KR101686227B1 - Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft - Google Patents

Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft Download PDF

Info

Publication number
KR101686227B1
KR101686227B1 KR1020140195333A KR20140195333A KR101686227B1 KR 101686227 B1 KR101686227 B1 KR 101686227B1 KR 1020140195333 A KR1020140195333 A KR 1020140195333A KR 20140195333 A KR20140195333 A KR 20140195333A KR 101686227 B1 KR101686227 B1 KR 101686227B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shaft
coupled
coupling
bearing
fixed key
Prior art date
Application number
KR1020140195333A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160081462A (en
Inventor
노진성
최재영
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020140195333A priority Critical patent/KR101686227B1/en
Publication of KR20160081462A publication Critical patent/KR20160081462A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101686227B1 publication Critical patent/KR101686227B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • B65G39/04—Adaptations of individual rollers and supports therefor the rollers comprising a number of roller forming elements mounted on a single axle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 이송 샤프트의 처짐 방지를 위해 그 중간부를 지지하는 베이링의 유지보수를 간편하게 수행할 수 있도록 하는 동시에 베어링의 설치 수량을 줄일 수 있는 구조를 갖는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명의 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치(100)는, 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 타측단에는 결합홈부(111)가 형성된 제1샤프트(110); 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성되고, 타측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되는 제2샤프트(120); 및 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 연결부에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하며 처짐을 방지하는 지지수단을 포함한다.The present invention provides a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft having a structure capable of easily performing maintenance of a bearing for supporting an intermediate portion thereof to prevent sagging of the substrate transfer shaft and reducing the number of bearings to be installed It has its purpose.
In order to achieve the above object, the apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to the present invention includes a plurality of transfer rollers 130 for supporting a substrate, the plurality of transfer rollers being spaced apart in the longitudinal direction, A first shaft 110 rotatably supported at one end thereof and having a coupling groove 111 at the other end thereof; A plurality of transfer rollers 130 for supporting the substrate are spaced apart from each other in the longitudinal direction and are coupled in a plurality of ways. At one end thereof, an engaging protrusion 121 is formed to be inserted into the engaging recess 111, A second shaft 120 rotatably supported by the first shaft 120; And support means coupled to a connection portion between the first shaft 110 and the second shaft 120 to rotatably support the first shaft 110 and the second shaft 120 and prevent sagging.

Description

기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치{Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft,

본 발명은 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 이송 샤프트의 중간부를 회전 가능하게 지지하며 처짐을 방지하기 위한 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft, and more particularly to an apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft for rotatably supporting an intermediate portion of a substrate transfer shaft and preventing sagging.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display) 장치는 다른 디스플레이장치에 비해 두께가 얇고 무게가 가벼울 뿐만 아니라 높은 해상도를 구현할 수 있어 주요 디스플레이 장치로 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) device is thinner and lighter in weight than other display devices, and is used as a main display device because high resolution can be realized.

상기와 같은 평판 디스플레이 장치는 평판 글래스(Glass)를 기판으로 사용하게 되며, 기판은 이송 장치에 로딩되어 이동되면서 약액도포공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리 공정을 통해 제조된다.Such a flat panel display device uses flat glass as a substrate, and the substrate is manufactured by various processes such as a chemical solution coating process, a cleaning process, and a drying process while being loaded and moved in a transfer device.

따라서 일련의 기판 처리 공정은 통상적으로 기판을 이송시키는 기판 이송 장치와 연계되어 진행되므로, 기판 이송 장치는 기판의 일정한 이송 속도 유지나 정밀한 위치 제어가 가능하도록 작동되는 것이 무엇보다도 중요하다.Accordingly, since a series of substrate processing processes are carried out in conjunction with a substrate transfer apparatus for transferring a substrate, it is most important that the substrate transfer apparatus is operated so as to maintain a constant transfer rate of the substrate and precise position control.

따라서 기판을 지지하고 이송하기 위해 기판 이송 장치에 설치되는 기판 이송 샤프트의 변형은 기판의 품질에 악영향을 미치게 된다.Therefore, the deformation of the substrate transfer shaft, which is installed in the substrate transfer device for supporting and transferring the substrate, adversely affects the quality of the substrate.

최근에는 기판이 대형화됨에 따라 기판 이송 샤프트의 길이도 길어지게 됨으로써, 샤프트의 중앙부에 처짐에 의한 변형이 발생할 경우에는 기판의 변형이나 파손을 초래하게 되고, 직직성이 저하되어 샤프트의 회전시 자체 진동 등에 의해 베어링 등의 관련부품이 손상될 수 있으며, 공정의 정밀도가 감소되어 기판의 불량률이 증가되는 문제점이 있다.In recent years, as the size of the substrate is increased, the length of the substrate transfer shaft is lengthened. When deformation due to deflection occurs at the central portion of the shaft, the substrate is deformed or damaged. As a result, The related parts such as the bearings may be damaged, and the accuracy of the process is reduced, thereby increasing the defect rate of the substrate.

