KR101795656B1 - 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 칩 검사용 프로브 카드의 전기적 검사체 평탄도를 수평축에서 조절하는 것에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전기적 검사체는 한판 면적의 크기가 소면적에서 대면적으로 커질수록 발생되는 표면 평탄도를 역학적으로 정밀한 균형과 평탄 조절을 할 수 있는 역학적 평탄조절기를 프로브 카드에 부가하는 방법과, 상기 역학적 평탄조절기 기능 및 평탄도 조절 방법과 구성에 관한 것이다.

본 발명의 역학적 평탄조절기는 육각레벨볼트 조절시에 평탄볼 동작과 누름판 텐션부재의 누름과 텐션고정볼트의 플런저볼 동작으로 전기적 검사체 표면에 발생되는 압력을 감소하고, 상기 역학적 평탄조절기의 육각레벨볼트 조절로 전기적 검사체와 인터포져에 접합된 상부통전핀과 하부통전핀이 받는 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체인 플레이트와 인터포져와 인쇄회로기판 간에 접촉된 통전핀이 받는 역학적 압력을 통전핀 서로가 역학적으로 접촉침압이 유지되여 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

역학적 평탄조절기, 육각레벨볼트, 슬라이드레벨볼트, 업다운레벨볼트, 누름판 텐션부재, 타원형 캠, 슬라이딩 스터드, 플런저볼, 텐션고정볼트

Description

전기적 검사체의 역학적 평탄조절기 {Electric Tester of Dynamical Level Controller}

본 발명은 프로브 카드의 전기적 검사체의 평탄도를 보정해주는 역학적 평탄조절기와 상기 역학적 평탄조절기를 전기적 검사체에 수평으로 동작하게 부가하여 전기적 검사체에 발생된 평탄을 조절하는 방법과 기능에 관한 것이다.

전기적 검사체와 본 발명의 수평 평탄조절기 적용관계와 용도를 설명하면 전기적 검사체인 플레이트 표면 또는 블록 표면의 평탄도 변화 발생으로 전기적 검사체의 표면의 좌측과 우측, 상측과 하측에 발생된 미세한 표면 평탄도를 보정해주는 역학적 평탄조절기와 이를 이용한 수평으로 평탄을 조절하는 방법에 관한 것이다.

프로브 카드는 반도체 칩 검사장치에서 적정량의 오버드라이브(Over drive)를 부여하여 프로브 카드의 전기적 검사체가 웨이퍼에 반도체 패턴이 형성된 반도체 칩 전극패드에 접촉에 의해 반도체 칩을 전기적 검사를 하여 양품과 불량품을 선별하는 것이다.

한편, 최근에 사용되는 300mm 이상의 한판으로 된 대면적 크기의 전기적 검사체는 종래의 200mm 이하의 한판으로 된 소면적 크기의 전기적 검사체에 비해서 평탄도가 현저히 떨어지고 있다.

또한 최근의 반도체 소자의 검사는 300mm 웨이퍼의 패턴 된 전체 반도체 칩을 한번에 대면적 크기로 조립 된 전기적 검사체의 프로브 카드로 300mm 웨이퍼에 한번 접촉으로 검사하고 있으며, 향후에는 450mm 반도체 웨이퍼을 초대면적 크기로 된 전기적 검사체로 조립된 프로브 카드로 450mm 웨이퍼에 패턴 된 전체 반도체 칩을 한번 접촉으로 검사가 진행될 것이다.

이에 따라 전기적 검사체 표면은 평탄 변화가 크게 발생되는 문제가 발생될 수 있어 미세하게 조절되는 역학적 평탄조절기가 요구되고 있다.

전기적 검사체는 공간변형기(MLC=Multi Layer Ceramic), 트랜스포머, MLS=(Multi Layer Substrate) 등 여러 용어로 불리우고 있다.

반도체 칩을 검사하는 프로브 카드의 전기적 검사체는 플레이트에 프로브 핀을 접합하여 프로브 카드로 조립되는 것이다.

전기적 검사체는 표면의 좌측과 우측, 표면의 상측과 하측에는 전기적 검사체 제조시 평탄이 발생된다.

전기적 검사체는 한판으로 된 소면적 또는 대면적의 플레이트와 다수개의 블록을 조립하여 구성된 블록으로 구분할 수 있다.

상기 한판으로 된 대면적의 플레이트는 웨이퍼에 형성된 전체 반도체 칩을 한번 접촉으로 검사할 수 있는 크기로 구성되며, 상기 블록도 웨이퍼에 형성된 전체 반도체 칩을 다수개의 블록을 종열배열 또는 횡열배열로 블록으로 구성할 수 있는 것이다.

상기 플레이트와 상기 블록에 프로브 핀을 조립하여 전기적 검사체로 되는 것이다.

상기 전기적 검사체는 검사하는 반도체 칩의 종류에 따라 소면적 크기나 대면적 크기의 한판으로 된 플레이트와 다수개 블록으로 조립 된 블록 중에서 어느 하나를 선정하여 조립할 수 있는 것이다.

상기 플레이트 표면과, 상기 블록 표면 평탄도 변화는 예를 들어 한판으로 된 대면적의 플레이트는 표면 면적의 크기가 커질수록 제조시 평탄도 변화가 발생될 수 있고, 상기 블록은 상면 길이가 길어질수록 제조시 평탄도 변화가 발생될 수 있다.

또한 프로브 핀이 상기 플레이트 또는 상기 블록에 조립시에 평탄 균형이 발생 될 수 있으며, 프로브 핀이 조립된 상기 플레이트 일단부나 상기 블록 일단부가 프로브 핀의 응력에 하부로 휘어지거나 상부로 휘어지는 변형이 발생할 수 있다.

대면적 크기의 전기적 검사체의 평탄도가 떨어질 때, 프로브 핀의 한 부분이 검사 웨이퍼에 형성된 반도체 칩의 신호 전극의 한 부분과 접촉하는 동안, 다른 프로브 핀은 다른 신호 전극과 접촉할 수 없거나, 접촉이 되더라도, 프로브 핀과 신호 전극 사이의 전기적인 연속성을 달성하는데 필요한 소정의 접촉 압력이 얻어질 수 없어서 검사를 적절하게 수행할 수 없게 된다.

