KR101806509B1 - Vacuum effusion cell - Google Patents

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Abstract

본 발명은 열선의 직진도를 향상시킬 수 있는 진공 증발원을 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 진공 증발원은, 도가니를 포함하는 진공 증발원에 있어서, 상기 도가니를 가열하는 제1 열선; 및 상기 제1 열선의 상부를 고정하는 제1 상부 고정부를 포함한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is a technical object of the present invention to provide a vacuum evaporation source capable of improving straightness of heat rays. To this end, the vacuum evaporation source of the present invention is a vacuum evaporation source including a crucible, comprising: a first heating wire for heating the crucible; And a first upper fixing part fixing the upper portion of the first heating wire.

Description

진공 증발원{Vacuum effusion cell}Vacuum effusion cell [0002]

본 발명은 웨이퍼나 기판 상에 박막을 형성하기 위해 사용되는 진공 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum evaporation source used for forming a thin film on a wafer or a substrate.

일반적으로, 진공 증발원은, 고 진공의 챔버 내에 배치된 기판상에 소정의 박막을 형성하기 위하여 박막 형성용 물질을 가열하여 증발시키는 것으로, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 특정 물질로 이루어진 박막을 형성하거나, 대형 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서 유리 기판 등의 표면에 원하는 물질의 박막을 형성하는 데 사용되고 있다.Generally, a vacuum evaporation source is a device for evaporating a thin film forming material in order to form a predetermined thin film on a substrate disposed in a chamber of a high vacuum, and a thin film made of a specific material is formed on the wafer surface in a semiconductor manufacturing process , And is used to form a thin film of a desired substance on the surface of a glass substrate or the like in a manufacturing process of a large flat panel display device.

도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a schematic view of a conventional vacuum evaporation source.

기존의 진공 증발원은, 도 1에 도시된 바와 같이, 내부 공간부(11)를 가지는 케이스(10)와, 내부 공간부(11)에 구비되며 박막 형성용 물질이 담기는 도가니(20)와, 내부 공간부(11)의 측면과 도가니(20)의 외부 측면 사이에 위치되어 도가니(20)를 가열하는 열선(30)와, 그리고 열선(30)의 하단을 받치는 받침대(40)를 포함한다.1, a conventional vacuum evaporation source includes a case 10 having an internal space part 11, a crucible 20 provided in the internal space part 11 and containing a thin film forming material, A heat ray 30 positioned between the side surface of the inner space portion 11 and the outer side surface of the crucible 20 to heat the crucible 20 and a pedestal 40 supporting the lower end of the heat ray 30.

하지만, 기존의 진공 증발원은, 받침대(40)가 열선(30)의 하단을 받치는 구조여서 중력에 의해 열선(30)이 휘는 문제가 있고, 특히 열선(30)의 열팽창 및 열수축이 다수 진행되는 동안 열선(30)의 열팽창이 상 방향으로 반복되면서 중력의 영향을 받아 열선(30)이 지속적으로 휘게 되어, 궁극적으로 열선(30)의 직진도가 떨어지는 문제가 있다.However, the conventional vacuum evaporation source has a problem that the pedestal 40 supports the lower end of the heat ray 30, which causes the heat ray 30 to bend due to gravity. Particularly, while the thermal expansion and contraction of the heat ray 30 There is a problem that the thermal expansion of the heat ray 30 is repeated in the upward direction and the heat ray 30 is continuously bent under the influence of the gravity so that the straightness of the heat ray 30 ultimately falls.

본 발명의 기술적 과제는, 열선의 직진도를 향상시킬 수 있는 진공 증발원을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a vacuum evaporation source capable of improving straightness of heat rays.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원은, 도가니를 포함하는 진공 증발원에 있어서, 상기 도가니를 가열하는 제1 열선; 및 상기 제1 열선의 상부를 고정하는 제1 상부 고정부를 포함하고, 상기 제1 열선은, 위로 볼록한 형태로 절곡된 제1 상향 절곡부를 포함하고, 상기 제1 상부 고정부는, 상기 제1 상향 절곡부의 아랫 부분을 받치는 절곡 하부 고정 부재; 및 상기 제1 상향 절곡부의 윗 부분을 받치는 절곡 상부 고정 부재를 포함하고, 상기 제1 열선은, 중력 방향인 하 방향으로 팽창 가능한 상태에 놓인다.To achieve the above object, a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention is a vacuum evaporation source including a crucible, comprising: a first heating wire for heating the crucible; And a first upper fixing part fixing the upper portion of the first heating wire, wherein the first heating wire includes a first upward bent portion bent in a convex shape, and the first upper fixing portion includes a first upward fixing portion A bending lower fixing member for supporting a lower portion of the bent portion; And a bent upper fixing member for supporting the upper portion of the first upward bent portion, wherein the first heating wire is in an inflatable state in a downward direction of the gravity direction.

