KR101874046B1 - 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크 - Google Patents

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Abstract

표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 액정층을 포함한다. 하부 기판은 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인, 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인, 게이트 라인 및 데이터 라인에 인접하게 형성된 화소 전극, 및 화소 전극 상에 형성된 제1 배향막을 포함한다. 상부 기판은 하부 기판과 마주하고, 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극 및 공통 전극 상에 형성된 제2 배향막을 포함한다. 액정층은 하부 기판 및 상부 기판 사이에 개재되어 액정을 포함하고, 제1 배향막 및 제2 배향막의 배향에 의해 기울어진 액정의 기울기에 따라 매트릭스 형태를 가진 복수의 도메인들, 제2 방향으로 서로 인접하는 도메인들의 경계에 제1 방향으로 형성되어 액정의 기울기가 도메인들에 비해 완만한 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역, 및 제1 방향으로 서로 인접한 도메인들의 경계에 제2 방향으로 형성되어 액정의 기울기가 도메인들에 비해 완만하고 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 비해 넓은 폭을 가진 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역으로 이루어진다. 따라서, 표시 장치의 품질이 향상될 수 있다.

Description

표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크{DISPLAY PANEL, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND ALIGNMENT MASK FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정을 가진 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 액정 표시 장치가 영상을 표시하기 위해서 상기 액정층에 포함된 액정의 배향이 제어된다. 따라서, 상기 각각의 하부 기판 및 상기 상부 기판에는 배향막이 형성된다.
최근에는 상기 배향막에 편향된 자외선을 조사하여 상기 액정의 배향을 제어하는 광 배향 기술이 개발되고 있다. 상기 배향막에 편향된 자외선을 조사하면 상기 배향막의 광 반응기가 선경사각(pre-tilt)을 형성한다.
하지만, 상기 광 반응기는 양극성(dipole)을 가지고, 상기 배향막은 직류(DC) 성분을 축적하는 특성을 가진다. 따라서, 상기 배향막의 선경사각을 높게 형성시키면 상기 배향막에 포함된 잔류성 직류(DC) 성분에 의해 표시 장치에 블랙 잔상이 나타나는 문제점이 있다.
또한, 표시 장치에서는 상하 방향의 측면 시인성에 비해 좌우 방향의 측면 시인성이 더 중요하고, 따라서, 좌우 방향의 측면 시인성을 개선하기 위한 기술이 요구된다.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 표시 장치의 품질을 향상시키는 표시 패널을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 표시 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 표시 패널을 제조하는 배향 마스크를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 액정층을 포함한다. 상기 하부 기판은 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인, 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인에 인접하게 형성된 화소 전극, 및 상기 화소 전극 상에 형성된 제1 배향막을 포함한다. 상기 상부 기판은 상기 하부 기판과 마주하고, 상기 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극 및 상기 공통 전극 상에 형성된 제2 배향막을 포함한다. 상기 액정층은 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이에 개재되어 액정을 포함하고, 상기 제1 배향막 및 상기 제2 배향막의 배향에 의해 기울어진 액정의 기울기에 따라 매트릭스 형태를 가진 복수의 도메인들, 상기 제2 방향으로 서로 인접한 상기 도메인들의 경계에 상기 제1 방향으로 형성되어 상기 액정의 기울기가 상기 도메인들에 비해 완만한 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역, 및 상기 제1 방향으로 서로 인접한 상기 도메인들의 경계에 상기 제2 방향으로 형성되어 상기 액정의 기울기가 상기 도메인들에 비해 완만하고 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 비해 넓은 폭을 가진 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 배향막은 상기 제1 방향으로 선경사각을 가지고, 상기 제2 배향막은 상기 제2 방향으로 선경사각을 가지며, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 제1 배향막의 선경사각에 비해 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 도메인에서 상기 제1 배향막의 선경사각과 상기 제2 배향막의 선경사각은 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 액정은 상기 도메인에서 상기 화소 전극의 상면을 기준으로 45도의 각도를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 액정은 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 화소 전극의 상면을 기준으로 45도 미만의 각도를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 액정층은 상기 화소 전극이 형성된 화소 영역에 배치된 상기 액정과 상기 화소 영역에 인접한 화소 영역에 배치된 액정으로 인해 텍스쳐가 형성되는 주변 전계 텍스쳐 영역을 더 포함하고, 상기 제1 배향막의 선경사각 및 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 주변 전계 텍스쳐 영역에서 더 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 배향막은 상기 제2 방향으로 선경사각을 가지고, 상기 제2 배향막은 상기 제1 방향으로 선경사각을 가지며, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 제2 배향막의 선경사각에 비해 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 작을 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 다른 실시예에 따른 표시 패널의 제조 방법에서, 제1 베이스 기판 상에, 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인이 형성되고, 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인에 인접하게 화소 전극이 형성되며, 상기 화소 전극 상에 제1 배향막이 형성되어 하부 기판이 형성된다. 제2 베이스 기판 상에, 상기 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극이 형성되고, 상기 공통 전극 상에 제2 배향막이 형성되어 상부 기판이 형성된다. 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이에 액정이 개재되고, 상기 제1 배향막 및 상기 제2 배향막의 배향에 의해 기울어진 액정의 기울기에 따라 매트릭스 형태를 가진 복수의 도메인들이 형성되며, 상기 제2 방향으로 서로 인접하는 상기 도메인들의 경계에 상기 액정의 기울기가 상기 도메인들에 비해 완만한 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역이 상기 제1 방향으로 형성되고, 상기 제1 방향으로 서로 인접하는 상기 도메인들의 경계에 상기 액정의 기울기가 상기 도메인들에 비해 완만하고 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 비해 넓은 폭을 가진 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역이 상기 제2 방향으로 형성되어 액정층이 형성된다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 영역을 가진 제1 마스크에 상기 제1 방향으로 광을 조사하여 상기 하부 기판이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진 제2 마스크에 상기 제2 방향으로 광을 조사하여 상기 상부 기판이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 영역을 가진 제1 마스크에 상기 제1 방향으로 광을 조사하여 상기 상부 기판이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진 제2 마스크에 상기 제2 방향으로 광을 조사하여 상기 하부 기판이 형성될 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 또 다른 실시예에 따른 배향 마스크는 제1 마스크 및 제2 마스크를 포함한다. 상기 제1 마스크는 표시 패널의 하부 기판 및 상부 기판 사이에 개재된 액정을 배향하고, 화소 영역을 상기 액정의 기울기에 따라 복수의 도메인으로 나누고 상기 도메인의 경계에서 상기 액정의 기울기가 상기 도메인에 비해 완만한 도메인 경계 텍스쳐 중에서 게이트 라인이 연장되는 제1 방향과 평행한 가로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 영역을 가진다. 상기 제2 마스크는 상기 액정을 배향하고, 상기 도메인 경계 텍스쳐 중에서 상기 제1 방향과 수직하고 데이터 라인이 연장되는 제2 방향과 평행한 세로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제1 마스크는 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 100% 개방되고, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 비율이 상기 도메인에 대응하여 개방된 비율보다 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 일부에 대응하여 100% 개방될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 표시 패널은 상기 화소 영역에 배치된 상기 액정과 상기 화소 영역에 인접한 화소 영역에 배치된 액정으로 인해 텍스쳐가 형성되는 주변 전계 텍스쳐 영역을 포함하고, 상기 제1 마스크 및 상기 제2 마스크는 상기 주변 전계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방될 수 있다.
