KR101676755B1 - Heat treatment apparatus comprising vertically movable doors part of improved heat insulation performance - Google Patents

Heat treatment apparatus comprising vertically movable doors part of improved heat insulation performance Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는, 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 인접하여 배치되는 복수 개의 패널부재와, 상기 복수 개의 패널부재를 상하 방향으로 이송시키기 위한 복수 개의 실린더부재와, 상기 복수 개의 패널부재와 실린더부재를 함께 상하 방향으로 이송시키기 위한 높이조절부재를 포함하며, 상기 실린더부재는 상기 패널부재의 측부에서 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 연속적으로 배치되어 상기 패널부재를 상하 방향으로 이송하도록 구성되며, 상기 높이조절부재에 의해 상기 패널부재와 실린더부재 전체가 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 상하 방향으로 이송되며, 상기 패널부재의 하부 또는 상부에는 내부로 액체 또는 기체가 유동될 수 있도록 공간이 형성된 패킹부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 열처리 대상물을 열처리 챔버 내부로 투입하는 경우에 투입 위치의 도어부만을 선택적으로 개폐할 수 있다.
또한, 열처리 장치의 도어부의 단열 성능이 향상시켜 열처리 장치 내부의 열손실을 최소화할 수 있다.A heat treatment apparatus including a plurality of up-and-down drive door portions improved in heat insulation performance according to the present invention includes a chamber member constituting an overall appearance of a heat treatment apparatus and a door member formed at one side of the chamber member, A plurality of panel members arranged adjacent to each other along the height direction of the chamber member; a plurality of cylinder members for vertically transferring the plurality of panel members; and a plurality of panel members and cylinder members Wherein the cylinder member is continuously disposed along the height direction of the chamber member at the side of the panel member to vertically transmit the panel member, and the height adjustment member The panel member and the entire cylinder member are moved upward and downward along the height direction of the chamber member Are transferred to, characterized in that the packing member is a space formed to the lower portion or the upper portion of the panel member is a liquid or a gas into the interior of the flow can be installed.
According to the present invention, when the object to be heat-treated is put into the heat treatment chamber, only the door portion at the insertion position can be selectively opened and closed.
Further, the heat insulation performance of the door portion of the heat treatment apparatus is improved, and the heat loss inside the heat treatment apparatus can be minimized.

Description

단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치{HEAT TREATMENT APPARATUS COMPRISING VERTICALLY MOVABLE DOORS PART OF IMPROVED HEAT INSULATION PERFORMANCE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heat treatment apparatus including a plurality of upper and lower driving door portions with improved heat insulation performance.

본 발명은 디스플레이 패널의 열처리 장치에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 열처리 대상물을 열처리 챔버 내부로 투입하는 경우에 투입 위치의 도어부만을 선택적으로 개폐하면서도 도어의 단열 성능이 향상되도록 구성되는 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치에 관한 발명이다.The present invention relates to a heat-treating apparatus for a display panel, and more particularly, to a heat-treating apparatus for a display panel, which is capable of selectively opening and closing only a door portion at a closing position when inserting a heat- The present invention relates to a heat treatment apparatus including a plurality of upward and downward driving door portions.

최근 컴퓨터 또는 TV 와 같은 전기전자기기의 급속한 발달 및 보급에 따라 디스플레이 패널 기술 역시 비약적으로 발전하고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, display panel technology has been dramatically developed due to the rapid development and spread of electric and electronic devices such as a computer or a TV.

이러한 디스플레이 패널의 대형화 고해상도화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.In view of the fact that such a display panel is rapidly becoming larger in size and higher in resolution, the role of the manufacturing apparatus is becoming more important.

일반적으로, 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 패널에 패턴을 형성하기 위해 포토레지스터를 도포하고, 상기 포토레지스터 막의 경화를 위해 디스플레이 패널을 가열하게 된다.Generally, in order to manufacture a display panel, a photoresist is applied to form a pattern on a panel, and the display panel is heated to cure the photoresist film.

이때, 디스플레이 패널에 정밀한 패턴을 형성하기 위해서는 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일하게 온도를 상승시키는 작업이 요구된다.At this time, in order to form a precise pattern on the display panel, an operation of raising the temperature uniformly over the entire area of the display panel is required.

