KR101810113B1 - 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 캐리지의 투명판에 감광액을 도포한 회로기판을 올려놓으면 실린더의 작동으로 상판이 자동으로 닫히면서 캐리지 내부가 진공으로 유지되어 회로기판이 투명판에 밀착됨과 동시에 캐리지가 작업대 후방으로 이동되어 자외선램프의 조사에 의하여 노광이 완료되고, 다시 전방으로 이동되면 상판이 자동으로 열려져 회로기판을 인출할 수 있도록 구성한 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회로기판이 전후 왕복하는 1번의 이동에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료되어 작업의 효율성 및 편의성을 높여줄 수 있도록 한 발명에 관한 것이다.
전술한 본 발명의 특징은, 사각 틀을 이루는 프레임(11a)(12a)의 내부에 투명판(11b)(12b)이 각각 장착된 상판(11)과 하판(12)이 힌지(16) 결합되어 열리고 닫히며, 상기 하판(12)의 투명판(12b) 둘레에는 패킹(13)이 고정되고, 하판(12)의 사방에 뚫려진 구멍(14)에는 에어흡입관(15)이 결합되어 상판(11)이 닫히면 내부가 밀폐되면서 진공으로 유지되는 캐리지(10); 상기 하판(12)에 핀(21a)으로 피벗 결합된 실린더(21)의 피스톤로드(22)는 상판(11)의 측면에 결합된 링크(23)의 "L"형 안내공(33a)에 결합되어 상판(11)이 자동으로 열고 닫히도록 하는 작동부(20); 상기 캐리지(10)의 후방에 장착되는 조명케이스(31)의 내부에는 자외선램프(32)가 장착되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)를 통해 빛을 상부로 조사(照査)하는 조명부(30); 상기 캐리지(10)의 하판(12) 양측에는 롤러(41b)가 장착되어 작업대(41)의 양측에 장착된 가이드레일(41a)을 따라 이동되고, 하판(12)은 구동체인(42)에 고정되어 구동모터(43)의 동력으로 회전되는 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)를 작업대(41)의 전,후 방향으로 왕복 이동시키는 구동부(40)를 포함하여 구성되며, 상기 상판(11)이 열려진 상태에서 감광액이 도포된 회로기판(50)을 하판(12) 위에 올려놓고, 실린더(21)의 작동으로 상판(11)이 닫히면 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)가 작업대(41) 후방으로 이동되고, 자외선램프(32)에서 빛이 조사되어 노광이 이루어진 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되면 노광이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 의하여 달성될 수 있는 것이다.

Description

회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치{the exposure equipment for printed circuit board}
본 발명은 캐리지의 투명판에 감광액을 도포한 회로기판을 올려놓으면 실린더의 작동으로 상판이 자동으로 닫히면서 캐리지 내부가 진공으로 유지되어 회로기판이 투명판에 밀착됨과 동시에 캐리지가 작업대 후방으로 이동되어 자외선램프의 조사에 의하여 노광이 완료되고, 다시 전방으로 이동되면 상판이 자동으로 열려져 회로기판을 인출할 수 있도록 구성한 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회로기판이 전후 왕복하는 1번의 이동에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료되어 작업의 효율성 및 편의성을 높여줄 수 있도록 한 발명에 관한 것이다.
일반적으로 노광기는 빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 시료 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크를 올려놓고 자외선을 쬐어주어 감광막에 원하는 패턴을 전사시키는 장치로 현대에는 반도체나 TFT LCD 등의 회로기판이 필요한 제조라인에서 카메라와 같이 포토마스크에 빛을 쪼여 기판에 패턴 회로를 인쇄하는 장비로 사용되고 있다.
이와 같은 노광장치는 정확한 패턴의 전사를 위하여 필름과 감광판을 밀착시키는 작업 및 회로기판을 노광기에 설치하는 작업이 번거로울 뿐 아니라 자외선을 조사(照査)하여 회로기판에 빛을 쪼여주는 작업이 까다롭고 작업의 효율이 저하됨에 따라 생산성(生産性)을 높여 줄 수 없었다.
