KR101734842B1 - 진공배관용 클램프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 관한 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 진공배관의 일부분을 감싸는 제1클램프 몸체부재, 상기 제1클램프 몸체부재의 일단부 측에 회전 가능하게 연결되며 상기 진공배관의 나머지 부분을 감싸는 제2클램프 몸체부재, 상기 제1클램프 몸체부재의 타탄부에 회전 가능하게 결합되며 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부에 형성되는 볼트 삽입개방부에 삽입되는 클램프 볼트부재, 상기 클램프 볼트부재에 체결되어 상기 제1클램프 몸체부재와 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부를 조이는 클램프 너트부재, 상기 클램프 너트부재의 내주면에 돌출되며 탄성 지지되어 상기 클램프 볼트부재의 외주면에 걸려 상기 클램프 너트부재의 풀림을 방지하는 풀림방지 플런저부재를 포함하여 너트의 내부에서 볼트의 풀림을 방지함으로써 진공배관의 연결부분에서의 기밀을 장기간 안정적으로 유지할 수 있고, 이로써 반도체 제조공정에서 불량률을 크게 저하시키고, 반도체 제조 공정에서의 생산성을 크게 향상시킨다.

Description

진공배관용 클램프{CLAMP FOR VACUUM PIPE}
본 발명은 진공배관용 클램프에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 크게 전 공정과 후 공정으로 구분할 수 있으며, 전 공정은 각종 프로세스 챔버 내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 에칭하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공함으로써, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정이다. 또한 후 공정은 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.
반도체 제조공정의 전 공정은 산화 및 확산(OXIDATION / DIFFUSION) 공정, 박막증착(CVD / ION IMPLANTATION METALIZATION)공정, 식각(WET / DRY ETCH)공정 및 사진(PHOTO LITHOGRAPHY)공정 등으로 구분되고, 이러한 반도체 소자의 전 공정 즉, 실제 반도체를 가공하는 가공공정은 모두 진공상태에서 이루어지며 각 공정장비에는 각각 진공배관라인을 구비하고 있다.
진공배관라인의 각각의 진공배관은 진공배관용 클램프에 의해서 상호 연결되고 있다.
도 1은 종래 진공배관용 클램프를 도시한 사시도이다.
도 1을 참고하면 종래 진공배관용 클램프(1)는 반원형 링몸체를 가지며 일단부 측에서 서로 회전 가능하게 연결되는 제1클램프 몸체(1a)와 제2클램프 몸체(1b)를 포함한다.
또한, 제1클램프몸체(1a)의 타단부에는 클램프 볼트(1c)가 회전가능하게 힌지결합되고, 제2클램프몸체(1b)의 타단에는 클램프 볼트(1c)가 끼워져 삽입되는 볼트삽입용 개방부(1d)가 구비된다.
종래 진공배관용 클램프(1)는 제1클램프 몸체(1a)와 제2클램프 몸체(1b)의 타단부가 클램프 볼트(1c)에 의해 연결되고, 클램프 볼트(1c)의 단부에 클램프 너트(1e)를 체결하여 클램프 너트(1e)로 제2클램프 몸체(1b)의 타단부를 조이게 하여 제1클램프 몸체(1a)와 제2클램프 몸체(1b)로 진공배관의 연결부분을 클램프함으로써 진공배관의 맞닿은 플랜지를 밀착시켜 진공배관의 연결부분을 기밀시키는 구조를 가진다.
진공배관라인은 진공펌프와 연통되게 연결되고 진공펌프의 가동에 의해 진공배관라인내의 진공상태가 유지되게 되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 진공배관라인을 따라 전달됨으로 진공배관라인은 지속적으로 진동이 발생된다.
그러나, 종래 진공배관용 클램프는 일반 볼트와 너트의 체결로 제1클램프 몸체(1a)와 제2클램프 몸체(1b)의 타단부를 조이게 하여 진공배관의 연결부분을 클램프하므로 진공펌프의 지속적인 진동에 의해 클램프 너트(1e)가 클램프 볼트(1c)에서 풀려 진공배관의 연결부분에서의 기밀이 유지되지 못하고, 이로써 진공배관라인을 통한 공정장비의 진공상태를 유지하기 어려워지고 반도체 제조공정에서 불량이 발생되는 문제점이 있는 것이다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 국내특허등록 제10-1200719호 '배관 연결용 클램프 장치'에서는 체결볼트에 체결되는 너트의 외주면에 풀림방지홈을 형성하고, 풀림방지홈에 끼워져 걸리며 스프링에 의해 탄성 지지되는 걸림돌기가 구비되어 진공배관라인의 지속적인 진동에 의한 너트의 풀림을 방지하는 구조가 제안된 바 있다.