만약, 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일한 온도 상승이 이루어지지 않을 경우에는, 패턴에 온도 편차가 발생되거나 디스플레이 패널 자체에 발생되는 열적 불균형으로 인해 패널의 국부적 수축 또는 팽창이 발생되며, 이러한 열적 불균형은 디스플레이 패널에 균일한 패턴을 형성하는 데에 장애가 되는 요인이 된다.If a uniform temperature rise is not achieved over the entire area of the display panel, a temperature deviation occurs in the pattern or a thermal imbalance occurs in the display panel itself, resulting in local shrinkage or expansion of the panel. Is an obstacle to forming a uniform pattern on the display panel.

또한, 디스플레이 패널의 열처리 수율을 향상시키고 열처리 장치 내에 배치되는 전체 디스플레이 패널들을 고루 가열하기 위해서는, 열처리 장치의 도어부를 통해 손실되는 열을 감소시켜 단열 성능을 향상시키도록 구성되는 것이 바람직하다. In addition, in order to improve the heat treatment yield of the display panel and uniformly heat the entire display panels disposed in the heat treatment apparatus, it is preferable that the heat loss performance is improved by reducing heat loss through the door unit of the heat treatment apparatus.

본 발명의 목적은, 디스플레이 패널과 같은 열처리 대상물을 열처리 챔버 내부로 투입하는 경우에 투입 위치의 도어부만을 선택적으로 개폐할 수 있도록 구성되는 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus including a plurality of upper and lower drive door portions having improved heat insulation performance so as to selectively open and close only a door portion at a loading position when a heat treatment object such as a display panel is inserted into a heat treatment chamber .

본 발명의 또 다른 목적은, 열처리 장치 도어부의 단열 성능이 향상되도록 구성되는 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치를 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to provide a heat treatment apparatus including a plurality of up-and-down driving door portions with improved heat insulating performance, which are configured to improve the heat insulating performance of the door portion of the heat treatment apparatus.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는, 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 인접하여 배치되는 복수 개의 패널부재들과, 상기 복수 개의 패널부재들을 상하 방향으로 이송시키기 위한 복수 개의 실린더부재들과, 상기 복수 개의 패널부재들과 실린더부재들을 함께 상하 방향으로 이송시키기 위한 높이조절부재를 포함하며, 상기 실린더부재는 상기 패널부재의 측부에서 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 연속적으로 배치되어 상기 패널부재를 상하 방향으로 이송하도록 구성되며, 상기 높이조절부재에 의해 상기 패널부재와 실린더부재 전체가 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 상하 방향으로 이송되며, 상기 패널부재의 하부 또는 상부에는 내부로 액체 또는 기체가 유동될 수 있도록 공간이 형성된 패킹부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, the present invention provides a heat treatment apparatus including a plurality of upper and lower drive door portions having improved heat insulation performance, including a chamber member forming an overall appearance of a heat treatment apparatus, and a door member formed at one side of the chamber member , The door member includes a plurality of panel members disposed adjacent to each other along the height direction of the chamber member, a plurality of cylinder members for vertically conveying the plurality of panel members, And a height adjusting member for vertically moving the cylinder members together, wherein the cylinder member is continuously disposed along the height direction of the chamber member at a side portion of the panel member to vertically transmit the panel member Wherein the panel member and the entire cylinder member are separated from each other by the height adjusting member The panel member is vertically transferred along a height direction of the chamber member and a packing member having a space formed therein for allowing liquid or gas to flow therein is installed at a lower portion or an upper portion of the panel member.

바람직하게는, 상기 실린더부재는 상기 패널부재의 양 측부에 한 쌍 설치된다.Preferably, the cylinder members are provided on both sides of the panel member.

여기서, 상기 실린더부재의 측부에는 상기 패널부재의 상하 방향 이동을 감지하는 센서부재가 설치될 수 있다.Here, a sensor member may be provided on the side of the cylinder member to sense the upward and downward movement of the panel member.

또한, 상기 패널부재와 실린더부재는 베이스부재 상에 설치되며, 상기 베이스부재는 상기 높이조절부재에 의해 상하방으로 이송되되, 상기 높이조절부재는 복수 개의 웜기어와 이에 연동되는 회전축을 포함하여 구성될 수 있다.Further, the panel member and the cylinder member are installed on the base member, and the base member is vertically conveyed by the height adjusting member, and the height adjusting member includes a plurality of worm gears and a rotating shaft interlocked with the worm gear .

바람직하게는, 상기 패킹부재 내부로 가열된 공기 또는 액체가 유동되도록 구성된다.Preferably, the heated air or liquid flows into the packing member.

