KR101798305B1 - 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치 - Google Patents

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Abstract

다운드로우법에 의한 유리판의 제조 방법은, 용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형하는 성형 공정과, 성형 공정에서 성형한 유리판을, 연직 방향 하방으로 반송하면서, 노벽에 의해 둘러싸인 서냉 공간에 있어서, 서냉 공간 내의 온도를 제어하는 복수의 히터를 사용하여 서냉하는 서냉 공정을 구비한다. 냉각 공정에서는, 유리판이 보유하는 보유 열량을, 상기 히터가 발하는 발열량을 사용하여, 상기 서냉 공간 내의 공간 열량과 함께 구하고, 보유 열량과 유리판의 변형의 미리 정해진 관계에 기초하여, 유리판의 변형을 구하고, 히터 열량을 제어함으로써, 유리판의 보유 열량을 보정하여, 유리판의 변형을 억제한다.

Description

유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치{METHOD AND APPARATUS FOR MAKING GLASS SHEET}
본 발명은 유리판의 휨 및 변형이 저감될 수 있는 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치에 관한 것이다.
종래부터 다운드로우법을 이용하여 유리판을 제조하는 방법이 이용되고 있다. 다운드로우법에서는, 성형체에 용융 유리를 유입시킨 후, 당해 용융 유리를 성형체의 정상부로부터 오버플로우시킨다. 오버플로우된 용융 유리는, 성형체의 양측면을 따라 유하하고, 성형체의 하단부에서 합류함으로써, 시트 형상의 유리판으로 된다. 유리판은, 그 후, 롤러에 의해 하방으로 인장되고, 소정의 길이로 절단된다.
그러나, 하방으로 인장되고, 소정의 길이로 절단될 때까지의 동안에, 유리판은 열수축하고, 이에 의해 휨 및 변형(잔류 응력)이 발생한다. 이러한 휨 및 변형은, 유리판을, 예를 들어 액정 디스플레이(LCD) 기판으로서 사용하였을 때에, 표시 결함의 원인으로 된다.
특허문헌 1에는, 유리판의 판 두께를 최대한 균일하게 하고, 휨 및 변형을 저감시키기 위한 유리판의 제조 방법이 기재되어 있다. 구체적으로는, 유리판의 폭 방향의 단부가 상기 단부 사이에 끼인 중앙 영역의 온도보다 낮고, 또한 상기 중앙 영역의 온도가 균일해지도록 하는 제1 온도 제어 공정과, 상기 유리판의 폭 방향의 온도가 중앙부로부터 단부를 향해 낮아지도록 하는 제2 온도 제어 공정과, 유리 변형점의 근방의 온도 영역에 있어서, 상기 유리판의 폭 방향의 단부와 중앙부의 온도 구배가 없어지도록 하는 제3 온도 제어 공정을 포함하는, 유리 변형점상 온도 제어 공정이 행해지는, 유리판의 냉각 공정을 포함하는 유리판의 제조 방법이 기재되어 있다.
국제 공개 제2012/133843호
특허문헌 1에 기재된 유리판의 제조 방법을 이용하여 얻어진 유리판의 휨 및 변형은, 종래의 방법보다 저감시킬 수 있지만, 얻어지는 유리판의 변형은 원하는 대로 형성되지 않는 경우가 있었다. 따라서, 본 발명자가 예의 검토하고, 연구를 진행시킨 결과, 유리판의 변형이 원하는 대로 형성되지 않는 원인이, 유리판의 변형과 상관 관계에 있는 유리판을 서냉하는 서냉 공간 내에서의 온도의 제어의 정밀도가 충분하지 않은 것에 있는 것을 발견하고, 서냉 공간의 온도를 제어하는 히터에 의해 발생시키는 열량을 제어함으로써 유리판의 휨 및 변형을 저감시킬 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하는 것에 이르렀다.
본 발명은 이하의 형태를 포함한다.
(형태 1)
다운드로우법에 의한 유리판의 제조 방법으로서,
용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형하는 성형 공정과,
상기 성형 공정에서 성형한 유리판을, 연직 방향 하방으로 반송하면서, 노벽에 의해 둘러싸인 서냉 공간에 있어서, 상기 서냉 공간 내의 온도를 제어하는 복수의 히터를 사용하여 서냉하는 서냉 공정을 구비하고,
상기 냉각 공정에서는, 상기 유리판이 보유하는 보유 열량을, 상기 히터가 발하는 발열량을 사용하여, 상기 서냉 공간 내의 공간 열량과 함께 구하고, 상기 보유 열량과 상기 유리판의 변형의 미리 정해진 관계에 기초하여, 상기 유리판의 변형을 구하고,
상기 히터 열량을 제어함으로써, 상기 유리판의 보유 열량을 보정하여, 상기 유리판의 변형을 억제하는,
것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
(형태 2)
상기 서냉 공간을 상기 연직 방향으로 복수의 공간으로 나누고, 각 공간에 있어서 복수의 히터를 사용하여 공간 내의 온도를 제어하고,
상기 각 공간에 있어서 상기 유리판의 변형을 각각 구한 결과에 기초하여, 상기 히터가 발하는 히터 열량을 제어하는,
것을 특징으로 하는 형태 1에 기재된 유리판의 제조 방법.
(형태 3)
상기 유리판의 변형은, 열류체 해석 시뮬레이션 및 점탄성 모델 해석 시뮬레이션에 의해 구하는,
것을 특징으로 하는 형태 1 또는 2에 기재된 유리판의 제조 방법.
(형태 4)
상기 서냉 공간은 상기 연직 방향으로 복수의 공간으로 나뉘어 있고,
상기 열류체 해석 시뮬레이션에서는, 상기 복수의 공간의 각각에 진입할 때의 유리판의 보유 열량을 유리판의 진입 시의 보유 열량으로 하고, 상기 진입 시의 유리판의 보유 열량과 상기 히터의 상기 발열량을 부여함으로써, 상기 유리판의 상기 복수의 공간 각각에 있어서의 상기 유리판의 보유 열량을 구하는, 형태 3에 기재된 유리판의 제조 방법.
(형태 5)
상기 복수의 공간을 상기 유리판이 흐를 때, 상기 열류체 해석 시뮬레이션은, 상기 복수의 공간의 각각에 있어서 행해지고, 상기 복수의 공간 중, 상기 유리판의 흐름 방향의 상류측에서 볼 때 2단째 이후의 공간에서는, 상류측에 인접하는 공간에 있어서 상기 유리판이 나올 때의 온도 분포를, 상기 진입 시의 보유 열량으로서 사용하는, 청구항 4에 기재된 유리판의 제조 방법.
