KR101852634B1

KR101852634B1 - 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR101852634B1
Application number: KR1020110123626A
Authority: KR
Inventors: 김은진; 한창욱; 탁윤흥
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2011-11-24
Filing date: 2011-11-24
Publication date: 2018-04-27
Also published as: KR20130057735A

Abstract

본 발명은 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 유기전계 발광표시장치는, 다수개의 서브 화소 영역들이 구획되는 기판; 상기 기판의 각각의 서브 화소 영역에 대응되도록 형성된 박막트랜지스터; 상기 서브 화소 영역에 각각 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층; 상기 컬러필터층 및 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 형성된 층간절연층과 광보상층; 및 상기 광보상층 상에 형성된 화소전극, 유기발광층 및 전극으로 구성된 발광다이오드를 포함하고, 상기 컬러필터층과 대응되는 층간절연층 상에는 광보상층과 일체로 형성된 다수개의 격자패턴들이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법은, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조를 갖는 광보상층을 형성함으로써, 광보상층을 통과한 광과 통과하지 않은 광이 혼합시켜 시야각 특성과 색차 특성을 개선한 효과가 있다.

Description

유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법 {Organic electro-luminescence display device and Method for fabricating thereof}

본 발명은 광보상 효과를 조절할 수 있는 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.

유기전계 발광표시장치는 양극, 음극 및 상기 두 전극 사이에 개재된 유기발광층을 포함한다. 이와 같은 유기전계 발광표시장치는 상기 양극과 음극에서 각각 제공된 정공(hole)과 전자(electron)가 상기 유기발광층에서 재결합하여 빛을 발생하는 현상을 통해 화상을 구현하게 된다.

이로써, 상기 유기전계 발광표시장치는 자체발광형으로 LCD(Liquid Crystal Display Device)와 같이 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형화가 가능할 뿐만 아니라, 단순한 공정을 거쳐 제조될 수 있어 가격 경쟁력을 키울 수 있다. 또, 상기 유기전계 발광표시장치는 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각을 가짐에 따라, 차세대 디스플레이로서 급상승하고 있다.

상기 유기전계 발광표시장치는 상기 양극과 상기 유기발광층과, 상기 음극과 상기 유기발광층 사이에 각각 정공수송층과 전자수송층을 더 형성하여, 상기 유기발광층으로 정공과 전자가 효율적으로 주입될 수 있게 하여, 발광 효율을 향상시키고자 하였다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광표시장치의 구조를 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 유기전계 발광표시장치는, 기판(10) 상에 게이트 전극(11)이 형성되고, 상기 게이트 전극(11) 상에는 게이트 절연막(12)이 기판(10)의 전면에 형성된다. 또한, 상기 게이트 전극(11)과 대응되는 게이트 절연막(12) 상에는 채널층(14)과, 상기 채널층(14) 상에 형성된 에치 스톱퍼(15)를 사이에 두고, 드레인 및 소스 전극(17a, 17b)을 구비한 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)가 형성되어 있다.

상기 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판(10)의 전면에는 보호층(18)이 형성되고, 상기 보호층(18) 상의 화소 영역에는 컬러필터층(20)이 형성된다. 또한, 상기 컬러필터층(20)이 형성된 기판(10)의 전면에는 층간절연층(19)과 보상층(22)이 형성되어 있다.

또한, 상기 보상층(22) 상에는 상기 컬러필터층(20)과 오버랩되도록 화소 전극(31), 유기발광층(32) 및 음전극(33)으로 구성된 발광다이오드(LED)가 형성되어 유기전계 발광표시장치를 완성한다.

상기 화소 전극(31)은 투명성 도전물질로 형성되고, 발광다이오드의 양전극 역할을 한다. 도면에는 도시하였지만, 설명하지 않은 30은 버퍼층으로써, 각각의 서브 화소 영역을 분리하는 역할을 한다.

상기와 같은 종래 유기전계 발광표시장치는 발광다이오드(LED)와 컬러필터층(20) 사이에 광보상 효과를 구현하기 위해 보상층(22)을 형성하는데, 광보상 방법은 상기 보상층(22)의 두께를 조절하여 발광다이오드(LED)의 유기발광층(32)에서 발생하는 광의 시야각과 색특성을 조절하는 방식으로 이루어진다.

