KR101600697B1 - Vaccum suction device - Google Patents

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    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means

Abstract

본 발명은 고온상태의 피가공물도 쉽게 진공흡착할 수 있고, 피가공물의 진공흡착시 흡착면의 자국이 발생하지 않도록 높은 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가진 흡착패드를 구비하여 공정의 감소 및 생산성을 향상시킬 수 있는 진공 흡착장치에 관한 것으로, 수직 및 수평으로 이동 가능한 고정판과, 상기 고정판에 설치되고, 진공발생기와 연결되어 내부에 진공이 형성되는 진공파이프와, 상부가 상기 진공파이프의 하단에 결합되고, 하면이 피가공물에 밀착되어 진공흡착하는 흡착패드를 포함하고, 상기 흡착패드는, 탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체와, 상기 패드본체의 하면에 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작된 얇은 판상의 패드시트가 결합된 것을 특징으로 한다.The present invention has an adsorption pad with high heat resistance and a smooth surface and a low coefficient of friction so that a workpiece at a high temperature can be easily vacuum-adsorbed and no marks on the adsorption face are generated when the workpiece is vacuum- A vacuum pipe connected to the vacuum generator and having a vacuum formed therein; and an upper part connected to the lower part of the vacuum pipe, And an adsorption pad which is attached to the lower surface of the pad body and vacuum-adsorbed on the lower surface thereof, wherein the adsorption pad comprises: a pad body made of an elastic polymer compound; and a polytetrafluoroethylene (PTFE) And a thin sheet-like pad sheet is bonded.

Description

진공 흡착장치{VACCUM SUCTION DEVICE}[0001] VACCUM SUCTION DEVICE [0002]

본 발명은 진공발생기와 연결되어 진공흡착에 의해 피가공물을 픽업하여 이송하는 진공 흡착장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum adsorption apparatus connected to a vacuum generator for picking up and transferring a workpiece by vacuum adsorption.

일반적으로 평판 디스플레이 패널이나 전자기판 또는 프레스 가공된 금속판재와 같이 판형상의 피가공물을 픽업하여 이송하기 위해서 흡착패드를 구비한 진공 흡착장치가 사용된다.In general, a vacuum adsorption apparatus having a suction pad is used for picking up and transporting a plate-shaped workpiece, such as a flat panel display panel, an electronic substrate, or a press-processed metal plate.

이러한 진공 흡착장치는 가공 전 또는 가공 후 피가공물을 픽업하여 가공장치에 투입하거나 다음 공정으로 이송하는 역할을 한다. 이를 위해 진공 흡착장치는 도 1에 도시된 바와 같이 수직 및 수평으로 이동 가능한 고정판(10)에 진공파이프(20)가 설치되고, 상기 진공파이프(20)의 하단에 흡착패드(30)가 결합된다. 상기 진공파이프(20)는 진공발생기(1)와 연결되어 내부에 진공이 형성되고, 상기 흡착패드(30)에 피가공물(M)의 상면이 밀착되면 피가공물(M)이 흡착되는 것이다. 여기서 상기 피가공물(M)의 면적에 따라 다수의 진공파이프(20) 및 흡착패드(30)가 구비될 수 있다.Such a vacuum adsorption apparatus picks up the workpiece before or after processing, and inputs the workpiece to the processing apparatus or transfers it to the next process. 1, a vacuum pipe 20 is installed in a fixed plate 10 which is movable vertically and horizontally, and a suction pad 30 is coupled to a lower end of the vacuum pipe 20 . The vacuum pipe 20 is connected to the vacuum generator 1 and a vacuum is formed therein. When the upper surface of the workpiece M is brought into close contact with the adsorption pad 30, the workpiece M is adsorbed. Here, a plurality of vacuum pipes 20 and an adsorption pad 30 may be provided depending on the area of the workpiece M.