종래의 소면적 크기의 전기적 검사체의 평탄조절은 도 1과 같이 프로브 카드 상부에서 수직으로 평탄을 조절함으로 수직 평탄조절기(10)의 조절볼트(3)를 하부로 가압할 때 누름력이 발생하고, 프로브 카드 하부의 전기적 검사체 하우징(5) 외각부의 판스프링(7)이 상부로 가압하기 때문에 누름력이 발생하여 전기적 검사체(9)가 표면 평탄이 변형이 발생된다.

상기 수직 평탄조절기(10)을 위한 예 은 대한민국 공개특허 2002-95151호에 개시되어 있다.

상기 수직 평탄조절기(10)은 전기적 전도체에 변형 발생 된 표면 평탄 조절을 수직으로 구성하기 역학적 기능이 없기 때문에 구조가 다소 복잡한 문제가 있다.

본 발명의 목적은 프로브 카드의 전기적 검사체 표면의 부분 영역 별로 평탄도를 보정할 수 있는 역학적 평탄조절기를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 프로브 카드의 전기적 검사체가 웨이퍼 칩에 접촉시킬때 전기적 접촉체에 조립된 전체 프로브 핀이 웨이퍼에 접촉되도록 평탄조절기로 접촉의 높낮이 조절시 상기 전기적 검사체와 인쇄회로기판 간의 통전을 연결하는 인터포져의 전기 통전하는 통전핀의 접촉 침압에 대한 역학적 압력제어 기능을 하는 역학적 평탄조절기를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 프로브 카드 전기적 검사체 하우징 외각부에 부가된 판형 스프링은 누름력만 발생하여 프로브 카드 하부에서 수직으로 평탄을 조절시 평탄 조절볼트를 하부로 가압할 때 발생되는 누름력 일부을 흡수할 수 있는 누름판 텐션부재를 부가하여 전기적 검사체 표면 변형을 최소화 할 수 있게 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 종래의 프로브 카드은 전기적 검사체에 평탄조절기를 수직으로 부가된 프로브 카드는 하부에서 평탄을 조절하게 형성되어 있어 프로브 카드가 검사 장치에 장착되어 있으면 평탄을 보정시에는 검사 장치에서 분리하여 조절하는 것을 검사장치에서 분리하지 않고 평탄을 조절하는 것을 제공함에 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여 종래의 프로브 카드 전기적 검사체에 수직으로 부가 된 평탄조절기는 전기적 검사체를 하부에서 평탄을 조절하게 형성되어 있어 프로브 카드가 검사 장치에 장착되어 있으면 평탄을 보정시에는 검사 장치에서 분리하여 조절하는 문제점을 본 발명의 역학적 평탄조절기를 전기적 검사체 하우징에 수평으로 부가하여 평탄 보정시에 프로브 카드를 검사 장치에서 분리하지 않고 평탄을 프로브 카드의 전기적 검사체 하우징 외주부 4방위에 수평으로 부가된 본 발명에 의한 역학적 평탄 조절기로 전기적 검사체 4방위 표면의 발생된 표면 변형을 양호한 평탄을 이루기 위한 역학적으로 평탄도를 보정할 수 있는 것이다.

또한, 프로브 카드 상부의 전기적 검사체 하우징 외주면에 부가된 누름부판에 누름력을 보정하는 쿠션돌기를 부가하여 프로브 카드 하부에서 수직으로 평탄을 조절함으로 육각레벨볼트를 하부로 가압할 때 발생되는 누름력을 축소하여 전기적 검사체 표면 평탄이 변형을 최소화 할 수 있는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기 구성은 누름판 텐션부재와 평탄볼과 육각레벨볼트와 플런저(Plunger)볼과 텐션고정볼트가 서로 역학적으로 동작하여 평탄 정도를 조절하기 때문에 구조가 단순해지는 것이다.

전기적 검사체 하우징 외주부에 부가되는 다른 역학적 평탄조절기는 슬라이딩 스터드, 슬라이드레벨볼트로 구성되는 것과, 중앙부에 구성되는 기어식 역학적 평탄조절기는 슬라이딩 스터드, 슬라이드레벨기어볼트, 조절기하우징으로 구성되는 것이다.

전기적 검사체 하우징 외주부에 부가되는 또다른 역학적 평탄조절기는 캠이 형성된 업다운레벨볼트, 플런저볼, 텐션고정볼트로 되는 것이다.

상기 전기적 검사체인 플레이트 저면의 일 단부 또는 상기 블록 저면의 일단에 역학적 평탄조절기를 형성하는 것이 바람직하다.

본 발명은 역학적 평탄 조절기를 프로브 카드의 전기적 검사체 하우징 외주부 4방위에 부가하여 전기적 검사체 표면의 정밀한 평탄을 조절되고, 상기 프로브 카드 상부의 전기적 검사체 하우징 외주부에 부가된 누름판 텐션부재의 누름부에 쿠션돌기을 부가하여 육각레벨볼트가 앞으로 전진할시 발생된 가압을 상기 누름판 텐션부재의 쿠션돌기가 누름력을 축소하고 전기적 검사체의 균형된 평탄 변형을 최소화 할 수 있는 것이다.

본 발명은 누름판 텐션부재의 누름과 육각레벨볼트 조절시에 평탄볼과 텐션고정볼트의 스터드볼 동작으로 전기적 검사체 표면에 발생되는 압력을 축소하고, 또한 상기 역학적 평탄조절기의 육각레벨볼트 조절로 전기적 검사체와 인터포져 상부통전핀과 하부통전핀이 받는 역학적 압력이 조절되여 전기적 검사체인 플레이트와 인터포져와 인쇄회로기판 간에 접촉된 통전핀이 받는 역학적 압력을 통전핀 서로가 역학적으로 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

본 발명의 프로브 카드의 역학적 평탄조절기는 수평 구조로 형성되여 있어 프로브 카드의 전기적 검사체 하우징의 외주부 4방위 측면에서 평탄도를 조절하게 형성되어 있어 검사장치에서 프로브 카드를 분리하지 않고 장착된 상태에서 프로브 카드의 전기적 검사체 하우징 외주부 4방위에서 평탄도를 조절할 수 있어 검사시간 로스를 줄일 수 있다.

