KR101795439B1 - 인라인 스퍼터링 시스템 - Google Patents
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Abstract
인라인 스퍼터링 시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 기판에 대한 쿨링 공정이 수행되는 쿨링 챔버와, 쿨링 챔버에 마련되며 쿨링 챔버의 내부에서 기판을 지지하며 기판을 이송 및 냉각하는 하는 이송 겸용 냉각유닛을 포함한다. 이러한 본 발명에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 쿨링 챔버의 내부에서 기판을 지지하며 기판을 이송 및 냉각하는 이송 겸용 냉각유닛을 구비함으로써, 기판의 이송 및 냉각을 이송 겸용 냉각유닛을 통해 동시에 수행할 수 있고, 그에 따라 기판의 냉각시간을 단축할 수 있으며 설비의 풋프린트(footprint)를 줄여 공간활용도를 높이고 장비의 설치비용을 줄일 수 있다.
Description
본 발명은, 인라인 스퍼터링 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판 냉각시간을 단축시킬 수 있으며 설비의 풋프린트(footprint)를 줄일 수 있는 인라인 스퍼터링 시스템에 관한 것이다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이장치(Plasma Display Panel, PDP) 및 유기발광다이오드 디스플레이장치(Organic Light Emitting Diode Display, OLED) 등의 디스플레이나 반도체는 박막 증착(Deposition), 식각(Etching) 등의 다양한 공정을 거쳐 제품으로 출시된다.
다양한 공정 중에서 특히 박막 증착 공정은, 증착의 중요한 원칙에 따라 크게 두 가지로 나뉜다.
하나는 화학적 기상 증착(Chemical Vapor deposition, CVD)이고, 다른 하나는 물리적 기상 증착(Physical Vapor Deposition, PVD)이며, 이들은 현재 공정의 특성에 맞게 널리 사용되고 있다.
화학적 기상 증착은, 외부의 고주파 전원에 의해 플라즈마(Plasma)화 되어 높은 에너지를 갖는 실리콘계 화합물 이온(ion)이 전극을 통해 샤워헤드로부터 분출되어 기판 상에 증착되도록 하는 방식이다.
이에 반해, 스퍼터링(sputtering) 장치로 대변될 수 있는 물리적 기상 증착은, 플라즈마 내의 이온에 충분한 에너지를 걸어주어 타겟(target)에 충돌되도록 한 후에 타겟으로부터 튀어나오는, 즉 스퍼터되는 타겟 원자가 기판 상에 증착되도록 하는 방식이다.
물론, 물리적 기상 증착에는 전술한 스퍼터(Sputter) 방식 외에도 이-빔(E-Beam), 이베퍼레이션(Evaporation), 서멀 이베퍼레이션(Thermal Evaporation) 등의 방식이 있기는 하지만, 이하에서는 스퍼터링 방식의 스퍼터링 장치를 물리적 기상 증착이라 하기로 한다.
종래 스퍼터링 장치의 캐소드는 평면 형태의 캐소드가 주를 이루었으나, 최근에 들어서는 캐소드가 회전축을 기준으로 360도 회전 가능한 회전형 캐소드가 개발되어 사용이 점차 증가하고 있다.
이러한 종래의 회전형 캐소드는, 장치 조절의 용이성, 고증착율, 낮은 제조단가, 방출 전자 제한, 내화 금속 및 화합물에의 적용 가능성 등의 다양한 장점으로 인해 특히, 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이장치(PDP) 및 유기발광다이오드 디스플레이장치(OLED) 등의 디스플레이 제조에 폭넓게 사용되고 있다.
한편, 스퍼터링 장치는 크게 배치 타입(batch type)과 인라인 방식(in line type)으로 구분된다.
배치 타입 스퍼터링 장치는 기판 이동용 로봇핸드를 통해 챔버에 기판을 투입하며, 챔버에서 증착이 완료된 후 다시 기판 이동용 로봇핸드를 통해 기판을 회수하는 방식이다. 이러한 배치 타입은 기판의 투입 및 회수 시마다 챔버를 개방해야하고, 그에 따라 챔버 내부에 진공분위기를 형성하는 펌핑(pumping)작업과 진공분위기를 파기하는 벤팅(venting)작업이 반복적으로 수행되므로 실질적인 증착공정이 수행되는 시간보다 증착공정을 준비하는 시간이 많아 장비 가동룔이 낮은 문제점이 있다.
또한 배치 타입 스퍼터링 장치는, 챔버 내부에 마련되며 챔버의 내부로 투입된 기판을 파지하는 기판 파지부를 구비한다. 이러한 기판 파지부는 기계적으로 기판을 파지하는 방식이므로 기판 파지부가 파지한 기판 부위에는 증착이 이루어지지 않고, 그에 따라 기판의 전면적에 증착이 이루어지지 않는 문제점이 있다.
한편 인라인 스퍼터링 시스템은, 기판이 통과하는 다수개의 챔버를 연속적으로 배치하고 기판을 챔버들 내부로 이송시키며 증착을 수행하는 방식이다. 이러한 인라인 스퍼터링 시스템은, 다수개의 기판들을 연속적으로 이송시키며 증착 공정을 수행할 수 있어 생산성이 높은 장점이 있다.
인라인 스퍼터링 시스템은, 기판을 증착 공정이 수행되는 공정 챔버에 투입하기 전에 히팅 챔버에서 가열하며, 증착 공정 후 공정 챔버에서 인출된 기판을 쿨링 챔버에서 냉각시킨다.
그런데 종래의 인라인 스퍼터링 시스템은, 진공 분위기의 쿨링 챔버에서 기판의 냉각이 이루어지는 특성 상, 기판 냉각에 많은 시간이 필요하고 쿨링 챔버의 길이를 길게 제작해야하는 문제점이 있다.
