KR101687179B1 - Apparatus for Circulating Liquid chemical - Google Patents

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Abstract

약액 순환 장치는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 공급되는 상기 약액을 회수하도록 구비되는 약액 회수부; 및 상기 약액 회수부로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부로 전달하도록 구비되는 약액 전달부를 포함할 수 있다.The chemical liquid circulating apparatus includes: a chemical liquid supply unit configured to supply the chemical liquid to an ink jet head in which nozzles for discharging a chemical liquid are arranged on a substrate by an inkjet method; A chemical solution recovery unit configured to recover the chemical solution supplied from the chemical solution supply unit to the inkjet head; And a chemical solution delivery unit configured to deliver the chemical solution recovered to the chemical solution recovery unit to the chemical solution supply unit.

Description

약액 순환 장치{Apparatus for Circulating Liquid chemical}Apparatus for circulating liquid chemical

본 발명은 약액 순환 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 공급되는 약액을 순환시키기 위한 약액 순환 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical liquid circulating apparatus, and more particularly, to a chemical liquid circulating apparatus for circulating a chemical liquid supplied to an ink jet head in which nozzles for discharging a chemical liquid are disposed on a substrate by an inkjet method.

최근, 종이 등의 프린트 매체에 잉크를 사용하여 인쇄를 행할 경우, 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치를 사용하고 있다.In recent years, in the case of printing using a printing medium such as a paper, printing is performed by forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) for producing a liquid crystal display or the like, applying UV ink, A printing apparatus having an ink jet head is used for applying a color filter on a substrate to be manufactured.

상기 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치의 사용에서는 상기 약액이 고형화될 경우 상기 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들을 통하여 상기 약액을 원활하게 토출하지 못함으로 인하여 불량이 발생할 수 있다. 이에, 상기 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치에서는 상기 약액의 고형화를 방지하기 위한 별도 부재를 구비하여 상기 약액의 고형화를 방지하고 있다. 그러나 상기 약액의 고형화 방지를 위한 별도 부재의 경우 다소 복잡한 구조를 갖는 것이 현실이다.In the use of the printing apparatus having the ink jet head, when the chemical liquid is solidified, the chemical liquid can not be smoothly discharged through the nozzles provided in the ink jet head. Therefore, in the printing apparatus having the ink jet head, a separate member for preventing solidification of the chemical liquid is provided to prevent solidification of the chemical liquid. However, in the case of the separate member for preventing solidification of the chemical liquid, it is a reality that it has a somewhat complicated structure.

