KR101667752B1 - Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left - Google Patents

Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left Download PDF

Info

Publication number
KR101667752B1
KR101667752B1 KR1020140048823A KR20140048823A KR101667752B1 KR 101667752 B1 KR101667752 B1 KR 101667752B1 KR 1020140048823 A KR1020140048823 A KR 1020140048823A KR 20140048823 A KR20140048823 A KR 20140048823A KR 101667752 B1 KR101667752 B1 KR 101667752B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
door
heat treatment
treatment apparatus
chamber member
sliding
Prior art date
Application number
KR1020140048823A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150122881A (en
Inventor
최재운
권용환
Original Assignee
(주) 예스티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 예스티 filed Critical (주) 예스티
Priority to KR1020140048823A priority Critical patent/KR101667752B1/en
Publication of KR20150122881A publication Critical patent/KR20150122881A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101667752B1 publication Critical patent/KR101667752B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/38—Treatment before imagewise removal, e.g. prebaking
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
    • E05B83/00—Vehicle locks specially adapted for particular types of wing or vehicle
    • E05B83/36—Locks for passenger or like doors
    • E05B83/40—Locks for passenger or like doors for sliding doors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7095—Materials, e.g. materials for housing, stage or other support having particular properties, e.g. weight, strength, conductivity, thermal expansion coefficient
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Abstract

본 발명에 따른 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는, 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부를 상기 챔버부재의 전방에서 좌 우 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 레일부재와, 상기 도어본체부를 상기 한쌍의 레일부재에서 좌 우 방향으로 슬라이딩시키기 위한 좌우슬라이딩실린더부재와, 상기 레일부재를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩하도록 설치되는 전후방향이송실린더부재를 포함하며, 상기 전후방향이송실린더부재에 의해 상기 도어본체부는 상기 챔버부재의 전방을 개방 또는 폐쇄하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 열처리 장치가 컴팩트하게 구성되고 도어 개방을 위한 별도의 공간이 요구되지 않아, 열처리 장치가 설치되는 현장에서 열처리 장치의 사용을 위한 면적의 크기를 감소시킬 수 있다.
또한, 도어부가 개방될 경우에도 열처리 장치의 외부로 돌출되지 않도록 구성됨으로써, 도어 개방 시에도 작업자에게 부상을 일으킬 위험을 제거한다.A heat treatment apparatus including a lateral sliding door according to the present invention includes a chamber member constituting an overall appearance of a heat treatment apparatus and a door member formed at one side of the chamber member, A pair of rail members for slidingly guiding the door body portion in the left-right direction from the front of the chamber member, and a pair of guide rails for sliding the door body portion in the left-right direction from the pair of rail members Wherein the front and rear direction transfer cylinder members are configured to open or close the front of the chamber member by the front and rear direction transfer cylinder members, the front and rear direction transfer cylinder members being arranged to slide in the lateral direction along the rail member, .
The present invention makes it possible to reduce the size of the area for use of the heat treatment apparatus in the field where the heat treatment apparatus is installed, since the heat treatment apparatus is compact and a separate space for opening the door is not required.
Further, even when the door is opened, the door is not projected to the outside of the heat treatment apparatus, thereby eliminating the risk of injuring the operator even when the door is opened.

Description

좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS COMPRISING SLIDING DOOR TO DIRECTION OF RIGHT AND LEFT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a heat treatment apparatus including a sliding door,

본 발명은 열처리 장치에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 열처리 장치의 전방에서 도어가 좌우 방향으로 슬라이딩되도록 구성됨으로써, 열처리 장치의 설치 및 작동에 요구되는 공간의 크기를 감소시키고, 작업자의 부상을 방지할 수 있도록 구성되는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치에 관한 발명이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus, and more particularly, to a heat treatment apparatus, which is configured such that a door slides in a lateral direction in front of a heat treatment apparatus, thereby reducing the size of a space required for installation and operation of the heat treatment apparatus, And a left and right sliding door configured to be movable in a vertical direction.

최근 컴퓨터 또는 TV 와 같은 전기전자기기의 급속한 발달 및 보급에 따라 디스플레이 패널 기술 역시 비약적으로 발전하고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, display panel technology has been dramatically developed due to the rapid development and spread of electric and electronic devices such as a computer or a TV.

