KR101779654B1 - 진공 게이트밸브 - Google Patents

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KR101779654B1
KR101779654B1 KR1020150002785A KR20150002785A KR101779654B1 KR 101779654 B1 KR101779654 B1 KR 101779654B1 KR 1020150002785 A KR1020150002785 A KR 1020150002785A KR 20150002785 A KR20150002785 A KR 20150002785A KR 101779654 B1 KR101779654 B1 KR 101779654B1
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김용기
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    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
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Abstract

본 발명은 진공 게이트밸브를 개시한다. 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브는, 외부와 연통되는 개구부가 적어도 하나 이상 형성되는 하우징; 상기 하우징의 일 측에 구비되며, 회전력을 발생시키는 구동부; 상기 구동부로부터 동력을 전달받는 제1 기어부; 상기 제1 기어부와 맞물리고, 상기 제1 기어부가 움직이면 소정 각도만큼 회전되는 제2 기어부; 상기 하우징에 구비되고, 상기 개구부 가운데 어느 하나를 개폐하는 커버부; 및 일 측이 상기 제2 기어부의 회전축과 결합되고, 타 측이 상기 커버부와 결합되며, 상기 제2 기어부가 회전되면 상기 커버부를 수평 이동시키는 링크부를 포함한다.

Description

진공 게이트밸브{VACUUM GATE VALVE}
본 발명은 진공 게이트밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 게이트 밸브를 구동시킬 직동 실린더 및 피스톤 장치가 필요없고, 로터리 액추에이터에 의해 직선운동을 회전운동으로 전달받아 맞물리는 두 기어장치에 의해 회전력을 전달받아 구동되는 링크에 의해 수평 이동이 가능하여 공정챔버와 연통되는 개구부를 개폐시킬 수 있는 진공 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로 진공 챔버는 진공의 작업환경이 요구되는 반도체칩, 웨이퍼, LCD패널과 같은 장비를 제조하기 위한 시설이며, 진공 챔버에 부착되는 진공 게이트밸브는 진공 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로, 디스플레이나 반도체 기판을 제작할 때 각종 공정을 격리하기 위해서 사용하며, 공정용 진공 챔버와 로드락에 배치하여 기판을 이송하는 게이트 역할을 할 수 있다.
종래의 진공 게이트밸브는 진공 챔버 내에서 이루어지는 여러가지 작업에 따라 반복적으로 이동을 하고, 진공 챔버의 기밀성을 유지하기 위하여 출구를 막는 연속적인 동작으로 인해 중심 위치를 벗어나게 되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 진공 게이트밸브는 다수의 링크와, 다수의 링크를 구동시키기 위한 실린더 장치가 구비되어 압력에 따라 이동이 가능한 형태로 구비되었으며, 이 경우에는 진공 게이트밸브를 구동시키는 실린더 장치로 인해 차지하는 면적이 커지는 문제점이 있었다.
본 발명은 종래의 문제점을 해결할 수 있도록 진공 게이트밸브를 구동시키기 위한 직동 실린더장치가 필요 없어 최소한의 공간에 설치할 수 있고, 맞물리는 두 기어장치로부터 회전력을 전달받아 개구부를 밀폐 또는 개방시킬 수 있도록 수평 이동이 가능한 진공 게이트밸브를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브는, 외부와 연통되는 개구부가 적어도 하나 이상 형성되는 하우징; 상기 하우징의 일 측에 구비되며, 회전력을 발생시키는 구동부; 상기 구동부로부터 동력을 전달받는 제1 기어부; 상기 제1 기어부와 맞물리고, 상기 제1 기어부가 움직이면 소정 각도만큼 회전되는 제2 기어부; 상기 하우징에 구비되고, 상기 개구부 가운데 어느 하나를 개폐하는 커버부; 및 일 측이 상기 제2 기어부의 회전축과 결합되고, 타 측이 상기 커버부와 결합되며, 상기 제2 기어부가 회전되면, 상기 커버부를 수평 이동시키는 링크부를 포함한다.
