KR101810800B1

KR101810800B1 - Electrical testing device

Info

Publication number: KR101810800B1
Application number: KR1020167008730A
Authority: KR
Inventors: 도루 이시이; 마코토 데라오카; 히로미치 마츠이
Original assignee: 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
Priority date: 2013-09-06
Filing date: 2014-08-12
Publication date: 2017-12-19
Also published as: WO2015033744A1; KR20160052653A; CN105705955A; JP2015052511A; CN105705955B; TW201514520A; JP6084140B2; TWI544220B

Abstract

전기 검사 장치(10)는, 전기 회로 기판(11) 상에 설치된 복수의 전기 회로 패턴(11b)을 전기적으로 검사한다. 복수의 전기 회로 패턴(11b)은, 복수의 전기 접점(11c)을 갖고, 일정한 피치로 배치되어 있다. 전기 검사 장치(10)는, 복수의 전기 접촉자(25)를 갖는 전기 검사 지그(20a)와, 화상 인식용 카메라(26)를 구비하고 있다. 전기 접촉자군(25)을 전기 회로 패턴(11b)의 전기 접점(11c)에 접촉시킴과 함께, 화상 인식용 카메라(26)에 전기 회로 패턴(11b)의 위치를 인식시키기 위해, 전기 검사 지그(20a)의 이동 피치를, 복수의 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 정수배로 하였다. 전기 접촉자군(25)의 전기 접점(11c)에의 접촉에 의해, 전기 회로 패턴(11b)이 검사되고 있을 때, 화상 인식용 카메라(26)는 다음의 전기 회로 패턴(11b)을 인식한다.The electric inspection apparatus (10) electrically inspects a plurality of electric circuit patterns (11b) provided on an electric circuit board (11). The plurality of electric circuit patterns 11b have a plurality of electrical contacts 11c and are arranged at a constant pitch. The electric inspection apparatus 10 includes an electric inspection jig 20a having a plurality of electric contacts 25 and an image recognition camera 26. [ The electrical contact group 25 is brought into contact with the electrical contact 11c of the electric circuit pattern 11b and the electrical inspection jig 20a are made integral multiples of the pitch P of the plurality of electric circuit patterns 11b. When the electric circuit pattern 11b is being inspected by the contact of the electrical contact group 25 with the electrical contact 11c, the image recognition camera 26 recognizes the next electric circuit pattern 11b.

Description

[0001] ELECTRICAL TESTING DEVICE [0002]

본 발명은 전기 회로 기판의 전기 회로 패턴에 구비된 전기 접점에 전기 접촉자를 접촉시킴으로써, 전기 회로 패턴을 전기적으로 검사하는 전기 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electric inspection apparatus for electrically inspecting an electric circuit pattern by contacting an electric contact to an electric contact provided in an electric circuit pattern of the electric circuit substrate.

종래부터, 전기 회로 기판에 형성된 전기 회로 패턴을 전기 도통의 유무에 따라 양호 여부를 판정하는 일이 행해지고 있으며, 이 경우, 전기 회로 기판의 전기 회로 패턴에 형성한 전기 접점에 전기 접촉자를 접촉시켜 전기 검사를 행하고 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 기판 검사 장치(전기 검사 장치)에서는, 검사 지그와 일체적으로 이동하는 주 카메라가 반송 테이블에 형성된 테이블 위치 결정 마크 및 기판 위치 결정 마크를 촬상함과 함께, 반송 테이블에 설치된 보조 카메라가 검사 지그에 형성된 지그 위치 결정 마크를 촬상한다. 그리고, 이와 같이 촬상된 마크 화상으로부터 기판과 검사 지그의 상대적인 위치 관계를 자동적으로 구하여, 기판의 검사를 행하도록 하고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an electric circuit pattern formed on an electric circuit board is judged as to whether or not it is good depending on the presence or absence of electric conduction. In this case, an electrical contact is brought into contact with an electrical contact formed on an electric circuit pattern of an electric circuit board, (See, for example, Patent Document 1). In this substrate inspection apparatus (electric inspection apparatus), a main camera which moves integrally with the inspection jig senses a table positioning mark and a substrate positioning mark formed on the transport table, and an auxiliary camera installed on the transport table, The image of the jig positioning mark is formed. Then, the relative positional relationship between the substrate and the inspection jig is automatically obtained from the thus-picked mark image, and the substrate is inspected.

일본 특허 공개 제2000-55971호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-55971

그러나, 종래의 전기 검사 장치에서는, 주 카메라 및 보조 카메라에 의한 기판과 검사 지그의 위치 확인과, 기판과 전기 접촉자를 접촉시키는 처리가 개별적으로 행해지기 때문에 처리 시간이 길어짐과 함께, 기판과 전기 접촉자의 위치에 오차가 발생하기 쉬워진다고 하는 문제가 있다.However, in the conventional electric inspection apparatus, since the positioning of the substrate and the inspection jig by the main camera and the auxiliary camera and the processing of bringing the substrate into contact with the electric contact are performed individually, the processing time becomes long, There is a problem that an error is likely to occur at the position of

본 발명은 전술한 문제에 대처하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 전기 회로 패턴의 위치 인식과 검사를 동시에 행함으로써, 처리 시간의 단축화가 도모됨과 함께, 전기 회로 패턴과 전기 접촉자의 위치 결정 정밀도의 향상이 도모되는 전기 검사 장치를 제공하는 것이다. 또한, 하기 본 발명의 각 구성 요건의 기재에 있어서는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해, 실시 형태의 대응 지점의 부호를 괄호 내에 기재하고 있지만, 본 발명의 구성 요건은, 실시 형태의 부호에 의해 나타낸 대응 지점의 구성에 한정하여 해석되어야 하는 것은 아니다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to overcome the above-described problems, and its object is to provide an electric circuit pattern recognition apparatus which can shorten a processing time by simultaneously performing position recognition and inspection of an electric circuit pattern, And to provide an electric inspection apparatus in which improvement is achieved. In order to facilitate understanding of the present invention, the reference numerals of corresponding points in the embodiments are shown in parentheses in the description of each constituent requirement of the present invention. The present invention is not limited to the configuration of the corresponding point indicated by the reference numeral.

전술한 문제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 구성 상의 특징은, 제1 전기 접점군(11c)을 각각 갖는 복수의 제1 전기 회로 패턴(11b)이 일정한 피치로 일직선 상에 배치된 전기 회로 기판(11)에 있어서의 복수의 제1 전기 회로 패턴을 전기적으로 검사하는 전기 검사 장치이며, 복수의 제1 전기 회로 패턴 중 N개의 제1 전기 회로 패턴에 속하는 N조의 제1 전기 접점군에 동시에 접촉하는 N조의 제1 전기 접촉자군(25)을 갖고, N조의 제1 전기 접촉자군이 다음의 제1 전기 회로 패턴의 위치까지 이동하도록 전기 회로 기판에 대하여 순차적으로 직선적으로 이동함과 함께, 상기 이동 후마다 N조의 제1 전기 접촉자군을 N조의 제1 전기 접점군에 접촉시켜 복수의 제1 전기 회로 패턴을 순차적으로 검사하는 전기 검사 지그(20a, 30a, 40a, 50a)와, 전기 검사 지그에 설치되어 전기 검사 지그와 함께 이동하여, 상기 검사되는 복수의 제1 전기 회로 패턴의 위치를 순차적으로 인식하는 화상 인식용 카메라(26, 36, 46, 56)를 구비하고, 전기 검사 지그가 순차적으로 이동하는 각 이동 거리를 복수의 제1 전기 회로 패턴의 피치(P)의 N배로 하고, 또한 전기 검사 지그가 이동하면서 제1 전기 회로 패턴을 검사하고 있을 때, 화상 인식용 카메라는, 전기 검사 지그에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사 중에, 전기 검사 지그에 의해 이후에 검사되는 제1 전기 회로 패턴을 인식하도록 한 데에 있다.In order to solve the above-described problems, the electrical inspection apparatus according to the present invention is characterized in that a plurality of first electric circuit patterns 11b each having a first electrical contact group 11c are arranged in a straight line at a constant pitch Wherein the first electrical circuit pattern is electrically connected to the first electrical circuit pattern of the first electrical circuit pattern (11) And the first group of electrical contacts 25 of N sets are simultaneously moved linearly with respect to the electric circuit board so as to move to the position of the next first electric circuit pattern Electrical inspection jigs (20a, 30a, 40a, 50a) for sequentially inspecting a plurality of first electric circuit patterns by bringing the first group of electrical contacts into contact with the first group of electrical contacts of the N sets after the movement, Electrical inspection And an image recognition camera (26, 36, 46, 56) which is provided in the electric inspection jig and moves together with the electric inspection jig to sequentially recognize the positions of the plurality of first electric circuit patterns to be inspected, And the moving distance to move to the first electric circuit pattern is N times the pitch P of the plurality of first electric circuit patterns and when the electric inspection jig moves while inspecting the first electric circuit pattern, So as to recognize a first electric circuit pattern to be inspected later by the electric inspection jig during inspection of the first electric circuit pattern by the jig.

이 경우, 상기 값 N은 1 또는 2 이상의 정수값이다. 구체적으로는, 예를 들어 값 N이 「1」이면, 제1 전기 접촉자군은, 1개의 제1 전기 회로 패턴에 속하는 제1 전기 접점군에 각각 대응한다. 또한, 값 N이 「2」이면, 제1 전기 접촉자군은, 2개의 제1 전기 회로 패턴에 속하는 제1 전기 접점군에 각각 대응한다. 그리고, 전기 검사 지그를 전기 회로 기판에 대하여 순차적으로 이동시키는 이동 거리는, 값 N이 「1」이면 복수의 제1 전기 회로 패턴의 피치와 동일하게 되고, 값 N이 「2」이면 복수의 제1 전기 회로 패턴의 피치의 2배로 된다.In this case, the value N is an integer value of 1 or 2 or more. Specifically, for example, when the value N is "1", the first electrical contact group corresponds to the first electrical contact group belonging to one first electrical circuit pattern, respectively. When the value N is " 2 ", the first electrical contact group corresponds to the first electrical contact group belonging to the two first electric circuit patterns, respectively. If the value N is " 1 ", the moving distance for sequentially moving the electric testing jig to the electric circuit board becomes equal to the pitch of the plurality of first electric circuit patterns. If the value N is " 2 & Which is twice the pitch of the electric circuit pattern.

또한, 전기 검사 지그에 의해 이후에 검사되는 제1 전기 회로 패턴은, 예를 들어 다음의 이동에 의해 검사되는 제1 전기 회로 패턴이다. 또한, 이후에 검사되는 전기 회로 패턴은, 다음의 이동에 의해 검사되는 제1 전기 회로 패턴이 아니어도 되며, 다다음이나, 더 다음의 이동에 의해 검사되는 제1 전기 회로 패턴이어도 된다.Further, the first electric circuit pattern to be inspected later by the electric inspection jig is, for example, a first electric circuit pattern inspected by the following movement. Further, the electric circuit pattern to be inspected subsequently may not be the first electric circuit pattern inspected by the next movement, or may be the first electric circuit pattern inspected by the next movement.

이와 같이 구성한 본 발명에 있어서는, 전기 검사 지그는 제1 전기 회로 패턴의 피치의 N배씩 이동되므로, 전기 검사 지그에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사가 종료되어, 전기 검사 지그가 다음으로 이동한 후에는, 제1 전기 접촉자군 및 화상 인식용 카메라는, 각각 소정의 제1 전기 회로 패턴에 대향하게 된다. 따라서, 전기 검사 지그가 전기 회로 기판에 대하여 이동할 때의 이동 방향의 전방측에 화상 인식용 카메라를 위치시키고, 후방측에 제1 전기 접촉자군을 위치시키면, 제1 전기 회로 패턴의 위치를 순차적으로 확인하면서 제1 전기 회로 패턴을 순차적으로 검사할 수 있다. 또한, 화상 인식용 카메라는, 제1 전기 접촉자군의 제1 전기 접점군에의 접촉에 의해 전기 회로 패턴이 검사되고 있을 때, 제1 전기 접촉자군에 의해 이후에 검사되는 제1 전기 회로 패턴을 인식하도록 하였다. 이로 인해, 화상 인식용 카메라에 의한 제1 전기 회로 패턴의 위치 확인과, 제1 전기 접촉자군에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사가 동시에 행해져, 처리 시간의 단축화가 도모된다.In the present invention constructed as described above, since the electric inspection jig is moved by N times the pitch of the first electric circuit pattern, the inspection of the first electric circuit pattern by the electric inspection jig is finished, and after the electric inspection jig moves to the next , The first electrical contact group and the image recognition camera are opposed to a predetermined first electrical circuit pattern, respectively. Therefore, when the image recognition camera is positioned on the front side in the moving direction when the electric inspection jig moves with respect to the electric circuit board and the first electric contact group is positioned on the rear side, the position of the first electric circuit pattern is sequentially It is possible to sequentially inspect the first electric circuit pattern. The image recognition camera further includes a first electric circuit pattern to be inspected later by the first electrical contact group when the electric circuit pattern is being inspected by contact with the first electrical contact group of the first electrical contact group . As a result, the position of the first electric circuit pattern by the image recognition camera and the inspection of the first electric circuit pattern by the first electric contact group are performed at the same time, thereby shortening the processing time.