상기 진공 흡착장치의 흡착패드(30)는 일반적으로 탄성 고분자 화합물로 제작되는데, 고분자 화합물은 천연 및 합성으로 나눌 수 있고, 탄성 고분자 화합물은 탄성력이 있는 고분자 화합물로서 천연고무나 합성고무, 합성수지, 실리콘 및 우레탄 등이 있다. 이러한 흡착패드(30)는 형상에 따라 도 2에 도시된 바와 같이 흡착면이 편평한 평면패드와, 상하로 접혔다 펴지는 벨로우즈패드가 있다.Generally, the adsorption pad 30 of the vacuum adsorption apparatus is made of an elastic polymer compound. The polymer compound can be divided into natural and synthetic, and the elastic polymer compound is a polymer compound having elasticity, and may be a natural rubber, a synthetic rubber, And urethane. 2, the adsorption pad 30 has a flat pad with a flat adsorption surface and a bellows pad which is folded up and down.

어떠한 흡착패드(30)이든 탄성 고분자 화합물의 특성상 고열에 취약해 형상이 변형되기 쉬워 수명이 짧고, 진공흡착된 피가공물(M)의 표면에 흡착면의 자국이 남아 제품출하시 깨끗하게 닦아주어야 하는 문제가 있다.Any adsorption pad 30 is susceptible to high temperature due to the nature of the elastic polymer compound and is liable to be deformed in shape to shorten its service life and the marks of the adsorption surface remain on the surface of the vacuum adsorbed workpiece M, .

예컨대, 상기와 같은 종래의 흡착패드(30) 사용시 피가공물(M)이 건조 또는 경화과정을 위해 고온상태인 경우 가열된 상태에서 온도가 충분히 내려간 이후에 이송과정을 진행해야 하므로 공정의 지연에 따른 생산성 저하가 문제되고, 디스플레이 패널과 같은 피가공물(M)의 경우 진공흡착시 흡착면의 자국이 피가공물(M)의 표면에 그대로 남게 되어 별도의 세척공정을 거쳐야 하므로 그에 따른 공정의 추가와 함께 생산성을 저하시키게 되는 문제가 있다.
For example, when using the conventional adsorption pad 30 as described above, when the workpiece M is in a high temperature state for drying or curing, the transfer process must be performed after the temperature is sufficiently lowered in a heated state. In the case of the workpiece M such as the display panel, the mark of the adsorbed surface remains on the surface of the workpiece M during vacuum adsorption, and therefore, the workpiece M must be subjected to a separate washing process. There is a problem that productivity is lowered.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 고온상태의 피가공물도 쉽게 진공흡착할 수 있고, 피가공물의 진공흡착시 흡착면의 자국이 발생하지 않도록 높은 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가진 흡착패드를 구비하여 공정의 감소 및 생산성을 향상시킬 수 있는 진공 흡착장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention which is devised to solve the above-mentioned problems is to provide a vacuum processing apparatus which can easily vacuum-process a workpiece at a high temperature and has a high heat resistance and a smooth surface And an adsorption pad having a friction coefficient so as to improve the productivity and the productivity of the vacuum adsorption apparatus.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
Other objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 진공 흡착장치는, 수직 및 수평으로 이동 가능한 고정판과, 상기 고정판에 설치되고, 진공발생기와 연결되어 내부에 진공이 형성되는 진공파이프와, 상부가 상기 진공파이프의 하단에 결합되고, 하면이 피가공물에 밀착되어 진공흡착하는 흡착패드를 포함하고, 상기 흡착패드는, 탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체와, 상기 패드본체의 하면에 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작된 얇은 판상의 패드시트가 결합된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum adsorption apparatus comprising: a fixed plate movable vertically and horizontally; a vacuum pipe installed in the fixing plate and connected to a vacuum generator to form a vacuum therein; A pad body coupled to a lower end of the vacuum pipe and having a lower surface brought into close contact with a workpiece to be vacuum-adsorbed, the adsorption pad comprising: a pad body made of an elastic polymer compound; and a polytetrafluoroethylene And a thin sheet-like pad sheet made of polytetrafluoroethylene (PTFE).

