KR101741435B1 - 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조 - Google Patents

Abstract

개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조는 반도체 및 디스플레이 제조 장치용 세라믹 구성품을 내삽한 상태로 굽는 소성로와, 상기 소성로의 외곽에서 상기 소성로와 연결되고 상기 소성로가 지지되도록 하는 소성로 프레임, 상기 소성로와 연결된 상기 소성로 프레임을 상하로 승강시키는 승강 부재, 설치면 상에서 복수 개가 서로 이격되도록 세워지되, 상기 소성로 프레임의 외곽에 일정 간격 이격되어 배치되는 바디 프레임을 포함하는 소성로에 적용되는 것으로서, 일 측 소성로 마그넷, 타 측 소성로 마그넷, 일 측 홀 센서 부재, 타 측 홀 센서 부재, 균형 감지용 레이저 발신체, 균형 감지용 레이저 수신체를 포함한다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 의하면, 상기 소성로가 승강을 위해 이동될 때, 상기 소성로가 내삽된 세라믹 원재를 굽기 위해 상공에 머물게 될 때와 동작 대기를 위해 지면에 머물게 될 때 상기 소성로의 균형이 감지됨과 함께, 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 경우 작업자를 포함한 외부에 실시간으로 알려 줄 수 있게 되고, 그로 인해 상기 세라믹 원재의 불량이 방지되어 생산성이 향상되는 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조{Balanced sensing structure for heating furnaces for manufacturing ceramic parts for semiconductor and display manufacturing equipment}

본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 관한 것이다.

반도체 및 디스플레이 제조 장치는 반도체 및 디스플레이에 적용되는 집적 회로 등의 부품을 제조하는 장치이고, 그 부품의 제조에 사용되는 세라믹의 원재를 굽기 위해 소성로가 많이 사용된다.

상기 소성로는 내삽된 세라믹 원재를 굽는 동안 미리 설정된 온도 유지가 꼭 필요함과 함께 상기 소성로 내부의 모든 지점에서 온도가 균일하게 유지되어야 상기 세라믹 원재의 변형 등이 방지되어 균일한 성능의 세라믹 원재를 얻을 수 있다.

이러한 상기 소성로의 성능을 보완하기 위한 예로 제시될 수 있는 것들이 아래 제시된 특허문헌들과 같이 상기 소성로의 열효율 증가를 위한 장치를 개발하거나, 상기 소성로 내부의 열이 부품에 효율적으로 전달될 수 있도록 개발하는 것이었다.

또한, 종래에는 상대적으로 고온에서 작업이 이루어지는 소성로의 열이 상대적으로 차가운 설치면으로 열전달되는 것을 차단하기 위해 상기 소성로를 상공에 머물게 한 상태에서 세라믹 원재를 굽는 제조 방법이 적용되었다.

그러나, 아래 제시된 특허문헌을 포함한 종래의 작업 방식에 의하면, 상기 소성로가 승강 이동할 때와 상기 소성로가 상공과 설치면에 머물게 될 때 상기 소성로가 수평을 유지하여야 하나, 복수 개로 구성된 승강 부재가 미세하지만 상이하게 동작되면, 상기 소성로의 균형이 어긋나서 상기 소성로 내에서 구워지는 세라믹 원재들이 상기 소성로 내에서 임의로 이동됨으로써, 상기 세라믹 원재들이 서로 부딪혀 훼손될 뿐만 아니라, 훼손된 상기 세라믹 원재들의 파티클 등 이물질들을 상기 소성로 내에서 청소해야 하는 작업이 발생되어 불필요한 작업 시간이 추가로 소요됨과 함께 생산성에 차질이 생기는 문제점이 있었다.

공개특허 제 10-2005-0106977호, 공개일자 2005.11.11:, 발명의 명칭 : 세라믹 소성로 등록특허 제 10-0776370호, 등록일자 : 2007.11.07, 발명의 명칭 : 소성로 등록특허 제 10-0826267호, 등록일자 : 2008.04.23, 발명의 명칭 : 세라믹 전자부품 제조용 회전식 소성로 및 그 소성 시스템 공개특허 제 10-2011-0035227호, 공개일자 : 2011.04.06, 발명의 명칭 : 연속식 소성로

