KR101602089B1 - Pump device - Google Patents

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Abstract

[과제]소비 전력의 더욱 저감을 실현할 수 있는 펌프 장치를 제공한다. [해결 수단]본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치(1)는, 구동 모터(M)와, 제1 펌프실과 제1 피스톤(21v)을 갖는 진공 배기용의 제1 펌프부(11)와, 제2 펌프실과 제2 피스톤(21c)을 갖는 가압용의 제2 펌프부(12)를 구비한다. 제2 피스톤(21c)은, 제1 피스톤(21v)에 대해 0°초과 80° 미만의 회전 위상차(φ)를 가지고 진상(進相, phase advance)된다.[PROBLEMS] To provide a pump device capable of realizing further reduction of power consumption. A pump device (1) according to an embodiment of the present invention includes a drive motor (M), a first pump section (11) for vacuum exhaust having a first pump chamber , And a second pump section (12) for pressurizing the second pump chamber and the second piston (21c). The second piston 21c is phase advanced with respect to the first piston 21v with a rotational phase difference (phi) of more than 0 DEG and less than 80 DEG.

Description

펌프 장치{PUMP DEVICE}[0001] PUMP DEVICE [0002]

본 발명은, 진공 펌프와 가압 펌프를 구비하는 펌프 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pump apparatus having a vacuum pump and a pressurizing pump.

진공 펌프의 일종인 요동 피스톤형 펌프는, 실린더 내에서 피스톤이 왕복 운동함으로써 펌프실 내의 흡기 및 배기를 교대로 실시하는 왕복 이동식의 펌프로서 알려져 있고, 예를 들면 진공 펌프나 가압 펌프로서 넓게 사용되고 있다.A swinging piston type pump, which is a type of vacuum pump, is known as a reciprocating type pump that alternately performs intake and exhaust in a pump chamber by reciprocating motion of a piston in a cylinder, and is widely used, for example, as a vacuum pump or a pressurizing pump.

한편, 공통의 모터로 동시에 구동되는 진공 배기용 및 가압용의 2개의 피스톤을 구비하는 복합형의 펌프 장치도 알려져 있다. 이런 종류의 펌프 장치의 구동 방법으로서는, 해당 2개의 피스톤을 서로 역위상(逆位相)으로 왕복 이동시키는 방법과, 이것들을 서로 동위상(同位相)으로 왕복 이동시키는 방법이 알려져 있다(예를 들면 하기 특허문헌 1 참조).On the other hand, a hybrid type pump device having two pistons for vacuum exhaustion and pressurization simultaneously driven by a common motor is also known. As a driving method of this kind of pump device, there is known a method of reciprocating the two pistons in opposite phases (opposite phases) and a method of reciprocating them in the same phase (same phase) See Patent Document 1 below).

전자의 방법, 즉 양 피스톤의 회전 위상을 180° 다르게 하여 왕복 이동시키는 구동 방법은, 각 펌프의 동적 밸런스를 양호하게 유지해 펌프 장치 전체의 진동을 저감할 수 있다고 하는 이점이 있다. 한편, 후자의 방법, 즉 양 피스톤을 동시에 상사점 또는 하사점으로 이동시키는 구동 방법은, 구동원의 부하 변동을 작게 해 펌프 장치가 안정된 운전을 실현할 수 있다고 한다.
The former method, that is, the driving method in which the rotational phases of the two pistons are reciprocated by 180 degrees, has the advantage that the dynamic balance of each pump can be kept good and the vibration of the entire pump device can be reduced. On the other hand, the latter method, that is, the driving method of moving both pistons to the top dead center or the bottom dead center at the same time, can reduce the load fluctuation of the driving source and realize stable operation of the pump apparatus.

특개평7-310651호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-310651

근년, 펌프 장치의 소비 전력의 저감이 요구되고 있어, 상술한 복합형의 펌프 장치에서도 더욱 소비 전력의 저감이 바람직하다.In recent years, reduction of the power consumption of the pump device is required, and it is desirable to further reduce power consumption in the above-described hybrid type pump device.

이상과 같은 사정을 귀감으로 하여, 본 발명의 목적은, 소비 전력의 더욱 저감을 실현할 수 있는 펌프 장치를 제공하는 것에 있다.
It is an object of the present invention to provide a pump device capable of realizing further reduction of power consumption.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태에 따른 펌프 장치는, 구동 모터와, 진공 배기용의 제1 펌프부와, 가압용의 제2 펌프부를 구비한다.In order to achieve the above object, a pump apparatus according to an aspect of the present invention includes a drive motor, a first pump section for vacuum exhaust, and a second pump section for pressurization.

상기 구동 모터는, 제1 구동축과, 제2 구동축을 갖고, 상기 구동 모터는, 상기 제1 구동축 및 상기 제2 구동축을 제1 축 주위에 동기하여 회전시키는 것이 가능하게 구성된다.The drive motor has a first drive shaft and a second drive shaft, and the drive motor is configured to be able to rotate the first drive shaft and the second drive shaft in synchronism with each other around the first axis.

상기 제1 펌프부는, 상기 제1 구동축의 회전에 의해서 상기 제1 축과 직교하는 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제1 피스톤과, 상기 제1 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제1 펌프실을 갖는다.Wherein the first pump section includes a first piston reciprocating in a second axial direction perpendicular to the first axis by rotation of the first drive shaft and a second pump section having a first pump chamber in which the internal pressure changes according to the reciprocating movement of the first piston, Respectively.

상기 제2 펌프부는, 상기 제2 구동축의 회전에 의해서 상기 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 피스톤과, 상기 제2 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제2 펌프실을 갖는다. 상기 제2 피스톤은, 상기 제1 피스톤에 대해 0° 초과 80° 미만의 회전 위상차를 가지고 진상된다.
The second pump unit has a second piston reciprocating in the second axial direction by rotation of the second drive shaft and a second pump chamber changing in internal pressure in accordance with reciprocal movement of the second piston. The second piston is advanced with a rotational phase difference of more than 0 DEG and less than 80 DEG with respect to the first piston.

