KR101589244B1 - 쇼크업소버 및 이를 포함하는 챔버 - Google Patents

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KR101589244B1 KR1020150077412A KR20150077412A KR101589244B1 KR 101589244 B1 KR101589244 B1 KR 101589244B1 KR 1020150077412 A KR1020150077412 A KR 1020150077412A KR 20150077412 A KR20150077412 A KR 20150077412A KR 101589244 B1 KR101589244 B1 KR 101589244B1
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Abstract

본 발명은 쇼크업소버에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼크업소버는, 내부 공간을 가지는 바디; 상기 내부 공간에서 상기 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 헤드 및 상기 헤드에 결합되고 상기 바디의 외측으로 연장되는 로드를 가지는 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 헤드의 일측 또는 타측에 제공되는 스프링 유닛을 포함하되; 상기 헤드에는 상기 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 피스톤이 상기 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 통공을 통해 이동한다.

Description

쇼크업소버 및 이를 포함하는 챔버{Shock absorber and Chamber including the same}
본 발명은 쇼크업소버 및 이를 포함하는 챔버에 관한 것으로 보다 구체적으로는 내부에 스프링을 배치한 쇼크업소버 및 이를 포함하는 챔버에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 디스플레이와 같은 장치를 제조하는 경우, 식각, 증착 등과 같은 공정은 진공 챔버 내에서 이루어진다. 진공 챔버는 커버에 의해 상부가 개폐되는 하우징을 가진다. 커버를 폐쇄할 때, 커버가 빠르게 하강하기 때문에, 하우징과 커버의 사이로 사용자의 신체 일부가 끼어 사용자가 부상을 입는 경우가 발생하였다. 또한, 커버를 개방할 때, 커버가 필요이상으로 개방되어 다시 폐쇄하고자 할 때 사용이 불편하였다. 또한, 커버의 상부에 플라즈마 소스나 가스 공급 모듈 등이 고정설치되는 경우, 위와 같은 문제점이 더욱 크다.
본 발명은 하우징의 커버를 개폐할 때, 커버의 개폐의 편의성 및 사용자의 안전성이 향상된 수 있는 챔버를 제공하기 위한 것이다.
또한, 외력에 대해 완충 효과가 향상된 쇼크업소버를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 쇼크업소버를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 쇼크업소버는 내부 공간을 가지는 바디; 상기 내부 공간에서 상기 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 헤드 및 상기 헤드에 결합되고 상기 바디의 외측으로 연장되는 로드를 가지는 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 헤드의 일측 또는 타측에 제공되는 스프링 유닛을 포함하되; 상기 헤드에는 상기 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 피스톤이 상기 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 통공을 통해 이동한다.
일 실시예에 의하면, 상기 로드는 상기 헤드의 상기 타측 방향으로 제공되고, 상기 스프링 유닛은 상기 헤드의 상기 일측에 제공된다.
일 실시예에 의하면, 상기 로드는 상기 헤드의 상기 타측 방향으로 제공되고, 상기 스프링 유닛은 상기 헤드의 상기 타측에 제공된다.
일 실시예에 의하면, 상기 스프링 유닛은, 스프링; 상기 스프링의 일단이 결합되는 제1 플레이트; 및 상기 스프링의 타단이 결합되는 제2 플레이트를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 스프링 유닛의 양단은 자유단이다.
일 실시예에 의하면, 상기 스프링 유닛은, 일단이 상기 헤드에 결합되는 스프링; 상기 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되, 상기 플레이트는 상기 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공된다.
본 발명은 챔버를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상부가 개방된 공간을 가지는 하우징; 상기 하우징과 힌지 결합하며 회전에 의해 상기 하우징의 상기 공간을 개폐하는 커버; 및 상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며, 상기 공간을 폐쇄할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제1 쇼크업소버;를 포함하되, 상기 제1 쇼크업소버는, 내부 공간을 가지는 제1 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제1 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제1 헤드 및 상기 제1 헤드에 결합되고 상기 제1 바디의 외측으로 연장되는 제1 로드를 가지는 제1 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제1 헤드의 일측에 제공되는 제1 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제1 헤드에는 상기 제1 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제1 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제1 피스톤이 상기 제1 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제1 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제1 통공을 통해서 이동한다.