또한, 상기 흡착패드는, 상기 패드시트의 상면에 산성액으로 해칭한 후 상기 패드시트를 인서트로 하여 상기 패드본체를 일체로 사출성형하는 인서트 사출성형에 의해 제작되는 것을 특징으로 한다.In addition, the adsorption pad is manufactured by insert injection molding in which the pad body is integrally injection molded with the pad sheet as an insert after being hatched on the upper surface of the pad sheet with an acidic liquid.

또한, 상기 패드시트는, 상면에 복수의 돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.The pad sheet is characterized in that a plurality of projections are formed on the upper surface.

또한, 상기 패드본체는, 벨로우즈 형상인 것을 특징으로 한다.Further, the pad main body is a bellows type.

또한, 상기 패드시트는, 도료화하여 상기 패드본체의 하면에 스프레이한 후 가열 및 소성을 거쳐 비활성의 단단한 코팅층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
In addition, the pad sheet is formed into a coating, sprayed on the lower surface of the pad body, and then heated and fired to form an inert hard coat layer.

본 발명에 따른 진공 흡착장치는, 패드몸체와 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작된 패드시트가 결합된 흡착패드를 통해 고온상태의 피가공물도 쉽게 진공흡착할 수 있고, 피가공물의 진공흡착시 흡착면의 자국이 발생하지 않도록 높은 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가짐으로써 공정의 감소 및 생산성을 향상시킬 수 있다.The vacuum adsorption apparatus according to the present invention is capable of easily vacuum-adsorbing a workpiece at a high temperature through an adsorption pad having a pad body and a pad sheet made of polytetrafluoroethylene (PTFE) bonded thereto, It is possible to improve processability and productivity by having a high heat resistance and a smooth surface with a low coefficient of friction so as not to cause a mark on the adsorbed surface.

또한, 선가공된 패드시트를 인서트로 하여 패드본체를 인서트 사출성형으로 제작시 양자의 결합력을 높이기 위해 패드시트의 상면에 산성액으로 해칭하거나 복수의 돌기를 형성하여 이종의 패드시트와 패드본체의 결합력을 높일 수 있다.In order to increase the bonding force between the pad body and the pad body when the pad body is formed by insert injection molding using the pre-processed pad sheet as an insert, a plurality of protrusions are formed on the upper surface of the pad sheet, The bonding force can be increased.

또한, 패드시트를 도료화하여 패드본체의 하면에 스프레이한 후 가열 및 소성을 거쳐 코팅층으로 형성함으로써 종래 생산된 흡착패드에 패드시트를 용이하게 적용할 수 있다.
In addition, the pad sheet may be painted and sprayed on the lower surface of the pad body, followed by heating and firing to form a coating layer, so that the pad sheet can be easily applied to the conventional adsorption pad.

도 1은 일반적인 진공 흡착장치를 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 실시예 중 흡착패드의 일 실시예를 도시한 사시도이며,
도 3은 도 1의 실시예 중 흡착패드의 다른 실시예를 도시한 사시도이고,
도 4는 본 발명에 따른 진공 흡착장치의 일 실시예를 도시한 사시도이며,
도 5는 도 4의 실시예 중 흡착패드의 제1 실시예를 도시한 사시도이고,
도 6은 도 5의 실시예의 분해 사시도이며,
도 7은 도 4의 실시예 중 흡착패드의 제2 실시예를 도시한 사시도이며,
도 8은 도 7의 실시예의 분해 사시도이고,
도 9는 도 4의 실시예 중 흡착패드의 제3 실시예를 도시한 사시도이며,
도 10은 도 9의 실시예의 분해 사시도이다.1 is a perspective view showing a general vacuum adsorption apparatus,
FIG. 2 is a perspective view showing one embodiment of the adsorption pad in the embodiment of FIG. 1,
FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the adsorption pad in the embodiment of FIG. 1,
4 is a perspective view illustrating an embodiment of a vacuum adsorption apparatus according to the present invention,
FIG. 5 is a perspective view showing a first embodiment of the adsorption pad in the embodiment of FIG. 4,
Figure 6 is an exploded perspective view of the embodiment of Figure 5,
FIG. 7 is a perspective view showing a second embodiment of the adsorption pad in the embodiment of FIG. 4,
Figure 8 is an exploded perspective view of the embodiment of Figure 7,
FIG. 9 is a perspective view showing a third embodiment of the adsorption pad in the embodiment of FIG. 4,
10 is an exploded perspective view of the embodiment of FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 진공 흡착장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the vacuum adsorption apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 진공 흡착장치는, 도 4 내지 10에 도시된 바와 같이 고정판(100), 진공파이프(200) 및 흡착패드(300)를 포함하고, 상기 흡착패드(300)는 패드본체(310) 및 패드시트(320)로 구성되고, 상기 패드시트(320)는 돌기(321)가 형성될 수 있다.4 to 10, the vacuum pad 200 includes a fixing plate 100, a vacuum pipe 200 and a suction pad 300. The suction pad 300 includes a pad body 310, And a pad sheet 320. The pad sheet 320 may have a protrusion 321 formed thereon.