본 발명의 목적은 간단한 구조를 가짐에도 불구하고 약액의 고형화를 충분하게 방지할 수 있는 약액 순환 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a chemical liquid circulating apparatus capable of sufficiently preventing solidification of a chemical liquid even though it has a simple structure.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 순환 장치는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 공급되는 상기 약액을 회수하도록 구비되는 약액 회수부; 및 상기 약액 회수부로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부로 전달하도록 구비되는 약액 전달부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for circulating a chemical solution, comprising: a chemical solution supply unit configured to supply a chemical solution to an inkjet head in which nozzles for discharging a chemical solution onto a substrate are disposed; A chemical solution recovery unit configured to recover the chemical solution supplied from the chemical solution supply unit to the inkjet head; And a chemical solution delivery unit configured to deliver the chemical solution recovered to the chemical solution recovery unit to the chemical solution supply unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 순환 장치에서, 상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부는 동일 공간을 격벽으로 분리시킨 구조를 갖도록 구비되고, 상기 약액 전달부는 상기 격벽에 의해 분리되는 상기 약액 회수부 및 상기 약액 공급부 사이를 연결하는 전달 라인, 및 상기 전달 라인에 배치되는 전달 펌프를 포함할 수 있다.In the chemical liquid circulating apparatus according to an embodiment of the present invention, the chemical liquid supply unit and the chemical liquid recovery unit may have a structure in which the same space is divided into partitions, and the chemical liquid transfer unit may include the chemical liquid recovery unit, A transfer line connecting between the chemical liquid supply units, and a transfer pump disposed in the transfer line.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 순환 장치에서, 상기 약액 공급부에는 압력 제어에 의해 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 제1 압력 제어부가 구비되고, 상기 약액 회수부에는 압력 제어에 의해 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로 상기 약액을 회수하도록 제2 압력 제어부가 구비되고, 상기 약액 공급부에는 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제1 센서 및 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제2 센서가 구비되고, 상기 약액 회수부에는 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제3 센서 및 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제4 센서가 구비되고, 상기 약액 공급부와 상기 잉크젯 헤드를 연결하는 제1 연결 라인에는 제1 밸브가 배치되고, 상기 잉크젯 헤드와 상기 약액 회수부를 연결하는 제2 연결 라인에는 제2 밸브가 배치되어 상기 제1 및 제2 압력 제어부, 상기 제1 내지 제4 센서, 및 상기 제1 및 제2 밸브의 동작에 의해 상기 약액 공급부, 상기 잉크젯 헤드, 상기 약액 회수부, 및 상기 약액 전달부를 통하여 상기 약액이 순환될 수 있다.In the chemical liquid circulation apparatus according to an embodiment of the present invention, the chemical liquid supply unit is provided with a first pressure control unit for supplying the chemical liquid from the chemical liquid supply unit to the ink jet head by pressure control, A second pressure control unit for recovering the chemical liquid from the inkjet head to the chemical liquid recovery unit, wherein the chemical liquid supply unit includes a first sensor for sensing an upper limit for storing the chemical liquid and a second sensor for sensing a lower limit for storing the chemical liquid, A third sensor for sensing the upper limit of the stored amount of the chemical solution and a fourth sensor for sensing the lower limit of the stored amount of the chemical solution are provided in the chemical solution recovery unit, 1 connection line is provided with a first valve, and the inkjet head is connected to the liquid recovery portion A second valve is disposed in the second connection line, and the operation of the first and second pressure control sections, the first to fourth sensors, and the first and second valves causes the chemical liquid supply section, the inkjet head, And the chemical solution may be circulated through the recovery part and the chemical solution delivery part.

본 발명의 약액 순환 장치에 따르면 약액 공급부와 약액 회수부 사이에 약액 전달부를 구비시킴으로써 잉크젯 헤드로 공급되는 약액을 용이하게 순환시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 약액 순환 장치는 언급한 바와 같이 약액 공급부와 약액 회수부 사이에 약액 전달부가 구비되는 간단한 구조를 갖도록 형성할 수 있다.According to the chemical liquid circulating apparatus of the present invention, since the chemical liquid transfer section is provided between the chemical liquid supply section and the chemical liquid recovery section, the chemical liquid supplied to the ink jet head can be easily circulated. In particular, as described above, the chemical liquid circulating apparatus of the present invention can be formed to have a simple structure in which the chemical liquid transfer unit is provided between the chemical liquid supply unit and the chemical liquid recovery unit.

따라서 본 발명의 약액 순환 장치는 간단한 구조를 가짐에도 불구하고 약액을 원활하게 순환시킴으로써 약액의 고형화를 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 약액 토출에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 단순한 구조를 통한 유지 보수 측면에서도 이득을 기대할 수 있다.Therefore, although the chemical liquid circulation apparatus of the present invention has a simple structure, it is possible to sufficiently prevent the solidification of the chemical liquid by circulating the chemical liquid smoothly, and as a result, not only the process reliability due to chemical liquid discharge can be improved, It can be expected to benefit from maintenance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 순환 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 동일 공간에 구비되는 약액 공급부 및 약액 순환부를 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic diagram showing a chemical liquid circulating apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining a chemical liquid supply unit and a chemical liquid circulating unit provided in the same space.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 순환 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 동일 공간에 구비되는 약액 공급부 및 약액 순환부를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a schematic view showing a chemical liquid circulating apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view for explaining a chemical liquid supply unit and a chemical liquid circulating unit provided in the same space.

