KR101708189B1 - The apparatus for attaching the substrates in vacuum state - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고정 챔버와 회전 챔버를 간단한 동작에 의하여 합체 및 분리시키고 진공을 형성하여 공정시간을 단축하면서도, 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 진공 합착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 진공 합착장치는, 제1 피합착부재(2)가 상면에 장착되며, 접합면이 상측을 바라보는 상태로 설치되는 고정 챔버(110); 상기 고정 챔버(110)와 결합하여 진공 챔버를 이루며, 제2 피합착부재(3)가 상면에 장착되는 회전 챔버(120); 상기 회전 챔버(120)의 일측 가장자리를 회전축으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 상기 고정 챔버(110)와의 결합 위치 및 제1 피합착부재(3) 장착 위치로 반복회전시키는 챔버 회전수단(130); 상기 회전 챔버(120)의 상기 회전축 반대편에 설치되며, 상기 회전축을 중심으로 상기 회전 챔버(120)와 무게 중심을 맞추는 카운터 웨이트부(150); 상기 고정 챔버(110)에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)를 미세 회전 및 틸팅구동시켜 상기 제1 합착부재(2)와 제2 합착부재(3)의 정확한 합착 위치를 조정하는 얼라인 수단(140); 상기 고정 챔버(110) 또는 상기 회전 챔버(120) 중 어느 하나에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)가 결합하여 형성되는 진공 챔버 내부의 기체를 흡입하여 배출하는 배기수단(도면에 미도시);을 포함한다. The present invention relates to a vacuum lapping apparatus capable of minimizing the space occupied by the apparatus while shortening the processing time by combining and separating the fixed chamber and the rotary chamber by simple operation and forming a vacuum, A fixed chamber 110 mounted on the upper surface of the first to-be-bonded member 2, and having a joint surface facing upward; A rotating chamber 120 which is coupled to the fixed chamber 110 to form a vacuum chamber and on which the second to-be-bonded member 3 is mounted; A chamber rotating means 130 for repeatedly rotating the rotary chamber 120 at a coupling position with the fixed chamber 110 and a mounting position with the first to-be-bonded member 3 with one side edge of the rotary chamber 120 as a rotation axis, ; A counterweight part 150 provided on the opposite side of the rotation axis of the rotation chamber 120 and centering the rotation chamber 120 with respect to the rotation axis 120; Alignment means installed in the fixed chamber 110 for fine-rotating and tilting-driving the fixed chamber 110 to adjust an accurate position of the first and second coalescing members 2 and 3 140); An exhaust means installed in one of the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120 for sucking and discharging the gas in the vacuum chamber formed by the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120, Not shown in the drawing).

Description

진공 합착장치{THE APPARATUS FOR ATTACHING THE SUBSTRATES IN VACUUM STATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum lacquering apparatus,

본 발명은 합착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고정 챔버와 회전 챔버를 간단한 동작에 의하여 합체 및 분리시키고 진공을 형성하여 공정시간을 단축하면서도, 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 합착장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lapping apparatus, and more particularly, to a lapping apparatus capable of minimizing a space occupied by a device while shortening a process time by combining and separating a fixed chamber and a rotary chamber by a simple operation and forming a vacuum will be.

최근에는 사용의 편리성 때문에, 휴대폰, 태블릿 PC, 노트북 등 모바일 통신 기기와 내비게이션, TV 등의 전자 기기에서 터치스크린 패널(Touch Screen Panel)을 널리 사용하고 있다. In recent years, for convenience of use, touch screen panels are widely used in mobile communication devices such as mobile phones, tablet PCs, and notebook computers, and electronic devices such as navigation and TVs.

일반적으로 터치스크린 패널은 디스플레이 패널(display panel)과 함께 사용되는데, 최근에는 디스플레이 패널의 전면에 설치되는 윈도우 글래스 또는 커버 글래스에 터치스크린 기능이 내장되거나 필름 형태의 터치 스크린을 디스플레이 패널의 전면에 부착하는 구조 또는 디스플레이 패널 내부 등에 터치 스크린 패턴이 내재되는 구조 등이 구현되고 있다. Generally, a touch screen panel is used together with a display panel. In recent years, a touch screen function is embedded in a window glass or a cover glass installed on a front surface of a display panel, or a film type touch screen is attached to a front surface of a display panel A structure in which a touch screen pattern is embedded in a display panel or the like is implemented.

