KR101743224B1 - AMOLED step cleaning device using a low frequency horizontal vibration - Google Patents

AMOLED step cleaning device using a low frequency horizontal vibration Download PDF

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Abstract

본 발명은 반응챔버 내에서 유기물질의 융착으로 생산되는 AMOLED(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode), OLED의 생산시 반응챔버에서 사용된 반응기를 저주파 진동의 수평 변위를 이용하여 자동으로 세척하여 재사용 할 수 있도록 하는 저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치에 관한 것이다.
본 발명은 세정액이 채워지는 세정수조를 구비하고, 상기 세정수조의 내부에서 매달린 형태로 바닥과 벽면에서 이격되어 설치되는 한편 탄성을 갖는 진동바디를 구비하고, 상기 진동바디의 중앙에 결합되고 내부에 반응기가 수납되는 바스켓을 구비하고, 상기 바스켓에 끼워져 압축공기 압력에 의해 수평 진동하는 진동기를 구비하되 상기 진동기는 플렉시블한 입배기 호스를 통하여 세정수조에 고정되게 함으로써 이루어진다.The present invention relates to an AMOLED (Active-Matrix Organic Light Emitting Diode) which is produced by fusion of an organic material in a reaction chamber, a reactor used in a reaction chamber during the production of OLEDs is automatically cleaned using horizontal displacement of low- To a cleaning device for an AMOLED process using low frequency horizontal vibration.
The present invention provides a washing machine comprising a washing water tank filled with a washing liquid and having a resilient vibration body spaced apart from the floor and a wall in a suspended form in the washing water tank, And a vibrator which is fitted in the basket and horizontally vibrated by the pressure of the compressed air. The vibrator is fixed to the washing water tank through a flexible inlet / outlet hose.

Description

저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치{AMOLED step cleaning device using a low frequency horizontal vibration}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an AMOLED step cleaning device using a low frequency horizontal vibration,

본 발명은 반응챔버 내에서 유기물질의 융착으로 생산되는 AMOLED(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode), OLED의 생산시 반응챔버에서 사용된 반응기를 저주파 진동의 수평 변위를 이용하여 자동으로 세척하여 재사용 할 수 있도록 하는 저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an AMOLED (Active-Matrix Organic Light Emitting Diode) which is produced by fusion of an organic material in a reaction chamber, a reactor used in a reaction chamber during the production of OLEDs is automatically cleaned using horizontal displacement of low- To a cleaning device for an AMOLED process using low frequency horizontal vibration.

AMOLED(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode), OLED 생산 공정에서 유기물질이 반응 챔버내에서 기판에 융착되어 생산될 때 반응챔버에서 사용된 반응기를 재사용하기 위해서는 반응기에 묻은 유기화합물을 제거하기 위한 세정공정을 필요로 한다.In order to reuse the reactors used in the reaction chamber when the organic materials are fused to the substrate in the reaction chamber in the AMOLED (Active-Matrix Organic Light Emitting Diode) and OLED production processes, a cleaning process need.

반응챔버에서 사용된 반응기에는 미세 오염물이 묻을 수밖에 없고, 이를 세정하는 방법은 작업자가 직접 유기화합물이 묻은 세정물을 불산, IPA, Ethanol, Acetone 등 휘발성 유기화합물과 산류를 사용하여 수작업으로 세정하거나, 휘발성 유기용제에 장시간 담가놓은 후 꺼내게 된다.In the reactor used in the reaction chamber, fine contaminants are inevitably adhered to the reaction chamber. To clean the reaction chamber, the operator manually cleans the cleaned product impregnated with the organic compound by using volatile organic compounds such as hydrofluoric acid, IPA, ethanol, After putting it in a volatile organic solvent for a long time, it is taken out.