이러한 기판 이송 샤프트의 처짐을 방지하기 위한 장치와 관련된 선행기술로, 도 1a 내지 도 2b는 대한민국 등록실용신안 제20-0324594호에 개시된 이송 샤프트의 처짐 방지 장치를 나타낸 것이다.In the prior art relating to such a device for preventing the deflection of the substrate transfer shaft, FIGS. 1A and 2B show a device for preventing deflection of the transfer shaft disclosed in Korean Utility Model Registration No. 20-0324594.

상기 선행기술에 개시된 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 일실시예로, 도 1a와 도 1b를 참조하면, 샤프트(10)의 일단부에 구동기어부(20)가 결합되고, 양쪽 단부에는 지지베어링(20)이 결합되며, 다수의 가이드 로울러(40)가 등간격을 이루도록 결합되고, 샤프트(10)의 중간부에 구비되는 처짐 방지구(1)는 에어베어링(2)과 거치대(4)로 이루어지되, 이송 샤프트(10)의 가운데 부분에 해당되는 위치에 베어링 로울러(12)가 결합되며, 상기 베어링 로울러(12)의 하부 외주면 일부위를 에어베어링(2)이 감싸도록 설치되고, 에어베어링(2)은 거치대(3)에 의해 고정된 것으로 구성된다. Referring to Figs. 1A and 1B, a drive gear 20 is coupled to one end of a shaft 10, and a support bearing 20 (not shown) is attached to both ends of the shaft. And a plurality of guide rollers 40 are coupled to be equidistantly spaced from each other and the sagging bearing 1 provided at the middle portion of the shaft 10 is composed of an air bearing 2 and a cradle 4 A bearing roller 12 is mounted at a position corresponding to the center of the conveying shaft 10 and is installed so as to surround the air bearing 2 on a part of the lower outer circumferential surface of the bearing roller 12, Is fixed by the holder 3.

이와 같은 구성에 의하면, 샤프트(10)와 베어링 롤러(12)를 포함하는 처짐 방지구(1)가 일체형으로 구성되어 있어, 베어링 롤러(12)의 유지보수를 요하는 경우에, 샤프트(10)와 베어링 롤러(12)의 분해를 위해서는 샤프트(10)에 결합된 구동기어부(20)와 지지베어링(30) 및 가이드롤러(40)를 모두 해체하는 작업이 선행되어야 하므로, 베어링 롤러(12)의 분해 및 조립 작업이 용이하지 않고 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.The shaft 10 and the bearing roller 12 are integrally formed so that when the maintenance of the bearing roller 12 is required, It is necessary to disassemble the drive unit 20 and the support bearing 30 and the guide roller 40 coupled to the shaft 10 in order to disassemble the bearing roller 12 and the bearing roller 12, Disassembling and assembling work is not easy and it takes a lot of time.

상기 선행기술에 개시된 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 다른 실시예로, 도 2a와 도 2b를 참조하면, 샤프트(10)의 일단부에 구동기어부(20)가 결합되고, 양쪽 단부에는 지지베어링(20)이 결합되며, 다수의 가이드 로울러(40)가 등간격을 이루도록 결합되고, 샤프트(10)의 중간부에 구비되는 처짐 방지구(1)는, 이송 샤프트(10)의 가운데 부분에 해당되는 위치에 베어링 로울러(12)가 결합되고, 베어링 로울러(12)의 하방 양측방에 지지브라켓(4)에 의해 횡설된 고정축(5)에 보조 베어링(6)이 설치되도록 구성되어 있다.Referring to Figs. 2A and 2B, in another embodiment of the deflection prevention device for a transfer shaft disclosed in the prior art, a drive unit 20 is coupled to one end of a shaft 10, and a support bearing 20 A plurality of guide rollers 40 are coupled at equal intervals so that the sagging barrel 1 provided at the middle portion of the shaft 10 is positioned at a position corresponding to the center portion of the feed shaft 10 And auxiliary bearings 6 are installed on the fixing shaft 5 which is horizontally formed by supporting brackets 4 on the lower both sides of the bearing rollers 12. [