본 발명은 소성로가 승강을 위해 이동될 때, 상기 소성로가 내삽된 세라믹 원재를 굽기 위해 상공에 머물게 될 때와 동작 대기를 위해 지면에 머물게 될 때 상기 소성로의 균형이 감지됨과 함께, 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 경우 작업자를 포함한 외부에 실시간으로 알려 줄 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조는 반도체 및 디스플레이 제조 장치용 세라믹 구성품을 내삽한 상태로 굽는 소성로와, 상기 소성로의 외곽에서 상기 소성로와 연결되고 상기 소성로가 지지되도록 하는 소성로 프레임, 상기 소성로와 연결된 상기 소성로 프레임을 상하로 승강시키는 승강 부재, 설치면 상에서 복수 개가 서로 이격되도록 세워지되, 상기 소성로 프레임의 외곽에 일정 간격 이격되어 배치되는 바디 프레임을 포함하는 소성로에 적용되는 것으로서, 상기 바디 프레임의 일 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임의 일 측면에 배치된 일 측 소성로 마그넷; 상기 바디 프레임의 타 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임의 타 측면에 배치된 타 측 소성로 마그넷; 상기 바디 프레임 중 상기 일 측 소성로 마그넷과 대면되는 위치에 형성되어 상기 일 측 소성로 마그넷을 감지하는 일 측 홀 센서(hall sensor) 부재; 상기 바디 프레임 중 상기 타 측 소성로 마그넷과 대면되는 위치에 형성되어 상기 타 측 소성로 마그넷을 감지하는 타 측 홀 센서(hall sensor) 부재; 상기 바디 프레임 중 어느 하나에 배치되어, 레이저를 발신할 수 있는 균형 감지용 레이저 발신체; 및 상기 바디 프레임 중 상기 균형 감지용 레이저 발신체와 대면되고 상기 균형 감지용 레이저 발신체의 배치 위치와 동일한 수평선상에 배치되어, 상기 균형 감지용 레이저 발신체에서 발신되는 레이저를 수신할 수 있는 균형 감지용 레이저 수신체;를 포함하고, 상기 일 측 홀 센서 부재에서 감지되는 상기 일 측 소성로 마그넷의 변화에 따라 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 수 있고, 상기 타 측 홀 센서 부재에서 감지되는 상기 타 측 소성로 마그넷의 변화에 따라 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 수 있고, 상기 균형 감지용 레이저 발신체에서 발신된 레이저가 상기 균형 감지용 레이저 수신체에 수신되는 정도에 따라 한 쌍의 상기 바디 프레임 사이의 어긋남이 감지될 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 의하면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조가 일 측 소성로 마그넷, 타 측 소성로 마그넷, 일 측 홀 센서 부재, 타 측 홀 센서 부재, 균형 감지용 레이저 발신체, 균형 감지용 레이저 수신체를 포함함으로써, 상기 소성로가 승강을 위해 이동될 때와, 상기 소성로가 내삽된 세라믹 원재를 굽기 위해 상공에 머물게 될 때와 동작 대기를 위해 지면에 머물게 될 때 상기 소성로의 균형이 감지됨과 함께, 만약 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 경우 작업자를 포함한 외부에 실시간으로 알려 줄 수 있게 되고, 그로 인해 상기 세라믹 원재의 불량이 방지되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

도 1 은 소성로 내에서 구워지는 세라믹 부품 제조를 위해 사용되는 세라믹 원재를 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 소성로 및 소성로 프레임이 상승된 모습을 보이는 부분 단면도.
도 3 은 도 2에 도시된 A 부분의 확대도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 바디 프레임과 소성로 프레임이 어긋난 모습을 보이는 부분 단면도의 확대도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조 중 소성로 및 소성로 프레임이 하강된 모습을 보이는 부분 단면도.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 한 쌍의 바디 프레임이 서로 어긋나 있는 모습을 보이는 부분 단면도.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 소성로 균형 감지 부재를 보이는 단면도.
도 8은 도 7에 도시된 소성로 균형 감지 부재가 소성로의 일부 기울어짐을 감지한 모습을 보이는 단면도.
도 9는 도 7에 도시된 소성로 균형 감지 부재가 소성로의 완전 처짐을 감지한 모습을 보이는 단면도.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에서 바디 프레임의 기울어짐을 감지하는 부분을 확대한 도면.
도 11은 도 6에 도시된 바디 프레임이 기울어진 것을 감지한 모습을 보이는 도면.

이하에서는 도면을 참조하여 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 대하여 설명한다.

이러한 설명을 수행함에 있어서 명칭에 '마그넷'이 포함된 것은 영구 자석을 포함한 구성요소이다.

또한, 본 실시예에서는 도 2에 도시된 방향을 기준으로 좌측을 일 측, 우 측을 타 측으로 정의하고 이하 설명에서도 모두 동일하게 적용한다.

도 1 은 소성로 내에서 구워지는 세라믹 부품 제조를 위해 사용되는 세라믹 원재를 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 소성로 및 소성로 프레임이 상승된 모습을 보이는 부분 단면도이고, 도 3 은 도 2에 도시된 A 부분의 확대도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 바디 프레임과 소성로 프레임이 어긋난 모습을 보이는 부분 단면도의 확대도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조 중 소성로 및 소성로 프레임이 하강된 모습을 보이는 부분 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 한 쌍의 바디 프레임이 서로 어긋나 있는 모습을 보이는 부분 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조를 구성하는 소성로 균형 감지 부재를 보이는 단면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 소성로 균형 감지 부재가 소성로의 일부 기울어짐을 감지한 모습을 보이는 단면도이고, 도 9는 도 7에 도시된 소성로 균형 감지 부재가 소성로의 완전 처짐을 감지한 모습을 보이는 단면도이다.

