KR20180051861A - Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a chemical liquid supply device. A negative pressure providing part comprises: a negative pressure generation part generating negative pressure applied to a reservoir; a first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure generation part; a second connection line having a second diameter greater than the first diameter and connecting the first connection line and the reservoir; and a blocking part disposed in the second connection line and having the size larger than the first diameter and smaller than the second diameter so as to block the end of the first connection line connected to the second connection line while moving along the second connection line.

Description

약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply apparatus including the chemical liquid supply apparatus.

본 발명은 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 레저버로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 구비하는 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the same, and more particularly to a chemical liquid supply apparatus for supplying a chemical liquid to a reservoir And a chemical liquid ejecting apparatus including the same.

액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치, 즉 약액 토출 장치를 사용하고 있다.In the case of forming an alignment film on a substrate (transparent substrate) for manufacturing a liquid crystal display device or the like, applying UV ink, or applying a color filter on a substrate for manufacturing an organic EL display device or the like, A chemical liquid ejecting apparatus is used.

상기 약액 토출 장치는 기판을 향하여 약액을 토출하는 잉크젯 헤드, 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 약액을 저장하는 레저버, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부 등을 포함할 수 있다.The chemical liquid discharging device includes an ink jet head for discharging a chemical liquid toward a substrate, a reservoir for storing a chemical liquid to be supplied to the ink jet head, a positive pressure supplying unit for supplying positive pressure to the reservoir so as to supply the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head A negative pressure supply for supplying a negative pressure to the reservoir so as to maintain the meniscus while stopping supply of the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head, and the like.

상기 약액 토출 장치의 사용시 상기 레저버로 약액이 과다하게 공급될 경우 상기 음압 제공부 등으로 약액이 역류하는 상황이 발생할 수 있다. 또한, 상기 레저버로 음압을 제공할 때에도 상기 음압 제공부로 약액이 역류하는 상황이 발생할 수 있다.When the chemical liquid discharging device is used, when the chemical liquid is excessively supplied to the reservoir, there may occur a situation where the chemical liquid flows backward by the sound pressure providing device or the like. Also, when the reservoir is provided with a negative pressure, a situation may occur in which the chemical liquid flows back to the negative pressure providing unit.

본 발명은 일 목적은 레저버로부터 음압 제공부로 약액이 역류하는 것을 방지하기 위한 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide a chemical liquid supply apparatus for preventing a chemical liquid from flowing back from a reservoir to a sound pressure providing unit.

본 발명은 다른 목적은 언급한 약액 공급 장치를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a chemical liquid discharging apparatus including the above-mentioned chemical liquid supplying apparatus.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스(meniscus)를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 포함하는 약액 공급 장치에 있어서, 상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부; 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인; 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인; 및 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus for supplying a chemical liquid to an ink jet head from a reservoir, And a sound pressure providing unit for providing a sound pressure, wherein the sound pressure providing unit comprises: a sound pressure forming unit for forming a sound pressure provided by the reservoir; A first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure forming portion; A second connection line having a second diameter greater than the first diameter and connecting the first connection line and the reservoir; And a second connection line having a size larger than the first diameter and smaller than the second diameter so as to block the end of the first connection line connected to the second connection line while moving along the second connection line, And a blocking portion disposed inside the housing.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어질 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the first connection line and the second connection line may be vertically connected, and the blocking portion may be made of a material having a lower density than the chemical liquid.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 차단부는 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, when the magnitude of the negative pressure deviates from the set range, the cut-off portion is connected to the end of the first connection line or the reservoir by the negative pressure, 2 connection line.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the end of the second connection line connected to the reservoir may have a diameter smaller than that of the cut-off portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비될 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, an end portion of the second connection line connected to the reservoir may further include a slip preventing portion for preventing the sloping portion from falling into the reservoir.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함할 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the chemical liquid supply device includes a sensor for sensing that the chemical liquid flows back to the first connection line, and a valve for closing the first connection line by receiving a sensing signal from the sensor And a prevention part.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부를 더 포함할 수 있다.In the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, the chemical liquid supply apparatus may further include a positive pressure providing section for providing positive pressure to the reservoir so as to supply the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head.

