KR101693771B1 - 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막 - Google Patents

핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막 Download PDF

Info

Publication number
KR101693771B1
KR101693771B1 KR1020150161406A KR20150161406A KR101693771B1 KR 101693771 B1 KR101693771 B1 KR 101693771B1 KR 1020150161406 A KR1020150161406 A KR 1020150161406A KR 20150161406 A KR20150161406 A KR 20150161406A KR 101693771 B1 KR101693771 B1 KR 101693771B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
depositing
fusion
chromium oxide
vacuum
hydrogen isotope
Prior art date
Application number
KR1020150161406A
Other languages
English (en)
Inventor
김동민
진영구
Original Assignee
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 홍익대학교세종캠퍼스산학협력단 filed Critical 홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
Priority to KR1020150161406A priority Critical patent/KR101693771B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101693771B1 publication Critical patent/KR101693771B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21B—FUSION REACTORS
    • G21B1/00—Thermonuclear fusion reactors
    • G21B1/11—Details
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

본 발명은 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막에 관한 것으로서, 핵융합 구조재료 상에 산화크롬(Cr2O3)을 증착하는 단계와, 증착된 산화크롬을 열처리하는 단계 및 상기 산화크롬 상에 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계를 포함하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막이 제공된다.

Description

핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막 {Hydrogen isotope permeation barrier layer of nuclear fusion sturctural material and method for manufacturing the same}
본 발명은 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과 방지를 위하여, 구조재료 표면에 성장된 산화크롬 위에 산화알루미나를 스퍼터링 공정으로 증착하여, 열응력에 의한 균열 및 박리 현상을 해결하여 수소동위원소 투과방지막을 제조하는 방법 및 그 제조 방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막에 관한 것이다.
중수소(Deuterium:D)와 삼중수소(Tritium;T)를 섭씨 1억도 이상의 높은 온도로 가열하면 원자를 구성하고 있는 핵이 서로 떨어져 자유롭게 움직일 수 있는 상태 ,즉 플라즈마(Plazma) 상태가 되며, 이때 중수소핵과 삼중수소 핵이 결합(충돌)
하여 알파입자(헬륨핵)와 중성자를 생성하면서 막대한 에너지를 발생시킨다.
토카막(Tokamak Fusion Test Reactor: TFTR)장치에서 핵융합반응이 일어나면 반응결과 생기는 중성자가 전체 에너지의 80% 정도를 갖게 되는데 이 에너지를 냉각재가 흡수하여 터빈에 전달함으로써 전기를 생산할 수 있다. 또한 핵융합로의 외부에 리튬을 공급하여 중성자와 반응하게하여 삼중수소를 만들어낼 수 있고 분리장치를 사용하여 이를 다시 핵융합로에 보내면 연료로 재사용할 수 있게 된다.
수소 핵융합은 3세대의 과정으로 분류할 수 있다. 1세대는 중수소-삼중수소 핵융합이고, 2세대는 중수소-중수소 반응을 이용한 핵융합이며, 3세대는 중수소-헬륨3 핵융합 방식으로 나눌 수 있다.
수소동위원소 투과 방지막에서의 수소의 선택적 투과는 화학산업과 반도체,연료전지 산업에서도 매우 중요한 위치를 갖고 있으며, 산업용 수소에는
Figure 112015112185514-pat00001
등과 같은 불순물 기체가 함유되어 있으므로 종래에는 팔라듐계 분리막을 이용하여 수소동위원소를 선택적으로 분리하려는 연구를 수행하여 왔으나 팔라듐계의 박막은 비용이 높은 관계로 경제적이고 특성이 뛰어난 복합 분리막에 대한 요구가 증대되고 있다. 이들 중 수소동위원소의 투과 방지를 위하여 사용되는 복합 산화화합물 증착 구조재료는 낮은 비용, 취급의 용이성, 고온강도, 연성, 열변형, 저방사화, 중성자 조사성의 특성 등의 요구조건을 만족하는 구조재료이다.
수소동위원소는 금속에 대한 투과(permeation)와 체류(retention)의 경향이 매우 크므로 금속의 수소취하를 야기한다. 수소취하는 금속 구조재료의 역학적 물성의 열화(degradation)의 원인이 된다. 따라서 수소동위원소 투과 방지를 위한 박막재료의 개발과 기본 물성 평가와 수소동위원소 투과와 체류에 따른 특성변화 이해는 핵융합에서 매우 중요한 부분이다.
핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과 방지막에 응용하기 위하여산화알루미나 계열과 팔라듐합금 계열의 복합박막 연구를 수행하고 있으나, 주로 다공성 산화알루미나 박막에 대한 연구가 수행중이다. 그러나 대부분의 연구 결과는 상온에서 수행되었으므로 핵융합로의 운용환경과 같은 상대적으로 고온인 환경에서의 수소동위원소침투에 대한 연구는 당면한 과제로 인식되고 있다. 수소투과방지를 위한 연구는 국가핵융합연구소에서 액상코팅, 물리기상증착, 원자층증착 등의 기술을 이용하여 산화알루미늄, 산화지르코늄 박막을 형성하여 막의 물성분석을 수행한 바 있으나 수소투과의 정량적 연구 개발은 실행되지 않고 있다.
따라서 핵융합의 연료로 사용되는 수소동위원소는 원자크기가 다른 금속 원자에 비해 매우 작기 때문에 금속을 투과하려는 강력한 침투 특성으로 핵융합 구조재료에서 수소취성을 야기하기는 구조적 문제의 해결과 화학적 안정성, 그리고 낮은 열전도 특성과 높은 열차폐 성능을 가지는 복합구조재료의 개발을 위한 기초연구가 반드시 필요하다.
한국공개특허 제10-2012-0047530호
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 핵융합 구조재료의 표면에 증착된 산화크롬 상에 산화알루미나를 스퍼터링 공정을 통하여 증착함으로써 산화화합물과 핵융합 구조재료 사이에서 박막의 물리화학적 접합을 통하여 열응력에 의한 균열 및 박리 현상을 해결할 수 있는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예에 따르면, 핵융합 구조재료 상에 산화크롬(Cr2O3)을 증착하는 단계; 증착된 산화크롬을 열처리하는 단계; 및 상기 산화크롬 상에 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계;를 포함하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법이 제공된다.
상기 산화크롬을 증착하는 단계는 스퍼터링을 이용하여 증착하는 단계를 포함한다.
상기 산화크롬을 증착하는 단계는, 상기 핵융합 구조재료를 연마하는 단계와, 연마된 핵융합 구조재료를 세척하는 단계와, 스퍼터링 챔버를 진공감압하는 단계와, 진공감압된 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화시키는 단계 및 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화크롬 타겟을 증착하는 단계를 포함한다.
상기 진공감압하는 단계는 스퍼터링 챔버를 7x10-6 torr로 진공감압하는 것을 특징으로 한다.
상기 산화크롬 타겟을 증착하는 단계는 히터온도 섭씨 750도에서 구조재료 상에 증착하는 것을 특징으로 한다.
상기 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계는 스퍼터링 이용하여 증착하는 단계를 포함한다.
상기 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계는, 산화크롬 박막을 세척하는 단계와, 스퍼터링 챔버를 진공감압하는 단계와, 진공감압된 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화하는 단계 및 스퍼터링을 이용하여 산화알루미나를 증착하는 단계를 포함한다.
상기 진공감압하는 단계는 스퍼터링 챔버를 7x10-6 torr로 진공감압하는 것을 특징으로 한다.
상기 산화알루미나를 증착하는 단계는 히터 온도 섭씨 450도 내지 섭씨 750도에서 스퍼터링을 수행하는 것을 특징으로 한다.
상기 핵융합 구조재료는 SUS316L인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명에 따른 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법에 따라 제조된 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막이 제공된다.
종래기술에 따른 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조 공정을 단순화시킬 수 있으며, 기존의 팔라듐합금 계열의 복합박막을 대체할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 진공 증착 장비인 스퍼터링 공정을 사용하여 구조재료 표면에 산화알루미나를 치밀하게 증착함으로써 핵융합 구조재료로 사용되는 내열강(heat resisting steel) 및 초합금(super alloy)의 수소동위원소 투과 방지를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 스퍼터링을 이용한 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과 방지막 제조방법의 흐름도이다.
도 2는 도 1에 도시된 산화크롬 박막 증착 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 도 1에 도시된 산화알루미나 박막 증착 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 4a는 산화알루미나 표면의 SEM 이미지이며, 도 4b 및 도 4c는 확대 이미지이다.
도 5는 본 발명에 따라 제조된 스퍼터링을 이용하여 박막을 증착한 구조재료의 수소동위원소 투과 방지막의 단면 이미지이다.
도 6a 및 도 6b는 박막으로 증착된 산화크롬과 산화알루미나에 대한 XRD 패턴이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 스퍼터링을 이용한 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과 방지막 제조방법의 흐름도이며, 도 2는 도 1에 도시된 산화크롬 박막 증착 과정을 나타낸 흐름도이고, 도 3은 도 1에 도시된 산화알루미나 박막 증착 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 1을 참조하여 본 실시예의 스퍼터링을 이용한 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과 방지막 제조방법을 살펴보면, 우선 구조재료를 준비한다(S100).
