KR100687009B1 - Shaft apparatus for substrate transportation - Google Patents

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KR100687009B1 KR1020050054532A KR20050054532A KR100687009B1 KR 100687009 B1 KR100687009 B1 KR 100687009B1 KR 1020050054532 A KR1020050054532 A KR 1020050054532A KR 20050054532 A KR20050054532 A KR 20050054532A KR 100687009 B1 KR100687009 B1 KR 100687009B1
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널과 같은 기판을 반송하기 위한 컨베이어 유닛의 샤프트 장치에 관한 것으로, 기판 반송을 위한 샤프트 장치는 기판 저면을 지지하는 복수의 롤러들을 갖는 반송축과, 반송축을 축지지대로부터 회전 가능하게 지지하는 베어링 유닛을 갖되, 이 베어링 유닛은 반송축에 끼워맞춤되는 내륜(inner ring)과, 축 지지대에 끼워맞춤되는 외륜(outer ring), 내외륜 중심부에 삽입되어 내외륜의 구름운동을 유도하기 위한 볼들, 그리고 내륜과 외륜 사이의 틈새를 막기 위한 시일부재를 구비할 수 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shaft device of a conveyor unit for transporting a substrate such as a flat panel display panel, wherein the shaft device for transporting a substrate is rotatable from a shaft support to a transport shaft having a plurality of rollers supporting a substrate bottom surface. Bearing unit, which is inserted into an inner ring fitted to a conveying shaft, an outer ring fitted to a shaft support, and an inner and outer ring center to induce rolling motion of the inner and outer rings. Balls and a sealing member for preventing the gap between the inner ring and the outer ring can be provided.

베어링, 샤프트, 시일 Bearing, shaft, seal

Description

기판 반송을 위한 샤프트 장치{SHAFT APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSPORTATION}SHAFT APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSPORTATION}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송을 위한 샤프트 장치를 보여주는 도면;1 shows a shaft arrangement for substrate transfer according to a preferred embodiment of the present invention;

도 2는 베어링 유닛의 시일 구조를 설명하기 위한 단면도;2 is a cross-sectional view illustrating a seal structure of a bearing unit;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 샤프트 장치가 적용된 컨베이어 설비를 보여주는 도면이다. 3 is a view showing a conveyor facility to which a shaft device according to a preferred embodiment of the present invention is applied.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

102 : 반송축102: carrier shaft

108 : 축지지대108: shaft support

110 : 베어링 윤시110: bearing polishing

112 : 내륜112: inner ring

120 : 외륜120: outer ring

130 : 시일부재 130: seal member

본 발명은 기판 반송을 위한 샤프트 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 평판 디스플레이 패널과 같은 기판을 반송하기 위한 컨베이어 유닛의 샤프트 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shaft device for transporting a substrate, and more particularly to a shaft device of a conveyor unit for transporting a substrate such as a flat panel display panel.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display)(이하 기판이라고 함) 제조공정에서 기판은 로울러 컨베이어를 통해 이송되면서 에쳐(Etcher), 스트리퍼(Stripper), 디벨로퍼(Developer)(현상기), 세정 등의 공정을 거치게 된다. Generally, in the manufacturing process of flat panel displays (hereinafter referred to as substrates) such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), organic ELs, and the like, substrates are transferred through roller conveyors. Etcher, stripper, developer (developer), cleaning and the like.

이처럼, 기판 제조 공정에서 로울러 컨베이어는 기판을 이송하기 위한 필수적인 장치로서, 복수개의 롤(roll)이 부착된 샤프트 장치들을 일방향으로 회전시키기 위한 동력전달 장치가 필수적으로 부착되어 작동된다. As such, in the substrate manufacturing process, the roller conveyor is an essential device for transferring the substrate, and a power transmission device for rotating the shaft devices with a plurality of rolls in one direction is essentially attached and operated.

