KR20120049513A - Automatic control system - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An automatic control system is provided to prevent a worker from a safety accident by including a remote control blocking device connected to a plurality of terminals which selectively blocks the remote control of a remote control desk. CONSTITUTION: An automatic transport system includes manufacturing equipment, a stoker(12), and an automatic guided vehicle(8). A local control unit controls the auto transport system in a short distance. A remote control unit controls the local control unit in a long distance. The local control unit includes a remote control blocking device(18). The remote control blocking device blocks the control of the remote control unit.

Description

무인 제어 시스템{AUTOMATIC CONTROL SYSTEM}Unmanned Control System {AUTOMATIC CONTROL SYSTEM}

본 발명은 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an unmanned control system that can selectively block the remote control to prevent safety accidents of workers entering the unmanned manufacturing equipment for maintenance.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치(Flat Panel Display)들이 개발되고 있다. 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 있으며, 이들 대부분이 상용화되어 시판되고 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. The flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, an organic light emitting diode display, and the like. Most of them are commercially available.

이러한, 평판 표시장치들은 수많은 제조공정을 거쳐서 제작된다. 통상적으로, 평판 표시장치의 제조공정은 무인화된 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부에는 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비가 구비된다. 이때, 임의의 제조장비에서 공정을 수행한 기판은 카세트에 적재되며, 카세트는 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle)에 의해 다른 제조장비로 이송된다.Such flat panel display devices are manufactured through numerous manufacturing processes. In general, a manufacturing process of a flat panel display device is performed in an unmanned clean room, and a plurality of manufacturing equipment for performing a manufacturing process on a substrate is provided in the clean room. At this time, the substrate that has been processed in any manufacturing equipment is loaded in the cassette, the cassette is transferred to another manufacturing equipment by an automatic guided vehicle (Automatic Guided Vehicle).

한편, 평상시에 작업자는 클린룸의 무인화로 인해 클린룸 내부에 진입할 필요가 없으며 외부의 통제실에서 클린룸을 제어한다. 하지만, 제조장비의 유지보수가 필요한 경우 작업자는 클린룸 내부로 진입해야 한다. 이와 같이, 클린룸 내부에 작업자가 진입할 경우, 통제실에서 클린룸을 제어하는 작업자는 내부 작업자의 클린룸 진입 여부를 판단할 수가 없어 클린룸 내부 작업자의 안전사고가 발생될 위험이 있다.On the other hand, the operator does not need to enter the clean room due to the unmanned clean room, and controls the clean room from the outside control room. However, if maintenance of the manufacturing equipment is required, the operator must enter the clean room. As such, when the worker enters the clean room, the worker who controls the clean room in the control room cannot determine whether the inside worker enters the clean room, and thus there is a risk that a safety accident of the worker inside the clean room occurs.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유지보수를 위해 무인 제조장비에 진입한 작업자의 안전사고를 방지하기 위해 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 무인 제어 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention to provide an unmanned control system that can selectively block the remote control to prevent the safety accident of workers entering the unmanned manufacturing equipment for maintenance.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템은 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템; 상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고; 그리고 상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함한다.In order to achieve the above object, an unmanned control system according to an exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of manufacturing equipments for performing a manufacturing process on a substrate, a stocker for temporarily storing the cassette on which the substrate is loaded, and the cassette. An automatic conveying system including an automatic conveying apparatus; A local controller for controlling the automatic conveying system at a short distance; And a remote controller for remotely controlling the local controller; And the local control unit includes a remote control cutoff device for blocking the control of the remote control.

상기 다수의 제조장비들 각각은 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 상기 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있는 다수의 단말기들을 포함하는 것을 특징으로 한다.Each of the plurality of manufacturing equipments includes a plurality of terminals capable of selecting a local mode that blocks control of the remote control unit and a remote mode that allows control of the remote control unit.

상기 다수의 단말기들은 상기 원격제어 차단장치와 연결되어 서로 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 한다.The plurality of terminals are connected to the remote control cutoff device and are driven independently of each other.

