KR101824069B1 - Wire bonder distribution system and magazine transferring method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법에 관한 것으로, 와이어 본더 물류 설비는 복수개의 와이어 본더(10)와, 상기 와이어 본더(10)에 제공되는 매거진(M)을 저장하는 매거진 버퍼(180)를 구비한 스토커(100)와; 스토커(100)나 와이어 본더(10)로 매거진(M)을 그립하여 공급하거나 배출하는 그립퍼(320)를 갖는 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)로 구성되고, 이와 같이 구성된 와이어 본더 물류 설비에서 랙 마스터 및 매거진 트랜스퍼 로봇 장치를 이용하여 매거진을 이송하는 방법을 제공한다.The present invention relates to a wire bonder logistics facility and a magazine transfer method thereof. The wire bonder logistics facility includes a plurality of wire bonders (10), a magazine buffer (180) for storing a magazine A stocker (100) provided with a stator (100); And a magazine transfer robot apparatus 300 having a gripper 320 for gripping and supplying or discharging the magazine M to the stocker 100 or the wire bonder 10. In the wire bonder distribution apparatus thus configured, A method of transferring a magazine using a magazine transfer robot apparatus is provided.

Description

와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법{Wire bonder distribution system and magazine transferring method thereof}Technical Field [0001] The present invention relates to a wire bonder distribution system and a magazine transferring method thereof,

본 발명은 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법에 관한 것으로, 특히 매거진 트랜스퍼 로봇(MTR; Magazine Transfer Robot)을 이용하여 스토커로부터 와이어 본더에 매거진을 공급 및 배출할 수 있는 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire bonder distribution facility and a magazine transfer method thereof, and more particularly to a wire bonder distribution facility capable of supplying and discharging a magazine from a stocker to a wire bonder using a magazine transfer robot (MTR) And a transfer method.

종래, 반도체 제조설비는 다수개의 기판을 보관하는 매거진을 보관하는 스토커와, 상기 기판의 단위공정이 이루어지는 단위공정장치 사이에서 자동 반송장치에 의해 상기 매거진이 이송되도록 형성되어 있다. 자동 반송장치는 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위공정장치 사이에서 복수개의 매거진을 순차적으로 이동시킬 수 있다.Conventionally, a semiconductor manufacturing facility is formed such that the magazine is transported by an automatic transport device between a stocker for storing a magazine for storing a plurality of substrates and a unit processing apparatus for unit processing of the substrate. The automated teller machine can sequentially move a plurality of magazines between the stocker and the unit processing apparatus according to a set program.

한국공개특허공보 제10-2009-0067236호(특허문헌 1)는 다수개의 웨이퍼의 단위공정을 수행하는 단위공정장치; 상기 단위공정장치에서 단위공정이 완료된 상기 웨이퍼를 탑재하는 제 1 카세트를 출고시키는 로드/언로드 포트; 상기 로드/언로드 포트를 통해 상기 단위공정장치 내에 입고되어야 할 제 2 카세트를 보관하는 스토커; 상기 스토커와 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트 사이에서 상기 제 1 및 제 2 카세트를 이동시키는 자동반송장치; 및 상기 단위공정장치에서 해당 단위공정이 완료된 다수개의 웨이퍼가 탑재된 상기 제 1 카세트가 출고되기 전에 상기 자동반송장치에 의해 제 2 카세트를 이송시킬 수 있도록 상기 단위공정장치의 로드/언로드 포트를 통해 출고되는 제 1 카세트를 임시로 대기시키는 임시 버퍼장치로 이루어져 있다.Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0067236 (Patent Document 1) discloses a unit processing apparatus for performing a unit process of a plurality of wafers; A load / unload port for discharging a first cassette for mounting the wafer on which the unit process is completed in the unit processing apparatus; A stocker for storing a second cassette to be received in the unit processing apparatus through the load / unload port; An automatic transport device for moving the first and second cassettes between the stocker and the load / unload port of the unit processing apparatus; And a load / unload port of the unit processing apparatus so that the second cassette can be transferred by the automatic transfer apparatus before the first cassette having a plurality of wafers loaded thereon is transferred from the unit processing apparatus And a temporary buffer device for temporarily waiting for the first cassette to be dispatched.

상기 특허문헌 1은 단위공정장치가 원형 형태로 배치된 레일의 일측에 배치되어 반대 방향에는 스토커가 카세트를 공급할 수 없고 아울러, 원형 형태로 배치되므로 단위공정장치로 카세트를 제공하는 작업속도가 느리게 되는 문제점을 내포하고 있다.In the above-described Patent Document 1, since the unit processing apparatus is disposed on one side of a rail arranged in a circular shape, the stocker can not supply the cassette in the opposite direction and is disposed in a circular shape, so that the operation speed of providing the cassette with the unit processing apparatus becomes slow It has a problem.

: 한국공개특허공보 제10-2009-0067236호(공개일: 2009.06.25): Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2009-0067236 (Published on June 25, 2009)

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 와이어 본더에 매거진 트랜스터 로봇을 이용하여 매거진을 공급 및 배출할 수 있는 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법을 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a wire bonder distribution facility capable of supplying and discharging a magazine using a magazine transmitter robot to a wire bonder, and a magazine transfer method thereof.

본 발명의 다른 목적은 스토커에서 매거진을 확실히 검사한 후 와이어 본더에 제공하게 되므로 작업 불량을 줄일 수 있고 아울러 불량 매거진에 수용된 웨이퍼를 작업하는 작업시간도 줄이게 되어 전반적으로 작업 효율을 향상시킬 수 있는 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a wire bonder capable of reducing work defects as well as reducing work time for working wafers accommodated in a defective magazine, And a method of transporting the magazine.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비는, 인라인으로 배치된 복수개의 와이어 본더와; 상기 복수개의 와이어 본더의 일측에 배치되며, 와이어 본더에 제공되는 매거진을 저장하는 매거진 버퍼를 구비한 스토커와; 상기 복수개의 와이어 본더의 일측에 인라인으로 배치된 레일을 따라 이동하며, 스토커나 와이어 본더로 매거진을 그립하여 공급하거나 배출하는 그립퍼를 갖는 매거진 트랜스퍼 로봇 장치로 구성되고, 상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치는 스토커로부터 매거진을 그립하여 레일을 따라 이동하여 와이어 본더에 제공하며 와이어 본더로부터 빈 매거진을 그립하여 레일을 따라 이동하여 스토커의 컨베이어로 배출하도록 구성되는 점에 있다.The wire bonder distribution system of the present invention comprises: a plurality of wirebonds arranged in-line; A stocker disposed on one side of the plurality of wirebonds and having a magazine buffer for storing a magazine provided on the wire bonder; And a magazine transfer robot apparatus which moves along a rail disposed inline on one side of the plurality of wire bonders and which has a gripper for gripping and supplying or discharging the magazine with a stocker or a wire bonder and the magazine transfer robot apparatus The magazine is gripped and moved along the rail to be provided to the wire bonder, and the empty magazine is gripped from the wire bonder, moved along the rail, and discharged to the conveyor of the stocker.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비의 매거진 이송방법은 매거진을 3단 형태의 컨베이어의 매거진 투입부에 투입하는 단계(S10)와; 상기 컨베이어에 투입된 매거진을 비젼장치에 의해 비젼 테스트를 수행하는 단계(S20)와; 상기 매거진의 내측에 수용된 기판을 매핑장치에 의해 매핑 테스트를 수행하는 단계(S30)와; 매핑 테스트가 완료된 매거진을 랙 마스터로 이동하는 단계(S40)와; 랙 마스터에 의해 이동된 매거진을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼로 이동하는 단계(S50)와; 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼로부터 매거진을 소터 로봇으로 이동시키는 단계(S60)와; 랙 마스터에 의해 이동된 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 컨베이어의 스플릿 컨베이어로 이동시키는 단계(S70)와; 매거진 트랜스퍼 컨베이어로 이동된 매거진을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치에 의해 와이어 본더, 보조 버퍼, 매거진 트랜스퍼 컨베이어의 머지 컨베이어 중의 하나로 이동시키는 단계(S80)와; 상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어의 머지 컨베이어로 이동된 매거진을 다시 랙 마스터로 이동시키는 단계(S90)와; 랙 마스터에 의해 이동된 매거진을 상기 컨베이어의 매거진 배출부, 불량 매거진 배출부, 매거진 버퍼 중의 하나로 이동시키는 단계(S100)를 포함하는 점에 있다.The magazine transfer method of the wire bonder distribution facility of the present invention comprises the steps of: (S10) inputting a magazine to a magazine input portion of a three-stage conveyor; (S20) of performing a vision test by a vision device on a magazine placed in the conveyor; A step (S30) of performing a mapping test by the mapping device on the substrate housed inside the magazine; Moving the magazine to which the mapping test has been completed to the rack master (S40); Moving the magazine moved by the rack master to a merge and split buffer (S50); Moving the magazine from the merge and split buffer to the sorter robot (S60); Moving the magazine (M) moved by the rack master to the split conveyor of the magazine transfer conveyor (S70); Moving the magazine moved by the magazine transfer conveyor to one of the merge conveyors of the wire bonder, the auxiliary buffer, and the magazine transfer conveyor by the magazine transfer robot device (S80); Moving the magazine transferred to the merge conveyor of the magazine transfer conveyor to the rack master (S90); And moving the magazine moved by the rack master to one of the magazine discharge portion, the bad magazine discharge portion, and the magazine buffer of the conveyor (S100).