먼저 도 1을 참조하면, 본 발명의 약액 순환 장치는 잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드(10)로 공급되는 약액을 순환시키는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드(10)로 공급되는 약액이 고형화되는 것을 방지하기 위하여 인쇄 장치에 구비될 수 있다. 이에, 본 발명의 약액 순환 장치는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하는 인쇄 장치, 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는 인쇄 장치 등에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 1, the chemical liquid circulating apparatus of the present invention circulates a chemical liquid supplied to an ink jet head 10 in which nozzles for ejecting a chemical liquid are disposed on a substrate by an inkjet method, It may be provided in the printing apparatus to prevent the chemical liquid from solidifying. Thus, the chemical liquid circulating apparatus of the present invention is a liquid chemical circulating apparatus for printing on a substrate for manufacturing an alignment film or a UV ink, a printing apparatus for applying a color filter on a substrate for manufacturing an organic EL display apparatus or the like, Device or the like.

그리고 상기 노즐은 상기 잉크젯 헤드(10)의 단부 표면에 복수 개가 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(10)에 구비되는 노즐은 언급한 바와 같이 하나의 잉크젯 헤드(10)에 복수 개가 구비될 수 있는 것으로써, 주로 하나의 잉크젯 헤드(10)에 128개 또는 256개가 구비될 수 있다. 즉, 상기 잉크젯 헤드(10)에는 복수 개의 노즐들이 상기 잉크젯 헤드(10)의 길이 방향을 따라 라인 구조를 갖도록 형성될 수 있다.The plurality of nozzles may be disposed on the end surface of the ink jet head 10. As mentioned above, the nozzles included in the inkjet head 10 can be provided in a single inkjet head 10, and 128 or 256 inkjet heads 10 can be provided in one inkjet head 10 . That is, a plurality of nozzles may be formed in the inkjet head 10 so as to have a line structure along the longitudinal direction of the inkjet head 10.

또한, 상기 노즐들에는 상기 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐들을 통하여 상기 기판 상으로 약액을 토출시킬 수 있다. 상기 노즐들이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐들이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 상기 노즐들로부터 토출되는약액의 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.In addition, the nozzles may be provided with piezoelectric elements corresponding to the number of the nozzles, and the chemical liquid may be discharged onto the substrate through the nozzles by the operation of the piezoelectric element. When 128 nozzles are provided, 128 piezoelectric elements are provided, and when 256 nozzles are provided, 256 piezoelectric elements are also provided. The discharge amount of the chemical liquid discharged from the nozzles can be independently controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

본 발명의 약액 순환 장치는 약액 공급부(11), 약액 회수부(13), 약액 전달부(15) 등을 포함할 수 있다.The chemical liquid circulating apparatus of the present invention may include a chemical liquid supply unit 11, a chemical liquid recovery unit 13, a chemical liquid transfer unit 15, and the like.

상기 약액 공급부(11)는 상기 잉크젯 헤드(10)로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 잉크젯 헤드(10)의 노즐을 통하여 기판 상으로 상기 약액을 토출함에 인쇄 공정을 달성할 수 있다. 여기서, 상기 약액 공급부(11)는 상기 잉크젯 헤드(10)로 공급되는 약액을 저장하는 레저버(reservoir)로 이해할 수 있다.The chemical liquid supply unit 11 may be provided to supply the chemical liquid to the ink jet head 10. Thus, the printing process can be accomplished by discharging the chemical liquid onto the substrate through the nozzles of the inkjet head 10. Here, the chemical liquid supply unit 11 can be understood as a reservoir for storing the chemical liquid supplied to the ink jet head 10.

상기 약액 공급부(11)에는 상기 약액 공급부(11)에 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제1 센서(21) 및 상기 약액 공급부(11)에 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제2 센서(23)가 구비될 수 있다. 이에, 상기 제1 센서(21)를 이용하여 상기 약액이 상기 약액 공급부(11)로 공급되는 것을 중단시킬 수 있고, 상기 제2 센서(23)를 이용하여 상기 약액이 상기 약액 공급부(11)로 공급되는 것을 시작하게 할 수 있다.The chemical solution supply unit 11 is provided with a first sensor 21 for sensing an upper limit of the stored chemical solution in the chemical solution supply unit 11 and a second sensor for sensing a lower limit for storing the chemical solution in the chemical solution supply unit 11. [ 23 may be provided. The supply of the chemical solution to the chemical solution supply unit 11 can be stopped by using the first sensor 21 and the chemical solution can be supplied to the chemical solution supply unit 11 using the second sensor 23. [ Can be started to be supplied.