특히, 최근에는 터치스크린 패널 또는 터치스크린 기능이 내장된 디스플레이 패널 표면의 내구성 확보 및 보호를 위하여 강화유리로 이루어진 윈도우 글래스(window glass) 또는 커버 글래스(cover glass)를 터치스크린 패널 전면에 설치하는 구조가 많이 사용되고 있다. In recent years, in order to secure and protect the durability of the surface of a display panel having a touch screen panel or a touch screen function, a window glass or a cover glass made of tempered glass is installed on the entire surface of the touch screen panel Is widely used.

이러한 구조의 터치스크린 패널의 제조 과정에서는 윈도우 글래스를 터치스크린 패널 전면에 안정적으로 합착하는 과정을 필연적으로 수행하게 된다. 윈도우 글래스를 터치스크린 패널 전면에 접착하는 방법 중에는 상기 터치스크린 패널 전면에 합착용 레진을 도포하고 그 상부에 윈도우 글래스를 밀착시킨 상태에서 자외선을 조사하여 터치스크린 패널과 윈도우 글래스를 접착하는 방법이 널리 사용되고 있다. In the manufacturing process of the touch screen panel having such a structure, a process of stably bonding the window glass to the entire surface of the touch screen panel is inevitably performed. As a method of bonding the window glass to the front surface of the touch screen panel, a method of applying a combination resin on the front surface of the touch screen panel and irradiating ultraviolet rays in a state in which the window glass is in close contact with the top surface, .

이렇게 터치 스크린 패널과 윈도우 글래스를 합착용 레진을 이용하여 합착하는 과정에서는 양 패널 사이에 기포가 발생하는 불량이 자주 발생한다. 따라서 이렇게 기포가 발생하는 문제를 원천적으로 해결하기 위하여 패널의 합착 작업을 진공 챔버 내에서 진행하는 기술이 개발되어 있다. In this process, when the touch screen panel and the window glass are joined together using the combined resin, defects such as bubbles are frequently generated between the two panels. Therefore, in order to solve the problem of bubbling, there has been developed a technique of moving the panel in a vacuum chamber.

예를 들면 도 1a 내지 도 1d에 도시된 바와 같이, 상측 챔버(20)와 하측 챔버(20)로 나뉘어지는 구조를 가지는 진공 챔버(1)를 이용하여 2개의 패널을 합착하는 것이다. 2개의 패널을 합착하기 위하여 먼저 도 1a에 도시된 바와 같이, 상측 챔버(20)와 하측 챔버(10)가 분리되고, 양 챔버가 모두 상측을 바라보는 상태에서 합착될 양측 패널(3, 2)을 상측 챔버(20)와 하측 챔버(10)에 각각 로딩한다. 이때 로딩되는 패널(3, 2)의 위치가 정확하게 파악되고, 정확한 위치로 얼라인(align)되는 것은 패널의 정확한 합착 작업을 위하여 반드시 필요한 작업이다. For example, as shown in FIG. 1A to FIG. 1D, two panels are joined together by using a vacuum chamber 1 having a structure divided into an upper chamber 20 and a lower chamber 20. The upper chamber 20 and the lower chamber 10 are separated from each other and the both side panels 3 and 2 to be joined together in a state in which both chambers are facing upward, Into the upper chamber 20 and the lower chamber 10, respectively. In this case, the position of the panel 3 or 2 to be loaded is precisely grasped and aligned to the correct position is indispensable work for precisely attaching the panel.

그리고 나서 도 1b에 도시된 바와 같이, 상측 챔버(20)는 하측 챔버(10)와의 합체를 위하여 챔버 전체를 반전시킨다. 이때 상측 챔버(20)의 회전 반경을 확보하기 위하여 상기 하측 챔버(10)는 상측 챔버(20)와 충분한 간격으로 이격된 상태를 유지한다. 1B, the upper chamber 20 inverts the entire chamber for coalescence with the lower chamber 10. At this time, the lower chamber 10 is maintained at a sufficient distance from the upper chamber 20 in order to secure the turning radius of the upper chamber 20.