일 실시예에 의하면, 상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며, 상기 공간을 개방할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제2 쇼크업소버;를 더 포함하되, 상기 제2 쇼크업소버는, 내부 공간을 가지는 제2 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제2 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제2 헤드 및 상기 제2 헤드에 결합되고 상기 제2 바디의 외측으로 연장되는 제2 로드를 가지는 제2 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제2 헤드의 타측에 제공되는 제2 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제2 헤드에는 상기 제2 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제2 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제2 피스톤이 상기 제2 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제2 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제2 통공을 통해서 이동한다.
일 실시예에 의하면, 상기 하우징은, 상기 커버와 힌지 결합하는 제1 벽, 상기 제1 벽의 양단으로부터 각각 상기 제1 벽과 소정 각도로 연장되는 제2 벽 및 제3 벽을 포함하되, 상기 제1 쇼크업소버는 상기 제2 벽 및 상기 커버와 결합하고,상기 제2 쇼크업소버는 상기 제3 벽 및 상기 커버와 결합한다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 스프링 유닛은, 제1 스프링; 상기 제1 스프링의 일단이 결합되는 제1 플레이트; 및 상기 제1 스프링의 타단이 결합되는 제2 플레이트를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 스프링 유닛은, 제1 스프링; 상기 제1 스프링의 일단이 결합되는 제1 플레이트; 및 상기 제1 스프링의 타단이 결합되는 제2 플레이트를 포함하고, 상기 제2 스프링 유닛은, 제2 스프링; 상기 제2 스프링의 일단이 결합되는 제3 플레이트; 및 상기 제2 스프링의 타단이 결합되는 제4 플레이트를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 스프링 유닛은, 일단이 제1 헤드에 결합되는 제1 스프링; 상기 제1 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되, 상기 플레이트는 상기 제1 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공된다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 스프링 유닛은, 일단이 제1 헤드에 결합되는 제1 스프링; 상기 제1 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되, 상기 플레이트는 상기 제1 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공되고, 상기 제2 스프링 유닛은, 일단이 제2 헤드에 결합되는 제2 스프링; 상기 제2 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되, 상기 플레이트는 상기 제2 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공된다.
일 실시예에 의하면, 상부가 개방된 공간을 가지고, 제1 벽, 제2 벽 및 제3 벽을 포함하는 하우징; 상기 하우징과 힌지 결합하며 회전에 의해 상기 하우징의 상기 공간을 개폐하는 커버; 상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며 상기 공간을 폐쇄할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제1 쇼크업소버; 및 상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며 상기 공간을 개방할 대, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제2 쇼크업소버;를 포함하되, 상기 제1 벽은 상기 커버와 힌지 결합하고, 상기 제2 벽 및 상기 제3 벽은 상기 제1 벽의 양측으로부터 각각 상기 제1 벽과 소정 각도로 연장되며, 상기 제1 쇼크업소버는 상기 제2 벽 및 상기 커버와 결합하고, 상기 제2 쇼크업소버는 상기 제3 벽 및 상기 커버와 결합한다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 쇼크업소버는, 내부에 공간을 가지는 제1 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제1 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제1 헤드 및 상기 제1 헤드에 결합되고 상기 제1 바디의 외측으로 연장되는 제1 로드를 가지는 제1 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제1 헤드의 일측에 제공되는 제1 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제1 헤드에는 상기 제1 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제1 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제1 피스톤이 상기 제1 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제1 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제1 통공을 통해서 이동한다.
일 실시예에 의하면, 상기 제2 쇼크업 소버는, 내부 공간을 가지는 제2 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제2 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제2 헤드 및 상기 제2 헤드에 결합되고 상기 제2 바디의 외측으로 연장되는 제2 로드를 가지는 제2 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제2 헤드의 타측에 제공되는 제2 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제2 헤드에는 상기 제2 헤드의 상기 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제2 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제2 피스톤이 상기 제2 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제2 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제2 통공을 통해서 이동한다.
일 실시예에 의하면, 상기 커버의 상면에는 상기 커버에 고정되는 고정모듈을 더 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정모듈은 가스 공급 모듈 또는 플라즈마 소스 모듈이다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정모듈은 상기 커버보다 더 무겁다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 외력에 대한 쇼크업소버의 완충 효과를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 챔버의 커버를 개폐시에, 사용의 편의성 및 안정성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼크업소버를 도시한 단면도이다.
