KR101837729B1 - 이중관 벨로우즈 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수 개의 내측 주름관과, 상기 내측 주름관 사이에 결합되는 내측 플랜지와, 상기 내측 주름관의 외측에 위치하는 복수 개의 외측 주름관 및 상기 외측 주름관 사이에 결합되고, 상기 내측 플랜지의 외주면에 결합되어 상기 내측 플랜지와 함께 이동하는 외측 플랜지를 포함하는 이중관 벨로우즈를 개시한다.
본 발명의 이중관 벨로우즈는 내측 주름관과 외측 주름관으로 형성되어 어느 하나의 주름관이 다른 하나의 주름관에 대한 보호관으로 작용하므로 어느 하나의 주름관에 리크 홀이 형성되더라도 다른 하나의 주름관이 밀폐 작용을 하므로 리크가 발생되지 않으며 교체 주기가 증가되는 효과가 있다.

Description

이중관 벨로우즈{Double Tube Bellows}
본 발명은 벨로우즈에 관한 것이다.
유리 기판에 박막을 증착하는 스퍼터링 장치는 공정이 진행되는 공정 챔버의 내부가 진공 또는 분위기 가스 상태로 유지된다. 상기 스퍼터링 장치는 공정 챔버의 외부에 장착되고 샤프트가 공정 챔버의 내부로 연장되어 전후진하면서 공정 챔버의 내부에서 부품 또는 물건을 이송하는 실린더 모듈을 구비한다. 상기 공정 챔버는 내부가 진공 또는 분위기 가스 상태로 유지되므로 실린더 모듈의 샤프트가 이동하는 영역을 외부로부터 밀폐하는 것이 필요하다.
상기 공정 챔버에서 실린더 모듈의 샤프트를 밀폐하는 수단으로 벨로우즈가 많이 사용된다. 상기 벨로우즈는 금속 재질로 형성되는 주름관을 포함하며, 실린더 모듈과 공정 챔버 사이에 장착된다. 상기 실린더 모듈은 공정 챔버의 내부로 전후진하는 샤프트를 포함한다. 상기 벨로우즈는 내측에 샤프트가 삽입되며 양측이 각각 공정 챔버와 실린더 모듈의 샤프트에 결합된다. 상기 벨로우즈는 외측이 공정 챔버와 공간상으로 연결되어 진공 또는 분위기 가스 상태를 유지하며, 내측이 대기 상태와 연결된다. 상기 벨로우즈는 샤프트가 전후진할 때 샤프트의 중심 축 방향으로 신장 또는 수축되어 길이가 가변되면서 샤프트 주위를 밀봉한다. 상기 벨로우즈는 샤프트가 전후진하는 경우에도 샤프트가 위치하는 내측 영역을 외측 영역으로부터 분리하여 밀폐한다.
상기 벨로우즈의 주름관은 금속 박판으로 형성되는 복수 개의 판형 링이 내측과 외측에서 교대로 용접되어 형성된다. 상기 벨로우즈의 주름관은 이물 입자가 판형 링 사이로 유입되는 경우에 반복적인 신장과 수축 과정에서 용접 부위가 손상되면서 리크 홀이 형성되고 리크(leak)가 발생하는 문제가 있다. 특히, 상기 벨로우즈의 내측은 공정 챔버의 내부와 연결되어 공정 챔버 내부에서 진행되는 공정 과정에서 발생되는 이물 입자의 유입 정도가 증가되므로. 벨로우즈의 수명이 단축되고 교체 주기가 짧아지는 문제가 있다.
본 발명은 리크의 발생 가능성을 감소시켜 교체 주기가 증가되는 이중관 벨로우즈를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈는 복수 개의 내측 주름관과, 상기 내측 주름관 사이에 결합되는 내측 플랜지와, 상기 내측 주름관의 외측에 위치하는 복수 개의 외측 주름관 및 상기 외측 주름관 사이에 결합되고, 상기 내측 플랜지의 외주면에 결합되어 상기 내측 플랜지와 함께 이동하는 외측 플랜지를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 내측 플랜지는 상기 내측 플랜지의 일측면에서 타측면으로 관통되어 내주면을 형성하는 내측 플랜지 홀과, 상기 내측 플랜지의 외주면에서 내주면 방향으로 소정 깊이로 형성되며, 복수 개가 상기 내측 플랜지의 외주면에 소정 간격으로 이격되어 형성되는 내측 핀 홈 및 상기 내측 플랜지의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성되는 내측 유동 홀을 포함하며, 상기 외측 플랜지는 외측 플랜지의 일측면에서 타측면으로 관통되어 내주면을 형성하는 외측 플랜지 홀과, 상기 외측 플랜지의 외주면에서 내주면으로 관통되며 상기 내측 핀 홈에 대응되는 위치에 형성되는 외측 핀 홀 및 상기 외측 플랜지의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성되는 외측 유동 홀을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 이중관 벨로우즈는 상기 내측 플랜지와 동일한 개수로 형성되며, 상기 내측 플랜지 홀에 삽입되어 결합되는 가이드 부시를 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 내측 플랜지는 상기 내측 플랜지 홀의 내주면에서 상기 내측 플랜지의 외주면 방향으로 소정 깊이의 링 형상으로 형성되는 부시 고정 홈을 더 포함하며, 상기 가이드 부시는 외주면을 따라 외측 방향으로 소정 높이로 돌출되는 링 형상으로 형성되고 상기 부시 고정 홈에 결합되는 부시 외주 링을 포함하며, 적어도 상기 내측 플랜지의 길이와 상기 내측 주름관이 수축되었을 때의 길이를 합한 길이로 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 이중관 벨로우즈는 상기 내측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 내측 주름관의 일측에 연결되는 제 1 플랜지 및 상기 내측 주름관들 중에서 가장 타측에 위치하는 내측 주름관의 타측과 상기 외측 주름관들 중에서 가장 타측에 위치하는 외측 주름관의 타측에 결합되는 제 2 플랜지를 더 포함하며, 상기 외측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 주름관에는 외측 플랜지가 결합되며, 상기 외측 플랜지는 상기 제 1 플랜지의 외주면에 결합될 수 있다.