이와 같은 구성에 의하면, 전술한 도 1a와 도 1b에 도시된 실시예에서와 마찬가지로 샤프트(10)와 베어링 롤러(12) 간의 분해 및 조립이 용이하지 않을 뿐만 아니라, 많은 수의 베어링을 필요로 하게 되어 장치의 설비 비용이 상승하게 되고, 베이링에서의 갈림에 의한 이물의 발생량 또한 증가하게 되어 설비의 유지보수가 용이하지 않은 문제점이 있다.According to such a configuration, disassembly and assembly between the shaft 10 and the bearing roller 12 are not easy as in the embodiment shown in Figs. 1A and 1B described above, and a large number of bearings are required So that the facility cost of the apparatus is increased and the amount of foreign matter generated by the shaking in the bay ring is also increased, so that there is a problem that the maintenance of the facility is not easy.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 이송 샤프트의 처짐 방지를 위해 그 중간부를 지지하는 베이링의 유지보수를 간편하게 수행할 수 있도록 하는 동시에 베어링의 설치 수량을 줄일 수 있는 구조를 갖는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a structure capable of easily performing maintenance of a bearing supporting an intermediate portion thereof in order to prevent sagging of a substrate transfer shaft, And an object of the present invention is to provide a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치(100)는, 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 타측단에는 결합홈부(111)가 형성된 제1샤프트(110); 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성되고, 타측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되는 제2샤프트(120); 및 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 연결부에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하며 처짐을 방지하는 지지수단을 포함하되, 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)는 별도의 부품으로 이루어져 상호 착탈 가능하게 결합된다.In order to achieve the above object, the apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to the present invention includes a plurality of transfer rollers 130 for supporting a substrate, the plurality of transfer rollers being spaced apart in the longitudinal direction, A first shaft 110 rotatably supported by the first shaft 140 and having a coupling groove 111 at the other end thereof; A plurality of transfer rollers 130 for supporting the substrate are spaced apart from each other in the longitudinal direction and are coupled in a plurality of ways. At one end thereof, an engaging protrusion 121 is formed to be inserted into the engaging recess 111, A second shaft 120 rotatably supported by the first shaft 120; And support means coupled to a connection portion between the first shaft 110 and the second shaft 120 to rotatably support the first shaft 110 and the second shaft 120 and prevent sagging, The first shaft 110 and the second shaft 120 are separate components and are detachably coupled.

상기 지지수단은, 상기 결합돌출부(121)의 외측면에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하는 베어링(150)으로 구성될 수 있다.The support means may include a bearing 150 coupled to an outer surface of the engagement protrusion 121 and rotatably supporting the first shaft 110 and the second shaft 120.

상기 베어링(150)은, 내륜(151)과 외륜(153) 사이에 원주방향을 따라 다수개의 볼(152)이 개재된 볼 베어링으로 구성되되, 상기 내륜(151)은 상기 제1샤프트(110)의 타측단과 상기 제2샤프트(120)의 일측단 사이에 압입되고, 상기 외륜(153)은 베어링 지지블록(150a) 상에 고정 지지된 것으로 구성될 수 있다.The bearing 150 is formed of a ball bearing having a plurality of balls 152 interposed between the inner ring 151 and the outer ring 153 along the circumferential direction. The inner ring 151 is connected to the first shaft 110, And the outer ring 153 is fixedly supported on the bearing support block 150a. The outer ring 153 is fixedly supported on the bearing support block 150a.

일실시예로, 상기 제1샤프트(110)의 타측단에는 상기 결합홈부(111)의 일측으로 제1자성체(113)가 구비되고, 상기 제2샤프트(120)의 일측단에는 상기 결합돌출부(121)의 내측으로 상기 제1자성체(113)와 반대의 극성을 갖는 제2자성체(123)가 구비될 수 있다.A first magnetic body 113 may be provided on one side of the coupling groove 111 and a second magnetic body 113 may be formed on one side of the second shaft 120, 121 may have a second magnetic body 123 having an opposite polarity to the first magnetic body 113.

이 경우 상기 제1샤프트(110)의 일측단에는 상기 결합홈부(111)의 일측으로 제1고정키 삽입홈(112)이 형성되고, 상기 제2샤프트(120)의 타측단에는 상기 결합돌출부(121)의 일측으로 상기 제1고정키 삽입홈(112)과 대응되는 위치에 제2고정키 삽입홈(122)이 형성되며, 상기 제1고정키 삽입홈(112)과 제2고정키 삽입홈(122)으로 둘러싸여 형성되는 공간의 내측으로 압입되는 고정키(160)에 의해 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 견고하게 결합될 수 있다.In this case, a first fixed key insertion groove 112 is formed at one side of the coupling groove 111 at one end of the first shaft 110, and at the other end of the second shaft 120, The first fixed key insertion slot 112 and the second fixed key insertion slot 112 are formed at positions corresponding to the first fixed key insertion slots 112, The first shaft 110 and the second shaft 120 can be firmly coupled to each other by the fixed key 160 that is pushed into the space formed by the first shaft 110 and the second shaft 122.

다른 실시예로, 상기 결합홈부(111)의 내주면에는 나사탭(111a)이 형성되고, 상기 결합돌출부(121)의 외주면에는 상기 나사탭(111a)에 나사결합되도록 대응되는 형상의 나사산(121a)이 형성될 수 있다.A screw thread 111a is formed on the inner circumferential surface of the coupling groove 111 and a screw thread 121a having a shape corresponding to the screw tab 111a is formed on the outer circumferential surface of the coupling protrusion 121, Can be formed.

이 경우 상기 결합홈부(111)의 일측에는 상기 제1샤프트(110)의 외주면에서 상기 결합홈부(111)로 관통되는 체결홀(114)이 형성되고, 상기 결합돌출부(121)의 일측에는 상기 체결홀(114)과 대응되는 체결홈(124)이 형성되며, 상기 체결홀(114)을 관통하여 상기 체결홈(124)에 나사결합되는 고정볼트(170)에 의해 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 견고하게 결합될 수 있다.In this case, a coupling hole 114 penetrating from the outer circumferential surface of the first shaft 110 to the coupling groove 111 is formed at one side of the coupling groove 111, and at one side of the coupling projection 111, The first shaft 110 and the second shaft 110 are fixed to each other by a fixing bolt 170 formed through the coupling hole 114 and screwed into the coupling groove 124. [ The second shaft 120 can be firmly coupled.

