KR101646985B1

KR101646985B1 - 결함 판정 검증 시스템 및 방법

Info

Publication number: KR101646985B1
Application number: KR1020110015596A
Authority: KR
Inventors: 송경수
Original assignee: 한화테크윈 주식회사
Priority date: 2011-02-22
Filing date: 2011-02-22
Publication date: 2016-08-10
Also published as: KR20120096281A

Abstract

검증 작업자의 단순 반복 결함 판정 검증 작업을 방지할 수 있는 결함 판정 검증 시스템 및 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 결함 판정 검증 시스템은 품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하는 결함 검사 장치 및 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 하는 검증 장치를 포함한다. 이때, 상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도인 것이 바람직하다.

Description

결함 판정 검증 시스템 및 방법{Fault inspection verifying system and method}

본 발명은 결함 판정 검증 시스템 및 방법에 관한 것이다. 더욱 자세하게는 생산 공정 중, 결함 판정 장치에 의하여 결함 판정 된 불량품들이 정말 결함을 가지고 있는 지 검증(verifying)하는 공정에서 작업자가 검증 작업을 수행하는 데 도움을 주거나, 무인 검증을 수행하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.

생산 공정 상, 생산된 물품은 결함 판정 장치에 의하여 결함을 가지고 있는지에 대한 검사를 거치게 되며, 결함을 가지고 있는 것으로 판단된 물품은 정말 결함을 가지고 있는지에 대하여 작업자에 의해 다시 한번 검증을 거치게 된다. 즉, 결함 판정 장치에 의한 불량품 검출에는 오류가 존재할 수 있으므로, 사람에 의한 판단 과정이 필요하다.

도 1에 결함 판정 장치(10)에 의하여 불량품으로 판정된 생산품을 검증 작업자(11)가 양품화 혹은 불량화 처리하는 과정이 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 결함 판정 장치는 결함 판정 로직에 의하여 생산품을 양품(13) 및 불량품(12)으로 분류한다. 한편, 불량품에 대하여는 도 1에 도시된 바와 같이, 검증 작업자가 육안으로 관찰한 결과에 의하여 불량 판정에 오류가 있는 것으로 판단된 경우, 불량화 처리 또는 양품화 처리를 하는 과정을 거친다. 상기 양품화 처리는 결함 판정이 잘못된 것이므로 다시 정상 물품으로 옮기는 것이다.

그런데, 결함 판정 장치는 품질을 검사하는 로직에 의하여 불량 판정을 수행하므로, 불량 판정 오류는 반복해서 발생하게 된다. 예를 들어, 특정 부위에 단선이 발생한 것으로 판정하여 불량 판정이 되었으나, 실제로는 불량이 아니라고 할 때, 검증 작업자는 해당 사유로 불량 판정되는 생산품에 대하여 양품화 처리하는 동작을 반복하여야 할 것이다. 이러한 문제점은, 검증 작업자의 스트레스를 일으킬 가능성이 있고, 이로 인하여 생산성도 떨어지게 된다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 중복되는 불량 판정 오류에 대하여 일률적으로 불량화 또는 양품화 처리를 수행할 수 있도록 하여 검증 작업자의 업무 부담을 덜어줄 수 있도록 하는 결함 판정 검증 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 불량 판정된 결함을 불량 판정 이유의 유사도에 따라 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하고, 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹으로 선택된 결함 그룹에 속한 모든 불량품에 대하여 양품화 처리를 수행하고, 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹으로 선택되지 않은 결함 그룹에 대하여는 불량화 처리를 확정하는 결함 판정 검증 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 검증 작업자에 의한 판정 오류 결정이 발생하면 판정 오류로 결정된 불량 판정된 결함이 결함 그룹의 특성에 대한 데이터를 저장하여 판정 오류 이력 데이터를 생성하고, 상기 판정 오류 이력 데이터를 참조하여 불량 판정의 기준이 되는 품질 검사 로직을 업데이트 함으로써, 품질 검사 시 동일한 판정 오류를 반복하지 않도록 하는 결함 판정 검증 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 판정 오류 이력이 일정 기준 이상으로 축적된 경우, 결함 그룹과 상기 판정 오류 이력에 대한 데이터를 비교하여 결함 판정에 대한 무인 검증을 수행하는 결함 판정 검증 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해 될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 결함 판정 검증 시스템은 품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하는 결함 검사 장치 및 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 하는 검증 장치를 포함한다. 이때, 상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도인 것이 바람직하다. 이하, 본 명세서에서 '결함'은 품질 검사 로직에 기반한 검사 항목에 따른 검사의 결과가 비정상인 경우 내려지는 불량 판정을 의미하는 것으로 한다.

상기 결함 판정 검증 시스템은 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 게시하는 디스플레이 장치를 더 포함할 수 있다. 검증 작업자는 상기 디스플레이 장치에 게시되는 각 결함 그룹의 결함 특성에 대한 정보를 참조하여 판정 오류 여부를 쉽게 검증할 수 있다.

상기 검증 장치는 상기 판정 오류 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 포함하는 판정 오류 이력 데이터를 관리할 수 있다. 상기 판정 오류 이력 데이터는 상기 품질 검사 로직의 업데이트에 반영될 수 있다.

상기 결함 판정 검증 시스템은 상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성을 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 검증 하고, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소하는 무인검증 장치를 더 포함할 수 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 태양에 따른 결함 판정 검증 방법은 품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하는 단계 및 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도인 것이 바람직하다.

상기 결함 판정 검증 방법은 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 게시하는 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 결함 판정 검증 방법은 상기 판정 오류 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 포함하는 판정 오류 이력 데이터를 관리하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 판정 오류 이력 데이터를 관리하는 것은 상기 판정 오류 이력 데이터에 판정 오류 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 추가하거나, 수정하거나, 삭제하는 동작을 의미할 수 있다.

또한, 상기 판정 오류 이력 데이터는 상기 품질 검사 로직의 업데이트에 반영될 수 있다.

또한, 상기 결함 판정 검증 방법은 상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹의 공통 결함 특성을 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 검증 하고, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 검증 작업자가 동일한 유형의 불량 판정 오류로 인한 각 결함 별 불량화 또는 양품화 처리의 단순 작업을 반복해야 하는 것을 막을 수 있는 효과가 있다.

또한, 검증 작업자가 판정 오류 그룹으로 판정한 결함 그룹에 대한 특성 데이터를 축적하여 이를 바탕으로 무인 불량 판정 검증을 수행할 수 있는 효과가 있다.

또한, 검증 작업자가 판정 오류 그룹으로 판정한 결함 그룹에 대한 특성 데이터를 축적하여 이를 바탕으로 불량 판정 장치의 품질 검사 로직을 업데이트함으로써, 불량 판정의 정확성을 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 불량 판정 검증 작업을 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 판정 검증 시스템의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 판정 검증 시스템의 무인 검증 동작을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 판정 검증 방법의 제1 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 판정 검증 방법의 제2 순서도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 불량 판정 검증 방법의 제3 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 판정 검증 시스템의 구성 및 동작에 대하여 설명하기로 한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 결함 판정 검증 시스템은 결함 검사 장치(200) 및 검증 장치(202)를 포함한다.

결함 검사 장치(200)는 품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화한다. 상기 품질 검사 로직은 각 검사 항목에 대한 불량 판정 조건에 대한 정보를 포함할 수 있으며, 각 검사 항목의 검사 순서에 대한 데이터를 더 포함할 수 있다. 상기 품질 검사 로직은 결함 검사 장치(200) 내에 포함된 적어도 하나의 저장 수단에 저장된 것일 수 있으며, 결함 검사 장치(200)에 구비된 프로세서에 로드 되어 실행 될 수 있는 소프트웨어 루틴일 수 있다.

결함 검사 장치(200)는 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도를 상기 그룹화 기준으로 사용할 수 있다. 즉, 결함 검사 장치(200)는 불량 판정의 원인이 된 검사 항목을 기준으로 결함을 그룹화하거나, 검사 결과의 유사도를 기준으로 결함을 그룹화하거나, 상기 검사 항목 및 검사 결과의 유사도를 기준으로 결함을 그룹화할 수 있다. 상기 그룹화 기준은 미리 정해져 있는 것이 바람직하다. 한편, 상기 검사 항목은 생산품의 기능에 대한 것일 수도 있고, 비기능적인 것에 대한 것일 수도 있다.

예를 들어, 단선 여부에 대한 검사 항목이 상기 불량 판정의 원인이 된 검사 항목인 경우, 상기 검사 결과는 기판 상의 단선 위치일 수 있고, 결함 검사 장치(200)는 단선 위치가 유사한 결함들을 하나의 결함 그룹으로 그룹화할 수 있다.

도 2에는 결함 검사 장치(200)가 양품(13)을 제외한 각각의 불량품을, 기판의 중앙부가 단선된 결함 A를 가지고 있는 불량품 그룹 A(12a) 및 기판의 오른쪽 끝단이 단선된 결함 B를 가지고 있는 그룹 B(12b)로 그룹화 한 것이 도시되어 있다. 이러한 경우, 결함 검사 장치(200)는 상기 결함 A의 공통 결함 특성 및 상기 결함 B의 공통 결함 특성에 대한 정보를 검증 장치(202)에 제공할 수 있다. 즉, 결함 검사 장치(200)는 그룹 A의 단선 위치 및 그룹 B의 단선 위치에 대한 정보를 검증 장치(202)에 제공할 수 있다.

상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과와 관련된 불량 위치일 수 있다. 즉, 결함 검사 장치(200)는 불량 판정 된 생산품에 존재하는 각 결함을 검사 결과와 관련된 불량 위치의 유사도를 기준으로 그룹화 할 수 있다.

검증 장치(202)는 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소한다. 상기 판정 오류 그룹의 선택은 검증 작업자(11)의 검증 장치(202) 조작을 의미하는 것일 수 있다. 예를 들어, 검증 작업자(11)가 검증 장치(202)에 판정 오류 그룹으로 판단되는 결함 그룹의 식별 정보를 입력할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 결함 A만을 가지고 있는 불량품 그룹 A(12a)에 속한 모든 생산품에 대하여는 불량 판정을 확정하고, 결함 B만을 가지고 있는 불량품 그룹 B(12b)에 속한 모든 생산품에 대하여는 양품화 처리할 수 있다. 다만, 불량품 그룹 B(12b)가 결함 B 이외에 다른 결함도 가지고 있다면 불량품 그룹 B(12b)에 속한 모든 생산품을 양품화 처리하면 안될 것이다. 즉, 검증 장치(202)는 상기 불량 판정 취소의 결과로 결함을 가지지 않게 된 생산품을 양품화 처리하는 것이 바람직하다.

검증 장치(202)는 검증 작업자(11)가 판정 오류 그룹으로 판정한 각각의 결함 그룹의 공통 결함 특성에 대한 정보를 포함하는 판정 오류 이력 데이터를 관리할 수 있다. 상기 판정 오류 이력 데이터는 검증 장치(202) 내에 구비되거나 검증 장치(202)와 연결되어 외부에 구비된 저장 수단(미도시)에 저장될 수 있다. 상기 저장 수단은 캐쉬(Cache), 롬(Read Only Memory; ROM), 피롬(Programable ROM; PROM), 이피롬(Erasable Programmable ROM; EPROM), 이이피롬(Electrically Erasable Programmable ROM; EEPROM) 및 플래쉬 메모리(Flash memory)와 같은 비휘발성 메모리 소자, 램(Random Access Memory; RAM)과 같은 휘발성 메모리 소자, 및 하드디스크 드라이브(Hard disk drive)와 같은 저장매체 중 적어도 하나로 구현될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 결함 검사 장치가 X 영역 내의 단선이 발견된 결함 그룹 C 및 Y 영역 내의 단선이 발견된 결함 그룹 D로 결함을 그룹화 하였고, 검증 작업자(11)가 결함 그룹 C에 대하여는 불량이 맞지만, 결함 그룹 D에 대하여는 불량 판정이 오류인 것으로 결정한 경우, 이러한 내력이 상기 판정 오류 이력 데이터에 포함될 수 있다.

결함 판정 장치(200)는 검증 장치(202)로부터 상기 판정 오류 이력 데이터를 제공 받아, 상기 판정 오류 이력 데이터를 기초로 상기 품질 검사 로직을 업데이트할 수 있다. 예를 들어, 상기 결함 그룹 D에 대한 결함 판정 오류 결정이 일정 횟수 이상 있었던 경우, 상기 결함 그룹 D의 특성, 즉 Y 영역 내의 단선에 대하여는 불량이 아닌 것으로 상기 품질 검사 로직을 업데이트 할 수 있다.

결함 판정 장치(200)는 상기 업데이트를 일정 주기로 수행하거나, 검증 작업자(11)에 의한 판정 오류 결정이 있는 경우 실시간으로 수행할 수 있으며, 관리자의 명령이 있는 경우에 한하여, 결함 판정 동작을 일시 정지하고 상기 업데이트를 수행할 수도 있다.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 결함 판정 검증 시스템은 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 게시하는 디스플레이 장치(204)를 더 포함할 수 있다. 검증 작업자(11)는 디스플레이 장치(204)를 통하여 결함 판정 장치(200)에 의하여 그룹화 된 각각의 결함 그룹이 어떠한 기준으로 분류되었는지 명확하게 판단할 수 있으므로, 판정 오류 여부를 간명하게 할 수 있는 효과가 있다. 디스플레이 장치(204)는 예를 들어, 터치 스크린 패널로 구성된 것일 수 있다. 이 경우, 디스플레이 장치에 각 결함 그룹의 특징이 게시되면 검증 작업자(11)가 이중 판정 오류 그룹으로 판단되는 결함 그룹 노드에 터치하는 것 만으로 해당 그룹에 속한 모든 결함이 일괄적으로 불량 판정 취소되는 효과가 있다.

검증 작업자(11)의 작업에 의하여 상기 판정 오류 이력 데이터가 일정 횟수 이상 축적되는 경우, 본 실시예에 따른 결함 판정 검증 시스템은 무인 검증을 지원할 수 있다. 상기 무인 검증 관련 동작을 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 결함 판정 검증 시스템은 상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹 특성 정보를 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 검증 하고, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함의 결함 판정을 취소하는 무인검증 장치(206)를 더 포함할 수 있다.

검증 작업이 어느 정도 이뤄지게 되면, 검증 작업자(11)의 판정 오류 결정 작업 역시 반복되게 된다. 이 경우, 무인검증 장치(206)는 결함 판정 장치(200)로부터 각 결함 그룹에 대한 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 제공 받고, 각각의 결함 그룹 중 과거에 판정 오류가 내려진 바 있는 케이스와 유사한 특징을 가지고 있는 결함 그룹이 존재하는지 비교함으로써, 검증 작업자(11) 없이 무인 검증을 수행할 수 있다. 이 경우, 단순한 작업의 반복이 기계에 의하여 저렴하고 정확히 이뤄질 수 있는 효과가 있다.

상기 기재된 바와 같이, 본 실시예에 따른 결함 판정 검증 시스템은 불량 판정된 생산품에 존재하는 하나 이상의 결함을 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화함으로써 검증 작업자가 동일한 이유로 다수의 결함 판정을 취소하여야 하는 단순 작업을 반복하여 수행하여야 하는 문제점을 해결할 수 있으며, 검증 작업자가 판정 오류 그룹으로 판정한 결함 그룹에 대한 공통 결함 특성에 대한 데이터를 축적하여 이를 바탕으로 무인 불량 판정 검증을 수행할 수도 있는 효과가 있다. 또한, 검증 작업자가 판정 오류 그룹으로 판정한 결함 그룹에 대한 공통 결함 특성에 대한 데이터를 축적하여 이를 바탕으로 불량 판정 장치의 품질 검사 로직을 업데이트함으로써, 불량 판정의 정확성을 더 향상할 수 있는 효과가 있다.

지금까지 도 2 내지 도 3의 각 구성요소는 소프트웨어(software) 또는, FPGA(field-programmable gate array)나 ASIC(application-specific integrated circuit)과 같은 하드웨어(hardware)를 의미할 수 있다. 그렇지만 상기 구성요소들은 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니며, 어드레싱(addressing)할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 실행시키도록 구성될 수도 있다. 상기 구성요소들 안에서 제공되는 기능은 더 세분화된 구성요소에 의하여 구현될 수 있으며, 복수의 구성요소들을 합하여 특정한 기능을 수행하는 하나의 구성요소로 구현할 수도 있다.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함 판정 검증 방법에 대하여 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.

도 4에는 본 실시예에 따른 결함 판정 검증 방법의 순서도가 도시되어 있다. 먼저, 품질 검사 로직에 기반한 불량 판정이 이뤄지면(S400), 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도인 그룹화 기준에 따라 불량 판정된 생산품들에 존재하는 하나 이상의 결함이 하나 이상의 불량품 그룹으로 그룹화 된다(S402). 예를 들어, 상기 불량 판정된 생산품은 불량 위치의 유사도를 기준으로 그룹화될 수 있다.

다음으로, 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보가 게시 될 수 있다(S404).

다음으로, 상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고(S406), 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함의 불량 판정을 취소한다(S408).

다음으로, 판정 오류 이력에 대한 데이터를 바탕으로 품질 검사 로직을 업데이트하여 불량 판정의 정확도를 높이기 위한 동작에 대하여 도 5를 참조하여 설명하기로 한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 단계 S400 내지 S408은 도 4에 도시된 것과 동일하게 수행된다. 도 5에 도시된 결함 판정 검증 방법은 판정 오류로 지적한 결함 그룹에 대한 정보를 재활용하여 품질 검사 로직을 업데이트 한다.

보다 자세하게는, 판정 오류 결함 그룹을 일괄하여 결함 판정 취소한 후(S408), 판정 오류 이력 데이터에 당해 판정 오류와 관련된 데이터를 추가한다(S410).

다음으로 품질 검사 로직을 업데이트할 것인지에 대한 판정이 이뤄진다(S412). 판정(S412)은 공정 관리자의 결정에 의하여 이뤄지거나, 상기 판정 오류 이력 데이터가 업데이트 기준에 부합하는 경우 자동으로 이뤄질 수 있다. 상기 업데이트 기준은, 예를 들어, 동일한 케이스의 판정 오류 결정 건 수가 기 지정된 횟수를 초과하는 지 여부일 수 있다.

판정(S412) 결과, 품질 검사 로직을 업데이트하는 것으로 결정되는 경우, 판정 오류 이력 데이터를 바탕으로 품질 검사 로직을 업데이트 한다(S414). 예를 들어, 상기 판정 오류 이력 데이터에 영역 Z에 단선이 존재하는 결함에 대한 불량 취소 판정이 기준치 이상 존재하는 경우, 상기 영역 Z에 단선이 존재하는 경우에는 불량 판정을 하지 않도록 상기 품질 검사 로직을 업데이트할 수 있다.

본 실시예에 따른 불량 판정 검증 방법은 축적된 판정 오류 이력 데이터가 존재하는 것을 전제로 무인 검증을 수행할 수 있다. 이에 대하여 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.

도 6에 도시된 바와 같이, 먼저 판정 오류 이력 데이터 축적(S600)이 이뤄진다. 판정 오류 이력 데이터의 축적(S600)은 도 5에 도시된 S400 내지 S410 단계를 의미하는 것일 수 있다.

다음으로, 새로운 불량 판정(S400)이 이뤄지고 결함이 그룹화 되는 경우(S402), 상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹의 공통 결함 특성에 대한 데이터를 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 무인 검증한다(S602).

다음으로, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 한다(S604).

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

결함 판정 장치 200
검증 장치 202

Claims

품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하는 결함 검사 장치; 및
상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 하는 검증 장치를 포함하되,
상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도이고,
상기 검증 장치는 상기 판정 오류 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 포함하는 판정 오류 이력 데이터를 관리하고,
상기 결함 검사 장치는 상기 판정 오류 이력 데이터를 기초로 상기 품질 검사 로직을 업데이트하는 결함 판정 검증 시스템.
제1 항에 있어서,
상기 검사 결과는 불량 위치를 포함하는 결함 판정 검증 시스템.
제2 항에 있어서,
상기 결함 검사 장치는,
상기 불량 판정된 결함을 불량 위치의 유사도를 기준으로 그룹화하는 결함 판정 검증 시스템.
제1 항에 있어서,
상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 게시하는 디스플레이 장치를 더 포함하는 결함 판정 검증 시스템.
삭제
삭제
제1 항에 있어서,
상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성을 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 검증 하고, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소하는 무인검증 장치를 더 포함하는 결함 판정 검증 시스템.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제1 항에 있어서,
상기 검증 장치는,
상기 불량 판정 취소의 결과로 결함을 가지지 않게 된 생산품을 양품화 처리하는 결함 판정 검증 시스템.
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

품질 검사 로직에 기반하여 불량 판정된 결함을, 그룹화 기준에 따라, 공통 결함 특성을 가지는 하나 이상의 결함 그룹으로 그룹화하는 단계;
상기 결함 그룹 중 판정 오류 그룹을 선택 받고, 상기 판정 오류 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소 하는 단계;
상기 판정 오류 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 포함하는 판정 오류 이력 데이터를 관리하는 단계; 및
상기 판정 오류 이력 데이터를 기초로 상기 품질 검사 로직을 업데이트 하는 단계를 포함하되,
상기 그룹화 기준은 불량 판정의 원인이 된 검사 항목 및 그 검사 결과 중 적어도 하나의 유사도인 결함 판정 검증 방법.
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제9 항에 있어서,
상기 그룹화하는 단계는,
상기 불량 판정된 결함을 불량 위치의 유사도를 기준으로 그룹화하는 단계를 포함하는 결함 판정 검증 방법.
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제9 항에 있어서,
상기 결함 그룹의 상기 공통 결함 특성에 대한 정보를 게시하는 단계를 더 포함하는 결함 판정 검증 방법.
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제9 항에 있어서,
상기 판정 오류 이력 데이터와 상기 결함 그룹의 공통 결함 특성을 비교하여 결함 그룹에 대한 판정 오류 여부를 검증 하고, 판정 오류로 검증 된 결함 그룹에 속한 모든 결함에 대하여 불량 판정을 취소하는 단계를 더 포함하는 결함 판정 검증 방법.
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제9 항에 있어서,
상기 불량 판정 취소의 결과로 결함을 가지지 않게 된 생산품을 양품화 처리하는 단계를 더 포함하는 결함 판정 검증 방법.