[도 1]본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치의 정면측에서 본 사시도이다.
[도 2]상기 펌프 장치의 배면측에서 본 사시도이다.
[도 3]상기 펌프 장치의 우측면도이다.
[도 4]상기 펌프 장치의 좌측면도이다.
[도 5]상기 펌프 장치의 진공 펌프부 및 구동부의 일부의 구성을 나타내는 종단면도이다.
[도 6]상기 펌프 장치의 진공 펌프부측의 편심축과, 가압 펌프부측의 편심축과의 관계를 설명하는 모식도이며, (A)는 정면도, (B)는 진공 펌프부측에서 본 측면도이다.
[도 7]진공단에서의 펌프실 내압과 가압단에서의 펌프실 내압이 동위상이 되도록 펌프 장치를 구동했을 때의 일 실험 결과이며, (A)는 진공단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내고, (B)는 가압단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내고, (C)는 진공단에서의 펌프실의 압력 파형과 가압단에서의 펌프실의 압력 파형과의 합성 파형을 나타낸다.
[도 8]진공단에서의 펌프실 내압과 가압단에서의 펌프실 내압이 역위상이 되도록 펌프 장치를 구동했을 때의 일 실험 결과이며, (A)는 진공단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내고, (B)는 가압단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내고, (C)는 진공단에서의 펌프실의 압력 파형과 가압단에서의 펌프실의 압력 파형과의 합성 파형을 나타낸다.
[도 9]진공단의 피스톤에 대한 가압단의 피스톤의 회전 위상차와 모터의 소비 전류와의 관계를 나타내는 실험 결과이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a pump apparatus according to an embodiment of the present invention, as viewed from the front side; FIG.
2 is a perspective view seen from the rear side of the pump device.
3 is a right side view of the pump device.
4 is a left side view of the pump device.
5 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a part of a vacuum pump part and a driving part of the pump device.
6 is a schematic view for explaining the relationship between the eccentric shaft of the pump unit side and the eccentric axis of the pressurizing pump unit of the pump unit, wherein FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a side view of the pump unit.
7 is a result of an experiment when the pump apparatus is driven such that the internal pressure of the pump chamber at the negative terminal and the internal pressure of the pump chamber at the pressurizing end are in phase. FIG. 7A shows the time (C) shows a composite waveform of the pressure waveform of the pump chamber at the negative terminal and the pressure waveform of the pump chamber at the pressurizing end, and (B) shows the time variation between the pump chamber internal pressure and the piston position at the pressurizing end, .
8 is a result of one experiment when the pump apparatus is driven such that the internal pressure of the pump chamber at the negative terminal and the internal pressure of the pump chamber at the pressurizing end are opposite in phase. FIG. 8A is a graph showing the relationship between the internal pressure of the pump chamber and the piston position (C) shows a composite waveform of the pressure waveform of the pump chamber at the negative terminal and the pressure waveform of the pump chamber at the pressurizing end, and (B) shows the time variation between the pump chamber internal pressure and the piston position at the pressurizing end, .
9 is an experimental result showing the relationship between the rotational phase difference of the piston of the pressing end with respect to the piston of the negative electrode and the consumption current of the motor.

요동형 피스톤 펌프에서의 펌프실의 내압은, 피스톤의 왕복 이동에 의해 주기적으로 변화한다. 예를 들면, 피스톤이 하사점으로부터 상사점으로 향할 때는 펌프실의 용적이 감소하기 때문에 내압은 증가 방향으로 천이하고, 피스톤이 상사점으로부터 하사점으로 향할 때는 펌프실의 용적이 증가하기 때문에 내압은 감소 방향으로 천이한다. 이 때, 진공 펌프의 경우는, 대기압 이하의 압력 범위(부압)에서 펌프실의 내압이 변화하고, 가압 펌프의 경우는, 대기압 이상의 압력 범위(정압)에서 펌프실의 내압이 변화한다.The internal pressure of the pump chamber in the oscillating type piston pump changes periodically by the reciprocating movement of the piston. For example, when the piston moves from the bottom dead center to the top dead center, the volume of the pump chamber decreases, so that the internal pressure transits in the increasing direction. When the piston moves from the top dead center to the bottom dead center, the volume of the pump chamber increases, . At this time, in the case of the vacuum pump, the internal pressure of the pump chamber changes at a pressure range lower than the atmospheric pressure (negative pressure). In the case of the pressurizing pump, the internal pressure of the pump chamber changes at a pressure range (atmospheric pressure)

그렇지만, 본 발명자들의 실험에 의하면, 위에서 설명한 바와 같이 진공 펌프용의 피스톤과 가압 펌프용의 피스톤을 동위상으로 왕복 이동시켜도, 양 펌프실의 내압은 동기하여 변화하지 않고, 양 펌프실 사이에서 압력 변화에 위상차를 일으키는 것이 확인된다. 또, 진공 펌프와 가압 펌프로 양 펌프실의 내압 변화가 동위상이 되도록 양 피스트의 회전 위상을 제어했다고 해도, 모터의 부하가 최소치가 되지 않는 것이 확인되었다.However, according to the experiment of the inventors of the present invention, as described above, even when the piston for the vacuum pump and the piston for the pressure pump reciprocate in the same phase, the internal pressures of the both pump chambers do not change synchronously, It is confirmed that a phase difference is caused. It was also confirmed that even when the rotational phases of both pistons were controlled so that the changes in internal pressure of both pump chambers were in phase with the vacuum pump and the pressurizing pump, the load on the motor was not minimized.

거기서 본 발명은, 펌프 장치의 더욱 소비 전력의 삭감을 실현하기 위해, 이하와 같이 펌프 장치를 구성했다.Therefore, in order to further reduce the power consumption of the pump device, the present invention has the pump device as described below.

즉 본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치는, 구동 모터와, 진공 배기용의 제1 펌프부와, 가압용의 제2 펌프부를 구비한다.That is, the pump device according to an embodiment of the present invention includes a drive motor, a first pump section for vacuum exhaust, and a second pump section for pressurization.

상기 구동 모터는, 제1 구동축과, 제2 구동축을 갖는다. 상기 구동 모터는, 상기 제1 구동축 및 상기 제2 구동축을 제1 축 주위에 동기해 회전시키는 것이 가능하게 구성된다.The drive motor has a first drive shaft and a second drive shaft. The drive motor is configured to be capable of rotating the first drive shaft and the second drive shaft around the first axis synchronously.

상기 제1 펌프부는, 상기 제1 구동축의 회전에 의해서 상기 제1 축과 직교하는 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제1 피스톤과, 상기 제1 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제1 펌프실을 갖는다.Wherein the first pump section includes a first piston reciprocating in a second axial direction perpendicular to the first axis by rotation of the first drive shaft and a second pump section having a first pump chamber in which the internal pressure changes according to the reciprocating movement of the first piston, Respectively.