또한, 상기 약액 공급부(11)에는 제1 압력 제어부(41)가 구비될 수 있다. 이에, 상기 제1 압력 제어부(41)의 압력 제어(주로, 음압 제어)에 의해 상기 약액 공급부(11)로부터 상기 잉크젯 헤드(10)로 상기 약액을 공급하도록 제어할 수 있다.In addition, the chemical liquid supply unit 11 may include a first pressure control unit 41. Therefore, it is possible to control the supply of the chemical liquid from the chemical liquid supply unit 11 to the inkjet head 10 by the pressure control of the first pressure control unit 41 (mainly, sound pressure control).

그리고 상기 약액 공급부(11)와 상기 잉크젯 헤드(10)는 제1 연결 라인(25)을 이용하여 연결하거나 또는 직접적으로 연결할 수 있다. 다만, 상기 약액 공급부(11)와 상기 잉크젯 헤드(10)가 상기 제1 연결 라인(25)으로 연결되거나 또는 직접적으로 연결될 경우에도 상기 약액 공급부(11)와 상기 잉크젯 헤드(10) 사이에서의 상기 약액의 공급을 차단할 수 있는 제1 밸브(27)가 구비될 수 있다.The chemical solution supply unit 11 and the inkjet head 10 may be connected to each other using a first connection line 25 or may be directly connected to each other. However, even when the chemical solution supply unit 11 and the ink jet head 10 are connected to each other or directly connected to the first connection line 25, A first valve 27 for blocking the supply of the chemical liquid may be provided.

상기 약액 회수부(13)는 상기 잉크젯 헤드(10)로부터 상기 약액을 회수하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 약액의 일부를 상기 잉크젯 헤드(10)의 노즐로 공급시킴과 아울러 상기 약액의 나머지를 회수시킴으로써 상기 약액이 상기 잉크젯 헤드(10)에 머물러 있음에 의해 고형화되는 것을 방지할 수 있다.The chemical liquid recovery unit 13 may be provided to recover the chemical liquid from the ink jet head 10. By supplying a part of the chemical liquid to the nozzles of the inkjet head 10 and recovering the rest of the chemical liquid, it is possible to prevent the chemical liquid from solidifying due to being stuck in the inkjet head 10.

상기 약액 회수부(13)에는 상기 약액 회수부(13)에 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제3 센서(31) 및 상기 약액 회수부(13)에 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제4 센서(33)가 구비될 수 있다. 이에, 상기 제3 센서(31)를 이용하여 상기 약액이 상기 약액 회수부로 계속해서 회수되는 것을 중단시킬 수 있고, 상기 제4 센서(33)를 이용하여 상기 약액이 상기 약액 회수부(13)로 회수되는 것을 시작하게 할 수 있다. 아울러, 상기 제3 센서(31) 및 상기 제4 센서(33)를 이용하여 상기 약액 공급부로 상기 약액이 전달되는 것을 제어할 수도 있다.The liquid recovery unit 13 includes a third sensor 31 for sensing the upper limit of the liquid stored in the liquid recovery unit 13 and a third sensor 31 for detecting the lower limit of the liquid stored in the liquid recovery unit 13. [ 4 sensor 33 may be provided. Therefore, it is possible to stop the recovery of the chemical solution continuously to the chemical solution recovery unit by using the third sensor 31, and to stop the chemical solution to the chemical solution recovery unit 13 It can start to be recovered. The third sensor 31 and the fourth sensor 33 may be used to control the delivery of the chemical liquid to the chemical liquid supply unit.

또한, 상기 약액 회수부(13)에는 제2 압력 제어부(43)가 구비될 수 있다. 이에, 상기 제2 압력 제어부(43)의 압력 제어(주로, 음압 제어)에 의해 상기 잉크젯 헤드(10)로부터 상기 약액 회수부(13)로 상기 약액을 회수하도록 제어할 수 있다.In addition, the chemical solution recovery unit 13 may be provided with a second pressure control unit 43. Therefore, it is possible to control the recovery of the chemical liquid from the inkjet head 10 to the chemical liquid recovery unit 13 by the pressure control of the second pressure control unit 43 (mainly, the sound pressure control).

