KR101807064B1 - 마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰은 복수개의 음향소자와 이에 연결되는 반도체칩으로 구성되어, 외부의 진동신호와 소음신호를 입력받아 진동신호는 상쇄시킨 후, 소음신호의 위상을 변화시켜 발생되는 역위상 소음신호를 출력하는 측정부; 및 상기 측정부의 반도체칩과 연결되어 차량의 전면글라스 사이에 개재되고, 입력받은 역위상 소음신호에 따라 진동하여 외부로부터 입력되는 소음신호를 상쇄시키는 구동부를 포함한다.

Description

마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법{MICROPHONE SYSTEM AND MANUFACTURIGN THE SAME}
본 발명은 마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 마이크로폰은 음성을 전기적인 신호로 변환하는 장치로, 최근 들어 점점 소형화되고 있으며, 이에 따라, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용한 마이크로폰이 개발되고 있다.
상기 MEMS 마이크로폰은 종래의 ECM(Electret Condenser Microphone)에 비하여 습기와 열에 대한 내성이 강하고, 소형화 및 신호처리회로와의 집적화가 가능한 장점이 있다.
이러한 MEMS 마이크로폰은 스마트 폰과 같은 이동 통신기기, 이어폰 및 보청기 등을 포함하는 다양한 통신기기에 적용되며, 대표적으로 정전용량형 방식과 압전형 방식이 있다.
먼저, 상기 정전용량형 방식의 MEMS 마이크로폰은 고정막과 진동막으로 구성되는 것으로, 외부에서 음향이 진동막에 유입되면, 상기 진동막이 진동함에 따라 고정막과 진동막 사이의 간격이 변하면서 그에 따른 정전용량값이 변하게 된다.
이때 발생하는 전기적인 신호로 음압을 측정하게 된다.
한편, 상기 압전형 MEMS 마이크로폰은 진동막만으로 구성되는 것으로, 외부의 음향에 의해 진동막이 변형될 때, 압전효과(Piezoelectric)로 전기적 신호가 발생되어 음압을 측정하게 된다.
현재 대부분의 MEMS 마이크로폰은 정전용량형 방식을 사용하고 있으며, 최근에는 통신기기에만 사용하는 MEMS 마이크로폰은 차량 내부와 같이 소음이 많이 발생하는 곳에 적용되어 소음을 측정하기 위하여 확대 적용되고 있는 추세이다.
이때, 차량 내부로 유입되는 소음은 전면 유리를 통해 발생되는 소음이 전체의 약 51%를 차지한다.
종래에는 차량 내부의 소음을 방지하기 위하여, 소음 방지 물질을 이용하게 되는데, 이를 이용할 경우, 내구성 등의 문제로 차량이 노후 될수록 소음이 증가하는 문제점이 있다.
이에 따라, 차량 내부의 소음을 줄이기 위한 연구개발이 필요하다.
이 배경기술 부분에 기재된 사항은 발명의 배경에 대한 이해를 증진하기 위하여 작성된 것으로서, 이 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 이미 알려진 종래기술이 아닌 사항을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예는 차량의 전면글라스로부터 유입되는 전 주파수 영역대의 소음을 고르게 제거할 수 있어 높은 소음 제거율을 가지는 마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 하나 또는 다수의 실시 예에서는 복수개의 음향소자와 이에 연결되는 반도체칩으로 구성되어, 외부의 진동신호와 소음신호를 입력받아 진동신호는 상쇄시킨 후, 소음신호의 위상을 변화시켜 발생되는 역위상 소음신호를 출력하는 측정부; 및 상기 측정부의 반도체칩과 연결되어 차량의 전면글라스 사이에 개재되고, 입력받은 역위상 소음신호에 따라 진동하여 외부로부터 입력되는 소음신호를 상쇄시키는 구동부를 포함하는 마이크로폰 시스템을 제공할 수 있다.