언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버; 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부; 및 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부;를 포함하고, 상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부로 이루어질 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid ejection apparatus including: an ink jet head for ejecting a chemical liquid toward a substrate; A reservoir for storing the chemical liquid to be supplied to the inkjet head; A positive pressure supply for supplying a positive pressure to the reservoir so as to supply the chemical liquid from the reservoir to the inkjet head; And a sound pressure providing unit for supplying a sound pressure to the reservoir so as to maintain the meniscus while stopping supply of the chemical liquid from the reservoir to the ink jet head, A first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure forming portion; a second connection line having a second diameter larger than the first diameter, A second connection line connecting the first connection line and the second connection line, and a second connection line connecting the first connection line and the second connection line, the second connection line connecting the first connection line and the second connection line, And a blocking portion disposed inside the second connection line with a predetermined size.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지면서 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the first connection line and the second connection line are vertically connected, and the blocking portion is made of a material having a lower density than the chemical liquid, And to move toward the end of the first connection line or the end of the second connection line which is connected to the reservoir by a sound pressure outside the setting range.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비될 수 있다.In the chemical liquid ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, the end of the second connection line connected to the reservoir may have a diameter smaller than that of the cut-off portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비될 수 있다.In the liquid medicament dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention, an end portion of the second connection line connected to the reservoir may further include a slip-off preventing portion for preventing the sloping portion from falling into the reservoir.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치에서, 상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함할 수 있다.In the liquid medicament dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention, there is provided a liquid medicine dispensing apparatus comprising: a sensor for sensing the backflow of the chemical liquid to the first connection line; and a backflow comprising a valve for closing the first connection line by receiving a sensing signal from the sensor And a prevention part.

본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치에 따르면 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인 내부에 차단부를 배치함으로써 음압 제공부로 약액이 역류할 경우 차단부가 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있다. 이에, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있다.According to the liquid medicament supplying device and the medicament liquid discharging device of the present invention, by arranging the blocking part inside the second connection line connecting the first connection line connected to the sound pressure forming part and the reservoir, when the chemical solution flows back to the sound pressure providing part, 1 The end of the connecting line can be blocked. Thus, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device of the present invention can prevent the chemical liquid from flowing back to the negative pressure providing portion.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류함에 따라 발생하는 불량 요인을 없앨 수 있기 때문에 안정적인 공정 수행이 가능할 것이다.Therefore, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device of the present invention can eliminate the cause of failure caused by the reverse flow of the chemical liquid to the negative pressure providing portion, so that stable process can be performed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다.
도 3은 도 1에서의 제2 연결 라인의 단부를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view schematically showing a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged view of a portion A in Fig.
Fig. 3 is a view for explaining the end of the second connection line in Fig. 1. Fig.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 설명하기로 한다.Hereinafter, a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 이를 포함하는 약액 토출 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다.FIG. 1 is a schematic view of a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid discharge apparatus including the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(10)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포하는데 사용할 수 있다.1 and 2, the chemical liquid ejection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention may be used for forming an alignment film, applying UV ink on a substrate to be manufactured by a liquid crystal display or the like, , ≪ / RTI > and the like.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치(10)는 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드(11), 상기 잉크젯 헤드(11)로 공급하기 위한 약액을 저장하는 레저버(13), 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버(13)에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부(40), 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버(13)에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부(20) 등을 포함할 수 있다.The chemical liquid ejection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes an inkjet head 11 for ejecting a chemical liquid toward a substrate, a reservoir 13 for storing a chemical liquid to be supplied to the inkjet head 11, A positive pressure providing portion 40 for supplying positive pressure to the reservoir 13 so as to supply a chemical solution from the reservoir 13 to the ink jet head 11; And a sound pressure providing unit 20 for providing a negative pressure to the reservoir 13 so as to maintain the meniscus while stopping the supply of the chemical liquid to the reservoir 13.