그리고 상기 잉크젯 헤드(10)와 상기 약액 회수부(13)는 제2 연결 라인(35)을 이용하여 연결하거나 또는 직접적으로 연결할 수 있다. 다만, 상기 잉크젯 헤드(10)와 상기 약액 회수부(13)가 상기 제2 연결 라인(35)으로 연결되거나 또는 직접적으로 연결될 경우에도 상기 잉크젯 헤드(10)와 상기 약액 회수부(13) 사이에서의 상기 약액의 회수를 차단할 수 있는 제2 밸브(37)가 구비될 수 있다.The ink jet head 10 and the chemical liquid recovery unit 13 may be connected or directly connected to each other using a second connection line 35. However, even when the ink jet head 10 and the chemical liquid recovery unit 13 are connected to each other or directly connected to the second connection line 35, the ink jet head 10 and the chemical liquid recovery unit 13 And a second valve (37) capable of blocking the recovery of the chemical liquid.

본 발명에서는 상기 제1 압력 제어부(41) 및 상기 제2 압력 제어부(43)를 사용한 압력 차이, 상기 제1 밸브(27) 및 제2 밸브(37)의 개폐 여부, 상기 제1 센서(21), 제2 센서(23), 제3 센서(31), 제4 센서(33)의 감지 동작, 그리고 상기 약액 전달부(15)의 가동 여부 등에 의해 상기 약액의 순환을 달성할 수 있다. In the present invention, the pressure difference using the first pressure control part 41 and the second pressure control part 43, whether the first valve 27 and the second valve 37 are open or closed, The detection of the second sensor 23, the third sensor 31, and the fourth sensor 33, and whether the chemical liquid transducer 15 is in operation or not, the circulation of the chemical liquid can be achieved.

그리고 상기 약액 전달부(15)는 상기 약액 회수부(13)로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부(11)로 전달하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 약액 전달부(15)는 상기 잉크젯 헤드(10)를 통하여 상기 약액 회수부(13)로 회수됨에 따라 상기 약액 회수부(13)에 저장되는 상기 약액을 상기 약액 공급부(11)로 전달할 수 있도록 구비되는 것이다.The chemical liquid transfer unit 15 may be provided to transfer the chemical liquid recovered to the chemical liquid recovery unit 13 to the chemical liquid supply unit 11. That is, the chemical solution transferring unit 15 transfers the chemical solution stored in the chemical solution collecting unit 13 to the chemical solution supplying unit 11 as it is collected in the chemical solution collecting unit 13 through the inkjet head 10 .

여기서, 상기 약액 전달부(15)는 상기 약액 회수부(13) 및 상기 약액 공급부(11) 사이를 연결하는 전달 라인(19) 및 상기 전달 라인(19)에 배치되는 전달 펌프(17)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 약액 전달부(15)는 상기 약액 회수부(13)로부터 상기 약액 공급부(11)로만 상기 약액이 전달되도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 약액 전달부(15)는 상기 약액 회수부(13)로부터 상기 약액 공급부(11)로 일방향으로만 상기 약액이 전달되도록 구비될 수 있는 것이다.The chemical liquid transfer unit 15 includes a transfer line 19 connecting the chemical liquid recovery unit 13 and the chemical liquid supply unit 11 and a transfer pump 17 disposed in the transfer line 19 can do. The chemical liquid transfer unit 15 may be provided to transfer the chemical liquid only from the chemical liquid recovery unit 13 to the chemical liquid supply unit 11. That is, the chemical solution transfer unit 15 may be provided to transfer the chemical solution from the chemical solution recovery unit 13 to the chemical solution supply unit 11 only in one direction.