본 발명에 의해, 열처리 대상물을 열처리 챔버 내부로 투입하는 경우에 투입 위치의 도어부만을 선택적으로 개폐할 수 있다.According to the present invention, when the object to be heat-treated is put into the heat treatment chamber, only the door portion at the insertion position can be selectively opened and closed.

또한, 열처리 장치 도어부의 단열 성능을 향상시켜 열처리 장치로부터 발생되는 열손실을 최소화할 수 있다.Further, the heat insulating performance of the door portion of the heat treatment apparatus can be improved, so that the heat loss generated from the heat treatment apparatus can be minimized.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 도어부의 정면도이며,
도 3 은 상기 도어부의 사시도이며,
도 4 는 상기 도어부에 포함되는 실린더부재와 센서부재 부분의 정면도이며,
도 5 는 상기 실린더부재와 센서부재 부분의 사시도이며,
도 6 은 상기 실린더부재와 스토퍼부재 부분의 사시도이며,
도 7 은 상기 도어부에 포함되는 패널부재 하부의 사시도이며,
도 8 은 상기 패널부재의 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
1 is a perspective view of a heat treatment apparatus including a plurality of upper and lower drive door portions with improved heat insulating performance according to the present invention,
2 is a front view of the door portion,
3 is a perspective view of the door portion,
4 is a front view of the cylinder member and the sensor member included in the door portion,
5 is a perspective view of the cylinder member and the sensor member portion,
6 is a perspective view of the cylinder member and the stopper member portion,
7 is a perspective view of a lower portion of the panel member included in the door portion,
8 is a perspective view of the panel member.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

도 1 은 본 발명에 따른 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 도어부의 정면도이며, 도 3 은 상기 도어부의 사시도이며, 도 4 는 상기 도어부에 포함되는 실린더부재와 센서부재 부분의 정면도이며, 도 5 는 상기 실린더부재와 센서부재 부분의 사시도이며, 도 6 은 상기 실린더부재와 스토퍼부재 부분의 사시도이며, 도 7 은 상기 도어부에 포함되는 패널부재 하부의 사시도이며, 도 8 은 상기 패널부재의 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a heat treatment apparatus including a plurality of upper and lower driving door portions with improved heat insulation performance according to the present invention, FIG. 2 is a front view of the door portion, FIG. 3 is a perspective view of the door portion, FIG. 6 is a perspective view of the cylinder member and the stopper member portion, and FIG. 7 is a front view of the cylinder member and the sensor member portion included in the door portion. Fig. 8 is a perspective view of the panel member. Fig.

본 발명에 따른 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재(10)와, 상기 챔버부재(10)의 일측에 형성되는 도어부재(20)를 포함하며, 상기 도어부재(20)는, 상기 챔버부재(10)의 높이 방향을 따라 인접하여 배치되는 복수 개의 패널부재(22, 23...27)와, 상기 복수 개의 패널부재(22, 23...27)를 상하 방향으로 이송시키기 위한 복수 개의 실린더부재(32, 33...37)와, 상기 복수 개의 패널부재(22, 23...27)와 실린더부재(32, 33...37)를 함께 상하 방향으로 이송시키기 위한 높이조절부재(40)를 포함하며, 상기 실린더부재(32, 33...37)는 상기 패널부재(22, 23...27)의 측부에서 상기 챔버부재(10)의 높이 방향을 따라 연속적으로 배치되어 상기 패널부재(22, 23...27)를 상하 방향으로 이송하도록 구성되며, 상기 높이조절부재(40)에 의해 상기 패널부재(22, 23...27)와 실린더부재(32, 33...37) 전체가 상기 챔버부재(10)의 높이 방향을 따라 상하 방향으로 이송되며, 상기 패널부재(22, 23...27)의 하부 또는 상부에는 내부로 액체 또는 기체가 유동될 수 있도록 공간이 형성된 패킹부재(80)가 설치되는 것을 특징으로 한다.A heat treatment apparatus including a plurality of up-and-down driving door portions with improved heat insulation performance according to the present invention includes a chamber member 10 constituting an overall appearance of a heat treatment apparatus, a door member 20 formed on one side of the chamber member 10, Wherein the door member 20 includes a plurality of panel members 22, 23 ... 27 disposed adjacent to each other along the height direction of the chamber member 10 and the plurality of panel members 22, 23, ..., 27) and the cylinder members (32, 33 ... 37) for vertically transporting the plurality of panel members (22, 23 ... 27) And a height adjustment member 40 for vertically moving the cylinder members 32, 33 ... 37. The cylinder members 32, 33 ... 37 are provided on the side portions of the panel members 22, 23 ... 27 (22, 23 ... 27) in a vertical direction along the height direction of the chamber member (10), and the height The entire panel members 22, 23 ... 27 and the cylinder members 32, 33 ... 37 are transported in the vertical direction along the height direction of the chamber member 10 by the adjustment member 40, A packing member 80 having a space formed therein for allowing liquid or gas to flow therein is installed at a lower portion or an upper portion of the panel members 22, 23 ... 27.