본 발명의 실시예는 다양한 구조의 역학적 평탄조절기을 전기적 검사체 하우징에 부가할 수 있다.

프로브 카드는 전기적 검사체 하우징, 전기적 검사체, 평탄조절기, 인터포져, 인쇄회로기판, 보강판 구조로 구성되는 것이다.

도 2 내지 도 9b를 참조하여 본 발명의 실시예 별로 역학적 평탄조절기의 기능 및 구성과 조절방법 으로부터 얻게 되는 특유의 효과 등에 대하여 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 하기와 같다.

실시예1

도 2는 본 발명 실시예1의 역학적 평탄조절기(20)가 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 3a와 도 3b 은 전기적 검사체 하우징(90) 외주부 4방위에 본 발명의 역학적 평탄조절기(20)를 적용한 프로브 카드 구조를 도시한 것으로 전기적 검사체 하우징(90)의 개구부에 내장되는 전기적 검사체(95)는 플레이트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(20)는 평탄볼(21), 육각레벨볼트(23), 플런저볼(31), 텐션고정볼트(33)로 구성되며, 상기 육각레벨볼트(23)는 원통형 형상으로 되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 외주부에는 역학적 평탄조절기(20)의 평탄볼(21), 육각레벨볼트(23)가 4방위에 부가되는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(20)의 텐션고정볼트(33)는 볼트로 형성되고 볼트에 텐션스프링(35)이 부가되어 있으며 상기 텐션스프링(35) 상부에 플런저볼(31)이 구성되며, 상기 텐션고정볼트(33)는 보강판(120) 부재에 고정되는 것이다.

상기 플런저볼(31) 형상은 두부는 반원으로 되고 몸통은 원통으로 된 내부는 비워져 있어 상기 텐션스프링(35)이 플런저볼(31) 원통 내부에서 스프링 동작을 하는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 외각부 4방위 상부에는 누름판 텐션부재(80)가 부가되며, 상기 누름판 텐션부재(80)는 누름부(85)와 고정부(87)로 구성되여 있으며, 상기 누름부(85)는 판에 쿠션돌기(85a)을 부가하여 평탄조절부(25)가 앞으로 전진 할 시 발생된 가압을 상기 누름판 텐션부재(80)의 누름부(85) 판의 쿠션돌기(85a)가 누름력을 축소하여 전기적 검사체(95)인 플레이트의 균형과 변형을 막아주는 것이다.

상기 누름판 텐션부재 고정부(87)는 전기적 검사체 하우징(90) 일단부에 형성된 홀에 고정하는 것이다.

상기와 같이 전기적 검사체(95)인 플레이트의 4방위중 어느 방위 상부 표면에 평탄이 있을시 상기 전기적 검사체(95) 상부의 누름판 텐션부재(80)와 상기 전기적 검사체(95)인 플레이트 하부의 역학적 평탄조절기(20)로 평탄이 있는 부위의 균형을 조절하여 미세한 평탄을 정확하게 조절 할 수 있는 것이다.

상기 누름판 텐션부재(80)와 상기 역학적 평탄조절기(20)는 전기적 검사체(95)인 플레이트 크기에 따라 전기적 검사체 하우징(90) 4방위 외각 일단부에 일정간격으로 다수개 부가되는 것이다.

도 2를 참조하여 설명하면 상기 역학적 평탄조절기(20)을 설명하면 육각레벨볼트(23)는 평탄조절부(25)와 위치조절부(27)로 구분되며, 상기 평탄조절부(25)는 도면 2의 평탄조절부(25)는 경사진 원통형 우측돌기(25a)와 경사진 원통형 좌측돌기(25b)로 구분되며 육각돌기의 경사진 원통형 형상으로 형성되고, 상기 경사진 좌측돌기(25b)는 텐션고정볼트의 플런저볼(31)이 접촉되며 상기 경사진 우측돌기(25a)는 평탄볼(21)이 접촉되어 동작하는 것이며, 상기 위치조절부(27)는 조절편(27a)과 헤드편(27b)으로 구분되며, 상기 위치조절부 조절편(27a)은 나사형으로 되어있고, 상기 위치조절부 헤드편(27b)은 토크하는 단위가 볼트헤드에 표시 되여 있는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(20)의 기능은 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위중 어느 방위 상부표면에 평탄이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 방위의 역학적 평탄조절기(20)의 위치조절부(27) 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 평탄조절부(25) 육각돌기 경사면이 앞으로 전진하여 육각돌기의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉 된 평탄볼(21)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상측으로 밀어 올리며, 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉 되 있는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31) 동작으로 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체(99)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 통전핀(100a,100b)이 받는 역학적으로 접촉 침압이 유지되여 통전이 되는 것이다.

또한, 상기 전기적 검사체(95) 표면의 4방위중 어느 방위 표면에 평탄이 상향으로 있을시 평탄조절이 필요한 방위의 역학적 평탄조절기 위치조절부(27) 헤드를 시계 동작 반대 방향으로 플림시 상기 평탄조절부(25) 육각돌기 상부경사면(25a)과 하부경사면(25b)이 뒤로 후진하여 육각돌기 상부경사면(25a)에 접촉 된 평탄볼(21)이 하측으로 내려가 전기적 검사체(95)인 플레이트는 하측으로 내려가며, 상기 평탄조절부(25) 육각돌기 하부경사면(25b)에 접촉 되있는 플런저볼(31)이 상측으로 올라가며 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)에 역학적 압력이 전달되는 것을 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉된 플런저볼(31)이 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절되는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(20)가 프로브 카드에서 동작을 도 3a와 도 3b를 참조하여 설명하면 육각레벨볼트(23)가 앞으로 전진 조절시 평탄조절부(25) 육각돌기의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉 된 평탄볼(21)이 전기적 검사체(95)를 상부로 밀어 올릴시 전기적 검사체(95)인 플레이트 상측의 누름판 텐션부재(80)의 누름 압력이 발생되어 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)에 역학적 압력이 전달되는 것을 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉된 플런저볼(31)은 하부로 내려가며 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절되는 것이다.

또한, 상기 육각레벨볼트(23)가 뒤로 후진 조절시 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉된 평탄볼(21)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 하부로 끌어 내리며는 전기적 검사체 하우징(90) 상부의 누룸판 텐션부재(80)의 누름 압력이 발생되어 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 가압을 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉된 플런저볼(31)이 상부로 올라가며 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절할 수 있는 것이다.