도 2와 도 3은 각각 도 1의 쇼크업소버에 대한 변형예를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 쇼크업소버를 도시한 단면도이다.
도 5와 도 6은 각각 도 4의 쇼크업소버에 대한 변형예를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버를 도시한 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시한 챔버의 폐쇄단계를 나타낸 도면이다.
도 9 내지 도 12는 도 8에 도시한 챔버의 폐쇄단계에 따른 제1 쇼크업쇼버를 도시한 도면이다.
도 13은 도 7에 도시한 챔버의 개방단계를 나타낸 도면이다.
도 14 내지 도 17은 도 13에 도시한 챔버의 개방단계에 따른 제2 쇼크업소버를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼크업소버(100)를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 쇼크업소버(100)는 바디(110), 피스톤(120), 그리고 스프링 유닛(130)을 포함한다.
바디(110)는 후술하는 피스톤(120), 스프링 유닛(130)이 배치되는 공간을 제공한다. 바디(110)는 내부 공간을 가진다. 바디(110)는 실린더 형상으로 제공될 수 있다. 바디(110)는 제1 면(112), 제2 면(114), 그리고 측면을 가진다. 제1 면(112)과 제2 면(114)은 그 길이방향을 따라 서로 이격되고, 마주보게 제공된다. 제1 면(112)은 폐쇄되도록 제공되고, 제2 면(114)은 일부 개방되도록 제공된다. 제2 면(114)의 일부 개방된 공간에는 후술하는 로드(124)가 관통한다.
바디(110)는 내부공간에 유체를 포함할 수 있다. 상기 유체는 가스일 수 있다. 유체는 질소(N2) 가스일 수 있다. 선택적으로, 유체는 액체일 수 있다.
피스톤(120)은 헤드(122)와 로드(124)를 포함한다. 헤드(122)는 바디(110)의 내부 공간에서 바디(110)의 길이방향으로 이동가능하게 제공된다. 헤드(122)는 원판 또는 원기둥 형상일 수 있다. 헤드(122)의 직경은 바디(110)의 직경에 대응될 수 있다. 헤드(122)에는 헤드(122)의 일측과 타측간에 유체가 이동할 수 있도록 1이상의 통공(140)이 형성된다. 통공(140)은 헤드(122)를 관통하도록 형성된다.
로드(124)는 바디(110)의 제2 면(114)을 관통하여 외측으로 연장된다. 로드(124)는 헤드(122)에 고정결합된다. 로드(124)는 헤드(122)의 중심부에 결합할 수 있다. 통공(14)은 로드(124)를 둘러싸게 형성되며, 통공(14)들은 서로 조합되어 환형의 링을 이루도록 배치될 수 있다.
스프링 유닛(130)은 스프링(132), 제1 플레이트(136) 및 제2 플레이트(138)를 포함할 수 있다. 스프링 유닛(130)은 피스톤(120)의 이동속도를 감소시킨다. 스프링(132)은 용수철일 수 있다. 다만 이에 한하지 않고, 판스프링 등의 모든 종류의 스프링이 적용될 수 있다. 스프링 유닛(130)은 헤드(122)를 사이에 두고 로드(124)와 서로 반대 방향에 제공될 수 있다. 예를 들어, 스프링 유닛(130)은 헤드(122)의 일측 방향에 제공되고, 로드(124)는 헤드(122)의 타측 방향에 제공될 수 있다. 헤드(122)의 일측 방향은 헤드(122)로부터 바디(110)의 제1 면(112)을 향한 방향이고, 헤드(124)의 타측 방향은 헤드(122)로부터 바디(110)의 제2 면(114)을 향한 방향이다. 스프링 유닛(130)의 양단은 자유단일 수 있다. 따라서, 스프링 유닛(130)은 바디(110)의 내부에 삽입되어 바디(110)의 길이방향을 따라 자유롭게 이동할 수 있다.