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상기 제1 열선은, 상기 제1 상향 절곡부와 간격을 두고 위로 볼록한 형태로 절곡된 제2 상향 절곡부를 더 포함할 수 있고, 상기 절곡 하부 고정 부재는, 상기 도가니를 감싸는 링 형상을 가져 상기 제1 및 제2 상향 절곡부의 각 아랫 부분을 함께 받칠 수 있고, 상기 절곡 상부 고정 부재는, 상기 도가니를 감싸는 링 형상을 가져 상기 제1 및 제2 상향 절곡부의 각 윗 부분을 함께 받칠 수 있다.The first heating wire may further include a second upward bent portion bent in a convex shape with an interval from the first upward bent portion, and the bent lower fixing member may have a ring shape surrounding the crucible, 1 and the second upward bent portion can be supported together and the bent upper fixing member can have a ring shape surrounding the crucible so that the upper portions of the first and second upward bent portions can be supported together.

상술한 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원은, 상기 도가니를 수용하기 위한 내부 공간을 가지는 케이스; 및 상기 내부 공간의 측면과 상기 제1 열선 사이에 구비되는 반사판을 더 포함할 수 있고, 상기 절곡 하부 고정 부재와 상기 절곡 상부 고정 부재 각각은 상기 반사판에 지지될 수 있다.A vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention includes a case having an inner space for accommodating the crucible; And a reflection plate provided between the side surface of the inner space and the first heat line, wherein each of the bent lower fixing member and the bent upper fixing member can be supported by the reflection plate.

상기 제1 열선은, 상기 제1 상향 절곡부의 양측에 각각 하방향으로 길게 뻗은 제1 하향 직선부와 제2 하향 직선부를 포함할 수 있고, 상기 제1 및 제2 하향 직선부는 상기 절곡 하부 고정 부재를 관통할 수 있다.The first heating line may include a first downward rectilinear section and a second downward rectilinear section extending on both sides of the first upwardly bent section in a downward direction, respectively, and the first and second downward rectilinear sections may include a first downward rectilinear section and a second downward rectilinear section, As shown in FIG.

상기 절곡 하부 고정 부재와 상기 절곡 상부 고정 부재 각각은 절연 재질로 이루어질 수 있다.Each of the bending lower fixing member and the bending upper fixing member may be made of an insulating material.

상술한 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원은, 상기 도가니를 가열하는 제2 열선; 및 상기 제2 열선의 상부를 고정하는 제2 상부 고정부를 더 포함할 수 있고, 상기 제1 열선은, 상기 도가니의 상반부에 대응되게 위치될 수 있고, 상기 제2 열선은, 상기 도가니의 하반부에 대응되게 위치될 수 있다.The vacuum evaporation source according to the embodiment of the present invention may include: a second heating wire for heating the crucible; And a second upper fixing part for fixing the upper portion of the second heating wire, wherein the first heating wire can be positioned to correspond to the upper half of the crucible, and the second heating wire is connected to the upper half of the crucible, As shown in FIG.

이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원은 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.As described above, the vacuum evaporation source according to the embodiment of the present invention can have the following effects.

