KR101687948B1 - 감쇠된 측정기 구성 요소를 포함하는 진동형 측정기 - Google Patents

감쇠된 측정기 구성 요소를 포함하는 진동형 측정기 Download PDF

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Abstract

진동형 측정기(5)가 제공된다. 진동형 측정기(5)는 진동 부분(471)과 비진동 부분(472)을 포함하는 하나 이상의 도관(103A, 103B)과, 하나 이상의 도관(103A, 103B) 중의 하나의 도관에 결합되어 도관의 진동 부분(471)을 하나 이상의 구동 주파수로 진동시키도록 구성되는 구동기(104)를 포함한다. 진동형 측정기(5)는 또한 하나 이상의 도관(103A, 103B) 중의 하나의 도관에 결합되어 도관의 운동을 검출하도록 구성된 하나 이상의 픽오프(105, 105')를 포함한다. 도관(103A, 103B)의 진동 부분(471), 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')를 제외한 하나 이상의 측정기 구성 요소는 감쇠 재료(310)를 구비하며, 감쇠 재료는 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 하나의 측정기 구성 요소의 적어도 일부에 도포되고, 측정기 구성 요소의 하나 이상의 진동 공진 주파수를 하나 이상의 구동 주파수 미만으로 감소시킨다.

Description

감쇠된 측정기 구성 요소를 포함하는 진동형 측정기 {A VIBRATING METER INCLUDING A DAMPED METER COMPONENT}
본 발명은 진동형 측정기에 관한 것으로, 특히, 측정기 구성 요소의 표면에 감쇠 재료가 도포되어 있는 진동형 측정기 구성 요소에 관한 것이다.
예로서, 농도계, 체적 유량계 및 코리올리(Coriolis) 유량계 같은 진동형 측정기가 예로서, 밀도, 질량 유량, 체적 유량, 총 질량 유동, 온도 및 다른 정보 같은 물질의 하나 이상의 특성을 측정하기 위해 사용되고 있다. 진동형 측정기는 하나 이상의 도관을 포함하며, 이 도관은 예로서, 직선형, U-형, 또는 불규칙 구성 같은 다양한 형상을 가질 수 있다.
하나 이상의 도관은 예로서, 단순 굴곡 모드, 비틀림 모드, 반경방향 모드 및 결합 모드를 포함하는 일 군의 고유 진동 모드를 갖는다. 하나 이상의 도관은 물질의 특성을 결정하기 위해 이들 모드 중 하나에서 공진 주파수로 적어도 하나의 구동기에 의해 진동하며, 이는 이후 구동 모드라 지칭된다. 하나 이상의 측정기 전자 장치는 적어도 하나의 구동기에 정현파(sinusoidal) 구동 신호를 전송하며, 구동기는 통상적으로 자석/코일 조합체이며, 자석은 통상적으로 도관에 고정되고, 코일은 다른 도관에 또는 장착 구조체에 고정되어 있다. 구동 신호는 구동기가 구동 모드에서 구동 주파수로 하나 이상의 도관을 진동시키게 한다. 예로서, 구동 신호는 코일에 전달되는 주기적 전류일 수 있다.
하나 이상의 픽오프(pick-off)가 도관(들)의 운동을 검출하고, 진동 도관(들)의 운동을 나타내는 픽오프 신호를 생성한다. 픽오프는 통상적으로 자석/코일 조합체이며, 자석은 통상적으로 하나의 도관에 고정되고, 코일은 장착 구조체 또는 다른 도관에 고정된다. 픽오프 신호는 하나 이상의 전자 장치에 전송되며, 잘 알려진 원리에 따라서, 픽오프 신호는 물질의 특성을 결정하거나 필요시 구동 신호를 조정하기 위해 하나 이상의 전자 장치에 의해 사용될 수 있다.
통상적으로, 도관에 추가로, 진동형 측정기는 케이스, 베이스, 플랜지 등 같은 하나 이상의 측정기 구성 요소를 더 구비한다. 본질적으로 추가적 측정기 구성 요소 모두가 다양한 진동 특성에 기인한 측정 문제를 유발할 수 있지만, 통상적으로 케이스의 진동 특성이 가장 현저하며, 가장 중요한 측정 문제를 유발한다. 따라서, 비록 케이스가 이하의 설명의 초점이지만, 유사한 진동 문제 및 해법이 다른 측정 부품에 적용될 수도 있다. 다양한 측정기 구성 요소에 의해 유발되는 측정 문제는 케이스 같은 측정기 구성 요소와 연계된 진동으로부터 도관과 연계된 진동을 구별하는 것이 어렵다는 것에 기인한다. 이는 도관과 유사하게 케이스도 예로서 단순 굴곡 모드, 비틀림 모드, 반경방향 모드 및 측방향 모드를 포함하는 하나 이상의 고유 진동 모드를 가지기 때문이다. 진동 모드를 유도하는 특정 주파수는 일반적으로 케이스를 형성하는 데 사용되는 재료, 케이스의 두께, 온도, 압력 등 같은 다수의 인자에 의존한다. 구동기에 의해 또는 펌프 같은 물질 처리 시스템의 다른 소스로부터 생성된 진동력은 고유 모드 중 하나로 케이스가 진동하게 만든다. 하나 구동 모드로 하나 이상의 도관을 구동하기 위해 사용되는 주파수가 케이스가 그 고유 진동 모드 중 하나로 진동하게 하는 주파수에 대응하는 상황에서 물질의 특성의 정확한 측정을 달성하기 곤란하다. 이는 케이스의 진동 모드가 도관의 진동과 간섭하여 잘못된 측정을 초래하기 때문이다.