또한, 상기 제1 기어부는 원형 형상의 평기어이고, 상기 제2 기어부는 부채꼴 형상의 평기어이다.
또한, 상기 하우징에는 상기 제2 기어부의 회전축이 관통하고, 상기 제2 기어부가 회전 가능하게 지지하는 지지부가 구비된다.
또한, 상기 링크부는 일 측이 상기 회전축과 결합되는 제1 링크와, 일 측이 상기 제1 링크와 회동 가능하게 결합되고 타 측이 상기 커버부와 회동 가능하게 결합되는 제2 링크를 포함하고, 상기 제1 링크는 상기 회전축과 일체로 구동된다.
또한, 상기 지지부와 상기 회전축 사이에는 적어도 하나 이상의 회전축 오링 또는 자성유체씰이 구비되고, 상기 회전축의 회전을 지지하는 베어링이 적어도 하나 이상 구비된다.
또한, 상기 구동부의 내부에는, 회전력을 발생시키는 구동원과, 상기 구동원으로부터 동력을 전달받아 수평 이동하는 랙기어와, 상기 랙기어와 맞물리고, 상기 제1 기어부와 일체로 회전되는 평기어가 구비된다.
또한, 상기 개구부는 진공챔버와 연통되는 하부 개구부와, 웨이퍼가 공급되는 상부 개구부를 포함한다.
또한, 상기 커버부는 상기 하부 개구부를 밀폐시키는 제1 플레이트와, 상기 링크부와 결합되는 제2 플레이트와, 일단이 상기 제1 플레이트에 회동 가능하게 결합되고, 타단이 상기 제2 플레이트와 회동 가능하게 결합되는 압축 링크와, 상기 제2 플레이트의 측면에 구비되어 상기 커버부의 수평 이동을 용이하게 하는 이송 롤러가 적어도 하나 이상 구비된다.
또한, 상기 커버부의 일 단에는 상기 링크부가 회동 가능하게 결합되고, 상기 커버부의 타 단에는 상기 하우징의 내주면에 닿을 수 있는 스토퍼가 구비되며, 상기 링크부가 상기 커버부를 밀어서 상기 커버부가 상기 하부 개구부 상에 위치되면, 상기 압축 링크가 회전되어 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이의 간격이 증가하고, 상기 압축 링크가 상기 제1 플레이트를 수직 하방으로 눌러 상기 하부 개구부를 밀폐시킨다.
또한, 상기 제1 플레이트의 하부에는 상기 하부 개구부 주위를 밀봉시키는 하부 개구부 오링이 구비된다.
본 발명에 의하면, 진공 게이트밸브를 구동시키기 위하여 공기를 압축하는 실린더 및 피스톤 장치가 없어 공정에서 차지하는 공간이 감소하여 공간 효율성이 높아질 수 있다.
또한, 하우징 내에서 이동되면서 개구부를 개폐시키는 커버부와, 커버부를 용이하게 이동시키는 이송 롤러가 구비되어있어 수평 이동이 원활하게 이루어질 수 있고, 이송 롤러에 의해 하우징과 커버부가 소정 간격 이격되어 있어 커버부의 마모 현상을 방지할 수 있다.
또한, 커버부의 하부에 오링이 구비되어 있어 공정챔버와 연통되는 하우징의 개구부의 기밀성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 진공 게이트밸브의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브가 공정 챔버와 연결된 형상을 도시하는 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 구동부 내부에 구비되는 구동원과, 구동원로부터 동력을 전달받는 랙기어와, 랙기어와 맞물려 회전되는 평기어를 도시하는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 지지부의 내부를 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 커버부 및 링크부를 확대 도시하는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 커버부의 측단면도이다.
도 9(a)는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브가 이동되기 전 하우징의 상부 및 하부 개구부가 개방된 형태를 도시하는 측단면도이다.
도 9(b)는 도 9(a)의 진공 게이트밸브가 개구부 측으로 이동된 형상을 도시하는 측단면도이다.
