KR101849248B1 - Circuit board inspection device - Google Patents

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아키히로 시오이리
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Abstract

본 발명은, X-Y형(혹은 플라잉형 등)의 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 측정을 가능하게 하는 것이다. 측정 신호원과 전압 검출 수단을 포함하는 측정부(20)와, 측정 신호원과 피측정 시료(DUT) 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 전류 프로브(P1, P2) 및 전압 검출 수단과 피측정 시료(DUT) 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 전압 프로브(P3, P4)와, 프로브를 소정 방향으로 이동시키는 가동 아암(31, 32)과, 측정부(20)로부터의 측정 신호에 기초하여 피측정 시료(DUT)의 파라미터 해석이나 양부 판별을 행하고, 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부(10)를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 프로브(P1∼P4)의 전기 배선에 동축 케이블(C1∼C4)을 사용하고, 4단자대법에 의해 각 동축 케이블의 외부 도체(S) 전부를 리드선(5)에 의해 접속하고, 이들의 4단자대법에 의한 프로브(P1∼P4)를 가동 아암(31, 32) 중 일방의 가동 아암에 지지시킨다.The present invention enables a measurement by a four terminal method in an XY type (or flying type) circuit board inspection apparatus. A measurement unit 20 including a measurement signal source and a voltage detection unit; current probes P1 and P2 included in a measurement current path between the measurement signal source and the DUT and voltage detection means; The voltage probe P3 and P4 included in the voltage detection path between the DUT and the movable arm 31 and 32 for moving the probe in a predetermined direction, A circuit board inspecting apparatus comprising a control section (10) for performing parameter analysis of a sample (DUT), discrimination of both sides, and controlling the movement of a movable arm, characterized in that the coaxial cables (C1- C4 are used and the entire outer conductors S of the coaxial cables are connected by the lead wire 5 by the four terminal method and the probes P1 to P4 by the four terminal method are connected to the movable arms 31, 32 on one movable arm.

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Figure 112011037773889-pat00001

Description

회로 기판 검사 장치{CIRCUIT BOARD INSPECTION DEVICE}[0001] CIRCUIT BOARD INSPECTION DEVICE [0002]

본 발명은, 회로 기판의 검사에 사용되는 프로브(도전 접촉핀)를 소정 방향으로 이동 가능한 가동 아암에 지지하여 이루어지는 X-Y형(혹은 플라잉형 등)으로 불리는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법(four-terminal pair method)에 의한 측정을 가능하게 하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a circuit board inspection apparatus called XY type (or flying type) in which a probe (conductive contact pin) used for inspecting a circuit board is supported on a movable arm movable in a predetermined direction, four-terminal pair method).

회로 기판에 존재하는 도체 패턴, 실장 부품이나 소자 등(이하, 이들을 「피측정 시료」라고 한다)의 임피던스를 측정하는 방법의 하나로서 4단자법이 있다.There is a four-terminal method as a method for measuring the impedance of a conductor pattern, a mounting component, an element, etc. (hereinafter referred to as a " measured sample ") present on a circuit board.

4단자법에 있어서는, 도 15의 모식도에 나타내는 바와 같이, 기본적인 구성으로서, 측정 신호를 발생시키는 측정 신호원(1)과, 전압 검출 수단으로서의 전압계(2)와, 전류 검출 수단으로서의 전류계(3)를 구비한다.15, as a basic configuration, a measuring signal source 1 for generating a measuring signal, a voltmeter 2 as a voltage detecting means, an ammeter 3 as a current detecting means, Respectively.

프로브로는, 측정 신호원(1)으로부터 피측정 시료(DUT)로 흐르는 측정 전류 경로 내에 포함되는 2개의 전류 프로브(P1, P2)[P1이 고전위(Hc) 측이고, P2가 저전위(Lc) 측]와, 피측정 시료(DUT)의 전압 검출 경로 내에 포함되는 2개의 전압 프로브(P3, P4)[P3이 고전위(Hp) 측이고, P4가 저전위(Lp) 측]의 4개의 프로브가 사용된다.The probe includes two current probes P1 and P2 included in the measurement current path from the measurement signal source 1 to the DUT (P1 is on the high potential side and P2 is on the low potential side (P3 on the high potential side (Hp) side and P4 on the low potential side (Lp) side) included in the voltage detection path of the DUT Probes are used.

또한, 이들 각 프로브는 구조적으로는 변하지 않지만, 본 명세서에서는, 설명의 편의상, 전류 계통 측인 것을 전류 프로브라고 하고, 전압 계통 측인 것을 전압 프로브라고 한다.Each of these probes is not structurally changed, but for convenience of explanation, the current system side is referred to as a current probe and the voltage system side is referred to as a voltage probe in this specification.

측정에 있어서는, 측정 신호원(1)으로부터 전류 프로브(P1, P2)를 통해 피측정 시료(DUT)에 예를 들어 정전류를 흐르게 하고, 이에 의해 피측정 시료(DUT)의 양단에 발생하는 전압을 전압 프로브(P3, P4)를 통해 전압계(2)로 측정하고, 전류계(3)에 의한 전류값과 전압계(2)에 의한 전압값에 기초하여, 피측정 시료(DUT)의 임피던스(Z)를 측정한다.In the measurement, for example, a constant current is caused to flow from the measurement signal source 1 to the DUT through the current probes P1 and P2, whereby a voltage generated across both ends of the DUT The impedance Z of the DUT is measured based on the current value by the ammeter 3 and the voltage value by the voltmeter 2 by using the voltmeter 2 through the voltage probes P3 and P4, .

이 4단자법에 의하면, 측정계의 전기 배선(리드선)의 배선 저항이나 피측정 시료와의 접촉 저항의 영향을 거의 배제할 수 있으나, 측정 전류 경로에 흐르는 전류에 의해 발생하는 자속이 전압 검출 경로를 지나가면, 검출 전압에 오차가 발생하고, 이 오차가 임피던스 측정값에 포함되게 된다.According to this four-terminal method, the influence of the wiring resistance of the electric wiring (lead wire) of the measuring system and the contact resistance with the sample to be measured can be largely eliminated, but the magnetic flux generated by the current flowing in the measuring current path An error occurs in the detection voltage, and this error is included in the impedance measurement value.

이 현상은, 특히 높은 주파수의 측정 전류로 측정을 행하는 고주파 측정시에 문제가 된다. 또한, 측정계의 전기 배선에, 동축 케이블(실드 피복선)을 사용하여도, 정전 실드의 효과는 있으나, 상기와 같은 전자 유도에 대해서는 유효하지 않다.This phenomenon becomes a problem in high frequency measurement, in particular, measurement is performed with a measurement current of a high frequency. Furthermore, even if a coaxial cable (shielded wire) is used for the electric wiring of the measurement system, there is an effect of electrostatic shielding, but such electromagnetic induction is not effective.

이 전자 유도에 의한 문제는, 4단자대법에 의해 해결할 수 있다. 4단자대법에 관한 문헌으로는 예를 들어 특허문헌 1(일본 특허공개공보 H02-122274호)이 있다. 도 16에, 4단자대법의 접속 상태를 모식적으로 나타낸다.The problem caused by the electromagnetic induction can be solved by the four terminal method. As a document related to the four-terminal method, there is, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. H02-122274). Fig. 16 schematically shows the connection state of the four terminal method.

도 16을 참조하여, 4단자대법의 경우, 전류 프로브(P1, P2)의 전기 배선으로서 동축 케이블(C1, C2)을 사용하고, 마찬가지로, 전압 프로브(P3, P4)의 전기 배선에도 동축 케이블(C3, C4)을 사용한다. 그리고, 각 동축 케이블(C1∼C4)의 각 외부 도체(실드 피복선)(S) 전부를 각 프로브의 기단(基端) 부근에서 리드선(5)으로 접속하여 단락시킨다.The coaxial cables C1 and C2 are used as the electric wiring of the current probes P1 and P2 and the coaxial cables C1 and C2 are also used as the electric wiring of the voltage probes P3 and P4 C3, C4). Then, all of the external conductors (shielded wire) S of the coaxial cables C1 to C4 are short-circuited by the lead wires 5 near the base ends of the respective probes.

동작에 대해, 측정 신호원(1)으로부터 Hc 라인을 통해 피측정 시료(DUT)에 측정 전압(V)을 인가하면(이 인가 전압은 Hp 라인과 동일), 피측정 시료(DUT)에는 V/Z인 측정 전류가 흐른다. 이 측정 전류는 전류계(3)를 지나고, 그대로 반대 방향으로 외부 도체를 흘러 측정 신호원(1)으로 되돌아간다(도 16의 전류의 흐름 방향을 나타내는 화살표 참조).When the measurement voltage V is applied to the DUT through the Hc line from the measurement signal source 1 (this applied voltage is the same as the Hp line), the V / A measurement current of Z flows. The measurement current passes through the ammeter 3 and flows through the outer conductor in the opposite direction as it is and returns to the measurement signal source 1 (see the arrow indicating the flow direction of the current in Fig. 16).

이때, 피측정 시료(DUT)의 반대 측에서는, Lp가 Lc(=GND)가 되도록 귀환 제어 회로(FC)가 동작한다. 따라서, 피측정 시료(DUT)에는, 전압계(2)의 양단과 동일한 전압이 가해지기 때문에, 전압계(2)가 나타내는 값은, 피측정 시료(DUT)의 양단 전압과 동일해진다.At this time, on the opposite side of the DUT, the feedback control circuit FC operates so that Lp becomes Lc (= GND). Therefore, since the same voltage is applied to both ends of the voltmeter 2, the value indicated by the voltmeter 2 becomes equal to the voltage across both ends of the DUT.

이와 같이, 4단자대법에 의하면, 측정 전류 경로 내에서, 측정 전류의 왕로(往路)와 복로(復路)가 중첩되기 때문에, 상기 4단자법의 이점을 유지하면서, 측정 전류에 의해 발생하는 자속의 영향(전자 유도)을 경감시킬 수 있다.As described above, according to the four-terminal method, since the forward path and the return path of the measurement current are overlapped within the measurement current path, the advantage of the four-terminal method is maintained, It is possible to alleviate the influence (electromagnetic induction).

또한, 각 동축 케이블(C1∼C4)의 각 외부 도체(S) 전부를 리드선(5)으로 접속하고 있는 것은, 상기 전압을 측정할 때에, 그것에 관여하는 Hp, Lp의 각 외부 도체(S)의 전위가 확정되어 있지 않은 상태는 바람직하지 않은 등의 이유에 의한 것이다.The reason why all of the external conductors S of the coaxial cables C1 to C4 are connected by the lead wire 5 is that when the voltage is measured, the external conductors S of Hp and Lp And a state in which the potential is not fixed is undesirable.

그런데, X-Y형 회로 기판 장치에서는, 예를 들어 특허문헌 2(일본 특허공개공보 제2002-14132호)에 기재되어 있는 바와 같이, 회로 기판 상을 소정 방향(X, Y 및 Z 방향)으로 이동할 수 있는 적어도 2개의 가동 아암을 구비하고, 그 각 가동 아암에 프로브를 지지시키고, 미리 설정되어 있는 검사 프로그램에 따라서, 각 가동 아암을 이동시켜 회로 기판 상의 피측정 시료의 검사를 행하도록 하고 있다.In the XY circuit board device, as described in, for example, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2002-14132), it is possible to move the circuit board in a predetermined direction (X, Y and Z directions) And the probes are supported on the respective movable arms, and the movable arms are moved in accordance with a predetermined inspection program to inspect the specimens to be measured on the circuit board.

이와 같이, 각 가동 아암이 자유롭게 이동 가능하기 때문에, 종래의 X-Y형 회로 기판 장치에서는, 각 프로브(P1∼P4)의 동축 케이블(C1∼C4)의 모든 외부 도체(S)를 각 프로브의 기단 부근에서 리드선(5)으로 단락시키는 4단자대법에 의한 측정을 물리적으로 행할 수 없다.Thus, in the conventional XY circuit board device, all of the external conductors S of the coaxial cables C1 to C4 of the respective probes P1 to P4 are placed near the base ends of the probes P1 to P4, It is impossible to physically perform the measurement by the four terminal method in which the lead wire 5 is short-circuited.