하지만, 현재 개발된 증착 장비로는 각각의 서브 화소 영역 단위로 보상층(22)의 두께를 정밀하게 조절하는데 한계가 있다. 또한, 종래 유기전계 발광표시장치에 형성되는 보상층(22)은 서브 화소 영역의 전면에 형성되기 때문에 보상층(22)으로 인한 투과율이 저하되는 단점이 있다.

아울러, 발광다이오드(LED)에는 유기물질로 형성된 유기발광층(32)을 포함하는데, 유기물질에서는 공정 중 지속적으로 아웃가스(OutGas)가 발생된다. 하지만, 종래 유기전계 발광표시장치에서는 발광다이오드(LED)가 보상층(22)에 의해 완전히 차단되어 있기 때문에 아웃가스가 유기발광층(32)을 손상시키는 문제가 발생된다.

따라서, 이로 인한 페이드아웃(fadeout) 불량이 각각의 서브 화소 영역에서 발생된다.(도 2 참조)

도 2는 종래 기술에 따른 유기전계 발광표시장치의 화소들에 발생되는 불량을 도시한 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 서브 화소 영역의 가장자리가 아웃가스에 의해 손상되고 있는 것을 볼 수 있다.

즉, 유기전계 발광표시장치의 제조 공정 중 유기발광층 등에서 발생된 아웃가스가 보상층에 의해 차단되어 외부로 발산되지 못하여, 발광다이오드(LED)의 유기발광층을 손상시키고 광효율을 저하시킨다.

또한, 광보상 효과를 개선하기 위해서는 기판의 전면에 형성되는 보상층의 두께를 조절하여야하는데, 기판이 대면적화되어 감에 따라 두께 조절이 더욱 어려운 문제가 있다. 특히, 보상층의 두께 또는 유니포머티(uniformity)가 확보되지 못하면 각각의 서브 화소 영역에서 서로 다른 광보상 효과가 나타나는 문제가 발생한다.

본 발명은, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조를 갖는 광보상층을 형성함으로써, 광보상층을 통과한 광과 통과하지 않은 광이 혼합시켜 시야각 특성과 색차 특성을 개선한 유기전계 발광표시장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조의 광보상층을 형성하여, 발광다이오드의 유기발광층에서 발생된 아웃가스가 용이하게 외부로 발산되어 유기발광층 손상을 방지한 유기전계 발광표시장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

상기와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유기전계 발광표시장치는, 다수개의 서브 화소 영역들이 구획되는 기판; 상기 기판의 각각의 서브 화소 영역에 대응되도록 형성되고 게이트 전극 및 소스/드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터; 상기 서브 화소 영역에 각각 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층; 상기 컬러필터층 및 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 형성된 층간절연층과 광보상층; 및 상기 광보상층 상에 형성된 화소전극, 유기발광층 및 전극으로 구성된 발광다이오드를 포함하고, 상기 컬러필터층과 대응되는 층간절연층 상에 위치하며 상기 서브 화소 영역 내에 일체로 형성된 다수개의 격자패턴들로 구성된 광보상층이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광표시장치 제조방법은, 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 상에 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극이 형성된 기판 상에 게이트 절연막과 상기 게이트 전극과 대응되는 게이트 절연막 상에 채널층을 형성하는 단계; 상기 채널층 상의 중앙에 에치스톱퍼를 형성하고, 계속해서 소스/드레인 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 소스/드레인 전극을 형성하는 단계; 상기 소스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호층을 형성하고, 각각의 서브 화소 영역의 보호층 상에 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층을 형성하는 단계; 상기 컬러필터층이 형성된 기판 상에 층간절연층과 광보상층을 형성하고, 회절 마스크 또는 하프톤 마스크를 이용하여, 상기 드레인 전극을 노출시키는 콘택홀과 상기 서브 화소 영역 내에 상기 광보상층을 구성하는 일체로 된 다수개의 격자패턴들을 형성하는 단계; 및 상기 광보상층과 격자패턴이 형성된 기판 상에 화소전극, 유기발광층 및 전극으로 구성된 발광다이오드를 형성하는 단계를 포함한다.

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본 발명의 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법은, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조를 갖는 광보상층을 형성함으로써, 광보상층을 통과한 광과 통과하지 않은 광이 혼합시켜 시야각 특성과 색차 특성을 개선한 효과가 있다.