이러한 디스플레이 패널의 대형화 고해상도화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.In view of the fact that such a display panel is rapidly becoming larger in size and higher in resolution, the role of the manufacturing apparatus is becoming more important.

일반적으로, 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 패널에 패턴을 형성하기 위해 포토레지스터를 도포하고, 상기 포토레지스터 막의 경화를 위해 디스플레이 패널을 가열하게 된다.Generally, in order to manufacture a display panel, a photoresist is applied to form a pattern on a panel, and the display panel is heated to cure the photoresist film.

이때, 디스플레이 패널에 정밀한 패턴을 형성하기 위해서는 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일하게 온도를 상승시키는 작업이 요구된다.At this time, in order to form a precise pattern on the display panel, an operation of raising the temperature uniformly over the entire area of the display panel is required.

만약, 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일한 온도 상승이 이루어지지 않을 경우에는, 패턴에 온도 편차가 발생되거나 디스플레이 패널 자체에 발생되는 열적 불균형으로 인해 패널의 국부적 수축 또는 팽창이 발생되며, 이러한 열적 불균형은 디스플레이 패널에 균일한 패턴을 형성하는 데에 장애가 되는 요인이 된다.If a uniform temperature rise is not achieved over the entire area of the display panel, a temperature deviation occurs in the pattern or a thermal imbalance occurs in the display panel itself, resulting in local shrinkage or expansion of the panel. Is an obstacle to forming a uniform pattern on the display panel.

또한, 디스플레이 패널의 열처리 수율을 향상시키고 열처리 장치 내에 배치되는 전체 디스플레이 패널들을 고루 가열하기 위해서는, 열처리 장치의 도어부를 통해 손실되는 열을 감소시켜 단열 성능을 향상시키도록 구성되는 것이 바람직하다. In addition, in order to improve the heat treatment yield of the display panel and uniformly heat the entire display panels disposed in the heat treatment apparatus, it is preferable that the heat loss performance is improved by reducing heat loss through the door unit of the heat treatment apparatus.

한편, 종래 열처리 장치의 경우, 열처리 장치에 설치되는 도어부가 도어 설치 힌지를 중심으로 열처리 장치 전방으로 회전되어 개폐되도록 구성되는데, 따라서 상기 열처리 장치가 설치되는 현장에서 도어부의 회전 개방을 위한 면적이 확보되어야 한다.Meanwhile, in the case of the conventional heat treatment apparatus, the door installed in the heat treatment apparatus is configured to be opened and closed by being rotated forward of the heat treatment apparatus about the door installation hinge, so that the area for rotating opening of the door unit is secured at the site where the heat treatment apparatus is installed .

또한, 도어부가 개방된 상태로 상기 열처리 장치의 전방으로 돌출되는 경우에는, 현장 근무 인력의 부주의에 의해 부상을 일으킬 수 있는 요인이 된다.Further, in the case where the door is protruded forward of the heat treatment apparatus in an opened state, it may cause injury due to carelessness of the field workforce.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 열처리 장치에 설치되는 도어부가 열처리 장치의 전방에서 좌우 방향으로 슬라이딩되어 개폐될 수 있도록 구성됨으로써, 도어 개방을 위한 별도의 공간이 요구되지 않는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a door for a door opening, which is opened and closed at a front side of a heat- And a sliding door in the left-right direction in which space is not required.

본 발명의 또 다른 목적은, 도어부가 개방될 경우에도 열처리 장치의 외부로 돌출되지 않도록 구성되는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치를 제공하는 것이다.Yet another object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus including a left and right sliding door configured not to protrude out of the heat treatment apparatus even when the door is opened.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는, 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부를 상기 챔버부재의 전방에서 좌 우 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 레일부재와, 상기 도어본체부를 상기 한쌍의 레일부재에서 좌 우 방향으로 슬라이딩시키기 위한 좌우슬라이딩실린더부재와, 상기 레일부재를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩하도록 설치되는 전후방향이송실린더부재를 포함하며, 상기 전후방향이송실린더부재에 의해 상기 도어본체부는 상기 챔버부재의 전방으로 이동되거나 상기 챔버부재의 전방으로부터 멀어지도록 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a heat treatment apparatus including a left and right sliding door including a chamber member forming an overall appearance of a heat treatment apparatus, and a door member formed at one side of the chamber member, A door main body for closing the front of the chamber member; a pair of rail members for guiding the door main body to slide in the left-right direction from the front of the chamber member; And the front and rear direction conveying cylinder members slide in the left and right directions along the rail member, and the door main body portion is moved forward and backward by the front and rear direction conveying cylinder members, Or moved away from the front of the chamber member It characterized.

