KR101675857B1 - Automatic control system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템에 관한 것으로, 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템; 상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고; 그리고 상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an unmanned control system capable of selectively interrupting a remote control to prevent a safety accident of an operator entering an unmanned manufacturing equipment for maintenance, comprising a plurality of manufacturing equipments for performing a manufacturing process on a substrate, An automatic transport system including a stocker for temporarily storing a cassette on which a substrate is loaded, and an automatic transport device for transporting the cassette; A local control unit for controlling the automatic transport system at a short distance; And a remote control unit for remotely controlling the local control unit; And the local control unit includes a remote control interrupter for interrupting the control of the remote control unit.

Description

무인 제어 시스템{AUTOMATIC CONTROL SYSTEM}[0001] AUTOMATIC CONTROL SYSTEM [0002]

본 발명은 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an unmanned control system capable of selectively interrupting a remote control to prevent a safety accident of an operator entering an unmanned manufacturing equipment for maintenance.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치(Flat Panel Display)들이 개발되고 있다. 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 있으며, 이들 대부분이 상용화되어 시판되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, various flat panel displays capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs), have been developed. Examples of the flat panel display include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic light emitting diode (OLED) display. Most are commercially available and commercially available.

이러한, 평판 표시장치들은 수많은 제조공정을 거쳐서 제작된다. 통상적으로, 평판 표시장치의 제조공정은 무인화된 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부에는 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비가 구비된다. 이때, 임의의 제조장비에서 공정을 수행한 기판은 카세트에 적재되며, 카세트는 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle)에 의해 다른 제조장비로 이송된다.Such flat panel display devices are manufactured through a number of manufacturing processes. Typically, the manufacturing process of the flat panel display device is performed in an unmanned clean room, and a plurality of manufacturing equipment for performing the manufacturing process on the substrate is provided in the clean room. At this time, the substrate processed in any manufacturing equipment is loaded on a cassette, and the cassette is transferred to another manufacturing equipment by an Automatic Guided Vehicle.

한편, 평상시에 작업자는 클린룸의 무인화로 인해 클린룸 내부에 진입할 필요가 없으며 외부의 통제실에서 클린룸을 제어한다. 하지만, 제조장비의 유지보수가 필요한 경우 작업자는 클린룸 내부로 진입해야 한다. 이와 같이, 클린룸 내부에 작업자가 진입할 경우, 통제실에서 클린룸을 제어하는 작업자는 내부 작업자의 클린룸 진입 여부를 판단할 수가 없어 클린룸 내부 작업자의 안전사고가 발생될 위험이 있다.On the other hand, the operator does not have to enter the clean room due to the unattended clean room, and controls the clean room in the external control room. However, if maintenance of the manufacturing equipment is required, the operator must enter the clean room. Thus, when an operator enters the inside of a clean room, an operator who controls the clean room in the control room can not determine whether the internal worker enters the clean room, and there is a risk of causing a safety accident in the clean room operator.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an unmanned control system capable of selectively blocking remote control to prevent a safety accident of an operator entering an unmanned manufacturing equipment for maintenance.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템은 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템; 상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고; 그리고 상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함한다.In order to achieve the above object, an unmanned control system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of manufacturing equipment for performing a manufacturing process on a substrate, a stocker for temporarily storing a cassette on which the substrate is loaded, An automatic conveying system including an automatic conveying device for conveying an image; A local control unit for controlling the automatic transport system at a short distance; And a remote control unit for remotely controlling the local control unit; And the local control unit includes a remote control interrupting device for interrupting the control of the remote control unit.

상기 다수의 제조장비들 각각은 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 상기 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있는 다수의 단말기들을 포함하는 것을 특징으로 한다.Each of the plurality of manufacturing equipments includes a plurality of terminals capable of selecting a local mode for blocking control of the remote control unit and a remote mode for allowing control of the remote control unit.

상기 다수의 단말기들은 상기 원격제어 차단장치와 연결되어 서로 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 한다.And the plurality of terminals are connected to the remote control interrupter and are independently driven.

상기 로컬 모드로 선택된 단말기를 포함한 제조장비는 상기 로컬 제어부를 통해서만 제어되는 것을 특징으로 한다.And the manufacturing equipment including the terminal selected in the local mode is controlled only through the local control unit.

상기 원격 제어부는 상기 다수의 단말기들에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The remote control unit may further include a display device capable of confirming a mode selected by the plurality of terminals.

본 발명은 원거리 통제실(20)의 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 다수의 단말기(14)와, 다수의 단말기(14)와 연결된 원격제어 차단장치(18)를 포함한다. 이에 따라, 유지보수를 위해 무인 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.The present invention includes a plurality of terminals 14 capable of selectively blocking the remote control of the remote control room 20 and a remote control interception device 18 connected to the plurality of terminals 14. Accordingly, a safety accident of an operator entering the unmanned manufacturing equipment 4 for maintenance can be prevented.

