KR101873615B1

KR101873615B1 - Light emitting apparatus

Info

Publication number: KR101873615B1
Application number: KR1020137035141A
Authority: KR
Inventors: 료스케 사쿠마; 가즈유키 간베; 다츠오 구라시마
Original assignee: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2011-09-13
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2018-07-02
Also published as: CN103828017B; JP2013062128A; CN103828017A; TW201312624A; WO2013038859A1; TWI566270B; KR20140060469A; JP5898891B2

Abstract

내부에 방전용 가스가 봉입되고, 광출사부를 가지는 램프 케이스와, 램프 케이스의 외표면상에 마련된 방전전극과, 램프 케이스에 형성되고, 당해 램프 케이스로부터 외측을 향하여 돌출함과 아울러 연장하는 관모양부를 구비하는 엑시머 램프와, 방전전극으로 급전하는 급전부와, 엑시머 램프를 지지하는 램프 지지부와, 엑시머 램프에 트리거가 되는 전압을 인가하는 트리거 전극과, 트리거 전극으로 급전하는 트리거 급전부와, 엑시머 램프, 급전부, 램프 지지부, 트리거 전극 및 트리거 급전부를 수용하는 외부 케이스를 구비하고, 트리거 전극은 관모양부의 외표면과 점접촉한다.A lamp case having a discharge gas inside thereof and having a light output portion; a discharge electrode provided on an outer surface of the lamp case; a tubular portion formed in the lamp case and protruding outwardly from the lamp case, A trigger electrode for applying a voltage to be triggered to the excimer lamp; a trigger power feeder for supplying power to the trigger electrode; and an exciter lamp The trigger electrode, and the trigger feeder, and the trigger electrode is in point contact with the outer surface of the tubular portion.

Description

[0001] LIGHT EMITTING APPARATUS [0002]

본 발명은 엑시머 램프(eximer lamp)를 이용한 발광장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting device using an eximer lamp.

엑시머 램프를 이용한 종래의 발광장치로서, 내측의 램프 케이스와 외측의 램프 케이스를 가지는 이중관 구조의 램프 케이스와, 외측 램프 케이스의 외주에 마련된 방전(放電)전극과, 내측 램프 케이스에 마련된 방전전극과, 트리거(trigger) 전압을 인가하기 위한 트리거 전극을 구비하고 있는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1). 이 발광장치에서는, 트리거 전극이 내측 램프 케이스의 본체 부분과 접촉하고 있다.A conventional light emitting device using an excimer lamp includes a lamp case of a double pipe structure having an inner lamp case and an outer lamp case, a discharge electrode provided on the outer periphery of the outer lamp case, a discharge electrode provided on the inner lamp case, , And a trigger electrode for applying a trigger voltage (see, for example, Patent Document 1). In this light emitting device, the trigger electrode is in contact with the main body portion of the inner lamp case.

[특허문헌 1] 일본국 특개2003-86139호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-86139

트리거 전극과 방전전극은, 근접시켰을 경우에, 각 전극 사이에서 방전이 발생할 가능성이 있다. 따라서, 서로 어느 정도 이간(離間)시킬 필요가 있다. 여기서, 종래의 발광장치에서는, 트리거 전극이 램프 케이스의 본체부에서 접촉하고 있기 때문에, 당해 접촉위치로부터 방전전극을 멀리할 필요가 생긴다. 그렇지만, 램프 케이스에서 방전전극을 설치 가능한 영역은 한정되어 있음에도 불구하고, 트리거 전극으로부터 멀리하기 위해서는, 방전전극을 상대적으로 작게 하지 않으면 안 된다. 이것에 의해, 종래의 발광장치에서는, 램프 케이스의 전체적인 사이즈에 비하여, 실제의 방전영역이 작아져, 유효발광범위를 확보할 수 없다는 문제가 있었다. 한편, 방전전극을 넓게 확보하면, 트리거 전극과 방전전극과의 사이의 방전의 영향에 의해, 양호하게 램프의 점등(点燈)을 할 수 없다고 하는 문제가 있었다.When the trigger electrode and the discharge electrode are brought close to each other, a discharge may occur between the electrodes. Therefore, it is necessary to separate them to some extent. Here, in the conventional light emitting device, since the trigger electrode is in contact with the main body of the lamp case, it is necessary to make the discharge electrode away from the contact position. However, although the area where the discharge electrode can be installed in the lamp case is limited, the discharge electrode must be made relatively small in order to be away from the trigger electrode. As a result, the conventional light emitting device has a problem that the effective discharge range can not be ensured because the actual discharge area is smaller than the overall size of the lamp case. On the other hand, if the discharge electrode is secured to a large extent, there is a problem that the lamp can not be turned on favorably due to the influence of the discharge between the trigger electrode and the discharge electrode.

본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 양호한 램프의 점등을 가능하게 함과 동시에, 충분히 넓은 유효발광범위를 확보할 수 있는 발광장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and it is an object of the present invention to provide a light emitting device capable of lighting a good lamp and ensuring a sufficiently wide effective light emission range.

본 발명에 관한 발광장치는, 내부에 방전용 가스가 봉입(封入)되고, 광출사부(光出射部)를 가지는 램프 케이스와, 램프 케이스의 외표면상에 마련된 방전전극과, 램프 케이스에 형성되고, 당해 램프 케이스로부터 외측을 향하여 돌출함과 아울러 연장하는 관모양부(管狀部)를 구비하는 엑시머 램프와, 방전전극으로 급전(急電)하는 급전부와, 엑시머 램프를 지지하는 램프 지지부와, 엑시머 램프에 트리거가 되는 전압을 인가하는 트리거 전극과, 트리거 전극으로 급전하는 트리거 급전부와, 엑시머 램프, 급전부, 램프 지지부, 트리거 전극 및 트리거 급전부를 수용하는 외부 케이스를 구비하고, 트리거 전극은 관모양부의 외표면과 점(点)접촉한다.A light emitting device according to the present invention includes a lamp case having a discharge gas (sealed) therein and having a light emitting portion (light emitting portion), a discharge electrode provided on an outer surface of the lamp case, An excimer lamp having a tubular portion protruding outwardly from the lamp case, a lamp-supporting portion for supporting the excimer lamp, A trigger electrode for applying a trigger voltage to the trigger electrode, and an external case for accommodating an excimer lamp, a feeder, a lamp support, a trigger electrode, and a trigger feeder, And contacts the outer surface of the shape portion with a point.

본 발명에 관한 발광장치에 의하면, 엑시머 램프는 외표면상에 방전전극이 마련되는 램프 케이스를 구비하고 있다. 또, 엑시머 램프는, 그 램프 케이스로부터 외측을 향하여 돌출하고, 연장하는 관모양부를 구비하고 있다. 관모양부는 램프 케이스로부터 외측으로 연장해 있기 때문에, 램프 케이스의 방전전극으로부터 충분한 거리를 확보하는 것이 가능하다. 트리거 전극은 이와 같은 관모양부의 외표면과 점접촉하고 있다. 즉, 램프 케이스에 마련되어 있는 방전전극의 형상이나 크기에 관계없이, 트리거 전극의 접촉부를 방전전극으로부터 충분히 이간시키는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해서, 트리거 전극과 방전전극과의 사이의 방전을 방지함으로써 램프를 양호하게 점등 가능하게 하는 한편으로, 램프 케이스에서는 충분한 범위에 방전전극을 마련할 수 있다. 또한, 점접촉으로 함으로써, 전계(電界)를 집중시켜, 한층 양호하게 램프를 점등 가능하게 한다. 이상에 의해서, 양호한 램프의 점등을 가능하게 함과 동시에, 충분히 넓은 유효발광범위를 확보할 수 있다.According to the light emitting device of the present invention, the excimer lamp has a lamp case provided with discharge electrodes on the outer surface thereof. In addition, the excimer lamp has a tubular portion that protrudes outward from the lamp case and extends. Since the tubular portion extends outward from the lamp case, it is possible to ensure a sufficient distance from the discharge electrode of the lamp case. The trigger electrode is in point contact with the outer surface of the tubular portion. That is, regardless of the shape and size of the discharge electrode provided in the lamp case, it is possible to sufficiently separate the contact portion of the trigger electrode from the discharge electrode. Thus, it is possible to prevent the discharge between the trigger electrode and the discharge electrode so that the lamp can be lighted well, while the discharge electrode can be provided in a sufficient range in the lamp case. In addition, by point contact, the electric field can be concentrated and the lamp can be turned on even better. As described above, a good lamp can be turned on and a sufficiently wide effective light emission range can be ensured.

발광장치에서, 트리거 전극은 관모양부의 연장방향과 교차하는 방향으로 연장하고, 선단부에서 관모양부의 외표면과 점접촉해도 된다. 이와 같은 구성으로 하는 것에 의해, 트리거 전극의 선단부에서 확실히 관모양부의 외표면과 점접촉할 수 있다.In the light emitting device, the trigger electrode may extend in a direction intersecting the extending direction of the tubular portion, and may be in point contact with the outer surface of the tubular portion at the leading end. With this configuration, the distal end portion of the trigger electrode can be surely brought into point contact with the outer surface of the tubular portion.

발광장치에서, 관모양부의 벽두께는 램프 케이스의 벽두께보다 작아도 된다. 관모양부의 벽두께를 작게 함으로써 방전개시 능력을 높일 수 있다. 한편, 램프 케이스의 벽두께를 크게 함으로써 방전 부분에서 높은 강도(예를 들면, 압력에 대한 물리적 강도나, 방전 내성(耐性))를 확보할 수 있다.In the light emitting device, the wall thickness of the tubular portion may be smaller than the wall thickness of the lamp case. By reducing the wall thickness of the tubular portion, the discharge starting ability can be enhanced. On the other hand, by increasing the wall thickness of the lamp case, it is possible to secure high strength (for example, physical strength against discharge and discharge resistance) in the discharge portion.

발광장치에서, 트리거 전극은 램프 지지부 측에서 관모양부의 외표면과 점접촉해도 된다. 이와 같은 구성에 의해, 엑시머 램프를 램프 지지부에 설치함과 동시에, 트리거 전극이 관모양부와 접촉하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해, 트리거 전극을 확실히 관모양부와 접촉시킬 수 있다.In the light emitting device, the trigger electrode may be in point contact with the outer surface of the tubular portion on the lamp support portion side. With this configuration, the excimer lamp can be provided on the lamp support portion, and the trigger electrode can be brought into contact with the tubular portion. Thus, the trigger electrode can be surely brought into contact with the tubular portion.

발광장치에서, 램프 케이스는 일단 측에서 램프 지지부에 지지되고, 관모양부는 램프 케이스의 일단 측에 형성되며, 램프 지지부는 관모양부를 수용하는 홈부를 가져도 된다. 이와 같은 구성에 의해, 램프 케이스가 램프 지지부에서 지지됨과 동시에, 관모양부가 홈부에 수납되어 보호된다. 이와 같이, 관모양부를 홈부에서 보호하는 것에 의해, 트리거 전극과 관모양부가 점접촉하고 있는 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.In the light emitting device, the lamp case is supported on the lamp support part at one end, the tubular part is formed at one end side of the lamp case, and the lamp support part may have a groove part for receiving the tubular part. With such a configuration, the lamp case is supported by the lamp support portion and the tubular portion is accommodated in the groove portion to be protected. By thus protecting the tubular portion with the groove portion, it is possible to stably maintain the state in which the trigger electrode and the tubular portion are in point contact.

발광장치에서, 램프 지지부는 홈부의 바닥부에 관통구멍을 가지고, 트리거 전극은 관통구멍으로부터 돌출해도 된다. 이와 같은 구성에 의해, 트리거 전극은 관통구멍으로부터 돌출해 있는 부분에서 확실히 관모양부와 점접촉하며, 관통구멍에 둘러싸이는 부분에서는 당해 관통구멍에 보호된다. 이것에 의해, 트리거 전극과 관모양부가 점접촉하고 있는 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.In the light emitting device, the lamp supporting portion may have a through hole at the bottom of the groove portion, and the trigger electrode may protrude from the through hole. With this configuration, the trigger electrode is in point contact with the tubular portion reliably at the portion protruding from the through hole, and protected at the portion surrounded by the through hole. This makes it possible to stably maintain the state in which the trigger electrode and the tube-shaped electrode are in point contact.

발광장치에서, 트리거 전극을 지지하는 트리거 전극 지지부를 더 구비하고, 트리거 전극 지지부는 관모양부에 대해서 트리거 전극을 가압하는 가압부재를 가져도 된다. 이것에 의해서, 가압부재에 의해 가압된 트리거 전극이 확실히 관모양부에 점접촉할 수 있다.The light emitting device may further include a trigger electrode supporting portion for supporting the trigger electrode, and the trigger electrode supporting portion may have a pressing member for pressing the trigger electrode against the tubular portion. Thereby, the trigger electrode pressed by the pressing member can reliably make point contact with the tubular portion.

발광장치에서, 외부 케이스는 램프 지지부를 고정하는 저면부와, 당해 저면부와 대향하는 위치에 배치되는 덮개부를 구비하고, 덮개부는 저면부와 대향함과 아울러, 램프 케이스의 외연부(外緣部)와 대향하는 프레임모양부와, 당해 프레임모양부에 둘러싸임과 아울러 광출사부를 노출시키는 개구부를 가지며, 엑시머 램프는 덮개부의 프레임모양부와 램프 지지부에 의해 끼워지는 것에 의해서 유지되어도 된다. 이와 같은 구조와 하는 것에 의해, 덮개부를 닫음으로써, 위로부터 눌러 넣어지도록 엑시머 램프를 고정하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해서, 관모양부를 확실히 트리거 전극과 점접촉시킬 수 있다.In the light emitting device, the outer case has a bottom portion for fixing the lamp support portion and a lid portion disposed at a position facing the bottom portion. The lid portion is opposed to the bottom portion, and the outer edge portion Shaped portion and an opening for exposing the light output portion, and the excimer lamp may be held by being sandwiched between the frame portion of the lid portion and the lamp support portion. With this structure, it becomes possible to fix the excimer lamp so as to be pushed from above by closing the lid part. As a result, the tubular portion can be brought into point contact with the trigger electrode.