상기 챔버부재(10)는 본 발명에 따른 열처리장치의 외관을 형성하면서 내부에 디스플레이 패널을 수용하여 열처리하기 위한 구성으로서, 전체적으로 육면체 형상으로 형성된다.The chamber member 10 is formed in a hexahedron shape to accommodate the display panel and heat-treat the inside of the chamber while forming the outer appearance of the heat treatment apparatus according to the present invention.

상기 챔버부재(10)는 금속재의 선재와 금속 패널을 이용하여 구성되며, 일측에는 본 발명에 따른 열처리장치의 각종 구성들을 제어하기 위한 제어스위치들이 설치된다.The chamber member 10 is formed of a metal wire and a metal panel. On one side of the chamber member 10, control switches for controlling various components of the heat treatment apparatus according to the present invention are installed.

상기 챔버부재(10)의 전방에는 도어부재(20)가 배치되어, 상기 도어부재(20)를 통해 디스플레이 패널을 상기 챔버부재(10) 내부로 투입 및 배출할 수 있도록 구성된다.A door member 20 is disposed in front of the chamber member 10 so that the display panel can be introduced into and discharged from the chamber member 10 through the door member 20.

상기 챔버부재(10)의 일측에는 울파필터(ULPA Filter)를 포함하여 구성되는 필터부재가 배치된다.A filter member including an ULPA filter is disposed on one side of the chamber member 10.

상기 울파필터는 0.1 내지 0.17 ㎛ 입자에 대해 99.9995 % 이상을 포집할 수 있는 초고성능 필터로서, 주로 클래스 1 내지 100 이하의 클린 룸에 적용되는 필터이다.The ultrafast filter is an ultra high performance filter capable of collecting 99.9995% or more with respect to 0.1 to 0.17 mu m particles, and is mainly applied to a clean room of class 1 to 100 or less.

상기 필터부재로 외부의 공기가 공급되며, 그리하여 상기 챔버부재(10) 내부로 공급되는 공기가 상기 필터부재를 통과하도록 함으로써, 상기 챔버부재(10) 내부는 청정 상태로 유지될 수 있다. External air is supplied to the filter member so that the air supplied into the chamber member 10 passes through the filter member so that the inside of the chamber member 10 can be kept clean.

도 2 와 3 에 도시되는 바와 같이, 상기 도어부재(20)는, 상기 챔버부재(10)의 높이 방향을 따라 인접하여 배치되는 복수 개의 패널부재(22, 23...27)와, 상기 복수 개의 패널부재(22, 23...27)를 상하 방향으로 이송시키기 위한 복수 개의 실린더부재(32, 33...37)를 포함한다.2 and 3, the door member 20 includes a plurality of panel members 22, 23 ... 27 disposed adjacent to each other along the height direction of the chamber member 10, And a plurality of cylinder members 32, 33 ... 37 for vertically moving the panel members 22, 23 ... 27.

상기 패널부재(22, 23...27)는 금속재를 이용하여 사각 패널의 형상으로 형성되며, 도 7 및 8 에 도시되는 바와 같이, 상기 패널부재(22, 23...27)의 하부에는 패킹부재(80)가 배치된다.The panel members 22, 23 ... 27 are formed in the shape of a rectangular panel using a metallic material. As shown in FIGS. 7 and 8, the panel members 22, 23 ... 27 A packing member 80 is disposed.

상기 패킹부재(80)는 고무 또는 폴리우레탄 등과 같은 연질의 합성수지재로 형성되며, 상기 패킹부재(80)에 의해 상기 패널부재(22, 23...27)들 사이 사이로 열이 손실되는 것을 방지하도록 구성된다.The packing member 80 is formed of a soft synthetic resin material such as rubber or polyurethane and prevents heat loss between the panel members 22, 23 ... 27 by the packing member 80. [ .