도 9(c)는 도 9(b)의 진공 게이트밸브의 커버부 하단에 구비된 하부 개구부 오링에 의해 하부 개구부가 완전히 밀폐된 형상을 도시하는 측단면도이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상이 그와 같은 실시예에 제한되지 않고, 본 발명의 사상은 실시예를 이루는 구성요소의 부가, 변경 및 삭제 등에 의해서 다르게 제안될 수 있을 것이나, 이 또한 발명의 사상에 포함되는 것이다.
도 1은 종래의 진공 게이트밸브의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 진공 게이트밸브는 하우징(2)과, 실린더(3)와, 피스톤(4)과, 제1 구동링크(5), 플레이트(6), 제2 구동링크(7)를 포함할 수 있다.
하우징(2)은 외관을 형성할 수 있고, 일 면이 개방된 개구부가 형성되며 플레이트(6)의 수평 이동에 따라 밀폐 또는 개방될 수 있다. 하우징(2)은 내부에 중공부가 형성된 직육면체 형상으로 형성될 수 있고, 스테인리스 재질로 형성될 수 있다.
실린더(3)는 하우징(2)의 외측에 돌출되어 형성될 수 있다. 실린더(3)는 피스톤(4)과 결합되며, 피스톤(4)이 실린더(3)의 내부를 관통하여 왕복 운동함에 따라 제1 구동링크(5)를 구동시킬 수 있다. 이 때, 제1 구동링크(5)는 피스톤(4)과 일체로 구동될 수 있다.
제1 구동링크(5)가 구동되면, 제1 구동링크(5)와 회동 가능하게 결합되는 제2 구동링크(7)가 구동되고, 제2 구동링크(7)와 결합된 플레이트(5)가 수평방향으로 이동할 수 있다. 실린더(3)의 내부로 피스톤(4)이 압축되면, 피스톤(4)과 일체로 구동되는 제1 구동링크(5)가 구동되고, 플레이트(5)가 실린더(3) 방향으로 이동될 수 있고, 하우징(2)에 형성된 개구부가 개방될 수 있다. 반대로, 실린더(3) 내부로 압축되었던 피스톤(4)은 실린더(3) 내부의 압력이 저하되면 외부로 이동할 수 있다. 피스톤(4)이 완전히 외부로 노출되면, 피스톤(4)과 일체로 구동되는 제1 구동링크(5)와, 제1 구동링크(5)에 회동 가능하게 결합된 제2 구동링크(7)가 구동되고, 플레이트(6)는 하우징(2)에 형성된 상기 개구부상에 위치하게 되어 상기 개구부를 밀폐시킬 수 있다.
이러한 종래의 진공 게이트밸브는 실린더(3)가 하우징(2)의 외측으로 돌출되는 구조로, 실린더(3)가 차지하는 부피가 커서 공정 수행을 위한 챔버(미도시)와 결합했을 때 차지하는 공간이 넓어져 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브가 공정 챔버와 연결된 형상을 도시하는 개략도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 확대 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 구동부 내부에 구비되는 구동원과, 구동원으로부터 동력을 전달받는 랙기어와, 랙기어와 맞물려 회전되는 평기어를 도시하는 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 지지부의 내부를 도시하는 단면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브(10)는 하우징(100)과, 구동부(200)와, 제1 기어부(300)와, 제2 기어부(400)와, 커버부(500)와, 링크부(600)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브(10)의 하부는 공정챔버와 연통될 수 있다.
일례로, 공정챔버는 진공챔버일 수 있고, 반도체 웨이퍼를 주입하여 반도체 소자를 제작하는 반도체 공정으로 이용될 수 있다. 이 때, 진공 게이트밸브(10)의 상부에는 상기 공정챔버로 유입될 반도체 웨이퍼(w)를 다수개 포함하는 카세트(Cassette)가 적재될 수 있고, 진공 게이트밸브(10)가 수평 이동되어 상기 공정챔버에 형성된 개구부(미도시)를 개방 또는 밀폐시켜서 반도체 웨이퍼(w)를 공정챔버 내로 유입시킬 수 있다.