그러나, 국내특허등록 제10-1200719호 '배관 연결용 클램프 장치'는 걸림돌기가 너트의 외주면에 형성된 풀림방지홈 내에 삽입되어 걸리는 구조를 가져 외부의 이물질이 풀림방지홈 내부로 유입되어 쌓이면서 걸림돌기의 걸림이 견고하게 지지되지 못하는 문제점이 있었다.
더 상세하게 설명하면 국내특허등록 제10-1200719호 '배관 연결용 클램프 장치'는 너트의 외주면에 복수의 풀림방지홈이 원주방향으로 이격되게 형성되는 구조를 가지고 걸림돌기가 어느 한 풀림방지홈에 걸리게 되므로 설치 후 시간이 지남에 따라 다른 풀림방지홈 내에는 이물질이 쌓이게 되고, 걸림돌기와 풀림방지홈 사이에도 이물질이 쌓이게 된다.
진동배관라인의 진동에 의해 걸림돌기가 풀림방지홈에서 이탈되면 다른 풀림방지홈에 쌓인 이물질에 의해 다른 풀림방지홈에 실질적으로 걸리지 않고, 걸리더라도 작은 진동에도 다시 걸림돌기가 풀림방지홈에서 이탈되므로 볼트의 풀림방지를 장기간 안정적으로 유지할 수 없는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 본 발명이 해결하고자 너트의 내주면에 볼트의 외주면에 걸리는 풀림방지용 플런저를 구비하여 너트의 내부에서 볼트의 풀림을 방지함으로써 진공배관의 연결부분에서의 기밀을 안정적으로 유지할 수 있는 진공배관용 클램프에 대한 기술을 제공한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 진공배관의 일부분을 감싸는 제1클램프 몸체부재, 상기 제1클램프 몸체부재의 일단부 측에 회전 가능하게 연결되며 상기 진공배관의 나머지 부분을 감싸는 제2클램프 몸체부재, 상기 제1클램프 몸체부재의 타탄부에 회전 가능하게 결합되며 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부에 형성되는 볼트 삽입개방부에 삽입되는 클램프 볼트부재, 상기 클램프 볼트부재에 체결되어 상기 제1클램프 몸체부재와 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부를 조이는 클램프 너트부재, 상기 클램프 너트부재의 내주면에 돌출되며 탄성 지지되어 상기 클램프 볼트부재의 외주면에 걸려 상기 클램프 너트부재의 풀림을 방지하는 풀림방지 플런저부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 클램프 너트부재의 몸체 내에 형성된 장착공간 내에 장착되어 상기 클램프 너트부재의 내주면으로 돌출되는 볼부, 상기 볼부를 탄성지지하는 스프링부를 할 수 있다.
본 발명에서 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 클램프 너트부재의 내주면에서 나사산 사이의 나사골에 배치될 수 있다.
본 발명에서 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 클램프 너트부재의 내주면에 이격되게 복수로 구비되며 상기 나사산 사이에 형성되는 나선형 나사골을 따라 이격되게 배치될 수 있다.
본 발명에서 복수의 상기 풀림방지 플런저부재는 서로 동일한 거리로 이격되게 배치될 수 있다.
본 발명에서 상기 클램프 볼트부재는 상기 제1클램프 몸체부재의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 머리부, 상기 머리부에 일단부 측이 고정되며 상기 클램프 너트부재가 체결되는 볼트 몸체부, 상기 볼트 몸체부의 타단부 측에 형성되며 외측 둘레로 상기 풀림방지 플런저가 삽입되어 걸리는 플런저 삽입부가 형성되는 플런저 걸림 몸체부를 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 플런저 걸림 몸체부는 상기 클램프 볼트부재의 후단부 측에 축방향으로 돌출되는 베이스 축부 및 상기 베이스 축부의 외주면에서 길이 방향을 따라 형성되어 원주 방향으로 방사상으로 배치되며 그 사이에 플런저 삽입부가 형성된 복수의 플런저 걸림플레이트부를 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 플런저 걸림플레이트부는 길이방향으로 이격되며 상기 클램프 너트부재의 나사산이 삽입되는 복수의 회전가이드홈이 구비될 수 있다.