본 발명에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에 의하면, 기판 이송 샤프트를 제1샤프트와 제2샤프트로 분할 구성하고, 제1샤프트와 제2샤프트 간의 결합부에 샤프트의 처짐 방지를 위한 지지수단으로서 베어링을 연결 설치함으로써, 샤프트와 베어링 간의 분해 및 조립이 간편해져, 베어링의 교체 및 유지보수 작업의 편의성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 샤프트를 회전 가능하게 지지하기 위한 베어링의 설치 개수를 줄일 수 있다.According to the apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to the present invention, the substrate transfer shaft is divided into a first shaft and a second shaft, and as a supporting means for preventing the shaft from sagging at a coupling portion between the first shaft and the second shaft By disposing the bearings, disassembly and assembly between the shaft and the bearing can be simplified, and convenience of replacement and maintenance of the bearing can be improved, and the number of bearings for rotatably supporting the shaft can be reduced.

본 발명의 일실시예에 의하면, 제1샤프트와 제2샤프트 간의 결합부에 서로 다른 극성의 자성체를 구비하고, 제1샤프트에 형성된 제1고정키 삽입홈과 제2샤프트에 형성된 제2고정키 삽입홈으로 둘러싸여 형성되는 공간에 고정키를 압입함으로써, 제1샤프트와 제2샤프트가 견고하게 결합될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, magnetic bodies of different polarities are provided in the coupling portion between the first shaft and the second shaft, and the first fixed key insertion groove formed in the first shaft and the second fixed key insertion groove formed in the second shaft The first shaft and the second shaft can be firmly coupled by press-fitting the fixing key into the space defined by the insertion groove.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 제1샤프트와 제2샤프트 간의 결합부가 나사방식으로 결합되도록 구성하고, 제1샤프트에 형성된 체결홀과 제2샤프트에 형성된 체결홈에 고정볼트를 체결함으로써, 제1샤프트와 제2샤프트가 견고하게 결합될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the engaging portion between the first shaft and the second shaft is configured to be coupled in a threaded manner, and the fastening bolt is fastened to the fastening hole formed in the first shaft and the fastening groove formed in the second shaft, The first shaft and the second shaft can be firmly coupled.

도 1a와 도 1b는 종래 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 일실시예를 나타낸 정면 및 측면 개략도,
도 2a와 도 2b는 종래 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 다른 실시예를 나타낸 정면 및 측면 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 정면 개략도,
도 4와 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에서 샤프트가 분리된 모습과 결합된 모습을 나타낸 주요부 단면 개략도,
도 6과 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에서 샤프트가 분리된 모습과 결합된 모습을 나타낸 주요부 단면 개략도.1A and 1B are front and side schematic views showing an embodiment of a device for preventing sagging of a conventional substrate transfer shaft,
FIGS. 2A and 2B are front and side schematic views showing another embodiment of a device for preventing sagging of a conventional substrate transfer shaft,
3 is a front schematic view of a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to the present invention,
FIG. 4 and FIG. 5 are schematic cross-sectional views of main parts showing a state in which a shaft is detached from a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to an embodiment of the present invention,
6 and 7 are a schematic cross-sectional view of a main portion showing a state in which a shaft is detached and combined with an apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치의 정면 개략도이다. 본 발명에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치(100)는, 기판 이송 샤프트(110,120)를 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)로 분할 구성하고, 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 결합되는 부위에는 샤프트(110,120)의 처짐을 방지하며 회전 가능하게 지지하는 지지수단으로서 베어링(150)이 결합된다.3 is a front schematic view of a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to the present invention. The substrate transferring shafts 110 and 120 are divided into a first shaft 110 and a second shaft 120 and the first shaft 110 and the second shaft 120 are separated from each other. The bearing 150 is coupled to a portion where the two shafts 120 are engaged, as a supporting means for rotatably supporting the shafts 110 and 120 while preventing the shafts 110 and 120 from sagging.

상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 외측면에는, 기판(S)을 지지하며 이송하기 위한 다수개의 이송롤러(130)가 길이방향을 따라 이격되어 결합된다. 상기 제1샤프트(110)의 일측단(도면에서 좌측단)과 제2샤프트(120)의 타측단(도면에서 우측단)은 각각 샤프트 지지블록(140)에 회전 가능한 상태로 지지된다.A plurality of conveying rollers 130 for supporting and conveying the substrate S are coupled to the outer surfaces of the first and second shafts 110 and 120 so as to be spaced along the lengthwise direction. One end (the left end in the drawing) of the first shaft 110 and the other end (the right end in the drawing) of the second shaft 120 are rotatably supported on the shaft support block 140, respectively.