도 1 내지 도 9를 함께 참조하면, 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)는 반도체 및 디스플레이 제조용 세라믹 구성품을 내삽한 상태로 굽는 소성로(101)와, 상기 소성로(101)의 외곽에서 상기 소성로(101)와 연결되고 상기 소성로(101)가 지지되도록 하는 소성로 프레임(102), 유압 실린더 등으로 구성되고, 상기 유압 실린더 중 실린더 몸체는 설치면 상에 고정되고, 피스톤은 상기 소성로(101)의 하부에 고정되어 상기 소성로 프레임(102)과 결합된 상기 소성로(101)를 상하로 승강시키는 승강 부재(104), 설치면 상에서 복수 개가 서로 이격되도록 세워지되, 상기 소성로 프레임(102)의 외곽에 일정 간격 이격되어 배치되는 바디 프레임(103)을 포함하는 소성로(101)에 적용되는 것으로서, 일 측 소성로 마그넷(111), 타 측 소성로 마그넷(131), 일 측 홀 센서 부재(121), 타 측 홀 센서 부재(141), 균형 감지용 레이저 발신체(125), 균형 감지용 레이저 수신체(145)를 포함한다.

여기서 홀 센서란, 자기장을 감지하거나 자기장의 세기 즉, 센서와 마그넷 사이의 거리의 변동에 따라 달라지는 자력을 감지하는 센서를 통틀어 일컫는다.

도 1은 상기 소성로(101)에 내삽되어 구워지는 세라믹 부품 제조를 위해 적용되는 세라믹 원재(10)로써, 일정 길이 길게 형성된 바아 형태의 상기 세라믹 원재(10)는 상기 소성로(101) 내에서 구워질 때 서로 이웃한 상기 세라믹 원재(10)가 열변형에 의해 서로 영향을 받지 않도록 지그재그로 적층하되, 한 번 구울 때 최대로 많이 구울 수 있도록 중앙부에 다른 형상으로 형성된 상기 세라믹 원재(10)를 함께 적층하게 된다.

상기 세라믹 원재(10)가 상기와 같이 적층된 형태로 구워질 때 만약 소성로가 기울어지게 되면 상기 세라믹 원재(10)가 한 쪽으로 쏠리면서 무너지게 되고, 그로 인해 상기 세라믹 원재(10)가 훼손될 수 있게 된다.

상기 일 측 소성로 마그넷(111)은 상기 바디 프레임(103)의 일 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임(102)의 일 측면에 배치된 것이다.

상기 타 측 소성로 마그넷(131)은 상기 바디 프레임(103)의 타 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임(102)의 타 측면에 배치된 것이다.

상세히, 상기 소성로(101)는 상기 소성로(101)를 보호하고, 견고하게 지지할 수 있도록 상기 소성로 프레임(102)이 의해 상기 소성로(101)의 외곽에서 결합된다.

상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)은 자력이 발생하는 것으로 상기 소성로(101)의 양 말단부에 결합된 상기 소성로 프레임(102) 중 상기 바디 프레임(103)과 대면되는 측면에 내삽 또는 부착된다.

상기 일 측 홀 센서 부재(121)는 상기 바디 프레임(103) 중 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 대면되는 위치에 형성되어 상기 일 측 소성로 마그넷(111)의 자력을 감지하는 것이다.

상기 타 측 홀 센서 부재(141)는 상기 바디 프레임(103) 중 상기 타 측 소성로 마그넷(131)과 대면되는 위치에 형성되어 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력을 감지하는 것이다.

또한, 상기 일 측 홀 센서 부재(121)와 상기 타 측 홀 센서 부재(141)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)을 감지한 후 표시되는 출력은 엘이디(LED) 등의 점멸로 표시될 수도 있고, 전압값 등의 출력값으로 표시될 수도 있다.

상세히, 상기 일 측 홀 센서 부재(121)와 상기 타 측 홀 센서 부재(141)는 상기 소성로 프레임(102)과 결합된 상기 소성로(101)가 상기 승강 부재(104)에 의해 상승 또는 하강하며 이동될 경우 상기 소성로(101)가 상승 후 유지되는 상승 지점과 하강 후 유지되는 하강 지점에 도착될 때 상기 소성로 프레임(102)에 내삽 또는 부착된 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력을 감지할 수 있도록 상기 소성로가 상승 후 유지되는 상승 지점과 하강 후 유지되는 하강 지점에 도착되는 각 지점에서의 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)이 배치되는 위치와 동일한 수평선 상에 위치되되, 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)과 대면되는 상기 바디 프레임(103)의 측면에 배치된다.

상기와 같이 배치되면, 상기 일 측 홀 센서 부재(121)에서 감지되는 상기 일 측 소성로 마그넷(111)의 변화에 따라 상기 소성로(101)의 기울어짐이 감지될 수 있고, 상기 타 측 홀 센서 부재(141)에서 감지되는 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 변화에 따라 상기 소성로(101)의 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.