바람직하게는, 상기 도어본체부의 상부와 하부에는 연결브라켓이 고정되고, 상기 전후방향이송실린더부재는 슬라이딩브라켓 상에 설치되어 상기 연결브라켓을 상기 챔버부재의 전후 방향으로 이송시킴으로써, 상기 도어본체부가 상기 챔버부재의 전방을 개방 또는 폐쇄하도록 구성된다.Preferably, the connecting bracket is fixed to the upper and lower portions of the door main body, and the front and rear direction transfer cylinder members are installed on the sliding brackets to transfer the connecting brackets in the front-rear direction of the chamber member, And is configured to open or close the front of the chamber member.

여기서, 상기 연결브라켓과 슬라이딩브라켓 사이에는 상기 연결브라켓의 전후 방향 안내를 위한 안내축이 설치될 수 있다.A guide shaft may be provided between the connection bracket and the sliding bracket for guiding the connection bracket in the longitudinal direction.

또한, 상기 전후방향이송실린더부재는 상기 도어본체부의 상부와 하부의 양 측부에 각각 설치될 수 있다.The front and rear direction transfer cylinder members may be installed on both side portions of the upper and lower portions of the door main body portion.

바람직하게는, 상기 안내축은 상기 전후방향이송실린더부재의 측부에 각각 설치된다.Preferably, the guide shafts are provided on the side portions of the front and rear direction transfer cylinder members, respectively.

본 발명에 의해, 열처리 장치가 컴팩트하게 구성되고 또한 도어 개방을 위한 별도의 공간이 요구되지 않으므로, 열처리 장치가 설치되는 현장에서 열처리 장치의 사용을 위한 면적의 크기를 감소시킬 수 있다.According to the present invention, the size of the area for use of the heat treatment apparatus can be reduced in the field where the heat treatment apparatus is installed, since the heat treatment apparatus is compact and a separate space for opening the door is not required.

또한, 도어부가 개방될 경우에도 열처리 장치의 외부로 돌출되지 않도록 구성됨으로써, 도어가 개방된 상태에서도 작업자에게 부상을 일으킬 위험을 획기적으로 감소시킬 수 있다.Further, since the door is not protruded to the outside of the heat treatment apparatus even when the door is opened, it is possible to drastically reduce the risk of injuring the operator even in the state where the door is opened.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 열처리 장치에 포함되는 도어부재의 사시도이며,
도 3 은 상기 도어부재의 상부 사시도이며,
도 4 는 상기 도어부재의 상부 배면 사시도이며,
도 5 는 상기 도어부재의 하부 사시도이며,
도 6 은 상기 도어부재의 하부 배면 사시도이며,
도 7 은 상기 도어부재의 상부 측단면도이며,
도 8 은 상기 도어부재의 하부 측단면도이며,
도 9 는 상기 도어부재의 하부 단면 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
1 is a perspective view of a heat treatment apparatus including a left and right sliding door according to the present invention,
2 is a perspective view of a door member included in the heat treatment apparatus,
3 is a top perspective view of the door member,
4 is a top rear perspective view of the door member,
5 is a bottom perspective view of the door member,
6 is a bottom perspective view of the door member,
7 is a cross-sectional view of the upper side of the door member,
Fig. 8 is a bottom cross-sectional view of the door member,
9 is a bottom cross-sectional perspective view of the door member.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

