KR101839761B1 - Vertical type glass loading or unloading apparatus - Google Patents

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Abstract

기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치는, 로딩 또는 언로딩 본체; 및 로딩 또는 언로딩 본체에 업 또는 다운(up or down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛을 포함한다.An upright type substrate loading or unloading apparatus is disclosed. According to an embodiment of the present invention, a stand-up type substrate loading or unloading apparatus includes a loading or unloading body; And a loading / unloading body. The loading / unloading body is provided so as to be movable up or down. The loading / unloading body can be unloaded to the lower apparatus or the substrate provided in the lower apparatus can be moved to a standing state And an up or down type substrate handling unit for loading the wafer into the equipment above.

Description

기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치{Vertical type glass loading or unloading apparatus}[0001] Vertical type glass loading or unloading apparatus [0002]

본 발명은, 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stand-up type substrate loading or unloading apparatus, and more particularly, to a stand-up type substrate loading or unloading apparatus capable of loading and unloading a substrate erected in an upper- The problem of deflection of the substrate, limitation of application of the apparatus for transferring a large substrate, increase of the foot print of the apparatus, problems of application of the cassette, and the like can be solved by the horizontal method It is possible to solve various problems caused by loading or unloading of the substrate. Further, it is possible to stably handle the erected substrate, and it is possible to apply the actual equipment without causing any trouble to the processing efficiency of the cargo volume while having a simple structure To a stand-up type substrate loading or unloading apparatus that can be used to carry out the present invention.

기판(glass)은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등의 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)를 가리킨다.The glass substrate refers to a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) substrate or an organic light emitting diode (OLED) substrate.

이러한 평판표시소자로서의 기판은 그 종류에 약간의 차이가 있기는 하지만 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 처리 공정을 거쳐 제품으로 출시될 수 있다.The substrate as the flat panel display device may be released as a product through a series of processing steps such as exposure, development, etching, stripping, rinsing, cleaning and the like, though there is a slight difference in the kind thereof.

평판표시소자 중에서 LCD 기판을 예로 들면 LCD 기판은 크게 TFT 공정, Cell 공정 및 Module 공정을 통해 제품으로 출시될 수 있다.Among flat panel display devices, for example, an LCD substrate can be manufactured as a product through a TFT process, a cell process, and a module process.

TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.The TFT process is very similar to the semiconductor manufacturing process, and is a process in which thin film transistors are arranged on a glass substrate by repeating deposition, photo lithography, and etching.

Cell 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과, 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.The Cell process is a process for forming an alignment film so that liquid crystals can be aligned on a top plate, which is a TFT bottom plate manufactured by a TFT process, and a color filter, and sealing the upper and lower plates by seal printing.

그리고 Module 공정은 완성된 LCD 패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.In the module process, a polarizing plate is attached to the completed LCD panel, a drive-IC is mounted, then a PCB (Printed Circuit Board) is assembled, and a backlight unit and a device Refers to a series of steps to be assembled.

이러한 공정들 또는 이들 공정 내의 각 공정들이 연속적으로 진행될 수 있도록 각 공정들을 연결하는 라인(line) 간에는 전 공정으로부터 기판을 전달 받아 후 공정으로 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치가 마련될 수 있다.A substrate transfer device for transferring a substrate from a previous process to a subsequent process may be provided between the lines connecting the processes so that each process in these processes or each process in these processes can be continuously performed.

한편, 기존에 널리 알려진 기판 이송장치의 대부분은 기판을 수평상태로 눕혀 기판을 이송시키는 수평형 기판 이송장치(OHS Type Vehicle)이다.On the other hand, most of the conventionally known substrate transfer apparatuses are a horizontal type substrate transfer apparatus (OHS Type Vehicle) for transferring a substrate by horizontally laying the substrate.

특히, 클린룸 내의 상공에서 주행 중인 상공의 설비로서 수평형 기판 이송장치를 통해 이송되는 기판을 클린룸 내의 하부 바닥 영역에 위치되는 반송부 등의 하부의 설비로 인계할 때는 기판이 수평상태로 적재된 카세트(cassette)를 서로 주고받는 방식을 적용하여 왔다. 즉 박스(box) 형태의 카세트를 별도로 준비하여 카세트 내에 기판을 수평상태로 적재한 다음, 상부의 수평형 기판 이송장치가 카세트를 이송시켜 하부의 설비로 인계하는 방식을 취하였다.Particularly, when the substrate conveyed through the horizontal substrate transfer device as the upper-side equipment in the upper room in the clean room is carried over to the lower equipment such as the transfer unit located in the lower floor area in the clean room, (Cassettes) are exchanged with each other. That is, a cassette in the form of a box was separately prepared, the substrate was horizontally stacked in the cassette, and then the upper horizontal substrate transfer apparatus transferred the cassette to transfer the cassette to the lower apparatus.

하지만, 이와 같이 카세트를 이용하여 수평상태로 기판을 이송하는 경우, 기판이 대형화됨에 따른 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제 등 다양한 문제 및 한계사항에 부딪힐 수밖에 없다.However, when the substrate is transported in a horizontal state using the cassette, there are problems such as deflection of the substrate due to enlargement of the substrate, limitation of application of the apparatus for transporting a large substrate, increase of the foot print of the apparatus, and the like There are various problems and limitations.

특히, 최근에는 가로/세로의 길이가 대략 3 미터(m) 내외의 대형 기판을 제조하는 다양한 설비가 현장에 적용되거나 적용 예정에 있는 점을 감안할 때, 이러한 대형 기판을 해당 설비로 이송하기 위한 수평형 기판 이송장치를 제작해야 하는 경우에는 앞서 기술한 것처럼 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트 증가 문제 등 다양한 문제 발생이 예상된다.In particular, in view of the fact that various facilities for manufacturing a large-sized substrate having a length of about 3 meters (m) in length are currently applied to the field or planned to be applied, In the case of manufacturing a balanced substrate transfer device, various problems such as a deflection problem of a substrate, a limitation problem of a device for transferring a large substrate, and an increase of a device's footprint are expected as described above.

따라서 이와 같은 수평형 기판 이송장치가 갖는 문제를 해소하기 위한 방안으로서 기판을 지면에 대해 세워서(90도 또는 90도보다 작은 각도) 이송시키는 기립형 기판 이송장치에 대한 적용을 고려해볼 수 있다.Therefore, as an approach for solving the problem of such a horizontal substrate transfer apparatus, application to a stand-up type substrate transfer apparatus in which the substrate is vertically moved (at an angle of less than 90 degrees or 90 degrees) is considered.

상공의 설비로서 기립형 기판 이송장치가 적용될 경우, 설사 기판이 대형화되더라도 기판이 처지지 않고 이송될 수 있음은 물론 장치 적용이 수평식보다는 용이해질 수 있으며, 또한 장치의 풋 프린트를 감소시킬 수 있어 주변 장치와 연계된 시스템의 구축이 가능해질 수 있을 것이라 예상된다. 특히, 기판을 세워서 이송시킬 수 있기 때문에 카세트의 적용이 필요치 않을 수 있다는 장점이 예상된다.When an upright type substrate transfer apparatus is used as an overhead facility, even if the substrate is enlarged, the substrate can be transferred without sagging, and the apparatus application can be made easier than the horizontal type, and the footprint of the apparatus can be reduced It is anticipated that it will be possible to build a peripheral-connected system. Particularly, since the substrate can be transported upright, it is expected that the application of the cassette may not be required.