이러한 샤프트 장치는 반송축과 이 반송축을 지지하는 베어링 유닛을 갖는데, 이 베어링 유닛은 내/외륜 사이에 시일(sealing) 기능이 없어 동력 전달 장치가 크린부스(공정챔버) 외부에 설치된 경우에는, 베어링의 내/외륜 사이의 틈새를 통해 크린부스 내부의 퓸(fume) 등이 외부로 유출되거나 외부의 오염물질이 크린부스 내부로 유입되는 등의 문제가 발생되고 있다. Such a shaft device has a conveying shaft and a bearing unit supporting the conveying shaft, which has no sealing function between the inner and outer rings, so that when the power transmission device is installed outside the clean booth (process chamber), the bearing Through the gap between the inner / outer ring of the fume (fume) inside the clean booth or the like, an external contaminants are introduced into the clean booth.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 베어링 유닛의 내/외륜 사이의 틈새를 통한 이물질 유입 및 유출을 방지할 수 있는 새로운 형태의 기판 반송을 위한 샤프트 장치를 제공하는데 있다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a shaft device for conveying a new type of substrate that can prevent the inflow and outflow of foreign matter through the gap between the inner / outer ring of the bearing unit.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 기판 반송을 위한 샤프트 장치는 기판 저면을 지지하는 복수의 롤러들을 갖는 반송축과; 상기 반송축의 양측에 설치되어 상기 반송축을 축지지대로부터 지지함과 아울러 회전가능하게 고정하는 베어링 유닛을 포함하되; 상기 베어링 유닛은 상기 반송축에 끼워맞춤되는 내륜(inner ring)과, 상기 축 지지대에 끼워맞춤되는 외륜(outer ring)과, 내외륜 중심부에 삽입되어 내외륜의 구름운동을 유도하기 위한 볼들, 그리고 상기 내륜과 상기 외륜 사이의 틈새를 막기 위한 시일부재를 구비할 수 있다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a shaft device for conveying a substrate includes a conveyance shaft having a plurality of rollers for supporting a substrate bottom surface; A bearing unit installed at both sides of the conveying shaft to support the conveying shaft from the shaft support and to be rotatably fixed; The bearing unit includes an inner ring fitted to the transport shaft, an outer ring fitted to the shaft support, balls inserted into the inner and outer ring centers to guide rolling motion of the inner and outer rings, and It may be provided with a sealing member for preventing the gap between the inner ring and the outer ring.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시일부재는 상기 내륜의 일면에 설치되는 제1블록 링과, 상기 제1블록 링과 마주보는 상기 외륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링과 맞닿는 제2블록 링과; 상기 내륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링을 상기 제2블록 링에 압박하기 위한 탄성력을 제공하는 탄성체를 구비할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the sealing member is provided with a first block ring installed on one surface of the inner ring, and a second block provided on one surface of the outer ring facing the first block ring to be in contact with the first block ring. Block ring; It may be provided with an elastic body provided on one surface of the inner ring to provide an elastic force for pressing the first block ring to the second block ring.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시일부재는 상기 제2블록 링과 맞닿는 상기 외륜의 일면에 설치되어 상기 제2블록 링과 상기 외륜의 일면사이의 밀봉을 위한 제1시일링과, 상기 제1블록 링과 맞닿는 상기 내륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링과 상기 내륜의 일면 사이의 밀봉을 위한 제2시일링을 더 구비할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the sealing member is installed on one surface of the outer ring which is in contact with the second block ring, the first sealing ring for sealing between the second block ring and one surface of the outer ring, and the first A second sealing ring may be further provided on one surface of the inner ring that is in contact with the first block ring and for sealing between the first block ring and one surface of the inner ring.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내륜은 상기 외륜과 마주하는 일면에 상기 제1블록 링이 삽입되는 원형홈을 갖으며, 이 원형홈에는 상기 탄성체가 삽입되는 복수의 장착홈들을 갖는다.According to an embodiment of the present invention, the inner ring has a circular groove into which the first block ring is inserted into one surface facing the outer ring, and the circular groove has a plurality of mounting grooves into which the elastic body is inserted.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

본 발명의 기본적인 의도는 기판을 이송하는 샤프트 장치의 베어링 유닛을 통한 이물질 유입 및 유출을 방지할 수 있도록 시일 기능을 갖는 베어링 유닛을 제공하는데 있다. 이를 달성하기 위하여 본 발명자는 베어링 유닛의 내륜과 외륜 사이의 틈새를 탄력적으로 밀봉할 수 있는 시일부재를 설치하는데 있다. The basic intention of the present invention is to provide a bearing unit having a seal function to prevent the inflow and outflow of foreign matter through the bearing unit of the shaft device for transporting the substrate. In order to achieve this, the present inventors provide a seal member capable of elastically sealing a gap between an inner ring and an outer ring of a bearing unit.