핵융합 구조재료로는 스테인리스 스틸을 사용하며, 바람직하게는 내열강(heat resisting steel) 및 초합금(super alloy)을 사용한다. 본 실시예의 경우, 핵융합 구조재료로 SUS316L을 이용한다.
그 다음 준비된 구조재료 상에 산화크롬을 증착하는 과정을 수행한다(S200). RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화크롬 타겟을 히터 750도에서 구조재료 상에 증착시킨다. 산화크롬 박막 증착 과정은 도 2를 참조하여 상세히 후술한다.
구조재료 상에 증착된 산화크롬을 아르곤과 산소 분위기에서 열처리 과정을 수행한다(S300).
다음으로, 산화크롬이 스퍼터 증착된 구조재료는 수소동위원소 투과 방지를 위한 방지막 증착을 위하여, 산화크롬 상에 4N알루미나(pure alumina)를 증착하는 과정을 수행한다(S400). 산화알루미나 박막 증착 과정은 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2를 참조하여 산화크롬 박막 증착 과정을 살펴보면, 우선 준비된 구조재료(SUS316L)를 연마(polishing)하는 과정을 수행한다(S210).
다음으로 연마가 완료된 구조재료를 세척하는 과정을 수행한다(S220).
스퍼터링 챔버(chamber)를 7x10-6 torr로 진공감압하는 과정을 수행한다(S230). 플라즈마 발생시 방전을 유도하고 이온화를 가속시켜 박막의 증착 효율을 높이고 불순물의 존재를 최소화하여 화학적 평형 상태를 유지한다.
진공감압된 챔버(chamber) 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화시킨다(S240).
그리고 나서, 산화크롬을 증착하기 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화크롬 타겟을 히터온도 750도에서 구조재료 상에 증착하는 과정을 수행한다 (S250).
도 3을 참조하여 산화알루미나 박막 증착 과정을, 구조재료(SUS316L) 상에 증착된 산화크롬 박막을 세척한다(S410).
스퍼터링 챔버(chamber)를 7x10-6 torr로 진공감압하는 과정을 수행한다(S420).
그리고 나서, 진공감압된 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화하는 과정을 수행한다(S430).
그 다음, 산화알루미나를 증착하기 위하여 히터 온도 450 내지 750도에서 스퍼터링 과정을 수행한다(S440). 히터의 온도 550도를 기준으로 증착되는 박막의 미세구조가 치밀하게 형성된다.
[실험예]
1. 산화크롬 증착
구조재료(SUS316L)를 수용성 알루미나(0.3마이크론, 1마이크론)로 연마(polishing)한 후 무수에탄올을 사용하여 초음파처리(브랜슨 울트라소닉사)로 수차례 세척 하였다.
다음으로, 챔버(chamber)를 7x10-6 torr로 진공감압하고, 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화한 과정 후 히터 온도 750도에서 산화크롬을 스퍼터 증착하였다(시그마-알드리치사, Chromium(III) oxide 99.9%).
2. 산화크롬 열처리
구조재료(SUS316L)에 스퍼터 증착된 산화크롬은 온도와 두께별로 박막과 구조재료의 응력-변형 효과(stress-strain effect)와 열팽창계수(thermal-expansion coefficient) 차이에 의한 열응력 효과를 관찰하기 위하여 다른 온도로 열처리 하였다. 열처리 공정에 사용되는 히터는 직경 2인치이며, 히터는 직경 12 인치 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화하여 유지하며, 온도 설정 범위는 450℃ 내지 750℃에서 수행하였다.
연마(polishing)된 구조재료에 산화크롬을 450℃, 550℃, 650℃, 750℃에서 각각 0.2, 0.4, 0.6, 0.8, 1 마이크로 두께로 증착하였고, 증착온도 750℃에서 크랙없이 치밀한 박막과 산화크롬(Cr2O3) 상이 얻어졌다.
3. 산화알루미나 증착
구조재료에 스퍼터 증착된 산화크롬 상에 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화알루미나를 스퍼터 증착하였다. 본 실험에서의 타겟은 이영세라켐사 에서 구매한 파우더(순도 99.84%)를 이용하여 산화알루미나 타겟을 자체 제작하였다. 산화알루미나 타겟의 크기는 직경이 2인치이고, 두께는 0.354인치이다. 스퍼터 증착 시스템은 기계적 펌프를 1차펌프로 하고 터보 분자 펌프를 2차펌프로하여 챔버(chamber)를 7x10-6 torr로 진공감압하는 과정을 수행하였으며, 진공감압된 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화하는 과정을 수행하였다.
증착 온도 450℃, 550℃, 650℃, 750℃에서 각각 0.2, 0.4, 0.6, 0.8, 1 마이크로 두께로 증착하였다.
도 4a 는 연마된 구조재료(SUS316L)의 표면이고, 도 4b 및 4c는 산화알루미나 표면의 SEM 이미지와 확대 이미지이며, 도 5는 본 발명에 따라 스퍼터링을 이용하여 박막을 증착한 구조재료(SUS316L)의 수소동위원소 투과 방지막의 단면(cross section) 이미지이다.
본 발명의 실시예에서 구조재료(SUS316L) 표면에 증착된 산화알루미나는 스퍼터링 공정에 의해 수행되었으며, 도 4b에는 산화알루미나 표면의 SEM 이미지가 도시되며, 도 4c는 도 4b의 확대 이미지이다. 도 4c를 살펴보면, 구조재료 표면에 증착된 산화알루미나의 박막은 표면균열(crack)과 기포(blister) 현상이 관찰되지 않는다. 산화알루미나의 박막 표면이 산화성 분위기에서 열처리에 의하여 새로운 산화물이 표면에 형성되어, 이로 인하여 표면균열과 기포가 보이지 않게 형성되었음을 알 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 박막으로 증착된 산화크롬과 산화알루미나에 대한 XRD 패턴을 나타낸 도이다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (11)

