JP2010015827A - Flat lamp - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flat lamp with mechanical strength improved and capable of restraining loss of discharge energy. <P>SOLUTION: With the flat lamp, a front substrate 21 and a rear-face substrate 22 are coupled with a spacer 26, so that, even if positive pressure is added due to cubical expansion of discharge gas at discharge, an interval of the substrates 21, 22 can be retained to prevent them from damage. Since a concave part 28 is formed at a position where the spacer 26 is coupled on an outer face of the rear-face substrate 22, a space 29 can be formed functioning as an insulation area between a rear face 2c and a flat-plate electrode 3. With this, discharge itself at an area near the spacer 26 can be restrained, so that creeping discharge can be restrained. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、放電ガスが封入される平面型ランプに関するものである。   The present invention relates to a flat lamp in which discharge gas is enclosed.

従来の平面型ランプとして、平坦で均一な厚みを持つ放電空間を備えた放電用セル(気密容器)と、この放電用セルの内部に収容される放電用ガスと、放電用セルの外面に配置される主電極及び副電極とを備えるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。この平面型ランプは、主電極と副電極との間に高周波電圧を印加することによって発光することができる。
特開2002−15705号公報
As a conventional flat lamp, a discharge cell (airtight container) having a discharge space having a flat and uniform thickness, a discharge gas accommodated in the discharge cell, and an outer surface of the discharge cell What is provided with the main electrode and sub electrode which are made is known (for example, refer patent document 1). This flat lamp can emit light by applying a high frequency voltage between the main electrode and the sub electrode.
JP 2002-15705 A

ここで、上述のような平面型ランプにおいては、光の透過率を向上させるために放電用セルのガラス基板の厚さを薄くする場合は、製造時において内部空間の真空引きなどの際に負圧がかかってしまい破損してしまう可能性がある。従って、一方のガラス基板にスペーサを設けておき、負圧がかかった際に他方のガラス基板を支持することによって破損を防止するような構成が採用される。しかしながら、このような構成にあっては、他方のガラス基板とスペーサとが連結されていないため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合は、ガラス基板間隔が大きくなるのをスペーサで抑制することができず破損してしまうという問題があった。また、スペーサは、電圧が印加されるガラス基板同士を支持するものであるため、その表面で沿面放電が発生してしまい、放電エネルギーの損失を生じる可能性があった。   Here, in the flat lamp as described above, when the thickness of the glass substrate of the discharge cell is made thin in order to improve the light transmittance, it is negative when the internal space is evacuated at the time of manufacture. There is a possibility of damage due to pressure. Therefore, a configuration is employed in which a spacer is provided on one glass substrate and the other glass substrate is supported when a negative pressure is applied to prevent breakage. However, in such a configuration, since the other glass substrate and the spacer are not connected, when the discharge gas is volume-expanded and positive pressure is applied at the time of discharge, the distance between the glass substrates is increased. There was a problem that it could not be suppressed by the spacer and was damaged. In addition, since the spacer supports the glass substrates to which a voltage is applied, creeping discharge is generated on the surface, and there is a possibility that a loss of discharge energy occurs.

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる平面型ランプを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a flat lamp capable of improving mechanical strength and suppressing loss of discharge energy.

本発明に係る平面型ランプは、誘電体からなり、前面基板及び背面基板を対向させてそれぞれの外周縁部同士を周面壁で封着させることによって平板状に形成される気密容器と、気密容器の内部空間に封入され、電圧が印加されることにより発光する放電ガスと、気密容器の前面基板の外面に設けられ、発生した光を出射可能とするように形成される前面側電極と、気密容器の背面基板の外面に設けられ、内部空間を介して電極と対向する背面側電極と、内部空間に配置され、前面基板及び背面基板の間で延びるスペーサと、を備え、スペーサは、両端部で前面基板及び背面基板に連結され、背面基板の外面には、スペーサが連結される位置で内部空間側へ窪む凹部が形成されていることを特徴とする。   The flat lamp according to the present invention is made of a dielectric, and has an airtight container formed into a flat plate shape by facing the front substrate and the back substrate and sealing the outer peripheral edges thereof with a peripheral wall, and an airtight container A discharge gas which emits light when a voltage is applied, a front electrode provided on the outer surface of the front substrate of the hermetic container and formed so as to be able to emit generated light, A back side electrode provided on an outer surface of the back substrate of the container and facing the electrode through the internal space; and a spacer disposed in the internal space and extending between the front substrate and the back substrate, the spacers having both end portions The front substrate and the rear substrate are connected to each other, and the outer surface of the rear substrate is formed with a recess that is recessed toward the inner space at a position where the spacer is connected.

この平面型ランプでは、スペーサが気密容器の基板同士を連結しているため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合であっても、基板間隔を保持することができ、破損を防止することができる。また、背面基板の外面には、スペーサが連結される位置に凹部が形成されているため、背面基板の外面と背面側電極との間に絶縁領域を形成することができる。これによって、スペーサ付近の領域での放電自体を抑制することができるため、スペーサでの沿面放電を抑制することができる。以上によって、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。   In this flat type lamp, since the spacers connect the substrates of the hermetic container, even when the discharge gas is volume-expanded and a positive pressure is applied at the time of discharge, the distance between the substrates can be maintained and damaged. Can be prevented. In addition, since a recess is formed on the outer surface of the back substrate at a position where the spacer is connected, an insulating region can be formed between the outer surface of the back substrate and the back electrode. As a result, since the discharge itself in the region near the spacer can be suppressed, the creeping discharge in the spacer can be suppressed. As described above, the mechanical strength can be improved and the loss of discharge energy can be suppressed.

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部は、気密容器の厚み方向から見た場合に、スペーサの下端部の横断面を含むように形成されていることが好ましい。スペーサの下端部の横断面を含むように凹部を形成することによって、スペーサと背面側電極との間にスペーサの下端部の横断面よりも大きな絶縁領域を形成することができ、沿面放電を一層効果的に抑制することができる。   Further, in the flat lamp according to the present invention, it is preferable that the recess is formed so as to include a cross section of the lower end portion of the spacer when viewed from the thickness direction of the hermetic container. By forming the concave portion so as to include the cross section of the lower end portion of the spacer, an insulating region larger than the cross section of the lower end portion of the spacer can be formed between the spacer and the back side electrode, and the creeping discharge is further reduced. It can be effectively suppressed.