본 발명의 실시예에 의하면, 제1 열선과 제1 상부 고정부를 포함하는 기술구성을 제공하므로, 제1 열선이 제1 상부 고정부에 의해 하방향으로 매달려 있는 형태가 되어 중력의 영향으로 제1 열선의 직진도는 향상될 수 있고, 특히 제1 열선은 제1 상부 고정부에 의해 위로 열팽창되는 것이 차단됨과 함께 매달린 형태를 가지게 되므로, 제1 열선의 열팽창 및 열수축이 다수 진행될수록 그 변형이 중력 방향인 하방향으로만 일어나게 되어 제1 열선의 직진도는 중력의 영향으로 더욱 향상될 수 있다.According to the embodiment of the present invention, since the technical structure including the first heat line and the first upper fixing part is provided, the first heat line is suspended in the downward direction by the first upper fixing part, The straightness of the first hot wire can be improved and the first hot wire is prevented from being thermally expanded upward by the first upper securing part and has a hanging shape so that the more the thermal expansion and the heat shrinking of the first hot wire proceed, And the straightness of the first hot wire can be further improved by the influence of gravity.

도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 진공 증발원 중 제1 및 제2 열선, 그리고 제1 및 제2 상부 고정부를 전개하여 나타낸 도면이다.
도 4는 제1 열선이 제1 상부 고정부에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 3에서 제1 및 제2 열선의 열팽창 전(a)과 후(b)를 비교하여 나타낸 도면이다.1 is a schematic view of a conventional vacuum evaporation source.
2 is a schematic view of a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a developed view of the first and second heating lines of the vacuum evaporation source of FIG. 2, and the first and second upper fixing portions.
4 is a perspective view schematically showing a state in which the first hot wire is fixed to the first upper fixing part.
Fig. 5 is a diagram showing a comparison between (a) and (b) before and after thermal expansion of the first and second heat lines in Fig. 3. Fig.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 진공 증발원 중 제1 및 제2 열선, 그리고 제1 및 제2 상부 고정부를 전개하여 나타낸 도면이고, 도 4는 제1 열선이 제1 상부 고정부에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 3에서 제1 및 제2 열선의 열팽창 전(a)과 후(b)를 비교하여 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a schematic view of a vacuum evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing the first and second heating lines of the vacuum evaporation source of FIG. 2, and the first and second upper fixing sections FIG. 4 is a perspective view schematically showing a state in which the first hot wire is fixed to the first upper fixing part, FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state before and after the thermal expansion of the first and second hot wires in FIG. Fig.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원(100)은, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 도가니(20)를 포함하는 진공 증발원에 있어서, 제1 열선(110)과 제1 상부 고정부(120)를 포함한다. 이하, 도 2 내지 도 5를 계속 참조하여, 각 구성요소에 대해 상세히 설명한다.2 to 5, a vacuum evaporation source 100 according to an embodiment of the present invention is a vacuum evaporation source including a crucible 20 as shown in FIGS. 2 to 5. The vacuum evaporation source 100 includes a first heating line 110, (120). Hereinafter, each of the constituent elements will be described in detail with continued reference to Figs. 2 to 5. Fig.

제1 열선(110)은, 도가니(20)를 가열하는 구성요소로, 도 2에 도시된 바와 같이, 도가니(20)의 상반부에 위치되어 도가니(20)의 상반부를 가열할 수 있다.The first heating line 110 is a constituent element for heating the crucible 20 and is located at the upper half of the crucible 20 and can heat the upper half of the crucible 20 as shown in Fig.

구체적으로, 제1 열선(110)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 위로 볼록한 형태로 절곡된 제1 상향 절곡부(111)를 포함할 수 있다. 이와 더불어, 제1 열선(110)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 상향 절곡부(111)와 간격을 두고 위로 볼록한 형태로 절곡된 제2 상향 절곡부(112)를 더 포함할 수 있다. 물론, 도가니(20)의 크기에 따라, 도 3에 도시된 바와 같이 제1 열선(110)이 여러 번 절곡된 형태를 가질 수 있고, 절곡된 수만큼 상향 절곡부의 수 또한 정해질 수 있다.3 and 4, the first heating line 110 may include a first upwardly bent portion 111 bent in a convex shape. 3 and 4, the first heating line 110 may include a second upwardly bent portion 112 bent upward in a convex shape at an interval from the first upwardly bent portion 111. In addition, . Of course, depending on the size of the crucible 20, the first hot wire 110 may be bent several times as shown in FIG. 3, and the number of upward bent portions may be determined by the number of bent portions.