또한, 상기 제 1 플랜지는 복수 개가 상기 제 1 플랜지의 외주면에 소정 간격으로 이격되어 형성되는 제 1 핀 홈을 더 포함하며, 상기 외측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 주름관에 결합되는 외측 플랜지는 상기 제 1 핀 홈에 대응되는 위치에 형성되는 외측 핀 홀을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 2 플랜지는 일측면에 상기 외측 주름관의 수직 단면에 대응되는 링 형상으로 형성되는 제 2 고정 링 홈 및 상기 제 2 고정 링 홈에 삽입되며 상기 제 2 고정 링 홈에 분리 가능하게 결합되는 제 2 고정 링을 포함하며, 상기 제 2 고정 링에는 상기 외측 주름관 중에서 가장 타측에 위치하는 상기 외측 주름관의 타측이 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 이중관 벨로우즈는 내측 주름관과 외측 주름관으로 형성되어 어느 하나의 주름관이 다른 하나의 주름관에 대한 보호관으로 작용하므로 어느 하나의 주름관에 리크 홀이 형성되더라도 다른 하나의 주름관이 밀폐 작용을 하여 리크가 발생되지 않으며 교체 주기가 증가되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 이중관 벨로우즈는 어느 하나의 주름관에 리크 홀이 형성되어도 그 크기가 매우 작아 이물 입자가 다른 하나의 주름관으로 유입되는 것을 차단하므로 다른 하나의 주름관에 리크 홀이 추가로 형성되는 것을 방지하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 이중관 벨로우즈는 내측 주름관과 외측 주름관이 각각 복수 개의 내측 플랜지와 외측 플랜지에 의하여 중간에서 지지되므로 전체 길이를 용이하게 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 이중관 벨로우즈는 내측 주름관과 외측 주름관을 지지하는 내측 플랜지와 외측 플랜지에 각각 기체가 흐르는 유동 홀이 형성되므로 내측 주름관과 외측 주름관 사이의 공간과 외부 공간 사이에서 기체의 흐름이 원활하여 내측 주름관과 외측 주름관이 원활하게 신장 또는 수축되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 이중관 벨로우즈는 내측에 결합되는 샤프트의 외주면에 가이드 부시가 접촉되면서 슬라이딩되므로 내측 주름관과 외측 주름관이 신장 또는 수축되는 과정에서 샤프트의 중심 축을 기준으로 과도하게 변형되거나 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈의 수직 단면도이다.
도 2는 도 1의 A-A에 대한 단면도이다.
도 3은 도 1의 좌측면도이다.
도 4는 도 1의 B에 대한 확대도이다.
도 5는 도 1의 C에 대한 확대도이다.
도 6은 이중관 벨로우즈가 공정 챔버에 장착된 상태의 단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈를 첨부된 도면을 통하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈의 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈의 수직 단면도이다. 도 2는 도 1의 A-A에 대한 단면도이다. 도 3은 도 1의 좌측면도이다. 도 4는 도 1의 B에 대한 확대도이다. 도 5는 도 1의 C에 대한 확대도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈(10)는, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 제 1 플랜지(100)와 제 2 플랜지(200)와 내측 주름관(300)과 내측 플랜지(400)와 외측 주름관(500)과 외측 플랜지(600) 및 가이드 부시(guide bush)(700)를 포함하여 형성된다.
상기 이중관 벨로우즈(10)는 제 1 플랜지(100)와 제 2 플랜지(200)와 내측 주름관(300) 및 가이드 부시(700)의 내부로 실린더 모듈의 샤프트(도 6 참조)가 관통되도록 샤프트에 결합된다.
이하의 설명에서 중심 축은 추가적인 설명이 없는 한에서는 내측 주름관(300) 또는 외측 주름관(500)의 중심 축을 의미한다. 일측과 타측은 각각 도 1을 기준으로 +X와 -X 방향을 의미한다. 수직 방향은 +Y 방향을 의미하고, 길이는 +Y 방향의 거리를 의미한다.
상기 제 1 플랜지(100)는 제 1 플랜지 홀(110) 및 제 1 핀 홈(120)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 제 1 플랜지(100)는 제 1 수용 홈(130)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 제 1 플랜지(100)는 링 형상이며, 소정 길이를 갖는 플랜지 형상으로 형성된다. 상기 제 1 플랜지(100)는 이중관 벨로우즈(10)에서 일측에 위치한다. 상기 제 1 플랜지(100)는 이중관 벨로우즈(10)가 결합되는 실린더 모듈의 샤프트(20)에 별도의 고정 수단(미도시)에 의하여 결합되어 샤프트(20)의 왕복 운동에 따라 함께 왕복 운동을 한다. 상기 제 1 플랜지(100)는 실린더 모듈과 공정 챔버의 결합 관계에 따라 공정 챔버의 내부에 위치할 수 있다. 상기 제 1 플랜지(100)는 내부식성이 있는 스테인레스 스틸과 같은 금속 재질로 형성될 수 있다.
상기 제 1 플랜지 홀(110)은 제 1 플랜지(100)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 제 1 플랜지 홀(110)은 제 1 플랜지의 내주면을 형성한다. 상기 제 1 플랜지 홀(110)은 샤프트(20)가 관통하는 경로를 제공한다.
상기 제 1 핀 홈(120)은 소정 깊이의 홈 형상으로 형성된다. 상기 제 1 핀 홈(120)은 제 1 플랜지(100)의 외주면을 따라 서로 이격되어 복수 개로 형성된다. 상기 제 1 핀 홈(120)은 전체가 서로 연결되어 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 제 1 플랜지(100)의 외주면에는 외측 플랜지(600)에서 가장 일측 방향에 위치하는 외측 플랜지(600)가 결합될 수 있다. 이때, 상기 제 1 핀 홈(120)에는 외측 플랜지(600)를 고정하는 고정 핀(100a)이 결합된다.