다음으로 도 1c에 도시된 바와 같이, 상기 하측 챔버(10)를 상기 상측 챔버(20) 직하방으로 수평이동시킨다. 그리고 나서 양측 챔버(10, 20)를 정확하게 얼라인하여 합착될 양 패널(3, 2)이 정확하게 합착될 수 있도록 한다. Next, as shown in FIG. 1C, the lower chamber 10 is horizontally moved to a position directly below the upper chamber 20. Then, both chambers 10 and 20 are precisely aligned so that both panels 3 and 2 to be adhered can be accurately attached.

그리고 나서 도 1d에 도시된 바와 같이, 하측 챔버(10)를 상측 챔버(20) 방향으로 상승시켜 양 챔버를 합체하고 진공 상태를 만든다. 목표로 한 진공 상태가 이루어지면 합착 작업을 진행한다. Then, as shown in FIG. 1D, the lower chamber 10 is raised in the direction of the upper chamber 20 so that the two chambers are combined to form a vacuum state. When the desired vacuum is achieved, the cementing operation is carried out.

그런데 이러한 구조를 가지는 종래의 진공 합착 장치(1)는 하측 챔버(10)의 수평 이동 거리가 워낙 크기 때문에 장치 전체가 클린룸 내에서 차지하는 풋프린트(footprint)가 매우 커지고, 합착 작업을 위한 장비의 동작 과정이 매우 복잡하여 공정 시간이 많이 소요되는 단점이 있다. However, in the conventional vacuum lacquering apparatus 1 having such a structure, the horizontal movement distance of the lower chamber 10 is so large that the footprint of the whole apparatus in the clean room becomes very large, There is a disadvantage that the operation time is very long because the operation process is very complicated.

또한 상기 하측 챔버(10)을 상측 챔버(20) 하측으로 이동한 상태에서 하측 챔버(10)를 큰 폭으로 승하강시켜야 하므로 하측 챔버(10) 하측에 큰 규모의 승강수단(도면에 미도시)이 설치된다. 따라서 상기 하측 챔버(10)의 하측 공간도 제어판넬 캐비넷 등 다른 용도로 사용할 수 없을 뿐더러 장비 전체의 높이가 높아지는 문제점도 있다. Since the lower chamber 10 is moved up and down by a large width while the lower chamber 10 is moved to the lower side of the upper chamber 20, Respectively. Therefore, the lower space of the lower chamber 10 can not be used for other purposes such as a control panel cabinet, and the height of the entire apparatus is increased.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 고정 챔버와 회전 챔버를 간단한 동작에 의하여 합체 및 분리시키고 진공을 형성하여 공정시간을 단축하고 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 합착장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a laminating apparatus capable of shortening a processing time and minimizing a space occupied by a device by combining and separating the fixed chamber and the rotary chamber by a simple operation and forming a vacuum.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 합착장치는, 제1 피합착부재(2)가 상면에 장착되며, 접합면이 상측을 바라보는 상태로 설치되는 고정 챔버(110); 상기 고정 챔버(110)와 결합하여 진공 챔버를 이루며, 제2 피합착부재(3)가 상면에 장착되는 회전 챔버(120); 상기 회전 챔버(120)의 일측 가장자리를 회전축으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 상기 고정 챔버(110)와의 결합 위치 및 제1 피합착부재(3) 장착 위치로 반복회전시키는 챔버 회전수단(130); 상기 회전 챔버(120)의 상기 회전축 반대편에 설치되며, 상기 회전축을 중심으로 상기 회전 챔버(120)와 무게 중심을 맞추는 카운터 웨이트부(150); 상기 고정 챔버(110)에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)를 미세 회전 및 틸팅구동시켜 상기 제1 합착부재(2)와 제2 합착부재(3)의 정확한 합착 위치를 조정하는 얼라인 수단(140); 상기 고정 챔버(110) 또는 상기 회전 챔버(120) 중 어느 하나에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)가 결합하여 형성되는 진공 챔버 내부의 기체를 흡입하여 배출하는 배기수단(도면에 미도시);을 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a cigarette lighter according to the present invention, comprising: a fixed chamber (110) mounted on a top surface of a first to-be-bonded member (2); A rotating chamber 120 which is coupled to the fixed chamber 110 to form a vacuum chamber and on which the second to-be-bonded member 3 is mounted; A chamber rotating means 130 for repeatedly rotating the rotary chamber 120 at a coupling position with the fixed chamber 110 and a mounting position with the first to-be-bonded member 3 with one side edge of the rotary chamber 120 as a rotation axis, ; A counterweight part 150 provided on the opposite side of the rotation axis of the rotation chamber 120 and centering the rotation chamber 120 with respect to the rotation axis 120; Alignment means installed in the fixed chamber 110 for fine-rotating and tilting-driving the fixed chamber 110 to adjust an accurate position of the first and second coalescing members 2 and 3 140); An exhaust means installed in one of the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120 for sucking and discharging the gas in the vacuum chamber formed by the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120, Not shown in the drawing).