상기 제2 펌프부는, 상기 제2 구동축의 회전에 의해서 상기 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 피스톤과, 상기 제2 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제2 펌프실을 갖는다. 상기 제2 피스톤은, 상기 제1 피스톤에 대해 0° 초과 80° 미만의 회전 위상차를 가지고 진상된다.The second pump unit has a second piston reciprocating in the second axial direction by rotation of the second drive shaft and a second pump chamber changing in internal pressure in accordance with reciprocal movement of the second piston. The second piston is advanced with a rotational phase difference of more than 0 DEG and less than 80 DEG with respect to the first piston.

본 발명자들의 실험에 의하면, 진공 배기용의 제1 펌프부에서는 피스톤의 상사점과 펌프실의 압력 피크 위치는 거의 일치하지만, 가압용의 제2 펌프부에서는 피스톤의 상사점과 펌프실의 압력 피크 위치는 일치하지 않았다. 특히, 제2 펌프부에서는, 피스톤이 상사점에 이르기 전에, 펌프실이 압력 피크를 맞는 것이 확인되었다.According to the experiments of the present inventors, in the first pump section for evacuation, the top dead point of the piston and the pressure peak position of the pump chamber substantially agree, but the top dead point of the piston and the pressure peak position of the pump chamber Did not match. Particularly, in the second pump section, it was confirmed that the pump chamber meets the pressure peak before the piston reaches the top dead center.

상기 회전 위상차는, 0° 초과 80° 미만의 범위에서 적당하게 설정 가능하고, 예를 들면, 40°±30°으로 안정된 소비 전력의 삭감 효과를 얻고, 40°±15°의 범위에서 새로운 소비 전력의 삭감 효과를 얻을 수 있다. 이와 같이 회전 위상차를 최적화함으로써, 펌프 장치를 저소비 전력으로 안정되게 운전할 수 있다.The rotation phase difference can be appropriately set in a range of more than 0 DEG and less than 80 DEG. For example, a stable power consumption reduction effect can be obtained at 40 DEG +/- 30 DEG and a new power consumption Can be obtained. By optimizing the rotation phase difference in this way, the pump apparatus can be stably operated at low power consumption.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1~도 4는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 펌프 장치를 나타내는 외관도이며, 도 1은 정면측에서 본 사시도, 도 2는 배면측에서 본 사시도, 도 3은 우측면도, 도 4는 좌측면도이다.1 is a perspective view showing a pump device according to an embodiment of the present invention, Fig. 1 is a perspective view seen from the front side, Fig. 2 is a perspective view seen from the back side, Fig. 3 is a right side view, It is the left side view.

본 실시 형태의 펌프 장치(1)는, 진공단으로서의 진공 펌프부(11)(제1 펌프부)와, 가압단으로서의 가압 펌프부(12)(제2 펌프부)와, 진공 펌프부(11) 및 가압 펌프부(12)를 공통으로 구동하는 구동부(13)를 갖는다. 펌프 장치(1)는, 예를 들면, 연료 전지 시스템에서 사용되는 가스의 승압 블로어, 의료 분석기에 이용되는 진공 및 가압 펌프로서 사용된다.The pump device 1 of this embodiment includes a vacuum pump section 11 (first pump section) as a vacuum stage, a pressurization pump section 12 (second pump section) as a pressurizing stage, a vacuum pump section 11 And a driving unit 13 for driving the pressurizing pump unit 12 in common. The pump device 1 is used, for example, as a booster blower for gas used in a fuel cell system, as a vacuum pump for a medical analyzer, and as a pressurizing pump.

진공 펌프부(11) 및 가압 펌프부(12)는 전형적으로는 공통의 구성을 가지고 있으며, 본 실시 형태에서는 요동 피스톤 펌프로서 구성된다.The vacuum pump unit 11 and the pressurizing pump unit 12 typically have a common configuration, and in this embodiment, they are configured as a swing piston pump.

펌프 장치(1)는, 진공 펌프부(11)의 일부를 구성하는 제1 케이싱(101)과, 가압 펌프부(12)의 일부를 구성하는 제2 케이싱(102)과, 구동부(13)의 일부를 구성하는 제3 케이싱(103)을 포함한 펌프 케이스(100)를 갖는다.The pump device 1 includes a first casing 101 constituting a part of the vacuum pump section 11, a second casing 102 constituting a part of the pressurizing pump section 12, And a pump casing (100) including a third casing (103) constituting a part thereof.

도 5는, 진공 펌프부(11) 및 구동부(13)의 일부의 구성을 나타내는 종단면도이다. 도 5에서 X축, Y축 및 Z축은, 서로 직교하는 3축 방향을 각각 나타내 보이고 있다. 또, 가압 펌프부(12)는, 진공 펌프부(11)와 같은 구성을 가지기 때문에, 여기에서는 진공 펌프부(11)를 주로 설명한다.5 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a part of the vacuum pump section 11 and the drive section 13. Fig. In Fig. 5, the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis show the three axial directions perpendicular to each other. Since the pressurizing pump section 12 has the same configuration as that of the vacuum pump section 11, the vacuum pump section 11 will be mainly described here.

진공 펌프부(11)는, 제1 케이싱(101)과, 피스톤(21)과, 커넥팅 로드(22)(로드 부재)와, 편심부재(23)를 갖는다.The vacuum pump unit 11 has a first casing 101, a piston 21, a connecting rod 22 (rod member), and an eccentric member 23.

제1 케이싱(101)은, 케이스 본체(110)와, 실린더(111)와, 펌프 헤드(112)와, 펌프 헤드 커버(113)를 갖는다. 케이스 본체(110), 실린더(111), 펌프 헤드(112) 및 펌프 헤드 커버(113)는, Z축 방향으로 쌓이듯이 서로 일체화되고 있다.The first housing 101 has a case body 110, a cylinder 111, a pump head 112, and a pump head cover 113. The case body 110, the cylinder 111, the pump head 112, and the pump head cover 113 are integrated with each other as they are stacked in the Z-axis direction.

케이스 본체(110)는, 모터(M)를 수용하는 제3 케이싱(103)과 접속되고, 커넥팅 로드(22)가 관통하는 관통공(110h)를 갖는다. 케이스 본체(110)는, 모터(M)의 구동축(131)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(32)을 고정하는 고정부(110a)와, 모터(M)의 코일(132)을 수용하는 통부(110b)를 갖는다. 구동축(131)은, Y축 방향(제1 축 방향)으로 평행하게 배치되고, 모터(M)의 구동에 의해 Y축 주위로 회전한다. 베어링(32)은, 모터(M)의 본체와 편심부재(23)와의 사이에 배치된다.The case body 110 is connected to a third casing 103 that houses the motor M and has a through hole 110h through which the connecting rod 22 passes. The case body 110 includes a fixing portion 110a for fixing a bearing 32 for rotatably supporting a driving shaft 131 of the motor M and a cylindrical portion 110a for receiving the coil 132 of the motor M 110b. The drive shaft 131 is arranged in parallel in the Y-axis direction (first axis direction) and rotates about the Y-axis by driving of the motor M. The bearing 32 is disposed between the main body of the motor M and the eccentric member 23.