상기 베어링(150)은, 샤프트(110,120)의 중간부, 즉 제1샤프트(110)의 타측단과 제2샤프트(120)의 일측단이 결합되는 부분에 결합되어, 상호 결합되는 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 회전 가능한 상태로 지지될 수 있도록 하며, 상기 베어링(150)은 베어링 지지블록(150a) 상에 고정 지지된다.The bearing 150 is coupled to an intermediate portion of the shafts 110 and 120, that is, a portion where the other end of the first shaft 110 and one end of the second shaft 120 are coupled, And the second shaft 120 can be rotatably supported, and the bearing 150 is fixedly supported on the bearing support block 150a.

상기 베어링(150)은, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 내륜(151)과 외륜(153) 사이에 원주방향을 따라 다수개의 볼(152)이 개재된 볼 베어링으로 구성될 수 있으며, 이 경우 상기 내륜(151)은 상기 제1샤프트(110)의 타측단과 제2샤프트(120)의 일측단 사이에 압입되고, 상기 외륜(153)은 베어링 지지블록(150a) 상에 고정 지지된 것으로 구성될 수 있다.4 to 7, the bearing 150 may be a ball bearing having a plurality of balls 152 disposed in a circumferential direction between the inner ring 151 and the outer ring 153, In this case, the inner ring 151 is press-fitted between the other end of the first shaft 110 and one end of the second shaft 120, and the outer ring 153 is fixedly supported on the bearing support block 150a Lt; / RTI >

이하, 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120) 및 베어링(150) 간의 결합구조에 대한 실시예들을 설명한다.Embodiments of a coupling structure between the first shaft 110, the second shaft 120, and the bearing 150 will be described below.

도 4와 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에서 샤프트가 분리된 모습과 결합된 모습을 나타낸 주요부 단면 개략도이다. 4 and 5 are schematic cross-sectional views of main parts showing a state in which a shaft is detached from a device for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to an embodiment of the present invention.

일실시예로, 상기 제1샤프트(110)의 일측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 제1샤프트(110)의 타측단에는 결합홈부(111)가 형성된다. 상기 제2샤프트(120)의 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성되고, 제2샤프트(121)의 타측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지된다.One end of the first shaft 110 is rotatably supported by a shaft support block 140 and an engagement groove 111 is formed at the other end of the first shaft 110. The other end of the second shaft 121 is rotatably supported by the shaft support block 140. The shaft support block 140 rotatably supports the shaft 120, .

상기 제1샤프트(110)의 타측단에는 결합홈부(111)의 일측으로 제1자성체(113)가 구비되고, 상기 제2샤프트(120)의 일측단에는 결합돌출부(121)의 내측으로 상기 제1자성체(113)와 반대의 극성을 갖는 제2자성체(123)가 구비된다. 일례로, 상기 제1자성체(113)는 N극의 극성을 갖고, 상기 제2자성체(123)는 S극의 극성을 갖도록 구성될 수 있고, 이와 반대로 상기 제1자성체(113)는 S극의 극성을 갖고, 상기 제2자성체(123)는 N극의 극성을 갖도록 구성될 수 있다. The other end of the first shaft 110 is provided with a first magnetic body 113 at one side of the coupling groove 111 and at one side of the second shaft 120 is inserted into the coupling protrusion 121 And a second magnetic body 123 having a polarity opposite to that of the first magnetic body 113 is provided. For example, the first magnetic body 113 may have an N-pole polarity and the second magnetic body 123 may have an S-pole polarity. On the other hand, the first magnetic body 113 may have an S- Polarity, and the second magnetic body 123 may be configured to have an N-pole polarity.

따라서, 상기 제1자성체(113)와 제2사정체(123) 간에는 인력이 작용하게 되어, 결합돌출부(121)가 결합홈부(111)의 내측으로 삽입되면, 그 인력의 작용에 의해 결합돌출부(121)와 결합홈부(111)의 마주보는 측면이 서로 붙게 된다.When the engaging protrusion 121 is inserted into the engaging recess 111, a force is exerted between the first magnetic body 113 and the second engaging body 123, so that the engaging protrusion 121 121 and the side surfaces of the engaging groove 111 are attached to each other.

상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120) 간의 보다 견고한 결합을 위한 구성으로, 제1샤프트(110)의 일측단에는 결합홈부(111)의 일측으로 제1고정키 삽입홈(112)이 형성되고, 제2샤프트(120)의 타측단에는 결합돌출부(121)의 일측으로 제1고정키 삽입홈(112)과 대응되는 위치에 제2고정키 삽입홈(122)이 형성되며, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1고정키 삽입홈(112)과 제2고정키 삽입홈(122)으로 둘러싸여 형성되는 공간의 내측으로 고정키(160)를 압입시켜 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 견고하게 고정시킬 수 있다.A first fixed key insertion groove 112 is formed in one side of the coupling groove 111 at one end of the first shaft 110 to provide a more rigid coupling between the first shaft 110 and the second shaft 120. [ A second fixed key insertion groove 122 is formed at a position corresponding to the first fixed key insertion slot 112 at one side of the engaging protrusion 121 at the other end of the second shaft 120, 5, the fixed key 160 is press-fitted into the space defined by the first fixed key insertion slot 112 and the second fixed key insertion slot 122 to form the first shaft 110 and the second fixed- The second shaft 120 can be firmly fixed.

