KR101751646B1 - Binder resin and photosensitive resin composition containing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 TFT-LCD, OLED 및 TSP 등의 디스플레이용 유기재료로써 포토레지스트 조성물 및 코팅소재에 적용되는 바인더 수지 등에 관한 것으로, 내열성, 내화학성, 고투과성, 고굴절 등 고기능성 및 고성능 특성을 갖는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to an organic material for a display such as a TFT-LCD, an OLED and a TSP, which is used for a photoresist composition and a binder resin to be applied to a coating material, and which has high performance and high performance characteristics such as heat resistance, chemical resistance, high permeability, .

Description

바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물{BINDER RESIN AND PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION CONTAINING THE SAME} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a binder resin and a photosensitive resin composition containing the binder resin.

본 발명은 내열성, 내화학성, 고투과성, 고굴절 등 고기능성 및 고성능 특성을 갖는 바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a binder resin having high performance and high performance properties such as heat resistance, chemical resistance, high permeability and high refractive index, and a photosensitive resin composition containing the binder resin.

박막 트렌지스터형 액정표시장치(TFT-LCD) 및 유기발광소자(OLED), 터치스크린패널(TSP) 등에 적용되는 디스플레이용 감광성 수지 조성물은 UV 및 자외선 조사에 의해 경화 반응 및 광분해 반응을 일으켜서 패턴을 형성하는 방식에 따라 포지티브형 감광재와 네가티브형 감광재로 구분된다. 포지티브형 감광재는 UV 및 자외선이 조사된 영역에서 현상액에 의해 용해되어 패턴이 형성되고, 네가티브형 감광재는 UV 및 자외선이 조사된 부분에서 광경화 반응이 일어나서 현상액에 녹지 않고 조사되지 아니한 부분이 용해되어 패턴이 형성되는 방식이다. A photosensitive resin composition for a display applied to a thin film transistor type liquid crystal display (TFT-LCD), an organic light emitting element (OLED), a touch screen panel (TSP) or the like causes a curing reaction and a photolysis reaction by UV and ultraviolet irradiation to form a pattern A negative photosensitive material and a negative photosensitive material according to a method in which a negative photosensitive material is used. The positive photosensitive material is dissolved in the developing solution in a region irradiated with UV and ultraviolet rays to form a pattern. The negative photosensitive material is photocured at the portion irradiated with UV and ultraviolet rays, and the unexposed portion dissolves in the developing solution This is how the pattern is formed.

감광성 수지 조성물은 공정에 적용되는 열처리, 화학적 식각 및 가스 식각공정에 대한 내성을 확보하는 것이 매우 중요하고, 특히 최근에는 디스플레이의 광효율을 증가시키기 위해서 높은 투과도와 고굴절 특성이 중요시 되고 있다. 감광성 수지 조성물의 고내열성, 내화학성, 고투과성 및 고굴절 특성을 확보하기 위해서는 무엇보다도 감광재를 구성하는 조성물 중에서 바인더의 구조 및 특성이 매우 중요하다. 이러한 이유로 감광성 수지 조성물의 대표적인 바인더 수지로서 사용되는 아크릴계 감광성 수지를 비롯하여 노볼락 수지 계통, 폴리이미드 등의 바인더 수지에 감광성을 부여하는 것에 대한 연구가 활발히 진행되어 왔다. 그러나 종래 사용되고 있는 아크릴계 감광성 수지 및 노볼락 수지 등을 이용한 감광성 수지 조성물은 300℃ 이상의 고온 열처리 공정에서 내열성이 나쁘기 때문에 아웃개싱에 의한 불순물이 발생되어 디스플레이의 오염이 심각하게 발생하고, 또한 고온 열처리에 의해 투과도가 저하되어 디스플레이의 광효율 특성을 저하시키는 문제가 있다.In order to increase the light efficiency of a display, a high transmittance and a high refractive index are important in the photosensitive resin composition in recent years. In order to secure the high heat resistance, chemical resistance, high permeability and high refractive index characteristics of the photosensitive resin composition, the structure and properties of the binder among the compositions constituting the photosensitive material are very important. For this reason, studies for imparting photosensitivity to a binder resin such as novolak resin system, polyimide and the like, including acrylic photosensitive resin used as a typical binder resin of a photosensitive resin composition, have been actively studied. However, conventionally used photosensitive resin compositions using acrylic photosensitive resin and novolac resin have poor heat resistance in a high temperature heat treatment process at 300 DEG C or more, so that impurities due to outgassing are generated and the display is seriously contaminated, There is a problem that the transmittance is lowered and the light efficiency characteristic of the display is lowered.

예를 들어, 미국 특허 제4139391호에는 아크릴산계 화합물과 아크릴레이트 화합물의 공중합체를 바인더 수지로 사용하고, 다관능성 모노머로서 아크릴레이트계 화합물을 사용하여 제조된 감광성 수지 조성물을 제시하고 있다. 그러나 노광부와 비노광부의 용해도 차이가 충분히 크지 못하여 현상 특성이 좋지 않으며, 현상과정 중에 남아 있어야 할 바인더 수지가 현상 용액에 일부 용해되어 10㎛ 이하의 미세패턴을 얻기 어렵다는 문제점이 있다. For example, U.S. Patent No. 4,139,391 discloses a photosensitive resin composition prepared by using a copolymer of an acrylate compound and an acrylate compound as a binder resin and an acrylate compound as a polyfunctional monomer. However, the difference in solubility between the exposed portion and the unexposed portion is not sufficiently large, and the developing property is not good, and the binder resin to be left in the developing process is partially dissolved in the developing solution, making it difficult to obtain a fine pattern of 10 탆 or less.

또한, 일본 특개소52-13315호 및 특개소62-135824호에는 폴리이미드 전구체로서 폴리아믹산과 용해억제제인 나프토퀴논디아지드(naphtotquinonediazide) 화합물을 포함하여 열안정성을 높인 감광성 포토레지스트 조성물을 개시하고 있으나, 고해상도의 패턴을 형성할 수 있을 만큼의 노광부와 비노광부 간의 용해속도의 차가 크지 않은 문제점을 갖고 있다. Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 52-13315 and 62-135824 disclose photosensitive photoresist compositions containing polyamic acid as a polyimide precursor and a naphthotquinonediazide compound as a dissolution inhibitor to increase thermal stability However, there is a problem that the difference in dissolution rate between the exposed portion and the non-exposed portion is large enough to form a high-resolution pattern.

그 밖에, 감광성 수지 조성물은 하부층 및 상부층과의 밀착성이 양호하고, 사용 목적에 맞춘 다양한 공정 조건에서 고해상도의 미세패턴을 형성할 수 있는 넓은 공정 마진을 가져야 하며 감광재로서 고감도 특성이 요구되므로, 이러한 특성을 향상시키고자 하는 연구도 활발히 진행되고 있다. In addition, since the photosensitive resin composition has good adhesion with the lower layer and the upper layer and has a large process margin capable of forming a fine pattern of high resolution under various process conditions in accordance with the purpose of use, and high sensitivity characteristics are required as the photosensitive material, Research to improve the characteristics is also being actively pursued.

본 발명은 상기 기술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 내열성이 우수하고 고투과, 고굴절 특성을 갖는 바인더 수지 등에 관한 것으로 이러한 고성능, 고기능성 바인더 수지를 이용한 감광성 수지 조성물 등을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is directed to a binder resin having excellent heat resistance and high transparency and high refractive index to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition using such a high performance and high functionality binder resin.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 하기 화학식 I로 표시되는 중합체인 것을 특징으로 하는 바인더 수지를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a binder resin, which is a polymer represented by the following general formula (I).

[화학식 I](I)

Figure 112016088002302-pat00001
Figure 112016088002302-pat00001

상기 화학식 I에서 R3 및 R‘3는 각각 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 알킬기, 탄소수 6 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 아릴기, 또는 RC(=O)R’ 치환기이며, R4는 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 방향족 또는 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이고, A는 하기 화학식 I-1 내지 I-4로 표시되는 치환기이며, n은 1 내지 6인 정수이고, p는 1 내지 30의 정수이다. In the formula (I), R 3 and R ' 3 each represent an alkyl group with or without a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, an aryl group with or without a heteroatom of 6 to 20 carbon atoms, or RC (= O) R R 4 is a tetravalent aromatic or cycloaliphatic hydrocarbon radical containing or not containing a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, A is a substituent represented by the following general formulas (I-1) to (I-4) n is an integer of 1 to 6, and p is an integer of 1 to 30. [

[화학식 I-1](I-1)

Figure 112016088002302-pat00002
Figure 112016088002302-pat00002

[화학식 I-2][Formula I-2]

Figure 112016088002302-pat00003
Figure 112016088002302-pat00003

[화학식 I-3][Formula I-3]

Figure 112016088002302-pat00004
Figure 112016088002302-pat00004

[화학식 I-4][Formula I-4]

Figure 112016088002302-pat00005
Figure 112016088002302-pat00005

상기 화학식 I-1 내지 I-4에서, R2 및 R'2는 각각 수소, 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2) 또는 할로겐화기를 나타내고, X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다. R 2 and R ' 2 are each independently selected from the group consisting of hydrogen, a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) And X represents O, S, N, Si or Se.

상기 바인더 수지는 일례로 디스플레이용 감광재에 사용될 수 있다.The binder resin may be used, for example, in a photosensitive material for a display.

상기 바인더 수지는 일례로 유기산, 유기산 무수물 또는 아믹산(amic acid)으로 말단 종결된 수지일 수 있다.The binder resin may be a resin terminated with an organic acid, an organic acid anhydride, or an amic acid, for example.

상기 바인더 수지의 중량평균 분자량은 일례로 1,000 내지 100,000 g/mol일 수 있다.The weight average molecular weight of the binder resin may be, for example, 1,000 to 100,000 g / mol.

상기 바인더 수지는 일례로 분산도가 1.0 내지 5.0일 수 있다.The binder resin may have a degree of dispersion of 1.0 to 5.0, for example.

또한, 본 발명은 본 기재의 바인더 수지, 광개시제, 유기용매 및 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제공한다.The present invention also provides a negative photosensitive resin composition comprising the binder resin, the photoinitiator, the organic solvent and the additive of the present invention.

상기 네가티브형 감광성 수지 조성물은 일례로 바인더 수지 100 중량부, 광개시제 1 내지 20 중량부, 계면활성제 0.01 내지 5 중량부 및 접착조제 0 내지 10 중량부가 유기용매에 5 내지 80 중량%로 포함된 것일 수 있다.The negative photosensitive resin composition may include, for example, 100 parts by weight of a binder resin, 1 to 20 parts by weight of a photoinitiator, 0.01 to 5 parts by weight of a surfactant, and 0 to 10 parts by weight of an adhesion promoter in an organic solvent in an amount of 5 to 80% have.

또한, 본 발명은 본 기재의 바인더 수지, 광활성 화합물, 유기용매 및 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물을 제공한다.The present invention also provides a positive photosensitive resin composition comprising the binder resin, the photoactive compound, the organic solvent and the additive of the present invention.

상기 포지티브형 감광성 수지 조성물은 일례로 바인더 수지 100 중량부, 광활성 화합물 0.1 내지 30 중량부, 계면활성제 0.01 내지 5 중량부 및 접착조제 0 내지 10 중량부가 유기용매에 5 내지 80 중량%로 포함된 것일 수 있다.The positive photosensitive resin composition includes, for example, 100 parts by weight of a binder resin, 0.1 to 30 parts by weight of a photoactive compound, 0.01 to 5 parts by weight of a surfactant, and 0 to 10 parts by weight of an adhesion promoter in an organic solvent in an amount of 5 to 80% .

또한, 본 발명은 상기 감광성 수지 조성물로부터 형성된 수지 경화 패턴을 포함하는 기판을 제공한다.The present invention also provides a substrate comprising a resin curing pattern formed from the photosensitive resin composition.

본 발명의 바인더 수지는 내열성 및 투과도 특성이 우수하고 굴절률이 높은 광학특성을 갖기 때문에 이를 포함하는 감광성 수지 조성물의 우수한 내열성, 투과도 및 굴절률 특성을 확보할 수 있다. 또한, 본 발명의 바인더 수지는 내열성이 우수하여 경사각(Taper angle) 및 가스방출(Outgassing)을 최소화할 수 있고, 기판에 대한 접착력과 강산이나 강염기에 대한 내화학성이 우수하기 때문에 TFT-LCD, OLED 및 TSP 디스플레이용 감광재 용도뿐만 아니라 고기능성, 고성능 코팅소재로서도 매우 우수한 특성과 효과를 보인다. Since the binder resin of the present invention has excellent heat resistance and transmittance characteristics and optical characteristics of high refractive index, excellent heat resistance, transmittance and refractive index characteristics of the photosensitive resin composition containing the binder resin can be secured. In addition, since the binder resin of the present invention has excellent heat resistance and can minimize the taper angle and outgassing, and has excellent adhesion to the substrate and excellent chemical resistance against strong acids and strong bases, the TFT-LCD, the OLED And TSP display as well as high performance and high performance coating materials.