  1. 핵융합 구조재료 상에 산화크롬(Cr2O3)을 증착하는 단계;
    증착된 산화크롬을 열처리하는 단계; 및
    상기 산화크롬 상에 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계;를 포함하며,
    상기 산화크롬을 증착하는 단계는,
    상기 핵융합 구조재료를 연마하는 단계; 연마된 핵융합 구조재료를 세척하는 단계; 스퍼터링 챔버를 진공감압하는 단계; 진공감압된 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화시키는 단계; 및 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화크롬 타겟을 증착하는 단계;를 포함하며,
    상기 산화알루미나(Al2O3)를 증착하는 단계는,
    산화크롬 박막을 세척하는 단계; 스퍼터링 챔버를 진공감압하는 단계; 진공감압된 챔버 내부에 아르곤(Ar)과 산소(O2)를 주입하여 기체를 이온화하는 단계; 및 스퍼터링을 이용하여 산화알루미나를 증착하는 단계;를 포함하며,
    상기 진공감압하는 단계는 스퍼터링 챔버를 7x10-6 torr로 진공감압하며, 상기 산화알루미나를 증착하는 단계는 히터 온도 섭씨 550도에서 스퍼터링을 수행하는 것을 특징으로 하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 진공감압하는 단계는 스퍼터링 챔버를 7x10-6 torr로 진공감압하는 것을 특징으로 하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 산화크롬 타겟을 증착하는 단계는 히터온도 섭씨 750도에서 구조재료 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 청구항 1, 청구항 4 또는 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 핵융합 구조재료는 SUS316L인 것을 특징으로 하는 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법.
  11. 청구항 1, 청구항 4 또는 청구항 5 중 어느 한 항에 따른 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법에 따라 제조된 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막.
KR1020150161406A 2015-11-17 2015-11-17 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막 KR101693771B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150161406A KR101693771B1 (ko) 2015-11-17 2015-11-17 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150161406A KR101693771B1 (ko) 2015-11-17 2015-11-17 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101693771B1 true KR101693771B1 (ko) 2017-01-06