나아가서는, X-Y형 회로 기판 장치에서 4단자대법에 의한 측정을 행하는 경우, 예를 들어, 일방의 가동 아암에 고전위 측의 전류 프로브(P1)와 전압 프로브(P3)가 설치되고, 타방의 가동 아암에 저전위 측의 전류 프로브(P2)와 전압 프로브(P4)가 설치되며, 이들 각 가동 아암 사이에 외부 도체 접속용의 리드선(5)이 걸쳐지게 된다.Further, in the case of performing measurement by the four terminal method in the XY circuit board device, for example, a current probe P1 and a voltage probe P3 on the high potential side are provided on one movable arm, A current probe P2 and a voltage probe P4 on the low potential side are provided on the arm and lead wires 5 for connecting external conductors are struck between the movable arms.

이 때문에, 각 가동 아암이 움직일 수 있는 범위가 리드선(5)의 배선 길이로 제한되고, 예를 들어 패턴의 피치가 변화하여, 프로빙 지점 사이의 거리가 리드선(5)의 배선 길이보다 긴 경우에는 대응을 할 수 없는 등의 문제가 있다.Therefore, when the range in which the movable arms can move is limited to the wiring length of the lead wire 5, for example, the pitch of the pattern changes, and the distance between the probing points is longer than the wiring length of the lead wire 5 There is a problem such that it can not cope.

이 문제를 해결하기 위해서는, 각 가동 아암 사이에 걸쳐지는 외부 도체 접속용 리드선의 배선 길이를 길게 하면 되지만, 그렇게 한 경우, 극단적인 예이기는 하나, 가동 아암의 간격이 좁아졌을 때에, 피검사 회로 기판 상에 리드선이 아래로 늘어뜨려져 끌릴 우려가 있어, 바람직한 대책이라고는 할 수 없다.In order to solve this problem, it is necessary to increase the wiring length of the external conductor connecting lead wire that spans between the movable arms. However, in this case, when the distance between the movable arms is narrowed, The lead wire may be dragged downward and pulled, which is not a preferable countermeasure.

또한, 각 가동 아암 사이에 걸쳐지는 외부 도체 접속용 리드선의 배선 길이를 길게 하는 것은, 높은 주파수를 취급함에 있어서 바람직하지 않고, 또한, 극단적인 예이기는 하나, 가동 아암의 간격이 좁아졌을 때에, 피검사 회로 기판 상에 리드선이 아래로 늘어뜨려져 끌릴 우려도 있어, 대체로 바람직한 대책이라고는 할 수 없다.In addition, it is not preferable to increase the wiring length of the lead wires for external conductor connection that span between the movable arms. In addition, although it is an extreme example, when the distance between the movable arms becomes narrow, The lead wire may be dragged down on the inspection circuit board and pulled, which is generally not a preferable countermeasure.

따라서, 본 발명의 목적은, X-Y형(혹은 플라잉형 등)으로 불리는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 측정을 가능하게 하는 것에 있다.Therefore, an object of the present invention is to enable a measurement by a four terminal method in a circuit board inspection apparatus called X-Y type (or flying type).

또한, 본 발명의 제2 목적은, 동축 케이블의 외부 도체 사이를 접속하는 리드선의 배선 길이에 의한 제한을 받지 않고, 각 가동 아암을 자유롭게 움직일 수 있게 하는 것에 있다.A second object of the present invention is to enable each of the movable arms to move freely without being limited by the wiring length of the lead wire connecting between the outer conductors of the coaxial cable.

또한, 본 발명의 제3 목적은, 4단자대법에 의한 측정을 행함에 있어서, 각 가동 아암의 이간 거리를 보다 넓어지게 하는 것에 있다.A third object of the present invention is to provide a wider distance between the movable arms when measuring by the four-terminal method.

상기 제1 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 2개의 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 2개의 전압 프로브와, 소정의 상기 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 한 쌍의 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터 해석 및 양부(良否) 판별 중 하나 이상을 행함과 함께, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고, 4단자대법에 의해 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 전부가 상기 프로브의 기단 부근에서 리드선에 의해 접속되어 있고, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브가 모두 상기 한 쌍의 가동 아암 중 적어도 일방의 가동 아암에 지지되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the first problem, the present invention provides a measuring apparatus comprising: a measuring section including a measuring signal source and voltage detecting means; and a current measuring section for measuring two current probes included in a measuring current path between the measuring- Two voltage probes included in a voltage detection path between the detection means and the to-be-measured sample, a pair of movable arms mounted with the predetermined probe and driven in an arbitrary direction by a movement mechanism, And a control section for performing at least one of parameter analysis of the measured specimen and discrimination of good or bad based on the measurement signal and controlling the movement of each movable arm through the movement mechanism A coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the voltage probes, Wherein all of the external conductors of the coaxial cables are connected by a lead wire near the base end of the probe and the current probes and the voltage probes are both supported by at least one of the movable arms of the pair of movable arms .

본 발명의 바람직한 양태에 의하면, 상기 일방의 가동 아암에는, 상기 프로브 사이의 간격을 조정 가능하게 하는 간격 조정 수단이 설치된다.According to a preferred aspect of the present invention, the one movable arm is provided with a gap adjusting means for adjusting the gap between the probes.

본 발명에 의하면, 한 쌍의 가동 아암 중 일방의 가동 아암 측에, 2개의 전류 프로브와 2개의 전압 프로브를 지지시키도록 함으로써, 그들 각 프로브의 전기 배선에 동축 케이블을 사용하고, 각 동축 케이블의 외부 도체끼리를 프로브의 기단 부근에서 리드선으로 접속하여 이루어지는 4단자대법에 의한 측정이 가능해진다.According to the present invention, two current probes and two voltage probes are supported on one movable arm side of the pair of movable arms, so that coaxial cables are used for electric wiring of each of the probes, It is possible to perform measurement by the four-terminal method in which the outer conductors are connected to each other by a lead wire near the base end of the probe.

상기 제2 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피검사 회로 기판에 실장되어 있는 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브의 4개의 프로브와, 소정의 상기 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용됨과 함께, 상기 4개의 프로브와는 별도로 소정의 도체에 접촉하여 서로 도통하는 제5 및 제6 프로브를 더 구비하고, 상기 제1 가동 아암 측에, 상기 제1 전류 프로브, 상기 제1 전압 프로브 및 상기 제5 프로브가 지지되고, 상기 제2 가동 아암 측에, 상기 제2 전류 프로브, 상기 제2 전압 프로브 및 상기 제6 프로브가 지지되고, 상기 제1 가동 아암 측에 있어서는, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브의 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 사이 및 상기 제5 프로브가 리드선을 통해 접속되어 있고, 상기 제2 가동 아암 측에 있어서는, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브의 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 사이 및 상기 제6 프로브가 리드선을 통해 접속되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the second problem, the present invention is characterized by comprising: a measurement section including a measurement signal source and a voltage detection section; and a measurement current path between the measurement signal source and a measured sample mounted on the circuit board to be inspected And the first and second voltage probes included in the voltage detection path between the voltage detecting means and the DUT, and the predetermined probe are mounted on the moving mechanism And a controller for calculating parameters of the sample to be measured based on a measurement signal from the measuring unit and controlling the movement of each of the movable arms via the moving mechanism, And a controller for controlling the current probe and the voltage probe, wherein in the circuit board inspecting apparatus having the control section for performing the measurement by the four-terminal method, Further comprising fifth and sixth probes which are in contact with a predetermined conductor and electrically connected to each other, apart from the four probes, wherein the first and second probes are provided on the first movable arm side, The first current probe, the first voltage probe, and the fifth probe are supported, and the second current probe, the second voltage probe, and the sixth probe are supported on the second movable arm side, Wherein the first probe and the second probe are connected to each other via a lead wire between the first current probe and the outer conductor of each of the coaxial cables of the first voltage probe and the second probe, And the sixth probe is connected between the probe and the external conductor of the coaxial cable of the second voltage probe, and the sixth probe is connected through a lead wire.

본 발명에 있어서, 상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측인 것이 4단자대법에 의한 측정을 행함에 있어서 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the first current probe and the first voltage probe, both of which are supported on the first movable arm side, have a high potential side, and that the second current probe and the second It is preferable that the voltage probes are all on the low potential side in performing the measurement by the four terminal method.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 각 가동 아암은, 상기 전류 프로브 및 상기 전압 프로브가 장착되는 제1 아암부와, 상기 제5, 제6 프로브 중 어느 일방이 장착되는 제2 아암부를 구비하고, 상기 제1 아암부와 상기 제2 아암부가, 상기 피검사 회로 기판의 기판면과 거의 평행한 평면 내에서 다른 방향으로 배향되어 있는 양태가 바람직하게 채용된다.Further, in the present invention, each of the movable arms includes a first arm portion on which the current probe and the voltage probe are mounted, and a second arm portion on which one of the fifth and sixth probes is mounted, The first arm portion and the second arm portion are oriented in different directions in a plane substantially parallel to the substrate surface of the circuit board to be inspected.

본 발명에서는, 각 가동 아암 사이에 배선되는 리드선 대신에, 소정의 도체에 접촉하여 서로 도통하는 제5 및 제6 프로브가 사용되는데, 그 도체로서, 상기 피검사 회로 기판에 대해 병치되는 다른 기판 상에 형성된 소정의 도체 패턴이 이용되어도 된다.In the present invention, fifth and sixth probes which are in contact with a predetermined conductor and are electrically connected to each other are used in place of the lead wires to be wired between the movable arms, A predetermined conductor pattern may be used.

또한, 다른 양태로서, 상기 도체에 상기 피검사 회로 기판 상에 형성되어 있는 소정의 도체 패턴이 이용되어도 된다.As another aspect, a predetermined conductor pattern formed on the circuit board to be inspected may be used for the conductor.

또한, 다른 양태로서, 상기 도체에 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브가 접촉하는 상기 피검사 회로 기판의 프로빙 지점을 제외하고 상기 피검사 회로 기판 상에 배치되는 마스크 기판에 형성된 소정의 도체 패턴을 이용할 수도 있다. 어느 경우에 있어서도, 도체 패턴은, 구리박으로 이루어지는 솔리드 패턴(solid pattern)이 바람직하게 채용된다.In addition, in another embodiment, a predetermined conductor pattern formed on the mask substrate disposed on the circuit board to be inspected excluding the probing point of the circuit board to be inspected, in which each of the current probes and the voltage probes are in contact with the conductor, It can also be used. In any case, the conductive pattern is preferably a solid pattern made of copper foil.

본 발명에 의하면, 각 가동 아암 사이에 배선되는 리드선 대신에, 소정의 도체에 접촉하여 서로 도통하는 제5 및 제6 프로브를 채용함으로써, 동축 케이블의 외부 도체 사이를 접속하는 리드선의 배선 길이에 의한 제한을 받지 않고, 각 가동 아암을 자유롭게 움직일 수 있게 할 수 있다.According to the present invention, by employing the fifth and sixth probes which are brought into contact with the predetermined conductors so as to communicate with each other in place of the lead wires which are wired between the movable arms, by the wiring length of the lead wires connecting between the outer conductors of the coaxial cables It is possible to move each of the movable arms freely without restriction.