하기 도 1은 실시예 4와 비교예 1의 감광성 수지 조성물의 투과도를 비교한 그래프이다.
하기 도 2는 실시예 4와 비교예 1의 감광성 수지 조성물의 내열성을 비교한 그래프이다.
하기 도 3은 실시예 4와 비교예 1의 감광성 수지 조성물의 패턴 SEM 사진이다.
하기 도 4는 실시예 4의 굴절률 결과를 보여주는 사진이다.
Fig. 1 is a graph comparing transmittances of the photosensitive resin compositions of Example 4 and Comparative Example 1. Fig.
Fig. 2 is a graph comparing the heat resistance of the photosensitive resin compositions of Example 4 and Comparative Example 1. Fig.
3 is a pattern SEM photograph of the photosensitive resin composition of Example 4 and Comparative Example 1. Fig.
4 is a photograph showing the refractive index results of Example 4. Fig.

이하 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명은 바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 상기 감광성 수지 조성물은 바인더 외에 광개시제, 광활성 화합물, 용매 등을 포함할 수 있고, 이외에 열안정제, 열가교제, 광경화촉진제 또는 계면활성제 등과 같은 첨가제를 더 포함하여 제조될 수 있다.The present invention relates to a binder resin and a photosensitive resin composition containing the binder resin. The photosensitive resin composition may contain a photoinitiator, a photoactive compound, a solvent, etc. in addition to the binder, and may further include additives such as a heat stabilizer, a thermal crosslinking agent, a photo-curing accelerator, or a surfactant.

우선 상기 바인더 수지에 대해 상세하게 설명한다. First, the binder resin will be described in detail.

1. 바인더 수지1. Binder Resin

본 발명은 하기 화학식 5 내지 8로 표현되는 모노머와 이러한 모노머를 반복 단위로 갖는 중합체인 하기 화학식 I로 나타내는 바인더 수지를 제공한다. The present invention provides a monomer represented by the following general formulas (5) to (8) and a binder resin represented by the following general formula (I) as a polymer having such a monomer as a repeating unit.

본 발명에 있어서 바인더 수지의 구조는 하기 화학식 1 내지 8의 구조에서 확인할 수 있듯이 화학식 1의 비스페닐 플루오렌 구조, 화학식 2의 비스나프틸 플루오렌 구조, 및 화학식 3과 4의 크산텐 구조를 기본 구조로 갖는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the structure of the binder resin is composed of a bisphenylfluorene structure represented by the general formula (1), a bisnaphthylfluorene structure represented by the general formula (2), and a xanthene structure represented by the general formulas (3) Structure.

하기 화학식 I로 표시되는 바인더 수지는 일례로 하기 화학식 1 내지 4로 표시되는 화합물로부터 하기 화학식 5 내지 8 구조의 히드록시기를 포함하는 모노머를 합성한 후, 이를 카르복시산 이무수물과 반응시켜 합성할 수 있다.For example, the binder resin represented by the following formula (I) can be synthesized by synthesizing a monomer having a hydroxy group of the following formulas (5) to (8) from a compound represented by the following formulas (1) to (4) and then reacting it with a carboxylic acid dianhydride.

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure 112016088002302-pat00006
Figure 112016088002302-pat00006

[화학식 2](2)

Figure 112016088002302-pat00007
Figure 112016088002302-pat00007

[화학식 3](3)

Figure 112016088002302-pat00008
Figure 112016088002302-pat00008

[화학식 4][Chemical Formula 4]

Figure 112016088002302-pat00009
Figure 112016088002302-pat00009

상기 화학식 1 내지 4의 화합물 구조에서,In the compound structures of the above formulas (1) to (4)

R1, R’1은 각각 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2), 시아노기(-CN) 등 헤테로 원소를 포함하는 탄소수 1 내지 20인 지방족 또는 지환족 알킬기, 또는 헤테로 원소를 포함하는 탄소수 6 내지 20인 아릴기를 나타내며, R2, R’2는 각각 수소 또는 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2), 또는 할로겐화기를 나타낸다. 여기서 X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다.R 1 and R 1 each represent a C 1 to C 8 hydrocarbon group containing a heteroatom such as a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) to 20 aliphatic or alicyclic group, or a hetero element represents an aryl group having 6 to 20 carbon atoms containing, R 2, R '2 are independently a hydrogen or a hydroxyl group (-OH), thiol (-SH), an amino group (- NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ), or a halogenated group. Wherein X represents O, S, N, Si or Se.

본 기재에서 “각각”은 “독립적으로”라는 의미로 두 성분이 같은 경우와 다른 경우 모두를 포함한다.In the present description, " each " means " independently " and includes both cases where the two components are the same or different.

상기 화학식 1 내지 4의 화합물 구조에서, 일례로 R1, R’1은 각각 헤테로 원소를 포함하는 탄소수 1 내지 10, 3 내지 8, 또는 3 내지 5인 지방족 또는 지환족 알킬기, 또는 헤테로 원소를 포함하는 탄소수 6 내지 15, 6 내지 10, 또는 7 내지 10인 아릴기일 수 있다.In the compound structures of the formulas (1) to (4), for example, R 1 and R ' 1 each include an aliphatic or alicyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, 3 to 8 carbon atoms, or 3 to 5 carbon atoms, Or an aryl group having 6 to 15, 6 to 10, or 7 to 10 carbon atoms.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112016088002302-pat00010
Figure 112016088002302-pat00010

[화학식 6][Chemical Formula 6]

Figure 112016088002302-pat00011
Figure 112016088002302-pat00011

[화학식 7](7)

Figure 112016088002302-pat00012
Figure 112016088002302-pat00012

[화학식 8][Chemical Formula 8]

Figure 112016088002302-pat00013
Figure 112016088002302-pat00013

상기 화학식 5 내지 8의 모노머 구조에서,In the monomer structures of Formulas 5 to 8,

R2, R’2는 각각 수소 또는 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2), 또는 할로겐화기를 나타낸다. 여기서 X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다. 또한, R3, R‘3는 각각 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 알킬기, 탄소수 6 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 아릴기, 또는 RC(=O)R’ 치환기이며, n은 1 내지 6인 정수이다.R 2 and R ' 2 each represent hydrogen or a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ), or a halogenated group. Wherein X represents O, S, N, Si or Se. R 3 and R ' 3 each independently represent an alkyl group with or without a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, an aryl group with or without a heteroatom of 6 to 20 carbon atoms, or an RC (= O) R' substituent And n is an integer of 1 to 6.

상기 R3, R‘3는 일례로 각각 탄소수 2 내지 15, 또는 2 내지 10인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 알킬기, 또는 탄소수 6 내지 15, 또는 6 내지 10인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 아릴기일 수 있다.R 3 and R ' 3 each represent, for example, an alkyl group containing or not containing a heteroatom of 2 to 15 carbon atoms or 2 to 10 carbon atoms, or an alkyl group containing 6 to 15 carbon atoms or 6 to 10 carbon atoms, Lt; / RTI >

상기 R은 일례로 결합, 탄소수 1 내지 10인 알킬렌기, 또는 탄소수 6 내지 10인 아릴렌기일 수 있다.The R may be, for example, a bond, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 10 carbon atoms.

상기 R’는 일례로, 탄소수 1 내지 10인 알킬기 또는 알케닐기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴기일 수 있다.The R 'may be, for example, an alkyl group or an alkenyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms.

상기 n은 일례로 1 내지 3, 또는 1 내지 2일 수 있다. The n may be, for example, 1 to 3, or 1 to 2.

상기 헤테로 원소는 탄소와 수소를 제외한 원소의 1가 또는 2가 이상의 라디칼을 의미하고, 일례로 산소, 질소, 황, 할로겐 및 규소 등으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이며, 바람직하게는 황이고, 이 경우 내열성, 내화학성, 고투과성, 고굴절 및 광학 특성이 우수한 효과가 있다. The hetero element means a monovalent or divalent radical of an element other than carbon and hydrogen, and is, for example, at least one selected from the group consisting of oxygen, nitrogen, sulfur, halogen and silicon, In this case, there is an effect of excellent heat resistance, chemical resistance, high permeability, high refractive index and optical characteristics.

또 다른 예로, 상기 R3, R‘3는 각각 RaSRb일 수 있고, 상기 Ra은 결합(bonding), 탄소수 1 내지 10인 알킬렌기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴렌기일 수 있으며, 상기 S는 황이고, 상기 Rb는 탄소수 1 내지 10인 알킬기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴기일 수 있으며, 이 경우 내열성, 고투과 및 고굴절 특성이 우수한 효과가 있다.As another example, R 3 and R ' 3 may each be R a SR b , and R a may be a bond, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, S may be sulfur, R b may be an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms. In this case, heat resistance, high transmittance and high refractive index are excellent.

[화학식 I](I)

Figure 112016088002302-pat00014
Figure 112016088002302-pat00014

상기 화학식 I에서 R3 및 R‘3는 각각 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 알킬기, 탄소수 6 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 아릴기, 또는 RC(=O)R’ 치환기이며, R4는 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 방향족 또는 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이며, A는 하기 화학식 I-1 내지 I-4로 표시되는 치환기이고, n은 1 내지 6인 정수이며, p는 1 내지 30의 정수이다. In the formula (I), R 3 and R ' 3 each represent an alkyl group with or without a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, an aryl group with or without a heteroatom of 6 to 20 carbon atoms, or RC (= O) R R 4 is a tetravalent aromatic or cycloaliphatic hydrocarbon radical containing or not containing a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, A is a substituent represented by the following formulas (I-1) to (I-4) n is an integer of 1 to 6, and p is an integer of 1 to 30. [

[화학식 I-1](I-1)

Figure 112016088002302-pat00015
Figure 112016088002302-pat00015

[화학식 I-2][Formula I-2]

Figure 112016088002302-pat00016
Figure 112016088002302-pat00016

[화학식 I-3][Formula I-3]

Figure 112016088002302-pat00017
Figure 112016088002302-pat00017

[화학식 I-4][Formula I-4]

Figure 112016088002302-pat00018
Figure 112016088002302-pat00018

상기 화학식 I-1 내지 I-4에서, In the formulas (I-1) to (I-4)

R2 및 R'2는 각각 수소, 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2), 또는 할로겐기를 나타내고, X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다. R 2 and R 2 each represent hydrogen, a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) , Si or Se.

상기 화학식 I-1 내지 I-4에서 n은 일례로 1 내지 3, 또는 1 내지 2일 수 있고, 이 경우 내열성, 고투과 및 고굴절 특성이 우수한 효과가 있다.In the formulas I-1 to I-4, n may be 1 to 3, or 1 to 2, for example. In this case, the heat resistance, high transmittance and high refractive index are excellent.

상기 화학식 I로 표시되는 바인더 수지는 일례로 p가 1 내지 30인 정수, 또는 1 내지 10의 정수이고, 이 범위 내에서 내열성, 고투과 및 고굴절 특성이 우수한 효과가 있다.The binder resin represented by the above formula (I) is, for example, an integer of 1 to 30, or an integer of 1 to 10, and has an excellent heat resistance, high transmittance and high refractive index within the above range.

본 기재의 바인더 수지의 제조방법은 일례로 상기 화학식 5 내지 8로 표시되는 모노머와 하기 화학식 9로 표시되는 카르복시산 이무수물을 중합 반응시키는 단계를 포함할 수 있다.The method for producing the binder resin of the present invention may include, for example, a step of polymerizing a monomer represented by the above formulas (5) to (8) and a carboxylic acid dianhydride represented by the following formula (9).

[화학식 9][Chemical Formula 9]

Figure 112016088002302-pat00019
Figure 112016088002302-pat00019

상기 화학식 9에서 R4는 탄소수 4 내지 20이고 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이거나, 탄소수 6 내지 20이고 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 방향족 탄화수소 라디칼이다.Wherein R 4 is a tetravalent cycloaliphatic hydrocarbon radical having 4 to 20 carbon atoms and containing or not containing a heteroatom or a tetravalent aromatic hydrocarbon radical having 6 to 20 carbon atoms and containing or not containing a heteroatom .

또 다른 예로, 상기 화학식 9에서 R4는 탄소수 4 내지 10, 또는 4 내지 6이고 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이거나, 탄소수 6 내지 15, 또는 6 내지 12이고 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 방향족 탄화수소 라디칼이며, 이 범위 내에서 내열성, 고투과 및 고굴절 특성이 우수한 효과가 있다.In another embodiment, R 4 in the general formula (9) is a cycloaliphatic hydrocarbon radical having 4 to 10 carbon atoms, or 4 to 6 carbon atoms, with or without a heteroatom, or a cycloaliphatic hydrocarbon radical having 6 to 15, or 6 to 12 carbon atoms Is a tetravalent aromatic hydrocarbon radical containing or not containing a hetero element, and has an excellent heat resistance, high transmittance and high refractive index in this range.

상기 카르복시산 이무수물은 구체적인 예로 피로메리트산 이무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,3,3',4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)프로판 이무수물, 2,2-비스(2,3-디카르복시페닐)프로판 이무수물, 1,1-비스(3,4-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 1,1-비스(2,3-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(3,4-디카르복실페닐)술폰 이무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)에테르 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 9,9-비스(3,4-디카르복시페닐)플루오렌산 이무수물, 9,9-비스{4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐}플루오렌산 이무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 2,3,5,6-피리딘테트라카르복실산 이무수물, 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)헥사플루오로프로판 이무수물 등의 방향족환의 테트라카르복실산 이무수물이나, 1,2,3,4-시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 1,2,3,4-시클로펜탄테트라카르복실산 이무수물, 1,2,4,5-시클로헥산테트라카르복실산 이무수물 등의 지환족의 테트라카르복실산 이무수물이나 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물 등일 수 있다.Specific examples of the carboxylic acid dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride , 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-benzo Phenanetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis Bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3- Bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid Dianhydride, 9,9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, 9,9-bis {4- (3,4- Naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,5,6-pyridine tetracarboxylic acid dianhydride, 3,4,9,10-tetramethyluronium hexafluorophosphate, Perylene tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride and the like, and 1,2,4,4-tetracarboxylic acid dianhydride - alicyclic tetracarboxylic acids such as cyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride and 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid dianhydride. It may be a mixed acid dianhydride or 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride.