또한, 본 발명의 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법은, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조의 광보상층을 형성하여, 발광다이오드의 유기발광층에서 발생된 아웃가스가 용이하게 외부로 발산되어 유기발광층 손상을 방지한 효과가 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광표시장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 종래 기술에 따른 유기전계 발광표시장치의 화소들에 발생되는 불량을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따라 격자 구조의 광보상층이 형성된 유기전계 발광표시장치의 화소 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 종래 기술과 본 발명에서의 광보상 효과를 비교한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치의 화소들을 도시한 도면이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치의 구조를 도시한 도면이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 유기전계 발광표시장치는, 기판(110) 상에 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여, 게이트 전극(111)을 형성하고, 상기 게이트 전극(111) 상에는 게이트 절연막(112)을 기판(110)의 전면에 형성한다.

상기 게이트 전극(111)은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 게이트 전극(111)과 대응되는 게이트 절연막(112) 상에는 채널층(114)을 형성한다. 상기 채널층(114)은 결정질 실리콘막으로 형성되고, 소스/드레인 전극(117b, 117a)과 콘택될 소스/드레인 영역에는 이온 주입 공정으로 콘택층이 형성된다.(미도시)

상기와 같이, 채널층(114)이 형성되면, 상기 채널층(114)의 중앙에 절연막으로 형성되는 에치스톱퍼(115)가 형성되고, 계속해서 기판(110)의 전면에 소스/드레인 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 소스/드레인 전극(117b, 117a)을 형성한다.

상기 소스/드레인 금속은, 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기와 같이, 소스/드레인 전극(117b, 117a)이 기판(110) 상에 형성되면, 보호층(118)을 기판(110)의 전면에 형성하고, 각각의 서브 화소 영역과 대응되는 영역에 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층(120)을 형성한다.

상기 백색(W) 컬러필터층은 별도의 컬러필터층 형성 없이, 구현될 수 있다.

상기와 같이, 컬러필터층(120)이 기판(110) 상에 형성되면, 층간절연층(119)과 광보상층(220)을 순차적으로 형성한다. 그런 다음, 하프톤 마스크 또는 회절 마스크를 이용하여, 상기 드레인 전극(117a)을 노출시키기 위한 콘택홀과 서브 화소 영역에서 광보상층(220)을 격자 구조(grating)로 패터닝한다.

즉, 상기 하프톤 마스크 또는 회절 마스크는 상기 드레인 전극(117a)이 노출되는 콘택홀 영역은 완전투과 영역으로 하고, 서브 화소 영역의 광보상층(220) 만을 제거하기 위한 영역은 반투과영역 및 광보상층(220)이 남아 있는 영역을 비투과영역으로 구분된다.

상기와 같이, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조의 광보상층(220)이 형성되면, 기판(110)의 전면에 투명성 도전물질, 예를 들어 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)을 형성하고 마스크 공정을 진행하여 각각 서브 화소 영역에 화소전극(131)을 형성한다. 상기 화소전극(131)은 이후 형성될 발광다이오드의 양전극 역할을 한다.

상기와 같이, 화소전극(131)이 기판(110) 상에 형성되면, 절연층을 기판(110)의 전면에 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 서브 화소 영역을 각각 분리하는 버퍼층(130)을 형성한다.

상기와 같이, 버퍼층(130)이 기판(110) 상에 형성되면, 각각의 서브 픽셀 영역에 유기발광층(132)을 형성한다. 상기 유기발광층(132)은 백색광을 발생하는 유기물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 유기발광층(132), 다수개의 전하수송층을 더 포함하고, 전하수송층들은 전자 또는 정공을 수송하기 위한 물질로 형성될 수 있다.

상기와 같이, 유기발광층(132)이 기판(110) 상에 형성되면, 기판(110)의 전면에 음전극(133)을 형성한다. 상기 음전극(133)은 화소전극(131)보다 일함수가 작은 도전물질을 사용할 수 있는데, Mg, Ca, Al, Ag, Li, 이들의 합금일 수 있다.

도 4는 본 발명에 따라 격자 구조의 광보상층이 형성된 유기전계 발광표시장치의 화소 구조를 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 본 발명의 유기전계 발광표시장치의 단위 화소 영역은, 각각의 서브 화소 영역에는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층이 형성된 컬러필터층 영역과, 각각의 서브 화소 영역과 대응되게 스위칭소자들이 형성된 박막트랜지스터(TFT) 영역으로 구분된다.