발광장치에서, 외부 케이스는 램프 지지부를 고정하는 저면부와, 당해 저면부와 대향하는 위치에 배치되는 커버부를 구비하고, 커버부는 저면부와 대향함과 아울러, 램프 케이스의 외연부와 대향하는 프레임모양부와, 당해 프레임모양부에 둘러싸임과 아울러 광출사부를 노출시키는 개구부와, 프레임모양부의 외연부로부터 저면부측을 향하여 연장하는 측벽부를 가지고, 엑시머 램프는 커버부의 프레임모양부와 램프 지지부에 의해 끼워지는 것에 의해서 유지되어도 된다. 이와 같은 구조로 하는 것에 의해, 커버부를 닫음으로써, 위로부터 눌러 넣어지도록 엑시머 램프를 고정하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해서, 관모양부를 확실히 트리거 전극과 점접촉시킬 수 있다.In the light emitting device, the outer case has a bottom portion for fixing the lamp support portion, and a cover portion disposed at a position opposite to the bottom portion. The cover portion is opposed to the bottom portion, Shaped portion and a side wall portion extending from the outer edge portion of the frame-shaped portion toward the bottom portion side, wherein the excimer lamp is formed by the frame-shaped portion of the cover portion and the lamp support portion Or may be held by being fitted. With this structure, it is possible to fix the excimer lamp so as to be pushed from above by closing the cover portion. As a result, the tubular portion can be brought into point contact with the trigger electrode.

본 발명에 의하면, 양호한 램프의 점등을 가능하게 함과 동시에, 충분히 넓은 유효발광범위를 확보할 수 있다.According to the present invention, a good lamp can be turned on and a sufficiently wide effective light emission range can be ensured.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 발광장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 발광장치의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 III-III선에 따른 단면도이다.
도 4는 엑시머 램프 및 램프 지지부의 구성을 나타내는 확대도이다.
도 5는 램프 지지부 및 램프 케이스를 단변(短邊)방향에서 본 일부 단면도이다.
도 6은 도 5에 나타내는 VI-VI에 따른 단면도로서, 관모양부 부근을 확대한 확대 단면도이다.
도 7은 본 실시형태에 관한 발광장치와 비교예에 관한 발광장치를 비교하기 위한 개념도이다.
도 8은 비교예에 관한 발광장치의 개념도이다.
도 9는 전압의 인가상태 및 램프 점등상태를 나타내는 그래프이다.
도 10은 변형예에 관한 발광장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the light emitting device shown in Fig.
3 is a sectional view taken along line III-III shown in Fig.
4 is an enlarged view showing the configuration of the excimer lamp and the lamp support portion.
5 is a partial cross-sectional view of the lamp support portion and the lamp case as viewed from the short side direction.
Fig. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI shown in Fig. 5, and is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the tubular portion.
7 is a conceptual diagram for comparing the light emitting device according to the present embodiment with the light emitting device according to a comparative example.
8 is a conceptual diagram of a light emitting device according to a comparative example.
9 is a graph showing an applied state of a voltage and a lamp lighting state.
10 is a perspective view showing a light emitting device according to a modification.

이하, 본 발명에 관한 발광장치의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Hereinafter, preferred embodiments of a light emitting device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 발광장치의 사시도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 발광장치(100)는 장방형(長方形) 평판모양의 엑시머 램프(1)를 직방체(直方體) 모양의 외부 케이스(4) 내에 수용함과 아울러, 외부 케이스(4)의 상부덮개(덮개부)(8)의 중앙부에 장방형 모양의 개구부(8a)를 형성하여, 엑시머 램프(1)의 출사면을 노출시키는 것에 의해서 구성되어 있다. 이 발광장치(100)는 엑시머 램프(1)의 내부 공간에 봉입되는 방전용 가스에 고주파 전압을 인가하는 것에 의해서 발광시키고, 발생한 광을 개구부(8a)로부터 취출할 수 있는 장치이다. 케이스(4)의 길이방향의 일단 측의 측벽에는 외부 케이스(4)의 내부 공간의 냉각을 위해서, 도시하지 않은 복수의 흡기구(吸氣口)로부터 취입된 공기를 배출하는 배기구(14)가 마련되어 있다.1 is a perspective view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention. As shown in Fig. 1, the light emitting device 100 includes a rectangle-shaped flat plate-shaped excimer lamp 1 housed in an outer case 4 having a rectangular parallelepiped shape, And a rectangular opening 8a is formed at the center of the upper lid 8 to expose the exit surface of the excimer lamp 1. [ The light emitting device 100 is a device capable of emitting light by applying a high frequency voltage to a discharge gas sealed in the internal space of the excimer lamp 1 and taking out the generated light from the opening portion 8a. An exhaust port 14 for exhausting air taken in from a plurality of intake ports (not shown) for cooling the internal space of the outer case 4 is provided on a side wall on one end side in the longitudinal direction of the case 4 have.

도 2는 도 1에 나타내는 발광장치의 분해 사시도이다. 도 3은 도 2에 나타내는 III-III선에 따른 단면도이다. 도 4는 엑시머 램프 및 램프 지지부의 구성을 나타내는 확대도이다. 단, 도 3은 각 부품의 위치관계를 용이하게 이해하기 위해서, 변형된 상태로 나타내어져 있다. 도 2 ~ 도 4에 나타내는 바와 같이, 엑시머 램프(1)는 출사광에 대해서 투명한 유전체의 재료에 의해 장방형 평판모양으로 형성되는 램프 케이스(2)와, 램프 케이스(2)에 형성되는 관모양부(20)와, 램프 케이스(2)의 전면(前面)(2b)의 대략 전체에 걸쳐서 형성되는 메쉬(mesh) 모양의 광통과전극(방전전극, 광출사부)(30)과, 램프 케이스(2)의 배면(2c)과 대향하여 당해 배면(2c)과 접촉하는 장방형 모양의 배면전극(방전전극)(3)을 구비하여 구성되어 있다. 광통과전극(30)은 전면(2b)의 외주연부를 따라서 장방형 환상(環狀)으로 형성된 전극의 내부 영역에 메쉬 모양의 전극을 형성하는 것에 의해서 구성되어 있다. 이 엑시머 램프(1)의 배면전극(3)과 광통과전극(30)은 방전용 가스가 봉입된 내부 공간을 통하여 서로 대향하고 있다. 따라서, 광통과전극(30)을 그라운드 전위(電位)(접지전위)로 하고, 배면전극(3) 및 광통과전극(30)의 사이에 고주파 전압을 인가하는 것에 의해서 내부 공간의 방전용 가스를 발광시키며, 발생한 광을 램프 케이스(2)의 전면(2b) 측으로부터 출사시킬 수 있다. 또한, 고주파 전압과는 1㎒ 이상의 주파수를 가지는 교류전압이다.2 is an exploded perspective view of the light emitting device shown in Fig. 3 is a sectional view taken along line III-III shown in Fig. 4 is an enlarged view showing the configuration of the excimer lamp and the lamp support portion. However, Fig. 3 is shown in a deformed state in order to facilitate understanding of the positional relationship between the components. As shown in Figs. 2 to 4, the excimer lamp 1 includes a lamp case 2 formed in a rectangular flat plate shape by a transparent dielectric material with respect to the outgoing light, a lamp case 2 formed in the lamp case 2 (Light emitting portion) 30 formed in the shape of a mesh and formed substantially over the entire front surface 2b of the lamp case 2 and a lamp case 2 (Discharge electrode) 3 facing the rear surface 2c of the rear surface 2c so as to be in contact with the rear surface 2c. The light passing electrode 30 is formed by forming a mesh-shaped electrode in an inner region of a rectangular ring-shaped electrode along the outer periphery of the front surface 2b. The back electrode 3 and the light passing electrode 30 of the excimer lamp 1 are opposed to each other through an inner space filled with a discharge gas. Therefore, by applying the high-frequency voltage between the back electrode 3 and the light passing electrode 30 by setting the light passing electrode 30 to the ground potential (ground potential) So that the generated light can be emitted from the front surface 2b side of the lamp case 2. The high frequency voltage is an alternating voltage having a frequency of 1 MHz or more.

엑시머 램프(1)의 평판모양의 램프 케이스(2)는 장방형 평판모양의 전면기판(22)과, 전면기판(22)과 같은 재질 및 같은 형상으로 형성됨과 아울러 전면기판(22)과 소정의 간격으로 대향하도록 배치되는 배면기판(23)을 구비하고 있다. 두께방향으로부터 보아, 전면기판(22)의 사방의 외연과 배면기판(23)의 사방의 외연은 서로 일치하도록 배치되어 있다. 또한, 「두께방향」은 전면기판(22)과 배면기판(23)이 대향하는 방향, 즉 전면(2b) 및 배면(2c)에 대해서 수직인 방향을 나타내고 있다. 이 램프 케이스(2)는 전면기판(22)과 배면기판(23)의 사방의 외주연부끼리를 장방형 환상의 둘레면벽(24)으로 이음으로써 형성된 내부 공간(28)이 봉지(封止)되어 기밀성이 유지되고 있다. 구체적으로는, 둘레면벽(24)은 전면기판(22)의 한 쌍의 장연부(長緣部)와 배면기판(23)의 한 쌍의 장연부끼리를 길이방향 전체 길이에 걸쳐서 연결하는 한 쌍의 측면벽과, 전면기판(22)의 한 쌍의 단연부(短緣部)와 배면기판(23)의 한 쌍의 단연부끼리를 폭(단수(短手))방향 전체 길이에 걸쳐서 접합하여 연결하는 한 쌍의 측면벽을 구비하여 구성되어 있다. 둘레면벽(24)을 구성하는 사방의 측면벽은 각각 각 기판(22, 23)과 수직을 이루도록 세워져 있다. 또한, 전면기판(22), 배면기판(23) 및 둘레면벽(24)의 벽두께는 모두 동일하게 되어 있다. 전면기판(22)의 외표면이 램프 케이스(2)의 전면(2b)을 구성한다. 배면기판(23)의 외표면이 램프 케이스(2)의 배면(2c)을 구성한다. 램프 케이스(2)의 일단(2d) 측의 일부가 후술의 램프 지지부(11A)에 지지되고, 타단(2e) 측의 일부가 후술의 램프 지지부(11B)에 지지된다.The lamp case 2 of the flat plate shape of the excimer lamp 1 is formed in the same shape and the same material as the front plate 22 and the front plate 22 in the shape of a rectangular flat plate, And a rear substrate 23 disposed so as to be opposed to each other. The outer edges of the four sides of the front substrate 22 and the outer edges of the four sides of the rear substrate 23 are arranged to coincide with each other when viewed from the thickness direction. The " thickness direction " indicates a direction in which the front substrate 22 and the rear substrate 23 face each other, that is, a direction perpendicular to the front face 2b and the rear face 2c. The lamp case 2 has an inner space 28 formed by joining outer circumferential edges of the front substrate 22 and the rear substrate 23 to each other with a rectangular annular circumferential wall 24, Is maintained. Specifically, the peripheral surface wall 24 is divided into a pair of long side portions of the front substrate 22 and a pair of long side portions of the rear substrate 23, A pair of short edges of the front substrate 22 and a pair of short edges of the rear substrate 23 are bonded to each other over the entire width (short side) And a pair of side walls for connecting to each other. Each of the side walls constituting the circumferential surface wall 24 is erected perpendicular to the substrates 22 and 23, respectively. In addition, the wall thicknesses of the front substrate 22, the back substrate 23, and the peripheral wall 24 are all the same. The outer surface of the front substrate 22 constitutes the front surface 2b of the lamp case 2. [ The outer surface of the rear substrate 23 constitutes the back surface 2c of the lamp case 2. [ A part of the one end 2d side of the lamp case 2 is supported by a lamp support portion 11A described later and a part of the other end 2e side is supported by a lamp support portion 11B described later.