상기 중합반응은 일례로 2 시간 내지 24시간, 또는 4 시간 내지 12 시간 동안 100 내지 130 ℃, 또는 110 내지 120 ℃에서 실시할 수 있다.The polymerization may be carried out, for example, at from 100 to 130 ° C, or from 110 to 120 ° C for from 2 hours to 24 hours, or from 4 hours to 12 hours.

상기 카르복시산 이무수물은 일례로 상기 화학식 5 내지 8로 표시되는 모노머 100 중량부를 기준으로 5 내지 40 중량부, 10 내지 30 중량부, 또는 10 내지 20 중량부로 투입될 수 있다.The carboxylic acid dianhydride may be added in an amount of 5 to 40 parts by weight, 10 to 30 parts by weight, or 10 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the monomer represented by the above formulas 5 to 8.

본 기재의 바인더 수지의 제조방법은 일례로 상기 중합반응 개시 후 말단 캡핑제(end-capping agent)를 투입하여 반응시키는 단계를 포함할 수 있다.The binder resin of the present invention can be prepared by, for example, introducing an end-capping agent after the initiation of the polymerization reaction.

상기 말단 캡핑 반응은 일례로 30분 내지 4 시간, 또는 1 시간 내지 3 시간 동안 100 내지 130 ℃, 또는 110 내지 120 ℃에서 실시할 수 있다.The end capping reaction may be carried out at from 100 to 130 ° C, or from 110 to 120 ° C for 30 minutes to 4 hours, or 1 hour to 3 hours, for example.

상기 말단 캡핑제는 일례로 상기 화학식 5 내지 8로 표시되는 모노머 100 중량부를 기준으로 2 내지 10 중량부, 2 내지 5 중량부, 또는 3 내지 5 중량부로 투입될 수 있다.The end capping agent may be added in an amount of 2 to 10 parts by weight, 2 to 5 parts by weight, or 3 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the monomer represented by the above formulas 5 to 8.

상기 말단 캡핑제는 일례로 방향족 카르복시산 무수물이 바람직하고, 구체적인 예로 프탈산 무수물 등이며, 이 경우 내열성, 고투과 및 고굴절 특성이 우수한 효과가 있다. As the end capping agent, for example, an aromatic carboxylic acid anhydride is preferable, and a specific example thereof is phthalic anhydride and the like. In this case, the end capping agent is excellent in heat resistance, high transmittance and high refractive index.

상기 바인더 수지의 중량평균 분자량은 일례로 1,000 내지 100,000 g/mol, 바람직하게는 2,000 내지 50,000 g/mol, 보다 바람직하게는 3,000 내지 10,000 g/mol일 수 있고, 이 범위 내에서 내열성이 우수하고 감광재의 현상 속도 및 현상액에 의한 현상이 알맞아 패턴형성이 잘 되고 잔막율이 높은 효과가 있다.The binder resin may have a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000 g / mol, preferably 2,000 to 50,000 g / mol, more preferably 3,000 to 10,000 g / mol, The development speed of the ash and the development by the developing solution are appropriate, and the pattern formation is good and the residual film ratio is high.

본 기재의 중량평균 분자량은 겔투과크로마토그래피(GPC)방법에 의하여 측정할 수 있다.The weight average molecular weight of the present invention can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

상기 바인더 수지의 분산도는 일례로 1.0 내지 5.0 범위, 바람직하게는 1.5 내지 4.0 범위일 수 있고, 이 범위 내에서 내열성이 우수하고 감광재의 현상 속도 및 현상액에 의한 현상이 알맞아 패턴형성이 잘 되고 잔막율이 높은 효과가 있다.The degree of dispersion of the binder resin may be in the range of 1.0 to 5.0, preferably in the range of 1.5 to 4.0. Within this range, the heat resistance is excellent and the developing rate of the photosensitive material and development by the developer are appropriate, The membrane ratio is highly effective.

본 기재의 분산도는 GPC 측정방법에 의하여 측정할 수 있다.The dispersion degree of the present invention can be measured by a GPC measurement method.

2. 네가티브형 감광성 수지 조성물2. Negative-type photosensitive resin composition

본 발명의 네가티브형 감광성 수지 조성물은 본 기재의 바인더 수지, 광개시제, 유기용매 및 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 한다.The negative photosensitive resin composition of the present invention is characterized by comprising the binder resin, photoinitiator, organic solvent and additives of the present invention.

또 다른 예로, 본 발명의 네가티브형 감광성 수지 조성물은 본 기재의 바인더 수지에 광개시제, 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물, 첨가제 및 유기용매를 포함하는 것을 특징으로 한다. As another example, the negative-working photosensitive resin composition of the present invention is characterized in that the binder resin of the present invention contains a photoinitiator, a crosslinkable compound having an ethylenically unsaturated bond, an additive, and an organic solvent.

또 다른 예로, 본 발명의 네가티브형 감광성 수지 조성물은 (A) 본 기재의 바인더 수지, (B) 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물, (C) 하나 이상의 광개시제, (D) 용매, 및 (E) 첨가제를 포함할 수 있다. (B) a crosslinkable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) at least one photoinitiator, (D) a solvent, and (E) at least one photoinitiator. ) ≪ / RTI > additive.

본 발명의 네가티브형 감광성 수지 조성물에 있어서 광개시제는 가시광선, 자외선, 원자외선, 하전 입자선, X선 등에 의해 상기한 바인더 수지의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 발생하는 성분을 의미한다.In the negative photosensitive resin composition of the present invention, the photoinitiator refers to a component that generates active species capable of initiating polymerization of the above-mentioned binder resin by visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, charged particle beam, X-

상기 광개시제로는 예를 들면, 옥심에스터계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 벤조인계 화합물, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 알파-디케톤계 화합물, 다핵 퀴논계 화합물, 포스핀계 화합물, 트리아진계 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서 아세토페논계 화합물 또는 옥심에스터계 화합물이 바람직하다.Examples of the photoinitiator include oxime ester compounds, imidazole compounds, benzoin compounds, acetophenone compounds, benzophenone compounds, alpha-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, phosphine compounds, Compounds and the like. Of these, acetophenone compounds or oxime ester compounds are preferable.

상기 옥심에스터계 화합물은 노광감도가 매우 놓고, 현상공정 후의 패턴 안정성이 우수하며, 적은 노광량으로도 안정한 현상패턴을 형성할 뿐만 아니라, 기판과의 밀착성, 광차단성 및 절연성이 우수하고 잔사가 없이 평탄성이 탁월한 수지를 형성하는 장점을 갖는다.The oxime ester compound is excellent in pattern stability after the development process with a very high exposure sensitivity, and can form a stable development pattern even at a low exposure dose, and is excellent in adhesion to a substrate, light diffusing property and insulation property, Has the advantage of forming an excellent resin.

상기 옥심에스터계 화합물은 일례로 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-1-(0-아세틸옥심), 1,3-옥탄디온-1[(4-페닐티오)페닐]2-벤조일-옥심 등일 수 있다.Examples of the oxime ester compound include 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (0-acetyloxime), 1,3- 1 [(4-phenylthio) phenyl] 2-benzoyl-oxime and the like.

상기 아세토페논계 화합물로는, 예를 들면, 알파-히드록시케톤계 화합물, 알파-아미노케톤계 화합물 및 이들 이외의 화합물을 들 수 있다.Examples of the acetophenone-based compound include an alpha-hydroxy ketone compound, an alpha-amino ketone compound, and other compounds.

상기 알파-히드록시케톤계 화합물의 구체적인 예로는 1-페닐-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-i-프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-(2-히드록시에톡시)페닐-(2-히드록시-2-프로필)케톤, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤 등을 들 수 있고, 상기 알파-아미노케톤계 화합물의 구체적인 예로는 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-로르폴리노페닐)-부타논-1 등을 들 수 있으며, 이들 이외의 화합물의 구체적인 예로는 2,2-디메톡시아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논 등을 들 수 있다. 이들 아세토페논계 화합물을 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 이들 아세토페논계 화합물을 사용함으로써, 박막의 강도를 더욱 양호하게 하는 것이 가능하다.Specific examples of the alpha-hydroxyketone compound include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and the like, and the above-mentioned alpha-amino ketone compound 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one, 2- -Butanone-1, and specific examples of the other compounds include 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone and the like . These acetophenone compounds may be used singly or in combination of two or more. By using these acetophenone compounds, the strength of the thin film can be further improved.

또한, 비이미다졸계 화합물의 구체적인 예로는, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.Specific examples of the nonimidazole-based compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2 -Imidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) , 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'- -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -Tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl- , 2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis -Tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, and the like.

상기 비이미다졸 화합물 중, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디틀로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등이 바람직하고, 특히 바람직하게는 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이다. Among the imidazole compounds, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis , 4,4'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4 , 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like are particularly preferable, and 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4' , 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole.

상기 광개시제의 함량은 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 1 내지 20 중량부인 것이며, 바람직하게는 1 내지 10 중량부이며, 보다 바람직하게는 1 내지 5 중량부인 것이다.The content of the photoinitiator is 1 to 20 parts by weight, preferably 1 to 10 parts by weight, more preferably 1 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin.

상기 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물은 일반적으로 적어도 2개 이상의 에틸렌계 이중결합을 가지는 가교성 단위체인 것으로, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 부틸렌글리콜디메타크릴레이트, 프로필렌글리콜디아크릴레이트, 프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리아크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리메타크릴레이트, 테트라메틸롤프로판테트라아크릴레이트, 테트라메틸롤프로판테트라메타크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사메타크릴레이트, 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트, 카르도에폭시디아크릴레이트 및 이들의 폴리(poly-) 화합물(폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트) 등의 다작용성 (메타)아크릴계 모노머 및 올리고머류; 다가 알코올류와 1염기산 또는 다염기산을 축합하여 얻어지는 폴리에스테르 프리폴리머에 (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 폴리에스테르(메타)아크릴레이트, 폴리올기와 2개의 이소시아네이트기를 가지는 화합물을 반응시킨 후, (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 폴리우레탄(메타)아크릴레이트; 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 레졸형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카르복시산 폴리글리시딜에스테르, 폴리올폴리글리시딜에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응하여 얻어지는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지에서 선택된 1종 이상일 수 있다. 또한, 노광 감도 등을 고려하여 다작용성 (메타)아크릴계 모노머를 사용하는 것이 유리할 수 있다. The crosslinkable compound having an ethylenically unsaturated bond is generally a crosslinkable unit having at least two ethylenic double bonds, and examples thereof include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, tri Ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, Trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacryl 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, dipentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol penta methacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexa methacrylate, , Polyfunctional (meth) acrylic monomers and oligomers such as 6-hexanediol dimethacrylate, cardo-epoxy diacrylate and poly- compounds thereof (polyethylene glycol diacrylate); (Meth) acrylate obtained by reacting (meth) acrylic acid with a polyester prepolymer obtained by condensing a polyhydric alcohol with a monobasic acid or a polybasic acid, a polyester (meth) acrylate obtained by reacting a polyol group with a compound having two isocyanate groups, (Meth) acrylate obtained by reacting polyurethane (meth) acrylate; Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol or cresol novolak type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, And an epoxy (meth) acrylate resin obtained by reacting an epoxy resin such as a cyydecyl ester, an aliphatic or alicyclic epoxy resin, an amine epoxy resin, or a dihydroxybenzene type epoxy resin with (meth) acrylic acid. Also, It may be advantageous to use a multifunctional (meth) acrylic monomer in consideration of exposure sensitivity and the like.

상기 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 가교성 화합물은 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여 10 내지 200 중량부로 포함되는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 30 내지 150 중량부로 포함되는 것이고, 이 범위 내에서 감광성 수지와의 충분한 경화도로 인하여 패턴 구현이 잘 되고 형성된 패턴의 경도 및 해상도가 우수한 효과가 있다.The crosslinkable compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably contained in an amount of 10 to 200 parts by weight, more preferably 30 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the binder resin. Within this range, The pattern is well-formed and the hardness and resolution of the formed pattern are excellent.

본 기재의 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하기 위한 유기용매로는 일반적인 광중합 조성물에 사용하는 아세테이트계, 에테르계, 글리콜계, 케톤계, 알콜계 및 카보네이트계 등의 유기용매 중에서 상기 고분자를 용해시킬 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 에틸카비톨, 부틸카비톨, 에틸카비톨 아세테이트, 부틸카비톨 아세테이트, 에틸렌글리콜, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 3-에톡시프로피온산, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, N-메틸카프로락탐 등으로 이루어진 용매들 중 선택된 1종 이상이다. As the organic solvent for preparing the negative photosensitive resin composition of the present invention, the polymer may be dissolved in an organic solvent such as acetate, ether, glycol, ketone, alcohol, or carbonate used in a general photopolymerizable composition It is not particularly limited. Examples of the solvent include ethyl cellosolve, butyl cellosolve, ethyl carbitol, butyl carbitol, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, ethylene glycol, cyclohexanone, cyclopentanone, 3-ethoxypropionic acid, N , N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, N-methylcaprolactam, and the like.