이와 같은 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크에 따르면, 게이트 라인과 평행한 좌우 방향으로 액정의 기울기가 완만한 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 폭을 넓힘으로써 표시 장치의 측면 시인성을 개선할 수 있고, 데이터 라인과 평행한 상하 방향으로 액정의 기울기가 완만한 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 폭을 줄임으로써 표시 장치의 블랙 잔상을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 품질이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1의 II-II'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널을 제조하는 배향 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 5a 내지 도 5e는 도 4에 도시된 배향 마스크를 이용하여 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배향 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 7a 내지 도 7e는 도 6에 도시된 배향 마스크를 이용하여 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
실시예 1
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이고, 도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 3은 도 1의 II-II'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 다른 표시 패널(100)은 하부 기판(200), 상부 기판(300) 및 액정층(400)을 포함한다.
상기 하부 기판(200)에는 좌우 방향인 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인(GL) 및 상기 제1 방향과 수직한 상하 방향인 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인(DL)이 형성된다. 상기 게이트 라인(GL)은 상기 상하 방향을 따라 이격되어 복수 개 형성되고 상기 데이터 라인(DL)은 상기 좌우 방향을 따라 이격되어 복수 개 형성된다.
상기 각각의 게이트 라인들(GL) 및 각각의 데이터 라인들(DL)과 연결되어 박막 트랜지스터(230)가형성되고, 상기 각각의 게이트 라인들(GL) 및 상기 각각의 데이터 라인들(DL)에 인접하게 화소 영역이 형성되고, 상기 화소 영역에는 상기 박막 트랜지스터(230)에 전기적으로 연결되는 화소 전극(260)이 형성된다. 예를 들면, 상기 화소 영역은 상기 각각의 게이트 라인들(GL) 및 상기 각각의 데이터 라인들(DL)에 의해 정의될 수 있다.
구체적으로, 상기 하부 기판(200)은 제1 베이스 기판(202), 상기 제1 베이스 기판(202) 상에 배치된 상기 게이트 라인들(GL), 상기 데이터 라인들(DL) 및 상기 박막 트랜지스터(230), 상기 박막 트랜지스터(230) 상에 형성된 유기 절연막(240), 상기 유기 절연막(240) 상에 형성되고 상기 유기 절연막(240)에 형성된 콘택홀(250)을 통해 상기 박막 트랜지스터(230)의 드레인 전극(214)과 전기적으로 연결되는 화소 전극(260), 및 상기 화소 전극(260) 상에 형성되어 상기 액정층(400)의 액정을 배향하기 위한 제1 배향막(270)을 포함한다. 상기 제1 배향막(270)은 제1 배향층(272) 및 상기 제1 배향층(272) 상에 배치되어 외부로부터 입사되는 광에 의해 선경사각을 형성하는 제1 광 반응기(274)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 배향막(270)은 상기 게이트 라인(GL)과 평행한 상기 제1 방향으로 선경사각을 가질 수 있다.
상기 박막 트랜지스터(230)는 상기 제1 베이스 기판(202) 상에 형성되고 상기 게이트 라인(GL)으로부터 분기된 게이트 전극(204), 상기 게이트 전극(204) 상에 형성된 절연막(206), 상기 절연막(206) 상에 형성된 활성층(208), 상기 활성층(208) 상에 서로 이격되어 형성된 오믹 콘택층(210), 상기 오믹 콘택층(210) 상에 형성되고 상기 데이터 라인(DL)으로부터 분기된 소스 전극(212) 및 상기 오믹 콘택층(210) 상에 형성되고 상기 소스 전극(212)과 이격된 드레인 전극(214)을 포함한다.
상기 상부 기판(300)은 상기 하부 기판(200)의 상기 제1 베이스 기판(202)과 마주하는 제2 베이스 기판(310), 상기 제2 베이스 기판(310) 상에 형성된 블랙 매트릭스(320)와 컬러 필터(330), 상기 블랙 매트릭스(320)와 상기 컬러 필터(330) 상에 형성된 오버 코팅층(340), 상기 오버 코팅층(340) 상에 형성되어 상기 화소 전극(260)과 전계를 형성하는 공통 전극(350), 및 상기 공통 전극(350) 상에 형성되어 상기 액정층(400)의 액정을 배향하기 위한 제2 배향막(360)을 포함한다. 상기 제2 배향막(360)은 제2 배향층(362) 및 상기 제2 배향층(362) 상에 배치되어 외부로부터 입사되는 광에 의해 선경사각을 형성하는 제2 광 반응기(364)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 배향막(360)은 상기 데이터 라인(DL)과 평행한 상기 제2 방향으로 선경사각을 가질 수 있다.
상기 액정층(400)은 상기 하부 기판(200) 및 상기 상부 기판(300) 사이에 형성되어 액정을 포함하고, 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인(DL)에 인접하게 배치되고 상기 화소 전극(260)이 형성된 화소 영역에서 상기 액정의 기울기에 따라 복수의 도메인들로 이루어진다. 예를 들면, 도 1에서 블록 화살표를 통해 액정이 기울어진 방향을 도시한 바와 같이, 상기 액정층(400)은 평면상 상기 액정이 좌상 방향으로 기울어진 제1 도메인(100a), 상기 액정이 좌하 방향으로 기울어진 제2 도메인(100b), 상기 액정이 우하 방향으로 기울어진 제3 도메인(100c) 및 상기 액정이 우상 방향으로 기울어진 제4 도메인(100d)으로 이루어질 수 있다. 상기 제1 내지 제4 도메인들(100a, 100b, 100c, 100d)에 대응하여 배치된 상기 제1 배향막(270) 및 상기 제2 배향막(360)의 선경사각은 동일하고, 이에 따라, 상기 제1 배향막(270)에 형성된 선경사각 및 상기 제2 배향막(360)에 형성된 선경사각의 벡터 방향에 의해 상기 제1 내지 제4 도메인(100a, 100b, 100c, 100d)에 배치된 상기 액정은 상기 화소 전극(260)의 상면을 기준으로 45도의 각도를 가진다.