종래에는 공개특허 제10-2006-0090906호 "노광기의 스테이지 구동장치"(선행기술1) 및 등록특허 제10-1464706호 "스캔 앤 스텝 노광기"(선행기술2)가 제안된 바 있다.
상기 선행기술1은 글래스기판이 지지되는 글래스지지부를 구비하는 스테이지와, 상기 글래스지지부의 하면과 볼조인트를 통해 연결되고 구동액츄에이터의 구동력으로 글래스지지부를 승강시키는 다수의 구동유니트를 포함하여 구성되고, 각각의 구동유니트는 동일한 정도만큼 구동되어 스테이지를 승강시키고, 별개로 구동되는 정도를 달리하여 스테이지의 각도를 조절함을 특징으로 하는 노광기의 스테이지 구동장치이다.
상기 선행기술2는 전면 게이트가 설치된 노광기 본체와; 노광기 본체의 내부에 설치된 베이스판 및 실린더 고정판의 사이에 설치된 척 트레이 구동실린더에 의해 포러스 척이 베이스판의 상부 고정레일을 따라 이동하면서 노광기 본체의 내외부로 인출 가능하게 설치된 척 트레이와; 상기 베이스판의 사방에 설치된 가이드봉들의 상단에 결합되고, 베이스판의 후방에 설치된 홀더 승하강실린더에 의해 척 트레이의 상부에서 승강되는 마스크 홀더와; 마스크 홀더의 후방에 설치된 레일 지지대의 상단 LM레일을 따라 이송 가능하게 결합되고, 노광모듈 이송모터에 의해 연속하여 이송하거나, 반복적으로 스텝 이송하면서 척 트레이에 흡착되는 피노광체를 노광하는 노광모듈로 이루어진 것을 특징으로 하는 스캔 앤 스텝 노광기이다.
그러나, 상기 선행기술1은 글래스지지부의 하면과 볼조인트를 통해 연결되는 구동유니트에 의하여 글래스기판의 경사를 조절하거나 승강시켜 장치를 간소화시키고, 전체적인 노광기 높이를 낮출 수 있도록 한 기술이고, 선행기술2는 노광모듈이 횡 방향을 따라 연속하여 이송하거나, 스텝 이송하면서 다양한 규격의 피노광체를 노광할 수 있어 활용도를 높일 수 있고, 노광모듈이 콤팩트한 소형화를 구현할 수 있도록 한 기술이므로 본원발명과 같이, 캐리지의 상판이 자동으로 여닫혀 회로기판의 인출작업이 간편하면서도 회로기판이 전후 왕복하는 1번의 작동에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료될 수 있도록 하는 기술은 찾아볼 수 없었다.
본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 창안한 것으로서, 그 목적은 캐리지의 상판이 자동으로 열리고 닫히면서 회로기판을 캐리지 내부에 넣거나 인출하는 작업이 간편하게 이루어지고, 회로기판이 가이드레일을 따라 전후 왕복하는 1번의 이동작업에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료되어 작업의 편의성을 높여줄 수 있는 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치를 제공함에 있는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 사각 틀을 이루는 프레임(11a)(12a)의 내부에 투명판(11b)(12b)이 각각 장착된 상판(11)과 하판(12)이 힌지(16) 결합되어 열리고 닫히며, 상기 하판(12)의 투명판(12b) 둘레에는 패킹(13)이 고정되고, 하판(12)의 사방에 뚫려진 구멍(14)에는 에어흡입관(15)이 결합되어 상판(11)이 닫히면 내부가 밀폐되면서 진공으로 유지되는 캐리지(10); 상기 하판(12)에 핀(21a)으로 피벗 결합된 실린더(21)의 피스톤로드(22)는 상판(11)의 측면에 결합된 링크(23)의 "L"형 안내공(33a)에 결합되어 상판(11)이 자동으로 열고 닫히도록 하는 작동부(20); 상기 캐리지(10)의 후방에 장착되는 조명케이스(31)의 내부에는 자외선램프(32)가 장착되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)를 통해 빛을 상부로 조사(照査)하는 조명부(30); 상기 캐리지(10)의 하판(12) 양측에는 롤러(41b)가 장착되어 작업대(41)의 양측에 장착된 가이드레일(41a)을 따라 이동되고, 하판(12)은 구동체인(42)에 고정되어 구동모터(43)의 동력으로 회전되는 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)를 