예를 들어, 상기 승강 부재(104)에 의한 상기 소성로(101)의 상승과 하강이 미리 설정된 위치까지 이동되지 않거나, 상기 상승과 하강이 미리 설정된 위치까지 이동되었더라도 상기 바디 프레임(103)과 상기 소성로 프레임(102) 사이의 간격이 변하게 될 경우, 상기 일 측 홀 센서 부재(121)와 상기 타 측 홀 센서 부재(141)에서 감지되는 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력에 변화가 생기고, 그 자력의 변화값은 상기 일 측 홀 센서 부재(121)와 상기 타 측 홀 센서 부재(141)를 제어하는 제어 부재(155)로 전달된다.

상기 제어 부재(155)는 상기 일 측 홀 센서 부재(121)와 상기 타 측 홀 센서 부재(141)에서 감지되는 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력의 변화에 따라, 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 소성로(101)의 불균형이 확인되면 디스플레이(미도시) 등을 통해 작업자를 포함한 외부에 그 출력을 실시간으로 알려줄 수 있게 된다.

상기 일 측 소성로 마그넷(111), 상기 타 측 소성로 마그넷(131)과 상기 일 측 홀 센서 부재(121), 상기 타 측 홀 센서 부재(141)는 각각 상기 소성로 프레임(102)과 상기 바디 프레임(103)의 서로 다른 높이에 복수 개 설치될 수 있고, 그에 따라 복수 개의 출력을 확인할 수 있으므로 정확한 균형 감지가 가능하게 된다.

상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)는 상기 바디 프레임(103) 중 어느 하나에 배치되어, 레이저를 발신할 수 있는 것이다.

상기 균형 감지용 레이저 수신체(145)는 상기 바디 프레임(103) 중 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)와 대면되고 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)의 배치 위치와 동일한 수평선상에 배치되어, 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)에서 발신되는 레이저를 수신할 수 있는 것이다.

상세히, 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)는 본 실시예서와 같이 일 측에 형성된 상기 바디 프레임(103)의 상단에 설치되고, 상기 균형 감지용 레이저 수신체(145)는 타 측에 형성된 상기 바디 프레임(103)의 상단에 각각 설치되어 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)에서 발신된 레이저가 상기 균형 감지용 레이저 수신체(145)에서 감지되고, 상기 균형 감지용 레이저 발신체(125)에서 발신된 레이저가 상기 균형 감지용 레이저 수신체(145)에 수신되는 정도에 따라 한 쌍의 상기 바디 프레임(103) 사이의 어긋남이 감지됨으로써, 한 쌍의 상기 바디 프레임(103)이 평행한 상태인지 확인할 수 있다.

상기 일 측 홀 센서 부재(121)는 상기 설치면과 상대적으로 가깝게 형성된 일 측 하부 홀 센서(123)와, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)에서 수직 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 일 측 하부 홀 센서(123)에 비해 상대적으로 상기 설치면과 먼 거리에 형성된 일 측 상부 홀 센서(122)를 포함한다.

상세히, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)는 상기 소성로(101)가 상기 승강 부재(104)에 의해 하강되었을 때 상기 소성로(101)의 균형을 감지하고, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)는 상기 소성로(101)가 상기 승강 부재(104)에 의해 상승될 때 상기 소성로(101)의 균형을 감지하는 것이다.

상기 타 측 홀 센서 부재(141)는 상기 설치면과 상대적으로 가깝게 형성된 타 측 하부 홀 센서(143)와, 상기 타 측 하부 홀 센서(143)에서 수직 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 타 측 하부 홀 센서(143)에 비해 상대적으로 상기 설치면과 먼 거리에 형성된 타 측 상부 홀 센서(142)를 포함한다.

상세히, 상기 타 측 하부 홀 센서(143)는 상기 소성로(101)가 상기 승강 부재(104)에 의해 하강되었을 때 상기 소성로(101)의 균형을 감지하고, 상기 타 측 상부 홀 센서(142)는 상기 소성로(101)가 상기 승강 부재(104)에 의해 상승될 때 상기 소성로(101)의 균형을 감지하는 것이다.

상기 소성로(101)가 상승될 경우에는 상기 일 측 하부 홀 센서(123)와 상기 타 측 하부 홀 센서(143)에서 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)이 각각 감지된 후 상기 소성로(101)가 상승되고 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)에서 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)이 각각 감지된 후 상기 소성로(101)의 상승이 정지된다.

상기 소성로(101)가 하강될 경우에는 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)에서 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)이 각각 감지된 후 상기 소성로(101)가 하강되고 상기 일 측 하부 홀 센서(123)와 상기 타 측 하부 홀 센서(143)에서 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)이 각각 감지된 후 상기 소성로(101)의 하강이 정지된다.