본 발명에서 상기 베이스 축부의 단부는 상기 클램프 너트부재 외부로 돌출되어 있고 돌출된 상기 베이스 축부의 단부 외주면에는 색상층이 형성되어 있으며 단부면에는 상기 단부면을 관통한 표시홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되며 상기 제1클램프 몸체부재의 타단부와 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부의 사이에 배치되는 간격유지 와셔부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되는 전면과 후면에 각각 제1풀림방지용 걸림치와 제2풀림방지용 걸림치가 구비된 제1풀림방지 와셔부재, 상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되며 전면에 상기 제2풀림방지용 걸림치에 맞물리는 제3풀림방지용 걸림치와 후면에 제4풀림방지용 걸림치가 돌출되는 제2풀림방지 와셔부재를 더 포함하며, 서로 대향되게 위치하는 상기 제1풀림방지 와셔부재의 전면과 상기 제2풀림방지 와셔부재의 후면에는 각각 제1풀림방지용 걸림치와 제4풀림방지용 걸림치가 이격되게 구비되며, 서로 마주보게 위치되는 상기 제1풀림방지 와셔부재의 후면과 상기 제2풀림방지 와셔부재의 전면에는 각각 서로 맞물리도록 이격되게 형성되는 제2풀림방지용 걸림치와 제3풀림방지용 걸림치가 각각 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명은 너트의 내주면에 볼트의 외주면에 걸리는 풀림방지용 플런저를 구비하여 너트의 내부에서 볼트의 풀림을 방지함으로써 진공배관의 연결부분에서의 기밀을 장기간 안정적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따르면 본 발명은 진공배관의 연결부분을 견고하게 클램프하여 반도체 제조공정에서의 진공을 안정적으로 유지시키고, 이로써 반도체 제조공정에서 불량률을 크게 저하시키고, 반도체 제조 공정에서의 생산성을 크게 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 종래 진공배관용 클램프를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 일 실시예를 도시한 분해 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 사용상태 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 볼트부재의 일 실시예를 도시한 확대 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 풀림방지 와셔부재를 도시한 도면.
도 6은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재의 내부를 확인하기 위한 단면 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재의 요부확대 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재의 평면도.
도 9는 본 발명에 따른 풀림방지 플런저부재가 클램프 볼트부재의 플런저 삽입부에 삽입된 상태를 나타낸 단면도.
도 10은 도 1의 공구결합블록과 도 4의 표시홈의 연결관계를 나타낸 개략도.
도 11은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재에서 풀림방지 플런저부재를 설치하는 과정을 도시한 개략도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
도 2는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 일 실시예를 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 사용상태 단면도이다.
다음은 도 2 및 도 3을 참고하면 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 일 실시 예는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 진공배관의 일부분을 감싸는 제1클램프 몸체부재(10), 제1클램프 몸체부재(10)의 일단부 측에 회전 가능하게 연결되며 진공배관의 나머지 부분을 감싸는 제2클램프 몸체부재(20)를 포함한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 일측에 제1클램프 몸체부재(10)의 일단부 측이 회전 가능하게 힌지 결합되고, 타측에 제2클램프 몸체부재(20)의 일단부 측이 회전 가능하게 힌지 결합되는 클램프 연결몸체부재(60)를 더 포함할 수 있다.
클램프 연결몸체부재(60)는 양 측에 제1클램프 몸체부재(10)와 제2클램프 몸체부재(20)가 각각 회전 가능하게 제1힌지축(61)과 제2힌지축(62)으로 결합되어 제1클램프 몸체부재(10)와 제2클램프 몸체부재(20)가 서로 간섭 없이 원활하게 회전할 수 있도록 한다.
제1클램프 몸체부재(10)와 제2클램프 몸체부재(20)는 각각 반원형의 링체로 형성되어 타단부가 서로 연결되면서 원형을 형성하여 원형의 진공배관의 전체를 감싸 클램프할 수 있도록 하는 것을 일 예로 한다.
제1클램프 몸체부재(10)의 타단부에는 클램프 볼트부재(30)가 회전 가능하게 결합된다. 클램프 볼트부재(30)는 머리부(31)가 제3힌지축으로 제1클램프 몸체부재(10)의 타단부에 회전 가능하게 결합된다. 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부에는 클램프 볼트부재(30)에 체결되는 클램프 너트부재(40)의 일단부가 지지되며, 클램프 볼트부재(30)가 삽입되는 볼트 삽입개방부가 형성된 너트 지지부(21)가 구비된다.