상기 용매의 함량은, 전체 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 20 내지 95 중량부, 바람직하게는 30 내지 90 중량부, 보다 바람직하게는 50 내지 80 중량부가 포함될 수 있고, 이 범위 내에서 종래의 코팅방법으로도 박막형성이 용이하고 코팅 후 원하는 두께의 박막을 용이하게 얻을 수 있다. The content of the solvent may be 20 to 95 parts by weight, preferably 30 to 90 parts by weight, more preferably 50 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the entire photosensitive resin composition. Within this range, It is easy to form a thin film and a thin film having a desired thickness after coating can be easily obtained.

본 발명에서는 필요에 따라 첨가제를 사용할 수 있다. 이러한 첨가제의 예로서는 열안정제, 열가교제, 광경화촉진제, 계면활성제, 베이스퀀쳐(base quencher), 산화방지제, 접착조제, 광안정제 및 소포제 등이 있고, 필요에 따라 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다.In the present invention, additives may be used if necessary. Examples of such additives include heat stabilizers, heat crosslinking agents, photocuring accelerators, surfactants, base quenchers, antioxidants, adhesion promoters, light stabilizers and antifoaming agents, and may be used alone or in combination as required.

상기 첨가제 중 대표적으로 포함되는 첨가제 중 접착조제는 기판과의 접착력을 향상시키는 작용을 갖는 성분으로, 예를 들면, 카르복실기, 메타크릴로일기, 비닐기, 이소시아네이트기, 에폭시기, 머캅토기 등의 반응성 관능기를 갖는 실란 커플링제가 바람직하다. 구체적으로는 트리메톡시실릴젠조산, γ-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란 및 β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 중 선택된 1종 또는 그 이상이다. Among the additives that are typically included among the above additives, the adhesion aid is a component having an action to improve adhesion with the substrate, and includes, for example, reactive functional groups such as carboxyl group, methacryloyl group, vinyl group, isocyanate group, epoxy group, Is preferred. Specific examples include trimethoxysilylbenzoic acid,? -Methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,? -Isocyanatepropyltriethoxysilane,? -Glycidoxypropyl Trimethoxysilane, and? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane.

상기 접착조제의 함량은 일례로 상기 바인더 수지 100 중량부를 기준으로 0 내지 10 중량부, 0.01 내지 10 중량부, 0.02 내지 1 중량부, 또는 0.05 내지 0.1 중량부인 것이 바람직하고, 이 범위 내에서 기판과의 접착력이 우수한 효과가 있다. The content of the adhesive aid is preferably 0 to 10 parts by weight, 0.01 to 10 parts by weight, 0.02 to 1 part by weight, or 0.05 to 0.1 part by weight based on 100 parts by weight of the binder resin, The adhesive strength of the adhesive layer is excellent.

상기 계면활성제는 기판에 대한 코팅성과 도포성, 균일성 및 얼룩 제거를 향상시키는 작용을 갖는 성분으로, 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 및 비이온계 계면활성제로 이루어진 것 중 선택된 1종 또는 그 이상을 혼용하여 사용할 수 있고, 바람직하게는 실리콘계 계면활성제이며, 일례로 폴리이써로 변성된 폴리실록산이 있고, 보다 구체적인 예로는 폴리이써-변성 폴리디메틸실록산(polyether-modified polydimethylsiloxane)이 있다.The surfactant is a component having an effect of improving coatability, coatability, uniformity and stain removal on a substrate, and may contain one or more selected from the group consisting of a fluorinated surfactant, a silicone surfactant and a nonionic surfactant And may be used in combination. Preferably, the surfactant is a silicone surfactant. Examples of the surfactant include polysiloxane modified with polyisocyanate. More specific examples thereof include polyether-modified polydimethylsiloxane.

상기 계면활성제의 함량은 일례로 상기 바인더 수지 100 중량부를 기준으로 0.01 내지 5 중량부, 0.02 내지 1 중량부, 또는 0.05 내지 0.1 중량부인 것이 바람직하다. The amount of the surfactant is, for example, 0.01 to 5 parts by weight, 0.02 to 1 part by weight, or 0.05 to 0.1 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin.

상기 접착조제는 일반적으로 감광성 수지 조성물에 사용될 수 있는 접착보조제인 경우 특별히 제한되지 않으나, 이소시아네이트계 화합물, 에폭시계 화합물, 아크릴레이트계 화합물, 비닐 화합물 및 머캅토계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 에폭시계 화합물이며, 일례로 에폭시기를 갖는 유기실란 화합물이 있고, 보다 구체적인 예로는 에폭시기를 갖는 메톡시실란이 있다.The adhesion aid is not particularly limited in the case of an adhesion aid which can be generally used in a photosensitive resin composition, but it is preferable that at least one member selected from the group consisting of an isocyanate compound, an epoxy compound, an acrylate compound, a vinyl compound and a mercapto- More preferred is an epoxy compound, for example, an organosilane compound having an epoxy group, and more specifically, there is a methoxysilane having an epoxy group.

상기 안정제는 일례로 열안정제, 광안정제 또는 이들의 혼합일 수 있다.The stabilizer may be, for example, a heat stabilizer, a light stabilizer, or a mixture thereof.

상기 열안정제는 일반적으로 감광성 수지 조성물에 사용될 수 있는 열안정제인 경우 특별히 제한되지 않으나, 일례로 형성된 유기막의 후열처리 공정 중에 투과도 저하를 억제하여 잔류 유기막의 투과도를 높일 수 있는 열안정제이고, 바람직하게는 페놀릭(phenolic)계 열안정제, 포스파이트(phosphite)계 열안정제 및 락톤(lactone)계 열안정제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상일 수 있고, 보다 바람직하게는 하기 화학식 10 내지 12로 표시되는 열안정제이다.The heat stabilizer is not particularly limited in the case of a heat stabilizer that can be generally used in a photosensitive resin composition. For example, the heat stabilizer is a heat stabilizer capable of suppressing lowering of the transmittance during the post-heat treatment process of the organic film formed to increase the permeability of the residual organic film, May be at least one member selected from the group consisting of a phenolic heat stabilizer, a phosphite-based heat stabilizer and a lactone-based heat stabilizer, more preferably at least one member selected from the group consisting of heat It is a stabilizer.

[화학식 10][Chemical formula 10]

Figure 112016088002302-pat00020
Figure 112016088002302-pat00020

[화학식 11](11)

Figure 112016088002302-pat00021
Figure 112016088002302-pat00021

[화학식 12][Chemical Formula 12]

Figure 112016088002302-pat00022
Figure 112016088002302-pat00022

상기 광안정제는 일반적으로 감광성 수지 조성물에 사용될 수 있는 광안정제인 경우 특별히 제한되지 않으나, 일례로 유기절연막 조성물의 내광성을 극대화시킬 수 있는 광안정제일 수 있고, 바람직하게는 벤조트리아졸계 광안정제, 트리아진계 광안정제, 벤조페논계 광안정제, 힌더드아미노에테르(hindered aminoether)계 광안정제 및 힌더드아민계 광안정제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상일 수 있다.The light stabilizer is not particularly limited when it is a light stabilizer that can be generally used in a photosensitive resin composition. For example, the light stabilizer may be a light stabilizer capable of maximizing the light resistance of the organic insulating film composition. Preferably, the light stabilizer is a benzotriazole light stabilizer, Based light stabilizer, a benzophenone light stabilizer, a hindered aminoether light stabilizer, and a hindered amine light stabilizer.

또한, 본 발명은 상기 감광성 수지 조성물로부터 형성된 감광성 경화 패턴을 포함하는 소자를 제공한다. 상기 감광성 바인더 조성물은 반도체 소자, LCD용 소자, OLED용 소자, 태양전지용 소자, 플렉시블 디스플레이용 소자, 터치스크린 제조용 소자 또는 나노임프린트 리소그래피용 소자 제작에 적용할 수 있다.The present invention also provides an element comprising a photosensitive curing pattern formed from the photosensitive resin composition. The photosensitive binder composition may be applied to a semiconductor device, an LCD device, an OLED device, a solar cell device, a flexible display device, a touch screen device, or a nanoimprint lithography device.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 감도가 140 mJ/cm2 이하, 100 내지 20 mJ/cm2, 또는 60 내지 30 mJ/cm2일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a sensitivity of 140 mJ / cm 2 or less, 100 to 20 mJ / cm 2 , or 60 to 30 mJ / cm 2 , and the effect of excellent photosensitivity have.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 현상후 잔막률이 91% 이상, 95% 이상, 또는 96 내지 98%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a residual film ratio of 91% or more, 95% or more, or 96 to 98% after development, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 경화후 잔막률이 89% 이상, 93% 이상, 또는 94 내지 97%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a residual film ratio after curing of 89% or more, 93% or 94-97%, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 테퍼각이 41도 이상, 45도 이상, 또는 50 내지 65도일 수 있고, 이 범위 내에서 내열성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a tephar angle of not less than 41 degrees, not less than 45 degrees, or not more than 50 degrees and not more than 65 degrees, and has an excellent heat resistance within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 굴절률이 1.51 이상, 1.60 이상, 또는 1.62 내지 1.66일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may have a refractive index of 1.51 or more, 1.60 or 1.62 to 1.66 as an example, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 경화후 투과도가 94% 이상, 95% 이상, 또는 96 내지 99%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a transmittance of 94% or more, 95% or more, or 96 to 99% after curing, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

3. 포지티브형 감광성 수지 조성물3. Positive type photosensitive resin composition

본 발명은 상기 바인더 수지를 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물을 제공한다. 본 기재의 감광성 수지 조성물은 상기 바인더 수지에 광활성 화합물, 첨가제 및 유기용매를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a positive photosensitive resin composition comprising the binder resin. The photosensitive resin composition of the present invention is characterized in that the binder resin contains a photoactive compound, an additive and an organic solvent.

본 기재에서 광활성 화합물은 통상적으로 포토레지스트에 사용될 수 있는 광활성 화합물(photoactive compound; PAC, photo acid gernerator; PAG)인 경우로 특별히 제한되지 않으나, 일례로 광산발생제일 수 있다. In the present invention, the photoactive compound is not particularly limited as long as it is a photoactive compound (PAC) that can be used in a photoresist, but may be a photo-acid generator, for example.

또 다른 예로, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은 (A) 본 기재의 바인더 수지, (F) 광활성 화합물, (G) 베이스??처, (D) 용매, 및 (E) 첨가제를 포함할 수 있다.As another example, the positive photosensitive resin composition of the present invention may contain (A) the binder resin of the present invention, (F) the photoactive compound, (G) the base resin, (D) have.

상기 광산발생제는 활성광선 또는 방사선을 조사했을 때 산을 발생시키는 화합물이다. 상기 광산발생제는 250nm 내지 450nm의 파장에서 적당한 광흡수도를 갖는 것으로서 막 형성에 악영향을 주지 않는다면 어떠한 물질도 사용할 수 있다. The photoacid generator is a compound that generates an acid when irradiated with an actinic ray or radiation. Any material can be used as long as it does not adversely affect the film formation because the photoacid generator has a suitable light absorption at a wavelength of 250 nm to 450 nm.

상기 광산발생제는 일례로 디아조늄염계, 포스포늄염계, 술포늄염계, 요오드늄염계, 이미드술포네이트계, 옥심술포네이트계, 디아조디술폰계, 디술폰계, 오르소-니트로벤질술포네이트계 및 트리아진계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상일 수 있다. Examples of the photoacid generator include a diazonium salt, a phosphonium salt, a sulfonium salt, an iodonium salt, an imidosulfonate, an oxime sulfonate, a diazodisulfone, a disulfone, ortho-nitrobenzylsulfonate Based compounds and triazine-based compounds.

상기 광활성 화합물인 광산발생제의 함량은, 일례로 상기 바인더 수지 100 중량부에 대하여, 0.1 내지 15중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 10중량부이며, 이 범위 내에서 산발생량이 충분하기 때문에 패턴형성이 잘 되고 조성물에서의 용매에 대한 용해도가 저하되지 않고 상용성이 좋아 고체 입자가 석출될 우려가 없다.The content of the photoacid generator, which is a photoactive compound, is 0.1 to 15 parts by weight, more preferably 1 to 10 parts by weight, per 100 parts by weight of the binder resin. In this range, The solubility of the composition in the solvent is not lowered, and the solubility of the composition in the composition is not compromised and the solid particles are not likely to be precipitated.

상기 베이스켄쳐는 특별히 제한되지는 않지만, 일례로 1차 아민, 2차 아민, 3차 아민 및 아미드 화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상일 수 있다.The base quencer may be at least one selected from the group consisting of primary amines, secondary amines, tertiary amines and amide compounds, although it is not particularly limited.