본 발명에서 상기 챔버 회전수단(130)은, 상기 회전 챔버(120)의 상기 고정 챔버(110) 측 가장자리에 설치되며, 상기 고정 챔버(110) 측 가장자리를 회전 중심으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 회전시키는 외팔보 회전부인 것이 바람직하다. The chamber rotating means 130 may be installed at an edge of the rotating chamber 120 on the side of the fixed chamber 110 and may rotate about the rotation chamber 120 with the edge of the fixed chamber 110 as a rotation center. Which rotates the cantilever rotating unit.

또한 본 발명에서 상기 카운터 웨이트부(150)는, 상기 회전축의 좌우측에 상기 고정 챔버보다 큰 폭으로 이격되어 설치되는 것이 바람직하다. Further, in the present invention, it is preferable that the counterweight portion 150 is installed at left and right sides of the rotation axis and spaced apart from the fixed chamber by a larger width.

본원발명의 진공 합착장치에 의하면 고정 챔버와 회전 챔버를 간단한 동작에 의하여 합체 및 분리시키고 진공을 형성하여 공정시간을 단축하고 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 장점이 있다. According to the vacuum lacquering apparatus of the present invention, the fixed chamber and the rotary chamber are combined and separated by a simple operation and a vacuum is formed, thereby shortening the processing time and minimizing the space occupied by the apparatus.

도 1은 종래의 진공 합착장치에 의한 합착 과정을 도시하는 도면들이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 합착장치의 구조 및 합착 과정을 도시하는 도면들다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 합착장치의 구조 및 합착 과정을 도시하는 도면들이다. FIG. 1 is a view showing a cementing process by a conventional vacuum lacquer.
FIG. 2 is a view showing a structure of a vacuum lacquer according to an embodiment of the present invention and a process of attaching the vacuum lacquer.
3 is a view showing a structure of a vacuum lacquer according to another embodiment of the present invention and a cementing process.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 볼 발명의 구체적인 실시예들을 상세하게 설명한다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 합착 장치(100)는 도 2a에 도시된 바와 같이, 고정 챔버(110), 회전 챔버(120), 챔버 회전수단(130), 얼라인 수단(140), 카운터 웨이트부(150) 및 배기수단(도면에 미도시)을 포함하여 구성될 수 있다. 2A, the adhesion apparatus 100 includes a fixed chamber 110, a rotation chamber 120, a chamber rotation means 130, a aligning means 140, a counterweight portion 150 And exhaust means (not shown in the drawing).

