KR101777771B1 - 유체분사장치 - Google Patents

유체분사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101777771B1
KR101777771B1 KR1020150160373A KR20150160373A KR101777771B1 KR 101777771 B1 KR101777771 B1 KR 101777771B1 KR 1020150160373 A KR1020150160373 A KR 1020150160373A KR 20150160373 A KR20150160373 A KR 20150160373A KR 101777771 B1 KR101777771 B1 KR 101777771B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flow path
block
forming member
plate
path forming
Prior art date
Application number
KR1020150160373A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170057492A (ko
Inventor
조재연
박용석
박호윤
박강순
김민식
Original Assignee
주식회사 디엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디엠에스 filed Critical 주식회사 디엠에스
Priority to KR1020150160373A priority Critical patent/KR101777771B1/ko
Priority to CN201610973269.7A priority patent/CN107008696B/zh
Publication of KR20170057492A publication Critical patent/KR20170057492A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101777771B1 publication Critical patent/KR101777771B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2205/00—Details of machines or methods for cleaning by the use of gas or air flow

Landscapes

  • Nozzles (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 내부에 유체가 수용되는 상부챔버를 갖는 상부블럭; 상기 상부챔버와 연통되는 유로를 형성하면서 상기 상부블럭의 하부에 배치되는 하부블럭; 그리고, 상기 상부블럭 및 상기 하부블럭의 양측면에 결합되되, 상기 상부챔버로 상기 유체를 주입하기 위한 유체주입부가 형성되어 있는 측면블럭을 포함하고, 상기 하부블럭은 상기 상부블럭의 하부에서 서로 맞대어 배치되는 제1 외부플레이트 및 내부플레이트와, 상기 제1 외부플레이트와 상기 내부플레이트 사이에 배치되어 제1 유로벽을 형성하면서 상기 제1 외부플레이트 및 상기 내부플레이트와 함께 제1 유로를 형성하는 제1 유로형성부재와, 상기 내부플레이트에 상기 제1 유로형성부재를 고정하기 위한 유로형성부재 고정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체분사장치를 제공한다.

Description

유체분사장치{Apparatus for jetting fluid}
본 발명은 유체분사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제품의 가공공정을 단순화할 수 있고 결합구조를 단순화함으로써 제작비용이 절감되는 유체분사장치에 관한 것이다.
일반적으로 유체분사장치는 기판을 세정한 후에 압축 에어를 기판에 분사하여 기판에 남아 있는 세정액을 제거하는데 이용된다.
이러한 유체분사장치는 중간 부분에 유로가 제공될 수 있도록 두 겹의 플레이트를 서로 겹쳐지게 배열하여 상기 유로를 통하여 압축된 공기를 분사할 수 있는 구조를 가진다.
이러한 유체분사장치는 기판의 상부에 배치되어 기판이 이동함에 따라 압축 에어를 기판의 표면에 분사하여 기판의 표면에 묻어있는 세정액 등을 제거하는 것이다.
그러나 이러한 종래의 유체분사장치는 상기 유로를 형성하기 위하여 플레이트 자체에 유로형성을 위한 홈을 별도로 가공하여야 하고 플레이트들의 결합구조가 복잡하기 때문에 제품을 제작함에 있어서 비용과 시간이 많이 소요되는 문제가 있다.
대한민국 등록특허공보 10-1020778호(발명의 명칭: 에어나이프 장치, 공고일: 2011년 3월 9일)
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 제품의 가공공정을 단순화할 수 있고 결합구조를 단순화함으로써 제작비용이 절감되는 유체분사장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 내부에 유체가 수용되는 상부챔버를 갖는 상부블럭; 상기 상부챔버와 연통되는 유로를 형성하면서 상기 상부블럭의 하부에 배치되는 하부블럭; 그리고, 상기 상부블럭 및 상기 하부블럭의 양측면에 결합되되, 상기 상부챔버로 상기 유체를 주입하기 위한 유체주입부가 형성되어 있는 측면블럭을 포함하고, 상기 하부블럭은 상기 상부블럭의 하부에서 서로 맞대어 배치되는 제1 외부플레이트 및 내부플레이트와, 상기 제1 외부플레이트와 상기 내부플레이트 사이에 배치되어 제1 유로벽을 형성하면서 상기 제1 외부플레이트 및 상기 내부플레이트와 함께 제1 유로를 형성하는 제1 유로형성부재와, 상기 내부플레이트에 상기 제1 유로형성부재를 고정하기 위한 유로형성부재 고정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체분사장치를 제공한다.
