KR101877461B1 - Sic 리사이클 장치 - Google Patents

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KR101877461B1
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구태정
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주식회사 이에너지
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Abstract

본 발명은 태양 전지판 등의 웨이퍼 제조시 발생되는 슬러지를 재활용할 수 있도록 하기 위한 SIC 리사이클 장치에 관한 기술로서, 액상과 고상이 혼합된 실리콘 슬러지를 원심분리를 통해 고상슬러지와 액상슬러지를 분리하도록 하는 고액분리기; 분리된 상기 고상슬러지를 투입하여 목표함수량 20 ~ 25% 까지 도달되도록 감량하도록 하는 감량기; 상기 감량기를 이용하여 얻어지는 1차감량슬러지를 마이크로웨이브를 이용하여 고속 건조함으로써 최종함수율 1 ~ 5%까지 건조하도록 하는 마이크로웨이브 건조기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

SIC 리사이클 장치{SIC RECYCLE APPARATUS}
본 발명은 태양 전지판 등의 웨이퍼 제조시 발생되는 슬러지를 재활용할 수 있도록 하기 위한 SIC 리사이클 장치에 관한 기술이다.
태양 전지 및 반도체 산업의 웨이퍼로 널리 사용되고 있는 실리콘은 와이어 소(wire [0002] saw)를 이용하여 실리콘 잉곳으로부터 웨이퍼 형태로 슬라이싱 된다. 절단 시에는 평균 입경 20 미크론 정도인 실리콘 카바이드를 함유한 연마 슬러리가 사용되며, 그 결과 실리콘을 주성분으로 실리콘 카바이드 및 기타 산화물이 함유된 연마 슬러지가 생성된다.
과거에는 실리콘 슬러지를 폐기물 처리 업체에 의해 매립 처리하여 왔으나, 최근에는 실리콘 슬러지에 함유된 다량의 실리콘이나 실리콘 카바이드와 같은 소재를 회수하고자 하는 시도가 있어왔다.
종래 실리콘 슬러지의 재활용 기술로 대표적인 것으로는 연마 슬러리 재생 기술, 고형분 분리 회수 기술 및 실리콘 카바이드 합성 기술을 들 수 있다.
예를 들어, 한국공개특허 제2003-84528호는 폐 슬러리에 비 이온계 계면활성제를 중량비 1∼20%와 알코올 또는 솔벤트류 5∼50%를 일정시간 ( 5분 ∼ 10시간이상 )동안 반응을 시킨 후 원심 분리기에 의해 비중 차이로 동일 광물끼리 층을 이루며 각각 분리 되도록 한 뒤 이를 층별로 오일 펌프를 사용하여 각각 별도의 용기에 분리하여 담은 뒤 필요에 따라 (제품사용 용도별)건조기를 사용하여 건조를 한 뒤 이를 다시 필요에 따라 분급기를 통과시켜 사이즈 별로 분리하여 재활용하는 기술을 소개하고 있다.
또한, 한국공개특허 제2004-55218호는 폐슬러리를 여과하여 규소, 탄화규소, 동 및 철분 등의 고형물을 분리하고, 비중선별 및 자력선별을 이용하여 동 및 철 분말을 제거하며, 상온상태에서 염산을 30%의 고액 농도로 산세 처리하여 규소 및 탄화규소 혼합분말을 얻고, 이를 흑연 분말과 혼합하여 1600℃ 이상에서 규소 탄화법에 의해 탄화규소 합성체를 제조한다. 이어서, 제조된 탄화규소 합성체를 파분쇄한 후 불순물을 제거하는 2차 처리공정을 수행하여 고순도의 탄화규소를 얻는다.
그러나, 이 방법은 슬러지 고형분의 분리 회수에 과도한 처리 공정이 적용되어, 값싼 실리콘 폐슬러지로부터 탄화규소를 제조하고자 하는 본래의 의도를 무색하게 한다는 문제점이 있고, 탄화규소 소결체를 제조하기 위해서는 제조된 탄화규소 분말로 성형 및 소결 공정을 다시 적용하여야 한다는 문제점 또한 갖고 있다.