다만, 기판을 세워서 이송시키기 위한 소위, 기립형 기판 이송장치가 적용될 경우에는 기립형 기판 이송장치의 하부 영역에 배치된 상태에서 기립형 기판 이송장치로부터 세워진 기판을 받아 반송부나 설비로 인계, 즉 언로딩시키거나(unloading) 혹은 반송부 등의 하부의 설비로부터의 기판을 세워진 상태로 기립형 기판 이송장치로 인계, 즉 로딩시켜야(loading) 할 것인데, 이러한 일련의 시스템이 구현되려면 세워진 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 장치, 예컨대 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치의 필요성이 대두된다.However, when a so-called stand-up type substrate transfer apparatus for transferring a substrate is used, the substrate placed from the stand-up type substrate transfer apparatus in a state of being disposed in a lower region of the stand-up type substrate transfer apparatus is taken over by the transfer section or facility, The substrate from the lower apparatus such as the transfer section or the like is to be handed over to the stand-up substrate transfer apparatus in a standing state. In order to implement such a series of systems, there is a need for an apparatus for loading or unloading a substrate, for example, a standing substrate loading or unloading apparatus.

특히, 이와 같은 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치가 개발되기 위해서는 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있어야 함은 물론 심플한 구조를 가져야만 장치의 구현이 가능해질 수 있으며, 나아가 수평 이송과 동일한 혹은 그보다 높은 물동량 처리효율이 나타나야만 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있다는 고려해볼 때, 이러한 사항들이 실현될 수 있는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치에 대한 기술개발이 필요한 실정이다.Particularly, in order to develop such an upright type substrate loading or unloading apparatus, it is required not only to handle the erected substrate in a stable manner, but also to realize a device with a simple structure, and furthermore, In view of the fact that the practical application of the equipment can be realized only when the processing efficiency of the cargo volume is shown, it is necessary to develop the technology for the stand-up type substrate loading or unloading device in which these matters can be realized.

대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0086262호Korea Patent Office Application No. 10-2011-0086262

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for loading and unloading a substrate erected in a facility in an upper level and a substrate in a lower level, The problem of sagging of the substrate, limitation of application of apparatus for transferring a large substrate, increase of foot print of the apparatus, application of a cassette, and the like The substrate can be reliably handled, the substrate can be stably handled, and the substrate can be stably handled. In addition, the stand-up type substrate loading or unloading device .

본 발명의 일 측면에 따르면, 로딩 또는 언로딩 본체; 및 상기 로딩 또는 언로딩 본체에 업 또는 다운(up or down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a loading or unloading apparatus comprising: a loading or unloading main body; And a control unit for controlling the substrate loading and unloading unit to move up or down in the loading or unloading main body and to unload the substrate up from the upper equipment and unloading the lower substrate equipment, And an up or down type substrate handling unit for loading the substrate into the above-mentioned facility in a standing state.

상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛은, 상기 세워진 기판의 양측 사이드(side)에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛; 상기 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부를 업 또는 다운(up or down) 구동시키는 유닛 업 또는 다운 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the up or down substrate handling unit comprises: a plurality of first side gripping units disposed on both sides of the erected substrate to grip a side of the substrate; A first side gripping unit support for supporting the plurality of first side gripping units; And a unit up or down driving unit connected to the first side gripping unit support unit and driving up or down the first side gripping unit support unit.

상기 유닛 업 또는 다운 구동부는 이중 리니어 가이드(linear guide)를 포함할 수 있다.The unit up or down driver may include a dual linear guide.

상기 로딩 또는 언로딩 본체에 결합되되 수평 방향을 따라 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격 가능하며, 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛으로 기판을 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 유닛을 더 포함할 수 있다.A substrate handling unit coupled to the loading or unloading body and being capable of approaching or separating from the up or down substrate handling unit along a horizontal direction and receiving the substrate from the up or down substrate handling unit, And a horizontally-driven substrate handling unit for transferring the substrate.

상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은, 상기 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛; 상기 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the horizontally-driven substrate handling unit comprises: a plurality of second side gripping units disposed on both sides of the erected substrate to grip a side of the substrate; A second side gripping unit support for supporting the plurality of second side gripping units; And a unit horizontal driving unit connected to the second side gripping unit support unit and horizontally driving the second side gripping unit support unit.

상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛의 구조는 모두 동일할 수 있으며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.The structures of the first side gripping unit and the second side gripping unit may be the same, and the first side gripping unit and the second side gripping unit may be staggered from each other.

상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은, 상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 상기 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼; 및 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the first side gripping unit and the second side gripping unit are a pair of side grippers capable of approaching or separating from each other and gripping the side of the substrate while approaching each other; And a side gripper driving unit connected to the pair of side grippers and driving the pair of side grippers so that the side grippers can be moved closer to each other or away from each other.

상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은, 상기 기판을 기준으로 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 전진 또는 후진시키는 그립퍼 전후진 구동부를 더 포함할 수 있다.The first side gripping unit and the second side gripping unit may further include a gripper forward and backward driving unit for moving the pair of side grippers forward or backward with respect to the substrate.

상기 그립퍼 전후진 구동부는, 고정 브래킷에 위치 고정되는 실린더; 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 실린더의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록; 및 상기 고정 브래킷에 마련되며, 상기 슬라이딩 블록의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일을 포함할 수 있다.The gripper forward and backward driving unit includes: a cylinder fixedly positioned to the fixing bracket; A sliding block connected to the pair of side grippers and being advanced or retracted by the operation of the cylinder; And a sliding rail provided on the fixing bracket and guiding a sliding operation of the sliding block.

상기 그립퍼 전후진 구동부는, 상기 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부를 더 포함할 수 있다.The gripper forward and backward driving portion may further include a fatigue fracture preventing portion for preventing fatigue fracture of the substrate.

상기 피로 파괴 방지부는 상기 슬라이딩 블록 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링일 수 있으며, 상기 비틀림 코일 압축스프링의 일단부는 상기 슬라이딩 블록 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 상기 실린더의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡에 배치될 수 있다.The torsion coil compression spring may be a torsion coil compression spring provided at one side wall of the sliding block and the other end of the torsion coil compression spring may be connected to the rod of the cylinder, Cap < / RTI >

상기 로딩 또는 언로딩 본체의 일측 단부에 결합되며, 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 유닛을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a gripping unit for gripping the substrate gripped by the horizontally-driven substrate handling unit and gripping the gripped substrate for pulling out the substrate from the outside, one at a side of the loading or unloading body.

상기 기판 인출용 그립핑 유닛은, 상기 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼; 및 상기 다수의 기판 상단부 그립퍼와 연결되어 상기 기판 상단부 그립퍼를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부를 포함할 수 있다.The gripping unit for pulling out the substrate includes: a plurality of substrate upper grippers gripping an upper end of the substrate; And a substrate upper gripper driving unit connected to the plurality of substrate upper grippers to drive the substrate upper grippers.

상기 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치일 수 있으며, 상기 하부의 설비는 세워진 상기 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치 또는 비접촉식 기판 이송장치일 수 있다.The above-mentioned facility may be a stand-up type substrate transfer apparatus for gripping a raised substrate and transferring the substrate to a desired place, and the lower facility may be a non-contact type substrate tilting apparatus or a non-contact type substrate transfer apparatus for horizontally laying the substrate .

본 발명의 다른 측면에 따르면, 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛을 통해 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업 또는 다운식 기판 핸들링 단계; 및 수평구동식 기판 핸들링 유닛이 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격되면서 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate handling apparatus comprising: an upper or lower substrate handling unit for receiving a substrate erected in an upper equipment and unloading the lower substrate equipment; Up or down-type substrate handling step of loading the substrate into the facility; And a horizontally-driven substrate handling unit for transferring or transferring the substrate from the up-or-down substrate handling unit while the horizontally-driven substrate handling unit approaches or separates from the up-or-down substrate handling unit. A method of loading or unloading a substrate may be provided.