즉, 본 발명에서의 약액 순환 장치는 상기 제1 및 제2 압력 제어부(41, 43), 상기 제1 내지 제4 센서(21, 23, 31, 33), 및 상기 제1 및 제2 밸브(27, 37)의 동작과 더불어 상기 약액 전달부(15)를 함께 가동시킴에 의해 상기 약액 공급부(11), 상기 잉크젯 헤드(10), 상기 약액 회수부(13), 및 상기 약액 전달부(15)의 순서로 상기 약액을 순환시킬 수 있다.That is, the chemical liquid circulating apparatus according to the present invention includes the first and second pressure control sections 41 and 43, the first to fourth sensors 21, 23, 31 and 33, and the first and second valves The inkjet head 10, the chemical liquid recovery unit 13, and the chemical liquid delivering unit 15 (15) by operating the chemical liquid transfer unit 15 together with the operations of the chemical liquid supply unit 11, ) Of the drug solution.

그리고 도 2를 참조하면, 본 발명의 약액 순환 장치에서 상기 약액 공급부(11) 및 상기 약액 회수부(13)는 동일 공간을 격벽(61)으로 분리시킨 구조를 갖도록 구비할 수 있다. 즉, 동일 공간인 동일 레저버를 격벽(61)으로 분리시켜 하나는 상기 약액 공급부(11)로 이용하고, 나머지는 상기 약액 회수부(13)로 이용하도록 구비하는 것이다.Referring to FIG. 2, in the chemical liquid circulation apparatus of the present invention, the chemical liquid supply unit 11 and the chemical liquid recovery unit 13 may be structured such that the same space is partitioned into the partition 61. That is, the same reservoir, which is the same space, is separated into the partition walls 61, one is used for the chemical liquid supply unit 11, and the rest is used for the chemical liquid recovery unit 13.

이와 같이, 본 발명의 약액 순환 장치는 동일 공간을 격벽(61)으로 분리시켜 상기 약액 공급부(11) 및 상기 약액 회수부(13)로 사용할 수 있기 때문에 보다 간단한 구조를 갖도록 구비할 수 있는 것이다.As described above, since the chemical liquid circulating apparatus of the present invention can be used as the chemical liquid supply unit 11 and the chemical liquid recovery unit 13 by separating the same space into the partition walls 61, it can be provided with a simpler structure.

다시 도 1을 참조하면, 상기 약액 공급부(11)로부터 상기 잉크젯 헤드(10)로 공급되는 상기 약액의 일부는 상기 잉크젯 헤드(10)를 통하여 상기 기판 상으로 토출되고, 상기 약액의 나머지는 상기 잉크젯 헤드(10)로부터 상기 약액 회수부(13)로 회수될 수 있다.1, a portion of the chemical liquid supplied from the chemical liquid supply unit 11 to the inkjet head 10 is discharged onto the substrate through the inkjet head 10, And can be recovered from the head 10 to the chemical liquid recovery unit 13.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드(10)를 사용하여 상기 약액의 일부가 상기 기판 상에 토출됨에 따라 상기 약액의 소모가 발생한다. 이에, 외부로부터 상기 약액을 상기 약액 공급부(11)로 보충할 수 있는 약액 보충부(51)가 구비될 수 있다. 이때, 상기 약액 보충부(51)와 상기 약액 공급부(11)는 제3 연결 라인(53)에 의해 연결될 수 있고, 상기 제3 연결 라인(53)에는 상기 약액의 보충을 차단할 수 있는 제3 밸브(55)가 구비될 수 있다.As described above, in the present invention, as the part of the chemical liquid is ejected onto the substrate using the inkjet head 10, the chemical liquid is consumed. Therefore, a chemical solution replenishing portion 51 capable of replenishing the chemical solution from the outside with the chemical solution supplying portion 11 may be provided. The chemical liquid replenishment part 51 and the chemical liquid supply part 11 may be connected by a third connection line 53 and the third connection line 53 may be connected to a third valve (Not shown).

언급한 바와 같이, 본 발명의 약액 순환 장치는 상기 약액 공급부(11) 및 상기 약액 회수부(13) 사이에 상기 약액 전달부(15)가 구비되는 구조를 가질 수 있다. 여기서, 상기 약액 전달부(15)는 상기 약액 공급부(11) 및 상기 약액 회수부(13) 사이를 연결하는 전달 라인(19)에 전달 펌프(17)가 구비되는 구조를 가질 수 있다. 따라서 본 발명의 약액 순환 장치는 간단한 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.As described above, the chemical liquid circulating apparatus of the present invention may have a structure in which the chemical liquid transfer unit 15 is provided between the chemical liquid supply unit 11 and the chemical liquid recovery unit 13. The chemical liquid transfer unit 15 may have a structure in which a transfer pump 17 is provided in a transfer line 19 connecting between the chemical liquid supply unit 11 and the chemical liquid recovery unit 13. Therefore, the chemical liquid circulation apparatus of the present invention can be provided to have a simple structure.