케이스의 진동 모드를 유도하는 주파수를 도관의 진동 모드로부터 분리하고자 하는 다수의 종래 기술 시도가 이루어져 왔다. 이들 주파수는 유체 충전된 도관과 케이스의 다양한 진동 모드의 고유 공진 주파수를 포함할 수 있다. 예로서, 케이스는 도관의 예상 구동 모드로부터 이격되게 다양한 진동 모드를 유도하는 주파수를 감소시키기 위해 케이스가 극도로 강성적이고 및/또는 무거운 재료로 형성될 수 있다. 이들 선택사항 양자 모두는 심각한 단점을 갖는다. 케이스의 질량 및/도는 강성도의 증가는 복잡하고 어려운 제조를 초래하며, 이는 비용을 추가하고, 진동형 측정기의 장착을 어려워지게 한다. 케이스의 질량을 증가시키는 한 가지 특정 종래 기술 접근법은 기존 케이스에 금속 중량체를 용접하는 것이다. 이 접근법은 케이스의 고유 주파수를 감소시키도록 진동 에너지를 적절히 소산시키지 못한다. 또한, 이 접근법은 종종 많은 비용이 들고, 케이스가 보기 흉해지게 한다.
다른 종래 기술 접근법은 케이스의 형상을 변형하는 것이다. 이런 종래 기술 시도는 본 명세서에 참조로 통합되어 있는 PCT 공보 WO/2009/078880호에 개시되어 있다. '880 공보는 타원형 단면을 갖는 대체로 U-형 케이스를 개시하고 있다. 타원형 단면은 진동 모드를 유도하기 위해 필요한 주파수를 구동 모드 주파수를 초과하여 증가시킨다. 비록, '880 공보에 나타난 구성이 제한적 상황에서 적절한 결과를 제공하지만, 가공에 많은 비용이 들고 시간 소모적이다. 또한, 이 해법은 기존 진동형 측정기를 위해서는 실용적이지 못하다. 오히려, '880 공보는 완전히 새로운 케이스를 필요로 하며, 기존 케이스와 연관된 문제점을 해결하지는 못한다. 추가적으로, 다수의 측정기 케이스는 예로서 기존 튜브 구성 또는 고객에 의해 지정된 바와 같은 특정 형상 및 크기를 필요로 한다. '880 공보에 제시된 접근법이 갖는 다른 문제점은 케이스의 진동 모드를 유도하기 위해 필요한 주파수가 예상 구동 주파수보다 높다는 점이다. 따라서, 구동 모드에 가용한 주파수는 극도로 제한되어 있다.
본 발명은 이들 및 다른 문제점을 극복하고 종래 기술의 진보가 달성된다. 본 발명은 감쇠된 측정기 구성 요소를 갖는 진동형 측정기를 제공한다. 감쇠된 측정기 구성 요소의 공진 주파수는 감소되고 도관의 공진 주파수로부터 분리된다. 결과적으로, 진동형 측정기의 구동 모드는 감쇠된 측정기 구성 요소의 진동 모드를 유도하지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따라서 진동형 측정기가 제공된다. 진동형 측정기는 진동 부분과 비진동 부분을 포함하는 하나 이상의 도관과, 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합되고 하나 이상의 구동 주파수에서 도관의 진동 부분을 진동시키도록 구성된 구동기를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 하나 이상의 픽오프가 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합되고 도관의 진동 부분의 운동을 검출하도록 구성된다. 또한, 진동형 측정기는 도관의 진동 부분, 구동기 및 픽오프를 제외한 하나 이상의 측정기 구성 요소를 포함한다. 하나 이상의 구동 주파수 미만으로 측정기 구성 요소의 하나 이상의 진동 공진 주파수를 감소시키는 감쇠 재료가 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포된다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 진동 부분과 비진동 부분을 포함하는 하나 이상의 도관을 포함하는 진동형 측정기를 형성하는 방법이 제공된다. 이 방법은 하나 이상의 구동 주파수로 도관의 진동 부분을 진동시키도록 구성되어 있는 구동기를 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합하는 단계와, 도관의 진동 부분의 운동을 검출하도록 구성된 하나 이상의 픽오프를 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합하는 단계를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 이 방법은 도관, 구동기 및 픽오프의 진동 부분을 제외한 하나 이상의 측정기 구성 요소를 제공하는 단계를 더 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 이 방법은 측정기 구성 요소의 하나 이상의 진동 공진 주파수를 하나 이상의 구동 주파수 미만으로 감소시키는 감쇠 재료를 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포하는 단계를 더 포함한다.
양태
본 발명의 일 양태에 따라서, 진동형 측정기는
진동 부분과 비진동 부분을 포함하는 하나 이상의 도관과,
하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합되고, 하나 이상의 구동 주파수로 도관의 진동 부분을 진동시키도록 구성된 구동기와,
하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합되고, 도관의 진동 부분의 운동을 검출하도록 구성된 하나 이상의 픽오프와,
도관의 진동 부분, 구동기 및 픽오프 이외의 하나 이상의 측정기 구성 요소와,
측정기 구성 요소의 하나 이상의 진동 공진 주파수를 하나 이상의 구동 주파수 미만으로 감소시키는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포된, 감쇠 재료를 포함한다.
바람직하게는, 측정기 구성 요소는 제1 두께(T1)를 갖고, 감쇠 재료는 제1 두께(T1)보다 작은 제2 두께(T2)를 갖는다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 하나 이상의 도관, 구동기 및 하나 이상의 픽오프를 실질적으로 둘러싸는 케이스를 포함한다.