또한, 상기 액정층(400)에는 상기 제1 내지 제4 도메인들(100a, 100b, 100c, 100d)의 경계에 형성되고, 상기 제1 내지 제4 도메인들(100a, 100b, 100c, 100d)에 형성된 액정에 비해 완만한 기울기의 액정이 배치된 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)이 형성된다. 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 배치된 상기 액정은 상기 화소 전극(260)의 상면을 기준으로 45도 미만의 각도를 가진다.
상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)은 상기 화소 영역에서 우상 방향에 배치된 상기 제1 도메인(100a)과 우하 방향에 배치된 상기 제4 도메인(100d)의 경계, 및 상기 화소 영역에서 좌상 방향에 배치된 상기 제2 도메인(100b)과 좌하 방향에 배치된 상기 제3 도메인(100c)의 경계에 형성된다. 즉, 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)은 상기 제2 방향인 상하 방향으로 서로 인접한 도메인들의 경계에 상기 제1 방향인 좌우 방향으로 형성된다.
상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)은 상기 화소 영역에서 우상 방향에 배치된 상기 제1 도메인(100a)과 좌상 방향에 배치된 상기 제2 도메인(100b)의 경계, 및 상기 화소 영역에서 좌하 방향에 배치된 상기 제3 도메인(100c)과 우하 방향에 배치된 상기 제4 도메인(100d)의 경계에 형성된다. 즉, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)은 상기 제1 방향인 좌우 방향으로 서로 인접한 도메인들의 경계에 상기 제2 방향인 좌우 방향으로 형성된다. 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)의 폭은 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)의 폭보다 넓다. 따라서, 좌우 방향으로 45도 미만의 기울기를 가지는 액정이 상하 방향으로 45도 미만의 기울기를 가지는 액정에 비해 더욱 넓게 배치된다.
상기 액정층(400)은 상기 화소 영역에 배치된 액정과 상기 화소 영역에 인접한 화소 영역에 배치된 액정으로 인해 텍스쳐가 형성되는 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)을 더 포함할 수 있다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널(100)을 제조하는 배향 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 배향 마스크는 제1 마스크(510), 제2 마스크(520), 제3 마스크(530) 및 제4 마스크(540)를 포함한다. 상기 제1 마스크(510)는 왼쪽에서 오른쪽 방향으로 상기 하부 기판(200)을 스캐닝함으로써 상기 하부 기판(200)에 광을 조사하고 상기 제3 마스크(530)는 오른쪽에서 왼쪽 방향으로 상기 하부 기판(200)을 스캐닝함으로써 상기 하부 기판(200)에 광을 조사하여 상기 하부 기판(200)에 형성된 상기 제1 배향막(270)에 선경사각을 형성한다. 상기 제2 마스크(520)는 위쪽에서 아래쪽 방향으로 상기 상부 기판(300)을 스캐닝함으로써 상기 상부 기판(300)에 광을 조사하고 상기 제4 마스크(540)는 아래쪽에서 위쪽 방향으로 상기 상부 기판(300)을 스캐닝함으로써 상기 상부 기판(300)에 광을 조사하여 상기 상부 기판(300)에 형성된 상기 제2 배향막(360)에 선경사각을 형성한다. 예를 들면, 상기 제1 내지 제4 마스크들(510, 520, 530, 540)에 조사되는 상기 광은 자외선일 수 있다.
상기 제1 마스크(510) 및 상기 제2 마스크(520)를 이용하여 상기 제1 도메인(100a), 상기 제1 도메인(100a)과 인접한 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 선경사각을 형성하고, 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제4 마스크(540)를 이용하여 상기 제2 도메인(100b), 상기 제2 도메인(100b)과 인접한 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 선경사각을 형성하며, 상기 제3 마스크(530) 및 상기 제4 마스크(540)를 이용하여 상기 제3 도메인(100c), 상기 제3 도메인(100c)과 인접한 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 선경사각을 형성하며, 상기 제3 마스크(530) 및 상기 제2 마스크(520)를 이용하여 상기 제4 도메인(100d), 상기 제4 도메인(100d)과 인접한 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 선경사각을 형성한다.
상기 제1 마스크(510)는 차단 영역(512) 및 개방 영역(514)을 포함한다. 상기 차단 영역(512)은 상기 제1 마스크(510)에 의해 선경사각이 형성되지 않는 상기 제3 도메인(100c) 및 상기 제4 도메인(100d)에 대응하여 형성된다. 예를 들면, 상기 차단 영역(512)은 크롬(Cr) 물질을 포함할 수 있다.
상기 개방 영역(514)은 제1 영역(4), 제2 영역(5) 및 제3 영역(6)을 포함한다. 상기 제1 영역(4)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에 대응하여 형성된다. 즉, 상기 제1 영역(4)은 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 대응하여 형성된다. 상기 제1 영역(4)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에 대응하여 개방된다. 상기 제3 영역(6)은 상기 제1 도메인(100a)에 대응하고 개방 비율에 비해 차단 비율이 높다. 상기 제2 영역(5)은 상기 제1 영역(4) 및 상기 제3 영역(6) 사이에 배치되고 상기 제1 영역(4)의 개방 비율 및 상기 제3 영역(6)의 개방 비율 사이의 개방 비율을 가진다.
상기 제2 마스크(520)는 차단 영역(522) 및 개방 영역(524)을 포함한다. 상기 차단 영역(522)은 상기 제2 마스크(510)에 의해 선경사각이 형성되지 않는 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 제3 도메인(100c)에 대응하여 형성된다. 예를 들면, 상기 차단 영역(522)은 크롬(Cr) 물질을 포함할 수 있다.
상기 개방 영역(524)은 제1 영역(1), 제2 영역(2) 및 제3 영역(3)을 포함한다. 상기 제1 영역(1)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에 대응하여 형성된다. 즉, 상기 제1 영역(1)은 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 대응하고 개방 비율에 비해 차단 비율이 높다. 상기 제3 영역(3)은 상기 제1 도메인(100a)에 대응하여 개방된다. 상기 제2 영역(2)은 상기 제1 영역(1) 및 상기 제3 영역(3) 사이에 배치되고 상기 제1 영역(1)의 개방 비율 및 상기 제3 영역(3)의 개방 비율 사이의 개방 비율을 가진다.
상기 제1 도메인(100a)에 대응하여 상기 제1 마스크(510)를 통해 상기 하부 기판(200)에 조사되는 광의 양과 상기 제2 마스크(520)를 통해 상기 상부 기판(300)에 조사되는 광의 양은 서로 동일하다. 상기 제2 마스크(520)에 포함된 상기 제3 영역(3)의 개방비보다 상기 제1 마스크(510)에 포함된 상기 제3 영역(6)의 개방비가 작으므로, 상기 제1 마스크(510)에 포함된 상기 제3 영역(6)의 개방비가 상기 제2 마스크(520)에 포함된 상기 제3 영역(3)의 개방비보다 작은 비율을 기초로 하여, 상기 제1 마스크(510)의 상기 제3 영역(6)으로 조사되는 광의 속도는 상기 제2 마스크(520)의 상기 제3 영역(3)으로 조사되는 광의 속도에 비해 빠르다.