작업대(41)의 전,후 방향으로 왕복 이동시키는 구동부(40)를 포함하여 구성되며, 상기 상판(11)이 열려진 상태에서 감광액이 도포된 회로기판(50)을 하판(12) 위에 올려놓고, 실린더(21)의 작동으로 상판(11)이 닫히면 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)가 작업대(41) 후방으로 이동되고, 자외선램프(32)에서 빛이 조사되어 노광이 이루어진 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되면 노광이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성된 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 있어서, 상기 하판(12)의 투명판(12b) 사방에 뚫려진 구멍(14)들 사이에는 얕은 가이드홈(14a)이 형성되어 투명판에 놓여진 회로기판(50)을 흡착하는 에어흡입통로로 사용되고, 상기 캐리지(10)의 하부 작업대(41)에는 빛 확산판(44)이 장착되어 회로기판(50)을 선명하게 관찰할 수 있도록 구성되며, 확산판(44)은 옐로우(yellow) 계통의 밝은 색으로 구성되고, 상기 조명케이스(31)의 하부에 장착된 제2반사기(34)에는 자외선램프(32)가 장착되고, 제2반사기(34)의 상부 양측에는 연속 절곡되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)가 장착되어 자외선램프(32)의 빛이 상부로 직진하여 조사될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 의하여 달성될 수 있는 것이다.
이상에서 상술한 바와 같은 본 발명은, 포토마스크(51)와 회로기판(50)을 하판(12)의 투명판(12b) 위에 올려놓고, 스위치를 온(on)시키면 실린더(21)의 작동으로 상판(11)이 닫힘과 동시에 캐리지(10)가 구동체인(42)과 작업대(41)의 가이드레일(41a)을 따라 후방으로 이동되면 조명부(30)의 자외선램프(32)에서 빛을 조사하여 포토마스크(51)의 회로패턴을 회로기판(50)에 전사(轉寫)하는 노광(露光)이 이루어진 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되고, 다시 상판(11)이 들려지면 작업이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성된 것이므로 캐리지(10)가 작업대(41)의 가이드레일(41a)을 따라 전후 왕복하는 1번의 이동작업에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료되어 작업의 편의성을 높여줄 수 있는 동시에 포토마스크(51)와 회로기판(50)은 에어흡입관(15)과 에어흡입통로인 가이드홈(14a)을 통해 생성되는 흡입력에 의하여 하판(12)의 투명판(12b)에 견고하게 밀착되어 포토마스크(51)의 회로패턴을 정확하게 전사하여 회로기판(50)에 인쇄할 수 있을 뿐 아니라 캐리지(10)의 상판(11)이 자동으로 열리고 닫히므로 회로기판(50)을 넣고, 인출하는 작업이 매우 편리한 것으로서 대외 경쟁력이 우수한 고기능성의 회로패턴용 노광장치를 제공할 수 있는 등의 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예를 예시한 사시도,
도 2a와 도 2b는 본 발명에 의한 구동부의 작동에 의하여 캐리지가 이동되는 상태를 예시한 작동도,
도 3은 본 발명에 의한 캐리지의 상판이 열려진 상태를 예시한 사시도,
도 4는 본 발명에 의한 캐리지의 상판이 열려진 상태를 예시한 단면도,
도 5는 본 발명에 의한 캐리지의 상판이 닫혀진 상태에서 조명부의 자외선램프의 조사에 의하여 노광되는 상태를 예시한 단면도,
도 6은 본 발명에 의한 조명부를 나타낸 사시도,
도 7a와 7b는 본 발명에 의한 캐리지의 상판이 열리고 닫힌 상태를 예시한 일부 단면도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예를 예시한 단면도,
도 9는 본 발명에 의한 회로기판의 상,하면에 포토마스크가 부착된 상태를 예시한 단면도.