(형태 6)
다운드로우법에 의한 유리판의 제조 장치로서,
용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형하는 성형체와,
상기 성형체로 성형한 유리판을, 연직 방향 하방으로 반송하면서, 노벽에 의해 둘러싸인 서냉 공간과,
상기 서냉 공간 내의 온도를 제어하고, 상기 유리판을 서냉하는 복수의 히터를 구비한 성형 장치를 포함하고,
상기 성형 장치는,
상기 유리판이 보유하는 보유 열량을, 상기 히터가 발한 발열량을 사용하여, 상기 서냉 공간 내의 공간 열량과 함께 구하고, 상기 보유 열량과 상기 유리판의 변형의 미리 정해진 관계에 기초하여, 상기 유리판의 변형을 구하는 제1 부분과,
상기 히터 열량을 제어함으로써, 상기 유리판의 보유 열량을 보정하여, 상기 유리판의 변형을 억제하는 제2 부분을 갖는
것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.
본 발명에 따르면, 서냉 공간의 온도를 제어하는 히터로부터 발생시키는 열량을 제어함으로써, 유리판의 휨 및 변형을 저감시킬 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 따른 유리판의 제조 방법의 일부의 흐름도이다.
도 2는 본 실시 형태에 따른 유리판의 제조 방법에 사용하는, 유리판의 제조 장치에 포함되는 용해 장치를 주로 도시하는 도면이다.
도 3은 성형 장치의 개략의 정면도이다.
도 4는 성형 장치의 개략의 측면도이다.
도 5는 제어 장치의 제어 블록도이다.
도 6은 성형 장치의 개략의 정면도의 일부 확대도이다.
도 7은 성형 장치의 개략의 횡단면도이다.
도 8은 도 7의 A선에 있어서의 단면도이다.
도 9는 본 실시 형태에 있어서의, 서냉 공간의 일단 모델을 도시하는 도면이다.
도 10은 일반적인 유리의 온도와 비열의 관계를 나타내는 도면이다.
도 11은 유리판의 응력 완화 파라미터를 나타내는 도면이다.
도 12는 유리판의 구조 완화 파라미터를 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서, 유리판의 제조 장치를 사용하여 유리판을 제조하는, 본 실시 형태의 유리판의 제조 방법에 대해 설명한다.
(1) 유리판의 제조 방법의 개요
도 1은 본 실시 형태에 따른 유리판의 제조 방법의 일부의 흐름도이다.
이하, 도 1을 이용하여 유리판의 제조 방법에 대해 설명한다.
유리판은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 용해 공정 ST1과, 청징 공정 ST2와, 균질화 공정 ST3과, 성형 공정 ST4와, 냉각 공정 ST5와, 절단 공정 ST6을 포함하는 다양한 공정을 거쳐 제조된다. 이하, 이들 공정에 대해 설명한다.
용해 공정 ST1에서는, 유리 원료를 가열하여 용해한다. 유리 원료는, 예를 들어, SiO2, Al2O3 등의 조성을 포함한다. 용해한 유리 원료는, 용융 유리로 된다.
청징 공정 ST2에서는, 용융 유리를 청징한다. 구체적으로는, 용융 유리 중에 포함되는 가스 성분을 용융 유리로부터 방출하거나, 혹은, 용융 유리 중에 포함되는 가스 성분을 용융 유리 중에 흡수한다.
균질화 공정 ST3에서는, 용융 유리를 균질화한다. 또한, 이 공정에서는, 청징이 완료된 용융 유리의 온도 조정을 행한다.
성형 공정 ST4에서는, 다운드로우법(예를 들어, 오버플로우 다운드로우법)에 의해 용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형한다.
냉각 공정 ST5에서는, 성형 공정 ST4에서 성형된 유리판의 냉각을 행한다. 당해 냉각 공정 ST5에 있어서, 유리판은, 실온 부근까지 냉각된다.
절단 공정 ST6에서는, 실온 부근까지 냉각된 유리판을, 소정의 길이마다 절단하여 유리판으로 한다.
또한, 소정의 길이마다 절단된 유리판은, 그 후, 더욱 절단되어, 연삭·연마, 세정, 검사가 행해져 유리판으로 되고, 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 사용된다.
(2) 유리판의 제조 장치(100)의 개요
도 2는 유리판의 제조 장치(100)에 포함되는 용해 장치(200)를 주로 도시하는 모식도이다. 도 3은 유리판의 제조 장치(100)에 포함되는 성형 장치(300)의 개략의 정면도이다. 도 4는 성형 장치(300)의 개략의 측면도이다. 이하, 유리판의 제조 장치(100)에 대해 설명한다.
유리판의 제조 장치(100)는, 주로, 용해 장치(200)(도 2를 참조)와, 성형 장치(300)(도 3∼도 4를 참조)와, 절단 장치(400)(도시하지 않음)를 갖는다.
(2-1) 용해 장치(200)의 구성
용해 장치(200)는, 용해 공정 ST1, 청징 공정 ST2 및 균질화 공정 ST3을 행하기 위한 장치이다.
용해 장치(200)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 용해조(201), 청징조(202), 교반조(203), 제1 배관(204) 및 제2 배관(205)을 갖는다.
용해조(201)는, 유리 원료를 용해하기 위한 조이다. 용해조(201)에서는, 용해 공정 ST1을 행한다.
청징조(202)는, 용해조(201)에서 용해된 용융 유리로부터 기포를 제거하기 위한 조이다. 용해조(201)로부터 반송되어 온 용융 유리를, 청징조(202)는 더 가열함으로써, 용융 유리 중의 기포의 탈포가 촉진된다. 청징조(202)에서는, 청징 공정 ST2를 행한다.
교반조(203)는, 용융 유리를 수용하는 용기와, 회전축과, 당해 회전축에 장착된 교반 날개를 포함하는 교반 장치를 갖고 있다. 용기, 회전축 및 교반 날개로서는, 예를 들어 백금 등의 백금족 원소 또는 백금족 원소의 합금제의 것을 사용할 수 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 모터 등의 구동부(도시하지 않음)의 구동에 의해 회전축이 회전함으로써, 회전축에 장착된 교반 날개가, 용융 유리를 교반한다. 교반조(203)에서는, 균질화 공정 ST3을 행한다.