볼트 삽입개방부는 클램프 볼트부재(30)가 회전되어 삽입될 수 있는 방향으로 개방되게 너트 지지부(21)에 형성된다.
또한, 너트 지지부(21)의 안쪽면에는 클램프 볼트부재(30)에 체결되는 클램프 너트부재(40)의 일단부가 지지되어 클램프 볼트부재(30)가 클램프 너트부재(40)의 조임에 의해 볼트 삽입 개방부 내에 끼워진 상태로 고정되게 한다.
클램프 너트부재(40)는 기설정된 길이를 가지며 내주면에는 길이 방향을 클램프 볼트부재(30)와 결합되는 나사가 형성되어 있다. 클램프 너트부재(40)는 원통형의 몸체(43), 원통형의 몸체(43)와 연결되어 있고 외주면에 널링이 형성된 플랜지(44) 및 플랜지(44)와 연결되어 있고 외주면이 다각형으로 형성되어 소켓, 스패너 등의 공구를 장착할 수 있는 공구결합블럭(45)을 포함한다.
플랜지(44) 내부에는 탄성 지지되어 클램프 볼트부재(30)의 외주면에 걸려 클램프 너트부재(40)의 풀림을 방지하는 풀림방지 플런저부재(50)가 돌출된다.
클램프 볼트부재(30)는 제1클램프 몸체부재(10)의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 머리부(31), 머리부(31)에 일단부 측이 고정되며 클램프 너트부재(40)가 체결되는 볼트 몸체부(32), 볼트 몸체부(32)의 타단부 측에 형성되며 외측 둘레로 풀림방지 플런저가 삽입되어 걸리는 플런저 삽입부(30a)가 형성되는 플런저 걸림 몸체부(33)를 포함한다.
또한, 풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 너트부재(40)의 내주면에 이격되게 복수로 구비되어 클램프 너트부재(40)의 풀림을 더 견고하게 방지하도록 한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 볼트 몸체부(32)가 관통되어 결합되며 제1클램프 몸체부재(10)의 타단부와 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부의 사이에 배치되는 간격유지 와셔부재(70)를 더 포함하는 것을 일 예로 한다.
클램프 너트부재(40)가 볼트 몸체부(32)로 체결되어 너트 지지부(21)를 가압하여 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부를 조일 때 간격유지 와셔부재(70)는 전면과 후면으로 각각 제1클램프 몸체부재(10)의 타단부와 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부를 지지하여 클램프 너트부재(40)의 일단부가 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부 안쪽면에 밀착되어 수직방향으로 가압력이 작용될 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 진공배관용 클램프는 볼트 몸체부(32)가 관통되어 결합되는 전면과 후면에 각각 제1풀림방지용 걸림치(81)와 제2풀림방지용 걸림치(82)가 구비된 제1풀림방지 와셔부재(80), 볼트 몸체부(32)가 관통되어 결합되며 전면에 제2풀림방지용 걸림치(82)에 맞물리는 제3풀림방지용 걸림치(91)와 후면에 제4풀림방지용 걸림치(92)가 돌출되는 제2풀림방지 와셔부재(90)를 더 포함한다.
제1풀림방지 와셔부재(80)와 제2풀림방지 와셔부재(90)는 너트 지지부(21)와 클램프 너트부재(40)의 사이에 배치되어 너트 지지부(21)의 안쪽면과 클램프 너트부재(40)의 일단부에 밀착되어 클램프 너트부재(40)의 풀림을 더 방지하는 구성이다.
제1풀림방지 와셔부재(80)와 제2풀림방지 와셔부재(90)는 하기에서 더 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 진공배관용 클램프는 클램프 볼트부재(30)가 너트 지지부(21)의 볼트 삽입 개방부에 삽입된 상태에서 클램프 볼트부재(30)에 클램프 너트부재(40)를 체결하여 클램프 너트부재(40)로 너트 지지부(21)를 가압하여 조이면 제1클램프 몸체부재(10)와 제2클램프 몸체부재(20)는 진공배관의 연결부분을 클램프함으로써 진공배관의 맞닿은 플랜지를 밀착시켜 진공배관의 연결부분을 기밀시키게 된다. 그리고, 클램프 너트부재(40)의 내주면에 돌출된 복수의 풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 볼트부재(30)의 후단부 측에 구비되는 플런저 걸림 몸체부(33)의 플런저 삽입부(30a) 내로 삽입되어 걸리게 됨으로써 클램프 너트부재(40)의 풀림을 방지한다(도 9 참조).