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部は椀状に形成され、凹部の位置での肉厚が略一定となるように背面基板が内部空間へ押し出されることによって、背面基板の内面とスペーサの間の角部には、凹部に沿った曲面が形成されることが好ましい。これによって、背面基板の内面とスペーサの間の角部に形成された曲面で、背面基板とスペーサの連結部分に集中する応力を効率よく分散させることができ、機械的強度を一層向上させることができる。   Further, in the flat lamp according to the present invention, the recess is formed in a bowl shape, and the back substrate is pushed into the internal space so that the thickness at the position of the recess is substantially constant, whereby the inner surface of the back substrate and the spacer It is preferable that a curved surface along the recess is formed at the corner between the two. As a result, the curved surface formed at the corner between the inner surface of the back substrate and the spacer can efficiently disperse the stress concentrated on the connecting portion between the back substrate and the spacer, and the mechanical strength can be further improved. it can.

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部には、誘電体が充填されていることが好ましい。凹部に誘電体を充填することによって、金属蒸着などによって背面側電極を形成したような場合であっても、凹部において背面基板と背面電極との間の距離を確実に確保することができる。   In the flat lamp according to the present invention, it is preferable that the concave portion is filled with a dielectric. By filling the recess with a dielectric, the distance between the back substrate and the back electrode can be reliably ensured in the recess even when the back electrode is formed by metal deposition or the like.

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、背面側電極は、平板状に構成されていることが好ましい。背面側電極を平板状として剛性を有する構成とすることによって、凹部で背面基板と背面側電極との間の距離を確実に確保することができる。   In the flat lamp according to the present invention, it is preferable that the back side electrode is formed in a flat plate shape. By adopting a configuration in which the back side electrode has a flat plate shape and has rigidity, the distance between the back substrate and the back side electrode can be reliably ensured by the recess.

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、背面側電極は、背面基板の外面との接触面に光反射性を有することが好ましい。内部空間で発生した光を背面側電極で反射させることにより、前面基板側から出射する光量を増加させることができる。   In the flat lamp according to the present invention, it is preferable that the back-side electrode has light reflectivity on the contact surface with the outer surface of the back substrate. The amount of light emitted from the front substrate side can be increased by reflecting the light generated in the internal space with the back side electrode.

本発明に係る平面型ランプによれば、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。   The flat lamp according to the present invention can improve mechanical strength and suppress loss of discharge energy.

以下、本発明に係る平面型ランプの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment of a flat lamp according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は本発明の実施形態に係る発光装置の斜視図である。図1に示すように、発光装置20は、円板状の平面型ランプ1を上下面が正方形状の筺体4内に収容すると共に、筺体4の上蓋8の中央部に円形の開口部を形成して、平面型ランプ1の出射面を露出させることによって構成されている。この発光装置20は、平面型ランプ1の内部に封入される放電ガスに高周波電圧を印加することによって発光させ、発生した光を開口部から取り出すことができる装置である。筺体4の開口部には、平面型ランプ1の外縁部を覆うように円環状の枠状部材9が取り付けられており、筺体4の側壁には、筺体4内を冷却するためのファン14が設けられている。   FIG. 1 is a perspective view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the light emitting device 20 accommodates the disk-shaped flat lamp 1 in a housing 4 having a square top and bottom surface, and forms a circular opening in the center of the upper cover 8 of the housing 4. Thus, the light exit surface of the flat lamp 1 is exposed. The light emitting device 20 is a device capable of emitting light by applying a high frequency voltage to a discharge gas sealed in the flat lamp 1 and taking out generated light from an opening. An annular frame member 9 is attached to the opening of the housing 4 so as to cover the outer edge of the flat lamp 1, and a fan 14 for cooling the inside of the housing 4 is provided on the side wall of the housing 4. Is provided.

図2は、図1に示す発光装置の分解斜視図である。図2に示すように、平面型ランプ1は、石英ガラスなどの出射光に対して透明な誘電体により円板状に形成される気密容器2と、気密容器2の前面(前面基板の外面)2b全体にわたって形成されるメッシュ状の光通過電極(前面側電極)10と、気密容器2の背面(背面基板の外面)2cと対向して背面2cと接触する円板状の平板状電極(背面側電極)3とを備えて構成されている。この平面型ランプ1の平板状電極3と光通過電極10とは、放電ガスが封入された内部空間を介して互いに対向している。従って、光通過電極10をグランド電位(接地電位)とし、平板状電極3及び光通過電極10の間に高周波電圧を印加することによって内部空間の放電ガスを発光させ、発生した光を気密容器2の前面2b側から出射させることができる。なお、高周波電圧とは1MHz以上の周波数を有する交流電圧である。   FIG. 2 is an exploded perspective view of the light emitting device shown in FIG. As shown in FIG. 2, the flat lamp 1 includes an airtight container 2 formed in a disc shape by a dielectric transparent to outgoing light such as quartz glass, and a front surface of the airtight container 2 (outer surface of the front substrate). 2b, a mesh-shaped light-passing electrode (front electrode) 10 and a disk-shaped flat electrode (rear surface) facing the back surface 2c facing the back surface (outer surface of the back substrate) 2c of the airtight container 2 Side electrode) 3. The flat electrode 3 and the light passage electrode 10 of the flat lamp 1 are opposed to each other through an internal space filled with a discharge gas. Accordingly, the light passing electrode 10 is set to the ground potential (ground potential), and a high frequency voltage is applied between the plate-like electrode 3 and the light passing electrode 10 to cause the discharge gas in the inner space to emit light, and the generated light is emitted from the airtight container 2. Can be emitted from the front surface 2b side. The high frequency voltage is an alternating voltage having a frequency of 1 MHz or more.

平面型ランプ1の気密容器2は、出射光に対して透明な、円板状の前面基板と背面基板を所定の間隔で向かい合わせて周縁部同士を周面壁で封着することによって形成されており、その内部空間にはXeガスなどの放電ガスが封入される。気密容器2の背面2cには、製造時に内部空間を排気すると共に放電ガスを封入するために使用したチップ管が残存する(不図示)。また、気密容器2の内部空間には、排気時の大気圧や、放電時の温度上昇による放電ガスの圧力上昇に耐えるために複数のスペーサ26が設けられている(図4参照)。このスペーサ26の構成に関する詳細な説明は後述する。   The hermetic container 2 of the flat lamp 1 is formed by sealing a disk-shaped front substrate and a rear substrate facing each other at a predetermined interval and sealing peripheral edges with a peripheral wall. The interior space is filled with a discharge gas such as Xe gas. On the back surface 2c of the airtight container 2, the tip tube used for exhausting the internal space and enclosing the discharge gas at the time of manufacture remains (not shown). A plurality of spacers 26 are provided in the internal space of the hermetic container 2 in order to withstand the atmospheric pressure during exhaust and the increase in discharge gas pressure due to the temperature increase during discharge (see FIG. 4). A detailed description of the configuration of the spacer 26 will be described later.