한편, 한국공개특허 제2011-60701호는 상기 실리콘 슬러지를 열처리하여 유분을 제거하고, 실리콘 슬러지에 탄소원을 혼합 및 성형하여 1300~1900℃의 비산화성 분위기에서 반응소결하여 탄화규소 소결체를 제조하는 방법을 제시하고 있다.
그러나, 상기 공개특허는 실리콘 슬러지를 열처리하여 유분을 제거하는 공정의 예로써, 100~600 ℃의 온도, 바람직하게는 300 ℃의 온도에서 탈지 공정을 적용하는데, 이 과정에서 실리콘 분말 표면 일부가 산화될 수 있는데, 미량의 표면 산화 실리콘은 실리콘 카바이드 생성 반응이 보다 높은 온도에서 일어나게 만드는 요인이 된다.
한국공개특허 제2003-84528호 한국공개특허 제2004-55218호 한국공개특허 제2011-60701호
본 발명에서는 액상과 고상이 혼합된 슬러지를 재활용 가능하도록 액상을 제거하도록 하되, 에너지 절감을 통한 생산성 향상을 위해 효과적인 건조가 이루어질 수 있도록 하는 SIC 리사이클 장치를 제공하고자 한다.
제시한 바와 같은 과제 달성을 위한 본 발명의 SIC 리사이클 장치는, 액상과 고상이 혼합된 실리콘 슬러지를 원심분리를 통해 고상슬러지와 액상슬러지를 분리하도록 하는 고액분리기; 분리된 상기 고상슬러지를 투입하여 목표함수량 20 ~ 25% 까지 도달되도록 감량하도록 하는 감량기; 상기 감량기를 이용하여 얻어지는 1차감량슬러지를 마이크로웨이브를 이용하여 고속 건조함으로써 최종함수율 1 ~ 5%까지 건조하도록 하는 마이크로웨이브 건조기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 감량기는, 내부에 빈 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버의 하단 중심부로부터 직립되게 설치되어 회전 동작하면서 고상슬러지를 상승되게 하는 스크류; 상기 스크류의 외측을 감싸도록 직립되게 설치되고 하단과 상단이 개구되어 있어 상기 고상슬러지가 상기 스크류의 회전 동작에 의해 상승될 수 있도록 유도하는 스크류케이싱; 상기 스크류의 하단에 연결되어 회전되면서 상기 고상슬러지를 교반시켜주는 교반날개; 상기 챔버 내부에 다단을 이루면서 설치되어 외기를 공급하게 되는 외기분사노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 외기분사노즐은, 상기 챔버의 내벽과 상기 스크류케이싱 외면 사이 공간상에 상하 다단으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 챔버의 하부에는 감량이 이루어진 1차감량슬러지를 배출할 수 있도록 개폐되는 배출도어가 마련되며, 상기 배출도어에 인접하여 마련되며, 배출되는 상기 1차감량슬러지를 상향이송시켜서 상기 마이크로웨이브 건조기로 공급될 수 있도록 하는 슬로핑 컨베어가 구비되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 SIC 리사이클 장치는, 상기 감량기와 상기 마이크로웨이브 건조기 사이에 임시저장조가 구비되며, 상기 슬로핑 컨베어에 의해 이송되는 상기 1차감량슬러지는 상기 임시저장조에 저장된 후 상기 마이크로웨이브 건조기로 공급되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 임시저장조의 출구단에는 상기 1차감량슬러지를 일정한 두께로 압출하여 배출하는 압출기가 구비되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 감량기의 챔버 상부에는 유증기 배출구가 마련되며, 상기 유증기 배출구를 통해 배출되는 유증기는 정화처리되어 대기로 방출되도록 하고, 상기 마이크로웨이브 건조기로부터 배출되는 유증기는 상기 챔버와 연결되는 연결배관을 통해 배출되어 상기 챔버 내부로 유입된 후 상기 유증기 배출구로 최종 배출되도록 하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 슬로핑 컨베어는, 하방에서 상방을 향해 외기를 강제공급하는 송풍팬이 마련되어 상기 슬로핑 컨베어에 의해 이송되는 상기 1차감량슬러지로 외기가 공급되게 하여 이송중에 건조가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 SIC 리사이클 장치는 에너지 소비가 적은 감량기와 마이크로웨이브 건조기를 복합한 구조로 실리콘 슬러지를 효율적으로 건조하여 재활용이 가능한 상태로 처리할 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 SIC 리사이클 장치의 개념도.