도 4는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 볼트부재(30)의 일 실시예를 도시한 확대 사시도이다. 도 4를 참고하면 플런저 걸림 몸체부(33)는 클램프 볼트부재(30)의 후단부 측에 축방향으로 돌출되는 베이스 축부(33a), 베이스 축부(33a)의 외주면에서 길이 방향을 따라 형성되어 원주 방향으로 방사상으로 배치되며 그 사이에 플런저 삽입부(30a)가 형성되는 복수의 플런저 걸림플레이트부(33b)를 포함한다.
플런저 걸림플레이트부(33b)는 길이방향 즉, 축방향으로 이격된 복수의 회전가이드홈(33c)이 구비된다.
회전가이드홈(33c)은 클램프 너트부재(40)의 나사산(41)이 삽입되어 나사산(41)을 따라 플런저 걸림플레이트부(33b)가 원활하게 이동될 수 있도록 안내하는 것으로 클램프 너트부재(40)가 클램프 볼트부재(30)의 볼트 몸체부(32)에 원활하게 체결되어 제2클램프 몸체부재(20)를 조일 수 있도록 한다.
한편, 베이스 축부(33a)의 단부면(33d)에는 단부면에서 내부 방향으로 함몰된 표시홈(33e)이 형성되어 있다. 표시홈(33e)에는 색상층이 생략되어 있다. 표시홈(33e)은 단부면(33d)을 상하 관통한다(도 5 확대도 참조). 베이스 축부(33a)의 단부 외주면에는 색상층(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 색상층은 축광 또는 발광 안료를 포함할 수 있다.
그리고 클램프 볼트부재(30)와 클램프 너트부재(40)가 완전하게 결합되면 클램프 볼트부재(30)의 단부는 클램프 너트부재(40)의 공구결합블록(45)외부로 기설정된 길이(L)(도 4 확대도 참조)만큼 돌출된다.
도 5는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 풀림방지 와셔부재를 도시한 도면이며, 도 5의 (a)와 (b)는 서로 대향되게 위치하는 제1풀림방지 와셔부재(80)의 전면과 제2풀림방지 와셔부재(90)의 후면을 도시한 도면이며, 도 5의 (c)와 (d)는 서로 마주보게 위치되는 제1풀림방지 와셔부재(80)의 후면과 제2풀림방지 와셔부재(90)의 전면을 도시한 도면이다.
도 5의 (a)와 (b)를 참고하면 서로 대향되게 위치하는 제1풀림방지 와셔부재(80)의 전면과 제2풀림방지 와셔부재(90)의 후면에는 각각 제1풀림방지용 걸림치(81)와 제4풀림방지용 걸림치(92)가 이격되게 구비된다. 제1풀림방지용 걸림치(81)와 제4풀림방지용 걸림치(92)는 각각 너트 지지부(21)의 안쪽면과 클램프 너트부재(40)의 일단부 측에 밀착되면서 클램프 너트부재(40)의 풀림을 방지한다.
또한, 도 5의 (c)와 (d)를 참고하면 서로 마주보게 위치되는 제1풀림방지 와셔부재(80)의 후면과 제2풀림방지 와셔부재(90)의 전면에는 각각 서로 맞물리도록 이격되게 형성되는 제2풀림방지용 걸림치(82)와 제3풀림방지용 걸림치(91)가 각각 구비된다.
제1풀림방지 와셔부재(80)의 후면과 제2풀림방지 와셔부재(90)의 전면은 클램프 너트부재(40)의 체결에 의해 서로 밀착되어 제2풀림방지용 걸림치(82)와 제3풀림방지용 걸림치(91)가 서로 맞물려 회전이 방지된다. 즉, 제2풀림방지용 걸림치(82)와 제3풀림방지용 걸림치(91)가 서로 맞물려 클램프 너트부재(40)의 풀림을 더 방지하게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재(40)의 내부를 확인하기 위한 단면 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재(40)의 요부확대 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 너트부재(40)의 몸체 내에 형성된 장착공간 내에 장착되어 클램프 너트부재(40)의 내주면으로 돌출되는 볼부(51), 볼부(51)를 탄성지지하는 스프링부(52)를 포함한다.
풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 너트부재(40)의 내주면에서 이웃한 나사산(41) 사이의 나사골(42)에 배치되어 있다.
풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 너트부재(40)의 내주면에 이격되게 복수로 구비되며 나사산(41) 사이에 형성되는 나선형 나사골(42)을 따라 이격되게 배치된다.
풀림방지 플런저부재(50)는 클램프 너트부재(40)의 나사산(41) 사이의 나사골(42)에 배치되어 플런저 걸림플레이트부재(33b)의 사이 즉, 플런저 삽입부(30a)로 삽입된다(도 9 참조).
클램프 너트부재(40)가 체결될 때 풀림방지 플런저부재(50)는 플런저 걸림플레이트부(33b)에 순차적으로 걸리게 되고, 클램프 너트부재(40)의 체결이 완료되면 즉, 클램프 너트부재(40)가 제1클램프 몸체부재(10)의 타단부와 제2클램프 몸체부재(20)의 타단부를 조여 진공배관의 연결부분을 클램프하게 되면 플런저 삽입부(30a) 내로 삽입되어 클램프 너트부재(40)의 풀림을 방지하게 된다.
도 8은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재(40)의 평면도로써, 복수의 풀림방지 플런저부재(50)는 평면 상에서 서로 동일한 거리로 이격되게 배치된다.
복수의 풀림방지 플런저부재(50)는 서로 동일한 거리로 이격되게 배치되어 클램프 너트부재(40)의 풀림을 방지하기 위한 힘을 서로 고르게 분배하여 지지함으로써 클램프 너트부재(40)의 풀림을 안정적으로 방지할 수 있게 한다.
한편, 진공배관용 클램프 사용 중 풀림방지 플런저부재(50)가 플런저 삽입부(30a)에 위치함에도 불구하고 클램프 너트부재(40)가 풀린 경우 클램프 볼트부재(30)의 단부가 클램프 너트부재(40)로부터 돌출된 길이(L)가 최초 결합 시 보다 짧아진다. 이에 클램프 너트부재(40)가 풀림을 알 수 있다. 여기서 클램프 볼트부재(30)의 단부에 형성된 색상층에 의해 돌출된 길이가 점검자의 눈에 잘 보일 수 있다. 또한 색상층의 축광 또는 발광 안료에 의해 어두운 곳에서도 쉽게 확인할 수 있다.
한편, 도 10을 참고하면 공구결합블록(45)의 다각형의 제1 외부면(45a)과 표시홈(33e)이 최초 결합 시와 동일하지 않으면 클램프 너트부재(40)의 풀림을 확인할 수 있다. 예컨대, 클램프 너트부재(40)와 클램프 볼트부재(30) 최초 결합 시 표시홈(33e)의 일단이 공구결합블록(45)의 제1 외부면(45a)과 일치한 상태로 결합되었으나, 사용 중 제2 외부면(45b)이 표시홈(33e)과 일치할 경우 클램프 너트부재(40)의 풀림을 인지할 수 있다. 이에 진공배관용 클램프의 점검성이 향상될 수 있다.
도 11은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에서 클램프 너트부재(40)에서 풀림방지 플런저부재(50)를 설치하는 과정을 도시한 개략도이다.
도 11을 참고하면 풀림방지 플런저부재(50)의 설치방법은 클램프 너트부재(40)의 몸체를 관통시켜 플런저 장착구멍(40a)을 형성하는 단계(S100), 플런저 장착구멍(40a) 내에 볼부(51)와 스프링부(52)를 삽입하는 단계(S200), 플런저 장착구멍(40a)에서 클램프 너트부재(40)의 외측면으로 개방된 부분을 막는 단계(S300)를 포함한다.
개방된 부분을 막는 단계(S300)는 용접 등의 방법으로 플런저 장착구멍(40a)의 일측을 간단하게 막는 것으로 공지된 어떠한 것도 변형하여 실시 가능함을 밝혀둔다.