제1 상부 고정부(120)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 열선(110)의 상부를 고정하는 구성요소이다. 따라서, 제1 열선(110)이 제1 상부 고정부(120)에 의해 하방향으로 매달려 있는 형태가 되어 중력의 영향으로 제1 열선(110)의 직진도는 향상될 수 있다.The first upper fixing portion 120 is a component for fixing the upper portion of the first heating wire 110, as shown in Figs. Accordingly, the first heating line 110 is suspended by the first upper fixing part 120 in a downward direction, and the straightness of the first heating line 110 can be improved by the influence of gravity.

예를 들어, 제1 상부 고정부(120)는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 절곡 하부 고정 부재(121)와 절곡 상부 고정 부재(122)를 포함할 수 있다. 절곡 하부 고정 부재(121)는 제1 열선(110) 중 제1 상향 절곡부(111)의 아랫 부분을 받치는 역할을 하고, 절곡 상부 고정 부재(122)는 제1 열선(110) 중 제1 상향 절곡부(111)의 윗 부분을 받치는 역할을 한다. 따라서, 제1 열선(110)은 절곡 상부 고정 부재(122)에 의해 위로 열팽창되는 것이 차단됨과 함께 절곡 하부 고정 부재(121)에 매달린 형태를 가지게 되므로, 제1 열선(110)의 열팽창 및 열수축이 다수 진행될수록 그 변형이 중력 방향인 하방향으로만 일어나게 되어 제1 열선(110)의 직진도는 중력의 영향으로 더욱 향상될 수 있다.For example, the first upper fixing part 120 may include a bending lower fixing member 121 and a bending upper fixing member 122, as shown in Figs. The bending lower fixing member 121 serves to support the lower portion of the first upward convex portion 111 of the first heating wire 110 and the bending upper fixing member 122 serves to support the lower portion of the first upward convex portion 111 of the first heating wire 110, And serves to support the upper portion of the bent portion 111. Accordingly, the first heating line 110 is prevented from being thermally expanded upward by the bending upper fixing member 122 and is suspended from the bending lower fixing member 121. Therefore, the thermal expansion and the thermal shrinkage of the first heating line 110 As the number of processes increases, the deformation occurs only in the downward direction of the gravity direction, and the straightness of the first hot wire 110 can be further improved by the influence of gravity.

나아가, 도 4에 도시된 바와 같이, 절곡 하부 고정 부재(121)는, 도가니(20)를 감싸는 링 형상(ring shape)을 가져 제1 및 제2 상향 절곡부(111)(112)의 각 아랫 부분을 함께 받칠 수 있고, 절곡 상부 고정 부재(122) 또한 도가니(20)를 감싸는 링 형상을 가져 제1 및 제2 상향 절곡부(111)(112)의 각 윗 부분을 함께 받칠 수 있다. 따라서, 하나의 절곡 하부 고정 부재(121)로 복수의 상향 절곡부(111, 112 참조)의 각 아랫 부분을 동시에 받칠 수 있고, 하나의 절곡 상부 고정 부재(122)로 복수의 상향 절곡부(111, 112 참조)의 각 윗 부분을 동시에 받칠 수 있어, 그 구성을 단순화시킬 수 있고, 부품에 따른 비용을 줄일 수 있다.4, the bending lower fixing member 121 has a ring shape surrounding the crucible 20, so that the lower and upper bending portions 111 and 112 of the first and second upward bent portions 111 and 112 And the bending upper fixing member 122 also has a ring shape surrounding the crucible 20 so that the upper portions of the first and second upward bending portions 111 and 112 can be supported together. Therefore, it is possible to simultaneously support the lower portions of the plurality of upward bent portions 111 and 112 by one bent lower fixing member 121, and the plurality of upward bent portions 111 , 112) can be supported at the same time, so that the configuration can be simplified and the cost for the parts can be reduced.

또한, 제1 열선(110)의 단락을 미연에 막기 위해, 절곡 하부 고정 부재(121)와 절곡 상부 고정 부재(122) 각각은 세라믹과 같은 절연 재질로 이루어질 수 있다.Further, in order to prevent short-circuiting of the first heating wire 110, the bending lower fixing member 121 and the bending upper fixing member 122 may each be made of an insulating material such as ceramic.