또한, 전기 검사 지그가 전기 회로 기판에 대하여 이동하는 거리를 제1 전기 회로 패턴의 피치의 N배(정수배)로 설정했기 때문에, 소정의 제1 전기 회로 패턴을 화상 인식용 카메라가 인식한 후, 그 제1 전기 회로 패턴이 검사될 때까지 전기 검사 지그를 이동시키는 거리를 최소로 할 수 있다. 또한, 이에 의해, 제1 전기 회로 패턴과 제1 전기 접촉자군의 위치 결정의 정밀도도 향상된다.Further, since the distance that the electric inspection jig moves with respect to the electric circuit board is set to N times (integer times) the pitch of the first electric circuit pattern, after the predetermined first electric circuit pattern is recognized by the image recognition camera, The distance for moving the electric inspection jig can be minimized until the first electric circuit pattern is inspected. In this way, the accuracy of the positioning of the first electrical circuit pattern and the first electrical contact group also improves.

또한, 본 발명에 있어서는, 전술한 바와 같이, 값 N이 「1」이면, 1조의 전기 접촉자군이 1개의 제1 전기 회로 패턴의 제1 전기 접점군에 접촉하여, 1개씩의 제1 전기 회로 패턴을 검사하면서, 화상 인식용 카메라는 1개씩 제1 전기 회로 패턴의 위치를 인식하게 된다. 또한, 값 N이 「2」이면, 2조의 제1 전기 접촉자군이 2개의 제1 전기 회로 패턴의 제1 전기 접점군에 동시에 접촉하여, 동시에 2개씩의 제1 전기 회로 패턴의 검사가 가능하다. 그리고, 이 경우에는, 화상 인식용 카메라를 1조의 제1 전기 접촉자군의 근방에 설치하면, 화상 인식용 카메라는 1개 걸러의 제1 전기 회로 패턴의 위치를 인식하게 된다.In the present invention, as described above, when the value N is " 1 ", one set of electrical contact groups is brought into contact with the first electrical contact group of one first electric circuit pattern, While inspecting the pattern, the image recognition camera recognizes the position of the first electric circuit pattern one by one. When the value N is " 2 ", the first group of two electrical contacts touch the first group of electrical contacts of the two first electrical circuit patterns at the same time, and the two first electrical circuit patterns can be inspected simultaneously . In this case, if the image recognition camera is installed near the first set of first electrical contact groups, the image recognition camera recognizes the positions of the first electrical circuit patterns every other one.

또한, 본 발명에 있어서는, 전기 검사 지그를 이동 개시시키기 전의 최초 처리에서는, 화상 인식용 카메라에 의한 제1 전기 회로 패턴의 위치 인식만이 행해지고, 전기 검사 지그를 이동 종료하는 최후의 처리에서는, 제1 전기 접촉자군에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사만이 행해진다. 그리고, 본 발명의 「전기 검사 지그가 이동하면서 제1 전기 회로 패턴을 검사하고 있을 때, 화상 인식용 카메라는, 전기 검사 지그에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사 중에, 전기 검사 지그에 의해 이후에 검사되는 제1 전기 회로 패턴을 인식한다」란, 상기 최초 처리와 최후 처리의 사이에 있어서의, 전기 검사 지그에 의한 제1 전기 회로 패턴의 검사와, 화상 인식용 카메라에 의한 제1 전기 회로 패턴의 인식이 동시에 행해짐을 의미한다.In the present invention, only the positional recognition of the first electric circuit pattern by the image recognition camera is performed in the initial process before starting the movement of the electric inspection jig, and in the final process of moving the electric inspection jig, Only the inspection of the first electric circuit pattern by the group of electrical contacts 1 is performed. When the first electric circuit pattern is being inspected while moving the electric inspection jig according to the present invention, the image recognition camera can detect the first electric circuit pattern during the inspection of the first electric circuit pattern by the electric inspection jig, Recognizes the first electric circuit pattern to be inspected " refers to the inspection of the first electric circuit pattern by the electric inspection jig between the initial process and the last process, and the inspection of the first electric circuit pattern by the image- Is recognized at the same time.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 다른 구성 상의 특징은, 제1 전기 접촉자군이 제1 전기 접점군의 위치에 있을 때의 제1 전기 접촉자군의 중심 위치(O1, O2, O1', O2')와, 제1 전기 회로 패턴을 인식하고 있을 때의 화상 인식용 카메라의 중심 위치(O, O')와의 상기 전기 검사 지그의 이동 방향을 따른 거리는, 상기 복수의 제1 전기 회로 패턴의 피치(P)의 정수배이다Further, another feature of the electrical inspection apparatus according to the present invention is that the central position (O1, O2, O1 ', O2) of the first electrical contact group when the first electrical contact group is in the position of the first electrical contact group And the center position (O, O ') of the camera for image recognition when recognizing the first electric circuit pattern is determined by the pitch of the plurality of first electric circuit patterns (P)

이 경우의 화상 인식용 카메라의 위치는, 특히 화상 인식용 카메라가 촬상하는 화상 중심으로 제1 전기 회로 패턴의 일 정점이 위치하고 있을 필요는 없으며, 화상 인식용 카메라가 제1 전기 회로 패턴의 위치를 인식할 수 있는 위치에 있으면 된다. 이로 인해, 화상 인식용 카메라의 설치 위치는 다소 폭을 가진 범위로 된다. 즉, 화상 인식용 카메라가 촬상하는 화상 중심으로부터 어긋난 위치에 제1 전기 회로 패턴의 일 정점이 위치하고 있어도, 각 제1 전기 회로 패턴을 촬상했을 때, 그 일 정점이 촬상한 화상 중의 동일한 위치에 있으면 된다.In this case, the position of the camera for image recognition need not necessarily be located at the center of the image taken by the camera for image recognition, and the camera for image recognition needs to set the position of the first electric circuit pattern It can be in a recognizable position. As a result, the installation position of the image recognition camera is somewhat wide. That is, even if the first electric circuit pattern is located at a position shifted from the center of the image picked up by the image-capturing camera, when the first electric circuit pattern is picked up and the vertex is at the same position in the picked- do.

이로 인해, 화상 인식용 카메라는, 전술한 일 정점을 촬상할 수 있는 범위에서 설치 위치를 설정할 수 있다. 또한, 화상 인식용 카메라는, 전기 회로 기판에 가까운 위치에 설치되어도 되고, 전기 회로 기판으로부터 먼 위치에 설치되어도 된다. 본 발명에 따르면, 화상 인식용 카메라의 설치 위치에 어느 정도 자유도를 갖게 하면서, 화상 인식용 카메라의 설치 위치와 복수의 전기 접촉자의 설치 위치의 간격을, 제1 전기 회로 패턴의 피치의 정수배로 맞출 수 있다.Thus, the camera for image recognition can set the installation position within a range in which the above-described one-sided vertex can be picked up. Further, the image recognition camera may be provided at a position close to the electric circuit board, or at a position far from the electric circuit board. According to the present invention, the distance between the installation position of the camera for image recognition and the installation position of the plurality of electrical contacts is adjusted to an integral multiple of the pitch of the first electric circuit pattern, .

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 제1 전기 회로 패턴에 기준 마크(11d)가 형성되고, 화상 인식용 카메라는, 기준 마크를 포함하는 위치 인식 영역(26c, 26c')을 촬상함으로써, 제1 전기 회로 패턴의 위치를 인식하는 데에 있다. 본 발명에 따르면, 화상 인식용 카메라가 촬상하는 기준 마크를 포함하는 위치 인식 영역을 제1 전기 회로 패턴의 면적에 대하여 좁은 영역으로 할 수 있기 때문에, 또한 화상 인식용 카메라의 설치 위치에 자유도를 갖게 하면서, 화상 인식용 카메라의 설치 위치와 전기 접촉자군의 설치 위치의 간격을, 제1 전기 회로 패턴의 피치의 정수배로 맞출 수 있다.Further, another feature of the electric inspection apparatus according to the present invention is that the reference mark 11d is formed on the first electric circuit pattern, and the image recognition camera includes a position recognition area 26c, 26c '), Thereby recognizing the position of the first electric circuit pattern. According to the present invention, since the position recognition area including the reference mark to be imaged by the image recognition camera can be made narrower than the area of the first electric circuit pattern, The distance between the installation position of the camera for image recognition and the installation position of the electrical contact group can be set to an integral multiple of the pitch of the first electric circuit pattern.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 다른 구성 상의 특징은, 전기 회로 기판은, 일직선 상에 배치된 복수의 제1 전기 회로 패턴과 평행하게, 또한 제2 전기 접점군(11c)을 각각 갖는 복수의 제2 전기 회로 패턴(11b)을 일정한 피치로 일직선 상에 배치하고 있고, 전기 검사 지그는, 또한 복수의 제2 전기 회로 패턴 중 N개의 제2 전기 회로 패턴에 속하는 N조의 제2 전기 접점군에 동시에 접촉하는 N조의 제2 전기 접촉자군(25)을 갖고, 전기 회로 기판에 대한 이동 후마다 N조의 제2 전기 접촉자군을 N조의 제2 전기 접점군에 접촉시켜 복수의 제2 전기 회로 패턴을 복수의 제1 전기 회로 패턴과 동시에 순차적으로 검사하도록 한 데에 있다. 이에 따르면, 복수 열로 배치된 제1 및 제2 전기 회로 패턴이 동시에 검사되어, 전기 회로 기판의 검사 효율이 향상된다.Further, another feature of the electric inspection apparatus according to the present invention is that the electric circuit board includes a plurality of first electric circuit patterns arranged in a straight line, and a plurality of second electric contact groups And the second electric circuit pattern 11b of the second electric circuit pattern 11b is arranged in a straight line at a constant pitch. The electric inspection jig also includes N second electric contact points belonging to N second electric circuit patterns And the second group of electrical contacts (25) are brought into contact with the first group of electrical contacts at the same time, and the group of N second electrical contacts is brought into contact with the group of second electrical contacts of N Are sequentially inspected simultaneously with the plurality of first electric circuit patterns. According to this, the first and second electric circuit patterns arranged in a plurality of rows are simultaneously inspected, and the inspection efficiency of the electric circuit board is improved.