바람직하게는, 진동형 측정기는 케이스에 결합된 베이스와 케이스와 베이스 사이에 실질적으로 유체 밀폐 밀봉부를 제공하는 밀봉 부재를 더 포함한다.
바람직하게는, 진동형 측정기는 케이스 내에 형성되어 기계적 체결구를 수용하도록 구성되는 하나 이상의 멈춤쇠(detent)를 더 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 하나 이상의 도관에 결합된 베이스를 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 다른 측정기 구성 요소는 베이스에 결합된 장착 블록을 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 도관의 비진동 부분을 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따라서, 진동 부분과 비진동 부분을 포함하는 하나 이상의 도관을 포함하는 진동형 측정기를 형성하는 방법은
하나 이상의 구동 주파수에서 도관의 진동 부분을 진동시키도록 구성되는 구동기를 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합하는 단계와,
도관의 진동 부분의 운동을 검출하도록 구성되는 하나 이상의 픽오프를 하나 이상의 도관 중의 일 도관에 결합하는 단계와,
도관의 진동 부분, 구동기 및 픽오프를 제외한 하나 이상의 측정기 구성 요소를 제공하는 단계와,
측정기 구성 요소의 하나 이상의 진동 공진 주파수를 하나 이상의 구동 주파수 미만으로 감소시키는 감쇠 재료를 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 측정기 구성 요소는 제1 두께(T1)를 포함하고, 감쇠 재료를 도포하는 단계는 제1 두께(T1)보다 작은 제2 두께(T2)를 갖는 감쇠 재료를 도포하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 케이스를 포함하고, 상기 방법은 케이스로 하나 이상의 도관, 구동기 및 하나 이상의 픽오프를 실질적으로 둘러싸는 단계를 더 포함한다.
바람직하게는, 상기 방법은 케이스에 베이스를 결합하고, 케이스와 베이스 사이에 실질적으로 유체 밀폐 밀봉부를 위치시키는 단계를 더 포함한다.
바람직하게는, 상기 방법은 기계적 체결구를 수용하도록 구성되는 하나 이상의 멈춤쇠를 케이스 내에 형성하는 단계를 더 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 베이스를 포함하고, 상기 방법은 하나 이상의 도관에 베이스를 결합하는 단계를 더 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 다른 측정기 구성 요소는 장착 블록을 포함하고, 상기 방법은 베이스에 장착 블록을 결합하는 단계를 더 포함한다.
바람직하게는, 하나 이상의 측정기 구성 요소 중의 일 측정기 구성 요소는 도관의 비진동 부분을 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진동형 측정기를 도시하는 도면이며,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스를 포함하는 진동형 측정기를 도시하는 도면이며,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 감쇠 재료가 케이스의 표면에 도포되어 있는 진동형 측정기의 단면도이며,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동형 측정기를 도시하는 도면이며,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동형 측정기의 단면도이다.
도 1 내지 도 5와 이하의 설명은 당 기술 분야의 숙련자에게 본 발명의 최상의 형태를 구성 및 사용하는 방식을 교시하기 위해 특정 예를 설명한다. 본 발명의 원리의 교시의 목적으로, 일부 종래의 양태는 단순화 또는 생략되어 있다. 당 기술 분야의 숙련자는 이들 예로부터 본 발명의 범주에 포함되는 변형을 안출할 수 있을 것이다. 당 기술 분야의 숙련자는 이하에 설명된 특징이 다양한 방식으로 조합되어 본 발명의 다수의 변형을 형성할 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 결과적으로, 본 발명은 이하에 설명된 특정 예에 한정되지 않으며, 단지 청구항 및 그 등가물에 의해서만 한정된다.
도 1은 센서 조립체(10)와 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)를 포함하는 측정기 형태의 진동형 측정기(5)를 도시한다. 진동형 측정기(5)는 코리올리 유량계, 체적 유량계, 농도계 등을 포함할 수 있다. 측정기 전자 장치(20)는 예로서, 경로(26) 상의 유체 밀도, 질량 유량, 체적 유량, 총 질량 유동, 온도 및 다른 정보 같은 물질의 특성을 측정하기 위해 리드(100)를 통해 센서 조립체(10)에 연결된다.
본 예의 센서 조립체(10)는 한 쌍의 플랜지(101, 101'), 매니폴드(102, 102'), 구동기(104), 픽오프(105, 105') 및 도관(103A, 103B)을 포함한다. 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')는 도관(103A, 103B)에 결합된다. 구동기(104)는 구동기(104)가 구동 모드에서 도관(103A, 103B)의 일부를 진동시킬 수 있는 위치에서 도관(103A, 103B)에 고정된 것으로 도시되어 있다. 진동 또는 부적절하게 진동하지 않는 도관(103A, 103B)이 다른 부분이 존재할 수 있다는 것을 인지하여야 한다(도 5 참조). 픽오프(105, 105')는 도관(103A, 103B)이 운동을 검출하기 위해 도관(103A, 103B)에 고정된다. 따라서, 진동형 측정기에서, 도관(103A, 103B)의 진동 부분의 진동이 관심의 대상이다. 이하의 설명의 목적으로, 도관(103A, 103B)의 진동 부분, 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')를 제외한 진동형 측정기(5)의 구성 요소는 바람직하지 못하게 진동하여 도관(103A, 103B)의 진동과 간섭할 수 있는 측정기 구성 요소로서 그룹화될 수 있다.