램프 케이스(2)의 길이방향의 일단(2d) 측의 둘레면벽(24)에는, 제조시에 내부 공간(28)의 배기를 행함과 아울러 방전용 가스를 봉입하기 위해서 이용된 관모양부(20)가 형성되어 있다. 이 관모양부(20)는 램프 케이스(2)의 폭방향 및 두께방향의 중앙위치에 형성되어 있다. 관모양부(20)는 램프 케이스(2)의 둘레면벽(24)으로부터 외측을 향하여 돌출하고, 램프 케이스(2)의 연장방향(길이방향)과 동일한 방향으로 연장해 있다. 관모양부(20)는 외주면(20a)이 원통면을 구성하도록, 소정의 내경 및 외경을 유지한 상태에서 축성(軸性, axiality)을 가지고 수평으로 연장하며, 선단부(20b)가 봉지되어 있다. 또한, 통상의 엑시머 램프에 형성되는 팁(tip)관은, 제조상, 어쩔 수 없이 형성되는 것이기 때문에, 가능한 한 짧게 되도록 램프 케이스(2)로부터 약간 돌출한 상태로 봉지되는 것으로, 충분한 길이가 확보되어 있지 않다. 즉, 팁관의 외표면에는 똑바로 연장하는 원통면은 형성되지 않고, 트리거 전극(40)과의 양호한 점접촉을 실현할 수 있는 형상으로 되어 있지 않은 경우가 많다. 또, 그 외표면과 광통과전극(30)이나 배면전극(3)과의 거리도 충분히 확보될 수 없다. 한편, 본 실시형태의 관모양부(20)는, 제조시의 기능은 종래의 팁관과 동일하지만, 종래의 팁관과는 달리 연장하는 것에 의해서 충분한 길이가 확보되어 있다. 따라서, 트리거 전극(40)과의 점접촉에 바람직한 외표면 형상을 확보하는 것이 가능하게 됨과 아울러, 광통과전극(30)이나 배면전극(3)으로부터 충분히 이간(방전의 영향을 받지 않는 정도의 거리만큼 이간함)한 영역을 확보할 수 있다.The circumferential wall 24 on the one end 2d side in the longitudinal direction of the lamp case 2 is provided with a tubular portion 20 used for discharging the inner space 28 and sealing the discharge gas at the time of manufacture, Respectively. The tubular portion 20 is formed at a central position in the width direction and the thickness direction of the lamp case 2. The tubular portion 20 protrudes outward from the peripheral wall 24 of the lamp case 2 and extends in the same direction as the extending direction (longitudinal direction) of the lamp case 2. The tubular portion 20 extends horizontally with a predetermined axial inner diameter and outer diameter so that the outer circumferential surface 20a forms a cylindrical surface and the distal end portion 20b is sealed. Since a tip tube formed in a conventional excimer lamp is formed inevitably in manufacturing, it is sealed in a state protruding slightly from the lamp case 2 so as to be as short as possible, so that a sufficient length is secured It is not. In other words, a cylindrical surface that does not extend straight is not formed on the outer surface of the tip tube but is often not formed in a shape that can realize good point contact with the trigger electrode 40. Also, the distance between the surface of the light-passing electrode 30 and the back-surface electrode 3 can not be sufficiently secured. On the other hand, the tubular portion 20 of the present embodiment has the same function as that of the conventional tip tube at the time of manufacturing, but a sufficient length is secured by extending unlike the conventional tip tube. Therefore, it is possible to secure a preferable outer surface shape for point contact with the trigger electrode 40, and at the same time, the distance from the light-transmitting electrode 30 or the back electrode 3 to a sufficient distance (distance ) Can be secured.

램프 케이스(2)의 전면(2b)에 형성되는 광통과전극(30)은 금속막에 의해서 형성되어 있으며, 전면(2b)의 외연부를 제외하고, 거의 전체 면에 형성된다. 보다 상세하게는, 광통과전극(30)은 전면(2b)의 외연부를 따라서 장방형 환상으로 형성되는 환상부와, 환상부의 내측 영역에서 망상(網狀)으로 형성된 메쉬부를 가지고 있다. 광통과전극(30)은 전면(2b)의 대략 전체 면에 걸쳐서 망상으로 형성되어 있기 때문에, 내부 공간에서 발생한 광을 전면(2b)으로부터 출사 가능하게 하고 있다. 또한, 광통과전극(30) 자체를 투광성의 재료로 형성하는 것에 의해서, 광을 출사 가능하게 해도 된다. 광통과전극(30)은 외부 케이스(4)의 그라운드 전극과 전기적으로 접속되어 있다.The light passing electrode 30 formed on the front surface 2b of the lamp case 2 is formed of a metal film and is formed on substantially the entire surface excluding the outer edge portion of the front surface 2b. More specifically, the light passing electrode 30 has an annular portion formed in a ring-shaped annular shape along the outer edge portion of the front surface 2b and a mesh portion formed in a mesh shape in an inner region of the annular portion. Since the light passing electrode 30 is formed in a network shape over substantially the entire surface of the front surface 2b, the light generated in the inner space can be emitted from the front surface 2b. Further, the light transmitting electrode 30 itself may be made of a light-transmitting material so that light can be emitted. The light passing electrode (30) is electrically connected to the ground electrode of the outer case (4).

상술과 같은 엑시머 램프(1)에서, 램프 케이스(2) 및 관모양부(20)의 재질은 합성 석영 유리, 용융 석영 유리 등이 바람직하다. 또, 내부 공간(28)에 봉입하는 방전용 가스로서 예를 들면, 크세논 등의 희(希)가스나, 희가스와 할로겐 가스의 혼합 가스를 이용하는 것이 바람직하다. 방전용 가스의 가스압은 50 ~ 100㎪로 하는 것이 바람직하다. 램프 케이스(2)의 사이즈는 단수방향의 크기가 45 ~ 55㎜, 길이방향의 크기가 490 ~ 510㎜, 두께방향의 크기가 8 ~ 10㎜이다. 또, 램프 케이스(2)의 벽두께는 관모양부(20)의 벽두께보다도 큰 것이 바람직하다. 예를 들면, 램프 케이스(2)의 벽두께는 1.5 ~ 2㎜이며, 관모양부(20)의 벽두께(관벽의 두께)는 0.5 ~ 1㎜이다.In the excimer lamp 1 as described above, the material of the lamp case 2 and the tubular bore 20 is preferably synthetic quartz glass, fused quartz glass, or the like. It is preferable to use, for example, a rare gas such as xenon or a mixed gas of a rare gas and a halogen gas as the discharge gas to be sealed in the inner space 28. The gas pressure of the discharge gas is preferably 50 to 100 kPa. The size of the lamp case 2 is 45 to 55 mm in the number direction, 490 to 510 mm in the length direction, and 8 to 10 mm in the thickness direction. It is preferable that the wall thickness of the lamp case 2 is larger than the wall thickness of the tubular portion 20. For example, the wall thickness of the lamp case 2 is 1.5 to 2 mm, and the wall thickness (wall thickness of the pipe wall) of the tubular bore 20 is 0.5 to 1 mm.

램프 케이스(2)의 전면(2b) 측에는, 전면(2b)의 외주연부와 광통과전극(30)의 장방형 환상의 외주연부를 덮도록, 도전성 재료, 예를 들면 스테인리스의 박판(薄板) 등으로 이루어지는 장방형 환상의 프레임 모양 박판(급전부)(26)이 배치되어 있다. 프레임 모양 박판(26)은 램프 케이스(2)의 전면(2b)의 외주와 대략 동일 형상의 외주를 가짐과 아울러, 광통과전극(30)의 장방형 환상의 가장자리부와 대략 동일 형상의 내주를 가지고 있다. 또한, 이 프레임 모양 박판(26)은 램프 케이스(2)에 대해서 납땜 등에 의해서 접합해도 좋다. 이 프레임 모양 박판(26)은 엑시머 램프(1)에 마련된 광통과전극(30)에 급전하는 급전부로서 기능한다.A thin plate of stainless steel or the like is provided on the front surface 2b side of the lamp case 2 so as to cover the outer circumferential edge of the front surface 2b and the rectangular outer circumferential edge of the light passing electrode 30. [ Shaped frame-shaped thin plate (feeding portion) 26 is disposed. The frame-shaped thin plate 26 has an outer periphery having substantially the same shape as the outer periphery of the front face 2b of the lamp case 2 and an inner periphery having substantially the same shape as the rectangular annular edge of the light passing electrode 30 have. The frame-shaped thin plate 26 may be joined to the lamp case 2 by soldering or the like. The frame-shaped thin plate 26 functions as a feeding part that feeds the light passing electrode 30 provided in the excimer lamp 1. [

램프 케이스(2)의 배면(2c) 측의 배면전극(3)은 엑시머 램프(1)의 전극으로서 기능하는 것으로, 엑시머 램프(1)와는 별체로 마련되어 있다. 배면전극(3)은 광통과전극(30)의 장방형 환상의 외주연부와 대략 동일한 형상을 가지는 알루미늄제의 장방형 모양의 평판(平板)으로 구성되어 있다. 이 때문에, 전극의 박리(剝離)라고 하는 문제가 생기기 어렵다. 배면전극(3)은 램프 케이스(2)의 배면(2c)과 대향하여, 배면(2c)에 접촉 배치된다. 이 배면전극(3)에는 당해 배면전극(3)으로 급전하기 위한 급전부(15)가 마련되어 있다. 급전부(15)는 배면전극(3)의 외연부에 마련된 전극편을 아래쪽으로 굴곡시키는 것에 의해서 형성된다. 이 급전부(15)는 고주파 전원과 배선을 통하여 접속된다. 램프 케이스(2)와의 접촉면이 되는 전면(3a)에는 램프 케이스(2) 내부에서 발생한 광을 전면(2b) 측으로 반사시키기 위해서, 경면(鏡面)가공이 시행되어 있다. 또한, 배면전극(3)의 경면가공에 대신하여, 램프 케이스(2)의 배면(2c)에 알루미늄 등의 금속 증착(蒸着)에 의해서 직접 전극층겸 반사경을 형성해도 된다. 이 경우, 배면전극(3)을 전극층에 급전하기 위한 급전부재로서 이용해도 되고, 배면전극(3) 대신에 별도로 급전부재를 마련해도 된다. 엑시머 램프(1) 가운데, 광통과전극(30)과 배면전극(3)에 끼워진 영역은 고주파 전압이 인가되는 방전영역이 된다.The back electrode 3 on the back surface 2c side of the lamp case 2 functions as an electrode of the excimer lamp 1 and is provided separately from the excimer lamp 1. [ The back electrode 3 is formed of a flat plate made of aluminum and having substantially the same shape as the rectangular outer circumferential edge of the light passing electrode 30. Therefore, the problem of separation of the electrode is unlikely to occur. The back electrode 3 is disposed in contact with the back surface 2c so as to face the back surface 2c of the lamp case 2. [ The back electrode 3 is provided with a feeding part 15 for feeding the back electrode 3 to the back electrode 3. The feeding portion 15 is formed by bending the electrode piece provided on the outer edge portion of the back electrode 3 downward. The feeding part 15 is connected to the high frequency power source via wiring. Mirror surface processing is performed on the front surface 3a as a contact surface with the lamp case 2 in order to reflect the light generated inside the lamp case 2 to the front surface 2b side. Instead of machining the mirror surface of the back electrode 3, an electrode layer and a reflecting mirror may be directly formed on the back surface 2c of the lamp case 2 by vapor deposition of metal such as aluminum. In this case, the back electrode 3 may be used as a power supply member for supplying power to the electrode layer, or a power supply member may be separately provided in place of the back electrode 3. A region sandwiched between the light passing electrode 30 and the back electrode 3 among the excimer lamps 1 is a discharge region to which a high frequency voltage is applied.

외부 케이스(4)는 엑시머 램프(1), 프레임 모양 박판(26), 램프 지지부(11A, 11B), 막대 모양 지지부(12), 트리거 전극(40) 및 트리거 트랜스(trance)(50)를 수용하는 직방체 모양의 상자체이다. 외부 케이스(4)는 상면 측이 개방된 저면 장방형 모양의 케이스(6)와, 당해 케이스(6)의 개방된 상면을 덮는 상부덮개(덮개부)(8)를 구비하고 있다. 케이스(6) 및 상부덮개(8)는 도전성 재료로 이루어지고, 예를 들면, 알루미늄이나 스테인리스 등의 재질을 채용할 수 있다. 케이스(6)는 상부덮개(8)와 대향하는 저면부(6a)와, 당해 저면부(6a)의 사방의 외연부로부터 각각 위쪽으로 연장하는 측면부(6b)를 구비하고 있다. 상부덮개(8)는, 저면부(6a)와 대향함과 아울러, 램프 케이스(2)의 외연부와 대향하는 프레임모양부(8b)와, 당해 프레임모양부(8b)로 둘러싸임과 아울러 광통과전극(30)을 노출시키는 개구부(8a)를 가지고 있다. 개구부(8a)는 프레임모양부(8b)의 중앙위치로서, 엑시머 램프(1)와 대향하는 영역에 대략 장방형 모양으로 형성되어 있다.The outer case 4 accommodates the excimer lamp 1, the frame-like thin plate 26, the lamp supports 11A and 11B, the rod support 12, the trigger electrode 40 and the trigger trance 50 A rectangular parallelepiped shape. The outer case 4 is provided with a bottom case rectangular case 6 whose upper surface is opened and an upper lid 8 covering the upper surface of the case 6. [ The case 6 and the upper lid 8 are made of a conductive material and may be made of, for example, aluminum or stainless steel. The case 6 has a bottom face portion 6a opposed to the top cover 8 and side face portions 6b extending upward from the four outer edges of the bottom face portion 6a. The upper lid 8 is opposed to the bottom face portion 6a and is surrounded by a frame portion 8b opposed to the outer edge of the lamp case 2 and surrounded by the frame portion 8b, And has an opening 8a for exposing the passing electrode 30. The opening 8a is a central position of the frame-like portion 8b and is formed in a substantially rectangular shape in a region facing the excimer lamp 1. [

상부덮개(8)의 사방의 외연부, 즉 프레임모양부(8b)의 사방의 외연부는 케이스(6)의 사방의 측면부(6b)의 상단면(6c)과 대략 일치하고 있다. 따라서, 프레임모양부(8b)의 외연부와 측면부(6b)의 상단면(6c)에는 서로 대응하는 위치에 관통구멍(8c)과 나사구멍(6d)이 각각 형성되어 있다. 당해 관통구멍(8c) 및 나사구멍(6d)에 나사(29)를 삽입하는 것에 의해서, 케이스(6)와 상부덮개(8)가 고정된다. 프레임모양부(8b)의 하면 측의 내연부, 즉 개구부(8a) 주변에는 단차면(8d)이 마련되어 있다(도 3 참조). 이 단차면(8d)의 사방의 외연부는, 위쪽으로부터 보아, 수납된 프레임 모양 박판(26) 및 램프 케이스(2)의 사방의 외연부보다도 약간 크게 설정되어 있다. 이것에 의해, 프레임 모양 박판(26) 및 램프 케이스(2)를 수납하고, 상부덮개(8)를 고정할 때의 위치맞춤을 행하기 쉬워진다.The outer edges of the four sides of the upper cover 8, that is, the four outer edges of the frame-like portion 8b substantially coincide with the upper end surfaces 6c of the four side surfaces 6b of the case 6. A through hole 8c and a screw hole 6d are formed at positions corresponding to each other on the outer edge portion of the frame-like portion 8b and the upper end surface 6c of the side surface portion 6b. The case 6 and the upper lid 8 are fixed by inserting the screw 29 into the through hole 8c and the screw hole 6d. A step difference surface 8d is provided around the inner edge of the bottom surface of the frame-like portion 8b, that is, around the opening 8a (see FIG. 3). The outer edges of the four sides of the stepped surface 8d are set slightly larger than the outer edges of the four sides of the frame-shaped thin plate 26 and the lamp case 2 housed as viewed from above. This makes it easier to accommodate the frame-shaped thin plate 26 and the lamp case 2 and align them when fixing the upper lid 8.