상기 제 1 수용 홈(130)은 제 1 플랜지(100)의 타측면에 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 제 1 내측 수용 홈(430)은 내측 주름관(300)의 수직 단면 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 제 1 수용 홈(130)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 내측 주름관(300)의 일측단의 일부가 수용되는 공간을 제공한다. 상기 제 1 수용 홈(130)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 제 1 플랜지(100)에 접하는 내측 주름관(300)의 일측단의 일부를 수용하여 내측 주름관(300)이 제 1 플랜지(100)와 밀착될 수 있도록 한다.
상기 제 2 플랜지(200)는 제 2 플랜지 홀(210) 및 제 2 플랜지 부시(220)를 포함하여 형성된다. 상기 제 2 플랜지(200)는 제 2 고정 링 홈(230)과 제 2 고정 링(240) 및 제 2 수용 홈(250)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 제 2 플랜지(200)는 링 형상이며, 소정 길이를 갖는 플랜지 형상으로 형성된다. 상기 제 2 플랜지(200)는 이중관 벨로우즈(10)에서 타측에 위치한다. 상기 제 2 플랜지(200)는 실린더 모듈이 장착되는 공정 챔버의 하우징 또는 프레임에 장착되며, 이중관 벨로우즈(10)의 신장 또는 수축 시에 이중관 벨로우즈(10)의 타측을 고정하는 역할을 한다. 또한, 상기 제 2 플랜지(200)는 실린더 모듈의 샤프트(20)가 왕복 운동할 때 샤프트(20)의 왕복 운동을 가이드하는 역할을 한다. 상기 제 2 플랜지(200)는 내부식성이 있는 스테인레스 스틸과 같은 금속 재질로 형성될 수 있다.
상기 제 2 플랜지 홀(210)은 제 2 플랜지(200)의 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀 형상으로 형성된다. 상기 제 2 플랜지 홀(210)은 샤프트(20)가 관통하는 경로를 제공한다.
상기 제 2 플랜지 부시(220)는 링 형상으로 형성되며, 외경이 제 2 플랜지 홀(210)의 내경에 대응되고 내경이 샤프트(20)의 외경에 대응되도록 형성된다. 상기 제 2 플랜지 부시(220)는 제 2 플랜지(200)의 길이에 대응되는 길이로 형성될 수 있다. 상기 제 2 플랜지 부시(220)는 제 2 플랜지 홀(210)에 결합된다. 상기 제 2 플랜지 부시(220)는 내주면이 샤프트(20)와 접촉하면서 샤프트(20)의 왕복 운동에 대한 가이드 역할을 하며, 샤프트(20)와 제 1 플랜지(100)의 직접 접촉을 방지하여 마찰력을 감소시키고 마모를 방지한다.
상기 제 2 플랜지 부시(220)는 ARLON, PTFE(bronze filled), Polyacetal(glass fiber filled) 또는 Phenol resin(synthetic fiber fabric filled)과 같은 재질로 형성될 수 있다. 상기 제 2 플랜지 부시(220)는 록타이트와 같은 접착제에 의하여 제 2 플랜지 홀(210)에 결합될 수 있다.
상기 제 2 고정 링 홈(230)은 제 2 플랜지(200)의 일측면에서 타측면으로 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 제 2 고정 링 홈(230)은 일측면에서 외측 주름관(500)이 제 2 플랜지(200)로 연장되는 영역에 외측 주름관(500)의 수직 단면에 대응되는 링 형상으로 형성된다. 상기 제 2 고정 링 홈(230)은 제 2 플랜지(200)의 외주면 방향으로 개방되어 형성될 수 있다.
상기 제 2 고정 링(240)은 외측 주름관(500)의 수직 단면 형상에 대응되는 링 형상으로 형성된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 제 2 고정 링 홈(230)의 깊이에 대응되는 길이로 형성된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 제 2 고정 링 홈(230)에 삽입된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 제 2 고정 링 홈(230)에 삽입될 때 일측면이 제 2 플랜지(200)의 일측면과 동일 평면을 이루게 된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 제 2 고정 링 홈(230)에 분리 가능하게 결합된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 볼트에 의하여 제 2 고정 링 홈(230)에 결합된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 외측 주름관(500)의 타측과 결합된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 외측 주름관(500)이 내측 주름관(300)에 결합된 후에 외측 주름관(500)의 타측과 결합된다. 상기 제 2 고정 링(240)은 외측 주름관(500)의 타측을 제 2 플랜지(200)에 고정한다.
상기 제 2 고정 링(240)은 일측면에 고정 수용 홈(245)을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 고정 수용 홈은 제 2 고정 링(240)의 일측면에 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 고정 수용 홈은 외측 주름관(500)의 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 고정 수용 홈은 외측 주름관(500)이 수축될 때 외측 주름관(500)의 타측단의 일부가 수용되는 공간을 제공한다.
상기 제 2 수용 홈(250)은 제 2 플랜지(200)의 일측면에 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 제 2 수용 홈(250)은 내측 주름관(300)의 수직 단면 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 제 2 수용 홈(250)은 일측면에서 내측 주름관(300)이 제 2 플랜지(200)에 결합되는 영역에 형성된다. 상기 제 2 수용 홈(250)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 내측 주름관(300)의 타측단의 일부가 수용되는 공간을 제공한다. 상기 제 2 수용 홈(250)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 제 2 플랜지(200)에 접하는 내측 주름관(300)의 타측단의 일부를 수용하여 내측 주름관(300)이 제 2 플랜지(200)와 밀착될 수 있도록 한다.