제1 플레이트(136)는 헤드(122)에 의한 외력이 스프링(132)에 균일하게 분산되도록 한다. 제2 플레이트(138)는 스프링 유닛(130)의 이동이 원활하게 이루어지도록 한다. 제1 플레이트(136) 및 제2 플레이트(138)는 모두 바디(110)의 길이방향을 따라 자유롭게 이동할 수 있도록 자유단으로 제공될 수 있다.
스프링(132)의 일단은 제1 플레이트(136)에 결합하고, 스프링(132)의 타단은 제2 플레이트(138)와 결합된다. 선택적으로, 제1 플레이트(136)는 헤드(122)와 결합할 수 있다. 제1 플레이트(136)는 헤드(122)에 고정될 수 있다. 제1 플레이트(136) 및 제2 플레이트(138)의 직경은 헤드(122) 및 바디(110)의 직경에 대응될 수 있다.
이와 달리, 도시하지는 않았으나, 제1 플레이트(136)가 스프링(132)의 일단에만 결합하고, 제2 플레이트(138)는 스프링(132)의 타단 및 바디(110)의 제1 면(112)에 결합할 수 있다.
아래에서는, 쇼크업소버(100)의 작동과정을 설명한다.
헤드(122)와 제1 면(112)의 사이공간에는 질소(N2) 가스와 같은 유체가 채워진다. 외력은 바디(110)의 외부로부터 가해질 수 있다. 이때의 외력은, 헤드(122)의 타측 방향에서 일측 방향을 향해 가압하는 힘일 수 있다.
헤드(122) 및 헤드(122)와 결합된 스프링 유닛(130)은 제1 면(112)을 향해 빠르게 이동한다. 스프링 유닛(130)이 제1 면(112)에 접촉하면, 스프링(132)이 압축되고, 스프링(132)의 탄성복원력에 의해 피스톤(120)의 이동속도가 감소한다. 스프링(132)의 탄성복원력은 압축된 길이에 비례하므로, 피스톤(120)의 이동거리에 비례하여 탄성복원력이 커지고, 피스톤(120)의 이동속도는 점진적으로 더 감소한다. 또한, 헤드(122)와 스프링 유닛(130)이 이동하면, 헤드(122)는 유체의 저항을 받고, 유체가 통공(140)을 통해 이동한다. 따라서, 유체도 피스톤(120)의 이동속도를 감소시킨다.
도 2는 도 1의 쇼크업소버(100)의 변형예를 보여준다. 도 2를 참조하면, 제1 플레이트(136)와 제2 플레이트(138) 중 어느 하나는 생략될 수 있다. 아래에서 플레이트(134)는 제1 플레이트(136) 또는 제2 플레이트(138)를 지칭한다. 예를 들어, 스프링(132)의 일단은 헤드(122)에 결합할 수 있다. 스프링(132)의 일단은 헤드(122)에 고정될 수 있다. 스프링(132)의 타단은 플레이트(134)가 결합할 수 있다.
도 3은 도 1의 쇼크업소버(100)의 다른 변형예를 보여준다. 도 3을 참조하면, 제1 플레이트(136)와 제2 플레이트(138)가 모두 생략될 수 있다. 예를 들어, 스프링(132)의 일단은 헤드(122)에 결합할 수 있다. 이때, 스프링(132)의 타단은 바디(110)의 길이방향으로 이동가능하도록 자유단으로 제공될 수 있다. 또는, 스프링(132)의 일단이 바디(110)의 길이방향으로 이동가능하도록 자유단으로 제공되고, 스프링(132)의 타단은 바디(110)의 제1 면(112)에 결합할 수 있다.
도 4는 다른 실시예에 따른 쇼크업소버(200)을 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상술한 바와 달리, 쇼크업소버(200)의 스프링 유닛(230)은 헤드(222)를 기준으로 로드(224)와 같은 방향에 제공될 수 있다. 예를 들어, 스프링 유닛(230)과 로드(224)는 모두 헤드(222)의 타측 방향에 제공될 수 있다. 여기서, 헤드(222)의 타측 방향은 헤드(222)로부터 바디(210)의 제2 면(214)을 향한 방향을 지칭한다. 이를 제외하고, 상술한 쇼크업소버(100)와 동일하거나 유사하게 구성이 제공될 수 있다.
아래에서는, 쇼크업소버(200)의 작동과정을 설명한다.