또한, 이 경우, 복수 열로 배치된 제1 및 제2 전기 회로 패턴이 동시에 검사되어 가지만, 전기 검사 지그가 전기 회로 기판에 대하여 이동하는 피치는, 전기 검사 지그의 이동 방향으로 연결된 제1 전기 접촉자군의 수로 정해지기 때문에, 전기 검사 지그의 이동 방향에 직교하는 방향으로 제2 전기 접촉자군이 배치되어 있어도 전기 검사 지그의 이동 피치에 영향은 없다. 또한, 제2 전기 접촉자군과 화상 인식용 카메라의 간격은, 전기 검사 지그의 구조에 따라 설정할 수 있지만, 복수의 제2 전기 회로 패턴의 피치와 동일한 거리로 설정하는 것이 바람직하다.In this case, although the first and second electric circuit patterns arranged in a plurality of rows are simultaneously inspected, the pitch at which the electric inspection jig moves with respect to the electric circuit board is smaller than the pitch at which the electric inspection jig moves relative to the first electric contact group The moving pitch of the electrical inspection jig is not affected even if the second electrical contact group is arranged in the direction orthogonal to the moving direction of the electrical inspection jig. The distance between the second electrical contact group and the image recognition camera can be set according to the structure of the electrical inspection jig, but is preferably set to a distance equal to the pitch of the plurality of second electrical circuit patterns.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 화상 인식용 카메라(26)는, 전기 회로 기판에 대향할 수 있도록, 전기 검사 지그(20a) 내에 제1 전기 접촉자군에 나란히 설치된 데에 있다. 본 발명에 따르면, 화상 인식용 카메라와 제1 전기 접촉자군의 전기 회로 기판에 대한 거리를 대략 동일하게 할 수 있기 때문에, 화상 인식용 카메라와 제1 전기 접촉자군의 간격을 설정된 길이로 정확하게 맞추는 것이 용이해진다. 또한, 전기 회로 기판에 대한 화상 인식용 카메라의 위치가 가까워지기 때문에, 화상 인식용 카메라에 의한 전기 회로 패턴의 인식이 정확하게 된다.Further, another feature of the electric inspection apparatus according to the present invention is that the image recognition camera 26 is installed in the electrical inspection jig 20a side by side with the first electrical contact group so as to face the electric circuit board There is. According to the present invention, since the distance between the camera for image recognition and the electric circuit board of the first electrical contact group can be made approximately the same, it is possible to accurately set the interval between the camera for image recognition and the first electrical contact group It becomes easy. Further, since the position of the image recognition camera relative to the electric circuit board is approximated, the recognition of the electric circuit pattern by the image recognition camera becomes accurate.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 전기 검사 지그(30a)에서의 전기 회로 기판에 대향하는 부분에 틈새 구멍(32a, 33a)을 형성하고, 화상 인식용 카메라(36)는, 전기 검사 지그에서의 틈새 구멍의 반대측에 설치된 데에 있다. 이 경우, 화상 인식용 카메라는, 전기 검사 지그에서의 틈새 구멍과 반대측의 외부에 설치되어도 되고, 일부가 외부로 돌출되어도 된다. 본 발명에 따르면, 전기 검사 지그의 내부나 측부에, 화상 인식용 카메라를 설치할 공간이 없는 경우라도, 화상 인식용 카메라를 설치할 수 있다. 또한, 전기 검사 지그에서의 제1 전기 접촉자군이 위치하는 부분의 근방에는, 틈새 구멍을 형성하기만 하면 되므로, 전기 검사 지그의 구조를 단순화할 수도 있다.Further, another feature of the electric inspection apparatus according to the present invention is that the clearance holes 32a and 33a are formed in the portion of the electric inspection jig 30a opposed to the electric circuit board, and the image recognition camera 36 ) Is provided on the opposite side of the clearance hole in the electrical inspection jig. In this case, the image recognition camera may be provided outside the opposite side of the clearance hole in the electrical inspection jig, or a part thereof may protrude to the outside. According to the present invention, even if there is no space for installing the image recognition camera on the inside or the side of the electric inspection jig, the image recognition camera can be installed. Further, since a gap hole is only formed in the vicinity of a portion where the first electrical contact group is located in the electrical inspection jig, the structure of the electrical inspection jig can be simplified.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 화상 인식용 카메라(46)는, 전기 검사 지그(40a)의 측방에 설치된 데에 있다. 본 발명에 따르면, 전기 검사 지그에 화상 인식용 카메라를 설치하기 위한 공간이 불필요하게 되므로, 전기 검사 지그의 소형화나 구조의 단순화가 가능하게 된다.Further, another feature of the electrical inspection apparatus according to the present invention resides in that the image recognition camera 46 is provided at the side of the electrical inspection jig 40a. According to the present invention, since the space for installing the image recognition camera on the electric inspection jig becomes unnecessary, it is possible to downsize the electric inspection jig and simplify the structure.

또한, 본 발명에 따른 전기 검사 장치의 또 다른 구성 상의 특징은, 화상 인식용 카메라(56)는, 전기 검사 지그(50a)의 측방에 위치 결정 기구(57)를 통하여 설치된 데에 있다. 본 발명에 따르면, 위치 결정 기구에 의해 화상 인식용 카메라의 위치 조절이 가능하기 때문에, 화상 인식용 카메라의 설치가 정확한 설치 위치로 되어 있지 않아도 되어, 화상 인식용 카메라의 설치가 용이해진다. 또한, 본 발명에 있어서도, 전기 검사 지그에 화상 인식용 카메라를 설치하기 위한 공간이 불필요하게 되므로, 전기 검사 지그의 소형화나 구조의 단순화가 가능하게 된다.In addition, another feature of the electric inspection apparatus according to the present invention is that the image recognition camera 56 is disposed on the side of the electric inspection jig 50a via the positioning mechanism 57. [ According to the present invention, since the position of the image recognition camera can be adjusted by the positioning mechanism, the installation of the image recognition camera does not need to be performed at an accurate installation position, and the installation of the image recognition camera is facilitated. Further, also in the present invention, since a space for installing the image recognition camera on the electric inspection jig becomes unnecessary, it is possible to downsize the electric inspection jig and simplify the structure.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 주요부를 도시한 개략 구성도이다.
도 2는, 전기 회로 패턴이 형성된 전기 회로 기판을 도시한 사시도이다.
도 3은, 전기 회로 패턴을 도시한 평면도이다.
도 4는, 화상 인식용 카메라가 설치된 전기 검사 지그로 전기 회로 기판을 검사하는 상태를 도시한 단면도이다.
도 5는, 전기 접촉자군과 화상 인식용 카메라의 위치 관계를 도시한 설명도이다.
도 6은, 화상 인식용 카메라와 전기 검사 지그의 이동 순서를 도시한 설명도이다.
도 7은, 제1 실시 형태의 변형예에 따른 전기 검사 장치가 구비하는 전기 접촉자군과 화상 인식용 카메라의 위치 관계를 도시한 설명도이다.
도 8은, 제1 실시 형태의 변형예에 따른 전기 검사 장치가 구비하는 화상 인식용 카메라와 전기 검사 지그의 이동 순서를 도시한 설명도이다.
도 9는, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 화상 인식용 카메라가 설치된 전기 검사 지그로 전기 회로 기판을 검사하는 상태를 도시한 단면도이다.
도 10은, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 화상 인식용 카메라가 설치된 전기 검사 지그로 전기 회로 기판을 검사하는 상태를 도시한 단면도이다.
도 11은, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 화상 인식용 카메라가 설치된 전기 검사 지그로 전기 회로 기판을 검사하는 상태를 도시한 단면도이다.1 is a schematic structural view showing a main part of an electric inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing an electric circuit board on which an electric circuit pattern is formed.
3 is a plan view showing an electric circuit pattern.
4 is a cross-sectional view showing a state in which an electric circuit board is inspected by an electric inspection jig provided with an image recognition camera.
5 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the group of electrical contactors and the camera for image recognition.
Fig. 6 is an explanatory view showing a moving sequence of the image recognition camera and the electric inspection jig.
Fig. 7 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the electrical contact group and the image recognition camera included in the electrical inspection apparatus according to the modified example of the first embodiment.
Fig. 8 is an explanatory view showing a moving sequence of the image recognition camera and the electric inspection jig provided in the electric inspection apparatus according to the modification of the first embodiment. Fig.
9 is a cross-sectional view showing a state in which an electric circuit board is inspected by an electric inspection jig provided with an image recognition camera according to a second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing a state in which an electric circuit board is inspected by an electric inspection jig provided with an image recognition camera according to a third embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view showing a state in which an electric circuit board is inspected by an electric inspection jig provided with an image recognition camera according to a fourth embodiment of the present invention.

(제1 실시 형태)(First Embodiment)

이하, 본 발명의 제1 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다. 도 1은, 제1 실시 형태에 따른 전기 검사 장치(10)의 주요부를 도시한 개략 구성도이다. 이 전기 검사 장치(10)는, 검사 대상물인 전기 회로 기판(11)에 설치된 전기 회로 패턴(11b)(도 2 참조)의 적정한 도통 및 절연을 검사하기 위한 장치이다. 전기 회로 기판(11)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 박판형의 기판(11a)에, 전후 및 좌우로 일정 간격으로 복수의 전기 회로 패턴(11b)을 일직선 상에 배치하여 구성되어 있고, 각 전기 회로 패턴(11b)에는, 복수의 전기 접점(11c)(도 4 참조)과 1개의 기준 마크(11d)(도 3 참조)가 형성되어 있다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a schematic structural view showing a main part of an electric inspection apparatus 10 according to the first embodiment. The electric inspection apparatus 10 is an apparatus for inspecting proper electrical conduction and insulation of an electric circuit pattern 11b (see FIG. 2) provided on an electric circuit board 11 to be inspected. As shown in Fig. 2, the electric circuit board 11 is formed by arranging a plurality of electric circuit patterns 11b on a straight line on a thin plate-shaped substrate 11a at regular intervals in the front, A plurality of electrical contacts 11c (see FIG. 4) and one reference mark 11d (see FIG. 3) are formed in the electric circuit pattern 11b.

전기 회로 패턴(11b)은, 1변의 길이가 12mm로 설정된 정사각형으로 형성되고, 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 간극의 길이는 0.5mm로 설정되어 있다. 이로 인해, 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 중심 위치간의 길이인 피치(P)는 12.5mm로 되어 있다. 또한, 복수의 전기 접점(11c)은, 전기 회로 패턴(11b)에서의 전기 회로가 형성된 부분에 분산되어 배치되고, 기준 마크(11d)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 전기 회로 패턴(11b)에서의 전기 회로가 형성되어 있지 않은 부분의 한쪽 코너부 근방에 형성되어 있다.The electric circuit pattern 11b is formed into a square having a length of one side set at 12 mm and a length of a gap between two adjacent electric circuit patterns 11b is set at 0.5 mm. As a result, the pitch P, which is the length between the center positions of the two adjacent electric circuit patterns 11b, is 12.5 mm. The plurality of electrical contacts 11c are dispersed and arranged on the portion where the electrical circuit in the electrical circuit pattern 11b is formed and the reference mark 11d is arranged in a manner such that the electrical circuit pattern 11b Is formed in the vicinity of one corner of the portion on which the electric circuit is not formed.

전기 검사 장치(10)는, 전기 회로 기판(11)을 설치하는 설치 장치(도시하지 않음)와, 이동 장치(12)와, 이동 장치(12)의 구동에 의해 전기 회로 기판(11)의 표면을 따라 이동하는 가동부(20)와, 가동부(20)에 정보 전달 케이블(28a)을 통하여 접속된 전기 검사 처리부(28)로 구성되어 있다.The electric inspection apparatus 10 includes a mounting apparatus (not shown) for mounting the electric circuit board 11, a moving apparatus 12, and a surface of the electric circuit board 11 by driving of the moving apparatus 12 And an electric inspection processing unit 28 connected to the movable unit 20 via an information transfer cable 28a.

도시는 생략하지만, 전기 회로 기판(11)을 설치하는 설치 장치는, 간격을 유지하고 평행하게 배치되어 X축 방향(도 1의 좌우 방향에서 화살표 X로 나타낸 방향)으로 연장되는 한 쌍의 X축 레일과, 한 쌍의 X축 레일에, 각각 이동 가능한 상태에서 걸쳐져 Y축 방향(도 1의 전후 방향에서 화살표 Y로 나타낸 방향)으로 연장되는 한 쌍의 Y축 레일과, 한 쌍의 Y축 레일에 각각 이동 가능하게 설치된 한 쌍의 파지부(합계 4개)를 구비하고 있다. 그리고, 구동부의 구동에 의해, 한 쌍의 Y축 레일은 각각 독립적으로 한 쌍의 X축 레일을 따라 이동하고, 4개의 파지부는 각각 독립적으로 한 쌍의 Y축 레일 중 어느 한쪽을 따라 이동한다. 이로 인해, 4개의 파지부로 전기 회로 기판(11)의 네 구석을 파지함으로써, 전기 회로 기판(11)을 지지할 수 있다.Although not shown, the mounting apparatus for mounting the electric circuit board 11 is provided with a pair of X-axes extending in the X-axis direction (the direction indicated by the arrow X in FIG. 1) And a pair of Y-axis rails extending in a Y-axis direction (a direction indicated by an arrow Y in the front-rear direction in FIG. 1) across a pair of X-axis rails in a movable state, And a pair of grippers (four in total) provided movably in the respective arms. The pair of Y-axis rails independently move along the pair of X-axis rails by driving of the driving part, and the four grip parts independently move along one of the pair of Y-axis rails. As a result, the electric circuit board 11 can be supported by gripping the four corners of the electric circuit board 11 with the four grip portions.