먼저 상기 고정 챔버(110)는 도 2a에 도시된 바와 같이, 제1 피합착부재(2)가 상면에 장착되며, 접합면이 상측을 바라보는 상태로 설치되는 구성요소이다. 상기 고정 챔버(110)는 후술하는 회전 챔버(120)와 합체되어 합착을 위한 진공 공간을 만드는 진공 챔버를 이룬다. First, as shown in FIG. 2A, the fixed chamber 110 is a component in which a first to-be-bonded member 2 is mounted on an upper surface, and a bonding surface is provided facing upward. The fixed chamber 110 is combined with the rotation chamber 120, which will be described later, to form a vacuum chamber for creating a vacuum space for cementation.

다음으로 상기 회전 챔버(120)는 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 고정 챔버(110)와 결합하여 진공 챔버를 이루며, 도 2a에 도시된 바와 같이, 제2 피합착부재(3)가 상면에 장착되는 구성요소이다. 즉, 상기 회전 챔버(120)는 도 2b에 도시된 바와 같이, 피합착부재(3) 합착 위치에서 180° 이상 회전하여 상기 고정 챔버(110) 직상방으로 이동한다. 그리고 상기 고정 챔버(110) 또는 회전 챔버(120)의 상하 방향 움직임에 의하여 양자가 합체되어 진공 챔버를 이루는 것이다. 2C, the rotary chamber 120 is coupled with the fixed chamber 110 to form a vacuum chamber. As shown in FIG. 2A, the second to-be-bonded member 3 is disposed on the upper surface Is a component to be mounted. That is, as shown in FIG. 2B, the rotation chamber 120 rotates by 180 ° or more at the attachment position of the member to be attached 3 and moves to the chamber directly above the fixed chamber 110. The fixed chamber 110 or the rotary chamber 120 are vertically moved together to form a vacuum chamber.

따라서 상기 챔버 회전수단(130)은 도 2b 에 도시된 바와 같이, 상기 회전 챔버(120)의 일측 가장자리를 회전축으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 상기 고정 챔버(110)와의 결합 위치 및 제1 피합착부재(3) 장착 위치로 반복회전시키는 구성요소이다. 2B, the chamber rotating means 130 rotates at one side edge of the rotating chamber 120 to connect the rotating chamber 120 to the fixed chamber 110, And is repeatedly rotated to the attaching position of the attaching member (3).

여기에서 '고정 챔버(110)와의 결합 위치'는 도 2b에 도시된 바와 같이, 고정 챔버(110)의 직상방을 말하는 것으로서 상기 고정 챔버(110)와 결합하기에 적합한 위치를 말하는 것이다. 그리고 '피합착부재 장착 위치'는 도 2a에 도시된 바와 같이, 작업자가 상기 회전 챔버(120) 상면에 제1 피합착부재(3)를 장착하기 쉬운 위치를 말하는 것이다. 본 실시예에서 피합착부재 장착 위치는 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 회전 챔버(120)가 수평 위치보다 조금 더 회전된 경사 각도(θ)를 가지고 회전되는 것이, 작업자의 피합착부재 장착 작업이 용이해지므로 바람직하다. Here, the 'coupling position with the fixed chamber 110' refers to a position right above the fixed chamber 110, as shown in FIG. 2B, and is suitable for coupling with the fixed chamber 110. As shown in FIG. 2A, the 'position of the member to be bonded' refers to a position where the worker can easily mount the first to-be-bonded member 3 on the upper surface of the rotation chamber 120. In the present embodiment, as shown in Fig. 2A, the position of the member to be adhered is such that the rotating chamber 120 is rotated at a tilting angle &thetas; Is preferable.

따라서 상기 챔버 회전수단(130)는 상기 회전 챔버(120)의 회전축에 설치되어 상기 회전 챔버(120)를 반복회전시킬 수 있는 모터 등으로 구성되는 외팔보 회전부로 구성될 수 있다. Therefore, the chamber rotating means 130 may include a cantilevered rotating portion that is installed on the rotating shaft of the rotating chamber 120 and configured to rotate the rotating chamber 120 repeatedly.