당 기술 분야의 숙련자는 코리올리 유량계의 측정 기능이 결여된 진동형 측정기를 포함하는 임의의 유형의 진동형 측정기와 연계하여 본 명세서에 설명된 원리를 사용하는 것이 본 발명의 범주에 포함된다는 것을 인지하여야 한다. 이런 장치의 예는 진동형 농도계, 체적 유량계 등이다.
본 예의 플랜지(101, 101')는 매니폴드(102, 102')에 결합된다. 본 예의 매니폴드(102, 102')는 스페이서(106)의 대향 단부들에 고정된다. 스페이서(106)는 도관(103A, 103B) 내의 원하지 않는 진동을 방지하기 위해 매니폴드(102, 102') 사이의 간격을 유지한다. 센서 조립체(10)가 물질을 운반하는 파이프라인 시스템(도시 생략) 내에 삽입될 때, 물질은 플랜지(101)를 통해 센서 조립체(10)에 진입하고, 전체 재료의 양이 도관(103A, 103B)에 진입하도록 안내되는 입구 매니폴드(102)를 통과하고, 도관(103A, 103B)을 통해 다시 출구 매니폴드(102')로 유동하고, 출구 매니폴드(102')에서 이는 플랜지(101')를 통해 센서 조립체(10)를 벗어난다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 구동 모드는 예로서 제1 위상외 굴곡 모드일 수 있으며, 도관(103A, 103B)은 실질적으로 동일한 질량 분포, 관성 모멘트 및 탄성 계수를 굴곡 축(X, X') 각각에 대해 갖도록 선택되어 입구 매니폴드(102) 및 출구 매니폴드(102')에 적절히 장착될 수 있다. 도시된 바와 같이, 도관(103A, 103B)은 실질적으로 평행한 형태로 매니폴드(102, 102')로부터 외향 연장한다. 도관(103A, 103B)이 대체로 U-형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 예로서, 직선 또는 불규칙 형상 같은 다른 형상을 갖는 도관(103A, 103B)을 제공하는 것이 본 발명의 범주에 포함된다. 또한, 구동 모드로서 제1 위상외 굴곡 모드 이외의 모드를 사용하는 것도 본 발명의 범주에 포함된다.
본 예에서, 구동 모드가 제1 위상외 굴곡 모드를 포함하는 경우, 도관(103A, 103B)의 진동 부분은 그 각각의 굴곡 축(X, X')을 중심으로 반대 방향으로 제1 위상외 굴곡 모드의 공진 주파수에서 구동기(104)에 의해 구동될 수 있다. 구동기(104)는 도관(103A)에 장착된 자석 및 도관(103B)에 장착된 대향 코일 같은 다수의 잘 알려진 배열 중 하나를 포함할 수 있다. 대향 코일을 통해 교류가 통과함으로써 양 도관(103A, 103B)을 진동시킬 수 있다. 적절한 구동 신호가 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)에 의해 리드(110)를 통해 구동기(104)에 인가될 수 있다. 본 설명은 두 개의 도관(103A, 103B)에 관련하지만, 다른 실시예에서, 단일 도관이 제공될 수 있음을 인지하여야 한다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)는 구동 신호를 생성하고, 이를 리드(110)를 통해 구동기(104)에 전송하며, 이에 의해 구동기(104)가 도관(103A, 103B)의 진동 부분을 진동시키게 된다. 다수의 구동기를 위해 다수의 구동 신호를 생성하는 것이 본 발명의 범주에 포함된다. 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)는 예로서, 질량 유량 같은 물질의 특성을 연산하기 위해 픽오프(105, 105')로부터 좌측 및 우측 속도 신호를 처리할 수 있다. 경로(26)는 입력 및 출력 수단을 제공하고, 이는 본 기술 분야에 일반적으로 공지된 바와 같이 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)가 조작자와 인터페이스 작용하게 할 수 있다. 하나 이상의 측정기 전자 장치(20)의 회로의 설명은 본 발명의 이해에 불필요하며, 본 설명의 간결성을 위해 생략되어 있다. 도 1의 설명은 단지 하나의 가능한 진동형 측정기의 동작의 일 예로서 제공된 것이며, 본 발명의 교지를 제한하고자 하는 목적은 아니다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동형 측정기(5)를 도시한다. 도 2에 도시된 실시예에 따르면, 진동형 측정기(5)는 케이스(200)를 포함한다. 케이스(200)는 둘 이상의 단편으로 제공되어 현장 배치 이후 용접 또는 다른 방식으로 결합될 수 있다. 케이스(200)는 도관(103A, 103B), 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')를 수납하도록 제공될 수 있다. 인지할 수 있는 바와 같이, 케이스(200)는 본 기술 분야에 일반적으로 알려진 바와 같이 도관(103A, 103B), 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')를 보호할 수 있다. 케이스(200)는 폭발 방지 배리어를 제공할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 케이스(200)는 폭발 파열 지점을 포함할 수 있으며, 이는 특정 방향으로 케이스를 안전하게 배기시키기 위해 사전 결정된 압력에서 파괴되도록 설계되어 있다.