제1 배관(204) 및 제2 배관(205)은, 예를 들어 백금족 원소 또는 백금족 원소의 합금을 포함하는 배관이다. 제1 배관(204)은, 청징조(202)와 교반조(203)를 접속하는 배관이다. 제2 배관(205)은, 교반조(203)와 성형 장치(300)를 접속하는 배관이다.
(2-2) 성형 장치(300)의 구성
성형 장치(300)는, 성형 공정 ST4 및 냉각 공정 ST5를 행하기 위한 장치이다.
성형 장치(300)는, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 성형체(310)와, 분위기 구획 부재(320)와, 냉각 롤러(330)와, 냉각 유닛(340)과, 인장 롤러(350a∼350e)와, 히터(360a∼360e)를 갖는다. 이하, 이들의 구성에 대해 설명한다.
(2-2-1) 성형체(310)
성형체(310)는, 성형 공정 ST4를 행하기 위한 장치이다.
성형체(310)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 성형 장치(300)의 상방 부분에 위치하고, 용해 장치(200)로부터 흘러 오는 용융 유리를, 오버플로우 다운드로우법에 의해 시트 형상의 유리판(SG)으로 성형하는 기능을 갖는다. 성형체(310)의, 수직 방향으로 절단한 단면 형상은, 쐐기 형상이며, 성형체(3120)는, 예를 들어 내화 벽돌에 의해 구성되어 있다.
성형체(310)에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 용해 장치(200)로부터 흘러 오는 용융 유리의 유로 방향의 상류측에, 공급구(311)가 형성되어 있다. 또한, 성형체(310)에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 그 길이 방향을 따라, 상방으로 개방된 홈부(312)가 형성되어 있다. 홈부(312)는, 용융 유리의 유로 방향의 상류측으로부터 하류측을 향함에 따라, 서서히 얕아지도록 형성되어 있다.
용해 장치(200)로부터 성형 장치(300)를 향해 흘러 오는 용융 유리는, 공급구(311)를 통해 성형체(310)의 홈부(312)에 흐르도록 되어 있다.
성형체(310)의 홈부(312)에 흐른 용융 유리는, 당해 홈부(312)의 정상부에 있어서 오버플로우하고, 성형체(310)의 양측면(313)을 따라 유하한다. 그리고, 성형체(310)의 양측면(313)을 따라 유하하는 용융 유리는, 성형체(310)의 하부(314)에서 합류하여 유리판(SG)으로 된다.
(2-2-2) 분위기 구획 부재(320), 단열 부재(41)
도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 분위기 구획 부재(320)는, 성형체(310)의 하부(314)의 근방에 배치되는 판상의 부재이다.
분위기 구획 부재(320)는, 성형체(310)의 하부(314)로부터 유하해 가는 유리판(SG)의 두께 방향의 양측에, 대략 수평으로 되도록 배치되어 있다. 분위기 구획 부재(320)는, 단열재로서 기능한다. 즉, 분위기 구획 부재(320)는, 그 상하의 공기를 구획함으로써, 분위기 구획 부재(320)의 상측으로부터 하측으로의 열의 이동을 억제하고 있다. 성형 장치(300)는, 도 3 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 분위기 구획 부재(320)보다 상방의 공간인 성형체 수용부(410)와, 분위기 구획 부재(320) 바로 아래의 공간인 성형 존(42a)과, 성형 존(42a)의 하방의 공간인 서냉 존(420)을 갖는다. 서냉 존(420)은, 복수의 서냉 공간(42b, 42c, …42f)을 갖는다. 성형 존(42a), 서냉 공간(42b∼42f)은, 이 순서로 연직 방향 상방으로부터 하방을 향해 적층되어 있다. 노벽에 의해 둘러싸임으로써, 성형 존(42a), 서냉 존(420)[서냉 공간(42b∼42f)]이 형성되고, 이 성형 존(42a) 및 서냉 존(420)[서냉 공간(42b∼42f)]을 유리판(SG)이 이동한다.
단열 부재(41)는, 서냉 존(420)에 있어서, 후술하는 냉각 롤러(330)의 하방, 또한 유리판(SG)의 두께 방향 양측에 배치되는 판상의 단열재이다. 단열 부재(41), 분위기 구획 부재(320)보다 하방의 공간을 구획함으로써, 성형 존(42a) 및 서냉 공간(42b∼42f)을 형성한다. 예를 들어, 도 4에 도시되는 바와 같이, 단열 부재(41)는, 성형 존(42a)과 서냉 공간(42b)을 형성한다. 또한, 단열 부재(41)는, 서냉 공간(42b)과 서냉 공간(42c)을 형성한다. 이와 같이, 서냉 공간(42b∼42f)은, 노벽 및 단열 부재(41)에 의해 둘러싸임으로써 형성된다. 각 단열 부재(41)는, 상하의 공간의 사이에 있어서의 열 이동을 억제한다. 예를 들어, 단열 부재(41)는, 성형 존(42a)과 서냉 공간(42b) 사이의 열 이동을 억제하고, 또한 단열 부재(41)는, 서냉 공간(42b)과 서냉 공간(42c) 사이의 열 이동을 억제한다.
(2-2-3) 냉각 롤러(330)
냉각 롤러(330)는, 분위기 구획 부재(320)의 하방에 배치되어 있다. 또한, 냉각 롤러(330)는, 유리판(SG)의 두께 방향의 양측에, 또한 그 폭 방향의 양단부 부분에 대향하도록 배치되어 있다. 냉각 롤러(330)는, 내부를 지나는 공냉관에 의해 공냉되어 있다. 따라서, 유리판(SG)은, 냉각 롤러(330)를 통과할 때에, 공냉된 냉각 롤러(330)에 접촉하는, 유리판(SG)의 두께 방향의 양측 부분 또한 그 폭 방향의 양단부 부분[이하에서는, 당해 부분을 유리판(SG)의 에지부(R, L)라 함]이 냉각된다. 이에 의해, 당해 에지부(R, L)의 점도는, 소정값(예를 들어, 109. 0포아즈) 이상으로 된다. 여기서, 에지부(R, L)는, 에지부(R, L) 사이에 끼인 유리판(SG)의 폭 방향의 중앙 영역(중앙부)의 판 두께에 대해 두껍고, 소정의 두께를 갖는 부분을 말하며, 상기 중앙 영역(중앙부)이, 제품(유리 기판)으로서 이용할 수 있는 두께가 거의 균일한 부분이다. 냉각 롤러(330)는, 냉각 롤러 구동 모터(390)(도 5를 참조)에 의한 구동력이 전달됨으로써, 유리판(SG)을 하방으로 인장하는 역할도 갖는다. 냉각 롤러(330)에 의해, 유리판(SG)은, 소정의 두께로 신장된다.