나아가, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 열선(110)은, 제1 상향 절곡부(111)의 양측에 각각 하방향으로 길게 뻗은 제1 하향 직선부(111a)와 제2 하향 직선부(111b)를 포함할 수 있고, 제1 및 제2 하향 직선부(111a)(111b)는 절곡 하부 고정 부재(121)를 상하 이동 가능하게 관통할 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 하향 직선부(111a)(111b)가 열팽창 및 열수축 되더라도 그 길이가 늘어나가나 줄어드는 것이 방해되지 않게 된다4, the first heating line 110 includes first downward rectilinear sections 111a and second downward rectilinear sections 111b extending in the downward direction on both sides of the first upwardly bent section 111, And the first and second downward rectilinear sections 111a and 111b may penetrate the bending lower fixing member 121 so as to be movable up and down. Therefore, even if the first and second downwardly straightened portions 111a and 111b are thermally expanded and heat shrunk, the length of the first and second downwardly straightened portions 111a and 111b increases or decreases,

이와 더불어, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원(100)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 케이스(130)와 반사판(140)을 더 포함할 수 있다. 케이스(130)는 도가니(20)를 수용하기 위한 내부 공간(131)을 가가지며, 그리고 반사판(140)은 내부 공간(131)의 측면과 제1 열선(110) 사이에 구비되어 제1 열선(110)의 열을 도가니(20)로 반사시키는 역할을 한다.In addition, the vacuum evaporation source 100 according to an embodiment of the present invention may further include a case 130 and a reflection plate 140, as shown in FIG. The case 130 has an inner space 131 for receiving the crucible 20 and the reflector 140 is disposed between the side of the inner space 131 and the first hot line 110 to form the first hot line 110) to the crucible (20).

이렇게, 케이스(130)와 반사판(140)을 더 포함할 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 상술한 절곡 하부 고정 부재(121)와 상술한 절곡 상부 고정 부재(122) 각각은 반사판(140)에 지지될 수 있다.2, the bending lower fixing member 121 and the bending upper fixing member 122 described above each include the reflection plate 140 and the reflection plate 140. In this case, As shown in FIG.

나아가, 제1 열선(110)의 상하 움직임을 자유롭게 안내하고 좌우 움직임을 한정시키는 안내 부재(170)가 더 구비될 수 있다.Further, the guide member 170 may be further provided to freely guide the upward and downward movement of the first heating wire 110 and to restrict lateral movement.

이와 더불어, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원(100)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 열선(150)과 제2 상부 고정부(160)를 더 포함할 수 있다.2 and 3, the vacuum evaporation source 100 according to an embodiment of the present invention further includes a second heating line 150 and a second upper fixing unit 160 .

제2 열선(150)은, 도가니(20)를 가열하는 구성요소로, 도 2에 도시된 바와 같이, 도가니(20)의 하반부에 위치되어 도가니(20)의 하반부를 가열할 수 있다. 나아가, 제2 열선(150)은 상술한 제1 열선(110)과 그 구비 위치만 다를 뿐 전체적으로 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 구체적인 구성 및 작용/효과는 상술한 바와 같다.The second heating line 150 is a component for heating the crucible 20 and is located at the lower half of the crucible 20 and can heat the lower half of the crucible 20, as shown in Fig. Further, since the second heating line 150 has the same structure as the first heating line 110 except for the position of the first heating line 110, the detailed structure, actions, and effects are as described above.

제2 상부 고정부(160)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 열선(150)의 상부를 고정하는 구성요소이다. 따라서, 제2 열선(150)이 제2 상부 고정부(160)에 의해 하방향으로 매달려 있는 형태가 되어 중력의 영향으로 제2 열선(150)의 직진도는 향상될 수 있다. 나아가, 제2 상부 고정부(160)는 상술한 제1 상부 고정부(120)와 그 구비 위치만 다를 뿐 전체적으로 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 구체적인 구성 및 작용/효과는 상술한 바와 같다.The second upper fixing portion 160 is a component for fixing the upper portion of the second heating line 150, as shown in FIGS. Accordingly, the second heating line 150 is suspended in the downward direction by the second upper fixing part 160, and the straightness of the second heating line 150 can be improved by the influence of gravity. Furthermore, since the second upper fixing part 160 has the same structure as that of the first upper fixing part 120 except for the position of the first upper fixing part 120, the detailed structure and operation / effect thereof are as described above.

이하, 도 5를 참조하여, 제1 및 제2 열선(110)(150)의 가열 전(a)과 가열 후(b)의 상태를 설명한다.The states before (a) heating and after heating (b) of the first and second heating lines 110 and 150 will be described below with reference to Fig.