외부 케이스(4)의 내부에는 저면부(6a)상에 램프 지지부(11A, 11B)와, 막대 모양 지지부(12)가 마련되어 있다. 램프 지지부(11A, 11B)는 저면부(6a)의 길이방향의 양단 측에 마련되고, 엑시머 램프(1)를 지지함과 아울러 평면 방향의 위치결정을 행하는 기능을 가진다. 램프 지지부(11A)는 램프 케이스(2)(및 배면전극(3))를 일단(2d) 측에서 지지한다. 램프 지지부(11B)는 램프 케이스(2)(및 배면전극(3))를 타단(2e) 측에서 지지한다. 램프 지지부(11A, 11B)는 저면부(6a)의 양단 측에서 엑시머 램프(1)의 폭방향으로 넓어지는 대략 직방체 모양의 절연(絶緣)부재(예를 들면, 세라믹스)를 세우는 것에 의해서 구성되어 있다. 이들 램프 지지부(11A, 11B)의 서로 마주 보는 측면끼리의 간격은 엑시머 램프(1)의 길이방향의 길이보다도 약간 넓게 되어 있다. 램프 지지부(11A, 11B)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다. 막대 모양 지지부(12)는 저면부(6a)상에 소정의 간격으로 복수 개소에 마련되고, 엑시머 램프(1)를 아래쪽으로부터 지지하는 기능을 가진다.Lamp supporting portions 11A and 11B and bar supporting portions 12 are provided on the bottom portion 6a inside the outer case 4. The lamp support portions 11A and 11B are provided at both ends in the longitudinal direction of the bottom face portion 6a and have a function of supporting the excimer lamp 1 and performing positioning in the planar direction. The lamp supporting portion 11A supports the lamp case 2 (and the back electrode 3) from the one end 2d side. The lamp support portion 11B supports the lamp case 2 (and the back electrode 3) at the other end 2e side. The lamp supporting portions 11A and 11B are formed by mounting an approximately rectangular parallelepiped insulating member (for example, ceramics) extending in the width direction of the excimer lamp 1 from both end sides of the bottom face portion 6a have. The spacing between the opposing side surfaces of the lamp support portions 11A and 11B is slightly wider than the length of the excimer lamp 1 in the longitudinal direction. Details of the lamp support portions 11A and 11B will be described later. The rod-like supporting portions 12 are provided at a plurality of positions on the bottom face portion 6a at predetermined intervals and have a function of supporting the excimer lamp 1 from below.

막대 모양 지지부(12)는 램프 지지부(11A, 11B)로부터 평면 방향으로 소정의 간격으로 이간하도록 마련되어 있다. 이 막대 모양 지지부(12)는 저면부(6a)로부터 위쪽의 배면전극(3)을 향하여 수직으로 연장하고, 엑시머 램프(1)를 저면부(6a)로부터 이간하도록 지지하는 것이다. 이 막대 모양 지지부(12)는 세라믹스 등의 절연체에 의해서 형성되어 있고, 그 상단부는 축경(縮徑)하여 끝이 가늘게 되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 배면전극(3)의 배면 전체의 면적에 대해서, 막대 모양 지지부(12)의 선단 부분의 면적을 지극히 작게 할 수 있기 때문에, 막대 모양 지지부(12)는 배면전극(3)을 실질적으로 점접촉으로 지지할 수 있다. 본 실시형태에서는, 막대 모양 지지부(12)는 램프 지지부(11A)와 램프 지지부(11B)와의 사이에서, 길이방향을 따라서 일정 간격으로 한 쌍씩 배치되어 있다.The rod supporting portions 12 are provided so as to be separated from the lamp supporting portions 11A and 11B at a predetermined interval in the planar direction. The rod supporting portion 12 extends vertically from the bottom portion 6a toward the upper rear electrode 3 to support the excimer lamp 1 away from the bottom portion 6a. It is preferable that the rod-like supporting portion 12 is formed by an insulator such as ceramics, and the upper end portion of the rod-like supporting portion 12 has a reduced diameter so that its tip is narrowed. Therefore, since the area of the tip end portion of the rod-like supporting portion 12 can be made extremely small with respect to the entire area of the rear surface of the back electrode 3, the rod- It can be supported by contact. In the present embodiment, the rod-like supporting portions 12 are arranged in pairs between the lamp supporting portion 11A and the lamp supporting portion 11B at regular intervals along the longitudinal direction.

다음으로, 도 4와 도 5와 도 6을 참조하여, 램프 지지부(11A), 램프 케이스(2), 트리거 전극(40) 주변의 구조에 대해서 상세하게 설명한다. 도 5는 램프 지지부 및 램프 케이스를 단변방향에서 본 일부 단면도이다. 도 6은 도 5에 나타내는 VI-VI에 따른 단면도로서, 관모양부 부근을 확대한 확대 단면도이다. 또한, 이해를 용이하게 하기 위해, 도 4에는 램프 지지부(11A), 램프 케이스(2) 및 관모양부(20)만이 나타내어져 있다. 또, 도 5에는 램프 지지부(11A), 엑시머 램프(1), 트리거 전극(40) 및 트리거 트랜스(50)만이 나타내어져 있다. 또, 도 5에서는 램프 지지부(11A)만의 단면이 나타내어져 있다.Next, the structure around the lamp support portion 11A, the lamp case 2, and the trigger electrode 40 will be described in detail with reference to Figs. 4, 5, and 6. Fig. 5 is a partial cross-sectional view of the lamp support portion and the lamp case as seen from the short side direction. Fig. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI shown in Fig. 5, and is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the tubular portion. 4, only the lamp support portion 11A, the lamp case 2 and the tubular bore portion 20 are shown. 5, only the lamp supporting portion 11A, the excimer lamp 1, the trigger electrode 40 and the trigger transformer 50 are shown. In Fig. 5, only a cross section of the lamp support portion 11A is shown.

도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 램프 지지부(11A)는 램프 케이스(2)의 단변방향을 따라서 연장하는 대략 직방체 모양으로 형성되어 있다. 램프 지지부(11A)의 한쪽의 장변(長邊) 측의 가장자리부에는 장변방향으로 연장하는 장방형 모양의 절결(切缺)이, 장변방향의 양단 측의 일부를 각각 잔존(殘存)시키도록 마련되어 있다. 이 절결이 마련되는 것에 의해, 수평으로 넓어지는 단차면(11a)과, 연직으로 넓어지는 절결면(11b)을 형성할 수 있다. 당해 절결은 다른 쪽의 램프 지지부(11B)와 대향하는 대향면(11c)의 상측에 형성된다. 단차면(11a)은 대향면(11c)과 수직으로 형성되며, 절결면(11b)은 대향면(11c)과 평행하게 형성된다. 절결면(11b)은 대향면(11c)과 반대 측의 면인 이면(11m)과 대향하도록 형성된다. 단차면(11a)은 엑시머 램프(1)를 재치(載置)하기 위한 재치면으로서 기능시킬 수 있으며, 절결면(11b)은 엑시머 램프(1)의 길이방향의 위치결정을 행하기 위한 스토퍼(stopper)면으로서 기능시킬 수 있다. 단차면(11a)에는 배면전극(3)의 일단 측이 배치되고, 당해 배면전극(3)을 통하여 램프 케이스(2)의 일단(2d) 측이 배치된다. 또, 절결 부분의 길이방향 양단 측의 잔존 부분(11d, 11e)의 내측면끼리의 간격은 램프 케이스(2)의 폭방향의 길이와 대략 동일하게 되어 있기 때문에, 이들 잔존 부분(11d, 11e)을 엑시머 램프(1)의 폭방향의 위치결정용의 스토퍼로서 기능시킬 수 있다. 램프 지지부(11A)의 상면(11f)은 케이스(6)의 측면부(6b)의 상단면(6c)보다도 낮은 위치에 형성된다. 또, 상면(11f)은 램프 지지부(11A)에 지지된 상태에서의 램프 케이스(2)의 전면(2b)보다도 낮은 위치에 형성된다(도 3 참조). 이것에 의해서, 상부덮개(8)를 케이스(6)에 고정했을 때에, 상부덮개(8)가 램프 지지부(11A)의 상면(11f)과 간섭하는 것이 방지된다. 또한, 타단(2e) 측의 램프 지지부(11B)도 램프 지지부(11A)와 동일한 구성의 단차면(11a), 절결면(11b), 잔존 부분(11d, 11e) 및 상면(11f)을 가지고 있다.As shown in Figs. 4 and 5, the lamp support portion 11A is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape extending along the short side direction of the lamp case 2. As shown in Fig. A rectangular cutout extending in the long-side direction is provided on the edge of one side of the long side of the lamp support 11A so as to leave a part of both ends in the long-side direction, respectively . By providing this notch, the stepped surface 11a that widens horizontally and the cut-away surface 11b that widens vertically can be formed. The notch is formed on the upper side of the opposed surface 11c opposed to the other lamp supporting portion 11B. The stepped surface 11a is formed perpendicular to the opposed surface 11c and the cut surface 11b is formed parallel to the opposed surface 11c. The cut surface 11b is formed so as to face the back surface 11m which is a surface opposite to the opposite surface 11c. The stepped surface 11a can function as a placement surface for placing the excimer lamp 1 and the cut surface 11b can function as a stopper for positioning the excimer lamp 1 in the longitudinal direction stopper surface. One end side of the rear electrode 3 is disposed on the stepped surface 11a and the one end 2d side of the lamp case 2 is disposed on the rear surface electrode 3. [ The distance between the inner surfaces of the remaining portions 11d and 11e on both ends in the longitudinal direction of the notched portion is substantially equal to the length in the width direction of the lamp case 2. Therefore, Can function as a stopper for positioning the excimer lamp 1 in the width direction. The upper surface 11f of the lamp supporting portion 11A is formed at a position lower than the upper end surface 6c of the side surface portion 6b of the case 6. [ The upper surface 11f is formed at a position lower than the front surface 2b of the lamp case 2 in a state where it is supported by the lamp supporting portion 11A (see Fig. 3). This prevents the upper lid 8 from interfering with the upper surface 11f of the lamp supporting portion 11A when the upper lid 8 is fixed to the case 6. [ The lamp support portion 11B on the other end 2e side also has a stepped surface 11a, a cut surface 11b, remaining portions 11d and 11e and an upper surface 11f having the same configuration as the lamp support portion 11A .

램프 지지부(11A)는 램프 케이스(2)의 관모양부(20)를 수용하는 홈부(61)를 가지고 있다. 홈부(61)는 절결면(11b)으로부터 이면(11m)으로 향하여 연장하는 'U'자 모양의 홈이다. 홈부(61)는 절결면(11b) 및 이면(11m)과 수직을 이루도록 연장한다. 홈부(61)는 위쪽으로 개구하는 'U'자 모양을 이루고 있고, 상면(11f)에서 개구하며, 하측에서 반원을 그리도록 만곡하는 형상으로 되어 있다. 절결면(11b) 및 이면(11m)의 대향 방향에서 보았을 경우, 'U'자 모양의 홈부(61)는 홈의 폭방향에서의 중심선을 통하여 좌우 선대칭인 'U'자를 이루고 있다. 즉, 홈부(61)는 상면(11f)으로부터 수직으로 아래쪽으로 향하여 연장하는 한 쌍의 평면 모양의 측부(62)와, 당해 한 쌍의 평면의 하단을 연결하도록 아래쪽으로 볼록하게 되는 반원통면 모양의 바닥부(63)를 가진다. 또, 홈부(61)의 폭방향에서의 중심선상에 바닥부(63)의 최하단부(63a)가 형성된다. 이 최하단부(63a)는 절결면(11b) 및 이면(11m)과 수직을 이루도록 연장하는 직선을 그린다.The lamp support portion 11A has a groove portion 61 for receiving the tubular boss portion 20 of the lamp case 2. The groove portion 61 is a U-shaped groove extending from the cut surface 11b toward the rear surface 11m. The groove portion 61 extends perpendicularly to the cut surface 11b and the back surface 11m. The groove portion 61 has a U-shape opening upward and is opened at the upper surface 11f and curved so as to draw a semicircle at the lower side. The U-shaped groove portion 61 forms a U-shaped line symmetrically to the left and right through the center line in the width direction of the groove when viewed from the opposite direction of the cut surface 11b and the rear surface 11m. That is, the groove 61 has a pair of planar side portions 62 extending vertically downward from the upper surface 11f, and a semicylindrical surface shape 62 which is convex downward to connect the lower ends of the planar surfaces. As shown in Fig. The bottom end portion 63a of the bottom portion 63 is formed on the center line of the groove portion 61 in the width direction. The lowermost end 63a draws a straight line extending perpendicularly to the cut surface 11b and the back surface 11m.