(2-2-4) 냉각 유닛(340)
냉각 유닛(340)은, 예를 들어 공냉식의 냉각 장치이며, 냉각 롤러(330) 및 그 하방을 통과하는 유리판(SG)의 분위기 온도를 냉각한다. 또한, 냉각 유닛(340)은, 유리판(SG)의 폭 방향으로 복수(예를 들어, 3개) 및 그 흐름 방향으로 복수 배치된다. 구체적으로는, 냉각 유닛(340)은, 유리판(SG)의 에지부(R, L)의 표면에 대향하도록, 1개씩 배치되고, 또한 중앙 영역의 표면에 대향하도록 1개 배치되어 있다.
(2-2-5) 인장 롤러(350a∼350e)
인장 롤러(350a∼350e)는, 냉각 롤러(330)의 하방에, 유리판(SG)의 흐름 방향으로 소정의 간격을 가지고 배치된다. 또한, 인장 롤러(350a∼350e)는, 각각, 유리판(SG)의 두께 방향의 양측에, 또한 유리판(SG)의 폭 방향의 양단부 부분에 대향하도록, 서냉 공간(42b∼42f) 내에 배치된다. 그리고, 인장 롤러(350a∼350e)는, 냉각 롤러(330)에 있어서 에지부(R, L)의 점도가 소정값 이상으로 된 유리판(SG)의 두께 방향의 양측 부분이며 그 폭 방향의 양단부 부분에 접촉하면서 당해 유리판(SG)을 하방으로 인장한다. 또한, 인장 롤러(350a∼350e)는, 인장 롤러 구동 모터(391)(도 5를 참조)에 의한 구동력이 전달됨으로써 구동된다. 인장 롤러(350a∼350e)의 주(周)속도는, 냉각 롤러(330)의 주속도보다도 크다. 인장 롤러의 주속도는, 유리판(SG)의 흐름 방향의 하류측에 배치됨에 따라 커진다. 즉, 복수의 인장 롤러(350a∼350e)에 있어서는, 인장 롤러(350a)의 주속도가 가장 작고, 인장 롤러(350e)의 주속도가 가장 크다.
(2-2-6) 히터(온도 제어 유닛)
도 3에 도시하는 바와 같이, 히터(온도 제어 유닛)(360a∼360e)는, 냉각 유닛(340)의 하방의 성형 존(42a) 및 서냉 공간(42b∼42f)에 각각 배치되고, 성형 존(42a) 및 서냉 공간(42b, 42c, …)의 분위기 온도를 제어한다. 히터(360a∼360e)는, 후술하는 제어 장치(500)에 의해 출력을 제어됨으로써, 인장 롤러(350a∼350e)에 의해 하방으로 견인되는 유리판(SG)의 근방의 분위기 온도를 제어하는(구체적으로는, 분위기 온도를 승온하는) 냉각 장치로서 기능한다. 또한, 각 히터(360a∼360e)는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 폭 방향으로 복수(예를 들어, 3개, 6개 등)로 배치된 발열부(361a, 362a, …366a)를 갖는다. 발열부(361a∼366a)는, 열을 서냉 공간에 방출하는 발열체이다. 발열부(361a∼366a)는 노벽에 매립되고, 각각 전력이 부여되어 발열하도록 구성되어 있다. 발열부(361a∼366a)는, 도 6에 도시되는 바와 같이, 유리판(SG)의 폭 방향을 따라, 유리판(SG)의 양측의 면에 대향하는 위치에 일렬로 배열되어 있다. 도 6에는, 서냉 공간(42b)에 설치된 발열부(361a∼366a)가 도시되어 있지만, 마찬가지의 발열부를 갖는 히터(360b∼360e)가, 유리판(SG) 근방의 분위기 온도가 유리판(SG)의 폭 방향으로 소정의 온도 분포(이하, 「온도 프로파일」이라 함)를 형성하도록 설치되어 있다. 이와 같이 하여, 발열부를 갖는 각 히터(360a∼360e)는, 성형 존(42a) 및 서냉 공간(42b∼42f)의 분위기 온도를 제어한다. 또한, 각 히터(360a∼360e)의 발열부는, 유리판(SG)의 폭 방향뿐만 아니라, 유리판(SG)의 흐름 방향에 대해, 각각 복수 배치된 구성으로 해도 된다.
여기에서는, 인장 롤러(350a∼350e)에 의해 하방으로 견인되는 유리판(SG)의 분위기 온도가, 히터(360a∼360e)[발열부(361a∼366a)]에 의해 온도 제어됨으로써[구체적으로는, 유리판(SG)의 분위기 온도가 제어됨으로써, 유리판(SG)이 온도 제어됨으로써], 유리판(SG)이 점성 영역으로부터 점탄성 영역을 거쳐 탄성 영역으로 추이하는 냉각이 행해진다.
또한, 발열부(361a∼366a)의 근방에는, 유리판(SG)의 각 영역의 분위기 온도를 검출하는 열전대 유닛(380)(도 5∼도 7 참조)이 배치되어 있다. 열전대 유닛(380)은, 발열부(361a∼366a)가 발열함으로써, 변화하는 서냉 공간(42b∼42f)의 분위기 온도를 측정한다. 제어 장치(500)는, 열전대 유닛(380)이 측정한 분위기 온도를 취득하고, 취득한 분위기 온도에 기초하여, 히터(360a∼360e)가 구비하는 발열부(361a∼366a)로부터의 발열량을 제어한다. 성형체(310)의 하부(314) 이하의 영역인 성형 존(42a) 및 서냉 공간(42b∼42f)에 있어서, 냉각 롤러(330), 냉각 유닛(340), 히터(360a∼360e)[발열부(361a∼366a)]에 의해 유리판(SG)이 냉각되어 가는 공정이 냉각 공정 ST5이다.
(2-3) 절단 장치(400)
절단 장치(400)에서는, 절단 공정 ST6을 행한다. 절단 장치(400)는, 성형 장치(300)에 있어서 유하하는 유리판(SG)을, 그 길이면에 대해 수직한 방향으로부터 절단하는 장치이다. 이에 의해, 시트 형상의 유리판(SG)은, 소정의 길이를 갖는 복수의 유리판(SG)으로 된다. 절단 장치(400)는, 절단 장치 구동 모터(392)(도 5를 참조)에 의해 구동된다.