気密容器2の前面2bに形成される光通過電極10は、金属蒸着によって形成されており、前面2bの外縁部を除いて、ほぼ全面に形成される。より詳細には、光通過電極10は、前面2bの外縁部に沿って円環状に形成される環状部10aと、環状部10aの内側領域で網状に形成されたメッシュ部10bとを有している。光通過電極10は、前面2bの略全面にわたって網状に形成されているため、内部空間で発生した光を前面2bから出射可能としている。なお、光通過電極10自体を透光性の材料で形成することによって、光を出射可能としてもよい。   The light passing electrode 10 formed on the front surface 2b of the airtight container 2 is formed by metal vapor deposition, and is formed on almost the entire surface except for the outer edge portion of the front surface 2b. More specifically, the light passing electrode 10 has an annular portion 10a formed in an annular shape along the outer edge portion of the front surface 2b, and a mesh portion 10b formed in a net shape in an inner region of the annular portion 10a. Yes. Since the light passing electrode 10 is formed in a net shape over substantially the entire front surface 2b, the light generated in the internal space can be emitted from the front surface 2b. The light passing electrode 10 itself may be made of a light-transmitting material so that light can be emitted.

気密容器2の背面2c側の平板状電極3は、平面型ランプ1の陽極として機能するものであり、平面型ランプ1とは別体に設けられている。平板状電極3は、気密容器2のガラス面である背面2cと直接接触しており、平板状の金属板であるために電極の剥離と言った問題が生じ難い。また、平板状電極3は、光通過電極10の環状部10aと同一の外径を有するアルミニウム製の円板によって構成されている。つまり、光通過電極10及び平板状電極3ともに、気密容器2の前面2b及び背面2cの外縁部を除いて配置されている。よって、両電極間の沿面距離を確保することができ、両電極間の沿面放電を防止することができる。平板状電極3は、気密容器2と中心軸線が一致するように、気密容器2の背面2cに接触配置される。この平板状電極3には、外縁部に高周波電源と接続された配線15が取り付けられており、気密容器2のチップ管に対応する位置に当該チップ管を回避するための貫通孔3bが形成されている。気密容器2との接触面となる前面3aには、気密容器2内部で発生した光を前面2b側に反射させるために、鏡面加工が施されている。   The flat electrode 3 on the back surface 2 c side of the hermetic container 2 functions as an anode of the flat lamp 1 and is provided separately from the flat lamp 1. The flat electrode 3 is in direct contact with the back surface 2c, which is the glass surface of the hermetic container 2, and since it is a flat metal plate, the problem of electrode peeling hardly occurs. The flat electrode 3 is constituted by an aluminum disk having the same outer diameter as the annular portion 10 a of the light passing electrode 10. That is, both the light passing electrode 10 and the plate-like electrode 3 are arranged except for the outer edge portions of the front surface 2b and the back surface 2c of the hermetic container 2. Therefore, the creeping distance between both electrodes can be ensured, and the creeping discharge between both electrodes can be prevented. The flat electrode 3 is disposed in contact with the back surface 2c of the hermetic container 2 so that the central axis of the hermetic container 2 coincides. A wiring 15 connected to a high frequency power source is attached to the outer edge of the flat electrode 3, and a through hole 3 b for avoiding the tip tube is formed at a position corresponding to the tip tube of the airtight container 2. ing. The front surface 3a serving as a contact surface with the hermetic container 2 is mirror-finished so as to reflect the light generated inside the hermetic container 2 toward the front surface 2b.

このように構成された平面型ランプ1においては、例えば、外径約300mm、厚み約2mmの一対の合成石英ガラスの間に約5mmの放電距離を確保してXeガスを封入した場合、静電容量が約100pFであり、その放電条件の一例としては、点灯周波数が2050kHz(約2MHz)、ランプ放電電圧が約6kVp−p、ランプ電圧が約3kVp-pとなる。   In the flat lamp 1 configured in this manner, for example, when Xe gas is sealed with a discharge distance of about 5 mm between a pair of synthetic quartz glasses having an outer diameter of about 300 mm and a thickness of about 2 mm, The capacity is about 100 pF. As an example of the discharge conditions, the lighting frequency is 2050 kHz (about 2 MHz), the lamp discharge voltage is about 6 kVp-p, and the lamp voltage is about 3 kVp-p.

平面型ランプ1を収容する筺体4は導電性材料からなり、上面側が開放された底面正方形状のアルミニウム製のケース6の内部に、ケース6の底板と中心軸線が一致するように平面型ランプ1を配置し、正方形板状の上蓋8を上方から被せることによって構成されている。この上蓋8には、平面型ランプ1と中心軸線が一致すると共に、平面型ランプ1よりも大きな径を有する開口部8aが形成されている。この開口部8aには、平面型ランプ1を上方から押圧するための枠状部材9が嵌め込まれる。また、筺体4のケース6内部の底板側には、収容した平面型ランプ1を支持及び位置決めするための支持ベース7が設けられている。   The casing 4 that accommodates the flat lamp 1 is made of a conductive material, and the flat lamp 1 is arranged so that the bottom axis of the case 6 and the central axis coincide with the inside of the bottom case square aluminum case 6 that is open on the upper surface side. And a square plate-shaped upper lid 8 is covered from above. The upper lid 8 is formed with an opening 8 a having a central axis coincident with that of the flat lamp 1 and having a diameter larger than that of the flat lamp 1. A frame-like member 9 for pressing the flat lamp 1 from above is fitted into the opening 8a. Further, a support base 7 for supporting and positioning the accommodated flat lamp 1 is provided on the bottom plate side inside the case 6 of the housing 4.

上蓋8の開口部8aに嵌め込まれる円環状の枠状部材9は、アルミニウムなどの導電性材料によって形成されており、その外周側の径が開口部8aの内径と同一とされると共に、内周側の径が光通過電極10の環状部10aの内径と略同一とされている。この枠状部材9の下面側には、内周側よりも外周側が厚肉となるように、平面型ランプ1より大きな径を有する段差部9aが設けられている(図4参照)。   The annular frame-shaped member 9 fitted into the opening 8a of the upper lid 8 is made of a conductive material such as aluminum, and the outer diameter thereof is the same as the inner diameter of the opening 8a. The diameter on the side is substantially the same as the inner diameter of the annular portion 10 a of the light passing electrode 10. On the lower surface side of the frame-shaped member 9, a step portion 9a having a diameter larger than that of the flat lamp 1 is provided so that the outer peripheral side is thicker than the inner peripheral side (see FIG. 4).