여기서, 세정에 사용되는 희석한 불산 등의 휘발성 유기용제는 폭발을 일으킬 수 있기 때문에 전기용품의 사용을 배제한 작업환경이 요구되고, 작업자가 수작업으로 세정을 하는 경우에는 유기용제의 특성상 매우 유해한 환경에 노출될 수밖에 없고, 작업자의 위험성과 폭발의 위험성 때문에 세정액에 담궈만 놓는 경우는 침지시간이 오래 걸리기 때문에 작업시간이 오래 걸리는 문제가 있다.Since volatile organic solvents such as diluted hydrofluoric acid used for cleaning may cause explosion, a working environment excluding the use of electric appliances is required. In the case of cleaning by hand by an operator, the environment is very harmful to the environment If it is necessary to immerse it in the cleaning liquid because of the risk of the operator and the risk of explosion, it takes a long time to immerse because the immersion time is long.

그리고, 반응기를 화학적 세정액에 침지시켜 세정을 하는 경우, 침지시간이 오래 걸리는 문제를 해결하기 위하여 초음파 발생기를 사용면 침지시간은 줄일 수 있으나, 화학적 세정액이 비산되는 문제로 인하여 사용할 수 없다. In addition, when the reactor is immersed in a chemical cleaning solution, the immersion time of the ultrasonic generator can be reduced in order to solve the problem that the immersion time is long, but it can not be used due to the scattering of the chemical cleaning solution.

대한민국 특허 공개 10-2011-0043018호(2011.04.27. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2011-0043018 (Published on April 27, 2011) 대한민국 특허 등록 10-0871451호(2008.11.25. 등록)Korea Patent Registration No. 10-0871451 (Registered on November 25, 2008) 대한민국 특허 공개 10-2013-0072729호(2013.07.02. 공개)Korean Patent Laid-open Publication No. 10-2013-0072729 (published on Feb. 23, 2013) 대한민국 특허 공개 10-2013-0007867호(2013.01.21. 공개)Korean Patent Laid-Open No. 10-2013-0007867 (published on Jan 21, 2013)

본 발명은 AMOLED, OLED의 생산 공정시 유기화합물이 묻은 반응기를 세정함에 있어서, 수작업으로 세정을 하기에는 작업 환경이 유해하고, 휘발성 유기용제에 반응기를 침지시켜 세정을 하는 경우에는 시간이 오래 걸리는 문제를 해결하기 위한 것으로, 세정액이 채워진 수조에 반응기가 채워진 바스켓을 침지시킨 상태에서 바스켓에 수평 진동을 주어 세정 작업이 빠르고 정확하게 이루어질 수 있도록 하는 것이다.The present invention relates to a process for cleaning an organic compound-containing reactor in the production process of AMOLED and OLED, wherein the work environment is detrimental for manual cleaning and the cleaning process is carried out by immersing the reactor in a volatile organic solvent In order to solve this problem, a horizontal vibration is applied to a basket in a state in which a basket filled with a reactor is immersed in a water tank filled with a cleaning liquid, so that a cleaning operation can be performed quickly and accurately.

본 발명은 세정액이 채워지는 세정수조를 구비하고, 상기 세정수조의 내부에서 매달린 형태로 바닥과 벽면에서 이격되어 설치되는 한편 탄성을 갖는 진동바디를 구비하고, 상기 진동바디의 중앙에 결합되고 내부에 반응기가 수납되는 바스켓을 구비하고, 상기 바스켓에 끼워져 압축공기에 의해 수평 진동하는 진동기를 구비하되 상기 진동기는 플렉시블한 입배기 호스를 통하여 세정수조에 고정되게 함으로써 이루어지는 것으로, 바스켓에 반응기를 넣은 후 바스켓의 중앙에 진동기를 끼우되 상기 바스켓은 진동바디의 중앙에 끼워짐으로써 진동기에 의해 바스켓이 수평진동 하면서 반응기의 세정이 이루어지는 것이다.The present invention provides a washing machine comprising a washing water tank filled with a washing liquid and having a resilient vibration body spaced apart from the floor and a wall in a suspended form in the washing water tank, And a vibrator which is fitted to the basket and horizontally vibrated by the compressed air. The vibrator is fixed to the washing water tank through a flexible inlet / outlet hose. After putting the reactor into the basket, And the basket is sandwiched in the center of the vibrating body so that the basket is horizontally vibrated by the vibrator to clean the reactor.