(3) 제어 장치(500)
도 5는 제어 장치(500)의 제어 블록도이다.
제어 장치(500)는, CPU, ROM, RAM, 하드 디스크 등을 포함하고, 유리판의 제조 장치(100)에 포함되는 다양한 기기의 제어를 행하는 제어부로서 기능한다.
구체적으로는, 유리판의 제조 장치(100) 또는 성형 장치(300)는, 제어 장치(500)를 구비하고, 이 제어 장치(500)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 유리판의 제조 장치(100)에 포함되는 각종 센서[예를 들어, 열전대 유닛(380) 등]나 스위치[예를 들어, 주전원 스위치(381) 등] 등에 의한 신호, 입력 장치(도시하지 않음) 등을 통한 작업자로부터의 입력 지시를 받아, 냉각 유닛(340), 히터(360a∼360e)[발열부(361a∼366a)], 냉각 롤러(330)의 동작을 제어하는 냉각 롤러 구동 모터(390), 인장 롤러(350a∼350e)의 동작을 제어하는 인장 롤러 구동 모터(391), 절단 장치(400)의 동작을 제어하는 절단 장치 구동 모터(392) 등의 제어를 행한다.
(4) 냉각 공정 ST5에 있어서의 온도 제어
냉각 공정 ST5는, 제어 장치(500)가 냉각 롤러(330)를 제어함으로써, 유리판(SG)의 온도를 제어하는 것을 포함한다. 또한, 냉각 공정 ST5는, 유리판(SG)을 온도 제어하는 온도 제어 공정을 포함한다. 구체적으로는, 온도 제어 공정에서는, 냉각 유닛(340), 및 히터(360a∼360e)가 갖는 발열부(361a∼366a)를 제어하여 유리판(SG)의 분위기 온도의 제어를 행함으로써, 유리판(SG)의 온도를 제어한다.
또한, 냉각 공정 ST5는, 발열부(361a∼366a)의 발열량을 제어하는 열량 제어 공정을 포함하고, 유리판(SG)의 온도가 소정의 높이 위치(소정의 서냉 공간)에 있어서 소정의 온도 범위에 들어가도록, 또한 유리판(SG)의 온도가 그 폭 방향으로 소정의 온도 분포를 갖도록 하고 있다. 즉, 유리판(SG)의 온도는, 그 흐름 방향 및 폭 방향에 있어서 제어되고 있다.
상술한 열량 제어 공정에 대해, 발열부(361a∼366a)의 동작을 예로 들어 이하에 설명한다. 열량 제어 공정에서는, 발열부(361a∼366a)에 의해 발생시키는 열량을 결정한다.
발열부(361a∼366a)에 의해 발생시키는 열량을 결정하는 수순을, 이하에 설명한다. i) 제어부(500)는, 발열부(361a∼366a)를 소정의 설정 온도로 초기 설정하고, 서냉 공간(42b∼42f)[서냉 존(420)] 내에 있어서, 유리판(SG) 근방의 분위기 온도가 유리판(SG)의 폭 방향으로 소정의 온도 프로파일을 형성하도록 한다.
ii) 유리판(SG)이 보유하는 보유 열량[유리판(SG)의 온도], 서냉 공간(42b∼42f)[서냉 존(420)] 내의 분위기 온도를 구한다.
iii) 상기 ii)에서 구해진 유리판(SG)의 온도, 서냉 공간(42b∼42f) 내의 분위기 온도에 기초하여, 형성되는 유리판(SG)의 온도 분포, 변형 분포를 구하고, 구한 변형이 저감하도록, 발열부(361a∼366a)에 의해 발생시키는 열량(설정 온도)을 제어한다.
발열부(361a∼366a)에 의해 발생시키는 열량[발열부(361a∼366a)의 설정 온도]을 제어하기 위해, 유리판(SG)의 온도 분포를 구하는 방법을 이하에 설명한다. 당해 방법은, 열류체 해석 시뮬레이션 및 점탄성 해석 시뮬레이션을 사용한다.
<열류체 해석 시뮬레이션>
열류체 해석 시뮬레이션에서는, 예를 들어 유한 요소법에 기초하는 이산화 모델을 사용하여 열류체 해석을 행한다. 열류체 해석에서는, 발열부(361a∼366a)가 발하는 히터 열량을 부여하여, 즉, 발열체(361a∼366a)의 설정 온도를 부여하여, 서냉 공간(42b∼42f)의 분위기의 온도 분포와 유리판(SG)의 온도 분포를 미지수로 하여, 서냉 공간 전역(서냉 존)에 있어서의 유리판(SG)의 보유 열량인 온도 분포를 구한다. 시뮬레이션은 이하의 조건에서 실시한다.
1. 모델
서냉 존(420)을 유리판(SG)의 흐름 방향으로 복수단으로 구획한 중의 1단의 서냉 공간(42b)을 메쉬 모델로서 이산화하고, 열류체 해석을 이용하여, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 구한다. 이때, 서냉 공간(42b)에 진입하는 유리판(SG)의 온도 분포는 미리 정해진다. 그리고, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포 중, 서냉 공간(42b)으로부터 나올 때의 폭 방향의 온도 분포가, 2단째의 서냉 공간(42c)에 진입하는 유리판(SG)의 온도 분포로서 정해진다. 이와 같이, 각 단의 서냉 공간에 진입할 때의 유리판(SG)의 온도 분포를 이용하여, 각 서냉 공간에 있어서의 유리판의 온도 분포를 구한다. 이와 같이 하여, 서냉 공간 전역에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 시뮬레이션한다.
도 9는 유리판(SG)의 흐름 방향에서 볼 때 1단째의 서냉 공간(42b)의 모델을 도시한다. 서냉 공간(42b)에 진입할 때의 유리판(SG)의 보유 열량, 히터(360a)[발열부(361a∼366a)]의 히터 열량(설정 온도)을 부여하여, 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도와 함께 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 구한다. 그리고, 1단째보다 하류측의 2단째 이후에 있어서, 1단째와 마찬가지로 유리판(SG)의 온도 분포를 구하고, 구한 복수의 유리판(SG)의 온도 분포를 연결시킴으로써, 서냉 공간(42b∼42f) 전체[서냉 존(420)]에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 구한다.
