KR101747151B1 - 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 나선 코일 지지체 일체형 히터를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 나선 코일 지지체 일체형 히터의 구조는 내부에 발열 코일(50)을 수용하기 위한 공간부가 구비된 튜브(10); 상기 튜브(10)에 내장된 코일 튜브(20); 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형 경로를 따라 코일 지지체 포밍 재료를 공급하여 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 구비된 나선 코일 지지체(30); 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 구비되어 상기 나선 코일 지지체(30)에 의해 형성된 상기 코일 안착홈(24)에 결합되며 전원선(4)에 연결되는 발열 코일(50)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법{Heater with one body type heating coil supporter manufacturing method}
본 발명은 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 발열 코일을 지지하는 나선 코일 지지체와 코일 튜브의 일체형 구조를 달성하여 코일 튜브의 파손이나 크랙 등이 생기는 것을 방지할 수 있으므로, 히터 제품으로서의 신뢰성을 높이는 등의 바람직한 결과를 기대할 수 있는 새로운 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 제조공정은 웨이퍼 상에 산화막, 금속막 등 다양한 재질의 박막을 순차적으로 적층하는 박막증착 공정을 필수적으로 포함한다. 이와 같은 박막증착 공정은 통상 그 박막증착 방법에 따라 물리기상증착방법과 화학기상증착방법으로 크게 나누어지며, 최근에는 열이나 플라즈마(Plasma) 등을 이용하여 반응가스를 분해함으로써 분해된 반응가스가 웨이퍼 상에 증착되어 산화막, 텅스텐 실리사이드(Tungsten silicide)막 및 티타늄 실리사이드(titanium silicide)막 등 다양한 박막을 형성하도록 하는 화학기상증착방법이 주로 이용되고 있다.
한편, 화학기상증착방법으로 박막증착공정을 원활하게 진행하기 위해서는 박막이 증착되어지는 웨이퍼가 공정진행에 적합한 온도로 가열되어야만 한다. 따라서, 화학기상증착방법으로 박막증착공정을 진행하는 반도체 제조장치에는 대부분 박막이 증착되어지는 웨이퍼를 가열하기 위하여 반도체 제조장치용 히터가 구비되고 있다.
한편, 소다라임 실리카 계열의 박판유리를 이용하여, 휴대폰, 네비게이션, MP3등의 휴대용 전자기기 및 가정용 전자기기의 외부 표시창용 강화유리를 제조는 이송유닛에 의해 예열로와 염욕로, 서냉로, 온수로, 열수로 및 건조로를 순차적으로 거친 후 이동유닛에 의해 운반되는 전체적인 구성이 자동으로 이루어져 일정한 강도와 두께 및 투과율을 가지는 강화유리를 제작하고 있다.
통상적으로 유리의 강화는 크게 물리적 강화와 화학적 강화로 나뉘는데, 일반적으로 물리적 강화는 유리의 두께 5mm이상의 유리를 사용하여 온도를 550℃에서 700℃ 사이에서 유리를 가열하여 급냉하는 방식으로 유리의 내부 강도를 강화하는 방식으로 이는 강화 유리문, 자동차용 유리 등에 주로 사용된다.
한편, 화학적 강화는 일반 소다라임 실리카 계열의 박판유리를 이용하여 450℃의 KNO3용액에서 3시간 이상 담가두면, 소다라임 실리카 유리에 있는 NA+이온과 KNO3용액의 K+이온을 서로 치환시켜 유리를 강화하는 것으로, 이러한 방법은 주로 2.0mm 이하의 박판유리를 강화하는 것에 이용된다.