상기 하부블럭은 상기 내부플레이트를 기준으로 상기 제1 외부플레이트의 반대방향에 배치되는 제2 외부플레이트와, 상기 제2 외부플레이트와 상기 내부플레이트 사이에 배치되어 제2 유로벽을 형성하면서 상기 제2 외부플레이트 및 상기 내부플레이트와 제2 유로를 형성하는 제2 유로형성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 하부블럭은 상기 제1 외부플레이트, 상기 제1 유로형성부재, 상기 내부플레이트, 상기 제2 유로형성부재 및 상기 제2 외부플레이트를 동시에 결합시키기 위한 하부블럭 결합부재를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 유로형성부재는 상기 내부플레이트의 길이방향을 따라 형성되어 상기 내부플레이트의 상면에 배치되는 제1 연결프레임과, 상기 제1 연결프레임의 양단에서 하부로 연장형성되는 한 쌍의 제1 외측유로벽과, 상기 한 쌍의 제1 외측유로벽의 사이에서 일정간격으로 배치되면서 상기 제1 연결프레임의 하부로 연장되는 복수 개의 제1 내측유로벽들을 포함할 수 있다.
상기 제1 외부플레이트의 하부영역에는 상기 유체의 균일한 분사를 위한 제1 버퍼챔버가 형성되고, 상기 제1 내측유로벽의 하부영역은 상기 유체를 상기 제1 버퍼챔버로 분산안내하기 위하여 하단부로 갈수록 폭이 좁아지게 형성될 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 외측유로벽은 상기 제1 외부플레이트의 측단과 상기 내부플레이트의 측단 사이에 각각 배치되고, 상기 복수 개의 제1 내측유로벽들은 상기 한 쌍의 제1 외측유로벽보다 짧은 길이를 가지면서 형성될 수 있다.
상기 유로형성부재 고정유닛은 상기 제1 유로형성부재의 제1 연결프레임과 상기 제2 유로형성부재의 제2 연결프레임의 상면에 배치되는 유로형성부재 고정플레이트와, 상기 유로형성부재 고정플레이트와 상기 내부플레이트를 고정하기 위한 고정용 체결부재를 포함하며, 상기 유로형성부재 고정유닛은 상기 제1 유로형성부재와 상기 제2 유로형성부재를 동시에 고정시킬 수 있다.
상기 유체분사장치는 상기 상부블럭과 상기 하부블럭을 결합시키기 위한 블럭결합부재와, 상기 상부블럭과 상기 하부블럭 사이에 배치되어 상기 상부챔버의 유체가 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 이외의 공간으로 유출되는 것을 방지하기 위한 실링부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 유체분사장치는 외부플레이트와 내부플레이트 사이에 유로 형성부재를 삽입하여 유로를 형성함으로써 상기 외부플레이트 및 내부플레이트의 내측면에 별도의 홈을 가공하지 않아도 되기 때문에 가공 공정수가 줄어들고 이로 인하여 제품생산에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
특히, 유로형성부재는 수지계열의 재질로 일체로 형성되어 상기 외부플레이트와 내부플레이트의 사이에 전체적으로 설치됨으로써 결합구조가 간단하여 조립이 용이할 뿐만 아니라 유로의 깊이를 조정할 필요가 있는 경우에도 별도의 가공 공정없이 유로형성부재의 두께만 변경하면 되기 때문에 용도에 따라 유로의 깊이를 자유롭게 변경할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체분사장치의 일 실시 예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 유체분사장치의 분해 사시도 및 요부 확대도이다.
도 3은 도 1의 유체분사장치의 측면도이다.
도 4의 (a)는 도 3의 I-I의 단면을 나타낸 도면이고, 도 4의 (b)는 도 3의 II-II의 단면을 나타낸 도면이다.