즉 종래기술에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 긴 기판 냉각시간으로 인해 공정의 사이클(cycle) 타임이 늘어나 장비 가동률이 저하되는 문제점과, 쿨링 챔버의 길이가 길어져 설비의 풋프린트(footprint)가 커지고 장비의 설치비용이 증가하는 문제점이 있다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 냉각시간을 단축할 수 있으며 설비의 풋프린트(footprint)를 줄여 공간활용도를 높이고 장비의 설치비용을 줄일 수 있는 인라인 스퍼터링 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 판에 대한 쿨링 공정이 수행되는 쿨링 챔버; 및 상기 쿨링 챔버에 마련되며, 상기 쿨링 챔버의 내부에서 상기 기판을 지지하며 상기 기판을 이송 및 냉각하는 하는 이송 겸용 냉각유닛을 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템이 제공될 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각유닛은, 내부에 냉각용 유체가 유동되는 유동관로가 형성되며, 상기 기판에 접촉되는 아우터 튜브를 구비하는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈; 이송 겸용 냉각용 롤러모듈에 연결되고, 상기 유동관로에 연통되는 내부공간이 형성되며, 상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈에 상기 냉각용 유체를 전달하는 전달모듈; 및 상기 아우터 튜브에 연결되며, 상기 아우터 튜브를 회전시키는 이송용 구동모듈을 포함할 수 있다.
상기 아우터 튜브는 상기 전달모듈에 상대회전 가능하게 연결될 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은, 상기 아우터 튜브의 내부에 배치되며, 상기 전달모듈에 결합되는 이너 튜브를 포함할 수 있다.
상기 이너 튜브의 내부에는 상기 유동관로의 일부인 제1 유동관로가 마련되며, 상기 이너 튜브는, 상기 이너튜브의 외벽과 상기 아우터 튜브의 내벽 사이에 상기 유동관로의 일부이며 상기 제1 유동관로에 연통되는 제2 유동관로가 형성되도록, 상기 아우터 튜브의 내벽에 대하여 이격되어 배치될 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은, 상기 쿨링 챔버의 측벽에 결합되며, 상기 아우터 튜브를 회전 가능하게 지지하는 아우터 튜브 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은, 상기 아우터 튜브의 내벽에 결합되며, 상기 이너 튜브의 말단부 영역에 회전 가능하게 연결되는 이너 튜브 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은, 상기 아우터 튜브 및 상기 전달모듈 중 어느 하나에 결합되고 다른 하나에 연결되며, 상기 아우터 튜브를 회전 가능하게 지지하고 상기 아우터 튜브와 상기 전달모듈의 연결영역을 실링하는 지지 겸용 실링부를 더 포함할 수 있다.
상기 지지 겸용 실링부는 상기 전달모듈에 결합되고 상기 아우터 튜브에 연결되며, 상기 지지 겸용 실링부는, 상기 전달모듈에 결합되는 몸체부; 상기 몸체부에 마련되며, 상기 아우터 튜브에 연결되어 상기 몸체부와 상기 아우터 튜브 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제1 밀봉부재; 상기 몸체부에 마련되고 상기 제1 밀봉부재에 대해 이격되어 배치되며, 상기 아우터 튜브에 연결되어 상기 몸체부와 상기 아우터 튜브 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제2 밀봉부재; 및 상기 몸체부와 상기 아우터 튜브에 결합되며, 상기 제1 밀봉부재와 상기 제2 밀봉부재 사이에 배치되는 베어링을 포함할 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은 상호 이격되어 배치되는 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈을 포함하며, 상기 전달모듈은, 상기 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈 각각에 연결되는 다수개의 단위 전달모듈; 및 이웃한 상기 단위 전달모듈을 연결하며, 상기 단위 전달모듈의 내부공간과 이웃한 상기 단위 전달모듈에 결합된 이너 튜브의 제1 유동관로를 연통하는 연결라인을 포함할 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각유닛에 연결되며, 상기 냉각용 유체를 이송 겸용 냉각유닛에 공급하고 상기 이송 겸용 냉각유닛에 배출된 상기 냉각용 유체를 전달받는 유체 순환유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 유체 순환유닛은, 상기 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈들 중 적어도 어느 하나의 이너 튜브의 제1 유동관로에 연통되는 유체 주입라인; 상기 단위 전달모듈 중 적어도 어느 하나의 내부공간에 연통되는 유체 배출라인; 및 상기 유체 주입라인과 상기 유체 배출라인에 연결되고, 상기 유체 배출라인의 상기 냉각용 유체를 상기 유체 주입라인으로 전달하며, 상기 냉각용 유체를 열교환시키는 열교환부를 포함할 수 있다.
상기 이송 겸용 냉각유닛은, 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치되고, 상기 유체 순환유닛은, 다수개로 마련되어 상기 이송 겸용 냉각유닛들 각각에 개별적으로 연결되며, 상기 유체 순환유닛은, 상기 열교환부에 연결되며 상기 열교환부에서 배출되는 상기 냉각용 유체의 온도를 조절하는 온도 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 이송용 구동모듈은, 상기 기판을 지지하는 이송롤러; 상기 이송롤러가 결합되는 롤러 샤프트; 상기 롤러 샤프트를 회전시키는 구동 모터; 및 상기 롤러 샤프트와 상기 아우터 튜브에 연결되는 동력 전달부를 포함할 수 있다.
상기 동력 전달부는, 상기 롤러 샤프트에 마련되는 제1 타이밍 기어와 상기 아우터 튜브에 마련되는 제2 타이밍 기어에 치합되는 타이밍 벨트를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 쿨링 챔버의 내부에서 기판을 지지하며 기판을 이송 및 냉각하는 이송 겸용 냉각유닛을 구비함으로써, 기판의 이송 및 냉각을 이송 겸용 냉각유닛을 통해 동시에 수행할 수 있고, 그에 따라 기판의 냉각시간을 단축할 수 있으며 설비의 풋프린트(footprint)를 줄여 공간활용도를 높이고 장비의 설치비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템이 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 이송 겸용 냉각유닛이 도시된 평면도이다.
도 3은 도 2의 'A'부분의 확대도이다.
도 4는 도 3의 이송 겸용 냉각용 롤러모듈과 전달모듈의 내부가 도시된 단면도이다.
도 5는 도 4의 'B'부분의 확대도이다
도 6은 도 4의 'C'부분의 확대도이다
도 7은 도 4에서 냉각용 유체의 유동방향이 도시된 도면이다.
