존 세정 장치에 관한 것으로서, 중공된 내부를 갖는 챔버; 상기 챔버의 내부에 어느 일부위가 상기 챔버의 하부면으로부터 이격되도록 설치되는 승강 지지대; 상기 챔버의 내부에 설치되는 모터; 일단이 상기 모터의 회전축에 결합되고 타단이 상기 승강 지지대에 회동 가능하게 결합되어 상하 방향으로 구비되며, 외주연에 나사산이 형성된 스크류 샤프트; 일측이 상기 스크류 샤프트에 관통되어 상기 스크류 샤프트와 나사 결합되도록 설치되고 하방으로 UV 램프가 구비되어 상기 모터의 회전에 따라 상하로 승강되는 UV 램프 모듈; 상기 챔버의 내부 하부면에 상기 챔버의 전후 방향으로 설치되는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되며, 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 형성된 핫 플레이트 모듈;을 포함한다.

Description

자외선 오존 세정 장치{UV and Ozone cleaning device}
본 발명은, 자외선 오존 세정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 UV 램프와 대상물 사이의 거리를 조절할 수 있어 대상물에 따라 자외선의 조사 높이를 용이하게 가변할 수 있고, UV 램프 교체가 용이하며, 출납구가 2중으로 단열되고 핫 플레이트의 승강이 가능함으로써, 핫 플레이트로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 자외선 오존 세정 장치에 관한 것이다.
UV 램프는 전류가 가해지면 자외선을 방출하거나 또는 조건에 따라 오존을 생성하기도 한다. 이러한 UV 램프에 의한 자외선 및 오존은 대상물 표면의 유기물 오염을 제거하고 대상물의 표면개질을 변화시킬 수 있어 반도체 제조 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.
그러나, UV 램프로부터 방출되는 자외선 및 오존의 양은 UV 램프가 처음 제작될 때 그 제작 특성 및 구조에 따라 결정되고, 대상물의 종류에 따라 UV 램프를 다르게 적용하여야 하는 불편함이 있었다.
또한, UV 램프의 성능이 최초 구동시부터 사용 기한 만료시까지 꾸준히 유지되지 않는 경우 이에 따른 피드백을 할 수 없어 대상물의 세정이 완전히 이루어지지 않거나 또는 UV 램프의 수명이 다하지 않더라도 UV 램프를 교체하여야 하는 문제가 있었다.
이러한 문제를 해결하고자, UV 램프에 공급되는 전류의 양을 가변함으로써 UV 램프로부터 조사되는 자외선 및 생성되는 오존의 양을 가변하는 기술이 개발되었으나, 대상물 표면에 작용될 적정량을 제어하기가 매우 어려운 문제가 있었다.
따라서, 대상물에 가해지는 자외선 및 오존의 양을 일정하게 유지하거나 또는 요구되는 즉시 이를 가변하여 적용할 수 있는 장치의 개발이 필요로 하게 되었다.
KR10-0984842(등록번호) 2010.09.27.
본 발명은, UV 램프와 대상물 사이의 거리를 조절할 수 있어 대상물에 따라 자외선의 조사 높이를 용이하게 가변할 수 있는 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, UV 램프가 장착되는 램프 플레이트를 상방으로 회동시킬 수 있으므로, UV 램프 교체가 용이한 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 챔버로부터 발생된 열의 완충 지대를 형성하여 챔버 내부 온도 유지가 용이한 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 챔버의 사이에 공기의 유동로가 형성됨으로써, 방열팬 구동시 신속한 방열이 가능한 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 출납구가 2중으로 단열됨으로써, 챔버 내부로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 핫 플레이트의 승강이 가능함으로써, 핫 플레이트로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 자외선 오존 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 중공된 내부를 갖는 챔버; 상기 챔버의 내부에 어느 일부위가 상기 챔버의 하부면으로부터 이격되도록 설치되는 승강 지지대; 상기 챔버의 내부에 설치되는 모터; 일단이 상기 모터의 회전축에 결합되고 타단이 상기 승강 지지대에 회동 가능하게 결합되어 상하 방향으로 구비되며, 외주연에 나사산이 형성된 스크류 샤프트; 일측이 상기 스크류 샤프트에 관통되어 상기 스크류 샤프트와 나사 결합되도록 설치되고 하방으로 UV 램프가 구비되어 상기 모터의 회전에 따라 상하로 승강되는 UV 램프 모듈; 상기 챔버의 내부 하부면에 상기 챔버의 전후 방향으로 설치되는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되며, 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 형성된 핫 플레이트 모듈;을 포함한다.
본 발명의 상기 UV 램프 모듈은, 상기 스크류 샤프트에 관통되어 상기 스크류 샤프트와 나사 결합되는 승강 프레임과, 상기 승강 프레임의 타단으로부터 연장 형성되어서 하부에 상기 UV 램프가 장착되는 램프 플레이트를 포함하며, 상기 승강 프레임이 슬라이딩 가능하도록 상기 승강 프레임을 관통하고, 상기 스크류 샤프트와 이격되도록 상하 방향으로 구비되는 유동 방지 샤프트;를 포함한다.
본 발명의 상기 램프 플레이트는, 상기 승강 프레임의 타단에 결합되는 제 1 램프 플레이트와, 상기 제 1 램프 플레이트의 타단으로부터 연장되고 하단에 상기 UV 램프가 장착되는 제 2 램프 플레이트를 포함하며, 상기 제 1 램프 플레이트와 상기 제 2 램프 플레이트를 연결하는 경첩 부재가 더 구비되어서, 상기 제 2 램프 플레이트가 상기 경첩 부재를 축으로 상방으로 회동된다.