상기 내측 주름관(300)은 금속 박판의 주름관으로 형성된다. 상기 내측 주름관(300)은 내부식성이 있는 금속 재질로 형성된다. 예를 들면, 상기 내측 주름관(300)은 스테인레스 스틸로 형성될 수 있다. 상기 내측 주름관(300)은 금속 박판으로 형성되는 복수 개의 내측 원형 링(310)이 용접되어 형성될 수 있다. 즉, 상기 내측 주름관(300)은 서로 인접하는 내측 원형 링(310)의 외주측(310a)과 내주측(310b)이 교대로 서로 결합되어 형성될 수 있다. 한편, 상기 내측 주름관(300)은 하나의 금속 박판이 원통형으로 절곡된 후에 별도의 성형 몰드에 의하여 주름관으로 성형되어 형성될 수 있다. 상기 내측 주름관(300)은 직선 형태를 유지할 수 있는 소정 길이로 형성된다. 상기 내측 주름관(300)은 박판으로 형성되므로 길이가 길면 용접 과정 또는 조립 과정에서 변형될 수 있다. 상기 내측 주름관(300)은 길이가 길면 신장 또는 수축 과정에서 변형 또는 손상될 수 있다. 상기 내측 주름관(300)은 샤프트(20)의 외경보다 큰 내경을 가지도록 형성된다. 즉, 상기 내측 주름관(300)을 형성하는 내측 원형 링(310)의 내경이 샤프트(20)의 외경보다 큰 직경을 가지도록 형성된다.
상기 내측 주름관(300)은 복수 개로 형성될 수 있다. 상기 내측 주름관(300)은 그 사이에 내측 플랜지(400)가 위치하여 서로 연결된다. 상기 내측 주름관(300)은 복수 개가 내측 플랜지(400)에 의하여 연결되며, 이중관 벨로우즈(10)가 필요로 하는 길이로 형성된다. 상기 내측 주름관(300) 사이에는 내측 플랜지(400)가 결합된다. 상기 내측 주름관(300)중에서 가장 양측에 위치하는 내측 주름관(300)의 일측과 타측은 각각 제 1 플랜지(100)와 제 2 플랜지(200)에 결합된다.
상기 내측 플랜지(400)는 내측 플랜지 홀(410) 및 내측 핀 홈(420)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 내측 플랜지(400)는 내측 수용 홈(430)과 부시 고정 홈(440) 및 내측 유동 홀(450)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 내측 플랜지(400)는 내부식성이 있는 금속 재질로 형성된다. 예를 들면, 상기 내측 플랜지(400)는 스테인레스 스틸로 형성될 수 있다.
상기 내측 플랜지(400)는 링 형상인 플랜지 형상으로 형성된다. 상기 내측 플랜지(400)는 바람직하게는 외경이 제 1 플랜지(100)의 외경과 동일한 직경으로 형성된다. 상기 내측 플랜지(400)는 복수 개로 형성되며, 내측 주름관(300)의 개수보다 1 개가 적은 개수로 형성된다. 상기 내측 플랜지(400)는 내측 주름관(300)들 사이에 위치한다. 즉, 상기 내측 주름관(300)과 내측 플랜지(400)는 교대로 결합된다. 상기 내측 플랜지(400)는 내측 주름관(300)과 함께 내측 공간(400a)을 형성한다. 즉, 상기 내측 공간(400a)은 내측 주름관(300) 및 내측 주름관(300)의 양측에 결합되는 내측 플랜지(400)에 의하여 형성된다. 상기 내측 공간(400a)은 이중관 벨로우즈(10)가 공정 챔버에 장착되었을 때 공정 챔버의 외부와 연결되며, 공기가 유입되어 대기 상태를 유지한다.
상기 내측 플랜지(400)는 내측 주름관(300)의 신장 또는 수축에 따라 샤프트(20)의 중심 축 방향을 따라 왕복 이동한다. 상기 내측 플랜지(400)는 내측 주름관(300)의 인장 또는 수축되는 과정에서 내측 주름관(300)을 지지하며, 중심 축에 대하여 과도하게 변형되는 것을 방지한다. 상기 내측 플랜지(400)는 내측 주름관(300)의 개수를 증가시켜 이중관 벨로우즈(10)의 전체 길이를 증가시킬 수 있다.
상기 내측 플랜지 홀(410)은 내측 플랜지(400)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 내측 플랜지 홀(410)은 내측 플랜지(400)의 내주면을 형성한다. 상기 내측 플랜지 홀(410)에는 가이드 부시(700)가 삽입되어 결합된다.
상기 내측 핀 홈(420)은 내측 플랜지(400)의 외주면에서 내주면 방향으로 소정 깊이로 형성된다. 상기 내측 핀 홈(420)은 복수 개가 내측 플랜지(400)의 외주면에 소정 간격으로 이격되어 형성된다. 상기 내측 핀 홈(420)은 전체가 서로 연결되어 링 형상으로 형성될 수 있다. 상기 내측 핀 홈(420)에는 외측 플랜지(600)를 고정하는 고정 핀(100a)이 결합된다.
상기 내측 수용 홈(430)은 내측 플랜지(400)의 일측면과 타측면에 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 내측 수용 홈(430)은 내측 주름관(300)의 수직 단면 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 내측 수용 홈(430)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 내측 주름관(300)의 양측단의 일부가 수용되는 공간을 제공한다. 상기 내측 수용 홈(430)은 내측 주름관(300)이 수축될 때 내측 주름관(300)의 양측단의 일부를 각각 수용하여 내측 주름관(300)이 제 1 플랜지(100)와 밀착될 수 있도록 한다.
상기 부시 고정 홈(440)은 내측 플랜지 홀(410)의 내주면에서 내측 플랜지(400)의 외주면 방향으로 소정 깊이의 링 형상으로 형성된다. 또한, 상기 부시 고정 홈(440)은 내측 플랜지(400)의 일측면 또는 타측면으로 개방되어 형성된다. 상기 부시 고정 홈(440)은 가이드 부시(700)의 일부가 삽입되어 결합되도록 한다.