본 발명에서 진동바디의 중앙에 링스프링을 세워서 고정하고, 바스켓의 저면에는 링스프링에 내삽된 상태로 끼워지는 결합돌기를 형성함으로써 바스켓이 진동바디의 중앙에 결합시키는 것으로, 진동기가 수평 진동함에 따라 바스켓의 수평 진동이 이루어져, 바스켓에 넣어진 반응기의 세정이 이루어진다.In the present invention, the ring spring is fixed and fixed to the center of the vibrating body, and the basket is coupled to the center of the vibrating body by forming a coupling protrusion that is inserted into the ring spring in a state of being inserted in the bottom of the basket. Horizontal vibration of the basket is made, and the reactor put in the basket is cleaned.

본 발명은 유기화합물이 묻은 반응기를 바스켓에 넣고, 세정액 속에서 수평 진동이 이루어지게 함으로써 반응기의 세정이 이루어지는 것으로, 세정 속도가 빠름은 물론 깨끗한 세정이 이루어지는 한편 작업자가 수작업으로 세정을 하지 않아 작업자가 유해 환경에 노출되지 않는다.The present invention relates to a method of cleaning a reactor by placing a reactor containing an organic compound in a basket and performing horizontal vibration in a cleaning liquid to clean the reactor. The cleaning speed is fast and clean, while the operator does not clean by hand. It is not exposed to harmful environment.

본 발명은 수평 진동을 제공하는 진동기가 압축공기로 작동함으로써, 전기와 초음파를 사용하지 않아 폭발과 세정액 비산 문제가 발생하지 않는다. In the present invention, since the vibrator that provides the horizontal vibration acts as compressed air, no electricity or ultrasonic waves are used, and no explosion and scattering of the cleaning liquid occur.

도 1은 본 발명의 실시예 사시도
도 2는 본 발명의 실시예 정단면도
도 3은 본 발명의 진동바디 사시도
도 4는 본 발명의 바스켓 사시도
도 5는 본 발명의 바스켓 저면 사시도
도 6은 본 발명의 바스켓과 진동바디 결합 전 정면도
도 7은 본 발명의 바스켓 수평 진동 상태도1 is a perspective view of an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of an embodiment of the present invention
FIG. 3 is a perspective view of a vibrating body perspective view
Fig. 4 is a perspective view of the basket of the present invention
Fig. 5 is a perspective view of the basket bottom view of the present invention
6 is a front view of the basket of the present invention before coupling with the vibrating body
Fig. 7 is a view showing the basket horizontal vibration state diagram

본 발명은 일정 용량의 세정액이 채워지는 세정수조의 내부에 진동바디가 수평 진동이 이루어지는 상태로 설치한 후 상기 진동바디에 반응기가 채워진 바스켓을 결합시킨 후 바스켓을 진동기로 수평 진동이 이루어지게 함으로써, 바스켓과 진동바디에 의한 수평 진동으로 바스켓에 넣어진 반응기의 세정이 빠르고 깨끗하게 세정이 이루어지는 것이다.In the present invention, after a vibration body is horizontally vibrated in a cleaning water tank filled with a certain amount of cleaning liquid, a basket filled with a reactor is coupled to the vibration body, and the basket is horizontally vibrated by a vibrator. The horizontal vibration caused by the basket and the vibrating body causes the cleaning of the reactor placed in the basket to be quick and clean.

본 발명은 세정액(11)이 채워지는 일정 용량의 세정수조(10)를 구비하되 상기 세정수조(10)에는 세정액을 채우고 배출할 수 있는 흡입구와 배출구 등의 기본구조를 갖추는 한편 덮개를 덮어줄 수 있도록 하며, 세정수조(10)는 세정액과 같은 화학물질에 반응하지 않도록 스테인레스를 이용하여 제작하도록 하고, 상기 세정수조(10)는 육면체가 적합하다.The present invention has a washing water tank (10) having a predetermined volume filled with a washing liquid (11), and the washing water tank (10) has a basic structure such as an inlet and an outlet for filling and discharging a washing liquid, And the washing water tank 10 is made of stainless steel so as not to react with a chemical such as a washing liquid, and the washing water tank 10 is a hexahedron.