상기 제3 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브와, 소정의 상기 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고, 상기 제1 가동 아암 측에, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브가, 그것들의 각 동축 케이블의 외부 도체 사이가 리드선에 의해 전기적으로 접속된 상태에서 지지되어 있음과 함께, 상기 제2 가동 아암 측에, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브가, 그것들의 각 동축 케이블의 외부 도체 사이가 리드선에 의해 전기적으로 접속된 상태에서 지지되어 있고, 상기 제1 가동 아암 측 중 일방의 상기 동축 케이블의 외부 도체와, 상기 제2 가동 아암 측 중 일방의 상기 동축 케이블의 외부 도체가, 금속제의 코일 스프링을 통해 서로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the third problem, the present invention provides a measuring apparatus comprising: a measuring section including a measurement signal source and a voltage detection section; and a first current probe and a second current probe included in a measurement current path between the measurement signal source and the measured sample, And first and second voltage probes included in a voltage detection path between the voltage detection means and the specimen to be measured, first and second voltage probes in which predetermined probes are mounted, and first and second motions And a control unit for calculating parameters of the sample to be measured based on the measurement signal from the measuring unit and for controlling the movement of each of the movable arms through the moving mechanism, , A coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the respective voltage probes for measuring by the four terminal method, The first current probe and the first voltage probe are supported on the first movable arm side in a state where the external conductors of the respective coaxial cables thereof are electrically connected by a lead wire, And the second current probe and the second voltage probe are supported on the arm side in a state where the external conductors of the respective coaxial cables thereof are electrically connected to each other by a lead wire, The outer conductor of the coaxial cable and the outer conductor of one of the coaxial cables on the side of the second movable arm are electrically connected to each other through a coil spring made of metal.

본 발명에 있어서, 상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측이며, 상기 제1 전압 프로브에 있어서의 동축 케이블의 외부 도체와, 상기 제2 전압 프로브에 있어서의 동축 케이블의 외부 도체 사이에 상기 코일 스프링이 장착되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the first current probe and the first voltage probe, both of which are supported on the first movable arm side, have a high potential side, and that the second current probe and the second It is preferable that the coil spring is mounted between the outer conductor of the coaxial cable in the first voltage probe and the outer conductor of the coaxial cable in the second voltage probe.

또한, 상기 코일 스프링을 보호함에 있어서, 상기 제1 가동 아암과 상기 제2 가동 아암 사이에는, 상기 코일 스프링의 신장량을 소정 범위 내로 제한하는 상기 코일 스프링보다 강인한 와이어가 걸쳐져 있는 것이 바람직하다.In addition, in protecting the coil spring, it is preferable that a wire stronger than the coil spring which limits the extension of the coil spring within a predetermined range is disposed between the first movable arm and the second movable arm.

이에 의하면, 각 동축 케이블의 외부 도체의 서로를 전기적으로 접속하기 위해, 가동 아암 사이에 배선되는 리드선 대신에, 금속제의 코일 스프링을 채용함으로써, 각 가동 아암의 이간 거리를 코일 스프링의 최대 신장량의 범위까지 넓힐 수 있다.In this case, in order to electrically connect the outer conductors of the coaxial cables to each other, a metal coil spring is employed in place of the lead wires wired between the movable arms, so that the distance between the movable arms can be set within the range of the maximum extension .

상기 제3 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브와, 소정의 상기 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고, 상기 제1 가동 아암의 프로브 지지부에, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브가 지지되어 있음과 함께, 상기 제2 가동 아암의 프로브 지지부에, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브가 지지되어 있고, 어느 일방의 상기 가동 아암은, 상기 프로브 지지부의 상방에 배치되고, 상기 각 동축 케이블의 일단 측이 고정되는 케이블 지지 기판을 갖고, 상기 각 동축 케이블의 일단 측은, 그것들의 외부 도체가 소정의 도통 수단을 통해 서로 접속된 상태에서 상기 케이블 지지 기판에 고정되고, 상기 각 동축 케이블의 내부 도체가, 각각 변형 가능한 전기적 중계 수단을 통해 대응하는 상기 프로브에 접속되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the third problem, the present invention provides a measuring apparatus comprising: a measuring section including a measurement signal source and a voltage detection section; and a first current probe and a second current probe included in a measurement current path between the measurement signal source and the measured sample, And first and second voltage probes included in a voltage detection path between the voltage detection means and the specimen to be measured, first and second voltage probes in which predetermined probes are mounted, and first and second motions And a control unit for calculating parameters of the sample to be measured based on the measurement signal from the measuring unit and for controlling the movement of each of the movable arms through the moving mechanism, , A coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the respective voltage probes for measuring by the four terminal method, Wherein the first current probe and the first voltage probe are supported by a probe support portion of the first movable arm and the second current probe and the second voltage probe are supported by the probe support portion of the second movable arm And the movable arm of either one of the coaxial cables has a cable supporting substrate which is disposed above the probe supporting portion and on which one end side of each of the coaxial cables is fixed, And the internal conductors of the coaxial cables are connected to the corresponding probes via deformable electrical relay means. The coaxial cables are connected to each other via a predetermined conduction means.

본 발명에 있어서, 4단자대법에 의한 계측을 행함에 있어서, 상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측인 것이 바람직하다.In the present invention, in the measurement by the four-terminal method, the first current probe and the first voltage probe supported on the first movable arm side are all on the high potential side, and the first current probe and the second voltage probe It is preferable that both the second current probe and the second voltage probe to be supported are on the low potential side.

상기 각 동축 케이블의 외부 도체끼리를 도통시키는 도통 수단으로서, 리드선이 사용되어도 되고, 상기 케이블 지지 기판에 형성되어 있는 접속 패턴 중 어느 것이 사용되어도 된다.As the conduction means for conducting the external conductors of the respective coaxial cables, lead wires may be used, and any of connection patterns formed on the cable support substrate may be used.

또한, 본 발명에서는, 상기 전기적 중계 수단으로서, 상기 케이블 지지 기판과 상기 프로브 지지부의 간격보다 긴 길이를 갖는 만곡부를 포함하는 판 스프링이 바람직하게 채용된다.Further, in the present invention, as the electrical relay means, a leaf spring including a curved portion having a length longer than a distance between the cable support substrate and the probe support portion is preferably employed.

이와는 별도로, 상기 전기적 중계 수단으로서, 상기 케이블 지지 기판과 상기 프로브 지지부의 간격보다 긴 길이를 갖는 금속의 리본박이 사용되어도 된다.Alternatively, as the electrical relay means, a metal ribbon ribbon having a length longer than an interval between the cable support board and the probe support portion may be used.

본 발명에 의하면, 어느 일방의 가동 아암에, 프로브 지지부의 상방에 배치되어 각 동축 케이블의 일단 측이 고정되는 케이블 지지 기판이 설치되고, 케이블 지지 기판과 가동 아암의 프로브 지지부 사이에서, 각 동축 케이블의 내부 도체와, 이것과 대응하는 프로브를 변형 가능한 전기적 중계 수단을 통해 접속하도록 함으로써, 전기적 중계 수단이 허용할 수 있는 변형 가능한 범위 내에서, 가동 아암의 움직임의 자유도가 높아진다.According to the present invention, a cable supporting substrate is provided on either one of the movable arms, the cable supporting substrate being disposed above the probe supporting portions and having one end side of each coaxial cable fixed, and between the cable supporting substrate and the probe supporting portion of the movable arm, The degree of freedom of movement of the movable arm is increased within a permissible range of permissible electrical relaying means by connecting the inner conductor of the movable relay and the corresponding probe through the deformable electrical relay means.

또한, 각 동축 케이블의 일단 측이, 그것들의 외부 도체가 소정의 도통 수단을 통해 서로 접속된 상태에서 케이블 지지 기판에 고정되어, 외부 도체 사이의 도통 수단의 길이를 보다 짧게 할 수 있기 때문에, 높은 주파수까지 정확한 측정이 가능해진다.In addition, since one end of each coaxial cable is fixed to the cable support board in a state where the external conductors thereof are connected to each other through the predetermined conduction means, the length of the conduction means between the external conductors can be made shorter, Accurate measurement up to the frequency becomes possible.

본 발명에 의하면, X-Y형(혹은 플라잉형 등)으로 불리는 회로 기판 검사 장치에 있어서, 4단자대법에 의한 측정을 가능하게 할 수 있다.According to the present invention, in a circuit board inspection apparatus called X-Y type (or flying type), it is possible to perform measurement by the four terminal method.

또한, 동축 케이블의 외부 도체 사이를 접속하는 리드선의 배선 길이에 의한 제한을 받지 않고, 각 가동 아암을 자유롭게 움직일 수 있게 할 수 있다.In addition, it is possible to freely move each of the movable arms without being limited by the wiring length of the lead wire connecting between the outer conductors of the coaxial cable.

또한, 4단자대법에 의한 측정을 행함에 있어서, 각 가동 아암의 이간 거리를 보다 넓어지게 할 수 있다.In addition, when performing the measurement by the four-terminal method, the distance between the movable arms can be widened.

도 1(a)는, 본 발명의 제1 실시형태에 관련된 X-Y형 회로 기판 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 모식도이다.
도 1(b)는, 상기 제1 실시형태의 4단자대법에 의한 프로브의 구성예를 나타내는 모식도이다.
도 2는, 본 발명의 제1 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 3(a)는, 본 발명의 제2 실시형태에 관련된 X-Y형 회로 기판 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 모식도이다.
도 3(b)는, 본 발명의 제2 실시형태에 적용되는 4단자대법에 의한 프로브의 구성예를 나타내는 모식도이다.
도 4는, 본 발명의 제2 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 5는, 상기 제2 실시형태의 각 가동 아암의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 6은, 본 발명의 상기 제2 실시형태의 제1 도체 패턴에 의한 측정예를 나타내는 모식도이다.
도 7은, 본 발명의 상기 제2 실시형태의 제2 도체 패턴에 의한 측정예를 나타내는 모식도이다.
도 8은, 본 발명의 상기 제2 실시형태의 제3 도체 패턴에 의한 측정예를 나타내는 모식도이다.
도 9(a)는, 본 발명의 제3 실시형태에 관련된 X-Y형 회로 기판 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 모식도이다.
도 9(b)는, 본 발명에 적용되는 4단자대법에 의한 프로브의 구성예를 나타내는 모식도이다.
도 10은, 본 발명의 제3 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 11(a)는, 본 발명의 제4 실시형태에 관련된 X-Y형 회로 기판 검사 장치의 기본적인 구성을 나타내는 모식도이다.
도 11(b)는, 본 발명의 제4 실시형태에 적용되는 4단자대법에 의한 프로브의 구성예를 나타내는 모식도이다.
도 12는, 본 발명의 제4 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 13은, 본 발명의 제4 실시형태에 있어서의 케이블 지지 기판 상에서의 동축 케이블의 배치예를 나타내는 평면도이다.
도 14는, 본 발명의 제4 실시형태에 있어서의 전기적 중계 수단의 바람직한 예를 나타내는 측면도이다.
도 15는, 4단자법의 접속 상태를 나타내는 모식도이다.
도 16은, 4단자대법의 접속 상태를 나타내는 모식도이다.1 (a) is a schematic diagram showing a basic configuration of an XY-type circuit board inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 1 (b) is a schematic diagram showing a configuration example of a probe according to the four-terminal method of the first embodiment.
2 is a schematic diagram showing the first embodiment of the present invention.
3 (a) is a schematic diagram showing a basic configuration of an XY-type circuit board inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
Fig. 3 (b) is a schematic diagram showing a configuration example of a probe according to the four-terminal method applied to the second embodiment of the present invention.
4 is a schematic diagram showing a second embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing a main part of each movable arm of the second embodiment.
6 is a schematic view showing an example of measurement by the first conductor pattern of the second embodiment of the present invention.
7 is a schematic view showing an example of measurement by the second conductor pattern of the second embodiment of the present invention.
8 is a schematic diagram showing an example of measurement by the third conductor pattern of the second embodiment of the present invention.
9A is a schematic diagram showing a basic configuration of an XY-type circuit board inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.
Fig. 9 (b) is a schematic diagram showing a configuration example of a probe according to the four-terminal method applied to the present invention.
10 is a schematic diagram showing a third embodiment of the present invention.
11A is a schematic diagram showing a basic configuration of an XY-type circuit board inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
11 (b) is a schematic diagram showing a configuration example of a probe according to a four-terminal method applied to the fourth embodiment of the present invention.
12 is a schematic diagram showing a fourth embodiment of the present invention.
13 is a plan view showing an example of the arrangement of a coaxial cable on a cable supporting board according to a fourth embodiment of the present invention.
14 is a side view showing a preferred example of the electrical relaying means in the fourth embodiment of the present invention.
15 is a schematic diagram showing the connection state of the four-terminal method.
16 is a schematic diagram showing a connection state of the four-terminal method.

다음으로, 도 1 및 도 2에 의해, 본 발명의 제1 실시형태에 대해 설명하는데, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. 1 and Fig. 2, but the present invention is not limited thereto.

먼저, 도 1(a)를 참조하여, 본 발명의 제1 실시형태에 관련된 회로 기판 검사 장치의 구성을 개략적으로 설명한다. 이 회로 기판 검사 장치는, X-Y형 혹은 플라잉형으로 불리는 검사 장치로, 기본적인 구성으로서, 제어부(10)와, 측정부(20)와, 한 쌍의 가동 아암(31, 32)과, 가동 아암의 이동 기구(41, 42)를 구비한다. 검사 프로브에는, 도 1(b)에 나타내는 4단자대법에 의한 4개의 프로브(P1∼P4)가 사용된다.First, the configuration of a circuit board inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention will be schematically described with reference to Fig. 1 (a). This circuit board inspecting apparatus is an inspection apparatus called XY type or flying type and basically comprises a control section 10, a measuring section 20, a pair of movable arms 31 and 32, And a moving mechanism (41, 42). For the test probe, four probes P1 to P4 according to the four terminal method shown in Fig. 1 (b) are used.

제어부(10)에는, 예를 들어 마이크로 컴퓨터가 사용되고, 그 기억부에는, 회로 기판(A) 상에 존재하는 피측정 시료(DUT)에 대한 검사 프로그램이나, 양부 판정용의 기준 데이터 등이 설정된다. 또한, 제어부(10)는, 측정부(20)로부터의 측정 신호에 기초하여, 피측정 시료(DUT)의 파라미터(예를 들어, 임피던스)를 연산하고, 그 양부 판정 등을 행한다.A microcomputer, for example, is used as the control unit 10, and an inspection program for the DUT (DUT) present on the circuit board A, reference data for determining whether the DUT is present is set in the storage unit . The control unit 10 calculates a parameter (for example, impedance) of the DUT based on the measurement signal from the measurement unit 20, and determines whether the DUT is in an acceptable condition.

측정부(20)는, 앞의 도 16에서 설명한 바와 같이, 4단자대법에 의한 측정을 행하기 위한 측정 신호원(1), 전압 검출 수단으로서의 전압계(2), 전류 검출 수단으로서의 전류계(3) 및 귀환 제어 회로(FC) 등을 구비한다.16, the measuring section 20 includes a measuring signal source 1 for performing measurement by the four terminal method, a voltmeter 2 as voltage detecting means, an ammeter 3 as current detecting means, And a feedback control circuit FC.

가동 아암(31, 32)은, 그것들의 이동 기구(41, 42)에 의해 X,Y 및 Z 방향으로 구동된다. 가동 아암(31, 32)의 이동 제어 신호는, 제어부(10)로부터 이동 기구(41, 42)로 주어진다. 도시하지 않았으나, 가동 아암(31, 32) 외에, 다른 가동 아암(예를 들어, 가드 프로브용의 가동 아암 등)이 설치되어도 된다.The movable arms 31 and 32 are driven in the X, Y and Z directions by their moving mechanisms 41 and 42, respectively. The movement control signals of the movable arms 31 and 32 are given from the control unit 10 to the movement mechanisms 41 and 42. [ Although not shown, other movable arms (for example, movable arms for guard probes or the like) may be provided in addition to the movable arms 31 and 32.

도 1(b)에 나타내는 검사 프로브 중, 앞의 도 16에서 설명한 것과 동일하게, P1, P2가 피측정 시료(DUT)에 대한 측정 전류 경로에 포함되는 전류 프로브이고, P3, P4가 피측정 시료(DUT)의 전압 검출 경로에 포함되는 전압 프로브이다.Among the inspection probes shown in Fig. 1 (b), P1 and P2 are current probes included in the measurement current path for the DUT, and P3 and P4 are the current probes included in the measurement target Is a voltage probe included in the voltage detection path of the DUT.

전류 프로브와 전압 프로브에는, 동일한 구조의 프로브가 사용되어도 된다. 또한, 설명함에 있어서, 전류 프로브, 전압 프로브의 구별을 필요로 하지 않는 경우에는, 간단히 프로브라고 한다.Probes of the same structure may be used for the current probe and the voltage probe. In the following description, when the current probe and the voltage probe do not need to be distinguished, they are simply referred to as probes.

프로브(P1, P2, P3, P4)는, 각각 동축 케이블(C1, C2, C3, C4)의 각 내부 도체(IL)를 통해 측정부(20)에 접속된다.The probes P1, P2, P3 and P4 are connected to the measuring section 20 through respective internal conductors IL of the coaxial cables C1, C2, C3 and C4, respectively.

도 16을 참조하여, 전류 프로브(P1, P2) 중, 전류 프로브(P1)가 고전위(Hi) 측에서 측정 신호원의 Hc 단자에 접속되고, 전류 프로브(P2)는 저전위(Low) 측으로서 전류계의 Lc 단자 측에 접속된다.16, among the current probes P1 and P2, the current probe P1 is connected to the Hc terminal of the measurement signal source at the high potential side and the current probe P2 is connected to the low potential Which is connected to the Lc terminal side of the ammeter.

마찬가지로, 전압 프로브(P3, P4) 중, 전압 프로브(P3)가 고전위 측에서 전압계(2)의 Hp 단자에 접속되고, 전압 프로브(P3)는 저전위 측으로서 전압 검출계의 Lp 단자 측에 접속된다.Similarly, of the voltage probes P3 and P4, the voltage probe P3 is connected to the Hp terminal of the voltmeter 2 at the high potential side and the voltage probe P3 is connected to the Lp terminal of the voltage detecting system at the low potential side Respectively.

동축 케이블(C1∼C4)의 각 내부 도체(IL)는, 그 각 일단(一端)이 측정부(20)에 접속되고, 각 타단(他端)이 프로브(P1∼P4)의 기단(b) 측에 접속되는데, 동축 케이블(C1∼C4)의 각 외부 도체(실드 피복선)(S)끼리는, 각 프로브(P1∼P4)의 기단(b) 측 부근에 있어서 리드선(5)에 의해 접속되어, 서로 단락되어 있다.Each of the internal conductors IL of the coaxial cables C1 to C4 has its one end connected to the measuring unit 20 and the other end connected to the base end b of the probes P1- (Shielded wire) S of the coaxial cables C1 to C4 are connected to each other by the lead wire 5 in the vicinity of the base end b side of each of the probes P1 to P4, They are short-circuited.

본 발명에서는, 이 4단자대법에 의한 검사 프로브(P1∼P4)를 소정 방향으로 이동 가능한 가동 아암에 지지시켜, X-Y형의 회로 기판 검사 장치에서 피측정 시료(DUT)의 임피던스 측정을 가능하게 한다.In the present invention, the inspection probes (P1 to P4) according to the four-terminal method are supported by a movable arm movable in a predetermined direction so that the impedance of the DUT can be measured by the XY circuit board inspection apparatus .

그 때문에, 도 2에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 가동 아암(31, 32) 중 어느 일방, 이 제1 실시형태에서는 가동 아암(31) 측에 4단자대법에 의한 검사 프로브(P1∼P4)를 지지시킨다.Therefore, as shown in Fig. 2, either one of the pair of movable arms 31 and 32, and in this first embodiment, the inspection probes P1 to P4 by the four terminal method are provided on the movable arm 31 side .

그 일례로서, 각 프로브(P1∼P4)를 일방의 가동 아암(31)에 장착하고, 각 프로브(P1∼P4)를 동축 케이블(C1∼C4)을 통해 측정부(20)에 접속한다. 그리고, 동축 케이블(C1∼C4)의 프로브 측의 단부의 외피를 벗겨내어 각 외부 도체(S)를 노출시키고, 그 각 외부 도체(S)끼리를, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 프로브의 기단(b) 측 부근에서 리드선(5)에 의해 접속한다.For example, each of the probes P1 to P4 is attached to one of the movable arms 31, and the probes P1 to P4 are connected to the measuring unit 20 through the coaxial cables C1 to C4. The outer surface of each end of the coaxial cables C1 to C4 is peeled off to expose the outer conductors S and the respective outer conductors S are connected to each other through the probes (B) by the lead wire (5).

이와 같이, 이 제1 실시형태에 의하면, 각 프로브(P1∼P4)를 일방의 가동 아암(31)에 장착함으로써, 동축 케이블(C1∼C4)의 각 외부 도체(S)끼리를 리드선(5)으로 접속하는 것이 가능해지기 때문에, X-Y형의 회로 기판 검사 장치에 있어서도, 4단자대법에 의한 고정밀도의 측정을 행할 수 있다.As described above, according to the first embodiment, by attaching the probes P1 to P4 to one movable arm 31, the respective external conductors S of the coaxial cables C1 to C4 are mutually connected to the lead wires 5, It is possible to perform high-precision measurement by the four-terminal method even in the XY-type circuit board inspection apparatus.

이 제1 실시형태에 있어서, 제어부(10)는, 일방의 가동 아암(31)만을 이동 제어하고, 타방의 가동 아암(32)에 대해서는, 예를 들어 초기 어드레스 위치에 대피시켜 두는데, 이와는 별도로, 타방의 가동 아암(32)에도, 가동 아암(31)과 동일하게, 4단자대법에 의한 검사 프로브(P1∼P4)를 설치하여, 2개의 가동 아암(31, 32)에서 다른 피측정 시료(DUT)의 측정을 동시적으로 행하게 할 수도 있다.In the first embodiment, the control unit 10 controls the movement of only one of the movable arms 31 and evacuates the other movable arm 32 to, for example, the initial address position. And the other movable arm 32 is also provided with the inspection probes P1 to P4 by the four terminal method in the same manner as the movable arm 31 so that the two movable arms 31, DUT) can be performed simultaneously.

또한, 도시하지 않았으나, 가동 아암(31)의 프로브 장착 부위에 예를 들어 프로브를 삽입 가능한 슬릿(긴 구멍)을 형성하고, 그 장축의 범위 내에서 프로브 전부 혹은 소정의 프로브만을 이동 가능하게 하여, 프로브 사이의 간격을 조정 가능하게 할 수도 있다.Although not shown, a slit (long hole) capable of inserting a probe, for example, is formed at the probe mounting portion of the movable arm 31, and only the entire probe or a predetermined probe can be moved within the range of the long axis, The distance between the probes may be adjustable.

다음으로, 도 3 내지 도 8에 의해, 본 발명의 제2 실시형태에 대해 설명하는데, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 서술한 제1 실시형태와 동일하거나 혹은, 동일하다고 간주되는 지점에는 동일한 참조 부호를 붙여, 그 설명은 생략한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 3 to 8, but the present invention is not limited thereto. The same reference numerals are assigned to the same or similar parts to those of the above-described first embodiment, and a description thereof will be omitted.

먼저, 도 3(a)를 참조하여, 본 발명의 제2 실시형태에 관련된 회로 기판 검사 장치의 구성을 개략적으로 설명한다. 이 회로 기판 검사 장치는, X-Y형 혹은 플라잉형으로 불리는 검사 장치로, 기본적인 구성으로서, 제어부(10)와, 측정부(20)와, 한 쌍의 가동 아암(31, 32)과, 가동 아암의 이동 기구(41, 42)를 구비한다.First, the configuration of a circuit board inspecting apparatus according to a second embodiment of the present invention will be schematically described with reference to Fig. 3 (a). This circuit board inspecting apparatus is an inspection apparatus called XY type or flying type and basically comprises a control section 10, a measuring section 20, a pair of movable arms 31 and 32, And a moving mechanism (41, 42).