상기 내측 유동 홀(450)은 내측 플랜지(400)의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성된다. 상기 내측 유동 홀(450)은 내측 플랜지(400)의 양측에 위치하는 내측 공간(400a)들에 있는 기체 또는 공기들이 서로 유동되도록 한다. 상기 내측 주름관(300)이 신장 또는 수축되는 될 때, 내측 유동 홀(450)은 내측 공간(400a)에 있는 공기들이 원활하게 유동하여 내측 주름관(300)이 보다 원활하게 신장 또는 수축될 수 있다.
상기 외측 주름관(500)은 금속 박판의 주름관으로 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 내부식성이 있는 금속 재질로 형성된다. 예를 들면, 상기 외측 주름관(500)은 스테인레스 스틸로 형성될 수 있다. 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)과 동일한 형상으로 형성된다. 다만, 상기 외측 주름관(500)은 내경이 내측 주름관(300)의 외경보다 큰 직경으로 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)의 외측에 위치한다. 즉, 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)의 외주면과 이격되면서 외주면을 감싸는 형태로 위치한다. 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)과 함께 신장 또는 수축된다.
상기 외측 주름관(500)은 금속 박판으로 형성되는 복수 개의 외측 원형 링(510)이 용접되어 형성될 수 있다. 즉, 상기 외측 주름관(500)은 서로 인접한 외측 원형 링(510)의 외주측(510a)과 내주측(510b)이 교대로 결합되어 형성될 수 있다. 상기 외측 주름관(500)은 직선 형태를 유지할 수 있는 소정 길이로 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 박판으로 형성되므로 길이가 길면 용접 과정 또는 조립 과정에서 변형될 수 있다. 상기 외측 주름관(500)은 길이가 길면 신장 또는 수축 과정에서 변형 또는 손상될 수 있다. 상기 외측 주름관(500)은 바람직하게는 최대 수축되었을 때 내측 주름관(300)과 동일한 길이로 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)의 내측 원형 링(310)의 개수와 동일한 개수의 외측 원형 링(510)으로 형성될 수 있다. 한편, 상기 외측 주름관(500)은 하나의 금속 박판이 원통형으로 절곡된 후에 별도의 성형 몰드에 의하여 주름관으로 성형되어 형성될 수 있다.
상기 외측 주름관(500)은 복수 개가 중심 축 방향을 따라 서로 이격되어 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 내측 주름관(300)과 동일한 개수로 형성된다. 상기 외측 주름관(500)은 복수 개가 이중관 벨로우즈(10)가 필요로 하는 길이로 연결된다. 상기 외측 주름관(500)은 복수 개로 형성되는 경우에 그 사이에 외측 플랜지(600)가 위치하여 연결된다. 상기 외측 주름관(500)중에서 가장 일측에 위치하는 외측 주름관(500)은 일측이 외측 플랜지(600)에 결합된다. 상기 외측 주름관(500) 중에서 가장 타측에 위치하는 외측 주름관(500)은 타측이 제 2 플랜지(200)에 결합된다. 이때, 상기 외측 주름관(500)은 제 2 플랜지(200)의 제 2 고정 링(240)에 결합될 수 있다.
상기 외측 플랜지(600)는 외측 플랜지 홀(610) 및 외측 핀 홀(620)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 외측 플랜지(600)는 외측 수용 홈(630) 및 외측 유동 홀(640)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 외측 플랜지(500)는 내부식성이 있는 금속 재질로 형성된다. 예를 들면, 상기 외측 플랜지(500)는 스테인레스 스틸로 형성될 수 있다. 상기 외측 플랜지(600)는 링 형상인 플랜지 형상으로 형성된다. 상기 외측 플랜지(600)는 복수 개로 형성되며, 외측 주름관(500)의 개수와 동일한 개수 또는 1 개가 적은 개수로 형성된다. 상기 외측 플랜지(600)는 내측 플랜지(400)보다 1개 많은 개수로 형성된다. 다만, 상기 외측 플랜지(600)에서 가장 일측에 위치하는 외측 플랜지(600)는 제 1 플랜지(100)에 결합되므로 다른 외측 플랜지(600)와 다른 형상으로 형성될 수 있다.
상기 외측 플랜지(600)는 외측 주름관(500)들 사이에 위치한다. 즉, 상기 외측 주름관(500)과 외측 플랜지(600)는 교대로 결합된다. 상기 외측 플랜지(600)는 내측에 위치하는 내측 플랜지(400)와 결합되며, 내측 플랜지(400)와 연동하여 함께 왕복 이동한다. 상기 외측 플랜지(600)는 내주면이 제 1 플랜지(100)의 외주면에 결합된다. 상기 외측 플랜지(600)들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 플랜지(600)는 제 1 플랜지(100)에 결합된다. 상기 제 1 플랜지(100)와 내측 플랜지(400)는 동일한 외경으로 형성되므로, 외측 플랜지(600)는 제 1 플랜지(100) 또는 내측 플랜지(400)의 외주면에 각각 결합된다. 한편, 상기 외측 플랜지(600)들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 플랜지(600)는 제 1 플랜지(100)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 외측 플랜지(600)는 외측 주름관(500)과 내측 주름관(300) 및 내측 플랜지(400)와 함께 외측 공간(600a)을 형성한다. 즉, 상기 외측 공간(600a)은 외측 주름관(500)과 외측 주름관(500)의 양측에 결합되는 외측 플랜지(600)와 및 내측 주름관(300)과 내측 플랜지(400)에 의하여 형성된다. 상기 외측 공간(600a)은 외측 유동 홀(640)을 제외하고는 폐쇄된 공간으로 형성된다. 상기 외측 공간(600a)은 이중관 벨로우즈(10)가 공정 챔버에 장착되었을 때 공정 챔버의 내부와 연결되며, 진공 상태 또는 분위기 가스가 유입되어 분위기 가스 상태를 유지한다.