본 발명의 와이어 본더 물류 설비는 매거진 트랜스퍼 로봇을 이용하여 와이어 본더에 매거진을 연속적으로 제공하게 되므로 와이어 본더가 휴지 시간이 없이 연속적으로 작업을 수행하게 되어 작업효율이 향상되는 이점이 있다.Since the magazine transfer robot of the present invention provides the magazine continuously to the wire bonder, the wire bonder can continuously perform work without a downtime, thereby improving the working efficiency.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법은 매거진을 비젼 검사 및 매핑 검사를 수행하여 초기에 불량이 없는 매거진을 와이어 본더에 제공하게 되므로 작업 효율을 극대화시킬 수 있고 아울러, 복수개의 버퍼를 제공하게 되므로 와이어 본더에 매거진의 공급시간을 줄이게 되어 전체적인 작업 시간을 줄일 수 있는 이점이 있다.The method of conveying a magazine in a wire bonder logistics facility of the present invention provides a magazine having no defects to a wire bonder at the initial stage by performing a vision inspection and a mapping inspection of a magazine to maximize operation efficiency and to provide a plurality of buffers The supply time of the magazine to the wire bonder is shortened, thereby reducing the overall working time.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 와이어 본더 물류 설비를 개략적으로 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 요부인 스토커를 나타낸 정면도,
도 3은 본 발명의 요부인 스토커의 3단 형태의 컨베이어를 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명의 요부인 비젼장치를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명의 요부인 매핑 장치를 나타낸 사시도,
도 6 내지 도 10은 본 발명의 요부인 랙 마스터를 나타낸 사시도,
도 11은 본 발명의 요부인 매거진 버퍼를 나타낸 사시도,
도 12는 본 발명의 요부인 머지 앤드 스플릿 버퍼를 나타낸 정면도,
도 13은 본 발명의 요부인 매거진 트랜스퍼 컨베이어를 나타낸 사시도,
도 14 내지 도 18은 본 발명의 요부인 소터 로봇을 나타낸 사시도,
도 19는 본 발명의 요부인 매거진 트랜스퍼 로봇 장치를 나타낸 사시도,
도 20 및 도 21은 본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법을 나타내는 플로우 차트,
도 22는 본 발명의 요부인 단계(S40)이후 매거진을 보낼 곳을 판단하는 단계를 나타낸 블럭도,
도 23은 본 발명의 요부인 단계(S80)를 구체적으로 나타낸 블럭도이다.1 is a perspective view schematically showing a wire bonder distribution system according to an embodiment of the present invention,
2 is a front view showing a stalker which is a main part of the present invention;
3 is a perspective view showing a three-stage conveyor of a stocker, which is a main part of the present invention,
4 is a perspective view showing a vision device as a main part of the present invention,
5 is a perspective view showing a mapping device which is a main part of the present invention;
6 to 10 are perspective views showing a rack master which is a main part of the present invention,
11 is a perspective view showing a magazine buffer which is a main part of the present invention,
12 is a front view showing a merge-and-split buffer which is a main part of the present invention;
13 is a perspective view showing a magazine transfer conveyor, which is a main part of the present invention,
14 to 18 are perspective views showing a sorter robot which is a main part of the present invention,
FIG. 19 is a perspective view showing a magazine transfer robot apparatus which is a main part of the present invention,
20 and 21 are flowcharts showing a magazine transfer method in the wire bonder distribution facility of the present invention,
FIG. 22 is a block diagram showing a step of determining where a magazine is to be sent after step S40, which is a main part of the present invention;
23 is a block diagram specifically showing a step (S80) which is a main part of the present invention.

이하, 본 발명의 와이어 본더 물류 설비의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a wire bonder distribution system according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 와이어 본더(10)와, 스토커(100) 및 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(Magazine transfer robot apparatus; 300)로 크게 이루어지게 된다.The wire bonder distribution system of the present invention comprises a wire bonder 10, a stocker 100, and a magazine transfer robot apparatus 300, as shown in FIGS. 1 and 2.

상기 복수개의 와이어 본더(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 인라인으로 배치된다. 그리고, 상기 스토커(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 복수개의 와이어 본더(10)의 일측에 배치되며, 와이어 본더(10)에 제공되는 매거진(M)을 저장하는 매거진 버퍼(180)를 구비하게 된다. 그리고, 상기 스토커(100)의 구체적인 구성요소는 후술하기로 한다.The plurality of wire bonders 10 are arranged in-line, as shown in Fig. 1 and 2, the stocker 100 is disposed at one side of the plurality of wire bonders 10 and includes a magazine buffer M for storing a magazine M provided in the wire bonder 10, (180). Specific components of the stocker 100 will be described later.

상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 복수개의 와이어 본더(10)의 일측에 인라인으로 배치된 레일(310)을 따라 이동하며, 스토커(100)나 와이어 본더(10)로 매거진(M)을 그립하여 공급하거나 배출하는 그립퍼(320)를 구비하게 된다(도 19참조). 상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 스토커(100)로부터 매거진(M)을 그립하여 레일(310)을 따라 이동하여 와이어 본더(10)에 제공하며 와이어 본더(10)로부터 빈 매거진(M)을 그립하여 레일(310)을 따라 이동하여 스토커(100)의 컨베이어로 배출하는 기능을 수행하게 된다.1, the magazine transfer robot apparatus 300 moves along a rail 310 disposed inline on one side of the plurality of wire bonders 10, and the magazine transfer robot apparatus 300 moves the stacker 100 or the wire bonder 10 And a gripper 320 for gripping and supplying or discharging the magazine M (see FIG. 19). The magazine transfer robot apparatus 300 grips the magazine M from the stocker 100 and moves along the rail 310 to provide the magazine M to the wire bonder 10 and the empty magazine M from the wire bonder 10, And moves along the rail 310 and discharges it to the conveyor of the stocker 100.

상기 스토커(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 3단 형태의 컨베이어(110)와, 비젼장치(120)와, 매핑장치(130)와, 매거진 이동장치(140)와, 랙 마스터(170)와, 매거진 버퍼(180)와, 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)와, 소터 로봇(200) 및 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)로 크게 이루어지게 된다.2, the stocker 100 includes a three-stage conveyor 110, a vision device 120, a mapping device 130, a magazine moving device 140, a rack master 170 A magazine buffer 180, a merge and split buffer 190, a sorter robot 200, and a magazine transfer conveyor 250. The magenta and yellow toner cartridges 200,

상기 3단 형태의 컨베이어(110)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 테이블(105)의 거의 중앙에 간격을 두고 배치되며, 매거진(M)을 투입하기 위한 매거진 투입부(102)를 구비한 컨베이어와, 매거진(M)을 배출하기 위한 매거진 배출부(104)를 구비한 컨베이어와, 불량 매거진(M)을 배출하기 위한 불량 매거진 배출부(106)를 구비한 컨베이어로 이루어져 3단 형태로 구성된다. 상기 매거진 투입부(102)를 구비한 컨베이어에는 사용자가 매거진(M)을 수동으로 투입하거나 별도의 투입장치(도시되지 않음)에 의해 자동으로 투입하게 된다.As shown in FIGS. 2 and 3, the three-stage conveyor 110 is disposed at a substantially central portion of the table 105, and includes a magazine input portion 102 for inputting the magazine M And a conveyor having a conveyor provided with a magazine discharge portion 104 for discharging the magazine M and a defective magazine discharge portion 106 for discharging the defective magazine M, . The magazine M is manually inserted into the conveyor provided with the magazine insertion portion 102 or automatically inserted by a separate charging device (not shown).

상기 비젼장치(120)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 3단 형태의 컨베이어(110)의 매거진 투입부(102)의 일측에 배치되고, 매거진(M)을 그립하는 그립장치(112)와, 상기 그립장치(112)의 상부에 배치된 지지판(114)의 일측에 배치된 카메라(116)와, 상기 카메라(116)의 하부 일측에 배치된 조명(118)과, 상기 지지판(114)의 중앙에 배치된 제1 풀리(122)와 상기 제1 풀리(122)와 벨트(124)에 의해 상호 연결된 제2 풀리(126) 및 상기 제2 풀리(126)에 연결된 모터(128)를 갖는 회전장치(125)로 이루어지게 된다.4, the vision device 120 includes a grip device 112 disposed at one side of the magazine input portion 102 of the three-stage conveyor 110 and gripping the magazine M, A camera 116 disposed on one side of a support plate 114 disposed on the upper portion of the grip device 112, an illumination 118 disposed on a lower side of the camera 116, A first pulley 122 disposed centrally and a second pulley 126 interconnected by the first pulley 122 and a belt 124 and a motor 128 coupled to the second pulley 126. [ And a device 125.