구동 모드와 케이스의 공진 주파수 사이의 중첩에 기인하여 종래 기술 케이스는 하나 이상의 진동 모드에서 진동을 받게되지만, 본 발명의 케이스(200)는 케이스(200)의 다양한 진동 모드를 유도하기 위해 필요한 주파수가 현저히 감소되고 구동 모드 주파수로부터 분리되도록 감쇠되어 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스(200)를 포함하는 진동형 측정기(5)의 단면도를 도시한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 케이스(200)는 판(303, 304) 각각을 통해 매니폴드(102, 102')에 결합될 수 있다. 매니폴드(102, 102')가 또한 도관(103A, 103B)에 결합되기 때문에, 케이스(200)의 진동은 도관(103A, 103B)에 쉽게 영향을 미치고, 측정기 측정과 간섭하게 된다. 케이스(200)는 예로서, 용접, 브레이징, 접합, 접착제, 기계적 체결구 등을 포함하는 공지된 방법에 따라 판(302, 304)에 결합될 수 있다. 케이스(200)를 판(303, 304)에 결합하기 위해 사용되는 특정 방법은 본 발명의 목적에 중요하지 않다. 또한, 도 3에는 측정기 전자 장치(20)에 연결된 구동기(104) 및 픽오프(105, 105')로부터의 리드(100)를 수용하도록 구성된 개구(305, 305')가 도시되어 있다. 대안적으로, 리드(100)를 위한 개구는 케이스(200) 내에 직접적으로 형성될 수 있다. 리드(100)는 도면의 단순화를 위해 도 3에서 생략되어 있다.
앞서 간략히 설명된 바와 같이, 케이스(200) 같은 측정기 구성 요소의 진동에 의한 한가지 문제점은 케이스(200)의 공진 주파수가 유체 충전된 도관(103A, 103B)의 공진 주파수와 실질적으로 유사할 수 있다는 것이다. 결과적으로, 도관(103A, 103B)의 진동 부분을 진동시키기 위해 사용되는 구동 모드는 측정기 구성 요소 중 하나 이상의 진동 모드를 유발할 수 있으며, 이는 도관(103A, 103B)의 진동 부분의 원하는 진동과 간섭할 수 있다. 케이스(200)에 의해 유발되는 진동 간섭은 통상적으로 케이스(200)의 비교적 큰 표면적에 기인하여 다른 측정기 구성 요소에 의해 유발되는 간섭보다 크다. 잠재적 중첩은 일반적으로 도관(103A, 103B) 및 케이스(200)가 통상적으로 유사한 재료로 제조된다는 사실에 기인한다. 예로서, 도관(103A, 103B)은 티타늄이나 스테인레스 스틸 같은 금속성 재료로 제조되고, 케이스(200)는 통상적으로 유사한 금속성 재료로 제조된다. 케이스(200)의 각 진동 모드는 주파수 범위에 의해 생성된다. 또한, 종래 기술에 공지된 바와 같이, 도관(103A, 103B)의 구동 모드 주파수는 예로서 유체 온도 또는 밀도의 변화에 기인하여 시간에 따라 변할 수 있다. 결과적으로, 구동 모드는 단지 특정 유체 밀도에서만 케이스(200)의 진동 모드를 유도할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 구동 모드 주파수와 도관(103A, 103B)의 진동 부분을 제외한 측정기 구성 요소의 진동 모드를 유도할 수 있는 주파수 사이의 잠재적 중첩이 실질적으로 감소된다. 본 발명은 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포된 감쇠 재료(310)를 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 실시예에서, 감쇠 재료(310)는 단지 케이스(200)에 도포되지만, 감쇠 재료(310)는 유사한 기술을 사용하여 다른 측정기 구성 요소에 도포될 수 있다는 것을 인지하여야 한다(도 4 및 도 5와 관련 설명 참조). 감쇠 재료(310)가 케이스(200)의 외부 및 내부 표면 양자 모두에 도포되는 것으로 도시되어 있지만, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)의 표면 중 하나에만 도포될 수 있다. 또한, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)의 표면의 단지 일부에만 도포될 수 있다. 감쇠 재료(310)의 두께는 명료성을 위해 도면에서 크게 과장되어 있으며, 통상적으로 감쇠 재료(310)는 얇은 층을 포함하고, 감쇠 재료(310)가 도포되는 측정기 구성 요소로부터 쉽게 구별할 수 없다. 예로서, 케이스(200)는 두께(T1)를 가지고, 감쇠 재료(310)는 두께(T2)를 갖는다. 비록, 도면에 규모대로 그려져 있지는 않지만, 다수의 실시예에서, 두께(T1)는 두께(T2)보다 크다. 그러나, 다른 실시예에서, 케이스(200)의 두께(T1)는 감쇠 재료(310)의 두께(T2)보다 작을 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 감쇠 재료(310)는 감쇠 재료(310)가 측정기 구성 요소의 일체형 부분이 되도록 측정기 구성 요소에 도포될 수 있다. 감쇠 재료(310)는 스프레잉, 브러싱, 접착제, 소결, 분말 코팅, 기상 증착, 기계적 체결구 또는 탄성 표피 같은 마찰 끼워맞춤을 포함하지만 이에 한정되지 않는 다양한 기술을 사용하여 케이스(200)에 도포될 수 있다. 탄성 감쇠 재료 표피는 사전 성형되어 케이스(200)의 적어도 일부 둘레에 씌워짐으로써 도포될 수 있다. 바람직하게는, 감쇠 재료(310)의 도포를 위해 사용되는 방법에 무관하게, 감쇠 재료(310)는 실질적으로 측정기 구성 요소의 형상 및 텍스쳐에 합치된다.