도 5의 (a)는 도 2의 유체분사장치에 구비된 제1 측면블럭을 우측에서 바라본 사시도이고, 도 5의 (b)는 도 2의 유체분사장치에 구비된 제1 측면블럭을 좌측에서 바라본 사시도이다.
도 6은 도 2의 유체분사장치에 구비된 제1 유로형성부재의 사시도 및 요부 확대도이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1 내지 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 유체분사장치의 일 실시 예에 대하여 설명한다.
본 실시 예에 따른 유체분사장치는 기판을 세정한 후에 압축 유체를 기판에 분사하여 기판에 남아 있는 이물질, 예를 들면 세정액을 제거하는데 이용된다. 본 실시 예에서는 상기 유체로서 공기가 사용되지만 본 발명은 이에 한정되지는 않는다.
상기 유체분사장치는 상부블럭(100), 하부블럭(200) 및 측면블럭(300)을 포함하여 구성된다.
상기 상부블럭(100)은 내부에 유체가 수용되는 상부챔버(S)가 형성되는 상부블럭몸체(110)를 포함하고, 상기 상부블럭몸체(110)의 상면에는 외부의 구조물과의 결합을 위한 상부블럭 상면결합부(115)가 구비되어 있다.
상기 상부블럭몸체(110)의 하단면에는 상기 하부블럭(200)과의 결합을 위한 제1 상부블럭 결합부(111) 및 제2 상부블럭 결합부(113)가 형성되어 있다. 상기 제1 상부블럭 결합부(111) 및 상기 제2 상부블럭 결합부(113)는 후술할 제1 외부플레이트 상부결합부(215) 및 제2 외부플레이트 상부결합부(235)와 각각 대응된다.
상기 상부블럭(100)과 상기 하부블럭(200)은 블럭결합부재(미도시)에 의하여 결합되며, 상기 블럭결합부재는 상기 제1 외부플레이트 상부결합부(215)를 관통하여 상기 제1 상부블럭 결합부(111)에 결합되는 제1 블럭결합부재(미도시)와, 상기 제2 외부플레이트 상부결합부(235)를 관통하여 상기 제2 상부블럭 결합부(113)에 결합되는 제2 블럭결합부재(미도시)를 포함한다.
상기 상부블럭(100)과 상기 하부블럭(200) 사이에는 상기 상부챔버(S)의 유체가 상기 하부블럭(200)에 형성되는 제1 유로 및 제2 유로 이외의 공간으로 유출되는 것을 방지하기 위한 실링부재(400)가 설치된다.
또한, 상기 상부블럭몸체(110)의 측면에는 상기 측면블럭(300)과의 결합을 위한 상부블럭 측면결합부(117)가 각각 상기 상부챔버(S)의 양쪽에 구비된다. 상부블럭 측면결합부(117)는 상기 측면블럭(300)에 형성된 측면블럭 제1 상부결합부(311a) 및 측면블럭 제2 상부결합부(311b)와 위치별로 대응되면서 각각 결합된다.
상기 상부블럭(100)의 하단면은 상기 하부블럭(200)의 상단면과 경사지게 배치되어 결합되고, 상기 하부블럭(200)에 형성된 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로는 기판면에 대하여 경사지게 배치될 수 있다.
결과적으로, 상기 상부블럭(100)은 외부의 구조물에 대하여 수직으로 배치됨으로써 결합이 용이하고 분사장치의 이동제어가 편리하게 되면서도 유체가 분사되는 각도는 기판면에 대하여 경사각을 가짐으로써 기판면에 존재하는 이물질의 제거효율을 높일 수 있게 된다.
한편, 상기 하부블럭(200)은 상기 상부챔버(S)와 연통되는 유로를 형성하면서 상기 상부블럭(100)의 하부에 배치된다.
상기 하부블럭(200)은 제1 외부플레이트(210), 제2 외부플레이트(230), 내부플레이트(220), 제1 유로형성부재(240), 제2 유로형성부재(250), 유로형성부재 고정유닛(260) 및 하부블럭 결합부재(미도시)를 포함한다.
구체적으로, 상기 제1 외부플레이트(210)는 상기 내부플레이트(220)와 서로 맞대어 배치되며, 상기 제1 유로형성부재(240)는 상기 제1 외부플레이트(210)와 상기 내부플레이트(220) 사이에 배치된다.