상기 공정챔버의 일 측에는 반도체 웨이퍼(w)에 붕소, 비소, 안티몬과 같은 불순물의 이온을 주입할 수 있는 이온주입부(Ion implantation)가 구비될 수 있다. 상기 불순물은 상기 공정챔버 내에서 이온화되어 반도체 안으로 주입될 수 있고, 주입량과 가속 전압의 제어에 따라 불순물의 분포가 정밀하게 결정될 수 있다.
하우징(100)은 외부와 연통되는 개구부(110, 120)가 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 개구부(110, 120)는 진공챔버(미도시)와 연통되는 하부 개구부(110)와, 반도체 웨이퍼(w)가 공급되는 상부 개구부(120)를 포함할 수 있다.
하우징(100)은 내부에 중공부가 형성된 직육면체 형상으로 형성될 수 있고, 적어도 스테인리스와 같은 금속 재질로 형성될 수 있다.
구동부(200)는 하우징(100)의 일 측에 구비될 수 있고, 회전력을 발생시킬 수 있다.
구동부(200)의 내부에는 회전력을 발생시키는 구동원(210)과, 구동원(210)으로부터 동력을 전달받아 회전되는 제1 평기어(220)와, 제1 평기어와 맞물리고 수평 이동하는 랙기어(230)와, 랙기어(230)와 맞물리고 제1 기어부(300)와 일체로 회전되는 제2 평기어(240)가 구비될 수 있다. 구동원(210)이 작동하면, 구동원(210)과 연결된 제1 평기어(220)가 동력을 전달받아 회전될 수 있고, 랙기어(230)를 수평 방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있다. 랙기어(230)와 맞물리는 제2 평기어(240)는 랙기어(230)의 수평 운동을 회전 운동으로 바꿀 수 있고, 랙기어(230)가 이동하는 방향에 따라 제2 평기어(240) 및 이와 일체로 회전되는 제1 기어부(300)의 회전 방향이 변화될 수 있다. 구동원(210)은 전기를 공급받아 구동원의 축에 회전력을 발생시키는 모터장치 또는 직선운동을 회전운동으로 변화시켜 회전력을 발생시키는 로터리 액추에이터가 될 수 있다.
제1 기어부(300)는 구동부(200)로부터 동력을 전달받을 수 있고, 제2 기어부(400)는 제1 기어부(300)와 맞물리고, 제1 기어부(300)가 움직이면 소정 각도만큼 회전될 수 있다.
제1 기어부(300)는 원형 형상의 평기어일 수 있고, 제2 기어부(400)는 부채꼴 형상의 평기어일 수 있다. 제1 기어부(300)는 구동부(200) 내부에 구비되는 평기어(230)와 하나의 축으로 결합될 수 있고, 구동원(210)이 구동되어 동력을 전달받은 평기어(230)와 제1 기어부(300)는 한꺼번에 회전될 수 있다.
하우징(100)에는 제2 기어부(400)의 회전축(430)이 관통할 수 있고, 제2 기어부(400)가 회전 가능하도록 지지하는 지지부(410)가 구비될 수 있다. 지지부(410)와 회전축(430) 사이에는 적어도 하나 이상의 회전축 오링(430) 또는 자성유체씰(미도시)이 구비될 수 있고, 회전축(430)의 회전을 지지하는 베어링(440)이 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 일례로, 지지부(410)와 회전축(430) 사이에 상기 자성유체씰이 구비되는 경우에는, 상기 자성유체씰이 정지되어있는 자석과 회전축(430) 사이에 자력 형성을 유도함으로써 자성유체 주입시 회전축 오링(430)과 같은 막을 형성하여 씰링할 수 있고, 비접촉식으로 회전 시 마찰이 거의 없는 장점이 있다.