또한, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)는 상기 일 측 상부 홀 센서(122)의 상기 일 측 소성로 마그넷(111) 인식과, 상기 타 측 상부 홀 센서(142)의 상기 타 측 소성로 마그넷(131) 인식이 동시에 진행됨에 따라 상기 소성로(101)의 균형이 감지될 수 있고, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)의 상기 일 측 소성로 마그넷(111) 인식과, 상기 타 측 하부 홀 센서(143)의 상기 타 측 소성로 마그넷(131) 인식이 동시에 진행됨에 따라 상기 소성로(101)의 균형이 감지될 수 있게 된다.

이하에서는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)의 동작 과정에 대해서 간단히 설명한다.

먼저, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)와 상기 타 측 하부 홀 센서(143)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111)과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력을 각각 감지하고, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)와 상기 타 측 하부 홀 센서(143)에서 표시되는 출력을 확인한다.

그런 다음, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)의 출력과 상기 타 측 하부 홀 센서(143)의 출력이 함께 정상으로 확인되면, 상기 소성로(101)는 균형 상태로 인지되고, 상기 균형 상태의 인지 후에 상기 소성로(101)는 상기 승강 부재(104)에 의해 일정 높이의 상공으로 상승된다.

그런 다음 상기 소성로(101)가 일정 높이의 상공으로 상승 시, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111)의 자력과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력을 각각 감지하고, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)에서 표시되는 출력을 확인한다.

그런 다음, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)의 출력과 상기 타 측 상부 홀 센서(142)의 출력이 함께 정상으로 확인되면, 상기 소성로(101)는 균형 상태로 인지되고, 상기 균형 상태의 인지 후에 상기 소성로(101)는 상공에 머물면서 그 위치가 유지된다.

그런 다음, 상기 소성로(101) 내에서 상기 세라믹 부품이 구워진 후, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111)의 자력과 상기 타 측 소성로 마그넷(131)의 자력을 각각 감지하고, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)에서 표시되는 출력을 확인한다.

그런 다음, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)의 출력과 상기 타 측 상부 홀 센서(142)의 출력이 함께 정상으로 확인되면, 상기 소성로(101)는 균형 상태로 인지되고, 상기 균형 상태의 인지 후에 상기 소성로(101)는 상기 설치면 방향으로 하강된다.

그런 다음, 상기 일 측 하부 홀 센서(123)의 출력과 상기 타 측 하부 홀 센서(143)의 출력이 함께 정상으로 확인되면, 상기 소성로(101)는 균형 상태로 인지되고, 상기 균형 상태의 인지 후에 상기 소성로(101)의 하강 이동은 정지되어 그 위치가 유지된다.

상기와 같이 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)가 동작하는 동안 상기 일 측 상부 홀 센서(122), 상기 일 측 하부 홀 센서(123), 상기 타 측 상부 홀 센서(142), 상시 타 측 하부 홀 센서(143)의 출력에 이상이 있거나, 상기 일 측 상부 홀 센서(122), 상기 타 측 상부 홀 센서(142) 또는 상기 일 측 하부 홀 센서(123), 상시 타 측 하부 홀 센서(143)의 출력이 확인되지 않는 경우는 상기 소성로(101)의 불균형이 감지된 것고, 상기 소성로(101)의 불균형이 감지될 경우에는 실시간으로 상기 제어 부재(155)에 의해 기울어짐이 외부로 표시될 수 있도록 한다.

상기에서 설명된 출력의 이상이란, 엘이디(LED) 등의 점멸등으로 확인될 수도 있고, 미리 설정된 출력값, 예를 들면 전압값을 기준으로 전압값이 다르게 표시되는 경우나, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)와 상기 타 측 상부 홀 센서(142)와의 전압값 차이, 또는 상기 일 측 하부 홀 센서(123)와 상시 타 측 하부 홀 센서(143)와의 전압값 차이가 미리 설정된 전압값 차이와 다르게 표시되는 경우 등이 될 수 있다.

본 실시예에서, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)는 소성로 균형 감지 부재(160)를 더 포함한다.

상기 소성로 균형 감지 부재(160)는 본 실시예에서와 같이 상기 소성로(101)와 결합된 상기 소성로 프레임(102)에 부착되거나, 상기 소성로(101)에 내삽되어 상기 소성로(101)의 승강 시 상기 소성로(101)의 균형이 유지되면서 수직 방향으로상기 소성로(101)가 이동되는지를 감지할 수 있는 것이다.

상세히, 상기 소성로 균형 감지 부재(160)는 상기 소성로 프레임(102)에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되며, 양 말단에 덮개가 덮인 균형 감지 부재 케이스(161)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(161) 내부의 일 측면에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링(162)과, 상기 회동 연결 링(162)에 회동 가능하게 걸리고 상기 회동 연결 링(162)과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성되는 회동체(163)와, 상기 회동체(163)의 말단부에 배치되는 회동 마그넷(164)과, 상기 회동체(163)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(164)의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서(166)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 내벽에 배치되어 상기 회동체(163)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(164)의 접촉을 감지하는 압력 감지 센서 등의 균형 감지 접촉 센서(165)를 포함한다.