상기 외측 플랜지(600)는 외측 주름관(500)의 신장 또는 수축에 따라 중심 축 방향으로 왕복 이동한다. 상기 외측 플랜지(600)는 외측 주름관(500)을 지지하며, 외측 주름관(500)이 인장 또는 수축되는 과정에서 중심 축에 대하여 과도하게 변형되는 것을 방지한다.
상기 외측 플랜지 홀(610)은 외측 플랜지(600)의 일측면에서 타측면으로 관통되어 형성된다. 상기 외측 플랜지 홀(610)은 외측 플랜지(600)의 내주면을 형성한다. 상기 외측 플랜지 홀(610)에는 내측 플랜지(400)가 삽입되어 결합된다. 즉, 상기 외측 플랜지 홀(610)의 내주면에는 내측 플랜지(400)의 외주면이 결합된다.
상기 외측 핀 홀(620)은 외측 플랜지(600)의 외주면에서 내주면으로 관통되어 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)은 외측 플랜지(600)의 중심을 향하도록 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)은 복수 개가 외측 플랜지(600)의 외주면을 따라 소정 간격으로 이격되어 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)은 내측 핀 홈(420)과 동일한 개수로 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)은 외측 플랜지(600)가 내측 플랜지(400)에 결합될 때 내측 핀 홈(420)에 대응되는 위치에 형성된다. 상기 외측 플랜지(600)들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 플랜지(600)는 제 1 플랜지(100)에 형성되는 제 1 핀 홈에 대응되는 위치에 외측 핀 홀(620)이 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)은 내주면에 나사가 형성된다. 상기 외측 핀 홀(620)에는 고정 핀(100a)이 나사 결합되면서 삽입된다. 상기 고정 핀(100a)은 외측 핀 홀(620)에 나사 결합되며, 외측 플랜지(600)의 내주면으로 돌출되어 내측 플랜지(400)의 내측 핀 홈(420)에 결합된다. 상기 외측 플랜지(600)는 고정 핀(100a)에 의하여 내측 플랜지(400)와 결합되며 내측 플랜지(400)와 함께 왕복 이동한다. 상기 내측 플랜지(400)와 외측 플랜지(600)의 이동에 따라 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)은 동일한 길이로 신장 또는 수축된다.
상기 외측 수용 홈(630)은 외측 플랜지(600)의 일측면과 타측면에 링 형상의 홈으로 형성된다. 상기 외측 수용 홈(630)은 평면 형상이 외측 주름관(500)의 수직 단면 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 상기 외측 수용 홈(630)은 외측 주름관(500)이 수축될 때 외측 주름관(500)의 양측단의 일부가 수용되는 공간을 제공한다.
상기 외측 유동 홀(640)은 외측 플랜지(600)의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성된다. 상기 외측 유동 홀(640)은 외측 플랜지(600)의 양측에 위치하는 외측 공간(600a)들을 서로 연결한다. 상기 외측 플랜지(600)들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 플랜지(600)에 형성되는 외측 유동 홀(640)은 외측 공간(600a)과 외측 주름관(500)의 외부 공간을 연결한다. 상기 외측 공간(600a)들은 외측 유동 홀(640)을 통하여 순차적으로 모두 외부 공간과 연결된다. 상기 외측 공간(600a)에 있는 기체 또는 공기들은 외측 주름관(500)과 내측 주름관(300)이 신장 또는 수축될 때 서로 원활하게 유동하며, 외부 공간으로 유동한다. 따라서, 상기 외측 주름관(500)과 내측 주름관(300)은 보다 원활하게 신장 또는 수축될 수 있다. 상기 외측 공간(600a)이 완전하게 밀폐되어 있는 경우에 외측 주름관(500)과 내측 주름관(300)이 수축되는 경우에 외측 공간(600a)에 있는 공기가 수축되어 내부 압력이 발생되어 압축이 원활하지 않을 수 있다. 또한, 상기 외측 주름관(500)과 내측 주름관(300)이 신장되는 경우에 외측 공간(600a)에 음압이 형성되어 신장이 원활하지 않을 수 있다.
상기 가이드 부시(guide bush)(700)는 부시 외주 링(710)과 부시 내주 홈(720)을 포함하여 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지(400)와 동일한 개수로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 소정 길이와 내경 및 외경을 가지는 링 형상으로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 적어도 내측 플랜지(400)의 길이와 내측 주름관(300)이 수축되었을 때의 길이를 합한 길이로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 샤프트(20)의 외경에 대응되는 내경으로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지 홀(410)의 직경에 대응되는 외경으로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지(400)의 내측 플랜지 홀(410)에 삽입되어 내측 플랜지(400)와 결합된다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지(400)와 함께 왕복 운동을 한다. 상기 가이드 부시(700)는 내측에 샤프트(20)가 삽입되며, 내주면이 샤프트(20)의 외주면과 접촉하면서 내측 플랜지(400)가 샤프트(20)와 이격되도록 지지한다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지(400)와 함께 이동하면서 내측 주름관(300) 및 외측 주름관(500)이 원활하게 신장 또는 수축되도록 한다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 플랜지(400)의 길이와 내측 주름관(300)이 수축되었을 때의 길이를 합한 길이로 형성되는 경우에 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)이 수축될 때 일측면과 타측면이 서로 접하게 되며, 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)이 과도하게 수축되는 것을 방지한다. 상기 가이드 부시(700)는 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)의 수축 정도를 제한하는 스토퍼의 역할을 한다.
상기 가이드 부시(700)는 마찰 계수가 상대적으로 낮은 재질로 형성된다. 상기 가이드 부시(700)는 ARLON, PTFE(bronze filled), Polyacetal(glass fiber filled) 또는 Phenol resin(synthetic fiber fabric filled)와 같은 재질로 형성될 수 있다.