다음으로 상기 얼라인 수단(140)은 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 고정 챔버(110)에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)를 미세 회전 및 틸팅구동시켜 상기 제1 합착부재(2)와 제2 합착부재(3)의 정확한 합착 위치를 조정하는 구성요소이다. 따라서 상기 얼라인 수단(140)은 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 회전 챔버(120)가 상기 고정 챔버(110) 상측으로 이동된 상태에서 상기 고정 챔버(110)를 미세 구동시켜 제1, 2 피합착부재(2, 3)의 합착 위치가 정확하게 일치하도록 상기 고정 챔버(110)를 미세구동시키는 것이다. 2A, the aligning unit 140 is installed in the fixed chamber 110 and performs fine rotation and tilting driving of the fixed chamber 110 to move the first and second attachment members 2 and 3 And is a component for adjusting the exact cementing position of the second cementing member 3. 2C, the aligning unit 140 finely drives the fixed chamber 110 in a state where the rotary chamber 120 is moved to the upper side of the fixed chamber 110, The fixing chamber 110 is finely driven so that the coalescence positions of the adhesion members 2 and 3 are exactly matched.

그리고 얼라인이 완료되면 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 고정 챔버(110)을 상측으로 이동시켜 상기 회전 챔버(120)와 합체시켜 진공 챔버를 이루는 것이다. When the alignment is completed, as shown in FIG. 2A, the fixed chamber 110 is moved upward to be combined with the rotation chamber 120 to form a vacuum chamber.

다음으로 배기수단은 상기 고정 챔버(110) 또는 상기 회전 챔버(120) 중 어느 하나에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)가 결합하여 형성되는 진공 챔버 내부의 기체를 흡입하여 배출하는 구성요소이다. 따라서 상기 배기수단(도면에 미도시)은 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)에 의하여 형성되는 밀폐공간 내부의 기체를 흡입 배출하여 합착 작업에 적합한 진공 상태를 만드는 것이다. 이렇게 진공 챔버 내부가 진공 상태가 이루어진 후에 합착 작업이 진행된다. The evacuation means is installed in either the fixed chamber 110 or the rotary chamber 120 and sucks the gas inside the vacuum chamber formed by the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120 It is a component that discharges. Accordingly, the exhaust means (not shown) sucks and discharges the gas inside the closed space formed by the fixed chamber 110 and the rotating chamber 120 to make a vacuum state suitable for the cementing operation. After the inside of the vacuum chamber is vacuumed, the cementing operation proceeds.

다음으로 상기 카운터 웨이트부(150)는 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 회전 챔버(120)의 상기 회전축 반대편에 설치되며, 상기 회전축을 중심으로 상기 회전 챔버(120)와 무게 중심을 맞추는 구성요소이다. 이러한 카운터 웨이트부(150)에 의하여 상기 회전축(130)에서 무게 중심이 생기면, 상기 회전축(130)을 중심으로 상기 회전 챔버(120) 회전시킬 때 발생하는 토크값이 최소화되어 작은 동력으로도 상기 회전 챔버(120)를 회전시킬 수 있는 장점이 있다. 2A, the counterweight unit 150 is installed on the opposite side of the rotation axis of the rotation chamber 120 and includes a component for centering the rotation chamber 120 with respect to the rotation axis 120 to be. When the center of gravity of the rotation shaft 130 is generated by the counterweight unit 150, the torque value generated when the rotation chamber 120 is rotated around the rotation shaft 130 is minimized, There is an advantage that the chamber 120 can be rotated.

한편 본 실시예에서 상기 카운터 웨이트부(150)는, 회전축을 중심으로 상기 회전챔버(120)의 반대편에 형성되지만, 상기 회전 챔버(120)의 회전 과정에서 상기 고정 챔버(110)와 간섭되는 현상이 발생하지 않아야 한다. 따라서 상기 카운터 웨이트부(150)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(130)의 좌우측에 상기 고정 챔버(110)보다 큰 폭으로 이격되어 대칭적으로 설치되는 것이 바람직하다. 이러한 구조를 가지는 카운터 웨이트부(150)는 회전 과정에서 고정 챔버(110)와 전혀 간섭 현상이 발생하지 않으면서 상기 회전 챔버(120)의 회전 토크 값을 최소화할 수 있는 것이다. In the present embodiment, the counterweight 150 is formed on the opposite side of the rotation chamber 120 with respect to the rotation axis. However, the counterweight 150 may have a phenomenon of interfering with the fixed chamber 110 during the rotation of the rotation chamber 120 Should not occur. Therefore, as shown in FIG. 3, the counterweight 150 may be symmetrically disposed on the left and right sides of the rotation shaft 130 with a greater width than the fixed chamber 110. The counterweight unit 150 having such a structure can minimize the rotation torque value of the rotary chamber 120 without causing any interference with the fixed chamber 110 during the rotation process.