도 8은 도 1의 이송 겸용 냉각유닛에 연결되는 순환유닛이 도시된 도면 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 이송 겸용 냉각유닛이 도시된 평면도이다.
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도 5는 도 4의 'B'부분의 확대도이다
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도 7은 도 4에서 냉각용 유체의 유동방향이 도시된 도면이다.
도 8은 도 1의 이송 겸용 냉각유닛에 연결되는 순환유닛이 도시된 도면 도시된 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
이하에서 설명될 기판이란, 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이장치(PDP) 및 유기발광다이오드 디스플레이장치(OLED) 등의 디스플레이용 기판이거나 태양전지용 기판, 혹은 반도체 웨이퍼 기판일 수 있으며, 이하에서는 별도의 구분 없이 기판이라는 용어로 통일하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템이 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 이송 겸용 냉각유닛이 도시된 평면도이며, 도 3은 도 2의 'A'부분의 확대도이고, 도 4는 도 3의 이송 겸용 냉각용 롤러모듈과 전달모듈의 내부가 도시된 단면도이며, 도 5는 도 4의 'B'부분의 확대도이고, 도 6은 도 4의 'C'부분의 확대도이며, 도 7은 도 4에서 냉각용 유체의 유동방향이 도시된 도면이고, 도 8은 도 1의 이송 겸용 냉각유닛에 연결되는 순환유닛이 도시된 도면 도시된 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 로드락 챔버(load lock chamber, LC)와, 히팅 챔버(heating chamber, HC)와, 공정 챔버(process chamber, PC)와, 쿨링 챔버(cooling chamber, CC)와, 언로드락 챔버(un-load lock chamber, UC)를 포함한다.
로드락 챔버, 히팅 챔버, 공정 챔버(PC), 언로드락 챔버에는, 기판(S)을 지지하며 기판(S)을 이송하는 기판 이송부(미도시)가 마련된다.(쿨링 챔버(CC)에서는 후수할 이송 겸용 냉각유닛(110)이 기판(S)을 이송함)
본 실시예에서 기판 이송부(미도시)는, 기판(S)을 지지하는 이송롤러(미도시)와, 이송롤러(미도시)가 결합된 롤러 샤프트(미도시)와, 롤러 샤프트(미도시)에 연결되며 롤러 샤프트(미도시)를 회전시키는 구동모터(미도시)를 포함한다.
로드락 챔버(LC) 및 언로드락 챔버(UC)는, 대기압과 진공 간의 전환을 수행한다. 로드락 챔버(LC)는 기판(S)을 로드락 챔버(LC)에 투입하는 로딩 스테이션(180)에 연결되며, 언로드락 챔버(UC)는 기판(S)을 언로드락 챔버(UC)로부터 전달받는 언로딩 스테이션(190)에 연결된다.
히팅 챔버(HC)는, 로드락 챔버(LC)에 접하게 마련되며, 기판(S)을 가열하여 기판(S)에 묻은 이물질(특히 수분)을 제거하고 기판(S)의 온도를 스퍼터링 공정에 필요한 온도로 높여주는 역할을 수행한다.
로드락 챔버(LC)와 히팅 챔버(HC) 사이에는 게이트 밸브(GV)가 마련되며, 게이트 밸브(GV)의 개폐를 통해 로드락 챔버(LC)와 히팅 챔버(HC)가 독립적으로 동작되도록 한다. 또한 게이트 밸브(GV)의 개방에 의해 기판(S)이 로드락 챔버(LC)에서 히팅 챔버(HC)로 이동될 수 있다. 이러한 게이트 밸브(GV)는 히팅 챔버(HC)와 공정 챔버(PC)의 사이와, 공정 챔버(PC)와 쿨링 챔버(CC)의 사이와, 쿨링 챔버(CC)와 언로드락 챔버(UC)의 사이에도 마찬가지로 배치된다.
공정 챔버(PC)에서는 기판(S)에 대한 증착 공정이 수행된다. 공정 챔버(PC)는 증착 공정 시 그 내부를 밀폐하며 내부에 진공 분위기를 형성한다. 즉 상술한 게이트 밸브(GV)에 의해 공정 챔버(PC)의 내부가 밀폐되며 공정 챔버(PC)에 연결된 진공 펌프(미도시)의 펌핑에 의해 공정 챔버(PC)의 내부에 진공분위기가 형성된다.
공정 챔버(PC)에는 스퍼터링 캐소드(cathode, 미도시)가 마련된다. 스퍼터링 캐소드(미도시)는, 기판(S)을 향하여 증착물질(미도시)을 제공하는 타겟(미도시)과, 타겟(미도시)이 외벽에 마련되는 캐소드 백킹튜브(미도시)와, 캐소드 백킹튜브(미도시)의 내부에 마련되어 자기장을 발생시키는 마그네트(미도시)를 포함한다.
본 실시예에서 타겟(미도시)과 캐소드 백킹튜브(미도시) 및 마그네트(미도시)을 포함하는 스퍼터링 캐소드(미도시) 영역이 음극(cathode)을 형성하고, 기판(S) 영역이 양극(anode)을 형성한다. 이처럼, 타겟(미도시)에 음극(cathode)이 형성되면 타겟(미도시)은 하부 영역에 위치한 기판(S)을 향해 증착 물질을 제공한다.
한편, 쿨링 챔버(CC)는 공정 챔버(PC)에 연결되며 공정 챔버(PC)를 통과한 기판(S)을 냉각한다. 이러한 쿨링 챔버(CC)에는, 쿨링 챔버(CC)의 내부에서 기판(S)을 지지하며 기판(S)을 이송 및 냉각하는 하는 이송 겸용 냉각유닛(110)이 마련된다. 본 실시예에서 이송 겸용 냉각유닛(110)은, 도 1 및 도 8에 도시된 바와 같이, 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다.