즉, 열전달 특성이 약한 연질의 합성수지재로 상기 패킹부재(80)를 형성하고, 상기 패널부재(22, 23...27)들의 사이 사이에 배치되도록 함으로써, 상기 패널부재(22, 23...27)들 사이의 미세한 틈을 통해 열이 외부로 손실되는 것을 방지할 수 있다.That is, the packing member 80 is formed of a soft synthetic resin material having a weak heat transfer characteristic, and is disposed between the panel members 22, 23 ... 27, so that the panel members 22, The heat can be prevented from being lost to the outside through fine gaps between the heat sinks.

여기서, 상기 패킹부재(80)는 내부에 공간이 형성됨으로써, 상기 공간 내부로 고온의 물 또는 가스 등이 유동될 수 있도록 구성된다.Here, the packing member 80 is configured such that high-temperature water or gas can flow into the space by forming a space therein.

그리하여, 열처리 공정을 위해 상기 챔버부재(10) 내부가 고온으로 유지되는 경우에, 상기 패킹부재(80) 내부로 고온의 물 또는 가스를 유동시킴으로써, 상기 패킹부재(80)를 통해 열이 손실되는 것을 더욱 방지할 수 있다. Heat is lost through the packing member 80 by flowing hot water or gas into the packing member 80 when the inside of the chamber member 10 is maintained at a high temperature for the heat treatment process Can be further prevented.

한편, 상기 패널부재(22, 23...27)들과 상기 실린더부재(32, 33...37)들은 슬라이딩 레일(60) 상에 설치된 상태에서 상기 패널부재(22, 23...27)들은 상기 실린더부재(32, 33...37)에 의해 상방으로 구동된다.The panel members 22, 23 ... 27 and the cylinder members 32, 33 ... 37 are mounted on the sliding rail 60. The panel members 22, Are driven upward by the cylinder members 32, 33 ... 37.

도 3 및 4 에 도시되는 바와 같이, 가장 위쪽에 배치되는 패널부재(27)는 그의 양 측부에 배치되는 한쌍의 실린더부재(37)들에 의해 상방으로 이동되어, 상기 패널부재(27)가 배치된 부분을 개방하도록 구성된다.3 and 4, the uppermost panel member 27 is moved upward by a pair of cylinder members 37 disposed on both sides of the panel member 27, Thereby opening the exposed portion.

또한, 가장 위쪽에서 아래로 두번째 배치되는 한쌍의 실린더부재들(36)에 의해서는 가장 위쪽에서 두번째로 배치되는 패널부재(26)와 그 위의 패널부재(27)를 함께 상방으로 이동하도록 구성된다.In addition, the panel member 26 and the panel member 27 disposed thereon are moved upward together by the pair of the cylinder members 36 disposed second from the top to the bottom .

그리하여, 상기 두번째 패널부재(26)가 배치되는 부분을 개방 또는 폐쇄하도록 구성된다.So as to open or close the portion where the second panel member 26 is disposed.

또한, 가장 위쪽에서 아래로 세번째 배치되는 한쌍의 실린더부재들(35)에 의해서는 가장 위쪽에서 아래로 세번째로 배치되는 패널부재(25)와 그 위의 패널부재들(27, 26)을 함께 상방으로 이동시키도록 구성된다.In addition, the panel member 25 and the panel members 27 and 26 disposed thereon for the third time from the top to the bottom by the pair of cylinder members 35 arranged third from the top to the bottom, As shown in FIG.

그리하여, 상기 세번째 패널부재(25)가 배치되는 부분을 개방 또는 폐쇄하도록 구성된다.Thus, the third panel member 25 is configured to open or close the portion where the third panel member 25 is disposed.

상기와 동일한 방식에 의해, 가장 아래에 배치되는 한쌍의 실린더부재들(32)에 의해서는 가장 위쪽에서부터 가장 아래에 배치되는 모든 패널부재들(22, 23...27)을 함께 상방으로 이동하도록 구성된다.The panel members 22, 23 ... 27, which are arranged from the uppermost position to the lowermost position, are moved upward together by the pair of the cylinder members 32 disposed at the lowest position .

그리하여, 상기 가장 아래에 배치되는 패널부재(22) 부분을 개방하도록 구성된다.Thus, it is configured to open the portion of the panel member 22 disposed at the lowermost position.