도 1에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송을 위한 샤프트 장치가 도시되어 있으며, 도 2에는 도 1에서 베어링 유닛의 시일 구조를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a shaft device for transporting a substrate according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view for describing a seal structure of a bearing unit in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 샤프트 장치(100)는 긴 원형축으로 이루어지는 반송축(102)을 갖는다. 이 반송축(102) 중간 중간에는 기판 이송롤러(104)들이 장착되며, 양단은 베어링 유닛(110)에 의해 축지지대(108)에 회전가능하게 지지되어 있으며, 일측에는 모터(m)의 동력을 전달받는 풀리(109) 등이 구비되어 있는 구조이다. 1 and 2, the shaft device 100 of the present invention has a conveyance shaft 102 formed of an elongated circular shaft. Substrate feed rollers 104 are mounted in the middle of the conveying shaft 102, and both ends thereof are rotatably supported by the shaft support 108 by the bearing unit 110, and on one side, the power of the motor m is applied. The pulley 109 receives the structure is provided.

여기서 가장 중요한 베어링 유닛(110)은 반송축(102)에 끼워맞춤되는 내륜(inner ring;112)과, 축 지지대(108)에 끼워 맞춤되는 외륜(outer ring), 내외륜 중심부에 삽입되어 내외륜의 구름운동을 유도하기 위한 볼(111)들, 그리고 내륜과 외륜 사이의 틈새를 막기 위한 시일부재를 구비한다. Here, the most important bearing unit 110 is an inner ring 112 fitted to the transport shaft 102, an outer ring fitted to the shaft support 108, and an inner and outer ring inserted into a center of the inner and outer rings. Balls 111 for inducing a rolling motion of, and a sealing member for preventing the gap between the inner ring and the outer ring.

내륜(112)은 반송축(102)과 맞닿는 수평부분(113)과, 이 수평부분(113)의 중심으로부터 외곽으로 수직하게 연장되어 형성된 제1볼지지부(114)를 갖는다. 이 제1볼지지부(114)에는 볼(111)들이 위치되는 반구홈(115)이 형성되어 볼들이 위치된다. 외륜(120)은 내륜(112)의 제1볼지지부(114) 외곽으로 위치하는 그리고 볼(111)들이 위치되는 반구홈(123)이 형성된 제2볼지지부(122)를 갖으며, 이 제2볼지지부(122)의 일측으로부터 수직하여 상하 방향으로 연장되어 형성되는 그리고 일부분은 내륜(112)의 제1볼지지부(114) 전면에 위치되는 수직부분(124)을 갖는다. The inner ring 112 has a horizontal portion 113 which abuts on the conveying shaft 102 and a first ball support portion 114 which extends vertically outward from the center of the horizontal portion 113. The first ball support 114 is formed with a hemisphere groove 115 in which the balls 111 are positioned so that the balls are positioned. The outer ring 120 has a second ball support part 122 which is located outside the first ball support part 114 of the inner ring 112 and is formed with a hemisphere groove 123 in which the balls 111 are located. A portion extending vertically from one side of the ball support 122 and having a vertical portion 124 positioned in front of the first ball support 114 of the inner ring 112.

시일부재(130)는 내륜(112)의 제1볼지지부(114) 전면(114a) 하단과 외륜(120)의 수직부분(124) 후면(124a) 하단 사이의 틈새에 설치된다. 시일부재(130)의 구성은 크게 제1블록 링(132), 제2블록 링, 코일 스프링 그리고 제1,2시일링로 이루어진다. The seal member 130 is installed in the gap between the lower end of the front surface 114a of the first ball support 114 of the inner ring 112 and the lower end of the rear surface 124a of the vertical part 124 of the outer ring 120. The seal member 130 is composed of a first block ring 132, a second block ring, a coil spring, and a first and second seal ring.