상기 로컬 모드로 선택된 단말기를 포함한 제조장비는 상기 로컬 제어부를 통해서만 제어되는 것을 특징으로 한다.The manufacturing equipment including the terminal selected in the local mode is controlled only through the local controller.

상기 원격 제어부는 상기 다수의 단말기들에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The remote controller may further include a display device for identifying a mode selected from the plurality of terminals.

본 발명은 원거리 통제실(20)의 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 다수의 단말기(14)와, 다수의 단말기(14)와 연결된 원격제어 차단장치(18)를 포함한다. 이에 따라, 유지보수를 위해 무인 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.The present invention includes a plurality of terminals 14 that can selectively block the remote control of the remote control room 20, and a remote control cutoff device 18 connected to the plurality of terminals (14). Accordingly, it is possible to prevent safety accidents of workers entering the unmanned manufacturing equipment (4) for maintenance.

도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템의 구성도이다.1 is a block diagram of an unmanned control system according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the unmanned control system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 무인 제어 시스템의 구성도이다.1 is a block diagram of an unmanned control system according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 무인 제어 시스템은 기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비(4)들, 기판이 적재된 카세트(6)를 임시로 보관하는 스토커(12), 카세트(6)를 반송하는 자동 반송 장치(Automatic Guided Vehicle)(8)를 포함하는 자동 반송 시스템; 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함한다.The unmanned control system shown in FIG. 1 carries a plurality of manufacturing equipment 4 performing a manufacturing process on a substrate, a stocker 12 temporarily storing a cassette 6 on which a substrate is loaded, and a cassette 6 being conveyed. An automatic conveying system including an automatic guided vehicle 8; A local controller for controlling the automatic conveying system at a short distance; And a remote controller for remotely controlling the local controller.

여기서, 자동 반송 시스템은 무인화된 클린룸(2) 내부에 구성되고, 원격 제어부는 클린룸(2) 외부의 원거리 통제실(20)에 구성된다. 그리고 로컬 제어부는 다수의 제조장비(4)들 각각에 설치된 제어장비(16)에 대응되는 구성이다.Here, the automatic conveying system is configured in the unmanned clean room 2, and the remote control unit is configured in the remote control room 20 outside the clean room 2. And the local control is a configuration corresponding to the control equipment 16 installed in each of the plurality of manufacturing equipment (4).

한편, 원격 제어부는 로컬 제어부에 구성된 다수의 제어장치들을 원격으로 제어하는 원격 제어장치를 포함한다. 즉, 작업자는 클린룸(2) 내부의 제어장비(16)를 통해 다수의 제조장비(4)들을 직접적으로 제어할 수 있다. 또한, 작업자는 원거리 통제실(20)에서 원격 제어장치를 통해 클린룸(2) 내부의 제어장비(16)를 제어함으로써, 클린룸(2)에 진입하지 않고도 다수의 제조장비(4)들을 간접적으로 제어할 수 있다.On the other hand, the remote control includes a remote control device for remotely controlling a plurality of control devices configured in the local control. That is, the operator can directly control the plurality of manufacturing equipment 4 through the control equipment 16 inside the clean room 2. In addition, the operator indirectly controls a plurality of manufacturing equipments 4 without entering the clean room 2 by controlling the control equipment 16 inside the clean room 2 through a remote control device in the remote control room 20. Can be controlled.

본 발명의 실시 예는 클린룸(2) 내부의 작업자를 원거리 통제실(20)의 작업자가 인지하지 못해서 발생할 수 있는 안전사고를 방지하기 위해, 로컬 제어부가 원격제어 차단장치(18)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 원격제어 차단장치(18)는 원격 제어부의 원격제어를 차단하여 원거리 통제실(20)의 작업자가 클린룸(2) 내의 자동 반송 시스템을 제어하지 못하게 한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, in order to prevent a safety accident that may occur because an operator in the clean room 2 is not recognized by an operator in the remote control room 20, the local controller includes a remote control shutoff device 18. It features. Here, the remote control cutoff device 18 blocks the remote control of the remote control unit so that the operator of the remote control room 20 cannot control the automatic conveying system in the clean room 2.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 무인 제어 시스템에 대해 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the unmanned control system having the above configuration will be described in more detail.