상기 비젼장치(120)의 그립장치(112)는 도 4에 도시된 바와 같이, 실린더(111)와, 상기 실린더(111)에 연결된 로드(113)와, 상기 로드(113)에 연결되며 로드(113)의 이동에 따라 이동하여 매거진(M)을 그립하는 그립부재(115)로 이루어지게 된다.4, the grip device 112 of the vision device 120 includes a cylinder 111, a rod 113 connected to the cylinder 111, a rod 113 connected to the rod 113, And a grip member 115 that moves according to the movement of the grip member 115 to grip the magazine M. [

매거진(M)이 매거진 투입부(102)로 진입 후 센서(137)에 의해 정지되고, 후술하는 매거진 이동장치(140)에 의해 매거진(M)이 상승되면 상기 비젼장치(120)의 카메라(116)는 매거진(M)의 상부에 형성된 화살표(→)의 방향을 식별하게 된다. 화살표가 올바른 방향인 경우에는 다음 컨베이어로 진입하게 되고, 화살표 방향이 틀린 경우에는 그립장치(112)에 의해 매거진(M)을 그립하고 회전장치(125)의 모터(128)로 180°회전한 다음 컨베이어로 진입하게 된다. 상기 모터(128)는 서보 모터를 적용하게 된다.When the magazine M enters the magazine input portion 102 and then is stopped by the sensor 137 and the magazine M is raised by the magazine moving device 140 described later, the camera 116 of the vision device 120 ) Identifies the direction of the arrow (?) Formed on the upper part of the magazine M. If the direction of the arrow is correct, the next conveyor enters. If the direction of the arrow is wrong, the magazine M is gripped by the grip device 112 and rotated 180 degrees by the motor 128 of the rotating device 125 And enters the conveyor. The motor 128 applies a servo motor.

상기 회전장치(125)는 지지판(114)의 중앙에 배치된 제1 풀리(122)와, 상기 제1 풀리(122)와 벨트(124)에 의해 상호 연결된 제2 풀리(126)와, 상기 제2 풀리(126)에 연결된 모터(128)로 이루어지게 된다. 즉, 모터(128)를 구동함에 의해 지지판(114)의 하부에 배치된 그립장치(112)가 매거진(M)을 그립한 후 180° 회전하게 된다.The rotating device 125 includes a first pulley 122 disposed at the center of the support plate 114, a second pulley 126 connected to the first pulley 122 by a belt 124, And a motor 128 connected to the two pulleys 126. That is, by driving the motor 128, the grip device 112 disposed at the lower portion of the support plate 114 grips the magazine M and rotates 180 degrees.

상기 매핑장치(130)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 비젼장치(120)의 후방에 배치되고, 브라켓(131)의 일측에 배치된 모터(132)와, 상기 모터(132)의 축에 연결된 볼스크류(134)와, 상기 볼스크류(134) 일측에 배치되어 볼스크류(134)의 이동에 따라 이동하는 엘엠 가이드(136)와, 상기 엘엠 가이드(136)에 연결된 절곡된 형태의 지지판(135)에 배치된 매핑 센서(138)로 이루어지게 된다.5, the mapping device 130 includes a motor 132 disposed at a rear side of the vision device 120 and disposed at one side of the bracket 131, An ELM guide 136 disposed on one side of the ball screw 134 and moving according to the movement of the ball screw 134 and a bent support plate 136 connected to the ELM guide 136 And a mapping sensor 138 disposed at a predetermined position.

상기 매핑장치(130)는 도 5에 도시된 바와 같이, 일측에 매거진(M)내의 기판(S)을 얼라이닝하는 얼라이닝 장치(150)가 배치되고, 상기 얼라이닝 장치(150)는 브라켓(131)의 일측에 배치된 가이드 판(152)과, 상기 가이드 판(152)을 누르는 누름부재(154)와, 상기 누름부재(154)에 연결된 실린더(156)로 이루어지게 된다.5, an alignment device 150 for aligning the substrate S in the magazine M is disposed on one side of the mapping device 130, and the alignment device 150 includes a bracket (not shown) A pressing member 154 for pressing the guide plate 152 and a cylinder 156 connected to the pressing member 154. The pressing member 154 and the cylinder 156 are connected to each other.

상기 매핑장치(130)는 매핑 센서(138)가 상부에서 하부로 이동하면서 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 수량을 확인하게 된다. 기판(S)의 수량의 수량이 확인되면 후술하는 매거진 업/다운 실린더(144)가 하강하여 다음 공정을 진행하게 된다.The mapping device 130 confirms the number of the substrates S accommodated in the magazine M while the mapping sensor 138 moves from the top to the bottom. When the quantity of the substrate S is confirmed, the magazine up / down cylinder 144, which will be described later, descends and proceeds to the next step.

상기 매거진 이동장치(140)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 매핑장치(130)의 하방에 배치된 베이스 플레이트(142)와, 상기 베이스 플레이트(142)의 중앙에 배치되고 매거진(M)을 이동시키는 매거진 업/다운 실린더(144)와, 상기 베이스 플레이트(142)의 양측에 배치된 로드(146)로 이루어지게 된다. 상기 매거진 이동장치(140)는 매거진 업/다운 실린더(144)를 동작시켜 상부에 배치된 매거진(M)을 비젼검사나 매핑검사를 수행하게 한 후, 상기 검사들이 종료되면 매거진 업/다운 실린더(144)를 하강시키게 구성된다.5, the magazine moving device 140 includes a base plate 142 disposed below the mapping device 130, a magazine M disposed at the center of the base plate 142, A magazine up / down cylinder 144 for moving the base plate 142, and a rod 146 disposed on both sides of the base plate 142. The magazine moving apparatus 140 operates the magazine up / down cylinder 144 to perform a vision check or a mapping check on the magazine M disposed at the upper portion thereof. When the magazine up / 144).

상기 랙 마스터(170)는 도 6 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 3단 형태의 컨베이어(110)의 후방에 배치되며, 매거진(M)을 로딩 및 언로딩하는 매거진 그립부재(380)를 구비하게 된다.6 to 10, the rack master 170 is disposed behind the three-stage conveyor 110 and includes a magazine grip member 380 for loading and unloading the magazine M .

상기 랙 마스터(170)는 상기 3단 형태의 컨베이어(110)의 후방에 배치되며, 매거진(M)을 로딩 및 언로딩하는 매거진 그립부재(380)를 구비하게 된다. 또한, 상기 랙 마스터(170)는 X축 방향 이동부재(350)와, Y축 방향 이동부재(370)와, 매거진 그립부재(380)와, θ축 방향 이동부재(360) 및 Z축 방향 이동부재(390)로 크게 이루어지게 된다.The rack master 170 is disposed behind the three-stage conveyor 110 and has a magazine grip member 380 for loading and unloading the magazine M. [ The rack master 170 includes an X-axis direction moving member 350, a Y-axis direction moving member 370, a magazine grip member 380, a? -Axis moving member 360, and a Z- Member 390 as shown in FIG.

상기 X축 방향 이동부재(350)는 도 8에 도시된 바와 같이, 엘엠 레일(72)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(71)과, 상기 베이스 판(71)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(72)과 연결된 엘엠 가이드(74)를 구비한 상부판(75)과, 상기 베이스 판(71)의 엘엠 레일(72)의 사이에 배치된 랙(73)과, 상기 랙(73)에 치합되는 피니언(76)과, 상기 피니언(76)에 연결되는 구동원(78)으로 이루어지게 된다.8, the X-axis direction shifting member 350 includes a base plate 71 having an M-rail 72 spaced therefrom, and a base plate 71 disposed on the base plate 71, A rack 73 disposed between the LM rail 72 of the base plate 71 and an upper plate 75 having an LM guide 74 connected to the rack 72, , And a driving source (78) connected to the pinion (76).

상기 구동원(78)인 모터를 동작시키게 되면, 구동원(78)과 연결된 피니언(76)이 회전하게 되고 이에 따라 피니언(76)이 랙(73)을 따라 이동하게 되므로 상부판(75)이 엘엠 레일(72)을 따라 이동하게 된다.The pinion 76 connected to the driving source 78 is rotated so that the pinion 76 is moved along the rack 73. Thus, (72).

상기 매거진 그립부재(380)는 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스 판(171)의 일측에 배치되며, 매거진(M)을 그립하기 위한 그립퍼 블럭(175)과, 상기 그립퍼 블럭(175)을 동작시키는 그립퍼 실린더(176)로 이루어지게 된다. 상기 상부판(173)에 연결된 안내판(198)에는 매거진 감지센서(197)이 배치된다.7, the magazine grip member 380 is disposed on one side of the base plate 171 and includes a gripper block 175 for gripping the magazine M, And a gripper cylinder 176 for driving the gripper. A magazine detection sensor 197 is disposed on the guide plate 198 connected to the upper plate 173.

Y축 방향 이동부재(370)는 도 7에 도시된 바와 같이, 엘엠 레일(172)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(171)과, 상기 베이스 판(171)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(172)과 연결된 엘엠 가이드(174)를 구비한 상부판(173)과, 상기 베이스 판(171)의 엘엠 레일(172)의 사이에 배치된 제1 및 제2 풀리(171a,171b)과, 상기 제1 및 제2 풀리(171a,171b)의 사이에 끼워진 벨트(172a)와, 상기 제1 풀리(171a)에 연결되는 구동원(178)으로 이루어지게 된다.7, the Y-axis direction moving member 370 includes a base plate 171 on which the M-rails 172 are disposed with an interval, and a Y-axis direction moving member 372 disposed on the base plate 171, First and second pulleys 171a and 171b disposed between the electromagnet 172 of the base plate 171 and an upper plate 173 having an electromagnet guide 174 connected to the electromagnet 172, A belt 172a sandwiched between the first and second pulleys 171a and 171b and a driving source 178 connected to the first pulley 171a.

