KR101620323B1 - 박막증착장치 - Google Patents

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윤성원
권용철
안재형
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Abstract

본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로, 도가니지지유닛과, 히터유닛과, 반사유닛을 포함한다. 여기서, 도가니지지유닛은 박막의 원료가 충전되는 도가니를 지지한다. 또한, 히터유닛은 도가니지지유닛에 지지되는 도가니에 열을 공급한다. 또한, 반사유닛은 히터유닛을 감싸 히터유닛에서 발산되는 열을 도가니로 반사시킨다. 이때, 반사유닛은 히터유닛의 외주면을 감싸도록 상호 이격 배치되는 이격프레임부 및 상호 인접한 이격프레임부 사이를 폐쇄하는 적어도 하나의 반사판부를 포함할 수 있다. 도가니의 장축 방향을 따라 반사판부의 수량, 두께 및 개방면적 중 하나 이상이 조정된다.

Description

박막증착장치{DEPOSITING DEVICE FOR THIN FILM}
본 발명은 박막증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막의 원료가 충전되는 선형 증발원의 열분포를 실질적으로 일정하게 유지시킬 수 있는 박막증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 박막증착장치는 진공열 증착법을 사용하여 기판에 유기박막을 증착시킬 수 있다. 진공열 증착법은 유기박막의 원료가 되는 유기재료가 도가니에 충전되고, 도가니는 히터 등을 통한 열에 의해 가열됨에 따라 도가니 내부에 수용된 유기재료를 기판을 향해 증발시킴으로써, 기판에 일정 두께의 유기박막을 형성시킬 수 있다.
이때, 도가니가 가열됨에 따라 도가니의 열분포가 달라질 수 있다. 열분포의 영향에 따라 증착되는 유기박막의 분포가 달라지고, 도가니 내부의 유기재료의 형태에 영향을 주게 되므로, 도가니 내부에서 국부적으로 재료가 소진될 경우, 소진된 위치에 해당되는 기판에서 박막 두께가 얇아지는 결과를 초래하여 생산된 제품의 불량 또는 품질 불안정을 발생시킬 수 있다. 또한, 도가니 내부에 유기재료가 있음에도 불구하고 생산이 중단됨에 따라 유기재료를 보충해야 하므로, 유기재료의사용 효율이 저하되고, 생산비용이 증대될 수 있다.
관련 선행기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-1299066호(2013. 08. 16. 등록, 발명의 명칭 : 연속박막증착장치)가 있다.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 박막의 원료가 충전되는 선형 증발원의 열분포를 실질적으로 일정하게 유지시킬 수 있는 박막증착장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 박막증착장치는, 박막의 원료가 충전되는 도가니를 지지하는 도가니지지유닛; 상기 도가니지지유닛에 지지되는 상기 도가니에 열을 공급하는 히터유닛; 및 상기 히터유닛을 감싸 상기 히터유닛에서 발산되는 열을 상기 도가니로 반사시키며, 상기 히터유닛의 외주면을 감싸도록 상호 이격 배치되는 이격프레임부와, 상호 인접한 상기 이격프레임부 사이를 폐쇄하는 적어도 하나의 반사판부를 구비하는 반사유닛;을 포함하고, 상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 반사판부의 수량, 두께 및 개방면적 중 하나 이상이 조정되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 두께는 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 두께보다 두꺼울 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 수량은 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 수량보다 많을 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 개방면적은 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 개방면적보다 작을 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 이격프레임부는, 함몰되게 형성되고 상기 반사판부가 결합되는 안착부; 를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 이격프레임부는, 상기 반사판부가 결합되는 안착부;를 포함하고, 상기 안착부는 다수의 반사판부를 이격되게 지지하는 다수의 홈 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 반사유닛은, 다수의 반사판부를 밀착시켜 결합시키고, 상기 이격프레임부에 탈부착 가능하게 결합되는 탈착브라켓부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 반사유닛은, 다수의 반사판부를 이격되게 결합시키고, 상기 이격프레임부에 탈부착 가능하게 결합되는 이격고정부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 있어서, 상기 이격프레임부는, 상기 도가니지지유닛에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 슬라이더부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 박막증착장치에 따르면, 박막의 원료가 충전되는 도가니의 열분포를 실질적으로 일정하게 유지시킬 수 있다. 