이동 장치(12)는, X축 방향을 따라 평행하게 배치된 한 쌍의 X축 레일(13a, 13b)과, X축 레일(13a, 13b)에 걸쳐져 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된 X축 실장부(14)와, X축 실장부(14)에 설치되어 Y축 방향으로 이동 가능하게 된 Y축 실장부(15)를 구비하고 있다. X축 실장부(14)는, X축 레일(13a, 13b)에 각각 미끄럼 이동 가능하게 걸림 결합하는 미끄럼 이동부(14a, 14b)와, 미끄럼 이동부(14a, 14b)의 대향하는 면에 간격을 유지하고 평행하게 걸쳐진 한 쌍의 Y축 레일(14c, 14d)로 구성되어 있고, 구동 장치(도시하지 않음)의 구동에 의해 X축 레일(13a, 13b)을 따라 이동한다.The mobile device 12 includes a pair of X-axis rails 13a and 13b disposed in parallel along the X-axis direction and an X-axis mounting portion 13b that is disposed so as to be movable in the X- And a Y-axis mounting portion 15 provided in the X-axis mounting portion 14 and movable in the Y-axis direction. The X-axis mounting portion 14 includes sliding portions 14a and 14b which are engaged with the X-axis rails 13a and 13b so as to be slidably engaged with each other, And a pair of Y-axis rails 14c and 14d extending parallel to each other, and moves along X-axis rails 13a and 13b by driving of a driving device (not shown).

Y축 실장부(15)는, Y축 레일(14c, 14d)에 설치되어, Y축 방향으로 이동 가능하게 된 설치용 부재로 구성되어 있고, Y축 레일(14c, 14d)에 걸쳐진 판형의 미끄럼 이동부(15a)와, 가동부(20)가 설치되는 설치부(15b)로 구성되어 있다. Y축 실장부(15)는, 구동 장치(도시하지 않음)의 구동에 의해 Y축 레일(14c, 14d)을 따라 이동한다. 또한, Y축 실장부(15)의 설치부(15b)에는, Z축 가동부 및 선회축(도시하지 않음)이 설치되어 있고, 가동부(20)는 선회축 및 Z축 가동부를 통하여 설치부(15b)에 연결되어 있다.The Y-axis mounting portion 15 is constituted by a mounting member provided on the Y-axis rails 14c and 14d so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis mounting portion 15 is a plate- And a mounting portion 15b on which the movable portion 20 is mounted. The Y-axis mounting portion 15 moves along the Y-axis rails 14c and 14d by driving of a driving device (not shown). The Z-axis movable portion and the pivot shaft (not shown) are provided on the mounting portion 15b of the Y-axis mounting portion 15. The movable portion 20 is fixed to the mounting portion 15b ).

Z축 가동부는 구동 장치(도시하지 않음)의 구동에 의해 Z축 방향(도 1의 상하 방향에서 화살표 Z로 나타낸 방향)으로 이동하고, 선회축은 구동 장치(도시하지 않음)의 구동에 의해, 수평면 상에서 축 둘레 방향(도 1의 화살표 R로 나타낸 방향)으로 회전한다. 이로 인해, 가동부(20)는, 각 구동 장치의 구동에 의해 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 함께, 선회축을 중심으로 회전한다. 또한, 설치부(15b)에는, 도 4에 도시한 지지부(17)가 설치되어 있고, 이 지지부(17)는 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 지지부(17)는, 전기 검사 지그(20a)를 지지하는 것으로, 간격을 유지한 상태에서 대향하여 배치된 좌우 대칭의 측 프레임부(17a, 17b)와, 이들 측 프레임부(17a, 17b)의 후단부를 연결하는 연결부(도시하지 않음)를 포함하고, 전방부가 개방된 프레임체로 구성되어 있다.The Z-axis movable portion is moved in the Z-axis direction (the direction indicated by the arrow Z in the vertical direction in Fig. 1) by the driving of a drive device (not shown), and the pivot shaft is driven by a driving device (The direction indicated by the arrow R in Fig. 1). As a result, the movable portion 20 moves in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction by the driving of each driving device and rotates about the pivot axis. The support portion 17 shown in Fig. 4 is provided in the mounting portion 15b, and the support portion 17 is movable in the vertical direction. The support portion 17 supports the electric inspection jig 20a and includes left and right symmetrical side frame portions 17a and 17b disposed so as to face each other while maintaining a gap therebetween, And a connecting portion (not shown) for connecting the rear end portion, and is constituted by a frame whose front portion is opened.

가동부(20)는, 전기 검사 지그(20a)와, 화상 인식용 카메라(26)와, 전기 검사 제어부(27)를 구비하고 있다. 전기 검사 지그(20a)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 베이스 플레이트(21)와 중간 플레이트(22)와 하부 플레이트(23)의 3개의 직사각형 플레이트를, 상부 지주(24)와 하부 지주(24a)로 조립한 조립체에, 복수의 전기 접촉자(25)를 설치하여 구성되어 있다. 또한, 도 1에는 전기 검사 지그(20a)가 도시되어 있지만, 이 전기 검사 지그(20a)는 모식적으로 도시된 것이며, 도 4에 도시한 전기 검사 지그(20a)와는 다소 상이하다.The movable unit 20 is provided with an electric inspection jig 20a, an image recognition camera 26 and an electric inspection control unit 27. [ 4, the electric inspection jig 20a includes three rectangular plates of a base plate 21, an intermediate plate 22 and a lower plate 23, which are connected to the upper support 24 and the lower support 24a And a plurality of electrical contacts 25 are provided on the assembly. Although the electrical inspection jig 20a is shown in Fig. 1, the electrical inspection jig 20a is schematically shown, and is somewhat different from the electrical inspection jig 20a shown in Fig.

베이스 플레이트(21)는, 중앙부에 대략 직사각형의 관통 구멍(21a)이 뚫려 형성된 프레임형으로 형성되고, 지지부(17)의 측 프레임부(17a, 17b)에 고정되어 있다. 중간 플레이트(22)는, 베이스 플레이트(21)보다 얇고 작은 플레이트로 형성되고, 4개의 상부 지주(24)를 통하여 베이스 플레이트(21)의 하면에 네 구석에서 고정되어 있다. 하부 플레이트(23)는, 중간 플레이트(22)보다 작은 플레이트로 형성되고, 중간 플레이트(22)의 하면에 4개의 하부 지주(24a)를 통하여 네 구석에서 고정되어 있다.The base plate 21 is formed in a frame shape having a substantially rectangular through hole 21a at its center and is fixed to the side frame portions 17a and 17b of the support portion 17. [ The intermediate plate 22 is formed of a plate thinner and smaller than the base plate 21 and is fixed at four corners on the lower surface of the base plate 21 via four upper supports 24. [ The lower plate 23 is formed of a plate smaller than the intermediate plate 22 and is fixed at four corners of the lower surface of the intermediate plate 22 through four lower supports 24a.

이로 인해, 베이스 플레이트(21), 중간 플레이트(22) 및 하부 플레이트(23) 등을 포함하는 조립체는, 지지부(17)가 상하로 이동하면, 지지부(17)와 함께 상하로 이동한다. 또한, 중간 플레이트(22)와 하부 플레이트(23)의 한쪽 단부측(도 1에서는 우측)을 제외한 부분의 서로 대향하는 위치에 각각 복수의 관통 구멍이 뚫려 형성되고, 그 복수의 관통 구멍에, 복수의 전기 접촉자(25)의 양단부가 각각 삽입되어 있다. 중간 플레이트(22)의 복수의 관통 구멍과, 하부 플레이트(23)의 복수의 관통 구멍의 배치는, 각각 전기 회로 기판(11)에 형성된 전기 접점(11c)의 배치와 동일하게 되어 있고, 이로 인해 복수의 전기 접촉자(25)의 배치도 전기 접점(11c)의 배치와 동일하게 된다.The assembly including the base plate 21, the intermediate plate 22 and the lower plate 23 moves up and down together with the support portion 17 when the support portion 17 moves up and down. In addition, a plurality of through holes are formed at positions mutually opposed to each other except for one end side (right side in Fig. 1) of the intermediate plate 22 and the lower plate 23, and a plurality of Both ends of the electrical contact 25 of the electrical connector 25 are inserted. The arrangement of the plurality of through holes of the intermediate plate 22 and the plurality of through holes of the lower plate 23 are the same as those of the electrical contacts 11c formed on the electric circuit board 11, The arrangement of the plurality of electrical contacts 25 becomes the same as that of the electrical contacts 11c.

이들 전기 접촉자(25)는, 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 접점(11c)에 대응하도록 배치되어 있다. 또한, 이들 전기 접촉자(25)의 상단부에, 가요성 와이어 케이블(25a)의 선단부(하단부)가 전기적으로 접속되고, 그 와이어 케이블(25a)의 후단부(상단부)는, 베이스 플레이트(21)의 관통 구멍(21a) 내를 관통하여 베이스 플레이트(21)의 상방으로 연장되어 있다. 전기 접촉자(25)의 하단부는, 하부 플레이트(23)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있고, 이 전기 접촉자(25)의 하단부의 돌출단이, 가동부(20)의 이동에 의해, 전기 회로 기판(11)의 전기 접점(11c)에 접촉한다.These electrical contacts 25 are arranged so as to correspond to the electrical contacts 11c of the two adjacent electric circuit patterns 11b. The rear end portion (upper end portion) of the wire cable 25a is electrically connected to the upper end portion (lower end portion) of the flexible wire cable 25a at the upper end portion of the electrical contact 25, Penetrates through the through hole (21a) and extends upwardly of the base plate (21). The lower end of the electrical contact 25 protrudes downward from the lower surface of the lower plate 23 and the protruding end of the lower end of the electrical contact 25 is fixed to the electric circuit board 11 ) Contact with the electrical contact 11c.

전기 접촉자(25)의 하단부는, 가는 바늘형으로 형성되어 있고, 가동부(20)의 이동에 의해, 전기 회로 기판(11)의 전기 접점(11c)과 접촉했을 때, 각 전기 접촉자(25)간이 통전되고, 그 전기 저항값의 대소에 의해 전기 회로 기판(11)의 전기 회로 패턴(11b)이 적정하게 도통되고 있는지 여부를 판정한다. 이것은 양품의 전기 회로 기판(11)의 전기 저항값을 바탕으로 검사 판정값을 설정하고, 그 검사 판정값에 대한 비율로 판정된다. 즉, 도통 검사의 경우에는, 검출한 전기 저항값이 검사 판정값에 대하여 소정 비율 이하이면 양품이라고 판정하고, 소정 비율 이상이면 불량품이라고 판정한다. 또한, 절연 검사의 경우에는, 검출한 전기 저항값이 검사 판정값에 대하여 소정 비율 이상이면 양품이라고 판정하고, 소정 비율 이하이면 불량품이라고 판정한다.The lower end portion of the electrical contact 25 is formed in a thin needle shape so that when the movable contact 20 is brought into contact with the electrical contact 11c of the electric circuit board 11, And it is judged whether or not the electric circuit pattern 11b of the electric circuit board 11 is properly conducted by the magnitude of the electric resistance value. This is determined on the basis of the electric resistance value of the good electric circuit board 11, and is determined as a ratio to the inspection judgment value. That is, in the case of the conduction inspection, it is determined that the product is a good product if the detected electric resistance value is less than or equal to a predetermined ratio with respect to the inspection determination value. In the case of insulation inspection, it is judged that the product is good if the detected electric resistance value is not less than a predetermined ratio with respect to the inspection judgment value.