그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 상기 음압 제공부(20)를 구비할 수 있고, 아울러 상기 양압 제공부(40)를 더 구비할 수 있다. 즉, 상기 약액 공급 장치는 상기 음압 제공부(20) 및 상기 양압 제공부(40)로 이루어질 수 있다.Further, the chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention may include the negative pressure providing unit 20, and may further include the positive pressure providing unit 40. That is, the chemical liquid supply device may include the sound pressure providing unit 20 and the positive pressure supply unit 40.

또한 도시하지는 않았지만, 상기 약액 토출 장치(10)는 상기 레저버(13)로 약액을 공급하기 위한 캐니스터(canister)를 더 포함할 수 있다. 상기 캐니스터는 상기 약액을 저장하는 저장 탱크 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 캐니스터가 언급한 바와 같이 저장 탱크 등과 같은 구조로 구비되기 때문에 별도 장소에 배치되도록 구비될 수 있다.Also, although not shown, the chemical liquid dispensing apparatus 10 may further include a canister for supplying the chemical liquid to the reservoir 13. The canister may have a structure such as a storage tank for storing the chemical liquid. As the canister is constructed as a storage tank or the like as mentioned above, it can be disposed in a separate place.

상기 잉크젯 헤드(11)에는 기판을 향하여 약액을 토출할 수 있는 노즐이 구비될 수 있다. 특히, 상기 노즐은 상기 잉크젯 헤드(11)의 저면(노즐면)에 구비될 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드(11)에는 노즐이 복수개가 구비될 수 있는데, 본 발명에서는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 이때, 상기 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(11)에서의 상기 노즐에는 상기 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 약액을 토출시킬 수 있다. 상기 노즐이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.The ink jet head 11 may be provided with a nozzle capable of ejecting the chemical liquid toward the substrate. In particular, the nozzle may be provided on the bottom surface (nozzle surface) of the ink jet head 11. The inkjet head 11 may include a plurality of nozzles. In the present invention, 128 or 256 nozzles may be provided. At this time, the nozzles may be arranged in a row at intervals of a predetermined pitch, and may be provided so as to discharge the chemical liquid in an amount of ㎍ unit. The number of piezoelectric elements (not shown) corresponding to the nozzles may be provided in the nozzles of the inkjet head 11, and the chemical liquid can be discharged through the nozzles by the operation of the piezoelectric elements . When 128 nozzles are provided, 128 piezoelectric elements are provided, and when 256 nozzles are provided, 256 piezoelectric elements are also provided. And the amount of the weak liquid discharged from the nozzles can be independently controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

그리고 상기 레저버(13)는 상기 잉크젯 헤드(11)로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드(11)와 연결되도록 구비될 수 있다.The reservoir 13 may be connected to the ink jet head 11 by storing the chemical liquid to be supplied to the ink jet head 11.

상기 양압 제공부(40)는 상기 레저버(13)에 양압을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 양압 제공부(40)는 상기 레저버(13)로 제공되는 양압을 형성하는 양압 형성부(41)를 포함한다. 또한 상기 양압 제공부(40)는 상기 양압 형성부(41)와 상기 레저버(13) 사이를 연결하는 제3 연결 라인(43)을 포함한다. 상기 양압 제공부(40)를 사용하여 상기 레저버(13)에 양압을 제공함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급이 진행될 수 있다The positive pressure providing part 40 may be provided to provide a positive pressure to the reservoir 13. [ The positive pressure providing portion 40 includes a positive pressure forming portion 41 that forms a positive pressure supplied to the reservoir 13. The positive pressure supply unit 40 includes a third connection line 43 for connecting the positive pressure forming unit 41 and the reservoir 13. The supply of the chemical liquid from the reservoir 13 to the inkjet head 11 can be advanced by providing the positive pressure to the reservoir 13 using the positive pressure supply unit 40