실린더(111)는, 케이스 본체(110)와 펌프 헤드(112)와의 사이에 배치되어, 내부에 피스톤(21)을 Z축 방향으로 접동 자재로 수용한다. 펌프 헤드(112)는, 실린더(111)와 펌프 헤드 커버(113)와의 사이에 배치되어, 흡입기 밸브(112a) 및 배기 밸브(112b)를 각각 갖는다. 펌프 헤드 커버(113)는 펌프 헤드(112) 위에 배치되고, 흡기 포트(114a)에 연통하는 흡기실(113a)과, 배기 포트(114b)에 연통하는 배기실(113b)을 내부에 갖는다. 흡기 포트(114a) 및 배기 포트(114b)는, 도 1 및 도 2에 나타내듯이 각 펌프부(11, 12)의 서로 대향하는 측면으로 각각 설치되어 있다.The cylinder 111 is disposed between the case body 110 and the pump head 112 and accommodates the piston 21 as a sliding member in the Z-axis direction. The pump head 112 is disposed between the cylinder 111 and the pump head cover 113 and has an intake valve 112a and an exhaust valve 112b, respectively. The pump head cover 113 is disposed on the pump head 112 and has therein an intake chamber 113a communicating with the intake port 114a and an exhaust chamber 113b communicating with the exhaust port 114b. As shown in Figs. 1 and 2, the intake port 114a and the exhaust port 114b are provided on the side surfaces of the pump portions 11 and 12, respectively, which face each other.

피스톤(21)은 원판 형상을 갖고, 커넥팅 로드(22)의 제1 단부(221)에 나사 부재(25)를 개입시켜 고정되어 있다. 피스톤(21)은, 해당 피스톤(21)과 펌프 헤드(112)와의 사이에 펌프실(26)을 형성한다. 피스톤(21)은, 실린더(111)의 내부에서 Z축 방향(제2 축 방향)과 평행한 방향으로의 왕복 이동에 의해 펌프실(26)의 내압을 변화시킨다. 그리고 피스톤(21)은, 흡입기 밸브(112a) 및 배기 밸브(112b)를 개입시켜 펌프실(26)을 교대로 흡기 및 배기함으로써, 소정의 펌프 작용을 실시한다.The piston 21 has a disk shape and is fixed to the first end portion 221 of the connecting rod 22 through a screw member 25. The piston 21 forms a pump chamber 26 between the piston 21 and the pump head 112. The piston 21 changes the internal pressure of the pump chamber 26 by reciprocating movement in the direction parallel to the Z-axis direction (second axial direction) inside the cylinder 111. The piston 21 performs a predetermined pumping action by alternately introducing and exhausting the pump chamber 26 through the intake valve 112a and the exhaust valve 112b.

커넥팅 로드(22)는, 피스톤(21)과 편심부재(23)의 사이를 서로 연결한다. 커넥팅 로드(22)는, 피스톤(21)과 접속되는 제1 단부(221)와, 편심부재(23)와 접속되는 제2 단부(222)를 갖는다. 제1 단부(221)는, 피스톤(21)과 거의 동지름의 원형으로 형성된다. 이들 피스톤(21)과 제1 단부(221)와의 사이에는 원판 형상의 씰 부재(24)가 장착되어 있다. 씰 부재(24)의 주연부는, 실린더(111)의 내주면에 접접 가능하게 펌프실(26) 측에 절곡되어 있다.The connecting rod 22 connects the piston 21 and the eccentric member 23 to each other. The connecting rod 22 has a first end portion 221 connected to the piston 21 and a second end portion 222 connected to the eccentric member 23. The first end portion 221 is formed in a circular shape having almost the same diameter as the piston 21. A disc-shaped seal member 24 is mounted between the piston 21 and the first end portion 221. The peripheral edge of the seal member 24 is bent toward the pump chamber 26 so as to be able to contact with the inner peripheral surface of the cylinder 111.

또한 가압 펌프부(12)에서는, 상기 씰 부재의 주연부는, 상술의 예와는 반대로, 펌프실 측에 절곡된다.Further, in the pressurizing pump section 12, the peripheral edge of the seal member is bent to the pump chamber side, contrary to the above-described example.

커넥팅 로드(22)의 제2 단부(222)에는, 편심부재(23)의 편심축(232)에 감합하는 감합공(222a)가 형성되어 있다. 감합공(222a)에는 편심축(232)을 회전 자재로 지지하는 베어링(31)이 장착되어 있다.An engaging hole 222a for engaging the eccentric shaft 232 of the eccentric member 23 is formed at the second end 222 of the connecting rod 22. A bearing 31 for rotatably supporting the eccentric shaft 232 is attached to the fitting hole 222a.

편심부재(23)는, 제3 케이싱(103)에 수용된 모터(M)의 구동축(131)과 커넥팅 로드(22)와의 사이를 서로 연결한다. 편심부재(23)는, 대략 원주 형상의 베이스 블록(230)을 갖는다. 베이스 블록(230)의 모터(M) 측의 면에는 구동축(131)이 연결되고, 커넥팅 로드(22) 측의 면에는 편심축(232)이 형성되어 있다. 편심축(232)의 축심은 구동축(131)의 회전에 수반해 편의(偏倚)하도록, 구동축(131)에 대해서 편심되어 있다. 구동축(131)은, 베이스 블록(230)의 측 주위면에 체결된 나사(41)에 의해서 베이스 블록(230)과 연결된다.The eccentric member 23 connects the drive shaft 131 of the motor M accommodated in the third casing 103 and the connecting rod 22 to each other. The eccentric member 23 has a base block 230 of a substantially columnar shape. The driving shaft 131 is connected to the surface of the base block 230 on the side of the motor M and the eccentric shaft 232 is formed on the surface of the connecting rod 22 side. The axis of the eccentric shaft 232 is eccentric with respect to the drive shaft 131 so as to be displaced with the rotation of the drive shaft 131. [ The drive shaft 131 is connected to the base block 230 by a screw 41 fastened to the side peripheral surface of the base block 230.