기판 인출용 그립핑 유닛이 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 단계를 더 포함할 수 있다.And the gripping unit for gripping the substrate is gripped to pull out the gripped substrate from the outside, one by one, to the horizontally-driven substrate handling unit.

상기 기판 인출용 그립핑 유닛에 그립핑된 기판을 전달받아 수평방향으로 틸팅시키는 기판 틸팅 단계를 더 포함할 수 있다.And a substrate tilting step of receiving the substrate gripped by the substrate drawing gripping unit and tilting the substrate in the horizontal direction.

상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛 및 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은 상기 기판의 양측 사이드(side)를 그립핑할 수 있으며, 상기 기판 인출용 그립핑 유닛은 상기 기판의 상단부를 그립핑할 수 있다.The up or down type substrate handling unit and the horizontally driven substrate handling unit may grip both sides of the substrate and the substrate drawing gripping unit may grip the upper end of the substrate .

본 발명에 따르면, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있다.According to the present invention, it is possible to unload a substrate erected in an upper equipment and unload it to a lower equipment, or to load a substrate supplied from a lower equipment in a raised state into an upper equipment, The problems of deflection of a substrate, limitation of application of a device for transferring a large substrate, increase of a foot print of a device, problems of application of a cassette, and the like can be solved Furthermore, it is possible not only to stably handle the erected substrate, but also to have a simple structure, but it does not cause any trouble to the efficiency of the processing of the cargo volume, so that the practical application of the equipment can be realized.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이다.
도 2는 도 1을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치의 사시도이다.
도 4는 도 3의 평면도이다.
도 5는 도 3의 정면도이다.
도 6은 도 3의 측면도이다.
도 7은 제1 및 제2 사이드 그립핑 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7의 측면도이다.
도 9는 도 8의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩방법의 순서도이다.1 is a plan view of a standing type substrate transfer system to which a standing type substrate loading or unloading apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.
Fig. 2 is a perspective view schematically showing Fig. 1. Fig.
3 is a perspective view of a standing-type substrate loading or unloading apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a plan view of Fig. 3. Fig.
5 is a front view of Fig.
Figure 6 is a side view of Figure 3;
7 is a perspective view of the first and second side gripping units.
Fig. 8 is a side view of Fig. 7. Fig.
Fig. 9 is a sectional view of Fig. 8. Fig.
10 is a flowchart of a method of loading or unloading a standing substrate according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이고, 도 2는 도 1을 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a plan structural view of a standing type substrate transfer system to which a standing type substrate loading or unloading apparatus according to an embodiment of the present invention is applied, and FIG. 2 is a perspective view schematically showing FIG.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)는 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있도록 한 것으로서, 도 1 및 도 2와 같은 시스템, 즉 기립형 기판 이송시스템에 적용될 수 있다.Referring to these drawings, the stand-up type substrate loading or unloading apparatuses 200a and 200b according to the present embodiment are configured to receive a substrate erected in a facility at the upper side and unload the substrate to a lower facility, It is possible to load the substrate with the substrate upright in the overhead equipment, thereby causing the problem of deflection of the substrate, limitation of application of the apparatus for transporting a large substrate, increase of the foot print of the apparatus, The present invention can be applied to a system as shown in FIGS. 1 and 2, that is, a stand-up type substrate transfer system.

도 1 및 도 2와 같은 시스템 적용 시 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치(100a,100b)일 수 있고, 하부의 설비는 세워진 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 또는 비접촉식 기판 이송장치(400)일 수 있다. 여기서, 수평상태라 함은 지면에 대한 가로 방향으로 반드시 지면과 수평이 되어야 하는 것은 아니라 할 것이다.1 and 2, the upper equipment may be a stand-up type substrate transfer apparatus 100a or 100b for gripping a raised substrate and transferring the substrate to a desired place, and a lower apparatus may be a substrate transfer apparatus Non-contact substrate tilting apparatus 300 or non-contact substrate transfer apparatus 400. Here, the horizontal state should not necessarily be horizontal with respect to the ground in the lateral direction.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하되 상공의 설비를 기립형 기판 이송장치(100a,100b)로, 하부의 설비를 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 또는 비접촉식 기판 이송장치(400)로 하여 기립형 기판 이송시스템의 구조와 기판이 이송되는 과정을 설명하도록 한다.Hereinafter, referring to FIG. 1 and FIG. 2, it is assumed that the up-and-down type substrate transfer apparatuses 100a and 100b are used as the upper-level facility and the non-contact substrate tilting apparatus 300 or the non- Describe the structure of the transfer system and the process of transferring the substrate.

참고로, 도 1 및 도 2의 기립형 기판 이송시스템은 설비 적용의 한 예일 뿐이다. 즉 기립형 기판 이송시스템은 도 1 및 도 2와 다른 형태로 얼마든지 설계될 수 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.For reference, the stand-up type substrate transport system of Figs. 1 and 2 is merely an example of application of the equipment. That is, the stand-up type substrate transport system can be designed in any form different from Figs. 1 and 2. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawings.

다만, 도 1 및 도 2와 같은 형태로 기립형 기판 이송시스템을 구축한 경우, 기판에 대한 실질적인 공정을 진행하는 A 또는 B 챔버(chamber)와 함께 효율적인 이송시스템을 구축할 수 있다는 점에서 유리한 효과를 제공할 수 있다.However, when the stand-up type substrate transfer system is constructed as shown in FIGS. 1 and 2, it is advantageous in that an efficient transfer system can be constructed together with the A or B chambers for carrying out a substantial process on the substrate. Can be provided.

도 1 및 도 2에 도시된 기립형 기판 이송시스템은, 상공의 설비로서 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와, 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 각각 연계하여 동작되는 본 실시예에 따른 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)와, 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)와 인터페이스(interface)되는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)와, 제1 및 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)와 인터페이스되는 비접촉식 기판 이송장치(400)와, 비접촉식 기판 이송장치(400)와 연결되는 기판 이송 컨베이어(500)와, 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용하는 포크 로더(600)를 포함할 수 있다.The stand-up type substrate transfer system shown in Figs. 1 and 2 includes first and second stand-up type substrate transfer devices 100a and 100b as upper equipment and first and second stand-up type substrate transfer devices 100a and 100b The first and second standing type substrate loading and unloading apparatuses 200a and 200b and the second standing type substrate loading and unloading apparatus 200b according to the present embodiment, A non-contact type substrate tilting device 300 that interfaces with the second standing type substrate loading or unloading device 200b, and a second standing type substrate loading / unloading device 200b disposed adjacent to the first and the standing type substrate loading / unloading devices 200a, A substrate transferring conveyor 500 connected to the non-contact type substrate transferring apparatus 400, a non-contact type substrate transferring apparatus 400 connected to the non-contact substrate loading / unloading apparatus 200a, Tilting apparatus 300 and the non-contact type substrate transfer apparatus 400 Which may include a fork loader (600).

참고로, 도 1 및 도 2에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)의 참조부호를 달리 부여하면서 각각을 제1 및 제2로 구분하였으나 이들은 동일한 구조를 갖는 하나의 장치로서 각기 그 역할만이 상이할 뿐이다. 따라서 아래의 도 3부터는 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)를 구분하지 않고 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)라 하여 설명한다. 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b) 역시, 도 1 및 도 2에서 설명의 편의를 위해 참조부호를 달리 부여하면서 구분하고 있지만 이들 역시 동일한 장치가 그 역할별로 2개 사용된 것이다.1 and 2, the reference numerals of the first and second standing-type substrate loading and unloading apparatuses 200a and 200b are different from each other and are divided into first and second groups, Only one device having the same structure is different in each role. 3, the first and second standing-type substrate loading / unloading apparatuses 200a and 200b will be described as a standing-type substrate loading / unloading apparatus 200 without distinguishing between the first and second standing-type substrate loading / unloading apparatuses 200a and 200b. Although the first and second standing-type substrate transfer apparatuses 100a and 100b are also distinguished by giving different reference numerals for ease of explanation in FIGS. 1 and 2, two identical apparatuses are used for each role .