본 발명에 따른 포지티형브형 감광성 수지 조성물을 제조하기 위해 유기 용매 및 첨가제를 포함할 수 있고, 이러한 유기 용매 및 첨가제의 종류 및 함량은 네가티브형 감광성 수지 조성물 제조를 위한 것과 동일하다.In order to prepare the positive type photosensitive resin composition according to the present invention, an organic solvent and an additive may be included. The kind and content of the organic solvent and the additive are the same as those for producing a negative photosensitive resin composition.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 감도가 140 mJ/cm2 이하, 100 내지 20 mJ/cm2, 또는 70 내지 50 mJ/cm2일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a sensitivity of 140 mJ / cm 2 or less, 100 to 20 mJ / cm 2 , or 70 to 50 mJ / cm 2 , and an effect of excellent photosensitivity have.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 현상후 잔막률이 91% 이상, 95% 이상, 또는 96 내지 99%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a residual film ratio of 91% or more, 95% or more, or 96 to 99% after development, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 경화후 잔막률이 89% 이상, 93% 이상, 또는 94 내지 97%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a residual film ratio after curing of 89% or more, 93% or 94-97%, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 테퍼각이 41도 이상, 45도 이상, 또는 50 내지 65도 수 있고, 이 범위 내에서 내열성이 우수한 효과가 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may have a teepahr angle of 41 degrees or more, 45 degrees or 50 to 65 degrees, for example, and has an excellent heat resistance within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 굴절률이 1.51 이상, 1.60 이상, 1.60 내지 1.70, 또는 1.63 내지 1.68일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may have a refractive index of 1.51 or more, 1.60 or more, 1.60 to 1.70 or 1.63 to 1.68 as an example, and the optical property of the photosensitive material is excellent within this range.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 일례로 경화후 투과도가 94% 이상, 95% 이상, 또는 96 내지 98%일 수 있고, 이 범위 내에서 감광재의 광학특성이 우수한 효과가 있다.For example, the photosensitive resin composition of the present invention may have a transmittance of 94% or more, 95% or more, or 96 to 98% after curing, and the optical characteristics of the photosensitive material are excellent within this range.

본 발명의 바인더 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물을 TFT-LCD, OLED 및 터치스크린패널 등의 디스플레이 장치에 박막으로 도포할 수 있는 방법은 특별히 제한되는 것은 아니고, 당 기술 분야에 알려진 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면, 스핀코팅(Spin coating), 딥코팅(dip coating), 롤코팅(roll coating), 스크린코팅(screen coating), 분무코팅(spray coating), 흐름코팅(flow coating), 스크린프린팅(screen printing), 잉크젯(ink jet), 드롭캐스팅(drop casting)등의 코팅법을 적용할 수 있다.The method of applying the photosensitive resin composition containing the binder resin of the present invention as a thin film to a display device such as a TFT-LCD, an OLED and a touch screen panel is not particularly limited, and a method known in the art can be used . For example, the coating solution may be applied by spin coating, dip coating, roll coating, screen coating, spray coating, flow coating, screen printing, printing, ink jet, drop casting, and the like can be applied.

도포된 막 두께는 도포 방법, 조성물의 고형분 농도, 점도 등에 따라 달라지고, 통상, 건조 후 막 두께가 0.5㎛ 내지 100㎛이 되도록 도포할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 이후에 선굽기 단계에서 진공, 적외선 또는 열을 가하여 용매를 휘발시킨다. 다음으로, 선택적 노광 공정은 엑시머 레이저, 원자외선, 자외선, 가시광선, 전자선, X선 또는 g-선(파장 436nm), i-선(파장 365nm), h-선(파장 405nm) 또는 이들의 혼합 광선을 사용하여 조사한다. 노광은 접촉식, 근접식, 투영식 등의 노광법을 사용할 수 있다.The applied film thickness may vary depending on the application method, the solid content concentration of the composition, the viscosity, and the like, and is usually applied so that the film thickness after drying is 0.5 to 100 m, but is not limited thereto. Then, in the pre-baking step, the solvent is volatilized by applying vacuum, infrared rays or heat. Next, the selective exposure process may be performed using an excimer laser, a deep ultraviolet ray, an ultraviolet ray, a visible ray, an electron ray, an X-ray or a g- ray (wavelength 436 nm), an i- ray (wavelength 365 nm), an h- Investigate using light rays. The exposure may be performed by a contact method, a proximity method, or a projection method.

본 기재의 감광성 수지 조성물은 알칼리 수용액을 현상액으로 사용할 수 있는데, 이는 유기용매보다 환경친화적이고 경제적이다. 상기 알칼리 현상액의 예로서는, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드, 테트라에틸암모늄 하이드록사이드 등의 수산화 4급 암모늄의 수용액 또는 암모니아, 에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민 등의 아민계 수용액을 들 수 있다. 이 중에서 일반적으로는 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 수용액이 가장 많이 사용된다. The photosensitive resin composition of the present invention can use an aqueous alkali solution as a developer, which is eco-friendly and economical than an organic solvent. Examples of the alkali developing solution include aqueous solutions of quaternary ammonium hydroxides such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide, and amine-based aqueous solutions such as ammonia, ethylamine, diethylamine and triethylamine. Among them, an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is most commonly used.

또한, 본 발명은 상기 바인더로부터 형성된 감광성 경화 패턴을 포함하는 소자를 제공한다. 상기 감광성 바인더 수지 조성물은 반도체 소자, LCD용 소자, OLED용 소자, 태양전지용 소자, 플렉시블 디스플레이용 소자, 터치스크린 제조용 소자 또는 나노임프린트 리소그래피용 소자 제작에 적용이 가능하다.The present invention also provides an element comprising a photosensitive curing pattern formed from the binder. The photosensitive binder resin composition can be applied to a semiconductor device, an LCD device, an OLED device, a solar cell device, a flexible display device, a touch screen manufacturing device, or a nanoimprint lithography device.

본 발명은 다음의 구체적인 합성예 및 실시예를 통하여 더욱 상세히 설명한다. 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 이에 의하여 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다. The present invention will be described in more detail through the following specific Synthesis Examples and Examples. The following examples serve to illustrate the present invention and do not limit the scope of the present invention.

합성예Synthetic example

모노머 합성Monomer synthesis

1단계:2,2'-((((9H-fluorene-9,9-diyl)bis(4,1-phenylene))bis(oxy))bis(methylene))bis(oxirane) 합성 (화학식 1의 예)Bis (methylene)) bis (oxirane) Synthesis (Synthesis of Compound (1)) [0154] Step 1: Synthesis of 2,2'-bis (4-phenylene) Yes)

Figure 112016088002302-pat00023
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Step A: 3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 9,9-Bisphenolfluorene 42.5g를 넣고 2-(chloromethyl)oxirane 220mL를 정량한 후 주입하였다. Tetrabutylammonium bromide 100mg을 넣은 후, 교반을 시작하면서 온도를 90℃로 승온하였다. 미반응물 함량이 0.3% 미만임을 확인 후 감압증류 하였다. Step A: After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 42.5 g of 9,9-bisphenolfluorene was added and 220 mL of 2- (chloromethyl) oxirane was injected and injected. After adding 100 mg of tetrabutylammonium bromide, the temperature was raised to 90 캜 while stirring was started. After confirming that the unreacted content was less than 0.3%, it was distilled under reduced pressure.

Step B: 온도를 30℃로 낮춘 후, dichloromethane를 주입하고, NaOH를 서서히 투입하였다. 생성물이 96% 이상인 것을 고성능액체크로마토그래피(HPLC)방법으로 확인한 후 5% HCl를 적하하여 반응을 종결하였다. 반응물은 추출하여 층분리한 후, 유기층을 물로 씻어주고 중성이 되도록 세척하였다. 유기층은 MgSO4로 건조한 후 회전증발기로 감압 증류하여 농축하였다. 농축된 생성물에 dichloromethane를 넣고 40℃까지 온도를 올리면서 교반하면서 methanol를 투입한 후 용액온도를 낮추고 교반하였다. 생성된 고체를 여과한 후, 상온에서 진공 건조하여 흰색 고체 분말 52.7g(수율 94%)을 얻었고, 이에 대한 구조는 1H NMR로 확인하였다.Step B: After lowering the temperature to 30 ° C, dichloromethane was injected and NaOH was slowly added. The product was confirmed to be 96% or more by a high performance liquid chromatography (HPLC) method, and 5% HCl was added dropwise to terminate the reaction. The reaction product was extracted and layered, and the organic layer was washed with water and neutralized. The organic layer was dried over MgSO 4 and concentrated under reduced pressure using a rotary evaporator. Dichloromethane was added to the concentrated product, and methanol was added to the solution while the temperature was raised to 40 ° C. The solution temperature was lowered and stirred. The resulting solid was filtered and vacuum-dried at room temperature to obtain 52.7 g (yield 94%) of a white solid powder, which was confirmed by 1H NMR.

1H NMR in CDCl3: 7.75 (2H), 7.36-7.25 (6H), 7.09 (4H), 6.74 (4H), 4.13 (2H), 3.89 (2H), 3.30 (2H), 2.87 (2H), 2.71 (2H). 2H NMR (CDCl3): 7.75 (2H), 7.36-7.25 (6H), 7.09 (4H) ).

화학식 2 내지 화학식 4의 구조를 갖는 모노머는 1단계 합성방법에서 제시된 방법에 의해 통상적으로 제조가 가능하다. Monomers having the structures of formulas (2) to (4) can be conventionally prepared by the method disclosed in the one-step synthesis method.

2단계:3,3'-(((9H-fluorene-9,9-diyl)bis(4,1-phenylene))bis(oxy))bis(1-(phenylthio)propan-2-ol) (BTCP) 합성 (화학식 5의 예)Bis (1- (phenylthio) propan-2-ol) (BTCP (2-ethylhexyl) ) Synthesis (Example of Chemical Formula 5)

Figure 112016088002302-pat00024
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3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후 1단계 반응물 (1000g), thiophenol 524g, 에탄올 617g을 넣고 교반하였다. 반응 용액에 triethylamine 328g을 천천히 적가하였다. 고성능액체크로마토그래피(HPLC)방법으로 출발물질이 사라진 것을 확인한 후, 반응을 종료하였다. 반응 완료 후, 에탄올을 감압증류하여 제거하였다. 유기물을 dichloromethane에 녹인 후 물로 세척한 후 dichloromethane을 감압증류를 통해 제거하였다. 농축된 유기물은 ethyl acetate에 녹인 후 에테르 용매를 적가하고 30분 동안 교반하였다. 화합물을 감압증류하여 pale yellow oil 945 g (수율 64%)을 얻었고, 이의 구조는 1H NMR로 확인하였다.A reflux condenser and a thermometer were set in a 3-neck flask, and then a first-stage reaction product (1000 g), 524 g of thiophenol and 617 g of ethanol were added and stirred. 328 g of triethylamine was slowly added dropwise to the reaction solution. After confirming that the starting material disappeared by high performance liquid chromatography (HPLC) method, the reaction was terminated. After completion of the reaction, the ethanol was distilled off under reduced pressure. The organics were dissolved in dichloromethane, washed with water and then dichloromethane was removed by distillation under reduced pressure. The concentrated organic material was dissolved in ethyl acetate, ether solvent was added dropwise, and the mixture was stirred for 30 minutes. The compound was distilled under reduced pressure to obtain 945 g (yield: 64%) of pale yellow oil. Its structure was confirmed by 1H NMR.

1H NMR in CDCl3: 7.82 (2H), 7.38-6.72 (20H), 6.51 (4H), 4.00 (2H), 3.97 (2H), 3.89 (2H), 3.20 (2H), 3.01 (2H), 2.64 (2H). 2H NMR (CDCl3): 7.82 (2H), 7.38-6.72 (2H), 6.51 (2H), 4.00 (2H), 3.97 ).

화학식 6 내지 화학식 8의 조를 갖는 모노머는 2단계 합성방법에서 제시된 방법에 의해 통상적으로 제조가 가능하다.Monomers having the groups of formulas (6) to (8) can be conventionally prepared by the method disclosed in the two-step synthesis method.

바인더 제조Binder manufacturing

제조예 1 : BTCP/BPDA 바인더 제조Preparation Example 1: Preparation of BTCP / BPDA binder

Figure 112016088002302-pat00025
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3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 50% PGMEA 용매에 녹아있는 2단계에서 합성한 BTCP 모노머 200g을 넣고 115℃까지 승온시켰다. 115℃에서 3,3',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride(화학식 9-1의 화합물) 31.1g을 적하한 후, 6시간 동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. Phthalic anhydride 7.35g를 넣고 2시간 더 교반한 후, 반응을 종료하였다. 냉각 후 중량평균 분자량 3,500 g/mol인 바인더 용액을 얻었다.After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 200 g of the BTCP monomer synthesized in Step 2, which was dissolved in 50% PGMEA solvent, was added and the temperature was raised to 115 캜. 31.1 g of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (compound of the formula (9-1)) was added dropwise at 115 DEG C, and the mixture was stirred at 115 DEG C for 6 hours. Phthalic anhydride (7.35 g) was added thereto, followed by further stirring for 2 hours, and the reaction was terminated. After cooling, a binder solution having a weight average molecular weight of 3,500 g / mol was obtained.

제조예 2 : BTCP/BTDA 바인더 제조Production Example 2: Preparation of BTCP / BTDA binder

Figure 112016088002302-pat00026
Figure 112016088002302-pat00026

3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 50% PGMEA 용매에 녹아있는 2단계에서 합성한 BTCP 모노머 200g을 넣고 115℃까지 승온시켰다. 115℃에서 3,3',4,4'-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride(화학식 9-2의 화합물) 28.4g를 적하한 후 6 시간동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. Phthalic anhydride 7.35g를 넣고 2시간 더 교반한 후, 반응을 종료하였다. 냉각 후 중량평균 분자량이 5,000 g/mol인 바인더 용액을 얻었다.After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 200 g of the BTCP monomer synthesized in Step 2, which was dissolved in 50% PGMEA solvent, was added and the temperature was raised to 115 캜. 28.4 g of 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (compound of formula (9-2)) was added dropwise at 115 ° C, and the mixture was stirred at 115 ° C for 6 hours. Phthalic anhydride (7.35 g) was added thereto, followed by further stirring for 2 hours, and the reaction was terminated. After cooling, a binder solution having a weight average molecular weight of 5,000 g / mol was obtained.