스토커(12)는 임의의 제조장비(4)에서 제조공정이 수행된 카세트(6)를 다음 제조공정을 수행하는 임의의 제조장비(4)로 이송하기 전에 임시로 보관하는 설비이다. 구체적으로, 평판 표시장치를 구성하는 기판은 카세트(6)에 적재되어 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비(4)들로 이송된다. 그런데, 다수의 제조장비(4)들은 공정의 특성상 처리 시간이 각각 달라서 버퍼링(buffering) 문제가 발생하며, 스토커(12)는 버퍼링 문제를 해소하기 위한 설비이다.The stocker 12 is a facility for temporarily storing a cassette 6 in which a manufacturing process has been performed in an arbitrary manufacturing equipment 4 before transferring it to any manufacturing equipment 4 performing the next manufacturing process. Specifically, the substrate constituting the flat panel display device is loaded on the cassette 6 and transferred to a plurality of manufacturing equipment 4 performing a manufacturing process. By the way, a number of manufacturing equipment (4) due to the nature of the process, the processing time is different, so that the buffering (buffering) problem occurs, the stocker 12 is a facility for solving the buffering problem.

자동 반송 장치(8)는 이송라인(10)을 통해 스토커(12)와 다수의 제조장비(4) 사이를 주행하면서 카세트(6)를 이송한다. 이러한, 자동 반송 장치(8)는 카세트(6)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하는 로봇 암, 승-하강이 가능하도록 구성된 승강부, 이송라인(10)을 감지하는 센서부 등을 포함한다.The automatic transfer device 8 transfers the cassette 6 while traveling between the stocker 12 and the plurality of manufacturing equipment 4 via the transfer line 10. The automatic conveying apparatus 8 includes a robot arm for loading or unloading the cassette 6, a lifting unit configured to be able to lift and lower, a sensor unit for detecting the transfer line 10, and the like. Include.

이송라인(10)은 자동 반송 장치(8)가 주행경로를 인지하는 수단으로, 스팟 마크(Spot Mark)로 구성된다. 여기서, 스팟 마크는 자동 반송 장치(8)의 센서부와 간단한 통신을 할 수 있도록 마그네틱 재질 등이 이용될 수 있다.The conveying line 10 is a means by which the automatic conveying apparatus 8 recognizes a driving route, and is composed of a spot mark. Here, a magnetic material or the like may be used as the spot mark so that simple communication with the sensor unit of the automatic conveying apparatus 8 may be performed.

다수의 제조장비(4)들은 자동 반송 장치(8)를 통해 카세트(6)를 제공받는다. 그리고 다수의 제조장비(4)들은 카세트(6)에 적재된 기판에 공정을 수행한다. 여기서, 다수의 제조장비(4)들은 예를 들어, 세정, 증착, 포토, 식각, 배향, 러빙, 합착, 절단, 검사 장비 중 어느 하나일 수 있으나, 이는 평판 표시장치의 제조라인 구성 및 특성에 따라 달라질 수 있으므로, 상기한 바에 국한되지 않는다.Many manufacturing equipment 4 are provided with a cassette 6 via an automatic conveying device 8. And a number of manufacturing equipment (4) performs a process on the substrate loaded on the cassette (6). Here, the plurality of manufacturing equipment 4 may be any one of, for example, cleaning, deposition, photo, etching, orientation, rubbing, bonding, cutting, and inspection equipment. As it may vary, it is not limited to the above.

이러한, 다수의 제조장비(4)들 각각에는 원격제어 차단장치(18)와 연결된 단말기(14)가 설치된다. 구체적으로 다수의 단말기(14)들은 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있다.Each of the plurality of manufacturing equipment 4 is provided with a terminal 14 connected to the remote control cutoff device 18. In more detail, the plurality of terminals 14 may select a local mode that blocks control of the remote control unit and a remote mode that allows control of the remote control unit.