상기 구동원(178)인 서보 모터를 동작시키게 되면, 제1 및 제2 풀리(171a,171b)의 사이에 배치된 벨트(172a)가 회전하면서 상부판(173)을 이동시키게 되고, 이때 엘엠 가이드(174)를 구비한 상부판(173)은 엘엠 레일(172)을 따라 이동하게 된다.The belt 172a disposed between the first and second pulleys 171a and 171b is rotated to move the upper plate 173 and the electromagnet 174 are moved along the M-rail 172.

θ축 방향 회전부재(360)는 도 9에 도시된 바와 같이, X축 방향 이동부재(350)의 상측에 배치되며, 베이스 판(181)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(182,184)와, 상기 제1 및 제2 풀리(182,184)의 사이에 배치된 벨트(186)와, 상기 제1 풀리(182)에 연결된 모터(188)로 이루어지게 된다. 9, first and second pulleys 182 and 184 disposed on the upper side of the X-axis direction shifting member 350 and spaced from the base plate 181, A belt 186 disposed between the first and second pulleys 182 and 184 and a motor 188 connected to the first pulley 182.

상기 Z축 방향 이동부재(390)는 도 10에 도시된 바와 같이,상기 Y축 방향 이동부재(370)의 일측에 배치되며, 엘엠 레일(272)에 연결된 엘엠 가이드(274)를 갖는 이동판(271)과, 상기 이동판(271)과 랙 마스터(170)에 상호 연결되는 Z축 아암(273)과, 상기 엘엠 레일(272)의 사이에 배치된 수직 이동벨트(275)와, 베이스 판(276)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(282,284)와, 상기 제1 및 제2 풀리(282,284)의 사이에 배치된 벨트(286)와, 상기 제1 풀리(282)에 연결된 모터(288)로 이루어지게 된다.10, the Z-axis direction moving member 390 is disposed on one side of the Y-axis direction moving member 370 and includes a moving plate (not shown) having an ELM guide 274 connected to the ELM rail 272 A Z-axis arm 273 interconnected to the moving plate 271 and the rack master 170; a vertical moving belt 275 disposed between the E-rail 272; 276 and a belt 286 disposed between the first and second pulleys 282, 284 and a motor 282 coupled to the first pulley 282. The first and second pulleys 282, (288).

상기 매거진 버퍼(180)는 도 11에 도시된 바와 같이, 선반 형태로 구성된다. 그리고, 상기 매거진 버퍼(180)는 랙 마스터(170)의 상부에 배치되며, 매거진(M)을 저장하기 위하여 수직 프레임(181)에 끼워진 수평 프레임(183)에 간격을 두고 배치된 복수개의 매거진 수용부(185)를 구비하게 된다.The magazine buffer 180 is configured in the form of a shelf, as shown in FIG. The magazine buffer 180 is disposed on the top of the rack master 170 and includes a plurality of magazine holders 180 disposed in a horizontal frame 183 spaced apart from the vertical frame 181 to store the magazine M. [ (185).

상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)는 도 12에 도시된 바와 같이, 선반 형태로 구성된다. 그리고, 상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)는 매거진 버퍼(180)의 하부에 배치되며, 매거진(M)을 분류하기 위하여 수직 프레임(191)에 끼워진 수평 프레임(193)에 간격을 두고 배치된 복수개의 매거진 수용부(195)를 구비하게 된다. 상기 매거진 수용부(195)는 개별적으로 격벽(도시되지 않음)에 의해 지지되고, 상기 격벽은 실린더(199)에 의해 횡방향으로 이동할 수 있게 구성되어 있다.The merge and split buffer 190 is configured in the form of a shelf, as shown in FIG. The merge and split buffer 190 is disposed at a lower portion of the magazine buffer 180 and has a gap in the horizontal frame 193 inserted in the vertical frame 191 for sorting the magazine M And a plurality of magazine accommodating portions 195 arranged in a row. The magazine accommodating portions 195 are individually supported by partition walls (not shown), and the partition walls are configured to be able to move in the lateral direction by the cylinder 199.

상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)는 도 13에 도시된 바와 같이, 후술하는 소터 로봇(200)의 상부에 배치되고, 상기 랙 마스터(170)로부터 받은 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)로 이송시키는 스플릿(Split) 컨베이어(220)와, 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)를 통해서 받은 매거진(M)을 랙 마스터(170) 위치로 이송시키는 머지(Merge) 컨베이어(230)와, 불량인 매거진(M)을 배출시키는 바이 패스(By pass) 컨베이어(240)로 이루어지게 된다. 여기서, 상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 구성요소 즉, 롤러, 벨트 및 구동원(모터) 등은 일반적인 기술이므로 여기서 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.13, the magazine transfer conveyor 250 is disposed at an upper portion of the sorter robot 200 to be described later. The magazine transfer conveyor 250 transfers the magazine M received from the rack master 170 to the magazine transfer robot apparatus 300 A merge conveyor 230 for transferring the magazine M received through the magazine transfer robot apparatus 300 to the rack master 170 position and a defective magazine And a bypass conveyor 240 for discharging the sheets M from the sheet conveying apparatus. Here, the components of the magazine transfer conveyor 250, that is, the rollers, the belt, the drive source (motor), and the like are general technologies and will not be described in detail here.

상기 소터 로봇(200)은 도 14 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)의 후방에 배치되며, 매거진(M)내의 기판(S)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split)하는 역할을 수행하게 된다. The sorter robot 200 is disposed behind the merge and split buffer 190 as shown in FIGS. 14 to 18, and the substrate S in the magazine M is merge- (Merge and Split).

상기 소터 로봇(200)은 X축 방향 이동부재(570)와, 매거진 그립부재(580)와, Y축 방향 이동부재(560) 및 Z축 방향 이동부재(590)로 크게 이루어지게 된다.The sorter robot 200 is made up largely of an X axis direction moving member 570, a magazine grip member 580, a Y axis direction moving member 560, and a Z axis direction moving member 590.

상기 X축 방향 이동부재(570)는 도 15에 도시된 바와 같이, 엘엠 레일(472)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(471)과, 상기 베이스 판(471)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(472)과 연결된 엘엠 가이드(474)를 구비한 상부판(473)과, 상기 베이스 판(471)의 엘엠 레일(472)의 사이에 배치된 볼스크류(475)와, 상기 볼스크류(475)에 연결되는 구동원(476)으로 이루어지게 된다.As shown in FIG. 15, the X-axis direction moving member 570 includes a base plate 471 on which the ELM rail 472 is disposed with an interval, and an X-axis direction moving member 570 disposed on the base plate 471, A ball screw 475 disposed between the electromagnet 472 of the base plate 471 and the ball screw 475 connected to the ball screw 475, And a driving source 476 connected to the driving source 476.

상기 매거진 그립부재(580)는 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 X축 방향 이동부재(570)의 상부에 배치되며, 매거진(M)을 그립하기 위한 그립퍼 블럭(575)과, 상기 그립퍼 블럭(575)을 동작시키는 그립퍼 실린더(576)로 이루어지게 된다. 도 16에서, 미설명 부호 585는 센서이고, 589는 카메라이다. 상기 매거진 그립부재(580)는 매거진(M)내의 기판(S)을 그립하여 넣고 빼내는 유닛으로, 기판(S)의 투입시 상기 카메라(589)를 이용하여 기판의 상태를 확인하게 된다.16, the magazine grip member 580 is disposed on the X-axis direction moving member 570 and includes a gripper block 575 for gripping the magazine M, And a gripper cylinder 576 for operating the piston 575. In Fig. 16, reference numeral 585 denotes a sensor, and 589 denotes a camera. The magazine grip member 580 is a unit for gripping and inserting the substrate S in the magazine M. The magazine grip member 580 confirms the state of the substrate using the camera 589 when the substrate S is inserted.

상기 Y축 방향 이동부재(560)는 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 매거진 그립부재(580)의 일측에 배치되며, 베이스 판(581)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(582,584)와, 상기 제1 및 제2 풀리(582,584)의 사이에 배치된 벨트(586)와, 상기 제1 풀리(582)에 연결된 모터(588)로 이루어지게 된다.The Y-axis direction shifting member 560 is disposed on one side of the magazine grip member 580 and includes first and second pulleys 582 and 584 disposed at intervals on the base plate 581, A belt 586 disposed between the first and second pulleys 582 and 584, and a motor 588 coupled to the first pulley 582. The first pulley 582 and the second pulley 582 are connected to each other.