다른 실시예에서, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)의 외부 표면에 도포된 라미네이트 또는 코팅을 포함할 수 있다. 라미네이트 감쇠 재료(310)는 케이스(200)에 또는 서로 접착제를 사용하여 고정된 플라스틱 재료의 하나 이상의 층을 포함할 수 있다. 종래 기술 시도에 비한 본 발명의 한 가지 장점은 감쇠 재료(310)가 이미 조립되어 있는 진동형 측정기(5) 상의 기존 케이스(200)에 도포될 수 있다는 것이다. 대안적으로, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)가 판(303, 304)에 결합되기 이전에 케이스(200)에 도포될 수 있다. 이는 도 3에 도시된 바와 같이 케이스(200)의 내부 표면에 감쇠 재료(310)가 도포될 수 있게 한다. 감쇠 재료(310)는 또한 케이스에 부피 큰 무게추를 용접하는 종래 기술 해법만큼 현저한 공간을 점유하지 않는 얇은 층으로서 측정기 구성 요소에 도포될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)를 형성하기 위해 사용되는 재료와는 다른 재료를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 감쇠 재료(310)는 도관(103A, 103B)을 형성하기 위해 사용되는 재료와는 다른 재료를 포함한다. 바람직하게는, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)보다 더 큰 진동 감쇠 특성을 나타내는 재료를 포함한다. 예로서, 케이스(200)가 금속을 포함하는 경우, 감쇠 재료(310)는 플라스틱, 고무, 탄소 섬유, 유리섬유, 그래파이트, 유리, 나무 등을 포함할 수 있다. 종래 기술에 공지된 바와 같이, 진동 감쇠는 기계적 에너지(진동)의 열 에너지로의 변환이다. 감쇠에 기인하여 생성된 열은 기계적 시스템으로부터 주변 환경으로 소실된다. 감쇠는 다수의 다양한 방식으로 특성화될 수 있지만, 한가지 특정 진동 감쇠 특성은 소위 감쇠 손실 인자(η)이다. 구성 요소의 감쇠 손실 인자(η)는 아래와 같이 표현될 수 있다.
η = D/2πW (1)
여기서, η은 감쇠 손실 인자이고,
D는 사이클마다 단위 체적 당 소산되는 에너지이며,
W는 사이클 동안 저장된 최대 변형 에너지이다.
인지할 수 있는 바와 같이, 사이클 당 단위면적 당 소산 에너지가 큰 재료 또는 사이클 동안 저장되는 최대 변형 에너지가 작은 재료에서 더 높은 감쇠 손실 인자가 실현된다. 매우 다양한 재료를 위한 감쇠 손실 인자를 참조표, 차트, 그래프 등으로 입수할 수 있다. 대안적으로, 특정 재료를 위한 감쇠 손실 인자는 경험적으로 결정될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따라서, 감쇠 재료(310)는 감쇠 재료(310)가 예로서 케이스(200) 및/또는 도관(103A, 103B)을 형성하기 위해 사용되는 재료보다 낮은 감쇠 손실 인자를 갖도록 선택될 수 있다. 상술한 바와 같이, 다수의 상황에서, 케이스(200) 및 도관(103A, 103B)은 금속으로 형성된다. 따라서, 감쇠 재료(310)를 위한 한 가지 적절한 재료는 플라스틱/폴리머를 포함할 수 있다. 일반적으로, 대부분의 금속은 대략 0.001 범위의 감쇠 손실 인자를 갖는다. 대조적으로, 플라스틱/폴리머는 0.01 - 2.0의 범위의 감쇠 손실 인자를 갖는다. 따라서, 케이스(200)의 적어도 일부에 감쇠 재료(310)를 도포함으로써, 진동 감쇠 특성은 케이스(200) 단독인 경우보다 10 내지 2000배 더 높아질 수 있다. 유리하게는, 감쇠 재료(310)가 케이스(200)의 표면의 적어도 일부에 도포된 상태에서, 케이스(200)의 진동 모드를 유도하기 위해 필요한 다양한 주파수는 실질적으로 감소되고 구동 모드 주파수는 실질적으로 영향을 받지 않고 유지된다. 이는 케이스(200)에 진동 모드를 유도하는 주파수와 도관(103A, 103B)에 구동 진동 모드를 유도하는 주파수 사이의 주파수 분리를 초래한다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 측정기 구성 요소의 진동 모드를 유도하는 주파수와 구동 모드 주파수 사이의 주파수 분리가 1 헤르츠보다 커지도록 감쇠 재료(310)가 케이스(200) 같은 하나 이상의 측정기 구성 요소에 도포된다. 더 바람직하게는 주파수 분리는 예상 유체 밀도에 기초하여 3 - 5 헤르츠보다 크다. 일부 실시예에서, 감쇠 재료(310)는 유체 밀도의 범위를 위한 충분한 주파수 분리를 유지하기 위해 케이스(200)에 도포될 수 있다. 예로서, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)의 공진 주파수를 다중 위상 유동 동안에도 구동 모드 주파수 미만으로 유지되는 레벨로 낮추도록 케이스(200)의 표면에 도포될 수 있다. 주파수 분리 정도는 감쇠 재료(310)를 위해 사용되는 특정 재료 및/또는 두께에 기초하여 조절될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동형 측정기(5)의 부분 분해도를 도시한다. 도 4에 도시된 실시예에서, 도관(103A, 103B)은 베이스(440)에 결합된다. 도 5는 조립 이후 진동형 측정기(5)의 단면도를 도시한다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 진동형 측정기(5)는 하나 이상의 브레이스 바아(470)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 브레이스 바아(470)는 상술한 바와 같이 굴곡 축을 규정하는 것을 돕도록 제공된다. 