이들 구조에 대해 간략하게 먼저 설명하면 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 예컨대, 클린 룸(cleam room)의 상공에 배치되는 상공의 설비이다. 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 기판을 세워진 상태로 그립핑(gripping)하여 원하는 장소, 예컨대 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)의 위치로 이송시키는 역할을 한다.These structures will be briefly described first, and the first and second standing-type substrate transfer apparatuses 100a and 100b are, for example, facilities installed in the upper part of a clean room. The first and second stand-up type substrate transfer apparatuses 100a and 100b grip the substrate in a standing state to grip the substrate at a desired place, for example, the first and second stand-up type substrate loading / unloading apparatuses 200a and 200b To the location.

제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)는 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 달리 클린 룸의 바닥 영역에 위치 고정되는 하부의 설비 중 하나를 이룬다.The first and second standing-type substrate loading / unloading apparatuses 200a and 200b are different from the first and second standing-type substrate transfer apparatuses 100a and 100b, .

이러한 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)는 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 상호작용하면서 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)로 로딩(loading)시키는 역할을 한다.The first and second stand-up type substrate loading / unloading apparatuses 200a and 200b are disposed on the first and second stand-up type substrate transfer apparatuses 100a and 100b while interacting with the first and second stand- 100a and 100b and unloading the substrates from the lower equipment or loading the substrates supplied from the lower equipment in a standing state to the first and second standing substrate transfer apparatuses 100a and 100b, ).

그 역할을 좀 더 나누어 설명하면, 도 1 및 도 2에서 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)는 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에서 세워진 기판을 받아 비접촉식 기판 이송장치(400)로 언로딩(unloading)시키고, 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 받아 세워진 상태 그대로 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 로딩(loading)시킨다.1 and 2, the first standing-type substrate loading or unloading apparatus 200a receives the substrate erected in the first standing-up substrate transfer apparatus 100a, and transfers the substrate to the non-contact substrate transfer apparatus 400 , And the second standing type substrate loading or unloading apparatus 200b receives the substrate supplied from the non-contact type substrate tilting apparatus 300 in a standing state and transfers the substrate to the second standing type substrate transfer apparatus 100b.

물론, 도면과 달리 기립형 기판 이송시스템에 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)가 한 개 적용된 경우라면 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)는 상부의 설비에서 기판을 받는 언로딩 과정과, 상부의 설비로 기판을 전달하는 로딩 과정을 한 장비에서 순차적으로 진행할 수 있다.Of course, unlike the drawing, if a stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200 is applied to a stand-up type substrate transfer system, the stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200 may include an unloading process And the loading process for transferring the substrate to the upper equipment can be sequentially performed in one equipment.

하지만, 이처럼 로딩 및 언로딩 과정을 한 장비에서 진행할 경우, 택트 타임(tact time)이 증가할 수 있다. 때문에 본 실시예에서는 물류 이송의 속도를 높이기 위해 다수 개의 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)를 배치하여 사용하고 있는 것이다. 참고로, 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)는 2개일 수 있지만 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)은 2대보다 많은 여러 대일 수 있다.However, if the loading and unloading process is performed on one equipment, the tact time may increase. Therefore, in the present embodiment, a plurality of first and second standing-type substrate transfer devices 100a and 100b and first and second standing-type substrate loading / unloading devices 200a and 200b are disposed Is used. For reference, the first and second stand-up type substrate transfer devices 100a and 100b, which are the facilities of the first and second stand-up type substrate loading / unloading devices 200a and 200b, / RTI >

비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)와 인터페이스된다. 즉 A 또는 B 챔버를 통해 공정이 완료된 기판, 즉 수평상태의 기판을 포크 로더(600)로부터 받아서 기판을 틸팅시켜 세운 후, 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)로 전달한다.The non-contact substrate tilting apparatus 300 is disposed adjacent to the second standing substrate loading or unloading apparatus 200b and is interfaced with the second standing substrate loading or unloading apparatus 200b. That is, the substrate on which the process has been completed through the A or B chamber, that is, the substrate in the horizontal state is received from the folk loader 600, the substrate is tilted, and the substrate is transferred to the second stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200b.

비접촉식 기판 이송장치(400)는 제1 및 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)와 인터페이스된다. 즉 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a) 상의 세워진 기판을 전달받아 수평상태로 눕힌 후, 기판 이송 컨베이어(500)로 전달하는 역할을 한다. 도면과 달리, 비접촉식 기판 이송장치(400) 대신에 비접촉식 기판 틸팅장치(300)가 배치될 수도 있다.The non-contact substrate transfer apparatus 400 is disposed adjacent to the first and the standing substrate loading or unloading apparatus 200a and is interfaced with the first standing substrate loading or unloading apparatus 200a. That is, the substrate standing on the first standing type substrate loading or unloading apparatus 200a, is laid down in a horizontal state, and then transferred to the substrate transfer conveyor 500. Unlike the drawing, a non-contact type substrate tilting apparatus 300 may be arranged instead of the non-contact type substrate transfer apparatus 400.

기판 이송 컨베이어(500)는 통상의 기판 이송용 컨베이어이다. 롤러식일 수도 있고, 벨트식일 수도 있으며, 경우에 따라서는 공기 부상식일 수도 있다.The substrate transfer conveyor 500 is a conventional substrate transfer conveyor. Roller type, belt type, and sometimes air type.

포크 로더(600)는 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용한다. 예컨대, 포크 로더(600)는 비접촉식 기판 이송장치(400) 상의 기판을 받아 A 또는 B 챔버로 공급하여 공정이 진행되도록 하는 한편 A 또는 B 챔버에서 공정이 완료된 기판을 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달할 수 있다.The fork loader 600 interacts with the non-contact substrate tilting apparatus 300 and the non-contact substrate transport apparatus 400 while being moved along the rail 610. For example, the fork loader 600 feeds the substrate on the non-contact type substrate transfer device 400 to the A or B chamber to allow the process to proceed, while the substrate that has been processed in the A or B chamber is transferred to the non-contact substrate tilting device 300 .

이하, 도 1 및 도 2의 시스템에 대한 동작을 연속적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the system of FIG. 1 and FIG. 2 will be described as follows.

우선, 상공의 설비인 제1 기립형 기판 이송장치(100a)가 이송되어 ①번 위치에 도달되면 ②번 위치의 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)가 동작되어 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에 의해 이송된 세워진 기판을 세워진 상태 그대로 전달받는다(unloading).First, when the first upright type substrate transfer device 100a, which is a facility in the overhead, is transferred and reaches the first position, the first upright type substrate loading or unloading device 200a at the second position is operated, Unloading the raised substrate transferred by the transfer device 100a in a standing state.

이어, ③번 위치의 비접촉식 기판 이송장치(400)가 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)와 상호작용하여 세워진 기판을 수평상태로 눕힌다(tilting). 비접촉식 기판 이송장치(400)에 의해 수평상태로 배치된 기판은 ④번 위치의 기판 이송 컨베이어(500)를 따라 다른 공정으로 이송될 수도 있고, 혹은 ⑤번 위치에 있는 포크 로더(600)를 통해 포킹되어 예컨대, A 또는 B 챔버로 이송되어 공정을 수행할 수도 있다.Next, the non-contact type substrate transfer device 400 at the third position cooperates with the first standing substrate loading or unloading device 200a to tilting the erected substrate horizontally. The substrate placed horizontally by the non-contact type substrate transfer apparatus 400 may be transferred to another process along the substrate transfer conveyor 500 at the fourth position or may be transferred to another process through the fork loader 600 at the fifth position For example, transferred to the A or B chamber to perform the process.