기존의 강화유리 제작기술은 대체로 소규모로 이루어지고 있으며, 제작장치 또한, 수작업을 통해 이루어지는 형태로, 주로 시계유리에 사용되는 강화유리를 생산 및 제조하였다. 이렇게 강화유리의 제조가 소규모의 수작업으로 진행되므로 인해 제조된 강화유리의 품질의 균일성을 얻을 수 없고, 제조시 불량품의 발생이 과도하게 많이 발생되며, 제조하는 작업자가 위험에 노출된 상태로 작업에 임함으로써 크고 작은 사고가 빈번하게 발생되는 문제점을 내포하고 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 랙에 다수의 길다란, 예를 들어 3 ~5m의 석영관으로 된 발열관들을 배치한 오븐으로 한번에 많은 량의 예를 들어 핸드폰 액정 강화유리를 제조하기 위한 것이 제안되었다. 이러한 발열관은 예를들어 탄소사로 된 발열 코일를 내측 석영관에 권회시키고 그 동심원적 외측에 외측 석영관을 배치한 이중관 구조로 된 것이 공지되어 있다.
한편, 오븐 챔버의 내부에 온도 보상용 히터(봉형상 히터)를 적절한 갯수로 설치하여 피가공물에 대한 적정 온도 조절이 정밀하게 이루어지도록 하는 경우가 많다. 즉, 봉형상의 히터를 별도로 오븐 챔버 내부에 설치하여 피가공물 처리 등을 위한 온도를 미세하게 컨트롤하게 된다. 이때, 상기와 같이 보조 열원으로 사용되는 온도 보상용 히터로는 할로겐 램프를 사용하는 경우, 매우 빠른 시간(대략 1분 이내)에 온도가 올라가서 주위의 온도(대략 400℃~500℃)에 비하여 지나치게 높은 온도로 할로겐 히터가 과열되므로, 할로겐 히터의 발열 코일이 쉽게 끊어지고, 이로 인해 수명이 단축되는 문제가 있다.
따라서, 할로겐 히터의 온도가 너무 빨리 올라가는 특성을 고려하여 할로겐 히터 대신에 아이알 히터(IR heater)를 사용하는데, 이러한 아이알 히터는 할로겐 히터에 비하여 온도 액세스 타임(히터가 필요한 온도까지 올라가는 시간)이 대략 8분 정도로 상대적으로 느려서 아이알 히터가 주위 온도 조건에 비하여 과열되는 일이 없으므로, 발열 코일이 쉽게 끊어지는 일이 없게 된다.
한편, 기존의 산업용 히터 중에는 외부 튜브의 내부에 코일 튜브이 구비되고, 코일 튜브에는 나선 코일 지지체가 구비되어, 나선 코일 지지체의 나선부에 발열 코일 삽입된 상태로 지지되어 코일 튜브 외부에 발열 코일이 장착된 발열 코일 처짐 방지형 히터가 있다.
그런데, 기존의 발열 코일 처짐 방지형 히터는 나선 코일 지지체를 코일 튜브에 압입식으로 결합하는 구조라서, 나선 코일 지지체를 압입하는 과정에서 코일 튜브이 깨지는 경우가 생길 수 있다. 코일 튜브가 보통 석영관이나 내열성 유리관을 구성되는데, 상기 나선 코일 지지체를 코일 튜브에 압입하는 과정에서 코일 튜브이 깨지거나 미세한 크랙이 가는 경우가 생길 수 있으며, 이처럼 코일 튜브이 깨지는 경우에는 히터의 불량이 생기고 코일 튜브에 미세한 크랙이 가는 경우에는 히터가 사용중에 열로 인하여 깨져버리는 문제가 생길 수 있다.
국내등록특허 제10-1412460호(2014.06.20 등록) 국내공개실용신안 제20-2011-0006157호(2011.06.22 공개)
본 발명의 목적은 발열 코일을 지지하는 나선 코일 지지체와 코일 튜브를 일체형으로 구성함으로써 기존에 나선 코일 지지체를 코일 튜브에 강제로 압입하여 형성한 것에 비하여 코일 튜브의 파손이나 크랙 등이 생기는 것을 방지할 수 있으며, 이처럼 코일 튜브의 파손이나 크랙 등을 방지함으로써 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 새로운 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 내부에 발열 코일을 수용하기 위한 공간부가 구비된 튜브; 상기 튜브에 내장된 코일 튜브; 상기 코일 튜브의 외주면에 나선형 경로를 따라 코일 지지체 포밍 재료를 공급하여 상기 코일 튜브의 외주면에 일체형으로 구비된 나선 코일 지지체; 상기 코일 튜브의 외주면에 구비되어 상기 나선 코일 지지체에 의해 형성된 상기 코일 안착홈에 결합되며 전원선에 연결되는 발열 코일;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 나선 코일 지지체 일체형 히터가 제공된다.
