KR101600876B1

KR101600876B1 - Slit Valve

Info

Publication number: KR101600876B1
Application number: KR1020140135845A
Authority: KR
Inventors: 장정환
Original assignee: 주식회사 토르
Priority date: 2014-10-08
Filing date: 2014-10-08
Publication date: 2016-03-09

Abstract

The present invention relates to a slit valve capable of checking sealing. Especially, the slit valve comprises: a bottom plate wherein a solenoid valve connected to an air supply line is formed on one side thereof; a lifting cylinder provided with air from the solenoid valve; a check valve assembly provided with the air from the solenoid valve; a moving unit raised along with a load when the load is raised; a main shaft raised along with the moving unit and provided with air; a seal plate assembly sealing an opening and shutting device between a transfer chamber and a process chamber, thereby enabling the sealing of the opening and shutting device to be checked from the outside without directly looking at the seal plate assembly.

Description

Slit Valve with Sealing Verification {Slit Valve}

본 발명은 슬릿밸브에 관한 것으로서, 특히 각 챔버의 슬릿이 밀폐되었음을 외부에서 확인할 수 있는 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 관한 것이다.
The present invention relates to a slit valve, and more particularly, to a slit valve capable of confirming an externally visible sealing of a slit of each chamber.

일반적으로 반도체 제조설비는 특수한 분위기에서 공정이 수행되며, 이들 특수한 공정 분위기를 형성하기 위하여 통제나 조절이 쉬운 별도의 작은 공간을 인접하게 형성시키고, 이들 공간을 외부와 격리되도록 함으로써 주된 공정이 수행되는 공간의 내부는 항상 균일한 공정 분위기가 유지되도록 하고 있다.Generally, the semiconductor manufacturing facility performs a process in a specific atmosphere. In order to form these special process atmosphere, a separate small space which is easy to control and adjust is formed adjacent to each other, and these spaces are isolated from the outside, The inside of the space is always kept in a uniform process atmosphere.

외부와 격리되게 하면서 공정 진행시 이 작은 공간을 드나드는 웨어퍼의 통로가 마련되며, 이 통로는 통상 슬릿밸브에 의해 개폐되도록 하고 있다.A passage for a wiper to pass through the small space is provided at the time of the process while being isolated from the outside, and this passage is normally opened and closed by a slit valve.

에를 들면, 반도체 제조설비는 트랜스퍼챔버, 프로세스챔버 및 이들에 인접한 기타 챔버를 구비하고 있는데, 이 챔버들에는 웨이퍼들이 통과되는 슬릿(또는 개폐구)들이 존재하고, 이 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브가 설치되어 있다.For example, a semiconductor manufacturing facility includes a transfer chamber, a process chamber, and other chambers adjacent to these chambers, in which slits (or openings) through which wafers pass are present and slit valves are provided for opening and closing the slits have.

상기와 같은 슬릿밸브의 중요한 기능은 각 챔버들의 분위기를 일정하게 유지시키는 것이기 때문에 견고하게 슬릿을 밀폐하는 것이 필요하다.Since the important function of the slit valve as described above is to keep the atmosphere of each chamber constant, it is necessary to firmly seal the slit.

그러나, 종래의 슬릿밸브는 슬릿을 밀폐하였음을 확인하는 수단이 마련되어 있지 않아서 오작동에 의해 슬릿밸브가 슬릿을 밀폐하지 않았다 하더라도 이를 즉시 확인할 수 없는 문제점이 있었다.
However, in the conventional slit valve, there is no means for confirming that the slit is closed, so that even if the slit valve does not seal the slit due to malfunction, it can not be confirmed immediately.

출원번호:10-2003-0071906 (등록번호:10-0448174, 발명의 명칭:슬릿밸브)Application No.: 10-2003-0071906 (Registration No.: 10-0448174, entitled: Slit valve)

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 씰플레이트 어셈블리가 슬릿(개폐구)를 씰링(밀폐)한 경우 씰플레이트 어셈블리를 직접 보지 않고도 이것을 외부에서 확인할 수 있는 씰링확인이 가능한 슬릿밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a seal plate assembly, The purpose is to provide a valve.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브는 트랜스퍼챔버(Transfer Chamber)와 프로세스챔버(Process Chamber) 사이에 설치되어 진공챔버를 개폐하는 것으로서; 에어공급라인과 연결된 솔레노이드밸브가 일측에 설치되고, 상기 솔레노이드밸브와 연결된 다수의 에어라인이 내부에 형성되며, 상면에 센서블록이 설치된 보텀플레이트와; 상기 보텀플레이트의 상부 양측에 설치되어 상기 솔레노이드밸브로부터 에어를 공급받는 승강실린더와; 상기 보텀플레이트의 상측에 설치되고, 상기 솔레노이드밸브로부터 에어를 공급받는 체크밸브 어셈블리와; 상기 보텀플레이트의 상측에 위치됨과 아울러 상기 승강실린더의 로드에 연결됨으로써 승강실린더의 몸체에 에어가 공급되어 로드가 상승할 때 함께 상승하는 무빙유닛과; 상기 무빙유닛에 연결되어 무빙유닛이 상승할 때 같이 상승하고, 상기 체크밸브 어셈블리와 에어라인으로 연결되어 에어를 공급받는 메인샤프트와; 상기 메인샤프트의 상단에 연결되어 내부에 포함된 실린더에 에어가 공급됨으로써 상기 실린더에 연결된 씰링패널이 벌어져 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하는 씰플레이트 어셈블리;를 포함하여 구성되어, 상기 씰링패널이 개폐구를 밀폐한 이후에 상기 솔레노이드밸브로부터 공급되는 에어의 압력에 의해 움직이는 상기 체크밸브 어셈블리의 움직임을 상기 센서블록이 감지하여 상기 씰링패널이 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 확인한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a slit valve capable of confirming sealing, which is installed between a transfer chamber and a process chamber to open and close a vacuum chamber, A bottom plate in which a solenoid valve connected to an air supply line is installed at one side, a plurality of air lines connected to the solenoid valve are formed inside and a sensor block is installed on an upper surface of the bottom plate; An elevating cylinder installed at both sides of the upper portion of the bottom plate and supplied with air from the solenoid valve; A check valve assembly installed above the bottom plate and supplied with air from the solenoid valve; A moving unit positioned above the bottom plate and connected to a rod of the lifting cylinder to supply air to the body of the lifting cylinder to rise together when the lifting rod is lifted; A main shaft connected to the moving unit and rising together when the moving unit ascends, and connected to the check valve assembly by an air line to receive air; And a seal plate assembly connected to an upper end of the main shaft and supplying air to a cylinder included therein to seal a door between the transfer chamber and the process chamber to open a sealing panel connected to the cylinder, The sensor block senses the movement of the check valve assembly moved by the pressure of the air supplied from the solenoid valve after the panel closes the opening and closing port so that the sealing panel closes the opening and closing port between the transfer chamber and the process chamber Check.

여기서, 상기 체크밸브 어셈블리는 상기 솔레노이드밸브와 에어라인으로 연결되어 에어를 공급받는 에어유입홀이 일측에 형성되고, 유입된 에어가 배출되는 에어배출홀이 타측에 형성된 체크바디와; 상기 체크바디 내부에 설치되고, 상기 에어유입홀과 연통되는 유동홀이 형성된 체크하우징과; 상기 체크하우징 내부에 설치되고, 상기 체크하우징의 유동홀을 통해 유입된 에어의 압력을 받는 제1압력부와 제2압력부가 일측과 타측에 각각 형성되되, 상기 제1압력부의 단면이 제2압력부의 단면보다 더 크게 형성되는 체크샤프트와; 상기 체크샤프트의 일측에 연결되는 푸쉬샤프트와; 상기 체크샤프트의 타측에 연결되고, 마그넷블록이 설치된 센서샤프트;로 구성되어, 상기 씰링패널이 개폐구를 밀폐한 이후에 상기 솔레노이드밸브로부터 공급되는 에어의 압력에 의해 제1압력부 쪽으로 상기 체크샤프트가 이동할 때 상기 센서샤프트와 함께 이동하는 마그넷블록을 상기 센서블록이 감지하여 씰링패널이 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 확인한다.The check valve assembly may include a check body having an air inlet hole connected to the solenoid valve through an air line to receive air and having an air outlet hole through which the introduced air is discharged; A check housing provided inside the check body and having a flow hole communicating with the air inlet hole; A first pressure portion and a second pressure portion which are installed in the check housing and receive pressure of the air introduced through the flow holes of the check housing are formed on one side and the other side respectively, A check shaft formed to be larger than the cross section of the portion; A push shaft connected to one side of the check shaft; And a sensor shaft connected to the other side of the check shaft and having a magnet block installed therein. The seal panel closes the opening and closing port, and then the check shaft is moved toward the first pressure portion by the pressure of air supplied from the solenoid valve The sensor block senses a magnet block moving together with the sensor shaft when moving, thereby confirming that the sealing panel has closed the opening / closing port between the transfer chamber and the process chamber.