본 발명의 상기 챔버는, 중공된 내부를 갖는 내측 챔버와, 상기 내측 챔버의 전면, 후면, 좌측면, 우측면 중 어느 하나 이상의 면과 이격되도록 상기 내측 챔버의 외측에 구비되는 외측 챔버를 포함하며, 상기 내측 챔버는, 내부에 상기 승강 지지대, 상기 모터, 상기 스크류 샤프트, 상기 유동 방지 샤프트, 상기 UV 램프 모듈이 구비되고, 상기 외측 챔버와 이격된 면의 외측면에 방열판이 형성 또는 부착되며, 상기 외측 챔버는, 상기 내측 챔버와 이격된 면에 복수의 통공이 마련되고, 상기 통공 중 어느 일부가 형성된 내측 또는 외측면에 방열팬이 구비된다.
본 발명의 상기 핫 플레이트 모듈은, 평평한 상면을 갖고 상기 상면에 상기 안착부가 형성되되 내부에 열선이 내장되는 핫 플레이트와, 상기 핫 플레이트의 하방에 상기 핫 플레이트를 지지하도록 결합된 복수의 레그와, 상기 레그를 지지하되 상기 베이스 프레임의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되는 레일과, 상기 레일의 타단에 결합되는 내측 단열 커버 및 상기 내측 단열 커버로부터 전방으로 연장되는 출납 손잡이를 포함하고, 상기 내측 챔버는, 전면에 상기 내측 단열 커버 형상의 내측 출납구가 형성되어서, 상기 핫 플레이트 모듈을 후면 방향으로 수납할 때 상기 내측 단열 커버에 의해 상기 내측 출납구가 밀폐된다.
본 발명의 상기 핫 플레이트 모듈은, 상기 핫 플레이트와 상기 레일 사이에 구비되어 상기 핫플레이트에서 발생된 열이 하방으로 유실되지 않도록 차단하는 판형의 방열 패널, 상기 내측 단열 커버의 전방에 상기 내측 단열 커버와 이격되어 구비되는 외측 단열 커버를 더 포함하고, 상기 외측 챔버는, 전면이 상기 내측 챔버의 전면과 이격되어 구비되되 상기 외측 단열 커버 형상의 외측 출납구가 형성되어서, 상기 핫 플레이트 모듈을 후면 방향으로 수납할 때 상기 외측 단열 커버에 의해 상기 외측 출납구가 밀폐된다.
본 발명의 상기 핫 플레이트 모듈은, 링 형상으로 형성되어 상기 레일의 상부에 고정되되 내측에 상기 레그의 하단부가 수용되는 고정링을 더 포함하고, 상기 레그는 하단으로부터 상방으로 홀이 함몰 형성되며, 상기 베이스 프레임은 상방으로 승강핀이 인출 또는 인입되는 실린더 장치가 더 포함되어서, 상기 실린더 장치가 상기 승강핀을 상방으로 인출시킬 때 상기 승강핀이 상기 레그의 홀에 인입되고, 상기 실린더 장치가 상기 승강핀을 더욱 상방으로 인출시킬 때 상기 승강핀에 의해 상기 레그 및 상기 핫 플레이트가 상방으로 상승된다.
본 발명은, UV 램프 모듈을 승강시킬 수 있으므로, UV 램프와 대상물 사이의 거리를 조절할 수 있어 대상물에 따라 자외선의 조사 높이를 용이하게 가변할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, UV 램프가 장착되는 램프 플레이트를 상방으로 회동시킬 수 있으므로, UV 램프 교체가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버와 내측 챔버로부터 이격된 외측 챔버의 2중 챔버가 구비됨으로써, 내측 챔버로부터 발생된 열의 완충 지대를 형성하여 챔버 내부 온도 유지가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버와 외측 챔버의 사이에 공기의 유동로가 형성됨으로써, 방열팬 구동시 신속한 방열이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버의 내측 출납구는 내측 단열 커버에 의해, 외측 챔버으 외측 출납구는 외측 단열 커버에 의해 2중으로 단열됨으로써, 챔버 내부로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 핫 플레이트의 승강이 가능함으로써, 핫 플레이트로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 사시도.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 일부 분리 사시도.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 일부 분리 후면 사시도.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 요부 사시도.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 UV 램프 모듈의 승강 구성을 나타낸 사용 상태도.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 UV 램프 모듈의 UV 램프 교체 예시도.
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 핫 플레이트 모듈의 출납 사용 상태도.
도 8 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 핫 플레이트의 승강 구성을 나타낸 사용 상태 단면도.
도 9 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 자외선 오존 세정 장치의 핫 플레이트의 승강 구성을 나타낸 사시도.
이하에서, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명은 도 1 내지 도 9 에 도시된 바와 같이, 중공된 내부를 갖는 챔버(100)와, 챔버(100)의 내부에 어느 일부위가 챔버(100)의 하부면과 이격되도록 설치되는 승강 지지대(200)와, 챔버(100)의 내부에 설치되는 모터(400)와, 일단이 모터(400)의 회전축에 결합되고 타단이 승강 지지대(200)에 회동 가능하게 결합되어 상하 방향으로 구비되며 외주연에 나사산이 형성된 스크류 샤프트(410)와, 일측이 스크류 샤프트(410)에 관통되어 스크류 샤프트(410)와 나사 결합되도록 설치되고 하방으로 UV 램프(330)가 구비되어서 모터(400)의 회전에 따라 상하로 승강되는 UV 램프 모듈(300)과, 챔버(100)의 내부 하부면에 챔버(100)의 전후 방향으로 설치되는 베이스 프레임(600)과, 베이스 프레임(600)의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되며 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 형성된 핫 플레이트 모듈(500)을 포함하여 구성된다.
챔버(100)는, 내부에 승강 지지대(200), 모터(400), 스크류 샤프트(410), UV 램프 모듈(300), 베이스 프레임(600), 핫 플레이트 모듈(500) 등이 설치되는 설치 공간을 제공하고, 내부의 자외선, 오존 또는 열이 외부로 유실되는 것을 방지하는 역할을 하며, 이를 위하여 외부와 밀폐된 중공된 내부를 갖도록 형성된다.