편심부재(23)에는, 카운터 웨이트(51)가 장착되어 있다. 카운터 웨이트(51)는, 베이스 블록(230)의 측 주위면에 체결된 고정 나사(42)에 의해서 편심부재(23)의 측 둘레부에 고정된다. 카운터 웨이트(51)는, 피스톤(21)과 함께 회전하고, 구동축(131)의 회전에 수반하는 커넥팅 로드(22)의 편심축(232) 주위의 회전 시에 생기는 진동을 상쇄하는 작용을 갖는다. 카운터 웨이트(51)은, 구동축(131)에 대해서 편심축(232)의 편심 방향과는 역 방향으로 편의(偏倚)한 위치에 배치된다.A counterweight 51 is mounted on the eccentric member 23. The counterweight 51 is fixed to the side edge portion of the eccentric member 23 by a fixing screw 42 fastened to the side peripheral surface of the base block 230. The counterweight 51 has an action of rotating together with the piston 21 and canceling vibrations generated when the connecting rod 22 rotates around the eccentric shaft 232 due to the rotation of the drive shaft 131. [ The counterweight 51 is disposed at a position offset with respect to the drive shaft 131 in a direction opposite to the eccentric direction of the eccentric shaft 232.

위에서 설명한 바와 같이 구성되는 진공 펌프부(11)에서는, 모터(M)의 구동에 의해 편심부재(23)가 구동축(131)의 주위로 회전함으로써, 편심축(232)은, 구동축(131)으로부터의 편심량에 대응하는 반경을 갖는 원주를 따라서 구동축(131)의 주위를 공전한다. 편심축(232)에 연결된 커넥팅 로드(22)는, 구동축(131)의 회전을 실린더(111)의 내부에서의 피스톤(21)의 왕복 이동으로 변환한다. 즉 피스톤(21)은, 실린더(111)의 내부에서 도 5에 대해 X축 방향으로 요동 하면서 Z축 방향으로 왕복 이동한다. 이것에 의해 펌프실(26)의 흡기 및 배기가 교대로 행해져, 진공 펌프부(11)에 의한 소정의 진공 배기 작용을 얻을 수 있다.The eccentric member 23 is rotated around the drive shaft 131 by the drive of the motor M so that the eccentric shaft 232 is rotated from the drive shaft 131 Thereby revolving the periphery of the drive shaft 131 along a circumference having a radius corresponding to the eccentricity of the drive shaft 131. [ The connecting rod 22 connected to the eccentric shaft 232 converts the rotation of the drive shaft 131 into the reciprocating motion of the piston 21 in the cylinder 111. [ That is, the piston 21 reciprocates in the Z-axis direction while swinging in the X-axis direction with respect to FIG. 5 from inside the cylinder 111. As a result, intake and exhaust of the pump chamber 26 are alternately performed, and a predetermined vacuum evacuation action by the vacuum pump unit 11 can be obtained.

한편, 가압 펌프부(12)는, 진공 펌프부(11)와 같게 구성되고, 구동축(131)은, 가압 펌프부(12) 측에도 돌출되고, 가압 펌프부(12)의 편심축(도시 생략)에 연결된다. 이것에 의해 가압 펌프부(12)는, 진공 펌프부(11)와 동시에 공통의 모터(M)에 의해서 구동되어, 소정의 가압(승압) 작용을 실시한다.The drive shaft 131 protrudes from the side of the pressurizing pump section 12 and is connected to an eccentric shaft (not shown) of the pressurizing pump section 12. The pressurizing pump section 12, Lt; / RTI > As a result, the pressurizing pump unit 12 is driven by the common motor M at the same time as the vacuum pump unit 11, and performs a predetermined pressurizing (boosting) action.

여기서, 진공 펌프부(110)와 가압 펌프부(12)는, 서로 다른 위상으로 구동된다. 즉 본 실시 형태에서는, 가압 펌프부(12)의 피스톤(21)(제2 피스톤)이 진공 펌프부(11)의 피스톤(21)(제1 피스톤)에 대해 0° 초과 80° 미만의 회전 위상차를 가지고 진상되도록 구성된다.Here, the vacuum pump unit 110 and the pressurizing pump unit 12 are driven in different phases. That is, in this embodiment, the piston 21 (second piston) of the pressurizing pump section 12 is rotated with respect to the piston 21 (first piston) of the vacuum pump section 11 by a rotational phase difference As shown in FIG.

상기 각 피스톤에 상술한 바와 같은 회전 위상차를 갖게 하기 위해서, 본 실시 형태에서는, 각 펌프(11, 12)의 편심축(232)의 위치를 다르게 한다. 본 실시 형태에 의하면, 나사(41)의 체결만으로 편심부재(23)를 구동축(131)에 고정하고 있으므로, 양 펌프(11, 12)에서의 편심축(232) 각각의 상대 위치의 조정이 용이하다.In order to provide the above-described rotation phase difference to each piston, the position of the eccentric shaft 232 of each pump 11, 12 is made different in the present embodiment. According to the present embodiment, since the eccentric member 23 is fixed to the drive shaft 131 only by fastening the screw 41, it is easy to adjust the relative positions of the eccentric shafts 232 in the pumps 11 and 12 Do.

또, 편심부재(23)에 고정되는 카운터 웨이트의 위치가 편심축(232)의 편심 방향과 상관하고 있기 때문에, 펌프 장치(1)의 외부에서도 양 피스톤(21)의 회전 위상차를 용이하게 확인할 수 있다. 즉 도 1~도 4에 나타내듯이, 진공 펌프부(11)의 카운터 웨이트(51)에서, 가압 펌프부(12)의 카운터 웨이트(52)는, 구동축(131)의 회전 방향(도 3에서 Y축을 중심으로 하는 시계 방향, 도 4에서 Y축을 중심으로 하는 반시계 방향)으로 상기 소정의 회전 위상차(0° 초과 80° 미만)만 진상된 위치에 고정된다.Since the position of the counterweight fixed to the eccentric member 23 is correlated with the eccentric direction of the eccentric shaft 232, the phase difference in rotation of both pistons 21 can be easily confirmed even outside the pump device 1 have. 1 to 4, in the counterweight 51 of the vacuum pump unit 11, the counterweight 52 of the pressurizing pump unit 12 is rotated in the rotational direction of the drive shaft 131 (A clockwise direction around the axis, and a counterclockwise direction about the Y axis in FIG. 4) is fixed at a position where the predetermined rotational phase difference (less than 0 DEG and less than 80 DEG) is advanced.