상기 육각레벨볼트(23)의 평탄조절부(25)의 육각돌기의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉된 평탄볼(21)과 상기 평탄조절부(25) 육각돌기의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉된 플런저볼(31)은 서로 다른 경사면에 접촉되는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트의 저면통전패드와 인터포져(100) 상면통전패드와 인터포져(100) 저면통전패드와 인쇄회로기판(110) 통전패드 간에 접촉수단은 스프링형의 통전핀, 통전컨텍터, 포고핀, 범프패드 등에서 어느 하나를 선정하여 접촉하는 것이다.

실시예2

도 4a는 본 발명 실시예2의 전기적 검사체 하우징(90) 외주부에 부가되는 역학적 평탄조절기(40)가 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 4b는 본 발명 실시예2의 전기적 검사체 하우징(90) 중앙부에 구성되는 역학적 평탄조절기(50)가 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 5a와 도 5b에서와 같이, 전기적 검사체 하우징(90) 외주부 4방위에 본 발명의 역학적 평탄조절기(40)가 부가되는 것과 전기적 검사체 하우징(90) 중앙부 4방위에 본 발명의 기어식 역학적 평탄조절기(50)가 구성되는 프로브 카드 구조를 도시한 것으로 전기적 검사체 하우징(90) 개구에 내장되는 전기적 검사체(95)인 플레이트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 외각부 4방위 상부 일단에는 누름판 텐션부재(80)가 다수개 부가되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 전기적 검사체(95)인 플레이트가 장착되는 계단에는 텐션돌기(93)가 다수개 부가되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 외주부에 부가되는 역학적 평탄조절기(40)는 슬라이딩 스터드(41), 슬라이드레벨볼트(43)로 구성되는 것이다.

상기 슬라이딩 스터드(41)는 상부는 반원으로 된 볼트 형상으로 되는 것이다.

상기 중앙부에 구성되는 역학적 평탄조절기(50)는 평탄볼(21), 슬라이드레벨기어볼트(53), 조절기하우징(59)으로 구성되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 외주부에 부가되는 슬라이드레벨볼트(43)는 슬라이드 평탄조절부(45)와 위치조절부(47)로 구분되며, 상기 슬라이드 평탄조절부(45)에는 슬라이딩 스터드(41)가 슬라이딩 하는 레일(41a)이 형성되고, 상기 슬라이딩 스터드(41)는 슬라이딩 레일(41a)에서 전진과 후진으로 슬라이딩하며 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 평탄을 조절하는 것이다.

상기 위치조절부(47)는 조절편(47a)과 헤드편(47b)으로 구분되며 상기 위치조절부의 조절편(47a)은 나사형으로 되어 있고, 상기 위치조절부의 헤드편(47b) 전 기적 검사체 하우징에는 토크하는 단위가 표시되여 있는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(40)의 기능은 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 방위의 역학적 평탄조절기 위치조절부(47)의 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 상기 슬라이드 평탄조절부(45)가 앞으로 전진하여 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)는 상측으로 올라가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상측으로 밀어 올리는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트가 장착되는 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 계단은 다수개의 텐션돌기(93)가 형성되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단면에 형성된 텐션돌기(93)는 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상부로 밀어 올릴시에 발생된 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체(95)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 통전핀(100a,100b)이 받는 역학적 압력을 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단에 형성된 텐션돌기(93)를 하측으로 밀어 내리며 통전핀(100a,100b)이 서로가 역학적으로 접촉 침압이 유지되며 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

또한, 상기 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위중 어느 방위 표면에 평탄이 상향으로 있을시 평탄조절이 필요한 방위 표면의 수평 평탄조절기의 위치조절부(47)의 토크헤드를 시계 동작 반대 방향으로 플림시 상기 슬라이드 평탄조절부(45)가 뒤로 후진하여 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)는 하측으로 내려가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 하측으로 끌어 내리는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트가 장착되는 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 계단에는 다수개의 텐션돌기(93)가 형성되여 있어 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단면의 텐션돌기(93)은 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 하부로 끌어 내릴시에 발생된 인터포져(100) 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체(95)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 통전핀(100a,100b)이 받는 역학적 압력을 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단에 형성된 텐션돌기(93)가 상측으로 올라가 통전핀(100a,100b)이 서로가 역학적으로 접촉침압이 유지되며 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

그리고 전기적 검사체(95)인 플레이트 중앙부 4방위에 구성되는 역학적 평탄조절기(50)의 슬라이드레벨기어볼트(53)는 슬라이드 평탄조절부(55)와 위치조절부(57)로 구분되며, 상기 슬라이드 평탄조절부(55)에는 슬라이딩 레일(51a)이 형성되고, 평탄볼(21)이 슬라이드 평탄조절부(55)의 슬라이딩 레일(51a)에서 전진과 후진으로 슬라이딩하며, 상기 위치조절부(57)는 조절편(57a)과 헤드편(57b)으로 구분되어 조절기하우징(59)에 내부에 구성되어 있는 것이다.

상기 위치조절부(57)의 조절편(57a) 일단은 수평기어(59a)로 되여 있고, 상기 위치조절부 헤드편(57b) 일단은 수직기어(59b)로 형성되어 있는 것이다.

상기 위치조절부(57)의 조절편(57a) 수평기어(59a)와 헤드편(57b) 수직기어(59b)가 접속으로 위치조절시 동작하여 높낮이 위치조절을 하는 것이다.

상기 위치조절부의 헤드편(57b) 조절기하우징(59)에는 토크하는 단위가 표시되여 있는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트의 중앙부 표면에 평탄과 균형이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 중앙부 4방위의 역학적 평탄조절기(50) 위치조절부(57)의 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 상기 슬라이드레벨기어볼트(53)의 위치조절부(57) 조절편 수평기어(59a)와 조절편 수직기어(59b)가 회전하여 슬라이드 평탄조절부(55)가 앞으로 전진하여 슬라이드 평탄조절부(55)의 슬라이딩 레일(51a)에 있는 평탄볼(21)이 상측으로 올라가 전기적 검사체(95)를 상측으로 밀어 올리는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 상부 외각부 4방위 일단부에는 누름판 텐션부재(80)가 부가되며, 상기 누름판 텐션부재(80)는 누름부(85)와 고정부(87)로 구성되여 있으며, 상기 누름부(85) 판에 부가된 쿠션돌기(85a)는 슬라이드레벨볼트(43)의 위치조절부(57) 조절로 슬라이드 평탄조절부(45)가 앞으로 전진할시 발생된 압력을 상기 누름판 텐션부재(80)의 누름부(85) 판의 쿠션돌기(85a)가 누름력을 감소하여 전기적 검사체(95)인 플레이트의 균형과 변형을 막아주는 것이다.