그리고, 상기 무빙유닛은 상기 보텀플레이트의 상측에 위치되고, 상기 승강실린더의 로드 끝단에 연결되어 로드가 승강될 때 함께 승강되는 승강플레이트와; 상기 보텀플레이트의 상면에 직립 설치되되, 상기 승강플레이트가 삽입되어 승강(昇降)될 수 있도록 하측부에 승강홀이 형성되고, 제1승강홈이 형성됨과 아울러 상단에 상부걸림홈이 형성된 제2승강홈이 형성되며, 내벽에 하부걸림홈이 형성된 사이드플레이트와; 상기 승강플레이트의 상면에 직립 설치되되, 상기 제1승강홈에 끼움되어 회전하는 다수의 회전돌기가 구비되고, 일정각도 경사진 가이드홀이 상하부에 형성되며, 상기 가이드홀 사이에 안내홈이 형성된 메인플레이트와; 상기 사이드플레이트와 메인플레이트 사이에 위치되되, 상기 제2승강홈에 끼움되어 상승되다가 상기 상부걸림홈에 삽입되는 제1회전돌기가 일면에 구비됨과 아울러 상기 안내홈에 끼움되어 승강되는 제2회전돌기가 타면에 구비되고, 상기 하부걸림홈에 삽입되는 제3회전돌기가 하단에 구비되며, 상하부에 삽입홈이 형성된 서브플레이트와; 양측단에 구비된 회전축이 하부에 형성된 상기 가이드홀을 관통한 후 하부에 형성된 상기 삽입홈에 끼움되고, 상기 메인샤프트의 하단에 연결되는 로우플레이트와; 양측단에 구비된 회전축이 상부에 형성된 상기 가이드홀을 관통한 후 상부에 형성된 삽입홈에 끼움되고, 상기 메인샤프트에 의해 관통되는 탑플레이트;로 구성된다.The moving unit is located on the upper side of the bottom plate, and is connected to the rod end of the lifting cylinder and is lifted and lowered together with the rod. Wherein a lift hole is formed on a lower portion of the bottom plate so as to be vertically installed on the upper surface of the bottom plate so that the lift plate can be inserted and lifted up and the first lift groove is formed, A side plate having a groove formed therein and a lower latching groove formed on an inner wall thereof; A plurality of rotation protrusions which are installed upright on the upper surface of the lifting plate and which are inserted into the first lifting grooves and rotate so as to be rotatable, a guide hole inclined at a predetermined angle is formed at upper and lower portions, A plate; A first rotation protrusion that is positioned between the side plate and the main plate and is inserted into the upper locking groove while being inserted into the second locking groove and is provided on one side of the upper locking groove, A sub-plate provided on the other surface, a third rotation protrusion inserted into the lower retaining groove at a lower end thereof, and having insertion grooves formed at upper and lower portions thereof; A lower plate connected to the lower end of the main shaft and inserted into the insertion groove formed at a lower portion of the rotation shaft provided at both ends thereof through the guide hole formed at the lower portion; And a top plate penetrating through the guide hole formed at the upper end of the rotating shaft and inserted into an insertion groove formed at an upper portion of the rotating shaft and passed through the main shaft.

또한, 상기 솔레노이드밸브와 체크밸브 어셈블리를 연결하는 에어라인 상에는 상기 승강플레이트에 의해 눌러졌을 때 에어라인을 개방하여 에어가 체크밸브 어셈블리 쪽으로 유동되도록 하는 푸쉬버튼이 설치된다.
In addition, a push button is provided on the air line connecting the solenoid valve and the check valve assembly, when the air line is pushed by the lifting plate, the air line is opened to allow the air to flow toward the check valve assembly.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 씰링확인이 가능한 슬릿밸브는 체크밸브 어셈블리의 센서샤프트(마그넷블록) 움직임을 센서블록이 파악함으로써 씰플레이트 어셈블리의 씰링패널이 개폐구를 밀폐하였음을 확인하므로 씰플레이트 어셈블리를 직접 보지 않고도 개폐구의 밀폐를 용이하게 확인할 수 있는 이점이 있다.
In the slit valve of the present invention configured as described above, since the sensor block recognizes the motion of the sensor shaft (magnet block) of the check valve assembly, the sealing panel of the seal plate assembly seals the opening and closing port, There is an advantage in that it is possible to easily confirm the sealing of the opening / closing port without directly viewing it.

도 1은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 외형을 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 내부를 보인 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에서 체크밸브 어셈블리를 분리한 모습을 보인 도.
도 4는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 체크밸브 어셈블리를 보인 분해사시도.
도 5a는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 개방되었을 때의 체크밸브 어셈블리 모습을 보인 도.
도 5b는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 밀폐되었을 때의 체크밸브 어셈블리 모습을 보인 도.
도 6내지 도 8은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 사이드플레이트와 메인플레이트 및 서브플레이트를 분리한 모습을 보인 사시도.
도 9a 내지 9c는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 사이드플레이트와 메인플레이트 및 서브플레이트의 상대적 움직임을 보인 단면도.
도 10a는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 밀폐되었을 때의 체크밸브 모습을 보인 도.
도 10b는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 개방되었을 때의 체크밸브 모습을 보인 도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing the external appearance of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention; Fig.
2 is a perspective view showing the inside of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
3 is a view showing a state in which a check valve assembly is separated from a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
4 is an exploded perspective view showing a check valve assembly of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
5A is a view showing a check valve assembly when the opening / closing port is opened by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
5B is a view showing a check valve assembly when the opening / closing port is sealed by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
6 to 8 are perspective views showing a state in which a side plate, a main plate and a sub plate of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention are separated.
9A to 9C are cross-sectional views showing relative movements of a side plate, a main plate and a sub plate of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
10A is a view showing a state of a check valve when an opening / closing port is sealed by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.
10B is a view showing a check valve when the opening / closing port is opened by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention.

이하, 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 외형을 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 내부를 보인 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing an outer shape of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the inside of a slit valve capable of confirming a sealing according to the present invention.

그리고, 도 3은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에서 체크밸브 어셈블리를 분리한 모습을 보인 도이며, 도 4는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 체크밸브 어셈블리를 보인 분해사시도이다.3 is a view showing a state in which a check valve assembly is separated from a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention, and FIG. 4 is an exploded perspective view showing a check valve assembly of a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention .

또한, 도 5a는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 개방되었을 때의 체크밸브 어셈블리 모습을 보인 도이고, 도 5b는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 밀폐되었을 때의 체크밸브 어셈블리 모습을 보인 도이다.FIG. 5A is a view showing a check valve assembly when the opening / closing port is opened by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention. FIG. 5B is a view showing a state where the opening / The check valve assembly shown in FIG.

또한, 도 6내지 도 8은 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 사이드플레이트와 메인플레이트 및 서브플레이트를 분리한 모습을 보인 사시도이고, 도 9a 내지 9c는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브의 사이드플레이트와 메인플레이트 및 서브플레이트의 상대적 움직임을 보인 단면도이다.6 to 8 are perspective views showing a side plate, a main plate and a sub plate of a slit valve capable of confirming the sealing according to the present invention separated. FIGS. 9A to 9C are cross- Sectional view showing the relative movement between the side plate of the valve and the main plate and the sub-plate.

또한, 도 10a는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 밀폐되었을 때의 체크밸브 모습을 보인 도이고, 도 10b는 본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브에 의해 개폐구가 개방되었을 때의 체크밸브 모습을 보인 도이다.
10A is a view showing a check valve when a door is closed by a slit valve capable of confirming sealing according to the present invention, FIG. 10B is a view showing a check valve when the door is opened by a slit valve capable of checking the sealing according to the present invention The check valve of FIG.

본 발명에 의한 씰링확인이 가능한 슬릿밸브는 트랜스퍼챔버(Transfer Chamber)와 프로세스챔버(Process Chamber) 사이에 설치되어 진공챔버를 개폐하기 위한 것으로서, 보텀플레이트(Bottom Plate,100)와, 상기 보텀플레이트(100)의 상부 양측에 설치되는 승강실린더(200)와, 상기 보텀플레이트(100)의 상측에 설치되는 체크밸브 어셈블리(Check Valve Assembly,300)와, 상기 승강실린더(200)의 로드(200a)에 연결되는 무빙유닛(Moving Unit,400)과, 상기 무빙유닛(400)에 연결되는 메인샤프트(Main Shaft,500)와, 상기 메인샤프트(500)의 상단에 연결되는 씰플레이트 어셈블리(Seal Plate Assembly,600)를 포함하여 구성된다.
A slit valve capable of confirming sealing according to the present invention is provided between a transfer chamber and a process chamber for opening and closing a vacuum chamber and includes a bottom plate 100, A check valve assembly 300 installed on the upper side of the bottom plate 100 and a check valve assembly 300 installed on both sides of the rod 200a of the lifting cylinder 200, A main shaft 500 connected to the moving unit 400 and a seal plate assembly 500 connected to an upper end of the main shaft 500. The main shaft 500 is connected to the moving unit 400, 600).