제조예3:BTCP/PMDA 바인더 제조Preparation Example 3: Preparation of BTCP / PMDA binder

Figure 112016088002302-pat00027
Figure 112016088002302-pat00027

3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 50% PGMEA 용매에 녹아있는 2단계에서 합성한 BTCP 모노머 200g을 넣고 115℃까지 승온시켰다. 115℃에서 Pyromellitic dianhydride(화학식 9-3의 화합물) 21.1g를 적하한 후 6 시간동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. Phthalic anhydride 7.35g를 넣고 2시간 더 교반한 후 반응을 종료하였다. 냉각 후 중량평균 분자량이 4,500 g/mol인 바인더 용액을 얻었다.After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 200 g of the BTCP monomer synthesized in Step 2, which was dissolved in 50% PGMEA solvent, was added and the temperature was raised to 115 캜. 21.1 g of Pyromellitic dianhydride (compound of Formula 9-3) was added dropwise at 115 캜 and stirred at 115 캜 for 6 hours. Phthalic anhydride (7.35 g) was added thereto, and the reaction was terminated after stirring for an additional 2 hours. After cooling, a binder solution having a weight average molecular weight of 4,500 g / mol was obtained.

제조예 4 : BTCP/CHDA 바인더 제조 Preparation Example 4: Preparation of BTCP / CHDA binder

Figure 112016088002302-pat00028
Figure 112016088002302-pat00028

3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 50% PGMEA 용매에 녹아있는 2단계에서 합성한 BTCP 모노머 200g을 넣고 115℃까지 승온시켰다. 115℃에서 Cyclohexyl dianhydride(화학식 9-4의 화합물) 21.7g를 적하한 후 6 시간동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. Phthalic anhydride 7.35g를 넣고 2시간 더 교반한 후 반응을 종료하였다. 냉각 후 중량평균 분자량 4,200 g/mol인 바인더 용액을 얻었다.After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 200 g of the BTCP monomer synthesized in Step 2, which was dissolved in 50% PGMEA solvent, was added and the temperature was raised to 115 캜. 21.7 g of cyclohexyl dianhydride (compound of formula (9-4)) was added dropwise at 115 DEG C, followed by stirring at 115 DEG C for 6 hours. Phthalic anhydride (7.35 g) was added thereto, and the reaction was terminated after stirring for an additional 2 hours. After cooling, a binder solution having a weight average molecular weight of 4,200 g / mol was obtained.

상기 모노머 합성방법 및 바인더 중합방법을 사용하여 제조된 바인더 수지(화학식 1-5의 단위체를 갖는 중합체, 화학식 1-6의 단위체를 갖는 중합체, 화학식 1-7의 단위체를 갖는 중합체, 화학식 1-8의 단위체를 갖는 중합체 등), 광활성 화합물(PAC)과 광개시제, 유기용매 및 기타 첨가제를 사용하여 상온에서 3시간 동안 교반시킨 후 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하여 평가하였다. (A polymer having a unit of the formula (1-5), a polymer having the unit of the formula (1-6), a polymer having the unit of the formula (1-7), a polymer having the unit of the formula (1-8) , A photoactive compound (PAC), a photoinitiator, an organic solvent and other additives at room temperature for 3 hours, and then a positive photosensitive resin composition and a negative photosensitive resin composition were prepared and evaluated.

제조예 5 : BTCP/CBDA 바인더 제조 Production Example 5: Preparation of BTCP / CBDA binder

Figure 112016088002302-pat00029
Figure 112016088002302-pat00029

3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 50% PGMEA 용매에 녹아있는 2단계에서 합성한 BTCP 모노머 200g을 넣고 115℃까지 승온시켰다. 115℃에서 Cyclobutyl dianhydride(화학식 9-5의 화합물) 18.7g를 적하한 후 6 시간동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. Phthalic anhydride 7.35g를 넣고 2시간 더 교반한 후 반응을 종료하였다. 냉각 후 중량평균 분자량 4,200 g/mol인 바인더 용액을 얻었다.After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, 200 g of the BTCP monomer synthesized in Step 2, which was dissolved in 50% PGMEA solvent, was added and the temperature was raised to 115 캜. 18.7 g of cyclobutyl dianhydride (compound of the formula 9-5) was added dropwise at 115 ° C, and the mixture was stirred at 115 ° C for 6 hours. Phthalic anhydride (7.35 g) was added thereto, and the reaction was terminated after stirring for an additional 2 hours. After cooling, a binder solution having a weight average molecular weight of 4,200 g / mol was obtained.

상기 모노머 합성방법 및 바인더 중합방법을 사용하여 제조된 바인더 수지(화학식 1-9의 단위체를 갖는 중합체), 광활성 화합물(PAC)과 광개시제, 유기용매 및 기타 첨가제를 사용하여 상온에서 3시간 동안 교반시킨 후 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하여 평가하였다.The binder resin (polymer having a unit of Formula 1-9), photoactive compound (PAC), photoinitiator, organic solvent and other additives prepared using the monomer synthesis method and the binder polymerization method were stirred at room temperature for 3 hours A post-positive photosensitive resin composition and a negative photosensitive resin composition were prepared and evaluated.

[실시예 1][Example 1]

상기 바인더 제조예 1에 의해서 제조된 BTCP/BPDA 바인더 35g과 Tris-P PAC® 3g을 넣고 이들 고형분 함량이 35 중량%가 되도록 유기용매 PGMEA(propylene glycol methyl ether acetate)에 용해시키고, 상기 용액 60g에 실리콘계 계면활성제(BYK333, BYK) 0.03g, 에폭시계 접착조제(KBM403, 신에츠) 0.02g을 첨가하여 혼합하여 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.The insert the binder prepared in Example 1 the BTCP / BPDA binder 35g and Tris-P PAC ® 3g prepared by dissolving in an organic solvent, PGMEA (propylene glycol methyl ether acetate) of these solids content so that 35% by weight, to the solution 60g 0.03 g of a silicone surfactant (BYK333, BYK) and 0.02 g of an epoxy adhesive agent (KBM403, Shinetsu) were added and mixed to prepare a positive type organic insulating film composition.

[실시예 2][Example 2]

상기 바인더 제조예 2에 의해서 제조된 BTCP/BTDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.A positive type organic insulating film composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 35 g of the BTCP / BTDA binder resin produced by the binder preparation example 2 was used.

[실시예 3][Example 3]

상기 바인더 제조예 3에 의해서 제조된 BTCP/PMDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.A positive type organic insulating film composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 35 g of the BTCP / PMDA binder resin produced by the binder preparation example 3 was used.

[실시예 4][Example 4]

상기 바인더 제조예 4에 의해서 제조된 BTCP/CHDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.A positive type organic insulating film composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 35 g of the BTCP / CHDA binder resin produced by the binder preparation example 4 was used.

[실시예 5][Example 5]

상기 바인더 제조예 5에 의해서 제조된 BTCP/CBDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.A positive type organic insulating film composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 35 g of the BTCP / CBDA binder resin produced by the binder production example 5 was used.

[실시예 6][Example 6]

상기 바인더 제조예 1에 의해서 제조된 BTCP/BPDA 바인더 35g과 옥심에스터계 광개시제 1.0g(TPM-P07®)을 유기용매 PGMEA에 대하여 35 중량부가 되도록 용해시키고, 상기 용액에 계면활성제(BYK333) 0.03g, 접착조제(KBM403) 0.02g을 첨가하여 혼합하여 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.Is manufactured by the above-mentioned Production Example 1 Binder BTCP / BPDA binder 35g and oxime ester-based photoinitiator 1.0g (TPM-P07 ®) was dissolved to 35 weight part with respect to the organic solvent PGMEA, surfactant (BYK333) 0.03g to this solution And 0.02 g of an adhesive preparation (KBM403) were added and mixed to prepare a negative photosensitive resin composition.

[실시예 7][Example 7]

상기 바인더 제조예 2에 의해서 제조된 BTCP/BTDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 5와 동일한 방법으로 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.A negative photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 5 except that 35 g of the BTCP / BTDA binder resin produced by the binder preparation example 2 was used.

[실시예 8][Example 8]

상기 바인더 제조예 3에 의해서 제조된 BTCP/PMDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 5와 동일한 방법으로 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.A negative type photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 5 except that 35 g of the BTCP / PMDA binder resin prepared in the binder preparation example 3 was used.

[실시예 9][Example 9]

상기 바인더 제조예 4에 의해서 제조된 BTCP/CHDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 5와 동일한 방법으로 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.A negative photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 5 except that 35 g of the BTCP / CHDA binder resin prepared in the binder preparation example 4 was used.

[실시예 10][Example 10]

상기 바인더 제조예 5에 의해서 제조된 BTCP/CBDA 바인더 수지 35g을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 5와 동일한 방법으로 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.A negative photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 5 except that 35 g of the BTCP / CBDA binder resin prepared in the above-mentioned binder preparation example 5 was used.

[비교예 1][Comparative Example 1]

상기 실시예 1에서 BTCP/BPDA 바인더 대신 벤질메타크릴레이트 30 중량부, 메틸메타크릴레이트 10 중량부, 메타크릴산 10 중량부, 스티렌 모노머 10 중량부를 PGMEA 용매 하에서 40%의 고형분 함량으로 중합한 중량평균 분자량 15,000 g/mol인 아크릴 폴리머를 30g 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.In Example 1, 30 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of methyl methacrylate, 10 parts by weight of methacrylic acid, and 10 parts by weight of styrene monomer were polymerized in a PGMEA solvent at 40% solids content instead of the BTCP / BPDA binder A positive type organic insulating film composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that 30 g of an acrylic polymer having an average molecular weight of 15,000 g / mol was used.

[비교예 2][Comparative Example 2]

상기 실시예 1에서 BTCP/BPDA 바인더 대신 벤질메타크릴레이트 30 중량부, 메틸메타크릴레이트 10 중량부, 메타크릴산 10 중량부, 스티렌 모노머 10 중량부를 PGMEA 용매 하에서 40%의 고형분 함량으로 중합한 중량평균 분자량 15,000 g/mol인 아크릴 폴리머 30g과 광개시제 1.0g(OXE01®)을 유기용매 PGMEA에 대하여 35 중량% 농도가 되도록 용해시키고, 상기 용액에 계면활성제(BYK333) 0.03g, 접착조제(KBM403) 0.02g을 첨가하여 혼합하여 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.In Example 1, 30 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of methyl methacrylate, 10 parts by weight of methacrylic acid, and 10 parts by weight of styrene monomer were polymerized in a PGMEA solvent at 40% solids content instead of the BTCP / BPDA binder average molecular weight 15,000 g / mol of an acrylic polymer and a photoinitiator 30g 1.0g (OXE01 ®) a surfactant (BYK333) 0.03g, adhesive preparation (KBM403) was dissolved at a concentration 0.02 to 35% by weight relative to the organic solvent PGMEA, the solution g were added and mixed to prepare a negative photosensitive resin composition.

[비교예 3][Comparative Example 3]

3-Neck flask에 reflux condenser와 온도계를 setting한 후, 상기 1단계에서 화학식 1의 예로 합성한 2,2'-((((9H-fluorene-9,9-diyl)bis(4,1-phenylene)) bis(oxy))bis(methylene))bis(oxirane) 149g, 아크릴산 46g, TBAB 1.5g를 넣고 50 중량% 되도록 PGMEA 200g을 넣은 후 115℃까지 승온시키고, HPLC로 반응도를 확인하면서 아크릴레이트기가 치환된 모노머를 합성하였다. After setting the reflux condenser and thermometer on the 3-neck flask, remind Bis (4, 1-phenylene)) bis (oxy)) bis (methylene)) bis (oxirane ), 46 g of acrylic acid and 1.5 g of TBAB were charged and 200 g of PGMEA was added thereto so as to have a concentration of 50% by weight. The temperature was raised to 115 캜 and the reactivity was checked by HPLC to synthesize an acrylate group-substituted monomer.

상기 옥시란 화합물의 함량이 0.5%인 것을 확인한 후 여기에 3,3',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride(BPDA) 56g을 적하하고 6시간 동안 115℃를 유지하면서 교반시켰다. 이후 Phthalic anhydride 14g을 넣고 2시간 더 교반한 후 반응을 종료하였고, 냉각 후 중량평균 분자량 4,000 g/mol인 아크릴레이트기로 치환된 바인더 용액을 얻었다. After confirming that the content of the oxirane compound was 0.5%, 56 g of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) was added dropwise thereto, and the mixture was stirred at 115 ° C for 6 hours. Then, 14 g of phthalic anhydride was added and stirring was continued for 2 hours. The reaction was terminated. After cooling, a binder solution substituted with an acrylate group having a weight average molecular weight of 4,000 g / mol was obtained.