상기 음압 제공부(20)는 상기 레저버(13)에 음압을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 음압 제공부(20)를 사용하여 상기 레저버(13)에 음압을 제공함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단시킬 수 있다.The sound pressure providing unit 20 may be provided to provide negative pressure to the reservoir 13. [ The supply of the chemical liquid from the reservoir 13 to the inkjet head 11 can be stopped by providing the negative pressure to the reservoir 13 using the negative pressure providing unit 20. [

그리고 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단할 경우 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부에 잔류하는 약액은 메니스커스 상태를 유지해야 한다. 즉, 상기 약액을 토출하지 않는 대기 상태에서는 상기 노즐 단부에서의 약액이 메니스커스 상태를 유지해야 하는 것이다. 만약 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부에서 약액이 메니스커스 상태를 유지하지 못할 경우에는 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐면으로 상기 약액이 흘러내리거나 또는 유막을 형성할 수 있고, 그 결과 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐을 통하여 토출되는 약액에 대한 토출 타점의 이상이 발생하거나 약액이 토출되지 않는 상황이 발생할 수도 있다.When the supply of the chemical liquid to the inkjet head 11 is stopped, the chemical liquid remaining on the nozzle end of the inkjet head 11 must maintain a meniscus state. That is, in a standby state in which the chemical liquid is not discharged, the chemical liquid at the nozzle end must maintain a meniscus state. If the chemical liquid does not maintain the meniscus state at the nozzle end of the ink jet head 11, the chemical liquid may flow down to the nozzle face of the ink jet head 11 or an oil film may be formed, There may occur a situation in which an abnormality occurs in the ejection spots for the chemical liquid ejected through the nozzles of the inkjet head 11 or the chemical liquid is not ejected.

따라서 상기 잉크젯 헤드(11)로 약액의 공급을 중단할 경우 상기 레저버(13)로부터 상기 잉크젯 헤드(11)로 다시 약액을 공급하기 이전까지는 상기 음압 제공부(20)를 사용하여 상기 레저버(13)에 계속해서 음압을 제공해야 한다.Therefore, when the supply of the chemical liquid to the inkjet head 11 is stopped, the reservoir 13 is supplied with the ink from the reservoir 13 using the sound pressure providing unit 20 until the chemical liquid is supplied again from the reservoir 13 to the ink- 13).

아울러 상기 메니스커스 상태의 유지를 위해서는 상기 음압이 설정 압력으로 계속해서 제공되어야 한다. 이에, 도시하지는 않았지만 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 서보 밸브 등으로 이루어지는 압력 조정부를 구비하여 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 압력을 유지하도록 조정하고 있다.Further, in order to maintain the meniscus state, the negative pressure must be continuously supplied to the set pressure. Although not shown, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharging device 10 according to the embodiment of the present invention include a pressure adjusting part such as a servo valve so that the negative pressure supplied to the reservoir 13 maintains the set pressure .

상기 음압 제공부(20)는 음압 형성부(21), 제1 연결 라인(23), 제2 연결 라인(25), 차단부(33), 빠짐 방지부(35), 역류 방지부(27) 등으로 이루어질 수 있다.The sound pressure providing unit 20 includes a sound pressure forming unit 21, a first connection line 23, a second connection line 25, a blocking unit 33, a slip prevention unit 35, a backflow prevention unit 27, And the like.

상기 음압 형성부(21)는 상기 레저버(13)로 제공되는 음압을 형성한다. 상기 음압 제공부(20)의 예로서는 진공 펌프 등을 들 수 있다.The negative pressure forming portion 21 forms a negative pressure to be supplied to the reservoir 13. Examples of the sound pressure providing unit 20 include a vacuum pump and the like.

그리고 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 음압 형성부(21)와 연결될 수 있다. 그리고 상기 제1 연결 라인(23)은 제1 직경을 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분인 상기 제1 연결 라인(23)의 단부는 반드시 제1 직경을 갖도록 구비된다. 이에, 상기 제1 연결 라인(23)은 전체가 제1 직경을 갖도록 구비될 수도 있고, 단부 부분만 제1 직경을 갖도록 구비될 수도 있다.The first connection line 23 may be connected to the negative pressure forming part 21. The first connection line 23 may be provided to have a first diameter. In particular, an end of the first connection line 23, which is a portion connected to the second connection line 25, is necessarily provided to have a first diameter. The first connection line 23 may be formed to have a first diameter or may have a first diameter only at an end portion thereof.