도 6과 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치에서 샤프트가 분리된 모습과 결합된 모습을 나타낸 주요부 단면 개략도이다.6 and 7 are schematic cross-sectional views of main parts showing a state in which a shaft is detached and combined with an apparatus for preventing sagging of a substrate transfer shaft according to another embodiment of the present invention.

본 실시예는, 전술한 실시예와 동일한 구성으로, 제1샤프트(110)의 타측단에는 결합홈부(111)가 형성되고, 상기 제2샤프트(120)의 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성된다. The first shaft 110 has an engaging groove 111 formed at the other end of the first shaft 110. The engaging groove 111 is formed at one end of the second shaft 120, The engaging protrusions 121 are inserted into the engaging protrusions.

상기 결합홈부(111)의 내주면에는 나사탭(111a)이 형성되고, 상기 결합돌출부(121)의 외주면에는 상기 나사탭(111a)에 나사결합되도록 대응되는 형상의 나사산(121a)이 형성된다. 따라서, 제2샤프트(120)의 결합돌출부(121)를 결합홈부(111)의 내측에 나사방식으로 회전시켜 결합시킬 수 있다.A screw tab 111a is formed on the inner circumferential surface of the coupling groove 111 and a thread 121a corresponding to the screw tab 111a is formed on the outer circumferential surface of the coupling protrusion 121. Accordingly, the engaging protrusion 121 of the second shaft 120 can be engaged with the inner side of the engaging recess 111 by screwing.

상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120) 간의 보다 견고한 결합을 위한 구성으로, 상기 결합홈부(111)의 일측에는 제1샤프트(110)의 외주면에서 결합홈부(111)로 관통되는 체결홀(114)이 형성되고, 상기 결합돌출부(121)의 일측에는 상기 체결홀(114)과 대응되는 체결홈(124)이 소정 깊이로 형성되며, 상기 체결홀(114)을 관통하여 상기 체결홈(124)에 나사결합되는 고정볼트(170)에 의해 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 견고하게 결합될 수 있다. 상기 체결홀(114)과 체결홈(124)의 내주면에는 고정볼트(170)와의 나사결합을 위한 나사탭(114a,124a)이 형성될 수 있다.The first shaft 110 and the second shaft 120 are coupled to each other through a coupling groove 111 at an outer circumferential surface of the first shaft 110 at one side of the coupling groove 111, A hole 114 is formed in the coupling protrusion 121 and a coupling groove 124 corresponding to the coupling hole 114 is formed at a predetermined depth on a side of the coupling protrusion 121. The coupling hole 114 penetrates the coupling hole 114, The first shaft 110 and the second shaft 120 can be firmly coupled to each other by the fixing bolts 170 screwed to the first shaft 124. Screw tabs 114a and 124a may be formed on the inner circumferential surfaces of the fastening holes 114 and the fastening grooves 124 for screwing the fixing bolts 170. [

상기와 같이 본 발명에 의하면, 기판 이송 샤프트(110,120)를 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)로 분할 구성하여 제1샤프트(110)의 결합홈부(111)에 제2샤프트(120)의 결합돌출부(121)를 삽입하여 결합되도록 구성하고, 샤프트(110,120)의 처짐을 방지하며 회전 가능하도록 지지하는 베어링(150)을 제2샤프트(121)의 결합돌출부(121)의 외측면에 결합되도록 구성함으로써, 베어링(150)의 교체 및 유지보수를 요하는 경우에, 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 결합부를 분리한 후에 베어링(150)을 결합돌출부(121)와 분리함으로써, 샤프트(110,120)와 베어링(150) 간의 분해 및 조립 작업을 간편하고 신속하게 수행할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, the substrate transfer shafts 110 and 120 are divided into the first shaft 110 and the second shaft 120, and the second shafts 120 and 120 are inserted into the coupling grooves 111 of the first shaft 110, And a bearing 150 for supporting the shaft 110 and 120 so as to be rotatable is disposed on the outer surface of the engaging protrusion 121 of the second shaft 121 The bearings 150 can be separated from the engaging protrusions 121 and the second shaft 120 after the engaging portions of the first shaft 110 and the second shaft 120 are separated, Separation and assembly work between the shaft 110 and the bearing 150 and the bearing 150 can be performed simply and quickly.