특히, 도가니의 가열 구역을 구획하여 도가니에 반사되는 열을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 박막증착장치에서 반사판부의 탈부착 및 교체를 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 이격프레임부에서 반사판부를 안정되게 지지할 수 있고, 반사판부의 적층 개수를 자유롭게 조절하며, 이격프레임부에서 반사판부의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 적어도 하나가 적층되는 반사판부를 모듈화하고, 이격프레임부를 표준화시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 탈착브라켓부에서 반사판부의 탈부착 및 교체를 용이하게 함은 물론 탈착브라켓부에서 반사판부를 안정되게 지지할 수 있고, 탈착브라켓부에서 반사판부의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 도가니지지유닛에 지지되는 도가니 또는 도가니에 충전되는 박막의 원료 등에 따라 도가니의 가열 구역을 간편하게 변경시킬 수 있고, 도가니의 열분포에 대응하여 반사판부의 크기를 자유롭게 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 도가니의 열분포에 대응하여 박막증착장치의 설치 현장에서 즉각적인 유지, 보수가 가능하고, 박막증착장치 또는 박막의 형성에 따른 제조비용 및 제조시간을 절감시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 도가니에 전달된 열이 도가니지지유닛을 통해 손실되는 것을 방지하고, 도가니에서 토출되는 박막의 원료를 일정하게 유지시킬 수 있으며, 기판에 증착되는 박막의 균일도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장치를 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 박막증착장치의 결합 상태를 도시한 단면도이며,
도 3은 도 1의 박막증착장치에서 반사판부와 이격프레임부의 결합 부분을 도시한 단면도이고,
도 4는 도 3의 결합 부분의 제1변형예를 도시한 단면도이며,
도 5는 도 1의 박막증착장치의 슬라이더부를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 6은 도 3의 결합 부분의 제2변형예를 도시한 단면도이며,
도 7은 도 3의 결합 부분의 제3변형예를 도시한 단면도이고,
도 8은 도 3의 결합 부분의 제4변형예를 도시한 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 박막증착장치의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 박막증착장치의 결합 상태를 도시한 단면도이며, 도 3은 도 1의 박막증착장치에서 반사판부와 이격프레임부의 결합 부분을 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 결합 부분의 제1변형예를 도시한 단면도이며, 도 5는 도 1의 박막증착장치의 슬라이더부를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 3의 결합 부분의 제2변형예를 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막증착장치는 도가니지지유닛(10)과, 히터유닛(20)과, 반사유닛(30)을 포함할 수 있다.
도가니지지유닛(10)은 도가니(50)를 지지한다. 도가니지지유닛(10)은 종횡으로 배열되는 프레임이 상호 결합되어 도가니(50)가 삽입되는 공간을 형성할 수 있다. 도가니지지유닛(10)은 후술하는 히터유닛(20)을 지지할 수 있다.
여기서, 도가니(50)는 박막의 원료가 충전된다. 도가니(50)에는 가열에 의해 기화되는 박막의 원료가 토출되는 토출부(51)가 구비된다. 본 발명의 일 실시예에서 토출부(51)는 원형의 홀 형상을 나타내지만, 토출부(51)의 형상을 한정하는 것은 아니고, 슬릿 형상 또는 타원 형상 또는 다각형 형상 등 공지된 다양한 형태를 통해 기화되는 박막의 원료가 토출되도록 할 수 있다. 본 실시예의 도가니(50)는 장축 방향(A1)으로 직선 형상으로 형성되어 선형 증발원이라고 불리기도 한다.
히터유닛(20)은 도가니지지유닛(10)에 지지되는 도가니(50)에 열을 공급한다. 히터유닛(20)은 공지된 다양한 형태의 발열체를 통해 도가니(50)에 열을 공급할 수 있다. 히터유닛(20)은 둘 이상으로 구획되어 상호 다른 온도 제어를 통해 도가니(50)를 가열함에 따라 도가니(50)의 열분포를 일정하게 유지할 수 있다. 히터유닛(20)은 도가니(50)의 길이 방향을 따라 구획되기도 하고, 도가니(50)의 높이 방향을 따라 구획될 수 있다. 히터유닛(20)은 도가니지지유닛(10)에 지지되고, 도가니(50)의 측면, 저면 또는 상면 등에 열을 공급할 수 있다.
반사유닛(30)은 히터유닛(20)을 감싸 히터유닛(20)에서 발산되는 열을 도가니(50)로 반사시킨다. 반사유닛(30)은 이격프레임부(31)와, 반사판부(33)를 포함할 수 있다. 상술한 반사유닛(30)을 통해 도가니(50)의 가열 구역을 구획하여 도가니(50)에 반사되는 열을 조절함으로써, 도가니(50)의 열분포를 실질적으로 일정하게 유지시킬 수 있다.