상기 세정수조(10)의 내부에는 좌우측으로 바닥에서 일정 높이를 갖게 고정턱(12)을 부착하고, 상기 고정턱(12)에 걸쳐지는 형태로

Figure 112016057124224-pat00001
자 형태의 진동바디(20)를 설치한 후 진동바디(20)의 좌우측 선단이 고정턱(12)에 걸쳐진 채로 고정될 수 있도록 하며, 상기 진동바디(20)의 상측으로는 손잡이(21)를 설치함으로써 필요에 따라 진동바디(20)를 세정수조(10)에서 들어낼 수 있도록 한다.A fixing jaw 12 is attached to the inside of the washing water tank 10 so as to have a predetermined height on the left and right sides of the washing water tank 10,
Figure 112016057124224-pat00001
Shaped vibrating body 20 and then the left and right ends of the vibrating body 20 can be fixed on the fixing jaws 12 while the handle 21 is disposed above the vibrating body 20 So that the vibration body 20 can be taken out from the washing water tank 10 as needed.

진동바디(20)는 세정수조(10)의 측면 내벽과 바닥에서 일정 거리가 이격될 수 있도록 하는 한편 슬롯(22)을 형성하여 좌우 진동이 이루어질 때 용이하게 이루어지도록 한다.The vibrating body 20 can be spaced a certain distance from the side wall and the bottom of the washing water tank 10 while the slot 22 is formed to facilitate the lateral vibration.

진동바디(20)의 중앙 상측에는 링스프링(30)을 고정시키고, 상기 링스프링(30)에는 바스켓(50)의 저면에 형성된 결합돌기(51)가 내삽되게 끼워짐으로써, 바스켓(50)이 수평 진동할 때 링스프링(30)에 의해 수평진동이 이루어지는 한편 진동바디(20)에 의해 수평 진동이 이루어지게 되며, 상기 진동바디(20)는 스테인레스를 이용하여 제작한다.The ring spring 30 is fixed to the upper center of the vibrating body 20 and the coupling protrusion 51 formed on the bottom surface of the basket 50 is inserted into the ring spring 30 so that the basket 50 is inserted The horizontal vibration is generated by the ring spring 30 and the horizontal vibration is generated by the vibration body 20. The vibration body 20 is made of stainless steel.

본 발명의 바스켓(50)은 직육면체 형상을 갖고, 내부 공간을 3등분하여 좌우측으로는 반응기(40)가 채워지는 공간으로 사용하는 한편 중앙에는 진동기(60)가 끼워져 고정되는 고정구멍(52)이 형성되는 것으로, 본 발명의 바스켓(50)은 저면과 벽면 등에 모두 세정액이 용이하게 통과할 수 있도록 구멍(53)을 형성한다.The basket 50 of the present invention has a rectangular parallelepiped shape. The basket 50 is used as a space in which the inner space is divided into three and the right and left sides are filled with the reactor 40, while a fixing hole 52 in which the vibrator 60 is fitted and fixed The basket 50 of the present invention forms the hole 53 so that the cleaning liquid can easily pass through both the bottom surface and the wall surface.

상기 바스켓(50)의 저면에는 결합돌기(51)가 돌출되게 하되 상기 결합돌기(51)는 진동바디(20)에 고정된 링스프링(30)에 내삽되며 결합되게 하고, 본 발명의 링스프링(30)과 결합돌기(51)는 대응된 위치에 설치되고, 사각 형태를 갖게 설치된다.The coupling protrusion 51 protrudes from the bottom surface of the basket 50 so that the coupling protrusion 51 is inserted and coupled to the ring spring 30 fixed to the vibration body 20, 30 and the engaging projections 51 are provided at corresponding positions and are provided in a rectangular shape.

본 발명의 바스켓(50)은 필요에 따라 다단으로 설치하여 사용할 수 있다.The basket 50 of the present invention can be installed and used in multiple stages as required.