또한, 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 결합부위에는, 첫번째 실시예에서와 같이 서로 다른 극성의 자성체(113,123)를 구비하고, 제1샤프트(110)에 형성된 제1고정키 삽입홈(112)과 제2샤프트(120)에 형성된 제2고정키 삽입홈(122)으로 둘러싸여 형성되는 공간에 고정키(160)를 압입하거나, 두번째 실시예에서와 같이 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120) 간의 결합부가 나사방식으로 결합되도록 구성하고, 제1샤프트(110)에 형성된 체결홀(114)과 제2샤프트(120)에 형성된 체결홈(124)에 고정볼트(170)를 체결함으로써, 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120) 간의 결합구조를 간소화함과 아울러 이들 간의 견고한 결합이 가능하다.The first and second shafts 110 and 120 are provided with magnetic bodies 113 and 123 having polarities different from each other as in the first embodiment. The fixed key 160 is press-fitted into the space defined by the insertion groove 112 and the second fixed key insertion groove 122 formed in the second shaft 120 or the first shaft 110 is inserted into the space defined by the second fixed key insertion groove 122 formed in the second shaft 120, The first shaft 110 and the second shaft 120 are coupled to each other by screws so that the fastening holes 114 formed in the first shaft 110 and the fastening grooves 124 formed in the second shaft 120 are fastened with fixing bolts 170 So that the coupling structure between the first shaft 110 and the second shaft 120 is simplified and a rigid coupling between them is possible.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention as defined in the appended claims. And such modifications are within the scope of the present invention.

100 : 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치
110 : 제1샤프트 111 : 결합홈부
111a : 나사탭 112 : 제1고정키 삽입홈
113 : 제1자성체 114 : 체결홀
114a : 나사탭 120 : 제2샤프트
121 : 결합돌출부 121a : 나사산
122 : 제2고정키 삽입홈 123 : 제2자성체
124 : 체결홈 124a : 나사탭
130 : 이송롤러 140 : 샤프트 지지블록
150 : 베어링 151 : 내륜
152 : 볼 153 : 외륜
160 : 고정키 170 : 고정볼트
S : 기판100: Device for preventing sagging of substrate transfer shaft
110: first shaft 111: engaging groove
111a: screw tab 112: first fixing key insertion groove
113: first magnetic body 114: fastening hole
114a: screw tab 120: second shaft
121: engaging projection 121a:
122: second fixed key insertion groove 123: second magnetic body
124: fastening groove 124a: screw tab
130: Feed roller 140: Shaft support block
150: bearing 151: inner ring
152: Ball 153: Outer ring
160: fixed key 170: fixed bolt
S: substrate

Claims (7)

기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 타측단에는 결합홈부(111)가 형성된 제1샤프트(110);
기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성되고, 타측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되는 제2샤프트(120);
상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 연결부에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하며 처짐을 방지하는 지지수단;을 포함하되,
상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)는 별도의 부품으로 이루어져 상호 착탈 가능하게 결합되고,
상기 지지수단은, 상기 결합돌출부(121)의 외측면에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하는 베어링(150)으로 구성되며,
상기 베어링(150)은, 내륜(151)과 외륜(153) 사이에 원주방향을 따라 다수개의 볼(152)이 개재된 볼 베어링으로 구성되되,
상기 내륜(151)은 상기 제1샤프트(110)의 타측단과 상기 제2샤프트(120)의 일측단 사이에 압입되고, 상기 외륜(153)은 베어링 지지블록(150a) 상에 고정 지지된 것을 특징으로 하는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치.A plurality of conveying rollers 130 for supporting the substrates are coupled to the conveying rollers 130 in a longitudinal direction so as to be rotatably supported by the shaft support block 140 at one end, (110);
A plurality of transfer rollers 130 for supporting the substrate are spaced apart from each other in the longitudinal direction and are coupled in a plurality of ways. At one end thereof, an engaging protrusion 121 is formed to be inserted into the engaging recess 111, A second shaft 120 rotatably supported by the first shaft 120;
And support means coupled to a connection portion between the first shaft 110 and the second shaft 120 to rotatably support the first shaft 110 and the second shaft 120 to prevent sagging,
The first shaft 110 and the second shaft 120 are separate parts and are detachably coupled to each other,
The supporting means includes a bearing 150 coupled to an outer surface of the engaging protrusion 121 and rotatably supporting the first shaft 110 and the second shaft 120,
The bearing 150 is composed of a ball bearing having a plurality of balls 152 interposed between the inner ring 151 and the outer ring 153 in the circumferential direction,
The inner ring 151 is press-fitted between the other end of the first shaft 110 and one end of the second shaft 120 and the outer ring 153 is fixedly supported on the bearing support block 150a And the substrate transfer shaft is prevented from sagging. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1샤프트(110)의 타측단에는 상기 결합홈부(111)의 일측으로 제1자성체(113)가 구비되고,
상기 제2샤프트(120)의 일측단에는 상기 결합돌출부(121)의 내측으로 상기 제1자성체(113)와 반대의 극성을 갖는 제2자성체(123)가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치.The method according to claim 1,
A first magnetic body 113 is provided on the other side of the first shaft 110 at one side of the coupling groove 111,
Wherein a second magnetic body (123) having an opposite polarity to the first magnetic body (113) is provided at one end of the second shaft (120) inwardly of the engaging projection (121) Sag prevention device. 제4항에 있어서,
상기 제1샤프트(110)의 일측단에는 상기 결합홈부(111)의 일측으로 제1고정키 삽입홈(112)이 형성되고,
상기 제2샤프트(120)의 타측단에는 상기 결합돌출부(121)의 일측으로 상기 제1고정키 삽입홈(112)과 대응되는 위치에 제2고정키 삽입홈(122)이 형성되며,
상기 제1고정키 삽입홈(112)과 제2고정키 삽입홈(122)으로 둘러싸여 형성되는 공간의 내측으로 압입되는 고정키(160)에 의해 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 견고하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치.5. The method of claim 4,
A first fixed key insertion groove 112 is formed at one end of the first shaft 110 at one side of the coupling groove 111,
A second fixed key insertion groove 122 is formed in the other end of the second shaft 120 at a position corresponding to the first fixed key insertion slot 112 at one side of the engaging protrusion 121,
The first shaft 110 and the second shaft 120 are fixed by the fixed key 160 which is press-fitted into the space formed by the first fixed key insertion groove 112 and the second fixed key insertion groove 122, ) Are firmly coupled to each other. 제1항에 있어서,
상기 결합홈부(111)의 내주면에는 나사탭(111a)이 형성되고,
상기 결합돌출부(121)의 외주면에는 상기 나사탭(111a)에 나사결합되도록 대응되는 형상의 나사산(121a)이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치.The method according to claim 1,
A screw tab 111a is formed on the inner circumferential surface of the coupling groove 111,
And a screw thread (121a) having a shape corresponding to the screw tab (111a) is formed on an outer circumferential surface of the engaging projection (121). 제6항에 있어서,
상기 결합홈부(111)의 일측에는 상기 제1샤프트(110)의 외주면에서 상기 결합홈부(111)로 관통되는 체결홀(114)이 형성되고,
상기 결합돌출부(121)의 일측에는 상기 체결홀(114)과 대응되는 체결홈(124)이 형성되며,
상기 체결홀(114)을 관통하여 상기 체결홈(124)에 나사결합되는 고정볼트(170)에 의해 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)가 견고하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치.The method according to claim 6,
A coupling hole 114 is formed at one side of the coupling groove 111 so as to penetrate from the outer circumferential surface of the first shaft 110 to the coupling groove 111,
A coupling groove 124 corresponding to the coupling hole 114 is formed at one side of the coupling projection 121,
Wherein the first shaft (110) and the second shaft (120) are rigidly coupled by a fixing bolt (170) threaded through the coupling hole (114) and screwed into the coupling groove (124) Device for preventing deflection of conveying shaft.
KR1020140195333A 2014-12-31 2014-12-31 Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft KR101686227B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140195333A KR101686227B1 (en) 2014-12-31 2014-12-31 Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140195333A KR101686227B1 (en) 2014-12-31 2014-12-31 Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160081462A KR20160081462A (en) 2016-07-08
KR101686227B1 true KR101686227B1 (en) 2016-12-13