도 2는 SIC 리사이클 장치의 실시예의 사시도.
도 3은 감량기의 절개 사시도.
이하 본 발명에 따른 SIC 리사이클 장치에 대한 보다 상세한 설명을 하도록 하며, 발명의 기술적 사상에 대한 이해를 돕기 위해 첨부되는 실시예의 도면을 참조하는 것으로 한다. 제시되는 도면 및 바람직한 실시예에 대한 설명은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 하나의 실시 가능한 예를 보여주는 것인 바, 본 발명의 기술적 보호범위가 이에 한정되는 것이 아님을 지적해둔다.
첨부되는 도 1은 본 발명에 의한 SIC 리사이클 장치의 개념도이며, 도 2는 SIC 리사이클 장치의 실시예의 사시도이고, 도 3은 감량기의 절개 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 의한 SIC 리사이클 장치는 주요한 구성요소로 고액분리기(100), 감량기(200), 마이크로웨이브 건조기(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
웨이퍼 제조시 생성되는 부산물인 실리콘 슬러지는 액상과 고상이 혼합되어 있는 상태이며, 액상에는 수분 및 오일 성분이 포함된다.
수집된 실리콘 슬러지는 고액분리기(100)로 투입되며, 고액분리기(100)에서는 원심분리를 통해 고상슬러지와 액상슬러지가 분리되게 한다. 여기에서 의미하는 고상슬러지란 수분이 완전히 제거된 상태를 의미하는 것은 아니며, 원심분리를 통해 쉽게 분리되는 액상을 제거하도록 하는 것을 의미한다.
따라서 실제로 고액분리기를 통해 만들어지는 고상슬러지의 함수율은 대략 50 ~ 60 % 이상이다. 물론, 원심분리를 장시간 하거나 더욱 고속 회전시키면 고상슬러지의 함수율을 보다 낮출 수는 있을 것이나, 이것은 비효율적이다.
고액분리기(100)를 이용하여 생성되는 고상슬러지는 감량기(200)로 투입되는데, 감량기(200)에서는 대략 목표함수량이 20 ~ 25 % 정도가 되도록 감량처리가 이루어지도록 한다.
구체적으로 감량기(200)는 챔버(210), 스크류(220), 스크류케이싱(230), 교반날개(240), 외기분사노즐(250)을 포함하여 이루어진다.
챔버(210)는 내부가 빈 용기이며, 바람직하게 하단측은 오목한 꼬깔 모양을 이루도록 함으로써 투입되는 고상슬러지가 중앙으로 자연스럽게 모일 수 있도록 한다.
챔버(210)의 하단 중심부로부터 직립되게 스크류(220)가 설치되며, 스크류(220)는 회전동작하여 고상슬러지를 상방으로 끌어올려서 순환 교반이 이루어지게 하는 작용을 한다. 스크류(220)의 회전 동작을 위한 모터(221)가 구비되며, 챔버(210) 하부나 챔버의 덮개 상면에 모터가 구비될 수 있다.
스크류(220)의 회전에 의한 원활한 고상슬러지의 이송을 위해 스크류(220)의 외측을 감싸는 스크류케이싱(230)이 구비되며, 스크류케이싱(230)의 하단과 상단은 개구되어 있음으로써 스크류(220)의 회전에 의해 스크류케이싱(230) 하단을 통해 고상슬러지는 유입되어 상승 이동하게 되며, 스크류케이싱(230) 상단의 개구부를 통해 배출되어 낙하되면서 원활한 교반이 이루어지게 된다.
한편, 스크류(220)의 하단에는 교반날개(240)가 연결되며, 교반날개(240)에 의해 기본적인 고상슬러지에 대한 교반작용이 이루어지게 된다. 교반날개(240)는 복수의 날개를 가지게 되며, 다단 형태로 설치될 수도 있다.
그리고 챔버(210) 내부에 다단을 이루면서 설치되는 외기분사노즐(250)이 마련되는데, 외기분사노즐(250)을 통해 외부공기가 강제 공급되어 챔버(210) 내부로 분사된다. 도시된 바와 같이 다단으로 외기분사노즐(250)이 배치되어 고르게 외기를 공급할 수 있도록 하며, 외기 공급에 의해 순환 교반되는 고상슬러지로 외기가 공급되어 보다 원활한 건조가 이루어질 수 있도록 한다.
외기분사노즐(250)은 다단으로 배치되되, 챔버(210)의 내벽과 스크류케이싱(230)의 외면 사이 공간상에 소정의 상하 이격거리를 두고 배치되도록 한다. 외기분사노즐(250)은 원형으로 배치되는 메인배관으로부터 하방으로 분기되는 복수의 지관의 단부에 노즐이 형성되는 형태로 구성될 수 있고, 링 블로워를 이용하여 고압의 외기를 외기분사노즐(250)로 공급하여 분사가 이루어질 수 있도록 한다.
스크류(220)와 스크류케이싱(230)에 의해 고상슬러지는 상방으로 이송된 후 낙하되는데, 이때 복수의 외기분사노즐(250)에 의해 분사되는 외기는 고르게 고상슬러지에 공급될 수 있기 때문에 균일한 감량이 이루어지도록 하는데 큰 효과가 있다.
즉, 본 발명에 의한 감량기(200)에서는 특별한 열원을 사용하지 않고도 원활한 외기의 공급 및 공급되는 외기가 고르게 고상슬러지로 공급되게 함으로써 효과적인 건조를 통한 감량이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 감량기(200)에서는 고상슬러지의 목표함수율이 20 ~ 25% 정도가 되도록 감량시키도록 하는데, 투입된 고상슬러지의 중량 변화를 이용하여 목표함수율에의 도달여부를 판단하도록 할 수 있다.
이를 위해 챔버(210) 하부에는 로드셀(미도시)과 같은 것을 설치하여 고상슬러지의 중량을 실시간 측정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 이러한 중량변화 측정을 위해서는 최초 감량기(200)로 투입되는 고상슬러지의 최초 함수율을 측정할 필요가 있고, 이를 이용하여 목표함수율에 도달했을 때의 중량의 계산할 수 있다. 바람직하게는 마이콤을 구비하여 고상슬러지의 최초 함수율과 목표함수율을 입력하면 자동으로 연산이 이루어져 목표함수율에 도달했을 때의 중량이 계산되게 하고, 로드셀에서 측정되는 측정값이 목표함수율의 계산값에 일치되면 감량이 끝난 것으로 판단되도록 구성할 수 있다.
감량기(200)를 이용하여 감량이 이루어진 고상슬러지는 1차감량슬러지라 부르도록 하며, 1차감량슬러지는 마이크로웨이브 건조기(300)로 이송되어 2차 감량이 이루어지는데, 마이크로웨이브 건조기(300)에서는 최총함수율이 1 ~ 5% 범위가 되도록 건조시키도록 한다.
마이크로웨이브 건조기(300)는 마그네트론과 같은 마이크로웨이브를 방출하는 것을 이용하여 고속 건조시킬 수 있는 장비를 의미하며, 마이크로웨이브의 특성상 고상슬러지의 내부로 마이크로웨이브가 침투하여 내부로부터 가열이 이루어지도록 하여 외부로 수증기기 배출되는 형태로 건조가 이루어진다. 따라서 마이크로웨이브 건조기(300)를 이용하게 되면 대상체에 대한 균일한 건조가 가능하게 되고, 건조효율이 매우 높다는 장점이 있다.
바람직하게 고상슬러지가 연속적으로 공급되면서 이동되는 과정 중에 마이크로웨이브가 고상슬러지로 조사될 수 있도록 하는데, 터널형태의 마이크로웨이브 건조기(300)를 사용하는 것이 좋다. 터널 내부에 고상슬러지를 이송되게 하는 컨베어가 구비되고, 컨베어 상부에서 마그네트론에 의해 생성되는 마이크로웨이브가 하방으로 방출될 수 있도록 한다.
마이크로웨이브 건조기(300)에 의해 고상슬러지의 목표함수율인 1 ~ 5%가 되면 건조가 완료된 것이므로 저장조로 이송시키도록 하면 된다.
한편, 감량기(200)의 챔버(210) 하부에는 감량이 이루어진 1차감량슬러지를 배출시키기 위한 배출도어(미도시)가 마련되며, 배출도어에 인접하여 배출되는 1차감량슬러지를 받아 상향 이송시키기 위한 슬로핑 컨베어(400)가 마련된다.
슬로핑 컨베어(400)는 1차감량슬러지를 받아서 마이크로웨이브 건조기(300)로 전달하기 위한 것이며, 상향하는 경사진 형태로 설치되어 슬로핑 컨베어(400)의 최상단으로 이동된 1차감량슬러지는 자유낙하되어 마이크로웨이브 건조기(300)로 투입될 수 있도록 구성할 수 있다.
보다 효율적인 운용을 위해 감량기(200)와 마이크로웨이브 건조기(300) 사이에는 임시저장조(500)를 둘 수 있으며, 슬로핑 컨베어(400)에 의해 이송되는 1차감량슬러지는 임시저장조(500)로 공급 저장되도록 한 후 임시저장조(500)에서 마이크로웨이브 건조기(300)로 1차감량슬러지의 공급이 이루어지게 할 수 있다.
임시저장조(500)를 두는 것은 연속적인 작업이 요구되는 상황에서 만일의 경우에 마이크로웨이브 건조기(300)에 이상이 있거나 하는 경우에도 감량기(200)의 가동을 중단하지 않고 운전이 이루어지도록 하기 위한 목적이 있고, 또 다른 목적으로는 마이크로웨이브 건조기(300)로 공급되는 1차감량슬러지의 형상을 일정하게 하여 건조효율이 향상될 수 있도록 하기 위한 것이다.
일정한 형상 즉, 일정한 폭과 두께를 갖는 형태로 1차감량슬러지를 마이크로웨이브 건조기(300)로 공급하기 위해 임시저장조(500)의 출구단에는 압출기(510)가 구비되도록 구성할 수 있다.
압출기(510)를 통과하여 배출되는 1차감량슬러지는 압출기(510)의 단면 형상과 같이 소정의 두께와 폭을 갖는 형태로 성형이 되어 배출되고, 이렇게 성형 배출된 1차감량슬러지는 마이크로웨이브 건조기(300)로 공급되어 추가적인 건조가 이루어진다.
마이크로웨이브 건조기(300)의 경우 건조가 이루어질 대상체의 형상이 균일할 수록 전체적인 건조가 고르게 잘 이루어질 수 있는데, 본 발명과 같이 압출방식으로 1차감량슬러지를 일정한 두께와 폭을 갖도록 성형하여 마이크로웨이브 건조기로 공급하게 되면 건조효율을 대폭 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 SIC 리사이클 장치에서 감량기(200)와 마이크로웨이브 건조기(300)에서 건조가 이루어지는 과정상에 유증기가 배출되는데, 이러한 유증기에 대한 처리방안이 요구된다.
이에 본 발명에서는 감량기(200)의 챔버(210) 상부에 유증기 배출구(600)를 마련하도록 하며, 유증기 배출구(600)를 통해 배출되는 유증기는 정화장치를 거치면서 정화처리되어 대기로 방출시킬 수 있도록 한다.
그리고 마이크로웨이브 건조기(300)로부터 발생되는 유증기에 대한 처리가 요구되는데, 본 발명의 경우 마이크로웨이브 건조기(300)를 이용한 1차감량슬러지의 건조시에 발생되는 유증기를 모아서 챔버(210) 내부로 유입되게 한 다음 유증기 배출구(600)로 배출되도록 연결배관(310)을 구성하도록 한다.
즉, 마이크로웨이브 건조기(300) 상부에 복수의 연결배관(310)이 형성되고 이들 연결배관(310)은 챔버(210)와 연결되도록 구성된다.