예를 들면, 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제2 마스크(520)의 마스크 개방비, 노광량, 폭, 및 상기 제1 마스크(510)와 상기 제2 마스크(520)가 일으키는 선경사각은 <표 1>과 같을 수 있다.
<표 1>
Figure 112011065773341-pat00001
구체적으로 설명하면, 상기 제2 마스크(520)에서 상기 제1 영역(1)의 마스크 개방비는 30%이고, 노광량은 1.8mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 6.5μm이고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이인 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에서 상기 제2 배향막(360)에 0.7도 이하의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(520)에서 상기 제3 영역(3)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 6mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 상기 화소 영역의 반폭에서 상기 제1 영역(1)의 폭과 상기 제2 영역(2)의 폭을 뺀 폭을 가지고, 상기 제1 도메인(100a)에서 상기 제2 배향막(360)에 1.2도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(520)에서 상기 제2 영역(2)의 마스크 개방비는 상기 제1 영역(1)의 개방비 및 상기 제3 영역(3)의 개방비 사이의 개방비를 가진다. 즉, 상기 제2 영역(2)의 개방비는 30% 내지 100%일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(2)의 개방비는 60%일 수 있다. 상기 제2 영역(2)의 노광량은 상기 제1 영역(1)의 노광량 및 상기 제3 영역(3)의 노광량 사이의 노광량을 가진다. 즉, 상기 제2 영역(2)의 노광량은 1.8mJ 내지 6mJ일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(2)의 노광량은 4mJ일 수 있다. 상기 제2 영역(2)의 폭은 6.5μm일 수 있다. 상기 제2 영역(2)은 상기 제2 영역(2)에 대응하는 상기 제2 배향막(360)에 상기 제1 영역(1)이 형성하는 선경사각 및 상기 제3 영역(3)이 형성하는 선경사각 사이의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(510)에서 상기 제1 영역(4)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 20mJ이며, 상하 방향으로의 폭은 6.5μm이고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이인 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에서 상기 제1 배향막(270)에 2.0도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(510)에서 상기 제3 영역(6)의 마스크 개방비는 30%이고, 노광량은 6mJ이며, 상하 방향으로의 폭은 상기 화소 영역의 반폭에서 상기 제1 영역(4)의 폭과 상기 제2 영역(5)의 폭을 뺀 폭을 가지고, 상기 제1 도메인(100a)에서 상기 제1 배향막(270)에 1.2도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(510)에서 상기 제2 영역(5)의 마스크 개방비는 상기 제1 영역(4)의 개방비 및 상기 제3 영역(6)의 개방비 사이의 개방비를 가진다. 즉, 상기 제2 영역(5)의 개방비는 30% 내지 100%일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(5)의 개방비는 60%일 수 있다. 상기 제2 영역(5)의 노광량은 상기 제1 영역(4)의 노광량 및 상기 제3 영역(6)의 노광량 사이의 노광량을 가진다. 즉, 상기 제2 영역(5)의 노광량은 6mJ 내지 20mJ일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(5)의 노광량은 14mJ일 수 있다. 상기 제2 영역(5)의 폭은 6.5μm일 수 있다. 상기 제2 영역(5)은 상기 제2 영역(5)에 대응하는 상기 제1 배향막(270)에 상기 제1 영역(4)이 형성하는 선경사각 및 상기 제3 영역(6)이 형성하는 선경사각 사이의 선경사각을 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 영역(5)은 상기 제1 배향막(270)에 1.6도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(520)에 포함된 상기 제3 영역(3)의 개방비가 상기 제1 마스크(510)에 포함된 상기 제3 영역(6)의 개방비에 비해 10/3배 크므로, 상기 제1 마스크(510)의 상기 제3 영역(6)에는 상기 제2 마스크(520)의 상기 제3 영역(3)에 비해 10/3배 빠른 속도로 광이 조사될 수 있다.
상기 제1 마스크(510) 및 상기 제2 마스크(520)는 상기 제1 도메인(100a)에 대응하여 배치된 상기 제1 배향막(270) 및 상기 제2 배향막(360)에 동일한 선경사각을 형성한다. 따라서, 상기 제1 도메인(100a)에 배치된 상기 액정층(400)의 액정은 상기 화소 전극(260)의 상면을 기준으로 45도의 경사각을 가진다.
상기 제2 마스크(520)가 상기 상부 기판(300)에 조사되는 노광량을 상기 제1 도메인(100a)에서보다 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 적게 제어한다. 또한, 상기 제2 배향막(360)의 선경사각을 상기 제1 도메인(100a)에서보다 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 작게 형성한다. 또한, 상기 제1 마스크(510)에 의한 상기 제1 배향막(270)의 선경사각에 비해 상기 제2 마스크(520)에 의한 상기 제2 배향막(360)의 선경사각이 작다. 따라서, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)의 폭을 넓힐 수 있다.
상기 제1 마스크(510)가 상기 하부 기판(200)에 조사되는 노광량을 상기 제1 도메인(100a)에서보다 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에서많게 제어한다. 또한, 상기 제1 마스크(510)가 상기 제1 배향막(270)의 선경사각을 상기 제1 도메인(100a)에서보다 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에서 크게 형성한다. 따라서, 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)의 폭을 감소시킬 수 있다.
상기 제1 마스크(510) 및 상기 제4 마스크(540)를 이용하여 선경사각을 형성하는 방식, 상기 제3 마스크(530) 및 상기 제4 마스크(540)를 이용하여 선경사각을 형성하는 방식, 및 상기 제3 마스크(530) 및 상기 제2 마스크(520)를 이용하여 선경사각을 형성하는 방식은 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제2 마스크(520)를 이용하여 선경사각을 형성하는 방식과 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.
도 5a 내지 도 5e는 도 4에 도시된 배향 마스크를 이용하여 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널(100)의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 5a를 참조하면, 상기 제1 베이스 기판(202) 상에 상기 게이트 라인들(GL), 상기 데이터 라인들(DL) 및 상기 박막 트랜지스터(230)를 형성하고, 상기 박막 트랜지스터(230) 상에 상기 유기 절연막(240)을 형성하며, 상기 유기 절연막(240) 상에 상기 콘택홀(250)을 통해 상기 박막 트랜지스터(230)의 드레인 전극(214)과 전기적으로 연결되는 상기 화소 전극(260)을 형성하고, 상기 화소 전극(260) 상에 상기 제1 배향층(272)을 형성한다.