상기 부시 외주 링(710)은 외주면을 따라 외측 방향으로 소정 높이로 돌출되는 링 형상으로 형성된다. 상기 부시 외주 링(710)은 바람직하게는 상기 부시 고정 홈(440)의 깊이에 대응되는 높이로 형성된다. 상기 부시 외주 링(710)은 부시 고정 홈(440)에 삽입되어 고정된다. 상기 부시 외주 링(710)은 가이드 부시(700)가 내측 플랜지(400)와 결합되어 함께 이동하도록 한다. 상기 부시 외주 링(710)은 별도의 키 또는 고정 블록과 같은 고정 수단에 의하여 고정될 수 있다.
상기 부시 내주 홈(720)은 가이드 부시(700)의 일측면에서 타측면으로 관통되며, 내주면 방향으로 개방되어 형성된다. 상기 부시 내주 홈(720)은 가이드 부시(700)의 내주면을 따라 서로 이격되는 복수 개로 형성된다. 상기 부시 내주 홈(720)은 가이드 부시(700)와 샤프트(20)의 마찰 과정에서 발생되는 마모 입자 또는 이물 입자가 배출되는 경로를 제공한다. 상기 부시 내주 홈(720)은 내측 주름관(300)이 신장 또는 수축될 때 내측 공간(400a)의 공기가 유동하는 경로를 제공한다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 이중관 벨로우즈의 작용에 대하여 설명한다. 여기서는, 상기 이중관 벨로우즈가 평판 표시장치 제조 장치용 공정 챔버에 장착되는 경우를 설명한다. 상기 이중관 벨로우즈는 다양한 구조로 다양한 공정 챔버에 적용될 수 있음은 물론이다.
도 6은 이중관 벨로우즈가 공정 챔버에 장착된 상태의 단면도이다.
상기 이중관 벨로우즈(10)는 제 1 플랜지(100)가 실린더 모듈(20)의 샤프트(21)와 결합되고, 제 2 플랜지(200)가 공정 챔버(30)의 챔버 하우징(31)에 결합된다. 상기 제 1 플랜지(100)는 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)에 위치하고, 제 2 플랜지(200)는 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b)에 위치한다. 상기 이중관 벨로우즈(10)는 공정 챔버(30)의 챔버 하우징(31)에 형성되는 하우징 홀(32)을 관통하며 공정 챔버의 내측 공간(30a)와 외측 공간(30b)에 걸쳐서 위치한다. 상기 이중관 벨로우즈(10)는 샤프트(21)의 주위 영역을 포함하는 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b)을 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 분리하여 차단한다. 상기 이중관 벨로우즈(10)는 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)의 이중관으로 형성되므로 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)를 샤프트(20)의 주위 영역과 이중으로 분리한다.
상기 샤프트(21)는 제 1 플랜지(100)와 제 2 플랜지(200)와 내측 주름관(300)과 내측 플랜지(400) 및 가이드 부시(700)의 내부를 관통하면서 제 1 플랜지(100)와 결합된다. 이때, 상기 제 1 플랜지(100)는 별도의 커버링(23)과 함께 샤프트(21)에 결합될 수 있다. 상기 제 1 플랜지(100)와 샤프트(21) 사이에는 오링 또는 실(27)이 위치하여 제 1 플랜지(100)와 샤프트(21)의 외주면 사이를 밀폐한다.
상기 가이드 부시(700)는 내주면이 샤프트(21)의 외주면과 접촉하면서 내측 플랜지(400)와 외측 플랜지(600)가 안정적으로 지지되면서 전후진되도록 한다. 따라서, 상기 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)도 샤프트(21)의 중심축 방향을 따라 전후진하며, 샤프트(21)의 중심축 방향에 수직인 방향으로 변형되지 않아 내구성이 향상된다.
상기 제 1 플랜지(100)는 커버링(23)에 의하여 샤프트(21)에 보다 안정적으로 결합되어 샤프트(21)와 함께 전후진한다. 상기 커버링(23)은 샤프트(21)의 전후진 과정에서 이중관 벨로우즈(10)의 제 1 플랜지(100)측을 커버하여 이중관 벨로우즈(10)가 손상되는 것을 방지한다. 상기 커버링(23)은 내측에 단차부가 형성되고 샤프트(21)에 형성되는 단차부와 결합될 수 있다. 또한, 상기 커버링(23)은 샤프트(21)의 전후진 과정에서 샤프트(21)로부터 분리되지 않도록 별도의 고정핀(25)에 의하여 고정된다.
상기 제 2 플랜지(200)는 공정 챔버(30)의 챔버 하우징(31)에 결합되는 고정링(33)에 결합되어 고정된다. 상기 챔버 하우징(31)과 고정링(33) 사이에는 이중관 벨로우즈(10)의 길이 또는 샤프트(21)의 전후진 거리에 따라 추가로 지지관(35)이 결합될 수 있다. 상기 제 2 플랜지(200)와 지지관(35) 사이 및 지지관(35)과 챔버 하우징(31) 사이는 오링(37)에 의하여 밀폐된다. 따라서, 상기 지지관(35)과 외측 주름관(500) 사이의 공간은 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 연결되며 진공 상태를 유지한다. 또한, 상기 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500) 사이의 공간도 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 연결되며 진공 상태를 유지한다. 상기 내측 주름관(300)과 샤프트(21)의 외주면 사이의 공간은 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b)과 연결되며, 대기 상태를 유지한다.
상기 샤프트(21)가 공정 챔버(30)의 내측으로 전진함에 따라 샤프트(21)에 결합되어 있는 커버링(23)과 제 1 플랜지(100)가 함께 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a) 방향으로 이동한다. 상기 내측 플랜지(400)와 외측 플랜지(600)도 함께 전진하며, 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)이 함께 신장한다. 상기 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500) 사이의 공간은 외측 플랜지(600)의 외측 유동 홀(640)을 통하여 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 연결되며 진공 상태를 유지하거나 기체가 유입된다. 상기 내측 주름관(300)의 내측 공간은 내측 유동 홀(450)을 통하여 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b)과 연결되며, 외부의 공기가 유입된다. 상기 이중관 벨로우즈는 공정 챔버의 내측 공간과 외측 공간이 분리된 상태를 유지하면서 샤프트가 전진하도록 한다.