상기 회동 연결 링(162)에 연결된 상기 회동체(163)는 자유 운동이 가능하도록 걸린 상태여서, 상기 소성로 프레임(102)과 연결된 상기 소성로(101)가 정지해 있는 동안에는 상기 회동체(163)가 처져 있다가, 상기 소성로(101)가 승강되면 상기 회동체(163)가 상기 회동 연결 링(162)에 걸린 채로 상기 균형 감지 부재 케이스(161) 내에서 자유 운동을 하게 된다.

이 때, 상기 회동체(163)가 그 말단부로 갈수록 상대적으로 더 커지고, 상기 회동체(163)의 말단에 상기 회동 마그넷(164)이 배치되므로, 상기 회동체(163)에서 상기 회동 연결 링(162)에 연결된 부분에 비해 그 말단부 쪽이 상대적으로 더 무거워져서 중력 방향으로 상기 회동체(163)가 안정적으로 정렬될 수 있게 된다.

상기 균형 감지 홀 센서(166)는 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 덮개 중 하부에 위치된 덮개의 중앙부와 그로부터 일정 간격 이격되도록 그 양 측에 각각 하나씩 배치됨으로써, 상기 덮개에 적어도 세 개 씩 배치될 수 있다. 그러면 상기 균형 감지 홀 센서(166)가 상기 회동 마그넷(164)이 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 중앙선 상에 있는지, 그로부터 편심되어 있는지가 정확하게 감지될 수 있다.

상기와 같이 구성되면, 상기 소성로 프레임(102)과 결합된 상기 소성로(101)가 정상적으로 승강 또는 유지되는 경우에는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 회동체(163) 및 상기 회동 마그넷(164)이 중력에 의해 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 가상의 중앙선을 따라 배열된다.

상기 소성로(101)가 불균형 상태 즉, 상기 소성로(101)의 일 부분이 상기 소성로(101)의 다른 부분에 비해 기울어진 상태로 승강 또는 유지되는 경우에는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 회동체(163) 및 상기 회동 마그넷(164)이 중력에 의해 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 가상의 중앙선에서 어긋나게 배열되고, 그에 따라 상기 균형 감지 홀 센서(166)에 상기 회동 마그넷(164)의 어긋남이 감지된다.

상기 소성로(101)의 불균형이 최대화된 상태로 상기 소성로(101)가 승강 또는 유지되는 경우에는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 회동체(163) 및 상기 회동 마그넷(164)이 상기 균형 감지 부재 케이스(161)의 가상의 중앙선에서 상대적으로 더 어긋나게 배열되면서 상기 균형 감지 접촉 센서(165)에 접촉되고, 그에 따라 상기 균형 감지 접촉 센서(165)에 상기 회동 마그넷(164)의 최대 어긋남이 감지된다.

예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 일 측 상부 홀 센서(122)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111)의 자력을 감지하여 상기 소성로(101)의 기울어짐이 표시되었을 때, 상기 기울어짐의 표시만으로 상기 바디 프레임(103)이 기울어진 것인지, 상기 소성로(101)가 기울어진 것인지, 또는 상기 바디 프레임(103)과 상기 소성로(101)가 함께 기울어지되 서로 반대 방향으로 기울어진 것인지 판단하기가 쉽지 않다.

상기와 같이, 상기 소성로 균형 감지 부재(160)가 구성되면, 상기 소성로 균형 감지 부재(160)는 상기 소성로(101)의 균형만 독리적으로 감지할 수 있으므로, 상기 일 측 상부 홀 센서(122)에서 상기 소성로(101)가 기울어진 것이 표시될 때, 상기 소성로 균형 감지 부재(160)에서 감지되는 출력을 함께 확인하여, 상기 소성로(101)가 기울어진 것인지, 상기 바디 프레임(103)이 기울어진 것인지를 정확하게 판단할 수 있게 된다.

상기 소성로 균형 감지 부재(160)는 상기 소성로 프레임(102)의 양 측 말단에 복수 개 설치된다. 그러면, 상기 소성로 프레임(102)과 결합된 상기 소성로(101)의 일부에서 기울어짐이 발생되더라도 그 기울어진 정도와, 기울어진 부위가 정확하게 감지될 수 있게 된다.

상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조(100)가 상기 일 측 소성로 마그넷(111), 상기 타 측 소성로 마그넷(131), 상기 일 측 홀 센서 부재(121), 상기 타 측 홀 센서 부재(141), 균형 감지용 레이저 발신체(125), 균형 감지용 레이저 수신체(145)를 포함함으로써, 상기 소성로(101)가 승강 이동될 때와 상공에 머물게 될 때 상기 소성로(101)의 균형이 감지될 수 있고, 만약 기울어짐이 감지될 경우 작업자를 포함한 외부에 실시간으로 알려 줄 수 있게 되고, 그로 인해 상기 소성로(101) 내에서 구워질 때나 상기 소성로(101)가 이동될 때 상기 세라믹 부품의 불량이 방지되어 생상선이 향상될 수 있게 된다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.