1 : 종래의 진공 합착장치
2, 3 : 패널
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 합착장치
110 : 고정 챔버 120 : 회전챔버
130 : 챔버 회전수단 140 : 얼라인 수단
150 : 카운터 웨이트부1: Conventional vacuum laminating apparatus
2, 3: Panel
100: A lid device according to an embodiment of the present invention
110: fixed chamber 120: rotating chamber
130: chamber rotating means 140: aligning means
150: Counterweight section

Claims (3)

제1 피합착부재(2)가 상면에 장착되며, 접합면이 상측을 바라보는 상태로 설치되는 고정 챔버(110);
상기 고정 챔버(110)와 결합하여 진공 챔버를 이루며, 제2 피합착부재(3)가 상면에 장착되는 회전 챔버(120);
상기 회전 챔버(120)의 일측 가장자리를 회전축으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 상기 고정 챔버(110)와의 결합 위치 및 제1 피합착부재(3) 장착 위치로 반복회전시키는 챔버 회전수단(130);
상기 회전 챔버(120)의 상기 회전축 반대편에 설치되며, 상기 회전축을 중심으로 상기 회전 챔버(120)와 무게 중심을 맞추는 카운터 웨이트부(150);
상기 고정 챔버(110)에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)를 미세 회전 및 틸팅구동시켜 상기 제1 피합착부재(2)와 제2 피합착부재(3)의 정확한 합착 위치를 조정하는 얼라인 수단(140);
상기 고정 챔버(110) 또는 상기 회전 챔버(120) 중 어느 하나에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)가 결합하여 형성되는 진공 챔버 내부의 기체를 흡입하여 배출하는 배기수단(도면에 미도시);을 포함하며,
상기 카운터 웨이트부(150)는,
상기 회전축의 좌우측에 상기 고정 챔버보다 큰 폭으로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 합착장치. A fixed chamber 110 mounted on the upper surface of the first to-be-bonded member 2, and having a bonding surface facing upward;
A rotating chamber 120 which is coupled to the fixed chamber 110 to form a vacuum chamber and on which the second to-be-bonded member 3 is mounted;
A chamber rotating means 130 for repeatedly rotating the rotary chamber 120 at a coupling position with the fixed chamber 110 and a mounting position with the first to-be-bonded member 3 with one side edge of the rotary chamber 120 as a rotation axis, ;
A counterweight part 150 provided on the opposite side of the rotation axis of the rotation chamber 120 and centering the rotation chamber 120 with respect to the rotation axis 120;
And an aligning unit 110 installed in the fixed chamber 110 for finely rotating and tilting the fixed chamber 110 to adjust an accurate position of the first and second attracted members 2 and 3. [ Means 140;
An exhaust means installed in one of the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120 for sucking and discharging the gas in the vacuum chamber formed by the fixed chamber 110 and the rotary chamber 120, (Not shown in the drawing)
The counterweight unit 150 includes:
Wherein the fixed chamber is spaced apart from the fixed chamber at left and right sides of the rotary shaft. 제1항에 있어서, 상기 챔버 회전수단(130)은,
상기 회전 챔버(120)의 상기 고정 챔버(110) 측 가장자리에 설치되며, 상기 고정 챔버(110) 측 가장자리를 회전 중심으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 회전시키는 외팔보 회전부인 것을 특징으로 하는 합착 장치. The apparatus according to claim 1, wherein the chamber rotating means (130)
And a cantilever rotating unit installed at the side of the fixed chamber (110) side of the rotating chamber (120) for rotating the rotating chamber (120) with the edge of the fixed chamber (110) . 삭제delete
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