상기 코일 튜브의 외주면에 모재봉을 배치하고, 상기 코일 튜브의 외주면에서 나선형 경로를 따라 상기 모재봉을 녹이면서 이동시켜서 상기 코일 튜브의 외주면에 상기 나선 코일 지지체를 일체형으로 접합한 것을 특징으로 한다.
상기 예비 나선 코일 지지체가 경화되면서 일정 면적의 밴드 형상 접합부가 형성되어, 상기 나선 코일 지지체가 상기 접합부에 의해 상기 코일 튜브와 일체화되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의하면, 코일 튜브를 클램프에 의해 지지하는 단계; 상기 코일 튜브의 일단부측 외주면에 모재봉을 배치하는 단계; 상기 모재봉을 토치에 의해 녹이면서 상기 코일 튜브의 외주면에서 나선형 경로를 따라 상기 모재봉과 상기 토치를 이동시켜서 상기 코일 튜브의 외주면에 예비 나선 코일 지지체를 형성하는 단계; 상기 예비 나선 코일 지지체를 경화시켜서 상기 코일 튜브의 외주면에 상기 나선 코일 지지체를 일체형으로 형성하는 단계;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법이 제공된다.
상기 코일 튜브의 외주면에 상기 나선 코일 지지체가 일정 폭을 가진 밴드 형상의 접합부에 의해 일체형으로 구비되도록 제작하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 나선 코일 지지체가 코일 튜브 외주면에 강제 압입식이 아니라 코일 튜브 외주면에 프리 스트레스 없이 손쉽게 나선 코일 지지체를 일체형으로 형성하기 때문에, 코일 튜브가 깨지거나 금이 가거나 또는 눈에 보이지는 않는 얇은 크랙이 생기는 경우를 피할 수 있는 것이며, 이처럼 코일 튜브가 깨지거나 금이 가는 경우를 방지함으로써 코일 튜브 자체를 사용하지 못하고 다른 코일 튜브를 사용해야 하는 문제를 해결할 수 있고, 히터의 사용중에 고열이 가해질 경우 미세 크랙으로 인하여 코일 튜브가 깨져버리는 문제 역시 미연에 방지하는 효과가 있으며, 이로 인하여 히터의 불량으로 이어지는 경우는 전혀 발생하지 않는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명에 의한 나선 코일 지지체 일체형 히터의 주요부인 코일 튜브와 나선 코일 지지체를 형성하는 과정을 개념적으로 보여주는 사시도
도 2는 도 1에 도시된 코일 튜브와 나선 코일 지지체를 일체형으로 접합한 상태를 보여주는 사시도
도 3은 도 2의 전개도
도 4는 본 발명에 의한 나선 코일 지지체 일체형 히터의 분해 사시도
도 5는 도 4의 조립된 상태를 보여주는 사시도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 의한 나선 코일 지지체 일체형 히터는 내부에 발열 코일(50)을 수용하기 위한 공간부가 구비된 튜브(10)와, 이 튜브(10)에 내장된 코일 튜브(20)와, 이 코일 튜브(20)의 외주면에 접합부(40)에 의해 일체형으로 구비되어 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형 코일 결합홈을 형성하는 나선 코일 지지체(30)와, 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 끼워져 결합되어 나선 코일 지지체(30)에 의해 형성된 코일 안착홈(24)에 결합되며 전원선(4)에 연결되는 발열 코일(50)을 포함하는데, 상기 나선 코일 지지체(30)는 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형 경로를 따라 모재봉(30A)을 녹여 붙여서 나선 코일 지지체(30)가 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형(한몸)으로 구비되도록 구성한 것에 특징이 있다.