브레이스 바아(470)가 제 위치에 배치된 상태에서, 도관(103A 103B)은 진동 부분(471)과 비진동 부분(472)으로 명확히 분리된다. 상술한 바와 같이, 도관(103A 103B)의 진동 부분(471)은 구동기(104)로 인해 원하는 방식으로 진동하는 도관(103A 103B)의 부분을 포함한다. 대조적으로, 비진동 부분(472)은 도관(103A, 103B)의 진동 부분(471)의 진동에 기인하여, 그러나, 원하지 않는 방식으로 진동할 수 있으며, 즉, 도관(103A 103B)의 비진동 부분(472)의 진동은 의도하지 않은 것이다. 베이스(440)는 이전에 설명된 실시예에 제공된 스페이서(106)를 대체할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 베이스(440)는 추가로 장착 블록(441A, 441B)에 결합된다. 장착 블록(441A, 441B)은 처리 라인(도시 생략) 또는 매니폴드(도시 생략)에 대한 베이스(440)의 부착을 위한 수단을 제공할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 감쇠 재료(310)는 베이스(440), 장착 블록(441A, 441B), 도관(103A, 103B)의 비진동 부분(472) 또는 모든 측정기 구성 요소에 도포될 수 있다. 따라서, 감쇠 재료(310)는 베이스(440), 도관(103A, 103B)의 비진동 부분(472) 및/또는 장착 블록(441A, 441B)의 고유 진동 주파수를 감소시킬 수 있으며, 그래서, 구동 모드는 베이스(440), 도관(103A, 103B)의 비진동 부분(472) 또는 장착 블록(441A, 441B)에 진동 응답을 유도하지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 케이스(200)는 베이스(440)에 결합될 수 있다. 도 4 및 도 5의 실시예에 따라서, 감쇠 재료(310)는 케이스(200)를 실질적으로 완전히 덮는다. 결과적으로, 케이스(200)는 이전 실시예에서 가능한 바와 같이 용접될 수 없다. 따라서, 도 4 및 도 5의 케이스(200)는 복수의 멈춤쇠(460)를 포함한다. 멈춤쇠(460)는 기계적 체결구(도시 생략)를 수용하기 위해 제공된다. 기계적 체결구는 멈춤쇠(460) 내에 끼워지고 베이스(440) 내에 형성된 개구(461) 및 장착 블록(441A, 441B) 내에 형성된 개구(462)와 결합한다. 본 발명의 실시예에 따라서, 기계적 체결구는 예로서 케이스(200) 위에 끼워지는 U-볼트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라서, 진동형 측정기(5)는 또한 베이스(440)와 케이스(200) 사이에 위치된 밀봉 부재(450)를 포함할 수 있다. 밀봉 부재(450)는 예로서, 고무 O-링을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라서, 밀봉 부재(450)는 도관(103A, 103B)으로부터 케이스(200)의 비의도적 진동을 추가로 격리시키기 위해 제공될 수 있다. 또한, 밀봉 부재(450)는 케이스(200)와 베이스(440) 사이에 실질적으로 유체 기밀 밀봉부를 제공할 수 있다.
상술한 본 발명은 진동형 측정기(5)와, 표면의 적어도 일부에 도포된 감쇠 재료(310)를 구비하는 하나 이상의 측정기 구성 요소를 갖는 진동형 측정기(5)를 제조하는 방법을 제공한다. 본 설명의 대부분이 케이스(200)에 관련하지만, 케이스(200)는 단지 도포된 감쇠 재료(310)로부터 이득을 얻을 수 있는 측정기 구성 요소의 일 예로서 사용되었을 뿐이라는 것을 인지하여야 한다. 따라서, 당 기술 분야의 숙련자는 도관(103A, 103B)의 진동 부분(471), 구동기(104) 및 픽오프(105, 105') 이외의 다른 다양한 측정기 구성 요소가 도포된 감쇠 재료(310)로부터 이득을 얻을 수 있다는 것을 쉽게 알 수 있을 것이다. 상술한 바와 같이, 케이스 상에 용접되는 부피가 큰 무게추와는 달리, 본 발명의 감쇠 재료(310)는 상술한 바와 같이 측정기 구성 요소의 두께 미만의 두께를 갖는 얇은 층으로서 도포될 수 있다. 또한, 감쇠 재료(310)는 바람직하게는 감쇠 재료(310) 도포시 측정기 구성 요소의 하나 이상의 공진 주파수가 낮아지도록 선택된다. 유리하게는, 감쇠 재료(310)는 측정기 구성 요소의 진동 모드를 유도하는 하나 이상의 주파수를 도관(103A, 103B)의 진동 부분의 구동 모드 주파수로부터 분리시킬 수 있다. 따라서, 주파수들의 중첩에 기인한 측정 오류가 실질적으로 감소되거나 제거된다.
상술한 실시예의 상세한 설명은 본 발명자들이 본 발명의 범주 내에 포함되는 것으로 간주하고 있는 모든 실시예에 대한 전체적 설명은 아니다. 사실, 당 기술 분야의 숙련자는 상술한 실시예의 특정 요소가 다양하게 조합되거나 제거되어 다른 실시예를 생성할 수 있다는 것을 알 수 있을 것이며, 이런 다른 실시예는 본 발명의 범주 및 교지 내에 포함된다. 또한, 당 기술 분야의 숙련자는 상술한 실시예가 전체적으로 또는 부분적으로 조합되어 본 발명의 범주 및 교지 내에 포함되는 추가적 실시예를 생성할 수 있다는 것을 명백히 알 수 있을 것이다.
따라서, 비록, 본 발명의 특정 실시예 및 예들이 예시를 위해 본 명세서에 설명되어 있지만, 관련 기술의 당 기술 분야의 숙련자기 인지할 수 있는 바와 같이 다양한 균등한 변형이 본 발명의 범주 내에서 가능하다. 본 명세서에 제공된 교지는 다른 진동형 시스템에 적용될 수 있으며, 앞서 설명되고 첨부 도면에 예시된 실시예에만 적용되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범주는 후속 청구범위로부터 결정되어야 한다.