도 6(A), (B)는, 진공 펌프부(11) 측의 편심축(232v)과, 가압 펌프부(12) 측의 편심축(232c)과의 관계를 설명하는 모식도이며, (A)는 정면도, (B)는 진공 펌프부(11) 측에서 본 측면도이다. 도 6(B)에 나타내듯이, 가압 펌프측의 편심축(232c)은, 진공 펌프부(11) 측의 편심축(232v)보다 소정의 회전 위상차(φ)를 가지고 진상된 위치에 설치되어 있다. 이 때문에, 진공 펌프부(11) 측의 피스톤(21v)과 가압 펌프부(12) 측의 피스톤(21c)과는 서로 위상차(φ)만 시프트 해서 구동되고, 피스톤(21c)이 피스톤(21v)보다 위상차(φ)에 상당하는 시간만큼 빨리 상사점에 도달한다.6A and 6B are schematic diagrams for explaining the relationship between the eccentric shaft 232v on the side of the vacuum pump unit 11 and the eccentric shaft 232c on the side of the pressurizing pump unit 12, (B) is a side view seen from the side of the vacuum pump section 11. Fig. 6B, the eccentric shaft 232c on the side of the pressurizing pump 11 is provided at a position that is in the advanced position with a predetermined rotational phase difference (phi) than the eccentric shaft 232v on the side of the vacuum pump unit 11 . The piston 21v on the side of the vacuum pump section 11 and the piston 21c on the side of the pressurizing pump section 12 are driven by shifting only the phase difference phi and the piston 21c is driven by the piston 21v, Reaches the top dead center time earlier than the time corresponding to the phase difference phi.

회전 위상차(φ)는, 0° 초과 80° 미만의 적당의 범위로 설정된다. 이것에 의해, 양 피스톤(21v, 21c)가 동위상(φ=0)으로 구동되는 경우와 비교하여, 모터(M)의 소비 전력을 작게 할 수 있다. 또, φ=40°±15°로 설정함으로써, 상술한 모터(M)의 저소비 전력 운전을 안정적으로 유지할 수 있다.The rotation phase difference phi is set to a suitable range of more than 0 DEG and less than 80 DEG. This makes it possible to reduce the power consumption of the motor M as compared with the case where both pistons 21v and 21c are driven in the same phase (? = 0). Further, by setting? = 40 占 15 占, the above-described low power consumption operation of the motor M can be stably maintained.

도 7(A)은, 진공 펌프에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내는 일 실험 결과이고, 도 7(B)은, 가압 펌프에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내는 일 실험 결과이다. 도면 중에서, 실선은 50Hz 운전시, 점선은 60Hz 운전시의 실험 결과이다.7A shows a result of an experiment showing the time variation between the pump chamber pressure and the piston position in the vacuum pump. Fig. 7B is a graph showing the time variation between the pump chamber pressure and the piston position in the pressurizing pump Experimental results. In the figure, the solid line indicates the result of 50 Hz operation, and the dotted line indicates the experimental result at 60 Hz operation.

또한, 실험에 이용한 펌프 장치의 양정은, 진공단(진공 펌프)에서 40[kPa(절대압)], 가압단(가압 펌프)에서 220[kPaG(게이지압)]로 한다. 펌프실의 내압은, 펌프실에 기밀로 삽입한 튜브를 개입시켜 측정한다. 피스톤 위치는, 커넥팅 로드의 하부에 부착한 가속도계의 출력을 이용한다. 각 단의 펌프의 실린더 지름은 φ 37mm, 편심축의 편심량은 3.3mm, 모터의 회전수는 약 1400rpm/1700rpm 대(50Hz/60Hz)로 한다. 도 8, 도 9에 나타낸 실험 결과의 조건도 마찬가지이다.The head of the pump device used in the experiment is set to 40 [kPa (absolute pressure)] at the vacuum stage (vacuum pump) and 220 [kPaG (gauge pressure)] at the pressure stage (pressurization pump). The internal pressure of the pump chamber is measured through a tube inserted airtightly into the pump chamber. The piston position uses the output of the accelerometer attached to the lower part of the connecting rod. The cylinder diameter of each stage pump is 37 mm, the eccentricity of the eccentric shaft is 3.3 mm, and the number of revolutions of the motor is approximately 1400 rpm / 1700 rpm band (50 Hz / 60 Hz). The conditions of the experimental results shown in Figs. 8 and 9 are also the same.

진공단에서는, 펌프실 내압은 피스톤 위치에 동기하여 동위상으로 변화하는데(도 7(A)), 가압단에서는, 펌프실 내압은 피스톤 위치에 동기하지 않고, 이러한 사이에 위상차가 생긴다(도 7(B)). 보다 구체적으로는, 가압단의 피스톤이 상사점에 이르기 전에 펌프실 내에 압력 피크가 나타난다.7 (A)), the pressure in the pump chamber is not synchronized with the position of the piston in the pressure stage, and a phase difference is generated between the pressure in the pump chamber and the piston position (Fig. 7 )). More specifically, a pressure peak appears in the pump chamber before the piston of the pressure end reaches the top dead center.

이상의 실험 결과로부터, 진공단 및 가압단 각각의 피스톤을 서로 동위상으로 구동했다고 해도, 진공단 및 가압단 각각의 펌프실 내압은 동위상으로 변화하지 않고, 가압단의 펌프실이 진공단의 펌프실보다 빨리 압력 최대치에 이르는 것이 확인되었다.From the above experimental results, it can be seen that even if the pistons of the vacuum stage and the pressure stage are driven in phase with each other, the pump chamber pressure of each of the vacuum stage and the pressure stage does not change to the same phase and the pump chamber of the pressure stage is faster It has been confirmed that the pressure reaches a maximum value.

또, 제1 펌프부와 제2 펌프부와 양 펌프실의 내압 변화가 역위상이 되도록 펌프 장치를 구성함으로써, 각 펌프부의 피스톤을 서로 동위상으로 구동하는 경우와 비교하여, 구동 모터의 소비 전력을 작게 하는 것이 가능해지는 것이 실험에 의해 확인되었다.In addition, as compared with the case where the pistons of the respective pump sections are driven in phase with each other, the power consumption of the drive motor can be improved It has been confirmed by experiment that it becomes possible to make it smaller.