본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명은 너트의 내주면에 볼트의 외주면에 걸리는 풀림방지용 플런저를 구비하여 너트의 내부에서 볼트의 풀림을 방지함으로써 진공배관의 연결부분에서의 기밀을 장기간 안정적으로 유지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면 본 발명은 진공배관의 연결부분을 견고하게 클램프하여 반도체 제조공정에서의 진공을 안정적으로 유지시키고, 이로써 반도체 제조공정에서 불량률을 크게 저하시키고, 반도체 제조 공정에서의 생산성을 크게 향상시킨다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 제1클램프 몸체부재 20: 제2클램프 몸체부재
21: 너트 지지부 30: 클램프 볼트부재
30a: 플런저 삽입부 31: 머리부
32: 볼트 몸체부 33: 플런저 걸림 몸체부
33a: 베이스 축부 33b: 플런저 걸림플레이트부
33c: 회전가이드홈 40: 클램프 너트부재
40a: 플런저 장착구멍 41: 나사산
42: 나사골 50: 풀림방지 플런저부재
51: 볼부 52: 스프링부
60: 클램프 연결몸체부재 61: 제1힌지축
62: 제2힌지축 70: 간격유지 와셔부재
80: 제1풀림방지 와셔부재 81: 제1풀림방지용 걸림치
82: 제2풀림방지용 걸림치 90: 제2풀림방지 와셔부재
91: 제3풀림방지용 걸림치 92: 제4풀림방지용 걸림치

Claims (10)

  1. 진공배관의 일부분을 감싸는 제1클램프 몸체부재,
    상기 제1클램프 몸체부재와 회전 가능하게 연결되며 상기 진공배관의 나머지 부분을 감싸는 제2클램프 몸체부재,
    상기 제1클램프 몸체부재에 회전 가능하게 결합되어 있으며 상기 제2클램프 몸체부재에 형성된 볼트 삽입개방부에 삽입된 클램프 볼트부재,
    상기 볼트 삽입개방부에 위치하여 상기 클램프 볼트부재와 체결되고 상기 제1클램프 몸체부재와 상기 제2클램프 몸체부재를 조이는 클램프 너트부재 및
    상기 클램프 너트부재의 내주면에서 돌출되어 탄성 지지되며 상기 클램프 볼트부재의 외주면에 걸려 상기 클램프 너트부재의 풀림을 방지하는 풀림방지 플런저부재를
    포함하며,
    상기 클램프 너트부재의 내주면에는 상기 클램프 볼트부재의 나사와 체결되는 나사가 형성되어 있고, 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 클램프 너트부재의 내주면에서 나사골을 따라 동일한 거리로 이격되어 복수 배치되어 있으며, 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 나사골에서 돌출되어 상기 클램프 볼트부재의 플런저 걸림 몸체부 외주면 둘레를 따라 형성된 플런저 삽입부에 걸리고, 상기 풀림방지 플런저부재는 상기 클램프 너트부재의 내에 형성된 장착공간에 장착되어 상기 클램프 너트부재의 외주면으로 노출되지 않는
    진공배관용 클램프.
  2. 제1항에서,
    상기 풀림방지 플런저부재는,
    상기 클램프 너트부재의 몸체 내에 형성된 장착공간에 장착되어 상기 클램프 너트부재의 내주면으로 돌출되는 볼부 및
    상기 볼부가 상기 플런저 삽입부에 걸리도록 탄성지지하는 스프링부
    를 포함하는
    진공배관용 클램프.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에서,
    상기 클램프 볼트부재는,
    상기 제1클램프 몸체부재의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 머리부,
    상기 머리부에 일단부 측이 고정되며 상기 클램프 너트부재가 체결되는 볼트 몸체부 및
    상기 볼트 몸체부의 타단부 측에 형성되며 외측 둘레로 상기 풀림방지 플런저부재가 삽입되어 걸리는 플런저 삽입부가 형성되는 플런저 걸림 몸체부
    를 포함하는
    진공배관용 클램프.
  6. 제5항에서,
    상기 플런저 걸림 몸체부는,
    상기 클램프 볼트부재의 후단부 측에 축방향으로 돌출되는 베이스 축부 및
    상기 베이스 축부의 외주면에서 길이 방향을 따라 형성되어 원주방향을 따라 배치되며 그 사이에 상기 플런저 삽입부가 형성된 복수의 플런저 걸림플레이트부
    를 포함하는
    진공배관용 클램프.