도 5b를 참조하면, 상기 제1 마스크(510)를 통해 상기 제1 도메인(100a), 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 상기 좌우 방향인 제1 방향으로 광을 조사하여 상기 제1 배향층(272) 상의 상기 제1 광 반응기(274)에 선경사각을 형성한다. 상기 제1 마스크(510)는 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 대응하여 100% 개방된 상기 제1 영역(4)을 가지고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b)에 대응하여 개방 비율보다 차단 비율이 큰 상기 제3 영역(6)을 가진다.
또한, 도시되지는 않았으나, 상기 제3 마스크(530)를 통해 상기 제3 도메인(100c), 상기 제4 도메인(100d) 및 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 광을 조사하여 상기 제1 배향층(272) 상의 상기 제1 광 반응기(274)에 선경사각을 형성한다.
도 5c를 참조하면, 상기 제2 베이스 기판(310) 상에 상기 블랙 매트릭스(320) 및 상기 컬러 필터(330)를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스(320)와 상기 컬러 필터(330) 상에 오버 코팅층(340)을 형성하며, 상기 오버 코팅층(340) 상에 상기 공통 전극(350)을 형성하고, 상기 공통 전극(350) 상에 상기 제2 배향층(362)을 형성한다.
도 5d를 참조하면, 상기 제2 마스크(520)를 통해 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 상기 상하 방향인 제2 방향으로 광을 조사하여 상기 제2 배향층(362) 상의 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각을 형성한다. 상기 제2 마스크(520)는 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에 대응하여 개방 비율에 비해 차단 비율이 높은 상기 제1 영역(1)을 가지고, 상기 제1 도메인(100a)에 대응하여 100% 개방된 상기 제3 영역(3)을 가진다. 따라서, 상기 제2 배향막(360)의 선경사각은 상기 제1 도메인(100a)에서보다 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에서 더 작다.
상기 제2 마스크(520)와 동일한 방식으로, 상기 제4 마스크(540)를 통해 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 광을 조사하여 상기 제2 배향층(362) 상의 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각을 형성한다.
또한, 도시되지는 않았으나, 상기 제2 마스크(520) 및 상기 제4 마스크(540)를 통해 상기 제3 도메인(100c) 및 상기 제4 도메인(100d)에 광을 조사하여 상기 제2 배향층(362) 상의 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각을 형성한다.
도 5e를 참조하면, 상기 제1 광 반응기(274)에 선경사각이 형성된 상기 하부 기판(200) 및 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각이 형성된 상기 상부 기판(300)을 합착하고, 상기 하부 기판(200) 및 상기 상부 기판(300) 사이에 상기 액정층(400)을 개재하여 상기 액정층(400)의 액정을 배향한다. 구체적으로, 상기 액정의 배향 기울기에 따라 매트릭스 형태를 가진 도메인들(100a, 100b, 100c, 100d)을 형성하고, 상기 제2 방향인 상하 방향으로 서로 인접하는 도메인들의 경계에 상기 제1 방향인 좌우 방향으로 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)을 형성하며, 상기 제1 방향인 좌우 방향으로 서로 인접하는 도메인들의 경계에 상기 제2 방향인 상하 방향으로 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)을 형성한다.
본 실시예에서는, 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제3 마스크(530)가 상기 하부 기판(200)을 좌우 방향으로 스캐닝하고, 상기 제2 마스크(520) 및 상기 제4 마스크(540)가 상기 상부 기판(300)을 상하 방향으로 스캐닝하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정하지 아니하고, 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제3 마스크(530)가 상기 상부 기판(300)을 좌우 방향으로 스캐닝하여 광을 조사하고, 상기 제2 마스크(520) 및 상기 제4 마스크(540)가 상기 하부 기판(200)을 상하 방향으로 스캐닝하여 광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 배향막(270)은 상기 데이터 라인(DL)과 평행하며 상하 방향인 상기 제2 방향으로 선경사각을 가지고, 상기 제2 배향막(360)은 상기 게이트 라인(GL)과 평행하며 좌우 방향인 상기 제1 방향으로 선경사각을 가질 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 상부 기판(300)을 상하 방향으로 스캐닝하는 상기 제2 마스크(520) 및 상기 제4 마스크(540)는 상기 액정의 기울기가 상기 제1 내지 제4 도메인(100a, 100b, 100c, 100d)에서보다 완만한 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)의 폭을 넓힐 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 측면 시인성이 개선될 수 있다.
또한, 상기 하부 기판(200)을 좌우 방향으로 스캐닝하는 상기 제1 마스크(510) 및 상기 제3 마스크(530)가 좌우 방향으로 연장하여 상기 제1 내지 제4 도메인(100a, 100b, 100c, 100d)의 경계에 배치된 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)의 폭을 감소시킨다. 이에 따라, 상기 표시 패널(100)을 포함한 표시 장치의 휘도가 개선되고 블랙 잔상이 감소될 수 있다.
또한, 상기 제1 내지 제4 마스크(510, 520, 530, 540)가 상기 제1 내지 제4 도메인(100a, 100b, 100c, 100d)에 대응하여 상기 제1 배향막(270)과 상기 제2 배향막(360)에 동일한 선경사각을 형성하므로, 상기 액정층(400)의 액정이 상기 화소 전극(260)의 상면을 기준으로 45도 기울어진다. 따라서, 상기 표시 패널(100)을 포함한 표시 장치의 투과율이 개선될 수 있다.
실시예 2
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배향 마스크를 나타내는 평면도이다.
본 실시예에 따른 배향 마스크는 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널(100)을 제조하는데 이용될 수 있다. 따라서, 도 1 내지 도 3과 동일한 부재는 동일한 참조 부호로 나타내고, 중복되는 상세한 설명은 생략될 수 있다.
도 1 내지 도 3 및 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 배향 마스크는 제1 마스크(610), 제2 마스크(620), 제3 마스크(630) 및 제4 마스크(640)를 포함한다. 상기 제1 마스크(610)는 왼쪽에서 오른쪽 방향으로 상기 하부 기판(200)을 스캐닝함으로써 상기 하부 기판(200)에 광을 조사하고 상기 제3 마스크(630)는 오른쪽에서 왼쪽 방향으로 상기 하부 기판(200)을 스캐닝함으로써 상기 하부 기판(200)에 광을 조사하여 상기 하부 기판(200)에 형성된 상기 제1 배향막(270)에 선경사각을 형성한다. 상기 제2 마스크(620)는 위쪽에서 아래쪽 방향으로 상기 상부 기판(300)을 스캐닝함으로써 상기 상부 기판(300)에 광을 조사하고 상기 제4 마스크(640)는 아래쪽에서 위쪽 방향으로 상기 상부 기판(300)을 스캐닝함으로써 상기 상부 기판(300)에 광을 조사하여 상기 상부 기판(300)에 형성된 상기 제2 배향막(360)에 선경사각을 형성한다. 예를 들면, 상기 제1 내지 제4 마스크들(610, 620, 630, 640)에 조사되는 상기 광은 자외선일 수 있다.