도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에서 바디 프레임의 기울어짐을 감지하는 부분을 확대한 도면이고, 도 11은 도 6에 도시된 바디 프레임이 기울어진 것을 감지한 모습을 보이는 도면이다.

도 10 및 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조는 레이저 발신체 걸이부(250)와, 편심 회동축(251)과, 무게추(255)와, 마그넷 배열 곡면체(252)와, 레이저 발신체 측 마그넷(254)과, 레이저 발신체 측 홀 센서(253)를 포함한다.

상기 레이저 발신체 걸이부(250)는 바디 프레임(203) 중 어느 하나에서 일정 길이로 돌출되는 것이다.

상기 편심 회동축(251)은 균형 감지용 레이저 발신체(225)에서 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 무게 중심보다 상대적으로 상측으로 편심된 부분을 상기 레이저 발신체 걸이부(250)에 회동 가능하게 연결하는 것이다.

상기 무게추(255)는 상기 편심 회동축(251)에 의해 상기 레이저 발신체 걸이부(250)에 연결된 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 하부에 연결되어 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 하부 무게를 더하되, 그 저면이 곡면으로 형성되는 것이다.

상기 편심 회동축(251)이 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225) 자체에서 편심되도록 연결되고, 상기 무게추(255)가 설치됨에 따라, 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 발신 방향이 상기 편심 회동축(251)을 중심으로 중력 방향에 항상 수직을 유지할 수 있게 된다.

상기 마그넷 배열 곡면체(252)는 상기 레이저 발신체 걸이부(250)가 돌출된 상기 바디 프레임(203)의 상부에 형성되되, 곡면 형태의 상기 무게추(255)의 저면과 일정 간격 이격되면서 대면되는 곡면으로 형성되는 것이다.

상기 레이저 발신체 측 마그넷(254)은 상기 마그넷 배열 곡면체(252) 상에 서로 이격되도록 복수 개 배치되는 것이다.

상기 레이저 발신체 측 홀 센서(253)는 상기 무게추(255) 저면, 상세히는 상기 무게추(255)의 최저점에 형성되어, 복수 개의 상기 레지어 발신체 측 마그넷 중 어느 하나의 자력을 감지하는 것이다.

도 10에 도시된 바와 같이, 상기 바디 프레임(203)이 설치면에 대해 직립된 상태인 경우, 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(253)는 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷(254) 중 중심부의 것을 감지하여 정상임을 외부에 표시하게 된다..

반면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 바디 프레임(203)이 설치면에 대해 기울어진 상태인 경우, 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 발신 방향은 설치면에 대해 평행한 방향으로 유지되고, 그에 따라 상기 바디 프레임(203)과 상기 균형 감지용 레이저 발신체(225)의 가상의 중심선 사이에 일정 각도 차이(θ)가 발생되고, 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(253)는 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷(254) 중 중심부에서 어긋난 다른 것을 감지하여, 상기 바디 프레임(203)이 기울어진 비정상 상태임을 감지한다.

상기와 같이, 복수 개의 상기 레이저 발신체 측 마그넷(254) 중 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(253)에 의해 자력이 감지되는 레이저 발신체 측 마그넷(254)의 위치에 따라, 상기 바디 프레임(203)의 기울어진 정도가 감지될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 바디 프레임(203)의 기울어짐이 정확하게 감지될 수 있게 된다.

또한, 상기와 같이 구성되면, 일 측 상부 홀 센서와, 타 측 상부 홀 센서와, 일 측 하부 홀 센서와, 타 측 하부 홀 센서 중 적어도 하나에 의해 감지된 일 측 소성로 마그넷과, 타 측 소성로 마그넷 중 적어도 하나의 자력으로 기울어짐이 확인되면, 소성로 균형 감지 부재에서 감지된 출력과 상기 레이저 발신체 측 홀 센서(253)에 의해 자력이 감지되는 레이저 발신체 측 마그넷(254)의 위치 확인 결과를 이용하여 설치면을 기준으로 상기 바디 프레임(203)이 기울어진 것인지, 상기 소성로가 기울어진 것인지, 또는 상기 바디 프레임(203)과 상기 소성로가 함께 기울어진 것인지를 정확하게 분석할 수 있다.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조에 의하면, 소성로가 승강을 위해 이동될 때, 상기 소성로가 내삽된 세라믹 원재를 굽기 위해 상공에 머물게 될 때와 동작 대기를 위해 지면에 머물게 될 때, 상기 소성로의 균형이 감지됨과 함께, 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 경우 작업자를 포함한 외부에 실시간으로 알려 줄 수 있게 되고, 그로 인해 상기 세라믹 원재의 불량이 방지되어 생산성이 향상될 수 있으므로 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.