본 발명에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 컬러필터층(120) 상에는 층간절연층(119), 격자 구조로 형성된 광보상층(220) 및 발광다이오드(LED)가 형성되어 있는데, 광보상층(220)은 SiNx 계열의 절연물질로 형성되고, 서브 화소 영역에서는 격자패턴(220a)들로 형성되어 있다.

즉, 광보상층(220)은 컬러필터층(120)이 형성되 기판(110)의 전면에 형성되지만, 도 3에서 설명한 바와 같이, 회절 마스크 또는 하프톤 마스크 공정을 적용하여 서브 화소 영역에서는 다수개의 격자패턴들(220a)로 패터닝된다. 이들 격자패턴들(220a)은 상기 광보상층(220)과 일체로 형성되면서, 서브 화소 영역 내에서 소정의 간격으로 이격되도록 형성된다.

이것은 종래 기술에서 전면 증착되는 보상층의 두께를 조절하여 광보상 효과를 얻는데는 장비적 또는 공정적 한계가 있기 때문이다. 본 발명에서는 발광다이오드(LED)에서 발생된 광이 광보상층(220)을 투과하는 광과 투과하지 않는 광을 혼합하여 광보상 효과를 얻도록 하였다.

즉, 본 발명에서는 광보상층(220)의 다수개의 격자패턴들(220a)을 통과하는 광과 격자패턴들(220a) 사이를 통과하는 광을 이용하여 시야각 및 색차 특성을 개선한 기술이다. 특히, 격자패턴들(220a)의 폭은 공정으로 쉽게 조절할 수 있기 때문에 광보상층(220)의 격자패턴들(220a)을 투과하는 광의 투과면적을 조절할 수 있다. 이러한 광투과 면적을 조절함으로써, 시야각과 색차 특성을 조절할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는 발광다이오드(LED)에서 발생된 광이 광보상층(220)을 거치지 않고 격차 패턴들(220a) 사이를 투과하는 광과 광보상층(220)의 격자패턴(220a)을 투과하는 광을 혼합하면서, 격자패턴들(220a)의 폭을 조절하여 투과 면적을 조절하여 광보상 효과를 조절하였다.

도 5는 종래 기술과 본 발명에서의 광보상 효과를 비교한 도면이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 컬러필터층(Color Filter: C/F)과 발광다이오드(LED) 사이에 층간절연층(190)과 광보상층의 격자패턴들(220a)이 배치되어 있다. 따라서, 발광다이오드(LED)에서 발생되는 광 중 광보상층의 격자패턴(220a)을 통과하는 제1광(L1)과 광보상층의 격자패턴들(220a)을 통과하지 않고 층간절연층(190) 만을 통과하여 제2광(L2)이 혼합되어 컬러필터층(C/F)에 전달된다.

그러므로 본 발명에서는 광보상층의 격자패턴(220a)들을 통과하는 광투과 면적을 조절하여 시야각과 색차 특성을 더욱 정밀하게 조절할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 단순히 서브 화소 영역에 광보상층이 전면 증착된 구조가 아니기 때문에 서브 화소 영역의 투과율을 개선 시킬 수 있다.

하지만, 종래 기술에서는 발광다이오드(LED)와 컬러필터층(C/F) 사이에 보상층(22)과 층간절연층(19)이 적층되어 있어, 발광다이오드(LED)에서 발생한 광은 반드시 보상층(22)과 층간절연층(19)을 모두 투과하는 광(L)만 존재하게 된다.

따라서, 광보상 효과를 얻기 위해서는 상기 보상층(22)의 두께를 조절해야하는데, 장비 특성상 보상층(22)의 두께를 조절하기는 매우 어렵다. 또한, 특정된 두께로 보상층(22)을 형성하더라도, 전면적(전 서브 화소 영역)에서 균일한 두께를 유지하기도 매우 어렵다. 아울러, 유기전계 발광표시장치가 대형화되어감에 따라 일정한 두께를 유지하기는 더욱 어려운 실정이다.

이와 같이, 종래 기술에서는 보상층(22)의 두께와 균일도가 일정치 않아 각각의 서브 화소 영역에서 서로 다른 광보상 효과가 발생되는 문제가 발생하였다.

하지만, 본 발명에서는 서브 화소 영역에 형성되는 격자패턴들(220a)의 폭을 조절하고, 광보상층의 격자패턴들(220a)을 투과하는 광의 투과면적으로 조절하여 광보상 효과를 쉽게 할 수 있다.