  7. 제6항에서,
    상기 플런저 걸림플레이트부에는 회전가이드홈이 형성되어 있고, 상기 회전 가이드홈은 상기 플런저 걸림플레이트부의 길이방향을 따라 이격되며, 상기 회전가이드홈에는 상기 클램프 너트부재의 나사산이 삽입되는 진공배관용 클램프.
  8. 제6항에서,
    상기 베이스 축부의 단부는 상기 클램프 너트부재 외부로 돌출되어 있고 돌출된 상기 베이스 축부의 단부 외주면에는 색상층이 형성되어 있으며 단부면에는 상기 단부면을 관통한 표시홈이 형성되어 있는 진공배관용 클램프.
  9. 제6항에서,
    상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되며 전면에 제1풀림방지용 걸림치가 형성되어 있고 후면에 제2풀림방지용 걸림치가 형성된 제1풀림방지 와셔부재,
    상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되며 전면에 상기 제2풀림방지용 걸림치와 맞물리는 제3풀림방지용 걸림치가 형성되어 있고 후면에 제4풀림방지용 걸림치가 형성되어 있는 제2풀림방지 와셔부재
    를 더 포함하며,
    서로 대향되게 위치하는 상기 제1풀림방지 와셔부재의 전면과 상기 제2풀림방지 와셔부재의 후면에는 각각 제1풀림방지용 걸림치와 제4풀림방지용 걸림치가 이격되게 구비되며, 서로 마주보게 위치되는 상기 제1풀림방지 와셔부재의 후면과 상기 제2풀림방지 와셔부재의 전면에는 각각 서로 맞물리도록 이격되게 형성되는 제2풀림방지용 걸림치와 제3풀림방지용 걸림치가 각각 구비되는
    진공배관용 클램프.
  10. 제1항에서,
    상기 클램프 볼트부재가 관통되어 결합되며 상기 제1클램프 몸체부재의 타단부와 상기 제2클램프 몸체부재의 타단부의 사이에 배치되는 간격유지 와셔부재를 더 포함하는 진공배관용 클램프.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200089525A (ko) * 2019-01-17 2020-07-27 성기섭 파이프용 클램프
KR20200093950A (ko) * 2019-01-29 2020-08-06 이영일 토크 조절이 용이한 배관 클램프
KR20200111570A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 호서대학교 산학협력단 도난 방지와 풀림 방지를 위한 볼트와 너트
US10830263B2 (en) 2018-08-31 2020-11-10 Stuart Petroleum Testers, Llc Lubricator clamp
KR20220021314A (ko) * 2020-08-13 2022-02-22 지덕선 배관용 클램프
KR102568138B1 (ko) * 2023-02-21 2023-08-17 (주)수산인더스트리 고압 급수 가열기용 맨웨이의 다이어프램 취외용 장비

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200464096Y1 (ko) * 2012-05-24 2012-12-11 (주)보영테크 진공 배관용 클램프
KR101440123B1 (ko) * 2014-07-01 2014-09-12 신명하이텍 주식회사 배관 연결용 클램프 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200464096Y1 (ko) * 2012-05-24 2012-12-11 (주)보영테크 진공 배관용 클램프
KR101440123B1 (ko) * 2014-07-01 2014-09-12 신명하이텍 주식회사 배관 연결용 클램프 장치

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10830263B2 (en) 2018-08-31 2020-11-10 Stuart Petroleum Testers, Llc Lubricator clamp
KR20200089525A (ko) * 2019-01-17 2020-07-27 성기섭 파이프용 클램프
KR102162858B1 (ko) 2019-01-17 2020-10-07 성기섭 파이프용 클램프
KR20200093950A (ko) * 2019-01-29 2020-08-06 이영일 토크 조절이 용이한 배관 클램프
KR102172670B1 (ko) * 2019-01-29 2020-11-02 이영일 토크 조절이 용이한 배관 클램프
KR20200111570A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 호서대학교 산학협력단 도난 방지와 풀림 방지를 위한 볼트와 너트
KR102173191B1 (ko) 2019-03-19 2020-11-03 호서대학교 산학협력단 도난 방지와 풀림 방지를 위한 볼트와 너트
KR20220021314A (ko) * 2020-08-13 2022-02-22 지덕선 배관용 클램프
KR102434910B1 (ko) 2020-08-13 2022-08-22 지덕선 배관용 클램프
KR102568138B1 (ko) * 2023-02-21 2023-08-17 (주)수산인더스트리 고압 급수 가열기용 맨웨이의 다이어프램 취외용 장비

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