상기 제2 연결 라인(25)은 상기 레저버(13)와 연결될 수 있다. 아울러 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 제1 연결 라인(23)과도 연결된다. 이에, 상기 제1 연결 라인(23) 및 상기 제2 연결 라인(25)에 의해 상기 음압 형성부(21)와 상기 레저버(13) 사이가 연결될 수 있다. 그리고 상기 제1 연결 라인(23) 및 상기 제2 연결 라인(25)을 통하여 상기 음압 형성부(21)로부터 상기 레저버(13)로 음압이 제공될 수 있다. 또한, 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 갖도록 구비된다.The second connection line (25) may be connected to the reservoir (13). The second connection line 25 is also connected to the first connection line 23. The negative pressure forming portion 21 and the reservoir 13 may be connected by the first connection line 23 and the second connection line 25. A negative pressure may be provided from the negative pressure forming portion 21 to the reservoir 13 through the first connection line 23 and the second connection line 25. [ The second connection line 25 is provided to have a second diameter larger than the first diameter.

상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부를 따라 움직일 수 있도록 구비된다. 이에, 상기 차단부(33)는 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단시킬 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분인 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 막아버리도록 구비될 수 있는 것이다. 따라서 상기 차단부(33)는 상기 제1 직경보다는 큰 크기를 갖도록 구비될 수 있다.The blocking portion 33 is provided to be movable along the second connection line 25. The blocking portion 33 may be smaller than the second diameter. The blocking portion 33 is provided to block the end portion of the first connection line 23. That is, the cut-off portion 33 may be provided to block the end portion of the first connection line 23, which is a portion connected to the second connection line 25. Therefore, the blocking portion 33 may be formed to have a larger size than the first diameter.

언급한 바와 같이, 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인(25) 내부에 배치된다. 그리고 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25) 내부에서 움직임이 가능하고, 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 막을 수 있어야 하기 때문에 볼(ball) 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.The blocking portion 33 may move along the inside of the second connection line 25 to block the end of the first connection line 23 connected to the second connection line 25, And is disposed inside the second connection line (25) with a size larger than the first diameter and smaller than the second diameter. Since the blocking portion 33 is movable within the second connection line 25 and can block the end of the first connection line 23, it is preferable that the blocking portion 33 has a ball structure.

상기 차단부(33)를 구비하는 것은 상기 레저버(13)로부터 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지하기 위함이다. 즉, 상기 레저버(13)로부터 상기 제2 연결 라인(25) 쪽으로 약액이 역류할 때 부력에 의해서 상기 차단부(33)가 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 쪽으로 떠올라서 상기 제1 연결 라인(23)의 단부를 차단함으로써 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있는 것이다.The provision of the blocking portion 33 is for preventing the chemical liquid from flowing back toward the first connection line 23 from the reservoir 13. That is, when the chemical liquid flows back from the reservoir 13 toward the second connection line 25, the blocking portion 33 floats toward the end of the first connection line 23 by buoyancy, It is possible to prevent the reverse flow of the chemical liquid toward the first connection line 23 by blocking the end of the line 23. [

따라서 상기 차단부(33)는 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 구비될 수 있다.Therefore, the blocking portion 33 may be made of a material having a lower density than the chemical liquid.