상기 제1 마스크(610)는 차단 영역(612) 및 개방 영역(614)을 포함한다. 상기 차단 영역(612)은 상기 제1 마스크(610)에 의해 선경사각이 형성되지 않는 상기 제3 도메인(100c) 및 상기 제4 도메인(100d)에 대응하여 형성된다. 예를 들면, 상기 차단 영역(612)은 크롬(Cr) 물질을 포함할 수 있다.
상기 개방 영역(614)은 제1 영역(16), 제2 영역(17), 제3 영역(18), 제4 영역(19) 및 제5 영역(20)을 포함한다. 상기 제1 영역(16)은상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에 대응하여 형성된다. 즉, 상기 제1 영역(16)은 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 대응하여 형성된다. 상기 제1 영역(16)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이에 대응하여 개방된다. 상기 제3 영역(18)은상기 제1 도메인(100a)에 대응하고 개방 비율에 비해 차단 비율이 높다. 상기 제5 영역(20)은 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 형성되고, 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 개방된다. 상기 제2 영역(17)은 상기 제1 영역(16) 및 상기 제3 영역(18) 사이에 배치되고 상기 제1 영역(16)의 개방 비율 및 상기 제3 영역(18)의 개방 비율 사이의 개방 비율을 가진다. 상기 제4 영역(19)은 상기 제3 영역(18) 및 상기 제5 영역(20) 사이에 배치되고 상기 제3 영역(18)의 개방 비율 및 상기 제5 영역(20)의 개방 비율 사이의 개방 비율을 가진다.
상기 제2 마스크(620)는 차단 영역(622) 및 개방 영역(624)을 포함한다. 상기 차단 영역(622)은 상기 제2 마스크(610)에 의해 선경사각이 형성되지 않는 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 제3 도메인(100c)에 대응하여 형성된다. 예를 들면, 상기 차단 영역(622)은 크롬(Cr) 물질을 포함할 수 있다.
상기 개방 영역(624)은 제1 영역(11), 제2 영역(12), 제3 영역(13), 제4 영역(14) 및 제5 영역(15)을 포함한다. 상기 제1 영역(11)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 상기 제2 도메인(100b)에 인접한 영역에 대응하여 형성된다. 즉, 상기 제1 영역(11)은 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에서 상기 제2 도메인(100b)에 인접한 영역에 대응하고 100% 개방된다. 상기 제2 영역(2)은 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 상기 제1 도메인(100a)에 인접한 영역에 대응하여 형성된다. 즉, 상기 제2 영역(12)은 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에서 상기 제1 도메인(100a)에 인접한 영역에 대응하고 개방 비율보다 차단 비율이 높다. 상기 제3 영역(13)은 상기 제1 도메인(100a)에 대응하여 형성되고 개방 비율보다 차단 비율이 높다. 상기 제5 영역(15)은 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 형성되고, 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 개방된다. 상기 제4 영역(14)은 상기 제3 영역(13) 및 상기 제5 영역(15) 사이에 배치되고 상기 제3 영역(13)의 개방 비율 및 상기 제5 영역(20)의 개방 비율 사이의 개방 비율을 가진다.
예를 들면, 상기 제1 마스크(610) 및 상기 제2 마스크(620)의 마스크 개방비, 노광량, 폭, 및 상기 제1 마스크(610)와 상기 제2 마스크(620)가 일으키는 선경사각은 <표 2>와 같을 수 있다.
구체적으로 설명하면, 상기 제2 마스크(620)에서 상기 제1 영역(11)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 20mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 6.5μm이고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 상기 제2 도메인(100b)에 인접한 영역에서 상기 제2 배향막(360)에 2.0도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(620)에서 상기 제2 영역(2)의 마스크 개방비는 9%이고, 노광량은 1.8mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 폭은 6.5μm이고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b) 사이에서 상기 제1 도메인(100a)에 인접한 영역에서 상기 제2 배향막(360)에 0.7도 이하의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(620)에서 상기 제3 영역(13)의 마스크 개방비는 30%이고, 노광량은 6mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 상기 화소 영역의 반폭에서 상기 제1 영역(11)의 폭과 상기 제2 영역(12)의 폭과 상기 제4 영역(14)의 폭과 상기 제5 영역(15)의 폭을 뺀 폭을 가지고, 상기 제1 도메인(100a)에서 상기 제2 배향막(360)에 1.2도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제2 마스크(620)에서 상기 제5 영역(15)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 20mJ이며, 좌우 방향으로의 폭은 6.0μm이고, 상기 제2 배향막(360)에 2.0도의 선경사각을 형성할 수 있다.
<표 2>
Figure 112011065773341-pat00002
상기 제2 마스크(620)에서 상기 제4 영역(14)의 마스크 개방비는 상기 제3 영역(13)의 개방비 및 상기 제5 영역(15)의 개방비 사이의 개방비를 가진다. 즉, 상기 제4 영역(14)의 개방비는 30% 내지 100%일 수 있고, 예를 들면, 상기 제4 영역(14)의 개방비는 60%일 수 있다. 상기 제4 영역(14)의 노광량은 상기 제3 영역(13)의 노광량 및 상기 제5 영역(15)의 노광량 사이의 노광량을 가진다. 즉, 상기 제4 영역(4)의 노광량은 6mJ 내지 20mJ일 수 있고, 예를 들면, 상기 제4 영역(14)의노광량은 14mJ일 수 있다. 상기 제4 영역(14)의 폭은 3.0μm일 수 있다. 상기 제4 영역(14)은 상기 제4 영역(14)에 대응하는 상기 제2 배향막(360)에 상기 제3 영역(13)이 형성하는 선경사각 및 상기 제5 영역(15)이 형성하는 선경사각 사이의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(610)에서 상기 제1 영역(16)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 20mJ이며, 상하 방향으로의 폭은 6.5μm이고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제4 도메인(100d) 사이인 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에서 상기 제1 배향막(270)에 2.0도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(610)에서 상기 제3 영역(18)의 마스크 개방비는 30%이고, 노광량은 6mJ이며, 상하 방향으로의 폭은 상기 화소 영역의 반폭에서 상기 제1 영역(16)의 폭과 상기 제2 영역(17)의 폭과 상기 제4 영역(19)의 폭과 상기 제5 영역(20)의 폭을 뺀 폭을 가지고, 상기 제1 도메인(100a)에서 상기 제1 배향막(270)에 1.2도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(610)에서 상기 제5 영역(20)의 마스크 개방비는 100%이고, 노광량은 20mJ이며, 상하 방향으로의 폭은 6.0μm이고, 상기 제1 배향막(270)에 2.0도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(610)에서 상기 제2 영역(17)의 마스크 개방비는 상기 제1 영역(16)의 개방비 및 상기 제3 영역(18)의 개방비 사이의 개방비를 가진다. 즉, 상기 제2 영역(17)의개방비는 30% 내지 100%일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(17)의 개방비는 60%일 수 있다. 상기 제2 영역(17)의노광량은 상기 제1 영역(16)의노광량 및 상기 제3 영역(18)의노광량 사이의 노광량을 가진다. 즉, 상기 제2 영역(17)의 노광량은 6mJ 내지 20mJ일 수 있고, 예를 들면, 상기 제2 영역(17)의 노광량은 14mJ일 수 있다. 상기 제2 영역(17)의 폭은 6.5μm일 수 있다. 상기 제2 영역(17)은 상기 제2 영역(17)에 대응하는 상기 제1 배향막(270)에 상기 제1 영역(16)이 형성하는 선경사각 및 상기 제3 영역(18)이 형성하는 선경사각 사이의 선경사각을 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 영역(17)은 상기 제1 배향막(270)에 1.6도의 선경사각을 형성할 수 있다.