또한, 중간 플레이트(22)와 하부 플레이트(23)의 한쪽 단부측 부분의 서로 대향하는 위치에 각각 설치 구멍이 뚫려 형성되어 있다. 그리고, 화상 인식용 카메라(26)는, 렌즈부(26a)의 하단부를 하부 플레이트(23)의 설치 구멍 내에 고정하고, 카메라 본체(26b)를 중간 플레이트(22)의 설치 구멍 내에 고정하여 전기 검사 지그(20a)에 내장되어 있다. 이 화상 인식용 카메라(26)는, 전기 검사를 위해 전기 검사 지그(20a)가 이동할 때, 전방으로 되는 위치에 배치되어 있다. 또한, 화상 인식용 카메라(26)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 복수의 전기 접촉자(25)와 간격을 유지하고 배치되어 있다.Mounting holes are formed in positions facing each other at one end side portion of the intermediate plate 22 and the lower plate 23, respectively. The image recognition camera 26 fixes the lower end portion of the lens portion 26a in the mounting hole of the lower plate 23 and fixes the camera body 26b in the mounting hole of the intermediate plate 22, And is built in the jig 20a. The image recognition camera 26 is disposed at a position where it is forward when the electrical inspection jig 20a moves for electrical inspection. As shown in Fig. 5, the image recognition camera 26 is disposed so as to be spaced apart from the plurality of electrical contacts 25. Fig.

전기 접촉자(25)는, 좌우에 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 접점(11c)에 대응할 수 있도록, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)으로 구성되어 있고, 화상 인식용 카메라(26)가 촬상하는 위치 인식 영역(26c)의 중심(O)과 전기 접촉자군(25A)의 중심(O1)과의 거리(a)는 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배인 25mm로 설정되어 있다. 따라서, 위치 인식 영역(26c)의 중심(O)과 전기 접촉자군(25B)의 중심(O2)과의 거리(b)는 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 3배인 37.5mm로 된다.The electrical contactor 25 is composed of two groups of electrical contacts 25A and 25B so as to be able to correspond to the electrical contacts 11c of the two electric circuit patterns 11b adjacent to the left and right. The distance a between the center O of the position recognition area 26c and the center O1 of the electrical contact group 25A is 25 mm which is twice the pitch P of the electric circuit pattern 11b Is set. The distance b between the center O of the position recognition area 26c and the center O2 of the electrical contact group 25B is 37.5 mm which is three times the pitch P of the electric circuit pattern 11b .

전기 검사 제어부(27)는, 판형의 기체(27a)의 상면에 배치된 복수의 전기 부품(27b)으로 구성되어 있다. 기체(27a)는, 프린트 배선판으로 구성되어 있고, 베이스 플레이트(21)의 상면에 대향하도록 하여, 설치부(15b)에 나사 부재(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 또한, 기체(27a)의 하면에는, 복수의 도전부가, 와이어 케이블(25a)의 후단부와 동일한 배치로 설치되어 있다. 각 도전부는, 지지부(17)가 상방에 위치했을 때, 각 와이어 케이블(25a)의 후단부에 접촉하고, 지지부(17)가 하방에 위치했을 때, 각 와이어 케이블(25a)의 후단부로부터 이격된다.The electric inspection control unit 27 is constituted by a plurality of electric parts 27b disposed on the upper surface of a plate-shaped base 27a. The base body 27a is constituted by a printed wiring board and is fixed to the mounting portion 15b by a screw member (not shown) so as to face the upper surface of the base plate 21. [ A plurality of conductive portions are provided on the lower surface of the base 27a in the same arrangement as the rear end of the wire cable 25a. Each of the conductive portions comes into contact with the rear end portion of each wire cable 25a when the support portion 17 is located at the upper side and is separated from the rear end portion of each wire cable 25a when the support portion 17 is positioned downward do.

전기 부품(27b)은, 기체(27a)의 상면에 격자형으로 배치되어 있고, 각각이 전기 검사에 필요한 CPU, ROM, RAM, 타이머 등을 구비한 회로나 장치를 포함하고 있다. 또한, 소정의 전기 부품(27b)은 기체(27a)의 프린트 배선을 통하여 접속되어 있다. 기체(27a)의 한쪽 코너부에는, 접속 단자(27c)를 통하여 정보 전달 케이블(28a)의 선단부가 접속되어 있고, 정보 전달 케이블(28a)의 후단부에 전기 검사 처리부(28)가 접속되어 있다. 이 전기 검사 처리부(28)는, 전기 검사 제어부(27)가 행하지 않는 전기 검사에 필요한 그 밖의 제어를 행한다. 또한, 이 전기 검사 처리부(28)에는 주변 기기, 예를 들어 조작자가 전기 검사 장치(10)의 각 조작을 행하기 위한 조작 패널이나, 검사 결과를 표시하기 위한 표시 패널 등의 장치나 기기, 또는 X, Y, Z축의 축 제어 기기가 접속되어 있다.The electric components 27b are arranged in a lattice form on the upper surface of the base body 27a and each include a circuit or a device having a CPU, a ROM, a RAM, a timer and the like required for electrical inspection. Further, the predetermined electric component 27b is connected through the printed wiring of the base body 27a. The tip of the information transfer cable 28a is connected to one corner of the base 27a via the connection terminal 27c and the electrical inspection processing unit 28 is connected to the rear end of the information transfer cable 28a . The electric inspection processing unit 28 performs other control necessary for the electric inspection that the electric inspection control unit 27 does not perform. The electric inspection processing unit 28 is also provided with peripheral devices such as an operation panel for performing each operation of the electric inspection apparatus 10 by an operator or an apparatus or device such as a display panel for displaying inspection results, X, Y, and Z axis control devices are connected.

이와 같이 구성된 전기 검사 장치(10)를 사용하여 전기 회로 기판(11)의 도통 및 절연 검사를 행하는 경우에는, 도 6에 도시한 전기 회로 기판(11)의 우측 단부로부터 좌측을 향하면서 후방 열(도 6의 상부 열)로부터 전방 열(도 6의 하부 열)을 향하여 2개씩의 전기 회로 패턴(11b)의 검사가 행해진다. 이 도통 검사에 있어서는, 우선, 전기 회로 기판(11)을 설치 장치에 설치한다. 그리고, 각 구동 장치를 구동시켜, 전기 회로 기판(11)에 대하여 가동부(20)를 이동시키면서, 화상 인식용 카메라(26)로 복수의 기준 마크(11d)를 촬상함으로써, 전기 회로 기판(11)의 방향을 조절하여, 각 전기 회로 패턴(11b)의 배열이 가동부(20)의 이동 방향을 따르도록 한다.In the case where the electric circuit board 11 constructed as described above is used for conducting and inspecting the electric circuit board 11, the electric circuit board 11 shown in Fig. 6) are inspected from the upper side (the upper side in Fig. 6) toward the front side (lower side in Fig. 6) of the electric circuit patterns 11b. In this conduction inspection, first, the electric circuit board 11 is installed in the installation apparatus. The driving device is driven to pick up a plurality of reference marks 11d by the image recognition camera 26 while moving the movable portion 20 with respect to the electric circuit board 11, So that the arrangement of the electric circuit patterns 11b is aligned with the moving direction of the movable portion 20.

계속해서, 각 구동 장치를 구동시킴으로써, 화상 인식용 카메라(26)를 전기 회로 기판(11)에 있어서의 후방 열의 우측으로부터 2번째 전기 회로 패턴(11b)의 상방으로 이동시킨다(도 6의 위치 A). 그리고, 화상 인식용 카메라(26)로, 기준 마크(11d)가 포함되는 위치 인식 영역(26c)을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다. 이 촬상된 기준 마크(11d)의 위치는, 미리 기준 위치로서 구해진 기준 위치 데이터와 비교되어, 촬상된 기준 마크(11d)의 위치와 기준 위치 데이터에 차가 없으면 적정 상태에 있다고 판단하고, 차가 발생했으면 전기 회로 기판(11)의 설치 위치를 미세 조정한다. 이때, 전기 접촉자군(25A, 25B)은, 전기 회로 기판(11)의 후방 열 우측 단부의 외부측에 위치하고 있다.Subsequently, by driving each driving device, the image recognition camera 26 is moved upward from the right side of the rear row of the electric circuit board 11 to the second electric circuit pattern 11b (position A ). The image recognition camera 26 images the position recognition area 26c including the reference mark 11d to recognize the position of the reference mark 11d. The position of the sensed reference mark 11d is compared with the reference position data previously obtained as the reference position and it is judged that the sensed reference mark 11d is in an appropriate state if there is no difference between the position of the sensed reference mark 11d and the reference position data, The mounting position of the electric circuit board 11 is finely adjusted. At this time, the electrical contact groups 25A and 25B are located on the outer side of the right rear end of the electric circuit board 11.

이어서, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 상승시켜 가동부(20)를 좌측으로, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배의 거리만큼 직선적으로 이동시킨다(위치 B). 그 후, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 하강시켜, 각 전기 접촉자(25)의 선단부를 각각 전기 접점(11c)에 접촉시킨다. 이 상태에서 전기 회로 기판(11)의 최초 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사가 행해진다. 또한, 동시에, 화상 인식용 카메라(26)는, 후방 열 우측으로부터 4번째 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식 영역(26c)을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다. 이에 의해, 다음에 검사되는 전기 회로 패턴(11b)의 위치가 적정함을 인식한다.The electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are moved upward to move the movable portion 20 to the left by a distance of twice the pitch P of the electric circuit pattern 11b B). Thereafter, the electric inspection jigs 20a and the image recognition camera 26 are lowered to bring the tip ends of the electric contacts 25 into contact with the electric contacts 11c, respectively. In this state, the first two electric circuit patterns 11b of the electric circuit board 11 are electrically inspected. At the same time, the image recognition camera 26 picks up the position recognition area 26c of the fourth electric circuit pattern 11b from the rear row right and recognizes the position of the reference mark 11d. By this, it is recognized that the position of the electric circuit pattern 11b to be inspected next is proper.

이 경우, 각 구동 장치는, CPU로부터 송신되는 명령 신호에 따라 이동함과 함께, 전기 접촉자(25)는, CPU로부터 송신되는 명령 신호에 따라 작동한다. 즉, CPU로부터 송신된 명령 신호에 기초하여, 와이어 케이블(25a)과 도전부의 접속을 전환하여 소정의 전기 접촉자(25)를 각각 대향하는 전기 접점(11c)과 접속 상태로 한다. 그 후, 검사 신호를, 전기 접촉자(25)를 통하여 전기 회로 패턴(11b)에 입력한다. 이 입력된 검사 신호를, 다른 전기 접점(11c)과 접속 상태에 있는 전기 접촉자(25)로부터 취출하여 계측부에 입력하고, 계측부가 전기 저항값의 계측을 행한다.In this case, each drive device moves according to a command signal transmitted from the CPU, and the electric contactor 25 operates according to a command signal transmitted from the CPU. That is, on the basis of the command signal transmitted from the CPU, the connection between the wire cable 25a and the conductive portion is switched so that the predetermined electrical contact 25 is connected to the opposing electrical contact 11c. Thereafter, an inspection signal is inputted to the electric circuit pattern 11b through the electrical contact 25. The input inspection signal is taken out from the electrical contact 25 connected to the other electrical contact 11c and inputted to the measurement section, and the measurement section measures the electrical resistance value.

또한, 전기 회로 기판(11)에 있어서의 다음의 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사를 행하는 경우에는, 다시 각 구동 장치를 구동시킴으로써, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 상승시킨다. 계속해서, 다시 가동부(20)를 좌측으로, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배의 거리만큼 직선적으로 이동시킨 후, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 하강시킨다(위치 C). 그리고, 후방 열 우측으로부터 3번째와 4번째 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사를 행함과 함께, 후방 열 우측으로부터 6번째 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식 영역(26c)을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다.When the electric inspection of the next two electric circuit patterns 11b in the electric circuit board 11 is carried out, the electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 ). Subsequently, the movable part 20 is moved linearly to the left by a distance of twice the pitch P of the electric circuit pattern 11b, and then the electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are moved (Position C). The electric inspection of the third and fourth electric circuit patterns 11b is performed from the right side of the back column and the position recognition area 26c of the sixth electric circuit pattern 11b is photographed from the rear row right side, 11d.