한편, A 또는 B 챔버에서 해당 공정이 완료된 기판은 포크 로더(600)를 통해 포킹된 후, 포크 로더(600)에 의해 ⑥번 위치의 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달된다. 이때의 기판은 수평 배치상태이다.On the other hand, the substrate having completed the process in the A or B chamber is foiled through the fork loader 600 and then transferred to the non-contact substrate tilting apparatus 300 at the sixth position by the fork loader 600. The substrate at this time is in a horizontally aligned state.

이어, 비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 ⑦번 위치의 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)와 상호작용하여 수평상태의 기판을 틸팅(tilting)시켜 세운 후 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)로 전달한다. 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)는 세워진 기판을 ⑧번 위치의 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 전달, 즉 로딩(loading)시킨다.Next, the non-contact type substrate tilting apparatus 300 interacts with the second standing type substrate loading or unloading apparatus 200b at the seventh position to tilting the substrate in a horizontal state, To the unloading apparatus 200b. The second stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200b transfers, or loads, the erected substrate to the second stand-up type substrate transfer apparatus 100b at the 8th position.

한편, 이와 같은 시스템 구축을 위해서는 본 실시예에 따른 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)가 요구된다.In order to construct such a system, first and second stand-up type substrate loading and unloading apparatuses 200a and 200b according to the present embodiment are required.

앞서 기술한 것처럼 제1 및 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a,200b)는 도 1 및 도 2와 같은 시스템의 설명 시 그 역할을 구별하기 위해 제1 및 제2, 그리고 참조부호를 나누어 설명한 것일 뿐 모두 동일한 장치이다.As described above, the first and second stand-up type substrate loading and unloading apparatuses 200a and 200b may include first and second stand-alone substrate loading and unloading apparatuses 200a and 200b, It is the same device which is explained separately.

따라서 이하의 설명에서는 이들을 제1 및 제2로 나누어 구별하지 않고 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)라 하여 설명한다.Therefore, in the following description, the stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200 will be described without distinguishing between the first and second embodiments.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치의 사시도이고, 도 4는 도 3의 평면도이며, 도 5는 도 3의 정면도이고, 도 6은 도 3의 측면도이며, 도 7은 제1 및 제2 사이드 그립핑 유닛의 사시도이고, 도 8은 도 7의 측면도이며, 도 9는 도 8의 단면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩방법의 순서도이다.FIG. 3 is a perspective view of a stand-up type substrate loading or unloading apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view of FIG. 3, FIG. 5 is a front view of FIG. 3, FIG. 7 is a perspective view of the first and second side gripping units, FIG. 8 is a side view of FIG. 7, FIG. 9 is a cross-sectional view of FIG. 8, And the unloading method.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)는 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시킬 수 있도록 한 것으로서, 로딩 또는 언로딩 본체(210)와, 로딩 또는 언로딩 본체(210)에 위치별로 마련되는 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220), 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230) 및 기판 인출용 그립핑 유닛(260)을 포함할 수 있다.Referring to these drawings, the stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200 according to the present embodiment receives substrates mounted on the facilities 100a and 100b (see FIG. 2) (See FIG. 2), the unloading of the substrate 100, or the loading of the substrate supplied from the lower equipment 300 or 400 (see FIG. 2) into the upper equipment 100a or 100b Or an unloading main body 210, an up or down type substrate handling unit 220 provided for each position on the loading or unloading main body 210, a horizontally driven substrate handling unit 230, 260).

로딩 또는 언로딩 본체(210)는 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200)의 외관을 이룬다.The loading or unloading body 210 forms the appearance of the stand-up type substrate loading or unloading apparatus 200 according to the present embodiment.

업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220), 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230) 및 기판 인출용 그립핑 유닛(260)을 지지해야 하기 때문에 로딩 또는 언로딩 본체(210)는 강성이 우수한 금속 프레임으로 이루어질 수 있다The loading or unloading main body 210 must be supported by a metal frame having excellent rigidity because it must support the up or down type substrate handling unit 220, the horizontally driven substrate handling unit 230 and the substrate withdrawing gripping unit 260 Can be achieved

또한 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 그대로 받아 세워진 상태로 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩시켜야 하기 때문에 로딩 또는 언로딩 본체(210)의 내부는 대형 기판이 세워진 상태로 배치되거나 이송될 수 있을 정도의 공간(space)을 갖는다. 도 1 및 도 2를 통해 전술한 것처럼 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)는 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)일 수 있고, 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)는 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)일 수 있으나 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.In addition, since the substrate erected in the up-and-down facilities 100a and 100b (see FIG. 2) must be intact and unloaded to the lower facilities 300 and 400 (see FIG. 2) And has a space such that the substrate can be placed or transported in a raised state. As described above with reference to FIGS. 1 and 2, the overhead equipment 100a, 100b (see FIG. 2) can be the first and second standing type substrate transfer apparatuses 100a, 100b and the lower equipment 300, ) May be a non-contact type substrate tilting device 300 and a non-contact type substrate transfer device 400, but the scope of the present invention is not limited to these.

업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 로딩 또는 언로딩 본체(210)에 업 또는 다운(up or down) 이동 가능하게 마련된다.The up or down type substrate handling unit 220 is provided to be movable up or down to the loading or unloading body 210.

이러한 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시키는 업 또는 다운식 기판 핸들링 단계(S10, 도 10 참조)를 진행한다. 즉 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 예컨대, 도 1 및 도 2의 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에서 세워진 기판을 받거나 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 세워진 기판을 전달하는 역할을 한다.This up or down type substrate handling unit 220 can be used to unload the substrate upright in the upper equipment 100a, 100b (see FIG. 2) or to lower the equipment 300, 400 (see FIG. 2) (S10, see Fig. 10) for loading the substrate supplied from the substrate supply unit 100a, 100b, and 100c in the upright state to the facilities 100a, 100b (see Fig. 2). That is, the up-or-down type substrate handling unit 220 receives, for example, a substrate erected in the first standing substrate transfer apparatus 100a of FIGS. 1 and 2 or a substrate erected by the second standing substrate transfer apparatus 100b .

업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 세워진 기판의 양측 사이드(side, 측단부)에 배치되어 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과, 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)와, 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)와 연결되며 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)를 업 또는 다운(up or down) 구동시키는 유닛 업 또는 다운 구동부(225)를 포함할 수 있다.The up or down type substrate handling unit 220 includes a plurality of first side gripping units 221 disposed at both sides of the erected substrate to grip the sides of the substrate, A first side gripping unit supporting part 223 for supporting the first side gripping unit 221 and a second side gripping unit supporting part 223 connected to the first side gripping unit supporting part 223, And a unit up or down driving unit 225 for driving up or down.

제1 사이드 그립핑 유닛(221)은 기판의 사이드 영역에 다수 개 배치되어 기판의 사이드를 그립핑하는 역할을 한다.A plurality of first side gripping units 221 are disposed in a side area of the substrate to grip the side of the substrate.