ケース6の内部に設けられた支持ベース7は、ケース6の底面を覆うようにして配置される略正方形状のベース板5と、そのベース板5の四隅に設けられ、平面型ランプ1の平面方向の位置決めを行うための支持部材11と、ベース板5上に所定の間隔で複数箇所に設けられ、平面型ランプ1を下方から支持する弾性支持部12とを備えて構成されている。   The support base 7 provided inside the case 6 is provided with a substantially square base plate 5 disposed so as to cover the bottom surface of the case 6 and the four corners of the base plate 5. It comprises a support member 11 for positioning in the direction and an elastic support portion 12 provided at a plurality of locations on the base plate 5 at predetermined intervals and supporting the flat lamp 1 from below.

ケース6の底面を覆うベース板5は、中心軸線が一致するようにケース6の底面と対向するように配置されている。このベース板5は、エキシマランプなどの放熱が必要なランプを使用する場合は、金属などの熱伝導性の高い部材で形成されることによって、平面型ランプ1周辺の放熱性を確保することができる。一方、水銀ランプなどの保温が必要なランプを使用する場合は、ベース板5を断熱部材で形成することによって、平面型ランプ1周辺の保温性を確保することができる。   The base plate 5 covering the bottom surface of the case 6 is disposed so as to face the bottom surface of the case 6 so that the central axes coincide with each other. When using a lamp that requires heat dissipation, such as an excimer lamp, the base plate 5 is formed of a member having high thermal conductivity such as metal, thereby ensuring heat dissipation around the flat lamp 1. it can. On the other hand, when a lamp such as a mercury lamp that requires heat insulation is used, the heat insulation around the flat lamp 1 can be ensured by forming the base plate 5 with a heat insulating member.

図3は支持部材の拡大斜視図である。図3に示すように、ベース板5の四隅の支持部材11は、セラミックスなどからなる略直方体状の絶縁部材によって構成されており、絶縁部材の一の側面がベース板5の中心軸線側へ向くようにそれぞれ配置されている。支持部材11の上面の一部には、ベース板5の中心軸線を取り囲むような壁部を立設させることによって、平面型ランプ1の位置決めを行うためのストッパ11bが形成される。このストッパ11bは、中心軸線を取り囲むような緩やかな円弧状に形成されており、その内周面の円弧の径は、平面型ランプ1の気密容器2の外径よりもわずかに大きくされ、外周面の円弧の径は、枠状部材9の下面側の段差部9aの内径と同一とされている(図4参照)。また、ストッパ11bの内周面には周方向に延びる溝部が上下方向に複数形成されている。   FIG. 3 is an enlarged perspective view of the support member. As shown in FIG. 3, the support members 11 at the four corners of the base plate 5 are configured by a substantially rectangular parallelepiped insulating member made of ceramics or the like, and one side surface of the insulating member faces the central axis side of the base plate 5. Are arranged so that each. A stopper 11 b for positioning the flat lamp 1 is formed on a part of the upper surface of the support member 11 by erecting a wall portion surrounding the central axis of the base plate 5. The stopper 11b is formed in a gentle arc shape surrounding the central axis, and the diameter of the inner peripheral surface of the stopper 11b is slightly larger than the outer diameter of the airtight container 2 of the flat lamp 1, The diameter of the arc of the surface is the same as the inner diameter of the step portion 9a on the lower surface side of the frame-shaped member 9 (see FIG. 4). Further, a plurality of grooves extending in the circumferential direction are formed on the inner circumferential surface of the stopper 11b in the vertical direction.

支持部材11の上面のうち、ストッパ11bよりも内周側の領域は平面型ランプ1を載置するための載置部11aとされ、ストッパ11bよりも外周側の領域は枠状部材9を螺合させるための座面11cとされている。内周側の載置部11aは、周方向の中央位置に長方形状の切欠部11eが形成されることによって、周方向の両端部の二箇所のみで平面型ランプ1と接触可能とされている。また、外周側の座面11cには枠状部材9と電気的に接続される平板状のグランド端子11dが設けられている。このグランド端子11dは、上面側にネジ孔11fを有すると共に、支持部材11の外周側の側面に沿って下方にL字状に屈曲する屈曲部分を有しており、この屈曲部分で側面に螺合されることによって固定されている(図4参照)。この螺合部分には配線が同時に固定されており、グランド端子11dは、配線を介して高周波電源のグランド端子と電気的に接続されている。   Of the upper surface of the support member 11, a region on the inner peripheral side with respect to the stopper 11 b serves as a mounting portion 11 a for mounting the flat lamp 1, and a region on the outer peripheral side with respect to the stopper 11 b screws the frame-shaped member 9. The seating surface 11c is used for mating. The mounting portion 11a on the inner peripheral side can be brought into contact with the flat lamp 1 only at two locations on both ends in the circumferential direction by forming a rectangular cutout portion 11e at the center position in the circumferential direction. . In addition, a flat ground terminal 11d that is electrically connected to the frame-like member 9 is provided on the outer peripheral seating surface 11c. The ground terminal 11d has a screw hole 11f on the upper surface side, and a bent portion that is bent downward in an L shape along the outer peripheral side surface of the support member 11. The bent portion is screwed on the side surface. It is fixed by being joined (see FIG. 4). Wiring is simultaneously fixed to the screwed portion, and the ground terminal 11d is electrically connected to the ground terminal of the high-frequency power source via the wiring.