상기 튜브(10)는 일단부(즉, 상단부)가 개구된 원형관 형태로 구성된다. 튜브(10)의 내부에는 후술하는 코일 튜브(20)와 나선 코일 지지체(30) 및 나선형 코일 튜브(20)가 내장된다. 튜브(10)는 투명한 석영 재질로 구성되어, 발열 코일(50)의 열이 원활하게 튜브(10)의 외부로 방사되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 코일 튜브(20)의 외주면에서 모재봉(30A)을 녹이면서 나선형 경로를 따라 이동시키면, 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형의 예비 나선 코일 지지체가 공급된 상태가 된다. 모재봉(30A)은 용접봉과 같이 토치(TC)의 온도(대략 1000℃ 정도의 온도)에 의해 녹아서 코일 튜브(20)에 접합되는 재료이다. 또한, 예비 나선 코일 지지체라 함은 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형으로 붙어 있기는 하되 아직 경화되지 않은 것을 의미한다.
상기 예비 나선 코일 지지체가 일정 시간이 지나서 경화되면 비로소 코일 튜브(20)의 외주면에 나선 코일 지지체(30)가 일체형으로 구비될 수 있다. 나선 코일지지체(30)가 일정 폭을 가진 접합부(40)에 의해 코일 튜브(20) 외주면에 일체형으로 접합된다. 이처럼, 나선 코일 지지체(30)가 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 구비되면, 상기 나선 코일 지지체(30)에 의해 코일 튜브(20) 외주면에 나선형의 코일 안착홈이 형성될 수 있다. 이때, 코일 튜브(20)와 나선 코일 지지체(30)는 석영(수정)으로 이루어진다. 상기 코일 튜브(20)의 재질이 석영이고 모재봉(30A)의 재질이 석영이므로, 코일 튜부(30)와 이에 일체형으로 접합된 나선 코일 지지체(30)가 동종 재질인 석영으로 이루어진다. 물론, 상기 코일 튜브(20)와 나선 코일 지지체(30)는 석영 이외에 고열에 견딜 수 있는 내화성 재질이면 모두 채용이 가능할 것이다.
상기와 같이, 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형 경로를 따라 모재봉(30A)을 녹여 붙여서 나선 코일 지지체(30)를 형성하면, 코일 튜브(20)와 나선 코일 지지체(30)가 열에 의한 특성 변화가 최소화될 수 있고 기존과 달리 코일 튜브(20)가 깨지거나 미세 크랙이 생기는 경우를 방지할 수 있어서 바람직하다.
한편, 상기 나선 코일 지지체(30)가 상기와 같은 방식으로 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 구비된 다음에 별도로 나선 코일 지지체(30)의 나선 경로를 따라 용접부를 형성할 수도 있는데, 이러한 경우에는 용접부에 의해 코일 튜브(20)의 외주면에 나선 코일 지지체(30)가 보다 견고하게 일체화될 수 있어서 보다 바람직하다. 물론, 상기 용접부는 필요에 따라 채택할 수도 있고 채택하지 않을 수도 있는 옵션 사항(선택 사항)이라는 것을 이해해야 할 것이다.
한편, 상기 코일 튜브(20)의 일단부에는 원형 블록 형상의 절연체(2)가 구비된다. 절연체(2)는 비통전성인 애자 등으로 구성될 수 있다. 이때, 절연체(2)에는 구멍이 형성되어, 이 구멍을 통해 전원선(4)이 인입되어 튜브(10)의 내부에 설치되는 발열 코일(50)에 통전 가능하게 연결된다.