상기 누름판 텐션부재 고정부(87)는 전기적 검사체 하우징(90) 일단부에 형성된 홀에 고정하는 것이다.

상기와 같이 전기적 검사체(95)인 플레이트 외각부 표면의 4방위중 어느 방위 표면에 평탄이 있을시 전기적 검사체(95) 외각부 4방위 상부 일단부에는 누름판 텐션부재(80)와 하부의 역학적 평탄조절기(40)로 평탄이 있는 부위의 균형을 조절하여 미세한 평탄을 정확하게 제어 할 수 있는 것이다.

상기 상부의 누름판 텐션부재(80)와, 상기 하부의 역학적 평탄조절기(40)는 전기적 검사체(95)인 플레이트 크기에 따라 전기적 검사체 하우징(90) 4방위 외측 일단부에 일정간격으로 다수개 부가되는 것이다.

상기와 같이 전기적 검사체(95)인 플레이트 중앙부 4방위 표면 중 어느 방위 표면에 평탄이 있을시 전기적 검사체(95)인 플레이트 중앙부 4방위 하부의 역학적 평탄조절기(50)로 평탄이 있는 부위의 균형을 조절하여 미세한 평탄을 정확하게 조절 할 수 있는 것이다.

상기 중앙부의 역학적 평탄조절기(50)는 전기적 검사체(95)인 플레이트의 중앙부 4방위에 방위별로 형성되는 것이다.

실시예3

도 6a, 도 6b와 도 6c는 본 발명 실시예3의 역학적 평탄조절기(60)가 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 7a와 도 7b는 전기적 검사체 하우징 외주부에 본 발명 역학적 평탄조절기(60)를 적용한 프로브 카드 구조를 도시한 것으로 전기적 검사체 하우징(90) 개구에 내장되는 전기적 검사체(99)는 블록으로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 7a와 도 7b에서와 같이, 전기적 검사체(99)가 다수개의 블록으로 구성되고, 전기적 검사체 하우징(90)에는 역학적 평탄조절기(60)가 블록별로 양측 단에 부가되는 것이다.

상기 전기적 검사체(99)인 블록 상면에는 누름판 텐션부재(80)가 불록(99a)별로 부가되는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 블록이 장착되는 계단에는 텐션돌기(93)가 블록별로 부가되는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(60)는 업다운레벨볼트(63), 플런저볼(31), 텐션고정볼트(33)로 되는 것이다.

상기 업다운레벨볼트(63)는 업다운 평탄조절부(65)와 위치조절부(67)로 구분되며, 상기 평탄조절부(65)와 위치조절부(67) 사이에는 샤프트(69)로 연결된 구조로 형성되어있다.
상기 업다운 평탄조절부(65)는 타원형으로 된 캠(61) 형상으로 되어있다.
상기 사프트(69)에 연결된 타원형 캠(61)의 Y축 길이는 X축 길이보다 상대적으로 길다. 즉, 타원형 캠(61)의 두부 단은 Y축의 높은지점 캠(61a)과 X축의 낮은지점의 캠(61b) 구조로 형성되고, 상기 위치조절부(67)는 조절편(67a)과 헤드편(67b)으로 구분되는 것이다.

상기 위치조절부(67)의 조절편(67a)의 일단부는 나사형으로 형성되어 있고, 상기 위치조절부(67)의 헤드편(67b)은 토크하는 단위가 표시되여 있는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(60)의 기능은 전기적 검사체(99)인 블록의 양단 중 어느 단에 평탄이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 블록단의 위치조절부(67) 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 업다운 평탄조절부(65) 두부 단에 형성된 타원형 캠(61)의 X축의 높은지점(61a)이 블록 단을 상측으로 밀어 올리는 것이다.

상기 전기적 검사체(99)인 블록이 장착되는 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 계단에는 텐션돌기(93)가 형성되여 있어 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단면의 텐션돌기(93)는 전기적 검사체(99)인 블록의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 업다운레벨볼트(63) 두부 단에 형성된 타원형 캠(61)의 X축의 높은지점(61a)으로 전기적 검사체(99)인 블록 단을 상부로 밀어 올릴시에 발생된 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절하여 전기적 검사체(99)인 블록과 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 타원형 캠(61)의 Y축의 낮은지점(61b)이 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단에 형성된 텐션돌기(93)를 상측으로 끌어 올리며 통전핀(100a,100b)이 서로가 역학적으로 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

또한, 상기 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 업다운레벨볼트(63)에 두부 단에 형성된 타원형 캠(61)은 Y축의 낮은지점(61b)을 접촉하고 있어, 보강판(120) 부재에 고정되는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)은 상측으로 올라가는 것이다.

상기 전기적 검사체(99)인 블록의 양단 중 어느 블록(99a) 단에 평탄이 상향으로 있을시 평탄조절이 필요한 블록 단의 역학적 평단조절기(60)의 위치조절부 토크헤드를 시계 동작 반대 방향으로 플림으로 업다운 평탄조절부 두부 단에 형성된 타원형 캠(61)의 Y축의 낮은지점(61b)이 상측으로 올라가며 상기 전기적 검사체(99)인 블록 단이 하측으로 내려가는 것이다.