또한, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 위치 D, E로 순서대로 직선적으로 이동시켜, 전술한 조작을 순차적으로 반복해 감으로써, 전기 회로 기판(11)에 있어서의 모든 전기 회로 패턴(11b)의 검사를 행한다. 또한, 후방 열로부터 전방 열의 전기 회로 패턴(11b)의 검사로 이행할 때에는, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)분만큼 전방(전방 열 측)으로 이동시킨 후, 전술한 조작을 행한다.By moving the electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 linearly in the order of the positions D and E and repeating the above operation sequentially, all of the electric circuit board 11 The electric circuit pattern 11b is inspected. The electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are moved forward by the pitch P of the electric circuit pattern 11b from the rear row to the front row electric circuit pattern 11b Front side), and then the above-described operation is performed.

이와 같이, 본 실시 형태에 따른 전기 검사 장치(10)에서는, 복수의 전기 접촉자(25)를 포함하는 전기 접촉자군(25A, 25B)을 구비한 전기 검사 지그(20a)에 화상 인식용 카메라(26)를 설치하고 있다. 그리고, 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사를 위해 전기 접촉자(25)를 직선적으로 이동시킴과 함께, 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식을 위해 화상 인식용 카메라(26)를 직선적으로 이동시키기 위한 전기 검사 지그(20a)의 이동 피치(이동 거리)를 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배로 하고 있다. 이로 인해, 전기 검사 지그(20a)가 전기 회로 기판(11)에 대하여 설정된 피치에 따라 직선적으로 이동하면, 전기 접촉자군(25A, 25B)과 화상 인식용 카메라(26)는, 각각 소정의 전기 회로 패턴(11b)에 대향하게 된다.As described above, in the electric inspection apparatus 10 according to the present embodiment, the electric inspection jig 20a provided with the electric contact groups 25A and 25B including the plurality of electric contactors 25 is provided with the image recognition camera 26 ). The electric contactor 25 is linearly moved for electrical inspection of the two electric circuit patterns 11b and the image recognition camera 26 is moved linearly to recognize the position of the electric circuit pattern 11b (Moving distance) of the electric inspection jig 20a for making the electric circuit pattern 11b twice as large as the pitch P of the electric circuit pattern 11b. The electric contact groups 25A and 25B and the image recognition camera 26 are moved to a predetermined electric circuit 25 by the electric contact jig 20a when the electric inspection jig 20a linearly moves in accordance with the pitch set with respect to the electric circuit board 11. [ And faces the pattern 11b.

또한, 화상 인식용 카메라(26)는, 촬상하는 위치 인식 영역(26c)의 중심(O)과 전기 접촉자군(25A)의 중심(O1)의 거리가, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배인 25mm로 되도록 설치되어 있다. 따라서, 우선, 전기 회로 패턴(11b)의 위치를 인식하면, 계속해서 행해지는 처리에 의해, 위치가 인식된 전기 회로 패턴(11b)을 포함하는 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사와, 다음에 검사되는 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식이 순차적으로 동시에 행해진다. 이로 인해, 처리 시간의 단축화가 도모된다.The image recognition camera 26 is arranged so that the distance between the center O of the position recognition area 26c to be imaged and the center O1 of the electrical contact group 25A is smaller than the pitch P of the electric circuit pattern 11b Which is twice as large as that of the first embodiment. Therefore, by first recognizing the position of the electric circuit pattern 11b, electric inspection of the two electric circuit patterns 11b including the electric circuit pattern 11b whose position is recognized, The position recognition of the electric circuit pattern 11b to be inspected next is sequentially performed at the same time. As a result, the processing time can be shortened.

또한, 전기 검사 지그(20a)가 이동하는 피치가 복수의 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배로 설정되어 있기 때문에, 소정의 전기 회로 패턴(11b)을 화상 인식용 카메라(26)가 인식한 후, 그 전기 회로 패턴(11b)을 포함하는 전기 회로 패턴(11b)을 전기 접촉자군(25A, 25B)이 전기 검사할 때까지 전기 검사 지그(20a)가 이동하는 거리를 최소로 할 수 있고, 이에 의해, 전기 회로 패턴(11b)과 전기 접촉자군(25A, 25B)의 위치 결정의 정밀도도 향상된다.Since the pitch at which the electric inspection jig 20a moves is set to be twice the pitch P of the plurality of electric circuit patterns 11b, the predetermined electric circuit pattern 11b is placed in the image recognition camera 26, The distance that the electric inspection jig 20a moves is minimized until the electric contact patterns 25a and 25b electrically inspect the electric circuit pattern 11b including the electric circuit pattern 11b Whereby the accuracy of the positioning of the electric circuit pattern 11b and the electrical contact groups 25A and 25B is also improved.

또한, 본 실시 형태에서는, 전기 회로 패턴(11b)에 기준 마크(11d)를 형성하고, 이 기준 마크(11d)를 포함하는 위치 인식 영역(26c)을 화상 인식용 카메라(26)가 촬상함으로써 전기 회로 패턴(11b)의 위치를 인식하도록 하고 있다. 이로 인해, 화상 인식용 카메라(26)는 전기 회로 패턴(11b)의 일부를 촬상하면 되므로, 설치 위치에 자유도를 갖게 하면서, 화상 인식용 카메라(26)와 전기 접촉자군(25A, 25B)의 위치 관계를, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 정수배로 맞출 수 있다. 또한, 화상 인식용 카메라(26)의 렌즈부(26a)를 복수의 전기 접촉자(25)에 나란히 카메라 본체(26b)를 전기 검사 지그(20a) 내에 설치했기 때문에, 전기 회로 기판(11)에 대한 화상 인식용 카메라(26)의 위치가 가까워져, 화상 인식용 카메라(26)에 의한 전기 회로 패턴(11b)의 인식이 정확해진다.In the present embodiment, the reference mark 11d is formed on the electric circuit pattern 11b, and the image recognition camera 26 picks up the position recognition area 26c including the reference mark 11d, Thereby recognizing the position of the circuit pattern 11b. This allows the image recognition camera 26 to capture a part of the electric circuit pattern 11b so that the position of the image recognition camera 26 and electrical contact groups 25A and 25B The relationship can be set to an integral multiple of the pitch P of the electric circuit pattern 11b. Since the camera body 26b is provided in the electrical inspection jig 20a in parallel with the plurality of electrical contacts 25 in the lens portion 26a of the camera 26 for image recognition, The position of the image recognition camera 26 is near and the recognition of the electric circuit pattern 11b by the image recognition camera 26 is accurate.

(제1 실시 형태의 변형예)(Modification of First Embodiment)

도 7에는, 전술한 제1 실시 형태의 변형예에 따른 전기 검사 장치에 구비된 화상 인식용 카메라(26)(위치 인식 영역(26c')을 도시)와, 복수의 전기 접촉자(25)로 구성된 2조의 전기 접촉자군(25C, 25D)의 위치 관계를 도시하고 있다. 전기 접촉자군(25C, 25D)은, 전후에 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)에 대응할 수 있도록 전후에 배치되어 있고, 화상 인식용 카메라(26)는, 전방에 위치하는 전기 접촉자군(25D)의 좌측에 배치되어 있다. 그리고, 위치 인식 영역(26c')의 중심(O')과, 전기 접촉자군(25C)의 중심(O1') 및 전기 접촉자군(25D)의 중심(O2')과의 좌우 방향의 거리(c)는 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)와 동일한 12.5mm로 설정되어 있다. 이 변형예에 따른 전기 검사 장치의 그 이외의 부분의 구성은, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일하다. 따라서, 이하, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부분에는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부호를 사용하여 설명한다.7 shows an image recognition camera 26 (shown in the position recognition area 26c ') provided in the electric inspection apparatus according to the modification of the first embodiment described above and a plurality of electric contacts 25 And shows the positional relationship of the two sets of electrical contact groups 25C and 25D. The electrical contact groups 25C and 25D are arranged before and after the electric contact groups 25C and 25D so as to correspond to the two electric circuit patterns 11b adjacent to the front and rear. As shown in Fig. The distance between the center O 'of the position recognition area 26c' and the center O1 'of the electrical contact group 25C and the center O2' of the electrical contact group 25D in the left and right directions c Is set to 12.5 mm which is the same as the pitch P of the electric circuit pattern 11b. The configuration of the other parts of the electrical inspection apparatus according to this modification is the same as that of the electrical inspection apparatus 10 described above. Therefore, the same parts as those of the electrical inspection apparatus 10 described above will be described using the same reference numerals as those of the electrical inspection apparatus 10 described above.

이와 같이 구성된 변형예에 따른 전기 검사 장치를 사용하여 전기 회로 기판(11)의 도통 검사를 행하는 경우에는, 도 8에 도시한 전기 회로 기판(11)의 우측 단부로부터 좌측을 향하면서 전후 2개씩의 전기 회로 패턴(11b)의 검사가, 후방 열 측(도 8의 상부 열)으로부터 전방 열 측(도 8의 하부 열)을 향하여 행해진다. 이 도통 검사에 있어서는, 전술한 실시 형태와 마찬가지로, 우선, 전기 회로 기판(11)을 설치 장치에 설치한 후, 전기 회로 기판(11)에 대하여 가동부(20)를 이동시키면서, 화상 인식용 카메라(26)로 복수의 기준 마크(11d)를 촬상함으로써, 전기 회로 기판(11)의 방향을 조절하여, 각 전기 회로 패턴(11b)의 배열이 가동부(20)의 이동 방향을 따르도록 한다.In the case of conducting the electrical continuity inspection of the electric circuit board 11 by using the electric inspection apparatus according to the modified example thus configured, the electric circuit board 11 is moved from the right end to the left side of the electric circuit board 11 shown in Fig. 8, The inspection of the electric circuit pattern 11b is performed from the rear heat side (the upper row in Fig. 8) toward the front heat side (the lower row in Fig. 8). In this conduction inspection, similarly to the above-described embodiment, first, the electric circuit board 11 is installed in the installation device, and then the movable part 20 is moved with respect to the electric circuit board 11, 26 so that the arrangement of the electric circuit patterns 11b is aligned with the moving direction of the movable portion 20 by adjusting the direction of the electric circuit board 11 by imaging the plurality of reference marks 11d.

계속해서, 화상 인식용 카메라(26)를 전기 회로 기판(11)에 있어서의 후방 열로부터 2열째 열의 우측 단부의 전기 회로 패턴(11b)의 상방으로 이동시킨다(도 8의 위치 A'). 그리고, 화상 인식용 카메라(26)로, 기준 마크(11d)가 포함되는 위치 인식 영역(26c')을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다. 이때, 전기 접촉자군(25C)은, 전기 회로 기판(11)의 최후 열의 우측 단부의 외부측에 위치하고, 전기 접촉자군(25D)은, 전기 회로 기판(11)의 후방 열로부터 2열째 열의 우측 단부의 외부측에 위치하고 있다.Subsequently, the image recognition camera 26 is moved upward from the rear row of the electric circuit board 11 to the electric circuit pattern 11b at the right end of the second row (position A 'in Fig. 8). The image recognition camera 26 images the position recognition area 26c 'including the reference mark 11d to recognize the position of the reference mark 11d. The electrical contact group 25C is located on the outer side of the right end of the last row of the electric circuit board 11 and the electrical contact group 25D is located on the right end of the second row from the rear row of the electric circuit board 11, As shown in Fig.

이어서, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 상승시켜 가동부(20)를 좌측으로, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)와 동일한 거리만큼 직선적으로 이동시킨다(위치 B'). 그 후, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 하강시켜, 각 전기 접촉자(25)의 선단부를 각각 전기 접점(11c)에 접촉시킨다. 이 상태에서 전기 회로 기판(11)의 최초 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사가 행해진다. 또한, 동시에, 화상 인식용 카메라(26)는, 후방 열로부터 2번째 열의 우측으로부터 2번째 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식 영역(26c')을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다. 이에 의해, 다음에 검사되는 전기 회로 패턴(11b)의 위치가 적정함을 인식한다.The electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are then lifted to linearly move the movable part 20 to the left by a distance equal to the pitch P of the electric circuit pattern 11b (position B ' ). Thereafter, the electric inspection jigs 20a and the image recognition camera 26 are lowered to bring the tip ends of the electric contacts 25 into contact with the electric contacts 11c, respectively. In this state, the first two electric circuit patterns 11b of the electric circuit board 11 are electrically inspected. At the same time, the image recognition camera 26 picks up the position recognition area 26c 'of the second electric circuit pattern 11b from the right side in the second column from the rear row and recognizes the position of the reference mark 11d . By this, it is recognized that the position of the electric circuit pattern 11b to be inspected next is proper.