이격프레임부(31)는 히터유닛(20)의 둘레를 감싸도록 상호 이격 배치될 수 있다. 또한, 반사판부(33)는 상호 인접한 이격프레임부(31) 사이를 폐쇄할 수 있다. 반사판부(33)는 적어도 하나가 적층됨에 따라 히터유닛(20)의 열을 도가니(50)로 반사시킬 수 있다. 여기서, 이격프레임부(31)에는 안착부(32)가 포함될 수 있다. 안착부(32)는 반사판부(33)가 결합될 수 있다. 일예로, 안착부(32)는 반사판부(33)의 가장자리가 끼움 결합되도록 이격프레임부(31)에 함몰 형성될 수 있다.
반사판부(33)의 두께 또는 반사판부(33)의 적층 개수에 따라 도가니(50)로 반사되는 열을 조정할 수 있다.
도가니(50)를 기준으로 반사판부(33)가 설치되는 위치에 따라 반사판부(33)의 두께가 조정될 수 있다. 도가니(50)의 장축 방향(A1)에 대하여 도가니(50)의 중앙부(50b)보다 박막증착장치의 프레임에 인접한 도가니(50)의 단부(50a) 측이 열손실이 클 수밖에 없다. 도가니(50)의 장축 방향(A1)을 따라 열손실이 다르게 분포될 경우 동일한 파워를 히터유닛(20)에 공급하더라도 도가니(50)의 장축 방향(A1)을 따라 도가니(50) 내부에 공급되는 열량이 달라져 도가니(50)의 장축 방향(A1)을 따라 원료의 기화량 또한 변화될 수 있다. 도가니(50)의 장축 방향(A1)을 따라 원료의 기화량의 변화는 기판에 증착되는 박막의 두께를 국부적으로 변경시켜 제품의 불량을 가져올 수 있다.
따라서, 도 3을 참조하면, 도가니(50)의 단부(50a) 측의 반사판부(33)의 두께(D1)가 도가니(50)의 중앙부(50b) 측의 반사판부(33)의 두께(D2)보다 상대적으로 두꺼운 것이 바람직하다. 도가니(50)의 단부(50a)에 상대적으로 두꺼운 반사판부(33)를 배치하여 도가니(50)의 단부(50a) 측의 열손실을 방지함으로써, 도가니(50)의 장축 방향(A1)에 대하여 도가니(50)의 단부(50a) 및 중앙부(50b)에 관계없이 도가니(50)의 내부의 온도를 균일하게 유지할 수 있다.
또한, 도가니(50)의 단부(50a) 측에 적층되는 반사판부(33)의 개수가 도가니(50)의 중앙부(50b) 측에 적층되는 반사판부(33)의 개수보다 상대적으로 많은 것이 바람직하다. 도가니(50)의 단부(50a)에 상대적으로 많은 수량의 반사판부(33)를 배치하여 도가니(50)의 단부(50a) 측의 열손실을 방지함으로써, 도가니(50)의 장축 방향(A1)에 대하여 도가니(50)의 단부(50a) 및 중앙부(50b)에 관계없이 도가니(50)의 내부의 온도를 균일하게 유지할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 이격프레임부(31)는 도가니지지유닛(10)에서 슬라이드 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라 이격프레임부(31)에는 도가니지지유닛(10)에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 슬라이더부(34)가 구비될 수 있다. 이격프레임부(31)가 슬라이드 이동됨에 따라 도가니(50)의 가열 구역을 변경할 수 있으므로, 반사판부(33)의 크기를 조절하여 도가니(50)의 열분포를 조절하고, 변경되는 도가니(50)의 크기 또는 변경되는 도가니(50)의 종류 또는 변경되는 박막의 원료에 따라 도가니(50)의 열분포를 실질적으로 일정하게 유지할 수 있다.
여기서, 미설명 부호 40은 반사유닛(30)의 외주면을 감싸는 단열유닛(40)이다. 단열유닛(40)은 도가니지지유닛(10)과, 히터유닛(20)과, 반사유닛(30)을 감싸 밀폐할 수 있다. 단열유닛(40)은 도가니(50)의 토출부(51)가 노출되도록 할 수 있다. 단열유닛(40)은 반사유닛(30)을 통해 전달되는 히터유닛(20)의 열이 외부로 발산되는 것을 억제 또는 차단할 수 있다.