상기 전기적 검사체(99)인 블록이 장착되는 전기적 검사체 하우징(90) 내부의 계단은 텐션돌기(93)가 형성되여 있어 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단면의 텐션돌기(93)는 전기적 검사체(99)인 블록의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 업다운레벨볼트(63)에 형성된 타원형 캠(61)의 Y축의 낮은지점(61b)으로 전기적 검사체(99)인 블록 단을 하부로 끌어 내릴시에 발생된 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체(99)인 블록과 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 타원형 캠(61)의 X축의 높은지점(61a)이 상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단에 형성된 텐션돌기(93)를 하측으로 밀어 내리며 통전핀(100a,100b)이 서로가 역학적으로 접촉 침압이 유지되여 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

상기 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 업다운레벨볼트(63) 두부 단에 형성된 캠(61)의 높은 면(61a)을 접촉하고 있으면 보강판(120) 부재에 고정되는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)은 하측으로 내려가 는 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90) 상부에는 누름판 텐션부재(80)가 부가되며, 상기 누름판 텐션부재(80)는 누름부(85)와 고정부(87)로 구성되여 있으며, 상기 누름부(85) 판에 쿠션돌기(85a)를 부가하여 업다운 평탄조절부(65)에 형성된 타원형 캠(61)의 X축의 높은지점(61a)이 전기적 검사체(99)인 블록을 상부로 밀어 올릴시나 업다운 평탄조절부(65)에 형성된 타원형 캠(61)의 Y축의 낮은지점(61b)이 전기적 검사체(99)인 블록을 하부로 밀어 내릴 시에 발생된 역학적 가압을 상기 누름판 텐션부재(80)의 누름부(85) 판에 쿠션돌기(85a)가 누름력을 축소하여 블록의 균형과 변형을 막아주며 또한, 전기적 검사체(95)인 블록과 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 통전핀(100a,100b)이 서로가 역학적으로 접촉 침압이 유지되며 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것이다.

상기와 같이 전기적 검사체(99)인 블록 양단 중 어느 블록 단에 평탄이 있을시 전기적 검사체(99)인 블록 상부의 누름판 텐션부재(80)와 전기적 검사체(99)인 블록 하부에 형성된 역학적 평탄조절기(60)로 평탄이 있는 부위의 균형을 조절하여 미세한 평탄을 정확하게 제어 할 수 있는 것이다.

상기 전기적 검사체(99)인 블록 상부의 누름판 텐션부재(80)와, 상기 전기적 검사체(99)인 블록 하부의 역학적 평탄조절기(60)는 전기적 검사체 하우징(90)에 장착되는 전기적 검사체(99)인 블록별로 양단부에 부가되는 것이다.

실시예4

도 8a, 도 8b와 도 8c는 본 발명 실시예4의 역학적 평탄조절기(70)가 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 9a와 도 9b는 전기적 검사체 하우징 외주부에 본 발명 역학적 평탄조절기(70)를 적용한 프로브 카드 구조를 도시한 것으로 전기적 검사체 하우징(90)의 개구에 내장되는 전기적 검사체(95)는 플레이트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

상기 전기적 검사체 하우징(90)인 상부 외각부에는 누름판 텐션부재(80)가 부가되는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(70)는 업다운레벨볼트(73), 타원형 캠샤프트(71), 스터드볼(79), 플런저볼(31), 텐션고정볼트(33)로 되는 것이다.

상기 업다운레벨볼트(73)는 업다운 평탄조절부(75)와 위치조절부(77)로 구분되며, 상기 업다운 평탄조절부(75) 일단에는 타원형 캠샤프트(71)가 형성되며 타원형 캠샤프트(71)에는 X축의 높은지점(71a)과 Y축의 낮은지점(71b)의 캠샤프트(71) 구조로 형성되고, 상기 위치조절부(77)는 조절편(77a)과 헤드편(77b)으로 구분되는 것이다.

상기 위치조절부(77)의 조절편(77a)의 일단부는 나사형으로 형성되어 있고, 상기 위치조절부(77)의 헤드편(77b)은 토크하는 단위가 표시되여 있는 것이다.

상기 역학적 평탄조절기(70)의 기능은 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위중 어느 방위 표면에 평탄이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 플레이트(95a)의 위치조절부(77) 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 상기 역학적 평탄조절기(70)의 타원형 캠샤프트(71)에 형성된 타원형 캠샤프트(71)의 X축의 높은지점(71a)에서 스터드볼(79)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상측으로 밀어 올리며는 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 상기 역학적 평탄조절기(70)에 형성된 타원형 캠샤프트(71)의 X축의 높은지점(71a)에서 스터드볼(79)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상부로 밀어 올릴시에 발생된 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절하여 전기적 검사체(99)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 통전핀(100a,100b)이 받는 역학적 압력을 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 역학적 평탄조절기(70)에 형성된 타원형 캠샤프트(71)의 Y축의 낮은지점(71b)을 접촉하고 있으며 보강판(120) 부재에 고정되는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)은 상측으로 올라가는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 상향으로 있을시 평탄조절이 필요한 방위의 역학적 평단조절기(70)의 위치조절부 토크헤드를 시계 동작 반대 방향으로 플림시 상기 역학적 평탄조절기(70)에 형성된 타원형 캠샤프트(71)의 Y축의 낮은지점(71b)에서 스터드볼(79)이 하측으로 내려가면 전기적 검사체(95)인 플레이트가 하측으로 내려가는 것이다.

상기 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 역학적 평탄조절기(70)의 타원형 캠샤프트(71)에 형성된 Y축의 낮은지점(71b)에서 스터드볼(79)이 하측으로 내려가면 전기적 검사체(95)인 플레이트를 하부로 끌어 내릴시에 발생된 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 조절하여 전기적 검사체(95)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 상기 역학적 평탄조절기(70)의 타원형 캠샤프트(71)의 X축의 높은지점(71a)을 접촉하고 있으며 보강판(120) 부재에 고정되는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)은 하측으로 내려가 는 것이다.

상기와 같이 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 있을시 전기적 검사체(95)인 플레이트 상부의 누름판 텐션부재(80)와 전기적 검사체(95)인 플레이트 하부의 수평 평탄조절기(70)로 평탄이 있는 부위의 균형을 조절하여 미세한 평탄을 정확하게 제어 할 수 있는 것이다.

본 발명의 역학적 평탄조절기(20,40,50,70)은 프로브 카드 구조에 따라 전기적 검사체(99)인 블록에도 부가될 수 있으며, 본 발명의 역학적 평탄조절기(60)는 프로브 카드 구조에 따라 전기적 검사체(95)인 플레이트에도 부가될 수 있는 것이다. 즉. 반도체 패키지 테스트용 소켓에도 사용할 수 있는 것이다.