Claims (16)

  1. 진동형 측정기(5)로서,
    진동 부분(471)과 비진동 부분(472)을 포함하는 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B)과,
    상기 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B) 중의 하나의 도관에 결합되고, 하나 또는 둘 이상의 구동 주파수들로 상기 도관의 진동 부분(471)을 진동시키도록 구성된 구동기(104)와,
    상기 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B) 중의 하나의 도관에 결합되고, 상기 도관의 진동 부분(471)의 운동을 검출하도록 구성된 하나 또는 둘 이상의 픽오프들(105, 105')과,
    상기 도관들(103A, 103B)의 진동 부분(471), 상기 구동기(104) 및 상기 픽오프들(105, 105') 이외의 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들과,
    상기 측정기 구성 요소의 하나 또는 둘 이상의 진동 공진 주파수들을 하나 또는 둘 이상의 구동 주파수들 미만으로 감소시키는, 상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 코팅된(coated), 감쇠 재료(310)를 포함하며,
    상기 감쇠 재료는 상기 측정기 구성 요소와 일체화된 부분이 되며, 상기 감쇠 재료가 상기 측정기 구성 요소의 형상 및 텍스쳐(texture)에 실질적으로 합치되는(conform),
    진동형 측정기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정기 구성 요소는 제1 두께(T1)를 갖고, 상기 감쇠 재료(310)는 상기 제1 두께(T1)보다 작은 제2 두께(T2)를 갖는,
    진동형 측정기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B), 상기 구동기(104) 및 상기 하나 또는 둘 이상의 픽오프들(105, 105')을 실질적으로 둘러싸는 케이스(200)를 포함하는,
    진동형 측정기.
  4. 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 3 항에 있어서,
    상기 케이스(200)에 결합된 베이스(440)와 상기 케이스(200)와 베이스(440) 사이에 실질적으로 유체 밀폐 밀봉부를 제공하는 밀봉 부재(450)를 더 포함하는,
    진동형 측정기.
  5. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 3 항에 있어서,
    상기 케이스(200) 내에 형성되고 기계적 체결구들을 수용하도록 구성되는 하나 또는 둘 이상의 멈춤쇠(detent; 460)들을 더 포함하는,
    진동형 측정기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B)에 결합된 베이스(440)를 포함하는,
    진동형 측정기.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 다른 하나의 측정기 구성 요소는 상기 베이스(440)에 결합된 장착 블록(441A, 441B)을 포함하는,
    진동형 측정기.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들(103A, 103B) 중의 하나의 도관의 비진동 부분을 포함하는,
    진동형 측정기.
  9. 진동 부분과 비진동 부분을 포함하는 하나 또는 둘 이상의 도관을 포함하는 진동형 측정기를 형성하는 방법으로서,
    하나 또는 둘 이상의 구동 주파수들로 상기 도관의 진동 부분을 진동시키도록 구성되는 구동기를 하나 또는 둘 이상의 도관들 중의 하나의 도관에 결합하는 단계와,
    상기 도관의 진동 부분의 운동을 검출하도록 구성되는 하나 또는 둘 이상의 픽오프들을 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들 중의 하나의 도관에 결합하는 단계와,
    상기 도관의 진동 부분, 상기 구동기 및 상기 픽오프들을 제외한 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들을 제공하는 단계와,
    상기 측정기 구성 요소의 하나 또는 둘 이상의 진동 공진 주파수들을 하나 또는 둘 이상의 구동 주파수들 미만으로 감소시키는 감쇠 재료 코팅을 상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소의 표면의 적어도 일부에 도포하는(applying) 단계를 포함하며,
    상기 감쇠 재료 코팅은 상기 측정기 구성 요소와 일체화된 부분이 되며, 상기 감쇠 재료 코팅은 상기 측정기 구성 요소의 형상 및 텍스쳐(texture)에 실질적으로 합치되는(conform),
    진동형 측정기 형성 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 측정기 구성 요소는 제1 두께(T1)를 포함하고, 상기 감쇠 재료 코팅을 도포하는 단계는 상기 제1 두께(T1)보다 작은 제2 두께(T2)를 갖는 감쇠 재료 코팅을 도포하는 단계를 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 케이스를 포함하고, 상기 방법은 상기 케이스로 하나 또는 둘 이상의 도관들, 상기 구동기 및 상기 하나 또는 둘 이상의 픽오프들을 실질적으로 둘러싸는 단계를 더 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 11 항에 있어서,
    상기 케이스에 베이스를 결합하는 단계, 및 상기 케이스와 베이스 사이에 실질적으로 유체 밀폐 밀봉부를 위치시키는 단계를 더 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  13. 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 11 항에 있어서,
    기계적 체결구들을 수용하도록 구성되는 하나 또는 둘 이상의 멈춤쇠들을 상기 케이스 내에 형성하는 단계를 더 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 베이스를 포함하고, 상기 방법은 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들에 상기 베이스를 결합하는 단계를 더 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  15. 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 14 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 다른 하나의 측정기 구성 요소는 장착 블록을 포함하고, 상기 방법은 상기 베이스에 상기 장착 블록을 결합하는 단계를 더 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
  16. 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 9 항에 있어서,
    상기 하나 또는 둘 이상의 측정기 구성 요소들 중의 하나의 측정기 구성 요소는 상기 하나 또는 둘 이상의 도관들 중의 하나의 도관의 비진동 부분을 포함하는,
    진동형 측정기 형성 방법.
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