만약, 단말기(14)가 원격 모드로 설정되면, 해당 단말기(14)가 설치된 제조장비(14)는 로컬 제어부 및 원격 제어부에서 제어할 수 있게 된다. 그리고 단말기(14)가 로컬 모드로 설정되면, 해당 단말기(14)가 설치된 제조장비(14)는 원격 제어부를 통해 제어할 수 없으며, 로컬 제어부를 통해서만 제어할 수 있게 된다.If the terminal 14 is set to the remote mode, the manufacturing equipment 14 on which the terminal 14 is installed can be controlled by the local control unit and the remote control unit. When the terminal 14 is set to the local mode, the manufacturing equipment 14 in which the terminal 14 is installed cannot be controlled through the remote control unit, but only through the local control unit.

본 발명의 실시 예는 각 제조장비(4)에 설치된 단말기(14) 및 원격제어 차단장치(18)를 통해 임의의 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The embodiment of the present invention can prevent the safety accident of the worker entering the arbitrary manufacturing equipment (4) through the terminal 14 and the remote control cutoff device 18 installed in each manufacturing equipment (4). This will be described in detail as follows.

전술한 바와 같이, 평상시에 작업자는 클린룸(2)의 무인화로 인해 클린룸(2) 내부에 진입할 필요가 없으며 원거리 통제실(20)에서 자동 반송 시스템을 제어한다. 하지만, 제조장비(4)의 유지보수가 필요한 경우 작업자는 클린룸(2) 내부로 진입해야 한다.As described above, the worker normally does not need to enter the clean room 2 due to the unattended clean room 2 and controls the automatic conveying system in the remote control room 20. However, if maintenance of the manufacturing equipment (4) is necessary, the operator must enter the clean room (2).

이때, 임의의 제조장비(4)의 유지보수를 위해 임의의 제조장비(4)에 진입한 작업자는 단말기(14)를 로컬 모드로 설정하고, 제조장비(4)의 유지보수 작업을 수행한다. 단말기(14)가 로컬 모드로 설정된 제조장비(4)는 원격 제어부의 제어가 차단되므로, 원거리 통제실(20)의 작업자가 제어할 수 없게 된다. 따라서, 원거리 통제실(20)의 작업자가 제조장비(4) 내부의 작업자를 인지하지 못해서 발생하는 안전사고를 예방할 수 있게 된다.At this time, the operator enters any manufacturing equipment 4 for maintenance of any manufacturing equipment 4 sets the terminal 14 to the local mode, and performs the maintenance work of the manufacturing equipment (4). The manufacturing equipment 4 in which the terminal 14 is set to the local mode is blocked from being controlled by the remote control unit, and thus cannot be controlled by the operator of the remote control room 20. Therefore, it is possible to prevent a safety accident caused by the operator of the remote control room 20 does not recognize the worker inside the manufacturing equipment (4).

제조장비(4)의 유지보수 작업을 마친 작업자는 단말기(14)를 원격 모드로 설정하고, 제조장비(4)를 빠져 나온다. 그러면, 원거리 통제실(20)의 작업자는 유지보수가 완료된 제조장비(4)를 다시 제어할 수 있게 된다.After the maintenance work of the manufacturing equipment 4, the operator sets the terminal 14 to the remote mode, and exits the manufacturing equipment (4). Then, the operator of the remote control room 20 can again control the manufacturing equipment 4, the maintenance is completed.

한편, 유지보수 작업이 필요한 임의의 제조장비(4)를 제외한 나머지 제조장비(4)는 원격 제어부(20)를 통해서 제어할 수 있도록, 각 제조장비(4)에 설치된 다수의 단말기(14)는 서로 독립적으로 구동되는 것이 바람직하다. 그리고 원격 제어부는 다수의 단말기(14)에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치(22)를 추가로 포함한다. 이에 따라, 원거리 통제실(20)의 작업자는 제조장비(4)의 유지보수 여부, 즉 작업자가 제조장비(4) 내부에 존재하는지 여부를 판단할 수 있게 된다.On the other hand, except for any manufacturing equipment (4) that requires maintenance work, the remaining manufacturing equipment (4) can be controlled through the remote control unit 20, a plurality of terminals 14 installed in each manufacturing equipment (4) It is preferred to be driven independently of each other. In addition, the remote controller further includes a display device 22 capable of confirming a mode selected by the plurality of terminals 14. Accordingly, the operator of the remote control room 20 can determine whether the maintenance of the manufacturing equipment 4, that is, whether the operator is present in the manufacturing equipment (4).

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예는 원거리 통제실(20)의 원격제어를 선택적으로 차단할 수 있는 다수의 단말기(14)와, 다수의 단말기(14)와 연결된 원격제어 차단장치(18)를 포함한다. 이에 따라, 유지보수를 위해 무인 제조장비(4)에 진입한 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.As described above, an embodiment of the present invention includes a plurality of terminals 14 capable of selectively blocking remote control of the remote control room 20, and a remote control cutoff device 18 connected to the plurality of terminals 14. do. Accordingly, it is possible to prevent safety accidents of workers entering the unmanned manufacturing equipment (4) for maintenance.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

2: 클린룸 4: 제조장비
6: 카세트 8: 자동 반송 장치
10: 이송라인 12: 스토커
14: 단말기 16: 제어장비
18: 원격제어 차단장치 20: 원거리 통제실2: clean room 4: manufacturing equipment
6: cassette 8: automatic conveying device
10: transfer line 12: stocker
14: terminal 16: control equipment
18: Remote control breaker 20: Remote control room

Claims (5)

기판에 제조공정을 수행하는 다수의 제조장비들, 상기 기판이 적재된 카세트를 임시로 보관하는 스토커, 및 상기 카세트를 반송하는 자동 반송 장치를 포함하는 자동 반송 시스템;
상기 자동 반송 시스템을 근거리에서 제어하는 로컬 제어부; 및
상기 로컬 제어부를 원거리에서 제어하는 원격 제어부를 포함하고; 그리고
상기 로컬 제어부는 상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 원격제어 차단장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.An automatic conveying system including a plurality of manufacturing equipment for performing a manufacturing process on a substrate, a stocker for temporarily storing a cassette on which the substrate is loaded, and an automatic conveying apparatus for conveying the cassette;
A local controller for controlling the automatic conveying system at a short distance; And
A remote control for remotely controlling the local control; And
The local controller includes a remote control cutoff device for blocking the control of the remote control. 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 제조장비들 각각은
상기 원격 제어부의 제어를 차단하는 로컬 모드와, 상기 원격 제어부의 제어를 허용하는 원격 모드를 선택할 수 있는 다수의 단말기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method of claim 1,
Each of the plurality of manufacturing equipment
And a plurality of terminals capable of selecting a local mode for blocking control of the remote control unit and a remote mode for allowing control of the remote control unit. 제 2 항에 있어서,
상기 다수의 단말기들은
상기 원격제어 차단장치와 연결되어 서로 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method of claim 2,
The plurality of terminals
Unmanned control system, characterized in that connected to the remote control cutoff device is driven independently of each other. 제 2 항에 있어서,
상기 로컬 모드로 선택된 단말기를 포함한 제조장비는
상기 로컬 제어부를 통해서만 제어되는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method of claim 2,
The manufacturing equipment including the terminal selected in the local mode
Uncontrolled control system, characterized in that only controlled through the local control. 제 2 항에 있어서,
상기 원격 제어부는
상기 다수의 단말기들에서 선택된 모드를 확인할 수 있는 표시장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 무인 제어 시스템.The method of claim 2,
The remote control
And a display device for identifying a selected mode in the plurality of terminals.
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