상기 제1 외부플레이트(210)에는 상기 상부블럭몸체(110)와의 결합을 위한 제1 외부플레이트 상부결합부(215)가 형성되어 있고, 상기 하부블럭 결합부재가 관통하는 제1 외부플레이트 결합부(213)가 형성되어 있다.
또한, 상기 제1 외부플레이트(210)의 측면에는 상기 측면블럭(300)과의 결합을 위한 제1 측면결합부(217)가 형성되어 있다. 상기 제1 측면결합부(217)는 상기 측면블럭(300)에 형성된 측면블럭 제1 하부결합부(311c)와 대응된다.
또한, 상기 제1 외부플레이트(210)의 내측면 하부영역에는 상기 유체의 균일한 분사를 위한 제1 버퍼챔버(211)가 형성되어 있다.
상기 내부플레이트(220)에는 상기 하부블럭 결합부재가 관통하는 내부플레이트 결합부(223)가 형성되어 있고, 상기 내부플레이트(220)의 상면에는 상기 유로형성부재 고정유닛(260)과의 결합을 위한 내부플레이트 상면결합부(221)가 형성되어 있다.
상기 제1 유로형성부재(240)는 상기 제1 외부플레이트(210)와 상기 내부플레이트(220) 사이에 배치되어 제1 유로벽을 형성하면서 상기 제1 외부플레이트(210) 및 상기 내부플레이트(220)와 함께 제1 유로를 형성하게 된다.
상기 제1 유로형성부재(240)는 상기 내부플레이트(220)의 길이방향을 따라 형성되어 상기 내부플레이트(220)의 상면에 배치되는 제1 연결프레임(243)과, 상기 제1 연결프레임(243)의 양단에서 하부로 연장형성되는 한 쌍의 제1 외측유로벽(241)과, 상기 한 쌍의 제1 외측유로벽(241)의 사이에서 일정간격으로 배치되면서 상기 제1 연결프레임(243)의 하부로 연장되는 복수 개의 제1 내측유로벽(242)들을 포함한다.
상기 제1 연결프레임(243)에는 상기 유로형성부재 고정유닛(260)의 고정용 체결부재의 안착을 위한 제1 안착부(243a)가 함몰형성되어 있다.
상기 제1 내측유로벽(242) 및 상기 제1 외측유로벽(241)에는 상기 하부블럭 결합부재가 관통하는 제1 내측유로벽 결합홀(242a) 및 제1 외측유로벽 결합홀(241a)이 각각 형성되어 있다.
상기 한 쌍의 제1 외측유로벽(241)은 상기 제1 외부플레이트(210)의 측단과 상기 내부플레이트(220)의 측단 사이에 각각 배치되어 최외각의 제1 유로들을 형성한다.
상기 한 쌍의 제1 외측유로벽(241)은 서로 맞대어지는 상기 제1 외부플레이트(210)의 측단과 상기 내부플레이트(220)의 측단의 길이와 실질적으로 동일하다. 왜냐하면, 상기 제1 외부플레이트(210)와 상기 내부플레이트 사이에서 유체가 배출되는 것을 방지하기 위해서이다.
상기 제1 내측유로벽의 하부영역(242b)은 상기 유체를 상기 제1 버퍼챔버(211)로 분산안내하기 위하여 하단부로 갈수록 폭이 좁아지게 형성되어 있다. 즉, 상기 제1 내측유로벽의 하부영역(242b)의 폭이 좁아짐으로써 제1 유로의 폭은 넓어지게 되어 상기 제1 유로를 흐르는 유체가 상기 제1 버퍼챔버(211)로 분산되면서 안내된다.
상기 제1 내측유로벽(242)들은 상기 제1 외측유로벽(241)보다 짧은 길이를 가지는데, 이는 상기 제1 내측유로벽(242)은 상기 제1 외부플레이트의 상단부터 상기 제1 버퍼챔버(211)의 전단까지만 연장되기 때문이다.
여기서, 상기 제1 외부플레이트(210)의 내측면과, 상기 제1 외부플레이트의 내측면과 대향되는 상기 내부플레이트(220)의 내측면과, 상기 제1 외측유로벽(241)의 측면 및 상기 제1 내측유로벽(242)의 측면들은 복수의 제1 유로들을 형성하게 된다.