헤드(222)와 제1 면(212)의 사이공간에는 질소(N2) 가스와 같은 유체가 채워진다. 외력은 바디(110)의 외부로부터 가해질 수 있다. 이때의 외력은, 헤드(222)의 타측방향으로부터 잡아당기는 힘일 수 있다.
헤드(222) 및 헤드(222)와 결합된 스프링 유닛(230)은 제2 면(214)을 향해 빠르게 이동한다. 스프링 유닛(230)이 제2 면(214)에 접촉하면, 스프링(232)이 압축되고, 스프링(232)의 탄성복원력에 의해 피스톤(220)의 이동속도가 감소한다. 스프링(232)의 탄성복원력은 압축된 길이에 비례하므로, 피스톤(220)의 이동거리에 비례하여 탄성복원력이 커지고, 피스톤(220)의 이동속도는 점진적으로 더 감소한다. 또한, 헤드(222)와 스프링 유닛(230)이 이동하면, 헤드(222)는 유체의 저항을 받고, 유체가 통공(240)을 통해 이동한다. 따라서, 유체도 피스톤(220)의 이동속도를 감소시킨다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 다른 챔버(300)를 보여주는 사시도이다. 일 예에서, 챔버(300)는 반도체 기판을 처리하는 공정을 수행하는 챔버(300)일 수 있다. 기판을 처리하는 공정은 식각, 증착, 에싱 등의 공정일 수 있다.
도 7을 참조하면, 챔버(300)는 하우징(310), 커버(320), 고정모듈(330), 제1 쇼크업소버(100) 및 제2 쇼크업소버(200)를 포함한다.
하우징(310)은 상부가 개방된다. 하우징(310)은 내부 공간을 가진다. 도시하지는 않았으나, 하우징(310)의 내부 공간에는 복수의 유닛들이 제공될 수 있다. 예를 들어, 기판을 지지하는 지지 유닛, 가스를 공급하는 가스 공급 유닛, 가스를 배기하는 배기 유닛, 기판을 가열하는 가열 유닛, 챔버의 내벽을 보호하는 라이너 유닛을 포함할 수 있다.
하우징(310)은 제1 벽(312), 제2 벽(314), 제3 벽(316), 제4 벽(318), 그리고 바닥벽을 포함할 수 있다. 제1 벽(312) 내지 제4 벽(318)은 측벽으로 제공된다. 제1 벽(312)은 후술하는 커버(320)와 힌지 결합할 수 있다. 제2 벽(314)과 제3 벽(316)은 제1 벽(312)의 양단으로부터 각각 제1 벽(312)과 소정각도로 연장되어 형성할 수 있다. 제2 벽(314)과 제3 벽(316)은 제1 벽(312)과 수직을 이룰 수 있다. 제2 벽(314)의 말단과 제3 벽(316)의 말단 사이에는 제4 벽(318)이 제공될 수 있다. 하우징(310)은 제1 벽(312), 제2 벽(314), 제3 벽(316) 및 제4 벽(318)으로 측면이 둘러싸여 제공될 수 있다. 제1 벽(312)과 제4 벽(318)이 마주보고, 제2 벽(314)과 제3 벽(316)이 마주보도록 제공될 수 있다.
커버(320)는 하우징(310)의 제1 벽(312)의 상부와 힌지 결합하여 회전에 의해 하우징(310)의 공간을 개폐한다. 커버(320)의 면적은 하우징(310) 상부의 면적과 대응되도록 제공될 수 있다.
고정모듈(330)은 커버(320)의 상면에 제공되어, 커버(320)에 고정될 수 있다. 고정모듈(330)은 가스 공급 모듈 또는 플라즈마 소스일 수 있다. 고정모듈(330)은 커버(320)보다 무거울 수 있다.
제1 쇼크업소버(100)는 상술한 쇼크업소버(100)와 구성이 동일하게 제공될 수 있다. 제1 쇼크업소버(100)는 커버(320) 및 하우징(310)의 제2 벽(314)과 결합할 수 있다. 피스톤(120)은 커버(320)에 결합되고, 바디(110)가 제2 벽(314)에 결합될 수 있다. 제1 면(112)이 제2 벽(314)에 인접하도록 결합하고, 제2 면(114)이 커버(320)에 인접하도록 결합될 수 있다.