기판의 사이즈에 따라 제1 사이드 그립핑 유닛(221)의 개수는 적절하게 선택될 수 있는데, 본 실시예의 경우에는 한 번에 5장의 기판을 그립핑할 수 있을 정도의 개수로 적용된다. 물론, 이의 수치에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.The number of the first side gripping units 221 may be appropriately selected depending on the size of the substrate. In this embodiment, the number of the first side gripping units 221 is such that five substrates can be gripped at a time. Of course, the scope of the present invention is not limited to these numerical values.

제1 사이드 그립핑 유닛(221)은 후술할 제2 사이드 그립핑 유닛(231)과 마찬가지로 집게 방식으로 기판의 사이드를 그립핑한다. 제1 사이드 그립핑 유닛(221)에 대한 구체적인 구조는 제2 사이드 그립핑 유닛(231)의 설명 시 함께 하도록 한다.The first side gripping unit 221 grips the side of the substrate in a clamping manner like the second side gripping unit 231 described later. The specific structure of the first side gripping unit 221 is the same as that of the second side gripping unit 231.

제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)은 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 일체로 지지한다. 따라서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들은 함께 움직일 수 있다.The first side gripping unit support part 223 integrally supports a plurality of first side gripping units 221. Thus, the first side gripping units 221 can move together.

유닛 업 또는 다운 구동부(225)는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)를 업 또는 다운 구동시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 유닛 업 또는 다운 구동부(225)는 이중 리니어 가이드(linear guide)로 적용된다. 따라서 설치공간은 줄어들지만 업 또는 다운 거리는 더욱 늘어날 수 있다.The unit up or down driving unit 225 functions to drive the first side gripping unit supporting unit 223 up or down. In this embodiment, the unit up or down driver 225 is applied as a dual linear guide. Therefore, the installation space is reduced, but the up or down distance can be further increased.

수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 로딩 또는 언로딩 본체(210)에 결합되되 수평 방향을 따라 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)에 접근 또는 이격 가능한 이동식 구조물이다. 즉 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)에 접근 또는 이격되면서 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 단계(S20, 도 10 참조)를 진행한다. 여기서, 수평방향이라 함은 지면에 대한 가로 방향으로 반드시 지면과 수평이 되어야 하는 것은 아니라 할 것이다.The horizontally-driven substrate handling unit 230 is a movable structure coupled to the loading or unloading body 210 and capable of approaching or spacing up or down the substrate handling unit 220 along the horizontal direction. The horizontally-driven substrate handling unit 230 includes a horizontally-driven substrate handling stage 220 that receives or transfers the substrate from the up or down substrate handling unit 220 while approaching or separating the up or down substrate handling unit 220 S20, see Fig. 10). Here, the horizontal direction does not necessarily have to be horizontal with the ground in the lateral direction with respect to the ground.

이러한 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)을 기판을 전달하는 역할을 한다.The horizontally-driven substrate handling unit 230 serves to transfer the substrate from the up or down substrate handling unit 220 or to transfer the substrate to the up or down substrate handling unit 220.

예컨대, 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 기판이 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로 전달된 경우에는 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)이 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받지만 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 기판이 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)으로 전달된 경우에는 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)이 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로 기판을 전달한다.For example, when the substrate is transferred to the up or down type substrate handling unit 220 in the overhead equipment 100a, 100b (see FIG. 2), the horizontally driven substrate handling unit 230 is connected to the up or down substrate handling unit When the substrate is transferred from the lower apparatus (300, 400, see FIG. 2) to the horizontally-driven substrate handling unit 230, the horizontally-driven substrate handling unit 230 transfers the substrate from the up- And transfers the substrate to the unit 220.

이처럼 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)을 기판을 전달하는 역할을 하는데, 이때 역시 기판은 세워진 상태로 전달될 수 있다.The horizontally-driven substrate handling unit 230 thus serves to transfer the substrate from the up or down substrate handling unit 220 or to transfer the substrate to the up or down substrate handling unit 220, Lt; / RTI >

이러한 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)과 실질적으로 유사한 구성을 갖는다. 즉 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 기판의 사이드를 그립핑하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)과, 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)와, 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)와 연결되며, 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부(235)를 포함한다.This horizontally-driven substrate handling unit 230 has a configuration substantially similar to that of the up or down substrate handling unit 220. That is, the horizontally-driven substrate handling unit 230 includes a plurality of second side gripping units 231 disposed on both sides of the erected substrate to grip the sides of the substrate, a plurality of second side gripping units 231, A second side gripping unit support portion 233 for supporting the second side gripping unit support portion 233 and a unit horizontal drive portion 235 connected to the second side gripping unit support portion 233 for horizontally driving the second side gripping unit support portion 233, .

다시 말해, 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 기판의 사이드를 그립핑한 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 수직방향으로 업 또는 다운 구동시키는 반면, 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 기판의 사이드를 그립핑한 제2 사이드 그립핑 유닛(231)을 수평방향으로 구동시키기 때문에 그 방향만 상이할 뿐 양자의 구조는 동일하다.In other words, the up or down type substrate handling unit 220 may vertically up or down drive the first side gripping unit 221 which grips the side of the substrate, while the horizontally driven substrate handling unit 230, Since the second side gripping unit 231, which grips the side of the substrate, is driven in the horizontal direction, the structures of the second side gripping unit 231 and the second side gripping unit 231 are the same.

따라서 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛(220)과 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 적용되는 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)의 구조는 모두 동일하다.Therefore, the structures of the first side gripping unit 221 and the second side gripping unit 231 applied to the up-and-down type substrate handling unit 220 and the horizontally-driven substrate handling unit 230 are all the same.

그리고 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)들은 서로 엇갈리게 배치된다. 따라서 제2 사이드 그립핑 유닛(231)들이 수평방향으로 이동될 때, 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들에 충돌하지 않는다.The first side gripping units 221 and the second side gripping units 231 are staggered from each other. Therefore, when the second side gripping units 231 are moved in the horizontal direction, they do not collide with the first side gripping units 221.

도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 실시예에서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)은 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부(242)를 포함한다.7 to 9, in this embodiment, the first side gripping unit 221 and the second side gripping unit 231 include a pair of side grippers 241 for gripping the side of the substrate, And a side gripper driving section 242 for driving the pair of side grippers 241. [

한 쌍의 사이드 그립퍼(241)는 상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 기판의 사이드를 그립핑하는 역할을 한다.The pair of side grippers 241 are capable of approaching or separating from each other and gripping the side of the substrate while approaching each other.

제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)에 적용되는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)는 위치별로 그 길이가 다를 뿐 구조와 기능은 모두 동일하다.A pair of side grippers 241 applied to the first side gripping unit 221 and the second side gripping unit 231 have the same structure and function except that their lengths are different for each position.

사이드 그립퍼 구동부(242)는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와 연결되며, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 역할을 한다. 이러한 사이드 그립퍼 구동부(242)는 모터나 실린더 구조로 적용될 수 있다.The side gripper driving unit 242 is connected to the pair of side grippers 241 and serves to drive the pair of side grippers 241 to approach each other or to be able to move away from each other. This side gripper driving section 242 can be applied to a motor or a cylinder structure.

한편, 본 실시예에서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)에는 그립퍼 전후진 구동부(243)가 더 갖춰진다. 그립퍼 전후진 구동부(243)는 기판을 기준으로 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 전진 또는 후진시키는 역할을 한다.In the present embodiment, the first side gripping unit 221 and the second side gripping unit 231 are further provided with a gripper forward / backward driving unit 243. The gripper forward / backward driving portion 243 serves to move the pair of side grippers 241 forward or backward with respect to the substrate.

