KR101596059B1 - Fluid dispensing method - Google Patents

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로버트 에이. 하예스
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리쿠아비스타 비.브이.
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    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/004Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on a displacement or a deformation of a fluid

Abstract

본 발명의 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위하여 표면 상에 제1 유체를 제공하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 표면을 제공하는 단계; 상기 제1 유체와 혼합 불가능한 일정량의 제2 유체를 제공하는 단계; 상기 제1 유체를 분배하기 위한 디스펜서를 제공하는 단계; 및 상기 제1 유체가 제2 유체를 통과하여 중력 방향에 대향하는 방향으로 표면 상으로 이동하도록 상기 제1 유체를 분배하는 단계를 포함한다. 본 발명은 또한 상기 제1 유체가 상기 표면과 접촉하도록 위치시킴과 동시에, 상기 제1 유체와 관련하여 지정된 위치의 상기 표면을 중력 방향에 대향하는 방향으로 제공하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 그러한 방법을 제공하도록 배열된 장치 및 일렉트로웨팅 장치에 관한 것이다.To a method of providing a first fluid on a surface for manufacturing an electrowetting device of the present invention. The method includes providing a surface; Providing an amount of a second fluid incapable of mixing with the first fluid; Providing a dispenser for dispensing the first fluid; And dispensing the first fluid such that the first fluid passes through the second fluid and moves on the surface in a direction opposite to the gravitational direction. The present invention also relates to a method for providing said surface of a designated location in relation to said first fluid in a direction opposite to gravity direction while locating said first fluid in contact with said surface. The invention also relates to an apparatus and an electrowetting device arranged to provide such a method.

Description

유체 분배 방법{FLUID DISPENSING METHOD}[0001] FLUID DISPENSING METHOD [0002]

본 발명은 특히, 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 제조하기 위하여 표면상에 제1 유체를 제공하는 방법에 관한 것이다.The present invention is particularly directed to a method of providing a first fluid on a surface for manufacturing an electrowetting display device.

국제 공개 번호 WO 2005/098797은 기판의 표면 상에 특히, 일렉트로웨팅 디스플레이 구현에 적합한 오일층을 제공하는 방법을 개시한다. 표면은 최초에는 물의 층으로 덮혀있다. 디스펜서는 물 층내의 표면 위에 개구를 갖는다. 오일은 디스펜서로 공급되고, 오일 방울은 개구와 표면 사이에서 형성된다. 표면은 친수성 제2 영역으로 둘러싸인 소수성 제1 영역을 포함한다. 디스펜서가 표면 위로 이동하는 경우, 오일 방울은 제1 및 제2 영역 위로 끌리게 되고, 오일 층에 의해 제1 영역 위의 물과 교체되고, 제2 영역에 물을 남기게 된다.International Publication No. WO 2005/098797 discloses a method for providing an oil layer on the surface of a substrate, particularly suitable for electrowetting display implementations. The surface is initially covered with a layer of water. The dispenser has an opening above the surface in the water layer. Oil is supplied to the dispenser, and oil droplets are formed between the openings and the surface. The surface comprises a hydrophobic first region surrounded by a hydrophilic second region. When the dispenser moves over the surface, the oil droplets are drawn over the first and second areas, replaced with water on the first area by the oil layer, and leave water in the second area.

본 발명의 목적은 표면 상의 오일층을 제공하는 다른 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide another method of providing an oil layer on a surface.

본 발명의 목적은 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위하여 표면 상에 제1 유체를 제공하는 방법에 의해 구현되며, 이 방법은:The object of the present invention is implemented by a method of providing a first fluid on a surface for manufacturing an electrowetting device, comprising:

a) 표면을 제공하는 단계a) providing a surface

b) 상기 제1 유체와 혼합 불가능한 일정량의 제2 유체를 제공하는 단계;b) providing an amount of a second fluid incapable of mixing with the first fluid;

c) 상기 제1 유체를 분배하기 위한 디스펜서를 제공하는 단계; 및c) providing a dispenser for dispensing the first fluid; And

d) 상기 제1 유체가 제2 유체를 통과하여 중력 방향에 대향하는 방향으로 표면 상으로 이동하도록 상기 제1 유체를 분배하는 단계d) dispensing the first fluid such that the first fluid passes through the second fluid and moves on the surface in a direction opposite to the gravitational direction

를 포함한다..

예를 들면 하방으로의 힘인 중력이 있고, 디스펜서가 표면 아래에 배열되므로, 제2 유체는 분배된 표면쪽으로 이동하여 표면과 접촉한다. 유리하게는, 분배된 제1 유체가 자발적으로 표면쪽으로 이동하므로, 디스펜서는 표면으로부터 이격되어 위치될 수 있다. 그러므로, 종래 기술에서 공지된 것처럼 작은 영역내에 바늘을 표면에 인접하게 가져가도록 바늘을 분배하는 조심스런 위치 지정이 필요가 없다. 따라서, 디스펜서는 간략한 구조일 수 있다. 또한, 제1 유체를 중력에 대향하는 방향으로 분배함에 의해, 표면을 이에 따라 배열시키고, 표면은 제공된 일정량의 제1 유체의 안정화를 돕고, 따라서 표면으로의 정확한 분배를 가능하도록 한다. 그러므로, 본 발명의 방법은 간략하면서도 효율적이다.For example, there is gravity as a downward force, and as the dispenser is arranged below the surface, the second fluid moves toward the dispensed surface and contacts the surface. Advantageously, the dispensed first fluid spontaneously moves toward the surface, so that the dispenser can be positioned away from the surface. Therefore, there is no need for careful positioning to dispense the needle to bring the needle adjacent to the surface within a small area as is known in the art. Accordingly, the dispenser may be a simple structure. In addition, by distributing the first fluid in a direction opposite to gravity, the surface is arranged accordingly, and the surface assists in stabilizing a given amount of the first fluid, thus allowing an accurate distribution to the surface. Therefore, the method of the present invention is simple and efficient.

바람직하게는, 제1 유체는 상기 제2 유체보다 밀도가 낮다. 제1 유체가 분배되는 경우, 표면에 제1 유체를 도포하기 위하여 표면 인근에 디스펜싱 장치를 가져갈 필요없이, 제1 유체는 제2 유체를 거쳐 표면쪽으로 상승한다. 일렉트로웨팅 장치에서, 제1 및 제2 유체는 동일한 밀도로 제공될 수 있다. 그러나, 이러한 장치를 대량으로 제조하는 경우, 제1 및 제2 유체에 전체 동작 온도에서 정확하게 일치된 밀도를 제공하는 것은 구현이 어려울 것이다. 본 발명의 방법은 유리하게는 간편한 방식으로 표면 상에 제1 유체를 제공하기 위하여 유체들 사이의 밀도 차이를 이용할 수 있다. 더욱이, 유체가 유체의 고유 특성을 이용하여 표면 상에 제공되므로, 복잡한 디스펜싱 장치는 필요치 않다. 또한, 상이한 유체의 정확한 밀도 맞춤은 필요치 않으며, 제조에 있어 더 큰 공차를 제공하게 된다.Preferably, the first fluid is less dense than the second fluid. When the first fluid is dispensed, the first fluid rises to the surface via the second fluid without having to bring the dispensing device near the surface to apply the first fluid to the surface. In an electrowetting device, the first and second fluids may be provided at the same density. However, in the case of mass production of such devices, it would be difficult to implement to provide precisely matched densities at the overall operating temperature of the first and second fluids. The method of the present invention can advantageously utilize density differences between fluids to provide a first fluid on the surface in a convenient manner. Moreover, since the fluid is provided on the surface using the intrinsic properties of the fluid, a complicated dispensing device is not required. In addition, exact density alignment of different fluids is not required and provides greater tolerance in manufacturing.

본 발명의 다른 실시예에서, 디스펜서는 제1 유체와 여기에 추가로 제2 유체의 혼합물을 분배하도록 배열되며, 상기 방법은 단계 d)에서 혼합물을 분배하는 단계를 포함한다. 혼합물은 제1 및 제2 유체의 에멀션(emulsion)일 수 있다. 표면은 제2 유체보다 제1 유체에 대해 더 습윤성을 가지며, 이는 제1 유체가 표면의 적절한 부근에 있는 경우, 표면과 접촉할 가능성이 있고, 제2 유체와 분리되어 표면 상에 제1 유체의 층을 형성할 수 있어서, 표면에 대해 유체의 상이한 습윤 성질을 이용하여 제1 유체로 표면을 간단하게 코팅하는 것을 의미한다. 예를 들면, 표면은 소수성 표면일 수 있어서, 제1 유체는 비-극성이고, 제2 유체는 극성 또는 도전성이다.In another embodiment of the invention, the dispenser is arranged to dispense a mixture of a first fluid and an additional second fluid to the excitation, the method comprising the step of dispensing the mixture in step d). The mixture may be an emulsion of the first and second fluids. The surface is more wettable with respect to the first fluid than the second fluid, which is likely to contact the surface when the first fluid is in close proximity to the surface, To form a layer, which means simply coating the surface with a first fluid using the different wetting properties of the fluid with respect to the surface. For example, the surface can be a hydrophobic surface such that the first fluid is non-polar and the second fluid is polar or conductive.

본 발명의 다른 실시예에서, 제1 유체는 제2 유체의 밀도와 실질적으로 동일한 밀도를 갖는다. 실질적으로 동일하다는 의미는 제1 및 제2 유체의 혼합물에서 제1 유체와 제2 유체가 상승하지 않는 밀도를 가지게 됨을 의미한다. 그들의 밀도를 조정하기 위하여 유체내에 첨가물을 이용함에 의해 제1 및 제2 유체는 동일한 밀도를 갖게 된다. 동일한 밀도의 제1 및 제2 유체를 포함하는 일렉트로웨팅 장치는 유리한 성능을 가질 수 있다. 예를 들면, 디스플레이가 흔들리면 제1 및 제2 유체의 구조의 붕괴에 내성을 가질 수 있다. 실질적으로 동일한 밀도를 갖는 제1 및 제2 유체로, 본 발명에 따른 방법은 제1 유체가 표면 상에 용이하게 제공되도록 한다. 예를 들면, 양호한 실시예에서, 디스펜서는 표면까지 제2 유체를 통과하기 위한 속도로 제1 유체를 분배하도록 배열될 수 있다. 그러므로, 제1 유체를 적절한 힘으로 디스펜서로부터 배출함에 의해, 밀도 매칭으로 인하여 제1 유체가 제2 유체내의 고정된 위치에 유지하려는 성향을 극복하여 제1 유체는 표면에 도달할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the first fluid has a density substantially equal to the density of the second fluid. Means that the first fluid and the second fluid in the mixture of the first and second fluids have a density that does not rise. By using additives in the fluid to adjust their density, the first and second fluids will have the same density. An electrowetting device comprising a first and a second fluid of the same density can have advantageous performance. For example, if the display is shaken, it may be resistant to the collapse of the structures of the first and second fluids. With the first and second fluids having substantially the same density, the method according to the present invention allows the first fluid to be readily provided on the surface. For example, in a preferred embodiment, the dispenser may be arranged to dispense the first fluid at a rate for passing the second fluid to the surface. Thus, by ejecting the first fluid from the dispenser at an appropriate force, the first fluid can reach the surface, overcoming the tendency of the first fluid to remain in a fixed position in the second fluid due to density matching.

유리하게는, 제1 유체를 분배할 때와 동일한 측면으로부터 모니터링을 하는 경우 발생하는 제1과 제2 유체 사이의 메니스커스(meniscus)의 영향으로 인해 야기되는 모니터링의 왜곡을 회피하기 위하여, 모니터링 장치 및 디스펜서는 표면의 대향측에 배열될 수 있다. 또한, 분배시와 동일한 측으로부터 모니터링을 할 경우는 효과적인 모니터링에서는 바람직한 표면 상에 제1 유체를 도포할 지점을 관측하는 것을 어렵게 한다. 따라서, 디스펜서는 표면 아래에 배열되고, 모니터링 장치는 표면 위에 배열된다. 표면이 투명하게 하여, 표면 상의 제1 유체가 제공된 표면을 관찰함으로써 수행될 수 있다. 더욱이, 모니터링 장치가 표면 위에 배열되므로, 장치가 표면 아래에 위치될 경우, 또한 특히 장치가 표면과 제조 장치의 일부 사이, 예를 들면 후술하는 제2 유체의 배스(bath)의 베이스(base)에 위치될 경우, 방해받지 않고 장치를 3차원적으로 보다 자유롭게 이동시킬 수 있다.Advantageously, in order to avoid the distortion of monitoring caused by the influence of the meniscus between the first and second fluids that occurs when monitoring from the same side as when distributing the first fluid, The device and the dispenser may be arranged on opposite sides of the surface. Also, monitoring from the same side as during dispensing makes it difficult to observe where to apply the first fluid on the desired surface in effective monitoring. Thus, the dispenser is arranged below the surface, and the monitoring device is arranged on the surface. The surface can be made transparent, and the surface on which the first fluid on the surface is provided can be observed. Moreover, since the monitoring device is arranged on the surface, the device can be placed under the surface, and more particularly when the device is placed between the surface and a part of the manufacturing device, for example a base of a second fluid bath, When positioned, the device can be moved more freely in three dimensions without being disturbed.

본 발명의 양호한 실시예에서, 디스펜서는 제1 유체와 혼합 불가능한 추가 유체의 도움으로 제1 유체를 분배한다. 추가 유체는 공기일 수 있으며 제1 유체의 층이 효과적인 방식으로 표면 상에 도포될 수 있도록 한다.In a preferred embodiment of the present invention, the dispenser dispenses the first fluid with the aid of an additional fluid that is not immiscible with the first fluid. The additional fluid can be air and allows a layer of the first fluid to be applied on the surface in an effective manner.

본 발명의 다른 실시예에서, 방법은 제2 표면 상에 제3 유체를 제공하는 단계를 포함하며, 상기 방법은:In another embodiment of the present invention, a method comprises providing a third fluid on a second surface, the method comprising:

e) 상기 제2 표면을 제공하는 단계;e) providing the second surface;

f) 상기 제3 유체를 분배하기 위하여 추가 디스펜서를 제공하는 단계; 및f) providing an additional dispenser for dispensing the third fluid; And

g) 상기 제3 유체를 분배하여 중력 방향에 대향하는 방향으로 상기 제2 유체를 통해 상기 제2 표면 상으로 상기 제3 유체를 이동시키는 단계를 포함한다. 유리하게는, 상기 방법은 2개 이상의 전환가능한 디스플레이층을 갖는 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 제조하는데 이용될 수 있다. 적어도 하나의 디스플레이층을 제조하기 위하여 본 발명의 방법을 이용함에 의해, 불편하고 비효율적인 제조 단계인 디스플레이 층들 중 하나를 뒤집을 필요없이 2개의 개별 조립된 디스플레이층이 서로 결합될 수 있다.g) dispensing the third fluid and moving the third fluid through the second fluid in a direction opposite to the gravitational direction onto the second surface. Advantageously, the method can be used to fabricate an electrowetting display device having two or more switchable display layers. By using the method of the present invention to fabricate at least one display layer, two separate assembled display layers can be joined together without having to reverse one of the display layers, which is an inconvenient and inefficient manufacturing step.

본 발명의 양호한 실시예에서, 상기 방법은 모니터링 장치를 이용하여 표면 상에 제1 유체의 층의 형성을 모니터링하는 단계 및 소정 두께를 갖는 층을 제공하기 위하여 제1 유체에 대한 분배를 제어하는 단계를 포함한다. 이는 표면 상에 제1 유체를 제공하는 단계가 제어 가능한 방식으로 수행되도록 한다.In a preferred embodiment of the present invention, the method includes monitoring the formation of a layer of a first fluid on a surface using a monitoring device, and controlling distribution to a first fluid to provide a layer having a predetermined thickness . This allows the step of providing the first fluid on the surface to be performed in a controllable manner.

본 발명의 양호한 실시예에서, 본 발명의 방법은 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위한 롤투롤 공정을 채용한다. 롤투롤 공정은 일렉트로웨팅 장치를 간편하고 효율적으로 대량 및 저가로 제조하는데 이용될 수 있다. 롤투롤 공정은 웹 프로세싱으로도 알려져 있는데, 수행되는 단계들의 공정을 지연시키거나 중지할 필요없이 장치 조립 단계가 연속적으로 수행되도록 하는 것을 의미한다. 일렉트로웨팅 장치는 롤투롤 공정에 적합한 얇은 판의 및/또는 유연한 재료를 이용하여 조립될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 방법은 롤투롤 공정에 완전히 호환되며, 일렉트로웨팅 장치가 효율적인 방식으로 제조되도록 한다.In a preferred embodiment of the present invention, the method of the present invention employs a roll-to-roll process for manufacturing an electrowetting device. The roll-to-roll process can be used to manufacture the electrowetting device conveniently and efficiently in large quantities and at low cost. The roll-to-roll process, also known as web processing, means that the device assembly steps are performed continuously without the need to delay or halt the process of the steps being performed. The electrowetting device can be assembled using a thin plate and / or a flexible material suitable for a roll-to-roll process. Therefore, the method of the present invention is fully compatible with the roll-to-roll process and allows the electrowetting device to be manufactured in an efficient manner.

본 발명의 다른 측면은 첨부된 청구 범위에서 한정된다. Other aspects of the invention are defined in the appended claims.

본 발명의 다른 특징 및 장점은 본 발명의 양호한 실시예의 아래의 설명으로부터 명백해지며, 이는 단지 예를 든 것 뿐으로, 첨부된 도면을 참조로 한다.Other features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of the preferred embodiments of the present invention, which are given by way of example only, with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 방법을 이용하여 제조된 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 방법을 이용한 일렉트로웨팅 장치를 제조하는 롤투롤 방법을 제공하기 위한 장치를 개략적으로 도시한다.
도 3 및 4는 본 발명의 실시예에 따른 분배 방법을 개략적으로 도시한다.
도 5a, 5b 및 5c는 본 발명의 추가 실시예에 따른 분배 방법을 개략적으로 도시한다.
도 6은 본 발명의 방법을 이용하여 제조된 또 다른 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한다.
1 schematically shows an electrowetting display device manufactured using the method of the present invention.
Figure 2 schematically shows an apparatus for providing a roll-to-roll method of manufacturing an electrowetting apparatus using the method of the present invention.
Figures 3 and 4 schematically illustrate a dispensing method according to an embodiment of the present invention.
Figures 5A, 5B and 5C schematically illustrate a dispensing method according to a further embodiment of the present invention.
Figure 6 schematically shows another electrowetting display device manufactured using the method of the present invention.

도 1은 본 발명이 분배 방법을 이용하여 제조된 일렉트로웨팅 디스플레이 장치의 일련의 일렉트로웨팅 소자의 단면도를 개략적으로 도시한다. 도시된 일련의 소자는 제1 유체의 층이 형성되는 표면이 배향과 비교하여 반전된 것으로 도시되며, 후술한다. 제1 기판(2)은 기판 상에 박막 도전체로서 피착되는 전극(4)을 구비한다. 각각의 전극은 전압을 제공하기 위하여 신호선(6)에 연결된다. 전극은 비정질 플루오르화 폴리머(amorphous fluoropolymer) 예를 들면, AF 1600의 소수성 박층(8)에 의해 덮힌다. 예를 들면 SU8인 친수성 박층(10)의 패턴은 친수성 제2 영역(10) 사이에서 소수성 제1 영역(12)내의 상기 기판의 표면을 분할한다. 친수성층은 덜 소수성인 즉, 소수성 박층(8) 보다 더욱 친수성인 재료이다. 그러므로, 본 명세서에서 친수성이라는 용어가 사용되지만, 친수성층은 소수성 특성을 보일 수 있다. 다시 말하면, 소수성층은 제1 유체 보다 더 습윤성이고, 친수성층은 제2 유체 보다 더 습윤성이다. 이 예에서, 제1 영역의 크기는 약 20 내지 500 평방 마이크로미터, 예를 들면 160 평방 마이크로미터이고, 제2 영역은 약 1 내지 50 마이크로미터 예를 들면 10 마이크로미터이 폭 및 약 3 내지 6 마이크로미터의 높이를 갖는다. 위로 전극, 소수성 및 친수성층(4, 8 및 10)을 구비한 기판(2)은 제1 유체로서 오일을 이용하고, 제2 유체로서 물을, 추가 유체로서 공기를 이용하는 본 발명에 따른 분배 방법이 수행된다. 유체의 다른 조합이 다른 실시예에 이용될 수 있다. 분배 방법은 이하 설명된다. 분배 방법을 수행한 이후에, 제1 영역(12)은 3과 6 마이크로미터 사이 예를 들면 5 마이크로미터의 두께를 갖는 오일층(14)에 의해 불균일하게 덮힌다. 높이가 제1과 제2 유체 사이의 인터페이스가 고정되는 제2 영역 상의 위치를 결정하므로, 오일층의 두께는 제2 영역의 높이에 의해 적어도 일부 결정된다. 제2 영역(10)과 오일층(14)은 물(16)에 의해 덮힌다. 물은 전도도를 증가시키고 및/또는 장치 동작을 위한 온도 대역을 확대하기 위하여 소금 또는 다른 추가물을 포함할 수 있다. 분배 방법 동안 이용되는 이 예에서는 물인 제2 유체는 바람직하게는 기판을 포함하는 제품에서 이용되는 것과 동일한 유체로서, 이는 분배 방법의 수행 이후에 다른 유체와 제2 유체를 교환하는 것을 방지한다. 제2 기판(18)은 상기 제1 및 제2 기판 사이의 닫힌 공간을 형성한다. 도 1에서 도시 되지 않은 시일(seal)이 제1 및 제2 기판(2, 18) 사이에 제공되어, 제1 및 제2 기판(2, 18)을 서로 분리하고, 닫힌 공간을 형성한다. 그러한 시일은 디스플레이 장치의 주변 둘레에 제공될 수 있다. 그러므로 시일은 제1 및 제2 기판 사이의 간격을 결정하고, 장치의 디스플레이 영역을 한정한다.1 schematically shows a cross-sectional view of a series of electrowetting elements of an electrowetting display device in which the present invention is produced using a dispensing method. The series of devices shown is shown as the surface on which the layer of the first fluid is formed is inverted compared to the orientation, as described below. The first substrate 2 has an electrode 4 that is deposited as a thin film conductor on a substrate. Each electrode is connected to a signal line 6 to provide a voltage. The electrode is covered by an amorphous fluoropolymer, e. G., A hydrophobic thin layer 8 of AF 1600. The pattern of the hydrophilic thin layer 10, for example SU8, divides the surface of the substrate in the hydrophobic first region 12 between the hydrophilic second regions 10. The hydrophilic layer is a material that is less hydrophobic, i.e., more hydrophilic than the hydrophobic thin layer 8. Therefore, while the term hydrophilicity is used herein, the hydrophilic layer may exhibit hydrophobic properties. In other words, the hydrophobic layer is more wettable than the first fluid, and the hydrophilic layer is more wettable than the second fluid. In this example, the size of the first region is about 20 to 500 square micrometers, such as 160 square micrometers, the second region is about 1 to 50 micrometers, e.g., 10 micrometers wide, and about 3 to 6 micro- Meter height. The substrate 2 with the electrodes, the hydrophobic and hydrophilic layers 4, 8 and 10 can be used in a dispensing method according to the invention using oil as the first fluid, water as the second fluid and air as the additional fluid Is performed. Other combinations of fluids may be used in other embodiments. The dispensing method is described below. After performing the dispensing method, the first region 12 is unevenly covered by an oil layer 14 having a thickness of, for example, 5 micrometers between 3 and 6 micrometers. The height of the oil layer is determined at least in part by the height of the second region, since the height determines the position on the second region where the interface between the first and second fluids is fixed. The second region 10 and the oil layer 14 are covered by the water 16. The water may include salt or other additives to increase the conductivity and / or to broaden the temperature range for device operation. The second fluid, which in this example is used during the dispensing process, is preferably the same fluid as that used in the product comprising the substrate, which prevents the exchange of the second fluid with another fluid after the dispensing method is performed. The second substrate 18 forms a closed space between the first and second substrates. A seal, not shown in Fig. 1, is provided between the first and second substrates 2, 18 to separate the first and second substrates 2, 18 from each other and form a closed space. Such a seal may be provided around the periphery of the display device. The seal therefore determines the spacing between the first and second substrates and defines the display area of the device.

친수성층(10)의 패턴은 오일층(14)이 제한되는 기판 상의 소자들을 정의한다. 각각의 소자들은 전극(4)을 갖는다. 신호선에 연결된 다른 전극(17)은 물(16)과 접촉하여, 복수개의 소자에 대한 공통 전극을 형성한다. 공통 전극(17)과 소자의 전극(4) 사이에 전압이 인가되는 경우, 그 소자내의 오일층(14)은 일 소자측으로 이동하거나 파괴되고, 제1 표면은 적어도 부분적으로 물(16)에 의해 덮힌다. 소위 일렉트로웨팅 효과는 국제 특허 출원 제 WO03/071346호에 보다 자세히 설명된다. 오일 및/또는 물이 광의 흡수, 반사 및/또는 투과를 위한 특정 광학적 특성을 가지는 경우, 소자는 예를 들면 디스플레이와 같은 광 밸브로서 동작할 수 있다.The pattern of hydrophilic layer 10 defines elements on the substrate where the oil layer 14 is confined. Each element has an electrode (4). The other electrode 17 connected to the signal line contacts the water 16 to form a common electrode for a plurality of elements. When a voltage is applied between the common electrode 17 and the electrode 4 of the device, the oil layer 14 in the device moves or breaks to one element side, and the first surface is at least partly covered by the water 16 It is covered. The so-called electrowetting effect is described in more detail in International Patent Application No. WO 03/071346. If the oil and / or water have specific optical properties for the absorption, reflection and / or transmission of light, the device may operate as a light valve, for example a display.

일렉트로웨팅 소자가 디스플레이 장치에 이용될 수 있으며, 여기서 복수개의 일렉트로웨팅 소자는 디스플레이 장치를 형성한다. 장치내의 디스플레이 구동 시스템은 소자를 소망하는 상태로 설정하기 위한 전압을 제공한다.An electrowetting element may be used in a display device, wherein the plurality of electrowetting elements form a display device. A display drive system in the device provides a voltage for setting the device to a desired state.

도 2는 롤투롤 공정을 이용하는 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위한 장치를 개략적으로 도시한다. 롤투롤 공정은 일련의 롤러를 이용하여 부품 층들의 공급, 처리 및 조립을 포함하는 연속 공정이다. 공정은 실온, 대기압에서 수행될 수 있다. 이 예에서, 조립되는 장치는 도 1을 이용하여 도시된 장치이다.Figure 2 schematically shows an apparatus for manufacturing an electrowetting apparatus using a roll-to-roll process. The roll-to-roll process is a continuous process involving the supply, processing and assembly of parts layers using a series of rollers. The process may be carried out at room temperature, atmospheric pressure. In this example, the device to be assembled is the device shown using Fig.

이하 설명될 장치의 부품층은 도 1에 설명된 장치의 일부와 유사하며, 동일 번호에 100씩 증가한 번호를 이용하여 설명되며, 대응하는 설명은 동일하게 적용되어야 할 것이다. 이 예에서, 장치의 각각의 부품층은 개별 롤러(R1) 상에 제공된다. 그러나, 추가 실시예에서, 적어도 2개의 부품층이 서로 연결될 수 있으며, 한 롤러 상에 제공된다. 부품층은 제조 공정의 각각의 단계 사이에서 추가 롤러(R2)에 의해 피드되고 조정된다. 각 롤러(R1, R2)의 회전 방향은 도 2에서 화살표로 표시된다. 층들은 예를 들면 초당 약 0.1 내지 100 밀리미터 및 바람직하게는 초당 약 0.5 내지 5 밀리미터 범위의 속도로 롤투롤 공정을 통해 피드될 수 있다.The component layers of the device to be described below are similar to some of the devices described in Fig. 1 and are described using the same number incremented by 100, and the corresponding explanation should be applied equally. In this example, each component layer of the apparatus is provided on a separate roller R1. However, in a further embodiment, at least two component layers can be connected to one another and are provided on one roller. The component layer is fed and adjusted by an additional roller R2 between each step of the manufacturing process. The rotational directions of the rollers R1 and R2 are indicated by arrows in Fig. The layers may be fed through a roll-to-roll process at a speed in the range of, for example, about 0.1 to 100 millimeters per second and preferably in the range of about 0.5 to 5 millimeters per second.

부품층의 상세는 장치 제조에 대해 설명될 것이다. 제조 공정 동안 층을 제공하고 조정하기 위하여 롤러를 이용한다는 점을 고려할 때, 각각의 층은 롤러에 의해 손상되지 않도록 적절히 유연하고 튼튼하다. 층들의 대향측 각각에 대해 아래로 일련의 노치(notch)로 부품층 중 적어도 하나가 펀치되며, 각각은 층이 주변을 통과하는 롤러의 각각의 단부의 주변을 두르는 일련의 돌출부와 함께 동작한다. 이러한 노치 및 돌출부 구조를 이용하여, 활성 영역의 손상을 최소화하기 위하여 손상 받기 쉬운 부품층의 활성 영역과 롤러의 표면 사이의 접촉이 감소될 수 있다. 예를 들면 개조된 롤러가 결합하여 이용될 수 있어서, 부품층은 노치 및 돌출부에 의해 롤러에 매달릴 수 있다. 또한, 롤러는 롤러와 접촉하게 되는 층들의 민감 영역을 회피하기 위하여 적절히 위치될 수 있다. 또한, 롤러 상의 부품층의 미끌어짐이 방지될 수 있다.The details of the component layers will be described for device fabrication. Considering that rollers are used to provide and adjust the layers during the manufacturing process, each layer is suitably flexible and durable so as not to be damaged by the rollers. At least one of the component layers is punched in a series of notches downwardly with respect to each of the opposite sides of the layers, each of which cooperates with a series of protrusions that surround the periphery of each end of the roller through which the layer passes. With this notch and protrusion structure, contact between the active area of the susceptible component layer and the surface of the roller can be reduced to minimize damage to the active area. For example, a modified roller can be used in combination, so that the component layer can be hung on the roller by the notches and protrusions. The rollers may also be suitably positioned to avoid sensitive areas of the layers that are in contact with the rollers. Also, slippage of the component layer on the roller can be prevented.

제1 기판(102) 및 제2 기판(118)은 장치의 부품층으로서, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리에에트슬폰(PES) 또는 폴리이미드(PI)로 형성될 수 있다. 제조될 디스플레이가 반사성 디스플레이인 경우, 제1 기판(102)는 반사성 기판일 수 있다. 전극(104)은 부품층으로서 제공되며, 전극(104)의 소망된 패턴에 따라 인쇄된 탄소 나노튜브 또는 폴리(3,4-에틸렌디옥시씨오펜)(PEDOT)로 형성될 수 있다. 도 1에 도시된 것과 같은 일렉트로웨팅 장치가 커패시터로서 동작한다. 따라서, 전극 재료는 고 전도성일 필요가 없으며, 즉 높은 오믹 저항을 가질 수 있다. 그러므로, 롤투롤 공정에 있어서 적절한 전극 재료를 선택하거나 및/또는 재료의 처리 방법을 선택하는데 있어 더 자유롭다. 그러한 전극층은 직접 구동형 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 제조하는데 이용될 수 있다. 일 기판 상에 보다 복잡한 전극 패턴을 제공하기 위하여, 예를 들면 디스플레이 장치의 액티브 매트릭스형을 제조 시에 이용하기 위하여, 다층 구조가 예를 들면 Polymer VisionTM 또는 Plastic LogicTM에 의해 제조될 수 있다. 소수성층(108)이 인쇄법, 예를 들면 롤루롤 공정에서의 그라비아 인쇄를 이용하여 제조될 수 있으며, 이는 플렉스프린팅, 플랫-베드 기술과 유사하다. 픽셀 벽(pixel wall: 110)의 부품층이 인쇄, 엠보싱, 라미네이션 또는 리쏘그래픽 기술을 이용하여 형성될 수 있다. 엠보싱의 경우, 픽셀벽 재료가 시트로서 제공되고 엠보싱 패턴으로 롤러에 전달되어, 픽셀 벽 재료는 소망된 픽셀 벽 패턴으로 스탬프된다. 픽셀 벽의 인쇄는 스크린 인쇄법일 수 있다. 시일층(20)이 롤러(R1) 상에 제공될 수 있다. 다른 실시예에서, 시일층은 다른 부품층 예를 들면 픽셀 벽층과 한층으로서 결합될 수 있다. 또한, 소수성층 및 픽셀 벽층은 예를 들면 소수성 재료를 엠보싱함에 의해 결합층으로서 제공될 수 있다.The first substrate 102 and the second substrate 118 may be formed as part layers of the device such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethersulfone (PES), or polyimide . If the display to be manufactured is a reflective display, the first substrate 102 may be a reflective substrate. Electrode 104 is provided as a component layer and may be formed of carbon nanotubes or poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) printed according to the desired pattern of electrodes 104. An electrowetting device such as that shown in Figure 1 operates as a capacitor. Thus, the electrode material need not be highly conductive, i. E. Can have high ohmic resistance. Therefore, it is more free to select an appropriate electrode material in the roll-to-roll process and / or to select a method of processing the material. Such an electrode layer can be used to fabricate a direct drive type electrowetting display device. In order to provide a more complex electrode pattern on one substrate, for example an active matrix type of display device, for production use, the multi-layer structure can be manufactured, for example, by Polymer Vision TM or Plastic Logic TM . The hydrophobic layer 108 can be produced using printing, such as gravure printing in a roll rheol process, which is similar to flex printing, flat-bed technology. A component layer of the pixel wall 110 may be formed using printing, embossing, lamination or lithographic techniques. In the case of embossing, the pixel wall material is provided as a sheet and delivered to the roller in an embossed pattern, and the pixel wall material is stamped with the desired pixel wall pattern. The printing of the pixel walls can be screen printing. A seal layer 20 may be provided on the roller R1. In another embodiment, the seal layer can be combined with another component layer, for example a layer with a pixel wall layer. In addition, the hydrophobic layer and the pixel wall layer can be provided as a bonding layer, for example, by embossing a hydrophobic material.

각각이 개별 부품층인 제1 기판(102), 전극층(104), 소수성 제1 영역을 포함하는 소수성층(108), 픽셀 벽층(110) 및 시일층(20)이 롤러(R1)로부터 피드되고, 롤러(R2)를 통하며, 여기서 제1 기판(102)이 본 실시예에서는 최상위층이며, 배열 및 결합 장치(22)를 이용하여 서로 배열되고 결합된다. 부품층은 캐리어를 이용하여 롤러에 의해 조정되거나, 부품층은 롤러 사이에 매달린다. 배열은 기구적 또는 광학적 기술을 이용한다. 기구적 기술 예를 들면 핀 또는 레일을 이용하는 것은 예를 들면 +/- 0.1 밀리미터의 저해상도 배열에 이용될 수 있다. 광학 기술은 예를 들면 전극 패턴과의 픽셀 벽 배열을 위해 또는 장치내의 선택적 컬러 필터층의 배열을 위한 예를 들면 +/- 5밀리미터의 고해상도 배열에 필요하다. 광학 배열은 처리될 층 영역의 모서리에서 마스크를 이용할 수 있는데, 이들 마스크는 예를 들면 전극층내에서 제공될 수 있으며, 장치 조립의 마지막 단계에서 제거될 수 있다.The first substrate 102, the electrode layer 104, the hydrophobic layer 108 including the hydrophobic first region, the pixel wall layer 110, and the seal layer 20, each of which is an individual component layer, are fed from the roller R1 And the roller R2, wherein the first substrate 102 is the uppermost layer in this embodiment, and is arranged and joined to one another using the arrangement and coupling device 22. [ The component layer is adjusted by a roller using a carrier, or the component layer is suspended between the rollers. Arrangement uses mechanical or optical techniques. The use of mechanical techniques such as pins or rails can be used, for example, in a low resolution arrangement of +/- 0.1 millimeters. Optical technology is required, for example, for pixel-wall arrays with electrode patterns or high resolution arrays, for example +/- 5 millimeters for the arrangement of optional color filter layers in the device. The optical array can use masks at the corners of the layer regions to be processed, these masks can be provided, for example, in the electrode layer and can be removed at the end of the device assembly.

배열 이후에, 층들은 서로 동시에 결합된다. 결합은 부품층을 서로 접합하기 위하여 접착제를 이용하는 라미네이션 공정일 수 있다. 접착제는 배열 및 결합 이전에 롤루롤 공정에서 추가 단계로서 부품층 상에 제공될 수 있다. 또는 다르게는 부품층은 이미 접착제가 도포되어, 층들의 배열 및 결합 이전에 롤투롤 공정 동안 제거되는 필층(peel layer)에 의해 보호되는 롤러(R1) 상에 제공될 수 있다. 예를 들면 실온 및 분위기 압력 하에서 층들 사이의 효과적 접합을 가능하게 하기 위하여 적절한 조건에서 결합이 수행된다. 결합 동안 층들의 부분들에 대해 국부적 열 및 압력이 인가될 수 있다. 적절한 접합을 형성하기 위하여 접착제는 경화성일 수 있다.After the arrangement, the layers are bonded together at the same time. The bonding may be a lamination process using an adhesive to bond the component layers together. The adhesive may be provided on the part layer as an additional step in the roll rheol process prior to alignment and bonding. Or alternatively the part layer may already be provided on the roller R1 which is coated with an adhesive and protected by a peel layer which is removed during the roll-to-roll process prior to the arrangement and bonding of the layers. For example, bonding is carried out under suitable conditions to enable effective bonding between the layers at room temperature and atmospheric pressure. Local heat and pressure may be applied to portions of the layers during bonding. The adhesive may be curable to form a suitable bond.

결합 이후에, 제1 유체층이 디스펜싱 장치(23)를 이용하여 소수성 제1 영역(112)의 표면 상에 제1 유체층을 형성하기 위하여 분배될 수 있다. 이러한 분배에서, 결합된 층(21)은 조(26)내에 유지되는 일정량의 제2 유체(116)내에 침지되며, 제1 유체가 분배되는 동안 디스펜싱 장치로 이동한다. 분배는 이하에 상세히 설명된다.  After bonding, a first fluid layer may be dispensed to form a first fluid layer on the surface of the hydrophobic first region 112 using the dispensing device 23. [ In this distribution, the bonded layer 21 is immersed in an amount of the second fluid 116 held in the bath 26, and moves to the dispensing device while the first fluid is dispensed. The distribution is described in detail below.

제1 유체의 분배는 방사 검출기(28) 및 방사 빔원(29)과 같은 모니터링 장치를 이용하여 선택적으로 모니터될 수 있다. 장치를 제조할 때, 제1 유체층은 완벽한 디스플레이의 바른 동작을 위해 적절한 두께를 가진다. 분배를 모니터링하는 경우, 모니터링 장치의 모니터링 신호는 소정 두께로 제1 유체층을 제공하기 위하여 제1 유체의 분배를 적절히 제어하는데 이용될 수 있다. 예를 들면, 디스펜싱 장치 위로 소수성 제1 영역의 표면을 이동시키는 속도 또는 제1 유체(114)를 분배하는 속도는 제어될 수 있다.The distribution of the first fluid can be selectively monitored using a monitoring device such as a radiation detector 28 and a radiation beam source 29. When manufacturing the device, the first fluid layer has an appropriate thickness for proper operation of the complete display. When monitoring the distribution, the monitoring signal of the monitoring device may be used to appropriately control the distribution of the first fluid to provide the first fluid layer with a predetermined thickness. For example, the speed at which the surface of the hydrophobic first region is moved over the dispensing device or the rate at which the first fluid 114 is dispensed can be controlled.

모니터링은 예를 들면 소수성 제1 영역의 표면 상에 형성된 제1 유체를 통과하는 방사선의 강도를 측정함에 의해 수행된다. 방사 빔원(29)은 표면 상에 먼저 분배된 제1 유체층을 통해 방사선을 방출하기 위하여 제조 중인 반사성 또는 투과성 디스플레이 장치를 위하여 검출기(28)와 동일한 또는 반대측 표면 상에 배열될 수 있다. 제1 유체가 컬러인 경우, 제1 유체층은 제1 유체층의 두께에 의존하여 방출된 방사선의 일부를 흡수한다. 방사선 검출기(28)는 제1 유체층을 통과한 이후의 방사선의 강도를 측정한다. 검출된 강도가 소망된 층 두께를 나타내는 강도의 소정양에서 벗어나는 경우, 분배는 적절히 제어된다. 다른 실시예에서, 모니터링 장치는 제1 유체층의 이미징 형성을 위한 비디오 카메라를 포함할 수 있다. 포착된 이미지의 공정은 분배를 제어하기 위하여 이용될 수 있다.Monitoring is performed, for example, by measuring the intensity of the radiation passing through the first fluid formed on the surface of the hydrophobic first region. The radiation beam source 29 may be arranged on the same or opposite surface as the detector 28 for a reflective or transmissive display device in production to emit radiation through the first fluid layer previously dispensed on the surface. When the first fluid is color, the first fluid layer absorbs a portion of the emitted radiation depending on the thickness of the first fluid layer. The radiation detector 28 measures the intensity of the radiation after passing through the first fluid layer. If the detected intensity deviates from the range of intensities representing the desired layer thickness, the distribution is properly controlled. In another embodiment, the monitoring device may include a video camera for imaging formation of the first fluid layer. The process of the captured image can be used to control the distribution.

디스펜싱 장치측이 정위치 하므로 소수성 제1 영역의 표면의 대향측으로부터 제1 유체층의 형성을 모니터링하는 것이 유리하다. 그러므로, 제1 유체가 표면의 하부로부터 분배되므로, 표면 위로부터 모니터링이 수행될 것이다. 이는 제1 유체와 제2 유체 사이의 곡선 메니스커스에 의해 야기되는 모니터링되는 방사선 또는 이미지의 왜곡 및 블로킹을 방지하므로 유리하다. 다른 실시예에서 모니터링은 표면 아래에서 수행되고, 조(26)의 베이스에 의해 모니터링 장치의 적어도 일부의 3차원적인 필요 움직임이 방해된다.It is advantageous to monitor the formation of the first fluid layer from the opposite side of the surface of the hydrophobic first region as the dispensing device side is positioned. Therefore, since the first fluid is dispensed from the bottom of the surface, monitoring will be performed from above the surface. This is advantageous because it prevents distortion and blocking of the monitored radiation or image caused by the curvilinear meniscus between the first fluid and the second fluid. In another embodiment, monitoring is performed below the surface, and the base of the bath 26 disturbs the three-dimensional required movement of at least a portion of the monitoring device.

표면 상에 제1 유체층을 분배한 이후에, 제1 유체층의 소정 두께를 획득하기 위하여 표면으로부터 적절한 간격에 위치된 레벨러 예를 들면 스크래퍼 또는 블레이드를 이용하여 그 두께가 평평하게 될 수 있다. 두께는 표면으로부터 제1 및 제2 유체 사이의 메니스커스까지의 방향에서 취해지며, 표면의 평면으로부터 수직인 방향이다. 도 3 및 4를 이용하여 설명된 실시예에서, 그러한 레벨링을 형성하기 위하여 디스펜싱 장치가 채용될 수 있다. 도 5를 이용하여 설명된 것과 같은 다른 실시예에서, 레벨러는 디스펜싱 장치와는 별개일 수 있으며, 제1 유체를 표면 상에 분배한 이후에 제1 유체를 레벨할 수 있다. 정밀한 레벨링을 위하여, 레벨러에 대해 제1 유체층을 이동시키는 속도는 적절히 제어될 수 있다.After dispensing the first fluid layer on the surface, the thickness may be flattened using a leveler, for example a scraper or blade, positioned at an appropriate distance from the surface to obtain a predetermined thickness of the first fluid layer. The thickness is taken in the direction from the surface to the meniscus between the first and second fluids, and is perpendicular to the plane of the surface. In the embodiment described with reference to Figures 3 and 4, a dispensing device may be employed to form such leveling. In another embodiment, such as that described with reference to Figure 5, the leveler may be separate from the dispensing device and may level the first fluid after distributing the first fluid on the surface. For precise leveling, the rate at which the first fluid layer is moved relative to the leveler can be properly controlled.

제2 유체에 대한 표면의 낮은 습윤성으로 인하여 소수성 표면 상에 공기주머니가 포착될 수 있다. 그러한 공기 주머니는 장치의 조립 동안 제거될 수 있다. 이는 도 3 또는 4를 이용하여 이하에 설명되는 디스펜싱 장치를 이용하여 제1 유체를 분배할 때 동시에 수행될 수 있다. 다르게는, 공기 제거는 분배에 대해 별개의 공정일 수 있는데, 예를 들면 공기와 같은 다른 유체의 소구(globule)를 제1 유체를 분배하기 이전에 소수성 표면을 따라 통과시킴에 의해, 포착된 공기 주머니가 공기 소구와 합쳐진다. 별개의 공기 제거는 아래에 설명하는 도 5a, 5b 및 5c의 디스펜서를 이용할 때 분배 이전에 적용될 수 있다.The air pocket can be trapped on the hydrophobic surface due to the low wettability of the surface to the second fluid. Such a bladder can be removed during assembly of the device. This can be performed simultaneously when dispensing the first fluid using the dispensing apparatus described below with reference to FIG. 3 or 4. Alternatively, air removal can be a separate process for dispensing, for example by passing a globule of another fluid, such as air, along the hydrophobic surface prior to dispensing the first fluid, The pouch is joined with the air cushion. Separate air removal can be applied prior to dispensing when using the dispensers of Figs. 5a, 5b and 5c, described below.

제1 유체층이 분배되면, 결합층(21)은 롤러(R2)에 의해 제2 기판과 배열 및 결합하기 위한 추가 배열 및 결합 장치(30)로 피드된다. 제2 기판(118)은 롤러(R1, R2)를 통해 추가 배열 및 결합 장치(30)로 피드된다. 추가 배열 및 결합 장치(30)는 제2 기판과 결합층(21)을 배열시키고, 배열 및 결합 장치(22)에 대해 이전에 설명한 것과 유사한 배열 및 결합 기술을 이용하는 접착제와 같은 시일링 재료를 이용하여 이들을 함께 결합한다. 제2 기판(118) 및 결합층(21)은 이들이 결합되는 경우 제2 유체(116)내에 침지된다. 이는 공기를 닫힌 공간내에 주입시키지 않고 제조되는 장치의 닫힌 공간을 쉽게 제2 유체(116)로 채울 수 있도록 한다.When the first fluid layer is dispensed, the bonding layer 21 is fed by a roller R2 to an additional arrangement and coupling device 30 for positioning and coupling with the second substrate. The second substrate 118 is fed through the rollers R1, R2 to the further arrangement and joining device 30. [ Additional alignment and bonding device 30 may be used to arrange the second substrate and bonding layer 21 and to use a sealing material such as an adhesive that uses an alignment and bonding technique similar to that previously described for alignment and bonding device 22 And combine them together. The second substrate 118 and the bonding layer 21 are immersed in the second fluid 116 when they are combined. This allows the closed space of the manufactured device to be easily filled with the second fluid 116 without injecting air into the closed space.

추가 배열 및 결합 이후에, 제2 기판(118)을 포함하는 결합층(21)이 조(26)로부터 인출된다. 일렉트로웨팅 장치의 제조를 완료하기 위하여, 적절한 장치(32)를 이용하여 다양한 추가 제조 단계; 예를 들면, 장치의 구동 동작을 위한 부품과 같은 장치에 집적 회로를 적용하는 단계, 신호선 및 공통 전극을 설치하는 단계, 다중 일렉트로웨팅 장치를 형성하기 위하여 결합층(21)을 잘게 나누는 단계, 최종 장치에 필요하지 않은 제조시에 사용되는 층들의 부분들 - 예를 들면, 기판과 같은 임의의 부품층의 측면에서의 노치 - 을 제거하기 위하여 결합층(21)을 트리밍하는 단계가 수행될 수 있다.After the additional arrangement and combination, the bonding layer 21 comprising the second substrate 118 is drawn out of the bath 26. To complete the fabrication of the electrowetting device, various additional fabrication steps may be performed using suitable devices 32; For example, applying an integrated circuit to a device such as a component for driving operation of the device, installing a signal line and a common electrode, finely dividing the bonding layer 21 to form a multi-electrowetting device, A step of trimming the bonding layer 21 may be performed to remove portions of the layers used in manufacturing that are not necessary for the device-for example, a notch on the side of any component layer such as a substrate .

제1 유체의 분배는 도 3을 이용하여 설명된다. 도 1을 이용하여 설명된 장치와 유사한 것들에 대한 특징은 동일 참조 번호에 200만큼 증가시킨 것으로 참조되며, 해당 설명은 동일하게 적용될 것이다.The distribution of the first fluid is described using Fig. The features of the apparatus similar to those described with reference to FIG. 1 are referred to as being increased by 200 to the same reference numerals, and the description will be applied equally.

도 3은 본 발명의 방법을 제공하기 위한 분배 장치의 실시예의 단면도를 도시한다. 디스펜싱 장치는 소수성 박층의 표면(36) 상에 제1 유체(214)를 제공하여, 도 2에 도시된 결합층(1)의 소수성 영역을 제공하기 위하여 디스펜서(34)를 포함한다. 결합층(21)은 복수개의 그러한 표면을 포함하며, 각각은 제1 소수성 영역이다. 디스펜서(34)는 인가되는 제1 유체층 이전에 본 실시예에서는 제2 유체내에 침지되고 덮혀지는 표면(36) 아래에 배열된다. 디스펜서(34)는 중심 채널(40)을 갖는 주사 바늘(38) 형태이며, 표면(36)은 디스펜서(34) 위로 이동되며, 상술한 롤투롤 공정 동안 방향(42)의 고정된 위치를 갖는다. 이 방향(42)은 실질적으로 평평한 표면(36)의 평면에 가로놓여 있다. 제1 유체(214)는 채널(40)을 통해 공급된다. 바늘은 개구(44)를 가지는데, 이는 동작 시에는 제2 유체(216) 내에 및 표면(36) 아래에 위치한다. 추가 유체(45)가 부분적으로는 채널(40)내에 및 부분적으로는 개구(44)와 표면(36) 사이에 위치한다. 추가 유체는 제1 유체와 혼합 불가능하며, 개구(44)와 표면(36) 사이에서 소구(46)를 형성한다. 소구(46)는 표면(36)과 국부적으로 접할 수 있다.Figure 3 shows a cross-sectional view of an embodiment of a dispensing apparatus for providing a method of the present invention. The dispensing device includes a dispenser 34 to provide a first fluid 214 on the surface 36 of the hydrophobic thin layer to provide a hydrophobic area of the bonding layer 1 shown in FIG. The bonding layer 21 comprises a plurality of such surfaces, each being a first hydrophobic region. The dispenser 34 is arranged below the surface 36 to be immersed and covered in the second fluid in this embodiment before the applied first fluid layer. The dispenser 34 is in the form of a needle 38 having a central channel 40 and the surface 36 is moved over the dispenser 34 and has a fixed position in the direction 42 during the roll-to-roll process described above. This direction 42 lies across the plane of the substantially flat surface 36. The first fluid 214 is supplied through the channel 40. The needle has an opening 44, which in operation is located in the second fluid 216 and below the surface 36. Additional fluid 45 is located, in part, in channel 40 and, in part, between opening 44 and surface 36. The additional fluid is incompatible with the first fluid and forms a small aperture 46 between the aperture 44 and the surface 36. The apertures 46 may be in contact with the surface 36 locally.

제1 유체(214)는 주사(38)로부터 표면(36)까지 제1 유체(214)와 추가 유체(45) 사이의 인터페이스(50)을 따라 상대적으로 박층으로서 이동하며, 이는 층(51)으로서 안정된다. 제2 유체(216)와 제1 유체(214) 사이의 선두 인터페이스(52)는 제2 유체를 밀어내고 제1 유체와 대체한다. 디스펜서의 통로 이후의 표면의 영역 상에 남아있는 층(51)의 두께는 다른 것들 중에서 개구(44)의 폭, 그 형상, 디스펜서의 움직임의 속도, 개구(44)와 표면(36) 사이의 간격, 유체의 점도, 구체의 크기, 제1 및 다른 유체의 양, 다양한 경계에서의 계면 장력 및 화학적 콘트라스트 즉, 유체 및 표면 및 디스펜서의 다양한 조합 사이의 소수성의 차이에 의존한다. 표면 아래로부터의 배분에 의해, 표면은 배분 동안 및 배분 이후에 제1 유체와 추가 유체의 체적 이상으로부터의 안정화를 돕는다. 그러한 장점은 후술하는 다른 실시예에 적용된다.The first fluid 214 moves as a relatively thin layer along the interface 50 between the first fluid 214 and the additional fluid 45 from the scan 38 to the surface 36, Stable. The leading interface 52 between the second fluid 216 and the first fluid 214 pushes out the second fluid and replaces it with the first fluid. The thickness of the layer 51 remaining on the area of the surface after the passageway of the dispenser depends on the width of the opening 44, the shape thereof, the speed of movement of the dispenser, the distance between the opening 44 and the surface 36 , The viscosity of the fluid, the size of the sphere, the amount of the first and other fluids, the interfacial tension at various boundaries, and the chemical contrast, i.e., the difference in hydrophobicity between the fluid and the various combinations of surface and dispenser. By distribution from below the surface, the surface assists in stabilizing from above the volume of the first fluid and the additional fluid during and after dispensing. Such advantages apply to other embodiments described below.

제1 유체(214)는 비극성, 예를 들면 헥사데칸과 같은 알칸 또는 탄화수소 오일과 같은 오일 및 이 실시예에서는 실리콘 오일일 수 있다. 제2 유체(216)는 제1 유체와 혼합 불가능한 임의의 유체일 수 있다. 제2 유체는 극성 또는 도전성일 수 있으며, 제1 및 제2 유체로 덮힌 제1 기판의 일부 응용에 유용하다. 추가 유체(45)는 구체를 안정화하기 위하여 바람직하게는 제1 유체와 제2 유체 모두에 혼합 불가능하다. 추가 유체는 공기, 질소 또는 아르곤과 같은 기체일 수 있다. 이 실시예는 추가 유체로서 공기를 이용한다. 사용될 수 있는 다른 혼합 불가능한 유체는 플루오르화 탄소 및 수은과 같은 액체 금속이다.The first fluid 214 may be non-polar, for example an alkane such as hexadecane or an oil such as a hydrocarbon oil, and in this embodiment a silicone oil. The second fluid 216 may be any fluid incompatible with the first fluid. The second fluid can be polar or conductive and is useful for some applications of the first substrate covered with the first and second fluids. The additional fluid 45 is preferably non-mixable with both the first fluid and the second fluid to stabilize the sphere. The additional fluid may be a gas such as air, nitrogen or argon. This embodiment uses air as an additional fluid. Other non-admixable fluids that can be used are liquid metal, such as carbon fluoride and mercury.

표면이 제2 유체의 경우보다 제1 유체에 대해 더 큰 습윤성을 갖는 경우 표면 상의 제1 유체의 퇴적은 촉진될 수 있다. 도시된 실시예에서, 표면은 소수성층 예를 들면 AF1600과 같은 비정질 불소중합체이다. 소수성층은 오일의 표면에 대한 부착성을 증가시키고, 물을 막는다.The deposition of the first fluid on the surface can be promoted if the surface has a greater wettability to the first fluid than in the case of the second fluid. In the illustrated embodiment, the surface is an amorphous fluoropolymer, such as a hydrophobic layer, e.g., AF1600. The hydrophobic layer increases the adhesion to the oil surface and blocks water.

도 3에 도시된 것과 같은 추가 유체의 인가는 아래의 단계들에 의해 달성될 수 있다: 제1 유체로 주사를 채우는 단계, 다량의 공기를 주사에 밀어넣는 단계, 제2 유체층(216)으로 주사를 삽입하는 단계, 및 주사 외부로 공기를 밀어내는 단계. 소구의 크기는 주사내의 공기의 양 및 제1 및 제2 유체의 특성에 의해 결정된다. 주사는 제1 유체로 채워진 저장소 및 소망된 양의 제1 액체를 분배하기 위한 펌프 메카니즘으로 대체될 수 있다.Application of additional fluid, such as that shown in Figure 3, may be achieved by the following steps: filling the fluid with the first fluid, pushing a large amount of air into the fluid injection, Inserting a scan, and pushing air out of the scan. The size of the appeal is determined by the amount of air in the injection and the characteristics of the first and second fluids. The injection may be replaced by a reservoir filled with the first fluid and a pump mechanism for dispensing the desired amount of the first liquid.

디스펜서(34)를 이용하는 제1 유체의 분배 동안, 디스펜서와 표면 사이의 공기의 소구는 임의의 포착된 공기 주머니와 결합되어, 소수성 영역의 표면으로부터 공기 주머니를 이완시켜서, 전체 영역이 제1 유체에 대해 유효하도록 한다. 디스펜서가 표면 위로 이동하는 경우, 소구는 포착된 공기 주머니에 대한 클리너로서 동작한다.During dispensing of the first fluid using the dispenser 34, the entrapment of air between the dispenser and the surface is combined with any entrapped air pocket to relax the air pocket from the surface of the hydrophobic area, . When the dispenser moves over the surface, the nozzle acts as a cleaner for the trapped air bladder.

본 발명의 실시예 및 도 4, 5a, 5b 및 5c를 이용하여 설명된 것들에서, 제1 유체는 제2 유체에 비해 낮은 밀도를 갖는다. 제1 유체와 제2 유체 사이의 밀도의 차이는 입방 센티미터 당 예를 들면 적어도 대략 0.01그램일 수 있고, 바람직하게는 입방 센티미터 당 적어도 약 0.05 그램 이상이다. 제1 유체와 제2 유체의 밀도 사이의 차이가 증가함에 따라, 제1 유체가 제2 유체를 통과해서 표면과 접촉할 확률이 증가한다. 그러므로, 고밀도 차이 예를 들면 입방 센티미터 당 약 0.35그램 이상이 바람직하다. 그러나, 밀도 차이는 완성된 장치의 동작에 악영향을 주지 안도록 선택되어야 한다. 제1 및 제2 유체의 밀도는 첨가물을 이용하여 미세 조정될 수 있다. 예를 들면, 물인 제2 유체는 소금을 이용하여 밀도 조정될 수 있으며, 입방 센티미터 당 1 그램 이상의 밀도를 가지며, 일부 예에서는 입방 센티미터 당 1.1 그램 이상이다. 제1 유체가 제2 유체 보다 낮은 밀도를 가지는 것으로 가정하면, 제1 유체는 표면과 접촉할 때까지 표면쪽으로, 중력의 반대 방향으로 이동한다. 다시 말하면, 제1 유체는 제2 유체를 통과하여 상승하여 표면에 도달하고, 표면은 제2 유체의 용적내에 배열된다. 표면과 접촉시, 제1 유체는 표면을 적셔서 표면과 접하는 제1 유체층을 형성한다. 이는 표면의 소수성에 의해 도움을 받는다.In the embodiments of the present invention and those described using Figures 4, 5a, 5b and 5c, the first fluid has a lower density than the second fluid. The difference in density between the first fluid and the second fluid can be, for example, at least about 0.01 grams per cubic centimeter, and is preferably at least about 0.05 grams per cubic centimeter. As the difference between the density of the first fluid and the second fluid increases, the probability of the first fluid passing through the second fluid and contacting the surface increases. Therefore, a high density difference, for example, about 0.35 grams per cubic centimeter or more is preferable. However, the density difference should be selected so as not to adversely affect the operation of the finished device. The density of the first and second fluids can be fine tuned using additives. For example, the second fluid, which is water, can be densified using salt and has a density of at least 1 gram per cubic centimeter, and in some instances greater than 1.1 grams per cubic centimeter. Assuming that the first fluid has a lower density than the second fluid, the first fluid moves toward the surface, in the opposite direction of gravity, until it comes into contact with the surface. In other words, the first fluid rises through the second fluid to reach the surface, and the surface is arranged in the volume of the second fluid. Upon contact with the surface, the first fluid wetts the surface to form a first fluid layer in contact with the surface. This is assisted by the hydrophobicity of the surface.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스펜싱 장치를 도시하며, 소수성 표면 상에 제2 유체 물을 통해 제1 유체 오일의 층을 제공하기 위한 연장된 디스펜서를 갖는다. 전술한 것과 유사한 특징이 도면 번호에 300을 증가시켜서 이용되고, 상응하는 설명은 동일하게 적용된다.Figure 4 illustrates a dispensing device according to another embodiment of the present invention having an extended dispenser for providing a layer of first fluid oil through a second fluid on a hydrophobic surface. Features similar to those described above are used to increase the number 300 in the drawings, and the corresponding description applies equally.

도 4는 디스펜서(55)와 결합층(321)의 단면을 도시한다. 디스펜서는 2개의 수직 벽에 의해 단측에서 닫힐 수 있다. 디스펜서(55)는 표면(336)과 마주하는 개구(56)를 갖는 U 형태를 갖는다. 개구는 제2 유체(316)의 표면 아래이다. 제2 유체와 주변 사이의 인터페이스는 도면에 도시되어 있지 않다. 디스펜서는 오일을 디스펜서에 피드하기 위한 튜브 형태의 제1 입력(58)을 가지고, 공기를 제어하기 위한 튜브 형태의 제2 입력(60)을 가진다. 긴 디스펜서는 2개 이상의 제1 입력 및/또는 제2 입력을 가질 수 있으며, 유체의 제어를 개선하기 위하여 디스펜서의 길이에 걸쳐 규칙적으로 이격되어 있다. 공기는 오일층(314)에 의해 둘러싸이는 연장된 소구(62)를 형성한다. 개구(56)의 폭은 바람직하게는 10mm 보다 작은 예를 들면 2mm 이다. 개구가 10mm 보다 넓은 경우, 오일은 개구로부터 탈출하여 물내에서 상승 이동하는 경향이 있다. 표면 위의 개구의 간격은 바람직하게는 2mm 보다 작으며, 특별 실시예에서는 0.1mm 이다. 개구과 표면 사이의 작은 간격은 모세혈관 힘을 통해 제1 유체에 의해 디스펜서의 채움을 촉진한다.Fig. 4 shows a cross section of the dispenser 55 and the bonding layer 321. Fig. The dispenser can be closed on one side by two vertical walls. The dispenser 55 has a U-shape with an opening 56 facing the surface 336. The opening is below the surface of the second fluid 316. The interface between the second fluid and the periphery is not shown in the figure. The dispenser has a first input (58) in the form of a tube for feeding oil to the dispenser and a second input (60) in the form of a tube for controlling the air. The long dispenser may have two or more first and / or second inputs and is regularly spaced over the length of the dispenser to improve control of the fluid. The air forms an extended annulus 62 surrounded by the oil layer 314. The width of the opening 56 is preferably less than 10 mm, for example 2 mm. When the opening is wider than 10 mm, the oil tends to escape from the opening and move upward in the water. The spacing of openings on the surface is preferably less than 2 mm, and in a particular embodiment is 0.1 mm. A small gap between the aperture and the surface facilitates filling of the dispenser by the first fluid through the capillary force.

디스펜서는 내부벽(64) 상에 및 개구(56)에 인접한 벽부(66) 상에 소수성 표면을 갖는다. 소수성 특성은 오일을 디스펜서에 고정시킨다. 물과 부분적으로 접하는 디스펜서의 외곽 벽(68)은 오일과의 오염을 방지하기 위하여 친수성이다. 디스펜서는 약하게 소수성인 PMMA로 제조될 수 있다. 이 재료는 오일의 위치적 안정성을 개선하는 높은 접촉각 히스테리시스의 장점이 있다. 그러한 재료는 오일/물 인터페이스 움직임을 단순 제어함에 의해 오일 또는 물을 적시게 할 수 있으며, 디스펜서의 모서리에서의 계면 피닝이 이 효과의 활용성에 추가된다. 도면내의 제1 유체가 벽 부의 2개의 외곽 가장 자리 상에 고정되지만, 또한 벽부의 2개의 내부 가장 자리 상에 고정될 수 있다. 히스테리시스는 유체 경계의 전진 및 후진 이후의 접촉 각의 차이를 칭한다.The dispenser has a hydrophobic surface on the inner wall 64 and on the wall 66 adjacent to the opening 56. The hydrophobic nature fixes the oil to the dispenser. The outer wall 68 of the dispenser in partial contact with water is hydrophilic to prevent contamination with oil. The dispenser can be made of PMMA which is weakly hydrophobic. This material has the advantage of high contact angle hysteresis that improves the positional stability of the oil. Such materials can wet oil or water by simply controlling the oil / water interface movement, and interface peening at the edge of the dispenser adds to the availability of this effect. The first fluid in the figure is fixed on the two outer edges of the wall portion, but can also be fixed on the two inner edges of the wall portion. Hysteresis refers to the difference in contact angle after advancing and retracting the fluid boundary.

퇴적 공정 동안, 결합층(321)은 개구(56)의 장축에 실질적으로 수직인 방향(70)으로 이동하여, 표면(336) 위의 물과 오일 사이의 선두 인터페이스(72)로 이동한다. 본 실시예에서 표면은 소수성 영역(74)의 패턴에 대응하는 복수개의 표면 중 하나이며, 그 각각은 제1 영역 또는 제1 영역의 서브 패턴 및 제2 영역일 수 있다. 예를 들면, 각각의 서브 패턴은 디스플레이 장치를 위한 것이며, 둘 이상의 디스플레이 장치는 디스펜서의 장축에 평행한 방향의 표면상에 배열된다. 더욱이, 패턴 또는 서브패턴은 로고와 같은 관찰자에게 의미를 전달하는 형태를 가질 수 있다. 그러한 서브 패턴은 디스플레이 기능을 위해 다른 서브 패턴과 결합될 수 있으며, 함께 신호 기능을 제공한다. 디스플레이 장치에서, 패턴 또는 서브 패턴은 공통 디스플레이 소자로서 스위칭 가능하거나 또는 영구 즉, 스위칭 불가능일 수 있다. 다른 실시예에서, 그러한 패턴 또는 서브 패턴은 장식 효과 예를 들면 관측자 경험을 증강시키는 효과를 제공한다.The bonding layer 321 moves in a direction 70 substantially perpendicular to the longitudinal axis of the opening 56 and moves to the leading interface 72 between the water and the oil on the surface 336. In this embodiment, the surface is one of a plurality of surfaces corresponding to the pattern of the hydrophobic regions 74, each of which may be a first region or a sub-pattern and a second region of the first region. For example, each sub-pattern is for a display device, and two or more display devices are arranged on a surface in a direction parallel to the long axis of the dispenser. Moreover, a pattern or subpattern may have a form that conveys meaning to an observer, such as a logo. Such subpatterns can be combined with other subpatterns for display functionality, and together provide signal functionality. In a display device, the pattern or subpattern may be switchable as a common display element or may be permanent or non-switchable. In another embodiment, such a pattern or subpattern provides an effect of enhancing a decorative effect, e.g., an observer experience.

개구의 길이는 개구의 장축에 평행한 패턴의 크기 이상이다. 길이는 적어도 소구(62)의 경계에서 초래된 퇴적 불균일성이 패턴 외부에서 발생하도록 커야 한다. 개구의 길이는 스캔 방향에 수직인 방향으로 표면의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다. 영역(74) 사이의 영역(73)은 바람직하게는 예를 들면 SU8로 덮힌 친수성이어서 표면의 영역의 오일 퇴적을 방지하며, 이는 도 1에 설명된 친수성 영역과 유사하다.The length of the opening is equal to or greater than the size of the pattern parallel to the long axis of the opening. The length should at least be such that the deposition non-uniformity caused at the boundary of the blank 62 occurs outside the pattern. The length of the opening may be substantially the same as the size of the surface in a direction perpendicular to the scan direction. Region 73 between regions 74 is preferably hydrophilic, e.g., covered with SU8, to prevent oil deposition in the region of the surface, which is similar to the hydrophilic region described in FIG.

도 4에 도시된 장치의 실시예에서, 오일(314)의 선두 인터페이스(72)는 제1 영역과 제2 영역 사이의 경계선(76)에 나란하다. 오일이 제2 영역과 접하기를 원치않으므로, 디스펜서 아래의 오일의 형상은 소수성에서 친수성 영역까지의 접촉선을 따라 방해된다. 표면 위의 디스펜서의 움직임 동안 경계선 상의 오일의 피닝(pinning)은 스틱 슬립(stick-slip) 움직임을 초래하고, 줄무늬로 퇴적된 오일층이 된다.In the embodiment of the apparatus shown in Fig. 4, the leading interface 72 of the oil 314 is parallel to the boundary line 76 between the first and second regions. Since the oil does not want to contact the second area, the shape of the oil under the dispenser is interrupted along the contact line from hydrophobic to hydrophilic areas. Pinning of the oil on the boundary line during the movement of the dispenser on the surface results in stick-slip movement and becomes a layer of oil deposited with stripes.

도 5a, 5b 및 5c는 제1 유체를 분배하기 위한 다른 디스펜서를 개략적으로 도시하며, 본 발명의 다른 실시예에 따라, 일련의 그러한 표면의 타겟 소수성 표면(TS) 상의 제1 유체층의 형성을 도시한다. 간결하게 하기 위하여 결합층의 일부만이 도시된다. 특징들은 전술한 것들과 유사하며, 참조 번호에 400씩 증가시킨 것을 이용하여 도 5a, 5b 및 5c에 참조되며, 해당 설명이 동일하게 적용된다.Figures 5a, 5b and 5c schematically illustrate another dispenser for dispensing a first fluid, and in accordance with another embodiment of the present invention, the formation of a first fluid layer on a target hydrophobic surface TS of a series of such surfaces, Respectively. For brevity, only a portion of the bonding layer is shown. The features are similar to those described above and are referenced in Figures 5A, 5B, and 5C using an increment of 400 in reference numerals, and the description applies equally.

본 실시예의 디스펜서는 제2 유체(416)의 조(426)내에 고정된 튜브(80)이다. 디스펜서는 위로 향하고, 도 3 또는 4를 이용하여 설명된 디스펜서 위로 결합층이 통과하는 것과 유사하게, 결합층(421)의 평면에 가로놓인 방향(442)으로 디스펜서 위로 지나가는 결합층(421)쪽으로 향하는 개구(82)를 가진다. 디스펜서는 간결하게 하기 위하여 도시하지 않은 제1 유체 공급기에 연결된다.The dispenser of this embodiment is a tube 80 that is secured within the bath 426 of the second fluid 416. The dispenser is oriented upwards and towards the bonding layer 421 passing over the dispenser in a direction 442 transverse to the plane of the bonding layer 421, similar to the bonding layer passing over the dispenser described with reference to Figures 3 or 4 Has an opening (82). The dispenser is connected to a first fluid supply, not shown, for simplicity.

도 5a를 참조하면, 타겟 표면(TS)은 제1 유체층에 의해 아직 덮혀있지 않다. 통과 방향(442)의 타겟 표면(TS)에 더 앞선 대응 표면은 이미 제1 유체층(414)에 의해 덮혀있다. 타겟 표면(TS)에 더 뒤의 대응하는 표면 즉, 통과 방향(442)에 대향하는 방향은 제1 유체(414)에 의해 덮히지 않는다. 디스펜서(80)는 개구(82)를 통해 제1 유체(414)를 액정(84)의 형태로 제2 유체(416)로 분배한다. 액적의 체적은 개구(82)의 크기 및 형상 및 디스펜서(80)에 공급되는 제1 유체의 흐름 속도에 의존하여 제어될 수 있다. 디스펜서와 타겟 표면(TS) 사이의 간격은 디스펜서 위로 결합층(421)이 통과하는 속도에 따라 선정되어, 제1 유체의 액적은 상승하고 접촉하며 타겟 표면(TS) 및 바르게는 각 연속하는 타겟 표면을 적신다.Referring to FIG. 5A, the target surface TS is not yet covered by the first fluid layer. The corresponding surface that is further ahead of the target surface TS of the passing direction 442 is already covered by the first fluid layer 414. The corresponding surface of the target surface TS at the back, that is, the direction opposite to the passing direction 442, is not covered by the first fluid 414. The dispenser 80 dispenses the first fluid 414 through the opening 82 into the second fluid 416 in the form of a liquid crystal 84. The volume of the droplet can be controlled depending on the size and shape of the opening 82 and the flow rate of the first fluid supplied to the dispenser 80. The gap between the dispenser and the target surface TS is selected according to the speed at which the bonding layer 421 passes over the dispenser so that the droplets of the first fluid are raised and contacted and the target surface TS and, .

도 5b에서, 제1 유체의 액적(84)은 제2 유체(416)을 통과하여 타겟 표면(TS)에 접촉하고 적시기 시작한다. 타겟 표면(TS) 이후에 디스펜서를 통과하는 표면을 적시기 위하여 추가 액적(85)이 분배된다. 도 5c에서, 액적(84)은 전체 타겟 표면(TS)을 적시기 위해서 분산되고, 제1 유체의 타겟 표면(TS) 상에 층(86)을 형성한다. 추가 액적(85)은 다음 표면에 접촉하고 적시기 시작하며, 또 다른 액적(88)이 분배된다.5B, the droplets 84 of the first fluid pass through the second fluid 416 to contact the target surface TS and begin to soak. Additional droplets 85 are dispensed to wet the surface passing through the dispenser after the target surface TS. 5C, the droplets 84 are dispersed to wet the entire target surface TS and form a layer 86 on the target surface TS of the first fluid. The additional droplet 85 contacts the next surface and begins to soak, and another droplet 88 is dispensed.

상술한 실시예는 본 발명의 예로서 이해되어야 할 것이다. 본 발명의 추가 실시예가 예측될 수 있다. 예를 들면, 별도의 디스펜싱 장치가 제1 유체를 분배하기 위해 이용될 수 있다. 디스펜서의 예가 도 3 및 도 4를 이용하여 설명되었다. 그러한 디스펜서의 상세한 설명 및 본 발명에 따라 이용될 수 있는 추가 실시예가 영국 특허 출원 번호 0707201.0에 설명되어 있고, 그 내용이 참조로 포함된다. 또한, 도 5a를 이용하여 설명된 디스펜서가 개별 액적으로서의 제1 유체를 분배하는 것을 대신하여, 연속 흐름으로서 제1 유체를 분배한다. 별도 실시예에서, 제1 유체는 디스펜싱 장치에 의해 표면에 밀접하게 위치하거나 직접 접촉할 수 있으며, 제1 유체를 중력에 반대 방향으로 분배하기 위한 것이다. 이는 다른 실시예와 대조적으로 디스펜싱 장치가 표면으로부터 멀리 떨어져 제1 유체를 분배한다. 디스펜싱 장치는 또한 분배 동안 표면과 접촉할 수 있다. 다른 실시예에서, 서로 다른 타겟 표면은 서로 다르게 착색된 제1 유체로 덮히는 것이 바람직하다. 이는 복수개의 디스펜서를 제공하고, 예를 들면 각각이 도 5a를 이용하여 설명된 것과 유사하게, 다르게 착색된 제1 유체를 분배하고, 이에 따라 다르게 착색된 유체의 분배를 제어하는 것에 의해 구현될 수 있다. 다르게 착색된 제1 유체로 로딩된 잉크젯 형의 디스펜서는 다르게 착색된 제1 유체를 분배하는데 이용될 수 있다. 다른 실시예에서, 디스펜싱 장치는 제2 유체 외부에 위치될 수 있으며, 제1 유체를 제2 유체로 분배하도록 배열되고, 제1 유체는 표면쪽으로 이동한다.The above-described embodiments are to be understood as examples of the present invention. A further embodiment of the invention can be envisaged. For example, a separate dispensing device may be used to dispense the first fluid. An example of a dispenser has been described with reference to Figs. 3 and 4. Fig. A detailed description of such dispensers and further embodiments that may be utilized in accordance with the present invention are set forth in British Patent Application 0707201.0, the contents of which are incorporated by reference. In addition, the dispenser described with reference to Fig. 5A dispenses the first fluid as a continuous flow instead of distributing the first fluid as individual droplets. In a separate embodiment, the first fluid may be closely located or directly in contact with the surface by the dispensing device, and is for dispensing the first fluid in a direction opposite to gravity. This, in contrast to other embodiments, dispenses the first fluid away from the surface. The dispensing device may also contact the surface during dispensing. In another embodiment, it is preferred that the different target surfaces are covered with a differently colored first fluid. This may be accomplished by providing a plurality of dispensers, for example, by dispensing a differently colored first fluid, and controlling the dispensing of differently colored fluids, respectively, similar to that described above with reference to Figure 5a have. A dispenser of an inkjet type loaded with a differently colored first fluid may be used to dispense a differently colored first fluid. In another embodiment, the dispensing device may be located outside the second fluid and is arranged to dispense the first fluid to the second fluid, wherein the first fluid moves toward the surface.

상술한 실시예는 제1 유체의 분배에 관한 것으로, 제1 유체는 제2 유체에 비해 낮은 밀도를 갖는다. 본 발명의 다른 실시예에서, 제1 및 제2 유체는 서로 실질적으로 동일한 밀도를 가질 수 있다. 이는 첨가물을 이용하여 유체의 밀도를 미세 조정함에 의해 구현될 수 있다. 이러한 실시예에서, 디스펜서는 제2 유체를 통과하여 표면에 접촉하기 위한 속도로 제1 유체를 분배하도록 배열될 수 있다. 예를 들면 압력을 이용한 디스펜서로부터의 제1 유체의 방출력은 디스펜서와 표면 사이의 제2 유체의 체적에 의존하여 제어될 수 있어서, 임의의 중력 및 제2 유체로부터의 인력 및 제1 유체가 제2 유체내의 고정된 위치에 남아 있으려는 경향을 극복할 수 있다. 일 예에서, 디스펜서 및 표면은 약 5mm의 간격 바람직하게는 2mm 이하의 간격만큼 서로로부터 이격된다. 다른 예측된 실시예에서, 제1 유체는 제2 유체보다 더 밀집되고, 상술한 것처럼 압력하에서 토출되도록 함에 의해 또는 표면에 인접한 제1 유체를 분배함에 의해 표면에 도포될 수 있어서 표면 소수성이 제1 유체를 끌어당기도록 한다.The above-described embodiment relates to the distribution of the first fluid, wherein the first fluid has a lower density than the second fluid. In another embodiment of the present invention, the first and second fluids may have substantially the same density as each other. This can be achieved by fine tuning the density of the fluid using the additive. In this embodiment, the dispenser may be arranged to dispense the first fluid at a rate to contact the surface through the second fluid. For example, the discharge of the first fluid from the dispenser using pressure can be controlled depending on the volume of the second fluid between the dispenser and the surface, so that any gravity and attraction from the second fluid, 2 tend to remain in a fixed position within the fluid. In one example, the dispenser and surface are spaced from each other by an interval of about 5 mm, preferably by an interval of less than 2 mm. In another predicted embodiment, the first fluid may be more dense than the second fluid, and may be applied to the surface by being discharged under pressure, as described above, or by dispensing a first fluid adjacent the surface, Pull the fluid out.

본 발명의 다른 실시예에서, 디스펜서는 제1 유체 및 다른 제2 유체의 혼합을 예를 들면 에멀션으로서 분배하도록 배열될 수 있다. 제1 유체가 제2 유체보다 낮은 밀도를 가지는 경우, 제1 유체는 에멀션을 통과하여 상승하여 표면에 접촉하고 적셔서, 제2 유체로부터 제1 유체를 분리한다. 다른 실시예에서, 제1 및 제2 유체는 실질적으로 밀도가 일치한다. 다음으로, 에멀션이 표면에 가까이서 적절히 분배되어 제2 유체보다 우선적으로 소수성 표면을 적시기 위한 제1 유체의 친화도가 제1 유체를 유인하여 표면을 적시도록 하고, 결과적으로 제1 유체와 제2 유체를 에멀션으로부터 분리되도록 한다.In another embodiment of the invention, the dispenser may be arranged to dispense a mixture of the first fluid and the other second fluid, for example as an emulsion. When the first fluid has a lower density than the second fluid, the first fluid rises through the emulsion to contact and wet the surface to separate the first fluid from the second fluid. In another embodiment, the first and second fluids are substantially in densities. Next, the affinity of the first fluid for wetting the hydrophobic surface preferentially over the second fluid is appropriately distributed near the surface of the emulsion, causing the first fluid to attract and wet the surface, resulting in the first fluid and the second fluid From the emulsion.

상술한 장치의 제조 방법에서, 부품층은 제1 유체의 분배 이전에 동시에 결합된다. 다르게는, 롤투롤 공정의 시작을 위해, 사전 결합된 부품층이 한 롤러에 제공되어, 그 위의 제1 유체의 분배에 대비한다. 미리 결합된 층은 예를 들면 제1 기판부터 시작하여 서로의 위에 개별적으로 각각의 층을 쌓아올림으로써 생성될 수 있다. 하부층은 예를 들면 하부층 상의 적절한 재료를 인쇄함에 의해 위의 인접층을 생성하도록 처리된다. 또는, 다음 층은 미리 제조되어 간단히 하부층에 라미네이트될 수 있다.In the above-described method of manufacturing a device, the component layers are simultaneously bonded prior to the distribution of the first fluid. Alternatively, for the start of a roll-to-roll process, a pre-bonded component layer is provided on a roller to prepare for the distribution of the first fluid thereon. Pre-bonded layers can be created, for example, starting from the first substrate and stacking each layer individually on top of each other. The underlying layer is processed to produce the adjacent layer above by printing suitable material, for example on the underlying layer. Alternatively, the next layer may be previously prepared and simply laminated to the lower layer.

본 발명을 이용한 일렉트로웨팅 장치의 제조 방법은 제1 기판 상에 단일 스위치 가능한 디스플레이층을 갖는 디스플레이 장치를 제조하는 것에 대해 설명되었다. 본 발명은 또한 2개 이상의 스위치 가능한 디스플레이층을 갖는 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 제조하는데 있어 유리하다. 2개의 디스플레이층을 갖는 디스플레이 장치의 예가 도 6에 도시된다. 상술한 설명과 유사한 특징이 여기에 및 도 6에 동일한 참조번호에 500을 증가시켜 설명되었으며, 대응하는 설명은 동일하게 적용되어야 한다. 제2 디스플레이층이 제2 기판(518) 상에 제공된다. 제2 디스플레이층은 제1 기판 상의 제1 디스플레이층과 유사한 구조를 가지며, 따라서 전극(90), 신호선(92), 소수성층(94), 친수성층(96), 및 기판의 표면을 소수성 영역(98)으로 분할하는 친수성층의 패턴을 포함하며, 이는 전술한 제1 디스플레이층의 대응하는 특징과 유사하다. 제3 유체층(99)은 각각의 소수성 영역(98)을 덮으며, 제3 유체는 제2 유체와 혼합 불가능하며, 제1 유체와 유사한 아마도 동일한 특성을 갖는다. 제3 유체는 제1 유체의 스위칭과 유사하게 일렉트로웨팅 힘을 이용하여 스위칭될 수 있다. 2개 이상의 디스플레이층을 갖는 일렉트로웨팅 디스플레이의 예의 상세는 국제 특허 출원 W003/071346에 보다 충분히 기재되어 있다.A method of manufacturing an electrowetting device using the present invention has been described for manufacturing a display device having a single switchable display layer on a first substrate. The present invention is also advantageous in fabricating an electrowetting display device having two or more switchable display layers. An example of a display device having two display layers is shown in Fig. Similar features to those described above have been described herein and in FIG. 6 with the same reference numerals increasing by 500, and the corresponding description should apply equally. A second display layer is provided on the second substrate 518. The second display layer has a structure similar to the first display layer on the first substrate so that the electrode 90, the signal line 92, the hydrophobic layer 94, the hydrophilic layer 96, 98), which is similar to the corresponding feature of the first display layer described above. The third fluid layer 99 covers each hydrophobic area 98, the third fluid is unmixable with the second fluid, and perhaps has the same properties as the first fluid. The third fluid may be switched using an electrowetting force similar to the switching of the first fluid. Details of examples of an electrowetting display having two or more display layers are more fully described in International Patent Application W003 / 071346.

상술한 롤투롤 공정을 이용하여 2개의 디스플레이층 장치를 제조하기 위하여, 제1 디스플레이층이 도 2를 이용하여 상술한 것처럼 제조된다. 제2 디스플레이층은 제1 디스플레이층을 제조하기 위한 상술한 방법 중 하나를 이용하여 별개로 제조될 수 있다. 제1 및 제2 디스플레이층은 제1 및 제3 유체를 각각 분배하기 위하여 제2 유체의 조와 동일한 조내에 제공될 수 있다. 제3 유체를 분배하는 방법은 적어도 하나의 소수성 영역(98)인 적어도 하나의 제2 표면을 제공하는 단계, 제3 유체를 분배하기 위한 다른 디스펜서를 제공하는 단계, 및 제3 유체가 중력 방향에 반대 방향으로 제2 유체를 통과한 제2 표면에 접촉하도록 제3 유체를 분배하는 단계를 포함한다.To manufacture two display layer devices using the roll-to-roll process described above, a first display layer is fabricated as described above using Fig. The second display layer may be prepared separately using one of the methods described above for manufacturing the first display layer. The first and second display layers may be provided in the same vessel as the vessel of the second fluid to dispense the first and third fluids, respectively. The method of dispensing a third fluid includes providing at least one second surface that is at least one hydrophobic area 98, providing another dispenser for dispensing a third fluid, and providing a third fluid in a direction of gravity And dispensing a third fluid to contact a second surface that has passed the second fluid in an opposite direction.

제1 및 제2 디스플레이층이 별개로 제조되고, 예를 들면 전술한 추가 배열 및 결합 장치를 이용하여 배열되고 함께 결합된다. 제1 유체 보다 제2 유체를 양분하는 평면을 따라 예를 들면 제1 기판과 제2 기판 사이의 거의 중간인 평면에서 제1 및 제2 디스플레이층을 함께 결합하는 것이 바람직하다. 다르게는, 제1 또는 제3 유체층을 양분하는 평면을 따라 제1 및 제2 디스플레이층을 결합하는데 오일에 견디는 시일링 재료가 이용될 수 있다. 시일링 재료는 제1 및 제3 유체를 디스펜싱하기 전 또는 이후에 도포될 수 있다.The first and second display layers are separately fabricated and are arranged and bonded together using, for example, the above-described additional arrangements and joining devices. It is desirable to couple the first and second display layers together in a plane that bisects the second fluid more than the first fluid, for example, in a plane substantially midway between the first substrate and the second substrate. Alternatively, an oil-resistant sealing material may be used to join the first and second display layers along a plane bisecting the first or third fluid layer. The sealing material may be applied before or after dispensing the first and third fluids.

하나의 디스플레이층과 제2 기판에 대한 도 2에 도시된 것과 유사한 방식으로 거의 수직인 평면을 따라 결합되도록 결합층 아래로부터 제1 및 제3 유체를 분배하고, 다음으로 제1 및 제2 디스플레이층을 조작하도록 롤러를 이용함으로써, 제조된 디스플레이층을 180°까지 뒤집을 필요가 없으며, 이는 제조된 디스플레이에 손상을 줄 수 있는 비효율적이고 어려운 동작이다.Dispensing the first and third fluids from below the bonding layer to bond along a substantially vertical plane in a manner similar to that shown in Figure 2 for one display layer and a second substrate, , There is no need to turn the manufactured display layer up to 180 DEG, which is an inefficient and difficult operation that can damage the manufactured display.

본 발명은 상술한 제1 및 제2 디스플레이층과 유사하게 롤투롤 공정을 이용하여 2개 이상의 스위치 가능한 디스플레이층을 갖는 디스플레이 장치를 제조하는데 유리하게 이용될 수 있음이 예측 가능하다.It is predictable that the present invention can be advantageously used to manufacture a display device having two or more switchable display layers using a roll-to-roll process similar to the first and second display layers described above.

일렉트로웨팅 장치의 제조를 위하여 상술한 것과는 다른 재료 및/또는 성분이 이용될 수 있다. 롤투롤 공정을 위하여, 플렉시블하고 얇은 조각이며 그러므로 롤러에 의한 조정을 위해 적합한 임의의 재료 또는 부품층이 예측된다. 예를 들면, 백라이트를 이용하는 일렉트로웨팅 디스플레이 장치를 위하여, 제2 기판이 디스플레이층에 결합된 이후에, 백라이트는 조립의 마지막 단계 동안 디스플레이 장치에 부착될 수 있다. 다르게는, 상술한 다른 부품층과의 결합을 위한 부품층으로써 백라이트층은 제공될 수 있다. 그러한 플렉시블 백라이트층의 예는 유기 광 방출 다이오드(OLED) 또는 중합체 광통로를 이용하는 보다 종래의 구조를 포함한다. 상술한 것으로부터 추가 부품층이 예를 들면 착색 필터층에 대해 롤투롤 공정에 의해 장치내에 포함될 수 있다.Materials and / or components other than those described above may be used for the fabrication of the electrowetting device. For the roll-to-roll process, any material or component layer that is flexible and thin pieces and therefore suitable for adjustment by the rollers is predicted. For example, for an electrowetting display device using a backlight, after the second substrate is bonded to the display layer, the backlight may be attached to the display device during the final stage of assembly. Alternatively, a backlight layer may be provided as a component layer for bonding with the other component layers described above. Examples of such flexible backlight layers include more conventional structures using organic light emitting diodes (OLEDs) or polymer light paths. From the above, an additional component layer can be included in the apparatus by, for example, a roll-to-roll process for the colored filter layer.

본 발명의 방법을 포함하는 디스플레이 장치 제조 방법은 롤투롤 공정의 맥락에서 지금까지 설명되었고, 그러한 것에 대한 적용을 포함한다. 본 발명은 롤투롱형 공정에 사용을 위한 것에 국한되지 않고, 다른 제조 공정을 위해 채용될 수 있다. 예를 들면, 일렉트로웨팅 디스플레이 장치는 롤러 없이 각각의 부품층 또는 부품층의 조합을 하부층의 최상에 적용하고, 순차적으로, 또는 위의 층을 형성하기 위하여 하부층을 처리하고, 다음으로 제2 기판의 인가 이전에 최종 결합된 층을 뒤집어서, 제1 유체는 본 발명의 방법을 이용하여 소수성 표면에 인가될 수 있다. 또는 다르게는, 스위칭 가능한 디스플레이층 중 하나가 본 발명의 방법을 이용하여 제조될 수 있으며, 제2 디스플레이층이 상술한 것처럼 제1 유체를 분배하는 방법을 이용하여 제조될 수 있다. The method of manufacturing a display device comprising the method of the present invention has been described so far in the context of a roll-to-roll process and includes applications to such. The present invention is not limited to use in roll-to-roll processes, but may be employed for other manufacturing processes. For example, an electrowetting display device can be fabricated by applying each component layer or combination of component layers to the top of the underlying layer without a roller, and subsequently treating the underlying layer to form the overlying layer, By inverting the final bonded layer prior to application, the first fluid can be applied to the hydrophobic surface using the method of the present invention. Alternatively, one of the switchable display layers may be fabricated using the method of the present invention, and the second display layer may be fabricated using a method of dispensing the first fluid as described above.

본 발명을 이용하는 비 롤투롤 공정에서, 결합층은 디스펜싱 장치 위로 일 방향으로 연속 통과하는 대신 디스펜싱 장치 위로 앞뒤로 통과할 수 있다. 실제로, 이는 소망된 것보다 더 얇은 층 부분을 채우고 두꺼운 부분을 평활하게 함에 의해 소수성 표면에 인가된 제1 유체층을 평평하게 하는데 있어 유리할 수 있다.In a non-roll-to-roll process utilizing the present invention, the bonding layer may pass back and forth over the dispensing device instead of continuously passing in one direction over the dispensing device. In practice, this may be advantageous for flattening the first fluid layer applied to the hydrophobic surface by filling the thinner layer portion than desired and smoothing the thicker portion.

머리위로 통과하는 결합층 아래의 고정된 위치에서 디스펜싱 장치를 이용하여 제1 및 제3 유체를 분배하는 방법이 설명되었다. 그러한 실시예에서, 디스펜싱 장치는 대신에 조의 개구를 통해 제공될 수 있다. 별도의 실시예에서, 결합층은 고정될 수 있고, 디스펜싱 장치는 제1 및/또는 제3 유체를 분배하기 위해 아래를 따라 통과할 수 있다.A method of dispensing a first and a third fluid using a dispensing device at a fixed location below a bonding layer passing over the head has been described. In such an embodiment, the dispensing device may instead be provided through an opening in the bath. In a separate embodiment, the bonding layer may be fixed and the dispensing device may pass downward to dispense the first and / or third fluid.

임의의 실시예와 관련하여 설명된 특징들은 단독으로 또는 다른 설명된 특징들과 조합으로 이용될 수 있으며, 임의의 다른 실시예 또는 다른 실시예의 조합의 하나 이상의 특징과 결합하여 이용될 수 있다. 또한, 위에서 설명되지 않은 등가물 및 개조물 도 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 채용될 수 있으며, 이는 첨부된 청구범위에서 한정된다.The features described in connection with any embodiment may be used alone or in combination with other described features and may be utilized in combination with one or more features of any other embodiment or combination of other embodiments. Also, equivalents and modifications not described above may be employed without departing from the scope of the invention, which is defined in the appended claims.

Claims (30)

일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위하여 표면 상에 제1 유체를 제공하는 방법으로서,
a) 상기 표면을 제공하는 단계;
b) 상기 제1 유체와 혼합 불가능한 일정량의 제2 유체를 제공하는 단계;
c) 상기 제1 유체를 분배하기 위한 디스펜서를 제공하는 단계; 및
d) 상기 제1 유체가 제2 유체를 통과하여 중력 방향에 대향하는 방향으로 표면 상으로 이동하도록 상기 제1 유체를 분배하는 단계
를 포함하는 방법.
A method of providing a first fluid on a surface for manufacturing an electrowetting device,
a) providing said surface;
b) providing an amount of a second fluid incapable of mixing with the first fluid;
c) providing a dispenser for dispensing the first fluid; And
d) dispensing the first fluid such that the first fluid passes through the second fluid and moves on the surface in a direction opposite to the gravitational direction
≪ / RTI >
청구항 1에 있어서, 상기 제1 유체는 상기 제2 유체보다 낮은 밀도를 갖는, 방법.The method of claim 1, wherein the first fluid has a lower density than the second fluid. 청구항 2에 있어서, 상기 제1 유체의 밀도와 상기 제2 유체의 밀도 사이의 차이는 입방 센티미터 당 적어도 0.01 그램인, 방법.3. The method of claim 2, wherein the difference between the density of the first fluid and the density of the second fluid is at least 0.01 grams per cubic centimeter. 청구항 3에 있어서, 상기 차이는 입방 센티미터 당 적어도 0.35 그램인, 방법.4. The method of claim 3, wherein the difference is at least 0.35 grams per cubic centimeter. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디스펜서는 상기 제1 유체와 여기에 추가로 상기 제2 유체의 혼합물을 분배하도록 배열되며, 상기 방법은 상기 단계 d)에서 상기 혼합물을 분배하는 단계를 포함하는, 방법.The dispenser of any one of claims 1 to 4, wherein the dispenser is arranged to dispense a mixture of the first fluid and the excitation to the second fluid, the method further comprising the step of dispensing the mixture in step d) / RTI > 청구항 1에 있어서, 상기 제1 유체는 상기 제2 유체의 밀도와 실질적으로 동일한 밀도를 갖는, 방법.The method of claim 1, wherein the first fluid has a density substantially equal to the density of the second fluid. 청구항 6에 있어서, 상기 디스펜서는 상기 표면까지 제2 유체를 통과하기 위한 속도로 제1 유체를 분배하도록 배열되는, 방법.7. The method of claim 6 wherein the dispenser is arranged to dispense a first fluid at a rate for passing a second fluid to the surface. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면은 일정량의 상기 제2 유체 내에 제공되는, 방법.The method of any one of claims 1 to 4, 6, or 7, wherein the surface is provided in a second amount of the second fluid. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면의 영역은 상기 제2 유체에 비해 상기 제1 유체에 대해 더 습윤성이며, 상기 제1 유체는 상기 표면과 접촉시 상기 표면을 적셔서 상기 표면에 인접한 상기 제1 유체의 층을 형성하는, 방법.The method of any one of claims 1 to 4, claim 6 and claim 7, wherein the area of the surface is more wettable with respect to the first fluid than with the second fluid, Wetting the surface to form a layer of the first fluid adjacent the surface. 청구항 9에 있어서, 상기 표면의 상기 영역은 소수성 표면이며, 상기 제1 유체는 비-극성(non-polar)이며, 상기 제2 유체는 극성 또는 도전성인, 방법.10. The method of claim 9, wherein the area of the surface is a hydrophobic surface, the first fluid is non-polar and the second fluid is polar or electrically conductive. 청구항 9에 있어서, 모니터링 장치를 이용하여 상기 표면 상에 상기 층의 형성을 모니터링하는 단계 및 소정 두께의 상기 층을 제공하도록 상기 제1 유체의 분배를 제어하는 단계를 포함하는, 방법.10. The method of claim 9, comprising monitoring the formation of the layer on the surface using a monitoring device and controlling the distribution of the first fluid to provide the layer with a predetermined thickness. 청구항 11에 있어서, 상기 모니터링 장치 및 상기 디스펜서는 상기 표면의 대향측에 배열되는, 방법.12. The method of claim 11, wherein the monitoring device and the dispenser are arranged on opposite sides of the surface. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디스펜서는 상기 중력 방향으로 상기 표면 아래에 배열되며, 상기 제1 유체는 상기 표면을 향하여 상기 제2 유체를 통해 상승하도록 분배되는, 방법.The dispenser of any one of claims 1 to 4, claim 6 and claim 7, wherein the dispenser is arranged below the surface in the gravitational direction and the first fluid is dispensed to rise through the second fluid towards the surface How. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디스펜서는 상기 제1 유체와 혼합 불가능한 추가 유체의 도움으로 상기 제1 유체를 분배하는, 방법.The method of any one of claims 1 to 4, 6, or 7, wherein the dispenser dispenses the first fluid with the aid of additional fluid that is not immiscible with the first fluid. 청구항 14에 있어서, 상기 디스펜서는 상기 디스펜서의 분배 개구와 상기 표면 사이에 상기 추가 유체의 소구(globule)를 형성하도록 상기 추가 유체를 제공하는, 방법.15. The method of claim 14, wherein the dispenser provides the additional fluid to form a globule of the additional fluid between the dispensing opening of the dispenser and the surface. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면은 실질적으로 평평하고, 상기 방법은 상기 표면의 평면에서 눕는 방향으로, 서로에 대해 상기 표면 및 상기 디스펜서를 이동시키거나, 상기 디스펜서에 대해 상기 표면을 이동시키거나, 또는 상기 표면에 대해 상기 디스펜서를 이동시키는 단계를 포함하는, 방법.The method according to any one of claims 1 to 4, claim 6 and claim 7, wherein the surface is substantially flat and the method comprises moving the surface and the dispenser relative to each other in a direction lying on a plane of the surface And moving the surface relative to the dispenser, or moving the dispenser relative to the surface. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 따른 방법으로서, 제2 표면 상에 제3 유체를 제공하는 단계를 포함하며, 상기 방법은
e) 상기 제2 표면을 제공하는 단계;
f) 상기 제3 유체를 분배하기 위하여 추가 디스펜서를 제공하는 단계; 및
g) 상기 제3 유체가 중력 방향에 대향하는 방향으로 상기 제2 유체를 통해 상기 제2 표면 상으로 이동하도록 상기 제3 유체를 분배하는 단계
를 포함하는 방법.
The method according to any one of claims 1 to 4, 6, or 7, comprising providing a third fluid on a second surface,
e) providing the second surface;
f) providing an additional dispenser for dispensing the third fluid; And
g) dispensing the third fluid such that the third fluid moves on the second surface through the second fluid in a direction opposite to the direction of gravity
≪ / RTI >
청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 제2 표면 상에 제3 유체를 제공하는 단계를 포함하며, 상기 방법은:
e) 상기 제2 표면을 제공하는 단계;
f) 상기 제3 유체를 분배하기 위하여 추가 디스펜서를 제공하는 단계; 및
g) 상기 제3 유체가 중력 방향으로 상기 제2 유체를 통해 상기 제2 표면 상으로 이동하도록 상기 제3 유체를 분배하는 단계
를 포함하는 방법.
The method of any one of claims 1 to 4, 6, or 7, comprising providing a third fluid on a second surface, the method comprising:
e) providing the second surface;
f) providing an additional dispenser for dispensing the third fluid; And
g) dispensing the third fluid such that the third fluid moves in the gravity direction through the second fluid onto the second surface
≪ / RTI >
청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위하여 롤투롤 공정(roll-to-roll process)를 채용하는, 방법.The method according to any one of claims 1 to 4, 6, and 7, employing a roll-to-roll process to manufacture the electrowetting device. 일렉트로웨팅 장치를 제조하기 위하여 소수성 표면 상에 제1 유체를 제공하는 방법으로서, 상기 방법은 상기 제1 유체가 상기 표면과 접촉하도록 위치시킴과 동시에, 상기 제1 유체와 관련하여 지정된 위치의 상기 표면을 중력 방향에 대향하는 방향으로 제공하는, 방법.A method of providing a first fluid on a hydrophobic surface for manufacturing an electrowetting device, the method comprising: positioning the first fluid in contact with the surface, In a direction opposite to the direction of gravity. 청구항 20에 있어서, 상기 제1 유체를 상기 표면과 접촉하게 위치시키기 위하여 일정량의 제2 유체를 이용하는 단계를 포함하는, 방법.21. The method of claim 20, comprising using an amount of a second fluid to position the first fluid in contact with the surface. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6, 청구항 7, 청구항 20 및 청구항 21 중 어느 한 항에 따른 방법을 제공하도록 배열된 장치.An apparatus arranged to provide a method according to any one of claims 1 to 4, 6, 7, 20 and 21. 청구항 22에 있어서, 롤투롤 공정을 채용하는, 장치.23. The apparatus of claim 22, employing a roll-to-roll process. 적어도 표면 및 기판으로 한정되는 닫힌 공간을 포함하는 일렉트로웨팅 장치로서, 상기 닫힌 공간은 서로 혼합 불가능한 제1 유체 및 제2 유체를 포괄하며, 상기 제1 유체는 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6, 청구항 7, 청구항 20 및 청구항 21 중 어느 한 항에 따른 방법을 이용하여 상기 표면 상에 제공되는, 일렉트로웨팅 장치.
An electrowetting device comprising a closed space defined by at least a surface and a substrate, wherein the closed space encompasses a first fluid and a second fluid that are not mutually compatible, and wherein the first fluid includes at least one of a first fluid and a second fluid, Is provided on said surface using a method according to any one of claims 1, 7, 20 and 21.
청구항 5에 있어서, 상기 혼합물은 상기 제1 유체 및 상기 제2 유체의 에멀션(emulsion)인, 방법.6. The method of claim 5, wherein the mixture is an emulsion of the first fluid and the second fluid. 일렉트로웨팅 장치 제조를 위하여 표면 상에 제1 유체를 제공하는 방법으로서, 상기 방법은:
a) 상기 표면을 제공하는 단계;
b) 상기 제1 유체 및 제2 유체의 혼합물을 분배하기 위한 디스펜서를 제공하는 단계;
c) 상기 디스펜서로부터 상기 제1 유체 및 상기 제2 유체의 혼합물을 분배하는 단계; 및
d) 상기 표면 상에 상기 제1 유체의 층을 형성하는 단계 - 상기 층의 상기 제1 유체는 상기 혼합물의 상기 제2 유체로부터 분리됨 -
을 포함하는, 방법.
A method of providing a first fluid on a surface for manufacturing an electrowetting device, the method comprising:
a) providing said surface;
b) providing a dispenser for dispensing a mixture of the first fluid and the second fluid;
c) dispensing a mixture of the first fluid and the second fluid from the dispenser; And
d) forming a layer of said first fluid on said surface, said first fluid of said layer being separated from said second fluid of said mixture,
≪ / RTI >
청구항 26에 있어서, 상기 표면은 상기 제2 유체보다 상기 제1 유체에 대해 더 큰 습윤성을 가지며, 상기 더 큰 습윤성은 상기 혼합물의 상기 제2 유체로부터의 상기 제1 유체의 분리를 돕는, 방법.27. The method of claim 26, wherein the surface has a greater wettability to the first fluid than the second fluid, and the greater wettability aids in the separation of the first fluid from the second fluid of the mixture. 청구항 27에 있어서, 상기 분배된 혼합물이 상기 표면에 접촉하는 경우에 상기 제1 유체는 상기 혼합물의 상기 제2 유체로부터 분리하는, 방법.29. The method of claim 27, wherein the first fluid separates from the second fluid of the mixture when the dispensed mixture contacts the surface. 청구항 28에 있어서, 상기 제1 유체는 비-극성이고, 상기 제2 유체는 극성 또는 도전성 유체이며, 상기 표면은 소수성 표면인, 방법.29. The method of claim 28, wherein the first fluid is non-polar and the second fluid is a polar or conductive fluid, the surface being a hydrophobic surface. 청구항 26 내지 청구항 29 중 어느 한 항에 있어서, 상기 혼합물은 상기 제1 유체 및 상기 제2 유체의 에멀션인, 방법.29. The method of any one of claims 26 to 29, wherein the mixture is an emulsion of the first fluid and the second fluid.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011135044A1 (en) * 2010-04-29 2011-11-03 Samsung Lcd Netherlands R & D Center B.V. Improvements in relation to a manufacturing method for an electrowetting device
GB201220155D0 (en) 2012-11-08 2012-12-26 Samsung Lcd Nl R & D Ct Bv Method of manufacture
US9645385B2 (en) * 2014-06-26 2017-05-09 Amazon Technologies, Inc. Methods and apparatuses for fabricating electrowetting displays
US9482858B2 (en) 2014-06-26 2016-11-01 Amazon Technologies, Inc. Pixel wall configuration for directing fluid flow for fabricating electrowetting displays
US9612430B2 (en) * 2014-06-30 2017-04-04 Amazon Technologies, Inc. Method of manufacturing an electrowetting device
US9423606B2 (en) 2014-06-30 2016-08-23 Amazon Technologies, Inc. Method of manufacturing an electrowetting device
US10343126B2 (en) * 2015-03-25 2019-07-09 Colgate-Palmolive Company Apparatus and method for mixing and dispensing fluids

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005098797A2 (en) * 2004-04-08 2005-10-20 Liquavista B.V. Display device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4741988A (en) * 1985-05-08 1988-05-03 U.S. Philips Corp. Patterned polyimide film, a photosensitive polyamide acid derivative and an electrophoretic image-display cell
US7368229B2 (en) * 2004-04-28 2008-05-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Composite layer method for minimizing PED effect
GB0526230D0 (en) * 2005-12-22 2006-02-01 Eastman Kodak Co Display devices
GB0707201D0 (en) * 2007-04-13 2007-05-23 Liquavista Bv Dispensing method and device for dispensing

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005098797A2 (en) * 2004-04-08 2005-10-20 Liquavista B.V. Display device

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