상기 제1 마스크(610)에서 상기 제4 영역(19)의 마스크 개방비는 상기 제3 영역(18)의 개방비 및 상기 제5 영역(20)의 개방비 사이의 개방비를 가진다. 즉, 상기 제4 영역(19)의 개방비는 30% 내지 100%일 수 있고, 예를 들면, 상기 제4 영역(19)의 개방비는 60%일 수 있다. 상기 제4 영역(19)의 노광량은 상기 제3 영역(18)의 노광량 및 상기 제5 영역(20)의 노광량 사이의 노광량을 가진다. 즉, 상기 제4 영역(19)의 노광량은 6mJ 내지 20mJ일 수 있고, 예를 들면, 상기 제4 영역(19)의 노광량은 14mJ일 수 있다. 상기 제4 영역(19)의 폭은 3.0μm일 수 있다. 상기 제4 영역(19)은 상기 제4 영역(19)에 대응하는 상기 제1 배향막(270)에 상기 제3 영역(18)이 형성하는 선경사각 및 상기 제5 영역(20)이 형성하는 선경사각 사이의 선경사각을 형성할 수 있다.
도 7a 내지 도 7e는 도 6에 도시된 배향 마스크를 이용하여 도 1 내지 도 3에 도시된 표시 패널(100)의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 7a를 참조하면, 상기 제1 베이스 기판(202) 상에 상기 게이트 라인들(GL), 상기 데이터 라인들(DL) 및 상기 박막 트랜지스터(230)를 형성하고, 상기 박막 트랜지스터(230) 상에 상기 유기 절연막(240)을 형성하며, 상기 유기 절연막(240) 상에 상기 콘택홀(250)을 통해 상기 박막 트랜지스터(230)의 드레인 전극(214)과 전기적으로 연결되는 상기 화소 전극(260)을 형성하고, 상기 화소 전극(260) 상에 상기 제1 배향층(272)을 형성한다.
도 7b를 참조하면, 상기 제1 마스크(610)를 통해 상기 제1 도메인(100a), 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 광을 조사하여 상기 제1 배향층(272) 상의 상기 제1 광 반응기(274)에 선경사각을 형성한다. 상기 제1 마스크(610)는 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)에 대응하여 100% 개방된 상기 제1 영역(16)을 가지고, 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 제2 도메인(100b)에 대응하여 개방 비율보다 차단 비율이 큰 상기 제3 영역(18)을 가지며, 상기 제2 도메인(100b)의 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 100% 개방된 상기 제5 영역(20)을 가진다.
도 7c를 참조하면, 상기 제2 베이스 기판(310) 상에 상기 블랙 매트릭스(320) 및 상기 컬러 필터(330)를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스(320)와 상기 컬러 필터(330) 상에 오버 코팅층(340)을 형성하며, 상기 오버 코팅층(340) 상에 상기 공통 전극(350)을 형성하고, 상기 공통 전극(350) 상에 상기 제2 배향층(362)을 형성한다.
도 7d를 참조하면, 상기 제2 마스크(620)를 통해 상기 제1 도메인(100a) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 광을 조사하여 상기 제2 배향층(362) 상의 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각을 형성한다. 구체적으로, 상기 제2 마스크(620)는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)의 일부에 대응하여 100% 개방된 상기 제1 영역(11)을 가지고, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)의 다른 일부에 대응하여 개방 비율에 비해 차단 비율이 높은 상기 제2 영역(12)을 가진다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 제2 마스크(620)는 상기 제4 도메인(100d)의 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 100% 개방된 상기 제5 영역(15)을 가진다.
상기 제2 마스크(620)와 동일한 방식으로, 상기 제4 마스크(640)를 통해 상기 제2 도메인(100b) 및 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(LDBT)에 대응하여 광을 조사하여 상기 제2 배향층(362) 상의 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각을 형성한다. 상기 제4 마스크(640)는 상기 제2 도메인(100b)의 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 100% 개방된 상기 제5 영역(15)을 가진다.
도 7e를 참조하면, 상기 제1 광 반응기(274)에 선경사각이 형성된 상기 하부 기판(200) 및 상기 제2 광 반응기(364)에 선경사각이 형성된 상기 상부 기판(300)을 합착하고, 상기 하부 기판(200) 및 상기 상부 기판(300) 사이에 상기 액정층(400)을 개재하여 상기 액정층(400)의 액정을 배향한다.
본 실시예에 따르면, 상기 제2 마스크(620)가 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT)의 일부에 대응하여 100% 개방된 영역을 가진다. 또한, 상기 제1 마스크(610) 및 상기 제2 마스크(620)가 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에 대응하여 100% 개방된다. 따라서, 상기 제2 배향막(360)의 선경사각이 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역(WDBT) 및 상기 주변 전계 텍스쳐 영역(FFT)에서 상기 제1 도메인(100a)에서보다 크고, 이에 따라, 상기 표시 패널(100)을 포함한 표시 장치에 외압이 가해졌을 경우 액정이 원래 방향으로 복원되지 않음으로 인해 발생하는 두드림 불량 발생이 감소될 수 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 따른 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 제조하는 배향 마스크에 의하면, 게이트 라인과 평행한 좌우 방향으로 액정의 기울기가 완만한 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 폭을 넓힘으로써 표시 장치의 측면 시인성을 개선할 수 있고, 데이터 라인과 평행한 상하 방향으로 액정의 기울기가 완만한 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 폭을 줄임으로써 표시 장치의 블랙 잔상을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 품질이 향상될 수 있다.
이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 표시 패널
100a, 100b, 100c, 100d: 도메인
200: 하부 기판 300: 상부 기판
202, 310: 베이스 기판 230: 박막 트랜지스터
240: 유기 절연막 260: 화소 전극
320: 블랙 매트릭스 330: 컬러 필터
350: 공통 전극 270, 360: 배향막
272, 362: 배향층 274, 364: 광 반응기
510, 520, 530, 540, 610, 620, 630, 640: 마스크

Claims (20)

  1. 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인, 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인에 인접하게 형성된 화소 전극, 및 상기 화소 전극 상에 형성된 제1 배향막을 포함하는 하부 기판;
    상기 하부 기판과 마주하고, 상기 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극 및 상기 공통 전극 상에 형성된 제2 배향막을 포함하는 상부 기판; 및
    상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이에 개재되며 액정을 포함하는 액정층을 포함하고,
    상기 하부 기판은 상기 데이터 라인과 상기 게이트 라인에 의해 정의되며 화소 전극과 중첩하는 화소 영역을 포함하되,
    상기 화소 영역은,
    복수의 도메인들;
    상기 복수의 도메인들 중 상기 제1 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역; 및
    상기 복수의 도메인들 중 상기 제2 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역을 포함하고,
    상기 도메인들에서 상기 제1 및 제2 배향막들의 선경사각들과 상기 가로 및 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역들에서 상기 제1 및 제2 배향막들의 선경사각들은 다르며,
    상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 상기 제1 방향으로의 폭이 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 상기 제2 방향으로의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 배향막은 상기 제1 방향으로 선경사각을 가지고, 상기 제2 배향막은 상기 제2 방향으로 선경사각을 가지며, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 제1 배향막의 선경사각에 비해 작은 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 작은 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 큰 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  5. 제1항에 있어서, 상기 도메인에서 상기 제1 배향막의 선경사각과 상기 제2 배향막의 선경사각은 동일한 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  6. 제1항에 있어서, 상기 액정은 상기 도메인에서 상기 화소 전극의 상면을 기준으로 45도의 각도를 가지는 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  7. 제1항에 있어서, 상기 액정은 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 화소 전극의 상면을 기준으로 45도 미만의 각도를 가지는 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  8. 제1항에 있어서, 상기 화소 영역은 상기 화소 영역에 배치된 상기 액정과 상기 화소 영역에 인접한 화소 영역에 배치된 액정으로 인해 텍스쳐가 형성되는 주변 전계 텍스쳐 영역을 더 포함하고,
    상기 제1 배향막의 선경사각 및 상기 제2 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 주변 전계 텍스쳐 영역에서 더 큰 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 배향막은 상기 제2 방향으로 선경사각을 가지고, 상기 제2 배향막은 상기 제1 방향으로 선경사각을 가지며, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 제2 배향막의 선경사각에 비해 작은 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 배향막의 선경사각은 상기 도메인에서보다 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에서 작은 것을 특징으로 하는 표시 패널.
  11. 제1 베이스 기판 상에, 제1 방향으로 연장하는 게이트 라인 및 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장하는 데이터 라인을 형성하고, 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인에 인접하게 화소 전극을 형성하며, 상기 화소 전극 상에 제1 배향막을 형성하여 하부 기판을 형성하는 단계;
    제2 베이스 기판 상에, 상기 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극을 형성하고, 상기 공통 전극 상에 제2 배향막을 형성하여 상부 기판을 형성하는 단계; 및
    상기 하부 기판 상의 상기 제1 배향막 및 상기 상부 기판 상의 상기 제2 배향막 사이에 액정을 포함하는 액정층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 하부 기판은 상기 데이터 라인과 상기 게이트 라인에 의해 정의되며 화소 전극과 중첩하는 화소 영역을 포함하되,
    상기 화소 영역은,
    복수의 도메인들;
    상기 복수의 도메인들 중 상기 제1 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역; 및
    상기 복수의 도메인들 중 상기 제2 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역을 포함하고,
    상기 도메인들에서 상기 제1 및 제2 배향막들의 선경사각들과 상기 가로 및 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역들에서 상기 제1 및 제2 배향막들의 선경사각들은 다르며,
    상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 상기 제1 방향으로의 폭이 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역의 상기 제2 방향으로의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 가로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 영역을 가진 제1 마스크를 사용하여 상기 제1 방향으로 상기 제1 배향막 상에 광을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 세로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진 제2 마스크를 사용하여 상기 제2 방향으로 상기 제2 배향막 상에 광을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 가로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 영역을 가진 제1 마스크를 사용하여 상기 제1 방향으로 상기 제2 배향막 상에 광을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 세로 도메인 경계 텍스쳐에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진 제2 마스크를 사용하여 상기 제2 방향으로 상기 제1 배향막 상에 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
  16. 표시 패널의 하부 기판 상에 제1 배향막을 배향하고, 상기 표시 패널의 화소 영역에서 복수의 도메인들 중 제1 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 영역을 가진 제1 마스크; 및
    상기 표시 패널의 상부 기판 상에 제2 배향막을 배향하고, 상기 화소 영역에서 상기 복수의 도메인들 중 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 배열되는 상기 도메인들 사이에 배치되는 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 영역을 가진 제2 마스크를 포함하고,
    제1 방향은 상기 표시 패널의 게이트 라인이 연장하는 방향과 평행하고, 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역이 연장하는 방향은 상기 제1 방향과 평행하고,
    상기 제2 방향은 상기 표시 패널의 데이터 라인이 연장하는 방향과 평행하고, 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역이 연장하는 방향은 상기 제2 방향과 평행한 것을 특징으로 하는 배향 마스크.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 마스크는 상기 가로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 100% 개방되고, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 비율보다 차단된 비율이 더 큰 것을 특징으로 하는 배향 마스크.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역에대응하여 개방된 비율이 상기 도메인에 대응하여 개방된 비율보다 작은 것을 특징으로 하는 배향 마스크.
  19. 제16항에 있어서, 상기 제2 마스크는 상기 세로 도메인 경계 텍스쳐 영역의일부에 대응하여 100% 개방된 것을 특징으로 하는 배향 마스크.
  20. 제16항에 있어서, 상기 표시 패널은 상기 제1 및 제2 배향막들 사이에 배치되며 액정을 포함하는 액정층을 더 포함하고,
    상기 화소 영역은 상기 화소 영역에 배치된 상기 액정과 상기 화소 영역에 인접한 화소 영역에 배치된 액정으로 인해 텍스쳐가 형성되는 주변 전계 텍스쳐 영역을 더 포함하고,
    상기 제1 마스크 및 상기 제2 마스크는 상기 주변 전계 텍스쳐 영역에 대응하여 개방된 것을 특징으로 하는 배향 마스크.
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