한편, 램프 지지부(11A)의 단차면(11a)보다도 하측의 영역에는 트리거 트랜스(50)를 수납하기 위한 내부 공간(64)이 형성되어 있다. 이 내부 공간(64)은 홈부(61)의 아래쪽의 위치에 형성된다. 내부 공간(64)은 트리거 트랜스(50)의 형상에 맞추어 대략 직방체 모양의 형상을 이루고 있고, 램프 지지부(11A)의 대향면(11c) 및 저면에서 개구하고 있다. 홈부(61)의 바닥부(63)에는 당해 홈부(61)로부터 아래쪽으로 연장하여 내부 공간(64)에서 개구하는 관통구멍(66)이 형성되어 있다. 관통구멍(66)은 중심이 최하단부(63a)상에 배치되는 원형을 이루며, 내부 공간으로 연직으로 연장하고, 내부 공간(64)의 상면(64a)에서 개구하고 있다.On the other hand, an inner space 64 for accommodating the trigger transformer 50 is formed in a region below the stepped surface 11a of the lamp support portion 11A. The inner space 64 is formed at a position below the groove 61. The inner space 64 has an approximately rectangular parallelepiped shape conforming to the shape of the trigger transformer 50 and opens at the opposite surface 11c and bottom surface of the lamp support portion 11A. The bottom portion 63 of the groove portion 61 is formed with a through hole 66 extending downward from the groove portion 61 and opening in the inner space 64. The through hole 66 has a circular shape with its center disposed on the lowermost end 63a and extends vertically into the inner space and opens at the upper surface 64a of the inner space 64. [

램프 지지부(11A)의 관통구멍(66)에는 당해 관통구멍(66) 내를 연직방향으로 연장하는 트리거 전극(40)이 배치되어 있다. 또, 램프 지지부(11A)의 내부 공간(64)에는 트리거 트랜스(트리거 급전부, 트리거 전극 지지부)(50)가 수납되어 있다. 트리거 전극(40)은 엑시머 램프(1)에 트리거가 되는 트리거 전압을 인가하는 기능을 가지고 있다. 트리거 전극(40)은, 엑시머 램프(1) 가운데, 관모양부(20)의 외주면(20a)과 점접촉하고, 당해 관모양부(20)에 트리거 전압을 인가한다. 트리거 트랜스(50)는 트리거 전극(40)에 급전하는 기능을 가지고 있다. 또, 트리거 트랜스(50)는 트리거 전극(40)을 지지하는 기능도 가지고 있다. 트리거 트랜스(50)는 상면(50a)으로부터 연장하는 트리거 전극(40)을 둘러싸도록, 당해 트리거 전극(40)과 함께 위쪽으로 연장하는 트리거 전극 지지통(트리거 전극 지지부)(51)을 구비하고 있다.The trigger electrode 40 extending in the vertical direction in the through hole 66 is disposed in the through hole 66 of the lamp supporting portion 11A. A trigger transformer (trigger feeder, trigger electrode supporter) 50 is housed in the inner space 64 of the lamp supporter 11A. The trigger electrode 40 has a function of applying a trigger voltage to the excimer lamp 1 as a trigger. The trigger electrode 40 makes point contact with the outer circumferential surface 20a of the tubular bore 20 among the excimer lamp 1 and applies the trigger voltage to the tubular bore 20. The trigger transformer 50 has a function of feeding the trigger electrode 40 with power. The trigger transformer 50 also has a function of supporting the trigger electrode 40. The trigger transformer 50 has a trigger electrode support tube (trigger electrode support portion) 51 extending upward together with the trigger electrode 40 so as to surround the trigger electrode 40 extending from the upper surface 50a .

구체적으로, 트리거 트랜스(50)는 그 상면(50a)이 내부 공간(64)의 상면(64a)과 대향 또는 접촉하고, 그 측면(50b)이 내부 공간(64)의 측면(64b)과 대향 또는 접촉하도록 배치된다. 트리거 트랜스(50)의 측면 가운데, 램프 지지부(11A)의 대향면(11c)으로부터 노출하는 부분에는 배선(53)이 접속되어 있다. 관통구멍(66)의 위치에서, 트리거 트랜스(50)의 상면(50a)으로부터 위쪽으로 향하여 막대 모양 또는 침(針) 모양의 트리거 전극(40)이 연장해 있다. 트리거 전극(40)은, 예를 들면, 외경이 0.5 ~ 2㎜ 정도로 설정된다. 이 트리거 전극(40)은 선단이 끝이 가늘게 되어 있어도 된다. 트리거 전극(40)은 관통구멍(66)을 통과하여, 상단이 최하단부(63a)보다도 위쪽까지 연장해 있다. 즉, 트리거 전극(40)은 상단 측의 일부가 홈부(61) 내로 돌출한다. 트리거 전극(40)은 연직방향으로 연장하는 중심축선(CL2)이 관통구멍(66)의 중심축선과 일치함과 아울러, 홈부(61)의 최하단부(63a)와 수직으로 교차하도록 배치되는 것이 바람직하다. 또, 관통구멍(66)의 내부에서, 트리거 전극(40)의 둘레는 트리거 전극 지지통(51)에 의해 지지된다. 트리거 전극 지지통(51)으로서 스프링 프로브(spring probe)가 이용되고 있고, 트리거 전극 지지통(51)은 트리거 전극(40)을 상하방향으로 탄성이동 가능하게 하는 스프링재(가압부재)(52)를 구비하고 있다. 당해 스프링재(52)에 의해서 트리거 전극(40)은 관모양부(20)에 의해 밀리는 것에 의해서 아래쪽으로 탄성이동함과 동시에, 당해 관모양부(20)로 가압력을 부여한다. 따라서, 당해 스프링재(52)는 관모양부(20)에 대해서 트리거 전극을 가압하는 가압부재로서 기능할 수 있다.Specifically, the trigger transformer 50 is configured such that the upper surface 50a of the trigger transformer 50 is opposed to or in contact with the upper surface 64a of the inner space 64, and the side surface 50b thereof is opposed to the side surface 64b of the inner space 64 . A wiring 53 is connected to the exposed portion of the side surface of the trigger transformer 50 from the opposing face 11c of the lamp supporting portion 11A. A trigger electrode 40 in the shape of a rod or a needle extends upward from the upper surface 50a of the trigger transformer 50 at the position of the through hole 66. [ The trigger electrode 40 is set to have an outer diameter of, for example, about 0.5 to 2 mm. The trigger electrode 40 may be formed such that its tip end is narrowed. The trigger electrode 40 passes through the through hole 66, and the upper end extends upward beyond the lowermost end 63a. That is, a part of the upper end side of the trigger electrode 40 protrudes into the groove 61. The trigger electrode 40 is preferably arranged so that the central axis CL2 extending in the vertical direction coincides with the central axis of the through hole 66 and is perpendicular to the lowermost end 63a of the groove 61 . In the inside of the through hole 66, the periphery of the trigger electrode 40 is supported by the trigger electrode support cylinder 51. A spring probe is used as the trigger electrode support tube 51. The trigger electrode support tube 51 is made of a spring member (pressing member) 52 for allowing the trigger electrode 40 to elastically move in the vertical direction, . The trigger electrode 40 is elastically moved downward by the spring member 52 being pushed by the tubular bore 20 and a pressing force is applied to the tubular bore 20. Therefore, the spring member 52 can function as a pressing member for pressing the trigger electrode against the tubular bore portion 20. [

다음으로, 엑시머 램프(1)를 상술한 바와 같이 구성된 램프 지지부(11A)에 설치했을 경우에서의, 각 구성요소의 위치관계에 대해서, 도 4 ~ 도 6을 이용하여 보다 상세하게 설명한다.Next, the positional relationship of the respective components when the excimer lamp 1 is mounted on the lamp support portion 11A constructed as described above will be described in more detail with reference to Figs. 4 to 6. Fig.

엑시머 램프(1)의 램프 케이스(2)의 배면(2c)의 일단(2d) 측은 배면전극(3)을 통하여 램프 지지부(11A)의 단차면(11a)상에 배치된다. 또, 램프 케이스(2)의 일단(2d) 측으로부터 연장하는 관모양부(20)는 홈부(61) 내에 배치된다. 관모양부(20)는 절결면(11b)과 수직을 이룸과 아울러, 홈부(61)의 폭방향에서의 중앙위치에 배치된다. 즉, 관모양부(20)는 중심축선(CL1)(램프 케이스(2)의 일단(2d)의 둘레면벽(24)과 직교함)이 홈부(61)의 폭방향에서의 중심선과 일치하도록 배치된다. 위쪽으로부터 보았을 때에, 중심축선(CL1)은 홈부(61)의 폭방향의 중심선과 겹친다. 또, 본 실시형태에서는, 중심축선(CL1)은 바닥부(63)의 최하단부(63a)에 의해서 그려지는 직선과도 겹친다. 또한, 관모양부(20)의 외주면(20a)의 최하단부(20c)에 의해서 그려지는 직선도, 바닥부(63)의 최하단부(63a)에 의해서 그려지는 직선과 겹친다. 중심축선(CL1) 및 최하단부(20c)의 직선은 홈부(61)의 측부(62) 및 바닥부(63)와 평행하게 된다.One end 2d side of the back surface 2c of the lamp case 2 of the excimer lamp 1 is disposed on the stepped surface 11a of the lamp supporting portion 11A through the back electrode 3. [ The tubular portion 20 extending from the one end 2d side of the lamp case 2 is disposed in the groove portion 61. [ The tubular portion 20 is perpendicular to the cut surface 11b and is disposed at a central position in the width direction of the groove portion 61. [ That is, the tubular portion 20 is disposed so that the center axis CL1 (orthogonal to the circumferential wall 24 of the one end 2d of the lamp case 2) coincides with the centerline in the width direction of the groove portion 61 . When viewed from above, the center axis CL1 overlaps with the center line in the width direction of the groove 61. In this embodiment, the central axis CL1 also overlaps with a straight line drawn by the lowermost end 63a of the bottom portion 63. [ The straight line drawn by the lowermost end portion 20c of the outer peripheral surface 20a of the tubular portion 20 overlaps with the straight line drawn by the lowermost end portion 63a of the bottom portion 63. [ The straight line of the central axis CL1 and the lowermost end 20c becomes parallel to the side portion 62 and the bottom portion 63 of the groove portion 61. [

또, 이 때, 램프 케이스(2)의 일단(2d) 측의 둘레면벽(24)은 절결면(11b)으로부터 이간하여, 비접촉으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해서, 당해 부분에서의 연면(沿面)방전을 억제할 수 있다. 또, 관모양부(20)의 외주면(20a) 및 선단부(20b)는 바닥부(63) 및 측부(62)로부터 이간하여, 비접촉으로 되어 있는 것이 바람직하다. 램프 케이스(2)를 외부 케이스(4)에 고정할 때, 램프 케이스(2)를 램프 지지부(11A)로 밀어붙이도록 하여 고정한다. 따라서, 관모양부(20)와 바닥부(63)가 접촉하고 있는 경우, 관모양부에 강한 응력이 걸려, 크랙이 생겨 파손할 가능성이 있다. 특히, 본 실시형태와 같이 램프 케이스(2)의 벽두께에 비하여 관모양부(20)의 벽두께를 얇게 했을 경우, 그 영향은 커진다. 따라서, 관모양부(20)를 바닥부(63)로부터 이간시켜 비접촉으로 함으로써, 관모양부(20)에 응력이 걸리는 것을 방지하고 있다. 또, 관모양부(20)와 바닥부(63) 및 측부(62)가 접촉하고 있는 경우, 램프 지지부(11A)를 통하여 트리거 전극(40)과 방전전극과의 사이에서의 연면방전이 발생할 가능성이 있다. 따라서, 관모양부(20)를 바닥부(63) 및 측부(62)로부터 이간시켜 비접촉으로 함으로써, 트리거 전극(40) 및 관모양부(20) 부근에서 연면방전 경로를 배제할 수 있다. 이것에 의해, 트리거 전극(40)이 관모양부(20)에 점접촉하고 있는 것에 의한, 전계 집중의 효과를 한층 높일 수 있다. 단, 비접촉인 것이 특히 바람직하지만, 관모양부(20)가 바닥부(63) 및 측부(62) 중 어느 하나 또는 양쪽과 접촉하고 있어도, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.At this time, it is preferable that the peripheral wall 24 on the side of the one end 2d side of the lamp case 2 is separated from the cut surface 11b to be in a noncontact state. This makes it possible to suppress creeping discharge in the portion. It is preferable that the outer circumferential surface 20a and the distal end portion 20b of the tubular portion 20 are separated from the bottom portion 63 and the side portion 62 to be in a noncontact state. When the lamp case 2 is fixed to the outer case 4, the lamp case 2 is fixed by being pressed against the lamp supporting portion 11A. Therefore, when the tubular portion 20 and the bottom portion 63 are in contact with each other, a strong stress is applied to the tubular portion, resulting in cracking, and there is a possibility of breakage. Particularly, when the wall thickness of the tubular portion 20 is made thinner than the wall thickness of the lamp case 2 as in the present embodiment, the influence becomes large. Therefore, the tubular bodily part 20 is separated from the bottom part 63 to make no contact, thereby preventing the tubular bodily part 20 from being stressed. In the case where the tubular portion 20 is in contact with the bottom portion 63 and the side portion 62, there is a possibility that the surface discharge between the trigger electrode 40 and the discharge electrode occurs through the lamp support portion 11A have. Therefore, the surface discharge path can be excluded in the vicinity of the trigger electrode 40 and the tubular bodys 20 by making the tubular bodily part 20 away from the bottom part 63 and the side part 62 and making it noncontact. As a result, the effect of the electric field concentration can be further enhanced by the fact that the trigger electrode 40 is in point contact with the tubular portion 20. However, even if the tubular portion 20 is in contact with one or both of the bottom portion 63 and the side portion 62, the effect of the present invention can be obtained.