도 1 및 도 8에 도시된 이송 겸용 냉각유닛(110)의 개수가 다른 것은 단순히 도시의 편의를 위한 것이며, 본 실시예에서는 이송 겸용 냉각유닛(110)이 4개로 마련되나 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 이송 겸용 냉각유닛(110)은 쿨링 챔버(CC)의 내부에 다양한 개수로 마련될 수 있을 것이다.
이송 겸용 냉각유닛(110)은, 기판(S)을 지지하며 기판(S)의 이송과 기판(S)의 냉각을 동시에 수행한다. 기판(S)의 이송과 냉각을 동시에 수행하기 위해 이송 겸용 냉각유닛(110)은, 내부에 냉각용 유체가 유동되는 유동관로(H1, H2)가 형성되며 기판(S)에 접촉되는 아우터 튜브(121)를 구비하는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)과, 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에 연결되고 유동관로(H1, H2)에 연통되는 내부공간(G)이 형성되며 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에 냉각용 유체를 전달하는 전달모듈(130)과, 아우터 튜브(121)에 연결되며 아우터 튜브(121)를 회전시키는 이송용 구동모듈(140)을 포함한다.
본 실시예에서 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)은 상호 이격되어 배치되는 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)을 포함한다.
단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)의 내부에는, 기판(S)의 냉각을 위한 냉각용 유체가 유동되는 유동관로(H1, H2)가 형성된다. 이러한 유동관로(H1, H2)의 형성을 위해 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)은, 내부가 중공되는 아우터 튜브(121)와, 내부가 중공되며 아우터 튜브(121)의 내부에 배치되는 이너 튜브(122)를 포함한다.
도 2 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 아우터 튜브(121) 및 이너 튜브(122)는 원기둥 형상으로 마련된다. 본 실시예에서 이너 튜브(122)의 중공된 내부가 제1 유동관로(H1)를 형성하고, 아우터 튜브(121)와 이너 튜브(122) 사이의 공간(이너 튜브(122)의 외벽과 아우터 튜브(121)의 내벽 사이의 공간)이 제2 유동관로(H2)를 형성한다. 본 실시예에서 제1 유동관로(H1)와 제2 유동관로(H2)가 상술한 유동관로(H1, H2)를 이루며, 이너 튜브(122)에는 제1 유동관로(H1)와 제2 유동관로(H2)를 연통시키기 위한 관통공(P)이 마련된다.
본 실시예에서 아우터 튜브(121)는 기판(S)에 접촉된다. 따라서 아우터 튜브(121)의 내부, 구체적으로 제2 유동관로(H2)를 따라 유동되는 냉각용 유체는 아우터 튜브(121)에 접촉된 기판(S)과 열교환되어 기판(S)을 효과적으로 냉각시킬 수 있다.
한편, 본 실시예에서 기판(S)을 지지하는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)은 기판(S)을 이송한다. 이러한 기판(S)의 이송은 기판(S)에 접촉된 아우터 튜브(121)의 회전에 의해 이루어진다.
기판(S)을 이송하기 위한 아우터 튜브(121)의 회전을 위해, 본 실시예에 따른 아우터 튜브(121)는 전달모듈(130)에 상대회전 가능하게 연결된다.
그런데 전달모듈(130)에는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)의 유동관로(H1, H2)에 연통되는 내부공간(G)이 형성되며, 이러한 내부공간(G)으로 제2 유동관로(H2)를 통과한 냉각용 유체가 유입된다. 즉 전달모듈(130)의 내부공간(G)에는 냉각용 유체가 존재한다.
따라서 아우터 튜브(121)를 전달모듈(130)에 회전 가능하게 연결 시, 아우터 튜브(121)와 전달모듈(130)의 연결영역에서 냉각용 유체가 누설되지 않도록 아우터 튜브(121)와 전달모듈(130)의 연결영역의 기밀을 유지하여야 한다.
따라서 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)은, 전달모듈(130)에 결합되고 아우터 튜브(121)에 연결되며 아우터 튜브(121)를 회전 가능하게 지지하고 아우터 튜브(121)와 전달모듈(130)의 연결영역을 실링하는 지지 겸용 실링부(125)를 포함한다.
이러한 지지 겸용 실링부(125)는, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 전달모듈(130)에 결합되는 몸체부(126)와, 몸체부(126)에 마련되며 아우터 튜브(121)에 연결되어 몸체부(126)와 아우터 튜브(121) 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제1 밀봉부재(127)와, 몸체부(126)에 마련되고 제1 밀봉부재(127)에 대해 이격되어 배치되며 아우터 튜브(121)에 연결되어 몸체부(126)와 아우터 튜브(121) 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제2 밀봉부재(128)와, 몸체부(126)와 아우터 튜브(121)에 결합되며, 제1 밀봉부재(127)와 제2 밀봉부재(128) 사이에 배치되는 베어링(129)을 포함한다.
제1 밀봉부재(127)는, 몸체부(126)에 마련되며, 아우터 튜브(121)에 연결되어 몸체부(126)와 아우터 튜브(121) 사이의 틈새(gap)를 밀봉한다. 본 실시예에서 제1 밀봉부재(127)는 유체 누설 방지용 오링(O-ring)으로 이루어지며, 이러한 제1 밀봉부재(127)는 냉각용 유체가 베어링(129)쪽으로 누출되는 것을 방지한다.
제2 밀봉부재(128)는, 몸체부(126)에 마련되고 제1 밀봉부재(127)에 대해 이격되어 배치되며, 아우터 튜브(121)에 연결되어 몸체부(126)와 아우터 튜브(121) 사이의 틈새(gap)를 밀봉한다. 본 실시예에서 제2 밀봉부재(128)는 파티클 방지용 오링(O-ring)으로 이루어지며, 이러한 제2 밀봉부재(128)는 베어링(129)에서 발생되는 파티클(particle)이 쿨링 챔버(CC) 내부로 비산되는 것을 방지한다.
베어링(129)은, 제1 밀봉부재(127)와 제2 밀봉부재(128) 사이에 배치되며, 아우터 튜브(121)를 회전가능하게 지지한다. 본 실시예에서 베어링(129)은 레이디얼 베어링으로 마련되며, 베어링(129)의 내륜(미도시)은 아우터 튜브(121)에 결합되며, 베어링(129)의 외륜(미도시)은 몸체부(126)에 결합된다.