도 1 은 본 발명에 따른 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 열처리 장치에 포함되는 도어부재의 사시도이며, 도 3 은 상기 도어부재의 상부 사시도이며, 도 4 는 상기 도어부재의 상부 배면 사시도이며, 도 5 는 상기 도어부재의 하부 사시도이며, 도 6 은 상기 도어부재의 하부 배면 사시도이며, 도 7 은 상기 도어부재의 상부 측단면도이며, 도 8 은 상기 도어부재의 하부 측단면도이며, 도 9 는 상기 도어부재의 하부 단면 사시도이다.2 is a perspective view of a door member included in the heat treatment apparatus, FIG. 3 is an upper perspective view of the door member, and FIG. 4 is a perspective view of the door member according to the first embodiment of the present invention. 6 is a bottom rear perspective view of the door member, Fig. 7 is an upper side sectional view of the door member, and Fig. 8 is a side elevational view of the door member, And FIG. 9 is a bottom cross-sectional perspective view of the door member.

도 1 내지 9 를 참조하면, 본 발명에 따른 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재(10)와, 상기 챔버부재(10)의 전방에 설치되는 도어부재(20)를 포함하며, 상기 도어부재(20)는, 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부(22)와, 상기 도어본체부(22)를 상기 챔버부재(10)의 전방에서 좌 우 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 레일부재(24, 24-1)와, 상기 도어본체부(22)를 상기 한쌍의 레일부재(24, 24-1)에서 좌 우 방향으로 슬라이딩시키기 위한 좌우슬라이딩실린더부재(26)와, 상기 레일부재(24, 24-1)를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩하도록 설치되는 전후방향이송실린더부재(28, 28-1)를 포함하며, 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1)에 의해 상기 도어본체부(22)는 상기 챔버부재(10)의 전방을 개방 또는 폐쇄하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.1 to 9, a heat treatment apparatus including a left and right sliding door according to the present invention includes a chamber member 10 constituting the entire outer appearance of a heat treatment apparatus, a door member 10 provided in front of the chamber member 10, Wherein the door member includes a door main body portion for closing the front of the chamber member and a door main body portion for guiding the door main body portion from the front to the left of the chamber member, A pair of rail members 24 and 24-1 for slidingly guiding the door main body 22 in the right direction and left and right sliding members 24 and 24-1 for sliding the door main body 22 in the left and right directions from the pair of rail members 24 and 24-1, And includes a cylinder member (26) and forward and backward transport cylinder members (28, 28-1) installed to slide laterally along the rail members (24, 24-1), and the forward and backward transport cylinder members , 28-1), the door main body (22) opens the front of the chamber member (10) Or it is configured to close.

상기 챔버부재(10)는 본 발명에 따른 열처리장치의 외관을 형성하면서 내부에 디스플레이 패널을 수용하여 열처리하기 위한 구성으로서, 전체적으로 육면체 형상으로 형성된다.The chamber member 10 is formed in a hexahedron shape to accommodate the display panel and heat-treat the inside of the chamber while forming the outer appearance of the heat treatment apparatus according to the present invention.

상기 챔버부재(10)는 금속재의 선재와 금속 패널을 이용하여 구성되며, 일측에는 본 발명에 따른 열처리장치의 각종 구성들을 제어하기 위한 제어스위치들이 설치된다.The chamber member 10 is formed of a metal wire and a metal panel. On one side of the chamber member 10, control switches for controlling various components of the heat treatment apparatus according to the present invention are installed.

상기 챔버부재(10)의 전방에는 도어부재(20)가 배치되어, 상기 도어부재(20)를 통해 디스플레이 패널을 상기 챔버부재(10) 내부로 투입 및 배출할 수 있도록 구성된다.A door member 20 is disposed in front of the chamber member 10 so that the display panel can be introduced into and discharged from the chamber member 10 through the door member 20.

상기 챔버부재(10)의 내부에는 울파필터(ULPA Filter)를 포함하여 구성되는 필터부재가 배치된다.A filter member including an ULPA filter is disposed in the chamber member 10.

상기 울파필터는 0.1 내지 0.17 ㎛ 입자에 대해 99.9995 % 이상을 포집할 수 있는 초고성능 필터로서, 주로 클래스 1 내지 100 이하의 클린 룸에 적용되는 필터이다.The ultrafast filter is an ultra high performance filter capable of collecting 99.9995% or more with respect to 0.1 to 0.17 mu m particles, and is mainly applied to a clean room of class 1 to 100 or less.