또, 관모양부(20)는 홈부(61) 내로 들어가고, 일부가 홈부(61)보다 외측으로 나오지 않는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 관모양부(20)의 선단부(20b)는 램프 지지부(11A)의 이면(11m)으로부터 외측으로 돌출하지 않는 것이 바람직하다. 즉, 이면(11m)과 선단부(20b)가, 도 5에 나타내는 바와 같이 치수 T1만큼 이간하고 있는 것이 바람직하다. 또, 관모양부(20)의 외주면(20a)은 램프 지지부(11A)의 상면(11f)으로부터 위쪽으로 돌출하지 않는 것이 바람직하다. 즉, 상면(11f)과 관모양부(20)의 최상 단부가, 도 5에 나타내는 바와 같이 치수 T2만큼 이간하고 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 홈부(61)로부터 관모양부(20)가 돌출해 있는 경우, 램프 케이스(2)의 교환이나 다른 부품의 교환 작업시에, 작업자의 손가락과 관모양부(20)가 접촉하여 파손해 버릴 가능성이 있다. 상술과 같이 관모양부(20)는 홈부(61)의 내면으로부터 이간하여 비접촉이기 때문에, 접촉시의 응력의 영향이 크다. 따라서, 관모양부(20)가 홈부(61) 내로 들어가는 구성으로 함으로써, 그와 같은 파손을 방지할 수 있다. 단, 돌출하지 않은 것이 특히 바람직하지만, 관모양부(20)가 이면(11m) 및 상면(11f) 중 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 돌출해 있어도, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.It is preferable that the tubular portion 20 enters the groove portion 61 and a part of the tubular portion 20 does not protrude outward beyond the groove portion 61. More specifically, it is preferable that the tip end portion 20b of the tubular portion 20 does not project outward from the rear surface 11m of the lamp support portion 11A. That is, it is preferable that the back surface 11m and the tip end portion 20b are separated by a dimension T1 as shown in Fig. It is preferable that the outer circumferential surface 20a of the tubular portion 20 does not protrude upward from the upper surface 11f of the lamp support portion 11A. That is, it is preferable that the upper surface 11f and the uppermost end of the tubular portion 20 are spaced apart by a dimension T2 as shown in Fig. For example, when the tubular bodily part 20 protrudes from the groove part 61, the operator's finger and the tubular bodily part 20 come into contact with each other to break the tube when the lamp case 2 is replaced or other parts are replaced There is a possibility to discard it. As described above, since the tubular portion 20 is in a non-contact state away from the inner surface of the groove portion 61, the influence of the stress at the time of contact is great. Therefore, by making the tubular portion 20 enter the groove portion 61, it is possible to prevent such breakage. However, it is particularly preferable that the tubular portion 20 does not protrude, but the effect of the present invention can be obtained even if the tubular portion 20 protrudes from one or both of the back surface 11m and the upper surface 11f.

트리거 전극(40)은 관모양부(20)의 연장방향(중심축선(CL1)이 연장하는 방향)과 교차(여기에서는 직교하고 있음)하는 방향으로 연장하고, 선단부(41)에서 관모양부(20)의 외표면과 점접촉하고 있다. 트리거 전극(40)은 관모양부(20)의 램프 지지부(11A) 측의 영역, 즉, 관모양부(20)의 하반부의 영역에서, 외주면(20a)과 점접촉하고 있다. 또, 바람직하게는, 트리거 전극(40)은 외주면(20a)에 대해서 접촉점에서 수직이 되도록 점접촉한다. 구체적으로는, 트리거 전극(40)의 중심축선(CL2)은 관모양부(20)의 중심축선(CL1)과 P1에서 수직으로 교차한다. 이것에 의해, 트리거 전극(40)은 관모양부(20)의 최하단부(20c)와 P2에서 수직으로 교차한다. 즉, 트리거 전극(40)의 선단부(41)가 관모양부(20)의 최하단부(20c)에서 접촉점 P2에서 점접촉한다. 또, 이 때, 관모양부(20)의 횡단면의 바깥 원에 접촉점 P2에 대한 접선 TL를 그었을 때, 당해 접선 TL과 트리거 전극(40)의 중심축선(CL2)은 수직이 된다(도 6 참조). 또한, 관모양부(20)를 접촉점 P2의 위치에서 종단면을 잘랐을 경우, 당해 종단면에서의 외주면(20a)(여기에서는 최하단부(20c)가 그리는 직선)과 트리거 전극(40)의 중심축선(CL2)은 수직이 된다(도 5 참조). 이와 같은 관계를 만족한 상태에서 점접촉하는 경우, 트리거 전극(40)은 확실히 관모양부(20)와 접촉할 수 있다. 또한, 엄밀하게 상술의 관계가 만족되지 않아도 되고, 각 부품의 제조오차나, 작업의 설치오차의 범위에서 위치가 어긋나는 것은 허용된다.The trigger electrode 40 extends in a direction intersecting (here, orthogonal to) the extending direction of the tubular bodily part 20 (the direction in which the central axis CL1 extends), and the trigger electrode 40 extends from the distal end part 41 to the tubular bodily part 20. [ As shown in Fig. The trigger electrode 40 is in point contact with the outer circumferential surface 20a in the region of the tubular portion 20 on the side of the lamp support portion 11A, that is, in the region of the lower half of the tubular portion 20. Preferably, the trigger electrode 40 makes point contact with the outer peripheral surface 20a so as to be perpendicular to the contact point. Specifically, the center axis CL2 of the trigger electrode 40 crosses vertically with the center axis CL1 of the tubular portion 20 and P1. As a result, the trigger electrode 40 crosses vertically at the lowest end 20c of the tubular bump 20 at P2. That is, the distal end portion 41 of the trigger electrode 40 makes point contact at the contact point P2 at the lowermost end 20c of the tubular portion 20. At this time, when the tangential line TL with respect to the contact point P2 is drawn on the outer circle of the cross section of the tubular bending portion 20, the tangential line TL and the central axis CL2 of the trigger electrode 40 become perpendicular (see Fig. 6) . When the tubular portion 20 is cut at the position of the contact point P2, the outer peripheral surface 20a (the line drawn by the lowermost end 20c in this case) and the central axis CL2 of the trigger electrode 40 in the vertical cross- (See Fig. 5). When the point contact is made in a state in which such a relationship is satisfied, the trigger electrode 40 can certainly come into contact with the tubular portion 20. In addition, the above-described relationship is not strictly satisfied, and it is permitted that the position is deviated from the manufacturing error of each component or the installation error of the operation.

램프 케이스(2)가 설치되기 전에는(도 4에서 나타내는 상태), 트리거 전극(40)은 위쪽으로부터의 힘을 받지 않았다. 이 때의 트리거 전극(40)의 돌출량(선단부(41)와 최하단부(63a)와의 사이의 거리)은 램프 케이스(2)를 설치했을 때의 관모양부(20)의 최하단부(20c)와 최하단부(63a)와의 사이의 거리보다도 크다. 이것에 의해서, 램프 케이스(2)를 설치했을 때, 트리거 전극(40)은 관모양부(20)의 외주면(20a)에 의해 밀리는 것에 의해, 아래쪽으로 탄성이동한다. 이와 같이 트리거 전극(40)이 탄성이동하는 것에 의해, 관모양부(20)에 무리한 응력이 걸리지 않는다. 동시에, 트리거 전극(40)을 관모양부(20)에(파손의 우려가 있는 응력이 걸리지 않는 범위에서) 가압할 수 있기 때문에, 트리거 전극(40)과 관모양부(20)를 제대로 접촉시킬 수 있다.Before the lamp case 2 is installed (the state shown in Fig. 4), the trigger electrode 40 does not receive the force from above. The protruding amount of the trigger electrode 40 at this time (the distance between the distal end portion 41 and the bottommost end 63a) is equal to the distance between the lowermost end portion 20c and the lowermost end portion 20c of the tubular portion 20 when the lamp case 2 is installed 63a. Thereby, when the lamp case 2 is provided, the trigger electrode 40 is elastically moved downward by being pushed by the outer circumferential surface 20a of the tubular bore 20. As described above, since the trigger electrode 40 is elastically moved, undue stress is not applied to the tubular portion 20. At the same time, since the trigger electrode 40 can be pressed against the tubular bodily part 20 (within a range in which stress is not likely to be broken), the trigger electrode 40 and the tubular bodily part 20 can be brought into contact with each other .

관모양부(20)의 연장방향에서의 접촉점 P2의 위치, 즉 트리거 전극(40)의 배치 위치는 관모양부(20)의 연장방향에서의 중앙위치에 가까운 것이 바람직하다. 즉, 접촉점 P2는 관모양부(20)의 선단부(20b)로부터 이간한 위치로서, 관모양부(20)의 기단(둘레면벽(24) 측의 단부)으로부터 이간한 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 선단부(20b)에 가까운 영역에서는 봉지시에 약간의 변형을 수반하는 것에 의해, 관모양부(20)의 외표면이 구(球) 모양으로 둥글게 되어 있기 때문에, 트리거 전극(40)이 위치가 어긋나 양호하게 점접촉할 수 없을 가능성이 있다. 기단(基端) 부근의 영역(둘레면벽(24)으로부터 약 10㎜ 이내의 범위)에서는 트리거 전극(40)과 방전전극과의 사이에 방전이 발생할 가능성이 있다.It is preferable that the position of the contact point P2 in the extending direction of the tubular portion 20, that is, the disposing position of the trigger electrode 40 is close to the central position in the extending direction of the tubular portion 20. [ That is, the contact point P2 is preferably located at a position apart from the proximal end (the end on the peripheral wall 24 side) of the tubular bodily part 20, as a position separated from the distal end part 20b of the tubular bodily part 20. [ The outer surface of the tubular portion 20 is rounded in the spherical shape due to the slight deformation at the time of sealing in the region near the distal end portion 20b so that the trigger electrode 40 is misaligned There is a possibility that the point contact can not be made. There is a possibility that a discharge may occur between the trigger electrode 40 and the discharge electrode in a region near the base end (within a range of about 10 mm from the peripheral wall 24).

트리거 트랜스(50)의 상면(50a)과 램프 지지부(11A)의 내부 공간(64)의 상면(64a)은 밀착하고 있어도 되고, 비접촉으로 되어 있어도 된다. 또, 트리거 트랜스(50)의 측면(50b)과 램프 지지부(11A)의 내부 공간(64)의 측면(64b)은 밀착하고 있어도 되고, 비접촉으로 되어 있어도 된다. 관통구멍(66)의 내주면의 내경은 트리거 전극(40) 및 트리거 전극 지지통(51)의 외경보다 크게 설정됨으로써, 서로 비접촉이 되는 것이 바람직하다. 이것에 의해서, 연면방전을 방지할 수 있다.The upper surface 50a of the trigger transformer 50 and the upper surface 64a of the inner space 64 of the lamp supporter 11A may be in close contact or noncontact. The side surface 50b of the trigger transformer 50 and the side surface 64b of the inner space 64 of the lamp supporter 11A may be in close contact with each other or may be in noncontact state. It is preferable that the inner diameter of the inner circumferential surface of the through hole 66 is set to be larger than the outer diameter of the trigger electrode 40 and the trigger electrode support tube 51 so that they do not contact each other. As a result, surface discharge can be prevented.

다음으로, 본 실시형태에 관한 발광장치(100)의 작용·효과에 대해서 설명한다.Next, the operation and effect of the light emitting device 100 according to the present embodiment will be described.

우선, 비교예에 관한 발광장치(200)에 대해서, 도 7의 (a)을 참조하여 설명한다. 트리거 전극(40)과 방전전극(여기에서는 배면전극(3)이지만, 트리거 전극(40)을 전면(2b) 측에 접촉시켰을 때는, 광통과전극(30)과의 사이에서 동일한 관계가 성립됨)(3)은, 근접시켰을 경우에, 각 전극 사이에서 방전이 발생할 가능성이 있다. 따라서, 서로 어느 정도 이간시킬 필요가 있다. 여기서, 비교예에 관한 발광장치(200)에서는, 트리거 전극(40)이 램프 케이스(2)의 본체부에서의 배면(2c)에서 접촉하고 있다. 따라서, 당해 접촉위치로부터 방전전극(3)의 가장자리를 멀리할 필요가 생긴다. 그렇지만, 램프 케이스(2)에서 방전전극을 설치 가능한 영역은 한정되어 있음에도 불구하고, 트리거 전극(40)으로부터 멀리하기 위해서는, 방전전극(3)을 상대적으로 작게 하지 않으면 안 된다. 이것에 의해, 발광장치(200)에서는, 램프 케이스(2)의 전체적인 사이즈에 비하여, 실제의 방전영역이 작아져, 유효발광범위를 확보할 수 없다는 문제가 발생한다.First, a light emitting device 200 according to a comparative example will be described with reference to Fig. 7 (a). The same relationship is established with respect to the light passing electrode 30 when the trigger electrode 40 and the discharge electrode (here, the back electrode 3 but the trigger electrode 40 are brought into contact with the front surface 2b side) 3) are close to each other, a discharge may occur between the electrodes. Therefore, it is necessary to separate them to some extent. Here, in the light emitting device 200 according to the comparative example, the trigger electrode 40 is in contact with the back surface 2c of the lamp case 2 in the main body portion thereof. Therefore, it is necessary to make the edge of the discharge electrode 3 away from the contact position. However, although the area where the discharge electrode can be installed in the lamp case 2 is limited, the discharge electrode 3 must be relatively small in order to be away from the trigger electrode 40. [ As a result, in the light emitting device 200, the actual discharge area becomes smaller than the overall size of the lamp case 2, which results in a problem that the effective light emission range can not be ensured.