상기 Z축 방향 이동부재(590)는 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 Y축 방향 이동부재(560)의 일측에 배치되며, 엘엠 레일(592)에 연결된 엘엠 가이드(594)를 갖는 이동판(591)과, 상기 이동판(591)에 연결되는 지지부재(593)과, 상기 엘엠 레일(592)의 사이에 배치된 볼 스크류(595)와, 상기 볼 스크류(595)에 연결된 모터(598)로 이루어지게 된다. 도 17에서, 미설명 부호 597은 Z축 방향 이동부재(590)의 이동 거리를 제한하기 위한 센서이다.17, the Z-axis direction moving member 590 is disposed on one side of the Y-axis direction moving member 560 and includes a movable plate 594 having an ELM guide 594 connected to the ELM rail 592 A support member 593 connected to the moving plate 591, a ball screw 595 disposed between the electromagnet 592 and a motor 598 connected to the ball screw 595, . 17, reference numeral 597 denotes a sensor for limiting the moving distance of the Z-axis direction moving member 590. [

한편, 상기 소터 로봇(200)은 도 18에 도시된 바와 같이, X축 방향 가이드부재(430)와 Y축 방향 가이드부재(440)로 이루어진 소터 로봇 가이드장치(450)를 더 포함하게 된다18, the sorter robot 200 further includes a sorter robot guide device 450 including an X-axis direction guide member 430 and a Y-axis direction guide member 440

상기 X축 방향 가이드부재(430)는 베이스 판(420)에 간격을 두고 배치된 엘엠 레일(422)과, 상기 엘엠 레일(422)에 각기 연결된 엘엠 가이드(423)를 갖는 이동판(424)과, 상기 이동판(424)에 연결된 연결부재(425)와, 상기 연결부재(425)를 이동시키기 위한 볼스크류(426)와, 상기 볼스크류(426)에 연결된 모터(428)로 이루어지게 된다.The X-axis direction guide member 430 includes an ELM rail 422 spaced from the base plate 420, a moving plate 424 having an ELM guide 423 connected to the ELM rail 422, A connecting member 425 connected to the moving plate 424, a ball screw 426 for moving the connecting member 425 and a motor 428 connected to the ball screw 426.

상기 Y축 방향 가이드부재(440)는 상기 베이스 판(420)의 하부에 배치되며, 하부에 엘엠 레일(522)과 연결된 엘엠 가이드(523)를 갖는 이동판(524)과, 상기 이동판(524)의 하부에 배치되며 매거진(M)을 안내하기 위한 매거진 가이드(525)와, 상기 매거진 가이드(525)를 매거진(M)의 종류에 따라 대응하도록 이동시키는 실린더(526)와, 상기 이동판(524)를 구동시키는 모터(528)로 이루어지게 된다.The Y-axis direction guide member 440 includes a moving plate 524 disposed below the base plate 420 and having an EL guide 523 connected to the EL rail 522 at a lower portion thereof, A magazine guide 525 for guiding the magazine M and a cylinder 526 for moving the magazine guide 525 in correspondence with the type of the magazine M, And a motor 528 for driving the motor 524.

상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 도 1 및 도 19에 도시된 바와 같이, 와이어 본더(10)가 모두 작업을 수행하고 있는 경우에는 와이어 본더(10)와 와이어 본더(10)의 사이에 배치된 보조 버퍼(330)에 매거진(M)을 저장하게 된다. 상기 보조 버퍼(330)는 매거진(M)을 수용할 수 있도록 선반 형태로 구성되며, 복수개의 와이어 본더(10)들의 사이에 배치된 지지대(332)에 배치된다.1 and 19, the magazine transfer robot apparatus 300 is disposed between the wire bonder 10 and the wire bonder 10 when all of the wire bonders 10 are performing an operation And the magazine M is stored in the auxiliary buffer 330. The auxiliary buffer 330 is formed in a shelf shape to accommodate the magazine M and is disposed on a support 332 disposed between the plurality of wirebonds 10.

따라서, 본 발명의 와이어 본더 물류 설비는 매거진을 오버헤드 호이스트 트랜스퍼를 이용하여 와이어 본더에 연속적으로 제공하게 되므로 와이어 본더가 휴지 시간이 없이 연속적으로 작업을 수행할 수 있다.Therefore, the wire bonder distribution system of the present invention continuously supplies the magazine to the wire bonder using the overhead hoist transfer, so that the wire bonder can continuously perform work without a downtime.

이와 같이 구성된 본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법에 대하여 설명하기로 한다.A description will now be made of a magazine transfer method in the wire bonder distribution facility of the present invention constructed as described above.

도 20 및 도 21은 본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법을 나타내는 플로우 차트이다.20 and 21 are flowcharts showing a magazine transfer method in the wire bonder distribution facility of the present invention.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법은 도 20 및 도 21에 도시된 바와 같이, 매거진(M)을 3단 형태의 컨베이어(110)의 매거진 투입부(102)에 투입하게 된다(S10). 여기서, 상기 매거진(M)은 사용자에 의해 수동으로 투입하거나 별도의 투입장치(도시되지 않음)에 의해 투입하게 된다.As shown in FIGS. 20 and 21, the magazine transfer method in the wire bonder distribution facility of the present invention inserts the magazine M into the magazine input portion 102 of the three-stage conveyor 110 (S10 ). Here, the magazine M is manually inserted by a user or inserted by a separate input device (not shown).

그리고, 상기 컨베이어(110)에 투입된 매거진(M)은 비젼 장치(120)에 의해 비젼 테스트를 수행하게 된다(S20). 상기 매거진(M)은 상기 컨베이어(110)에 투입된 후 센서(137)에 의해 정지되면, 매거진 이동장치(140)의 실린더(144)를 동작시켜 상승시키고 카메라(116)로 매거진(M)의 화살표 방향을 확인하는 비젼 테스트를 수행하게 된다. 그리고, 매거진(M)의 방향이 올바르지 못한 경우에는 그립장치(112)의 실린더(111)가 매거진(M)을 그립한 후 모터(128)를 동작시켜 180°회전시킨 후 다시 컨베이어(110)에 투입하게 된다.The magazine M inserted into the conveyor 110 is subjected to a vision test by the vision device 120 (S20). When the magazine M is inserted into the conveyor 110 and then stopped by the sensor 137, the cylinder 144 of the magazine moving device 140 is operated to be elevated, We will perform a vision test to confirm the direction. When the direction of the magazine M is not correct, the cylinder 111 of the grip device 112 grips the magazine M and then rotates the motor 128 by 180 degrees. Thereafter, .

다음, 상기 매거진(M)의 내측에 수용된 기판(S)을 매핑장치(130)에 의해 매핑 테스트를 수행하게 된다(S30). 여기서, 상기 매거진(M)의 매핑 테스트는 매핑장치(130)의 매핑 센서(138)에 의해 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 수량을 확인하게 된다. 상기 매핑 센서(138)는 모터(132)의 축에 연결된 볼스크류(134)의 이동에 따라 상,하 방향으로 이동하면서 매핑 테스트를 수행하게 된다.Next, a mapping test is performed by the mapping device 130 on the substrate S accommodated in the magazine M (S30). Here, the mapping test of the magazine M confirms the number of the substrates S accommodated in the magazine M by the mapping sensor 138 of the mapping device 130. The mapping sensor 138 moves up and down according to the movement of the ball screw 134 connected to the axis of the motor 132 to perform a mapping test.

상기 매핑 테스트가 완료된 매거진(M)을 랙 마스터(170)로 이동하게 된다(S40). 여기서, 랙 마스터(170)는 매거진(M)을 로딩 및 언로딩하는 매거진 그립부재(380)를 구비하게 된다. 또한, 상기 랙 마스터(170)는 X축 방향 이동부재(350)와, Y축 방향 이동부재(370)와, 매거진 그립부재(380)와, θ축 방향 이동부재(360) 및 Z축 방향 이동부재(390)로 크게 이루어지게 되므로 모든 방향으로 이동 가능하게 구성된다.The magazine M having been subjected to the mapping test is moved to the rack master 170 (S40). Here, the rack master 170 is provided with a magazine grip member 380 for loading and unloading the magazine M. [ The rack master 170 includes an X-axis direction moving member 350, a Y-axis direction moving member 370, a magazine grip member 380, a? -Axis moving member 360, and a Z- Member 390 so that it can be moved in all directions.

상기 랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로 이동하게 된다(S50). 여기서, 상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)는 매거진(M)을 분류하고 대기하기 위한 것으로, 매거진(M)을 수용하도록 복수개의 매거진 수용부(195)를 구비하게 된다.The magazine M moved by the rack master 170 is moved to the merge and split buffer 190 (S50). Here, the merge and split buffer 190 is for sorting and waiting the magazine M, and has a plurality of magazine accommodating portions 195 for accommodating the magazine M.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법은 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 매거진(M)을 랙 마스터(170)로 이동하는 단계(S40)와, 랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로 이동하는 단계(S50)의 사이에는, 제어부(도시되지 않음)에 의해 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 스플릿 컨베이어(220), 불량 매거진 배출부(106) 중 어느 하나로 보낼지 판단하는 단계(S45)를 더 포함하게 된다.The method of conveying the magazine in the wire bonder distribution system of the present invention includes a step S40 of moving the magazine M to the rack master 170 as shown in FIG. 22, a step S40 of moving the magazine M to the rack master 170, During the step S50 of moving the magazine M to the Merge and Split buffer 190, the magazine M is moved to a merge and split buffer 190 by a control unit (not shown) (S45) of determining whether the magazine transfer conveyor 250, the split conveyor 220, or the defective magazine discharge unit 106 is to be sent.

상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로부터 매거진(M)을 소터 로봇(200)으로 이동시키게 된다(S60). 여기서, 소터 로봇(200)은 매거진(M)내의 기판(S)을 자동으로 머지 앤드 스플릿하는 역할을 수행하게 된다. 상기 머지 앤드 스플릿은 사용자가 미리 버퍼 영역을 분리나 합병하도록 소정의 영역을 분할 것으로 이해하기 바란다.The magazine M is moved from the merge and split buffer 190 to the sorter robot 200 (S60). Here, the sorter robot 200 performs a role of automatically merging and splitting the substrate S in the magazine M. The merge and split should be understood as dividing a predetermined area so that a user can separate or merge buffer areas in advance.