커버부(500)는 하우징(100)에 구비될 수 있고, 개구부(110, 120) 가운데 어느 하나를 개폐할 수 있으며, 링크부(600)는 일 측이 커버부(500)와 결합되어 커버부(500)를 수평 이동시킬 수 있다.
커버부(500) 및 링크부(600)의 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 커버부 및 링크부를 확대 도시하는 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 커버부의 측단면도이며, 도 9(a)는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브가 이동되기 전 하우징의 상부 및 하부 개구부가 개방된 형태를 도시하는 측단면도이고, 도 9(b)는 도 9(a)의 진공 게이트밸브가 개구부 측으로 이동된 형상을 도시하는 측단면도이며, 도 9(c)는 도 9(b)의 진공 게이트밸브의 커버부 하단에 구비된 하부 개구부 오링에 의해 하부 개구부가 완전히 밀폐된 형상을 도시하는 측단면도이다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브(10)는 커버부(500) 및 링크부(600)를 포함할 수 있다.
커버부(500)는 하우징(100)에 형성되는 하부 개구부(110)를 밀폐시킬 수 있는 제1 플레이트(510)와, 링크부(600)와 결합되는 제2 플레이트(520)을 포함할 수 있다. 압축 링크(540)는 일 단이 제1 플레이트(510)에 회동 가능하게 결합될 수 있고, 타 단이 제2 플레이트(520)와 회동 가능하게 결합될 수 있으며, 제1 플레이트(510) 또는 제2 플레이트(520)의 측면에 구비되어 커버부(500)의 수평 이동을 용이하게 하는 이송 롤러(530)가 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 이 때, 커버부(500)를 구성하는 제1 플레이트(510)와, 제2 플레이트(520)는 한 쌍으로 구비될 수 있다.
커버부(500)의 일 단에는 링크부(600)가 회동 가능하게 결합될 수 있고, 커버부(500)의 타 단에는 하우징(100)의 내주면에 닿을 수 있는 스토퍼(550)가 구비될 수 있다.
링크부(600)는 일 측이 제2 기어부(400)의 회전축(420)과 결합되고, 타 측이 커버부(500)와 결합되며, 제2 기어부(400)가 회전되면 커버부(500)를 수평 이동시킬 수 있다.
링크부(600)는 일 측이 회전축(420)과 결합되는 제1 링크(610)와, 일 측이 제1 링크(610)와 회동 가능하게 결합되고, 타 측이 커버부(500)와 회동 가능하게 결합되는 제2 링크(620)를 포함할 수 있고, 이 때, 제1 링크(610)와 회전축(420)은 일체로 구동될 수 있다. 제1 링크(610)의 일 단에는 회전축(420)이 결합될 수 있는 회전축 결합부(611)가 형성될 수 있다. 회전축 결합부(611)와 회전축(420) 사이에는 베어링(440)이 결합될 수 있고, 베어링(440)에 의해 회전축(420)의 회전이 지지될 수 있다.
일례로, 개구부(110, 120)가 밀폐되는 경우(도 8 및 도 9(c)참조)에는, 제2 기어부(400)의 회전축(420)과 결합되어 회동되는 링크부(600)가 커버부(500)를 밀 수 있고, 커버부(500)가 하우징(100)의 하부 개구부(110) 상에 위치하게 되면, 압축 링크(540)가 회전되어 제1 플레이트(510)와 제2 플레이트(520) 사이의 간격을 증가시키고, 압축 링크(540)가 제1 플레이트(510)를 수직 하방으로 눌러 하부 개구부(110)를 밀폐시킬 수 있다. 이 때, 제1 플레이트(510)의 하부에는 하부 개구부(110)의 주위를 밀봉시킬 수 있는 하부 개구부 오링(560)이 구비될 수 있다.