그리고 상기 제1 연결 라인(23)과 상기 제2 연결 라인(25)은 서로 수직하게 연결될 수 있다. 특히, 상기 제2 연결 라인(25)은 전체가 수직 구조를 가져야 한다. 아울러 상기 제2 연결 라인(25)은 상기 레저버(13)로부터 수직 방향으로 연장되도록 구비되어야 한다. 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분은 수직 구조를 가져야 한다. 다만 상기 제1 연결 라인(23)은 상기 제2 연결 라인(25)과 연결되는 부분을 제외하고는 수직 구조로 이루어질 필요는 없다.The first connection line 23 and the second connection line 25 may be vertically connected to each other. In particular, the second connection line 25 should have a vertical structure as a whole. In addition, the second connection line 25 should extend from the reservoir 13 in the vertical direction. The first connection line 23 should have a vertical structure connected to the second connection line 25. However, the first connection line 23 need not have a vertical structure except a portion connected to the second connection line 25.

또한, 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 유지할 경우 상기 차단부(33)는 상기 음압에 의해 상기 제2 연결 라인(25)의 일정 위치에 계속적으로 머물러 있을 것이다. 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 잉크젯 헤드(11)의 노즐 단부는 메니스커스 상태를 유지하지 못할 것이다. 따라서 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 잉크젯 헤드(11)로 제공되는 음압을 중단시킬 필요가 있다.Also, if the sound pressure provided to the reservoir 13 is maintained within the set range, the cut-off portion 33 will remain in a predetermined position of the second connection line 25 due to the negative pressure. The nozzle end of the ink jet head 11 may not maintain the meniscus when the negative pressure provided to the reservoir 13 is out of the set range. Therefore, when the sound pressure provided to the reservoir 13 is out of the set range, it is necessary to stop the sound pressure provided to the ink jet head 11.

이에, 상기 레저버(13)로 제공되는 음압이 설정 범위를 벗어날 경우 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 또는 상기 레저버(13)와 연결되는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 음압이 설정 범위보다 높아지면 상기 차단부(33)는 상기 제1 연결 라인(23)의 단부 쪽으로 이동할 것이고. 상기 음압이 설정 범위보다 낮아지면 상기 차단부(33)는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 것이다.When the sound pressure provided to the reservoir 13 is out of the set range, the cut-off portion 33 is connected to the end of the first connection line 23 or the end of the second connection line 23 connected to the reservoir 13, (Not shown). That is, when the sound pressure becomes higher than the set range, the cut-off portion 33 will move toward the end of the first connection line 23. If the sound pressure is lower than the set range, the cut-off portion 33 will move toward the end of the second connection line 25.

여기서 상기 차단부(33)가 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 경우 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지해야 한다.Here, when the blocking portion 33 moves toward the end of the second connection line 25, the blocking portion 33 should be prevented from falling into the reservoir 13.

이에, 도 2에서와 같이 상기 제2 연결 라인(25)의 단부에 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부(35)가 구비될 수 있다. 상기 빠짐 방지부(35)는 스토퍼(stopper) 구조를 갖도록 구비될 수 있다.As shown in FIG. 2, the stopper 35 may be provided at the end of the second connection line 25 to prevent the stopper 33 from falling into the reservoir 13. The dropout preventing portion 35 may have a stopper structure.

도 3은 도 1에서의 제2 연결 라인의 단부를 설명하기 위한 도면이다.Fig. 3 is a view for explaining the end of the second connection line in Fig. 1. Fig.

도 3을 참조하면, 상기 차단부(33)가 상기 제2 연결 라인(25)의 단부 쪽으로 이동할 경우 상기 차단부(33)가 상기 레저버(13)로 빠지는 것을 방지하도록 상기 빠짐 방지부(35)를 구비하는 것이 아니라 상기 레저버(13)와 연결되는 상기 제2 연결 라인(25)의 단부(37)를 상기 차단부(33)의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비할 수도 있다.3, when the blocking part 33 moves toward the end of the second connection line 25, the blocking part 33 is prevented from falling into the reservoir 13, The end portion 37 of the second connection line 25 connected to the reservoir 13 may have a smaller diameter than that of the blocking portion 33. [

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 제2 연결 라인(25)에 상기 차단부(33)를 구비함으로써 상기 레저버(13)로부터 상기 제1 연결 라인(23) 쪽으로 약액이 역류하는 것을 방지할 수 있다.As described above, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device 10 according to the embodiment of the present invention include the cut-off portion 33 in the second connection line 25, It is possible to prevent the chemical liquid from flowing back toward the connection line 23.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 약액의 역류로 인하여 장치 자체를 손상시키는 상황을 사전에 방지할 수 있다.Therefore, the liquid medicament supplying device and the medicament liquid discharging device 10 of the present invention can prevent a situation in which the device itself is damaged due to the reverse flow of the chemical liquid.