고정판(100)은 도 4에 도시된 바와 같이 평판 또는 블럭 형상의 판체로서, 후술할 진공파이프(200)가 고정 설치되고, 수직 및 수평으로 이동 가능하다. 고정판(100)은 매니퓰레이터가 결합될 수 있고, 수직 및 수평이동을 위한 가이드레일 상에 결합될 수도 있어 수직 및 수평이동이 가능하다. 이러한 고정판(100)의 이동은 후술할 흡착패드(300)가 피가공물(M)을 향해 움직여 진공흡착하고, 흡착된 피가공물(M)을 다음 가공공정으로 이송하기 위한 것이다.As shown in FIG. 4, the fixing plate 100 is a flat or block shaped plate member, and a vacuum pipe 200 to be described later is fixedly installed and vertically and horizontally movable. The clamping plate 100 can be coupled to a manipulator and can be coupled onto a guide rail for vertical and horizontal movement, allowing vertical and horizontal movement. The movement of the fixing plate 100 is for moving the adsorption pad 300 to be described later by moving toward the workpiece M and vacuum-adsorbing the adsorbed workpiece M to the next machining process.

진공파이프(200)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 고정판(100)에 설치되고, 진공발생기(1)와 연결되어 내부에 진공이 형성된다. 진공파이프(200)는 진공발생기(1)의 진공챔버(미도시)와 연결되어 내부에 진공이 형성되는데, 진공파이프(200)는 단일의 원통 형상으로 고정된 구조일 수 있고, 상하로 삽입되는 한 쌍의 원통이 내부 또는 외부에 설치된 스프링에 의해 탄성적으로 인입출 가능한 구조일 수도 있다.The vacuum pipe 200 is installed in the fixing plate 100 as shown in FIG. 4, and connected to the vacuum generator 1 to form a vacuum therein. The vacuum pipe 200 is connected to a vacuum chamber (not shown) of the vacuum generator 1 and a vacuum is formed therein. The vacuum pipe 200 may have a structure in which the vacuum pipe 200 is fixed in a single cylindrical shape, Or a structure in which a pair of cylinders can be elastically retracted by a spring provided inside or outside.

흡착패드(300)는 도 4에 도시된 바와 같이 상부가 상기 진공파이프(200)의 하단에 결합되고, 하면이 피가공물(M)에 밀착되어 진공흡착한다. 흡착패드(300)는 진공파이프(200)의 내부와 연통되어 하면 즉 흡착면에 흡입력이 형성되는데, 이러한 흡착패드(300)의 하면이 피가공물(M)의 표면에 밀착되어 진공흡착하게 된다.4, the upper portion of the adsorption pad 300 is coupled to the lower end of the vacuum pipe 200, and the lower surface of the adsorption pad 300 is brought into close contact with the workpiece M and vacuum adsorbed thereon. The suction pad 300 is connected to the inside of the vacuum pipe 200 to form a suction force on the suction surface of the vacuum pad 200. The lower surface of the suction pad 300 is brought into close contact with the surface of the workpiece M and vacuum-

상술한 고정판(100), 진공파이프(200) 및 흡착패드(300)의 일반적인 기능 및 결합관계는 종래 널리 알려져 있으므로 그 상세한 설명은 생략하고, 본 발명의 특징적인 목적인 고온상태의 피가공물(M)도 쉽게 진공흡착할 수 있고, 피가공물(M)의 진공흡착시 흡착면의 자국이 발생하지 않도록 높은 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가진 흡착패드(300)에 관하여 상세히 설명한다.Since the general functions and the coupling relationship of the fixing plate 100, the vacuum pipe 200 and the adsorption pad 300 are well known in the art, a detailed description thereof will be omitted, and a high-temperature workpiece M, The adsorption pad 300 having a high heat resistance and a smooth surface and a low coefficient of friction so that the workpiece M can be easily vacuum-adsorbed and the workpiece M is not vacuumed.

상술한 흡착패드(300)를 가지기 위해서는, 첫째 흡착패드(300) 본래의 목적인 피가공물(M)에 밀착되게 접촉하도록 탄성 변형될 수 있는 종래의 탄성 고분자 화합물을 사용하되, 둘째 피가공물(M)과 접촉되는 흡착패드(300)의 하면인 흡착면에 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가진 이종재질이 필요하다는 것이다.In order to have the above-described adsorption pad 300, a conventional elastic polymer compound which can be elastically deformed so as to come into close contact with the workpiece M, which is the original purpose of the first adsorption pad 300, It is necessary that a different material having heat resistance and a low friction coefficient on a smooth surface is required on the adsorption surface which is the lower surface of the adsorption pad 300 that is in contact with the adsorption pad 300.

이러한 점에서 본 발명에 따른 진공 흡착장치의 흡착패드(300)는 도 4 내지 6에 도시된 바와 같이 탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체(310)와, 상기 패드본체(310)의 하면에 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE, Polytetrafluorothylene)으로 제작된 얇은 판상의 패드시트(320)가 결합된다. 패드본체(310)는 종래부터 널리 사용되고 있는 탄성 고분자 화합물인 고무재질이고, 패드시트(320)는 유기 중합체 계열에 속하는 비가연성 불소수지인 폴리테트라플로오에틸렌이다. 폴리테트라플루오로에틸렌은 약자인 PTFE 또는 듀퐁사의 상품명인 테프론(Teflon)으로 많이 알려져 있으며, 모든 화학약품에 대한 내화학성이 있으며, 매끄러운 표면으로 유명하다. 따라서, 탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체(310)와, 패드본체(310)의 하면에 폴리테트라플루오로에틸렌으로 제작된 얇은 판상의 패드시트(320)가 결합된 흡착패드(300)는 피가공물(M)의 진공흡착시 패드본체(310)가 탄성 변형되면서 피가공물(M)에 밀착되고, 피가공물(M)의 표면에 접촉되는 패드시트(320)는 내열성 및 내화학성이 높아 변형되지 않고, 매끄러운 표면에 의해 마찰 계수가 낮아 흡착면의 자국이 남지 않는 것이다.In this regard, the adsorption pad 300 of the vacuum adsorption apparatus according to the present invention includes a pad body 310 made of an elastic polymer compound as shown in FIGS. 4 to 6, A thin sheet-like pad sheet 320 made of PTFE (Polytetrafluoroethylene) is bonded. The pad body 310 is a rubber material, which is a widely used elastic polymer compound, and the pad sheet 320 is polytetrafluoroethylene which is a non-flammable fluororesin belonging to the organic polymer series. Polytetrafluoroethylene is well known for its abbreviation PTFE or Teflon, a trade name of DuPont. It is chemically resistant to all chemicals and is well known for its smooth surface. Accordingly, the pad 300 having the pad body 310 made of the elastic polymer compound and the pad sheet 320 having the thin plate shape made of polytetrafluoroethylene bonded to the lower surface of the pad body 310, The pad main body 310 is elastically deformed upon vacuum suction of the workpiece M and is brought into close contact with the workpiece M and the pad sheet 320 which is in contact with the surface of the workpiece M is high in heat resistance and chemical resistance, , The coefficient of friction is low due to the smooth surface, and no trace of the adsorbed surface is left.

이러한 흡착패드(300)는 널리 알려진 바와 같이 평면패드와 벨로우즈 패드가 있는데, 벨로우즈 패드인 경우 도 9 및 10에 도시된 바와 같이 상기 패드본체(310)가 벨로우즈 형상이고, 패드본체(310)의 하면에 패드시트(320)가 결합된다.9 and 10, the pad body 310 has a bellows shape, and the lower surface of the pad body 310 has a bellows shape. The pad sheet 320 is joined.

상기와 같이 패드본체(310)와 패드시트(320)가 결합된 흡착패드(300)는 상호 이종재질로서, 상호 간 결합이 용이하지 않은데 이러한 흡착패드(300)의 제작과정을 살펴본다.As described above, the pad 300 having the pad body 310 and the pad sheet 320 coupled to each other are made of different materials and are not easily coupled to each other. A manufacturing process of the pad 300 will be described.

첫째, 인서트 사출성형으로서 상기 흡착패드(300)는 상기 패드시트(320)를 인서트로 하여 패드본체(310)를 인서트 사출성형에 의해 제작된다. 다만, 패드시트(320)의 상면과 패드본체(310)의 하면 사이에 사출성형시 결합력을 높이기 위하여 패드시트(320)의 상면에 산성액으로 해칭을 하면, 인서트된 패드시트(320)의 상면에 패드본체(310)의 탄성 고분자 화합물 수지가 사출 성형될 때 결합력이 매우 강해진다. 또한, 패드시트(320)의 상면과 패드본체(310)의 하면 사이에 결합면적을 넓게 가질 수 있도록 도 7 및 8에 도시된 바와 같이 상기 패드시트(320)는 상면에 복수의 돌기(321)가 형성될 수 있다. 패드시트(320)의 상면에 복수의 돌기(321)가 형성된 경우 패드본체(310)는 인서트 사출성형에 따라 하면이 패드시트(320)의 상면과 형합되게 충진되어 일체화될 것이다.First, as the insert injection molding, the adsorption pad 300 is manufactured by insert injection molding of the pad body 310 with the pad sheet 320 as an insert. When the upper surface of the pad sheet 320 is hatched with an acidic liquid between the upper surface of the pad sheet 320 and the lower surface of the pad body 310 to increase the bonding force during injection molding, The bonding force becomes very strong when the elastic polymer resin of the pad body 310 is injection-molded. 7 and 8, the pad sheet 320 has a plurality of protrusions 321 formed on the upper surface thereof so as to have a larger bonding area between the upper surface of the pad sheet 320 and the lower surface of the pad body 310, Can be formed. When a plurality of protrusions 321 are formed on the upper surface of the pad sheet 320, the pad body 310 may be integrated with the upper surface of the pad sheet 320 so as to be integrated with the upper surface of the pad sheet 320 according to insert injection molding.

둘째, 단순 사출성형된 패드본체(310)의 하면에 패드시트(320)를 스프레이하여 코팅층을 형성할 수 있다. 즉, 상기 패드시트(320)는 도료화하여 상기 패드본체(310)의 하면에 스프레이한 후 가열 및 소성을 거쳐 비활성의 단단한 코팅층으로 형성한다. 이러한 스프레이 코팅방식은 종래 탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체(310)에 패드시트(320)를 용이하게 적용할 수 있는 이점이 있다.Second, a coating layer can be formed by spraying the pad sheet 320 on the lower surface of the pad 310 formed by simple injection molding. That is, the pad sheet 320 is painted, sprayed on the lower surface of the pad body 310, and heated and fired to form an inert hard coat layer. Such a spray coating method has an advantage that the pad sheet 320 can be easily applied to the pad body 310 made of a conventional elastic polymer compound.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 진공 흡착장치는, 패드몸체(310)와 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작된 패드시트(320)가 결합된 흡착패드(300)를 통해 고온상태의 피가공물(M)도 쉽게 진공흡착할 수 있고, 피가공물(M)의 진공흡착시 흡착면의 자국이 발생하지 않도록 높은 내열성 및 매끄러운 표면으로 낮은 마찰계수를 가짐으로써 공정의 감소 및 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the vacuum adsorption apparatus according to the present invention includes a pad body 310 and a pad sheet 320 made of polytetrafluoroethylene (PTFE) (M) can be easily vacuum-adsorbed, and the process can be reduced and productivity can be improved by having a high coefficient of friction and a high coefficient of friction with a high heat resistance and a smooth surface so as not to cause marks on the adsorption face during vacuum adsorption of the workpiece .

또한, 선가공된 패드시트(320)를 인서트로 하여 패드본체(310)를 인서트 사출성형으로 제작시 양자의 결합력을 높이기 위해 패드시트(320)의 상면에 산성액으로 해칭하거나 복수의 돌기(321)를 형성하여 이종의 패드시트(320)와 패드본체(310)의 결합력을 높일 수 있다.When the pad body 320 is inserted into the pad body 310 by insert injection molding, the pad body 320 may be hatched with an acidic liquid on the upper surface of the pad body 320 or a plurality of protrusions 321 So that the bonding force between the different types of pad sheets 320 and the pad body 310 can be increased.

또한, 패드시트(320)를 도료화하여 패드본체(310)의 하면에 스프레이한 후 가열 및 소성을 거쳐 코팅층으로 형성함으로써 종래 생산된 흡착패드에도 패드시트(320)를 용이하게 적용할 수 있다.
In addition, the pad sheet 320 may be painted and sprayed on the lower surface of the pad body 310, followed by heating and firing to form a coating layer, so that the pad sheet 320 can be easily applied to a conventional adsorption pad.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

M : 피가공물
1 : 진공발생기
100 : 고정판
200 : 진공파이프
300 : 흡착패드
310 : 패드본체
320 : 패드시트 321 : 돌기M: Workpiece
1: Vacuum generator
100: Fixed plate
200: vacuum pipe
300: adsorption pad
310: Pad body
320: pad sheet 321: projection

Claims (5)

수직 및 수평으로 이동 가능한 고정판과, 상기 고정판에 설치되고, 진공발생기와 연결되어 내부에 진공이 형성되는 진공파이프와, 상부가 상기 진공파이프의 하단에 결합되고, 하면이 피가공물에 밀착되어 진공흡착하는 흡착패드를 포함하고,
상기 흡착패드는,
탄성 고분자 화합물로 제작된 패드본체와,
상기 패드본체의 하면에 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작된 얇은 판상의 패드시트가 결합되고,
상기 패드시트는,
상면에 복수의 돌기가 형성되고,
상기 흡착패드는,
상기 패드시트의 상면에 산성액으로 해칭한 후 상기 패드시트를 인서트로 하여 상기 패드본체를 일체로 사출성형하는 인서트 사출성형에 의해 제작되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치.A vacuum pipe connected to the vacuum generator and having a vacuum formed therein; an upper part coupled to a lower end of the vacuum pipe; a lower surface attached to the workpiece to be vacuum-adsorbed; The adsorption pad comprising:
The adsorption pad
A pad body made of an elastic polymer compound,
A thin sheet-like pad sheet made of polytetrafluoroethylene (PTFE) is bonded to the lower surface of the pad body,
The above-
A plurality of projections are formed on the upper surface,
The adsorption pad
Wherein the pad is formed by insert injection molding in which an upper surface of the pad sheet is hatched with an acid solution, and the pad body is injection molded integrally with the pad sheet as an insert. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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