상기 바인더 35g에 Tris-P PAC® 3g을 넣고 이들 고형분 함량이 35 중량%가 되도록 유기용매 PGMEA(propylene glycol methyl ether acetate)에 용해시키고, 상기 바인더 용액 60g에 실리콘계 계면활성제(BYK333, BYK) 0.03g, 에폭시계 접착조제(KBM403, 신에츠) 0.02g을 첨가하여 혼합하여 포지티브형 유기절연막 조성물을 제조하였다.The binder 35g Tris-P PAC ® 3g into their solid content is dissolved in an organic solvent, PGMEA (propylene glycol methyl ether acetate) so that 35% by weight of a silicone surfactant to the binder solution, 60g (BYK333, BYK) 0.03g And 0.02 g of an epoxy-based adhesive preparation (KBM403, Shin-Etsu) were added and mixed to prepare a positive-type organic insulating film composition.

[비교예 4][Comparative Example 4]

상기 비교예 3의 바인더 35g과 광개시제 1.0g(OXE01®)를 이들 고형분 함량이 35 중량%가 되도록 유기용매 PGMEA에 용해시키고, 상기 용액에 계면활성제(BYK333) 0.03g, 접착조제(KBM403) 0.02g을 첨가하여 혼합하여 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제조하였다.Comparative Example 3 The solid content of the binder and a photoinitiator 35g 1.0g (OXE01 ®) of this was dissolved in organic solvent PGMEA such that 35% by weight, surfactant (BYK333) to this solution 0.03g, adhesive preparation (KBM403) 0.02g Were added and mixed to prepare a negative photosensitive resin composition.

[물성평가][Property evaluation]

상기 실시예 1 내지 10 및 비교예 1 내지 4를 통해 얻어진 감광성 수지 조성물 각각을 스핀코터에 800~900rpm으로 15초 동안 도포한 후 핫플레이트에서 90℃에서 100초 동안 건조하였다. 소정의 마스크를 이용해, 광원으로서 초고압수은램프를 이용해서 노광한 후 수용성 알칼리 현상액에 25℃에서 60초간 스핀 현상한 후 수세하였다. 수세 건조 후, 230℃에서 40분간 베이크해서 패턴을 얻었다. 얻어진 패턴에 대해서 이하의 평가를 진행하였다.Each of the photosensitive resin compositions obtained through Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 was applied to a spin coater at 800 to 900 rpm for 15 seconds and then dried on a hot plate at 90 DEG C for 100 seconds. After exposure using an ultrahigh pressure mercury lamp as a light source using a predetermined mask, it was spin-developed at 25 DEG C for 60 seconds in a water-soluble alkali developing solution and then washed with water. After washing with water and drying, it was baked at 230 ° C for 40 minutes to obtain a pattern. The following evaluation was made on the obtained pattern.

(1) 감도 평가(1) Sensitivity evaluation

상기 조성된 각각의 감광성 수지 조성물을 스핀코터로 유리기판(삼성코닝사제, Eagle2000)에 도포하고, 핫플레이트로 90℃, 1분간 건조했다. 건조 후 촉침식 막두께 측정기 (KLA-Tencor사제, α-step 500)으로 측정하여 감광성 박막을 얻었다. 패턴이 있는 포토마스크를 이용하여 초고압수은램프로 노광 후 수용성 알칼리 현상액으로 스프레이 현상하여 포토레지스트 패턴을 얻었다. 20미크론의 마스크 패턴과 같은 치수를 형성할 수 있는 적정 노광량(mJ/cm2)을 표시하였다. 즉, 노광량이 적은 레지스트는 적은 광에너지로도 패턴 형성이 가능하기 때문에 고감도인 것을 나타낸다.Each of the thus-formed photosensitive resin compositions was applied to a glass substrate (Eagle 2000, manufactured by Samsung Corning Incorporated) with a spin coater and dried at 90 캜 for 1 minute with a hot plate. After drying, the photosensitive thin film was obtained by measuring with a contact-type film thickness meter (? -Step 500, manufactured by KLA-Tencor Co., Ltd.). After exposure with an ultra-high pressure mercury lamp using a photomask having a pattern, the resist was spray-developed with a water-soluble alkali developer to obtain a photoresist pattern. (MJ / cm < 2 >) capable of forming the same dimensions as the mask pattern of 20 microns. That is, a resist having a small exposure dose shows high sensitivity because a pattern can be formed even with a small light energy.

(2) 현상 후 잔막률 (2) Residual film ratio after development

상기 감도평가 과정에서 현상후의 패턴 두께를 측정하므로써 잔막률에 대한 평가 결과를 나타낼 수 있다.In the sensitivity evaluation process, the evaluation of the residual film ratio can be performed by measuring the pattern thickness after development.

(3) 투과도(3) Transmittance

상기 조성물에 대해 유리 기판위에 스핀 코팅하여 3미크론의 동일 두께를 형성한 후 400mJ/cm2 전면 노광, 240℃ 40분의 포스트베이크를 거쳤으며, 각 단계에서 UV-spectrometer를 사용하여 400nm ~ 800nm까지의 평균 투과율을 측정 하였다.The composition was spin-coated on a glass substrate to form the same thickness of 3 microns and then subjected to a 400 mJ / cm 2 front exposure and post-baking at 240 ° C for 40 minutes. Using a UV-spectrometer, Was measured.

(4) 태퍼각(taper angle) (4) taper angle

상기 평가에서 현상 후 20미크론 마스크 패턴과 동일 치수의 감도가 형성된 패턴 기판을 240℃ 40분 포스트베이크를 거친 후 SEM을 사용하여 패턴의 태퍼각을 측정 하였다.In the above evaluation, after development, the pattern substrate on which sensitivity of the same dimension as the 20-micron mask pattern was formed was subjected to post-baking at 240 ° C for 40 minutes, and then the patter angle of the pattern was measured using SEM.

(5) 밀착성 (5) Adhesion

JIS D 0202의 시험방법에 따라, 노광 및 현상 후 240℃에서 40분간 가열한 도막에 격자모양으로 크로스컷을 넣고, 이어서 셀로판테이프에 의해 필링테스트를 행하고, 격자모양의 박리 상태를 관찰하여 평가하였다. 전혀 박리가가 없을 경우 ○, 박리가 인정된 것을 × 로 하였다.According to the test method of JIS D 0202, a crosscut was formed in a lattice pattern on a coated film heated at 240 캜 for 40 minutes after exposure and development, and then subjected to a peeling test with a cellophane tape to observe and evaluate the lattice peeling state . &Amp; cir & ≤ & cir &

이와 같은 결과 중 감도, 잔막률 및 밀착성에 대한 결과를 다음 표 1에 나타내었다.The results of the results of sensitivity, residual film ratio and adhesion are shown in Table 1 below.

실시예Example 바인더bookbinder 감도
(mJ/cm2)
Sensitivity
(mJ / cm 2 )
현상 후 잔막률(%)Remaining film ratio after development (%) 경화 후 잔막률(%)Film retention after curing (%) 밀착성Adhesiveness
1One 제조예 1Production Example 1 6060 9898 9494 22 제조예 2Production Example 2 4040 9999 9595 33 제조예 3Production Example 3 4040 9999 9797 44 제조예 4Production Example 4 3535 9898 9595 55 제조예 5Production Example 5 3535 9797 9494 66 제조예 1Production Example 1 4545 9898 9797 77 제조예 2Production Example 2 3030 9797 9696 88 제조예 3Production Example 3 3535 9797 9696 99 제조예 4Production Example 4 2525 9696 9595 1010 제조예 5Production Example 5 2525 9595 9494 비교예 1Comparative Example 1 비교예 1Comparative Example 1 200200 9090 8585 xx 비교예 2Comparative Example 2 비교예 1Comparative Example 1 150150 8989 8888 xx 비교예 3Comparative Example 3 비교예 3Comparative Example 3 180180 8989 8888 비교예 4Comparative Example 4 비교예 3Comparative Example 3 150150 9292 9090

또한 본 발명에서 확인하고자 했던 내열성을 확인하기 위해 태퍼각을 측정한 결과와 각 실시예에 제시된 조성물로 제조된 박막의 굴절률 및 경화 후 투과도 측정 결과를 아래 표 2에 나타내었다. Table 2 shows the results of measurement of the toughness angle to confirm the heat resistance to be confirmed in the present invention and the measurement results of the refractive index and the cured permeability of the thin film prepared from the compositions shown in the respective Examples.

실시예Example 바인더bookbinder 태퍼각
(도)
Taegeukgak
(Degree)
굴절률Refractive index 경화 후 투과도
(%)
Transmittance after curing
(%)
1One 제조예 1Production Example 1 5252 1.651.65 9696 22 제조예 2Production Example 2 5050 1.661.66 9797 33 제조예 3Production Example 3 5555 1.681.68 9797 44 제조예 4Production Example 4 5050 1.681.68 9898 55 제조예 5Production Example 5 5050 1.641.64 9898 66 제조예 1Production Example 1 5555 1.641.64 9898 77 제조예 2Production Example 2 6060 1.641.64 9898 88 제조예 3Production Example 3 6565 1.651.65 9898 99 제조예 4Production Example 4 6060 1.651.65 9999 1010 제조예 5Production Example 5 5858 1.631.63 9999 비교예 1Comparative Example 1 비교예 1Comparative Example 1 3232 1.461.46 9191 비교예 2Comparative Example 2 비교예 1Comparative Example 1 3333 1.451.45 9393 비교예 3Comparative Example 3 비교예 3Comparative Example 3 3535 1.491.49 8888 비교예 4Comparative Example 4 비교예 3Comparative Example 3 3838 1.471.47 9090

상기 표 1과 표 2는 본 발명에 의한 포지티브형 고감도 유기막 조성물 및 네가티브형 유기막 조성물과 비교예 1 내지 4로 제조된 아크릴 바인더를 이용한 유기막 조성물의 특성을 나타내었다. TFT-LCD 공정, OLED 공정 및 TSP 공정에 적용되는 감광재료 중에서 유기막 감광재의 특성은 디스플레이의 특성에 매우 중요하다. 특히, 감도, 내열성, 투과도 및 굴절률 등 광학특성은 유기막 감광재의 매우 중요한 특성이다. 감도 특성은 공정시간(TACT time)을 단축시키기 위한 매우 중요한 특성이다. 높은 감도특성은 공정시간을 단축시킴으로써 생산성을 향상시킬 수 있다. 상기 표 1에 나타낸 실시예에 의한 유기막 조성물은 비교예 1 내지 4의 조성물에 비해 우수한 고감도 특성을 나타내는 것을 알 수 있다. 이러한 특성은 본 발명에 의한 바인더 구조가 감도 특성에 영향을 주는 광활성 물질(PAC)이나 광개시제와의 상호작용이 우수하여 노광 영역과 비노광 영역에서의 용해속도 차이를 극대화시켜 감도 특성이 우수함을 알 수 있다. 그리고 본 발명의 바인더와 광활성 물질과의 상호작용 특성에 의해 현상 후 잔막율 및 밀착성 특성이 아크릴 바인더를 이용한 비교예의 감광성 수지 조성물 대비 매우 우수함을 확인할 수 있다. Table 1 and Table 2 show the characteristics of the organic film composition using the positive type high sensitivity organic film composition and the negative type organic film composition according to the present invention and the acrylic binder prepared according to Comparative Examples 1 to 4. Among the photosensitive materials applied to the TFT-LCD process, the OLED process and the TSP process, the characteristics of the organic film photosensitive material are very important for the characteristics of the display. In particular, optical properties such as sensitivity, heat resistance, transmittance and refractive index are very important characteristics of the organic photoresist. The sensitivity characteristic is a very important characteristic for shortening the TACT time. The high sensitivity characteristics can improve the productivity by shortening the processing time. It can be seen that the organic film compositions according to the examples shown in Table 1 exhibit excellent high sensitivity characteristics as compared with the compositions of Comparative Examples 1 to 4. These characteristics indicate that the binder structure according to the present invention is excellent in the interaction property with the photoactive material (PAC) or the photoinitiator that affects the sensitivity characteristics, thereby maximizing the dissolution rate difference between the exposed region and the non- . It can be confirmed that the residual film ratio and the adhesion property after development due to the interaction property between the binder of the present invention and the photoactive material are superior to the photosensitive resin composition of the comparative example using the acrylic binder.

또한, 본 발명의 바인더는 내열성이 우수하여 경사각(Taper angle) 및 가스방출(Outgassing) 특성을 제어할 수 있다. 특히, TFT 공정은 300℃ 이상의 고온 열처리 공정이 적용되기 때문에 바인더의 내열성 특성은 유기막 감광재의 내열 특성 확보에 매우 중요한 특성이다. 내열특성이 낮은 아크릴 바인더를 적용한 유기막 감광재는 고온 열처리 공정에서 분해되어 공정상 불순물이나 이물질로 발견되어 디스플레이의 특성을 저하시키는 원인이 된다. 그리고 패턴의 모양이나 테이퍼각 조절이 어렵기 때문에 감광재의 고해상도 특성 구현이 어렵다. 본 발명의 바인더 구조는 300℃ 이상의 내열특성 확보가 가능하기 때문에 고온 열처리 공정에 의한 불순물에 의한 특성 저하 문제를 해결할 수 있고 고해상도 특성을 갖는 패턴 구현이 가능하다.In addition, the binder of the present invention has excellent heat resistance and can control the taper angle and the outgassing characteristics. In particular, since the TFT process is performed at a high-temperature heat treatment process of 300 ° C or more, the heat resistance of the binder is an important property for securing the heat resistance of the organic photosensitive film. An organic photoresist using an acrylic binder having a low heat resistance property is decomposed in a high temperature heat treatment process and is found as an impurity or a foreign substance in the process, which causes deterioration of display characteristics. It is difficult to control the shape and taper angle of the pattern, so it is difficult to realize the high resolution characteristics of the photosensitive material. The binder structure of the present invention is capable of securing the heat resistance property of 300 占 폚 or more, thereby solving the problem of property deterioration due to impurities due to the high-temperature heat treatment step and realizing a pattern having high-resolution characteristics.