그리고 상기 역류 방지부(27) 또한 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 차단하도록 구비될 수 있다. 상기 역류 방지부(27)는 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서(29), 상기 센서(29)로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인(23)을 폐쇄시키는 밸브(31) 등을 포함할 수 있다.The backflow prevention part 27 may also be provided to block the reverse flow of the chemical liquid to the first connection line 23. [ The backflow prevention part 27 includes a sensor 29 for sensing that the chemical liquid flows back to the first connection line 23, a sensor 29 for receiving a sensing signal and closing the first connection line 23 A valve 31 and the like.

이와 같이, 본 발명의 일 실싱예에 따른 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치(10)는 상기 차단부(33)와 함께 상기 역류 방지부(27)를 구비함으로써 상기 레저버(13)부터 상기 제1 연결 라인(23)으로 약액이 역류하는 것을 이중으로 차단할 수 있을 것이다.As described above, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device 10 according to the present invention are provided with the blocking portion 33 together with the backflow prevention portion 27, The backflow of the chemical liquid to the connection line 23 can be blocked.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 음압 제공부로 약액이 역류함에 따라 발생하는 불량 요인을 없앨 수 있기 때문에 안정적인 공정 수행이 가능할 것이고, 그 결과 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Therefore, the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device of the present invention can eliminate the failure factors generated due to the reverse flow of the chemical liquid to the sound pressure providing part, and thus, it is possible to perform the stable process, and as a result, improvement in process reliability can be expected.

또한, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 토출 장치는 약액의 역류로 인하여 장치 자체를 손상시키는 상황을 사전에 방지할 수 있기 때문에 장치 자체의 보다 안정적인 관리가 가능할 것이고, 그 결과 장치 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Further, since the chemical liquid supply device and the chemical liquid discharge device of the present invention can prevent a situation in which the apparatus itself is damaged due to the reverse flow of the chemical liquid, it is possible to perform more stable management of the apparatus itself and as a result, It will be possible.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

10 : 약액 토출 장치 11 : 잉크젯 헤드
13 : 레저버 20 : 음압 제공부
21 : 음압 형성부 23 : 제1 연결 라인
25 : 제2 연결 라인 27 : 역류 방지부
29 : 센서 31 : 밸브
33 : 차단부 35 : 빠짐 방지부
40 : 양압 제공부 41 : 양압 형성부
43 : 제3 연결 라인10: chemical liquid dispensing device 11: ink jet head
13: Lever 20: Sound pressure supply
21: Sound pressure forming section 23: First connection line
25: second connection line 27:
29: sensor 31: valve
33: breaking portion 35:
40: positive pressure supply unit 41: positive pressure forming unit
43: third connecting line

Claims (12)