검사 프로브에는, 도 3(b)에 나타내는 4단자대법에 의한 4개의 프로브(P1∼P4)가 사용되는데, 본 발명에서는, 2개의 프로브(P5, P6)를 더 구비한다. 따라서, 사용하는 프로브는, P1∼P6의 합계 6개이다.Four probes P1 to P4 according to the four-terminal method shown in Fig. 3 (b) are used as the inspection probes. In the present invention, two probes P5 and P6 are further provided. Therefore, the total of the probes P1 to P6 is six.

도 3(b)에 나타내는 검사 프로브 중, 앞의 도 16에서 설명한 것과 동일하게, P1, P2가 피측정 시료(DUT)에 대한 측정 전류 경로에 포함되는 전류 프로브이고, P3, P4가 피측정 시료(DUT)의 전압 검출 경로에 포함되는 전압 프로브이다. 또한, P5, P6은，함께 동일한 도체(100)에 접촉하여 서로 도통하는 도통용의 프로브이다.Among the inspection probes shown in Fig. 3 (b), P1 and P2 are the current probes included in the measurement current path for the DUT, and P3 and P4 are the current probes for the DUT, Is a voltage probe included in the voltage detection path of the DUT. P5 and P6 are conduction probes which are in contact with the same conductor 100 and are electrically connected to each other.

전류 프로브(P1, P2), 전압 프로브(P3, P4) 및 도통용의 프로브(P5, P6)에는, 동일한 구조의 프로브가 사용되어도 된다.Probes of the same structure may be used for the current probes P1 and P2, the voltage probes P3 and P4 and the probes for the conduction P5 and P6.

제2 실시형태에 있어서, 일방의 도통용의 프로브(P5)는, 리드선(5)을 통해 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 타방의 도통용의 프로브(P6)는, 리드선(5)을 통해 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)에 접속되어 있다.In the second embodiment, one conduction probe P5 is connected to each external conductor S of the coaxial cables C1 and C3 on the high potential side through the lead wire 5. Likewise, the other conduction probe P6 is connected to the respective external conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side through the lead 5.

따라서, 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)는, 도통용의 프로브(P5, P6)가 도체(100)에 접촉함으로써, 이들 프로브(P5, P6) 및 도체(100)를 통해 서로 접속되게 된다.The external conductors S of the coaxial cables C1 and C3 on the high potential side and the external conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side are connected to the conductors P5 and P6 Are connected to each other through the probes P5 and P6 and the conductor 100 by making contact with the conductor 100. [

본 발명에서는, 이 4단자대법에 의한 측정용의 프로브(P1∼P4)와 도통용의 프로브(P5, P6)를 소정 방향으로 이동 가능한 가동 아암에 지지시켜, X-Y형의 회로 기판 검사 장치에서 피측정 시료(DUT)의 임피던스 측정을 가능하게 한다.In the present invention, the probes (P1 to P4) for measurement by the four-terminal method and the probes (P5 and P6) for conductivity are supported by a movable arm movable in a predetermined direction, This makes it possible to measure the impedance of the measurement sample (DUT).

그 때문에, 이 제2 실시형태에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 6개의 프로브(P1∼P6)를 2개로 나누어, 고전위 측의 전류 프로브(P1) 및 고전위 측의 전압 프로브(P3)와, 일방의 도통용의 프로브(P5)를 일방의 가동 아암(32) 측에 장착하고, 저전위 측의 전류 프로브(P2) 및 저전위 측의 전압 프로브(P4)와, 타방의 도통용의 프로브(P6)를 타방의 가동 아암(31) 측에 장착한다.Therefore, in the second embodiment, as shown in Fig. 4, six probes P1 to P6 are divided into two, and the current probe P1 on the high potential side and the voltage probe P3 on the high potential side , One of the conduction probes P5 is attached to one of the movable arms 32 and the current probe P2 on the low potential side and the voltage probe P4 on the low potential side are connected, (P6) is mounted on the side of the other movable arm (31).

그리고, 각 프로브(P1∼P4)를 동축 케이블(C1∼C4)을 통해 측정부(20)에 접속한 후, 동축 케이블(C1∼C4)의 프로브 측의 단부의 외피를 벗겨내어 노출된 각 외부 도체(S) 중, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S) 사이 및 도통용의 프로브(P5)를 리드선(5)에 의해 접속하고, 또한, 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S) 사이 및 도통용의 프로브(P6)를 리드선(5)에 의해 접속한다.After the probes P1 to P4 are connected to the measuring unit 20 through the coaxial cables C1 to C4, the outer surface of the end of the coaxial cables C1 to C4 on the probe side is peeled off, Among the conductors S, between the outer conductors S of the coaxial cables C1 and C3 and the probe P5 for conductivity are connected by the lead wires 5 as shown in Fig. 3 (b) Between the outer conductors S of the coaxial cables C2 and C4 and the probe P6 for conduction are connected by the lead wire 5. [

이 경우, 측정용의 프로브(P1∼P4)는, 피측정 시료(DUT)(예를 들어, 커패시터 소자)의 각 단자 부분에 접촉하고, 도통용의 프로브(P5, 6)는, 이와는 다른 장소에 배치되는 도체(100)에 접촉하기 때문에, 각 가동 아암(31, 32)을 도 5에 예시하는 구성으로 하면 된다.In this case, the probes P1 to P4 for measurement are brought into contact with the respective terminal portions of the DUT (for example, a capacitor element) to be measured, and the probes P5 and 6 for conduction The movable arms 31 and 32 may be configured as illustrated in Fig.

즉, 각 가동 아암(31, 32)은, 피검사 회로 기판(A)의 기판면과 거의 평행한 평면 내에서, 각 가동 아암(31, 32)의 기단 측으로부터 X축 방향을 따라 서로 가까워지는 방향으로 연장되는 제1 아암부(31a, 32a)와, 제1 아암부(31a, 32a)의 단부로부터 Y축 방향을 따라 함께 동일 방향으로 연장되는 제2 아암부(31b, 32b)를 구비하는 구성으로 하여, 가동 아암(31) 측의 제1 아암부(31a)에 측정용의 프로브(P2, P4)를 장착하고, 제2 아암부(31b)에 도통용의 프로브(P6)를 장착한다. 마찬가지로, 가동 아암(32) 측의 제1 아암부(32a)에 측정용의 프로브(P1, P3)를 장착하고, 제2 아암부(32b)에 도통용의 프로브(P5)를 장착한다.That is, the movable arms 31 and 32 are arranged so as to approach each other along the X-axis direction from the base ends of the movable arms 31 and 32 in a plane substantially parallel to the substrate surface of the circuit board A to be inspected And second arm portions 31b and 32b extending in the Y-axis direction from the ends of the first arm portions 31a and 32a in the same direction as the first arm portions 31a and 32a. The probes P2 and P4 for measurement are mounted on the first arm portion 31a on the side of the movable arm 31 and the probe P6 for conductivity is mounted on the second arm portion 31b . The probes P1 and P3 for measurement are mounted on the first arm portion 32a on the side of the movable arm 32 and the probe P5 for conductivity is mounted on the second arm portion 32b.

또한, 제2 아암부(31b, 32b)는, 반드시 제1 아암부(31a, 32a)에 대해 직교하는 방향으로 할 필요는 없고, 제1 아암부(31a, 32a)에 대한 각도는 임의로 선택되어도 된다.The second arm portions 31b and 32b do not necessarily have to be orthogonal to the first arm portions 31a and 32a and the angles to the first arm portions 31a and 32a may be arbitrarily selected do.

또한, 제2 아암부(31b, 32b)는, 제1 아암부(31a, 32a)의 도중부터 돌출 설치되어도 된다. 즉, 제1 아암부(31a, 32a)와 제2 아암부(31b, 32b)는, T자 형상으로 교차되어도 된다.The second arm portions 31b and 32b may be provided so as to protrude from the middle of the first arm portions 31a and 32a. That is, the first arm portions 31a and 32a and the second arm portions 31b and 32b may be intersected in a T-shape.

또한, 측정용의 프로브(P1∼P4)가 접촉하는 피측정 시료(DUT)의 단자 부분과, 도통용의 프로브(P5, P6)가 접촉하는 도체(100)가 다른 높이에 존재하는 경우가 있는 것을 고려하여, 제2 아암부(31b, 32b)에, 약간 하방향(피검사 회로 기판(A) 측에 가까워지는 방향)의 구배(勾配)를 갖게 함과 함께, 적당한 탄성을 갖게 하는 것이 바람직하다.In addition, there are cases where the terminal portion of the DUT to which the probes P1 to P4 for measurement contact and the conductor 100 to which the probes P5 and P6 for conduction are in contact exist at different heights It is preferable that the second arm portions 31b and 32b have a gradient in a slightly downward direction (a direction approaching the side of the circuit board A to be inspected) and a proper elasticity Do.

제2 실시형태에 의하면, 가동 아암(31, 32) 사이에, 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)를 접속하는 리드선의 배선이 불필요하기 때문에, 가동 아암(31, 32)의 X-Y 방향으로의 이동의 자유도가 높아진다.According to the second embodiment, the external conductors S of the high-potential side coaxial cables C1 and C3 and the coils of the low-potential side coaxial cables C2 and C4 are connected between the movable arms 31 and 32, The wiring of the lead wires for connecting the external conductors S is unnecessary, so that the freedom of movement of the movable arms 31 and 32 in the X and Y directions is enhanced.

다음으로, 도 6에 의해, 이 제2 실시형태의 회로 기판 검사 장치의 제1 측정예에 대해 설명한다. 이 제1 측정예에서는, 도통용의 프로브(P5, P6) 사이를 도통시키는 도체(100)로서, 피검사 회로 기판(A)에 병치되는 다른 기판(110)에 형성되어 있는 도체 패턴(111)이 이용된다. 도체 패턴(111)은, 다른 기판(110)의 편면 측의 전체면에 형성된 이른바 구리박의 솔리드 패턴인 것이 바람직하다.Next, a first measurement example of the circuit board inspection apparatus of the second embodiment will be described with reference to Fig. In this first measurement example, a conductor pattern 111 formed on another substrate 110 juxtaposed with the circuit board A to be inspected is used as a conductor 100 for conducting between the conduction probes P5 and P6, . It is preferable that the conductor pattern 111 is a solid pattern of so-called copper foil formed on the entire surface on one side of the other substrate 110.

피검사 회로 기판(A)에 피측정 시료(DUT)의 단자부(51, 52)가 형성되어 있다고 하고, 이 제1 측정예에 의하면, 고전위 측의 측정용의 프로브(P1, P3)를 일방의 단자부(51)에 접촉시키고, 측정용의 프로브(P2, P4)를 타방의 단자부(52)에 접촉시킴에 수반하여, 도통용의 프로브(P5, P6)가 다른 기판(110)의 도체 패턴(111)에 접촉한다.It is assumed that the terminal portions 51 and 52 of the DUT are formed on the circuit board A to be inspected. According to the first measurement example, the probes P1 and P3 for high- And the probes P5 and P6 for conductivity are brought into contact with the conductor patterns of the other substrate 110 in accordance with the contact of the probes P2 and P4 for measurement to the other terminal portion 52, (Not shown).

이에 의해, 프로브(P5, P6) 및 도체 패턴(111)을 통해 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)가 전기적으로 접속되기 때문에, 피측정 시료(DUT)의 파라미터를 4단자대법에 의해 측정할 수 있다.As a result, through the probes P5 and P6 and the conductor pattern 111, the external conductors S of the coaxial cables C1 and C3 on the high potential side and the coils C1 and C3 on the low potential side, Since the conductors S are electrically connected, the parameters of the DUT can be measured by the four-terminal method.

상기 제1 측정예와는 달리, 도 7에 나타내는 제2 측정예와 같이, 도통용의 프로브(P5, P6) 사이를 도통시키는 도체(100)로서, 피검사 회로 기판(A)에 형성되어 있는 소정의 도체 패턴(121)이 이용되어도 된다.As a second measurement example shown in Fig. 7, unlike the first measurement example, a conductor 100 for conducting between the conduction probes P5 and P6 is provided as a conductor 100 formed on the circuit board A to be inspected A predetermined conductor pattern 121 may be used.

이 도체 패턴(121)은, 도통용의 프로브(P5, P6) 사이를 도통시키는 전용 패턴이어도 되고, 피검사 회로 기판(A)에 형성되어 있는 다른 회로의 예를 들어 회선 배선 부분 등이 이용되어도 된다.This conductor pattern 121 may be a dedicated pattern for conducting the conduction between the conduction probes P5 and P6 or may be a circuit such as a circuit wiring portion or the like which is another circuit formed on the circuit board A to be inspected do.

또한, 도통용의 프로브(P5, P6) 사이를 도통시키는 도체(100)로서, 도 8에 나타내는 제3 측정예와 같이, 피검사 회로 기판(A) 상에 배치되는 마스크 기판(130)을 사용할 수도 있다.A mask substrate 130 disposed on the circuit board A to be inspected may be used as the conductor 100 for conducting between the conduction probes P5 and P6 as in the third measurement example shown in Fig. It is possible.

이 제3 측정예는, 상기 제1 측정예에서의 다른 기판(110)을 피검사 회로 기판(A) 상에 배치한 변형예로서 위치되고, 마스크 기판(130)은, 피측정 시료(DUT)의 단자부(51, 52)를 노출시키는 창(132, 133)을 갖고, 그 편면 측의 전체면에는, 도통용의 프로브(P5, P6) 사이를 도통시키는 도체(100)로서, 바람직하게는, 구리박의 솔리드 패턴(131)이 형성되어 있다.The third measurement example is a modified example in which the other substrate 110 in the first measurement example is disposed on the circuit board A to be inspected and the mask substrate 130 is a DUT, And windows 132 and 133 for exposing the terminal portions 51 and 52 of the conductor P5 and P6. A solid pattern 131 of copper foil is formed.

상기 제2 측정예 및 제3 측정예에 있어서도, 상기 제1 측정예와 동일하게, 프로브(P5, P6) 및 도체 패턴(100)(111, 121, 131)을 통해 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)가 전기적으로 접속되기 때문에, 피측정 시료(DUT)의 파라미터를 4단자대법에 의해 측정할 수 있다.Also in the second measurement example and the third measurement example, the coaxial cable at the high potential side (through the probes P5 and P6 and the conductor patterns 100 and 111, 121 and 131) C1 and C3 and the outer conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side are electrically connected to each other so that the parameters of the DUT to be measured are connected to the four- .

다음으로, 도 9 및 도 10에 의해, 본 발명의 제3 실시형태에 대해 설명하는데, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 서술한 제1 및 제2 실시형태와 동일하거나 혹은, 동일하다고 간주되는 지점에는 동일한 참조 부호를 붙여, 그 설명은 생략한다.Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 9 and 10, but the present invention is not limited thereto. The same reference numerals are assigned to the same or similar portions as in the above-described first and second embodiments, and a description thereof will be omitted.

먼저, 도 9(a)를 참조하여, 이 제3 실시형태의 회로 기판 검사 정치는, X-Y형 혹은 플라잉형으로 불리는 검사 장치이다. 그 기본적인 구성으로서, 제어부(10)와, 측정부(20)와, 한 쌍의 가동 아암(31, 32)과, 가동 아암의 이동 기구(41, 42)를 구비한다.First, with reference to Fig. 9 (a), the inspection of the circuit board in this third embodiment is an inspection device called X-Y type or flying type. A measuring section 20, a pair of movable arms 31 and 32, and a movable arm moving mechanism 41 and 42, as basic constitution thereof.

검사 프로브에는, 도 9(b)에 나타내는 4단자대법에 의한 4개의 프로브(P1∼P4)가 사용된다. 이 중, 앞의 도 16에서 설명한 것과 동일하게, P1, P2가 피측정 시료(DUT)에 대한 측정 전류 경로에 포함되는 전류 프로브이고, P3, P4가 피측정 시료(DUT)의 전압 검출 경로에 포함되는 전압 프로브이다.For the test probe, four probes P1 to P4 according to the four terminal method shown in Fig. 9 (b) are used. 16, P1 and P2 are current probes included in the measurement current path for the DUT, and P3 and P4 are current probes for the current detection path for the DUT, It is a voltage probe included.

이 제3 실시형태에서는, 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)를 서로 전기적으로 접속하기 위해, 리드선이 아니라 금속제의 코일 스프링(5a)을 사용한다.In this third embodiment, the external conductors S of the coaxial cables C1 and C3 on the high potential side and the external conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side are electrically connected A coil spring 5a made of metal is used instead of a lead wire.

이 제3 실시형태에서는, 고전위 측의 전압 프로브(P3)에 있어서의 동축 케이블(C3)의 외부 도체(S)와, 저전위 측의 전압 프로브(P4)에 있어서의 동축 케이블(C4)의 외부 도체(S) 사이에 코일 스프링(5a)이 장착되어 있다. 이에 의해, 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S)와, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)가 코일 스프링(5a)을 통해 서로 전기적으로 접속된다.The third embodiment differs from the first embodiment in that the outer conductor S of the coaxial cable C3 in the high potential side voltage probe P3 and the coaxial cable C4 in the low potential side voltage probe P4 And a coil spring 5a is mounted between the outer conductors S. As a result, the external conductors S of the coaxial cables C1 and C3 on the high potential side and the external conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side are connected to each other via the coil springs 5a And is electrically connected.

본 발명에서는, 이 4단자대법에 의한 측정용의 프로브(P1∼P4)를 소정 방향으로 이동 가능한 가동 아암(31, 32)에 지지시켜, X-Y형의 회로 기판 검사 장치에서 피측정 시료(DUT)의 임피던스 측정을 행한다.In the present invention, the probe (P1 to P4) for measurement according to the four-terminal method is supported by movable arms (31, 32) movable in a predetermined direction, Is measured.

그 때문에, 이 실시형태에서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 고전위 측의 전류 프로브(P1) 및 고전위 측의 전압 프로브(P3)를 일방의 가동 아암(32) 측에 장착하고, 저전위 측의 전류 프로브(P2) 및 저전위 측의 전압 프로브(P4)를 타방의 가동 아암(31) 측에 장착한다.10, the current probe P1 on the high potential side and the voltage probe P3 on the high potential side are mounted on the movable arm 32 side of one of them, and the voltage probe P3 on the low potential side And the voltage probe P4 on the low potential side are mounted on the other movable arm 31 side.

그리고, 각 프로브(P1∼P4)를 동축 케이블(C1∼C4)을 통해 측정부(20)에 접속한 후, 동축 케이블(C1∼C4)의 프로브 측의 단부의 외피를 벗겨내어 노출된 각 외부 도체(S) 중, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 동축 케이블(C1, C3)의 각 외부 도체(S) 사이를 리드선(5)에 의해 접속하고, 또한, 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S) 사이를 리드선(5)에 의해 접속함과 함께, 동축 케이블(C3)의 외부 도체(S)와 동축 케이블(C4)의 외부 도체(S) 사이를 코일 스프링(5a)에 의해 접속한다.After the probes P1 to P4 are connected to the measuring unit 20 through the coaxial cables C1 to C4, the outer surface of the end of the coaxial cables C1 to C4 on the probe side is peeled off, The outer conductors S of the coaxial cables C1 and C3 are connected to each other by the lead wire 5 and the coaxial cables C2 and C4 are connected to each other, And the coil spring 5a is connected between the outer conductor S of the coaxial cable C3 and the outer conductor S of the coaxial cable C4 by connecting the outer conductors S of the coaxial cable C3 with the lead wires 5. [ .

이에 의하면, 가동 아암(31, 32)의 이간 거리가, 코일 스프링(5a)의 최대 신장량의 범위까지 넓어지기 때문에, 그 범위 내에서, 피측정 시료(DUT)의 프로빙 지점인 단자부 사이의 피치의 변화에 대응할 수 있다.Since the distance between the movable arms 31 and 32 widens to the maximum extension of the coil spring 5a within this range, the pitch between the terminal portions, which is the probing point of the DUT, It can cope with change.

또한, 본 명세서에 있어서, 코일 스프링(5a)의 최대 신장량이란, 그 스프링 탄성이 손상되는 일 없이(스프링 탄성이 이른바 「약해지는」일 없이) 신장시킬 수 있는 가장 큰 신장량이다.In this specification, the maximum elongation amount of the coil spring 5a is the largest elongation amount that can be elongated without damaging the spring elasticity (so-called " weakening spring elasticity ").

또한, 코일 스프링(5a)은, 그 축선 방향 길이가, 부하가 없는 상태(자연 상태)로부터 축소되었을 때에는 압축 스프링(누름 스프링)으로서 작용하고, 부하가 없는 상태로부터 신장되었을 때에는 인장 스프링(당김 스프링)으로서 작용하는 코일 스프링인 것이 바람직하지만, 압축 스프링 혹은 인장 스프링이 사용되어도 된다.The coil spring 5a acts as a compression spring when the axial length of the coil spring 5a is reduced from a state where there is no load (natural state). When the coil spring 5a is extended from a state without a load, ), But a compression spring or a tension spring may be used.

또한, 코일 스프링(5a)을 보호하기(신장시켰을 때에 상기의 「약해짐」이 발생하지 않도록 하기) 위해, 가동 아암(31, 32)과의 사이에, 도시하지 않았으나, 코일 스프링(5a)의 신장량을 소정 범위 내로 제한하는 코일 스프링(5a)보다 강인한 와이어를 걸치는 것이 바람직하다.The coil spring 5a is provided between the movable arms 31 and 32 so as to protect the coil spring 5a so that the coil spring 5a is prevented from being weakened when the coil spring 5a is extended It is preferable to wire a wire that is stronger than the coil spring 5a that limits the elongation amount within a predetermined range.

또한, 일방의 가동 아암과 타방의 가동 아암에, 각각 전류 프로브와 전압 프로브를 지지시키는 것을 전제로 하여, 경우에 따라서는, 그것들의 고전위 측과 저전위 측을 교체해도 되고, 이와 같은 양태도 본 발명에 포함된다.The high-potential side and the low-potential side may be replaced with each other on the premise that the current probe and the voltage probe are supported by the movable arm on one side and the movable arm on the other side, Are included in the present invention.

다음으로, 도 11 내지 도 14에 의해, 본 발명의 제4 실시형태에 대해 설명하는데, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 서술한 각 제1∼3 실시형태와 동일하거나 혹은, 동일하다고 간주되는 지점에는 동일한 참조 부호를 붙여, 그 설명은 생략한다.Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 11 to 14, but the present invention is not limited thereto. The same reference numerals are assigned to the same or similar parts to those of the first to third embodiments described above, and a description thereof will be omitted.

먼저, 도 11(a)를 참조하여, 제4 실시형태의 회로 기판 검사 장치는, X-Y형 혹은 플라잉형으로 불리는 검사 장치이다. 기본적인 구성으로서, 제어부(10)와, 측정부(20)와, 한 쌍의 가동 아암(31, 32)과, 가동 아암의 이동 기구(41, 42)를 구비한다.First, referring to Fig. 11 (a), the circuit board inspection apparatus of the fourth embodiment is an inspection apparatus called X-Y type or flying type. A control section 10, a measuring section 20, a pair of movable arms 31 and 32, and moving mechanisms 41 and 42 of a movable arm.

검사 프로브에는, 도 11(b)에 나타내는 4단자대법에 의한 4개의 프로브(P1∼P4)가 사용된다. 이 중, 앞의 도 16에서 설명한 것과 동일하게, P1, P2가 피측정 시료(DUT)에 대한 측정 전류 경로에 포함되는 전류 프로브이고, P3, P4가 피측정 시료(DUT)의 전압 검출 경로에 포함되는 전압 프로브이다.For the test probe, four probes P1 to P4 according to the four terminal method shown in Fig. 11 (b) are used. 16, P1 and P2 are current probes included in the measurement current path for the DUT, and P3 and P4 are current probes for the current detection path for the DUT, It is a voltage probe included.