도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템의 구성도이다.1 is a configuration diagram of an unmanned control system according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an unmanned control system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템의 구성도이다.1 is a configuration diagram of an unmanned control system according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 무인 제어 시스템은 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비(4)들, 기판이 적재된 카세트(6)를 임시로 보관하는 스토커(12), 카세트(6)를 반송하는 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle)(8)를 포함하는 자동 반송 시스템; 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함한다.The unmanned control system shown in Fig. 1 includes a plurality of manufacturing equipment 4 for performing a manufacturing process on a substrate, a stocker 12 for temporarily storing a cassette 6 on which a substrate is loaded, An automatic conveying system including an Automatic Guided Vehicle (8); A local control unit for controlling the automatic transport system at a short distance; And a remote control unit for remotely controlling the local control unit.

여기서, 자동 반송 시스템은 무인화된 클린룸(2) 내부에 구성되고, 원격 제어부는 클린룸(2) 외부의 원거리 통제실(20)에 구성된다. 그리고 로컬 제어부는 다수의 제조장비(4)들 각각에 설치된 제어장비(16)에 대응되는 구성이다.Here, the automatic transportation system is configured in the unmanned clean room 2, and the remote control unit is configured in the remote control room 20 outside the clean room 2. [ The local control unit corresponds to the control equipment 16 installed in each of the plurality of manufacturing equipments 4.

한편, 원격 제어부는 로컬 제어부에 구성된 다수의 제어장치들을 원격으로 제어하는 원격 제어장치를 포함한다. 즉, 작업자는 클린룸(2) 내부의 제어장비(16)를 통해 다수의 제조장비(4)들을 직접적으로 제어할 수 있다. 또한, 작업자는 원거리 통제실(20)에서 원격 제어장치를 통해 클린룸(2) 내부의 제어장비(16)를 제어함으로써, 클린룸(2)에 진입하지 않고도 다수의 제조장비(4)들을 간접적으로 제어할 수 있다.Meanwhile, the remote control unit includes a remote control device that remotely controls a plurality of control devices configured in the local control unit. That is, the operator can directly control the plurality of manufacturing equipments 4 through the control equipment 16 inside the clean room 2. The operator controls the control equipment 16 in the clean room 2 through the remote control unit in the remote control room 20 so that a plurality of manufacturing equipment 4 can be indirectly controlled without entering the clean room 2. [ Can be controlled.

본 발명의 실시 예는 클린룸(2) 내부의 작업자를 원거리 통제실(20)의 작업자가 인지하지 못해서 발생할 수 있는 안전사고를 방지하기 위해, 로컬 제어부가 원격제어 차단장치(18)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 원격제어 차단장치(18)는 원격 제어부의 원격제어를 차단하여 원거리 통제실(20)의 작업자가 클린룸(2) 내의 자동 반송 시스템을 제어하지 못하게 한다.The embodiment of the present invention is characterized in that the local control section includes a remote control interrupting device 18 to prevent a safety accident that may occur due to the inability of the operator of the remote control room 20 to recognize an operator inside the clean room 2 . Here, the remote control interrupter 18 interrupts the remote control of the remote control unit so that the operator of the remote control room 20 can not control the automatic transporting system in the clean room 2. [

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 무인 제어 시스템에 대해 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the unmanned control system having the above configuration will be described in more detail.

스토커(12)는 임의의 제조장비(4)에서 제조공정이 수행된 카세트(6)를 다음 제조공정을 수행하는 임의의 제조장비(4)로 이송하기 전에 임시로 보관하는 설비이다. 구체적으로, 평판 표시장치를 구성하는 기판은 카세트(6)에 적재되어 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비(4)들로 이송된다. 그런데, 다수의 제조장비(4)들은 공정의 특성상 처리 시간이 각각 달라서 버퍼링(buffering) 문제가 발생하며, 스토커(12)는 버퍼링 문제를 해소하기 위한 설비이다.The stocker 12 is a facility for temporarily storing the cassette 6 on which the manufacturing process has been performed in any manufacturing equipment 4 before transferring the cassette 6 to any manufacturing equipment 4 performing the next manufacturing process. Specifically, the substrates constituting the flat panel display device are transported to a plurality of manufacturing equipment (4) loaded on the cassette (6) and performing the manufacturing process. However, since a plurality of manufacturing equipments 4 have different processing times due to characteristics of processes, a buffering problem occurs, and the stocker 12 is a facility for eliminating the buffering problem.