본 발명의 바스켓(50) 중앙에 형성된 고정구멍(52)에는 원통형의 형상을 갖고 압축공기의 압력에 의해 수평 진동이 이루어지는 진동기(60)를 끼워서 고정시키며, 상기 진동기(60)는 플렉시블한 입배기 호스(62)를 세정수조(10)에 설치된 고정구(61)에 U볼트 등으로 고정시키는 것으로, 상기 진동기(60)는 원통형의 스테인레스로 이루어지게 되며, 본 발명의 출원인에 의해 특허(특허등록 10-0973578, 10-1258146, 10-1258147. 10-1307460)와 편심으로 작용하는 모든 진동기를 사용할 수 있는 것으로, 본 발명의 진동기(60)는 내부적인 구조와 그 작동은 생략하며, 압축공기 공급시 수평 진동이 이루어지게 된다.In the fixing hole 52 formed at the center of the basket 50 according to the present invention, a vibrator 60 having a cylindrical shape and horizontally vibrating by the pressure of compressed air is inserted and fixed. The vibrator 60 is fixed to a flexible inlet / The hose 62 is fixed to the fixture 61 provided in the cleaning water tank 10 by means of U bolts or the like so that the vibrator 60 is made of a cylindrical stainless steel and patented by the applicant of the present invention The vibrator 60 of the present invention has an internal structure and its operation is omitted, and the vibrator 60 of the present invention is not limited to the structure shown in FIG. A horizontal vibration is generated.

본 발명의 진동기(60)는 플렉시블한 입배기 호스(62)를 고정구(61)에 결합시킴으로써 진동기(60)에서의 진동이 이루어질 때 세정수조(10)가 흔들리는 경우를 없애도록 한다.The vibrator 60 of the present invention allows the flexible inlet hose 62 to be coupled to the fixture 61 so as to eliminate the case where the washing water tank 10 is shaken when the vibrator 60 vibrates.

이러한, 구성의 본 발명은 AMOLED, OLED 생산 공정에서 반응 챔버에서 사용된 반응기(40)를 재사용하기 위한 세정 작업을 하는 것으로, 반응기는 바스켓(50)의 좌우측 공간에 넣은 후 바스켓(50)을 세정수조(10)의 세정액에 잠기게 한 상태에서 바스켓(50)을 압축공기로 작동하는 진동기로 수평 진동시킴으로써 반응기의 세정이 이루어지는 것이다.In the AMOLED and OLED production process, the reactor 40 used in the reaction chamber is cleaned to reuse the reactor 40. The reactor is placed in the left and right spaces of the basket 50, and then the basket 50 is cleaned The basket 50 is horizontally vibrated by a vibrator that operates as compressed air in a state where the basket 50 is immersed in the cleaning liquid of the water tank 10, thereby cleaning the reactor.

본 발명의 바스켓(50)은 중앙에 형성된 고정구멍(52)에 진동기(60)를 끼워 고정시키는 한편 상기 바스켓(50)의 양쪽으로 형성된 공간에는 세정을 위한 반응기(40)를 넣은 후 바스켓(50)의 저면에 형성된 결합돌기(51)가 진동바디(20)에 고정된 링스프링(30)에 내삽되는 형태로 끼워줌으로써 플렉시블한 입배기 호스(62)를 통하여 고정된 진동기(60)에 압축공기를 공급하여 수평진동이 이루어지게 되면, 바스켓(50)은 결합돌기(51)가 링스프링(30)에 내삽된 상태에서 수평 진동이 이루어지게 된다.The basket 50 of the present invention has a vibrator 60 fixed to a fixing hole 52 formed at the center and a reactor 40 for cleaning is installed in a space formed on both sides of the basket 50, Is fitted into the ring spring 30 fixed to the vibrating body 20 so that the vibrator 60 fixed via the flexible inlet and exhaust hose 62 is compressed air The horizontal vibration is applied to the basket 50 in a state where the coupling protrusion 51 is inserted into the ring spring 30. [

여기서, 진동기(60)는 플렉시블한 입배기호스(62)를 고정구(61)에 고정시키는 한편 진동기(60)에는 바스켓(50)이 끼워지게 되는 것으로, 진동기(60)는 고정구(61)에 고정된 상태에서 바스켓(50)으로 수평 진동을 가하게 되며, 상기 진동기(60)는 플렉시블한 입배기 호스(62)를 고정구(61)에 결합시킴으로써 진동기(60)에서의 진동이 이루어질 때 세정수조(10)가 흔들리는 경우를 없애게 된다.Here, the vibrator 60 fixes the flexible inlet / outlet hose 62 to the fixture 61, while the basket 50 is inserted into the vibrator 60, and the vibrator 60 is fixed to the fixture 61 And the vibrator 60 is coupled to the fixture 61 by a flexible inlet and exhaust hose 62 so that when vibration is generated in the vibrator 60, ) Is canceled.