상기 필터부재로 외부의 공기가 공급되며, 그리하여 상기 챔버부재(10) 내부로 공급되는 공기가 상기 필터부재를 통과하도록 함으로써, 상기 챔버부재(10) 내부는 청정 상태로 유지될 수 있다. External air is supplied to the filter member so that the air supplied into the chamber member 10 passes through the filter member so that the inside of the chamber member 10 can be kept clean.

상기 도어부재(20)는 상기 챔버부재(10)의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부(22)와, 상기 도어본체부(22)를 상기 챔버부재(10)의 전방에서 좌 우 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 레일부재(24, 24-1)와, 상기 도어본체부(22)를 상기 레일부재(24, 24-1)에서 좌 우 방향으로 슬라이딩시키기 위한 좌우슬라이딩실린더부재(26)를 포함한다.The door member 20 includes a door main body portion 22 for closing the front of the chamber member 10 and a sliding guide member 22 for sliding the door main body portion 22 from the front of the chamber member 10 in the left- And a left and right sliding cylinder member 26 for sliding the door body portion 22 in the left and right direction from the rail members 24 and 24-1 do.

상기 도어본체부(22)는 사각형의 판재로 형성되며, 표면은 금속재로 구성되되 내부에 단열재를 포함하여 구성될 수 있다.The door main body 22 is formed of a rectangular plate, and the surface of the door main body 22 is made of a metal material, and may include a heat insulating material.

그리하여, 상기 챔버부재(10) 내부의 열이 상기 도어본체부(22)를 통해 외부로 전달되는 것을 방지하도록 구성된다.Thus, the heat inside the chamber member 10 is prevented from being transmitted to the outside through the door main body portion 22.

상기 도어본체부(22)는 상기 좌우슬라이딩실린더부재(26)의 구동에 의해 상기 레일부재(24, 24-1) 상에서 상기 챔버부재(10)의 좌우 방향으로 이동되도록 구성된다.The door main body 22 is configured to be moved in the left and right direction of the chamber member 10 on the rail members 24 and 24-1 by driving the left and right sliding cylinder members 26. [

여기서, 상기 도어본체부(22)를 안내하기 위한 상기 레일부재(24, 24-1)는 상기 챔버부재(10)의 전방에서 상기 챔버부재(10)의 폭 이하로 설치되며, 따라서 상기 도어본체부(22)가 최대 개방 상태가 되는 경우에도, 상기 도어본체부(22)는 상기 챔버부재(10)의 외부로 돌출되지 않는다.The rail members 24 and 24-1 for guiding the door main body 22 are installed at a distance equal to or less than the width of the chamber member 10 in front of the chamber member 10, The door main body 22 does not protrude out of the chamber member 10 even when the door 22 is fully opened.

따라서, 상기 도어본체부(22)가 개방되는 경우에도, 상기 도어본체부(22)가 상기 챔버부재(10)의 외부로 돌출됨으로 인해 현장 작업자의 부주의로 인한 부상을 초래하는 것을 방지할 수 있다.Therefore, even when the door body 22 is opened, the door body 22 can be prevented from being injured due to carelessness of the worker by protruding out of the chamber member 10 .

또한, 상기 전후방향이송실린더부재(28)에 의해 상기 도어본체부(22)가 상기 챔버부재(10)쪽으로 이동되거나 상기 챔버부재(10)로부터 이격되도록 구성된다.The door main body portion 22 is configured to be moved toward or away from the chamber member 10 by the front and rear direction transfer cylinder members 28. [

상기 레일부재(24, 24-1)에는 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1) 및 안내축(42, 42-1)의 설치를 위한 슬라이딩브라켓(34)이 슬라이딩가능하게 설치된다.Sliding brackets 34 for installing the front and rear direction transfer cylinder members 28 and 28-1 and the guide shafts 42 and 42-1 are slidably installed on the rail members 24 and 24-1.

여기서, 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1)는 상기 도어본체부(22)의 상부와 하부의 양 측부에 각각 설치될 수 있다.The front and rear direction transfer cylinder members 28 and 28-1 may be installed on the upper and lower sides of the door main body 22, respectively.