상기 랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 스플릿 컨베이어(220)로 이동시키게 된다(S70). 상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)는 도 13에 도시된 바와 같이, 랙 마스터(170)로부터 받은 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)로 이송시키는 스플릿(Split) 컨베이어(220)와, 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)를 통해서 받은 매거진(M)을 랙 마스터(170) 위치로 이송시키는 머지(Merge) 컨베이어(230)와, 불량인 매거진(M)을 배출시키는 바이 패스(By pass) 컨베이어(240)로 이루어지게 된다. 여기서, 상기 랙 마스터(170)로부터 받은 매거진(M)은 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 스플릿(Split) 컨베이어(220)로 이송된다.The magazine M moved by the rack master 170 is moved to the split conveyor 220 of the magazine transfer conveyor 250 (S70). The magazine transfer conveyor 250 includes a split conveyor 220 for transferring the magazine M received from the rack master 170 to the magazine transfer robot apparatus 300, A merge conveyor 230 for transferring the magazine M received through the robot apparatus 300 to a position of the rack master 170 and a bypass conveyor 240 for discharging the defective magazine M ). Here, the magazine M received from the rack master 170 is transferred to the split conveyor 220 by the magazine transfer robot apparatus 300.

상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)로 이동된 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10), 보조 버퍼(330), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230) 중의 하나로 이동시키게 된다(S80). 여기서, 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 인라인으로 배치된 레일(310)을 따라 이동하며, 매거진(M)을 그립할 수 있도록 그립퍼(320)을 구비하게 된다.The magazine M transferred to the magazine transfer conveyor 250 is transferred to one of the wire bonder 10, the auxiliary buffer 330 and the merge conveyor 230 of the magazine transfer conveyor 250 by the magazine transfer robot apparatus 300 (S80). Here, the magazine transfer robot apparatus 300 moves along the rail 310 disposed inline, and has a gripper 320 for gripping the magazine M.

그리고, 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10), 보조 버퍼(330), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230) 중의 하나로 이동시키는 단계(S80)는 도 23에 도시된 바와 같이, 상기 매거진(M)에 기판(S)이 채워진 경우에는 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10)나 보조 버퍼(330)로 투입하는 단계(S81)와, 와이어 본더(10)나 보조 버퍼(330)의 빈 매거진(M)은 다시 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 배출하는 단계(S82)와, 상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 받은 매거진(M)을 머지 컨베이어(230)로 이동시키는 단계(S83)로 이루어지게 된다. 여기서, 상기 보조 버퍼(330)는 복수개의 와이어 본더(10)들의 사이에 배치된 지지대(332)에 배치된 것으로 매거진(M)을 저장할 수 있게 구성된다.The step (S80) of moving the magazine M to one of the merge conveyors 230 of the wire bonder 10, the auxiliary buffer 330 and the magazine transfer conveyor 250 by the magazine transfer robot apparatus 300 23, when the magazine M is filled with the substrate S, a step S81 of loading the magazine transfer robot into the wire bonder 10 or the auxiliary buffer 330 by the magazine transfer robot apparatus 300, The empty magazine M of the wire bonder 10 and the auxiliary buffer 330 is discharged again by the magazine transfer robot apparatus 300 and a step S82 of discharging the empty magazine M of the magazine transfer apparatus 300 by the magazine transfer robot apparatus 300 ) To the merge conveyor 230 (S83). The auxiliary buffer 330 is disposed on a support 332 disposed between the plurality of wire binders 10 and is configured to store the magazine M. [

상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230)로 이동된 매거진(M)을 다시 랙 마스터(170)로 이동시키게 된다(S90). 그리고, 랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 상기 컨베이어(110)의 매거진 배출부(104), 불량 매거진 배출부(106), 매거진 버퍼(180) 중의 하나로 이동시키게 된다(S100).The magazine M moved to the merge conveyor 230 of the magazine transfer conveyor 250 is moved to the rack master 170 again (S90). The magazine M moved by the rack master 170 is moved to one of the magazine discharging portion 104, the bad magazine discharging portion 106 and the magazine buffer 180 of the conveyor 110 (S100) .

본 발명의 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법은 스토커로부터 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치에 의해 인출하여 와이어 본더에 공급할 수 있고 아울러 와이어 본더에서 작업이 완료된 매거진(M)을 스토커에 저장할 수 있으며, 와이어 본더가 모두 작업중인 경우에는 보조버퍼에도 매거진(M)을 저장할 수 있으므로 매거진 공급 시간을 줄이거나 최소화하여 생산성을 증대시킬 수 있다.The magazine transfer method in the wire bonder distribution facility of the present invention can take out the magazine M from the stocker by means of the magazine transfer robot apparatus and supply it to the wire bonder and store the magazine M completed in the wire bonder in the stocker And if the wire bonder is all working, the magazine M can be stored in the auxiliary buffer, so that the productivity can be increased by reducing or minimizing the magazine supply time.

본 발명의 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법은 매거진을 오버헤드 호이스트 트랜스퍼를 이용하여 복수개의 와이어 본더에 제공할 수 있는 반도체 설비 등과 같은 반도체 제조 분야에 널리 적용될 수 있다.The wire bonder distribution system and the magazine transfer method of the present invention can be widely applied to a semiconductor manufacturing field such as a semiconductor facility capable of providing a magazine to a plurality of wire bonders using an overhead hoist transfer.

10: 와이어 본더 100: 스토커
110: 3단 형태의 컨베이어 120: 비젼장치
130: 매핑장치 140: 매거진 이동장치
170: 랙 마스터 180: 매거진 버퍼
200: 소터 로봇 250: 매거진 트랜스퍼 컨베이어
300: 매거진 트랜스퍼 로봇장치10: wire bonder 100: stocker
110: Three-stage conveyor 120: Vision device
130: Mapping device 140: Magazine moving device
170: Rack master 180: Magazine buffer
200: sorter robot 250: magazine transfer conveyor
300: Magazine transfer robot device

Claims (11)