상기와 같은 방식으로 접합부(40)에 의해 나선 코일 지지체(30)가 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 접합된 코일 튜브 조립체가 상기 튜브(10)의 내부에 들어가서 결합된다. 또한, 코일 튜브(20) 일단부의 절연체(2)도 튜브(10)에 내장된 구조를 취한다.
상기 코일 튜브(20) 외주면의 나선형 코일 안착홈에 발열 코일(50)이 안착 결합된다. 따라서, 나선 코일 지지체(30)에 의해 발열 코일(50)의 처짐이 방지된다. 발열 코일(50)은 필라멘트선과 같이 전원 공급에 의해 발열이 될 수 있는 재료는 모두 채용이 가능하다.
따라서, 상기한 구성의 본 발명은 산업용 오븐 랜지의 내부에 수직으로 세워서 투입되어 열이 가해질 필요가 있는 피고정물의 열원으로 사용될 수 있는데, 상기 튜브(10)에 내장된 코일 튜브(20)의 외주면에 코일 안착홈(24)을 형성하고, 이 코일 튜브(20) 외주면의 코일 안착홈(24)에 전원선(4)과 연결되는 발열 코일(50)을 결합하여, 발열 코일(50)이 수직으로 세워진 상태에서 발열함으로써 열이 필요한 피가공물에 열을 공급하도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명에 의하면, 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법이 제공될 수 있다. 본 발명의 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법은 코일 튜브(20)를 클램프에 의해 지지하는 단계와, 코일 튜브(20)의 일단부측 외주면에 모재봉(30A)을 배치하는 단계와, 모재봉(30A)을 토치(TC)에 의해 녹이면서 코일 튜브(20)의 외주면에서 나선형 경로를 따라 이동시켜 예비 나선 코일 지지체가 코일 튜브(20)의 외주면에 부착되도록 하는 단계와, 코일 튜브(20)의 외주면에 나선형으로 부착되어 있는 예비 나선 코일 지지체를 경화시켜서 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 나선 코일 지지체(30)를 일체형으로 형성하는 단계를 포함한다.
이때, 예비 나선 코일 지지체(즉, 아직 경화되어 있지 않은 용융된 상태의 재료)가 경화됨으로써 코일 튜브(20)의 외주면에 나선 코일 지지체(30)가 상기한 바와 같은 접합부(40)에 의해 일체형으로 구비된다.
한편, 상기 예비 나선 코일 지지체가 경화되기 이전에 일정 간격으로 복수개의 오목홈을 형성할 수도 있다. 즉, 상기 예비 나선 코일 지지체의 양면 중에서 적어도 하나의 면을 따라 푸시편을 이동시키면서 푸시편에 의해 예비 나선 코일 지지체의 적어도 하나의 면을 눌러주면, 나선 코일 지지체(30)의 양면 중에서 적어도 하나의 면에 복수개의 오목홈이 일정 간격으로 형성될 수 있다. 이러한 오목홈은 나선 코일 지지체(30)와 발열 코일(50) 사이의 접촉 면적을 더 줄여주는 기능을 할 수 있으므로, 발열 코일(50)에서의 열전도 량을 최대한 낮추어서 히터가 과열로 인하여 터지는 경우를 확실하게 방지하는 효과를 가진다. 물론, 상기 오목홈도 역시 필요에 따라 채택할 수도 있고 채택하지 않을 수도 있는 옵션이라는 것을 이해해야 할 것이다.
상기한 구성의 본 발명에 의한 히터는 코일 튜브(20)의 외주면을 따라 나선형으로 녹아서 붙는 모재봉(30A)에 의해 나선 코일 지지체(30)가 코일 튜브(20)의 외주면을 따라 일체형으로 접합되는 구조를 취함으로 인하여 기존과 차별화되는 효과가 있다.