동축 케이블(C1∼C4)의 각 내부 도체(IL)는, 그 각 일단이 프로브(P1∼P4)의 기단(b) 측에 접속되고, 각 타단이 측정부(20)에 접속되는데, 각 동축 케이블(C1∼C4)의 외부 도체(실드 피복선)(S)끼리는, 프로브(P1∼P4)의 기단(b) 측 부근에 있어서 예를 들어 리드선(5)에 의해 서로 접속된다.Each of the inner conductors IL of the coaxial cables C1 to C4 is connected at one end to the base end b side of the probes P1 to P4 and at the other end to the measuring section 20, The external conductors (shield coating wires) S of the cables C1 to C4 are connected to each other by the lead wires 5 in the vicinity of the base end b side of the probes P1 to P4, for example.

마찬가지로, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)의 각 외부 도체(S)끼리도, 프로브(P2, P4)의 기단(b) 측 부근에 있어서 리드선(5)에 의해 서로 접속되어 있다.Likewise, the outer conductors S of the coaxial cables C2 and C4 on the low potential side are also connected to each other by the lead wire 5 in the vicinity of the base end b side of the probes P2 and P4.

제4 실시형태에서는, 이 4단자대법에 의한 측정용의 프로브(P1∼P4)를 소정 방향으로 이동 가능한 가동 아암(31, 32)에 지지시켜, X-Y형의 회로 기판 검사 장치에서 피측정 시료(DUT)의 임피던스 측정을 행한다.In the fourth embodiment, the probes P1 to P4 for measurement according to the four-terminal method are supported by the movable arms 31 and 32 movable in a predetermined direction, so that the XY circuit board inspection apparatus DUT) is measured.

그 때문에, 이 제4 실시형태에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 고전위 측의 전류 프로브(P1) 및 고전위 측의 전압 프로브(P3)를 일방의 가동 아암(32) 측의 프로브 지지부(32a)에 장착하고, 저전위 측의 전류 프로브(P2) 및 저전위 측의 전압 프로브(P4)를 타방의 가동 아암(31) 측의 프로브 지지부(31a)에 장착한다.12, the current probe P1 on the high potential side and the voltage probe P3 on the high potential side are connected to the probe supporting portion 32a on one movable arm 32 side And the current probe P2 on the low potential side and the voltage probe P4 on the low potential side are mounted on the probe supporting portion 31a on the other movable arm 31 side.

또한, 이 제4 실시형태에 있어서, 프로브 지지부(31a, 32a)란, 도 11에 나타내는 바와 같이, 피검사 회로 기판(A)의 기판면과 거의 평행하게 배향된 각 가동 아암(31, 32)에 포함되는 아암 부분이다.11, the probe supporting portions 31a and 32a are the movable arms 31 and 32 aligned substantially parallel to the substrate surface of the circuit board A to be inspected, As shown in Fig.

본 발명에서는, 가동 아암(31, 32) 중 어느 일방에 동축 케이블(C1∼C4)의 각 일단이 고정되는 케이블 지지 기판(33)을 구비한다. 이 실시형태에서는, 가동 아암(32) 측에 케이블 지지 기판(33)이 설치되어 있다. 케이블 지지 기판(33)에는, 경질의 회로 기판이 바람직하게 채용된다.The present invention includes a cable supporting board 33 to which one end of each of the coaxial cables C1 to C4 is fixed to one of the movable arms 31 and 32. [ In this embodiment, a cable supporting board 33 is provided on the movable arm 32 side. For the cable supporting board 33, a hard circuit board is preferably employed.

케이블 지지 기판(33)은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 프로브 지지부(32a)의 상방의 위치에 배치되어, 그 일단이 가동 아암(32)의 주(主)아암(32b)에 고정되고, 타단이 프로브 지지부(31a)의 상방에까지 연장되는 길이를 갖고 있다.12, the cable supporting board 33 is disposed at a position above the probe supporting portion 32a and has one end fixed to the main arm 32b of the movable arm 32, And extends to the upper side of the probe supporting portion 31a.

케이블 지지 기판(33)에는, 각 동축 케이블(C1∼C4)의 각 일단이 끼워지는 구멍이 천공되어 설치되어 있고, 각 동축 케이블(C1∼C4)의 각 일단은, 그것들의 외부 도체(S)를 벗겨낸 상태로, 또한, 그것들의 내부 도체(IL)가 구멍의 바닥부로부터 돌출되도록 하여, 케이블 지지 기판(33)의 구멍 내에 고정된다.Each of the coaxial cables C1 to C4 is connected to one end of each of the coaxial cables C1 to C4 via their external conductors S, And is fixed in the hole of the cable supporting board 33 so that the inner conductor IL thereof protrudes from the bottom of the hole.

도 12의 실시형태에 의하면, 도 13(a)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 케이블 지지 기판(33)에 대해 각 동축 케이블(C1∼C4)이 우측에서 좌측에 걸쳐 C1, C3, C4, C2의 순으로 1열 상태로 고정되는데, 도 13(b)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 고전위 측의 동축 케이블(C1, C3)을 예를 들어 우측에 세로 배열로 하고, 저전위 측의 동축 케이블(C2, C4)을 그 좌측에 세로 배열로 하여, 동축 케이블(C1∼C4)을 사각형의 각 정점 부분에 배치할 수도 있다.As shown in the plan view of Fig. 13 (a), according to the embodiment of Fig. 12, each of the coaxial cables C1 to C4 extends from right to left with respect to the cable supporting board 33, The coaxial cables C1 and C3 on the high potential side are arranged vertically on the right side and the coaxial cables C1 and C3 on the low potential side C2, and C4 may be vertically arranged on the left side thereof, and the coaxial cables C1 to C4 may be disposed on each apex portion of a quadrangle.

어느 경우에도, 케이블 지지 기판(33)의 고정 부분에서, 동축 케이블(C1∼C4)의 각 외부 도체(S)끼리가 서로 전기적으로 접속된다.In any case, the external conductors S of the coaxial cables C1 to C4 are electrically connected to each other at the fixed portion of the cable supporting board 33. [

그 접속 수법으로는, 리드선(5)에 의한 것이어도 되지만, 케이블 지지 기판(33)이 동장(銅張) 적층 기판으로 이루어지는 경우에는, 케이블 지지 기판(33)에 각 외부 도체(S)를 전기적으로 접속하는 접속 패턴(33a)을 형성하고, 이 접속 패턴(33a)을 통해 각 외부 도체(S)를 전기적으로 접속하는 것이 바람직하고, 이에 의하면, 리드선(5)이 불필요하기 때문에, 용이하게 각 외부 도체(S)를 최단 거리로 전기적으로 접속할 수 있게 된다.In the case where the cable supporting board 33 is formed of a copper-clad laminated board, the outer conductor S is electrically connected to the cable supporting board 33 It is preferable to form the connection pattern 33a connecting the external conductors S to each other through the connection pattern 33a and to electrically connect the external conductors S via the connection pattern 33a. Accordingly, since the lead wires 5 are unnecessary, The external conductors S can be electrically connected at the shortest distance.

다음으로, 케이블 지지 기판(33)에 고정되어 있는 동축 케이블(C1∼C4)의 각 내부 도체(IL)와, 가동 프로브(31, 32)의 프로브 지지부(31a, 32a)에 장착되어 있는 각 프로브(P1∼P4)와의 전기적 접속 수법에 대해 설명한다.Each of the internal conductors IL of the coaxial cables C1 to C4 fixed to the cable supporting board 33 and the respective probes 31a and 32a of the movable probes 31 and 32, (P1 to P4) will be described.

본 발명에서는, 동축 케이블(C1∼C4)의 각 내부 도체(IL)와 프로브(P1∼P4)는, 가동 프로브(31, 32)의 X-Y 방향으로의 이동에 추종하여 변형 가능한 전기적 중계 수단(50)을 사용한다. 여기에서, 변형 가능이란, 유연성을 갖고 있는 것은 물론, 탄성 복원력(이른바 스프링 탄성)을 갖고 있는 것의 쌍방이 포함된다.Each of the internal conductors IL and the probes P1 to P4 of the coaxial cables C1 to C4 is electrically connected to the movable electrical probes 31 and 32 in the X- ) Is used. The term "deformable" as used herein includes both elasticity and elasticity (so-called spring elasticity) as well as flexibility.

이 실시형태에서는, 상기 전기적 중계 수단(50)으로서, 예를 들어 인청동으로 이루어지는 판 스프링(51)을 사용한다. 판 스프링(51)은, 도 14(a), 14(b)에 나타내는 바와 같이, 적어도 일부에 만곡부(51a)를 포함하고, 케이블 지지 기판(33)과 프로브 지지부(31a, 32a)의 간격보다 긴 길이를 갖는다.In this embodiment, a plate spring 51 made of phosphor bronze is used as the electrical relay means 50, for example. As shown in Figs. 14 (a) and 14 (b), the leaf spring 51 includes a curved portion 51a at least in a part thereof, and is spaced apart from the gap between the cable supporting board 33 and the probe supporting portions 31a and 32a It has a long length.

이에 의해, 판 스프링(51)의 변형 가능한 범위 내에서, 가동 아암(31, 32)의 이간 거리가 넓어져, 피측정 시료(DUT)의 양 단자간 피치의 변화에 대응할 수 있다. 또한, 판 스프링(51)의 동축 케이블(C)의 내부 도체(IL) 및 프로브(P)에 대한 접속에는, 납땜, 용접, 코킹 등이 적용되어도 된다.Thus, the distance between the movable arms 31 and 32 is widened within the deformable range of the leaf spring 51, so that it is possible to cope with a change in the pitch between the both terminals of the DUT. Soldering, welding, caulking, or the like may be applied to the connection of the leaf spring 51 to the inner conductor IL of the coaxial cable C and the probe P.

판 스프링(51) 대신에, 예를 들어 알루미늄 등의 금속재로 이루어지는 리본박이 사용되어도 된다. 또한, 전기 배선으로서 일반적으로 사용되고 있는 통상적인 리드선도 사용 가능하다.Instead of the plate spring 51, for example, a ribbon spring made of a metal such as aluminum may be used. In addition, a common lead wire commonly used as electric wiring can be used.

또한, 전기적 중계 수단(50)의 단선이나 접속부의 어긋남 등을 방지함에 있어서, 가동 아암(31, 32)과의 사이에, 도시하지 않았으나, 그것들의 이간 거리를 소정 범위 내로 제한하는 강인한 와이어 등을 걸치는 것이 바람직하다.In order to prevent disconnection of the electrical relay means 50 and displacement of the connecting portions, a strong wire or the like for restricting the distance between the movable arms 31 and 32, .