한편, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 트리거 전극(40)을 램프 케이스(2)에 접촉시킨 상태에서, 억지로 방전전극(3)을 넓게 확보했을 경우, 다음과 같은 문제가 발생한다. 즉, 트리거 전압을 인가했을 때에, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 트리거 전극(40)과 방전전극(3)과의 사이에 방전이 발생해 버린다. 이 영향에 의해, 램프 케이스(2)의 내부에는 방전이 들어가지 않기 때문에, 램프를 점등을 할 수 없다. 예를 들면, 동일한 전원으로 복수 개의 엑시머 램프를 동시에 점등시키는 경우, 엑시머 램프마다의 점등에 불균일이 있으면, 먼저 점등한 램프에 전력이 집중해 버린다. 이것에 의해서, 미(未)점등인 것은 더욱 점등하기 어려워져 버린다. 따라서, 양호한 램프의 점등 성능이 요구되고 있었다.On the other hand, as shown in Fig. 8 (a), when the trigger electrode 40 is held in contact with the lamp case 2 and the discharge electrode 3 is kept wide, the following problems arise. That is, when the trigger voltage is applied, a discharge occurs between the trigger electrode 40 and the discharge electrode 3 as shown in FIG. 8 (b). Because of this influence, no discharge occurs in the interior of the lamp case 2, so that the lamp can not be turned on. For example, when a plurality of excimer lamps are simultaneously turned on with the same power source, if there is unevenness in lighting of each excimer lamp, power is firstly concentrated on the lamp that is turned on first. By this, it becomes difficult to turn on the light which is not yet turned on even more. Therefore, a good lamp lighting performance has been demanded.

이것에 대해서, 본 실시형태에 관한 발광장치(100)에 의하면, 엑시머 램프(1)는 전면(2b)에 광통과전극(30)이 형성되고, 배면(2c)에 배면전극(3)이 배치되는 램프 케이스(2)를 구비하고 있다. 또, 엑시머 램프(1)는 그 램프 케이스(2)로부터 외측을 향하여 돌출하고, 연장하는 관모양부(20)를 구비하고 있다. 관모양부(20)는 램프 케이스(2)로부터 외측으로 연장해 있기 때문에, 램프 케이스(2)의 방전전극(광통과전극(30), 배면전극(3))으로부터 충분한 거리를 확보하는 것이 가능하다. 트리거 전극(40)은 이와 같은 관모양부(20)의 외표면과 점접촉하고 있다. 즉, 램프 케이스(2)에 마련되어 있는 방전전극(3, 30)의 형상이나 크기에 관계없이, 트리거 전극(40)의 접촉점 P2를 방전전극(3, 30)으로부터 충분히 이간시키는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해서, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 트리거 전극(40)과 방전전극(3, 30)과의 사이의 방전을 방지함으로써 램프를 양호하게 점등 가능하게 하는 한편으로, 램프 케이스(2)에서는 충분한 범위로 방전전극(3, 30)을 마련할 수 있다. 따라서, 램프 케이스(2)의 사이즈에 대해서, 유효발광범위를 최대한으로 넓게 확보할 수 있다. 또한, 점접촉으로 함으로써, 전계를 집중시켜, 한층 양호하게 램프를 점등 가능하게 한다. 이것에 의해, 비교적 가스압이 높은 엑시머 램프라도 충분한 전계강도를 확보하여, 양호한 램프의 점등 성능을 얻을 수 있다. 이상에 의해서, 양호한 램프의 점등을 가능하게 함과 동시에, 충분히 넓은 유효발광범위를 확보할 수 있다.On the other hand, according to the light emitting device 100 of the present embodiment, the light passing electrode 30 is formed on the front surface 2b of the excimer lamp 1, and the back electrode 3 is arranged on the back surface 2c And the lamp case 2 is provided. The excimer lamp 1 has a tubular boss 20 protruding outward from the lamp case 2 and extending therefrom. It is possible to secure a sufficient distance from the discharge electrodes (the light passing electrode 30 and the back electrode 3) of the lamp case 2 because the tubular portion 20 extends outward from the lamp case 2. [ The trigger electrode 40 is in point contact with the outer surface of the tubular portion 20 as described above. That is, the contact point P2 of the trigger electrode 40 can be sufficiently separated from the discharge electrodes 3 and 30 irrespective of the shape and size of the discharge electrodes 3 and 30 provided in the lamp case 2. 7 (b), it is possible to prevent the discharge between the trigger electrode 40 and the discharge electrodes 3 and 30 so that the lamp can be lighted well, while the lamp case 2), the discharge electrodes 3 and 30 can be provided in a sufficient range. Therefore, the effective light emission range can be ensured as wide as possible for the size of the lamp case 2. Further, by point contact, the electric field can be concentrated and the lamp can be turned on even better. As a result, a sufficient electric field strength can be secured even with an excimer lamp having a relatively high gas pressure, and good lamp lighting performance can be obtained. As described above, a good lamp can be turned on and a sufficiently wide effective light emission range can be ensured.

발광장치(100)에서, 트리거 전극(40)은 관모양부(20)의 연장방향과 교차하는(여기에서는 직교하는) 방향으로 연장하고, 선단부(41)에서 관모양부(20)의 외주면(20a)과 점접촉하고 있다. 이와 같은 구성으로 하는 것에 의해, 트리거 전극(40)의 선단부(41)에서 확실히 관모양부(20)의 외표면과 점접촉할 수 있다.In the light emitting device 100, the trigger electrode 40 extends in a direction intersecting with the extending direction of the tubular bodily 20 (orthogonal to this direction) and extends from the distal end portion 41 to the outer peripheral surface 20a of the tubular bodily 20, . With this configuration, the distal end portion 41 of the trigger electrode 40 can reliably make point contact with the outer surface of the tubular portion 20.

발광장치(100)에서, 관모양부(20)의 벽두께는 램프 케이스(2)의 벽두께보다 작다. 관모양부(20)의 벽두께를 작게 함으로써 방전개시 능력을 높일 수 있다. 한편, 램프 케이스(2)의 벽두께를 크게 함으로써 방전 부분에서 높은 강도(예를 들면, 압력에 대한 물리적 강도나, 방전 내성)를 확보할 수 있다. 또한, 관모양부(20)의 벽두께는 적어도 트리거 전극(40)과의 접촉점 P2에서 램프 케이스(2)의 벽두께보다 작게 설정되어 있다. 즉, 관모양부(20)의 연결부 부근은 강도 확보를 위해서 램프 케이스(2)의 벽두께와 동등하게 되어 있어도, 접촉점 P2에서는 램프 케이스(2)의 벽두께보다 작게 되어 있다.In the light emitting device 100, the wall thickness of the tubular bore portion 20 is smaller than the wall thickness of the lamp case 2. By decreasing the wall thickness of the tubular portion 20, the discharge starting ability can be enhanced. On the other hand, by increasing the wall thickness of the lamp case 2, it is possible to secure high strength (for example, physical strength against pressure and discharge resistance) in the discharge portion. The wall thickness of the tubular portion 20 is set to be smaller than the wall thickness of the lamp case 2 at least at the contact point P2 with the trigger electrode 40. [ That is, the vicinity of the connection portion of the tubular portion 20 is made smaller than the wall thickness of the lamp case 2 at the contact point P2, even if the wall thickness of the lamp case 2 is equal to the wall thickness.

발광장치(100)에서, 트리거 전극(40)은 램프 지지부(11A) 측에서 관모양부(20)의 외주면(20a)과 점접촉하고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 엑시머 램프(1)를 램프 지지부(11A)에 설치함과 동시에, 홈부(61)의 바닥부(63)로부터 돌출한 트리거 전극(40)이 관모양부(20)와 접촉할 수 있다. 이것에 의해, 트리거 전극(40)을 확실히 관모양부(20)와 접촉시킬 수 있다.In the light emitting device 100, the trigger electrode 40 is in point contact with the outer peripheral surface 20a of the tubular portion 20 on the side of the lamp supporting portion 11A. The trigger electrode 40 protruding from the bottom portion 63 of the groove 61 comes into contact with the tubular bodily part 20 . As a result, the trigger electrode 40 can be surely brought into contact with the tubular bodily part 20.

발광장치(100)에서, 램프 케이스(2)는 일단(2d) 측에서 램프 지지부(11A)에 지지된다. 또, 관모양부(20)는 램프 케이스(2)의 일단(2d) 측에 형성되어 있다. 또한, 램프 지지부(11A)는 관모양부(20)를 수용하는 홈부(61)를 가진다. 이와 같은 구성에 의해, 램프 케이스(2)가 램프 지지부(11A)에서 지지됨과 동시에, 관모양부(20)가 홈부(61)에 수납되어 보호된다. 이와 같이, 관모양부(20)를 홈부(61)에서 보호하는 것에 의해, 트리거 전극(40)과 관모양부(20)가 점접촉하고 있는 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.In the light emitting device 100, the lamp case 2 is supported on the lamp supporting portion 11A at one end 2d side. The tubular portion 20 is formed on one end 2d side of the lamp case 2. Further, the lamp support portion 11A has a groove portion 61 for receiving the tubular portion 20 therein. With this configuration, the lamp case 2 is supported by the lamp supporting portion 11A and the tubular portion 20 is accommodated in the groove portion 61 to be protected. By thus protecting the tubular bodily part 20 with the groove 61, it is possible to stably maintain the state in which the trigger electrode 40 and the tubular bodily part 20 are in point contact.

발광장치(100)에서, 램프 지지부(11A)는 홈부(61)의 바닥부(63)에 관통구멍(66)을 가지고 있다. 또, 트리거 전극(40)은 관통구멍(66)으로부터 위쪽으로 돌출해 있다. 이와 같은 구성에 의해, 트리거 전극(40)은 관통구멍(66)으로부터 돌출해 있는 부분에서 확실히 관모양부(20)와 점접촉하고, 관통구멍(66)에 둘러싸이는 부분에서는 당해 관통구멍(66)으로 보호된다. 이것에 의해, 트리거 전극(40)과 관모양부(20)가 점접촉하고 있는 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.In the light emitting device 100, the lamp support portion 11A has a through hole 66 in the bottom portion 63 of the groove portion 61. [ The trigger electrode 40 protrudes upward from the through hole 66. With this configuration, the trigger electrode 40 makes point contact with the tubular portion 20 at the portion protruding from the through hole 66, and the through hole 66 is formed at the portion surrounded by the through hole 66, Lt; / RTI > This makes it possible to stably maintain the state in which the trigger electrode 40 and the tubular bodily component 20 are in point contact.

발광장치(100)에서, 트리거 전극(40)은 트리거 트랜스(50) 및 트리거 전극 지지통(51)에 의해 지지되어 있다. 또, 트리거 트랜스(50)는 관모양부(20)에 대해서 트리거 전극(40)을 가압하는 스프링재(52)를 가진다. 이것에 의해서, 스프링재(52)에 의해 가압된 트리거 전극(40)이 확실히 관모양부(20)에 점접촉할 수 있다.In the light emitting device 100, the trigger electrode 40 is supported by the trigger transformer 50 and the trigger electrode support tube 51. The trigger transformer 50 has a spring member 52 for urging the trigger electrode 40 against the tubular portion 20. Thereby, the trigger electrode 40 pressed by the spring member 52 can be surely brought into point contact with the tubular portion 20.

발광장치(100)에서, 엑시머 램프(1)는 상부덮개(8)의 프레임모양부(8b)와 램프 지지부(11A, 11B)에서 끼워지는 것에 의해서 유지된다. 이와 같은 구조로 하는 것에 의해, 상부덮개(8)를 닫음으로써, 위로부터 눌러 들어가도록 엑시머 램프(1)를 고정하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해서, 관모양부(20)를 확실히 트리거 전극(40)과 점접촉시킬 수 있다.In the light emitting device 100, the excimer lamp 1 is held by being fitted in the frame-like portion 8b of the upper lid 8 and the lamp supporting portions 11A and 11B. With this structure, by closing the upper lid 8, it becomes possible to fix the excimer lamp 1 to be pushed from above. Thus, the tubular portion 20 can be brought into point contact with the trigger electrode 40 without fail.