그리고 본 발명에 있어서, 슬로핑 컨베어(400)는 챔버(210)로부터 배출되는 1차감량슬러지를 이송시키는 작용을 하는데, 바람직하게 슬로핑 컨베어(400)를 타고 이송되는 1차감량슬러지로 외기를 강제 공급하게 하여 이송중에 건조가 이루어질 수 있도록 하기 위해 슬로핑 컨베어(400) 하단측에 송풍팬(미도시)을 두도록 구성할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 구성되는 본 발명의 SIC 리사이클 장치를 이용하게 되면 실리콘 슬러지를 매우 효율적으로 건조처리하여 재사용이 가능한 분말상태로 처리가 가능하게 되고, 이를 통해 폐기 처리에 따른 환경적 문제, 비용적 문제를 해소하면서 부가적인 수익을 창출할 수 있게 된다.
본 발명은 실리콘 슬러지의 재활용 기술로 사용되기에 적합한 매우 유용한 기술이다.
100 : 고액분리기
200 : 감량기
210 : 챔버 220 : 스크류
221 : 모터 230 : 스크류케이싱
240 : 교반날개 250 : 외기분사노즐
300 : 마이크로웨이브 건조기
310 : 연결배관
400 : 슬로핑 컨베어
500 : 임시저장조
510 : 압출기
600 : 유증기 배출구

Claims (8)

  1. 실리콘 슬러지를 재활용하기 위한 장치로서,
    액상과 고상이 혼합된 실리콘 슬러지를 원심분리를 통해 고상슬러지와 액상슬러지를 분리하도록 하는 고액분리기;
    분리된 상기 고상슬러지를 투입하여 목표함수량 20 ~ 25% 까지 도달되도록 감량하도록 하는 감량기;
    상기 감량기를 이용하여 얻어지는 1차감량슬러지를 마이크로웨이브를 이용하여 고속 건조함으로써 최종함수율 1 ~ 5%까지 건조하도록 하는 마이크로웨이브 건조기;를 포함하고,
    상기 감량기는,
    내부에 빈 공간이 형성되는 챔버;
    상기 챔버의 하단 중심부로부터 직립되게 설치되어 회전 동작하면서 고상슬러지를 상승되게 하는 스크류;
    상기 스크류의 외측을 감싸도록 직립되게 설치되고 하단과 상단이 개구되어 있어 상기 고상슬러지가 상기 스크류의 회전 동작에 의해 상승될 수 있도록 유도하는 스크류케이싱;
    상기 스크류의 하단에 연결되어 회전되면서 상기 고상슬러지를 교반시켜주는 교반날개;
    상기 챔버 내부에 다단을 이루면서 설치되어 외기를 공급하게 되는 외기분사노즐;을 포함하며,
    상기 외기분사노즐은,
    상기 챔버의 내벽과 상기 스크류케이싱 외면 사이 공간상에 상하 다단으로 배치되는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 하부에는 감량이 이루어진 1차감량슬러지를 배출할 수 있도록 개폐되는 배출도어가 마련되며,
    상기 배출도어에 인접하여 마련되며, 배출되는 상기 1차감량슬러지를 상향이송시켜서 상기 마이크로웨이브 건조기로 공급될 수 있도록 하는 슬로핑 컨베어가 구비되는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 SIC 리사이클 장치는,
    상기 감량기와 상기 마이크로웨이브 건조기 사이에 임시저장조가 구비되며, 상기 슬로핑 컨베어에 의해 이송되는 상기 1차감량슬러지는 상기 임시저장조에 저장된 후 상기 마이크로웨이브 건조기로 공급되는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 임시저장조의 출구단에는 상기 1차감량슬러지를 일정한 두께로 압출하여 배출하는 압출기가 구비되는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
  7. 제 1 항, 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 감량기의 챔버 상부에는 유증기 배출구가 마련되며, 상기 유증기 배출구를 통해 배출되는 유증기는 정화처리되어 대기로 방출되도록 하고,
    상기 마이크로웨이브 건조기로부터 배출되는 유증기는 상기 챔버와 연결되는 연결배관을 통해 배출되어 상기 챔버 내부로 유입된 후 상기 유증기 배출구로 최종 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
  8. 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 슬로핑 컨베어는,
    하방에서 상방을 향해 외기를 강제공급하는 송풍팬이 마련되어 상기 슬로핑 컨베어에 의해 이송되는 상기 1차감량슬러지로 외기가 공급되게 하여 이송중에 건조가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 SIC 리사이클 장치.
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