와이어 본더 물류 설비는,
인라인으로 배치된 복수개의 와이어 본더(10)와;
상기 복수개의 와이어 본더(10)의 일측에 배치되며, 와이어 본더(10)에 제공되는 매거진(M)을 저장하는 매거진 버퍼(180)를 구비한 스토커(100)와;
상기 복수개의 와이어 본더의 일측에 인라인으로 배치된 레일(310)을 따라 이동하며, 스토커(100)나 와이어 본더(10)로 매거진(M)을 그립하여 공급하거나 배출하는 그립퍼(320)를 갖는 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)를 포함하고,
상기 스토커(100)는 테이블(105)에 매거진 투입부(102)와, 매거진 배출부(104) 및 불량 매거진 배출부(106)로 이루어진 3단 형태의 컨베이어(110)와; 상기 컨베이어(110)의 매거진 투입부(102)의 일측에 배치되고, 매거진(M)을 그립하는 그립장치(112)와, 상기 그립장치(112)의 상부에 배치된 지지판(114)의 일측에 배치된 카메라(116)와, 상기 카메라(116)의 하부 일측에 배치된 조명(118)과, 상기 지지판(114)의 중앙에 배치된 제1 풀리(122)와 상기 제1 풀리(122)와 벨트(124)에 의해 상호 연결된 제2 풀리(126) 및 상기 제2 풀리(126)에 연결된 모터(128)를 갖는 회전장치(125)로 이루어진 비젼장치(120)와; 상기 비젼장치(120)의 후방에 배치되고, 브라켓(131)의 일측에 배치된 모터(132)와, 상기 모터(132)의 축에 연결된 볼스크류(134)와, 상기 볼스크류(134) 일측에 배치되어 볼스크류(134)의 이동에 따라 이동하는 엘엠 가이드(136)와, 상기 엘엠 가이드(136)에 연결된 절곡된 형태의 지지판(135)에 배치된 매핑 센서(138)로 이루어진 매핑장치(130)와; 상기 매핑장치(130)의 하방에 배치된 베이스 플레이트(142)와, 상기 베이스 플레이트(142)의 중앙에 배치되고 매거진(M)을 이동시키는 매거진 업/다운 실린더(144)와, 상기 베이스 플레이트(142)의 양측에 배치된 로드(146)로 이루어진 매거진 이동장치(140)와; 상기 3단 형태의 컨베이어(110)의 후방에 배치되며, 매거진(M)을 로딩 및 언로딩하는 매거진 그립부재(380)를 구비한 랙 마스터(170)와; 상기 랙 마스터(170)의 상부에 배치되며, 매거진(M)을 저장하기 위하여 수직 프레임(181)에 끼워진 수평 프레임(183)에 간격을 두고 배치된 복수개의 매거진 수용부(185)를 갖는 선반형태의 매거진 버퍼(180)와; 상기 매거진 버퍼(180)의 하부에 배치되며, 매거진(M)을 분류하기 위하여 수직 프레임(191)에 끼워진 수평 프레임(193)에 간격을 두고 배치된 복수개의 매거진 수용부(195)를 갖는 선반형태의 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)와; 상기 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)의 후방에 배치되며, 매거진(M)내의 기판(S)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split)하기 위한 소터 로봇(200)과; 상기 소터 로봇(200)의 상부에 배치되고, 상기 랙 마스터(170)로부터 받은 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)로 이송시키는 스플릿(Split) 컨베이어(220)와, 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)를 통해서 받은 매거진(M)을 랙 마스터(170) 위치로 이송시키는 머지(Merge) 컨베이어(230)와, 불량인 매거진(M)을 배출시키는 바이 패스(By pass) 컨베이어(240)를 갖는 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)를 포함하며,
상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 스토커(100)로부터 매거진(M)을 그립하여 레일(310)을 따라 이동하여 와이어 본더(10)에 제공하며 와이어 본더(10)로부터 빈 매거진(M)을 그립하여 레일(310)을 따라 이동하여 스토커(100)의 컨베이어로 배출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The wire-
A plurality of wirebonds (10) arranged in line;
A stocker (100) having a magazine buffer (180) disposed at one side of the plurality of wire bonders (10) and storing a magazine (M) provided to the wire bonder (10);
A magazine 320 having a gripper 320 that moves along a rail 310 disposed inline on one side of the plurality of wirebonds and grips and supplies or discharges the magazine M to the stocker 100 or the wire bonder 10, And a transfer robot device 300,
The stocker 100 includes a table 105 having a magazine input portion 102, a magazine output portion 104 and a defective magazine output portion 106, a three-stage conveyor 110, A grip device 112 disposed at one side of the magazine input portion 102 of the conveyor 110 for gripping the magazine M and a support plate 114 disposed at an upper portion of the grip device 112 An illumination 118 disposed at a lower side of the camera 116, a first pulley 122 disposed at the center of the support plate 114, a first pulley 122 disposed at the center of the support plate 114, A vision device 120 comprising a rotating device 125 having a second pulley 126 interconnected by a belt 124 and a motor 128 connected to the second pulley 126; A motor 132 disposed at a rear side of the vision device 120 and disposed at one side of the bracket 131, a ball screw 134 connected to the shaft of the motor 132, And a mapping sensor 138 disposed on a support plate 135 of a bent shape connected to the LM guide 136. The mapping device 138 is disposed on the supporting plate 135, 130); A magazine up / down cylinder 144 disposed at the center of the base plate 142 for moving the magazine M, a base plate 142 disposed below the base plate 142, A magazine moving device 140 consisting of a rod 146 disposed on both sides of the carriage 142; A rack master 170 disposed behind the three-stage conveyor 110 and having a magazine grip member 380 for loading and unloading the magazine M; Having a plurality of magazine receptacles 185 disposed above the rack master 170 and spaced apart from a horizontal frame 183 fitted in a vertical frame 181 for storing magazines M, The magazine buffer 180 of FIG. And a plurality of magazine accommodating portions 195 disposed at a lower portion of the magazine buffer 180 and spaced apart from the horizontal frame 193 fitted to the vertical frame 191 for sorting the magazine M. [ A Merge and Split buffer 190 of FIG. A sorter robot 200 disposed at the rear of the merge and split buffer 190 for merging and splitting the substrate S in the magazine M; A split conveyor 220 disposed on the sorter robot 200 for transferring the magazine M received from the rack master 170 to the magazine transfer robot apparatus 300 and a magazine transfer robot apparatus A magazine conveyor 230 for conveying the magazine M received through the magazine 300 to the position of the rack master 170 and a bypass conveyor 240 for discharging the bad magazine M Magazine transfer conveyor 250,
The magazine transfer robot apparatus 300 grips the magazine M from the stocker 100 and moves along the rail 310 to provide the magazine M to the wire bonder 10 and the empty magazine M from the wire bonder 10, And moves along the rail (310) to be discharged to the conveyor of the stocker (100).
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 비젼장치(120)의 그립장치(112)는 실린더(111)와, 상기 실린더(111)에 연결된 로드(113)와, 상기 로드(113)에 연결되며 로드(113)의 이동에 따라 이동하여 매거진(M)을 그립하는 그립부재(115)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 1,
The grip device 112 of the vision device 120 includes a cylinder 111, a rod 113 connected to the cylinder 111, a rod 113 connected to the rod 113, And a grip member (115) for gripping the magazine (M).
제1항에 있어서,
상기 매핑장치(130)는 일측에 매거진(M)내의 기판(S)을 얼라이닝하는 얼라이닝 장치(150)가 배치되고, 상기 얼라이닝 장치(150)는 브라켓(131)의 일측에 배치된 가이드 판(152)과, 상기 가이드 판(152)을 누르는 누름부재(154)와, 상기 누름부재(154)에 연결된 실린더(156)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 1,
The mapping device 130 is provided with an aligning device 150 for aligning the substrate S in the magazine M on one side and the aligning device 150 includes a guide , A plate (152), a pressing member (154) for pressing the guide plate (152), and a cylinder (156) connected to the pressing member (154).
제1항에 있어서,
상기 랙 마스터(170)는,
엘엠 레일(72)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(71)과, 상기 베이스 판(71)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(72)과 연결된 엘엠 가이드(74)를 구비한 상부판(75)과, 상기 베이스 판(71)의 엘엠 레일(72)의 사이에 배치된 랙(73)과, 상기 랙(73)에 치합되는 피니언(76)과, 상기 피니언(76)에 연결되는 구동원(78)을 갖는 X축 방향 이동부재(350)와;
엘엠 레일(172)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(171)과, 상기 베이스 판(171)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(172)과 연결된 엘엠 가이드(174)를 구비한 상부판(173)과, 상기 베이스 판(171)의 엘엠 레일(172)의 사이에 배치된 제1 및 제2 풀리(171a,171b)와, 상기 제1 및 제2 풀리(171a,171b)의 사이에 끼워진 벨트(172a)와, 상기 제1 풀리(171a)에 연결되는 구동원(178)으로 이루어지는 Y축 방향 이동부재(370)와;
상기 베이스 판(171)의 일측에 배치되며, 매거진(M)을 그립하기 위한 그립퍼 블럭(175)과, 상기 그립퍼 블럭(175)을 동작시키는 그립퍼 실린더(176)를 갖는 매거진 그립부재(380)와;
X축 방향 이동부재(350)의 상측에 배치되며, 베이스 판(181)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(182,184)와, 상기 제1 및 제2 풀리(182,184)의 사이에 배치된 벨트(186)와, 상기 제1 풀리(182)에 연결된 모터(188)을 갖는 θ축 방향 회전부재(360)와;
상기 Y축 방향 이동부재(370)의 일측에 배치되며, 엘엠 레일(272)에 연결된 엘엠 가이드(274)를 갖는 이동판(271)과, 상기 이동판(271)과 랙 마스터(170)에 상호 연결되는 Z축 아암(273)과, 상기 엘엠 레일(272)의 사이에 배치된 수직 이동벨트(275)와, 베이스 판(276)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(282,284)와, 상기 제1 및 제2 풀리(282,284)의 사이에 배치된 벨트(286)와, 상기 제1 풀리(282)에 연결된 모터(288)를 갖는 Z축 방향 이동부재(390)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 1,
The rack master (170)
An upper plate 75 provided on the base plate 71 and having an LM guide 74 connected to the LM rail 72, A rack 73 disposed between the LM rail 72 of the base plate 71 and a pinion 76 meshing with the rack 73 and a driving source 78 connected to the pinion 76 An X-axis direction moving member 350 having an X-axis direction moving member 350;
An upper plate 173 having an EL rail 173 disposed at an upper portion of the base plate 171 and connected to the EL rail 172, First and second pulleys 171a and 171b disposed between the first and second pulleys 171a and 171b of the base plate 171 and a pair of first and second pulleys 171a and 171b disposed between the first and second pulleys 171a and 171b, A Y-axis direction moving member 370 including a driving source 178 connected to the first pulley 171a;
A magazine grip member 380 disposed at one side of the base plate 171 and having a gripper block 175 for gripping the magazine M and a gripper cylinder 176 for operating the gripper block 175, ;
First and second pulleys 182 and 184 disposed above the X axis direction shifting member 350 and spaced apart from the base plate 181 and disposed between the first and second pulleys 182 and 184 A? -Axial direction rotating member 360 having a driven belt 186 and a motor 188 connected to the first pulley 182;