도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치의 화소들을 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 본 발명의 유기전계 발광표시장치의 광보상층은 서브 화소 영역에서 다수개의 격자패턴들로 형성되기 때문에 공정 중 유기발광층에서 발생되는 아웃가스가 격자패턴들 사이로 용이하게 발산될 수 있다.

따라서, 종래 도 2와 같이, 아웃가스로 인한 유기발광층 손상이 현저히 줄어들 수 있다.

즉, 본 발명에서는 종래 광보상을 위해 형성되는 보상층의 증착 두께를 조절하는 것은 장비적으로 한계가 많아, 드레인 전극을 노출시키는 콘택홀 공정시 다수개의 격자 패턴들을 서브 화소 영역에 형성함으로써, 광보상 효과를 구현하면서 아웃가스에 의한 발광다이오드의 수율 저하를 방지하도록 하였다.

또한, 본 발명의 유기전계 발광표시장치는, 각각의 서브 화소 영역에 격자 구조의 광보상층을 형성하여, 발광다이오드의 유기발광층에서 발생된 아웃가스가 용이하게 외부로 발산되어 유기발광층 손상을 방지한 효과가 있다.

110: 기판 111: 게이트 전극
112: 게이트 절연막 114: 채널층
117a: 드레인 전극 117b: 소스 전극
115: 에치 스톱퍼 120: 컬러필터층
220: 광보상층 220a: 격자패턴

Claims

다수개의 서브 화소 영역들이 구획되는 기판;
상기 기판의 각각의 서브 화소 영역에 대응되도록 형성되고 게이트 전극 및 소스/드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터;
상기 서브 화소 영역에 각각 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층;
상기 컬러필터층 및 박막트랜지스터가 형성된 기판 상에 형성된 층간절연층과 광보상층; 및
상기 광보상층 상에 형성된 화소전극, 유기발광층 및 전극으로 구성된 발광다이오드를 포함하고,
상기 컬러필터층과 대응되는 층간절연층 상에 위치하며 상기 서브 화소 영역 내에 일체로 형성된 다수개의 격자패턴들로 구성된 광보상층이 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 화소 전극은 발광다이오드의 양전극이고, 상기 전극은 발광다이오드 음전극인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 광보상층과 격자패턴들은 SiNx계열의 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 화소 전극은 ITO 또는 IZO 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 게이트 전극은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 소스/드레인 전극은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
제1항에 있어서, 상기 격자패턴들은 상기 컬러필터층과 오버랩되면서 소정의 간격으로 배치되어, 상기 발광다이오드에서 발생되는 광 중 일부는 격자패턴들을 투과하는 제1광과 상기 발광다이오드에서 발생된 광 중 상기 격자패턴들을 투과하지 않은 제2광이 혼합되어 광보상을 구현하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치.
기판을 제공하는 단계;
상기 기판 상에 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 게이트 전극을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극이 형성된 기판 상에 게이트 절연막과 상기 게이트 전극과 대응되는 게이트 절연막 상에 채널층을 형성하는 단계;
상기 채널층 상의 중앙에 에치스톱퍼를 형성하고, 계속해서 소스/드레인 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 소스/드레인 전극을 형성하는 단계;
상기 소스/드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호층을 형성하고, 각각의 서브 화소 영역의 보호층 상에 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 컬러필터층을 형성하는 단계;
상기 컬러필터층이 형성된 기판 상에 층간절연층과 광보상층을 형성하고, 회절 마스크 또는 하프톤 마스크를 이용하여, 상기 드레인 전극을 노출시키는 콘택홀과 상기 서브 화소 영역 내에 상기 광보상층을 구성하는 일체로 된 다수개의 격자패턴들을 형성하는 단계; 및
상기 광보상층과 격자패턴이 형성된 기판 상에 화소전극, 유기발광층 및 전극으로 구성된 발광다이오드를 형성하는 단계를 포함하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 광보상층과 격자패턴들은 SiNx계열의 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 화소 전극은 ITO 또는 IZO 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 게이트 전극을 형성하기 위한 금속은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 소스/드레인 금속은 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 이들의 조합으로부터 형성되는 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 격자패턴들은 상기 컬러필터층과 오버랩되면서 소정의 간격으로 배치되어, 상기 발광다이오드에서 발생되는 광 중 일부는 격자패턴들을 투과하는 제1광과 상기 발광다이오드에서 발생된 광 중 상기 격자패턴들을 투과하지 않은 제2광이 혼합되어 광보상을 구현하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광표시장치 제조방법.