이러한 챔버(100)는, 중공된 내부를 갖는 내측 챔버(110)와, 내측 챔버(110)의 전면, 후면, 좌측면, 우측면 중 어느 하나 이상의 면과 이격되도록 내측 챔버(110)의 외측에 구비되는 외측 챔버(100)를 포함하여 구성된다.
내측 챔버(110)는, 내부에 승강 지지대(200), 모터(400), 스크류 샤프트(410), UV 램프 모듈(300), 핫 플레이트 모듈(500), 베이스 프레임(600) 등이 구비될 수 있도록 설치 공간을 제공한다. 이러한 내측 챔버(110)는 내부에서 발생된 오존을 외부의 오존 저감 장치로 배출할 수 있도록 일측면에 오존 배출 파이프(112)가 연통 형성되며, 전면에는 하술할 핫 플레이트 모듈(500)이 출납될 수 있도록 내측 출납구가 핫 플레이트 모듈(500)의 내측 단열 커버(553) 형상과 동일한 형상으로 형성된다.
내측 챔버(110)는 UV 램프 모듈(300)로부터 자외선이 조사되고, 핫 플레이트 모듈(500)의 열선이 동작하면 내부에 열이 발생되는데, 이러한 발열을 설정 온도로 냉각하기 위하여 외측 챔버(100)와 이격된 면의 외측면에 방열판(111)이 형성 또는 부착된다. 방열판(111)은 내측 챔버(110)의 면을 형성할때 내측 챔버(110)의 면과 일체로 주물 제작될 수 있으며, 또는 별도로 제작된 방열판(111)을 내측 챔버(110)의 외측면에 부착하여 구비할 수 있다.
내측 챔버(110)의 상단은 챔버 커버(101)에 의해 밀폐되는데, 챔버 커버(101)는 외측 챔버(100)의 상단과 공유하여 구비될 수 있고, 또는, 내측 챔버(110)만을 밀폐하는 내측 챔버 커버와 외측 챔버(100)만을 밀폐하는 외측 챔버 커버로 구분되어 구비될 수 있다.
외측 챔버(100)는, 챔버(100)의 외형을 결정하며, 내측 챔버(110)와 전면, 후면, 좌측면, 우측면 중 적어도 하나의 면이 이격되어 구비된다. 이러한 외측 챔버(100)는 내측 챔버(110)로부터 발생된 열을 방열할 때 팬이 설치될 공간을 제공하고, 제어부(700)의 회로 기판(720), 전원 공급 장치(731), 제어 패널(710) 등이 설치될 공간을 제공한다.
외측 챔버(100)는 내측 챔버(110)와 연통된 오존 배출 파이프(112)가 외부로 연장될 수 있도록 일측면이 오존 배출 파이프(112)에 의해 관통되고, 전면부에 하술할 핫 플레이트 모듈(500)이 출납될 수 있도록 외측 출납구가 핫 플레이트 모듈(500)의 외측 단열 커버(551) 형상과 동일한 형상으로 형성된다.
외측 챔버(100)의 내측 챔버(110)와 이격된 면에는 복수의 통공(121)이 마련되며, 통공(121) 중 어느 일부가 형성된 내측면 또는 외측면에 방열팬(122)이 구비된다. 방열팬(122)은 외부로부터 내부의 방열판(111)을 향하여 공기를 유입시키는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 아니하고 내부의 더운 공기를 외부로 배출시키는 방향으로 구비될수도 있다.
외측 챔버(100)의 전면에는 제어부(700)의 제어 패널(710)이 구비된다. 제어 패널(710)은 핫 플레이트 모듈(500)의 온도를 제어하는 온도 노브, UV 램프(330)의 조사 시간을 제어하는 타임 노브, UV 램프(330)의 높이를 제어하는 UV 승강 노브, 핫 플레이트(510)의 높이를 제어하는 플레이트 승강 노브 등의 조절 노브(711)가 구비되고, 각 조절 노브(711)의 현재값, 내부의 오존 농도, 챔버(100) 내부 및 핫 플레이트 모듈(500)의 온도 등을 가시적으로 표출하는 디스플레이 창(712)이 구비된다. 또한, 외측 챔버(100)의 일측면에는 비상 정지 버튼(732)이 구비될 수 있다.
외측 챔버(100)의 후면에는 제어부(700)의 회로 기판(720), 전원 공급 장치(731), 전원 인입구(730) 등이 구비될 수 있으며, 이러한 전기 전자 구성들의 설치 위치는 한정하지 않는다.
외측 챔버(100)의 상단은 내측 챔버(110)의 상단과 동일한 높이로 형성되어서 챔버 커버(101)에 의해 동시에 밀폐될 수 있으며, 상술한 바와 같이 외측 챔버(100)의 상단 높이를 내측 챔버(110)의 상단 높이보다 높게 형성하여 내측 챔버(110)는 내측 챔버 커버에 의해, 외측 챔버(100)는 외측 챔버 커버에 의해 개별로 밀폐되도록 구성할 수 있다.
승강 지지대(200)는, 모터(400)의 회전에 따라 스크류 샤프트(410)가 회전하여 UV 램프 모듈(300)을 상하로 승강시킬 때, 스크류 샤프트(410)의 위치를 고정하는 역할을 하며, 또한, UV 램프 모듈(300)이 회전 방향으로 유동되지 않도록 UV 램프 모듈(300)에 관통된 유동 방지 샤프트(420)의 위치를 고정하는 역할을 한다.
이를 위하여 승강 지지대(200)는, 챔버(100)의 내부에 어느 일 부위가 챔버(100)의 하부면과 이격되도록 설치되며, 바람직하게는 챔버(100)의 하부면에 고정되어 상방으로 연장되는 수직 지지대(210)와, 수직 지지대(210)의 상단에 수직 지지대(210)로부터 수직하게 연장된 수평 지지대(220)로 구성된다. 이러한 수평 지지대(220)를 견고히 지지하기 위하여 수직 지지대(210)는 쌍으로 구비될 수 있다.