상기 보텀플레이트(100)는 일측에 솔레노이드밸브(110)가 설치되고, 상면에 센서블록(Sensor Block,120)이 설치된다. 이러한 보텀플레이트(100)의 내부에는 상기 체크밸브 어셈블리(300)와 연결되는 다수의 에어라인이 형성된다.A solenoid valve 110 is installed on one side of the bottom plate 100 and a sensor block 120 is provided on an upper surface of the bottom plate 100. In the bottom plate 100, a plurality of air lines connected to the check valve assembly 300 are formed.

상기 솔레노이드밸브(110)는 에어공급라인에 연결됨과 아울러 상기 승강실린더(200)와 체크밸브 어셈블리(300) 및 보텀플레이트(100)와 에어라인으로 연결되어 승강실린더(200)와 체크밸브 어셈블리(300) 및 보텀플레이트(100)에 에어(Air)를 공급한다.The solenoid valve 110 is connected to the air supply line and is connected to the check valve assembly 300 and the bottom plate 100 by an air line to connect the ascending cylinder 200 and the check valve assembly 300 And the bottom plate 100, as shown in Fig.

그리고, 상기 솔레노이드밸브(110)와 보텀플레이트(100)를 연결하는 에어라인 상에는 후술할 승강플레이트(410)에 의해 눌러졌을 때 에어라인을 개방하여 에어가 보텀플레이트(100) 쪽으로 유동되도록 하는 푸쉬버튼(Push Button,700)이 설치된다.A push button (not shown) is provided on the air line connecting the solenoid valve 110 and the bottom plate 100 to open the air line when the push button is pressed by a lifting plate 410 (Push Button) 700 is installed.

좀 더 자세히 설명하면, 상기 푸쉬버튼(700)은 상기 승강실린더(200)의 몸체 하단부쪽에 설치되어, 상기 승강플레이트(410)의 상사점, 즉 승강플레이트(410)가 상승할 수 있는 가장 높은 위치까지 상승할 때 승강플레이트(410)에 의하여 터치되고 눌린다. 푸쉬버튼(700)은 내부에 설치된 스프링(710)에 의하여 외력이 작용되지 않으면 솔레노이드밸브(110)와 보텀플레이트(100)를 연결하는 에어라인을 차단하여 에어가 보텀플레이트(100) 쪽으로 흐르지 않도록 한다. 그런데, 푸쉬버튼(700)이 승강플레이트(410)에 의해 눌리면 내부의 스프링(710)이 압축되어 푸쉬버튼(700)이 안쪽으로 눌리면서 차단되어 있던 에어라인이 열려 에어가 흐르게 된다. 이렇게 흐르는 에어가 상기 보텀플레이트(100)와 체크밸브 어셈블리(300) 및 메인샤프트(500)를 순차적으로 거쳐 씰플레이트 어셈블리(600)의 실린더에 공급된다.
More specifically, the push button 700 is installed on the lower side of the body of the lifting cylinder 200, and the uppermost point of the lifting plate 410, that is, the highest position The lifting plate 410 is touched and pressed. The push button 700 blocks the air line connecting the solenoid valve 110 and the bottom plate 100 so that the air does not flow toward the bottom plate 100 unless an external force is applied by the spring 710 installed therein . However, when the push button 700 is pushed by the lifting plate 410, the spring 710 inside is compressed, and the push button 700 is pushed inward, and the air line that has been blocked is opened to allow the air to flow. The air thus flowing is supplied to the cylinder of the seal plate assembly 600 through the bottom plate 100, the check valve assembly 300, and the main shaft 500 sequentially.

상기 승강실린더(200)는 상기 솔레노이드밸브(110)와 에어라인으로 일측과 타측이 연결되어 에어를 공급받는다. 일측에 연결된 에어라인을 통해 솔레노이드밸브(110)로부터 에어가 승강실린더(200)의 몸체 내부에 공급되면 승강실린더(200) 내부의 피스톤(미도시)이 상승하고 승강실린더(200)에 구비된 로드(200a)가 상승하여 승강실린더(200)의 몸체 내부로 삽입된다.
The lifting cylinder 200 is connected to the solenoid valve 110 and the air line, so that one side and the other side of the lifting cylinder 200 are supplied with air. When air is supplied from the solenoid valve 110 through the air line connected to one side to the inside of the lifting cylinder 200, the piston (not shown) inside the lifting cylinder 200 rises and the rod (200a) is lifted and inserted into the body of the lifting cylinder (200).

상기 체크밸브 어셈블리(300)는 상기 솔레노이드밸브(110)와 에어라인으로 연결된 보텀플레이트(100)와 에어라인으로 연결되어 솔레노이드밸브(110)로부터 에어를 공급받는다. 이러한 체크밸브 어셈블리(300)는 후술할 씰플레이트 어셈블리(600)의 씰링패널(610)이 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 용이하게 확인하기 위한 수단으로 이용된다. 부연하면, 상기 씰링패널(610)이 개폐구를 밀폐한 이후에 상기 솔레노이드밸브(110)로부터 공급되는 에어의 압력에 의해 움직이는 체크밸브 어셈블리(300)의 움직임을 상기 센서블록(120)이 감지하여 상기 씰링패널(610)이 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 확인한다.The check valve assembly 300 is connected to the bottom plate 100 connected to the solenoid valve 110 through an air line by an air line and receives air from the solenoid valve 110. The check valve assembly 300 is used as a means for easily confirming that the sealing panel 610 of the seal plate assembly 600 to be described later hermetically seals the opening between the transfer chamber and the process chamber. The sensor block 120 senses the movement of the check valve assembly 300 moved by the pressure of the air supplied from the solenoid valve 110 after the sealing panel 610 closes the opening / It is confirmed that the sealing panel 610 seals the opening / closing port between the transfer chamber and the process chamber.

상기와 같은 기능을 하는 체크밸브 어셈블리(300)는 상기 보텀플레이트(100)의 상면에 설치되는 체크바디(Check Body,310)와, 상기 체크바디(310) 내부에 설치되는 체크하우징(Check Housing,320)과, 상기 체크하우징(320) 내부에 설치되는 체크샤프트(Check Shaft,330)와, 상기 체크샤프트(330)의 일측에 연결되는 푸쉬샤프트(Push Shaft,340)와, 상기 체크샤프트(330)의 타측에 연결되는 센서샤프트(Sensor Shaft,350)를 포함하여 구성된다.The check valve assembly 300 having the above functions is provided with a check body 310 installed on the upper surface of the bottom plate 100 and a check housing 310 installed inside the check body 310, A check shaft 330 installed in the check housing 320, a push shaft 340 connected to one side of the check shaft 330, a check shaft 340 connected to the check shaft 330, And a sensor shaft (350) connected to the other side of the sensor shaft (350).

상기 체크바디(310)는 육면체 형상의 블록으로서, 일측면에 에어유입홀(311)이 형성되고 타측면에 에어배출홀(312)이 형성된다.The check body 310 is a hexahedral block having an air inlet hole 311 on one side and an air outlet hole 312 on the other side.

상기 에어유입홀(311)은 상기 보텀플레이트(100)와 에어라인으로 연결되는 곳으로, 솔레노이드밸브(110)로부터 공급된 에어는 보텀플레이트(100) 내부의 에어라인을 거친 후 에어유입홀(311)을 통해 체크바디(310) 내부로 유입된다.The air inlet hole 311 is connected to the bottom plate 100 by an air line so that the air supplied from the solenoid valve 110 passes through the air line inside the bottom plate 100 and then flows into the air inlet hole 311 To the inside of the check body 310.

상기 에어배출홀(312)은 체크바디(310) 내부로 유입된 에어가 배출되는 곳으로서, 상기 메인샤프트(500)와 에어라인으로 연결된다. 이렇게 에어배출홀(312)을 통해서 배출된 에어는 메인샤프트(500) 내부로 공급된다.The air discharge hole 312 is connected to the main shaft 500 through an air line, through which air introduced into the check body 310 is discharged. The air discharged through the air discharge hole 312 is supplied into the main shaft 500.

상기 체크하우징(320)은 일측면에 상기 에어유입홀(311)과 연통되는 유동홀(321)이 형성된다. 따라서, 상기 유동홀(321)을 통해 체크바디(310) 내부에 공급된 에어가 체크하우징(320) 내부에 유입된다.The check housing 320 has a flow hole 321 communicating with the air inlet hole 311 at one side thereof. Therefore, the air supplied into the check body 310 through the flow hole 321 flows into the check housing 320.