図4は、図1のIV−IV線に沿う断面図であり、平面型ランプの一端側を拡大して示す図である。図4に示すように、発光装置20の内部において、支持ベース7のベース板5は、スペーサ13を介することによって、ケース6の底面6aから離間して配置されている。また、ベース板5の隅部に設けられた支持部材11の載置部11aには、平面型ランプ1の平板状電極3が載置されている。載置部11aは、周方向の両端部のみで平板状電極3と接触可能な構成とされているため(図3参照)、支持部材11と平面型ランプ1との接触部分の面積は極力小さくされている。載置された平面型ランプ1は、周面2eが支持部材11のストッパ11bの内周面と対向するように配置されており、このストッパ11bの内周面によって平面方向の移動が規制されている。なお、ストッパ11bの内周面に形成されている複数の溝部によって、平面型ランプ1の周面2eとストッパ11bの内周面が接触している場合でも、平面型ランプ1の光通過電極10と平板状電極3との間の沿面放電を抑制することができる。   FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 1 and is an enlarged view of one end side of the flat lamp. As shown in FIG. 4, the base plate 5 of the support base 7 is disposed apart from the bottom surface 6 a of the case 6 through the spacer 13 inside the light emitting device 20. The flat electrode 3 of the flat lamp 1 is placed on the placement portion 11 a of the support member 11 provided at the corner of the base plate 5. Since the mounting portion 11a is configured to be able to contact the flat electrode 3 only at both ends in the circumferential direction (see FIG. 3), the area of the contact portion between the support member 11 and the flat lamp 1 is as small as possible. Has been. The mounted flat lamp 1 is disposed so that the peripheral surface 2e faces the inner peripheral surface of the stopper 11b of the support member 11, and movement in the plane direction is restricted by the inner peripheral surface of the stopper 11b. Yes. Even if the peripheral surface 2e of the flat lamp 1 and the inner peripheral surface of the stopper 11b are in contact with each other by the plurality of grooves formed on the inner peripheral surface of the stopper 11b, the light passing electrode 10 of the flat lamp 1 is used. And creeping discharge between the flat electrode 3 can be suppressed.

ストッパ11bの外周側の座面11cには、上蓋8の開口部8aに嵌め込まれた枠状部材9が載置されている。この枠状部材9は、外周側が厚肉に形成されると共に内周側が薄肉部分に形成されており、外周側の厚肉部分の下面は、座面11cのグランド端子11dと接触している。また、枠状部材9の内周側の薄肉部分は、ストッパ11bの上面と平面型ランプ1の外縁部を覆うと共に、下面側で平面型ランプ1の光通過電極10の環状部10aと接触している。これによって、枠状部材9は、グランド端子11dと平面型ランプ1の光通過電極10とを電気的に接続するための通電部材として機能する。また、この枠状部材9は、上方からボルト25を貫通させてネジ孔11fにねじ込むことによって支持部材11に螺合されており、これによって、平面型ランプ1を下方(平板状電極3側)へ押圧することができる。なお、枠状部材9は、図示されない他の3箇所の支持部材11に対しても螺合されている。   A frame-like member 9 fitted in the opening 8a of the upper lid 8 is placed on the outer peripheral seat surface 11c of the stopper 11b. The frame-like member 9 is formed with a thick outer peripheral side and a thin part on the inner peripheral side, and the lower surface of the thick outer peripheral part is in contact with the ground terminal 11d of the seat surface 11c. Further, the thin portion on the inner peripheral side of the frame-shaped member 9 covers the upper surface of the stopper 11b and the outer edge portion of the flat lamp 1, and contacts the annular portion 10a of the light passing electrode 10 of the flat lamp 1 on the lower surface side. ing. Thus, the frame-shaped member 9 functions as an energizing member for electrically connecting the ground terminal 11d and the light passing electrode 10 of the flat lamp 1. Further, the frame-like member 9 is screwed into the support member 11 by passing the bolt 25 from above and screwed into the screw hole 11f, whereby the flat lamp 1 is lowered (on the flat electrode 3 side). Can be pressed. The frame-like member 9 is also screwed to the other three support members 11 not shown.

ベース板5には、支持部材11から平面方向に所定の間隔で離間するように、弾性支持部12が設けられている。この弾性支持部12は、ベース板5に固定されるボス部17のガイド孔に、上方へ延びる棒状部材16を装填することによって構成されている。ボス部17は、その中央部で上下方向に貫通するガイド孔を有しており、ベース板5を貫通するように上面側からねじ込むことによってベース板5に固定されると共に、ガイド孔の下端を封鎖するためのキャップ17aをベース板5の下面側に設けることによって構成されている。   The base plate 5 is provided with an elastic support portion 12 so as to be separated from the support member 11 at a predetermined interval in the plane direction. The elastic support portion 12 is configured by loading a bar-like member 16 extending upward into a guide hole of a boss portion 17 fixed to the base plate 5. The boss portion 17 has a guide hole penetrating in the vertical direction at the center thereof, and is fixed to the base plate 5 by screwing from the upper surface side so as to penetrate the base plate 5, and the lower end of the guide hole is A cap 17 a for sealing is provided on the lower surface side of the base plate 5.

棒状部材16は、底面6a側から上方の平板状電極3へ向かって略垂直に延び、平面型ランプ1を底面6aから離間するように支持するものであり、平板状電極3を底面6aから20mm程度離間させている。この棒状部材16は、外径約6mm程度のセラミックスなどの絶縁体によって形成されており、その上端部は縮径して先細となっている。従って、平板状電極3の背面全体の面積に対して、棒状部材16の先端部分の面積を極めて小さくすることができるため、棒状部材16は、平板状電極3を実質的に点接触で支持することができる。また、ボス部17のガイド孔の底部には棒状部材16に弾性力を付与する圧縮バネ18が配置されているため、棒状部材16は、平面型ランプ1の気密容器2の背面2cに平板状電極3を付勢することができる。なお、弾性支持部12は平面型ランプ1をバランスよく支持できるように複数設けられているが、少なくとも3本設けられている必要があり、10本程度設けられることが好ましい。   The rod-shaped member 16 extends substantially perpendicularly from the bottom surface 6a toward the upper flat plate electrode 3, and supports the flat lamp 1 so as to be separated from the bottom surface 6a. The flat plate electrode 3 is supported by 20 mm from the bottom surface 6a. They are separated by a certain amount. This rod-shaped member 16 is formed of an insulator such as ceramics having an outer diameter of about 6 mm, and its upper end portion is reduced in diameter and tapered. Therefore, since the area of the tip portion of the bar-shaped member 16 can be made extremely small with respect to the entire area of the back surface of the flat-plate electrode 3, the bar-shaped member 16 supports the flat-plate electrode 3 substantially in point contact. be able to. In addition, since a compression spring 18 that applies an elastic force to the rod-shaped member 16 is disposed at the bottom of the guide hole of the boss portion 17, the rod-shaped member 16 is flat on the back surface 2 c of the airtight container 2 of the flat lamp 1. The electrode 3 can be energized. A plurality of elastic support portions 12 are provided so that the flat lamp 1 can be supported in a balanced manner, but at least three elastic support portions 12 need to be provided, and about 10 are preferably provided.

ここで、スペーサ26の詳細な構成について、図5を参照して説明する。図5は、図4のスペーサ付近の拡大図である。   Here, the detailed configuration of the spacer 26 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the spacer in FIG.

スペーサ26は、気密容器2の内部空間24に配置され、前面基板21から背面基板22へ向かって延びる円柱部材であり、各基板21,22と同じく石英ガラスにより形成されている。スペーサ26の上端部26aは前面基板21に接合されて連結されると共に、下端部26bは背面基板22に接合されて連結される。   The spacer 26 is a cylindrical member that is disposed in the internal space 24 of the hermetic container 2 and extends from the front substrate 21 toward the rear substrate 22, and is formed of quartz glass like each of the substrates 21 and 22. The upper end portion 26 a of the spacer 26 is joined and connected to the front substrate 21, and the lower end portion 26 b is joined and connected to the rear substrate 22.

スペーサ26の下端部26b側では、背面基板22の背面(外面)2cが内部空間24側へ窪むことによって凹部28が形成されている。凹部28は、加熱しながら、肉厚が略一定となるように背面基板22の一部を内部空間24側へ押し出すことによって形成される。この凹部28は、背面基板22の背面2cに、スペーサ26の延びる方向における中心軸線と、その中心軸線が一致するような椀状の窪みを設けることによって形成されている。これによって、平板状電極3と背面基板22との間に、絶縁領域として機能する空間29が形成される。   On the lower end portion 26 b side of the spacer 26, the back surface (outer surface) 2 c of the back substrate 22 is recessed toward the internal space 24, thereby forming a recess 28. The recess 28 is formed by extruding a part of the back substrate 22 toward the internal space 24 so that the thickness becomes substantially constant while heating. The recess 28 is formed by providing, on the back surface 2 c of the back substrate 22, a bowl-shaped depression that matches the center axis in the direction in which the spacer 26 extends and the center axis. Thereby, a space 29 functioning as an insulating region is formed between the plate-like electrode 3 and the back substrate 22.

この凹部28の最大径である開口側の縁部28aの径Rは、スペーサ26の外周面の径rよりも大きくされている。従って、気密容器2の厚み方向から見た場合に、凹部28は、スペーサ26の下端部26bの横断面を含むような形状となっている。なお、気密容器2の「厚み方向」とは、前面基板21と背面基板22が対向する方向、すなわち前面2b及び背面2cに対して垂直な方向を示している。これによって、空間29の最大径がスペーサ26の径よりも大きくなり、スペーサ26の横断面よりも大きな絶縁領域が形成される。凹部28の深さは背面基板22の肉厚よりも深くなっている。   The diameter R of the edge 28 a on the opening side, which is the maximum diameter of the recess 28, is larger than the diameter r of the outer peripheral surface of the spacer 26. Therefore, when viewed from the thickness direction of the hermetic container 2, the concave portion 28 has a shape including the cross section of the lower end portion 26 b of the spacer 26. The “thickness direction” of the hermetic container 2 indicates a direction in which the front substrate 21 and the rear substrate 22 face each other, that is, a direction perpendicular to the front surface 2b and the rear surface 2c. As a result, the maximum diameter of the space 29 becomes larger than the diameter of the spacer 26 and an insulating region larger than the cross section of the spacer 26 is formed. The depth of the recess 28 is deeper than the thickness of the back substrate 22.

また、凹部28の位置での肉厚が略一定となるように背面基板22が内部空間24側へ押し出されているため、背面基板22の内面22a側には、凹部28の形状に対応して内部空間24側へ突出するような半球状の突出部27が形成される。この突出部27は、スペーサ26及び凹部28よりも大きな外径を有している。このように、スペーサ26の下端部26bに突出部27が形成されることによって、背面基板22の内面22aとスペーサ26の間の角部には、凹部28に倣って内部空間24側に入り込むような曲面27aが形成される。なお、背面基板22の内面22aとスペーサ26の間の角部とは、背面基板22とスペーサ26とが連結されることによって形成される、背面基板22の内面22aとスペーサ26の外表面との間の境界部分である。   Further, since the back substrate 22 is pushed out toward the internal space 24 so that the thickness at the position of the recess 28 is substantially constant, the inner surface 22a side of the back substrate 22 corresponds to the shape of the recess 28. A hemispherical protrusion 27 that protrudes toward the internal space 24 is formed. The protrusion 27 has a larger outer diameter than the spacer 26 and the recess 28. As described above, the protrusion 27 is formed at the lower end portion 26 b of the spacer 26, so that the corner between the inner surface 22 a of the back substrate 22 and the spacer 26 enters the inner space 24 side along the recess 28. A curved surface 27a is formed. The corner between the inner surface 22a of the back substrate 22 and the spacer 26 is formed by connecting the back substrate 22 and the spacer 26 to the inner surface 22a of the back substrate 22 and the outer surface of the spacer 26. It is the boundary part between.

背面基板22の外面側では、凹部28の開口側の縁部28aに丸み付けがなされている。同様に、背面基板22の内面22a側においても、突出部27と内面22aの間の角部27b、及び突出部27とスペーサ26の間の角部27cに丸み付けがなされている。また、前面基板21側においても、前面基板21の内面とスペーサ26の間の角部21aにも丸み付けがなされている。よって、スペーサ26と前面基板21及び背面基板22との接合部の付近に集中する応力が効率よく分散される。   On the outer surface side of the back substrate 22, the edge 28 a on the opening side of the recess 28 is rounded. Similarly, on the inner surface 22 a side of the back substrate 22, the corner portion 27 b between the protruding portion 27 and the inner surface 22 a and the corner portion 27 c between the protruding portion 27 and the spacer 26 are rounded. Also on the front substrate 21 side, the corner portion 21 a between the inner surface of the front substrate 21 and the spacer 26 is also rounded. Therefore, the stress concentrated in the vicinity of the joint portion between the spacer 26 and the front substrate 21 and the rear substrate 22 is efficiently dispersed.

製造時においては、前面基板21に連結されたスペーサ26の下端部26bに背面基板22を当接させた状態で周面壁を封着した後、背面2c側から内側へ向かって圧着器具でスペーサ26に対して背面基板22を加熱圧着することによって、上述のような凹部28及び曲面27aが形成される。   At the time of manufacturing, after sealing the peripheral wall with the rear substrate 22 in contact with the lower end portion 26b of the spacer 26 connected to the front substrate 21, the spacer 26 is used with a crimping tool inward from the back surface 2c side. On the other hand, the concave portion 28 and the curved surface 27a as described above are formed by thermocompression bonding of the rear substrate 22.