이때, 링스프링(30)이 고정된 진동바디(20)는

Figure 112016057124224-pat00002
자 형태로 이루어지고, 세정수조(10)의 내벽에 설치된 고정턱(12)에 고정된 상태이나, 세정수조(10)의 저면과 벽면 사이는 일정 간격을 유지하게 됨으로써, 바스켓(50)의 수평 진동시 진동바디(20)로 수평 진동이 이루어지게 된다.At this time, the vibration body 20 to which the ring spring 30 is fixed
Figure 112016057124224-pat00002
And is fixed to the fixing jaw 12 provided on the inner wall of the washing water tank 10 but is kept at a constant interval between the bottom surface and the wall surface of the washing water tank 10, The horizontal vibration is generated by the vibration body 20 during the vibration.

세정수조(10)에는 바스켓(50)이 잠길 정도의 세정액(11)이 채워져 있게 되고, 이 상태에서 진동기(60)를 압축공기로 작동시키면 진동기(60)가 수평 진동을 하게 되고, 바스켓(50)은 진동기(60)에 고정된 상태이므로 수평진동을 하게 되며, 이 과정에서 바스켓(50)에 넣어진 반응기(40)의 세정이 이루어지게 된다.When the vibrator 60 is operated with compressed air in this state, the vibrator 60 is horizontally vibrated, and the basket 50 Is horizontally vibrated in the state of being fixed to the vibrator 60. In this process, the reactor 40 placed in the basket 50 is cleaned.

여기서, 바스켓(50)은 다단 다층으로 설치하여 사용할 수 있으며, 본 발명의 진동바디(20)에는 슬롯(22)을 형성하여 수평 진동이 이루어질 때 세정액(11)으로 인한 움직임에 방해를 받지 않도록 한다.In this case, the basket (50) can be installed in a multi-layered multi-layer structure, and a slot (22) is formed in the vibration body (20) of the present invention so as not to be disturbed by the movement due to the cleaning liquid .

본 발명은 고정구(61)에 플렉시블한 입배기 호스(62)로 고정된 진동기(60)의 압축공기의 공급에 따라 진동기(60)에 끼워진 바스켓(50)이 수평 진동을 하게 되는 것으로, 상기 바스켓(50)은 저면의 결합돌기(51)가 진동바디(20)에 고정된 링스프링(30)에 내삽된 채로 끼워지게 되고, 상기 진동바디(20)는 세정수조(10)에서 수평 진동이 가능하게 고정되기 때문에 바스켓(50)은 수평 진동이 이루어지면서 반응기(40)가 세정된다.According to the present invention, the basket 50 sandwiched between the vibrator 60 and the vibrator 60 is horizontally vibrated according to the supply of the compressed air to the vibrator 60 fixed to the fixture 61 by the flexible inlet / exhaust hose 62, The coupling protrusion 51 of the bottom surface is inserted into the ring spring 30 fixed to the vibration body 20 and the vibration body 20 is horizontally oscillated in the cleaning water tank 10 So that the basket 50 is subjected to horizontal vibration and the reactor 40 is cleaned.

작업자는 반응기(40)의 세정이 필요할 때 바스켓(50)의 양쪽 공간에 반응기(40)를 넣은 후 진동기(60)로 압축공기를 공급하면 반응기(40)의 세정이 이루어지게 되고, 이 과정에서 작업자가 직접적으로 세정을 하거나 세정액(11)에 노출되지 않기 때문에 안전한 세정 작업을 할 수 있다.The operator puts the reactor 40 into both the spaces of the basket 50 when the reactor 40 needs to be cleaned and then supplies the compressed air to the vibrator 60 so that the reactor 40 is cleaned. It is possible to perform a safe cleaning operation since the worker does not directly clean or is not exposed to the cleaning liquid 11. [

세정수조(410)에 채워지는 세정액(11)은 필요에 따라 채워지고, 빼낼 수 있다.The cleaning liquid 11 to be filled in the cleaning water tank 410 can be filled and withdrawn as required.