제1 쇼크업소버(100)는 커버(320)가 하우징(310)의 공간을 폐쇄할 때, 커버(320)의 회전속도를 감소시킨다. 폐쇄되더라도, 제1 스프링 유닛(130)이 최대한 압축된 길이만큼 커버(320)와 하우징(310)의 상부가 이격될 수 있다. 따라서, 커버(320)를 폐쇄할 때, 사용자의 손가락 등이 커버(320)와 하우징(310) 상부의 사이로 끼어 부상을 입는 것을 방지하고, 안전성을 담보할 수 있다. 그후, 별도의 잠금장치(미도시)를 이용하여, 하우징(310)을 완전히 밀폐할 수 있다. 커버(320)가 폐쇄될 때, 유체는 헤드(122)의 일측으로부터 타측으로 이동한다. 커버(320)가 개방될 때, 유체는 다시 헤드(122)의 타측으로부터 일측으로 이동한다.
제2 쇼크업소버(200)는 상술한 쇼크업소버(200)과 구성이 동일하게 제공될 수 있다. 제2 쇼크업소버(200)는 커버(320) 및 하우징(310)의 제3 벽(316)과 결합할 수 있다. 제2 쇼크업소버(200)는 제1 쇼크업소버(100)와 서로 마주보도록 제공될 수 있다. 피스톤(220)은 커버(320)에 결합되고, 바디(210)가 제3 벽(316)에 결합될 수 있다. 제1 면(212)이 제3 벽(316)에 인접하도록 결합하고, 제2 면(214)이 커버(320)에 인접하도록 결합될 수 있다.
제2 쇼크업소버(200)는 하우징(310)의 공간을 개방할 때, 커버(320)의 회전속도를 감소시키고, 일정시점에서 커버(320)를 정지시킨다. 최대로 압축된 제2 스프링 유닛(230)의 길이만큼 종래보다 적게 커버(320)가 개방될 수 있다. 커버(320)가 제2 벽(314) 및 제3 벽(316)과 형성하는 각도가 90도보다 작을 수 있다. 커버(320)의 높이를 종래보다 낮은 상태에서 멈추도록 할 수 있다. 이후에 커버(320)를 폐쇄할 때, 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다. 커버(320)가 개방될 때, 유체는 헤드(222)의 타측으로부터 일측으로 이동한다. 커버(320)가 폐쇄될 때, 유체는 다시 헤드(222)의 일측으로부터 타측으로 이동한다.
도 8은 챔버(300)의 폐쇄단계를 도시한 도면이고, 도 9 내지 도 12는 챔버(320)의 폐쇄 단계에 따른 제1 쇼크업소버(100)를 도시한 도면이다. 화살표의 길이는 각 단계의 커버(320) 폐쇄속도 또는 피스톤(120)의 이동속도의 상대적인 크기를 나타낸 것이다. 음영 표시는 N2(질소)가스와 같은 유체를 나타낸 것이다.
커버(320)의 폐쇄가 시작될 때에는 폐쇄 속도가 빠르고, 피스톤(120)의 이동속도도 빠르다. 스프링 유닛(130)이 바디(110)의 제1 면(112)에 접촉할 때까지 폐쇄 속도는 빠르게 진행된다. 스프링 유닛(130)이 제1 면(112)에 접촉했을 때부터, 스프링(132)의 탄성복원력이 작용한다. 탄성복원력의 크기는 피스톤(120)의 이동거리, 즉 스프링(132)의 압축길이에 비례하므로, 탄성복원력의 크기는 점차 커지게 되어 커버(320)의 폐쇄속도가 점차 느려진다. 커버(320)의 폐쇄속도는 더욱 느려지고, 스프링(132)의 탄성복원력과 커버(320) 및 고정모듈(330)의 하중이 같아지는 시점, 또는 스프링(132)이 최대로 압축된 시점에서 피스톤(120) 및 커버(320)는 정지한다.