상기 체크샤프트(330)는 상기 체크하우징(320)의 유동홀(321)을 통해 유입된 에어의 압력을 받는 제1압력부(331)와 제2압력부(332)가 일측과 타측에 각각 형성된다.The check shaft 330 has a first pressure portion 331 and a second pressure portion 332 which receive the pressure of the air introduced through the flow hole 321 of the check housing 320, do.

상기 제1압력부(331)는 상기 제2압력부(332)보다 그 단면이 더 크게 형성되어 에어로부터 압력을 받을 때 상기 제2압력부(332)보다 큰 크기로 압력을 받는다.The first pressure portion 331 is larger in cross section than the second pressure portion 332 and receives a pressure larger than that of the second pressure portion 332 when receiving pressure from the air.

상기 제2압력부(332)는 상기 제1압력부(331)보다 그 단면이 작게 형성된다.The second pressure portion 332 is smaller in cross section than the first pressure portion 331.

상기와 같은 제1압력부(331)에는 X링(331a)이 설치되고, 제2압력부(332)에는 U패킹(332a)이 설치되어, 상기 체크하우징(320)의 내측면과 상기 체크샤프트(330)의 외측면을 밀폐한다. 따라서, 상기 유동홀(321)을 통해 상기 제1압력부(331)와 제2압력부(332) 사이의 체크하우징(320) 내부로 유입된 에어는 제1압력부(331)와 제2압력부(332)로 누설되지 않고 그 압력이 그대로 제1압력부(331)와 제2압력부(332)에 가해진다.The first pressure portion 331 is provided with an X-ring 331a and the second pressure portion 332 is provided with a U-packing 332a so that the inner surface of the check housing 320, And seals the outer surface of the flange 330. The air introduced into the check housing 320 between the first pressure portion 331 and the second pressure portion 332 through the flow hole 321 is discharged through the first pressure portion 331 and the second pressure The pressure is applied to the first pressure portion 331 and the second pressure portion 332 as it is without leaking to the portion 332. [

상기 센서샤프트(350)는 외측면에 마그넷블록(Magnet Block,351)이 설치된다.The sensor shaft 350 is provided with a magnet block 351 on its outer surface.

상기 마그넷블록(351)은 상기 센서블록(120)에 의하여 감지가 되는 것으로서, 상기 센서샤프트(350)가 움직여 마그넷블록(351)이 이동을 하면 이 이동하는 마그넷블록(351)을 상기 센서블록(120)이 감지하여 씰링패널(610)이 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 확인한다.The magnet block 351 is sensed by the sensor block 120. When the sensor block 350 moves and the magnet block 351 moves, the magnet block 351 moves to the sensor block 120 detects that the sealing panel 610 seals the opening between the transfer chamber and the process chamber.

이러한 씰링패널(610)에 의한 개폐구의 밀폐 확인에 대해 좀 더 부연하기로 한다.The sealing confirmation of the door by the sealing panel 610 will be further described.

앞서 간단히 기재한 것처럼, 상기 승강플레이트(410)가 푸쉬버튼(700)을 누르면 에어가 보텀플레이트(100)와 체크밸브 어셈블리(300) 및 메인샤프트(500)를 순차적으로 거쳐 씰플레이트 어셈블리(600)에 공급된다.When the lift plate 410 presses the push button 700, the air passes through the bottom plate 100, the check valve assembly 300, and the main shaft 500 sequentially to the seal plate assembly 600, .

씰플레이트 어셈블리(600)에 공급된 에어는 내부에 포함된 2개의 실린더(620)에 공급되어 피스톤이 움직이게 되고, 이로 인하여 실린더(620)에 연결된 씰링패널(610)이 벌어져 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐한다. 이렇게 개폐구가 밀폐된 이후에 상기 솔레노이드밸브(110)로부터 에어가 계속 공급되면 이 에어는 더 이상 개폐구를 밀폐하는데 사용되지 않고 상기 체크밸브 어셈블리(300) 내부에 압력을 발생시킨다. 즉, 상기 씰링패널(610)이 개폐구를 밀폐한 상태에서 상기 솔레노이드밸브(110)로부터 공급되어 상기 체크하우징(320) 내부로 유입된 에어는 더 이상 메인샤프트(500) 쪽으로 유동되지 않고 상기 체크샤프트(330)의 제1압력부(331)와 제2압력부(332)에 압력을 발생시킨다.The air supplied to the seal plate assembly 600 is supplied to the two cylinders 620 contained therein to move the piston so that the sealing panel 610 connected to the cylinder 620 opens and the transfer chamber and the process chamber Thereby sealing the opening / When air is continuously supplied from the solenoid valve 110 after the opening / closing port is sealed, the air is not used to seal the opening / closing port, and pressure is generated inside the check valve assembly 300. That is, the air supplied from the solenoid valve 110 and flowing into the check housing 320 while the sealing panel 610 is hermetically closed does not flow toward the main shaft 500, And generates a pressure in the first pressure portion 331 and the second pressure portion 332 of the pressure chamber 330.

이때, 상기 제1압력부(331)의 단면이 제2압력부(332)의 단면보다 더 크기 때문에 제1압력부(331)에 더 큰 압력이 작용되어 상기 체크샤프트(330)는 상기 제1압력부(331) 쪽으로 직선 이동을 하게 된다. 이렇게 제1압력부(331) 쪽으로 체크샤프트(330)가 이동하면 체크샤프트(330)에 연결되어 있던 센서샤프트(350)도 체크샤프트(330)를 따라 함께 이동하게 되고, 결국 센서샤프트(350)에 설치된 마그넷블록(351)이 이동하게 되어 이 마그넷블록(351)의 이동을 센서블록(120)이 감지함으로써 씰링패널(610)에 의해 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구가 밀폐되었음이 확인된다. 부연하면, 본 발명에 의한 슬릿밸브의 외형을 이루는 케이스(C)의 내측이나 외측에 상기 센서블록(120)과 전기적으로 연결된 조그만 센서등을 달아서 센서블록(120)이 마그넷블록(351)의 일방향 운동을 감지했을 때 점등되도록 하면 확인을 용이하게 할 수 있다.
Since the end surface of the first pressure portion 331 is larger than the end surface of the second pressure portion 332, a larger pressure is applied to the first pressure portion 331, And moves linearly toward the pressure portion 331. When the check shaft 330 is moved toward the first pressure portion 331, the sensor shaft 350 connected to the check shaft 330 moves along the check shaft 330. As a result, The movement of the magnet block 351 is detected by the sensor block 120 and it is confirmed that the opening and closing port between the transfer chamber and the process chamber is sealed by the sealing panel 610 . A small sensor electrically connected to the sensor block 120 is attached to the inside or the outside of the case C which forms the outer shape of the slit valve according to the present invention so that the sensor block 120 is moved in one direction of the magnet block 351 When the motion is detected, it is possible to facilitate the confirmation.

상기 무빙유닛(400)은 상기 보텀플레이트(100)의 상측에 위치되고 승강실린더(200)의 몸체에 에어가 공급되어 로드(200a)가 상승할 때 함께 상승한다.The moving unit 400 is positioned above the bottom plate 100 and air is supplied to the body of the lifting cylinder 200 so that the lifting cylinder 400 moves upward when the rod 200a rises.

본 발명은 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이에 존재하는 2개의 개폐구를 씰플레이트 어셈블리(600)로 밀폐하는데, 하나의 개폐구는 씰플레이트 어셈블리(600) 전체가 개폐구 쪽으로 수평이동하여 씰링패널(610)이 밀착됨으로써 밀폐되고, 나머지 하나의 개폐구는 앞서 기재한 대로 씰플레이트 어셈블리(600)에 공급된 에어에 의해 실린더(620)가 작동하여 하나의 씰링패널(610)이 벌어져 밀착됨으로써 밀착된다.In the present invention, two door openings between the transfer chamber and the process chamber are sealed by the seal plate assembly 600, and one door is horizontally moved to the opening and closing port of the seal plate assembly 600 so that the sealing panel 610 is closely contacted And the other one of the door openings is brought into close contact with the cylinder 620 by the operation of the air supplied to the seal plate assembly 600 as described above and the one sealing panel 610 is opened and close.

트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이에 존재하는 2개의 개폐구가 밀폐되는 순서를 간단히 기재하면, 먼저 무빙유닛(400)과 메인샤프트(500)가 상사점(또는 최고점)까지 상승한 후 씰플레이트 어셈블리(600) 전체가 하나의 개폐구 쪽으로 수평이동하여 그 개폐구가 밀폐된다. 그런 다음 바로 상기 체크밸브 어셈블리(300)와 메인샤프트(500)를 거쳐 씰플레이트 어셈블리(600)에 공급된 에어가 씰플레이트 어셈블리(600)의 실린더를 작동시켜 씰플레이트 어셈블리(600)의 씰링패널(610) 하나가 벌어지면서 나머지 개폐구 쪽으로 수평이동하여 나머지 개폐구를 밀폐한다.The moving unit 400 and the main shaft 500 are first raised to the top dead center (or the highest point), and then the whole of the seal plate assembly 600 Is horizontally moved toward one opening / closing port and its opening / closing port is sealed. The air supplied to the seal plate assembly 600 through the check valve assembly 300 and the main shaft 500 is operated to actuate the cylinder of the seal plate assembly 600 to seal the seal panel assembly 600 610) is opened and horizontally moved toward the other access port to seal the other access port.

상기와 같이 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이에 존재하는 개폐구를 밀폐하는데 중요한 역할을 하는 무빙유닛(400)은 도 6 내지 도 9c를 참조하여 설명하면, 상기 보텀플레이트(100)의 상측에 위치되는 승강플레이트(410)와, 상기 보텀플레이트(100)의 상면 양측에 직립 설치되는 사이드플레이트(Side Plate,420)와, 상기 승강플레이트(410)의 상면에 직립 설치되는 메인플레이트(Main Plate,430)와, 상기 사이드플레이트(420)와 메인플레이트(430) 사이에 위치되는 서브플레이트(Sub Plate,440)와, 상기 메인샤프트(500)의 하단에 연결되는 로우플레이트(Low Plate,450)와, 상기 로우플레이트(450)의 상측에 위치되고 상기 메인샤프트(500)에 의해 관통되는 탑플레이트(Top Plate,460)를 포함하여 구성된다.6 to 9C, the moving unit 400, which plays an important role in sealing the opening / closing port existing between the transfer chamber and the process chamber as described above, includes a lift plate (not shown) positioned above the bottom plate 100, A side plate 420 installed upright on both sides of the upper surface of the bottom plate 100; a main plate 430 installed upright on the upper surface of the lifting plate 410; A sub plate 440 positioned between the side plate 420 and the main plate 430, a low plate 450 connected to the lower end of the main shaft 500, And a top plate (460) positioned on the upper side of the main shaft (450) and penetrated by the main shaft (500).

상기 승강플레이트(410)는 상기 승강실린더(200)의 로드(200a) 끝단에 연결되어 로드(200a)가 승강될 때 함께 승강된다. 좀 더 부연하면, 상기 승강플레이트(410)는 상사점(또는 최고점)까지 상승을 하여 상사점에서 상기 푸쉬버튼(700)을 누른다. 이렇게 승강플레이트(410)가 푸쉬버튼(700)을 누름으로써 상기 솔레노이드밸브(110)에서 에어가 공급되고, 이 에어가 상기 보텀플레이트(100) 내부의 에어라인과 체크밸브 어셈블리(300) 및 메인샤프트(500)를 거쳐 씰플레이트 어셈블리(600)의 실린더(620)에 공급된다.The lifting plate 410 is connected to an end of the rod 200a of the lifting cylinder 200 so that the lifting plate 410 is lifted and lowered when the rod 200a is lifted and lowered. In more detail, the lifting plate 410 is lifted up to the top dead center (or peak) and pushes the push button 700 at the top dead center. When the push button 700 is pressed by the lifting plate 410, air is supplied from the solenoid valve 110 to the air line inside the bottom plate 100, the check valve assembly 300, And then supplied to the cylinder 620 of the seal plate assembly 600 through the seal member 500.

상기 사이드플레이트(420)는 하측부에 승강홀(421)이 형성되고, 내측면에 제1승강홈(422)과 제2승강홈(423)이 형성되며, 내벽에 하부걸림홈(424)이 형성된다.The side plate 420 is formed with a lift hole 421 on the lower side and a first lift groove 422 and a second lift groove 423 on the inner side and a lower latch groove 424 on the inner wall. .

상기 승강홀(421)은 상기 승강플레이트(410)의 양측부가 삽입되는 곳으로서, 이렇게 승강홀(421)이 형성되었기 때문에 상기 승강플레이트(410)가 상기 사이드플레이트(420)를 승강(昇降)할 수 있게 된다.The lifting and lowering holes 421 are formed at both sides of the lifting and lowering plate 410 so that the lifting and lowering plate 410 moves up and down the side plate 420 .

상기 제1승강홈(422)은 상기 사이드플레이트(420)의 상측부 내측면을 따라 상하로 길게 형성된다.The first elevating groove 422 is vertically formed along the inner surface of the upper side of the side plate 420.

상기 제2승강홈(423)은 상기 사이드플레이트(420)의 상측부 내측면을 따라 상하로 길게 형성되는 것으로서, 상기 제1승강홈(422)보다는 그 길이가 작게 형성된다. 이러한 제2승강홈(423)의 상단에는 상부걸림홈(423a)이 형성되어 제2승강홈(423)과 상부걸림홈(423a)은 서로 연결된다.The second lift groove 423 is vertically formed along the inner surface of the upper side of the side plate 420 and is formed to have a smaller length than the first lift groove 422. An upper latching groove 423a is formed at the upper end of the second lift groove 423 so that the second lift groove 423 and the upper latch groove 423a are connected to each other.

상기 하부걸림홈(424)은 상기 승강홀(424)이 끝나는 지점 부근의 사이드플레이트(420) 내벽에 형성된다.The lower latching groove 424 is formed on the inner wall of the side plate 420 near the end of the lifting hole 424.

상기 메인플레이트(430)는 일측면에 다수(2개)의 회전돌기(431)가 구비되고, 일정각도로 경사진 가이드홀(432)이 상부와 하부에 각각 하나씩 형성되며, 상기 가이드홀(432) 사이에 안내홈(433)이 형성된다.The main plate 430 is provided with a plurality of (two) rotation projections 431 at one side thereof and one guide hole 432 inclined at a predetermined angle is formed at each of the upper and lower sides, A guide groove 433 is formed.

상기 회전돌기(431)는 상기 메인플레이트(430)에 회전가능하게 설치되는 것으로서, 상기 제1승강홈(422)에 끼움되어 회전하면서 상하방향으로 제1승강홈(422)을 따라 이동한다.The rotation protrusion 431 is rotatably installed on the main plate 430 and moves along the first lift groove 422 in the vertical direction while being inserted into the first lift groove 422.

상기 가이드홀(432)은 하단은 아주 짧은 거리이지만 일직선을 이루다가, 중간부분은 일정각도로 경사지고, 상단은 아주 짧은 거리이지만 다시 일직선을 이루는 형태를 취한다.The lower end of the guide hole 432 is a short distance but is straight, the middle portion is inclined at a certain angle, and the upper end is a very short distance but is again straight.

상기 안내홈(433)은 하단에서 일정거리까지는 일직선을 이루다가 상단에서 일정각도로 휘어진다.The guide groove 433 is straight at a certain distance from the lower end, and is bent at a predetermined angle from the upper end.

상기 서브플레이트(440)는 일면 상측부에 제1회전돌기(441)가 구비되고, 타면 중간부분에 제2회전돌기(442)가 구비되며, 하단에 제3회전돌기(443)가 구비된다. 그리고, 타면 상부와 하부에 각각 삽입홈(444)이 형성된다.The sub-plate 440 is provided with a first rotation protrusion 441 at one side and a second rotation protrusion 442 at an intermediate portion of the other side and a third rotation protrusion 443 at a lower end. At the other side, insertion grooves 444 are formed in the upper part and the lower part, respectively.

상기 제1회전돌기(441)는 상기 사이드플레이트(420)의 제2승강홈(423)에 끼움되어 승강되는데, 제2승강홈(423)을 따라 상승되다가 상기 상부걸림홈(423a)에 삽입된다.The first rotation protrusion 441 is inserted into the second locking groove 423 of the side plate 420 and is lifted up along the second locking groove 423 and inserted into the upper locking groove 423a .

상기 제2회전돌기(442)는 상기 메인플레이트(430)의 안내홈(433)에 끼움되어 안내홈(433)을 따라 승강된다.The second rotation protrusion 442 is inserted into the guide groove 433 of the main plate 430 and is raised and lowered along the guide groove 433.

상기 제3회전돌기(443)는 상기 사이드플레이트(420)의 벽면을 따라 승강되다가 상기 하부걸림홈(424)에 삽입된다.The third rotation protrusion 443 is lifted along the wall surface of the side plate 420 and then inserted into the lower locking groove 424.

상기 로우플레이트(450)는 양측단에 회전축(451)이 구비되는데, 이 회전축(451)은 상기 메인플레이트(430)의 가이드홀(432) 중에서 하부에 형성된 가이드홀(432)을 관통한 후 상기 서브플레이트(440)의 삽입홈(444) 중 하부에 형성된 삽입홈(444)에 끼움된다.The rotation plate 451 is provided at both ends of the row plate 450. The rotation plate 451 passes through a guide hole 432 formed in a lower portion of the guide hole 432 of the main plate 430, And is inserted into the insertion groove 444 formed in the lower portion of the insertion groove 444 of the sub-plate 440.

상기 탑플레이트(460)는 양측단에 회전축(461)이 구비되는데, 이 회전축(461)은 상기 메인플레이트(430)의 가이드홀(432) 중에서 상부에 형성된 가이드홀(432)을 관통한 후 상기 서브플레이트(440)의 삽입홈(444) 중 상부에 형성된 삽입홈(444)에 끼움된다.The top plate 460 has rotary shafts 461 at both ends thereof which pass through guide holes 432 formed in the upper portion of the guide holes 432 of the main plate 430, And is inserted into the insertion groove 444 formed in the upper portion of the insertion groove 444 of the sub-plate 440.

상기와 같이 구성된 무빙유닛(400)의 상호동작에 대하여 간단히 설명하기로 한다.The mutual operation of the moving unit 400 configured as described above will be briefly described.

승강플레이트(410)가 상승하기 전에는 상기 로우플레이트(450)의 회전축(451)과 탑플레이트(460)의 회전축(461)은 메인플레이트(430)의 가이드홀(432)에 끼움되되 가이드홀(432)의 내부 상측에 위치되고, 상기 제2회전돌기(442)는 상기 메인플레이트(430)의 안내홈(433)에 끼움되되 안내홈(433)의 내부 상측에 위치된다.The rotation axis 451 of the lower plate 450 and the rotation axis 461 of the top plate 460 are fitted into the guide holes 432 of the main plate 430 before the guide plates 432 And the second rotation protrusion 442 is inserted into the guide groove 433 of the main plate 430 and is positioned inside the guide groove 433. [

이러한 상태에서 상기 승강실린더(200)에 에어가 공급되어 로드(200a)가 상승하면 승강플레이트(410)가 사이드플레이트(420)의 승강홀(421)을 따라 상승하게 된다.In this state, air is supplied to the lifting cylinder 200 and the lifting plate 410 is lifted along the lifting hole 421 of the side plate 420 when the rod 200a is lifted.

이렇게 승강플레이트(410)가 상승하면 메인플레이트(430)도 상승을 하기 때문에 메인플레이트(430)의 회전돌기(431)는 사이드플레이트(420)의 제1승강홈(422)을 따라 상승하고, 서브플레이트(440)의 제1회전돌기(441)와 제2회전돌기(442) 및 제3회전돌기(443)는 사이드플레이트(420)의 제2승강홈(423)과 메인플레이트의 안내홈(433) 및 사이드플레이트(420)의 벽면을 따라 직선으로 상승한다.As the lifting plate 410 is lifted up, the main plate 430 also lifts up, so that the rotation protrusions 431 of the main plate 430 rise along the first lifting grooves 422 of the side plate 420, The first rotary protrusion 441 of the plate 440 and the second rotary protrusion 442 and the third rotary protrusion 443 are engaged with the second lift groove 423 of the side plate 420 and the guide groove 433 of the main plate And the side plate 420. [0064] As shown in FIG.

승강플레이트(410)가 계속 상승하여 푸쉬버튼(700)을 누르면 이 푸쉬버튼(700)이 눌러지는 순간 바로 이후에 상기 서브플레이트(440)의 제1회전돌기(441)가 상기 사이드플레이트(420)의 상부걸림홈(423a)에 끼움되고 제3회전돌기(443)가 하부걸림홈(424)에 끼움된다.The first rotation protrusion 441 of the sub-plate 440 is moved to the side plate 420 immediately after the push-button 700 is pressed when the lifting plate 410 continues to rise, And the third rotation projection 443 is inserted into the lower engagement groove 424. [

이러한 과정이 진행되는 동안 상기 로우플레이트(450)의 회전축(451)과 탑플레이트(460)의 회전축(461)은 상기 가이드홀(432) 내부에서 하측을 향하여 이동되고, 상기 제2회전돌기(442)는 상기 안내홈(433) 내부에서 하측을 향하여 이동되다가 제1회전돌기(441)가 상부걸림홈(423a)에 끼움되고 제3회전돌기(443)가 하부걸림홈(424)에 끼움될 때 각각 가이드홀(432)의 내부 하단과 안내홈(433)의 내부 하단에 도달된다.The rotation axis 451 of the row plate 450 and the rotation axis 461 of the top plate 460 are moved downward in the guide hole 432 while the second rotation protrusions 442 Is moved downward from the inside of the guide groove 433 and the first rotation protrusion 441 is inserted into the upper locking groove 423a and the third rotation protrusion 443 is inserted into the lower locking groove 424 And reach the lower inner end of the guide hole 432 and the lower inner end of the guide groove 433, respectively.

즉, 로우플레이트(450)의 회전축(451)과 탑플레이트(460)의 회전축(461)은 경사진 가이드홀(432) 내부 상단에서 하단으로 이동하였기 때문에 수평방향으로도 일정거리 이동한 것이 된다. 바로 이렇게 로우플레이트(450)의 회전축(451)과 탑플레이트(460)의 회전축(461)이 수평방향으로 이동한 거리가 상기 씰플레이트 어셈블리(600) 전체가 수평방향으로 이동한 거리가 된다. 이렇게 씰플레이트 어셈블리(600)가 수평방향으로 이동하여 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이에 존재하는 2개의 개폐구 중 어느 하나의 개폐구를 밀폐한다. 나머지 하나의 개폐구는 앞서 기재한 것처럼 씰플레이트 어셈블리(600)의 실린더 작동에 의해 씰링패널(610)이 개폐구 쪽으로 수평이동하여 밀폐한다.
That is, since the rotary shaft 451 of the row plate 450 and the rotary shaft 461 of the top plate 460 are moved from the upper end to the lower end of the inclined guide hole 432, they are moved in the horizontal direction by a certain distance. The distance in which the rotational axis 451 of the row plate 450 and the rotational axis 461 of the top plate 460 move in the horizontal direction is the distance that the entire seal plate assembly 600 moves in the horizontal direction. Thus, the seal plate assembly 600 moves in the horizontal direction to seal any one of the two opening / closing ports existing between the transfer chamber and the process chamber. And the other one of the opening / closing ports is horizontally moved toward the opening / closing port by the operation of the cylinder of the seal plate assembly 600 as described above to close the sealing panel 610.

상기 메인샤프트(500)는 상기 무빙유닛(400)에 연결되어 무빙유닛(400)이 상승할 때 같이 상승하고, 상기 체크밸브 어셈블리(300)와 에어라인으로 연결되어 에어를 공급받는다.
The main shaft 500 is connected to the moving unit 400 so that the main shaft 500 rises when the moving unit 400 rises and is connected to the check valve assembly 300 through an air line to receive air.

상기 씰플레이트 어셈블리(600)는 상기 메인샤프트(500)의 상단에 연결되어 내부에 포함된 실린더(620)에 에어가 공급됨으로써 상기 실린더(620)에 연결된 씰링패널(610)이 벌어져 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐한다. 즉, 앞서 기재한 것처럼 상기 씰플레이트 어셈블리(600)는 상기 무빙유닛(400)의 동작에 의하여 2개의 개폐구 중 어느 하나의 개폐구를 향하여 전체가 수평이동하여 그 개폐구를 밀폐하고, 내부에 포함된 실린더의 작동에 의해 씰링패널(610)이 수평이동하여 나머지 개폐구를 밀폐한다.
The seal plate assembly 600 is connected to the upper end of the main shaft 500 and air is supplied to the cylinder 620 contained therein to thereby open a sealing panel 610 connected to the cylinder 620, And seals the opening / closing port between the process chambers. In other words, as described above, the seal plate assembly 600 is moved horizontally toward one of the two openings of the two openings by the operation of the moving unit 400 to seal the openings thereof, The sealing panel 610 horizontally moves to seal the remaining opening / closing port.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 슬릿밸브는 위에서 설명한 과정을 거쳐 개폐구를 밀폐하게 된다. 이렇게 밀폐된 상태에서 원상복귀, 즉 개폐구를 개방시키고자 할 경우에는 솔레노이드밸브(110)를 통해 다시 에어를 공급한다. 개폐구를 개방시키기 위하여 솔레노이드밸브(110)를 통해 공급되는 에어는 2방향으로 공급되는데, 하나의 방향은 상기 체크밸브 어셈블리(300)로 공급되어 센서샤프트(350)를 센서블록(120) 방향으로 이동시킨다. 즉, 솔레노이드밸브(110)에서 공급된 에어는 체크밸브 어셈블리(300)의 체크바디(310) 내부로 유입되어 체크샤프트(330)의 제1압력부(331)를 센서블록(120) 쪽으로 밀어낸다. 이렇게 체크샤프트(330)가 밀리면 센서샤프트(350)도 센서블록(120) 쪽으로 밀리게 되어 센서샤프트(350)의 타방향 운동을 센서블록(120)이 감지하여 개폐구의 밀폐시에 점등되었던 센서등이 소등된다.The slit valve according to the present invention having the above-described structure closes the opening / closing port through the process described above. In order to return to the original state in the closed state, that is, to open the opening / closing port, air is supplied again through the solenoid valve 110. Air supplied through the solenoid valve 110 to open the opening / closing port is supplied in two directions. One direction is supplied to the check valve assembly 300 to move the sensor shaft 350 in the direction of the sensor block 120 . That is, the air supplied from the solenoid valve 110 flows into the check body 310 of the check valve assembly 300 and pushes the first pressure portion 331 of the check shaft 330 toward the sensor block 120 . When the check shaft 330 is pushed, the sensor shaft 350 is pushed toward the sensor block 120 so that the sensor block 120 senses the other direction movement of the sensor shaft 350, Is turned off.

그리고, 솔레노이드밸브(110)로부터 다른 방향으로 공급되는 에어는 메인샤프트(500)를 거쳐 씰플레이트 어셈블리(600) 내부에 설치된 체크밸브(800)를 거친 후 보조체크밸브(300)로 유동한다.The air supplied from the solenoid valve 110 in the other direction flows through the check valve 800 installed in the seal plate assembly 600 through the main shaft 500 and then flows to the auxiliary check valve 300.

상기 체크밸브(800)는 상기 씰플레이트 어셈블리(600) 내부, 그 중에서도 상기 실린더(620) 사이에 설치된다. 이러한 체크밸브(800)는 개폐구를 밀폐했던 씰링패널(610)이 원래 상태로 복귀되지 않은 상태에서 씰플레이트 어셈블리(600)가 하측으로 이동되면 씰링패널(610) 및 씰링패널(610)과 접하는 벽면이 긁히게 되므로 이를 방지하기 위하여 지연시간(Delay Time)을 확보해주는 역할을 한다.The check valve 800 is installed in the seal plate assembly 600, and more particularly, between the cylinders 620. When the seal plate assembly 600 is moved downward in a state in which the sealing panel 610 sealing the opening / closing port is not returned to the original state, the check valve 800 is closed by the sealing panel 610 and the sealing panel 610, So as to prevent the delay time (Delay Time) is secured.

상기와 같은 체크밸브(800)는 도 10a 내지 도 10b를 참조하여 설명하면, 실린더 몸체(810)와, 상기 실린더 몸체(810) 내부에 설치되는 피스톤(820)과, 상기 피스톤(820) 내부에 설치되는 피스톤 가이드(830)와, 상기 피스톤 가이드(830) 내부에 설치되는 오픈체크 샤프트(840)와, 상기 오픈체크 샤프트(840) 외측면에 설치되는 스프링(850)을 포함하여 구성된다.10A to 10B, the check valve 800 includes a cylinder body 810, a piston 820 installed inside the cylinder body 810, and a check valve 820 disposed inside the piston 820 An open check shaft 840 installed inside the piston guide 830 and a spring 850 installed on the outer surface of the open check shaft 840. The piston 830 is provided with a piston 830,

상기 실린더 몸체(810)는 상기 씰플레이트 어셈블리(600)의 내부, 그 중에서도 상기 실린더(620) 사이에 설치된다.The cylinder body 810 is installed inside the seal plate assembly 600, among the cylinders 620.

상기 피스톤(820)은 상기 실린더 몸체(810)의 내부에 설치된다.The piston 820 is installed inside the cylinder body 810.

상기 피스톤 가이드(830)는 내부에 에어라인(831)이 형성되어 있는 것으로서, 상기 피스톤(820) 내부에 삽입 설치된다.The piston guide 830 has an air line 831 therein and is inserted into the piston 820.

상기 오픈체크 샤프트(Open Check Shaft,840)는 상기 피스톤 가이드(830) 내부에 삽입 설치된다. 이러한 오픈체크 샤프트(840)는 중간 부분에 다른 부분보다 큰 직경의 환형돌출부(841)가 형성되는데, 그 환형돌출부(841)의 직경은 상기 피스톤 가이드(830)의 내경보다 약간 작게 형성된다. 그리고, 오픈체크 샤프트(840)는 상기 피스톤 가이드(830)의 내부에 형성된 에어라인(831)을 연결시키거나 또는 단절시키는 기능을 수행한다.The open check shaft 840 is inserted into the piston guide 830. The diameter of the annular protrusion 841 is formed to be slightly smaller than the inner diameter of the piston guide 830. The diameter of the annular protrusion 841 is smaller than that of the piston guide 830. [ The open check shaft 840 connects or disconnects the air line 831 formed in the piston guide 830.

상기 스프링(850)은 상기 오픈체크 샤프트(840)의 외측면에 설치되어 오픈체크 샤프트(840)에 탄성력을 제공하는 것으로서, 개폐구가 씰링(밀폐)된 상태에서는 그 길이가 신장되어 있는 상태로, 오픈체크 샤프트(840)를 일방향으로 밀어서 오픈체크 샤프트(840)의 환형돌출부(841)가 피스톤 가이드(830)의 내측면에 밀착되도록 하여 상기 피스톤 가이드(830)의 에어라인(831)을 차단한다. 이러한 상태에서 솔레노이드밸브(110)에서 공급되어 메인샤프트(500)를 거쳐 체크밸브(800)에 공급된 에어는 피스톤 가이드(830)의 내부에 형성된 에어라인(831)을 통해 오픈체크 샤프트(840)가 설치된 피스톤 가이드(830)의 내측면 공간에 유입된다. 이 에어는 상기 오픈체크 샤프트(840)의 환형돌출부(841) 외측면과 피스톤 가이드(830)의 내측면 사이를 통해 안쪽으로 점점 유입되어 상기 환형돌출부(841)를 타방향으로 가압한다. 이렇게 되면 환형돌출부(841)에 의해 스프링(850)이 가압되어 압축된다. 그리고, 피스톤 가이드(830)의 에어라인(831)을 연결시켜 에어라인(831)의 입구쪽에서 유입된 에어가 출구쪽으로 배출되어 보조체크밸브(900)로 안내된다. The spring 850 is provided on the outer surface of the open check shaft 840 to provide an elastic force to the open check shaft 840. When the opening and closing port is sealed, The open check shaft 840 is pushed in one direction so that the annular protrusion 841 of the open check shaft 840 is brought into close contact with the inner surface of the piston guide 830 to shut off the air line 831 of the piston guide 830 . The air supplied from the solenoid valve 110 and supplied to the check valve 800 through the main shaft 500 is guided to the open check shaft 840 through the air line 831 formed in the piston guide 830, Is introduced into the inner side space of the piston guide (830). The air gradually flows inwardly between the outer surface of the annular protrusion 841 of the open check shaft 840 and the inner surface of the piston guide 830 and presses the annular protrusion 841 in the other direction. Then, the spring 850 is pressed and compressed by the annular protrusion 841. The air line 831 of the piston guide 830 is connected to the inlet of the air line 831 to discharge the air to the outlet and to be guided to the auxiliary check valve 900.

상기 보조체크밸브(900)는 체크바디(910)와, 상기 체크바디(910) 내부에 설치된 샤프트(920)로 구성된다.The auxiliary check valve 900 includes a check body 910 and a shaft 920 installed inside the check body 910.

상기 체크바디(910)는 상기 보텀플레이트(100)의 상면에 설치되는 것으로서, 상기 체크밸브 어셈블리(300)의 체크바디(310) 옆에 위치된다. 이러한 보조체크밸브(900)의 체크바디(910)는 상기 체크밸브(800)와 에어라인으로 연결되어 피스톤 가이드(830)의 에어라인(831)을 통해 배출된 에어가 내부에 유입된다.The check body 910 is installed on the upper surface of the bottom plate 100 and is positioned beside the check body 310 of the check valve assembly 300. The check body 910 of the auxiliary check valve 900 is connected to the check valve 800 by an air line so that the air discharged through the air line 831 of the piston guide 830 flows into the check valve body.

상기 샤프트(920)는 상기 체크바디(910) 내부에서 이동 가능하도록 설치된다. 상기 피스톤 가이드(830)의 에어라인(831)을 통해 배출된 에어는 체크바디(910) 내부에 들어온 후 상기 샤프트(920)의 끝단을 일방향으로 민다. 이렇게 에어에 의해 밀린 샤프트(920)는 상기 체브밸브 어셈블리(300)의 푸쉬샤프트(340) 끝단에 접촉된다. 이렇게 되면 보텀플레이트(100)와 사이드플레이트(420) 내부에 형성된 에어라인을 통해 승강실린더(200)에 에어가 공급되고, 공급된 에어에 의해 상기 승강실린더(200)의 로드(200a)가 하강하게 되어 무빙유닛(400) 및 그와 연계된 메인샤프트(500), 씰플레이트 어셈블리(600) 등이 원래 위치로 복귀된다. 이렇게 원상복귀가 끝나는 시점에 별도로 마련된 센서등이 점등됨으로써 개폐구가 개방되었음을 알린다. 그리고, 원상복귀되는 과정은 개폐구를 밀폐하는 과정의 역순을 따라가면 된다.
The shaft 920 is installed to be movable within the check body 910. The air discharged through the air line 831 of the piston guide 830 enters the inside of the check body 910 and pushes the end of the shaft 920 in one direction. The shaft 920 pushed by the air is in contact with the end of the push shaft 340 of the check valve assembly 300. Air is supplied to the lifting cylinder 200 through the air line formed in the bottom plate 100 and the side plate 420 and the rod 200a of the lifting cylinder 200 is lowered by the supplied air The moving unit 400 and the main shaft 500 and the seal plate assembly 600 associated with the moving unit 400 are returned to their original positions. A sensor or the like provided separately is turned on at the end of the return to the original position, thereby informing that the opening / closing port is opened. The process of returning to the original position may be performed in the reverse order of closing the door.

100: 보텀플레이트 110: 솔레노이드밸브
120: 센서블록 200: 승강실린더
200a: 로드 300: 체크밸브 어셈블리
310: 체크바디 311: 에어유입홀
312: 에어배출홀 320: 체크하우징
321: 유동홀 330: 체크샤프트
331: 제1압력부 331a: X링
332: 제2압력부 332a: U패킹
340: 푸쉬샤프트 350: 센서샤프트
351: 마그넷블록 400: 무빙유닛
410: 승강플레이트 420: 사이드플레이트
421: 승강홀 422: 제1승강홈
423: 제2승강홈 423a: 상부걸림홈
424: 하부걸림홈 430: 메인플레이트
431: 회전돌기 432: 가이드홀
433: 안내홈 440: 서브플레이트
441: 제1회전돌기 442: 제2회전돌기
443: 제3회전돌기 444: 삽입홈
450: 로우플레이트 451: 회전축
460: 탑플레이트 461: 회전축
500: 메인샤프트 600: 씰플레이트 어셈블리
610: 씰링패널 700: 푸쉬버튼
710: 스프링 800: 체크밸브
810: 실린더 몸체 820: 피스톤
830: 피스톤 가이드 831: 에어라인
840: 오픈체크 샤프트 841: 환형돌출부
850: 스프링 900: 보조체크밸브
910: 체크바디 920: 샤프트100: bottom plate 110: solenoid valve
120: sensor block 200: lifting cylinder
200a: load 300: check valve assembly
310: Check body 311: Air inlet hole
312: Air discharge hole 320: Check housing
321: Flow hole 330: Check shaft
331: first pressure portion 331a: X-ring
332: second pressure portion 332a: U packing
340: push shaft 350: sensor shaft
351: Magnet block 400: Moving unit
410: lift plate 420: side plate
421: lift hole 422: first lift groove
423: second elevating groove 423a: upper engaging groove
424: lower latching groove 430: main plate
431: rotation projection 432: guide hole
433: Guide groove 440: Subplate
441: first rotation projection 442: second rotation projection
443: third rotation projection 444: insertion groove
450: Low plate 451:
460: Top plate 461:
500: Main shaft 600: Seal plate assembly
610: Sealing panel 700: Push button
710: Spring 800: Check valve
810: Cylinder body 820: Piston
830: Piston guide 831: Air line
840: Open check shaft 841: Annular protrusion
850: Spring 900: Auxiliary check valve
910: Check Body 920: Shaft

Claims

A vacuum chamber is provided between a transfer chamber and a process chamber to open and close the vacuum chamber,
A bottom plate 100 provided with a solenoid valve 110 connected to an air supply line, a plurality of air lines connected to the solenoid valve 110, and a sensor block 120 installed on an upper surface thereof;
A lifting cylinder 200 installed at both sides of the upper portion of the bottom plate 100 to receive air from the solenoid valve 110;
A check valve assembly 300 installed above the bottom plate 100 and supplied with air from the solenoid valve 110;
The air is supplied to the body of the lifting cylinder 200 by being positioned on the upper side of the bottom plate 100 and connected to the rod 200a of the lifting cylinder 200, Unit 400;
A main shaft 500 connected to the moving unit 400 and ascending when the moving unit 400 ascends and connected to the check valve assembly 300 through an air line to receive air;
A sealing panel 610 connected to the cylinder 620 is opened by supplying air to the cylinder 620 connected to the upper end of the main shaft 500 to seal the opening and closing port between the transfer chamber and the process chamber And a seal plate assembly (600)
The sensor block 120 senses the movement of the check valve assembly 300 moved by the pressure of the air supplied from the solenoid valve 110 after the sealing panel 610 closes the opening and closing port, (610) seals the opening between the transfer chamber and the process chamber.

The method according to claim 1,
The check valve assembly 300 includes a check body 310 connected to the bottom plate 100 by an air line and supplied with air from the solenoid valve 110;
A check housing 320 installed in the check body 310 and having air supplied into the check body 310;
A first pressure portion 331 and a second pressure portion 332 provided inside the check housing 320 and receiving pressure of the air introduced into the check housing 320 are formed on one side and the other side, A check shaft 330 having a cross section of the pressure portion 331 formed to be larger than a cross section of the second pressure portion 332;
A push shaft 340 connected to one side of the check shaft 330;
And a sensor shaft 350 connected to the other side of the check shaft 330 and provided with a magnet block 351,
When the check shaft 330 moves toward the first pressure portion 331 by the pressure of the air supplied from the solenoid valve 110 after the sealing panel 610 closes the opening and closing port of the sensor shaft 350, Wherein the sensor block (120) senses the magnet block (351) moving together with the transfer chamber and the seal panel (610) to confirm that the seal panel (610) has closed the opening / closing port between the transfer chamber and the process chamber .

The method according to claim 1,
The moving unit 400 includes a lifting plate 410 which is positioned above the bottom plate 100 and is connected to an end of the rod 200a of the lifting cylinder 200 and is lifted and lowered when the rod 200a is lifted and lowered, Wow;
A lift hole 421 is formed on the lower side of the bottom plate 100 so that the lift plate 410 can be inserted and raised and a first lift groove 422 is formed A side plate 420 formed with a second lifting groove 423 having a top engaging groove 423a formed at an upper end thereof and a lower engaging groove 424 formed at an inner wall thereof;
A plurality of rotation protrusions 431 that are installed upright on the upper surface of the lifting plate 410 and rotate by being inserted into the first lifting grooves 422 are provided and a guide hole 432 inclined at a predetermined angle is formed at upper and lower portions A main plate 430 having guide grooves 433 formed between the guide holes 432;
A first rotation protrusion 441 which is positioned between the side plate 420 and the main plate 430 and which is inserted into the second lift groove 423 and is inserted into the upper lock groove 423a, And a third rotation protrusion 443 inserted into the lower locking groove 424 is provided at the lower end of the second rotation protrusion 442. The second rotation protrusion 442 is inserted into the guide groove 433, A sub-plate 440 having upper and lower insertion grooves 444 formed therein;
A rotary shaft 451 provided at both ends of the rotary shaft 451 penetrates through the guide hole 432 formed at the lower end thereof and is inserted into the insertion groove 444 formed at the lower portion thereof and connected to the lower end of the main shaft 500 450);
A rotating shaft 461 provided at both ends is inserted into an insertion groove 444 formed in an upper portion after passing through the guide hole 432 formed at an upper portion thereof and a top plate 460 penetrated by the main shaft 500, ; A slit valve capable of sealing confirmation.

The method of claim 3,
A push button (not shown) is provided on the air line connecting the solenoid valve 110 and the check valve assembly 300 to open the air line when pressed by the lifting plate 410 to allow air to flow toward the check valve assembly 300 700) is mounted on the slit valve.

The method of claim 2,
The first pressure portion 331 is provided with an X ring 331a and the second pressure portion 332 is provided with a U packing 332a so that the inner surface of the check housing 320 and the check shaft 330). &Lt; / RTI >

The method according to claim 1,
A check valve 800 is further installed in the seal plate assembly 600,
The check valve 800 includes a cylinder body 810 installed between the cylinders 620 of the seal plate assembly 600;
A piston 820 installed inside the cylinder body 810,
A piston guide 830 installed inside the piston 820 and having an air line 831 formed therein;
An open check shaft 840 installed inside the piston guide 830 and connecting or disconnecting the air line 831 of the piston guide 830;
And a spring (850) installed on an outer surface of the open check shaft (840) to provide an elastic force to the open check shaft (840).