(1) 서냉 공간(42b)에 진입할 때의 유리판(SG)의 보유 열량, (2) 히터(360a)[발열부(361a∼366a)]의 히터 열량(설정 온도), (3) 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도의 영향을 고려하여, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포의 해석을 행한다. 상기 (1)∼(3)에 대해, 이하와 같이 설명한다.
(1) 서냉 공간(42b)에 진입할 때의 유리판(SG)의 보유 열량
유리판(SG)의 보유 열량(온도 분포)은, 서냉 공간(42b)에 유리판(SG)이 진입해 오는 위치[서냉 공간(42b)의 상류측]에 설치된 온도 센서(도시하지 않음)를 사용하여 측정된다. 성형체(310)로부터 흘러나오는 용융 유리의 양은 일정하므로, 유리판(SG)의 유량(반송 속도)은 일정해지고, 측정한 온도(온도 분포)로부터, 서냉 공간(42b)에 진입할 때의 유리판(SG)의 보유 열량이 구해진다. 또한, 유리판(SG)의 유량, 성형체(310)에 유입되는 용융 유리의 온도로부터, 서냉 공간(42b)에 진입할 때의 유리판(SG)의 보유 열량(온도 분포)을 구할 수도 있다.
(2) 히터(360a)[발열부(361a∼366a)]의 발열량(설정 온도)
각 발열부(361a∼366a)의 발열량은, 제어 장치(500)가 설정한 설정 온도에 따라 변화한다. 설정 온도에 기초하는 각 발열부(361a∼366a)가 발하는 히터 열량은, 전원 장치에 병설된 발열부(361a∼366a)의 전력계(도시하지 않음)의 측정 결과로부터 구해진다. 따라서, 발열부(361a∼366a)의 발열량을 제어하는 경우, 각 발열부(361a∼366a)에 부여하는 전력을 제어하게 된다. 여기에서는, 서냉 공간(42b)의 히터(360a)가 갖는 발열부(361a∼366a)에 초기 설정되는 설정 온도를 예를 들어 700℃로 한다. 발열체(361a∼366a)의 발열량은, 모두 동일하게 해도 되지만, 발열량에 분포를 부여해도 된다. 또한, 초기 설정되는 온도 700℃는 예시이므로, 발열부(361a∼366a)의 온도는, 미지량으로서 계산의 결과로서 취득할 수도 있다. 유리판(SG)의 유입 온도를, 예를 들어 700℃로 하여 계산하고, 실측 온도와 계산 결과의 온도의 일치가 좋아지도록 유리판(SG)의 유입 온도를 설정할 수도 있다. 온도 설정되어 있는 발열부(361a∼366a)의 평균적인 전류(A)·전압(V)·역률을 실제로 측정하고, 그로부터 발열량(W)을 구하고, 발열 밀도(W/㎥)로 환산하여 계산 조건으로 한다. 온도는, 계산의 결과(해)로서 얻어지므로, 계산 결과와 설정 온도를 비교하고, 일치가 좋아지도록 조건의 재검토를 반복함으로써 구해진다.
(3) 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도
유리판(SG)이 보유하는 보유 열량, 및 발열부(361a∼366a)의 히터 열량에 의해, 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도가 변화한다. 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도는, 서냉 공간(42b)의 분위기를 비압축성의 이상 기체라고 가정함으로써, 부력에 기인하는 자연 대류와 그에 의한 열전달을, 유리판(SG)의 열전달과 동일한 열류체 해석 모델에 포함하여 연성하여 푼다. 또한, 본 실시 형태에서는, 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도를 열류체 해석에 있어서의 미지수로서 풀지만, 이것 대신에, 열전대 유닛(380)이, 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도를 측정함으로써, 서냉 공간(42b) 내에서 유지되어 있는 열량[서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도]을 구하고, 이 열량을 열류체 해석에 있어서의 서냉 공간(42b) 내의 분위기 온도로서 부여하여 유리판(SG)의 온도 분포를 산출해도 된다.
2. 물성값
유리판(SG) 및 서냉 공간(42b)을 구성하는 재료에 관한 물성값은, 이하와 같다.
A. 유리판(SG)
i) 밀도 : 2500[㎏/㎥].
ii) 열전도율 : 1.1278[W/mK].
iii) 비열 : 도 10에 나타내는 바와 같다.
B. 인장 롤러(350a∼350e)(스테인리스강 SUS304)
ii) 열전도율 : 16.0[W/mK](27℃), 25.7[W/mK](727℃).
C. 분위기 구획 부재(320), 단열 부재(41), 노벽(단열재)
i) 열전도율 : 0.04∼0.3[W/mK].
3. 계산 조건
정상 계산(시간 변화하지 않는 계의 계산)이므로, 열류체 해석의 알고리즘을 사용한다. 흐름은 정상으로 하고, SIMPLE 알고리즘을 사용하고, 유체의 흐름, 대류 열전달, 복사 전열의 3개를 연성하고, 단일의 솔버를 사용하여 푼다. 솔버에는, 시판의 소프트웨어를 사용하는 것이 가능하고, 공지의 범용 열류체 해석 소프트웨어를 사용할 수 있다. 여기서, 열류체 해석에서는, 유리판(SG)을 계산상, 유체로서 취급하지만, 유리판(SG)의 이동 속도는 반송 속도에 일치하고, 기지이므로, 유리판(SG) 영역 전체의 유속을 고정하고 계산을 행한다. 또한, 공기는 비압축성의 이상 기체라고 가정하고, 자연 대류에 의한 열전달을 계산에 포함한다.
이상의 조건 및 물성값을, 범용 열류체 해석 소프트웨어에 입력하여 해석을 행함으로써, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 구할 수 있다.
다음으로, 2단째 이후의 서냉 공간(42c∼42f)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 구한다. 2단째 이후의 서냉 공간(42c∼42f)에 대해서도, 서냉 공간(42b)과 마찬가지로 이산화한 메쉬 모델을 제작한다. 구체적으로는, 메쉬 모델에 있어서, 서냉 공간(42c∼42f)에 유입되는 유리판(SG)의 보유 열량은, 열류체 해석의 결과로서 구해진, 전단의 서냉 공간으로부터 나올 때의 유리판(SG)의 보유 열량(온도 분포)을 사용한다. 즉, 예를 들어 2단째의 서냉 공간(42c)에 진입하는 유리판(SG)의 보유 열량에는, 열류체 해석의 결과로서 구해진, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서 온도(온도 분포)를 구한 유리판(SG)이, 1단째의 서냉 공간(42b)으로부터 유출될 때의 유리판(SG)의 보유 열량을 사용한다.