Claims (18)

측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 2개의 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 2개의 전압 프로브와, 상기 2개의 전류 프로브와 상기 2개의 전압 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 한 쌍의 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터 해석 및 양부(良否) 판별 중 하나 이상을 행함과 함께, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서,
상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고, 4단자대법에 의해 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 전부가 상기 프로브의 기단(基端) 부근에서 리드선에 의해 접속되어 있고, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브가 모두 상기 한 쌍의 가동 아암 중 적어도 일방의 가동 아암에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.A measuring unit including a measuring signal source and a voltage detecting unit; and a current detecting unit for measuring a current flowing through the current detecting unit, the current detecting unit including two current probes included in a measuring current path between the measuring signal source and the DUT, A pair of movable arms mounted with the two current probes and the two voltage probes and driven in an arbitrary direction by a moving mechanism; And a controller for performing at least one of parametric analysis of the sample to be measured and discrimination of good or bad and controlling the movement of each movable arm through the moving mechanism,
A coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the respective voltage probes, and all of the external conductors of the coaxial cables are connected by a lead wire near the base end of the probe And each of the current probes and the voltage probes is supported by at least one movable arm of the pair of movable arms. 제1항에 있어서,
상기 일방의 가동 아암에는, 당해 일방의 가동 아암에 장착되어 있는 상기 프로브 중 적어도 인접하는 2개의 상기 프로브 사이의 간격을 조정 가능하게 하는 간격 조정 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the one movable arm is provided with a gap adjusting means for adjusting a gap between at least two adjacent probes of the probes mounted on the one movable arm. 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피검사 회로 기판에 실장되어 있는 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브의 4개의 프로브와, 상기 제1, 제2 전류 프로브와 상기 제1, 제2 전압 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서,
4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용됨과 함께, 상기 4개의 프로브와는 별도로 소정의 도체에 접촉하여 서로 도통하는 제5 및 제6 프로브를 더 구비하고,
상기 제1 가동 아암 측에, 상기 제1 전류 프로브, 상기 제1 전압 프로브 및 상기 제5 프로브가 지지되고,
상기 제2 가동 아암 측에, 상기 제2 전류 프로브, 상기 제2 전압 프로브 및 상기 제6 프로브가 지지되고,
상기 제1 가동 아암 측에 있어서는, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브의 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 사이 및 상기 제5 프로브가 리드선을 통해 접속되어 있고,
상기 제2 가동 아암 측에 있어서는, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브의 상기 각 동축 케이블의 외부 도체 사이 및 상기 제6 프로브가 리드선을 통해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.A first current probe and a second current probe included in a measurement current path between the measured signal source and the measured sample mounted on the circuit board to be inspected, The first and second voltage probes and the first and second voltage probes included in the voltage detection path between the first and second voltage probes and the to-be-measured sample, and the first and second current probes and the first and second voltage probes, And a controller for calculating parameters of the sample to be measured based on a measurement signal from the measuring unit and controlling the movement of each of the movable arms via the moving mechanism, The circuit board inspection apparatus comprising:
A coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the voltage probes for measurement by the four terminal method and the coaxial cable is used in contact with a predetermined conductor separately from the four probes Further comprising fifth and sixth probes conducting,
The first current probe, the first voltage probe and the fifth probe are supported on the first movable arm side,
The second current probe, the second voltage probe and the sixth probe are supported on the second movable arm side,
The first probe and the fifth probe are connected to each other via a lead wire on the side of the first movable arm and between the external conductors of the coaxial cables of the first voltage probe and the first voltage probe,
Wherein the second movable arm side is connected between the second current probe and an external conductor of each coaxial cable of the second voltage probe and the sixth probe is connected through a lead wire. 제3항에 있어서,
상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측인 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method of claim 3,
The first current probe and the first voltage probe supported on the first movable arm side are all on a high potential side and the second current probe and the second voltage probe supported on the second movable arm side are both connected to the high- And the potential is on the potential side. 제4항에 있어서,
상기 각 가동 아암은, 상기 고전위 측의 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브, 상기 저전위 측의 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브 중 어느 일방이 장착되는 제1 아암부와, 상기 제5, 제6 프로브 중 어느 일방이 장착되는 제2 아암부를 구비하고, 상기 제1 아암부와 상기 제2 아암부가, 상기 피검사 회로 기판의 기판면과 거의 평행한 평면 내에서 다른 방향으로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.5. The method of claim 4,
Each of the movable arms includes a first arm portion to which the first current probe and the first voltage probe on the high potential side, the second current probe on the low potential side, and the second voltage probe are mounted, And a second arm portion on which one of the fifth probe and the sixth probe is mounted, wherein the first arm portion and the second arm portion are arranged in a plane substantially parallel to the substrate surface of the circuit board to be inspected Of the circuit board. 제3항에 있어서,
상기 도체로서, 상기 피검사 회로 기판에 대해 병치되는 다른 기판 상에 형성된 소정의 도체 패턴이 이용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method of claim 3,
Wherein a predetermined conductor pattern formed on another substrate juxtaposed to the circuit board to be inspected is used as the conductor. 제3항에 있어서,
상기 도체로서, 상기 피검사 회로 기판 상에 형성되어 있는 소정의 도체 패턴이 이용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method of claim 3,
Wherein a predetermined conductor pattern formed on the circuit board to be inspected is used as the conductor. 제3항에 있어서,
상기 도체로서, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브가 접촉하는 상기 피검사 회로 기판의 프로빙 지점을 제외하고 상기 피검사 회로 기판 상에 배치되는 마스크 기판에 형성된 소정의 도체 패턴이 이용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method of claim 3,
A predetermined conductor pattern formed on a mask substrate disposed on the circuit board to be inspected is used as the conductor except for the probing point of the circuit board to be inspected in contact with each of the current probes and the voltage probes Circuit board inspection apparatus. 제6항에 있어서,
상기 도체 패턴은, 구리박으로 이루어지는 솔리드 패턴으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.The method according to claim 6,
Wherein the conductor pattern is made of a solid pattern of copper foil. 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브와, 상기 제1, 제2 전류 프로브와 상기 제1, 제2 전압 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서,
4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고,
상기 제1 가동 아암 측에, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브가, 그것들의 각 동축 케이블의 외부 도체 사이가 리드선에 의해 전기적으로 접속된 상태에서 지지되어 있음과 함께,
상기 제2 가동 아암 측에, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브가, 그것들의 각 동축 케이블의 외부 도체 사이가 리드선에 의해 전기적으로 접속된 상태에서 지지되어 있고,
상기 제1 가동 아암 측 중 일방의 상기 동축 케이블의 외부 도체와, 상기 제2 가동 아암 측 중 일방의 상기 동축 케이블의 외부 도체가, 금속제의 코일 스프링을 통해 서로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.A first current probe and a second current probe which are included in a measurement current path between the measurement signal source and the DUT and a voltage between the voltage detection means and the DUT, First and second voltage probes included in the detection path, first and second voltage probes in which the first and second current probes and the first and second voltage probes are mounted and are driven in an arbitrary direction by a moving mechanism, And a control unit for calculating parameters of the sample to be measured based on the measurement signal from the measuring unit and for controlling the movement of each of the movable arms through the moving mechanism, ,
In order to carry out the measurement by the four-terminal method, a coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the respective voltage probes,
The first current probe and the first voltage probe are supported on the first movable arm side in a state where the external conductors of the respective coaxial cables thereof are electrically connected by a lead wire,
The second current probe and the second voltage probe are supported on the side of the second movable arm in a state where the external conductors of the respective coaxial cables are electrically connected by a lead wire,
The outer conductor of one of the coaxial cables on the side of the first movable arm and the outer conductor of one of the coaxial cables on the side of the second movable arm are electrically connected to each other through a coil spring made of metal Circuit board inspection apparatus. 제10항에 있어서,
상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측이며, 상기 제1 전압 프로브에 있어서의 동축 케이블의 외부 도체와, 상기 제2 전압 프로브에 있어서의 동축 케이블의 외부 도체 사이에 상기 코일 스프링이 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.11. The method of claim 10,
The first current probe and the first voltage probe supported on the first movable arm side are all on a high potential side and the second current probe and the second voltage probe supported on the second movable arm side are both connected to the high- Wherein the coil spring is mounted between the outer conductor of the coaxial cable in the first voltage probe and the outer conductor of the coaxial cable in the second voltage probe. 제10항에 있어서,
상기 제1 가동 아암과 상기 제2 가동 아암 사이에는, 상기 코일 스프링의 신장량을 소정 범위 내로 제한하는 상기 코일 스프링보다 강인한 와이어가 걸쳐져 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.11. The method of claim 10,
Wherein a wire which is stronger than the coil spring for restricting the extension of the coil spring within a predetermined range is provided between the first movable arm and the second movable arm. 측정 신호원 및 전압 검출 수단을 포함하는 측정부와, 상기 측정 신호원과 피측정 시료 사이의 측정 전류 경로에 포함되는 제1, 제2 전류 프로브 및 상기 전압 검출 수단과 상기 피측정 시료 사이의 전압 검출 경로에 포함되는 제1, 제2 전압 프로브와, 상기 제1, 제2 전류 프로브와 상기 제1, 제2 전압 프로브가 장착되고, 이동 기구에 의해 임의 방향으로 구동되는 제1, 제2 가동 아암과, 상기 측정부로부터의 측정 신호에 기초하여 상기 피측정 시료의 파라미터를 산출하고, 또한, 상기 이동 기구를 통해 상기 각 가동 아암의 움직임을 제어하는 제어부를 구비하고 있는 회로 기판 검사 장치에 있어서,
4단자대법에 의한 계측을 행하기 위해, 상기 각 전류 프로브 및 상기 각 전압 프로브의 상기 측정부에 이르는 전기 배선에 동축 케이블이 사용되고,
상기 제1 가동 아암의 프로브 지지부에, 상기 제1 전류 프로브와 상기 제1 전압 프로브가 지지되어 있음과 함께, 상기 제2 가동 아암의 프로브 지지부에, 상기 제2 전류 프로브와 상기 제2 전압 프로브가 지지되어 있고,
어느 일방의 상기 가동 아암은, 당해 일방의 가동 아암의 상기 프로브 지지부의 상방에 배치되고, 상기 각 동축 케이블의 일단 측이 고정되는 케이블 지지 기판을 갖고,
상기 각 동축 케이블의 일단 측은, 그것들의 외부 도체가 소정의 도통 수단을 통해 서로 접속된 상태에서 상기 케이블 지지 기판에 고정되고, 상기 각 동축 케이블의 내부 도체가, 각각 변형 가능한 전기적 중계 수단을 통해 대응하는 상기 프로브에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.A first current probe and a second current probe which are included in a measurement current path between the measurement signal source and the DUT and a voltage between the voltage detection means and the DUT, First and second voltage probes included in the detection path, first and second voltage probes in which the first and second current probes and the first and second voltage probes are mounted and are driven in an arbitrary direction by a moving mechanism, And a control unit for calculating parameters of the sample to be measured based on the measurement signal from the measuring unit and for controlling the movement of each of the movable arms through the moving mechanism, ,
In order to carry out the measurement by the four-terminal method, a coaxial cable is used for the electric wiring leading to the measuring portion of each of the current probes and the respective voltage probes,
Wherein the first current probe and the first voltage probe are supported by the probe support portion of the first movable arm and the second current probe and the second voltage probe are supported by the probe support portion of the second movable arm Respectively,
The movable arm of either one of the movable arms has a cable supporting substrate which is disposed above the probe supporting portion of the one movable arm and whose one end side of each of the coaxial cables is fixed,
Wherein one end side of each of the coaxial cables is fixed to the cable support board in a state where the external conductors thereof are connected to each other through a predetermined conduction means and the internal conductors of the coaxial cables are respectively connected through deformable electrical relay means And the probe is connected to the probe. 제13항에 있어서,
상기 제1 가동 아암 측에 지지되는 상기 제1 전류 프로브 및 상기 제1 전압 프로브가 모두 고전위 측이고, 상기 제2 가동 아암 측에 지지되는 상기 제2 전류 프로브 및 상기 제2 전압 프로브가 모두 저전위 측인 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.14. The method of claim 13,
The first current probe and the first voltage probe supported on the first movable arm side are all on a high potential side and the second current probe and the second voltage probe supported on the second movable arm side are both connected to the high- And the potential is on the potential side. 제13항에 있어서,
상기 도통 수단으로서, 리드선이 사용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.14. The method of claim 13,
Characterized in that a lead wire is used as said conduction means. 제13항에 있어서,
상기 케이블 지지 기판에는, 상기 도통 수단으로서의 접속 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.14. The method of claim 13,
Wherein the cable support substrate is provided with a connection pattern as the conduction means. 제13항에 있어서,
상기 전기적 중계 수단으로서, 상기 케이블 지지 기판과 상기 일방의 가동 아암의 상기 프로브 지지부의 간격보다 긴 길이를 갖는 만곡부를 포함하는 판 스프링이 사용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.14. The method of claim 13,
Wherein a plate spring including a curved portion having a length longer than a distance between the cable supporting substrate and the probe supporting portion of the one movable arm is used as the electrical relaying means. 제13항에 있어서,
상기 전기적 중계 수단으로서, 상기 케이블 지지 기판과 상기 일방의 가동 아암의 상기 프로브 지지부의 간격보다 긴 길이를 갖는 금속의 리본박이 사용되는 것을 특징으로 하는 회로 기판 검사 장치.14. The method of claim 13,
Wherein a metal ribbon having a length longer than an interval between the cable supporting board and the probe supporting portion of the one movable arm is used as the electrical relaying means.
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