A moving plate 271 disposed at one side of the Y-axis direction moving member 370 and having an ELM guide 274 connected to the ELM rail 272 and a moving plate 271 disposed between the moving plate 271 and the rack master 170 A vertical movement belt 275 disposed between the M rail 272 and the first and second pulleys 282 and 284 spaced apart from the base plate 276; A Z-axis direction moving member 390 having a belt 286 disposed between the first and second pulleys 282 and 284 and a motor 288 connected to the first pulley 282 Wire bonder logistics equipment.
제1항에 있어서,
상기 소터 로봇(200)은,
엘엠 레일(472)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(471)과, 상기 베이스 판(471)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(472)과 연결된 엘엠 가이드(474)를 구비한 상부판(473)과, 상기 베이스 판(471)의 엘엠 레일(472)의 사이에 배치된 볼스크류(475)와, 상기 볼스크류(475)에 연결되는 구동원(476)을 갖는 X축 방향 이동부재(570)와;
상기 X축 방향 이동부재(570)의 상부에 배치되며, 매거진(M)을 그립하기 위한 그립퍼 블럭(575)과, 상기 그립퍼 블럭(575)을 동작시키는 그립퍼 실린더(576)을 갖는 매거진 그립부재(580)와;
상기 매거진 그립부재(580)의 일측에 배치되며, 베이스 판(581)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(582,584)와, 상기 제1 및 제2 풀리(582,584)의 사이에 배치된 벨트(586)와, 상기 제1 풀리(582)에 연결된 모터(588)를 갖는 Y축 방향 이동부재(560)와;
상기 Y축 방향 이동부재(560)의 일측에 배치되며, 엘엠 레일(592)에 연결된 엘엠 가이드(594)를 갖는 이동판(591)과, 상기 이동판(591)에 연결되는 지지부재(593)과, 상기 엘엠 레일(592)의 사이에 배치된 볼 스크류(595)와, 상기 볼 스크류(595)에 연결된 모터(598)를 갖는 Z축 방향 이동부재(590)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 1,
The sorter robot (200)
An upper plate 473 provided with an ELM rail 472 and an ELM guide 474 connected to the ELM rail 472 and disposed on the base plate 471, An X-axis direction moving member 570 having a ball screw 475 disposed between the LM rail 472 of the base plate 471 and a driving source 476 connected to the ball screw 475, ;
A magazine grip member 574 having a gripper block 575 for gripping the magazine M and a gripper cylinder 576 for operating the gripper block 575 is disposed on the X-axis direction moving member 570, 580);
First and second pulleys 582 and 584 disposed on one side of the magazine grip member 580 and spaced apart from the base plate 581 and first and second pulleys 582 and 584 disposed between the first and second pulleys 582 and 584, A Y-axis direction moving member 560 having a belt 586 and a motor 588 connected to the first pulley 582;
A moving plate 591 disposed at one side of the Y axis direction moving member 560 and having an ELM guide 594 connected to the ELM rail 592 and a supporting member 593 connected to the moving plate 591, And a Z-axis direction moving member 590 having a ball screw 595 disposed between the electromagnet 592 and a motor 598 connected to the ball screw 595, Bonding logistics equipment.
제6항에 있어서,
상기 소터 로봇(200)은,
베이스 판(420)에 간격을 두고 배치된 엘엠 레일(422)과, 상기 엘엠 레일(422)에 각기 연결된 엘엠 가이드(423)를 갖는 이동판(424)과, 상기 이동판(424)에 연결된 연결부재(425)와, 상기 연결부재(425)를 이동시키기 위한 볼스크류(426)와, 상기 볼스크류(426)에 연결된 모터(428)를 갖는 X축 방향 가이드부재(430)와;
상기 베이스 판(420)의 하부에 배치되며, 하부에 엘엠 레일(522)과 연결된 엘엠 가이드(523)를 갖는 이동판(524)과, 상기 이동판(524)의 하부에 배치되며 매거진(M)을 안내하기 위한 매거진 가이드(525)와, 상기 매거진 가이드(525)를 매거진(M)의 종류에 따라 대응하도록 이동시키는 실린더(526)와, 상기 이동판(524)를 구동시키는 모터(528)로 이루어진 Y축 방향 가이드부재(440)을 갖는 소터 로봇 가이드장치(450)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 6,
The sorter robot (200)
A moving plate 424 having an E-M rail 422 spaced from the base plate 420 and an L-shaped guide 423 connected to the E-Rails 422, a connection 424 connected to the moving plate 424, An X-axis direction guide member 430 having a member 425, a ball screw 426 for moving the connecting member 425, and a motor 428 connected to the ball screw 426;
A moving plate 524 disposed below the base plate 420 and having an ELM guide 523 connected to an ELM rail 522 at a lower portion thereof and a magazine M disposed at a lower portion of the moving plate 524, A cylinder 526 for moving the magazine guide 525 to correspond to the type of the magazine M and a motor 528 for driving the moving plate 524 And a sorter robot guide device (450) having a Y-axis direction guide member (440) formed thereon.
제1항에 있어서,
상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)는 와이어 본더(10)가 모두 작업을 수행하고 있는 경우에는 와이어 본더(10)와 와이어 본더(10)의 사이에 배치된 보조 버퍼(330)에 매거진을 저장하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비.
The method according to claim 1,
The magazine transfer robot apparatus 300 is configured to store the magazine in the auxiliary buffer 330 disposed between the wire bonder 10 and the wire bonder 10 when all of the wire bonders 10 are performing an operation Wherein the wire bonder is installed on the wire bonder.
매거진(M)을 3단 형태의 컨베이어(110)의 매거진 투입부(102)에 투입하는 단계(S10)와;
상기 컨베이어(110)에 투입된 매거진(M)을 비젼장치(120)에 의해 비젼 테스트를 수행하는 단계(S20)와;
상기 매거진(M)의 내측에 수용된 기판(S)을 매핑장치(130)에 의해 매핑 테스트를 수행하는 단계(S30)와;
매핑 테스트가 완료된 매거진(M)을 랙 마스터(170)로 이동하는 단계(S40)와;
랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로 이동하는 단계(S50)와;
머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로부터 매거진(M)을 소터 로봇(200)으로 이동시키는 단계(S60)와;
랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 스플릿 컨베이어(220)로 이동시키는 단계(S70)와;
매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)로 이동된 매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10), 보조 버퍼(330), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230) 중의 하나로 이동시키는 단계(S80)와;
상기 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230)로 이동된 매거진(M)을 다시 랙 마스터(170)로 이동시키는 단계(S90)와;
랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 상기 컨베이어(110)의 매거진 배출부(104), 불량 매거진 배출부(106), 매거진 버퍼(180) 중의 하나로 이동시키는 단계(S100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법.
A step S10 of loading the magazine M into the magazine input portion 102 of the three-stage conveyor 110;
Performing a vision test on the magazine M inserted into the conveyor 110 by the vision device 120 (S20);
A step (S30) of performing a mapping test by a mapping device (130) on a substrate (S) housed inside the magazine (M);
A step S40 of moving the magazine M to which the mapping test has been completed to the rack master 170;
Moving the magazine M moved by the rack master 170 to a merge and split buffer 190 (S50);
A step S60 of moving the magazine M from the merge and split buffer 190 to the sorter robot 200;
(S70) of moving the magazine (M) moved by the rack master (170) to the split conveyor (220) of the magazine transfer conveyor (250);
The magazine M transferred to the magazine transfer conveyor 250 is moved by the magazine transfer robot apparatus 300 to one of the wire bonder 10, the auxiliary buffer 330 and the merge conveyor 230 of the magazine transfer conveyor 250 (S80);
Moving the magazine M moved to the merge conveyor 230 of the magazine transfer conveyor 250 back to the rack master 170 (S90);
(S100) of moving the magazine M moved by the rack master 170 to one of the magazine discharge portion 104, the bad magazine discharge portion 106 and the magazine buffer 180 of the conveyor 110 Wherein the magazine is transported in a wire bonder distribution facility.
제9항에 있어서,
상기 매거진(M)을 랙 마스터(170)로 이동하는 단계(S40)와, 랙 마스터(170)에 의해 이동된 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190)로 이동하는 단계(S50)의 사이에는,
제어부에 의해 매거진(M)을 머지 앤드 스플릿(Merge and Split) 버퍼(190), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 스플릿 컨베이어(220), 불량 매거진 배출부(106) 중 어느 하나로 보낼지 판단하는 단계(S45)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법.
10. The method of claim 9,
(S40) moving the magazine M to the rack master 170 and moving the magazine M moved by the rack master 170 to a merge and split buffer 190 (S50)
A step S45 (S45) of judging whether the magazine M is to be sent to the merge and split buffer 190, the split conveyor 220 of the magazine transfer conveyor 250, or the defective magazine discharge unit 106 by the control unit The method further comprising the steps of:
제9항에 있어서,
매거진(M)을 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10), 보조 버퍼(330), 매거진 트랜스퍼 컨베이어(250)의 머지 컨베이어(230) 중의 하나로 이동시키는 단계(S80)는,
상기 매거진(M)에 기판(S)이 채워진 경우에는 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 와이어 본더(10)나 보조 버퍼(330)로 투입하는 단계(S81)와,
와이어 본더(10)나 보조 버퍼(330)의 빈 매거진(M)은 다시 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 배출하는 단계(S82)와,
상기 매거진 트랜스퍼 로봇 장치(300)에 의해 받은 매거진(M)을 머지 컨베이어(230)로 이동시키는 단계(S83)를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더 물류 설비에서의 매거진 이송방법.
10. The method of claim 9,
The step S80 of moving the magazine M to one of the merge conveyors 230 of the wire bonder 10, the auxiliary buffer 330 and the magazine transfer conveyor 250 by the magazine transfer robot apparatus 300,
When the magazine M is filled with the substrate S, the step S81 of loading the magazine transfer robot into the wire bonder 10 or the auxiliary buffer 330 by the magazine transfer robot apparatus 300,
The empty magazine M of the wire bonder 10 and the auxiliary buffer 330 is discharged again by the magazine transfer robot apparatus 300 (S82)
And a step (S83) of moving the magazine (M) received by the magazine transfer robot apparatus (300) to the merge conveyor (230).
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