10 : 세정수조 11 : 세정액
20 : 진동바디 22 : 슬롯
30 : 링스프링 40 : 반응기
50 : 바스켓 51 : 결합돌기
52 : 고정구멍 60 : 진동기
61 : 고정구10: Cleaning tank 11: Cleaning liquid
20: vibrating body 22: slot
30: ring spring 40: reactor
50: basket 51: engaging projection
52: fixing hole 60: vibrator
61: Fixture

Claims (3)

세정액(11)이 채워지거나 배출되는 세정수조(10)와,
상기 세정수조(10)의 내벽에 매달린 형태로 양쪽 선단이 고정되고, 바닥과 벽면에서 일정 간격이 유지되게 설치되며, 슬롯(22)이 형성된
Figure 112016057124224-pat00003
자 형태를 갖는 진동바디(20)와,
상기 진동바디(20)의 중앙에 세워져 고정된 링스프링(30)과,
상기 링스프링(30)에 내삽되는 결합돌기(51)가 저면에 설치되고, 육면체 형태를 가지며 중앙으로 압축공기를 받아 수평 진동을 하는 진동기(60)가 끼워져 고정되는 고정구멍(52)을 형성하는 한편 양쪽으로 반응기(40)가 수납되는 공간이 형성되며, 바닥과 벽면에는 세정액(11)이 통과되는 구멍(53)을 형성한 바스켓(50)과,
상기 바스켓(50)에 수평 진동을 가하는 진동기(60)를 세정수조(10)에 세워진 고정구(61)에 고정시키는 플렉시블한 입배기 호스(62)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치.A cleaning water tank 10 in which the cleaning liquid 11 is filled or discharged,
The two ends are fixed in the shape of hanging from the inner wall of the washing water tank 10, and are installed at regular intervals on the floor and the wall surface.
Figure 112016057124224-pat00003
A vibration body 20 having a shape,
A ring spring 30 fixedly installed at the center of the vibrating body 20,
A fixing protrusion 51 to be inserted into the ring spring 30 is provided on the bottom surface and a fixing hole 52 having a hexahedron shape and receiving compressed air at the center to fix the vibrator 60 for horizontal vibration is formed A basket 50 in which a hole 53 through which the cleaning liquid 11 passes is formed on the bottom and the wall surface,
And a flexible inlet / outlet hose (62) for fixing the vibrator (60) for applying a horizontal vibration to the basket (50) to a fixture (61) installed on the washing water tank (10) AMOLED process cleaning device. 제1항에 있어서, 진동바디(20)는 양쪽 선단이 세정수조(10)의 내벽에 설치된 고정턱(12)에 걸쳐져 고정되고, 상기 진동바디(20)의 중앙에는 사방으로 링스프링(30)이 세워져 고정되며, 상기 진동바디(20)는 세정액(11)에 잠긴 상태에서 수평 진동이 용이하게 슬롯(22)을 형성한 것을 특징으로 하는 저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치.The vibrating body (20) according to claim 1, wherein both ends of the vibrating body (20) are fixed on a fixing jaw (12) provided on the inner wall of the washing water tank (10) And the vibration body 20 has a slot 22 easily formed in a horizontal vibration in a state where the vibration body 20 is locked to the cleaning liquid 11. The cleaning apparatus for an AMOLED process according to claim 1, 제1항에 있어서, 바스켓(50)은 중앙이 진동기(60)에 끼워져 고정되는 한편 양쪽의 공간으로 반응기(40)가 수납되고, 상기 바스켓(50)의 저면에 설치된 결합돌기(51)는 진동바디(20)에 고정된 링스프링(30)에 내삽된 상태에서 바스켓(50)의 수평 진동이 이루어지는 것을 특징으로 하는 저주파 수평 진동을 이용한 AMOLED 공정용 세정장치.The basket (50) according to claim 1, wherein the basket (50) is fitted and fixed to the vibrator (60) while the reactor (40) is accommodated in both spaces, and the coupling protrusion (51) Wherein the basket (50) is horizontally vibrated in a state of being inserted into the ring spring (30) fixed to the body (20).
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