제1블록 링(132)은 내륜(112)의 일면(114a)에 형성된 원형홈(114b)상에 설치되며, 제2블록 링(134)은 외륜(120)의 후면(제1블록 링과 마주보는 면)에 설치된다. 코일 스프링(136)은 원형홈(114b)상에 축방향으로 형성된 장착홈(114c)에 설치되어 제1블록 링(132)을 제2블록 링(134)쪽으로 압박하기 위한 탄성력을 제공하게 된다. 시일부재(130)는 제1블록 링(132)과 제2블록링(134)이 맞닿는 면에서 시일 효과가 발생하게 된다. 여기서, 제1블록 링(132)은 내말멸성이 우수하며 경도가 높은 테프론(PTFE) 재질로 가공하며, 제2블록 링(134)은 세라믹 재질로 가공하여 표면 조도를 향상시켜 맞은편 수지가공품인 제1블록 링(132)과의 밀착되게 하며, 제1블록 링(132)은 코일 스프링(136)에 의해 지속적인 압착력을 제공받게 된다.The first block ring 132 is installed on the circular groove 114b formed on one surface 114a of the inner ring 112, and the second block ring 134 faces the rear surface of the outer ring 120 (first block ring). Installed on the viewing side). The coil spring 136 is installed in the mounting groove 114c formed in the axial direction on the circular groove 114b to provide an elastic force for pressing the first block ring 132 toward the second block ring 134. The sealing member 130 has a sealing effect at the surface where the first block ring 132 and the second block ring 134 abut. Here, the first block ring 132 is processed with excellent abrasion resistance and high hardness Teflon (PTFE) material, the second block ring 134 is processed with a ceramic material to improve the surface roughness to the opposite resin processed product In close contact with the first block ring 132, the first block ring 132 is provided with a continuous compressive force by the coil spring 136.

한편, 시일부재(130)는 시일 효과를 한층 강화하기 위해 제2블록 링(134)과 맞닿는 외륜(120)의 후면(124a)에 제1시일링(138)을 설치하여 제2블록 링(134)과 외륜(120)의 후면(124a) 사이의 밀봉 효과를 높이고, 제1블록 링(132)과 맞닿는 내륜(112)의 일면에 제2시일링(140)을 설치하여 제1블록 링(132)과 내륜(112)의 일면 사이의 밀봉을 효과를 한층 강화할 수 있다.Meanwhile, the sealing member 130 is provided with a first sealing ring 138 on the rear surface 124a of the outer ring 120 in contact with the second block ring 134 to further enhance the sealing effect. ) And a second sealing ring 140 is installed on one surface of the inner ring 112 that is in contact with the first block ring 132, thereby increasing the sealing effect between the rear surface 124a of the outer ring 120 and the first block ring 132. ) And the sealing between one surface of the inner ring 112 can further enhance the effect.

이러한 구성으로 이루어지는 샤프트 장치(100)는 베어링 유닛(110)의 내륜(112)과 외륜(120) 사이의 틈새를 통한 이물질 유입 및 유출 문제를 최소화 할 수 있는 이점이 있다.The shaft device 100 having such a configuration has an advantage of minimizing foreign matter inflow and outflow through a gap between the inner ring 112 and the outer ring 120 of the bearing unit 110.

본 발명의 샤프트 장치(100)는 도 3에서와 같이 기판을 이송하는 컨베이어 설비(200)에 아주 유용하게 사용될 수 있다. The shaft device 100 of the present invention can be very usefully used in the conveyor facility 200 for transporting the substrate as shown in FIG.

도 3을 참조하면, 기판 제조용 컨베이어 설비(200)는 소정의 공정이 진행되는 크린부스(210)와, 기판을 이송하기 위한 복수의 샤프트 장치(100)들을 갖는다.Referring to FIG. 3, the conveyor facility 200 for manufacturing a substrate has a clean booth 210 in which a predetermined process is performed, and a plurality of shaft devices 100 for transferring the substrate.

샤프트 장치(100)의 반송축(102)은 크린부스(210) 내부에 위치되며, 반송축(102)을 회전시키기 위한 동력 전달 장치(M)는 크린부스(210) 측벽 밖에 설치된다. 베어링 유닛(110)은 크린부스(210)의 측벽을 이루는 축지지대(108)에 설치된다. 본 실시예처럼, 동력 전달 장치(M)가 크린부스(공정챔버) 외부에 설치된 경우라도, 베어링 유닛(110)의 내/외륜 사이의 틈새가 시일부재(130)에 의해 차단됨으로써, 크린부스(210) 내부의 퓸(fume) 등이 외부로 유출되거나 외부의 오염물질이 크린부스(210) 내부로 유입되는 등의 문제가 발생되지 않는다.The conveyance shaft 102 of the shaft device 100 is located inside the clean booth 210, and the power transmission device M for rotating the conveyance shaft 102 is provided outside the clean booth 210 sidewalls. The bearing unit 110 is installed on the shaft support 108 forming the side wall of the clean booth 210. As in the present embodiment, even when the power transmission device M is installed outside the clean booth (process chamber), the gap between the inner / outer rings of the bearing unit 110 is blocked by the seal member 130, thereby making the clean booth ( The inside of the fume (fume) is not leaked to the outside or the external contaminants are introduced into the clean booth 210 does not occur.