그리하여, 상기 좌우슬라이딩실린더부재(26)의 구동에 의해 상기 슬라이딩브라켓(34)이 상기 레일부재(24, 24-1)를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩될 수 있다.Thus, the sliding bracket 34 can be slid in the left-right direction along the rail members 24, 24-1 by driving the left and right sliding cylinder members 26. [

한편, 상기 도어본체부(22)의 상부와 하부에는 연결브라켓(32, 32-1)이 설치되며, 상기 연결브라켓(32, 32-1)과 슬라이딩브라켓(34) 사이에는 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1) 및 안내축(42, 42-1)이 설치된다.The upper and lower portions of the door main body 22 are provided with connection brackets 32 and 32-1 and the front and rear directional transfer cylinders 32 and 32-1 are provided between the connection brackets 32 and 32-1 and the sliding bracket 34, Members 28 and 28-1 and guide shafts 42 and 42-1 are provided.

그리하여, 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1)의 구동에 의해 상기 연결브라켓(32, 32-1)이 상기 챔버부재(10)를 향하는 방향 또는 상기 챔버부재(10)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다.The connection brackets 32 and 32-1 are moved in the direction toward the chamber member 10 or in the direction away from the chamber member 10 by the driving of the forward and backward transfer cylinder members 28 and 28-1. Can be moved.

여기서, 상기 챔버부재(10)를 중심으로 한 전후 방향으로 상기 연결브라켓(32, 32-1)을 안내하기 위해 상기 안내축(42, 42-1)이 설치된다.Here, the guide shafts 42 and 42-1 are provided to guide the connection brackets 32 and 32-1 in the front-rear direction about the chamber member 10.

상기 안내축(42, 42-1)은 상기 전후방향이송실린더부재(28, 28-1)의 측부에 각각 설치된다.The guide shafts 42 and 42-1 are provided on the side portions of the front and rear direction transfer cylinder members 28 and 28-1, respectively.

그리하여, 결과적으로 상기 연결브라켓(32, 32-1)에 결합되는 상기 도어본체부(22) 역시 상기 챔버부재(10)를 중심으로 전후 방향으로 이동될 수 있다.
As a result, the door main body 22 coupled to the connection brackets 32, 32-1 can also be moved in the front-rear direction about the chamber member 10.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 챔버부재
20: 도어부재
22: 도어본체부
24, 24-1: 레일부재
26: 좌우슬라이딩실린더부재
28, 28-1: 전후방향이송실린더부재
32, 32-1: 연결브라켓
34, 34-1: 슬라이딩브라켓
42, 42-1: 안내축10: chamber member
20: Door member
22: Door body part
24, 24-1: the rail member
26: right and left sliding cylinder member
28, 28-1: forward / backward transport cylinder member
32, 32-1: connection bracket
34, 34-1: Sliding bracket
42, 42-1: guide shaft

Claims (5)