또한, 상기 측정부는 일측에 음향유입구를 포함하는 케이스 내부에 상기 음향유입구와 대응되는 위치에 형성되며, 진동신호와 소음신호를 입력받아 제1출력신호를 출력하는 제1음향소자; 상기 케이스 내부에서 차폐된 상태로, 상기 제1음향소자와 인접하게 형성되고, 하부 일측에 공기가 통과하는 공기통로가 형성되며, 진동신호만을 입력받아 제2출력신호를 출력하는 제2음향소자; 및 상기 제1음향소자 및 제2음향소자와 연결되며, 제1출력신호 및 제2출력신호를 각각 입력받아 진동신호를 상쇄시킨 후, 소음신호의 위상을 변화시켜 발생되는 역위상 소음신호를 출력하는 반도체칩으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 구동부는 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되어 차량의 내측 전면글라스와 외측 전면글라스 사이에 개재되고, 입력받은 상기 역위상 소음신호에 의해 구동하는 압전 액추에이터로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 구동부는 압전필름; 상기 압전필름의 양면에 각각 접합되고, 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되는 양측 전극층; 및 상기 양측 전극층의 각 외면에 접합되며, 상기 내측 전면 글라스와 외측 전면 글라스의 각 내면과 접합되는 유연층으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 유연층은 투명하고 유연한 폴리머 재질로 이루어지는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 전극층은 그래핀(graphene) 소재로 이루어지는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 반도체칩은 상하방향으로 형성된 복수의 통전부를 통하여 상기 제1음향소자 및 제2음향소자와 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 실시 예는 복수의 음향소자 및 반도체칩으로 이루어진 측정부로부터 역위상 신호를 입력받아 진동하는 구동부가 차량의 전면글라스에 대면적으로 형성되는 구조로, 상기 구동부에 의해 전면글라스로부터 차실내로 유입되는 전 주파수 영역대의 소음을 고르게 제거할 수 있어 높은 소음 제거율을 가지는 효과가 있다.
이 외에 본 발명의 실시 예로 인해 얻을 수 있거나 예측되는 효과에 대해서는 본 발명의 실시 예에 대한 상세한 설명에서 직접적 또는 암시적으로 개시하도록 한다. 즉 본 발명의 실시 예에 따라 예측되는 다양한 효과에 대해서는 후술될 상세한 설명 내에서 개시될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 측정부의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 구동부의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 신호처리 작동을 나타낸 구성도이다.
도 4 내지 도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 제조방법을 순차적으로 나타낸 공정도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예를 설명한다. 다만, 하기에 도시되는 도면과 후술되는 상세한 설명은 본 발명의 특징을 효과적으로 설명하기 위한 여러 가지 실시 예들 중에서 바람직한 하나의 실시 예에 관한 것이다. 따라서 본 발명이 하기의 도면과 설명에만 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 측정부의 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 구동부의 개략적인 구성도이다.
본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템은 측정부(1) 및 구동부(100)를 포함한다.
도 1을 참조하면, 상기 측정부(1)는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 형성될 수 있다.
이러한 측정부(1)는 제1음향소자(D1), 제2음향소자(D2) 및 반도체칩(C)으로 구성된다.
먼저, 상기 제1음향소자(D1)는 케이스(3) 내부에 하부 일측에 형성된 음향유입구(5)와 대응되는 위치에 구성된다.
여기서 상기 케이스(3)는 하부 케이스(3a)와 상부 케이스(3b)로 구성된다.
상기 하부 케이스(3a)는 일측에 음향신호가 유입되는 음향유입구(5)를 포함하며, 진동신호에 의해 진동한다.
또한, 상기 상부 케이스(3b)는 하부 케이스(3a)의 상부에 장착되며, 제1음향소자(D1), 제2음향소자(D2) 및 반도체칩(C)을 수용하도록 소정의 수용공간을 마련한다.
이러한 케이스(3)는 메탈(metal) 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 케이스(3)는 전체적으로 원통 또는 사각통 형상 중, 어느 하나의 형상으로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 제1음향소자(D1)는 케이스(3) 내부에서 음향유입구(5)에 대응하는 위치에 구성된다.
이러한 제1음향소자(D1)는 외부로부터 진동신호와 소음신호를 입력받아 제1출력신호를 출력한다.
이때, 상기 진동신호는 차체의 진동에 의해 발생하는 신호이며, 상기 소음신호는 차량의 엔진 혹은 풍절음에 의한 신호로 정의한다.
그리고 상기 제2음향소자(D2)는 상기 케이스(3) 내부에서 제1음향소자(D1)와 인접하게 형성된다.