가열 및 냉각을 하게 되면 도 5에 나타난 바와 같이 제1 및 제2 열선(110)(150)이 "d"만큼 늘어났다 줄었다를 반복하게 된다. 특히, 제1 열선(110)이 늘어나는 기준 고정점은 제1 상부 고정부(120)이고, 제2 열선(150)이 늘어나는 기준 고정점은 제2 상부 고정부(160)여서 그 위치는 항상 일정하게 유지된다.As shown in FIG. 5, when the heating and cooling are performed, the first and second heating lines 110 and 150 are increased by "d" and then decreased. The reference fixing point at which the first heating line 110 is extended is the first upper fixing unit 120 and the reference fixing point at which the second heating line 150 extends is the second upper fixing unit 160, Lt; / RTI >

특히, 제1 열선(110)이 고온 가열 및 냉각에 따른 열팽창 및 열수축되는 동안 제1 열선(110)이 동일한 형태로 유지되어야 하는 형태의 안정도가 중요하다. 이를 위해, 제1 열선(110)의 상부를 고정할 수 있는 기술구성을 제공하여, 제1 열선(110)의 열팽창 및 열수축 시 제1 상부 고정부(120)의 아래로 매달려서 중력에 의하여 아래 방향으로 동일한 형태로 늘어 났다가 줄어드는 과정을 반복할 수 있도록 하였다. 실험을 통해 확인한 결과, 제1 열선(110)의 상부가 제1 상부 고정부(120)에 고정되어 열적으로 팽창 및 수축 시 항상 기준 위치가 되는 위치를 최상부로 설정함으로써, 사용 횟수 및 시간에 따른 제1 열선(110)의 열역학적 모양 변화에서 보다 안정된 구조가 실현되었다. 또한, 제1 열선(110)이 중력방향인 하방향으로 매달려 있는 구조여서 열팽창 및 열수축이 다수 진행되면 진행될수록 제1 열선(110)의 직진도가 좋아지는 장점이 있어 제1 열선(110)이 서로 부딪힐 수 있는 가능성을 현격히 줄일 수 있었다. 물론, 제2 열선(150)에 대해서도 동일한 실험 결과를 얻을 수 있었다.Particularly, it is important that the stability of the form in which the first heat lines 110 are maintained in the same shape during the thermal expansion and the heat shrinking due to the high-temperature heating and cooling is important. To accomplish this, a technique for fixing the upper portion of the first heating line 110 is provided, and when the first heating line 110 is thermally expanded and shrunk, it is suspended below the first upper fixing portion 120, And it is possible to repeat the process of decreasing. As a result of the experiment, the upper portion of the first hot line 110 is fixed to the first upper fixing portion 120, and the position at which the thermal expansion and contraction always becomes the reference position is set at the uppermost position. A more stable structure can be realized by changing the thermodynamic shape of the first heating line 110. In addition, since the first heat line 110 is suspended in the downward direction of the gravity direction, as the thermal expansion and the heat shrinkage progresses, the first heat line 110 is improved in straightness, The possibility of hitting it could be significantly reduced. Of course, the same experimental results can be obtained for the second heating line 150 as well.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

20: 도가니 100: 진공 증발원
110: 제1 열선 111: 제1 상향 절곡부
111a: 제1 하양 직선부 111b: 제2 하향 직선부
112: 제2 상향 절곡부 120: 제1 상부 고정부
121: 절곡 하부 고정 부재 122: 절곡 상부 고정 부재
130: 케이스 140: 반사판
150: 제2 열선 160: 제2 상부 고정부20: Crucible 100: Vacuum evaporator
110: first heating line 111: first upward bending portion
111a: first lower straight portion 111b: second lower straight portion
112: second upward bent portion 120: first upper fixing portion
121: Bending lower fixing member 122: Bending upper fixing member
130: Case 140: Reflector
150: second heating line 160: second upper fixing unit

Claims (7)