도시하지 않았지만, 크린부스 내부에는 공정에 따라 에쳐(Etcher), 스트리퍼(Stripper), 디벨로퍼(Developer)(현상기), 세정 등의 공정 처리를 위한 통상의 유닛들이 설치될 수 있다.Although not shown in the drawing, according to the process, conventional units for processing such as an etcher, a stripper, a developer (developer), and cleaning may be installed.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 설비의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the substrate processing equipment according to the present invention has been shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely an example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 반송을 위한 샤프트 장치는 베어링 유닛의 내/외륜 사이의 틈새가 시일부재에 의해 차단됨으로써, 크린부스 내부의 퓸(fume) 등이 외부로 유출되거나 외부의 오염물질이 크린부스 내부로 유입되는 등의 문제를 최소화할 수 있다. As described above, in the shaft device for conveying the substrate of the present invention, the gap between the inner / outer rings of the bearing unit is blocked by the seal member, so that fumes, etc. inside the clean booth are leaked to the outside, or external pollutants. This can minimize problems such as flowing into the clean booth.

Claims (6)

삭제delete 기판 반송을 위한 샤프트 장치에 있어서:In the shaft device for substrate conveyance: 기판 저면을 지지하는 복수의 롤러들을 갖는 반송축과;A conveying shaft having a plurality of rollers supporting the substrate bottom surface; 상기 반송축의 양측에 설치되어 상기 반송축을 축지지대로부터 지지함과 아울러 회전가능하게 고정하는 베어링 유닛을 포함하되;A bearing unit installed at both sides of the conveying shaft to support the conveying shaft from the shaft support and to be rotatably fixed; 상기 베어링 유닛은 The bearing unit 상기 반송축에 끼워맞춤되는 내륜(inner ring)과, 상기 축 지지대에 끼워맞춤되는 외륜(outer ring)과, 내외륜 중심부에 삽입되어 내외륜의 구름운동을 유도하기 위한 볼들, 그리고 상기 내륜과 상기 외륜 사이의 틈새를 막기 위한 시일부재를 포함하며, An inner ring fitted to the transport shaft, an outer ring fitted to the shaft support, balls inserted into the inner and outer ring centers to guide rolling motion of the inner and outer rings, and the inner ring and the It includes a seal member for preventing the gap between the outer ring, 상기 시일부재는 The seal member 상기 내륜의 일면에 설치되는 제1블록 링과, 상기 제1블록 링과 마주보는 상기 외륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링과 맞닿는 제2블록 링과;A first block ring installed on one surface of the inner ring, and a second block ring installed on one surface of the outer ring facing the first block ring to be in contact with the first block ring; 상기 내륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링을 상기 제2블록 링에 압박하기 위한 탄성력을 제공하는 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 샤프트 장치.And an elastic body installed on one surface of the inner ring and providing an elastic force for pressing the first block ring to the second block ring. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 시일부재는The seal member 상기 제2블록 링과 맞닿는 상기 외륜의 일면에 설치되어 상기 제2블록 링과 상기 외륜의 일면사이의 밀봉을 위한 제1시일링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 샤프트 장치.And a first sealing ring installed on one surface of the outer ring which is in contact with the second block ring, for sealing between the second block ring and one surface of the outer ring. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 시일부재는The seal member 상기 제1블록 링과 맞닿는 상기 내륜의 일면에 설치되어 상기 제1블록 링과 상기 내륜의 일면 사이의 밀봉을 위한 제2시일링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 샤프트 장치.And a second sealing ring installed on one surface of the inner ring which is in contact with the first block ring, for sealing between the first block ring and one surface of the inner ring. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 내륜은 상기 외륜과 마주하는 일면에 상기 제1블록 링이 삽입되는 원형홈을 갖으며, The inner ring has a circular groove in which the first block ring is inserted into one surface facing the outer ring, 상기 원형홈에는 상기 탄성체가 삽입되는 복수의 장착홈들을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 샤프트 장치.And the circular groove has a plurality of mounting grooves into which the elastic body is inserted. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1블록 링은 수지 소재로 이루어지며, 상기 제2블록 링은 세라믹 소재 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 반송을 위한 샤프트 장치.The first block ring is made of a resin material, the second block ring is a shaft device for substrate transfer, characterized in that made of a ceramic material.
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