상기 제1 외부플레이트(210)의 상단 및 상기 내부플레이트(220)의 상단 사이에서 유입된 유체는 상기 제1 유로를 따라 하부로 이동하다가 상기 제1 버퍼챔버(211)로 퍼지면서 유입된 후 기판면을 향하여 하부로 분사된다.
여기서, 상기 제1 유로형성부재(240)는 수지계열의 재질로 일체로 형성되어 상기 제1 외부플레이트(210)와 상기 내부플레이트(220)의 사이에 전체적으로 설치됨으로써 결합구조가 간단하여 조립이 용이한 장점을 가진다.
뿐만 아니라, 유로의 깊이를 조정할 필요가 있는 경우에도 별도의 가공 공정없이 상기 제1 유로형성부재(240)의 두께만 변경하면 되기 때문에 용도에 따라 유로의 깊이를 자유롭게 변경할 수 있게 된다.
상기 제2 외부플레이트(230)는 상기 내부플레이트(220)를 기준으로 상기 제1 외부플레이트(210)의 반대방향에 배치된다.
상기 제2 외부플레이트(230)에는 상기 상부블럭(100)과의 결합을 위한 제2 외부플레이트 상부결합부(235)가 형성되어 있다. 상기 제2 외부플레이트 상부결합부(235)는 상기 제2 외부플레이트의 정면방향 외측면에서 경사지게 상부방향으로 형성되어 있다.
상기 제2 외부플레이트(230)의 두께방향으로는 상기 하부블럭 결합부재가 결합되는 제2 외부플레이트 결합부(233)가 형성되어 있다. 상기 하부블럭 결합부재는 상기 제1 외부플레이트(210), 상기 제1 유로형성부재(240), 상기 내부플레이트(220) 및 상기 제2 유로형성부재(250)를 관통하여 최종적으로 상기 제2 외부플레이트 결합부(233)에 결합되면서 상기 제1 외부플레이트(210), 상기 제1 유로형성부재(240), 상기 내부플레이트(220), 상기 제2 유로형성부재(250) 및 상기 제2 외부플레이트(230)를 동시에 결합시키게 된다.
또한, 상기 제2 외부플레이트(230)의 측면에는 상기 측면블럭(300)과의 결합을 위한 제2 측면결합부(237)가 형성되어 있다. 상기 제2 측면결합부(237)는 상기 측면블럭(300)에 형성된 측면블럭 제2 하부결합부(311d)와 대응된다.
또한, 상기 제2 외부플레이트(230)의 내측면 하부영역에는 상기 유체의 균일한 분사를 위한 제2 버퍼챔버(231)가 형성된다. 상기 제2 버퍼챔버(231)는 상기 제1 버퍼챔버(211)보다 큰 내부공간을 가지면서 형성된다.
본 실시 예에서 유체가 분사되는 기판은 도 4의 도면상 왼쪽에서 오른쪽 방향으로 이동된다. 즉 제2 유로에서 유체가 분사된 후 상기 기판의 진행방향을 기준으로 상기 제2 유로의 후방에 형성되는 제1 유로에서 유체가 이중분사된다.
상기 제2 버퍼챔버(231)가 상기 제1 버퍼챔버(211)보다 큰 내부공간을 가지는 이유는 제2 유로에서 분사되는 유체가 보다 균일하게 분사되어야만 기판상에 잔존하는 이물질의 제거효율이 높아지게 되기 때문이다.
여기서, 상기 제2 외부플레이트(230)의 하단에서 상기 제2 버퍼챔버(231)의 하단까지의 거리는 0.7 ~ 1.2 mm 를 가진다. 이는 제2 유로의 하단에서 유체가 분사될 때 가장 균일성이 좋기 때문이다. 마찬가지로, 상기 제1 외부플레이트(210)의 하단에서 상기 제1 버퍼챔버(211)의 거리도 0.7 ~ 1.2 mm 를 가진다.
상기 제2 유로형성부재(250)는 상기 내부플레이트(220)를 기준으로 상기 제1 유로형성부재(240)와 대칭적으로 배치된다.