본 발명에서 사용되는 역학적 평탄조절기의 구조와 기능과 부가방법은 상기 실시예1 내지 상기 실시예4에 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 범주 내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하며, 변형된 역학적 평탄조절기의 구조와 기능과 프로브 카드에 부가방법은 본 발명의 효과와 동일하다.

도 1은 종래의 수직 평탄조절기 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 2는 본 발명의 역학적 평탄조절기(20)가 육각레벨볼트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 3과 도3b는 본 발명의 역학적 평탄조절기(20)가 프로브 카드의 전기적 검사체인 플레이트에 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 4a는 본 발명의 다른 역학적 평탄조절기(40)가 전기적 검사체 하우징 외주부에 슬라이드레벨볼트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 4b는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(50)가 전기적 검사체 하우징 중앙부에 슬라이드레벨기아볼트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 5a와 도 5b는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(40,50)가 프로브 카드의 전기적 검사체인 플레이트에 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 6a, 도 6b와 도 6c는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(60)가 업다운레벨볼트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 7a와 도 7b는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(60)가 프로브 카드의 전기적 검사체인 블록에 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 8a, 도 8b와 도 8c는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(70)가 업다운레벨볼트로 구성된 상태를 도시한 것이다.

도 9a와 도 9b는 본 발명의 또 다른 역학적 평탄조절기(70)가 프로브 카드의 전기적 검사체인 플레이트에 구성된 상태를 도시한 것이다.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

20…역학적 평탄조절기 21…평탄볼 23…육각레벨볼트

25…평탄조절부 27…위치조절부 31…플런저볼

33…텐션고정볼트 35…텐션스프링 40…역학적 평탄조절기

41…슬라이딩 스터드 41a…슬라이딩레일 43…슬라이드레벨볼트

45…슬라이드 평탄조절부 47…위치조절부 50…역학적 평탄조절기

53…슬라이드레벨기어볼트 59a…조절편수평기어 59b…헤드편수직기어

60…역학적 평탄조절기 61… 타원형 캠 61a…캠의 X축의 높은지점

61b…캠의 Y축의 낮은지점 63…업다운레벨볼트 80…누름판 텐션부재

85…누름부 85a…쿠션돌기 90…전기적 검사체 하우징

93…텐션돌기 95,99…전기적 검사체 100…인터포져

Claims (19)

1. 역학적 평탄조절기(20)는 평탄볼(21), 육각레벨볼트(23), 텐션고정볼트(33)로 구성되는 것과,

   상기 육각레벨볼트(23)는 평탄조절부(25)와 위치조절부(27)로 구분되며,

   상기 평탄조절부(25)의 돌기는 경사진 원통형 우측돌기(25a) 형상과 경사진 원통형 좌측돌기(25b) 형상으로 형성되고,

   상기 위치조절부(27)는 조절편(27a)과 헤드편(27b)으로 구분되며,

   상기 위치조절부 조절편(27a)은 나사형상으로 형성되고, 상기 위치조절부 헤드편(27b)은 토크하는 단위가 볼트헤드에 표시 되어 있는 것과,

   상기 텐션고정볼트(33)은 텐션볼(31)과 텐션스프링(35)으로 형성되는 것과,

   전기적 검사체(95)인 플레이트에는 누름판 텐션부재(80)가 형성되며,

   상기 누름판 텐션부재(80)의 누름으로 인한 압력과 역학적 평탄조절기(20)의 육각레벨볼트(23) 조절시 발생되는 압력을 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31) 동작으로 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 압력을 역학적으로 조절할 수 있는 역학적 평탄조절기(20)와 전기적 검사체 하우징(90)은 개구부가 형성되고, 육각레벨볼트(23) 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
2. 제1항에 있어서, 상기 역학적 평탄조절기(20)은 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 하향으로 있을때 상기 평탄조절부(25)의 좌측돌기(25b) 경사면이 앞으로 전진하여 평탄조절부(25)의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉된 평탄볼(21)이 전기적 검사체(95)을 상측으로 밀어 올리는 것과,

   상기 평탄조절부(25)의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉 되어 있는 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31) 동작으로 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)을 하측으로 밀어내리는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
3. 제1항에 있어서,

   상기 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위중 어느 방위 표면에 평탄이 상향으로 있을때 상기 평탄조절부(25)의 우측돌기 상부경사면(25a)과 좌측돌기 하부경사면(25b)이 뒤로 후진하여 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉된 평탄볼(21)이 하측으로 내려가 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면이 하측으로 내려가는 것과,

   상기 평탄조절부(25)의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉 되어 있는 플런저볼(31) 동작으로 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)을 상측으로 끌어 올리는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
4. 제1항에 있어서,

   상기 누름판 텐션부재(80)는 누름부(85)와 고정부(87)로 구성되며,

   상기 누름부(85)에는 쿠션돌기(85a)가 형성되는 것과, 상기 평탄조절부(25)가 앞으로 전진 할 시 발생된 가압을 상기 누름판 텐션부재(80)의 누름부(85) 판의 쿠션돌기(85a)가 누름력을 축소하여 전기적 검사체(95) 균형과 변형을 막아주는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
5. 제1항에 있어서,

   상기 누름판 텐션부재(80)와 상기 역학적 평탄조절기(20)는 전기적 검사체(95)인 플레이트 크기에 따라 전기적 검사체 하우징(90) 4방위 일단부에 일정간격으로 다수개 부가되는 것 을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
6. 제1항에 있어서,

   상기 텐션고정볼트(33)는 볼트로 형성되고 상기 볼트에 텐션스프링(35)이 부가 되어 있으며 텐션스프링(35) 상부에 플런저볼(31)이 구성되는 것과, 상기 플런저볼(31)의 형상은 두부는 반원으로 되고 몸통은 원통으로 된 내부는 비워져 있어 상기 텐션스프링(35)이 플런저볼(31) 원통 내부에서 스프링 동작을 하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
7. 제1항에 있어서,

   상기 평탄볼(21)은 평탄조절부(25)의 우측돌기 상부경사면(25a)에 접촉되는 것과, 상기 플런저볼(31)은 평탄조절부(25)의 좌측돌기 하부경사면(25b)에 접촉되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
8. 전기적 검사체 하우징(90)의 역학적 평탄조절기(40)는 슬라이딩 스터드(41), 슬라이드레벨볼트(43)로 구성되는 것과,