Family

ID=56503701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140195333A KR101686227B1 (en) 2014-12-31 2014-12-31 Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101686227B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200374775Y1 (en) 2004-08-30 2005-02-03 방영준 Special Frame Magnetic Converyor

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100560959B1 (en) * 2004-07-14 2006-03-15 주식회사 디엠에스 Apparatus for transporting works having magnet bearing for use in preventing shaft from vending
KR101077486B1 (en) * 2008-12-29 2011-10-27 주식회사 케이씨텍 Carrier for lage-area substrate
KR20150073687A (en) * 2013-12-23 2015-07-01 세메스 주식회사 bearing device and apparatus for treating substrate including the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200374775Y1 (en) 2004-08-30 2005-02-03 방영준 Special Frame Magnetic Converyor

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160081462A (en) 2016-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4911533B2 (en) Substrate transport device and substrate guide unit used in the device
KR101686227B1 (en) Apparatus for preventing sagging of substrate transporting shaft
US10087015B2 (en) Roller assembly and transmission device
JPWO2013088532A1 (en) Roller screw
JP2016211030A (en) Vacuum treatment apparatus
KR20130000764U (en) structure for joining magnetic gear to shaft
KR20140072988A (en) Substrate transferring device
KR101416593B1 (en) Substrate Transfer Device for Roller Shaft Sagging Prevention
KR200496461Y1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR101071268B1 (en) Apparatus for transferring a substrate
CN1970414B (en) Roller device capable of quickly regulating positioning
KR102366928B1 (en) Substrate transfer system and substrate transper method using the same
JP2021018351A (en) Lens unit and imaging apparatus
JP2015074064A (en) Linear motion table device
KR20130133551A (en) A feeding roller unit
KR100995685B1 (en) Magnetic conveyor
JP2008208892A (en) Rotation support structure for shaft for supporting article carrying roller
KR101144743B1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR20120110789A (en) Backlash mesurement apparatus
JP2012111572A (en) Conveying roller for plate-like material
KR101077485B1 (en) Idle roller device for substrate transferring
KR100687009B1 (en) Shaft apparatus for substrate transportation
KR20100135045A (en) Roller assembly and apparatus for treating a substrate having the same
JP2019104558A (en) Conveying device and method for assembling the same
KR20150073687A (en) bearing device and apparatus for treating substrate including the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191007

Year of fee payment: 4