수직 지지대(210)는 판형 또는 막대형으로 형성되어 챔버(100)의 하부면으로부터 일자로 연장될 수 있으나, 내부의 다른 구성 또는 설치 공간의 감소 등의 이유로 복수 회 절곡된 형태로 연장될 수 있고, 상단의 수평 지지대(220)를 챔버(100)의 하부면으로부터 이격하여 견고히 지지할 수 있는 구조이면 어느 것이든 가능하다.
수평 지지대(220)는 수직 지지대(210)의 상단에 결합 또는 일체로 형성되되, 일측 하단으로 스크류 샤프트(410)가 회동 가능하게 결합되고 다른 일측 하단에 유동 방지 샤프트(420)가 결합된다.
한편, 수평 지지대(220)를 직접 내측 챔버(110)의 전면, 후면, 좌측면, 우측면 중 어느 하나의 면에 고정하여 구비하는 경우 수직 지지대(210)를 구비하지 않아도 될 수 있으며, 승강 지지대(200)의 어느 일부위가 챔버(100)의 하부면으로부터 이격되어 구비되되 그 하단에 스크류 샤프트(410) 및 유동 방지 샤프트(420)를 결합할 수 있는 구조이면 어느 것이든 가능함은 물론이다.
모터(400)는, 스크류 샤프트(410)를 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 역할을 하며, 이를 위하여 챔버(100)의 내부에 설치되되 회전축이 스크류 샤프트(410)에 결합된다. 이러한 모터(400)는 UV 램프 모듈(300)의 정확한 높이 조절을 위하여 스탭 모터(400)인 것이 바람직하며, UV 램프 모듈(300)의 높이를 미세조정하기 위하여 스크류 샤프트(410)와 웜기어 형태로 결합될수도 있다.
스크류 샤프트(410)는, 외주연에 나사산이 형성되어서 UV 램프 모듈(300)의 일측, 바람직하게는 UV 램프 모듈(300)의 승강 프레임(310)을 관통하여 승강 프레임(310)과 나사 결합되며, 정회전 또는 역회전시 승강 프레임(310)이 나사산을 따라 승강될 수 있도록 한다. 이를 위하여 스크류 샤프트(410)는 챔버(100)의 내부에 상하 방향으로 구비되며, 일단이 모터(400)의 회전축에 결합되고 타단이 승강 지지대(200)의 하단에 회동 가능하게 결합된다.
한편, 모터(400)의 회전에 의해 스크류 샤프트(410)가 회전할 때 스크류 샤프트(410)에 나사결합된 UV 램프 모듈(300)이 스크류 샤프트(410)와 함께 회전하려는 운동을 하게 된다. 이때, UV 램프 모듈(300)이 수평 방향으로 회전되지 않고 수직 방향으로 승강되려면 UV 램프 모듈(300)의 수평 방향 위치를 고정할 필요가 있게 된다. 이를 위하여 본 발명에서는 UV 램프 모듈(300)의 일측, 바람직하게는 UV 램프 모듈(300)의 승강 프레임(310)을 관통하여 상하 방향으로 구비되는 유동 방지 샤프트(420)가 더 구비된다. 유동 방지 샤프트(420)는 승강 프레임(310)을 관통하여 승강 프레임(310)과 밀착되도록 구비되며, 승강 프레임(310)이 유동 방지 샤프트(420)를 따라 상하로 이동될 수 있는 구조로 구비된다. 유동 방지 샤프트(420)는 일단이 승강 지지대(200)의 수평 지지대(220)에 결합되고 타단이 챔버(100)의 하부면 또는 모터(400)의 브라켓 등에 결합될 수 있으나, 수평 위치가 고정되고 상하 방향으로 구비될 수 있는 구조이면 어느 것이든 가능하다.
스크류 샤프트(410)와 유동 방지 샤프트(420)는 이격되어 구비되는 것이 바람직하며, 스크류 샤프트(410)의 회전력에 의하여 수평 방향의 토크가 발생될 때 UV 램프 모듈(300)이 유동되지 않도록 복수의 유동 방지 샤프트(420)가 구비될 수 있다.
UV 램프 모듈(300)은, 대상물에 UV 램프(330)를 조사하여 대상물 표면의 유기물 오염의 제거 및 표면 개질 변화를 하는 역할을 하며, 이를 위하여 일측이 스크류 샤프트(410)에 관통되어 스크류 샤프트(410)와 나사 결합되도록 설치되고, 하방으로 UV 램프(330)가 구비되어서 모터(400)의 회전에 따라 상하로 승상되도록 구성된다.
이러한 UV 램프 모듈(300)은, 스크류 샤프트(410)에 관통되어 스크류 샤프트(410)와 나사 결하보디는 승강 프레임(310)과, 승강 프레임(310)의 타단으로부터 연장 형성되어서 하부에 UV 램프(330)가 장착되는 램프 플레이트(320)를 포함하여 구성된다.
승강 프레임(310)은, 스크류 샤프트(410)에 관통되어 스크류 샤프트(410)와 나사 결합되며, 스크류 샤프트(410)의 관통 위치와 이격된 위치에 유동 방지 샤프트(420)가 관통된다. 이러한 승강 프레임(310)은 스크류 샤프트(410)의 회전시 유동 방지 샤프트(420)에 의해 회전되지 않음으로써 승강 스크류 샤프트(410)의 나사산을 따라 상하로 승강되며, 램프 플레이트(320)의 무게에 의해 처짐이 발생되지 않도록 스크류 샤프트(410)와의 결합 위치가 비교적 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.