기존에는 나선 코일 지지체가 본 발명과 같은 구조가 아니고 코일 튜브(20)에 강제로 압입되는 구조라서 나선 코일 지지체의 압입 과정에서 코일 튜브(20)가 깨지거나 금이 가거나 또는 눈에 보이지는 않는 얇은 크랙이 생기는 경우를 피할 수 없으며, 이처럼 코일 튜브(20)가 깨지거나 금이 가는 경우에는 코일 튜브(20) 자체를 사용할 수 없어서 다른 코일 튜브(20)를 사용해야 하는 문제가 있고, 코일 튜브(20)에 얇은 미세 크랙이 있는 경우에는 히터의 사용중에 고열이 가해지면 미세 크랙으로 인하여 코일 튜브(20)가 깨져버리는 문제가 생기며, 이는 곧 히터의 불량으로 이어진다.
그러나, 본 발명에서는 나선 코일 지지체(30)가 코일 튜브(20) 외주면에 강제 압입식이 아니라 코일 튜브(20) 외주면에 모재봉(30A)을 녹여 붙여서 경화시키면 나선 코일 지지체(30)와 코일 튜브(20)가 일체형으로 접합 형성되므로, 코일 튜브(20)가 깨지거나 금이 가거나 또는 눈에 보이지는 않는 얇은 크랙이 생기는 경우를 피할 수 있는 것이며, 이처럼 코일 튜브(20)가 깨지거나 금이 가는 경우를 방지함으로써 코일 튜브(20) 자체를 사용하지 못하고 다른 코일 튜브(20)를 사용해야 하는 문제를 해결할 수 있고, 히터의 사용중에 고열이 가해질 경우 미세 크랙으로 인하여 코일 튜브(20)가 깨져버리는 문제 역시 미연에 방지하는 효과가 있으며, 이로 인하여 히터의 불량으로 이어지는 경우는 전혀 발생하지 않는 효과를 가진다.
한편, 본 발명에서는 일정 온도로 용융되어 있는 페이스트 상태의 코일 지지체 융착 재료가 코일 튜브(20)의 외주면에서 나선형 경로를 따라 공급된 다음 경화됨으로써, 상기 나선 코일 지지체(30)가 접합부(40)에 의해 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 구비되도록 구성될 수도 있다. 이러한 경우에는 상기한 본 발명의 실시예들의 효과는 그대로 가져가면서도 나선 코일 지지체(30)를 코일 튜브(20)에 일체형으로 접합하는 작업에 있어서 보다 편리한 등의 효과가 있다. 다시 한번 밝혀두지만, 상기 페이스트 상태의 코일 지지체 융착 재료가 코일 튜브(20)의 외주면에서 나선형 경로를 따라 공급된 다음 경화되어, 상기 나선 코일 지지체(30)가 접합부(40)에 의해 코일 튜브(20)의 외주면에 일체형으로 구비된 구성은 필요에 따라 채택할 수도 있고 채택하지 않을 수도 있은 것이며, 이러한 구조가 본 발명의 권리 범위에 영향을 미치는 것은 아니라는 점도 이해해야 할 것이다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
10. 튜브 20. 코일 튜브
30. 나선 코일 지지체 40. 접합부
50. 발열 코일

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 코일 튜브(20)를 클램프에 의해 지지하는 단계;
    상기 코일 튜브(20)의 일단부측 외주면에 모재봉(30A)을 배치하는 단계;
    상기 모재봉(30A)을 토치(TC)에 의해 녹이면서 상기 코일 튜브(20)의 외주면에서 나선형 경로를 따라 상기 모재봉(30A)과 상기 토치(TC)를 이동시켜서 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 예비 나선 코일 지지체를 형성하는 단계;
    상기 예비 나선 코일 지지체를 경화시켜서 상기 코일 튜브(20)의 외주면에 상기 나선 코일 지지체(30)를 일체형으로 형성하는 단계;를 포함하여 구성되며,
    상기 코일 튜브(20)의 외주면에 상기 나선 코일 지지체(30)가 일정 폭을 가진 밴드 형상의 접합부(40)에 의해 일체형으로 구비되도록 하는 것을 특징으로 하는 나선 코일 지지체 일체형 히터 제조방법.
  5. 삭제
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