도 13은 챔버(300)의 개방단계를 도시한 도면이고, 도 14 내지 도 17은 챔버(320)의 개방 단계에 따른 제2 쇼크업소버(200)를 도시한 도면이다. 화살표의 길이는 각 단계의 커버(320) 개방속도 또는 피스톤(220) 이동속도의 상대적인 크기를 나타낸 것이다. 음영 표시는 N2(질소)가스와 같은 유체를 나타낸 것이다.
커버(320)의 개방이 시작될 때에는 개방 속도가 빠르고, 피스톤(220)의 이동속도도 빠르다. 스프링 유닛(130)이 바디(210)의 제2 면(214)에 접촉할 때까지 개방 속도는 빠르게 진행된다. 스프링 유닛(230)이 제2 면(214)에 접촉했을 때부터, 스프링(132)의 탄성복원력이 작용한다. 탄성복원력의 크기는 피스톤(120)의 이동거리, 즉 스프링(132)의 압축길이에 비례하므로, 탄성복원력의 크기는 점차 커지게 되어 커버(320)의 개방속도가 느려진다. 도 13을 참조하면, 커버(320)의 개방속도는 더욱 느려지고, 일정 시점에서 피스톤(120) 및 커버(320)는 정지한다.
상술한 예에서는 제1 쇼크업소버(100)와 제2 쇼크업소버(200)가 커버(320)의 양측에 각각 결합되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리, 제1 쇼크업소버(100) 및 제2 쇼크업소버(200) 중 어느 하나는 생략될 수 있다. 또는, 커버(320)의 양측 모두에 제1 쇼크업소버(100)가 결합될 수 있다. 또는, 커버(320)의 양측 모두에 제2 쇼크업소버(200)가 결합될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100, 200: 쇼크업소버 110: 바디
120: 피스톤 130: 스프링 유닛
300: 챔버 310: 하우징
320: 커버

Claims (19)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 상부가 개방된 공간을 가지는 하우징;
    상기 하우징과 힌지 결합하며 회전에 의해 상기 하우징의 상기 공간을 개폐하는 커버;
    상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며, 상기 공간을 폐쇄할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제1 쇼크업소버;
    상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며, 상기 공간을 개방할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제2 쇼크업소버;를 포함하되,
    상기 제1 쇼크업소버는,
    내부 공간을 가지는 제1 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제1 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제1 헤드 및 상기 제1 헤드에 결합되고 상기 제1 바디의 외측으로 연장되는 제1 로드를 가지는 제1 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제1 헤드의 일측에 제공되는 제1 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제1 헤드에는 상기 제1 헤드의 상기 일측과 타측 간에 유체가 이동하는 제1 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제1 피스톤이 상기 제1 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제1 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제1 통공을 통해서 이동하고,
    상기 제2 쇼크업소버는,
    내부 공간을 가지는 제2 바디; 상기 내부 공간에서 상기 제2 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제2 헤드 및 상기 제2 헤드에 결합되고 상기 제2 바디의 외측으로 연장되는 제2 로드를 가지는 제2 피스톤; 및 상기 내부 공간에서 상기 제2 헤드의 타측에 제공되는 제2 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제2 헤드에는 상기 제2 헤드의 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제2 통공이 형성되고, 외력에 의해 상기 제2 피스톤이 상기 제2 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제2 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제2 통공을 통해서 이동하며,
    상기 커버의 상면에는 상기 커버에 고정되는 고정모듈을 포함하되, 상기 고정모듈은 상기 커버보다 더 무겁게 제공되고,
    상기 커버가 폐쇄되면, 상기 제1 스프링 유닛이 압축된 길이만큼 상기 커버와 상기 하우징의 상부가 이격되는 챔버.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 하우징은,
    상기 커버와 힌지 결합하는 제1 벽, 상기 제1 벽의 양단으로부터 각각 상기 제1 벽과 소정 각도로 연장되는 제2 벽 및 제3 벽을 포함하되,
    상기 제1 쇼크업소버는 상기 제2 벽 및 상기 커버와 결합하고,
    상기 제2 쇼크업소버는 상기 제3 벽 및 상기 커버와 결합하는 챔버.
  10. 제7항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 스프링 유닛은,
    제1 스프링;
    상기 제1 스프링의 일단이 결합되는 제1 플레이트; 및
    상기 제1 스프링의 타단이 결합되는 제2 플레이트를 포함하는 챔버.