반대로, 개구부(110, 120)가 개방되는 경우(도 7 및 도 9(a)참조)에는, 제2 기어부(400)가 움직이면 링크부(600)가 구동되어 커버부(500)를 수평 이동 시켜 개구부(110, 120)를 개방시킬 수 있다. 이 때, 압축 링크(540)는 소정 각도 기울어진 상태일 수 있고, 개구부(110, 120)가 밀폐되었을 때의 제1 플레이트(510)와 제2 플레이트(520) 사이의 간격보다 개구부(110, 120)가 개방되었을 때의 간격이 더 좁아질 수 있다.
다시 말해, 개구부(110, 120)가 개방된 경우에는 압축 링크(540)가 소정 각도 기울어진 상태이며, 제1 플레이트(510)의 하부에 구비되는 하부 개구부 오링(560)은 하우징(100)과 소정 간격 이격된 상태일 수 있다.
그 다음에, 링크부(600)가 구동되어 커버부(500)를 밀어 개구부(110, 120)가 밀폐되는 경우에는 이송 롤러(530)에 의해 개구부(110, 120)상에 커버부(500)가 위치하게 되고, 하우징(100)의 내주면은 커버부(500)의 일 단에 구비되는 스토퍼(560)와 맞닿은 상태가 될 수 있다. 이 상태에서 링크부(600)가 제2 플레이트(520)를 더욱 밀면 압축 링크(540)가 회전되고, 제1 플레이트(510)와 제2 플레이트(520) 사이의 간격이 증가되며, 압축 링크(540)가 제1 플레이트(510)를 수직 하방으로 눌러 상기 공정챔버와 연통되는 하부 개구부(110)를 밀폐시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 작용에 대하여 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브(10)는 공정챔버와 연통될 수 있고, 상기 공정챔버의 유입구(미도시)를 개방 또는 밀폐시킬 수 있다.
하우징(100)에는 상기 유입구와 연통될 수 있는 개구부(110, 120)가 형성되고, 하우징(100)의 내부를 따라 수평 이동하는 커버부(500)에 의해 개구부(110, 120)를 개폐시킬 수 있다.
먼저, 커버부(500)가 수평이동하기 위하여 구동부(200)의 구동원(210)이 작동될 수 있다. 구동원(210)이 작동하면, 구동원의 축(미도시)과 결합되어 수평이동하는 랙기어(220)에 동력이 전달되고, 랙기어(220)와 맞물린 평기어(230)는 제1 기어부(300)와 일체로 회전될 수 있다.
그 다음에, 제1 기어부(300)가 회전되면, 제1 기어부(300)와 맞물린 제2 기어부(400)가 회전될 수 있고, 제2 기어부(400)의 회전축(420)과 결합되어 회전력을 전달받는 링크부(600)가 구동될 수 있다. 링크부(600)의 제1 링크(610)가 회전축(420)의 회전에 따라 구동되면, 제1 링크(610)와 회동 가능하게 결합되는 제2 링크(620)가 회동되고, 제2 링크(620)와 결합된 커버부(500)가 하우징(100)의 개구부(110, 120) 측으로 이동되어 밀폐시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브(10)는 하우징(100)의 외측으로 돌출되어 구비되는 실린더(3) 장치와, 실린더(3)의 내부로 왕복운동하는 피스톤(4)에 관한 구성을 포함하지 않아도 되므로 진공 게이트밸브(10)가 차지하는 공간을 줄일 수 있어 공간 효율성이 증가되는 효과가 있다.
또한, 상기 공정챔버의 유입구를 밀폐시킬 때, 커버부(500)의 제1 플레이트(510) 하부에 하부 개구부 오링(560)이 구비되어 빈틈없이 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 제1 플레이트(510)와 제2 플레이트(520) 사이에 회동 가능하게 결합되는 압축 링크(540)가 구비되어, 개구부(110, 120)를 밀폐시킬 때 압축 링크(540)가 회전되어 수직 하방으로 누르는 압력으로 인해 더욱 견고히 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.