   상기 슬라이드레벨볼트(43)는 슬라이드 평탄조절부(45)와 위치조절부(47)로 구분되며, 상기 슬라이드 평탄조절부(45)에는 슬라이딩 스터드(41)가 슬라이딩 하는 레일(41a)이 형성되는 것과, 상기 슬라이딩 스터드(41)는 슬라이딩 레일(41a)에서 전진과 후진으로 슬라이딩하여 전기적 검사체(95) 표면의 평탄을 조절하는 것과,

   상기 슬라이딩 스터드(41)는 상부는 반원으로 된 볼트 형상으로 되는 것과,

   상기 위치조절부(47)는 조절편(47a)과 헤드편(47b)으로 구분되며,

   상기 위치조절부의 조절편(47a)은 나사형상으로 되는 것과,

   상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단에는 텐션돌기(93)가 복수개 형성되는 것과,

   상기 전기적 검사체 하우징(90) 중앙부 4방위에 방위별로 형성되는 기어식 역학적 평탄조절기(50)는 평탄볼(21), 슬라이드레벨기어볼트(53), 조절기하우징(59)으로 구성되는 것과,

   누름판 텐션부재(80)의 누름으로 인한 압력과 슬라이드레벨볼트(43) 조절시 인터포져(100)에 접합된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 압력을 역학적으로 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
9. 제8항에 있어서,

   상기 역학적 평탄조절기(40)은 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 하향으로 있을때 평탄조절이 필요한 방위의 역학적 평탄조절기(40) 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 상기 슬라이드레벨볼트(43)가 앞으로 전진하여 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 상측으로 올라가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상측으로 밀어 올리는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
10. 제8항에 있어서,

    상기 전기적 검사체(95)인 플레이트 표면의 4방위 중 어느 방위 표면에 평탄이 상향으로 있을시 평탄조절이 필요한 방위 표면의 역학적 평탄조절기(40) 토크헤드를 시계 동작 반대 방향으로 플림시 상기 슬라이드 레벨볼트(43)가 뒤로 후진하여 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a)에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 하측으로 내려가 전기적 검사체(95)인 플레이트는 하측으로 내려가는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
11. 제8항에 있어서,

    상기 전기적 검사체 하우징(90) 계단면의 텐션돌기(93)는 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절시 누름판 텐션부재(80)의 누름력과 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a) 상부에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상부로 밀어 올릴시 또는 슬라이드 평탄조절부(45)의 슬라이딩 레일(41a) 상부에 있는 슬라이딩 스터드(41)가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 하부로 끌어 내릴시에 발생된 역학적 압력을 흡수하여 전기적 검사체(95)인 플레이트와 인터포져(100)에 접촉된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 흡수하는 것과, 상기 전기적 검사체(95)인 플레이트와 인터포져(100)와 인쇄회로기판(110)간에 접촉된 상부통전핀(100a)과 하부통전핀(100b)이 받는 역학적 압력을 통전핀(100a,100b) 서로가 역학적으로 접촉되도록 소정의 접촉 압력이 유지되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
12. 제8항에 있어서,

    상기 전기적 검사체 하우징 중앙부 4방위에 형성된 역학적 평탄조절기(50)의 슬라이드레벨기어볼트(53)는 슬라이드 평탄조절부(55)와 위치조절부(57)로 구분되며,

    상기 슬라이드 평탄조절부(55)에는 슬라이딩 레일(51a)이 형성되는 것과,

    상기 위치조절부의 조절편(57a)에는 수평기어(59a)가 형성되고,

    헤드편(57b)에는 수직기어(59b)가 형성되는 것과,

    상기 위치조절부(57)의 헤드편(57b) 수직기어(59b) 조절으로 조절편(57a) 수평기어(59a)와 헤드편(57b) 수직기어(59b)가 접속동작하여 전기적 검사체(95)인 플레이트의 평탄도 조절이 되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
13. 제8항에 있어서,

    상기 전기적 검사체(95)의 플레이트의 중앙부 표면에 평탄과 균형이 하향으로 있을시는 평탄조절이 필요한 중앙부 4방위의 역학적 평탄조절기(50) 토크헤드를 시계 동작 방향으로 조임으로 상기 슬라이드 레벨기어볼트(53)의 위치조절부 수평기어(59a)와 수직기어(59b)가 회전하여 슬라이드 레벨기어볼트(53)가 앞으로 전진하여 슬라이드 평탄조절부(55)의 슬라이딩 레일(51a)에 있는 평탄볼(21)이 상측으로 올라가 전기적 검사체(95)인 플레이트를 상측으로 밀어 올리는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
14. 삭제
15. 삭제
16. 삭제
17. 삭제
18. 역학적 평탄조절기(70)는 타원형 캠샤프트(71), 스터드볼(79), 업다운레벨볼트(73), 플런저볼(31), 텐션고정볼트(33)로 구성되는 것과,

    상기 업다운레벨볼트(73)은 업다운 평탄조절부(75)와 위치조절부(77)로 구분되며,

    상기 역학적 평탄조절기(70)에 형성된 타원형 캠샤프트(71) X축의 높은지점(71a)에서 스터드볼(79)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 올림과 타원형 캠샤프트(71) Y축의 낮은지점(71b)에서 스터드볼(79)이 전기적 검사체(95)인 플레이트를 내림 구조로 형성되는 것과,

    상기 위치조절부(77)는 조절편(77a)과 헤드편(77b)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.
19. 제18항에 있어서,

    상기 업다운 평탄조절부(75)에 형성된 타원형 캠사프트(71)의 X축의 높은지점(71a)이 상측으로 올라가면 타원형 캠사프트(71)의 Y축의 낮은지점(71b)에 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 상측으로 올라가 타원형 캠사프트(71)의 Y축의 낮은지점(71b)에 접촉하는 것과,

    상기 업다운 평탄조절부(75)에 형성된 타원형 캠사프트(71)의 Y축의 낮은지점(71b)이 상측으로 올라가면 타원형 캠사프트(71)의 X축의 높은지점(71a)에 텐션고정볼트(33)의 플런저볼(31)이 하측으로 내려가 타원형 캠사프트(71)의 X축의 높은지점(71a)에 접촉하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사체의 역학적 평탄조절기.

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