대형 기판의 경우에는 그 사이즈가 크기 때문에 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)로 기판의 사이드를 그립핑한 경우, 기판이 평평하게 펴지지 않고 굴곡질 수 있다. 이처럼 기판이 평평하게 펴지지 않고 굴곡지면 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 기판을 이송시키기 어렵기 때문에 이를 보정하기 위해 그립퍼 전후진 구동부(243)가 마련된다.In the case of a large substrate, since the size thereof is large, when the side of the substrate is gripped by the pair of side grippers 241, the substrate may be bent without being flattened. Since the substrate is not flattened like this and it is difficult to transfer the substrate to the facilities 300 and 400 (see FIG. 2) beneath the curved surface, a gripper forward and backward driving unit 243 is provided to correct the substrate.

그립퍼 전후진 구동부(243)는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)가 기판의 양 사이드를 그립핑한 경우, 사이드 그립퍼(241)들을 서로 반대 방향으로 당겨줌으로써 기판이 평평하게 펴질 수 있게끔 한다.The gripper forward / backward driving portion 243 pulls the side grippers 241 in opposite directions when the pair of side grippers 241 grips both sides of the substrate, thereby making the substrate flat.

이러한 그립퍼 전후진 구동부(243)는 고정 브래킷(B)에 위치 고정되는 실린더(243a)와, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와 연결되며, 실린더(243a)의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록(243b)과, 고정 브래킷(B)에 마련되며, 슬라이딩 블록(243b)의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일(243c)을 포함할 수 있다. 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)가 실린더(243a)에 연결되기 때문에 실린더(243a)를 구동시키면 사이드 그립퍼(241)들이 서로 반대 방향으로 이동될 수 있고, 이로 인해 기판이 평평하게 펴질 수 있다.The gripper forward and backward driving section 243 includes a cylinder 243a fixed to the fixing bracket B and a sliding block 243b connected to the pair of side grippers 241 and forward or backward by the operation of the cylinder 243a. And a sliding rail 243c provided on the fixing bracket B for guiding the sliding motion of the sliding block 243b. Since the pair of side grippers 241 are connected to the cylinder 243a, when the cylinder 243a is driven, the side grippers 241 can be moved in directions opposite to each other, whereby the substrate can be flattened.

다만, 기판의 양 사이드를 단순히 당기면 당기는 힘에 의해 기판에 피로 파괴가 발생될 소지가 있다. 따라서 피로 파괴가 일어나지 전까지만 기판을 당겨 평평한 상태가 되도록 하는 것이 무엇보다도 중용하다.However, when both sides of the substrate are simply pulled, fatigue breakage may occur in the substrate due to pulling force. Therefore, it is important that the substrate is pulled out to a flat state only until fatigue failure occurs.

이를 위해, 그립퍼 전후진 구동부(243)에는 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부(243d)가 마련된다. 본 실시예에서 피로 파괴 방지부(243d)는 상기 슬라이딩 블록(243b) 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링(243d)으로 적용된다.To this end, the gripper forward and backward driving portion 243 is provided with a fatigue fracture preventing portion 243d for preventing fatigue fracture of the substrate. In this embodiment, the fatigue fracture preventing portion 243d is applied as a torsion coil compression spring 243d provided in the sliding block 243b.

이때, 비틀림 코일 압축스프링(243d)의 일단부는 슬라이딩 블록(243b) 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 실린더(243a)의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡(243e)에 배치될 수 있다.At this time, one end of the torsion coil compression spring 243d may be disposed on one side wall of the sliding block 243b, and the other end may be disposed on the spring support cap 243e coupled to the rod of the cylinder 243a.

이에, 실린더(243a)가 일정 거리 구동된 이후에는 비틀림 코일 압축스프링(243d)의 스프링력이 작용하게 됨으로써 기판은 평평하게 펴지는 반면 기판에 피로 파괴는 일어나지 않게 된다.Thus, after the cylinder 243a is driven for a predetermined distance, the spring force of the torsion coil compression spring 243d acts to flatten the substrate, but fatigue failure does not occur on the substrate.

마지막으로, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 로딩 또는 언로딩 본체(210)의 일측 단부에 결합되며, 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 그립핑된 다수의 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 역할을 한다. 즉 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 단계(S30, 도 10 참조)를 진행한다. 다시 말해, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)와 상호작용하여 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)으로부터의 기판이 하부의 설비(300,400)로 전달되도록 하는 중간 매개체의 역할을 한다. 기판 인출용 그립핑 단계(S30) 이후에는 기판 인출용 그립핑 유닛(260)에 의해 그립핑된 기판을 전달받아 수평방향으로 틸팅시키는 기판 틸팅 단계(미도시)가 진행될 수 있다.Finally, the gripping unit 260 for pulling out the substrate is coupled to one end of the loading or unloading body 210, and draws a plurality of substrates gripped by the horizontally-driven substrate handling unit 230 one by one from the outside In order to perform the gripping. That is, the gripping unit 260 for pulling out the substrate has a gripping step S30 (see FIG. 10) for pulling out the gripped substrates from the outside, one by one, to the horizontally-driven substrate handling unit 230 Go ahead. In other words, the substrate withdrawal gripping unit 260 interacts with the underlying facility 300, 400 (see FIG. 2) to allow the substrate from the horizontally-driven substrate handling unit 230 to be transferred to the underlying facility 300, 400 It acts as an intermediate mediator. After the gripping step S30 for pulling out the substrate, a substrate tilting step (not shown) may be performed in which the substrate gripped by the gripping unit for pulling out the substrate 260 is received and tilted in the horizontal direction.

이러한 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼(261)와, 다수의 기판 상단부 그립퍼(261)와 연결되어 기판 상단부 그립퍼(261)를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부(262)를 포함한다.The gripping unit 260 for pulling out the substrate includes a plurality of substrate upper end grippers 261 for gripping the upper end of the substrate and a plurality of substrate upper end grippers 261 for driving the substrate upper end grippers 261, And a gripper driving unit 262.

수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)은 기판의 사이드를 그립핑한 상태이기 때문에 기판을 보다 원활하게 하부의 설비(300,400)로 전달하기 위해서는 기판의 상단부를 그립핑하는 편이 바람직하다. 이를 위해, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)의 기판 상단부 그립퍼(261)가 적용되는 것이다.Since the second side gripping unit 231 of the horizontally-driven substrate handling unit 230 grips the side of the substrate, in order to smoothly transfer the substrate to the lower facilities 300 and 400, It is preferable to ping. To this end, the substrate upper end gripper 261 of the substrate pulling gripping unit 260 is applied.

기판 상단부 그립퍼(261)가 기판의 상단부를 그립핑하면 기판이 평평하게 펴질 수 있기 때문에 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)가 기판을 전달받기에 유리하다. 앞서 기술한 것처럼 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)는 틸팅(tilting)되면서 기판 상단부 그립퍼(261)에 그립핑된 기판을 전달받는다.When the substrate upper end gripper 261 grips the upper end of the substrate, the lower substrate 300, 400 (see FIG. 2) is advantageous for receiving the substrate because the substrate can be flattened. As described above, the lower apparatus 300, 400 (see FIG. 2) is tilted and receives the gripped substrate on the substrate upper end gripper 261.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 예컨대 도 2처럼 ②번 위치의 제1 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200a)가 동작되어 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에 의해 이송된 세워진 기판을 세워진 상태 그대로 전달받거나(unloading), ⑦번 위치의 제2 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치(200b)는 세워진 기판을 ⑧번 위치의 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 전달시킬 수 있다(loading).As described above, according to the present embodiment, for example, when the first standing substrate loading or unloading apparatus 200a at position (2) is operated as shown in FIG. 2 and is driven by the first standing substrate transfer apparatus 100a The second standing type substrate loading or unloading apparatus 200b at the seventh position can transfer the raised substrate to the second standing type substrate transfer apparatus 100b at the eighth position Loading.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있게 된다.According to the present embodiment having the structure and function as described above, it is possible to unload the substrate erected in the upper equipment 100a and 100b (see FIG. 2) to the lower equipment 300 and 400 (see FIG. 2) It is possible to load the substrate supplied from the lower equipment 300 or 400 (see FIG. 2) into the upper equipment 100a or 100b (see FIG. 2) in a standing state, It is possible to solve various problems caused by loading or unloading of the substrate in a horizontal manner such as a limitation of application of the apparatus for the substrate, an increase in the foot print of the apparatus, a problem of applying the cassette, and the like, It is not only handled, but also has a simple structure, and does not cause any trouble to the efficiency of the cargo handling, so that it is possible to apply practical facilities.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore intended that such modifications or alterations be within the scope of the claims appended hereto.