도 4 내지 6 에 도시되는 바와 같이, 가장 윗쪽에 배치되는 실린더부재(37)와 패널부재(27)를 예로 들면, 가장 윗쪽 실린더부재(37)의 구동에 의해 가장 윗쪽 패널부재(27)의 측부에 배치되는 승강플레이트(97)가 상방으로 이동됨에 따라, 상기 패널부재(27)의 측부에 고정되는 가동자(74) 및 스토퍼부재(82, 84) 역시 상방으로 이동된다.4 to 6, the uppermost cylinder member 37 and the panel member 27 are taken as an example. By driving the uppermost cylinder member 37, the side of the uppermost panel member 27 The mover 74 and the stopper members 82 and 84 fixed to the side of the panel member 27 are also moved upward as the lifting plate 97 is moved upward.

그리하여, 상기 가동자(74)의 이동을 센서부재(72)들을 통해 감지함으로써, 상기가동자(74)가 상방으로 이동되었는지 아니지를 감지하게 된다.Thus, by detecting the movement of the mover 74 through the sensor members 72, it is detected whether the movable member 74 is moved upward or not.

상기 스토퍼부재(82, 84)에는 내부에 스프링이 설치되어, 상기 스토퍼부재(82, 84)들이 상기 패널부재(27)와 함께 상하 방향으로 이동되어, 상기 센서부재(72)가 설치되는 프레임(70)에 의해 간섭됨으로써, 상기 패널부재(27)의 상하 방향 이동 변위가 제한될 수 있다.The stopper members 82 and 84 are provided with springs therein so that the stopper members 82 and 84 are moved up and down together with the panel member 27 so that the frame member 27, 70, the vertical movement displacement of the panel member 27 can be restricted.

여기서, 상기 프레임(70)은 바로 아래에 배치되는 패널부재(26)의 측부에 고정 설치된다.Here, the frame 70 is fixed to the side of the panel member 26 disposed immediately below.

한편, 도 2 및 3 에 도시되는 바와 같이, 상기 복수 개의 패널부재(22, 23...27)와 실린더부재(32, 33...37)는 베이스부재(50) 상에 설치되며, 상기 베이스부재(50)의 측부(52)는 슬라이딩축(48) 상에서 상하방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다.2 and 3, the plurality of panel members 22, 23 ... 27 and the cylinder members 32, 33 ... 37 are provided on the base member 50, The side portion 52 of the base member 50 is slidably mounted on the sliding shaft 48 in the vertical direction.

그리하여, 높이조절부재(40)의 구동에 의해 상기 베이스부재(50) 및 이에 설치되는 패널부재(22, 23...27)와 실린더부재(32, 33...37)들이 전체적으로 상하방향으로 이동되도록 구성된다.Thus, the base member 50 and the panel members 22, 23 ... 27 and the cylinder members 32, 33 ... 37, which are installed in the base member 50, .

상기와 같이 패널부재(22, 23...27) 및 실린더부재(32, 33...37)들이 상기 챔버부재(10)의 전방에서 전체적으로 상하방향으로 이동되도록 구성되어, 상기 챔버부재(10) 전방에서 각 패널부재(22, 23...27)들이 배치되는 위치를 조절할 수 있다.The panel members 22, 23 ... 27 and the cylinder members 32, 33 ... 37 are entirely moved in the vertical direction in front of the chamber member 10 as described above, The position at which the respective panel members 22, 23 ... 27 are disposed in front can be adjusted.

여기서, 상기 높이조절부재(40)는 웜기어(42, 44, 47, 60)와 이에 연동되어 회전되는 축들(46, 48)을 포함하여 구성되며, 그리하여 웜기어(42)를 회전시킴으로써, 상기 웜기어(42)의 회전운동이 상기 베이스부재 측부(52)가 설치되는 축(48)의 회전으로 변환되어, 상기 베이스부재(50)가 상기 슬라이딩축(48)을 따라 상하방향으로 이동되도록 구성된다.
The height adjusting member 40 includes the worm gears 42, 44, 47 and 60 and the shafts 46 and 48 rotated in conjunction therewith. By rotating the worm gear 42, 42 are converted into rotation of the shaft 48 on which the base member side portion 52 is provided so that the base member 50 is moved in the up and down direction along the sliding shaft 48.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 챔버부재
20: 도어부재
22, 23, 24, 25, 26, 27: 패널부재
32, 33, 34, 35, 36, 37: 실린더부재
40: 높이조절부재
50: 베이스부재
60: 슬라이딩레일10: chamber member
20: Door member
22, 23, 24, 25, 26, 27: panel members
32, 33, 34, 35, 36, 37: cylinder member
40: height adjustment member
50: base member
60: Sliding rail