램프 플레이트(320)는, 승강 프레임(310)의 타단에 결합되어 승강 프레임(310)의 승강에 따라 승강되며, 하단에 UV 램프(330)가 결합된다. 이러한 램프 플레이트(320)는 UV 램프(330)의 교체가 요구될 때 UV 램프(330)의 교체가 용이하도록 상방으로 회동되는 구조로 구성되며, 이를 위하여 승강 프레임(310)의 타단에 결합되는 제 1 램프 플레이트(321)와, 제 1 램프 플레이트(321)의 타단으로부터 연장되고 하단에 UV 램프(330)가 장착되는 제 2 램프 플레이트(322) 및 제 1 램프 플레이트(321)와 제 2 램프 플레이트(322)를 연결하는 경첩 부재(323)를 포함하여 구성된다.
따라서, UV 램프(330)의 교체시 챔버(100) 상단의 챔버 커버(101)를 분리하고, 제 2 램프 플레이트(322)를 경첩 부재(323)를 축으로 상방으로 회동시키면 도 6 과 같은 형태가 되어 UV 램프(330)를 용이하게 교체할 수 있게 된다.
한편, 제 2 램프 플레이트(322)가 무게에 의해 하방으로 쳐지는 것을 방지하기 위하여 제 1 램프 플레이트(321)의 양측 사이드는 타단 방향으로 더욱 연장되어 'ㄷ'자 형상을 띨 수 있으며, 제 2 램프 플레이트(322)와의 접촉면에 단턱이 형성되어서 단턱의 상면에 제 2 램프 플레이트(322)가 안착되도록 형성될 수 있다. 이때, UV 램프(330)의 전원 공급선은 제 2 램프 플레이트(322)를 제 1 램프 플레이트(321)에 안착시키거나 또는 상부로 회동시킬 때 제 1 램프 플레이트(321)에 의해 파손되지 않도록 적절히 배치 또는 고정되는 것이 바람직하다.
UV 램프(330)는 제 2 램프 플레이트(322)의 하단에 결합되어 구비되며, 전원 인가시 자외선을 방출하거나 또는 자외선과 함께 오존을 발생시킬 수 있다. 이러한 UV 램프(330)의 자외선 에너지 또는 오존의 발생량은 제어부(700)의 제어에 의해 조절될 수 있다.
상술한 구성으로 이루어진 UV 램프 모듈(300)은, 모터(400)의 회전에 따라 상하로 승강되므로, 자외선의 조사 높이를 가변할 수 있으며, 이에 따라 대상물의 종류 또는 용도에 따른 적정한 자외선 조사가 이루어질 수 있다.
베이스 프레임(600)은, 챔버(100)의 내부 하부면에 챔버(100)의 전후 방향으로 설치되며, 핫 플레이트 모듈(500)의 출납시 핫 플레이트 모듈(500)을 안내하는 역할을 한다.
이러한 베이스 프레임(600)은 상단에 핫 플레이트 모듈(500)의 레일(520)을 안내하는 슬롯이 베이스 프레임(600)의 길이 방향으로 형성 또는 결합되어 있고, 핫 플레이트 모듈(500)은 하단의 레일(520)이 슬롯을 따라 슬라이딩되어서 서랍장과 같은 형태로 출납될 수 있다.
이러한 베이스 프레임(600)은 핫 플레이트 모듈(500)의 양 사이드를 지지할 수 있도록 평행한 한 쌍으로 구비되는 것이 바람직하나 이에 한정하는 것은 아니다.
핫 플레이트 모듈(500)은, 대상물을 안착하여 챔버(100) 내부로 수용시키고 대상물에 직접 열을 가하는 역할을 하며, 이를 위하여 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 형성되되 베이스 프레임(600)의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비된다.
핫 플레이트 모듈(500)은, 평평한 상면을 갖고 상면에 안착부가 형성되되 내부에 열선이 내장되는 핫 플레이트(510)와, 핫 플레이트(510)의 하방에 핫 플레이트(510)를 지지하도록 결합된 복수의 레그(530)와, 레그(530)를 지지하되 베이스 프레임(600)의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되는 레일(520)과, 레일(520)의 타단에 결합되는 내측 단열 커버(553) 및 내측 단열 커버(553)로부터 전방으로 연장되는 출납 손잡이(552)를 포함하여 구성된다.
핫 플레이트(510)는, 대상물을 안착하고 대상물을 가열하는 역할을 하며, 이를 위하여 평평한 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 함몰 형성된다. 안착부는 평면도상 원형으로 형성되는 것이 바람직하나 삼각, 사각, 다각 등 어느 형상이든 가능함은 물론이다. 안착부의 일측에는 안착부의 내부와 연통되는 시료홈이 안착부의 내주연으로부터 외측으로 확장될 수 있다. 즉, 도 7 <b> 에 도시된 바와 같이 시료홈에 핀셋 등을 넣어 안착부에 안착된 대상물을 들어올릴 수 있도록 구성된다.
핫 플레이트(510)의 내부에는 열선(미도시)이 구비되어 핫 플레이트(510)를 가열할 수 있도록 구성된다. 이러한 가열은 선택적으로 제어되며, 핫 플레이트(510)의 온도가 설정 온도로 유지될 수 있도록 핫 플레이트(510)의 일측 또는 내측에 온도 센서(미도시)가 구비된다.
한편, 핫 플레이트(510)는 안착부의 크기 또는 형상의 변경이 요구될 때 안착부가 형성된 상면을 탈거하여 교체할 수 있도록 구성될 수 있다.
레그(530)는, 핫 플레이트(510)를 레일(520)로부터 이격하는 역할을 하며, 이를 위하여 복수 개가 핫 플레이트(510)의 하단에 결합되고 레일(520)에 의해 지지된다. 이러한 레그(530)는 또한 하술할 방열 패널(540)이 설치될 공간을 확보하는 역할을 하며, 또한, 제 2 실시예에서 설명할 승강핀(611)의 삽입 공간을 제공하는 역할을 한다.