한편, 아우터 튜브(121)가 전달모듈(130)에만 지지된다면 원기둥 형상을 가지는 아우터 튜브(121)의 말단부에 처짐이 발생될 수 있다.
따라서 이를 방지하기 위해 본 실시예에 따른 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)은, 쿨링 챔버(CC)의 측벽에 결합되며 아우터 튜브(121)를 회전 가능하게 지지하는 아우터 튜브 지지부(123)를 구비한다.
이러한 아우터 튜브 지지부(123)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 쿨링 챔버(CC)의 내벽에 결합되는 아우터 튜브 지지용 몸체부(123a)와, 아우터 튜브 지지용 몸체부(123a)에 마련되며 아우터 튜브 지지용 몸체부(123a)와 아우터 튜브(121) 사이의 틈새를 밀봉하는 파티클 방지용 오링(123b)과, 내륜(미도시)이 아우터 튜브(121)에 결합되고 외륜(미도시)이 아우터 튜브 지지용 몸체부(123a)에 결합되는 아우터 튜브 지지용 베어링(123c)을 포함한다.
본 실시예에서 아우터 튜브 지지용 베어링(123c)은 레이디얼 베어링으로 마련되며, 파티클 방지용 오링은 아우터 튜브 지지용 베어링(123c)에서 발생되는 파티클(particle)이 쿨링 챔버(CC) 내부로 비산되는 것을 방지한다.
또한 이너 튜브(122)의 경우에도, 이너 튜브(122)가 전달모듈(130)에만 결합된다면 원기둥 형상을 가지는 이너 튜브(122)의 말단부에 처짐이 발생될 수 있다.
따라서 이를 방지하기 위해 본 실시예에 따른 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)은, 아우터 튜브(121)의 내벽에 결합되며, 이너 튜브(122)의 말단부 영역에 회전 가능하게 연결되는 이너 튜브 지지부(124)를 구비한다.
이러한 이너 튜브 지지부(124)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 아우터 튜브(121)의 내벽에 결합되는 이너 튜브 지지용 몸체부(124a)와, 이너 튜브 지지용 몸체부(124a)에 마련되며 이너 튜브 지지용 몸체부(124a)와 이너 튜브(122) 사이의 틈새를 밀봉하는 유체 누설 방지용 오링(124b)과, 내륜(미도시)이 이너 튜브(122)에 결합되고 외륜(미도시)이 이너 튜브 지지용 몸체부(124a)에 결합되는 이너 튜브 지지용 베어링(124c)을 포함한다.
본 실시예에서 이너 튜브 지지용 베어링(124c)은 레이디얼 베어링으로 마련되며, 유체 누설 방지용 오링(124b)은 냉각용 유체가 이너 튜브 지지용 베어링(124c)쪽으로 누설되는 것을 방지한다.
한편, 상술한 바와 같이 아우터 튜브(121)는 기판(S)에 접촉되어 기판(S)을 냉각하는 동시에 기판(S)을 이송하므로, 아우터 튜브(121)의 표면에는 열전도도가 높고 마찰계수가 큰 기능성 박막(미도시)이 코팅된다. 이러한 기능성 박막은 기판(S)이 아우터 튜브(121)의 표면에 직접 접촉되는 것을 방지함으로써, 기판(S)의 이송 및 냉각과정에서 기판(S)이 손상되는 것을 방지한다.
한편 전달모듈(130)은, 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d) 각각에 연결되어 이웃한 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)에 냉각용 유체를 전달한다. 이러한 전달모듈(130)에는 유동관로(H1, H2)에 연통되는 내부공간(G)이 형성된다.
본 실시예에서 전달모듈(130)은, 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d) 각각에 연결되는 다수개의 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)과, 이웃한 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)을 연결하며 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)의 내부공간(G)과 이웃한 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)에 결합된 이너 튜브(122)의 제1 유동관로(H1)를 연통하는 연결라인(131)을 포함한다.
단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)은 각각의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)에 연결되며, 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)의 내부공간(G)은 제2 유동관로(H2)에 연통되어 제2 유동관로(H2)를 통과한 냉각용 유체를 전달받는다.
연결라인(131)은, 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)의 내부공간(G)과 이웃한 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d)에 결합된 이너 튜브(122)의 제1 유동관로(H1)에 연통됨으로써, 이웃한 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d) 사이에서 냉각용 유체를 전달한다.
예를 들어 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이, 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120b)에서 단위 전달모듈(130b)의 내부공간(G)으로 유동된 냉각용 유체는 연결라인(131)을 통해 이웃한 단위 전달모듈(130c)에 결합된 이웃한 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120c)로 전달된다.
또한 전달모듈(130)은 유체 순환유닛(150)에 연결되어 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에 냉각용 유체를 공급하고 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에서 배출된 냉각용 유체를 유체 순환유닛(150)에 전달한다. 유체 순환유닛(150)의 구체적인 구성 및 기능은 설명의 편의를 위해 뒤에서 자세히 설명하며, 전달모듈(130)과 유체 순환유닛(150)과의 연결관계에 대해 먼저 설명한다.
전달모듈(130)은, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이, 유체 순환유닛(150)의 유체 주입라인(151)에 연결되어 냉각용 유체를 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에 공급하고 유체 순환유닛(150)의 유체 주입라인(151)에 연결되어 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)을 통과한 냉각용 유체를 유체 순환유닛(150)으로 전달한다.
유체 주입라인(151)과 유체 배출라인(152) 각각은, 다수개의 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d) 중 적어도 어느 하나에 연결된다. 본 실시예에서는 다수개의 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d) 중 양측 사이드에 배치된 단위 전달모듈(130a, 130d)에 유체 주입라인(151)과 유체 배출라인(152)이 연결된다.
유체 주입라인(151)이 연결되는 단위 전달모듈(130a)에는, 이너 튜브(122)의 제1 유동관로(H1)와 유체 주입라인(151)을 연통시키는 유체 주입공(T1)이 마련된다. 또한 유체 배출라인(152)이 연결되는 단위 전달모듈(130d)에는, 단위 전달모듈(130)의 내부공간(G)과 유체 배출라인(152)을 연통시키는 유체 배출공(T2)이 마련된다.