도가니를 포함하는 진공 증발원에 있어서,
상기 도가니를 가열하는 제1 열선; 및
상기 제1 열선의 상부를 고정하는 제1 상부 고정부
를 포함하고,
상기 제1 열선은,
위로 볼록한 형태로 절곡된 제1 상향 절곡부를 포함하고,
상기 제1 상부 고정부는,
상기 제1 상향 절곡부의 아랫 부분을 받치는 절곡 하부 고정 부재; 및
상기 제1 상향 절곡부의 윗 부분을 받치는 절곡 상부 고정 부재
를 포함하고,
상기 제1 열선은,
중력 방향인 하 방향으로 팽창 가능한 상태에 놓이는
진공 증발원.In a vacuum evaporation source including a crucible,
A first heating wire for heating the crucible; And
And a first upper fixing part
Lt; / RTI >
The first heating wire
And a first upwardly bent portion bent upwardly in a convex shape,
Wherein the first upper fixing portion comprises:
A bending lower fixing member for supporting a lower portion of the first upwardly bent portion; And
A bending upper fixing member for supporting an upper portion of the first upward bending portion,
Lt; / RTI >
The first heating wire
Which is in a state of being inflatable downward in the gravity direction
Vacuum evaporator. 삭제delete 제1항에서,
상기 제1 열선은,
상기 제1 상향 절곡부와 간격을 두고 위로 볼록한 형태로 절곡된 제2 상향 절곡부를 더 포함하고,
상기 절곡 하부 고정 부재는,
상기 도가니를 감싸는 링 형상을 가져 상기 제1 및 제2 상향 절곡부의 각 아랫 부분을 함께 받치고,
상기 절곡 상부 고정 부재는,
상기 도가니를 감싸는 링 형상을 가져 상기 제1 및 제2 상향 절곡부의 각 윗 부분을 함께 받치는
진공 증발원.The method of claim 1,
The first heating wire
Further comprising a second upward bent portion bent in a convex shape at an interval from the first upward bent portion,
Wherein the bending lower fixing member comprises:
A ring shape surrounding the crucible to support the lower portions of the first and second upward bent portions together,
The bending upper fixing member,
And a ring shape surrounding the crucible to support the upper portions of the first and second upward bent portions together
Vacuum evaporator. 제1항에서,
상기 진공 증발원은,
상기 도가니를 수용하기 위한 내부 공간을 가지는 케이스; 및
상기 내부 공간의 측면과 상기 제1 열선 사이에 구비되는 반사판을 더 포함하고,
상기 절곡 하부 고정 부재와 상기 절곡 상부 고정 부재 각각은,
상기 반사판에 지지되는
진공 증발원.The method of claim 1,
The vacuum evaporation source includes:
A case having an internal space for accommodating the crucible; And
Further comprising a reflector disposed between a side of the inner space and the first hot line,
The bending lower fixing member and the bending upper fixing member, respectively,
And a light-
Vacuum evaporator. 제1항에서,
상기 제1 열선은,
상기 제1 상향 절곡부의 양측에 각각 하방향으로 길게 뻗은 제1 하향 직선부와 제2 하향 직선부를 포함하고,
상기 제1 및 제2 하향 직선부는 상기 절곡 하부 고정 부재를 관통하는
진공 증발원.The method of claim 1,
The first heating wire
And a first downward rectilinear section and a second downward rectilinear section extending in a downward direction on both sides of the first upwardly bent section,
Wherein the first and second downward rectilinear portions penetrate through the bending lower fixing member
Vacuum evaporator. 제1항에서,
상기 절곡 하부 고정 부재와 상기 절곡 상부 고정 부재 각각은 절연 재질로 이루어지는
진공 증발원.The method of claim 1,
The bending lower fixing member and the bending upper fixing member are each made of an insulating material
Vacuum evaporator. 제1항에서,
상기 진공 증발원은,
상기 도가니를 가열하는 제2 열선 및
상기 제2 열선의 상부를 고정하는 제2 상부 고정부를 더 포함하고,
상기 제1 열선은,
상기 도가니의 상반부에 대응되게 위치되고,
상기 제2 열선은,
상기 도가니의 하반부에 대응되게 위치되는
진공 증발원.The method of claim 1,
The vacuum evaporation source includes:
A second heating line for heating the crucible,
And a second upper fixing part fixing the upper portion of the second heating wire,
The first heating wire
And is positioned so as to correspond to the upper half of the crucible,
The second heating line
And is positioned corresponding to the lower half of the crucible
Vacuum evaporator.
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