상기 샤프트(21)가 공정 챔버(30)의 외측으로 후진함에 따라 샤프트(21)에 결합되어 있는 커버링(23)과 제 1 플랜지(100)가 함께 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b) 방향으로 이동한다. 상기 내측 플랜지(400)와 외측 플랜지(600)도 함께 후진하며, 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500)이 함께 수축한다. 상기 내측 주름관(300)과 외측 주름관(500) 사이의 공간은 외측 플랜지(600)의 외측 유동 홀(640)을 통하여 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 연결되며 진공 상태를 유지하거나 기체가 유출된다. 상기 내측 주름관(300)의 내측 공간은 내측 유동 홀(450)을 통하여 공정 챔버(30)의 외측 공간(30b)과 연결되며, 유입되어 있는 공기가 외부로 유출된다. 상기 이중관 벨로우즈(10)는 공정 챔버(30)의 내측 공간(30a)과 외측 공간(30b)이 분리된 상태를 유지하면서 샤프트(21)가 후진하도록 한다.
상기 이중관 벨로우즈(10)는 외측 주름관(500)이 내측 주름관(300)을 차폐하므로, 공정 챔버(30)에서 발생되는 이물 입자들이 내측 주름관(300)으로 유입되는 것을 차단한다. 또한, 상기 외측 주름관(500)에 작은 홀과 같은 손상이 발생되더라도 이물 입자가 내측 주름관(300)으로 유입되는 것을 지연시킨다. 따라서, 상기 이중 벨로우즈(10)는 단일관으로 형성되는 일반적인 벨로우즈에 비하여 수명이 증가된다.
100: 제 1 플랜지
110: 제 1 플랜지 홀 120: 제 1 핀 홈
130: 제 1 수용 홈
200: 제 2 플랜지
210: 제 2 플랜지 홀 220: 제 2 플랜지 부시
230: 제 2 고정 링 홈 240: 제 2 고정 링
245: 고정 수용 홈 250: 제 2 수용 홈
300: 내측 주름관
310: 내측 원형 링
400: 내측 플랜지
410: 내측 플랜지 홀 420: 내측 핀 홈
430: 내측 수용 홈 440: 부시 고정 홈
450: 내측 유동 홀
500: 외측 주름관
510: 외측 원형 링
600: 외측 플랜지
610: 외측 플랜지 홀 620: 외측 핀 홀
630: 외측 수용 홈 640: 외측 유동 홀

Claims (7)

  1. 복수 개의 내측 주름관과,
    상기 내측 주름관 사이에 결합되는 내측 플랜지와,
    상기 내측 주름관의 외측에 위치하는 복수 개의 외측 주름관 및
    상기 외측 주름관 사이에 결합되고, 상기 내측 플랜지의 외주면에 결합되어 상기 내측 플랜지와 함께 이동하는 외측 플랜지를 포함하며,
    상기 내측 플랜지는
    상기 내측 플랜지의 일측면에서 타측면으로 관통되어 내주면을 형성하는 내측 플랜지 홀과, 상기 내측 플랜지의 외주면에서 내주면 방향으로 소정 깊이로 형성되며, 복수 개가 상기 내측 플랜지의 외주면에 소정 간격으로 이격되어 형성되는 내측 핀 홈 및 상기 내측 플랜지의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성되는 내측 유동 홀을 포함하며,
    상기 외측 플랜지는
    외측 플랜지의 일측면에서 타측면으로 관통되어 내주면을 형성하는 외측 플랜지 홀과, 상기 외측 플랜지의 외주면에서 내주면으로 관통되며 상기 내측 핀 홈에 대응되는 위치에 형성되는 외측 핀 홀 및 상기 외측 플랜지의 외주면과 내주면 사이에 일측면에서 타측면으로 관통되는 홀로 형성되는 외측 유동 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측 플랜지와 동일한 개수로 형성되며, 상기 내측 플랜지 홀에 삽입되어 결합되는 가이드 부시를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 내측 플랜지는 상기 내측 플랜지 홀의 내주면에서 상기 내측 플랜지의 외주면 방향으로 소정 깊이의 링 형상으로 형성되는 부시 고정 홈을 더 포함하며,
    상기 가이드 부시는 외주면을 따라 외측 방향으로 소정 높이로 돌출되는 링 형상으로 형성되고 상기 부시 고정 홈에 결합되는 부시 외주 링을 포함하며, 적어도 상기 내측 플랜지의 길이와 상기 내측 주름관이 수축되었을 때의 길이를 합한 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 내측 주름관의 일측에 연결되는 제 1 플랜지 및
    상기 내측 주름관들 중에서 가장 타측에 위치하는 내측 주름관의 타측과 상기 외측 주름관들 중에서 가장 타측에 위치하는 외측 주름관의 타측에 결합되는 제 2 플랜지를 더 포함하며,
    상기 외측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 주름관에는 외측 플랜지가 결합되며, 상기 외측 플랜지는 상기 제 1 플랜지의 외주면에 결합되는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 플랜지는 복수 개가 상기 제 1 플랜지의 외주면에 소정 간격으로 이격되어 형성되는 제 1 핀 홈을 더 포함하며,
    상기 외측 주름관들 중에서 가장 일측에 위치하는 외측 주름관에 결합되는 외측 플랜지는 상기 제 1 핀 홈에 대응되는 위치에 형성되는 외측 핀 홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 플랜지는 일측면에 상기 외측 주름관의 수직 단면에 대응되는 링 형상으로 형성되는 제 2 고정 링 홈 및 상기 제 2 고정 링 홈에 삽입되며 상기 제 2 고정 링 홈에 분리 가능하게 결합되는 제 2 고정 링을 포함하며,
    상기 제 2 고정 링에는 상기 외측 주름관 중에서 가장 타측에 위치하는 상기 외측 주름관의 타측이 결합되는 것을 특징으로 하는 이중관 벨로우즈.
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