또한, 전기 회로 기판(11)에 있어서의 다음의 2개의 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사를 행하는 경우에는, 다시, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 상승시킨다. 계속해서, 다시 가동부(20)를 좌측으로, 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)와 동일한 거리만큼 직선적으로 이동시킨 후, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 하강시킨다(위치 C'). 그리고, 최후 열의 우측으로부터 2번째와 후방 열로부터 2번째 열의 우측으로부터 2번째 전기 회로 패턴(11b)의 전기 검사를 행함과 함께, 후방 열로부터 2번째 열의 우측으로부터 3번째 전기 회로 패턴(11b)의 위치 인식 영역(26c')을 촬상하여 기준 마크(11d)의 위치를 인식한다.When the electric inspection of the next two electric circuit patterns 11b in the electric circuit board 11 is carried out, the electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are again raised. Subsequently, the movable portion 20 is moved linearly to the left by a distance equal to the pitch P of the electric circuit pattern 11b, and then the electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are lowered (Position C '). Electricity inspection of the second electric circuit pattern 11b from the right side of the second row from the right side of the last row and the second electric circuit pattern 11b from the right side of the second row from the rear row are performed, And recognizes the position of the reference mark 11d by imaging the position recognition area 26c '.

또한, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 위치 D'로부터 H'로 순서대로 직선적으로 이동시켜, 전술한 조작을 순차적으로 반복해 감으로써, 전기 회로 기판(11)에 있어서의 모든 전기 회로 패턴(11b)의 검사를 행한다. 또한, 이 경우, 후방 열로부터 전방 열의 전기 회로 패턴(11b)의 검사로 이행할 때에는, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)를 전기 회로 패턴(11b)의 피치(P)의 2배분만큼 전방(전방 열 측)으로 이동시킨 후, 전술한 조작을 행한다.The electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are linearly moved in order from the position D 'to the H', and the above-described operation is repeated in sequence, The electric circuit pattern 11b is inspected. The electrical inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are arranged at a pitch P of the electric circuit pattern 11b (Forward side) by a factor of 2, and then the above-described operation is performed.

이 변형예에 따른 전기 검사 장치에 따르면, 전기 검사 지그(20a)와 화상 인식용 카메라(26)의 이동 방향을 따른 2열의 전기 회로 패턴(11b) 중 한쪽 열의 모든 전기 회로 패턴(11b)의 위치를 인식하면서 전기 검사가 행해지기 때문에, 화상 인식용 카메라(26)에 의한 전기 회로 패턴(11b)의 인식이 보다 정확해진다. 이 변형예에 따른 전기 검사 장치의 그 이외의 작용 효과는, 전술한 실시 형태의 작용 효과와 마찬가지이다. 또한, 다른 변형예로서, 좌우, 전후에 각각 2개의 전기 접촉자군(합계 4개)을 배치할 수도 있다. 이 경우, 도 6에 도시한 처리를 전후 방향으로 2열 걸러 행한다. 이 변형예에 따르면, 효율이 좋은 전기 검사가 가능하게 된다.According to the electric inspection apparatus according to this modification, the position of all the electric circuit patterns 11b in one of the two rows of electric circuit patterns 11b along the moving direction of the electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 The recognition of the electric circuit pattern 11b by the image recognition camera 26 is more accurate. Other operational effects of the electrical inspection apparatus according to this modified example are the same as the operational effects of the above-described embodiment. As another modification, two groups of electrical contacts (four in total) may be arranged on each of the right and left, front and rear. In this case, the processes shown in Fig. 6 are performed in two rows in the forward and backward directions. According to this modified example, it is possible to conduct electric inspection with high efficiency.

(제2 실시 형태)(Second Embodiment)

도 9는, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 구비된 전기 검사 지그(30a)와, 전기 검사 지그(30a)에 설치된 화상 인식용 카메라(36)로, 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하는 상태를 도시하고 있다. 이 전기 검사 지그(30a)에서는, 중간 플레이트(32)와 하부 플레이트(33)의 한쪽 단부측 부분의 서로 대향하는 위치에 각각 틈새 구멍(32a, 33a)이 뚫려 형성되고, 이 틈새 구멍(32a, 33a)의 상방에 화상 인식용 카메라(36)가 고정되어 있다. 화상 인식용 카메라(36)는, 렌즈부(36a)를 베이스 플레이트(31)의 관통 구멍(31a) 내에 위치시켜, 카메라 본체(36b)가 베이스 플레이트(31)의 상방에 설치 부재(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 이 제2 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일하다. 따라서, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부분에는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부호를 기재하고 있다.9 shows an electric circuit board 11 as an electric inspection jig 30a provided in the electric inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention and an image recognition camera 36 provided in the electric inspection jig 30a. The electric inspection is carried out in the state shown in Fig. In this electrical inspection jig 30a, clearance holes 32a and 33a are formed at positions facing each other at one end side portion of the intermediate plate 32 and the lower plate 33, and the clearance holes 32a, An image recognition camera 36 is fixed above the camera body 33a. The camera 36 for image recognition is configured such that the lens portion 36a is positioned in the through hole 31a of the base plate 31 and the camera body 36b is mounted on the base plate 31 As shown in Fig. The configuration of the other parts of the electric inspection apparatus according to the second embodiment is the same as that of the electric inspection apparatus 10 described above. Therefore, the same reference numerals as those of the electrical inspection apparatus 10 are described in the same parts as the electrical inspection apparatus 10 described above.

또한, 화상 인식용 카메라(36)와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 사이의 거리(전기 검사 지그(30a)의 이동 방향을 따른 거리)도 전술한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 거리와 동일하게 설정되어 있다. 그리고, 이 제2 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 의해서도, 전술한 제1 실시 형태와 동일한 방법으로 전기 회로 기판(11)의 전기 검사가 행해진다. 본 실시 형태에 따르면, 전기 검사 지그(30a)의 내부에, 화상 인식용 카메라(36)를 설치하기 위한 공간이나 설치를 위한 부재나 구조를 준비할 필요없이, 중간 플레이트(32)와 하부 플레이트(33)에 있어서의 복수의 전기 접촉자(25)가 위치하는 부분의 근방에, 틈새 구멍(32a, 33a)을 형성하기만 하면 되므로, 전기 검사 지그(30a)의 구조를 단순화할 수 있다. 본 실시 형태의 그 이외의 작용 효과는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 마찬가지이다.The distance between the image recognition camera 36 and the two sets of electrical contacts 25A and 25B (the distance along the moving direction of the electrical inspection jig 30a) is also the same as that of the image recognition camera 26 , And are set equal to the distances of the two sets of electrical contact groups 25A and 25B. Electricity inspection of the electric circuit board 11 is also performed by the electric inspection apparatus according to the second embodiment in the same manner as in the first embodiment described above. According to the present embodiment, the space for installing the image recognition camera 36 and the member or the structure for installation are not required to be provided inside the electric inspection jig 30a, and the intermediate plate 32 and the lower plate It is only necessary to form the clearance holes 32a and 33a in the vicinity of the portions where the plurality of electric contacts 25 are located in the electric inspection jig 33 so that the structure of the electric inspection jig 30a can be simplified. Other operational effects of the present embodiment are the same as those of the electric inspection apparatus 10 described above.

또한, 제2 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 변형예로서, 화상 인식용 카메라(36)와, 전기 접촉자군의 위치 관계를, 도 7에 도시한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25C, 25D)의 위치 관계가 되도록 해도 된다. 또한, 다른 변형예로서, 좌우, 전후에 각각 2개의 전기 접촉자군(합계 4개)을 배치할 수도 있다.As a modified example of the electric inspection apparatus according to the second embodiment, the positional relationship between the image recognition camera 36 and the electrical contact group is the same as that of the image recognition camera 26 shown in Fig. 7, The positional relationship of the contact groups 25C and 25D may be set. As another modification, two groups of electrical contacts (four in total) may be arranged on each of the right and left, front and rear.

(제3 실시 형태)(Third Embodiment)

도 10은, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 구비된 전기 검사 지그(40a)와, 전기 검사 지그(40a)에 설치된 화상 인식용 카메라(46)로, 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하는 상태를 도시하고 있다. 이 전기 검사 장치에서는, 화상 인식용 카메라(46)가 전기 검사 지그(40a)의 내부가 아니라, 측부에 설치되어 있다. 이로 인해, 중간 플레이트(42)와 하부 플레이트(43)에는, 설치 구멍이나 틈새 구멍은 형성되어 있지 않고, 전기 검사 지그(40a) 전체가 소형으로 형성되어 있다. 또한, 화상 인식용 카메라(46)는, 카메라 본체(46b)와, 카메라 본체(46b)로부터 하방으로 연장된 후에 굴곡하여 수평 방향으로 연장되는 렌즈부(46a)로 구성되어 있고, 렌즈부(46a)의 내부에는 2개의 반사 미러(46c, 46d)가 내장되어 있다.10 is an explanatory view of the electric circuit board 11 with the electric inspection jig 40a provided in the electric inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention and the image recognition camera 46 provided in the electric inspection jig 40a. The electric inspection is carried out in the state shown in Fig. In this electrical inspection apparatus, the image recognition camera 46 is provided not on the inside of the electrical inspection jig 40a but on the side. As a result, no mounting holes or clearance holes are formed in the intermediate plate 42 and the lower plate 43, and the entire electric testing jig 40a is formed in a small size. The image recognition camera 46 is composed of a camera body 46b and a lens portion 46a extending downward from the camera body 46b and then bent and extending in the horizontal direction, , Two reflection mirrors 46c and 46d are incorporated.

반사 미러(46c)는, 하방으로부터 진행되어 오는 광을 반사하여 진행 방향을 90도 변경하여 반사 미러(46d)측으로 진행시킨다. 반사 미러(46d)는, 반사 미러(46c)로부터 진행되어 오는 광을 반사하여 진행 방향을 90도 변경하여 카메라 본체(46b)측으로 진행시킨다. 이에 의해, 화상 인식용 카메라(46)는, 전기 회로 기판(11)의 상면을 촬상할 수 있다. 또한, 카메라 본체(46b)는, 연결 부재(47)에 의해 베이스 플레이트(41)의 소정 부분에 연결되어 있다. 이 제3 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일하다. 따라서, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부분에는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 동일 부호를 기재하고 있다.The reflecting mirror 46c reflects the light proceeding from below and advances the direction toward the reflecting mirror 46d side by changing the advancing direction by 90 degrees. The reflecting mirror 46d reflects the light proceeding from the reflecting mirror 46c, changes its traveling direction by 90 degrees, and advances it toward the camera body 46b. Thereby, the image recognition camera 46 can pick up the image of the upper surface of the electric circuit board 11. [ The camera body 46b is connected to a predetermined portion of the base plate 41 by a connecting member 47. [ The configuration of the other parts of the electrical inspection apparatus according to the third embodiment is the same as that of the electrical inspection apparatus 10 described above. Therefore, the same reference numerals as those of the electrical inspection apparatus 10 are described in the same parts as the electrical inspection apparatus 10 described above.

또한, 본 실시 형태에서는, 화상 인식용 카메라(46)의 반사 미러(46c)의 위치와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 사이의 거리(전기 검사 지그(40a)의 이동 방향을 따른 거리)가 전술한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 거리와 동일하게 설정되어 있다. 이 제3 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 의해서도, 전술한 제1 실시 형태와 동일한 방법으로 전기 회로 기판(11)의 전기 검사가 행해진다. 본 실시 형태에 따르면, 전기 검사 지그(40a)에 화상 인식용 카메라(46)를 설치하기 위한 공간이 불필요하게 되므로, 전기 검사 지그(40a)의 소형화나 구조의 단순화가 가능하게 된다. 본 실시 형태의 그 이외의 작용 효과는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 마찬가지이다.In the present embodiment, the position of the reflection mirror 46c of the image recognition camera 46 and the distance between the two sets of electrical contact groups 25A and 25B (along the moving direction of the electrical inspection jig 40a) Distance) is set equal to the distance between the above-described image recognition camera 26 and the two sets of electrical contact groups 25A and 25B. Electricity inspection of the electric circuit board 11 is also performed by the electric inspection apparatus according to the third embodiment in the same manner as in the first embodiment described above. According to the present embodiment, since the space for installing the image recognition camera 46 in the electrical inspection jig 40a is not required, it is possible to miniaturize the electrical inspection jig 40a and simplify the structure. Other operational effects of the present embodiment are the same as those of the electric inspection apparatus 10 described above.