또한, 2단째의 서냉 공간(42c)에 설치된 발열부(361a∼366a)의 설정 온도를, 전단보다 5℃∼30℃ 저하된 온도, 바람직하게는 15℃ 저하된 온도로 하고, 흐름 방향을 향해, 단이 진행될 때마다, 설정 온도를 5℃∼30℃의 범위에서 저하시킨 온도, 바람직하게는 15℃씩 저하시킨 온도로 한다.
열류체 해석에 의해, 2단째 이후의 서냉 공간(42c∼42f)에 있어서의 유리판(SG) 전역의 온도 분포를 구하기 위한 조건은, 1단째의 서냉 공간(42b)에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포에 사용한 조건 및 물성값과 동일하므로, 설명을 생략한다.
이와 같이, 열류체 해석 시뮬레이션에서는, 복수의 서냉 공간의 각각에 진입할 때의 유리판의 보유 열량을 유리판의 진입 시의 보유 열량으로 하고, 진입 시의 유리판의 보유 열량과 히터의 발열량을 부여함으로써, 유리판의 복수의 냉각 공간 각각에 있어서의 유리판의 보유 열량을 구할 수 있다. 이때, 열류체 해석 시뮬레이션은, 복수의 냉각 공간 각각에 있어서 행해지고, 복수의 냉각 공간 중, 유리판의 흐름 방향의 상류측에서 볼 때 2단째 이후의 냉각 공간에서는, 상류측에 인접하는 냉각 공간으로부터 유리판이 나올 때의 온도 분포를, 진입 시의 보유 열량으로서 사용할 수 있다.
이와 같이 하여, 열류체 해석에 의해, 1단마다의 서냉 공간에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 얻어, 1단마다의 서냉 공간에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 복수 연결시킴으로써, 복수단의 서냉 공간(42c∼42f) 전역[서냉 존(420)]에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포를 얻을 수 있다.
<점탄성 해석 시뮬레이션>
상기한 열류체 해석에 의해 얻어진 서냉 공간(42b∼42f) 전역[서냉 존(420)]에 있어서의 유리판(SG)의 보유 열량(온도 분포)을 사용하여, 점탄성 모델 해석에 의해 유리판(SG)의 변형 분포를 구한다.
구체적으로는, 상기한 열류체 해석에 의해 얻어진 서냉 공간(42b∼42f) 전역에 있어서의 유리판(SG)의 온도 분포, 상기 유리판(SG)의 물성값 및 유리판(SG)의 응력 완화 파라미터 및 구조 완화 파라미터를, 공지의 해석 소프트웨어에 입력하여 해석을 행함으로써, 점탄성 모델 해석을 행하고, 유리판의 변형 분포를 구한다. 구체적으로는, 응력 완화 파라미터, 구조 완화 파라미터를 고려하여 변형 분포를 구한다. 서냉 공간(42b∼42f) 중에서는, 유리판(SG)의 온도가 폭 방향에서 불균일한 상태로 냉각되는 경우가 있고, 수축차에 의해 끊임없이 열응력이 발생하고, 또한 응력이 끊임없이 완화되고 있다. 이로 인해, 유리판(SG)에 남는 잔류 응력을 평가하기 위해서는, 수축에 의한 열응력 계산뿐만 아니라, 시간과 함께 응력이 작아지는 응력 완화를 고려할 필요가 있다. 이로 인해, 구조 해석의 소프트웨어의 점탄성 모델을 사용함으로써, 응력 완화를 고려한다. 또한, 구조 완화 파라미터를 구하기 위해, 구조 완화에 기인하는 수축을 고려할 수도 있다. 유리판(SG)의 수축에는, 열팽창에 기인하여, 온도 저하와 함께 체적이 작아지는 수축(thermal expansion), 구조 완화에 기인하는 수축인 열수축(compaction)이 있다. 유리판(SG)을 고온에서 장시간 놓아두면 체적이 작아지므로, 이것을 구조 완화 파라미터로 한다. 구조 완화 파라미터를 추정하기 위한 오프라인 실험에 의해, 사이클 횟수는, 복수회의 열처리의 수축 결과에 맞도록 구조 완화 파라미터를 맞춘다.
점탄성 해석의 결과에 따르면, 유리판의 온도 분포와 유리판의 변형은, 상관 관계가 있으므로, 이 상관 관계를 미리 구해 두고, 이 상관 관계에 기초하여, 유리판(SG)의 온도(온도 분포)로부터 유리판(SG)의 변형 분포를 구할 수 있다. 유리판(SG)의 상기 응력 완화 파라미터 및 상기 구조 완화 파라미터는, 실험에 있어서의 측정에 의해 도 11 및 도 12에 각각 나타내는 바와 같다.
이상에 의해, 열류체 해석 및 점탄성 모델 해석을 이용하여, 유리판(SG)의 변형 분포를 구할 수 있다.
상술한 방법에 의해 구한 유리판(SG)의 변형 분포는, 발열부(361a∼366a)의 설정 온도를 700℃로 한 초기 상태의 발열량으로부터 구한 것이며, 발열부(361a∼366a)의 설정 온도를 변화시킴으로써, 유리판(SG)의 변형 분포도 변화한다. 열류체 해석 및 점탄성 모델 해석을 이용함으로써, 발열부(361a∼366a)의 설정 온도의 변화와, 유리판(SG)의 변형 변화의 관계가 구해지므로, 유리판(SG)의 변형 분포를 억제하도록, 발열부(361a∼366a)의 설정 온도를 제어함으로써, 유리판(SG)의 휨 및 변형을 저감시킬 수 있다.
또한, 변형 측정 장치(변형 측정 센서)를, 서냉 공간(42b∼42f)에 설치하여, 유리판(SG)의 휨 및 변형, 온도 분포를 측정할 수도 있다. 변형 측정과 온도 측정(열전대)은 다른 측정이지만, 동일한 장소에 있어서 양쪽을 측정할 수도 있다.