2,100: 하우징 3: 실린더
4: 피스톤 5: 제1 구동링크
6: 플레이트 7: 제2 구동링크
10: 진공 게이트밸브 110, 120: 개구부
200: 구동부 210: 구동원
220: 제1 평기어 230: 랙기어
240: 제2 평기어 300: 제1 기어부
400: 제2 기어부 410: 지지부
420: 회전축 430: 회전축 오링
440: 베어링 500: 커버부
510: 제1 플레이트 520: 제2 플레이트
530: 이송 롤러 540: 압축 링크
550: 스토퍼 560: 하부 개구부 오링
600: 링크부 610: 제1 링크
611: 회전축 결합부 620: 제2 링크
w: 반도체 웨이퍼

Claims (10)

  1. 외부와 연통되는 개구부가 적어도 하나 이상 형성되는 하우징;
    상기 하우징의 상면에 구비되며, 동력을 발생시키는 구동부;
    상기 구동부로부터 동력을 전달받는 제1 기어부;
    상기 하우징의 상면에 구비되며, 상기 제1 기어부와 맞물리고, 상기 제1 기어부가 움직이면 소정 각도만큼 회전되는 제2 기어부;
    상기 하우징에 구비되고, 상기 개구부 가운데 어느 하나를 개폐하는 커버부; 및
    상기 하우징의 내부에 구비되며, 일 측이 상기 제2 기어부의 회전축과 결합되고, 타 측이 상기 커버부와 결합되며, 상기 제2 기어부가 회전되면 상기 커버부를 수평 이동시키는 링크부;
    를 포함하고,
    상기 하우징에는 상기 제2 기어부의 회전축이 관통하고, 상기 제2 기어부가 회전 가능하게 지지하는 지지부가 구비되며,
    상기 제1 기어부는 원형 형상의 평기어이고, 상기 제2 기어부는 부채꼴 형상의 평기어인 것을 특징으로 하고,
    상기 지지부와 상기 회전축 사이에는 적어도 하나 이상의 회전축 오링 또는 자성유체씰이 구비되고, 상기 회전축의 회전을 지지하는 베어링이 적어도 하나 이상 구비되며,
    상기 구동부의 내부에는 회전력을 발생시키는 구동원과, 상기 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되는 제1 평기어와, 제1 평기어와 맞물리고 수평 이동하는 랙기어와, 상기 랙기어와 맞물리고 상기 제1 기어부와 일체로 회전되는 제2 평기어가 구비되고,
    상기 링크부는 일 측이 상기 회전축과 결합되는 제1 링크와, 일 측이 상기 제1 링크와 회동 가능하게 결합되고, 타 측이 상기 커버부와 회동 가능하게 결합되는 제2 링크를 포함하고, 상기 제1 링크는 상기 회전축과 일체로 구동되며,
    상기 개구부는 진공챔버와 연통되는 하부 개구부와, 웨이퍼가 공급되는 상부 개구부를 포함하고,
    상기 커버부는 상기 하부 개구부를 밀폐시키는 제1 플레이트와, 상기 링크부와 결합되는 제2 플레이트와, 일 단이 상기 제1 플레이트에 회동 가능하게 결합되고, 타 단이 상기 제2 플레이트와 회동 가능하게 결합되는 압축 링크와,
    상기 제2 플레이트의 측면에 구비되어 상기 커버부의 수평 이동을 용이하게 하는 이송 롤러가 적어도 하나 이상 구비되며,
    상기 커버부의 일 단에는 상기 링크부가 회동 가능하게 결합되고, 상기 커버부의 타 단에는 상기 하우징의 내주면에 닿을 수 있는 스토퍼가 구비되며,
    상기 링크부가 상기 커버부를 밀어서 상기 커버부가 상기 하부 개구부 상에 위치되면, 상기 압축 링크가 회전되어 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이의 간격이 증가하고, 상기 압축 링크가 상기 제1 플레이트를 수직 하방으로 눌러 상기 하부 개구부를 밀폐시키는 진공 게이트밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 플레이트의 하부에는 상기 하부 개구부 주위를 밀봉시키는 하부 개구부 오링이 구비되는 진공 게이트밸브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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