이하, 상기한 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지는 도 9에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 캐리지(10)는 상판(11)과 하판(12)이 후방에 결합된 힌지(16)에 의하여 열리고 닫히는 구성으로 되어 있고, 상판)과 하판(12)들은 사각 틀을 이루는 프레임(11a)(12a)의 내부에 투명판(11b)(12b)이 각각 장착된 구성으로 되어 있다.
상기 하판(12) 프레임(12a)에 결합된 투명판(12b)의 둘레에는 패킹(13)이 고정되어 있고, 하판(12)의 사방에 뚫려진 구멍(14)에는 에어흡입관(15)이 결합되어 상판(11)이 닫히면 캐리지(10) 내부가 밀폐되면서 진공으로 유지될 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 상기 하판(12)의 투명판(12b) 사방에 뚫려진 구멍(14)들 사이에는 얕은 가이드홈(14a)이 형성되어 있고, 사각 형상의 가이드홈(14a)은 에어흡입통로로 사용되어 투명판(12b)에 놓여진 회로기판(50)을 흡착하여 고정시키고, 회로기판(50)이 투명판(12b)에 밀착되어 회로패턴을 정확하게 전사하여 인쇄할 수 있도록 구성되어 있다.
물론, 에어흡입관(15)은 에어펌프(도시하지 않았음)와 호스로 연결되어 캐리지(10)의 내부 공기를 빨아들여 진공상태를 유지할 수 있도록 구성되어 있음은 당연하다.
상기 캐리지(10)의 상판(11)과 하판(12)은 작동부(20)에 의하여 자동으로 열리고 닫히도록 구성되어 있다. 작동부(20)의 구성은, 하판(12)에 핀(21a)으로 피벗 결합된 실린더(21)의 피스톤로드(22)의 상단이 상판(11)의 측면에 결합된 링크(23)의 "L"형 안내공(33a)에 결합되어 피스톤로드(22)가 전,후진하면 상판(11)이 자동으로 열리고 닫히도록 구성되어 있다.
상기 캐리지(10)의 후방에는 조명부(30)가 장착되어 있고, 조명부(30)의 구성은, 조명케이스(31)의 내부에 자외선램프(32)가 장착되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)를 통해 빛을 상부로 조사(照査)하는 시스템으로 구성되어 있다.
즉, 상기 조명케이스(31)의 하부에 장착된 제2반사기(34)에는 자외선램프(32)가 장착되어 있고, 제2반사기(34)의 상부 양측에는 연속 절곡되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)가 장착되어 자외선램프(32)의 빛이 상부로 직진하여 조사될 수 있도록 구성되어 있다.
상기 캐리지(10)는 구동부(40)의 작동에 의하여 작업대(41)에서 전,후 방향으로 왕복 이동될 수 있도록 구성되어 있다.
즉, 상기 구동부(40)는, 캐리지(10)의 하판(12) 양측에는 롤러(41b)가 장착되어 있고, 롤러(41b)들은 작업대(41)의 양측에 장착된 가이드레일(41a)을 따라 전후 이동되며, 하판(12)은 구동체인(42)에 고정되어 구동모터(43)의 동력을 전달받아 회전되는 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)가 작업대(41)에서 전,후 방향으로 왕복 이동되도록 구성되어 있다.
상기 구동체인(42)은 구동모터(43)의 동력이 전달되는 구동 스프로킷(42a)과 종동 스프로킷(42b) 사이에 장착되어 무한궤도를 이루어 정·역회전되면서 캐리지(10)를 작업대(41)의 전,후 방향으로 왕복 이동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
전술한 구성으로 이루어진 노광장치는 실린더(21)의 작동에 의하여 상판(11)이 열려지면 감광액이 도포된 회로기판(50)을 하판(12) 위에 올려놓고, 실린더(21)의 작동으로 상판(11)이 닫히면 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)가 작업대(41) 후방으로 이동됨과 동시에 자외선램프(32)에서 빛이 조사되어 노광이 이루어져 포토마스크(photo mask)에 형상화된 회로패턴이 감광액이 도포된 회로기판(50)에 전사(轉寫)된 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되어 노광이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성되어 있다.
한편, 상기 캐리지(10)의 하부 작업대(41)에는 빛 확산판(44)이 장착되어 회로기판(50)을 선명하게 관찰할 수 있도록 구성되어 있으며, 확산판(44)은 옐로우(yellow) 계통을 밝은 색으로 구성되어 포토마스크(51) 및 회로기판(50)의 이상여부 및 이물질이 있는 지를 검사할 수 있도록 구성되어 있다.
전술한 구성으로 이루어진 본 발명은, 포토마스크(51)와 회로기판(50)을 캐리지(10)의 하판(12) 위에 올려놓고, 작동 스위치를 온(on)시키면 실린더(21)의 피스톤로드(22)가 하강되어 상판(11)이 닫힘과 동시에 캐리지(10)가 구동체인(42)을 따라 작업대(41) 후방으로 이동되고, 조명부(30)에서는 자외선램프(32)의 빛을 조사하여 포토마스크(51)의 회로패턴을 회로기판(50)에 전사(轉寫)하는 노광(露光)작업이 이루어진 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되면 실린더(21)의 작동으로 캐리지(10)의 상판(11)이 들려지고 작업이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성된 것이므로 자동으로 여닫히는 캐리지(10)의 내부에 포토마스크(51)와 회로기판(50)을 넣고 스위치를 온(on)시키는 간단한 작동에 의하여 노광 작업이 완료되는 것이므로 작업의 편의성을 높여줄 수 있는 것이다.
더욱이, 캐리지(10)의 상판(11)이 자동으로 열리고 닫히므로 회로기판(50)을 넣고, 인출하는 작업이 매우 편리하면서도, 포토마스크(51)와 회로기판(50)은 에어흡입관(15)의 흡입통로로 사용되는 가이드홈(14a)을 통해 생성되는 흡입력에 의하여 하판(12)의 투명판(12b)에 밀착되는 것이므로 포토마스크(51)의 회로패턴을 정확하게 전사하여 회로기판(50)에 인쇄할 수 있고, 회로기판(50)이 캐리지(10)와 함께 작업대(41)의 가이드레일(41a)을 따라 전후 왕복하는 1번의 이동작업에 의하여 노광작업이 신속 간편하게 완료되어 작업의 편의성을 높여줄 수 있는 것이다.
한편 경우에 따라서는 도 8에서 도시한 바와 같이, 상기 캐리지(10)의 상부에 또 다른 캐리지(10)가 장착되어 교대로 왕복 이동되고, 작업대(41) 전방에 위치한 캐리지(10)의 상판(11)이 열려져 회로기판(50)을 하판(12) 위에 올려놓을 때 작업대(41) 후방에 위치한 캐리지(10)에는 자외선램프(32)의 조사로 노광이 이루어지고, 후방의 캐리지(10)가 다시 전방으로 이동되면 전방의 캐리지(10)는 후방으로 이동되어 노광작업이 이루어지도록 구성할 수 있는 것이므로 연속적인 노광 작업이 가능하여 작업의 효율을 최대한 높여줄 수 있는 것이다.
경우에 따라서는 상기 작업대(41)의 후방 상,하부에 2대의 조명부(30)들이 각각 장착되도록 구성하여 후방으로 이동된 캐리지(10)의 상,하부에서 자외선램프(32)의 빛을 조사하여 회로기판(50)의 상,하면에 노광작업이 동시에 이루어지도록 하여 작업할 수 있다.
이때에는 도 9에서 도시한 바와 같이, 상,하면 전체에 감광액이 도포된 회로기판(50)의 상부와 하부에 각각 2매의 포토마스크(51)들을 부착한 상태에서 노광작업이 이루어지므로 상,하면에 회로패턴이 각각 형성되는 회로기판을 형성할 수 있고, 본 발명에서는 플렉시블 한 필름의 상하 전체에 회로패턴이 형성되는 FPCB의 노광작업에 적용하였다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.
10 : 캐리지 11 : 상판
11a, 12a : 프레임 11b, 12b : 투명판
12 : 하판 13 : 패킹
14 : 구멍 14a :가이드홈
15 : 에어흡입관 16 : 힌지
20 : 작동부 21 : 실린더
21a : 핀 22 : 피스톤로드
23 : 링크 23a : 안내공
30 : 조명부 31 : 조명케이스
32 : 자외선램프 33 : 제1반사기
34 : 제2반사기 40 : 구동부
41 : 작업대 41a : 가이드레일
41b : 롤러 42 : 구동체인
42a : 구동 스프로킷 42b : 종동 스프로킷
43 : 구동모터 44 : 빛 확산판
50 : 회로기판 51 : 포토마스크

Claims (4)

  1. 사각 틀을 이루는 프레임(11a)(12a)의 내부에 투명판(11b)(12b)이 각각 장착된 상판(11)과 하판(12)이 힌지(16) 결합되어 열리고 닫히며, 상기 하판(12)의 투명판(12b) 둘레에는 패킹(13)이 고정되고, 하판(12)의 사방에 뚫려진 구멍(14)에는 에어흡입관(15)이 결합되어 상판(11)이 닫히면 내부가 밀폐되면서 진공으로 유지되는 캐리지(10); 상기 하판(12)에 핀(21a)으로 피벗 결합된 실린더(21)의 피스톤로드(22)는 상판(11)의 측면에 결합된 링크(23)의 "L"형 안내공(33a)에 결합되어 상판(11)이 자동으로 열고 닫히도록 하는 작동부(20); 상기 캐리지(10)의 후방에 장착되는 조명케이스(31)의 내부에는 자외선램프(32)가 장착되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)를 통해 빛을 상부로 조사(照査)하는 조명부(30); 상기 캐리지(10)의 하판(12) 양측에는 롤러(41b)가 장착되어 작업대(41)의 양측에 장착된 가이드레일(41a)을 따라 이동되고, 하판(12)은 구동체인(42)에 고정되어 구동모터(43)의 동력으로 회전되는 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)를 작업대(41)의 전,후 방향으로 왕복 이동시키는 구동부(40)를 포함하여 구성되며, 상기 상판(11)이 열려진 상태에서 감광액이 도포된 회로기판(50)을 하판(12) 위에 올려놓고, 실린더(21)의 작동으로 상판(11)이 닫히면 구동체인(42)을 따라 캐리지(10)가 작업대(41) 후방으로 이동되고, 자외선램프(32)에서 빛이 조사되어 노광이 이루어진 후 다시 캐리지(10)가 전방으로 이동되면 노광이 완료된 회로기판(50)을 인출할 수 있도록 구성된 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치에 있어서,
    상기 하판(12)의 투명판(12b) 사방에 뚫려진 구멍(14)들 사이에는 얕은 가이드홈(14a)이 형성되어 투명판에 놓여진 회로기판(50)을 흡착하는 에어흡입통로로 사용되고, 상기 캐리지(10)의 하부 작업대(41)에는 빛 확산판(44)이 장착되어 회로기판(50)을 선명하게 관찰할 수 있도록 구성되며, 확산판(44)은 옐로우(yellow) 계통의 밝은 색으로 구성되고,
    상기 조명케이스(31)의 하부에 장착된 제2반사기(34)에는 자외선램프(32)가 장착되고, 제2반사기(34)의 상부 양측에는 연속 절곡되어 포물면을 이루는 제1반사기(33)가 장착되어 자외선램프(32)의 빛이 상부로 직진하여 조사될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 회로기판의 패턴 형성을 위한 노광장치
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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