次に、本実施形態に係る平面型ランプ1の作用・効果について説明する。   Next, functions and effects of the flat lamp 1 according to the present embodiment will be described.

図6は、従来の平面型ランプの断面を示す図であり、図5に対応する図である。図6に示すように、従来の平面型ランプにおいては、前面基板30から下方へ延びるスペーサ31の下端部が、背面基板33を接触支持している。この平面型ランプでは、背面基板33の背面33aには金属蒸着によって略全面にわたって電極層32が形成されているため、背面基板33とスペーサ31の接触位置における背面33aには電極層32が存在している。従って、電極層32に高周波電圧が印加されると、スペーサ31の表面で図中の経路P1に沿った沿面放電が発生してしまい、放電エネルギーの損失を生じてしまう可能性がある。更に、放電時の高温化により放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合は、スペーサ31は、前面基板30と背面基板33との間隔が大きくなるのを抑制することができず破損してしまう可能性がある。   FIG. 6 is a view showing a cross section of a conventional flat lamp, and corresponds to FIG. As shown in FIG. 6, in the conventional flat lamp, the lower end portion of the spacer 31 extending downward from the front substrate 30 supports and supports the rear substrate 33. In this flat lamp, since the electrode layer 32 is formed on the back surface 33a of the back substrate 33 by metal vapor deposition over substantially the entire surface, the electrode layer 32 exists on the back surface 33a at the contact position between the back substrate 33 and the spacer 31. ing. Therefore, when a high-frequency voltage is applied to the electrode layer 32, creeping discharge along the path P1 in the figure occurs on the surface of the spacer 31, and there is a possibility that discharge energy is lost. Further, when the discharge gas expands in volume due to high temperature during discharge and a positive pressure is applied, the spacer 31 cannot be prevented from increasing the distance between the front substrate 30 and the rear substrate 33 and is damaged. There is a possibility that.

一方、本実施形態に係る平面型ランプ1においては、図5に示すように、スペーサ26が前面基板21と背面基板22とを連結しているため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合であっても、前面基板21と背面基板22との間隔を保持することができ、破損を防止することができる。また、背面基板22の背面2cにはスペーサ26が連結される位置に凹部28が形成されているため、背面2cと平板状電極3との間に絶縁領域として機能する空間29を形成することができる。これによって、スペーサ26付近の領域での放電自体を抑制することができるため、スペーサ26での沿面放電を抑制することができる。以上によって、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。   On the other hand, in the flat lamp 1 according to the present embodiment, as shown in FIG. 5, since the spacer 26 connects the front substrate 21 and the rear substrate 22, the discharge gas expands during discharge and the positive pressure is increased. Even if it is applied, the distance between the front substrate 21 and the rear substrate 22 can be maintained, and damage can be prevented. Further, since a recess 28 is formed in the back surface 2c of the back substrate 22 at a position where the spacer 26 is connected, a space 29 functioning as an insulating region can be formed between the back surface 2c and the flat electrode 3. it can. As a result, since the discharge itself in the region near the spacer 26 can be suppressed, the creeping discharge in the spacer 26 can be suppressed. As described above, the mechanical strength can be improved and the loss of discharge energy can be suppressed.

また、凹部28が、気密容器2の厚み方向から見た場合に、スペーサ26の下端部26bを含むように形成されているため、スペーサ26と平板状電極3との間にスペーサ26の下端部26bよりも大きな絶縁領域を形成することができ、沿面放電を一層効果的に抑制することができる。   Further, since the concave portion 28 is formed so as to include the lower end portion 26 b of the spacer 26 when viewed from the thickness direction of the hermetic container 2, the lower end portion of the spacer 26 is interposed between the spacer 26 and the flat electrode 3. An insulating region larger than 26b can be formed, and creeping discharge can be more effectively suppressed.

更に、凹部28が椀状に形成されると共に、背面基板22の内面22aとスペーサ26の間の角部に、凹部28に沿った曲面27aを形成することによって、スペーサ26と背面基板22の連結部分に集中する応力を効率よく分散させることができ、機械的強度を一層向上させることができる。   Further, the concave portion 28 is formed in a bowl shape, and a curved surface 27 a along the concave portion 28 is formed at a corner portion between the inner surface 22 a of the rear substrate 22 and the spacer 26, thereby connecting the spacer 26 and the rear substrate 22. The stress concentrated on the portion can be efficiently dispersed, and the mechanical strength can be further improved.

また、背面側の電極として、剛性のある平板状電極3が用いられているため、凹部28で背面基板22と平板状電極3との間の距離を確実に確保することができる。   Further, since the plate electrode 3 having rigidity is used as the electrode on the back side, the distance between the back substrate 22 and the plate electrode 3 can be reliably ensured by the recess 28.

また、上述のような構成とした場合、沿面放電の経路は、図中のP2に示すように、凹部28の縁部と平板状電極3との接触部分から上方へ向かい、突出部27の曲面27aを通って、スペーサ26の表面に沿って上方へ向かう経路となる。このように、本実施形態に係る平面型ランプ1によれば、従来の平面型ランプにおける沿面放電の経路P1(図6参照)よりも経路の距離を長くすることができるため、沿面放電を一層発生し難くすることができる。   Further, in the case of the above-described configuration, the surface of the creeping discharge is upward from the contact portion between the edge of the recess 28 and the flat electrode 3 as indicated by P2 in the figure, and the curved surface of the protrusion 27. It becomes the path | route which goes upward along the surface of the spacer 26 through 27a. Thus, according to the planar lamp 1 according to the present embodiment, the distance of the path can be made longer than the path P1 (see FIG. 6) of the creeping discharge in the conventional planar lamp. It can be made difficult to occur.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。   The present invention is not limited to the embodiment described above.

例えば、本実施形態に係る平面型ランプ1では、凹部28と平板状電極3との間に空間29が形成されるが、さらに、図7に示すように、凹部28に誘電体40を充填してもよい。誘電体40は、凹部28を完全に埋めると共に、背面2cと同一面を形成するように外面が平坦にされている。誘電体40として、アルミナ、マイカ、あるいはガラスビーズを充填することができる。このように、凹部28に誘電体40を充填すれば、板状の平板状電極3を用いる代わりに、背面基板22の背面2cに直接アルミニウム等の金属を蒸着させることによって電極層32を設けることが可能となる。   For example, in the flat lamp 1 according to the present embodiment, a space 29 is formed between the recess 28 and the plate-like electrode 3, and further, as shown in FIG. May be. The dielectric 40 has a flat outer surface so as to completely fill the recess 28 and form the same surface as the back surface 2c. The dielectric 40 can be filled with alumina, mica, or glass beads. In this way, if the recesses 28 are filled with the dielectric 40, the electrode layer 32 is provided by directly depositing a metal such as aluminum on the back surface 2 c of the back substrate 22 instead of using the plate-like flat electrode 3. Is possible.