이때, 상기 제2음향소자(D2)는 상기 케이스(3) 내부에서 차폐된 상태를 유지하며, 외부의 소음신호와는 무관하도록 구성된다.
또한, 상기 제2음향소자(D2)는 하부 일측에 공기통로(19)를 형성한다.
상기 공기통로(19)는 오직 공기만이 유입되는 통로로 작용한다.
이러한 제2음향소자(D2)는 하부 케이스로(3a)부터 진동신호만을 입력받아 제2출력신호를 출력한다.
상기와 같은 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)는 상기 제2음향소자(D2)의 하부 일측에 형성된 공기통로(19)를 제외한 나머지 구조는 동일하며, 그 구조를 간단히 설명하면, 상기 음향소자(D1, D2)는 각각 기판(10), 진동막(20) 및 고정막(30)으로 이루어진다.
상기 기판(10)은 실리콘으로 이루어질 수 있으며, 음향홀(11)을 포함한다.
그리고 상기 진동막(20)은 기판(10)의 상부에 구성되어 음향홀(11)에 의해 노출된다.
또한, 상기 진동막(20) 상에는 복수개의 슬롯(21)이 형성된다.
그리고 상기 고정막(30)은 상기 진동막(20)과 일정간격 이격되어 배치되며, 복수의 공기유입구(31)를 포함한다.
다시 말해, 상기 진동막(20)과 고정막(30)은 소정의 간격만큼 이격되어 배치되며, 소정의 간격에 의해 형성된 공간은 공기층을 형성한다.
이러한 공기층은 진동막(20)과 고정막(30)이 접촉되는 것을 방지하는 역할을 한다.
더불어, 상기 고정막(30)의 하부에 형성된 복수개의 돌출부(33)는 상기 진동막(20)이 진동하면서, 그 한계치를 초과하여 상기 진동막(20)과 고정막(30)이 접촉될 경우, 접촉면적을 최소화하는 역할을 한다.
또한, 상기 진동막(20)과 고정막(30) 사이에는 지지층(22)이 형성된다.
이때, 상기 고정막(30)과 지지층(22)의 상부 전체에는 절연막(40)이 형성된다.
이러한 절연막(40) 상에는 상기 진동막(20)과 고정막(30)이 일부 노출되어 반도체칩(C)과 전기적으로 연결될 수 있도록 일측과 타측에 전극홀(41)이 각각 형성된다.
한편, 상기 반도체칩(C)은 제1음향소자(D1) 및 제2음향소자(D2)의 상부에 형성되어 전기적으로 연결된다.
이때, 상기 반도체칩(C)은 제1음향소자(D1) 및 제2음향소자(D2)의 상부에 형성된 패드(50)를 통해 공융 접합된다.
이러한 반도체칩(C)은 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)일 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 구동부(100)는 상기 측정부(1)의 반도체칩(C)과 연결되어 차량의 내측 전면글라스(101a)와 외측 전면글라스(101b) 사이의 공간부에 개재된다.
이때, 상기 구동부(100)는 차량의 전면글라스(101a, 101b) 전체에 대면적으로 형성될 수 있다.
이러한 구동부(100)는 압전 액추에이터로 이루어질 수 있으며, 압전필름(110), 전극층(120) 및 유연층(130)을 포함한다.
상기 압전필름(110)은 압전물질인 Polyvinylidenefluoride(PVDF) 소재로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 전극층(120)은 상기 압전필름(110)의 양면에 각각 접합된다.
또한, 상기 전극층(120)은 상기 반도체칩(C)과 전극라인(미도시)에 의해 전기적으로 연결된다.
이러한 전극층(120)은 그래핀(graphene)소재로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 유연층(130)은 상기 전극층(120)의 각 외면에 접합된다.
이러한 유연층(130)은 구동부(100)가 유연하게 진동할 수 있도록 투명하고 유연한 폴리머로 형성되며, 예를 들어, Polydimethylsiloane(PDMS) 재질로 이루어질 수 있다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 신호처리 방법에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 신호처리 작동을 나타낸 구성도이다.
도 3참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템은 측정부(1)와 구동부(100)에 각각 동일한 소음신호와 진동신호가 입력된다.