여기서, 내압의 시간 변화가 역위상이라는 것은, 전형적으로는, 양 펌프실 내의 압력 파형이 180°의 위상을 가지는 것을 말하지만, 이것에 한정되지 않고, 실질적인 의미로 역위상의 관계에 있다고 해석할 수 있는 위상 관계를 가지고 있으면 된다. 여기서, 실질적인 의미로의 역위상이란, 예를 들면, 양 피스톤이 동위상으로 구동되는 경우보다 소비 전력이 작아지는 위상 관계이다라고 정의할 수 있다.Here, the time variation of the internal pressure is in the opposite phase. Typically, the pressure waveform in both pump chambers has a phase of 180 degrees. However, the present invention is not limited to this, Phase relationship. Here, the inverse phase to a substantial meaning is, for example, a phase relationship in which power consumption is smaller than when both pistons are driven in phase.

진공단의 펌프실 내압의 압력 파형과 가압단의 펌프실 내압의 압력 파형이 동위상이 되도록, 가압단의 피스톤과 진공단의 피스톤과의 사이에 소정의 위상차를 갖게 해 펌프 장치를 구성하는 경우에는, 가압단의 피스톤은, 진공단의 피스톤에 대해서 180° 초과 260° 미만만 진행된 회전 위상차로 설정된다. 해당 회전 위상차가 220° 때의 실험 결과를 도 7(A)~(C)에 나타내었다. 도 7(C)은, 진공단에서의 펌프실의 압력 파형과 가압단에서의 펌프실의 압력 파형과의 합성 파형을 나타내고 있다.In the case where the pump device is constituted so as to have a predetermined phase difference between the piston of the pressure end and the piston of the vacuum end so that the pressure waveform of the inside pressure of the pump compartment of the compressor stage and the pressure waveform of the pump chamber internal pressure of the pressure end are in phase, The piston of the pressure end is set to a rotational phase difference that is greater than 180 DEG and less than 260 DEG with respect to the piston at the negative end. Figs. 7 (A) to 7 (C) show experimental results when the phase difference is 220 deg. 7 (C) shows a composite waveform of the pressure waveform of the pump chamber at the negative terminal and the pressure waveform of the pump chamber at the pressure end.

한편, 진공단의 펌프실 내압의 압력 파형과 가압단의 펌프실 내압의 압력 파형이 역위상이 되도록, 가압단의 피스톤과 진공단의 피스톤과의 사이에 소정의 위상차를 갖게 해 펌프 장치를 구성하는 경우에는, 가압단의 피스톤은, 진공단의 피스톤에 대해서 0° 초과 80° 미만만 진행된 회전 위상차로 설정된다. 해당 회전 위상차가 40° 때의 실험 결과를 도 8(A)~(C)에 나타내었다. 도 8(A)은, 진공단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타내고, 도 8(B)은, 가압단에서의 펌프실 내압과 피스톤 위치와의 시간 변화를 나타낸다. 또 도 8(C)은, 진공단에서의 펌프실의 압력 파형과 가압단에서의 펌프실의 압력 파형과의 합성 파형을 나타내고 있다.On the other hand, when the pump device is constituted so as to have a predetermined phase difference between the piston of the pressure end and the piston of the vacuum end so that the pressure waveform of the internal pressure of the pump chamber of the negative electrode and the pressure waveform of the pump chamber internal pressure of the pressure end are opposite in phase , The piston of the pressurizing end is set to a rotational phase difference which is advanced by more than 0 DEG and less than 80 DEG with respect to the piston of the negative pressure stage. 8A to 8C show experimental results when the phase difference is 40 DEG. 8 (A) shows the time variation between the pump chamber internal pressure and the piston position at the negative terminal, and Fig. 8 (B) shows the time variation between the pump chamber internal pressure and the piston position at the pressure terminal. Fig. 8 (C) shows a composite waveform of the pressure waveform of the pump chamber at the negative terminal and the pressure waveform of the pump chamber at the pressure end.

계속하여 도 9는, 진공단의 피스톤에 대한 가압단의 피스톤의 회전 위상차와 모터의 소비 전류와의 관계를 나타내는 실험 결과이다. 횡축의 회전 위상차는, 진공단의 피스톤에 대한 가압단의 피스톤의 진상 각도(구동축의 회전 방향으로 가압측 피스톤이 진공측 피스톤보다 진행된 위상 각도)를 나타내고 있다.9 is an experimental result showing the relationship between the rotational phase difference of the piston of the pressing end against the piston at the negative terminal and the consumption current of the motor. The rotation phase difference of the abscissa represents the phase angle of the piston of the pressing end with respect to the piston at the negative terminal (the phase angle at which the pressing side piston travels with respect to the vacuum side piston in the rotating direction of the drive shaft).

도 9에 나타내듯이, 진공단의 피스톤에 대한 가압단의 피스톤의 회전 위상차(φ)에 따라 모터의 전류치가 변화하는 것을 알 수 있다. 이것은, 각 단에서의 펌프실 간의 압력 변화의 균형성이 관계하고 있다고 생각할 수 있다.As shown in Fig. 9, it can be seen that the current value of the motor changes according to the phase difference of rotation (phi) of the piston of the pressing end with respect to the piston at the negative terminal. This can be considered to be related to the balance of the pressure change between the pump chambers at each stage.

본 실험예에 대해 전류치가 가장 낮은 회전 위상차(φ)는 40°이며, 이 때의 각 단의 펌프실에서의 압력 파형은 도 8 (A), (B)에 나타내듯이 서로 역위상의 관계에 있다. 이 경우, 각 단의 펌프실의 내압의 합성 파형은 도 8(C)과 같이 되어, 각 단의 펌프실 내압은 서로 상쇄되는 결과, 모터의 소비 전류가 최소가 되는 것이라고 생각할 수 있다.In this experimental example, the rotational phase difference (phi) having the lowest current value is 40 DEG, and the pressure waveforms at the respective pump chambers at this time are in an inverse phase relationship as shown in Figs. 8A and 8B . In this case, the composite waveform of the internal pressure of the pump room at each stage is as shown in Fig. 8 (C), and the internal pressure of the pump room at each stage is canceled with each other, so that the consumption current of the motor is minimized.

이것에 대해서 각 단의 펌프실의 내압이 서로 동위상이 되는 구동 조건(진공단의 피스톤에 대한 가압단의 피스톤의 회전 위상차가 +220°)에서는, 도 7(C)에 나타내듯이 각 단의 펌프실의 내압이 중첩되어서 모터에 주기적인 부하 변동을 가져오고, 이것이 원인으로 소비 전류치가 커지는 것이라고 생각할 수 있다.On the other hand, as shown in Fig. 7 (C), in the driving condition in which the inner pressure of the pump room at each stage is in phase with each other (the phase difference in rotation of the piston of the pressure stage with respect to the piston at the compression stage is +220) It is possible to consider that the internal voltage of the motor is overlapped to cause periodic load fluctuations in the motor, which causes the current consumption value to increase.

또 도 9에 나타내듯이, 회전 위상차(φ)가 0° 초과 80° 미만의 범위에서는, 전원 주파수가 50Hz 또는 60Hz에서, 회전 위상차(φ)=0°(360°) 때와 비교해 모터의 구동 전류를 작게 할 수 있는 것이 확인된다. 특히, 회전 위상차(φ)=40°±30°의 범위 내에서는, 전원 주파수의 차이에 의하지 않고 φ=0°때보다 항상 전류치를 작게 할 수 있다. 또한, φ=40°±15의 범위 내에서는, 더욱 소비 전력을 효과적으로 저감하는 것이 가능하고, 50Hz 때에 약 4.1%, 60Hz 때에 약 2.2% 전류치를 삭감할 수 있었다.As shown in Fig. 9, when the rotation phase difference phi is in the range of more than 0 DEG and less than 80 DEG, the power supply frequency is 50 Hz or 60 Hz, Can be reduced. Particularly, within the range of the phase difference of rotation? = 40 占 30 占 the current value can always be made smaller than when? = 0, regardless of the difference in power supply frequency. Further, within the range of? = 40 占 15, the power consumption can be further effectively reduced, and the current value can be reduced by about 4.1% at 50 Hz and by about 2.2% at 60 Hz.

더욱 상기 위상차(φ)를 40°±15°로 설정하는 것으로써, 전류 소비량의 저감뿐만이 아니라 펌프 장치(1)의 구동 시에 발생하는 진동도 저감 할 수 있다. 본 발명자들의 실험에 의하면, 예를 들면 φ=40°때, 진공단 및 가압단의 각 피스톤이 동위상(φ=0°) 때와 비교하여, X, Y 및 Z의 각 축 방향(도 1 참조)에서의 진동 가속도를 모두 저감할 수 있는 것이 확인된다. 이 진동 저감 효과는, 50Hz 및 60Hz의 어느 전원 주파수에 대해서도 확인되었다.Further, by setting the phase difference (phi) to 40 deg. 15 deg., It is possible to reduce not only the current consumption but also the vibration generated when the pump device 1 is driven. According to the experiment of the inventors of the present invention, as compared with the case where each piston of the negative terminal and the pressure terminal is in phase (φ = 0 °) at φ = 40 °, It is possible to reduce the vibration acceleration at all. This vibration reduction effect was confirmed for any power frequency of 50 Hz and 60 Hz.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상술의 실시 형태에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러 가지 변경을 더할 수 있는 것은 물론이다.Although the embodiment of the present invention has been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be added within the scope not deviating from the gist of the present invention.

예를 들면 이상의 실시 형태에서는, 펌프 장치를 구성하는 진공 펌프부(11) 및 가압 펌프부(12)가 각각 요동형 피스톤 펌프로 구성되었지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 다이아프램 펌프 등의 다른 왕복 이동형 피스톤 펌프로 각 펌프가 구성되어도 괜찮다.For example, in the above embodiment, the vacuum pump section 11 and the pressurizing pump section 12 constituting the pump apparatus are each composed of the oscillating piston pump, but the present invention is not limited to this. For example, a diaphragm pump Each pump may be configured with a different reciprocating piston pump.

또 이상의 실시 형태에서는, 단일의 구동 모터와 2개의 펌프부를 가지는 펌프 장치를 예로 들어 설명했지만, 상기 구동 모터와 2개의 펌프부로 구성되는 펌프 유닛을 복수조(예를 들면 2조) 구비하는 펌프 장치에도, 본 발명은 적용 가능하다.
In the above embodiment, a pump device having a single drive motor and two pump units is taken as an example. However, a pump device having a plurality of pump units (for example, two pumps) constituted by the drive motor and two pump units The present invention is also applicable.

1…펌프 장치
11…진공 펌프
12…가압 펌프
21, 21v, 21c…피스톤
26…펌프실
51, 52…카운터 웨이트
131…구동축
232, 232v, 232c…편심축
M…모터One… Pump device
11 ... Vacuum pump
12 ... Pressure pump
21, 21v, 21c ... piston
26 ... Pump room
51, 52 ... Counterweight
131 ... driving axle
232, 232v, 232c ... Eccentric shaft
M ... motor

Claims (3)

제1 구동축과, 제2 구동축을 갖고, 상기 제1 구동축 및 상기 제2 구동축을 제1 축 주위에 동기하여 회전시키는 것이 가능한 구동 모터와,
상기 제1 구동축의 회전에 의해서 상기 제1 축과 직교하는 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제1 피스톤과, 상기 제1 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제1 펌프실을 갖는 진공 배기용의 제1 펌프부와,
상기 제2 구동축의 회전에 의해서 상기 제2 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 피스톤과, 상기 제2 피스톤의 왕복 이동에 따라 내압이 변화하는 제2 펌프실을 갖고, 상기 제2 피스톤이 상기 제1 피스톤에 대해서 40°±15°인 회전 위상차를 가지고 진상(進相, phase advance)하는 가압용의 제2 펌프부와,
를 구비하는 펌프 장치.
A drive motor which has a first drive shaft and a second drive shaft and is capable of rotating the first drive shaft and the second drive shaft in synchronism with each other around a first axis,
A first piston reciprocating in a second axis direction perpendicular to the first axis by rotation of the first drive shaft and a first pump chamber having a pressure change according to reciprocation of the first piston, A first pump section,
A second piston reciprocating in the second axial direction by rotation of the second drive shaft and a second pump chamber whose internal pressure changes in accordance with reciprocal movement of the second piston, A second pump section for pushing in phase with a rotational phase difference of 40 DEG +/- 15 DEG with respect to the first pump section,
.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 펌프부는, 상기 제1 피스톤과 함께 상기 제1 구동축의 주위를 회전하는 제1 카운터 웨이트를 더 갖고,
상기 제2 펌프부는, 상기 제1 카운터 웨이트에 대해서 상기 회전 위상차를 갖고 상기 제2 피스톤과 함께 상기 제2 구동축의 주위를 회전하는 제2 카운터 웨이트를 더 갖는
펌프 장치.The method according to claim 1,
The first pump portion further has a first counterweight rotating around the first drive shaft together with the first piston,
And the second pump section further includes a second counterweight having the rotational phase difference with respect to the first counterweight and rotating with the second piston about the second drive shaft
Pump device.
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