한편 이송용 구동모듈(140)은, 아우터 튜브(121)에 연결되어 아우터 튜브(121)를 회전시킨다. 이러한 이송용 구동모듈(140)은, 기판(S)을 지지하는 이송롤러(141)와, 이송롤러(141)가 결합되는 롤러 샤프트(142)와, 롤러 샤프트(142)를 회전시키는 구동 모터(143)와, 롤러 샤프트(142)와 아우터 튜브(121)에 연결되는 동력 전달부(144)를 포함한다.
본 실시예에서 동력 전달부(144)는, 롤러 샤프트(142)에 마련되는 제1 타이밍 기어(미도시)와 아우터 튜브(121)에 마련되는 제2 타이밍 기어(미도시)에 치합되는 타이밍 벨트(145)를 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이 롤러 샤프트(142)를 회전시키는 구동 모터(143)는 쿨링 챔버(CC)의 외부에 배치되고, 그에 따라 롤러 샤프트(142)는 쿨링 챔버(CC)의 외벽을 관통한다. 여기서 롤러 샤프트(142)와 쿨링 챔버(CC)의 연결영역에서 외부 공기가 쿨링 챔버(CC) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위해, 이송용 구동모듈(140)에는 쿨링 챔버(CC)에 결합되며 롤러 샤프트(142)와 쿨링 챔버(CC)의 연결영역에서 외부 공기가 쿨링 챔버(CC) 내부로 유입되어 진공 분위기가 파괴되는 것을 방지하는 밀봉부(146)가 마련된다.
이러한 밀봉부(146)는, 쿨링 챔버(CC)의 외벽에 결합되며 롤러 샤프트(142)가 회전가능하게 연결되는 밀봉 몸체(미도시)와, 롤러 샤프트(142)의 외주면과 밀봉 몸체(미도시)의 내주면 사이에 배치되는 자성유체(Magnetic Fluid, 미도시)를 포함한다.
여기서 자성유체(미도시)는 액체 속에 자성분말을 콜로이드 모양으로 안정 분산시킨 다음 침전이나 응집이 생기지 않도록 계면활성제를 첨가한 유체로써, 이러한 자성유체(미도시)가 밀봉 몸체(미도시)와 롤러 샤프트(142) 사이에서 오링과 같은 막을 형성함으로써, 외부 공기가 내부 공기가 진공 분위기의 쿨링 챔버(CC) 내부로 유입되는 것을 방지한다.
본 실시예에서 밀봉부(146)에는 자성유체 씰(Magnetic Fluid seal)이 사용되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 진공도를 유지시키는 다양한 밀봉부재가 본 실시예의 밀봉부(146)에 사용될 수 있다.
한편 상술한 바와 같이 본 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 냉각용 유체를 이송 겸용 냉각유닛(110)에 공급하고 이송 겸용 냉각유닛(110)에 배출된 냉각용 유체를 전달받는 유체 순환유닛(150)을 포함한다.
이러한 유체 순환유닛(150)은, 전달모듈(130)에 연결되며 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120a, 120b, 120c, 120d)들 중 적어도 어느 하나의 이너 튜브(122)의 제1 유동관로(H1)에 연통되는 유체 주입라인(151)과, 단위 전달모듈(130a, 130b, 130c, 130d) 중 적어도 어느 하나의 내부공간(G)에 연통되는 유체 배출라인(152)과, 유체 주입라인(151)과 유체 배출라인(152)에 연결되고 유체 배출라인(152)의 냉각용 유체를 유체 주입라인(151)으로 전달하며 냉각용 유체를 열교환시키는 열교환부(153)와, 열교환부(153)에 연결되며 열교환부(153)에서 배출되는 냉각용 유체의 온도를 조절하는 온도 제어부(미도시)를 포함한다.
열교환부(153)는, 유체 주입라인(151)과 유체 배출라인(152)에 연결되며, 유체 배출라인(152)을 통해 전달받은 냉각용 유체를 냉각시켜 유체 주입라인(151)으로 전달한다.
온도 제어부(미도시)는 열교환부(153)에 유선 또는 무선으로 연결되며 열교환부(153)에서 이루어지는 열교환량을 조절하여 유체 주입라인(151)으로 전달되는 냉각용 유체의 온도를 조절한다.
본 실시예에서 유체 순환유닛(150)은, 다수개로 마련되어 이송 겸용 냉각유닛(110)들 각각에 개별적으로 연결된다. 따라서 각각의 이송 겸용 냉각유닛(110)에 공급되는 냉각용 유체의 온도를 상이하게 설정할 수 있고, 그에 따라 기판(S) 및 기판(S)에 증착된 박막이 급격한 온도 변화에 따라 손상되는 것을 방지할 수 있다.
즉 공정 챔버(PC)에 가장 가깝게 배치된 이송 겸용 냉각유닛(110)으로부터 공정 챔버(PC)에 가장 멀게 배치된 이송 겸용 냉각유닛(110) 순으로 공급되는 냉각용 유체의 온도를 순차적으로 낮게 설정함으로써, 공정 챔버(PC)에서 쿨링 챔버(CC)로 이송된 기판(S)이 급격한 온도 변화에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서 본 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템의 동작을 도 1 내지 도 8을 참조하여 도 4 내지 도 7을 위주로 설명한다.
공정 챔버(PC)에서 증착 공정이 완료된 기판(S)은 쿨링 챔버(CC)로 이동된다. 쿨링 챔버(CC)로 이동된 기판(S)은 쿨링 챔버(CC)의 내부에서 이송 겸용 냉각유닛(110)에 의해 이송되면서 동시에 냉각된다.