또한, 유리판(SG)의 보유 열량(온도 분포)이, 인장 롤러(350a∼350e)에 의해 끼워 넣어짐으로써 변화해도 된다. 이 경우, 열전대 유닛(380)에 의해, 또는, 인장 롤러(350a∼350e)가 구비하는 열량 검지 센서에 의해, 인장 롤러(350a∼350e)가 구비하는 보유 열량(온도 분포)을 측정한다. 인장 롤러(350a∼350e)의 보유 열량과 유리판(SG)의 보유 열량의 양쪽을 사용하여 시뮬레이션함으로써, 유리판(SG)의 휨 및 변형을 얻을 수도 있다.
구체적으로는, 상술한 열류체 해석 시뮬레이션을 행할 때, 각 서냉 공간의 모델에, 인장 롤러(350a∼350e)의 메쉬 모델을 더하고, 인장 롤러(350a∼350e)의 메쉬 모델의 보유 열량을 상술한 측정 결과로부터 정하고, 발열부에 설정 온도를 부여함으로써 서냉 공간의 분위기 온도와 유리판(SG)의 온도 분포를 풀어도 된다. 이에 의해, 보다 정확하게 유리판(SG)의 온도 분포를 구할 수 있다.
이상, 본 발명의 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치에 대해 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다양한 개량 또는 변경을 해도 되는 것은 물론이다.
100 : 유리판의 제조 장치
310 : 성형체
313 : 성형체의 하부
330 : 냉각 롤러(롤러)
350a∼350e : 인장 롤러(롤러)
360a∼360e : 히터
361a∼366a : 발열부
420 : 서냉 존
42a : 성형 존
42b∼42f : 서냉 공간
SG : 유리판

Claims (6)

  1. 다운드로우법에 의한 유리판의 제조 방법으로서,
    용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형하는 성형 공정과,
    상기 성형 공정에서 성형한 유리판을, 연직 방향 하방으로 반송하면서, 노벽에 의해 둘러싸인 서냉 공간에 있어서, 상기 서냉 공간 내의 온도를 제어하는 복수의 히터를 사용하여 서냉하는 서냉 공정을 구비하고,
    상기 서냉 공간 내에서의 상기 유리판의 불균일한 냉각에 의한 상기 유리판의 수축차에 의해 발생하고, 시간의 경과에 따라 완화하는 응력에 기초하여 얻어지는 상기 유리판의 변형 분포를, 완화 파라미터를 이용한 점탄성 모델 해석 시뮬레이션으로 재현함으로써, 상기 유리판의 폭 방향의 보유 열량의 분포와 상기 유리판의 변형 분포의 대응하는 관계를 미리 구하고,
    상기 서냉 공정에서는, 상기 서냉 공간내에서 상기 유리판이 보유하는 보유 열량의, 상기 유리판의 폭 방향의 분포를, 상기 서냉 공간에 상기 유리판이 진입할 때의 상기 유리판의 보유 열량과 상기 히터가 발하는 발열량을 사용하여, 상기 서냉 공간 내의 공간 열량과 함께 구하고, 구한 상기 보유 열량의 분포와, 상기 대응하는 관계에 기초하여, 상기 유리판의 변형 분포를 구하고,
    상기 히터가 발하는 발열량을 제어함으로써, 상기 유리판의 보유 열량의 분포를 보정하여, 상기 유리판의 변형을 억제하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 서냉 공간을 상기 연직 방향으로 복수의 공간으로 나누고, 각 공간에 있어서 복수의 히터를 사용하여 공간 내의 온도를 제어하고,
    상기 각 공간에 있어서 상기 유리판의 변형 분포를 각각 구한 결과에 기초하여, 상기 히터가 발하는 히터 열량을 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유리판의 변형 분포는, 열류체 해석 시뮬레이션 및 상기 점탄성 모델 해석 시뮬레이션에 의해 구하되, 상기 보유 열량의 분포 및 상기 서냉 공간 내의 공간 열량은 상기 열류체 해석 시뮬레이션에 의해 구하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 서냉 공간은 상기 연직 방향으로 복수의 공간으로 나뉘어 있고,
    상기 열류체 해석 시뮬레이션에서는, 상기 복수의 공간의 각각에 진입할 때의 유리판의 보유 열량을 유리판의 진입 시의 보유 열량으로 하고, 상기 진입 시의 유리판의 보유 열량과 상기 히터의 상기 발열량을 부여함으로써, 상기 유리판의 상기 복수의 공간 각각에 있어서의 상기 유리판의 보유 열량을 구하는 유리판의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 공간을 상기 유리판이 흐를 때, 상기 열류체 해석 시뮬레이션은, 상기 복수의 공간의 각각에 있어서 행해지고, 상기 복수의 공간 중, 상기 유리판의 흐름 방향의 상류측에서 볼 때 2단째 이후의 공간에서는, 상류측에 인접하는 공간에 있어서 상기 유리판이 나올 때의 온도 분포를, 상기 진입 시의 보유 열량으로서 사용하는 유리판의 제조 방법.
  6. 다운드로우법에 의한 유리판의 제조 장치로서,
    용융 유리를 시트 형상의 유리판으로 성형하는 성형체와,
    상기 성형체로 성형한 유리판이, 연직 방향 하방으로 반송되는, 노벽에 의해 둘러싸인 서냉 공간과,
    상기 서냉 공간 내의 온도를 제어하고, 상기 유리판을 서냉하는 복수의 히터를 구비한 성형 장치를 포함하고,
    상기 성형 장치는,
    상기 서냉 공간 내에서의 상기 유리판의 불균일한 냉각에 의한 상기 유리판의 수축차에 의해 발생하고, 시간의 경과에 따라 완화하는 응력에 기초하여 얻어지는 상기 유리판의 변형 분포를, 완화 파라미터를 이용한 점탄성 모델 해석 시뮬레이션으로 재현함으로써, 상기 유리판의 폭 방향의 보유 열량의 분포와 상기 유리판의 변형 분포의 대응하는 관계를 보유하고,
    상기 서냉 공간내에서 상기 유리판이 보유하는 보유 열량의, 상기 유리판의 폭 방향의 분포를, 상기 서냉 공간에 상기 유리판이 진입할 때의 상기 유리판의 보유 열량과 상기 히터가 발한 발열량을 사용하여, 상기 서냉 공간 내의 공간 열량과 함께 구하고, 구한 상기 보유 열량의 분포와, 상기 대응하는 관계에 기초하여, 상기 유리판의 변형 분포를 구하는 제1 부분과,
    상기 히터가 발한 발열량을 제어함으로써, 상기 유리판의 보유 열량의 분포를 보정하여, 상기 유리판의 변형을 억제하는 제2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.
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