레그(530)는 레일(520)에 직접 결합될 수도 있으나, 링 형상으로 형성된 고정링(531)이 레일(520)에 결합되고, 고정링(531)의 내측에 레그(530)의 하단부가 수용되는 형태로 레일(520)에 고정될 수 있다.
방열 패널(540)은, 핫 플레이트(510)로부터 발생된 열이 하부로 유실되는 것을 방지하는 역할을 하며, 이를 위하여 판형으로 형성되어 핫 플레이트(510)와 레일(520) 사이에 구비된다.
레일(520)은, 레그(530) 및 레그(530)에 결합된 핫 플레이트(510)를 출납하는 역할을 하며, 이를 위하여 베이스 프레임(600)의 슬롯에 슬라이딩 가능한 형태로 결합된다. 이러한 레일(520)은 통상의 서랍장과 같은 형태로 구동될 수 있으며, 베이스 프레임(600)의 상단에 슬라이딩 가능한 형태이면 어느 것이든 가능하다. 레일(520)의 타단에는 내측 단열 커버(553)가 결합된다.
단열 커버(550)는, 내측 단열 커버(553), 외측 단열 커버(551) 및 출납 손잡이(552)로 구성되며, 내측 단열 커버(553)는, 내측 챔버(110)의 내부에서 핫 플레이트 모듈(500)을 외부로 인출시키기 위하여 형성된 내측 출납구를 밀폐함으로써, 내측 챔버(110)의 내부에서 발생된 자외선, 오존 또는 열기가 외부로 유실되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위하여 내측 단열 커버(553)는 내측 챔버(110)의 내측 출납구와 동일한 형상으로 형성되어서 레일(520)의 타단에 결합되고, 핫 플레이트 모듈(500)을 후면 방향으로 수납할 때 내측 출납구가 밀폐되도록 구성된다.
내측 단열 커버(553)는 비교적 열 전도성이 낮은 물질로 구성되는 것이 바람직하며, 전면부에 출납 손잡이(552)가 결합된다.
출납 손잡이(552)는, 핫 플레이트 모듈(500)을 후면 방향으로 수납시키거나 또는 전면 방향으로 인출시키는 역할을 하며, 이를 위하여 내측 단열 커버(553)의 전면 방향으로 결합된다. 이러한 출납 손잡이(552)는 사용자의 화상을 방지하기 위하여 열 전도성이 낮은 물질로 구성되는 것이 바람직하며, 비단 하나의 물질로 제조되는 것 뿐만 아니라 하술할 외측 단열 커버(551)를 기점으로 내부와 외부의 재질이 서로 다르도록 구성될 수 있으며, 또는, 사용자가 손으로 잡는 부위에 별도의 단열재가 더 포함되도록 구성될 수 있다.
한편, 내측 챔버(110)에서 발생된 열기가 외부로 유실되는 것을 방지하기 위하여 내측 챔버(110)의 전면과 외측 챔버(100)의 전면을 이격시킬 수 있다. 이는 내측 챔버(110)와 외측 챔버(100)의 사이를 이격시킴으로써 그 사이에 완충 지대를 형성하여 챔버(100) 외부와 내부의 온도차에 의한 열의 유실을 최소화하기 위한 조치로서, 이를 위하여 외측 챔버(100)의 전면에 핫 플레이트 모듈(500)의 출납을 위한 외측 출납구가 더 형성된다. 그리고, 내부로부터 유실된 열기가 출납 손잡이(552)의 파지부분에 전해지는 것을 방지하기 위하여 외측 출납구를 밀폐하는 외측 단열 커버(551)가 더 구비된다.
외측 단열 커버(551)는 외측 출납구와 동일한 형상으로 형성되어 내측 단열 커버(553)와 이격되어 구비된다.이러한 외측 단열 커버(551)는 내측 단열 커버(553)에 비해 비교적 얇은 두께로 형성 가능하나 이에 한정하는 것은 아니다.
제어부(700)는, UV 램프 모듈(300)의 높이, UV 램프(330)에 공급되는 전력, UV 램프(330)의 전력 공급 시간, 핫 플레이트(510)의 온도, 챔버(100) 내부의 온도 등을 제어하는 역할을 한다.
이를 위하여 제어부(700)는, 챔버(100)의 전면에 위치한 제어 패널(710)로부터 설정치를 입력받으며, 입력된 설정치 또는 설정치에 의한 현재 상태 등을 디스플레이 창(712)에 표시한다.
이러한 제어부(700)는 UV 램프 모듈(300)을 1mm 단위로 조절할 수 있으며, UV 램프(330)에 정전류 방식을 이용하여 출력을 제어할 수 있도록 구성된다. 또한, 오존의 양을 실시간으로 센싱하여 챔버(100) 내부의 오존 농도를 조절할 수 있고, 핫 플레이트(510)의 온도를 1~200도까지 조저랄 수 있다. 이를 위하여 챔버(100)의 내부에는 UV 램프 모듈(300)의 높이를 측정하는 센서, UV 램프(330)의 광량을 측정하는 센서, 오존의 양을 측정하는 센서, 핫 플레이트(510)의 온도를 측정하는 센서, 챔버(100) 내부의 온도를 측정하는 센서 등 여러 센서가 구비될 수 있다.
한편, 내측 챔버(110)의 내측 출납구는 비록 핫 플레이트 모듈(500)의 내측 방열 패널(540)에 의해 밀폐된다 하더라도, 기본적으로 출납이 가능하도록 구성되기 때문에 그 접촉 부위의 열의 차단 성능이 챔버(100)의 내벽에 비해 떨어질수밖에 없다. 따라서, 핫 플레이트(510)의 온도가 내측 출납구 방향으로 갈수록 낮아지고 이는 대상물의 균일한 가열에 방해요인이 될 수 있다.