なお、本実施形態においては、平面型ランプ1は円板状とされているが、これに限らず、長方形の平板状としてもよい。また、凹部の形状は椀状とされているが、これに限らず、円錐状や円柱状などの凹部を形成してもよい。また、平面型ランプ1の気密容器2は、出射光に対して透明な、円板状の前面基板と背面基板を所定の間隔で向かい合わせて形成していたが、前面2b側のガラス基板のみを出射光に対して透明な材料で形成し、その他の構成部材は出射光に対して透明でない材料で形成してもよい。また、各電極を金属膜で形成した場合、その保護のために、給電に影響しない範囲内の厚さでSiO2膜を各電極の上に設けても良い。   In the present embodiment, the flat lamp 1 has a disc shape, but is not limited thereto, and may be a rectangular flat plate shape. Moreover, although the shape of a recessed part is made into bowl shape, you may form recessed parts, such as not only this but a cone shape or a column shape. Further, the hermetic container 2 of the flat lamp 1 is formed with a disk-shaped front substrate and a rear substrate facing each other at a predetermined interval, which are transparent to the emitted light, but only the glass substrate on the front surface 2b side. May be formed of a material that is transparent to the emitted light, and the other components may be formed of a material that is not transparent to the emitted light. In addition, when each electrode is formed of a metal film, an SiO2 film may be provided on each electrode with a thickness within a range that does not affect power feeding for protection.

本発明の実施形態に係る発光装置の斜視図である。1 is a perspective view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention. 図1に示す発光装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the light-emitting device shown in FIG. 図2に示す支持部材の拡大斜視図である。FIG. 3 is an enlarged perspective view of a support member shown in FIG. 2. 図1のIV−IV線に沿う断面図であり、平面型ランプの一端側を拡大して示す図である。It is sectional drawing which follows the IV-IV line of FIG. 1, and is a figure which expands and shows the one end side of a flat type lamp. 図4のスペーサ付近の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the spacer in FIG. 4. 従来の平面型ランプの断面を示す図であり、図5に対応する図である。It is a figure which shows the cross section of the conventional flat type lamp, and is a figure corresponding to FIG. 変形例に係る平面型ランプの断面を示す図であり、図5に対応する図である。It is a figure which shows the cross section of the flat type lamp | ramp which concerns on a modification, and is a figure corresponding to FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…平面型ランプ、2…気密容器、2b…前面(前面基板の外面)、2c…背面(背面基板の外面)、3…平板状電極(背面側電極)、10…光通過電極(前面側電極)、20…発光装置、21…前面基板、22…背面基板、22a…内面、24…内部空間、26…スペーサ、27a…曲面、28…凹部、40…誘電体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flat type lamp, 2 ... Airtight container, 2b ... Front surface (outer surface of front substrate), 2c ... Back surface (outer surface of rear substrate), 3 ... Flat plate electrode (back side electrode), 10 ... Light passing electrode (front side) Electrode), 20 ... Light emitting device, 21 ... Front substrate, 22 ... Back substrate, 22a ... Inner surface, 24 ... Inner space, 26 ... Spacer, 27a ... Curved surface, 28 ... Recess, 40 ... Dielectric.

Claims (6)

誘電体からなり、前面基板及び背面基板を対向させてそれぞれの外周縁部同士を周面壁で封着させることによって平板状に形成される気密容器と、
前記気密容器の内部空間に封入され、電圧が印加されることにより発光する放電ガスと、
前記気密容器の前記前面基板の外面に設けられ、発生した光を出射可能とするように形成される前面側電極と、
前記気密容器の前記背面基板の外面に設けられ、前記内部空間を介して前記電極と対向する背面側電極と、
前記内部空間に配置され、前記前面基板及び前記背面基板の間で延びるスペーサと、を備え、
前記スペーサは、両端部で前記前面基板及び前記背面基板に連結され、
前記背面基板の外面には、前記スペーサが連結される位置で前記内部空間側へ窪む凹部が形成されていることを特徴とする平面型ランプ。
An airtight container formed of a dielectric material and formed in a flat plate shape by sealing the outer peripheral edge portions of the front substrate and the rear substrate with a peripheral wall,
A discharge gas that is sealed in the internal space of the hermetic vessel and emits light when a voltage is applied;
A front-side electrode provided on the outer surface of the front substrate of the hermetic container and formed so that the generated light can be emitted;
A back-side electrode provided on an outer surface of the back substrate of the hermetic container and facing the electrode through the internal space;
A spacer disposed in the internal space and extending between the front substrate and the back substrate,
The spacer is connected to the front substrate and the back substrate at both ends,
A flat lamp, wherein a concave portion is formed on the outer surface of the rear substrate so as to be recessed toward the inner space at a position where the spacer is connected.
前記凹部は、前記気密容器の厚み方向から見た場合に、前記スペーサの下端部の横断面を含むように形成されていることを特徴とする請求項1記載の平面型ランプ。   2. The flat lamp according to claim 1, wherein the concave portion is formed so as to include a cross section of a lower end portion of the spacer when viewed from a thickness direction of the hermetic container. 前記凹部は椀状に形成され、
前記背面基板の内面と前記スペーサの間の角部には、前記凹部に倣って曲面が形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の平面型ランプ。
The recess is formed in a bowl shape,
3. The flat lamp according to claim 1, wherein a curved surface is formed in a corner portion between the inner surface of the rear substrate and the spacer following the concave portion.
前記凹部には、誘電体が充填されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の平面型ランプ。   The flat lamp according to any one of claims 1 to 3, wherein the concave portion is filled with a dielectric. 前記背面側電極は、平板状に構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の平面型ランプ。   The flat lamp according to any one of claims 1 to 4, wherein the back-side electrode is formed in a flat plate shape. 前記背面側電極は、前記背面基板の外面との接触面に光反射性を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の平面型ランプ。   The flat lamp according to any one of claims 1 to 5, wherein the back-side electrode has light reflectivity on a contact surface with the outer surface of the back substrate.
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