10 : 세라믹 부품
100 : 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조
111 : 일 측 소성로 마그넷
131 : 타 측 소성로 마그넷
121 : 일 측 홀 센서 부재
141 : 타 측 홀 센서 부재
125 : 균형 감지용 레이저 발신체
145 : 균형 감지용 레이저 수신체

Claims (4)

1. 반도체 및 디스플레이 제조 장치용 세라믹 구성품을 내삽한 상태로 굽는 소성로와, 상기 소성로의 외곽에서 상기 소성로와 연결되고 상기 소성로가 지지되도록 하는 소성로 프레임, 상기 소성로와 연결된 상기 소성로 프레임을 상하로 승강시키는 승강 부재, 설치면 상에서 복수 개가 서로 이격되도록 세워지되, 상기 소성로 프레임의 외곽에 일정 간격 이격되어 배치되는 바디 프레임을 포함하는 소성로에 적용되는 것으로서,
   상기 바디 프레임의 일 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임의 일 측면에 배치된 일 측 소성로 마그넷;
   상기 바디 프레임의 타 측면과 대면되는 상기 소성로 프레임의 타 측면에 배치된 타 측 소성로 마그넷;
   상기 바디 프레임 중 상기 일 측 소성로 마그넷과 대면되는 위치에 형성되어 상기 일 측 소성로 마그넷의 자력을 감지하는 일 측 홀 센서(hall sensor) 부재;
   상기 바디 프레임 중 상기 타 측 소성로 마그넷과 대면되는 위치에 형성되어 상기 타 측 소성로 마그넷의 자력을 감지하는 타 측 홀 센서(hall sensor) 부재;
   상기 바디 프레임 중 어느 하나에 배치되어, 레이저를 발신할 수 있는 균형 감지용 레이저 발신체; 및
   상기 바디 프레임 중 상기 균형 감지용 레이저 발신체와 대면되고 상기 균형 감지용 레이저 발신체의 배치 위치와 동일한 수평선상에 배치되어, 상기 균형 감지용 레이저 발신체에서 발신되는 레이저를 수신할 수 있는 균형 감지용 레이저 수신체;를 포함하고,
   상기 일 측 홀 센서 부재에서 감지되는 상기 일 측 소성로 마그넷의 변화에 따라 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 수 있고,
   상기 타 측 홀 센서 부재에서 감지되는 상기 타 측 소성로 마그넷의 변화에 따라 상기 소성로의 기울어짐이 감지될 수 있고,
   상기 균형 감지용 레이저 발신체에서 발신된 레이저가 상기 균형 감지용 레이저 수신체에 수신되는 정도에 따라 한 쌍의 상기 바디 프레임 사이의 어긋남이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 일 측 홀 센서 부재는,
   상기 설치면과 상대적으로 가깝게 형성된 일 측 하부 홀 센서와,
   상기 일 측 하부 홀 센서에서 수직 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 일 측 하부 홀 센서에 비해 상대적으로 상기 설치면과 먼 거리에 형성된 일 측 상부 홀 센서를 포함하고,
   상기 타 측 홀 센서 부재는,
   상기 설치면과 상대적으로 가깝게 형성된 타 측 하부 홀 센서와,
   상기 타 측 하부 홀 센서에서 수직 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 타 측 하부 홀 센서에 비해 상대적으로 상기 설치면과 먼 거리에 형성된 타 측 상부 홀 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 소성로가 상승될 경우에는
   상기 일 측 하부 홀 센서와 상기 타 측 하부 홀 센서에서 상기 일 측 소성로 마그넷과 상기 타 측 소성로 마그넷이 각각 감지된 후 상기 소성로가 상승되고
   상기 일 측 상부 홀 센서와 상기 타 측 상부 홀 센서에서 상기 일 측 소성로 마그넷과 상기 타 측 소성로 마그넷이 각각 감지된 후 상기 소성로의 상승이 정지되고,
   상기 소성로가 하강될 경우에는
   상기 일 측 상부 홀 센서와 상기 타 측 상부 홀 센서에서 상기 일 측 소성로 마그넷과 상기 타 측 소성로 마그넷이 각각 감지된 후 상기 소성로가 하강되고
   상기 일 측 하부 홀 센서와 상기 타 측 하부 홀 센서에서 상기 일 측 소성로 마그넷과 상기 타 측 소성로 마그넷이 각각 감지된 후 상기 소성로의 하강이 정지되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조는 상기 일 측 상부 홀 센서의 상기 일 측 소성로 마그넷 인식과, 상기 타 측 상부 홀 센서의 상기 타 측 소성로 마그넷 인식이 동시에 진행됨에 따라 상기 소성로의 균형이 감지될 수 있고,
   상기 일 측 하부 홀 센서의 상기 일 측 소성로 마그넷 인식과, 상기 타 측 하부 홀 센서의 상기 타 측 소성로 마그넷 인식이 동시에 진행됨에 따라 상기 소성로의 균형이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 장치에 적용되는 세라믹 부품 제조를 위한 소성로용 균형 감지 구조.

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