[실시예][Example]

상술의 실시형태와 같은 구성을 가지는 발광장치에서, 엑시머 램프로서 다음의 구성인 것을 이용했다. 즉, 램프 케이스(2) 및 관모양부(20)의 재질로서 합성 석영 유리를 이용하고, 램프 케이스의 사이즈를 50㎜ × 500mm × 9㎜로 함과 아울러 벽두께를 1.8㎜로 하고, 관모양부(20)의 길이를 20㎜로 함과 아울러 벽두께를 0.75㎜(외경 6㎜, 내경 4.5㎜)로 설정한 것을 채용했다. 또, 내부 공간(28)에 방전용 가스로서 크세논(xenon)을 66.7㎪ 봉입했다. 또, 트리거 전극(40)으로서 외경 0.7㎜인 것을 이용하고, 선단부(41)에서 관모양부(20)와 점접촉시켰다. 이와 같은 발광장치에서, 도 9에 나타내는 바와 같이 점등 전원으로부터 배면전극(3) 및 광통과전극(30)에 3kVp-p 정도의 전압을 인가하고, 트리거 트랜스(50)로부터 트리거 전극(40)에 20kVp-p 정도의 전압을 20Hz의 반복 주파수로 2초간 인가했다. 이것에 의해서, 엑시머 램프(1)이 점등하는 것이 확인되었다.In the light emitting device having the same configuration as the above-described embodiment, the excimer lamp having the following constitution was used. That is, synthetic quartz glass was used as the material of the lamp case 2 and the tubular bore 20, the size of the lamp case was 50 mm x 500 mm x 9 mm, the wall thickness was 1.8 mm, 20 was set to 20 mm and the wall thickness was set to 0.75 mm (outer diameter 6 mm, inner diameter 4.5 mm). Also, xenon (66.7 psi) was filled in the inner space (28) as discharge gas. As the trigger electrode 40, an electrode having an outer diameter of 0.7 mm was used and point contact was made with the tubular portion 20 at the tip end portion 41. 9, a voltage of about 3 kVp-p is applied to the back electrode 3 and the light passing electrode 30 from the lighting power source, and a voltage of about 3 kVp-p is applied from the trigger transformer 50 to the trigger electrode 40 A voltage of about 20 kVp-p was applied for 2 seconds at a repetition frequency of 20 Hz. As a result, it was confirmed that the excimer lamp 1 was turned on.

본 발명은 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니다.The present invention is not limited to the above-described embodiments.

예를 들면, 외부 케이스는 상술의 실시형태의 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 발광장치(400)와 같은 외부 케이스를 채용해도 된다. 발광장치(400)의 외부 케이스(4)는 상술의 상부덮개(8)의 구성에 더하여, 프레임모양부(8b)의 사방의 외연부로부터 저면부(6a) 측으로 향하여 아래쪽으로 연장하는 측벽부(8e)를 가진 커버부(408)를 구비하고 있다. 또, 관통구멍(8c)은 프레임모양부(8b)의 외연부가 아니고, 측벽부(8e)에 형성되어 있다. 또, 케이스(6) 측의 나사구멍(6d)도 측면부(6b)의 상단면(6c)이 아니고, 측면부(6b의 상연부(上緣部)에 형성되어 있다. 관통구멍(8c) 및 나사구멍(6d)은 서로 대응하는 위치에 형성되고, 수평방향으로 형성되어 있다. 커버부(408)를 케이스(6)에 고정할 때는, 케이스(6의 상연부를 외측으로부터 측면부(6b)에서 덮도록 커버부(408)를 씌운다. 다음으로, 커버부(408)와 램프 지지부(11A, 11B)에 의해 엑시머 램프(1)를 끼우면서, 수평방향으로부터 나사(29)를 체결한다. 출사면이 되는 프레임모양부(8b)로부터 나사 고정의 구성을 배제함으로써, 나사 고정부로부터의 티끌의 탈락에 의한 오염을 없앨 수 있다. 예를 들면, 클린룸 내에서 사용할 때는, 당해 구조를 채용하는 것이 바람직하다.For example, the outer case is not limited to the configuration of the above-described embodiment. For example, an external case such as the light emitting device 400 shown in Fig. 10 may be employed. The outer case 4 of the light emitting device 400 includes a side wall portion extending downward from the outer edge of the frame portion 8b to the bottom portion 6a side in addition to the configuration of the upper cover 8 And a cover portion 408 having a cover portion 8e. The through hole 8c is formed in the side wall portion 8e rather than the outer edge of the frame-like portion 8b. The screw hole 6d on the side of the case 6 is formed not on the upper end face 6c of the side face portion 6b but on the upper edge portion of the side face portion 6b. When the cover portion 408 is fixed to the case 6, the upper portion of the case 6 is covered with the side surface portion 6b from the outside, and the holes 6d are formed at positions corresponding to each other and are formed in the horizontal direction. The screw portion 29 is fastened from the horizontal direction by inserting the excimer lamp 1 by the cover portion 408 and the lamp supporting portions 11A and 11B. It is possible to eliminate contamination due to removal of the dust from the screw fixing portion by eliminating the screw fixing structure from the frame portion 8b. For example, when used in a clean room, it is preferable to employ the structure .

또, 본 실시형태에서는, 엑시머 램프(1)는 장방형 모양으로 되어 있지만, 형상은 특별히 한정되지 않는다. 엑시머 램프(1)의 형상 변경에 수반하여, 외부 케이스나 지지구조 등의 구조가 변경된다. 예를 들면, 엑시머 램프를 원판 모양으로 해도 된다.In the present embodiment, the excimer lamp 1 has a rectangular shape, but its shape is not particularly limited. As the shape of the excimer lamp 1 is changed, the structure of the outer case, the support structure, and the like is changed. For example, the excimer lamp may be formed into a disc shape.

또, 관모양부(20)의 형상은 상술의 것에 한정하지 않고 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 외주면(20a)이 원통면이 아니고, 다각통면으로 해도 된다. 또, 관모양부(20)의 설치위치도 상술의 것에 한정하지 않고 적절히 변경해도 되고, 예를 들면 램프 케이스(2)의 단수방향의 위치를 적절히 이동시켜도 된다. 또, 관모양부(20)의 벽두께도 상술의 것에 한정하지 않고 적절히 변경해도 되고, 예를 들면 장소에 따라서 벽두께를 변화시켜도 된다. 또, 관모양부(20)가 연장하는 방향도 상술의 것에 한정하지 않고, 예를 들면 약간 경사시켜도 된다.The shape of the tubular portion 20 is not limited to the above, and may be changed as appropriate. For example, the outer peripheral surface 20a may be a polygonal tubular surface rather than a cylindrical surface. The installation position of the tubular portion 20 is not limited to that described above, and may be changed appropriately. For example, the position of the lamp case 2 in the stepwise direction may be appropriately moved. The wall thickness of the tubular portion 20 is not limited to those described above, and may be appropriately changed. For example, the wall thickness may be changed according to the location. Further, the direction in which the tubular bodily component 20 extends is not limited to the above-described one, but may be slightly inclined, for example.

또, 상술의 실시형태에서는, 특히 바람직한 것으로서, 트리거 전극은 관모양부의 최하단부로 수직으로 점접촉하고 있었다. 그러나, 램프의 점등을 가능한 한, 트리거 전극이 관모양부와 점접촉하고 있는 구조이면, 그 접촉각도나 접촉위치나 접촉 형태는 특별히 한정되지 않고, 여러 가지의 변형이 가능하다. 예를 들면, 트리거 전극은 관모양부의 연장방향(중심축선(CL1))과 직교하도록 연장해 있었지만, 경사를 이루어 연장해 있어도 된다. 또, 트리거 전극은 접촉점에서의 관모양부의 접선과 수직으로 접촉하고 있었지만, 접선과 경사지도록 접촉해도 된다. 트리거 전극은 홈부의 바닥부로부터 위쪽으로 연장해 있었지만, 측면 등으로부터 가로방향으로 연장해 있어도 된다. 또, 관모양부의 위쪽으로부터 트리거 전극 또 트리거 전극은 곧게 연장하는 막대 모양 또는 침 모양의 전극이었지만, 구부러진 전극, 굴곡한 전극을 이용해도 된다.In the above-described embodiment, the trigger electrode is vertically point-contacted to the lowermost end of the tubular portion. However, if the trigger electrode has a point-to-point contact with the tubular portion as far as possible, the contact angle, contact position and contact form are not particularly limited, and various modifications are possible. For example, the trigger electrode extends perpendicularly to the extending direction of the tubular portion (central axis CL1), but may extend in an inclined manner. Further, although the trigger electrode is in contact with the tangential line of the tubular portion at the contact point vertically, the trigger electrode may be in contact with the tangential line so as to be inclined. Although the trigger electrode extends upward from the bottom portion of the groove portion, it may extend in the lateral direction from the side surface or the like. Further, the trigger electrode and the trigger electrode from the upper side of the tubular portion are rod-shaped or needle-like electrodes extending straightly, but a bent electrode and a curved electrode may be used.

또, 램프 지지부의 홈부의 형상도 상술의 실시형태의 것에 한정되지 않고, 어떠한 형상의 홈부로 해도 된다. 혹은, 홈부가 없더라도 된다(예를 들면, 램프 지지부의 상면 자체를 관모양부보다 낮게 설정하고, 당해 상면으로부터 트리거 전극을 돌출시킴). 또, 램프 지지부의 내부에 트리거 트랜스 및 트리거 전극을 마련하는 구성으로 했지만, 트리거 트랜스 및 트리거 전극을 램프 지지부와는 독립한 위치에 배치해도 된다.The shape of the groove portion of the lamp support portion is not limited to that of the above-described embodiment, and may be any groove portion. (For example, the upper surface of the lamp supporting portion itself is set lower than the tubular portion, and the trigger electrode is protruded from the upper surface). In addition, although the structure in which the trigger transformer and the trigger electrode are provided inside the lamp support portion, the trigger transformer and the trigger electrode may be disposed at positions independent of the lamp supporter.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명은 엑시머 램프를 이용한 발광장치에 이용 가능하다.The present invention is applicable to a light emitting device using an excimer lamp.

1 … 엑시머 램프, 2 … 램프 케이스,
3 … 배면전극(방전전극), 4 … 외부 케이스,
6 … 케이스, 6a … 저면부,
8 … 상부덮개(덮개부), 8a … 개구부,
8b … 프레임모양부, 11A, 11B … 램프 지지부,
15 … 급전부, 20 … 관모양부,
26 … 프레임 모양 박판(급전부),
30 … 광통과전극(방전전극, 광출사부),
40 … 트리거 전극, 41 … 선단부,
50 … 트리거 트랜스(트리거 급전부, 트리거 전극 지지부),
51 … 트리거 전극 지지통(트리거 전극 지지부),
52 … 스프링재(가압부재), 61 … 홈부,
63 … 바닥부, 66 … 관통구멍,
100, 400 … 발광장치, 408 … 커버부.One … Excimer lamp, 2 ... Lamp case,
3 ... Back electrode (discharge electrode), 4 ... Outer case,
6 ... Case, 6a ... The bottom part,
8 … The upper cover (cover), 8a ... The opening,
8b ... The frame-shaped portions 11A, 11B ... Lamp support,
15 ... Power supply, 20 ... Tubular,
26 ... Frame shaped sheet (feeding part),
30 ... Light-passing electrodes (discharge electrodes, light output portions)
40 ... Trigger electrode, 41 ... The tip,
50 ... Trigger transformer (trigger feeder, trigger electrode supporter)
51 ... A trigger electrode support tube (trigger electrode support),
52 ... Spring member (pressing member), 61 ... Grooves,
63 ... Bottom, 66 ... Through holes,
100, 400 ... Light emitting device, 408 ... Cover part.

Claims

A lamp case in which a discharge gas is enclosed and has a light output portion,
A discharge electrode provided on an outer surface of the lamp case,
An eximer lamp formed in the lamp case and having a tubular portion protruding outward from the lamp case and extending therefrom;
A power feeding part for supplying power to the discharge electrode,
A lamp supporter for supporting the excimer lamp,
A trigger electrode for applying a voltage to trigger the excimer lamp;
A trigger feeder for feeding the trigger electrode to the trigger electrode,
And an outer case accommodating the excimer lamp, the power feeder, the lamp supporter, the trigger electrode, and the trigger feeder,
Wherein the trigger electrode is in point contact with an outer surface of the tubular portion.

The method according to claim 1,
Wherein the trigger electrode extends in a direction intersecting the extending direction of the tubular portion and is in point contact with the outer surface of the tubular portion at the tip end.

The method according to claim 1,
Wherein the wall thickness of the tubular portion is smaller than the wall thickness of the lamp case.

The method according to claim 1,
Wherein the trigger electrode is in point contact with the outer surface of the tubular portion at the lamp support portion side.

The method according to claim 1,
The lamp case is supported on the lamp supporting part at one end,
Wherein the tubular portion is formed on the one end side of the lamp case,
And the lamp support portion has a groove portion for receiving the tubular portion.

The method of claim 5,
Wherein the lamp support portion has a through hole at a bottom portion of the groove portion,
And the trigger electrode protrudes from the through hole.

The method according to claim 1,
Further comprising a trigger electrode supporter for supporting the trigger electrode,
Wherein the trigger electrode support portion has a pressing member for pressing the trigger electrode against the tubular portion.

The method according to any one of claims 1 to 7,
Wherein the outer case has a bottom portion for fixing the lamp support portion and a lid portion disposed at a position facing the bottom portion,
The lid portion
A frame portion facing the bottom portion and facing the outer edge of the lamp case,
And an opening portion which is surrounded by the frame-like portion and exposes the light output portion,
Wherein the excimer lamp is held by being sandwiched between the frame portion of the lid portion and the lamp support portion.

The method according to any one of claims 1 to 7,
Wherein the outer case has a bottom portion for fixing the lamp support portion and a cover portion disposed at a position facing the bottom portion,
The cover portion
A frame portion opposed to the bottom portion and facing the outer rim of the lamp case,
An opening portion which is surrounded by the frame-shaped portion and exposes the light output portion,
And a side wall portion extending from the outer edge portion of the frame-shaped portion toward the bottom surface portion side,
Wherein the excimer lamp is held by being sandwiched between the frame portion of the cover portion and the lamp support portion.