그리고 본 발명의 약액 순환 장치가 구비되는 인쇄 장치의 경우 상기 잉크젯 헤드(10)가 하나가 구비되는 것에 대하여 설명하고 있지만 상기 잉크젯 헤드(10)의 개수에 제한되지는 않는다. 즉, 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드(10)를 두 대 이상의 다수대로 구비시킬 수도 있다. 언급한 바와 같이 상기 잉크젯 헤드(10)가 두 대 이상으로 구비될 경우에는 상기 약액 공급부(11)와 상기 잉크젯 헤드(10) 사이를 연결하는 제1 연결 라인(25), 및 상기 잉크젯 헤드(10)와 상기 약액 회수부(13) 사이를 연결하는 제2 연결 라인(35)을 두 대 이상의 상기 잉크젯 헤드(10) 각각으로 연장되도록 연결시킬 뿐 상기 약액 공급부(11), 상기 약액 회수부(13) 및 상기 약액 전달부(15)는 도 1에서와 같이 그대로 사용하면 된다. 언급한 바와 같이, 상기 잉크젯 헤드(10)의 개수가 확장되어도 본 발명의 약액 순환 장치는 단순한 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.In the case of the printing apparatus having the chemical liquid circulating apparatus of the present invention, one ink jet head 10 is provided, but the number of the ink jet heads 10 is not limited. That is, in the present invention, a plurality of the ink jet heads 10 may be provided. A first connection line 25 connecting the chemical solution supply unit 11 and the inkjet head 10 when the inkjet head 10 is provided with two or more inkjet heads 10, And the second connection line 35 connecting between the chemical solution recovery unit 13 and the chemical solution recovery unit 13 are extended to each of the two or more inkjet heads 10, ) And the chemical liquid transfer portion 15 may be used as they are as shown in Fig. As described above, even when the number of the ink jet heads 10 is increased, the chemical liquid circulation apparatus of the present invention can be provided with a simple structure.

이에, 본 발명의 약액 순환 장치는 간단한 구조를 가짐에도 불구하고 약액을 원활하게 순환시킴으로써 약액의 고형화를 충분하게 방지할 수 있다.Thus, although the chemical liquid circulating apparatus of the present invention has a simple structure, solidification of the chemical liquid can be sufficiently prevented by smoothly circulating the chemical liquid.

따라서 본 발명의 약액 순환 장치를 사용할 경우 약액 토출에 따른 공정 신뢰도의 향상을 통하여 제품 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있고, 단순한 구조를 통한 유지 보수 측면에서의 이득을 통하여 생산성의 향상까지도 기대할 수 있다.Therefore, when the chemical liquid circulation apparatus of the present invention is used, improvement of product reliability can be expected by improving process reliability due to chemical liquid discharge, and improvement in productivity can be expected through gain in maintenance from a simple structure.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

10 : 잉크젯 헤드 11 : 약액 공급부
13 : 약액 회수부 15 : 약액 전달부
17 : 전달 펌프 19 : 전달 라인
21 : 제1 센서 23 : 제2 센서
25 : 제1 연결 라인 27 : 제1 밸브
31 : 제3 센서 33 : 제4 센서
35 : 제2 연결 라인 37 : 제2 밸브
41 : 제1 압력 제어부 43 : 제2 압력 제어부
51 : 약액 보충부 53 : 제3 연결 라인
55 : 제3 밸브 61 : 격벽10: inkjet head 11: chemical liquid supply unit
13: chemical liquid recovery unit 15: chemical liquid delivery unit
17: transfer pump 19: transfer line
21: first sensor 23: second sensor
25: first connection line 27: first valve
31: third sensor 33: fourth sensor
35: second connection line 37: second valve
41: first pressure control part 43: second pressure control part
51: chemical liquid replenishing unit 53: third connecting line
55: third valve 61: partition wall