또한, 제3 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 변형예로서, 화상 인식용 카메라(46)와, 전기 접촉자군의 위치 관계를, 도 7에 도시한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25C, 25D)의 위치 관계가 되도록 해도 된다. 또한, 다른 변형예로서, 좌우, 전후에 각각 2개의 전기 접촉자군(합계 4개)을 배치할 수도 있다.As a modified example of the electric inspection apparatus according to the third embodiment, the positional relationship between the image recognition camera 46 and the electrical contact group is the same as that of the image recognition camera 26 shown in Fig. 7, The positional relationship of the contact groups 25C and 25D may be set. As another modification, two groups of electrical contacts (four in total) may be arranged on each of the right and left, front and rear.

(제4 실시 형태)(Fourth Embodiment)

도 11은, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 구비된 전기 검사 지그(50a)와, 전기 검사 지그(50a)에 설치된 화상 인식용 카메라(56)로, 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하는 상태를 도시하고 있다. 이 전기 검사 장치에서는, 화상 인식용 카메라(56)가 연결 부재가 아니라 위치 결정 기구(57)에 의해 베이스 플레이트(51)의 소정 부분에 연결되어 있다. 위치 결정 기구(57)는, 베이스 플레이트(51)에 대하여 X 방향으로 이동 가능하게 된 X축 이동부(57a)와, X축 이동부(57a)에 대하여 Z 방향으로 이동 가능하게 된 Z축 이동부(57b)로 구성되어 있다. 이로 인해, 화상 인식용 카메라(56)는, X 방향 및 Z 방향으로 위치 조절이 가능하게 되어 있다. 이 제4 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 그 이외의 부분의 구성에 대해서는, 전술한 제3 실시 형태에 따른 전기 검사 장치와 동일하다. 따라서, 상기 전기 검사 장치와 동일 부분에는, 상기 전기 검사 장치와 동일 부호를 기재하고 있다.11 shows an electric circuit board 11 with an electric inspection jig 50a provided in the electric inspection apparatus according to the fourth embodiment of the present invention and an image recognition camera 56 provided in the electric inspection jig 50a, The electric inspection is carried out in the state shown in Fig. In this electric inspection apparatus, the image recognition camera 56 is connected to a predetermined portion of the base plate 51 by a positioning mechanism 57, not by a connecting member. The positioning mechanism 57 includes an X-axis moving portion 57a which is movable in the X-direction with respect to the base plate 51, a Z-axis moving portion 57b which is movable in the Z- And a portion 57b. Thus, the image recognition camera 56 is capable of adjusting the position in the X direction and the Z direction. The configuration of the other parts of the electrical inspection apparatus according to the fourth embodiment is the same as that of the electrical inspection apparatus according to the third embodiment described above. Therefore, the same reference numerals as those of the electrical inspection apparatus are described in the same parts as the electrical inspection apparatus.

또한, 본 실시 형태에서는, 위치 결정 기구(57)에 의해, 화상 인식용 카메라(46)의 반사 미러(46c)의 위치와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 사이의 거리(전기 검사 지그(40a)의 이동 방향을 따른 거리)가 전술한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)의 거리와 동일해지도록 위치 결정된다. 그리고, 이 제4 실시 형태에 따른 전기 검사 장치에 의해서도, 전술한 제1 실시 형태와 동일한 방법으로 전기 회로 기판(11)의 전기 검사가 행해진다.The position of the reflection mirror 46c of the image recognition camera 46 and the distance between the two sets of electrical contact groups 25A and 25B The distance along the moving direction of the jig 40a is equal to the distance between the image recognition camera 26 and the two sets of electrical contacts 25A and 25B. Electricity inspection of the electric circuit board 11 is also performed by the electric inspection apparatus according to the fourth embodiment in the same manner as in the first embodiment described above.

본 실시 형태에 따르면, 위치 결정 기구(57)에 의해 화상 인식용 카메라(56)의 위치 조절이 가능하기 때문에, 화상 인식용 카메라(56)의 설치가 정확한 설치 위치로 되어 있지 않아도 되어, 화상 인식용 카메라(56)의 설치가 용이해진다. 또한, 본 실시 형태에 있어서도, 전기 검사 지그(50a)에 화상 인식용 카메라(56)를 설치하기 위한 공간이 불필요하게 되므로, 전기 검사 지그(50a)의 소형화나 구조의 단순화가 가능하게 된다. 본 실시 형태의 그 이외의 작용 효과는, 전술한 전기 검사 장치(10)와 마찬가지이다.According to the present embodiment, since the position of the image recognition camera 56 can be adjusted by the positioning mechanism 57, the installation of the image recognition camera 56 does not have to be performed at the correct installation position, The installation of the camera 56 for the user is facilitated. Also in the present embodiment, a space for installing the image recognition camera 56 in the electrical inspection jig 50a is not required, so that the electric inspection jig 50a can be downsized and the structure can be simplified. Other operational effects of the present embodiment are the same as those of the electric inspection apparatus 10 described above.

또한, 제4 실시 형태에 따른 전기 검사 장치의 변형예로서, 화상 인식용 카메라(46)와, 전기 접촉자군의 위치 관계를, 도 7에 도시한 화상 인식용 카메라(26)와, 2조의 전기 접촉자군(25C, 25D)의 위치 관계가 되도록 해도 된다. 또한, 다른 변형예로서, 좌우, 전후에 각각 2개의 전기 접촉자군(합계 4개)을 배치할 수도 있다.As a modified example of the electrical inspection apparatus according to the fourth embodiment, the positional relationship between the image recognition camera 46 and the electrical contact group is the same as that of the image recognition camera 26 shown in Fig. 7, The positional relationship of the contact groups 25C and 25D may be set. As another modification, two groups of electrical contacts (four in total) may be arranged on each of the right and left, front and rear.

또한, 본 발명은 전술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 전술한 각 실시 형태나 그 변형예에서는, 복수의 전기 접촉자(25)를, 좌우 또는 전후에 인접한 2개의 전기 회로 패턴(11b)에 대응할 수 있도록, 2조의 전기 접촉자군(25A, 25B)이나 전기 접촉자군(25C, 25D)으로 구성하거나, 좌우 및 전후에 인접한 4개의 전기 회로 패턴(11b)에 대응할 수 있도록, 4조의 전기 접촉자군으로 구성하거나 하고 있지만, 이 전기 접촉자군은 1조만으로 구성해도 되고, 3조 또는 5조 이상의 복수조로 구성해도 된다.Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be appropriately changed. For example, in each of the above-described embodiments and modifications thereof, the plurality of electrical contacts 25 are divided into two groups of electrical contacts 25A, 25B so as to correspond to the two electric circuit patterns 11b adjacent to the left and right, 25B or electrical contact groups 25C and 25D or four electrical contact groups so as to correspond to the four electrical circuit patterns 11b adjacent to the left and right and the front and back, Or may be composed of three or more sets of five or more sets.

또한, 전술한 각 실시 형태에서는, 전기 회로 기판(11)의 상방에, 전기 검사 지그(20a) 및 화상 인식용 카메라(26) 등을 배치하여, 상방으로부터 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하도록 하고 있지만, 전기 회로 기판(11)의 하방에, 전기 검사 지그(20a) 및 화상 인식용 카메라(26) 등을 배치하여, 하방으로부터 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하도록 해도 된다. 또한, 전기 검사 장치가, 표리 양면에 전기 회로 패턴(11b)이 형성된 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하는 장치이면, 전기 회로 기판(11)의 상하 양쪽에, 전기 검사 지그(20a) 및 화상 인식용 카메라(26) 등을 각각 배치하여, 상하 양쪽으로부터 전기 회로 기판(11)의 전기 검사를 행하도록 해도 된다. 또한, 화상 인식용 카메라(26) 등을 복수개 설치해도 된다. 또한, 그 이외의 부분의 구성에 대해서도, 전술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 범위에서 적절히 변경할 수 있다.In the respective embodiments described above, the electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 are arranged above the electric circuit board 11 to perform electric inspection of the electric circuit board 11 from above The electric inspection jig 20a and the image recognition camera 26 may be disposed below the electric circuit board 11 so as to perform electric inspection of the electric circuit board 11 from below . The electrical inspection apparatus 20a and the electrical inspection jig 20b are provided on the upper and lower sides of the electric circuit board 11 in the case where the electric inspection apparatus is an apparatus for conducting the electric inspection of the electric circuit board 11 on which the electric circuit patterns 11b are formed on both the front and back surfaces. The image recognition camera 26 and the like may be respectively disposed so as to perform the electrical inspection of the electric circuit board 11 from both the upper and lower sides. Further, a plurality of image recognition cameras 26 may be provided. The configuration of the other portions is not limited to the above-described embodiment, and can be suitably changed within the technical scope of the present invention.

Claims

An electric inspection apparatus for electrically inspecting a plurality of first electric circuit patterns in an electric circuit board in which a plurality of first electric circuit patterns each having a first electric contact group are arranged in a straight line at a constant pitch,
And N sets of first electrical contact groups simultaneously contacting N sets of first electrical contacts belonging to N first electrical circuit patterns of said plurality of first electrical circuit patterns, The first electrical contact group is moved linearly with respect to the electric circuit board so as to move to the position of the first electrical circuit pattern and the first electrical contact group of the N sets is brought into contact with the first electrical contact group of the N sets after the movement, An electric inspection jig for sequentially inspecting a plurality of first electric circuit patterns,
And an image recognition camera installed on the electric inspection jig and moving together with the electric inspection jig to sequentially recognize the positions of the plurality of first electric circuit patterns to be inspected,
The moving distance of the electrical inspection jig sequentially moving is N times the pitch of the plurality of first electric circuit patterns,
Wherein when the electric inspection jig moves while inspecting the first electric circuit pattern, the image recognition camera performs inspection of the first electric circuit pattern by the electric inspection jig, So as to recognize the first electric circuit pattern,
A reference mark is formed on the first electric circuit pattern,
The image recognition camera recognizes the position of the first electric circuit pattern by imaging a position recognition area including the reference mark,
Compares the position of the picked-up reference mark with reference position data previously obtained as a reference position, and finely adjusts the mounting position of the electric circuit board when a difference is generated.

The method according to claim 1,
Wherein the value N is an integer value of 1 or 2 or more.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first electric circuit pattern to be inspected later by the electric inspection jig is a first electric circuit pattern inspected by the following movement.

3. The method according to claim 1 or 2,
A center position of the first electrical contact group when the first group of electrical contacts is located at the position of the first group of electrical contacts and a center position of the center of the image recognition camera And the distance along the moving direction of the electric inspection jig is an integral multiple of the pitch of the plurality of first electric circuit patterns.

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3. The method according to claim 1 or 2,
A plurality of second electric circuit patterns each having a second electric contact group and arranged parallel to the plurality of first electric circuit patterns arranged on the straight line are arranged in a straight line at a predetermined pitch,
Wherein said electrical inspection jig also has N sets of second electrical contacts simultaneously contacting N groups of second electrical contacts belonging to N second electrical circuit patterns of said plurality of second electrical circuit patterns, The second electrical contact group is contacted to the N second electrical contact group every time after the movement of the first electrical circuit pattern to the first electrical circuit pattern, and the second electrical circuit pattern is sequentially inspected simultaneously with the plurality of first electrical circuit patterns, Inspection device.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the image recognition camera is arranged in parallel with the first electrical contact group in the electric inspection jig so as to face the electric circuit board.

3. The method according to claim 1 or 2,
A clearance hole is formed in a portion of the electrical inspection jig facing the electric circuit board,
Wherein the image recognition camera is provided on the opposite side of the clearance hole in the electric inspection jig.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the image recognition camera is provided on the side of the electric inspection jig.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the image recognition camera is provided on a side of the electric inspection jig through a positioning mechanism.

3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the distance between the center of the position recognition area and the center of the first electrical contact group is an integral multiple of the pitch of the first electric circuit pattern.