자세히 설명하면, 쿨링 챔버(CC)로 이동된 기판(S)은 이송 겸용 냉각유닛(110)의 아우터 튜브(121)에 접촉 지지되며 아우터 튜브(121)의 회전에 의해 이송된다.(물론 이송용 구동모듈(140)의 이송롤러(141)도 함께 기판(S)을 지지하며 회전에 의해 기판(S)을 이송한다)
이때 아우터 튜브(121) 내부의 제2 유동관로(H2)에는 냉각용 유체가 유동되고 있으며, 이러한 냉각용 유체는 기판(S)과 열교환되어 기판(S)을 냉각시킨다.
이러한 냉각용 유체는 유체 순환유닛(150)을 통해 계속적으로 순환되며 이송 겸용 냉각유닛(110)에 공급된다.
도 7의 냉각용 유체의 유동 방향이 나타내는 것과 같이, 유체 주입라인(151)을 통해 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)에 전달된 냉각용 유체는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈(120)의 유동관로(H1, H2) 및 전달모듈(130)을 통과하여 유체 배출라인(152)에 전달된다.
유체 배출라인(152)에 전달된 냉각용 유체는 기판(S)과의 열교환에 의해 가열된 상태이며, 이러한 가열된 냉각용 유체는 유체 순환유닛(150)의 열교환부(153)에서 다시 열교환되어 냉각된다.
열교환부(153)에서 냉각된 냉각용 유체는 유체 주입라인(151)을 통해 다시 이송 겸용 냉각유닛(110)에 공급된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은, 쿨링 챔버(CC)의 내부에서 기판(S)을 지지하며 기판(S)을 이송 및 냉각하는 이송 겸용 냉각유닛(110)을 구비함으로써, 기판(S)의 이송 및 냉각을 이송 겸용 냉각유닛(110)을 통해 동시에 수행할 수 있고, 그에 따라 기판(S)의 냉각시간을 단축할 수 있으며 설비의 풋프린트(footprint)를 줄여 공간활용도를 높이고 장비의 설치비용을 줄일 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110: 이송 겸용 냉각유닛 120: 이송 겸용 냉각용 롤러모듈
120a, 120b, 120c, 120d: 이송 겸용 냉각용 롤러모듈
121: 아우터 튜브 122: 이너 튜브
123: 아우터 튜브 지지부 123a: 아우터 튜브 지지용 몸체부
123b: 파티클 방지용 오링 123c: 아우터 튜브 지지용 베어링
124: 이너 튜브 지지부 124a: 이너 튜브 지지용 몸체부
124b: 유체 누설 방지용 오링 124c: 이너 튜브 지지용 베어링
125: 지지 겸용 실링부 126: 몸체부
127: 제1 밀봉부재 128: 제2 밀봉부재
129: 베어링 130: 전달모듈
130a, 130b, 130c, 130d: 단위 전달모듈
131: 연결라인 140: 이송용 구동모듈
141: 이송롤러 142: 롤러 샤프트
143: 구동 모터 144: 동력 전달부
145: 타이밍 벨트 146: 밀봉부
150: 유체 순환유닛 151: 유체 주입라인
152: 유체 배출라인 153: 열교환부
H1: 제1 유동관로 H2: 제2 유동관로
T1: 유체 주입공 T2: 유체 배출공
P: 관통공 S: 기판
LC: 로드락 챔버 HC: 히팅 챔버
PC: 공정 챔버 CC: 쿨링 챔버
UC: 언로드락 챔버
120a, 120b, 120c, 120d: 이송 겸용 냉각용 롤러모듈
121: 아우터 튜브 122: 이너 튜브
123: 아우터 튜브 지지부 123a: 아우터 튜브 지지용 몸체부
123b: 파티클 방지용 오링 123c: 아우터 튜브 지지용 베어링
124: 이너 튜브 지지부 124a: 이너 튜브 지지용 몸체부
124b: 유체 누설 방지용 오링 124c: 이너 튜브 지지용 베어링
125: 지지 겸용 실링부 126: 몸체부
127: 제1 밀봉부재 128: 제2 밀봉부재
129: 베어링 130: 전달모듈
130a, 130b, 130c, 130d: 단위 전달모듈
131: 연결라인 140: 이송용 구동모듈
141: 이송롤러 142: 롤러 샤프트
143: 구동 모터 144: 동력 전달부
145: 타이밍 벨트 146: 밀봉부
150: 유체 순환유닛 151: 유체 주입라인
152: 유체 배출라인 153: 열교환부
H1: 제1 유동관로 H2: 제2 유동관로
T1: 유체 주입공 T2: 유체 배출공
P: 관통공 S: 기판
LC: 로드락 챔버 HC: 히팅 챔버
PC: 공정 챔버 CC: 쿨링 챔버
UC: 언로드락 챔버
Claims (15)
- 기판에 대한 쿨링 공정이 수행되는 쿨링 챔버; 및
상기 쿨링 챔버에 마련되며, 상기 쿨링 챔버의 내부에서 상기 기판을 지지하며 상기 기판을 이송 및 냉각하는 하는 이송 겸용 냉각유닛을 포함하고,
상기 이송 겸용 냉각유닛은,
내부에 냉각용 유체가 유동되는 유동관로가 형성되며, 상기 기판에 접촉되는 아우터 튜브를 구비하는 이송 겸용 냉각용 롤러모듈;
이송 겸용 냉각용 롤러모듈에 연결되고, 상기 유동관로에 연통되는 내부공간이 형성되며, 상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈에 상기 냉각용 유체를 전달하는 전달모듈; 및
상기 아우터 튜브에 연결되며, 상기 아우터 튜브를 회전시키는 이송용 구동모듈을 포함하며,
상기 아우터 튜브는 상기 전달모듈에 상대회전 가능하게 연결되고,
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은,
상기 전달모듈에 결합되어 상기 아우터 튜브를 회전 가능하게 지지하며, 상기 아우터 튜브와 상기 전달모듈의 연결영역을 실링하는 지지 겸용 실링부;
상기 아우터 튜브의 내부에 배치되며, 상기 전달모듈에 결합되는 이너 튜브;
상기 아우터 튜브의 내벽에 결합되며, 상기 이너 튜브의 말단부 영역에 회전 가능하게 연결되는 이너 튜브 지지부; 및
상기 쿨링 챔버의 측벽에 결합되며, 상기 아우터 튜브를 회전 가능하게 지지하는 아우터 튜브 지지부를 포함하며,
상기 지지 겸용 실링부는,
상기 전달모듈에 결합되는 몸체부;
상기 몸체부에 마련되며, 상기 아우터 튜브에 연결되어 상기 몸체부와 상기 아우터 튜브 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제1 밀봉부재;
상기 몸체부에 마련되고 상기 제1 밀봉부재에 대해 이격되어 배치되며, 상기 아우터 튜브에 연결되어 상기 몸체부와 상기 아우터 튜브 사이의 틈새(gap)를 밀봉하는 제2 밀봉부재; 및
상기 몸체부와 상기 아우터 튜브에 결합되며, 상기 제1 밀봉부재와 상기 제2 밀봉부재 사이에 배치되는 베어링을 포함하며,
상기 이너 튜브 지지부는,
상기 아우터 튜브의 내벽에 결합되는 이너 튜브 지지용 몸체부;
상기 이너 튜브 지지용 몸체부에 마련되며, 상기 이너 튜브 지지용 몸체부와 상기 이너 튜브 사이의 틈새를 밀봉하는 유체 누설 방지용 오링; 및
내륜이 상기 이너 튜브에 결합되고 외륜이 상기 이너 튜브 지지용 몸체부에 결합되는 이너 튜브 지지용 베어링을 포함하며,
상기 아우터 튜브 지지부는,
상기 쿨링 챔버의 내벽에 결합되는 아우터 튜브 지지용 몸체부;
상기 아우터 튜브 지지용 몸체부에 마련되며, 상기 아우터 튜브 지지용 몸체부와 상기 아우터 튜브 사이의 틈새를 밀봉하는 파티클 방지용 오링; 및
내륜이 상기 아우터 튜브에 결합되고 외륜이 상기 아우터 튜브 지지용 몸체부에 결합되는 아우터 튜브 지지용 베어링을 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 이너 튜브의 내부에는 상기 유동관로의 일부인 제1 유동관로가 마련되며,
상기 이너 튜브는, 상기 이너튜브의 외벽과 상기 아우터 튜브의 내벽 사이에 상기 유동관로의 일부이며 상기 제1 유동관로에 연통되는 제2 유동관로가 형성되도록, 상기 아우터 튜브의 내벽에 대하여 이격되어 배치되는 인라인 스퍼터링 시스템. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제5항에 있어서,
상기 이송 겸용 냉각용 롤러모듈은 상호 이격되어 배치되는 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈을 포함하며,
상기 전달모듈은,
상기 다수개의 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈 각각에 연결되는 다수개의 단위 전달모듈; 및
이웃한 상기 단위 전달모듈을 연결하며, 상기 단위 전달모듈의 내부공간과 이웃한 상기 단위 전달모듈에 결합된 이너 튜브의 제1 유동관로를 연통하는 연결라인을 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 제10항에 있어서,
상기 이송 겸용 냉각유닛에 연결되며, 상기 냉각용 유체를 이송 겸용 냉각유닛에 공급하고 상기 이송 겸용 냉각유닛에 배출된 상기 냉각용 유체를 전달받는 유체 순환유닛을 더 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 제11항에 있어서,
상기 유체 순환유닛은,
상기 단위 이송 겸용 냉각용 롤러모듈들 중 적어도 어느 하나의 이너 튜브의 제1 유동관로에 연통되는 유체 주입라인;
상기 단위 전달모듈 중 적어도 어느 하나의 내부공간에 연통되는 유체 배출라인; 및
상기 유체 주입라인과 상기 유체 배출라인에 연결되고, 상기 유체 배출라인의 상기 냉각용 유체를 상기 유체 주입라인으로 전달하며, 상기 냉각용 유체를 열교환시키는 열교환부를 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 제12항에 있어서,
상기 이송 겸용 냉각유닛은, 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치되고,
상기 유체 순환유닛은, 다수개로 마련되어 상기 이송 겸용 냉각유닛들 각각에 개별적으로 연결되며,
상기 유체 순환유닛은, 상기 열교환부에 연결되며 상기 열교환부에서 배출되는 상기 냉각용 유체의 온도를 조절하는 온도 제어부를 더 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 이송용 구동모듈은,
상기 기판을 지지하는 이송롤러;
상기 이송롤러가 결합되는 롤러 샤프트;
상기 롤러 샤프트를 회전시키는 구동 모터; 및
상기 롤러 샤프트와 상기 아우터 튜브에 연결되는 동력 전달부를 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템. - 제14항에 있어서,
상기 동력 전달부는,
상기 롤러 샤프트에 마련되는 제1 타이밍 기어와 상기 아우터 튜브에 마련되는 제2 타이밍 기어에 치합되는 타이밍 벨트를 포함하는 인라인 스퍼터링 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160031275A KR101795439B1 (ko) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 인라인 스퍼터링 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160031275A KR101795439B1 (ko) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 인라인 스퍼터링 시스템 |
Publications (2)
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|---|---|
| KR20170107672A KR20170107672A (ko) | 2017-09-26 |
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ID=60036737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160031275A KR101795439B1 (ko) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | 인라인 스퍼터링 시스템 |
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|---|---|---|---|---|
| KR102548889B1 (ko) * | 2022-02-22 | 2023-06-28 | 주성엔지니어링(주) | 기판처리용 스퍼터링 장치 |
| CN115097661B (zh) * | 2022-06-10 | 2024-04-09 | 盐城市益维光电科技有限公司 | 一种led切割生产线用冷却装置及其使用方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012172722A1 (ja) * | 2011-06-15 | 2012-12-20 | パナソニック株式会社 | 基板搬送ローラ、薄膜製造装置及び薄膜製造方法 |
-
2016
- 2016-03-16 KR KR1020160031275A patent/KR101795439B1/ko active IP Right Grant
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|---|---|---|---|---|
| WO2012172722A1 (ja) * | 2011-06-15 | 2012-12-20 | パナソニック株式会社 | 基板搬送ローラ、薄膜製造装置及び薄膜製造方法 |
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