상기 제2 유로형성부재(250)는 상기 제2 외부플레이트(230)와 상기 내부플레이트(220) 사이에 배치되어 제2 유로벽을 형성하면서 상기 제2 외부플레이트(230) 및 상기 내부플레이트(220)와 함께 제2 유로를 형성하게 된다.
구체적으로, 상기 제2 유로형성부재(250)는, 상기 제1 유로형성부재(240)와 마찬가지로, 상기 내부플레이트(220)의 길이방향을 따라 형성되어 상기 내부플레이트(220)의 상면에 배치되는 제2 연결프레임(253)과, 상기 제2 연결프레임(253)의 양단에서 하부로 연장형성되는 한 쌍의 제2 외측유로벽(251)과, 상기 한 쌍의 제2 외측유로벽(251)의 사이에서 일정간격으로 배치되면서 상기 제2 연결프레임(253)의 하부로 연장되는 복수 개의 제2 내측유로벽(252)들을 포함한다.
상기 제2 내측유로벽(252) 및 상기 제2 외측유로벽(251)에는 상기 하부블럭 결합부재가 관통하는 제2 내측유로벽 결합홀(252a) 및 제2 외측유로벽 결합홀(251a)이 각각 형성되어 있다.
상기 제2 내측유로벽의 하부영역(252b)은 상기 유체를 상기 제2 버퍼챔버(231)로 안내하기 위하여 하단부로 갈수록 폭이 좁아지게 형성되어 있다.
상기 제2 내측유로벽(252)들은 상기 제2 외측유로벽(251)보다 짧은 길이를 가지는데, 이는 상기 제2 내측유로벽(252)은 상기 제2 외부플레이(230)트의 상단부터 상기 제2 버퍼챔버(231)의 전단까지만 연장되기 때문이다.
여기서, 상기 제2 외부플레이트(230)의 내측면과, 상기 제2 외부플레이트의 내측면과 대향되는 상기 내부플레이트(220)의 내측면과, 상기 제2 외측유로벽(251)의 측면 및 상기 제2 내측유로벽(252)의 측면들은 복수의 제2 유로들을 형성하게 된다.
결과적으로, 상기 제2 외부플레이트(230)의 상단 및 상기 내부플레이트(220)의 상단 사이에서 유입된 유체는 상기 제2 유로를 따라 하부로 이동하다가 상기 제2 버퍼챔버(231)로 퍼지면서 유입된 후 기판면을 향하여 하부로 분사된다.
한편, 상기 유로형성부재 고정유닛(260)은 상기 내부플레이트(220)의 상면에서 상기 제1 유로형성부재(240)와 상기 제2 유로형성부재(250)를 동시에 고정시킨다.
구체적으로, 상기 유로형성부재 고정유닛(260)은 상기 제1 유로형성부재의 제1 연결프레임(243)과 상기 제2 유로형성부재의 제2 연결프레임(253)의 상면에 배치되는 유로형성부재 고정플레이트(263)와, 상기 유로형성부재 고정플레이트(263)와 상기 내부플레이트(220)를 고정하기 위한 고정용 체결부재(미도시)를 포함한다.
상기 유로형성부재 고정플레이트(263)에는 유로형성부재 결합홀(261)이 형성되어 있고, 상기 내부플레이트(220)의 상면에는 내부블레이트 상면결합부(221)가 형성되어 있다.
상기 고정용 체결부재는 상기 유로형성부재 결합홀(261)을 관통하여 상기 내부플레이트 상면결합부(221)에 고정되면서 상기 제1 유로형성부재(240)와 상기 제2 유로형성부재(250)를 동시에 고정시키게 된다.
한편, 상기 측면블럭(300)은 상기 상부블럭(100) 및 상기 하부블럭(200)의 양측면에 결합된다.
상기 측면블럭(300)은 측면블럭몸체(311), 상기 측면블럭(300)을 외부의 구조물과 연결하기 위한 리테이너(313) 및 상기 상부챔버(S)로 상기 유체를 주입하기 위한 유체주입부(312)를 포함한다.
상기 측면블럭몸체(311)에는 상기 상부블럭(100)과의 결합을 위한 측면블럭 제1 상부결합부(311a) 및 측면블럭 제2 상부결합부(311b)가 형성됨과 동시에 상기 하부블럭(200)과의 결합을 위한 측면블럭 제1 하부결합부(311c) 및 측면블럭 제2 하부결합부(311d)가 형성되어 있다.