자동 반송 장치(8)는 이송라인(10)을 통해 스토커(12)와 다수의 제조장비(4) 사이를 주행하면서 카세트(6)를 이송한다. 이러한, 자동 반송 장치(8)는 카세트(6)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하는 로봇 암, 승-하강이 가능하도록 구성된 승강부, 이송라인(10)을 감지하는 센서부 등을 포함한다.The automatic transport apparatus 8 transports the cassette 6 while traveling between the stocker 12 and the plurality of manufacturing equipment 4 through the transporting line 10. The automatic transfer device 8 includes a robot arm for loading or unloading the cassette 6, a lift portion configured to be able to move up and down, a sensor portion for sensing the transfer line 10, .

이송라인(10)은 자동 반송 장치(8)가 주행경로를 인지하는 수단으로, 스팟 마크(Spot Mark)로 구성된다. 여기서, 스팟 마크는 자동 반송 장치(8)의 센서부와 간단한 통신을 할 수 있도록 마그네틱 재질 등이 이용될 수 있다.The conveying line 10 is a means for recognizing the traveling path of the automatic conveying device 8, and is constituted by a spot mark. Here, the spot mark may be made of a magnetic material or the like so as to enable simple communication with the sensor unit of the automatic transport device 8. [

다수의 제조장비(4)들은 자동 반송 장치(8)를 통해 카세트(6)를 제공받는다. 그리고 다수의 제조장비(4)들은 카세트(6)에 적재된 기판에 공정을 수행한다. 여기서, 다수의 제조장비(4)들은 예를 들어, 세정, 증착, 포토, 식각, 배향, 러빙, 합착, 절단, 검사 장비 중 어느 하나일 수 있으나, 이는 평판 표시장치의 제조라인 구성 및 특성에 따라 달라질 수 있으므로, 상기한 바에 국한되지 않는다.The plurality of manufacturing equipments 4 are supplied with the cassette 6 through the automatic conveying device 8. And a plurality of manufacturing equipments 4 perform processing on the substrate loaded in the cassette 6. [ Here, the plurality of manufacturing equipments 4 may be any one of cleaning, vapor deposition, photo, etching, orientation, rubbing, cementing, cutting and inspection equipment, for example, It is not limited to the above.

이러한, 다수의 제조장비(4)들 각각에는 원격제어 차단장치(18)와 연결된 단말기(14)가 설치된다. 구체적으로 다수의 단말기(14)들은 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있다.Each of the plurality of manufacturing equipments 4 is provided with a terminal 14 connected to the remote control interrupter 18. Specifically, the plurality of terminals 14 can select a local mode for blocking control of the remote control unit and a remote mode for allowing control of the remote control unit.

만약, 단말기(14)가 원격 모드로 설정되면, 해당 단말기(14)가 설치된 제조장비(14)는 로컬 제어부 및 원격 제어부에서 제어할 수 있게 된다. 그리고 단말기(14)가 로컬 모드로 설정되면, 해당 단말기(14)가 설치된 제조장비(14)는 원격 제어부를 통해 제어할 수 없으며, 로컬 제어부를 통해서만 제어할 수 있게 된다.If the terminal 14 is set to the remote mode, the manufacturing equipment 14 in which the terminal 14 is installed can be controlled by the local control unit and the remote control unit. When the terminal 14 is set to the local mode, the manufacturing equipment 14 in which the terminal 14 is installed can not be controlled through the remote controller and can be controlled only through the local controller.

본 발명의 실시 예는 각 제조장비(4)에 설치된 단말기(14) 및 원격제어 차단장치(18)를 통해 임의의 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The embodiment of the present invention can prevent a safety accident of an operator entering an arbitrary manufacturing equipment 4 through the terminal 14 and the remote control interrupter 18 installed in each manufacturing equipment 4. [ This will be described in detail as follows.

전술한 바와 같이, 평상시에 작업자는 클린룸(2)의 무인화로 인해 클린룸(2) 내부에 진입할 필요가 없으며 원거리 통제실(20)에서 자동 반송 시스템을 제어한다. 하지만, 제조장비(4)의 유지보수가 필요한 경우 작업자는 클린룸(2) 내부로 진입해야 한다.As described above, the worker does not need to enter the inside of the clean room 2 due to the unmanned operation of the clean room 2, and controls the automatic transportation system in the remote control room 20 at normal times. However, if the maintenance of the manufacturing equipment (4) is required, the operator must enter the clean room (2).