열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와
상기 챔버부재의 일측에 형성되는 도어부재를 포함하며,
상기 도어부재는,
상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와;
상기 도어본체부를 상기 챔버부재의 전방에서 좌 우 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 레일부재와;
상기 도어본체부를 상기 한쌍의 레일부재에서 좌 우 방향으로 슬라이딩시키기 위한 좌우슬라이딩실린더부재와;
상기 레일부재를 따라 좌우 방향으로 슬라이딩하도록 설치되는 전후방향이송실린더부재를 포함하며,
상기 전후방향이송실린더부재에 의해 상기 도어본체부는 상기 챔버부재 쪽으로 이동되거나 상기 챔버부재로부터 멀어지도록 구성되며,
상기 도어본체부의 상부와 하부에는 연결브라켓이 고정되고,
상기 전후방향이송실린더부재는 슬라이딩브라켓에 설치되어 상기 연결브라켓을 상기 챔버부재의 전후 방향으로 이송시킴으로써, 상기 도어본체부가 상기 챔버부재의 전방을 개방 또는 폐쇄하도록 구성되며,
상기 연결브라켓과 슬라이딩브라켓 사이에는 상기 연결브라켓의 전후 방향 안내를 위한 안내축이 설치되는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치.The chamber member constituting the entire outer surface of the heat treatment apparatus
And a door member formed on one side of the chamber member,
The door member
A door main body for closing the front of the chamber member;
A pair of rail members for slidingly guiding the door main body portion from the front to the left and right of the chamber member;
A left and right sliding cylinder member for sliding the door body portion in the left and right directions from the pair of rail members;
And a front-rear direction transfer cylinder member installed to slide in the lateral direction along the rail member,
The door body portion is configured to be moved toward or away from the chamber member by the forward / backward transfer cylinder member,
A connection bracket is fixed to upper and lower portions of the door main body,
Wherein the front and rear direction transfer cylinder members are installed on a sliding bracket and are configured to open or close the front of the chamber member by transporting the connection bracket in the forward and backward directions of the chamber member,
And a lateral sliding door provided between the connection bracket and the sliding bracket for providing a guide shaft for guiding the connection bracket in the longitudinal direction. 제 1 항에 있어서,
상기 전후방향이송실린더부재는 상기 도어본체부의 상부와 하부의 양 측부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치.The method according to claim 1,
Wherein the front and rear direction transfer cylinder members are installed on upper and lower side portions of the door main body, respectively. 제 2 항에 있어서,
상기 안내축은 상기 전후방향이송실린더부재의 측부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 좌우 방향 슬라이딩 도어를 포함하는 열처리 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the guide shafts are installed on the side portions of the front and rear direction transfer cylinder members. 삭제delete 삭제delete
KR1020140048823A 2014-04-23 2014-04-23 Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left KR101667752B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140048823A KR101667752B1 (en) 2014-04-23 2014-04-23 Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140048823A KR101667752B1 (en) 2014-04-23 2014-04-23 Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150122881A KR20150122881A (en) 2015-11-03
KR101667752B1 true KR101667752B1 (en) 2016-10-21

Family

ID=54599026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140048823A KR101667752B1 (en) 2014-04-23 2014-04-23 Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101667752B1 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980043227U (en) * 1996-12-24 1998-09-25 추호석 Automatic opening and closing of chamber door
KR100997131B1 (en) * 2008-07-18 2010-11-29 (주) 예스티 Apparatus for openning and closing door of chamber
KR101396567B1 (en) * 2012-06-25 2014-05-20 (주) 예스티 Heat treatment apparatus for glass substrate
KR101385698B1 (en) * 2012-08-29 2014-04-18 주식회사 테라세미콘 Heat treatment apparatus and heat treatment system having the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150122881A (en) 2015-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101811633B1 (en) Burn in test chamber comprising independent heat processing space
KR101632729B1 (en) Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left
KR101667752B1 (en) Heat treatment apparatus comprising sliding door to direction of right and left
JP2017523566A5 (en) Ion source temperature controller
CN101520189B (en) Sliding door structure of microwave oven
KR101964578B1 (en) Apparatus for testing semiconductor component
JP2009017628A (en) Shutter device for distribution boards
KR20150031857A (en) Injection mold apparatus
KR102257227B1 (en) Forming Apparatus with Heat Shielding Structure of Chamber Wall
KR101389727B1 (en) Apparatus for dryness using micro wave
KR101676755B1 (en) Heat treatment apparatus comprising vertically movable doors part of improved heat insulation performance
KR20210048258A (en) Oven Apparatus for Heat Treatment of Multi Layer Ceramic Capacitor
KR101663785B1 (en) Heat processing apparatus comprising packing member of improved contact reliability
CN107796184A (en) Material drying box
US11661780B2 (en) Automatized mechanical opening/closing device of oven
CN220670158U (en) Muffle furnace
EP3060188B1 (en) Sauna stove lid structure and a sauna stove equipped with the lid structure
KR100682091B1 (en) Extract door structure of furnace
KR20130076056A (en) Sliding type double windows
CN109210747B (en) Air outlet frame structure and indoor unit with same
KR20150122874A (en) Heat treatment apparatus comprising air volume adjusing member of movable type
JP6769026B2 (en) Ultraviolet irradiation device
CN108240743A (en) A kind of Quick drying box
KR101439322B1 (en) Hot air ventilation apparatus of oven range
JPH0482190A (en) Microwave oven

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191216

Year of fee payment: 4