또한, 상기 측면블럭몸체(311)에는 상기 유체주입부(312)와 연통됨과 동시에 상기 상부블럭의 상부챔버(S)와 연통되는 측면챔버(314)가 형성된다.
또한, 상기 측면블럭몸체(311) 중 상기 상부블럭(100) 및 하부블럭(200)과 접촉되는 면에는 유체가 외부로 빠져나가는 것을 방지하기 위한 측면실링부재(미도시)가 설치되는 측면실링부재 설치부(311e)가 형성될 수 있다.
결과적으로, 외부 플레이트와 내부 플레이트 사이에 유로형성부재를 삽입하여 유로를 형성함으로써 상기 외부플레이트 및 내부플레이트의 내측면에 별도의 홈을 가공하지 않아도 되기 때문에 가공 공정수가 줄어들고 이로 인하여 제품생산에 소요되는 시간과 비용이 줄어들게 된다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 상부블럭 110: 상부블럭몸체
115: 상부블럭 상면결합부 117: 상부블럭 측면결합부
200: 하부블럭 210: 제1 외부플레이트
220: 내부플레이트 230: 제2 외부플레이트
240: 제1 유로형성부재 241: 제1 외측유로벽
242: 제1 내측유로벽 243: 제1 연결프레임
250: 제2 유로형성부재 251: 제2 외측유로벽
252: 제2 내측유로벽 253: 제2 연결프레임
260: 유로형성부재 고정유닛 263:유로형성부재 고정플레이트
300: 측면블럭 311: 측면블럭몸체
312: 유체주입부 313: 리테이너
314: 측면챔버 400: 실링부재

Claims (8)

  1. 내부에 유체가 수용되는 상부챔버를 갖는 상부블럭;
    상기 상부챔버와 연통되는 유로를 형성하면서 상기 상부블럭의 하부에 배치되는 하부블럭; 그리고,
    상기 상부블럭 및 상기 하부블럭의 양측면에 결합되되, 상기 상부챔버로 상기 유체를 주입하기 위한 유체주입부가 형성되어 있는 측면블럭을 포함하고,
    상기 하부블럭은 상기 상부블럭의 하부에서 서로 맞대어 배치되는 제1 외부플레이트 및 내부플레이트와, 상기 내부플레이트를 기준으로 상기 제1 외부플레이트의 반대방향에 배치되는 제2 외부플레이트와, 상기 제1 외부플레이트와 상기 내부플레이트 사이에 배치되어 제1 유로벽을 형성하면서 상기 제1 외부플레이트 및 상기 내부플레이트와 함께 제1 유로를 형성하는 제1 유로형성부재와, 상기 제2 외부플레이트와 상기 내부플레이트 사이에 배치되되, 상기 내부플레이트를 기준으로 상기 제1 유로형성부재와 대칭적으로 배치되어 제2 유로벽을 형성하면서 상기 제2 외부플레이트 및 상기 내부플레이트와 함께 상기 제1 유로에서 유체가 분사될 때 동시에 유체가 이중분사되도록 하는 제2 유로를 형성하는 제2 유로형성부재와, 상기 내부플레이트에 상기 제1 유로형성부재를 고정하기 위한 유로형성부재 고정유닛을 포함하고,
    상기 제1 유로형성부재는 상기 내부플레이트의 길이방향을 따라 형성되어 상기 내부플레이트의 상면에 배치되는 제1 연결프레임과, 상기 제1 연결프레임의 양단에서 하부로 연장형성되는 한 쌍의 제1 외측유로벽과, 상기 한 쌍의 제1 외측유로벽의 사이에서 일정간격으로 배치되면서 상기 제1 연결프레임의 하부로 연장되는 복수 개의 제1 내측유로벽들을 포함하고,
    상기 제1 외부플레이트의 하부영역에는 상기 유체의 균일한 분사를 위한 제1 버퍼챔버가 형성되고, 상기 제1 내측유로벽의 하부영역은 상기 제1 유로의 폭이 넓어지게 되어 상기 유체가 상기 제1 버퍼챔버로 분산안내되도록 하단부로 갈수록 폭이 좁아지게 형성되며,
    상기 유로형성부재 고정유닛은 상기 제1 유로형성부재의 제1 연결프레임과 상기 제2 유로형성부재의 제2 연결프레임의 상면에 배치되는 유로형성부재 고정플레이트와, 상기 유로형성부재 고정플레이트와 상기 내부플레이트를 고정하기 위한 고정용 체결부재를 포함하며, 상기 유로형성부재 고정유닛은 상기 제1 유로형성부재와 상기 제2 유로형성부재를 동시에 고정시키는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부블럭은 상기 제1 외부플레이트, 상기 제1 유로형성부재, 상기 내부플레이트, 상기 제2 유로형성부재 및 상기 제2 외부플레이트를 동시에 결합시키기 위한 하부블럭 결합부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 외측유로벽은 상기 제1 외부플레이트의 측단과 상기 내부플레이트의 측단 사이에 각각 배치되고, 상기 복수 개의 제1 내측유로벽들은 상기 한 쌍의 제1 외측유로벽보다 짧은 길이를 가지면서 형성되는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.