  11. 제7항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 스프링 유닛은,
    제1 스프링;
    상기 제1 스프링의 일단이 결합되는 제1 플레이트; 및
    상기 제1 스프링의 타단이 결합되는 제2 플레이트를 포함하고,
    상기 제2 스프링 유닛은,
    제2 스프링;
    상기 제2 스프링의 일단이 결합되는 제3 플레이트; 및
    상기 제2 스프링의 타단이 결합되는 제4 플레이트를 포함하는 챔버.
  12. 제7항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 스프링 유닛은,
    일단이 제1 헤드에 결합되는 제1 스프링;
    상기 제1 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되,
    상기 플레이트는 상기 제1 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공되는 챔버.
  13. 제7항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 스프링 유닛은,
    일단이 제1 헤드에 결합되는 제1 스프링;
    상기 제1 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되,
    상기 플레이트는 상기 제1 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공되고,
    상기 제2 스프링 유닛은,
    일단이 제2 헤드에 결합되는 제2 스프링;
    상기 제2 스프링의 타단에 결합된 플레이트를 구비하되,
    상기 플레이트는 상기 제2 바디의 길이방향을 따라서 이동가능하게 제공되는 챔버.
  14. 상부가 개방된 공간을 가지고, 제1 벽, 제2 벽 및 제3 벽을 포함하는 하우징;
    상기 하우징과 힌지 결합하며 회전에 의해 상기 하우징의 상기 공간을 개폐하는 커버;
    상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며 상기 공간을 폐쇄할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제1 쇼크업소버; 및
    상기 하우징 및 상기 커버와 결합되며 상기 공간을 개방할 때, 상기 커버의 회전 속도를 완충하는 제2 쇼크업소버;를 포함하되,
    상기 제1 벽은 상기 커버와 힌지 결합하고, 상기 제2 벽 및 상기 제3 벽은 상기 제1 벽의 양측으로부터 각각 상기 제1 벽과 소정 각도로 연장되며,
    상기 제1 쇼크업소버는 상기 제2 벽 및 상기 커버와 결합하고,
    상기 제2 쇼크업소버는 상기 제3 벽 및 상기 커버와 결합하며,
    상기 제1 쇼크업소버는,
    내부에 공간을 가지는 제1 바디;
    상기 내부 공간에서 상기 제1 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제1 헤드 및 상기 제1 헤드에 결합되고 상기 제1 바디의 외측으로 연장되는 제1 로드를 가지는 제1 피스톤; 및
    상기 내부 공간에서 상기 제1 헤드의 일측에 제공되는 제1 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제1 헤드에는 상기 제1 헤드의 상기 일측과 타측 간에 유체가 이동하는 제1 통공이 형성되고,
    외력에 의해 상기 제1 피스톤이 상기 제1 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제1 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제1 통공을 통해서 이동하는 챔버.
    상기 제2 쇼크업 소버는,
    내부에 공간을 가지는 제2 바디;
    상기 내부 공간에서 상기 제2 바디의 길이방향으로 이동가능하게 제공되는 제2 헤드 및 상기 제2 헤드에 결합되고 상기 제2 바디의 외측으로 연장되는 제2 로드를 가지는 제2 피스톤; 및
    상기 내부 공간에서 상기 제2 헤드의 타측에 제공되는 제2 스프링 유닛을 포함하되, 상기 제2 헤드에는 상기 제2 헤드의 일측과 상기 타측 간에 유체가 이동하는 제2 통공이 형성되고,
    외력에 의해 상기 제2 피스톤이 상기 제2 바디의 길이방향을 따라 이동할 때 상기 제2 헤드의 이동은 상기 유체에 의해 저항을 받고, 상기 유체는 상기 제2 통공을 통해서 이동하며,
    상기 커버의 상면에는 상기 커버에 고정되는 고정모듈을 포함하되, 상기 고정모듈은 상기 커버보다 더 무겁게 제공되고,
    상기 커버가 폐쇄되면, 상기 제1 스프링 유닛이 압축된 길이만큼 상기 커버와 상기 하우징의 상부가 이격되는 챔버.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 제7항, 제9항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정모듈은 가스 공급 모듈 또는 플라즈마 소스 모듈인 챔버.


  19. 삭제
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