Claims (3)

잉크젯 방식으로 기판에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부;
상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 공급되는 상기 약액을 회수하도록 구비되는 약액 회수부; 및
상기 약액 회수부로 회수되는 상기 약액을 상기 약액 공급부로 전달하도록 구비되는 약액 전달부를 포함하고,
상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부는 동일 공간을 격벽으로 분리시킨 구조를 갖도록 구비되고, 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 약액 및 상기 약액 공급부로 공급하기 위한 약액 각각을 상기 격벽에 의해 분리된 상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 각각에 저장하고,
상기 약액 공급부에는 압력 제어에 의해 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하도록 제1 압력 제어부가 구비되고, 상기 약액 회수부에는 압력 제어에 의해 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로 상기 약액을 회수하도록 제2 압력 제어부가 구비되고,
상기 약액 공급부에는 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제1 센서 및 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제2 센서가 구비되고, 상기 약액 회수부에는 상기 약액이 저장되는 상한선을 감지하는 제3 센서 및 상기 약액이 저장되는 하한선을 감지하는 제4 센서가 구비되고,
상기 약액 공급부와 상기 잉크젯 헤드를 연결하는 제1 연결 라인에는 제1 밸브가 배치되고, 상기 잉크젯 헤드와 상기 약액 회수부를 연결하는 제2 연결 라인에는 제2 밸브가 배치되어
상기 제1 및 제2 압력 제어부, 상기 제1 내지 제4 센서, 및 상기 제1 및 제2 밸브의 동작에 의해 상기 약액 공급부, 상기 잉크젯 헤드, 상기 약액 회수부, 및 상기 약액 전달부를 통하여 상기 약액이 순환되는 것을 특징으로 하는 약액 순환 장치.A chemical liquid supply unit configured to supply the chemical liquid to an inkjet head in which nozzles for discharging a chemical liquid are arranged on a substrate by an inkjet method;
A chemical solution recovery unit configured to recover the chemical solution supplied from the chemical solution supply unit to the inkjet head; And
And a chemical solution delivery unit configured to deliver the chemical solution recovered to the chemical solution recovery unit to the chemical solution supply unit,
Wherein the chemical solution supply unit and the chemical solution recovery unit are provided so as to have a structure in which the same space is divided into partitions, and each of the chemical solution for supplying the chemical solution and the chemical solution to be supplied to the chemical solution supply unit, Respectively, into the chemical liquid recovery unit,
The chemical solution supply unit is provided with a first pressure control unit for supplying the chemical solution from the chemical solution supply unit to the inkjet head by pressure control, and the chemical solution recovery unit is configured to recover the chemical solution from the inkjet head to the chemical solution recovery unit by pressure control A second pressure control unit is provided,
A first sensor for sensing an upper limit of the stored chemical liquid and a second sensor for sensing a lower limit for storing the chemical liquid, and a third sensor for sensing an upper limit of the stored chemical liquid, And a fourth sensor for sensing a lower limit of storage of the chemical liquid,
A first valve is disposed in a first connection line connecting the chemical solution supply unit and the inkjet head and a second valve is disposed in a second connection line connecting the inkjet head and the chemical solution recovery unit,
Wherein the first and second pressure control sections, the first to fourth sensors, and the first and second valves are operated to cause the chemical liquid supply section, the inkjet head, the chemical liquid recovery section, Is circulated . 제1 항에 있어서, 상기 약액 전달부는 상기 격벽에 의해 분리되는 상기 약액 회수부에 저장된 약액을 상기 약액 공급부로 일방향으로만 전달하도록 구비되는 전달 라인 및 상기 전달 라인에 배치되는 전달 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 순환 장치.[2] The apparatus according to claim 1, wherein the chemical solution delivery portion includes a delivery line provided to transmit the chemical solution stored in the chemical solution collection portion separated by the partition to the chemical solution supply portion in only one direction, and a transfer pump disposed in the delivery line Wherein the chemical liquid circulation device comprises: 삭제delete
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