Family

ID=57832631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150161406A KR101693771B1 (ko) 2015-11-17 2015-11-17 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101693771B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116968397A (zh) * 2023-09-25 2023-10-31 上海核工程研究设计院股份有限公司 一种防氚渗透的层状复合材料及其制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120047530A (ko) 2010-11-04 2012-05-14 한국원자력연구원 핵융합반응용 수직형 삼중수소 용기
JP2012511415A (ja) * 2008-12-11 2012-05-24 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 水素捕捉材料、調製方法および使用
US20140120456A1 (en) * 2008-01-25 2014-05-01 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Permeation barrier layer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140120456A1 (en) * 2008-01-25 2014-05-01 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Permeation barrier layer
JP2012511415A (ja) * 2008-12-11 2012-05-24 コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ 水素捕捉材料、調製方法および使用
KR20120047530A (ko) 2010-11-04 2012-05-14 한국원자력연구원 핵융합반응용 수직형 삼중수소 용기

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116968397A (zh) * 2023-09-25 2023-10-31 上海核工程研究设计院股份有限公司 一种防氚渗透的层状复合材料及其制备方法
CN116968397B (zh) * 2023-09-25 2023-12-15 上海核工程研究设计院股份有限公司 一种防氚渗透的层状复合材料及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kashkarov et al. Oxidation kinetics of Cr-coated zirconium alloy: Effect of coating thickness and microstructure
Sidelev et al. Nickel-chromium (Ni–Cr) coatings deposited by magnetron sputtering for accident tolerant nuclear fuel claddings
Utili et al. Development of anti-permeation and corrosion barrier coatings for the WCLL breeding blanket of the European DEMO
CN105729934A (zh) 一种M/MOx复合阻氢涂层及其制备方法
Li et al. Performances of Cr2O3–hydrogen isotopes permeation barriers
McCarthy et al. Enhanced fuzzy tungsten growth in the presence of tungsten deposition
Tamura et al. Nanostructured thin films for hydrogen-permeation barrier
Keiser Jr et al. Microstructural characterization of a thin film ZrN diffusion barrier in an As-fabricated U–7Mo/Al matrix dispersion fuel plate
EP2726640B1 (en) A method for producing a neutron detector component comprising a boron carbide layer for use in a neutron detecting device
Wang et al. Study of Al2O3–Er2O3 composite coatings as hydrogen isotopes permeation barriers
KR101693771B1 (ko) 핵융합 구조재료의 수소동위원소 투과방지막 제조방법 및 그 제조방법에 따라 제조된 수소동위원소 투과방지막
Zhang et al. Au-ion irradiation effects on microstructure and deuterium permeation resistance of Al/Al2O3 coating
Chen et al. Recent progress of thick tungsten coating prepared by chemical vapor deposition as the plasma-facing material
Cherkez et al. Deuterium Permeation Through Reduced Activation V-4Cr-4Ti Alloy and V-4Cr-4Ti Alloy with AlN/Al Coatings
CN113652635A (zh) 一种Zr-4包壳表面CrN-Cr-CrN复合防护涂层的制备方法
Ialovega et al. Initial study on thermal stability of cold spray tantalum coating irradiated with deuterium for fusion applications
Kashkarov et al. Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions
de Lama et al. Microstructural stability of spark-plasma-sintered Wf/W composite with zirconia interface coating under high-heat-flux hydrogen beam irradiation
Kawasaki et al. Hydrogen retention in a tungsten re-deposition layer formed by hydrogen RF plasma
Sharma et al. Tungsten Deposition on Graphite using Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition.
Yifu et al. The permeation behavior of deuterium through 1Cr18Ni9Ti stainless steel with TiN+ TiC+ TiN multiple films
Liu et al. A theoretical model for functionally graded shape memory alloy cylinders subjected to internal pressure
Sun et al. Improved High-Temperature Stability and Hydrogen Penetration through a Pd/Ta Composite Membrane with a TaTiNbZr Intermediate Layer
Gnesin et al. On the Possibilities of Increasing the Diffusion Resistance of Protective Silicide Coatings on the Surface of E110 Alloy
Wang et al. Fabricating tritium permeation barrier for PFC with a new non-coating strategy

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant