KR101622647B1 - 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉서블 기판으로부터 유리 기판 분리시 발생되는 물리적인 힘에 의한 크랙이나 단선을 방지할 수 있는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 유리 기판의 전면 상에 표시부와 패드부로 구분되는 플렉서블 기판을 마련하는 단계와; 상기 플렉서블 기판의 표시부 및 패드부 상에 다수의 박막을 형성하는 단계와; 상기 플렉서블 기판의 패드부에 구동 소자가 실장된 전송 필름을 부착하는 단계와; 상기 전송 필름이 부착된 플렉서블 기판 전면에 보호필름을 형성하는 단계와; 상기 유리 기판을 상기 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
플렉서블, 보호 필름

Description

플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법{FLEXIBLE DISPLAY AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}
본 발명은 플렉서블 기판으로부터 유리 기판 분리시 발생되는 물리적인 힘에 의한 크랙이나 단선을 방지할 수 있는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 표시 장치 시장은 대면적이 용이하고 경량화가 가능한 평판 디스플레이 위주로 급속히 변화하고 있다. 이러한 평판 디스플레이에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 유기 발광 표시 장치(Organic Electro Luminescence Display; OLED) 등이 있다. 이 평판 디스플레이는 다수의 박막을 지지하는 지지체로 유리 기판을 이용한다. 유리기판은 그 두께를 박형화하는데 한계가 있고, 박형화하더라도 내구성 및 유연성이 없어 쉽게 깨지는 문제점이 있다.
따라서, 최근에는 내구성 및 유연성이 없는 유리 기판 대신에 플라스틱 또는 금속 호일 등과 같이 얇으면서 내구성이 강한 재료를 기판으로 사용하는 플렉서블 표시장치가 대두되고 있다.
이러한 플렉서블 표시 장치의 기판의 제조 공정을 도 1a 및 도 1b를 결부하여 설명하기로 한다.
도 1a에 도시된 바와 같이 스테인레스(STS)재질의 플렉서블 기판(2) 상에 오버코트층(4)이 도포된다. 오버코트층(4)은 표면이 거친 스테인레스 재질의 플렉서블 기판(2) 상에 형성되어 플렉서블 기판(2)을 평탄화시키는 역할을 한다. 그런 다음, 오버코트층(4) 상에 표시 장치용 박막 어레이(6)들이 형성된다. 그런 다음, 플렉서블 기판(2)의 배면은 도 1b에 도시된 바와 같이 제1 높이(h1)보다 낮은 제2 높이(h2)가 되도록 일부 식각됨으로써 플렉서블 표시 장치가 완성된다.
그러나, 도 1a 및 도 1b에 도시된 제조 공정에 의해 형성된 플렉서블 표시 장치는 오버코트층(4) 형성 공정이 필요하므로 공정이 복잡한 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 도 2a 및 도 2b에 도시된 제조 공정에 의해 형성된 플렉서블 표시 장치가 제안되었다.
도 2a에 도시된 바와 같이 유리 기판(12) 상에 점착제(14)를 도포한 후 그 점착제(14) 상에 스테인레스 호일 또는 플라스틱 필름 형태의 플렉서블 기판(16)이 형성된다. 그런 다음, 플렉서블 기판(16) 상에 표시 장치용 박막 어레이(18)들이 형성된다. 그런 다음, 플렉서블 기판(16) 배면에 위치하는 점착제(14)는 도 2b에 도시된 바와 같이 물리적으로 제거됨으로써 유리 기판(12) 및 점착제(14)가 제거된다.
그러나, 도 2a 및 도 2b에 도시된 제조 공정에 의해 형성된 플렉서블 표시 장치는 점착제(14)를 물리적으로 분리시 분리 방향을 따라서 플렉서블 기판(16)의 휨현상이 발생되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 플렉서블 기판으로부터 유리 기판 분리시 발생되는 물리적인 힘에 의한 크랙이나 단선을 방지할 수 있는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 유리 기판의 전면 상에 표시부와 패드부로 구분되는 플렉서블 기판을 마련하는 단계와; 상기 플렉서블 기판의 표시부 및 패드부 상에 다수의 박막을 형성하는 단계와; 상기 플렉서블 기판의 패드부에 구동 소자가 실장된 전송 필름을 부착하는 단계와; 상기 전송 필름이 부착된 플렉서블 기판 전면에 보호필름을 형성하는 단계와; 상기 유리 기판을 상기 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 보호필름은 접착제와, 상기 접착제 상에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성되는 플렉서블층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 상기 전송 필름을 부착하기 전에 상기 표시부의 다수의 박막을 보호하는 임시 보호 필름을 상기 표시부의 다수의 박막 상에 부착하는 단계와; 상기 전송 필름을 부착한 후 상기 임시 보호 필름을 제거하 는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 임시 보호필름은 점착제와, 상기 점착제 상에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성되는 임시보호층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치는 표시부와 패드부로 구분되는 플렉서블 기판과; 상기 플렉서블 기판의 표시부와 패드부 상에 형성되는 다수의 박막과; 상기 플렉서블 기판의 패드부에 부착되며 구동 소자가 실장된 전송 필름과; 상기 전송 필름이 부착된 플렉서블 기판 전면에 형성되는 보호필름을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 플렉서블 표시 장치는 액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법은 표시부 및 패드부를 덮도록 플렉서블 기판 전면에 보호 필름이 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법은 플렉서블 기판 배면에 위치하는 유리 기판의 분리공정시 발생하는 스트레스와, 표시부와 패드부의 전체 두께 차이로 인해 표시부와 패드부 사이에서의 스트레스 차이로 인한 크랙이나 단선을 방지할 수 있다. 또한, 보호 필름은 플렉서블 기판의 강도를 보강하므로 견고함, 가요성 및 복원력을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치를 나타내는 단면도로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 들어 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 유기 발광 표시 장치는 플렉서블 기판(102)과, 박막트랜지스터 어레이와, 유기 발광 어레이와, 보호 필름(1942)를 구비한다.
플렉서블 기판(102)은 폴리머 용액이 수㎛, 예를 들어 3~4㎛의 두께로 스핀 코팅된 후 열경화됨으로써 형성된다. 이러한 플렉서블 기판(102)은 예를 들어 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate; PEN), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리에틸렌에테르프탈레이트(polyethylene ether phthalate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르이미드(polyether imide), 폴리에테르술폰산(polyether sulfonate), 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아크릴레이트(polyacrylate)에서 선택된 적어도 하나의 유기 물질로 이루어진 플라스틱 필름으로 형성된다.
박막트랜지스터 어레이는 플렉서블 기판(102) 상에 형성되는 박막트랜지스터(140)와, 보호막(104), 컨택전극(126), 게이트 패드(150) 및 데이터 패드(160)를 구비한다.
박막트랜지스터(140)는 탑 게이트형(Top Gate Type) 또는 버텀 게이트형(Bottom Gate Type)의 박막트랜지스터가 이용된다. 본 발명에서는 탑 게이트형 박막트랜지스터를 예로 들어 설명하기로 한다.
박막트랜지스터(140)는 플렉서블 기판(102) 위에 형성된 게이트 전극(106)과, 게이트 전극(106)을 덮는 게이트 절연막(112), 게이트 절연막(112)을 사이에 두고 게이트 전극(106)과 중첩되어 채널을 형성하는 활성층(114)과, 소스 전극(108) 및 드레인 전극(110)과의 오믹 접촉을 위하여 채널부를 제외한 활성층(114) 위에 형성된 오믹 접촉층(116)과, 채널부를 사이에 두고 대향하는 소스 전극(108) 및 드레인 전극(110)으로 이루어진다.
보호막(104)은 박막트랜지스터(140)를 덮도록 무기 절연 물질 또는 유기 절연 물질로 형성된다. 이러한 보호막(104)에는 박막트랜지스터(140)의 드레인 전극(110)을 노출시키는 제1 화소 컨택홀(120)이 형성된다.
컨택 전극(126)은 제1 화소 컨택홀(120)을 통해 노출된 드레인 전극(110)과 캐소드 전극(122)을 연결시킨다. 컨택 전극(126)은 게이트 패드 상부 전극(156) 및 데이터 패드 상부 전극(166)과 동일 재질로 동시에 형성되므로 부식에 강한 재질로 혀엉된다.
게이트 패드(150)는 게이트 구동 집적 회로(도시하지 않음)와 접속되어 게이트 라인에 스캔 신호를 공급한다. 이를 위해, 게이트 패드(150)는 게이트 라인으로부터 연장되는 게이트 패드 하부 전극(152)과, 게이트 패드 하부 전극(152) 위에 접속된 게이트 패드 상부전극(156)으로 구성된다. 여기서, 게이트 패드 상부 전극(156)은 게이트 절연막(112) 및 보호막(104)을 관통하는 제1 게이트 컨택홀(156)을 통해 게이트 패드 하부 전극(152)과 접속된다. 또한, 게이트 패드 상부 전 극(156)은 평탄화층(118)을 관통하는 제2 게이트 컨택홀(158)을 통해 외부로 노출되어 게이트 구동 집적 회로가 실장된 게이트 전송 필름(170)(예를 들어, TCP)과 접속된다. 즉, 게이트 전송 필름(170)의 베이스 필름(172)에 형성된 출력 패드(174)는 도전볼(176)이 포함된 ACF(Anisotrophic Conductive Film)(178)를 통해 게이트 패드 상부 전극(156)과 전기적으로 접속된다.
데이터 패드(160)는 데이터 구동 집적 회로(도시하지 않음)와 접속되어 데이터 라인에 데이터 신호를 공급한다. 이를 위해, 데이터 패드(160)는 데이터 라인으로부터 연장되는 데이터 패드 하부 전극(162)과, 데이터 패드 하부 전극(162)과 접속된 데이터 패드 상부 전극(166)으로 구성된다. 여기서, 데이터 패드 상부 전극(166)은 보호막(104)을 관통하는 제1 데이터 컨택홀(164)을 통해 노출된 데이터 패드 하부 전극(162)과 접속된다. 또한, 데이터 패드 상부 전극(166)은 평탄화층(118)을 관통하는 제2 데이터 컨택홀(168)을 통해 외부로 노출되어 데이터 구동 집적 회로가 실장된 데이터 전송 필름(180)과 접속된다. 즉, 데이터 전송 필름(180)의 베이스 필름(182)에 형성된 출력 패드(184)는 도전볼(176)이 포함된 ACF(Anisotrophic Conductive Film)(178)를 통해 데이터 패드 상부 전극(166)과 전기적으로 접속된다.
유기 발광 어레이는 캐소드 전극(122), 뱅크 절연막(124), 유기 발광층(130), 애노드 전극(132) 및 밀봉 부재(190)를 구비한다.
캐소드 전극(122)은 평탄화층(118)을 관통하는 제2 화소 컨택홀(134)을 통해 노출된 컨택 전극(126)과 접속되며, 알루미늄(Al) 등과 같은 불투명한 도전 물질로 형성된다.
뱅크 절연막(124)은 화소홀(128)을 통해 캐소드 전극(122)이 노출되도록 형성된다. 이러한 뱅크 절연막(124)은 SiNx 또는 SiOx와 같은 무기 절연 물질 또는 BCB, 아크릴계 수지 또는 이미드계 수지와 같은 유기 절연 물질로 형성된다.
유기발광층(130)은 캐소드 전극(122) 상에 전자 주입층(Electron Injection layer;EIL), 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL), 발광층, 정공 수송층(Hole Transport Layer;HTL), 정공 주입층(Hole Injection Layer;HIL)으로 순차적으로 적층되어 형성된다. 이러한 유기 발광층(130)은 캐소드 전극(122)으로부터의 전자와 애노드 전극(132)으로부터의 정공이 재결합되어 생성된 여기자가 바닥상태로 되돌아가면서 특정 파장의 빛을 애노드 전극(132) 방향으로 전면 발광하게 된다.
애노드 전극(132)은 유기 발광층(130)을 사이에 두고 캐소드 전극(122)과 대향하도록 형성된다. 이러한 애노드 전극(128)은 유기발광층(130) 상에 투명 도전성 물질로 형성된다.
밀봉 부재(190)는 애노드 전극(132)이 형성된 플렉서블 표시 장치의 전면과 측면을 덮도록 무기물, 유기물, 또는 유무기 복합 적층물로 형성된다. 여기서, 무기 절연막으로는 SiO2, SiNx, SiON, Al2O3, TiO2, Ta2O5, HfO2, ZrO2, BST, PZT 등이 포함되도록 할 수 있고, 유기 절연막으로는 PMMA, PS, phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등이 이용된다.
보호 필름(194)은 게이트 전송 필름(170), 데이터 전송 필름(180) 및 밀봉 부재(190)가 형성된 플렉서블 기판(102) 전면에 형성된다. 이러한 보호 필름(194)은 접착제(194a)와, 그 접착제(194a) 상에 형성되는 플렉서블층(194b)으로 이루어진다. 여기서, 플렉서블층(194b)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성된다. 따라서, 보호필름(194)은 접착제(194a)가 부착된 플렉서블층(194b)을 플렉서블 기판(102) 전면에 코팅된 후 열과 압력을 이용한 라미네이팅 공정을 통해 형성된다. 이러한 보호 필름(194)은 플렉서블 기판(102) 배면에 위치하는 유리 기판(101)의 분리공정시 발생하는 스트레스와, 표시부와 패드부의 전체 두께 차이로 인해 발생되는 표시부와 패드부 사이에서의 스트레스 차이로 인한 크랙이나 단선을 방지할 수 있다. 또한, 보호 필름(194)은 플렉서블 기판(102)의 강도를 보강하므로 견고함, 가요성 및 복원력을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치로서 유기 발광 표시 장치를 예로 들어 설명하였지만 이외에도 액정 표시 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널 등에도 적용가능하다.
도 4a 내지 도 4h는 도 3에 도시된 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 4a에 도시된 바와 같이 유리 기판(101) 상에 플렉서블 기판(102)을 형성한다. 플렉서블 기판(102)은 유리 기판(101) 상에 스핀 코팅 방법으로 폴리머 용 액이 3~4㎛의 두께로 도포된 후 열경화됨으로써 형성된다.
도 4b에 도시된 바와 같이 플렉서블 기판(102) 상에 다수의 마스크 공정으로 박막트랜지스터 어레이가 형성된다. 구체적으로, 플렉서블 기판(102) 상에 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 포함하는 마스크 공정을 통해 게이트 전극(106) 및 게이트 패드 하부 전극(152)이 형성된다. 이 게이트 전극(106) 및 게이트 패드 하부 전극(152) 상에 무기 절연 물질로 게이트 절연막(112)이 형성된 후 회절 마스크 또는 반투과 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 포함하는 마스크 공정을 통해 활성층(114), 오믹접촉층(116), 소스 전극(108), 드레인 전극(110) 및 데이터 패드 하부 전극(162)이 형성된다. 이 소스 전극(108), 드레인 전극(110)및 데이터 패드 하부 전극(162) 상에 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 포함하는 마스크 공정을 통해 제1 게이트 컨택홀(154), 제1 데이터 컨택홀(164) 및 제1 화소 컨택홀(120)을 가지는 보호막(104)이 형성된다. 보호막(104) 상에 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 포함하는 마스크 공정을 통해 컨택 전극(126), 게이트 패드 상부 전극(156) 및 데이터 패드 상부 전극(166)이 형성된다. 컨택 전극(126), 게이트 패드 상부 전극(156) 및 데이터 패드 상부 전극(166)이 형성된 보호막(104) 상에 마스크 공정을 통해 제2 게이트 컨택홀(158), 제2 데이터 컨택홀(168) 및 제2 화소 컨택홀(134)을 가지는 평탄화층(118)이 형성된다.
도 4c에 도시된 바와 같이 박막트랜지스터 어레이가 형성된 후 평탄화층(118) 상에 캐소드 전극(122), 뱅크 절연막(124), 유기 발광층(130), 애노드 전극(132) 및 밀봉 부재(190)가 순차적으로 형성된다. 구체적으로, 컨택 전극(126) 을 통해 박막트랜지스터(152)와 접속되는 캐소드 전극(122)이 평탄화층(118) 상에 형성된다. 여기서, 캐소드 전극(122)은 알루미늄 등과 같은 저저항 금속으로 형성된다. 캐소드 전극(122)이 형성된 평탄화층(118) 상에 캐소드 전극(122)을 노출시키는 화소홀(128)을 가지는 뱅크 절연막(124)이 형성된다. 뱅크 절연막(124)은 SiNx 또는 SiOx와 같은 무기 절연 물질 또는 BCB, 아크릴계 수지 또는 이미드계 수지와 같은 유기 절연 물질로 형성된다. 뱅크 절연막(124)에 의해 노출된 캐소드 전극(122) 상에 유기 발광층(130)이 형성된다. 유기 발광층(130)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층이 순차적으로 형성된다. 그런 다음, 유기발광층(130) 상에 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Induim Zinc Oxide; IZO) 등과 같은 투명 도전성 물질로 애노드 전극(132)이 형성된다. 애노드 전극(132)이 형성된 플렉서블 표시 장치의 전면 및 측면 상에 밀봉 부재(190)가 형성된다. 밀봉 부재(190)는 유기 발광 어레이 및 박막트랜지스터 어레이를 수분 및 산소로부터 보호한다.
도 4d에 도시된 바와 같이 게이트패드(150) 및 데이터 패드(160)를 제외한 나머지 영역인 플렉서블 기판(102)의 표시부에 임시 보호 필름(192)이 형성된다. 임시 보호 필름(192)은 점착제(192a)와, 점착제(192a) 상에 형성된 임시보호층(192b)으로 이루어진다. 여기서, 임시 보호층(192b)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성된다. 이러한 임시 보호 필름(192)은 점착제(192a)가 부착된 임시 보호층(194b)을 플렉서블 기판(102)의 표시부에 코팅한 후 열과 압력을 이용하여 라미네이팅함으로써 형성된다. 이 임시 보호 필름(192)은 구동 소자가 실장된 게이트 전송 필름(170) 및 데어터 전송 필름(180)의 부착 공정시 발생되는 표시부의 손상을 방지하는 역할을 한다.
도 4e에 도시된 바와 같이, 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 구동하기 위한 구동 소자(도시하지 않음)가 플렉서블 기판(102) 상에 직접 실장되거나 구동 소자가 실장된 전송 필름이 플렉서블 기판(102)에 부착된다.
구체적으로, 게이트 전송 필름(170)의 베이스 필름(172)에 형성된 출력 패드들(174)은 이방성 도전 필름(178)을 통해 게이트 패드 상부 전극(156)과 전기적으로 접속되며, 데이터 전송 필름(180)의 베이스 필름(182)에 형성된 출력 패드들(184)은 이방성 도전 필름(178)을 통해 데이터 패드 상부 전극(166)과 전기적으로 접속된다.
도 4f에 도시된 바와 같이 구동 소자가 실장된 게이트 전송 필름(170) 및 데이터 전송 필름(180)이 플렉서블 기판(102)에 부착된 후 임시 보호 필름(192)을 제거한다.
도 4g에 도시된 바와 같이 임시 보호 필름(192)이 제거된 후 보호 필름(194)이 플렉서블 기판(102) 전면에 부착된다. 보호 필름(194)은 게이트 전송 필름(170), 데이터 전송 필름(180) 및 밀봉 부재(190)가 형성된 플렉서블 기판(102) 전면에 형성된다. 이러한 보호 필름(194)은 접착제(194a)와, 그 접착제(194a) 상에 형성되는 플렉서블층(194b)으로 이루어진다. 여기서, 플렉서블층(194b)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이 트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성된다. 따라서, 보호필름(194)은 접착제(194a)가 부착된 플렉서블층(194b)을 플렉서블 기판(102) 전면에 코팅된 후 열과 압력을 이용한 라미네이팅 공정을 통해 형성된다.
도 4h에 도시된 바와 같이 유리 기판(101)은 식각 공정, 레이저 공정 또는 물리적 힘을 이용한 공정을 통해 플렉서블 기판(102)으로부터 분리된다. 이 때, 분리 공정은 식각 공정 및 레이저 공정보다는 비용 절감 및 공정 단순화를 위해 물리적 힘을 이용한 분리 공정이 바람직하다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 플렉서블 표시 장치의 제조 방법의 제2 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이 도 4a 내지 도 4c에 도시된 제조 방법과 동일한 제조 방법에 의해 플렉서블 기판에 박막트랜지스터(140), 컨택 전극(126), 게이트 패드(150) 및 데이터 패드(160)를 가지는 박막트랜지스터 어레이와, 캐소드 전극(122), 유기 발광층(130), 애노드 전극(132), 밀봉층(190)을 가지는 유기 발광 어레이가 형성된다.
도 5b에 도시된 바와 같이, 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 구동하기 위한 구동 소자(도시하지 않음)가 플렉서블 기판(102) 상에 직접 실장되거나 구동 소자가 실장된 게이트 전송 필름(170) 및 데이터 전송 필름(180)이 플렉서블 기판(102)에 부착된다.
도 5c에 도시된 바와 같이 플렉서블 기판(102)의 패드부 및 표시부를 덮도록 보호 필름(194)이 플렉서블 기판(102) 전면에 부착된다. 즉, 보호 필름(194)은 게 이트 전송 필름(170), 데이터 전송 필름(180) 및 밀봉 부재(190)가 형성된 플렉서블 기판(102) 전면에 형성된다. 이러한 보호 필름(194)은 접착제(194a)와, 그 접착제(194a) 상에 형성되는 플렉서블층(194b)으로 이루어진다. 따라서, 보호필름(194)은 접착제(194a)가 부착된 플렉서블층(194b)을 플렉서블 기판(102) 전면에 코팅된 후 열과 압력을 이용한 라미네이팅 공정을 통해 형성된다.
도 5d에 도시된 바와 같이 유리 기판(101)은 식각 공정, 레이저 공정 또는 물리적 힘을 이용한 공정을 통해 플렉서블 기판(102)으로부터 분리된다. 이 때, 분리 공정은 식각 공정 및 레이저 공정보다는 비용 절감 및 공정 단순화를 위해 물리적 힘을 이용한 분리 공정이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1a 및 도 1b는 종래 플렉서블 기판의 제조 방법의 제1 실시 예를 설명하기 위한 단면도들이다.
도 2a 및 도 2b는 종래 플렉서블 기판의 제조 방법의 제2 실시 예를 설명하기 위한 단면도들이다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 기판을 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4a 내지 도 4h는 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 제1 실시 예를 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5a 내지 도 5d는 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 제2 실시 예를 설명하기 위한 단면도들이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
102: 플렉서블 기판 192 : 임시 보호 필름
194: 보호 필름

Claims (8)

  1. 유리 기판의 전면 상에 표시부와 패드부로 구분되는 플렉서블 기판을 마련하는 단계와;
    상기 플렉서블 기판의 표시부 및 패드부 상에 다수의 박막을 형성하는 단계와;
    상기 플렉서블 기판의 패드부에 구동 소자가 실장된 전송 필름을 부착하는 단계와;
    상기 전송 필름이 부착된 플렉서블 기판 전면에 보호필름을 형성하는 단계와;
    상기 유리 기판을 상기 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보호필름은 접착제와, 상기 접착제 상에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성되는 플렉서블층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전송 필름을 부착하기 전에 상기 표시부의 다수의 박막을 보호하는 임시 보호 필름을 상기 표시부의 다수의 박막 상에 부착하는 단계와;
    상기 전송 필름을 부착한 후 상기 임시 보호 필름을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 임시 보호필름은 점착제와, 상기 점착제 상에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성되는 임시 보호층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 플렉서블 표시 장치는 액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  6. 표시부와 패드부로 구분되는 플렉서블 기판과;
    상기 플렉서블 기판의 표시부와 패드부 상에 형성되는 다수의 박막과;
    상기 플렉서블 기판의 패드부에 부착되며 구동 소자가 실장된 전송 필름과;
    상기 플렉서블 기판의 패드부 및 표시부를 덮도록, 상기 전송 필름이 부착된 플렉서블 기판 전면에 형성되는 보호필름을 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 보호필름은 접착제와, 상기 접착제 상에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate; PET), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC) 또는 폴리이미드(polyimide; PI)로 형성되는 플렉서블층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 플렉서블 표시 장치는 액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
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