도 6은 도 3의 결합 부분의 제2변형예를 도시한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 반사판부(33)는 복수 개가 이격된 상태로 적층될 수 있다. 이격프레임부(31)의 안착부(32')가 끼워지는 반사판부(33)의 수량에 대응하는 다수의 홈 형태로 형성되어 각각의 반사판부(33)가 홈에 각각 끼워질 수 있다.
도 7은 도 3의 결합 부분의 제3변형예를 도시한 단면도이다.
도 7을 참조하면, 반사유닛(30)은 탈착브라켓부(35)를 더 포함할 수 있다. 탈착브라켓부(35)는 다수의 반사판부(33)가 결합될 수 있다. 탈착브라켓부(35)는 적어도 하나의 반사판부(33)가 탈착브라켓부(35)의 함몰 부분에 끼움 결합될 수 있다. 또한, 탈착브라켓부(35)는 이격프레임부(31)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 일예로, 탈착브라켓부(35)는 이격프레임부(31)의 안착부(32)에 탈부착 가능하게 끼움 결합될 수 있다. 탈착브라켓부(35)의 함몰 부분에 복수의 반사판부(33)가 끼움 결합되어 복수의 반사판부(33)를 밀착시킬 수 있다.
본 변형예에서는 다수의 반사판부(33)와 탈착브라켓부(35)을 먼저 결합하여 유닛화한 후, 이 유닛을 안착부(32)에 끼움으로써, 조립을 용이하게 할 수 있다.
도 8은 도 3의 결합 부분의 제4변형예를 도시한 단면도이다.
도 8을 참조하면, 이격프레임부(31)에는 이격고정부(36)가 포함될 수 있다. 이격고정부(36)는 결합되는 반사판부(33)를 지지할 수 있다. 일예로, 이격고정부(36)는 이격프레임부(31)에서 돌출 형성되어 반사판부(33)를 안착부(32)에 지지할 수 있다. 이때, 이격고정부(36)는 복수의 반사판부(33)를 상호 이격된 상태로 지지할 수 있다.
이격고정부(36)는 안착부(32)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 이격고정부(36)는 함몰 형성되는 안착부(32)에 끼움 결합됨에 따라 적어도 하나의 반사판부(33)를 안착부(32)에 지지할 수 있다. 이때, 이격고정부(36)는 복수의 반사판부(33) 사이에 끼움 결합되기도 하고, 복수의 반사판부(33)를 밀착시킬 수 있다.
마찬가지로, 다수의 반사판부(33)와 이격고정부(36)를 먼저 결합하여 유닛화한 후, 이 유닛을 안착부(32)에 끼움으로써, 조립을 용이하게 할 수 있다.
한편, 도면에는 도시하지 않았으나, 반사판부(33)의 개방면적을 변경하여 도가니(50)로 반사되는 열을 조정할 수 있다.
예를 들어 반사판부(33)의 형상을 사각형이라고 하면, 도가니(50)의 단부(50a) 측에 배치되는 반사판부(33)는 온전한 사각형을 그대로 사용하고, 도가니(50)의 중앙부(50b) 측에 배치되는 반사판부(33)는 온전한 사각형에서 일부영역을 관통시킨 개방면적을 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 도가니(50)의 단부(50a)에 상대적으로 개방면적이 작은 반사판부(33)를 배치하여 도가니(50)의 단부(50a) 측의 열손실을 방지함으로써, 도가니(50)의 장축 방향(A1)에 대하여 도가니(50)의 단부(50a) 및 중앙부(50b)에 관계없이 도가니(50)의 내부의 온도를 균일하게 유지할 수 있다.
상술한 박막형성장치의 동작을 살펴보면, 구획되는 도가니(50)의 가열 구역에 대응하여 이격프레임부(31)가 배치되고, 반사판부(33)가 이격프레임부(31) 사이를 폐쇄시킨다. 히터유닛(20)이 동작됨에 따라 히터유닛(20)에서 발산되는 열은 도가니(50)에 열을 공급한다. 또한, 히터유닛(20)에서 발산되는 열은 반사판부(33)에서 반사되어 도가니(50)에 부가적인 열을 공급한다.
이와 같이 도가니(50)에 열이 공급되는 과정에서, 도가니(50)의 장축 방향(A1)에 대하여 반사판부(33)의 두께 또는 반사판부(33)의 적층 개수를 조정함으로써, 도가니(50) 내부의 온도를 일정하게 유지하여 도가니(50)의 장축 방향(A1)을 따라 기화량을 일정하게 유지할 수 있다.