  7. 삭제
  8. 제3항 또는 제6항에 있어서,
    상기 상부블럭과 상기 하부블럭을 결합시키기 위한 블럭결합부재와, 상기 상부블럭과 상기 하부블럭 사이에 배치되어 상기 상부챔버의 유체가 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 이외의 공간으로 유출되는 것을 방지하기 위한 실링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체분사장치.
KR1020150160373A 2015-11-16 2015-11-16 유체분사장치 KR101777771B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150160373A KR101777771B1 (ko) 2015-11-16 2015-11-16 유체분사장치
CN201610973269.7A CN107008696B (zh) 2015-11-16 2016-11-04 液体喷射装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150160373A KR101777771B1 (ko) 2015-11-16 2015-11-16 유체분사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170057492A KR20170057492A (ko) 2017-05-25
KR101777771B1 true KR101777771B1 (ko) 2017-09-13

Family

ID=59050824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150160373A KR101777771B1 (ko) 2015-11-16 2015-11-16 유체분사장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101777771B1 (ko)
CN (1) CN107008696B (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101408766B1 (ko) * 2013-06-20 2014-06-18 황창배 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100969359B1 (ko) * 2008-07-24 2010-07-09 주식회사 디엠에스 유체분사장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101408766B1 (ko) * 2013-06-20 2014-06-18 황창배 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프

Also Published As

Publication number Publication date
CN107008696B (zh) 2019-10-22
CN107008696A (zh) 2017-08-04
KR20170057492A (ko) 2017-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6370059B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP4649214B2 (ja) 二流体用スリットノズル
US9616664B2 (en) Liquid ejection head
US20180119833A1 (en) Check Valve and Valve Body
KR101777771B1 (ko) 유체분사장치
KR101408766B1 (ko) 유량의 균일 분사를 위한 에어 나이프
JP6275669B2 (ja) 樹脂製品
KR101817254B1 (ko) 가스 디스트리뷰터 및 이의 제조방법
JP7017824B2 (ja) フィルタープレス装置における規制方法、フィルタープレス装置における規制構造、及びフィルタープレス装置
KR102462566B1 (ko) 액체 분배 모듈
JP2012152905A (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
KR102138628B1 (ko) 기록 소자 기판 및 액체 토출 헤드
JP2006205120A (ja) スリットノズル
US9969167B2 (en) Liquid ejection head and method for manufacturing the same
WO2009142372A1 (en) Air bag with air input coke
JP6710602B2 (ja) エミッタおよび点滴灌漑用チューブ
US9561654B2 (en) Laminated nozzle with thick plate
ATE503633T1 (de) Flüssigkeitsausstossanordnung
JP2007230045A (ja) インクジェットヘッド
JP2017163925A (ja) エミッタおよび点滴灌漑用チューブ
JP6166125B2 (ja) スリットノズル
JP2021020188A (ja) スリットノズル
EP1440807A1 (en) Structure of ink cartridge and method for producing the same
KR102621585B1 (ko) 산업용 멀티 노즐 세정 장치
JP2007117791A (ja) ノズル機構

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant