KR101593102B1 - Rotating force supply apparatus for polishing machine - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하나의 구동부로 연마기의 정반을 자전 및 공전시킬 수 있는 회전력 공급 장치 및 이에 포함된 감속기를 개시한다. 본 발명에 따른 회전력 공급 장치는, 연마기의 정반을 회전시키기 위해 연마기로 회전력을 공급하는 장치로서, 회전력을 생성하는 전동기; 일단이 상기 정반에 결합된 샤프트; 외주면에 이가 형성되어 상기 전동기로부터 회전력을 입력받고, 내주면에 상기 샤프트를 회전 가능한 상태로 편심 구속하는 제1 기어; 중심축이 상기 샤프트의 중심축과 일치하도록 상기 샤프트에 결합 고정되고, 외주면에 이가 형성된 제2 기어; 및 상기 제2 기어와 치합되도록 내주면에 이가 형성된 내접 기어를 포함한다.The present invention discloses a rotational force supply device and a speed reducer included therein that can rotate and revolve the surface of a polishing machine with one driving part. According to the present invention, there is provided an apparatus for supplying rotational force to a polishing machine for rotating a base of a polishing machine, comprising: an electric motor for generating a rotational force; A shaft having one end coupled to the base; A first gear formed on an outer circumferential surface thereof for receiving a rotational force from the electric motor and eccentrically restraining the shaft in a rotatable state on an inner circumferential surface thereof; A second gear fixedly coupled to the shaft such that the central axis coincides with the central axis of the shaft, and the teeth formed on the outer peripheral surface; And an internal gear having teeth formed on an inner peripheral surface thereof to mesh with the second gear.

Description

연마기용 회전력 공급 장치{Rotating force supply apparatus for polishing machine}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 연마기에 회전력을 공급하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 구동부로 연마기의 정반을 자전 및 공전시킬 수 있는 회전력 공급 장치 및 이에 포함된 감속기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for supplying a rotating force to a polishing machine, and more particularly, to a rotating force supplying apparatus and a speed reducer included therein, which can rotate and revolve the surface of a polishing machine with one driving unit.

유리판을 비롯한 대부분의 기판은 그 평탄도를 일정 수준으로 유지하는 것이 매우 중요하다. 따라서, 기판의 표면에 존재하는 미세한 요철 또는 기복은 연마 공정에 의해 제거되어야 한다. 특히, 액정 디스플레이 등에 적용되는 유리판의 경우 화상을 정확하게 구현하기 위해서는 평탄도가 매우 중요한 요소가 되므로, 연마기를 이용한 연마 공정을 거치는 것이 일반적이다.It is very important to maintain flatness of most substrates including glass plates at a certain level. Therefore, fine irregularities or undulations present on the surface of the substrate must be removed by a polishing process. In particular, in the case of a glass plate to be applied to a liquid crystal display or the like, flatness is a very important factor for accurately realizing an image, and therefore, it is common to carry out a polishing process using a polishing machine.

도 1은 연마기의 일반적인 구성을 개략적으로 나타내는 정면도이고, 도 2는 도 1의 상정반(10)의 중심축이 이동하는 경로를 나타내는 평면도이다.FIG. 1 is a front view schematically showing a general configuration of a polishing machine, and FIG. 2 is a plan view showing a path along which the central axis of the imaginary plane 10 of FIG. 1 moves.

먼저 도 1을 참조하면, 연마기는, 하부에 연마 패드(11)가 부착된 상정반(10) 및 기판(1)을 안착시키는 하정반(20)을 포함하는 것이 일반적이다. 이때, 상정반(10)은, 화살표로 표시된 바와 같이, 자전, 즉 중심축(12)을 중심으로 회전함으로써, 하부의 연마 패드(11)를 이용하여 기판(1)이 연마되도록 할 수 있다.Referring first to FIG. 1, the polishing machine generally includes an upper polishing table 10 on which a polishing pad 11 is attached, and a lower polishing table 20 on which a substrate 1 is placed. At this time, the supporter 10 can be rotated about the central axis 12, as indicated by the arrow, so that the substrate 1 can be polished by using the lower polishing pad 11. [

한편, 연마 패드(11)의 면적이 기판(1)의 면적보다 넓은 경우에는 상정반(10)의 자전만으로도 기판(1)의 전 면적에 대해 연마가 수행되도록 할 수 있지만, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 연마 패드(11)의 면적이 기판(1)의 면적보다 넓지 않은 경우에는 상정반(10)의 자전만으로는 기판(1)의 전체 표면을 연마할 수 없다. 특히, 연마 패드(11)의 크기가 기판(1)보다 작은 것이 일반적이라 할 것인데, 이는 디스플레이 장치의 대형화 추세에 발맞추어 점차 대형화되어 가는 유리 기판의 경우에 더욱 그러하다.On the other hand, when the area of the polishing pad 11 is wider than the area of the substrate 1, the polishing can be performed with respect to the entire area of the substrate 1 only by rotating the wafer 10, , If the area of the polishing pad 11 is not larger than the area of the substrate 1, the entire surface of the substrate 1 can not be polished only by rotation of the substrate 10. Particularly, it is generally assumed that the size of the polishing pad 11 is smaller than that of the substrate 1, which is more so in the case of a glass substrate which is getting larger and larger in line with the trend of enlargement of a display device.

이처럼, 기판(1)의 면적이 연마 패드(11)의 면적보다 넓은 경우에는, 상정반(10)은 자전 중에, 도 2에서 점선으로 표시된 바와 같이 기판(1) 상에서 수평 방향으로 이동되어야 한다. In this way, when the area of the substrate 1 is wider than the area of the polishing pad 11, the supporter 10 must be moved horizontally on the substrate 1 as indicated by the dotted line in Fig. 2 during rotation.

하지만, 종래 이처럼 기판(1)의 전체 면적을 커버하기 위해 상정반(10)을 수평 방향으로 이동시키기 위해서는, 상정반(10)을 자전시키기 위해 회전력을 공급하는 구동부(전동기)와는 별도의 구동부가 필요하다는 문제점이 있다. 뿐만 아니라, 이러한 각각의 구동부로부터 상정반(10)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 힘 및 회전시키기 위한 힘을 전달하기 위한 구성이 별개로 구비되어야 하므로, 연마기의 동력 공급 구성이 매우 복잡해지는 문제가 있다.However, in order to cover the entire area of the substrate 1 in the conventional manner, in order to move the imaginary plane 10 in the horizontal direction, a driving unit separate from the driving unit (electric motor) for supplying the rotational force for rotating the imaginary plane 10 There is a problem that it is necessary. In addition, since a force for moving the imaginary plane 10 in the horizontal direction and a force for transmitting the force for rotation from the respective driving portions are separately provided, there is a problem that the power supply configuration of the grinding machine becomes very complicated .

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 하나의 구동부(전동기)로 연마 정반의 자전과 함께 공전이 가능하도록 하여, 넓은 면적을 가진 기판이 연마될 수 있도록 하면서도 연마 효율을 향상시킬 수 있는 연마기용 회전력 공급 장치 및 이를 포함하는 연마기, 그리고 이러한 회전력 공급 장치에 사용되는 감속기를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a polishing apparatus and a method for polishing a substrate having a large area, A grinding machine including the grinding machine, and a reduction gear used in the grinding machine.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention is not limited thereto. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the invention may be realized and attained by means of the instrumentalities and combinations particularly pointed out in the appended claims.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 회전력 공급 장치는, 연마기의 정반을 회전시키기 위해 연마기로 회전력을 공급하는 장치로서, 회전력을 생성하는 전동기; 일단이 상기 정반에 결합된 샤프트; 외주면에 이가 형성되어 상기 전동기로부터 회전력을 입력받고, 내주면에 상기 샤프트를 회전 가능한 상태로 편심 구속하는 제1 기어; 중심축이 상기 샤프트의 중심축과 일치하도록 상기 샤프트에 결합 고정되고, 외주면에 이가 형성된 제2 기어; 및 상기 제2 기어와 치합되도록 내주면에 이가 형성된 내접 기어를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for supplying rotational force to a polishing machine for rotating a base of a polishing machine, including: a motor generating a rotational force; A shaft having one end coupled to the base; A first gear formed on an outer circumferential surface thereof for receiving a rotational force from the electric motor and eccentrically restraining the shaft in a rotatable state on an inner circumferential surface thereof; A second gear fixedly coupled to the shaft such that the central axis coincides with the central axis of the shaft, and the teeth formed on the outer peripheral surface; And an internal gear having teeth formed on an inner peripheral surface thereof to mesh with the second gear.

바람직하게는, 상기 전동기의 회전축 상에 구비되어 상기 전동기의 회전력을 상기 제1 기어로 전달하는 제3 기어를 더 포함한다.Preferably, the motor further includes a third gear provided on a rotating shaft of the electric motor and transmitting the rotational force of the electric motor to the first gear.

또한 바람직하게는, 상기 제1 기어와 상기 제3 기어 사이에 구비되어, 상기 제3 기어의 회전력을 상기 제1 기어에 전달하는 하나 이상의 중간 기어를 더 포함한다.Further, preferably, the apparatus further includes one or more intermediate gears provided between the first gear and the third gear, for transmitting rotational force of the third gear to the first gear.

또한 바람직하게는, 상기 제1 기어는, 내주면에 베어링을 구비하여, 상기 베어링을 통해 상기 샤프트를 편심 구속한다.Preferably, the first gear includes a bearing on an inner peripheral surface thereof to eccentrically restrain the shaft through the bearing.

또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연마기는, 연마기용 회전력 공급 장치를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a polishing apparatus for a polishing machine.

또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 감속기는, 전동기의 회전 속도를 감속하여 부하로 전달하는 감속기로서, 일단이 상기 부하에 결합된 샤프트; 외주면에 이가 형성되어 상기 전동기로부터 회전력을 입력받고, 내주면에 상기 샤프트를 회전 가능한 상태로 편심 구속하는 제1 기어; 중심축이 상기 샤프트의 중심축과 일치하도록 상기 샤프트에 결합 고정되고, 외주면에 이가 형성된 제2 기어; 및 상기 제2 기어와 치합되도록 내주면에 이가 형성된 내접 기어를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a speed reducer including: a shaft having one end coupled to the load; A first gear formed on an outer circumferential surface thereof for receiving a rotational force from the electric motor and eccentrically restraining the shaft in a rotatable state on an inner circumferential surface thereof; A second gear fixedly coupled to the shaft such that the central axis coincides with the central axis of the shaft, and the teeth formed on the outer peripheral surface; And an internal gear having teeth formed on an inner peripheral surface thereof to mesh with the second gear.

바람직하게는, 상기 전동기의 회전축 상에 구비되어 상기 전동기의 회전력을 상기 제1 기어로 전달하는 제3 기어를 더 포함한다.Preferably, the motor further includes a third gear provided on a rotating shaft of the electric motor and transmitting the rotational force of the electric motor to the first gear.

또한 바람직하게는, 상기 제1 기어와 상기 제3 기어 사이에 구비되어, 상기 제3 기어의 회전력을 상기 제1 기어에 전달하는 하나 이상의 중간 기어를 더 포함한다.Further, preferably, the apparatus further includes one or more intermediate gears provided between the first gear and the third gear, for transmitting rotational force of the third gear to the first gear.

본 발명에 의하면, 기판을 연마하기 위해 정반을 회전시킬 수 있도록, 연마기로 회전력을 공급할 수 있다. 특히, 본 발명에 의하면, 정반을 자전시킬 수 있을 뿐 아니라 자전 중에 정반이 공전되도록 할 수 있다. 따라서, 연마기의 연마 패드보다 넓은 면적의 기판을 연마할 수 있다. According to the present invention, a rotating force can be supplied by a polishing machine so that the base can be rotated to polish the substrate. Particularly, according to the present invention, it is possible not only to rotate the base, but also to allow the base to revolve while rotating. Therefore, the substrate having a larger area than the polishing pad of the polishing machine can be polished.

뿐만 아니라, 연마 패드가 부착된 연마 정반이 기판 상에서 자전을 통한 회전과 공전을 통한 수평 방향으로의 이동을 하므로, 기판의 연마 효율이 향상될 수 있다.In addition, since the polishing platen with the polishing pad is rotated on the substrate and moved in the horizontal direction through revolution, the polishing efficiency of the substrate can be improved.

더욱이, 본 발명의 일 측면에 의하면, 하나의 전동기만으로도 연마기의 정반을 자전과 함께 공전시킬 수 있다. 따라서, 연마기의 정반을 자전시키기 위한 구동부(전동기)와 연마기의 정반을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 별도로 구비할 필요가 없다.Furthermore, according to one aspect of the present invention, it is possible to revolve the platen of the polishing machine with rotation by using only one motor. Therefore, it is not necessary to separately include a driving unit (electric motor) for rotating the base of the polishing machine and a driving unit for moving the base of the polishing machine in the horizontal direction.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은, 연마기의 일반적인 구성을 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는, 도 1의 상정반의 중심축이 이동하는 경로를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마기용 회전력 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는, 도 3에서 제1 기어와 샤프트의 결합 구성을 개략적으로 나타내는 평단면도이다.
도 5는, 도 3에서 샤프트, 제2 기어 및 내접 기어의 결합 구성을 개략적으로 나타내는 평단면도이다.
도 6은, 도 3의 회전력 공급 장치에서 동력이 전달되는 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마기용 회전력 공급 장치에 의한 연마기 상정반의 연마 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description of the invention given below, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, And should not be construed as limiting.
1 is a front view schematically showing a general configuration of a polishing machine.
Fig. 2 is a plan view showing a path along which the center axis of the estimating half of Fig. 1 moves. Fig.
3 is a perspective view schematically showing a configuration of a rotational force supply device for a polishing machine according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a plan sectional view schematically showing the coupling structure of the first gear and the shaft in Fig. 3;
Fig. 5 is a plan sectional view schematically showing the combined structure of the shaft, the second gear and the internal gear in Fig. 3. Fig.
6 is a view schematically showing a configuration in which power is transmitted from the rotational force supply device of Fig.
7 is a plan view schematically showing a polishing structure of a polishing machine in a polishing machine by a rotating force supply device for a polishing machine according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상에 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 연마기를 구동하기 위한 장치로서, 연마기의 정반을 회전시키기 위해 연마기로 회전력을 공급한다. 여기서, 연마기의 정반은 연마기의 상정반 또는 하정반일 수 있다. 즉, 연마기는 기판을 연마하기 위해 상정반이나 하정반이 회전할 수 있는데, 본 발명에 따른 회전력 공급 장치는 상정반이 회전하는 연마기에 대해서는 상정반에 회전력을 공급하고 하정반이 회전하는 연마기에 대해서는 하정반에 회전력을 공급한다.The rotating force supplying device for a polishing machine according to the present invention is an apparatus for driving a polishing machine, and supplies rotational force to the polishing machine to rotate the surface of the polishing machine. Here, the surface of the polishing machine may be a half or a half of the surface of the polishing machine. That is, in order to polish the substrate, the polishing machine may rotate the half of the supposition or the bottom half. The rotation force supply device according to the present invention may be applied to a polishing machine in which a half- The rotational force is supplied to the lower half of the body.

도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마기용 회전력 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing a configuration of a rotational force supply device for a polishing machine according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 전동기(110), 샤프트(120), 제1 기어(130), 제2 기어(140) 및 내접 기어(150)를 포함한다.3, the rotational force supplying apparatus for a polishing machine according to the present invention includes an electric motor 110, a shaft 120, a first gear 130, a second gear 140, and an internal gear 150.

상기 전동기(110)는, 전기 에너지를 역학적 에너지로 변환하는 구성요소로서, 연마기로 전달하기 위한 회전력을 생성한다.The electric motor 110 is a component for converting electrical energy into mechanical energy, and generates a rotational force to be transmitted to a grinder.

상기 샤프트(120)는, 회전력 공급 장치에서 회전력을 출력하는 구성요소로서, 일단이 연마기의 정반과 결합된다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 샤프트(120)의 하단부는 연마기의 상정반(10)과 결합된다. 이때, 상정반(10)의 하단에는, 기판의 연마를 위한 연마 패드(11)가 부착될 수 있다. 이처럼, 샤프트(120)의 일단이 연마기의 상정반(10)과 결합되어 있기 때문에, 샤프트(120)가 회전하거나 이동하게 되면 연마기의 상정반(10) 역시 회전하거나 이동할 수 있게 된다. 한편, 도 3에서는 샤프트(120)의 일단이 연마기의 상정반(10)과 결합된 구성이 도시되어 있으나, 샤프트(120)의 일단은 연마기의 하정반과 결합될 수도 있음은 물론이다.The shaft 120 is a component for outputting rotational force from the rotational force supply device, and one end thereof is engaged with the base of the polishing machine. For example, as shown in Fig. 3, the lower end of the shaft 120 is engaged with the supporter 10 of the grinder. At this time, a polishing pad 11 for polishing the substrate may be attached to the lower end of the supposition plate 10. Since the one end of the shaft 120 is engaged with the first half 10 of the grinding machine, when the shaft 120 is rotated or moved, the first half 10 of the grinding machine can be rotated or moved. 3, one end of the shaft 120 is coupled to the upper half 10 of the grinder. However, one end of the shaft 120 may be coupled to the lower half of the grinder.

상기 제1 기어(130)는, 외주면에 이가 형성되어 이러한 외주면의 이를 통해 전동기로부터 회전력을 입력받는다. 특히, 상기 제1 기어(130)는, 중앙 부분이 원형으로 비어 있는 형태를 가지고 있는데, 이와 같이 비어 있는 중앙 부분의 안쪽 표면, 즉 내주면에서 샤프트(120)를 회전 가능한 상태로 편심 구속한다. 이러한 구성에 대해서는 도 4를 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.The first gear 130 is formed with an outer circumferential surface and receives rotational force from the motor through the outer circumferential surface. Particularly, the first gear 130 has a shape in which a central portion is hollow. In this way, the shaft 120 is rotatably eccentrically restrained from the inner surface of the hollow central portion, that is, the inner peripheral surface. This configuration will be described in more detail with reference to FIG.

도 4는, 도 3에서 제1 기어(130)와 샤프트(120)의 결합 부분에 대한 단면을 상부에서 바라본 형태의 도면이다.4 is a cross-sectional view of the joint portion of the first gear 130 and the shaft 120 viewed from the top in FIG.

도 4를 참조하면, 상기 제1 기어(130)는 원심 방향으로 중앙 부분이 비어 있는 기어 형태로 구성되어 있으며, 내주면에서 샤프트(120)를 구속한다. 이때, 샤프트(120)의 구속 위치는 제1 기어(130)의 중심 부분으로부터 벗어나 있다. 따라서, 샤프트(120)는 제1 기어(130)에 편심 구속되어 있다고 할 수 있다. 이처럼, 샤프트(120)는 제1 기어(130)에 편심 구속되어 있기 때문에, 제1 기어(130)가 제1 기어(130)의 중심점 c3를 중심으로 시계 방향으로 회전함에 따라, 샤프트(120)는 d 방향으로 회전함으로써, 수평 방향으로 위치를 이동할 수 있게 된다. 이때, 제1 기어(130)의 비어 있는 중앙 부분은 원형이므로, 샤프트(120)의 수평 방향 이동은 원 형태가 된다. 그러므로, 제1 기어(130)가 회전하면, 샤프트(120)는 제1 기어(130)의 중심점 c3를 기준으로 공전 운동을 하게 된다.Referring to FIG. 4, the first gear 130 is formed in a gear shape having a hollow center portion in the centrifugal direction, and restrains the shaft 120 from the inner circumferential surface. At this time, the restricting position of the shaft 120 is deviated from the central portion of the first gear 130. Therefore, it can be said that the shaft 120 is eccentrically constrained to the first gear 130. Since the shaft 120 is eccentrically restrained by the first gear 130 so that the first gear 130 rotates clockwise around the center point c3 of the first gear 130, It is possible to move the position in the horizontal direction. At this time, since the hollow central portion of the first gear 130 is circular, the horizontal movement of the shaft 120 becomes a circular shape. Therefore, when the first gear 130 rotates, the shaft 120 performs the idle motion based on the center point c3 of the first gear 130. [

한편, 상기 제1 기어(130)는, 상기 샤프트(120)를 내주면에 편심 구속하되, 샤프트(120)가 회전 가능한 상태가 되도록 한다. 이를 위해, 상기 제1 기어(130)는, 내주면에 베어링(131)을 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 기어(130)는, 베어링(131) 내에 샤프트(120)를 구속하되, 베어링(131)의 내주면과 샤프트(120)의 외주면 사이에는 소정의 이격 공간이 형성되도록 하여, 샤프트(120)가 베어링(131) 내에서 자유롭게 회전하도록 한다. 따라서, 제1 기어(130)의 회전으로 베어링(131)이 d 방향으로 이동하게 되면 그 내부에 구속된 샤프트(120) 역시 d 방향으로 이동하는데, 이러한 이동 중에 샤프트(120)는, 자신의 중심점 c2를 중심으로 e 방향 또는 반대 방향으로 회전할 수 있다. On the other hand, the first gear 130 eccentrically restrains the shaft 120 to the inner circumferential surface, so that the shaft 120 is rotatable. To this end, the first gear 130 may include a bearing 131 on its inner circumferential surface. In this case, the first gear 130 restricts the shaft 120 in the bearing 131, and a predetermined space is formed between the inner circumferential surface of the bearing 131 and the outer circumferential surface of the shaft 120, (120) freely rotates within the bearing (131). Accordingly, when the bearing 131 moves in the direction d due to the rotation of the first gear 130, the shaft 120 constrained within the shaft moves in the direction d. During this movement, and can rotate in the e direction or in the opposite direction about c2.

상기 제2 기어(140)는, 샤프트(120)에서 상기 제1 기어(130)가 장착된 위치와 다른 위치에 장착된다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 기어(140)는 샤프트(120)에서 제1 기어(130)보다 높은 위치에 구비될 수 있다. 이때, 상기 제2 기어(140)는 그 중심축이 샤프트(120)의 중심축과 일치하도록 샤프트(120)에 구비된다. 그리고, 상기 제2 기어(140)는, 샤프트(120)의 외주면에 결합 고정된다. 여기서, 상기 제2 기어(140)는, 샤프트(120)의 외주면에 이가 형성된 형태와 같이 샤프트(120)와 일체형으로 구성될 수 있다. 또는 상기 제2 기어(140)는, 샤프트(120)와 분리형으로 구성되되, 볼트 등의 체결 부재로 체결된 형태로 구성될 수 있다. 이처럼, 상기 제2 기어(140)는 샤프트(120)와 중심이 일치한 상태에서 결합 고정되어 있으므로, 샤프트(120)가 제자리에서 회전 운동, 즉 자전 운동을 하는 경우, 마찬가지로 자전 운동을 할 수 있다. The second gear 140 is mounted at a position different from a position where the first gear 130 is mounted on the shaft 120. For example, as shown in FIG. 3, the second gear 140 may be provided at a position higher than the first gear 130 in the shaft 120. At this time, the second gear 140 is provided on the shaft 120 so that its central axis coincides with the central axis of the shaft 120. The second gear 140 is fixedly coupled to the outer circumferential surface of the shaft 120. Here, the second gear 140 may be formed integrally with the shaft 120, such that the second gear 140 is formed on the outer circumferential surface of the shaft 120. Alternatively, the second gear 140 may be configured to be detached from the shaft 120, and may be configured to be fastened with a fastening member such as a bolt. Since the second gear 140 is fixedly coupled with the shaft 120 in the center thereof, the second gear 140 can rotate in the same manner when the shaft 120 rotates, that is, rotates in place .

상기 제2 기어(140)는, 외주면에 이가 형성되어 있는데, 이러한 외주면에 형성된 이는 내접 기어(150)의 이와 맞물리도록 구성된다.The second gear 140 is formed on the outer circumferential surface of the second gear 140 so that the second gear 140 is meshed with the internal gear 150.

상기 내접 기어(150)는, 원심 방향에서 중앙 부분이 원 형상으로 비어 있는 형태로 구성되어 있으며, 그 내주면에 이가 형성되어 있다. 그리고, 이와 같이 내주면에 형성된 이를 통해 내접 기어(150)는, 제2 기어(140)와 치합된다. 이러한 구성에 대해서는, 도 5를 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.The internal gear 150 is configured such that a central portion in the centrifugal direction is hollow in a circular shape, and a tooth is formed on the inner peripheral surface thereof. Thus, the internal gear 150 is engaged with the second gear 140 through the inner peripheral surface. This configuration will be described in more detail with reference to FIG.

도 5는, 도 3에서 샤프트(120), 제2 기어(140) 및 내접 기어(150)의 결합 부분에 대한 단면을 상부에서 바라본 형태의 도면이다.5 is a top view of a cross section of the joint portion of the shaft 120, the second gear 140 and the internal gear 150 in Fig.

도 5를 참조하면, 제2 기어(140)는 외주면에 이가 형성되어 있고, 내접 기어(150)는 내주면에 이가 형성되어 있으며, 이러한 이들을 통해 제2 기어(140) 및 내접 기어(150)는 서로 치합된다. 따라서, 샤프트(120)가, 화살표 f로 표시된 바와 같이, 내접 기어(150)의 중심점 c5를 중심으로 시계 방향으로 이동하게 되면, 샤프트(120)의 외주면에 구비된 제2 기어(140) 역시 f 방향으로 이동하게 된다. 이때, 제2 기어(140)는 내접 기어(150)와 치합되어 있으므로, 제2 기어(140)가 f 방향으로 이동하게 되면, 제2 기어(140)의 외주면에 형성된 이가 내접 기어(150)의 내주면에 형성된 이와 맞물리게 되면서, 제2 기어(140)는 g 방향으로 회전하게 된다. 그리고, 샤프트(120)는 제2 기어(140)와 결합 고정되어 있으므로, 제2 기어(140)가 g 방향으로 회전하게 되면, 샤프트(120) 역시 g 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 샤프트(120)는 f 방향으로 이동하면서 g 방향으로 회전할 수 있게 된다. 즉, 샤프트(120)는 자신의 중심점 c2를 중심으로 반시계 방향으로 회전하면서, 내접 기어(150)의 중심점 c5를 중심으로 시계 방향으로 회전하게 된다.5, the second gear 140 is formed on the outer peripheral surface of the internal gear 150, and the internal gear 150 is formed on the inner peripheral surface of the second gear 140. The second gear 140 and the internal gear 150, Lt; / RTI > Accordingly, when the shaft 120 is moved clockwise around the center point c5 of the internal gear 150 as indicated by the arrow f, the second gear 140 provided on the outer circumferential surface of the shaft 120 is also rotated by f Direction. Since the second gear 140 is engaged with the internal gear 150, the second gear 140 is moved in the direction f, so that the teeth formed on the outer circumferential surface of the second gear 140 are engaged with the internal gear 150 The second gear 140 rotates in the direction of g while being engaged with the inner peripheral surface. Since the shaft 120 is engaged with the second gear 140, when the second gear 140 rotates in the g direction, the shaft 120 also rotates in the direction g. Therefore, the shaft 120 can rotate in the direction g while moving in the direction f. That is, the shaft 120 rotates counterclockwise about its center point c2, and rotates clockwise about the center point c5 of the internal gear 150.

여기서, 샤프트(120)의 g 방향으로의 회전은 제자리에서의 회전이므로 자전 운동이라 할 수 있고, 샤프트(120)의 f 방향으로의 이동은 원 형태의 이동이므로 공전 운동이라 할 수 있다.Here, the rotation of the shaft 120 in the direction g is a rotation in the in-situ, so it can be called a rotation. The movement of the shaft 120 in the direction f is a circular motion,

한편, 제1 기어(130)에 의한 샤프트(120)의 공전시 제2 기어(140)와 내접 기어(150)의 치합을 위해서는 제1 기어(130)의 중심점 c3와 내접 기어(150)의 중심점 c5는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부에서 바라보았을 때 일치하는 것이 좋다.The center point c3 of the first gear 130 and the center point c3 of the internal gear 150 are set so that the second gear 140 and the internal gear 150 are engaged with each other when the shaft 120 is rotated by the first gear 130. [ As shown in Fig. 3, it is preferable that c5 coincide when viewed from above.

이처럼, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 하나의 전동기(110)만으로 샤프트(120)가 자전 및 공전할 수 있도록 한다. 따라서, 샤프트(120)가 연마기의 정반, 이를테면 연마 패드(11)가 부착된 연마기의 상정반에 결합된 경우, 하나의 전동기(110)만으로도 연마기의 상정반을 자전시키면서 공전까지 시킬 수 있다.As described above, the rotating force supply device for a polishing machine according to the present invention allows the shaft 120 to rotate and revolve with only one electric motor 110. [ Accordingly, when the shaft 120 is coupled to the base of the polishing machine, such as the base of the polishing machine to which the polishing pad 11 is attached, the half of the base of the polishing machine can be revolved with only one electric motor 110 alone.

그러므로, 본 발명의 이러한 측면에 의하면, 연마 패드(11)보다 넓은 기판의 연마가 가능해지고, 연마 효율이 향상되며, 하나의 전동기(110)만 구동시키면 된다.Therefore, according to this aspect of the present invention, it is possible to polish a substrate wider than the polishing pad 11, to improve the polishing efficiency, and to drive only one electric motor 110.

바람직하게는, 상기 내접 기어(150)는, 도 3에서 H로 표시된 부분과 같이, 고정되는 것이 좋다. 즉, 상기 내접 기어(150)는 원주 방향으로 회전하지 않도록 구성되는 것이 좋다. 이처럼, 내접 기어(150)가 고정된 실시예에 의하면, 제2 기어(140)가 f 방향으로 이동시, 제2 기어(140)의 이동에 따라 내접 기어(150)가 f 방향으로 함께 이동하는 것을 방지함으로써, 제2 기어(140)가 g 방향으로 보다 잘 회전할 수 있도록 한다. 따라서, 제2 기어(140)에 결합 고정된 샤프트(120)의 회전력이 확보될 수 있다.Preferably, the internal gear 150 is fixed as in the portion indicated by H in Fig. That is, the internal gear 150 may be configured not to rotate in the circumferential direction. According to the embodiment in which the internal gear 150 is fixed, when the second gear 140 moves in the direction f, the internal gear 150 moves together in the direction f in accordance with the movement of the second gear 140 So that the second gear 140 can rotate more easily in the g direction. Therefore, the rotational force of the shaft 120 coupled to the second gear 140 can be secured.

또한 바람직하게는, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제3 기어(160)를 더 포함할 수 있다. Also, preferably, the rotational force supplying apparatus for a polishing machine according to the present invention may further include a third gear 160 as shown in FIG.

상기 제3 기어(160)는, 전동기(110)의 회전축 상에 구비되어 전동기(110)의 회전력을 제1 기어(130)로 전달한다. 여기서, 상기 제3 기어(160)는, 전동기(110)의 회전축에 직결된 별도의 회전축에 구비될 수 있다. 즉, 제3 기어(160)는 전동기(110)의 회전축에 직접 구비되는 것이 아니라, 전동기(110)의 회전축에서 중심선이 동일하도록 연장되게 구성된 별도의 회전축에 구비될 수 있다. 이때, 제3 기어(160)는 회전축에 이가 형성된 형태 등과 같이 회전축과 일체형으로 구성되거나 별개로 구성되어 체결 부재 등을 통해 회전축에 체결되는 형태로 구성될 수 있다. 한편, 상기 제3 기어(160)는 전동기(110)의 회전축에 직접 구비될 수도 있다.The third gear 160 is provided on the rotating shaft of the electric motor 110 to transmit the rotational force of the electric motor 110 to the first gear 130. Here, the third gear 160 may be provided on a separate rotating shaft that is directly connected to the rotating shaft of the electric motor 110. That is, the third gear 160 may be provided not on the rotating shaft of the electric motor 110, but on a separate rotating shaft that is configured to extend to the same center line on the rotating shaft of the electric motor 110. In this case, the third gear 160 may be integrally formed with the rotary shaft, such as a tooth formed on the rotary shaft, or may be formed separately and fastened to the rotary shaft through a fastening member or the like. Meanwhile, the third gear 160 may be provided directly on the rotating shaft of the electric motor 110.

더욱 바람직하게는, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제3 기어(160)와 제1 기어(130) 사이에 중간 기어를 더 포함할 수 있다.More preferably, the rotational force supply device for a polishing machine according to the present invention may further include an intermediate gear between the third gear 160 and the first gear 130, as shown in FIG.

상기 중간 기어는, 제3 기어(160)의 회전력을 제1 기어(130)로 전달하는 기어로서, 하나 또는 복수의 기어로 구성될 수 있다. The intermediate gear is a gear that transmits the rotational force of the third gear 160 to the first gear 130, and may be composed of one or a plurality of gears.

특히, 상기 중간 기어는, 동일한 회전축 상에 구비된 기어를 둘 이상 포함할 수 있다. 그리고, 이 경우 동일한 회전축 상에 구비된 둘 이상의 기어는 서로 다른 잇수를 갖는 것이 좋다. 이러한 실시예에 의하면, 중간 기어에 포함된 복수의 기어를 통해 회전 속도 제어가 용이해질 수 있다.In particular, the intermediate gear may include two or more gears provided on the same rotary shaft. In this case, the two or more gears provided on the same rotating shaft may have different numbers of teeth. According to this embodiment, the rotational speed control can be facilitated through the plurality of gears included in the intermediate gear.

예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 중간 기어는, 동일한 회전축 상에 구비된 제4 기어(170) 및 제5 기어(180)로 구성될 수 있으며, 제4 기어(170)와 제5 기어(180)는 서로 다른 잇수를 가질 수 있다. 이때, 제4 기어(170)는 제3 기어(160)에 치합되고, 제5 기어(180)는 제1 기어(130)에 치합될 수 있다. 이러한 실시예에 따른 여러 기어의 동력 전달 구성은 도 6을 참조하여 설명하도록 한다.3, the intermediate gear may be composed of a fourth gear 170 and a fifth gear 180 provided on the same rotation axis, and the fourth gear 170 and fifth The gears 180 may have different numbers of teeth. At this time, the fourth gear 170 is engaged with the third gear 160, and the fifth gear 180 is engaged with the first gear 130. The power transmission structure of various gears according to this embodiment will be described with reference to Fig.

도 6은, 도 3의 회전력 공급 장치에서 동력이 전달되는 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.6 is a view schematically showing a configuration in which power is transmitted from the rotational force supply device of Fig.

도 6에 도시된 바와 같이, 먼저 전동기(110)의 회전축이 시계 방향(도면의 상부에서 하부로 바라본 방향 기준, 이하 동일)으로 회전하면, 제3 기어(160)가, 화살표 R1으로 표시된 바와 같이, 시계 방향으로 회전한다. 따라서, 이러한 제3 기어(160)와 치합되어 있는 제4 기어(170)는, 화살표 R2로 표시된 바와 같이, 반시계 방향으로 회전하게 되고, 제4 기어(170)와 동일한 회전축 상에 구비되어 있는 제5 기어(180) 역시, 화살표 R3로 표시된 바와 같이, 반시계 방향으로 회전하게 된다. 그러면, 제5 기어(180)와 치합되어 있는 제1 기어(130)는, 화살표 R4로 표시된 바와 같이, 시계 방향으로 회전하게 되고, 이러한 제1 기어(130)의 내주면에 편심 구속되어 있는 샤프트(120)는, 화살표 R5로 표시된 바와 같이, 축 X1을 중심으로 시계 방향으로 회전하게 된다. 즉, 샤프트(120)는 제1 기어(130)의 회전에 의해 축 X1을 중심으로 공전할 수 있게 된다. 따라서, 축 X1은 샤프트(120)의 공전에 대한 중심축이라 할 수 있다. 6, when the rotation shaft of the electric motor 110 rotates clockwise (based on the direction viewed from the upper side to the lower side in the drawing, hereinafter the same), the third gear 160 is rotated as indicated by the arrow R1 , And rotates clockwise. Therefore, the fourth gear 170 engaged with the third gear 160 rotates counterclockwise as indicated by an arrow R2, and is provided on the same axis as the fourth gear 170 The fifth gear 180 is also rotated in the counterclockwise direction as indicated by an arrow R3. The first gear 130 engaged with the fifth gear 180 rotates in the clockwise direction as indicated by an arrow R4 and is engaged with a shaft eccentrically restrained to the inner circumferential surface of the first gear 130 120 rotate in the clockwise direction about the axis X1 as indicated by an arrow R5. That is, the shaft 120 is allowed to revolve around the axis X1 by the rotation of the first gear 130. Accordingly, the axis X1 can be regarded as the center axis for the revolution of the shaft 120. [

한편, 제1 기어(130)의 회전에 의해 샤프트(120)가 축 X1을 중심으로 시계 방향으로 회전하게 되면, 샤프트(120)의 외주면에 결합되어 있는 제2 기어(140)와 이러한 제2 기어(140)의 이와 내접 기어(150)의 이가 서로 맞물리게 되면서, 제2 기어(140)는, 화살표 R6로 표시된 바와 같이, 축 X2를 중심으로 반시계 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 이러한 제2 기어(140)와 결합되어 있는 샤프트(120)는 축 X2를 중심으로 자전할 수 있게 된다. 그러므로, 축 X2는 샤프트(120)의 자전에 대한 중심축이라 할 수 있다.When the shaft 120 is rotated clockwise about the axis X1 by the rotation of the first gear 130, the second gear 140 coupled to the outer circumferential surface of the shaft 120, The second gear 140 rotates in the counterclockwise direction about the axis X2 as indicated by the arrow R6 while the teeth of the inner gear 140 and the teeth of the inner gear 150 engage with each other. Accordingly, the shaft 120 coupled with the second gear 140 can rotate around the axis X2. Therefore, the axis X2 can be regarded as the central axis for the rotation of the shaft 120. [

이처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마기용 회전력 공급 장치에 의하면, 하나의 전동기(110)의 회전만으로, 샤프트(120)가 공전과 자전을 동시에 수행할 수 있게 된다. 따라서, 이러한 샤프트(120)에 연결된 연마기의 정반, 이를테면 상정반은 자전을 통해 제자리에서 회전하여 기판을 연마할 수 있게 되고, 공전을 통해 연마 위치를 이동할 수 있게 된다. 그러므로, 본 발명의 이러한 측면에 따르면, 하나의 전동기(110)만으로도, 정반에 부착된 연마 패드(11)가 기판에 대한 연마를 수행할 수 있게 되고, 연마 효율이 향상될 수 있게 된다.As described above, according to the rotation force supplying apparatus for a polishing machine according to the embodiment of the present invention, the shaft 120 can simultaneously perform the revolution and the rotation by only one rotation of the electric motor 110. Accordingly, the base of the polishing machine connected to the shaft 120, for example, the base half, rotates in place through rotation and can polish the substrate, and the polishing position can be moved through revolving. Therefore, according to this aspect of the present invention, even if only one electric motor 110 is used, the polishing pad 11 attached to the surface plate can perform polishing on the substrate, and the polishing efficiency can be improved.

도 7은, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마기용 회전력 공급 장치에 의한 연마기 상정반의 연마 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.7 is a plan view schematically showing a polishing structure of a polishing machine in a polishing machine by a rotating force supply device for a polishing machine according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치에 의해 연마기 상정반으로 회전력이 공급되면, 연마기 상정반은, 화살표 I1으로 표시된 바와 같이 기판 상에서 자전함으로써 기판의 국부적인 연마를 수행하게 된다. 그리고 이와 함께, 연마기 상정반은, 화살표 I2로 표시된 바와 같이 기판 상에서 공전함으로써, 기판의 전체 면적을 커버할 수 있게 되어, 기판의 전체 표면에 대한 연마가 가능해지게 된다. Referring to Fig. 7, when a rotational force is applied to the grinding machine half by the rotational force supplying device for a grinding machine according to the present invention, the grinding machine predetermining half performs local grinding of the substrate by rotating on the substrate as indicated by arrow I1 . And at the same time, the grinding machine pre-polishing unit can cover the entire surface area of the substrate by turning on the substrate as indicated by the arrow I2, so that the polishing of the entire surface of the substrate becomes possible.

한편, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치에서, 샤프트(120)의 자전 및 공전은 여러 기어의 기어비에 따라 조정할 수 있다. 예를 들어, 상기 도 3의 실시예에서, 샤프트(120)의 공전 속도, 즉 연마 정반의 공전 속도는 제1 기어(130)와 제5 기어(180)의 기어비를 조절함으로써 조정 가능하다. 또한, 샤프트(120)의 자전 속도, 즉 연마 정반의 자전 속도는 내접 기어(150)와 제2 기어(140)의 기어비를 조절함으로써 조정 가능하다.On the other hand, in the rotational force supply device for a polishing machine according to the present invention, the rotation and revolution of the shaft 120 can be adjusted according to the gear ratios of the various gears. 3, the revolution speed of the shaft 120, that is, the revolution speed of the polishing platen, is adjustable by adjusting the gear ratios of the first gear 130 and the fifth gear 180. For example, In addition, the rotating speed of the shaft 120, that is, the rotating speed of the polishing platen can be adjusted by adjusting the gear ratio of the internal gear 150 and the second gear 140.

바람직하게는, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 케이스를 더 포함할 수 있다.Preferably, the rotating force supply device for a polishing machine according to the present invention may further include a case.

상기 케이스는, 내부 공간을 구비하고 있으며, 이러한 내부 공간에, 샤프트(120), 제1 기어(130), 제2 기어(140) 및 내접 기어(150)의 적어도 일부분을 수납할 수 있다. 이러한 케이스는 연마기용 회전력 공급 장치에 포함된 샤프트(120)와 여러 기어 등의 구성요소들을 외부 환경으로부터 보호하는 역할을 할 수 있다. The case has an inner space and may accommodate at least a portion of the shaft 120, the first gear 130, the second gear 140, and the internal gear 150 in the inner space. Such a case can serve to protect components such as the shaft 120 and various gears included in the rotating force supply device for a polishing machine from the external environment.

또한, 상기 케이스는, 여러 기어들의 윤활을 위한 윤활 시스템을 구비할 수 있다. 예를 들어, 상기 케이스는 윤활유를 공급하는 윤활유 공급 노즐이 구비되어, 제1 기어(130), 제2 기어(140) 및 내접 기어(150) 등으로 윤활유를 공급할 수 있다.Further, the case may have a lubrication system for lubrication of various gears. For example, the case may be provided with a lubricating oil supply nozzle for supplying lubricating oil to supply lubricating oil to the first gear 130, the second gear 140, the internal gear 150, and the like.

또한, 상기 케이스는, 내부 공간을 냉각하기 위한 냉각 시스템을 구비할 수 있다. 예를 들어, 상기 케이스는, 내부 공간으로 냉각 매체를 유입시키기 위한 냉각 매체 유입부를 구비할 수 있다.Further, the case may have a cooling system for cooling the internal space. For example, the case may include a cooling medium inlet for introducing the cooling medium into the internal space.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 연마기용 회전력 공급 장치는, 연마기에 적용되는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 연마기는, 상술한 연마기용 회전력 공급 장치를 포함할 수 있다.As described above, the rotating force supply device for a polishing machine according to the present invention is preferably applied to a polishing machine. Therefore, the abrasive machine according to the present invention may include the above-described rotation force supply device for a polishing machine.

한편, 상술한 회전력 공급 장치는, 연마기 이외에 자전 및 공전을 동시에 필요로 하는 다른 장치에 적용될 수 있다. 여기서, 상술한 회전력 공급 장치는, 전동기의 회전력에 대하여 그 속도를 감속하여 부하로 전달하는 감속기일 수 있다.On the other hand, the above-described rotational force supply device can be applied to other devices that simultaneously require rotation and revolution in addition to a polishing machine. Here, the above-mentioned rotation force supply device may be a speed reducer that decelerates the speed of rotation of the electric motor and transmits it to the load.

본 발명에 따른 감속기는, 기어 트레인으로서 전동기(110)의 회전력을 전달하며, 샤프트(120), 제1 기어(130), 제2 기어(140) 및 내접 기어(150)를 포함할 수 있다. 이러한 감속기의 각 구성은, 상술한 연마기용 회전력 공급 장치에서 설명하였으므로, 동일한 설명이 적용될 수 있는 부분에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.The speed reducer according to the present invention may transmit the rotational force of the electric motor 110 as a gear train and may include a shaft 120, a first gear 130, a second gear 140, and an internal gear 150. Since each configuration of the reducer has been described in the above-described rotating force supply device for a polishing machine, detailed description of the parts to which the same description can be applied is omitted.

상기 샤프트(120)는, 일단이 부하에 연결되어 있으며, 이때 부하는 자전 및 공전을 필요로 하는 장치일 수 있다.The shaft 120 is connected at one end to a load, at which time the load may be a device requiring rotation and revolution.

바람직하게는, 상기 감속기는, 전동기의 회전축 상에 구비되어 전동기의 회전력을 제1 기어(130)로 전달하는 제3 기어(160)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 기어(130)와 제3 기어(160) 사이에는, 제3 기어(160)의 회전력을 제1 기어(130)로 전달하는 하나 이상의 중간 기어가 더 포함될 수 있다. 여기서, 중간 기어는, 도 3의 제4 기어(170) 및 제5 기어(180)와 같이, 동일한 회전축 상에 구비된 서로 다른 잇수를 갖는 기어를 둘 이상 포함할 수 있다. 이때, 제4 기어(170)는, 제3 기어(160)에 치합되고, 제5 기어(180)는 제1 기어(130)에 치합될 수 있다.Preferably, the speed reducer further includes a third gear 160 disposed on a rotating shaft of the electric motor and transmitting the rotational force of the electric motor to the first gear 130. In this case, one or more intermediate gears may be further disposed between the first gear 130 and the third gear 160 to transmit the rotational force of the third gear 160 to the first gear 130. Here, the intermediate gear may include two or more gears having different numbers of teeth provided on the same rotation axis, such as the fourth gear 170 and the fifth gear 180 in Fig. At this time, the fourth gear 170 is engaged with the third gear 160, and the fifth gear 180 is engaged with the first gear 130.

한편, 상기 감속기에서 제1 기어(130)는, 내주면에 베어링(131)을 구비하여, 베어링(131)을 통해 샤프트(120)를 회전 가능한 상태로 편심 구속할 수 있다.The first gear 130 of the speed reducer may include a bearing 131 on the inner circumferential surface thereof to eccentrically restrain the shaft 120 through the bearing 131 in a rotatable state.

또한, 상기 감속기에서 내접 기어(150)는, 원주 방향으로 회전하지 않도록 고정될 수 있다.
Also, the internal gear 150 in the speed reducer may be fixed so as not to rotate in the circumferential direction.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be understood that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 상정반
11: 연마 패드
110: 전동기
120: 샤프트
130: 제1 기어
140: 제2 기어
150: 내접 기어
160: 제3 기어
170: 제4 기어
180: 제5 기어10: Introductory class
11: Polishing pad
110: Electric motor
120: shaft
130: first gear
140: second gear
150: Internal gear
160: Third gear
170: Fourth gear
180: fifth gear

Claims (15)

연마기의 정반을 회전시키기 위해 연마기로 회전력을 공급하는 장치에 있어서,
회전력을 생성하는 전동기;
일단이 상기 정반에 결합된 샤프트;
외주면에 이가 형성되어 상기 전동기로부터 회전력을 입력받고, 내주면에 상기 샤프트를 회전 가능한 상태로 편심 구속하는 제1 기어;
중심축이 상기 샤프트의 중심축과 일치하도록 상기 샤프트에 결합 고정되고, 외주면에 이가 형성된 제2 기어;
상기 전동기의 회전축 상에 구비되어 상기 전동기의 회전력을 상기 제1 기어로 전달하는 제3 기어;
상기 제1 기어와 상기 제3 기어 사이에 구비되어, 상기 제3 기어의 회전력을 상기 제1 기어에 전달하는 하나 이상의 중간 기어; 및
상기 제2 기어와 치합되도록 내주면에 이가 형성된 내접 기어
를 포함하며,
상기 중간 기어는, 동일한 회전축 상에 구비된 서로 다른 잇수를 갖는 제4 기어 및 제5 기어를 포함하고,
상기 제4 기어는 상기 제3 기어에 치합되고 상기 제5 기어는 상기 제1 기어에 치합되어 상기 전동기의 회전 속도를 제어하며,
상기 내접 기어는 상기 제2 기어의 이동에 따라 함께 이동하는 것을 방지하여 상기 제2 기어에 결합 고정되는 상기 샤프트의 회전력을 확보할 수 있게 원주 방향으로 회전하지 않도록 고정되는 것을 특징으로 하는 연마기용 회전력 공급 장치.An apparatus for supplying rotational force to a polishing machine for rotating a surface of a polishing machine,
An electric motor for generating a rotational force;
A shaft having one end coupled to the base;
A first gear formed on an outer circumferential surface thereof for receiving a rotational force from the electric motor and eccentrically restraining the shaft in a rotatable state on an inner circumferential surface thereof;
A second gear fixedly coupled to the shaft such that the central axis coincides with the central axis of the shaft, and the teeth formed on the outer peripheral surface;
A third gear provided on a rotating shaft of the electric motor and transmitting rotational force of the electric motor to the first gear;
At least one intermediate gear provided between the first gear and the third gear and transmitting the rotational force of the third gear to the first gear; And
An internal gear having teeth formed on an inner peripheral surface thereof to mesh with the second gear,
/ RTI >
The intermediate gear includes a fourth gear and a fifth gear having different numbers of teeth provided on the same rotation axis,
The fourth gear is engaged with the third gear, the fifth gear is engaged with the first gear to control the rotation speed of the electric motor,
Wherein the internal gear is fixed so as not to rotate in the circumferential direction so as to prevent the internal gear from moving together with the movement of the second gear and secure the rotational force of the shaft fixedly coupled to the second gear. Supply device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제3 기어는, 상기 전동기의 회전축에 직결된 별도의 회전축에 구비된 것을 특징으로 하는 연마기용 회전력 공급 장치.The method according to claim 1,
Wherein the third gear is provided on a separate rotary shaft directly connected to the rotary shaft of the electric motor. 제1항에 있어서,
상기 제1 기어는, 내주면에 베어링을 구비하여, 상기 베어링을 통해 상기 샤프트를 편심 구속하는 것을 특징으로 하는 연마기용 회전력 공급 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first gear includes a bearing on an inner peripheral surface thereof to eccentrically restrain the shaft through the bearing. 제1항에 있어서,
내부 공간을 구비하여, 상기 내부 공간에 상기 샤프트, 상기 제1 기어, 상기 제2 기어 및 상기 내접 기어의 적어도 일부분을 수납하는 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마기용 회전력 공급 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a case having an internal space and housing at least a part of the shaft, the first gear, the second gear, and the internal gear in the internal space. 삭제delete 제1항에 따른 연마기용 회전력 공급 장치를 포함하는 연마기.A grinding machine comprising a rotating force supply device for a grinding machine according to claim 1. 전동기의 회전 속도를 감속하여 부하로 전달하는 감속기에 있어서,
일단이 상기 부하에 결합된 샤프트;
외주면에 이가 형성되어 상기 전동기로부터 회전력을 입력받고, 내주면에 상기 샤프트를 회전 가능한 상태로 편심 구속하는 제1 기어;
중심축이 상기 샤프트의 중심축과 일치하도록 상기 샤프트에 결합 고정되고, 외주면에 이가 형성된 제2 기어;
상기 전동기의 회전축 상에 구비되어 상기 전동기의 회전력을 상기 제1 기어로 전달하는 제3 기어;
상기 제1 기어와 상기 제3 기어 사이에 구비되어, 상기 제3 기어의 회전력을 상기 제1 기어에 전달하는 하나 이상의 중간 기어; 및
상기 제2 기어와 치합되도록 내주면에 이가 형성된 내접 기어
를 포함하며,
상기 중간 기어는, 동일한 회전축 상에 구비된 서로 다른 잇수를 갖는 제4 기어 및 제5 기어를 포함하고,
상기 제4 기어는 상기 제3 기어에 치합되고 상기 제5 기어는 상기 제1 기어에 치합되어 상기 전동기의 회전 속도를 제어하며,
상기 내접 기어는 상기 제2 기어의 이동에 따라 함께 이동하는 것을 방지하여 상기 제2 기어에 결합 고정되는 상기 샤프트의 회전력을 확보할 수 있게 원주 방향으로 회전하지 않도록 고정되는 것을 특징으로 하는 감속기.A decelerator for decelerating a rotational speed of an electric motor and transmitting the decelerated electric power to a load,
A shaft having one end coupled to the load;
A first gear formed on an outer circumferential surface thereof for receiving a rotational force from the electric motor and eccentrically restraining the shaft in a rotatable state on an inner circumferential surface thereof;
A second gear fixedly coupled to the shaft such that the central axis coincides with the central axis of the shaft, and the teeth formed on the outer peripheral surface;
A third gear provided on a rotating shaft of the electric motor and transmitting rotational force of the electric motor to the first gear;
At least one intermediate gear provided between the first gear and the third gear and transmitting the rotational force of the third gear to the first gear; And
An internal gear having teeth formed on an inner peripheral surface thereof to mesh with the second gear,
/ RTI >
The intermediate gear includes a fourth gear and a fifth gear having different numbers of teeth provided on the same rotation axis,
The fourth gear is engaged with the third gear, the fifth gear is engaged with the first gear to control the rotation speed of the electric motor,
Wherein the internal gear is fixed so as not to rotate in the circumferential direction so as to prevent the internal gear from moving together with the movement of the second gear and secure the rotational force of the shaft fixedly coupled to the second gear. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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