이때, 이격프레임부(31)가 슬라이드 이동됨에 따라 도가니(50)의 가열 구역을 변경시킬 수 있고, 하나의 박막형성장치에서 다양한 도가니(50) 또는 다양한 박막의 원료를 처리할 수 있다.
상술한 박막증착장치에 따르면, 박막증착장치에서 반사판부(33)의 탈부착 및 교체를 용이하게 할 수 있다. 또한, 이격프레임부(31)에서 반사판부(33)를 안정되게 지지할 수 있고, 반사판부(33)의 적층 개수를 자유롭게 조절하며, 이격프레임부(31)에서 반사판부(33)의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다. 또한, 적어도 하나가 적층되는 반사판부(33)를 모듈화하고, 이격프레임부(31)를 표준화시킬 수 있다. 또한, 탈착브라켓부(35)에서 반사판부(33)의 탈부착 및 교체를 용이하게 함은 물론 탈착브라켓부(35)에서 반사판부(33)를 안정되게 지지할 수 있고, 탈착브라켓부(35)에서 반사판부(33)의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다. 또한, 도가니지지유닛(10)에 지지되는 도가니(50) 또는 도가니(50)에 충전되는 박막의 원료 등에 따라 도가니(50)의 가열 구역을 간편하게 변경시킬 수 있고, 도가니(50)의 열분포에 대응하여 반사판부(33)의 크기를 자유롭게 조절할 수 있다. 또한, 도가니(50)의 열분포에 대응하여 박막증착장치의 설치 현장에서 즉각적인 유지, 보수가 가능하고, 박막증착장치 또는 박막의 형성에 따른 제조비용 및 제조시간을 절감시킬 수 있다. 또한, 도가니(50)에 전달된 열이 도가니지지유닛(10)을 통해 손실되는 것을 방지하고, 도가니(50)에서 토출되는 박막의 원료를 일정하게 유지시킬 수 있으며, 기판에 증착되는 박막의 균일도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
10: 도가니지지유닛
20: 히터유닛
30: 반사유닛
31: 이격프레임부
33: 반사판부
50: 도가니

Claims (9)

  1. 박막의 원료가 충전되는 도가니를 지지하는 도가니지지유닛;
    상기 도가니지지유닛에 지지되는 상기 도가니에 열을 공급하는 히터유닛; 및
    상기 히터유닛을 감싸 상기 히터유닛에서 발산되는 열을 상기 도가니로 반사시키며, 상기 히터유닛의 외주면을 감싸도록 상호 이격 배치되는 이격프레임부와, 상호 인접한 상기 이격프레임부 사이를 폐쇄하는 적어도 하나의 반사판부를 구비하는 반사유닛;을 포함하고,
    상기 이격프레임부에는, 상기 반사판부의 가장자리와 끼움 결합되도록 하나 이상의 안착부가 함몰 형성되며,
    상기 반사유닛은,
    적어도 하나의 상기 반사판부의 가장자리가 끼움 결합된 상태에서 상기 안착부에 탈부착 가능하게 끼움 결합되는 탈착브라켓부; 및
    다수의 상기 반사판부의 가장자리가 이격된 상태로 끼움 결합된 상태에서 상기 안착부에 탈부착 가능하게 끼움 결합되는 이격고정부; 중 적어도 어느 하나를 더 포함하고,
    상기 안착부에 대하여 상기 탈착브라켓부와 상기 이격고정부 중 적어도 어느 하나에 의해 상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 반사판부의 수량, 두께 및 개방면적 중 하나 이상이 조정되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탈착브라켓부에 끼움 결합되는 상기 반사판부에 대하여,
    상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 두께는 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 탈착브라켓부와 상기 이격고정부 중 적어도 어느 하나에 끼움 결합되는 상기 반사판부에 대하여,
    상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 수량은 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 수량보다 많은 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 탈착브라켓부와 상기 이격고정부 중 적어도 어느 하나에 끼움 결합되는 상기 반사판부에 대하여,
    상기 도가니의 장축 방향을 따라 상기 도가니의 단부 측에 배치된 반사판부의 개방면적은 상기 도가니의 중앙부 측에 배치된 반사판부의 개방면적보다 작은 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이격프레임부는, 상기 도가니지지유닛에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 슬라이더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
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