이를 위하여 본 발명의 제 2 실시예에서는 핫 플레이트(510)를 내측 출납구로부터 멀어지도록, 즉, 핫 플레이트(510)를 상승시켜 핫 플레이트(510)로부터 발생된 열이 내측 챔버(110)의 벽에 의해 단열될 수 있도록 구성한다. 본 발명의 제 2 실시예는 제 1 실시예와 모든 부분이 동일하므로 변경되는 부분만 설명하도록 한다.
도 8 및 도 9 를 참조하면, 본 발명의 핫 플레이트(510)는 상하 방향으로 승강 가능한 구조로서, 이를 위하여 핫 플레이트 모듈(500)은, 링 형상으로 형성되어 레일(520)의 상부에 고정되되 내측에 레그(530)의 하단부가 수용되는 고정링(531)을 더 포함하고, 레그(530)는 하단으로부터 상방으로 홀이 함몰 형성된다. 또한, 베이스 프레임(600)은 상방으로 승강핀(611)이 인출 또는 인입되는 실린더 장치(610)가 더 포함되어서, 실린더 장치(610)가 승강핀(611)을 상방으로 인출시킬 때 승강핀(611)이 레그(530)의 홀에 인입되고, 실린더 장치(610)가 승강핀(611)을 더욱 상방으로 인출시킬 때 승강핀(611)에 의해 레그(530) 및 핫 플레이트(510)가 상방으로 상승된다.
이를 좀 더 상세히 설명하면, 레일(520)의 상부에는 고정링(531)이 결합되고, 고정링(531)의 내측에 레그(530)의 하단부가 수용된다. 이때, 출납 손잡이(552)를 잡아당기거나 밀어서 레일(520)이 베이스 프레임(600)을 따라 슬라이딩되면 고정링(531)에 의해 레그(530)가 레일(520)을 따라 이동되고, 따라서 핫 플레이트(510)가 출납 가능하게 된다.
출납 손잡이(552)를 밀어 핫 플레이트(510)를 후면 방향으로 완전히 인입시키면 레그(530)가 실린더 장치(610)의 상단에 위치된다. 이때, 레그(530)에 형성된 홀은 실린더 장치(610)의 승강핀(611)의 연직 상방에 위치되고, 승강핀(611)이 상승하면 레그(530)의 홀에 인입되게 된다. 이 상태에서 승강핀(611)을 계속 상승시키면 승강핀(611)에 의해 레그(530)가 고정링(531) 상부로 부양되고, 레그(530)가 상승함에 따라 레그(530)에 의해 지지되는 핫 플레이트(510)가 상승하게 된다. 따라서, 핫 플레이트(510)의 측면 방향이 내측 출납구가 아닌 내측 챔버(110)의 내벽이 되며, 핫 플레이트(510)에서 발생된 열이 외부로 유실되는 정도를 저감할 수 있게 된다.
이때, 핫 플레이트(510)에 의해 UV 램프(330)가 파손되는 것을 방지하기 위하여 핫 플레이트(510)의 상승과 더불어 UV 램프 모듈(300) 역시 상승시켜야 하는데, 핫 플레이트(510)와 UV 램프(330)의 충돌 방지를 위하여 핫 플레이트(510)의 높이를 측정하는 센서가 더 포함되거나 또는 실린더 장치(610)의 인출 정도를 측정하여 제어부(700)가 UV 램프 모듈(300)을 상승시키게 된다.
한편, 대상물의 작업이 종료된 후 핫 플레이트(510)를 하강시킬 때에는 역순으로 실린더 장치(610)의 승강핀(611)을 인입시켜 레그(530)의 하단부가 고정링(531)의 내측으로 될 수 있도록 한다. 이때, 승강핀(611)이 레그(530)의 홀에 인입될 수 있도록 레일(520) 및 슬롯에는 승강핀(611)의 상승을 위한 홀이 더 형성될 수 있으며, 특히 레일(520)의 홀은 승강핀(611)을 레그(530)의 홀에 정확이 인입시킬 수 있도록 상협하광의 형태로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 핫 플레이트(510)가 정확한 위치에 위치되지 않으면 승강핀(611)이 레그(530)의 홀에 인입되지 못하므로, 핫 플레이트(510)가 정위치에 위치되었는지를 측정하는 근접 센서, 적외선 센서 또는 접촉 센서 등이 더 구비될 수 있다.
이러한 제 2 실시예의 구성에 의해 내측 챔버(110)의 내측 출납구를 핫 플레이트 모듈(500)의 내측 단열 커버(553)에 의해 밀폐하면서도, 핫 플레이트(510)를 내측 출납구로부터 상승시킬 수 있어 핫 플레이트(510)에서 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있게 된다.