레저버(reservoir)로부터 잉크젯 헤드로 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스(meniscus)를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부를 포함하는 약액 공급 장치에 있어서,
상기 음압 제공부는
상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부;
제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인;
상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인; 및
상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.And a negative pressure supply unit for supplying a negative pressure to the reservoir so as to maintain the meniscus while stopping the supply of the chemical liquid from the reservoir to the inkjet head,
The sound pressure providing portion
A negative pressure forming part forming negative pressure provided by the reservoir;
A first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure forming portion;
A second connection line having a second diameter greater than the first diameter and connecting the first connection line and the reservoir; And
The first connection line may have a size larger than the first diameter and smaller than the second diameter so as to block the end of the first connection line connected to the second connection line while moving along the second connection line, And a blocking portion disposed in the chemical liquid supply device. 제1 항에 있어서,
상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first connection line and the second connection line are vertically connected to each other, and the blocking portion is made of a material having a lower density than the chemical liquid. 제1 항에 있어서,
상기 차단부는 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
And the blocking unit is configured to move toward an end of the first connection line or an end of the second connection line connected to the reservoir by a sound pressure outside the set range when the sound pressure is out of the set range. The chemical liquid supply device. 제3 항에 있어서,
상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 3,
And the end of the second connection line connected to the reservoir is provided to have a smaller diameter than the size of the cut-off portion. 제3 항에 있어서,
상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 3,
Further comprising a slip-off preventing portion at an end of the second connection line connected to the reservoir to prevent the cut-off portion from falling into the reservoir. 제1 항에 있어서,
상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a sensor for sensing that the chemical liquid flows back to the first connection line, and a valve for closing the first connection line by receiving a sensing signal from the sensor. 제1 항에 있어서,
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a positive pressure supply unit for supplying positive pressure to the reservoir so as to supply the chemical liquid from the reservoir to the inkjet head. 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드;
상기 잉크젯 헤드로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 레저버;
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급할 수 있도록 상기 레저버에 양압을 제공하기 위한 양압 제공부; 및
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액이 공급되는 것을 중단시키면서 메니스커스를 유지할 수 있도록 상기 레저버에 음압을 제공하기 위한 음압 제공부;를 포함하고,
상기 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.An inkjet head for ejecting a chemical liquid toward the substrate;
A reservoir for storing the chemical liquid to be supplied to the inkjet head;
A positive pressure supply for supplying a positive pressure to the reservoir so as to supply the chemical liquid from the reservoir to the inkjet head; And
And a negative pressure generator for providing a negative pressure to the reservoir so as to maintain the meniscus while stopping supply of the chemical liquid from the reservoir to the inkjet head,
The sound pressure providing portion includes a sound pressure forming portion for forming a sound pressure provided by the reservoir, a first connection line having a first diameter and connected to the sound pressure forming portion, a second connecting line having a second diameter larger than the first diameter A second connection line connecting the first connection line and the reservoir and a second connection line connecting the first connection line and the reservoir to the first connection line, And a blocking portion having a size larger than the diameter and smaller than the second diameter and disposed inside the second connection line. 제8 항에 있어서,
상기 제1 연결 라인과 상기 제2 연결 라인은 수직하게 연결되고, 상기 차단부는 상기 약액보다 낮은 밀도를 갖는 재질로 이루어지면서 상기 음압의 크기가 설정 범위를 벗어날 경우 상기 설정 범위를 벗어난 음압에 의해 상기 제1 연결 라인의 단부 또는 상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부 쪽으로 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.9. The method of claim 8,
Wherein the first connection line and the second connection line are vertically connected to each other, and the blocking portion is made of a material having a lower density than the chemical liquid, and when the magnitude of the sound pressure deviates from the set range, And to move toward an end of the first connection line or an end of the second connection line connected to the reservoir. 제9 항에 있어서,
상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부는 상기 차단부의 크기보다 작은 직경을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.10. The method of claim 9,
And an end of the second connection line connected to the reservoir is provided to have a smaller diameter than the size of the cut-off portion. 제9 항에 있어서,
상기 레저버와 연결되는 상기 제2 연결 라인의 단부에는 상기 차단부가 상기 레저버로 빠지는 것을 방지하는 빠짐 방지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.10. The method of claim 9,
Further comprising a slip-off preventing portion at an end of the second connection line connected to the reservoir to prevent the blocking portion from falling into the reservoir. 제8 항에 있어서,
상기 제1 연결 라인으로 상기 약액이 역류하는 것을 센싱하는 센서, 및 상기 센서로부터 센싱 신호를 전달받아 상기 제1 연결 라인을 폐쇄시키는 밸브로 이루어지는 역류 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.9. The method of claim 8,
Further comprising a sensor for sensing that the chemical liquid flows back to the first connection line, and a valve for closing the first connection line by receiving a sensing signal from the sensor.
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