Claims (5)

열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와
상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며,
상기 도어부재는,
상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 인접하여 배치되는 복수 개의 패널부재와;
상기 복수 개의 패널부재를 상하 방향으로 이송시키기 위한 복수 개의 실린더부재와;
상기 복수 개의 패널부재와 실린더부재를 함께 상하 방향으로 이송시키기 위한 높이조절부재를 포함하며,
상기 실린더부재는 상기 패널부재의 측부에서 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 연속적으로 배치되어 상기 패널부재를 상하 방향으로 이송하도록 구성되며,
상기 높이조절부재에 의해 상기 패널부재와 실린더부재 전체가 상기 챔버부재의 높이 방향을 따라 상하 방향으로 이송되며,
상기 패널부재의 하부 또는 상부에는 내부로 액체 또는 기체가 유동될 수 있도록 공간이 형성된 패킹부재가 설치되며,
상기 패킹부재 내부로 가열된 공기 또는 액체가 유동되도록 구성되며,
상기 실린더부재는 상기 패널부재의 양측부에 한쌍 설치되고,
상기 패널부재의 측부에는 가동자와 한 쌍의 스토퍼부재 및 프레임이 설치되며,
상기 실린더부재의 측부에는 상기 패널부재의 상하 방향 이동을 감지하는 센서부재가 설치되며,
상기 패널부재와 실린더부재는 베이스부재 상에 설치되며, 상기 베이스부재는 상기 높이조절부재에 의해 상하방으로 이송되되,
상기 높이조절부재는 복수 개의 웜기어와 이에 연동되는 회전축을 포함하여 구성되고,
상기 스토퍼부재 내부에는 스프링이 설치되어, 상기 스토퍼부재들이 상기 패널부재와 함께 상하 방향으로 이동되어, 상기 센서부재가 설치되는 프레임에 의해 간섭됨으로써, 상기 패널부재의 상하 방향 이동 변위가 제한되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 단열 성능이 향상된 복수 개의 상하구동 도어부를 포함하는 열처리장치.The chamber member constituting the entire outer surface of the heat treatment apparatus
And a door member formed on one side of the chamber member,
The door member
A plurality of panel members disposed adjacent to each other along a height direction of the chamber member;
A plurality of cylinder members for vertically moving the plurality of panel members;
And a height adjusting member for vertically moving the plurality of panel members and the cylinder member together,
Wherein the cylinder member is continuously disposed along the height direction of the chamber member at the side of the panel member to vertically transmit the panel member,
The panel member and the entire cylinder member are vertically transferred along the height direction of the chamber member by the height adjusting member,
A packing member having a space formed therein for allowing a liquid or a gas to flow into the lower portion or the upper portion of the panel member,
Wherein the heated air or liquid flows into the packing member,
Wherein the cylinder member is provided on both side portions of the panel member,
A movable member, a pair of stopper members and a frame are provided on the side of the panel member,
A sensor member for detecting the upward and downward movement of the panel member is installed on the side of the cylinder member,
Wherein the panel member and the cylinder member are installed on a base member, and the base member is vertically conveyed by the height adjusting member,
Wherein the height adjusting member comprises a plurality of worm gears and a rotating shaft associated therewith,
A spring is provided in the stopper member so that the stopper members are moved upward and downward together with the panel member to be interfered by a frame on which the sensor member is installed, thereby limiting the vertical displacement of the panel member And a plurality of upper and lower drive door portions having improved heat insulating performance. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060066978A (en) * 2004-12-14 2006-06-19 삼성전자주식회사 Equipment for manufacturing semiconductor device and using method thereof
KR20070058855A (en) * 2005-12-05 2007-06-11 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Cleaning chamber and door sealing method of the same
KR101327920B1 (en) * 2012-04-30 2013-11-20 한국고요써모시스템(주) The shutter driving apparatus of oven for heat treatment glass

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100705964B1 (en) * 2005-12-02 2007-04-12 오성엘에스티(주) Heat-treating apparatus having door system using separate-door

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