이때, 임의의 제조장비(4)의 유지보수를 위해 임의의 제조장비(4)에 진입한 작업자는 단말기(14)를 로컬 모드로 설정하고, 제조장비(4)의 유지보수 작업을 수행한다. 단말기(14)가 로컬 모드로 설정된 제조장비(4)는 원격 제어부의 제어가 차단되므로, 원거리 통제실(20)의 작업자가 제어할 수 없게 된다. 따라서, 원거리 통제실(20)의 작업자가 제조장비(4) 내부의 작업자를 인지하지 못해서 발생하는 안전사고를 예방할 수 있게 된다.At this time, the operator entering the arbitrary manufacturing equipment 4 for maintenance of the arbitrary manufacturing equipment 4 sets the terminal 14 to the local mode and performs the maintenance work of the manufacturing equipment 4. [ The manufacturing equipment 4 in which the terminal 14 is set in the local mode can not be controlled by the operator of the remote control room 20 because the control of the remote control unit is cut off. Therefore, it is possible to prevent safety accidents caused by the operator of the remote control room 20 not recognizing the operator inside the manufacturing equipment 4. [

제조장비(4)의 유지보수 작업을 마친 작업자는 단말기(14)를 원격 모드로 설정하고, 제조장비(4)를 빠져 나온다. 그러면, 원거리 통제실(20)의 작업자는 유지보수가 완료된 제조장비(4)를 다시 제어할 수 있게 된다.After the maintenance work of the manufacturing equipment 4 is completed, the operator sets the terminal 14 in the remote mode and exits the manufacturing equipment 4. [ Then, the operator of the remote control room 20 can control the maintenance equipment 4 again.

한편, 유지보수 작업이 필요한 임의의 제조장비(4)를 제외한 나머지 제조장비(4)는 원격 제어부(20)를 통해서 제어할 수 있도록, 각 제조장비(4)에 설치된 다수의 단말기(14)는 서로 독립적으로 구동되는 것이 바람직하다. 그리고 원격 제어부는 다수의 단말기(14)에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치(22)를 추가로 포함한다. 이에 따라, 원거리 통제실(20)의 작업자는 제조장비(4)의 유지보수 여부, 즉 작업자가 제조장비(4) 내부에 존재하는지 여부를 판단할 수 있게 된다.On the other hand, a plurality of terminals 14 installed in each of the manufacturing equipments 4 can be controlled so that the manufacturing equipments 4 except the arbitrary manufacturing equipments 4 requiring maintenance work can be controlled through the remote control unit 20 It is preferable that they are driven independently of each other. The remote control unit further includes a display unit 22 capable of confirming a mode selected by the plurality of terminals. Thus, the operator of the remote control room 20 can determine whether the manufacturing equipment 4 is maintained, that is, whether the worker is present inside the manufacturing equipment 4. [

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예는 원거리 통제실(20)의 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 다수의 단말기(14)와, 다수의 단말기(14)와 연결된 원격제어 차단장치(18)를 포함한다. 이에 따라, 유지보수를 위해 무인 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.As described above, the embodiment of the present invention includes a plurality of terminals 14 capable of selectively blocking the remote control of the remote control room 20 and a remote control interception device 18 connected to the plurality of terminals 14 do. Accordingly, a safety accident of an operator entering the unmanned manufacturing equipment 4 for maintenance can be prevented.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of.

2: 클린룸 4: 제조장비
6: 카세트 8: 자동 반송 장치
10: 이송라인 12: 스토커
14: 단말기 16: 제어장비
18: 원격제어 차단장치 20: 원거리 통제실2: Clean Room 4: Manufacturing Equipment
6: Cassette 8: Automatic conveying device
10: transfer line 12: stocker
14: Terminal 16: Control equipment
18: remote control interrupter 20: remote control room

Claims (5)

기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템;
상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및
상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고,
상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함하며,
상기 다수의 제조장비들 각각은 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 상기 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있는 다수의 단말기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.An automatic transport system including a plurality of manufacturing equipment for performing a manufacturing process on a substrate, a stocker for temporarily storing the cassette on which the substrate is loaded, and an automatic transport device for transporting the cassette;
A local control unit for controlling the automatic transport system at a short distance; And
And a remote controller for remotely controlling the local controller,
Wherein the local control unit includes a remote control interrupting unit for interrupting the control of the remote control unit,
Wherein each of the plurality of manufacturing equipments includes a plurality of terminals capable of selecting a local mode for blocking control of the remote controller and a remote mode for allowing control of the remote controller. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 단말기들은
상기 원격제어 차단장치와 연결되어 서로 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method according to claim 1,
The plurality of terminals
Wherein the control unit is connected to the remote control interrupter and is independently driven. 제 1 항에 있어서,
상기 로컬 모드로 선택된 단말기를 포함한 제조장비는
상기 로컬 제어부를 통해서만 제어되는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method according to claim 1,
The manufacturing equipment including the terminal selected in the local mode
Wherein the control unit is controlled only through the local control unit. 제 1 항에 있어서,
상기 원격 제어부는
상기 다수의 단말기들에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method according to claim 1,
The remote control unit
Further comprising a display device capable of confirming a mode selected by the plurality of terminals.
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