200 : 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치 210 : 로딩 또는 언로딩 본체
220 : 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛 221 : 제1 사이드 그립핑 유닛
223 : 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부 225 : 유닛 업 또는 다운 구동부
230 : 수평구동식 기판 핸들링 유닛 231 : 제2 사이드 그립핑 유닛
233 : 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부 235 : 유닛 수평 구동부
241 : 사이드 그립퍼 242 : 사이드 그립퍼 구동부
243 : 그립퍼 전후진 구동부 243a : 실린더
243b : 슬라이딩 블록 243c : 슬라이딩 레일
243d : 피로 파괴 방지부 243e : 스프링 지지용 캡
260 : 기판 인출용 그립핑 유닛 261 : 기판 상단부 그립퍼
262 : 기판 상단부 그립퍼 구동부200: stand-up type substrate loading or unloading device 210: loading or unloading main body
220: up or down type substrate handling unit 221: first side gripping unit
223: first side gripping unit supporting part 225: unit up or down driving part
230: Horizontally driven substrate handling unit 231: Second side gripping unit
233: second side gripping unit supporting portion 235: unit horizontal driving portion
241: side gripper 242: side gripper driving part
243: gripper forward / backward driving part 243a: cylinder
243b: Sliding block 243c: Sliding rail
243d: fatigue fracture preventing portion 243e: spring supporting cap
260: Gripping unit for taking out the substrate 261: Gripper
262: substrate upper end gripper driving part

Claims (18)

로딩 또는 언로딩 본체;
상기 로딩 또는 언로딩 본체에 업 또는 다운(up or down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛;
상기 로딩 또는 언로딩 본체에 결합되되 수평 방향을 따라 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격 가능하며, 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛으로 기판을 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 유닛; 및
상기 로딩 또는 언로딩 본체의 일측 단부에 결합되며, 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 유닛을 포함하며,
상기 업 또는 다운식 기판 핸들링 유닛은,
상기 세워진 기판의 양측 사이드(side)에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛;
상기 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및
상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부를 업 또는 다운(up or down) 구동시키는 유닛 업 또는 다운 구동부를 포함하며,
상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은,
상기 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛;
상기 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및
상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부를 포함하며,
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛의 구조는 모두 동일하되 상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 서로 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.A loading or unloading body;
The loading or unloading main body is provided to be able to move up or down. The loading and unloading main body can be unloaded to a lower facility by taking up a substrate erected in the upper facility, An up or down-type substrate handling unit for loading the substrate into the above-mentioned equipment in a state of being in a state of being above the substrate;
A substrate handling unit coupled to the loading or unloading body and being capable of approaching or separating from the up or down substrate handling unit along a horizontal direction and receiving the substrate from the up or down substrate handling unit, A horizontally-driven substrate handling unit for transferring a substrate; And
And a gripping unit for gripping the substrate gripped by the horizontally-driven substrate handling unit and gripping the substrate for pulling out one by one from the outside, the gripping unit being connected to one end of the loading or unloading body,
The up or down type substrate handling unit includes:
A plurality of first side gripping units disposed on both sides of the erected substrate to grip a side of the substrate;
A first side gripping unit support for supporting the plurality of first side gripping units; And
And a unit up or down driving unit connected to the first side gripping unit support unit and driving up or down the first side gripping unit support unit,
Wherein the horizontally-driven substrate handling unit comprises:
A plurality of second side gripping units disposed on both sides of the erected substrate to grip a side of the substrate;
A second side gripping unit support for supporting the plurality of second side gripping units; And
And a unit horizontal driving unit connected to the second side gripping unit support unit and horizontally driving the second side gripping unit support unit,
Wherein the first side gripping unit and the second side gripping unit are all the same in structure, but are staggered from each other between the first side gripping unit and the second side gripping unit. Loading device. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 유닛 업 또는 다운 구동부는 이중 리니어 가이드(linear guide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.The method according to claim 1,
Wherein the unit up or down drive comprises a dual linear guide. ≪ RTI ID = 0.0 > 31. < / RTI > 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은,
상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 상기 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼; 및
상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.The method according to claim 1,
Wherein the first side gripping unit and the second side gripping unit comprise:
A pair of side grippers which are mutually accessible or spaced apart and which grip the sides of the substrate while being mutually approached; And
And a side gripper driving unit connected to the pair of side grippers and driving the pair of side grippers so that they can approach each other or separate the side grippers from each other. 제7항에 있어서,
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은,
상기 기판을 기준으로 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 전진 또는 후진시키는 그립퍼 전후진 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.8. The method of claim 7,
Wherein the first side gripping unit and the second side gripping unit comprise:
Further comprising a gripper forward / backward driving unit for moving the pair of side grippers forward or backward based on the substrate. 제8항에 있어서,
상기 그립퍼 전후진 구동부는,
고정 브래킷에 위치 고정되는 실린더;
상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 실린더의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록; 및
상기 고정 브래킷에 마련되며, 상기 슬라이딩 블록의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.9. The method of claim 8,
Wherein the gripper forward /
A cylinder fixed to the fixing bracket;
A sliding block connected to the pair of side grippers and being advanced or retracted by the operation of the cylinder; And
And a sliding rail provided on the fixing bracket and guiding a sliding operation of the sliding block. 제9항에 있어서,
상기 그립퍼 전후진 구동부는,
상기 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.10. The method of claim 9,
Wherein the gripper forward /
Further comprising a fatigue fracture preventing unit for preventing fatigue fracture of the substrate. 제10항에 있어서,
상기 피로 파괴 방지부는 상기 슬라이딩 블록 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링이며,
상기 비틀림 코일 압축스프링의 일단부는 상기 슬라이딩 블록 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 상기 실린더의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡에 배치되는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.11. The method of claim 10,
Wherein the fatigue fracture preventing portion is a torsion coil compression spring provided in the sliding block,
Wherein one end of the torsion coil compression spring is disposed on one side wall of the sliding block and the other end is disposed on a spring supporting cap coupled to the rod of the cylinder. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 기판 인출용 그립핑 유닛은,
상기 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼; 및
상기 다수의 기판 상단부 그립퍼와 연결되어 상기 기판 상단부 그립퍼를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.The method according to claim 1,
The gripping unit for pulling out the substrate,
A plurality of substrate top grippers gripping an upper end of the substrate; And
And a substrate top gripper driving unit connected to the plurality of substrate top grippers to drive the substrate top grippers. 제1항에 있어서,
상기 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치이며,
상기 하부의 설비는 세워진 상기 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치 또는 비접촉식 기판 이송장치인 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치.The method according to claim 1,
The above-mentioned facility is an upright type substrate transfer apparatus for gripping a raised substrate and transferring the substrate to a desired place,
Wherein the lower apparatus is a non-contact type substrate tilting apparatus or a non-contact type substrate transfer apparatus for horizontally laying the erected substrate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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