상술한 구성으로 이루어진 본 발명은, UV 램프 모듈(300)을 승강시킬 수 있으므로, UV 램프(330)와 대상물 사이의 거리를 조절할 수 있어 대상물에 따라 자외선의 조사 높이를 용이하게 가변할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, UV 램프(330)가 장착되는 램프 플레이트(320)를 상방으로 회동시킬 수 있으므로, UV 램프(330) 교체가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버(110)와 내측 챔버(110)로부터 이격된 외측 챔버(100)의 2중 챔버(100)가 구비됨으로써, 내측 챔버(110)로부터 발생된 열의 완충 지대를 형성하여 챔버(100) 내부 온도 유지가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버(110)와 외측 챔버(100)의 사이에 공기의 유동로가 형성됨으로써, 방열팬(122) 구동시 신속한 방열이 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 내측 챔버(110)의 내측 출납구는 내측 단열 커버(553)에 의해, 외측 챔버(100)으 외측 출납구는 외측 단열 커버(551)에 의해 2중으로 단열됨으로써, 챔버(100) 내부로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 핫 플레이트(510)의 승강이 가능함으로써, 핫 플레이트(510)로부터 발생된 열의 유실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
100 : 챔버 110 : 내측 챔버
120 : 외측 챔버
200 : 승강 지지대
300 : UV 램프 모듈 310 : 승강 프레임
320 : 램프 플레이트 321 : 제 1 램프 플레이트
322 : 제 2 램프 플레이트 323 : 경첩 부재
330 : UV 램프
400 : 모터 410 : 스크류 샤프트
420 : 유동 방지 샤프트
500 : 핫 플레이트 모듈 510 : 핫 플레이트
520 : 레일 530 : 레그
600 : 베이스 프레임 610 : 실린더 장치
611 : 승강핀
700 : 제어부

Claims (7)

  1. 중공된 내부를 갖는 챔버;
    상기 챔버의 내부에 어느 일부위가 상기 챔버의 하부면으로부터 이격되도록 설치되는 승강 지지대;
    상기 챔버의 내부에 설치되는 모터;
    일단이 상기 모터의 회전축에 결합되고 타단이 상기 승강 지지대에 회동 가능하게 결합되어 상하 방향으로 구비되며, 외주연에 나사산이 형성된 스크류 샤프트;
    일측이 상기 스크류 샤프트에 관통되어 상기 스크류 샤프트와 나사 결합되도록 설치되고 하방으로 UV 램프가 구비되어 상기 모터의 회전에 따라 상하로 승강되는 UV 램프 모듈;
    상기 챔버의 내부 하부면에 상기 챔버의 전후 방향으로 설치되는 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되며, 상면에 대상물이 안착되는 안착부가 형성된 핫 플레이트 모듈;
    을 포함하되,
    상기 챔버는,
    중공된 내부를 갖는 내측 챔버와, 상기 내측 챔버의 전면, 후면, 좌측면, 우측면 중 어느 하나 이상의 면과 이격되도록 상기 내측 챔버의 외측에 구비되는 외측 챔버를 포함하며,
    상기 내측 챔버는, 내부에 상기 승강 지지대, 상기 모터, 상기 스크류 샤프트, 상기 UV 램프 모듈이 구비되고, 상기 외측 챔버와 이격된 면의 외측면에 방열판이 형성 또는 부착되며,
    상기 외측 챔버는, 상기 내측 챔버와 이격된 면에 복수의 통공이 마련되고, 상기 통공 중 어느 일부가 형성된 내측 또는 외측면에 방열팬이 구비되고,
    상기 핫 플레이트 모듈은,
    평평한 상면을 갖고 상기 상면에 상기 안착부가 형성되되 내부에 열선이 내장되는 핫 플레이트와, 상기 핫 플레이트의 하방에 상기 핫 플레이트를 지지하도록 결합된 복수의 레그와, 상기 레그를 지지하되 상기 베이스 프레임의 상단에 슬라이딩 가능하게 구비되는 레일과, 상기 레일의 타단에 결합되는 내측 단열 커버 및 상기 내측 단열 커버로부터 전방으로 연장되는 출납 손잡이를 포함하고,
    상기 내측 챔버는, 전면에 상기 내측 단열 커버 형상의 내측 출납구가 형성되어서, 상기 핫 플레이트 모듈을 후면 방향으로 수납할 때 상기 내측 단열 커버에 의해 상기 내측 출납구가 밀폐되는 자외선 오존 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 UV 램프 모듈은, 상기 스크류 샤프트에 관통되어 상기 스크류 샤프트와 나사 결합되는 승강 프레임과, 상기 승강 프레임의 타단으로부터 연장 형성되어서 하부에 상기 UV 램프가 장착되는 램프 플레이트를 포함하며,
    상기 승강 프레임이 슬라이딩 가능하도록 상기 승강 프레임을 관통하고, 상기 스크류 샤프트와 이격되도록 상하 방향으로 구비되는 유동 방지 샤프트;를 포함하는 자외선 오존 세정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 램프 플레이트는, 상기 승강 프레임의 타단에 결합되는 제 1 램프 플레이트와, 상기 제 1 램프 플레이트의 타단으로부터 연장되고 하단에 상기 UV 램프가 장착되는 제 2 램프 플레이트를 포함하며, 상기 제 1 램프 플레이트와 상기 제 2 램프 플레이트를 연결하는 경첩 부재가 더 구비되어서, 상기 제 2 램프 플레이트가 상기 경첩 부재를 축으로 상방으로 회동되는 자외선 오존 세정 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 핫 플레이트 모듈은,
    상기 핫 플레이트와 상기 레일 사이에 구비되어 상기 핫플레이트에서 발생된 열이 하방으로 유실되지 않도록 차단하는 판형의 방열 패널, 상기 내측 단열 커버의 전방에 상기 내측 단열 커버와 이격되어 구비되는 외측 단열 커버를 더 포함하고,
    상기 외측 챔버는, 전면이 상기 내측 챔버의 전면과 이격되어 구비되되 상기 외측 단열 커버 형상의 외측 출납구가 형성되어서, 상기 핫 플레이트 모듈을 후면 방향으로 수납할 때 상기 외측 단열 커버에 의해 상기 외측 출납구가 밀폐되는 자외선 오존 세정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 핫 플레이트 모듈은, 링 형상으로 형성되어 상기 레일의 상부에 고정되되 내측에 상기 레그의 하단부가 수용되는 고정링을 더 포함하고, 상기 레그는 하단으로부터 상방으로 홀이 함몰 형성되며,
    상기 베이스 프레임은 상방으로 승강핀이 인출 또는 인입되는 실린더 장치가 더 포함되어서,
    상기 실린더 장치가 상기 승강핀을 상방으로 인출시킬 때 상기 승강핀이 상기 레그의 홀에 인입되고, 상기 실린더 장치가 상기 승강핀을 더욱 상방으로 인출시킬 때 상기 승강핀에 의해 상기 레그 및 상기 핫 플레이트가 상방으로 상승되는 자외선 오존 세정 장치.
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