본 발명에 의한 바인더 구조는 높은 굴절률과 투과도 특성을 나타낸다. 본 발명의 바인더 구조는 특정한 모노머 구조와 특정 원소를 포함하기 때문에 일반적인 아크릴구조의 바인더 대비 높은 굴절률 특성을 나타낼 수 있다. 감광재의 높은 굴절률 특성은 빛에 의한 디스플레이의 광학특성 저하를 최소화 할 수 있기 때문에 빛에 투과도 특성이나 디스플레이의 선명도 특성을 향상시킬 수 있다. 특히, 본 발명에 의한 바인더를 이용한 감광성 수지 조성물에 의해 제조된 박막은 200℃ 이상의 온도에서 열경화 후에도 97% 이상의 매우 우수한 투과도 특성을 보였다. 감광재의 투과도 특성은 선명한 디스플레이의 특성을 구현할 수 있고, TFT 층의 개구율을 넓게 구현할 수 있기 때문에 콘트라스트 비율이 우수한 디스플레이 구현이 가능하고 구동을 위한 소비전력을 감소시킬 수 있다.  The binder structure according to the present invention exhibits high refractive index and transmittance characteristics. Since the binder structure of the present invention contains a specific monomer structure and a specific element, it can exhibit a high refractive index characteristic compared to a binder having a general acrylic structure. The high refractive index of the light-sensitive material can minimize the deterioration of the optical characteristics of the display due to light, thereby improving the transmittance characteristic of light and the sharpness characteristic of the display. In particular, the thin film produced from the photosensitive resin composition using the binder according to the present invention exhibited a very high transmittance of 97% or more even after heat curing at a temperature of 200 ° C or higher. Since the transparency characteristic of the photosensitive material can realize a clear display characteristic and can realize a wide aperture ratio of the TFT layer, it is possible to realize a display having a high contrast ratio and to reduce power consumption for driving.

결론적으로, 본 발명에 의한 바인더 수지를 이용함으로써 감도, 내열성, 투과도 및 굴절률 등 특성이 매우 우수한 감광성 수지 조성물 제조가 가능함을 확인할 수 있었다.As a result, it was confirmed that the use of the binder resin according to the present invention makes it possible to produce photosensitive resin compositions having excellent properties such as sensitivity, heat resistance, transmittance and refractive index.

Claims (13)

하기 화학식 I로 표시되는 중합체인 것을 특징으로 하는 바인더 수지:
[화학식 I]
Figure 112017022662549-pat00030

상기 화학식 I에서 R3 및 R‘3는 각각 RaSRb 치환기이며, 상기 Ra은 결합(bonding), 탄소수 1 내지 10인 알킬렌기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴렌기이며, 상기 S는 황이고, 상기 Rb는 탄소수 1 내지 10인 알킬기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴기이고, R4는 탄소수 4 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이며, A는 하기 화학식 I-1 내지 I-4 중 어느 하나로 표시되는 치환기이고, n은 1 내지 6인 정수이며, p는 1 내지 30의 정수이다.
[화학식 I-1]
Figure 112017022662549-pat00031


[화학식 I-2]
Figure 112017022662549-pat00032

[화학식 I-3]
Figure 112017022662549-pat00033

[화학식 I-4]
Figure 112017022662549-pat00034

상기 화학식 I-1 내지 I-4에서, R2 및 R'2는 각각 수소, 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2) 또는 할로겐화기를 나타내고, X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다.
A binder resin characterized by being a polymer represented by the following formula (I)
(I)
Figure 112017022662549-pat00030

R 3 and R ' 3 in the formula (I) are each R a SR b substituent, R a is bonding, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, , R b is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms and R 4 is a quaternary cycloaliphatic hydrocarbon radical containing or not containing a heteroatom having 4 to 20 carbon atoms, A is a substituent represented by any one of the following formulas (I-1) to (I-4), n is an integer of 1 to 6, and p is an integer of 1 to 30.
(I-1)
Figure 112017022662549-pat00031


[Formula I-2]
Figure 112017022662549-pat00032

[Formula I-3]
Figure 112017022662549-pat00033

[Formula I-4]
Figure 112017022662549-pat00034

R 2 and R ' 2 are each independently selected from the group consisting of hydrogen, a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) And X represents O, S, N, Si or Se.
제1항에 있어서,
상기 화학식 I의 R4는 하기 화학식 9-4 내지 9-5 중에서 선택된 1 이상의 화합물로부터 도입되는 치환기인 것을 특징으로 하는 바인더 수지:
[화학식 9-4]
Figure 112017022662549-pat00038

[화학식 9-5]
Figure 112017022662549-pat00039

The method according to claim 1,
Wherein R 4 in the above formula (I) is a substituent group introduced from at least one compound selected from the following formulas (9-4) to (9-5):
[Formula 9-4]
Figure 112017022662549-pat00038

[Formula 9-5]
Figure 112017022662549-pat00039

제1항에 있어서,
상기 바인더 수지는 디스플레이용 감광재에 바인더로 사용되는 것으로, 하기 화학식 1-8 내지 1-9 중에서 선택되는 1 이상의 구조를 단위체로 포함하는 중합체인 것을 특징으로 하는 바인더 수지:

[화학식 1-8]
Figure 112017022662549-pat00043

[화학식 1-9]
Figure 112017022662549-pat00044

The method according to claim 1,
The binder resin is used as a binder in a photosensitive material for a display, and is a polymer comprising at least one structure selected from the following Formulas 1-8 to 1-9 as a unit.

[Chemical Formula 1-8]
Figure 112017022662549-pat00043

[Chemical Formula 1-9]
Figure 112017022662549-pat00044

제1항에 있어서,
상기 바인더 수지는 유기산, 유기산 무수물 또는 아믹산으로 말단 종결된 수지인 것을 특징으로 하는 바인더 수지.
The method according to claim 1,
Wherein the binder resin is a resin terminated with an organic acid, an organic acid anhydride or an amic acid.
제1항에 있어서,
상기 바인더 수지의 중량평균 분자량은 1,000 내지 100,000 g/mol인 것을 특징으로 하는 바인더 수지.
The method according to claim 1,
Wherein the binder resin has a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000 g / mol.
제1항에 있어서,
상기 바인더 수지는 분산도가 1.0 내지 5.0인 것을 특징으로 하는 바인더 수지.
The method according to claim 1,
Wherein the binder resin has a degree of dispersion of 1.0 to 5.0.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 바인더 수지, 광개시제, 유기용매 및 계면활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 네가티브형 감광성 수지 조성물.
A negative photosensitive resin composition comprising the binder resin according to any one of claims 1 to 6, a photoinitiator, an organic solvent and a surfactant.
제7항에 있어서,
상기 네가티브형 감광성 수지 조성물은 바인더 수지 100 중량부, 광개시제 1 내지 20 중량부, 계면활성제 0.01 내지 5 중량부 및 접착조제 0 내지 10 중량부가 유기용매에 5 내지 80 중량%로 포함된 것을 특징으로 하는 네가티브형 감광성 수지 조성물.
8. The method of claim 7,
Wherein the negative photosensitive resin composition comprises 100 parts by weight of a binder resin, 1 to 20 parts by weight of a photoinitiator, 0.01 to 5 parts by weight of a surfactant, and 0 to 10 parts by weight of an adhesion promoter in an organic solvent in an amount of 5 to 80% Negative type photosensitive resin composition.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 바인더 수지, 광활성 화합물, 유기용매 및 계면활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
A positive photosensitive resin composition comprising the binder resin according to any one of claims 1 to 6, a photoactive compound, an organic solvent and a surfactant.
제9항에 있어서,
상기 포지티브형 감광성 수지 조성물은 바인더 수지 100 중량부, 광활성 화합물 0.1 내지 30 중량부, 계면활성제 0.01 내지 5 중량부 및 접착조제 0 내지 10 중량부가 유기용매에 5 내지 80 중량%로 포함된 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
10. The method of claim 9,
Wherein the positive photosensitive resin composition comprises 100 parts by weight of a binder resin, 0.1 to 30 parts by weight of a photoactive compound, 0.01 to 5 parts by weight of a surfactant, and 0 to 10 parts by weight of an adhesion promoter in an organic solvent in an amount of 5 to 80% Wherein the positive photosensitive resin composition is a positive photosensitive resin composition.
제7항의 감광성 수지 조성물로부터 형성된 수지 경화 패턴을 포함하는 기판.
A substrate comprising a resin curing pattern formed from the photosensitive resin composition of claim 7.
제9항의 감광성 수지 조성물로부터 형성된 수지 경화 패턴을 포함하는 기판.
A substrate comprising a resin curing pattern formed from the photosensitive resin composition of claim 9.
하기 화학식 5 내지 8로 표시되는 모노머와 하기 화학식 9로 표시되는 카르복시산 이무수물을 중합 반응시켜 하기 화학식 1로 표시되는 중합체를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
바인더 수지의 제조방법:
[화학식 5]
Figure 112017022662549-pat00045

[화학식 6]
Figure 112017022662549-pat00046

[화학식 7]
Figure 112017022662549-pat00047

[화학식 8]
Figure 112017022662549-pat00048

(상기 화학식 5 내지 8의 모노머 구조에서,
R2, R’2는 각각 수소 또는 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2) 또는 할로겐화기 등 헤테로 원소를 포함하는 치환기를 나타낸다. 여기서 X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다. 또한, R3, R‘3는 각각 탄소수 1 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 알킬기, 탄소수 6 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 아릴기, 또는 RC(=O)R’ 치환기이며, n은 1 내지 6인 정수이다.)
[화학식 9]
Figure 112017022662549-pat00049

(상기 화학식 9에서,
R4는 탄소수 4 내지 20이고 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이다.)
[화학식 I]
Figure 112017022662549-pat00050

상기 화학식 I에서 R3 및 R‘3는 각각 RaSRb 치환기이며, 상기 Ra은 결합(bonding), 탄소수 1 내지 10인 알킬렌기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴렌기이며, 상기 S는 황이고, 상기 Rb는 탄소수 1 내지 10인 알킬기, 또는 탄소수 6 내지 15인 아릴기이고, R4는 탄소수 4 내지 20인 헤테로 원소를 포함하거나 포함하지 않는 4가의 지환족(cycloaliphatic) 탄화수소 라디칼이며, A는 하기 화학식 I-1 내지 I-4 중 어느 하나로 표시되는 치환기이고 n은 1 내지 6인 정수이며, p는 1 내지 30의 정수이다.
[화학식 I-1]
Figure 112017022662549-pat00051

[화학식 I-2]
Figure 112017022662549-pat00052

[화학식 I-3]
Figure 112017022662549-pat00053

[화학식 I-4]
Figure 112017022662549-pat00054

상기 화학식 I-1 내지 I-4에서, R2 및 R'2는 각각 수소, 히드록시기(-OH), 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 니트로기(-NO2) 또는 할로겐화기를 나타내고, X는 O, S, N, Si 또는 Se를 나타낸다.
And polymerizing the monomer represented by the following formulas (5) to (8) and the carboxylic acid dianhydride represented by the following formula (9) to prepare a polymer represented by the following formula
Method of producing binder resin:
[Chemical Formula 5]
Figure 112017022662549-pat00045

[Chemical Formula 6]
Figure 112017022662549-pat00046

(7)
Figure 112017022662549-pat00047

[Chemical Formula 8]
Figure 112017022662549-pat00048

(In the monomer structures of the above formulas 5 to 8,
R 2 and R 2 each represent a substituent including a hydrogen or a heteroatom such as a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) Wherein X represents O, S, N, Si or Se. R 3 and R ' 3 each independently represent an alkyl group with or without a heteroatom of 1 to 20 carbon atoms, an aryl group with or without a heteroatom of 6 to 20 carbon atoms, or an RC (= O) R' substituent And n is an integer of 1 to 6.)
[Chemical Formula 9]
Figure 112017022662549-pat00049

(In the above formula (9)
R 4 is a quadrivalent cycloaliphatic hydrocarbon radical having 4 to 20 carbon atoms and containing or not containing a heteroatom.
(I)
Figure 112017022662549-pat00050

R 3 and R ' 3 in the formula (I) are each R a SR b substituent, R a is bonding, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, , R b is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms and R 4 is a quaternary cycloaliphatic hydrocarbon radical containing or not containing a heteroatom having 4 to 20 carbon atoms, A is a substituent represented by any one of formulas (I-1) to (I-4), n is an integer of 1 to 6, and p is an integer of 1 to 30.
(I-1)
Figure 112017022662549-pat00051

[Formula I-2]
Figure 112017022662549-pat00052

[Formula I-3]
Figure 112017022662549-pat00053

[Formula I-4]
Figure 112017022662549-pat00054

R 2 and R ' 2 are each independently selected from the group consisting of hydrogen, a hydroxyl group (-OH), a thiol group (-SH), an amino group (-NH 2 ), a nitro group (-NO 2 ) And X represents O, S, N, Si or Se.
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