이때, 상기 측정부(1)는 소음신호와 진동신호를 동시에 받아들이며, 상기 구동부(100)는 진동신호에 대하여는 무관하고, 소음신호만을 받아들인다.
좀더 상세히 설명하면, 상기 측정부(1)의 제1음향소자(D1)는 외부로부터 소음신호와 진동신호를 입력받아 제1출력신호를 출력한다.
상기 측정부(1)의 제2음향소자(D2)는 진동신호를 입력받아 제2출력신호를 출력한다.
그리고 상기 측정부(1)의 반도체칩(C)은 상기 제1출력신호와 제2출력신호를 각각 입력받아 진동신호를 상쇄시키고, 소음신호의 위상을 변화시켜 역위상 소음신호를 출력한다.
동시에, 상기 구동부(100)는 역위상 소음신호가 입력되면, 상기 역위상 소음신호에 따라 진동하게 되고, 외부로부터 입력되는 소음신호와 병합하여 상기 소음신호를 상쇄시켜 차량 내부로 유입되는 것을 방지하게 된다.
이하, 도 4 내지 도 14를 참조하며 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 제조방법을 설명한다.
도 4 내지 도 14는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템의 제조방법을 순차적으로 나타낸 공정도이다.
먼저, 상기 측정부(1)를 제조함에 있어서, 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)는 하나의 기판(10)을 기반으로 적용되며, 상기 기판(10)의 일측과 타측에 인접하여 각각 형성된다.
본 발명의 실시 예에 따른 측정부(1)는 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)가 하나의 기판(10)을 사용하여 인접하게 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)의 위치는 필요에 따라 변경될 수 있고, 상기 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)는 두개의 기판(10)을 사용하여 각각 형성될 수도 있다.
도 4를 참조하면, 기판(10)을 마련한 후, 상기 기판(10)의 상부에 산화막을 형성하여 패터닝 한 후, 제1산화층(13a) 및 제2산화층(13b)을 형성한다.
이어서 제1산화층(13a) 및 제2산화층(13b) 각각의 상부에 제1진동막(20a) 및 제2진동막(20b)을 형성한다.
이러한 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)은 복수의 슬롯(21)을 각각 포함한다.
도 5를 참조하면, 상기 기판(10), 제1진동막(20a) 및 제2진동막(20b)의 상부에 희생층(15)을 형성한다.
이때, 상기 희생층(15)은 고정막(30)을 상기 진동막(20)과 일정간격 이격시킨 상태로, 지지하는 역할을 한다.
이어서 상기 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)에 대응하는 희생층(15)의 상부에 각각 복수의 함몰부(17)를 형성한다.
도 6을 참조하면, 상기 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)에 대응하는 희생층(15)의 상부에 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)을 각각 형성한다.
이때, 상기 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)은 상기 복수의 함몰부(17)에 대응하는 복수의 돌출부(33)를 포함한다.
상기 복수의 돌출부(33)는 진동막(20)이 진동하면서, 그 한계치를 초과하여 고정막(30)과 접촉될 경우, 접촉면적을 최소화하는 역할을 한다.
또한, 상기 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)에 복수개의 공기유입구(31)를 형성한다.
이어서 상기 희생층(15)의 일측에 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)의 일부가 노출되도록 전극홀(41)을 각각 형성한다.
이러한 전극홀(41)은 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)의 통전을 위하여 일부를 노출시키기 위한 홀이다.
도 7을 참조하면, 상기 희생층(15), 제1고정막(30a) 및 제2고정막(30b)의 상부에 절연막(40)을 전체적으로 형성한다.
이어서 상기 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)의 각각의 공기유입구(31)에 대응하는 부분의 절연막(40)을 식각한다.
다음으로 상기 각 전극홀(41)에 대응하는 절연막(40)을 식각하여 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)의 일부를 노출시킨다.
동시에, 상기 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)에 대응하는 절연막(40)의 일부를 식각하여, 상기 제1고정막(30a)과 제2고정막(30b)을 노출시키는 전극홀(41)을 형성한다.
도 8을 참조하면, 상기 절연막(40)의 상면 일부에 패드(50)를 형성한다.
이때, 상기 패드(50)는 메탈 재질로 이루어질 수 있으며, 상기 반도체칩(C)을 접합하기 위한 것이다.
도 9를 참조하면, 상기 기판(10)의 하부에 제1감광막(P1)을 형성한 후, 상기 제1감광막(P1)을 마스크로 하여 제2진동막(20b)에 대응하는 기판(10)의 하부 일측에 공기통로(19)를 형성한다.
도 10을 참조하면, 상기 제1감광막(P1)을 제거하고, 제2감광막(P2)을 형성한 후, 상기 제2감광막(P2)을 마스크로 하여 제1진동막(20a)과 제2진동막(20b)에 대응하는 기판(10)의 하부에 제1음향홀(11a)과 제2음향홀(11b)을 각각 형성한다.
이후, 상기 제2감광막(P2)을 제거한다.
이어서 싱기 제1산화층(13a)과 제2산화층(13b)을 제거한 후, 상기 제1음향홀(11a)과 제2음향홀(11b)에 대응하는 부분의 희생층(15)을 제거하여 지지층(22)을 형성한다.
도 11을 참조하면, 상기 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)의 상부에 복수의 통전부(60)가 형성된 반도체칩(C)을 상기 패드(50)를 통하여 공융 접합한다.
상기와 같은 제조방법으로 제조된 측정부(1)는 제1진동막(20a), 제1음향홀(11a) 및 제1고정막(30a)을 포함하는 부분이 제1음향소자(D1)를 이루고, 상기 제2진동막(20b), 제2음향홀(11b) 및 제2고정막(30b)을 포함하는 부분이 제2음향소자(D2)를 이룬다.
이러한 측정부(1)는 MEMS기술을 이용한 반도체 일괄공정을 통해 단일칩으로 제작될 수 있고, 상기 제1음향소자(D1)와 제2음향소자(D2)는 하나의 기판을 기반으로 하여 인접하게 형성되며, 상부에 형성된 반도체칩(C)에 의해 진동신호와 소음신호가 처리될 수 있다.
한편, 상기 구동부(100)는, 도 12(a)를 참조하면, 제1구리포일(103a)의 일면에 제1전극층(120a)을 합성한다.
이때, 상기 제1전극층(120a)은 그래핀(graphene) 소재로 이루어질 수 있다.
이어서 상기 제1전극층(120a)의 상부에 제1유연층(130a)을 코팅한다.
여기서 상기 제1유연층(130a)은 투명하고 유연한 폴리머 재질로 이루어질 수 있다.
예를 들어, 상기 제1유연층(130a)은 Polydimethylsiloane(PDMS) 재질로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 제1구리포일(103a)을 제거한다.
도 12(b)를 참조하면, 제2구리포일(103b)의 일면에 제2전극층(120b)을 합성한다.
여기서 상기 제2전극층(120b)은 그래핀(graphene) 소재로 이루어질 수 있다.
이어서 상기 제2전극층(120b)의 일면에 압전필름(110)을 코팅한다.
도 12(c)를 참조하면, 상기 압전필름(110)과 제1전극층(120a)이 접촉되도록 접합한다.
도 13을 참조하면, 상기 제2구리포일(103b)을 제거한다.
도 14를 참조하면, 상기 제2전극층(120b)의 타면에 제2유연층(130b)을 코팅한다.
이때, 상기 제2유연층(130b)은 투명하고 유연한 폴리머 재질로 이루어질 수 있다.
예를 들어, 상기 제2유연층(130b)은 Polydimethylsiloane(PDMS) 재질로 이루어질 수 있다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로폰 시스템 및 이의 제조방법은 복수의 음향소자(D1, D2)와 반도체칩(C)으로 이루어진 측정부(1)와, 상기 반도체칩(C)과 연결되어 차량의 전면글라스(101a, 101b)에 대면적으로 배치되는 압전 엑추에이터로 이루어진 구동부(100)를 포함하는 구조로, 상기 구동부(1)가 외부의 소음신호에 대응하는 역위상 소음신호에 따라 진동하여, 상기 소음신호를 상쇄시킴으로써, 상기 차량의 전면글라스(101a, 101b)의 전영역에 걸쳐 높은 소음제거율을 구현할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 측정부 D1 제1음향소자
D2 제2음향소자 C 반도체칩
3 케이스 3a 하부케이스
3b 상부케이스 5 음향유입구
10 기판 11 음향홀
13 산화층 15 희생층
17 함몰부 19 공기통로
20 진동막 21 슬롯
23 지지층 30 고정막
31 공기유입구 33 돌출부
40 절연막 41 전극홀
50 패드 60 통전부
100 구동부 101a 내측 전면글라스
101b 외측 전면글라스 103 구리포일
110 압전필름 120 전극층
130 유연층

Claims (13)

  1. 일측에 음향유입구를 포함하는 케이스 내부에 상기 음향유입구와 대응되는 위치에 형성되고, 진동신호와 소음신호를 입력받아 제1출력신호를 출력하는 제1음향소자와, 상기 케이스 내부에서 차폐된 상태로, 상기 제1음향소자와 인접하게 형성되고, 하부 일측에 공기가 통과하는 공기통로가 형성되며, 진동신호만을 입력받아 제2출력신호를 출력하는 제2음향소자, 및 상기 제1음향소자 및 제2음향소자와 연결되며, 제1출력신호 및 제2출력신호를 각각 입력받아 진동신호를 상쇄시킨 후, 소음신호의 위상을 변화시켜 발생되는 역위상 소음신호를 출력하는 반도체칩으로 구성되는 측정부; 및
    상기 측정부의 반도체칩과 연결되어 차량의 전면글라스 사이에 개재되고, 입력받은 역위상 소음신호에 따라 진동하여 외부로부터 입력되는 소음신호를 상쇄시키는 구동부;
    를 포함하는 마이크로폰 시스템. .
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 반도체칩과 전기적으로 연결되어 차량의 내측 전면글라스와 외측 전면글라스 사이에 개재되고, 입력받은 상기 역위상 소음신호에 의해 구동하는 압전 액추에이터로 이루어지는 마이크로폰 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는
    압전필름;
    상기 압전필름의 양면에 각각 접합되고, 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되는 양측 전극층; 및
    상기 양측 전극층의 각 외면에 접합되며, 상기 내측 전면 글라스와 외측 전면 글라스의 각 내면과 접합되는 유연층;
    으로 구성되는 마이크로폰 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유연층은
    투명하고 유연한 폴리머 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로폰 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 전극층은
    그래핀(graphene) 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로폰 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 반도체칩은
    상하방향으로 형성된 복수의 통전부를 통하여 상기 복수개의 음향소자와 전기적으로 연결되는 마이크로폰 시스템.
  8. 음향유입구를 포함하는 케이스의 내부에 제1음향소자, 제2음향소자 및 반도체칩으로 구성되는 측정부를 형성하는 단계; 및
    상기 반도체칩과 연결되며, 차량의 전면글라스 사이에 기재되는 구동부를 형성하는 단계; 를 포함하되,
    상기 측정부를 형성하는 단계는
    상기 케이스 내부에 음향유입구와 대응되는 위치에 제1음향소자를 형성하는 단계; 및
    상기 케이스 내부에서 차폐된 상태로, 상기 제1 음향소자와 인접하게 형성되고, 하부 일측에 공기가 통과하는 공기통로를 가지는 제2음향소자를 형성하는 단계; 를 포함하는 마이크로폰 시스템의 제조방법.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 측정부를 형성하는 단계는
    상기 제1음향소자와 제2음향소자와 각각 연결되도록 반도체칩 상에 복수개의 통전부를 형성하는 단계를 더 포함하는 마이크로폰 시스템의 제조방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 구동부를 형성하는 단계는
    제1구리 포일의 일면에 제1전극층을 합성하는 단계;
    상기 제1전극층의 상부에 제1유연층를 코팅하는 단계;
    상기 제1구리 포일을 식각하는 단계;
    제2구리 포일의 일면에 제2전극층을 합성하는 단계;
    상기 제2전극층의 일면에 압전필름을 코팅하는 단계;
    상기 압전필름과 제1전극층이 접촉되도록 접합하는 단계;
    상기 제2구리 포일을 식각하는 단계; 및
    상기 제2전극층의 타면에 제2유연층을 코팅하는 단계;
    로 구성되는 마이크로폰 시스템의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1유연층 및 제2유연층은
    투명하고 유연한 폴리머 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로폰 시스템의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1전극층 및 제2전극층은
    그래핀(graphene)소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로폰 시스템의 제조방법.
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