KR101588690B1 - 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치 및 제어방법 - Google Patents

고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치 및 제어방법 Download PDF

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박형달
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Abstract

본 발명은 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치에 관한 것으로, 고주파 파워를 발생하는 마그네트론(110)과, 마그네트론이 발생하는 고주파 파워의 주파수를 조절하는 주파수조정용 가변저항(120)과, 양측 출력 축 중 어느 한쪽의 출력 축에 주파수조정용 가변저항이 결합하며, 주파수조정용 가변저항을 구동하는 스테핑 모터(140)와, 일정 전압을 갖는 전압 원 사이에 접속되고, 스테핑 모터의 다른 쪽 출력 축에 결합하여, 주파수조정용 가변저항과 연동하여 저항값이 가변되어 전압 원의 전압을 강하시키는 위치인식용 가변저항(130)과, 위치인식용 가변저항에 의해 강하된 전압으로부터 주파수조정용 가변저항의 현재 위치를 확인하고, 확인된 현재위치를 참조하여 스테핑 모터의 구동을 제어하는 제어부(150)를 포함한다.

Description

고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치 및 제어방법{FREQUENCY CONTROL APPARATUS AND METHOD FOR MAGNETRON IN RF ELECTRON ACCELERATOR}
본 발명은 고주파 전자가속기의 마그네트론의 주파수를 제어하는 제어장치 및 제어방법에 관한 것으로, 특히, 상기 마그네트론에 인가되는 전원의 주파수를 조정하는 주파수 조정용 가변저항을 원격에서 제어하는 제어장치 및 제어방법에 관한 것이다.
고 에너지를 갖는 전자빔을 만드는 장치인 고주파 전자가속기는 각종 산업분야를 비롯하여 의학분야, 방사광 연구분야 등 다양한 분야에서 이용되고 있다.
이와 같은 고주파 전자가속기는 예를 들어 1,000㎒에서 20㎓ 사이의 공진 주파수에 가까운 주파수의 고주파(마이크로파) 공급원으로부터 공급되는 고주파 파워에 의해 여기되며, 이와 같은 고주파 공급원으로는 마그네트론(Magnetron) 또는 클라이스트론(Klystron)이 이용된다.
고주파 전자가속기에서는 고주파 공급원으로부터 공급되는 파워에 의해 공동(cavity) 내에 형성되는 전계(Electric Field)에 의해서 전자가 가속되게 된다. 이때, 고주파 전자가속기에 공급되는 고주파 파워의 공진 주파수와 고주파 전자가속기의 공동 내의 공진 주파수가 일치할 때 전자가속기의 출력이 최대가 된다.
그러나 전자가속기는 전자빔의 인출과정이나 주위 온도 및 압력 등의 다양한 요인에 의해 공진 주파수가 변하며, RF 파워로부터는 전자가속기의 공진 주파수에 맞추어서 전력을 공급함에도 불구하고 전자가속기의 공진 주파수와 RF 파워의 공진 주파수가 일치하지 않아서 공급되는 RF 파워가 전부 전자가속기로 전달되지 못하는 경우가 발생하며, 그 결과 전자가속기의 출력이 저하한다는 문제가 있다.
이와 같은 문제의 해결책으로 자동 주파수 제어장치가 제안되어 있다(특허문헌 1). 도 1은 종래의 고주파 전자가속기의 자동 주파수 제어장치를 나타내는 회로도이다.
도 1에 도시하는 것과 같이, 종래의 고주파 전자가속기의 자동 주파수 제어장치는 RF 발생기에서 전자가속기로 공급되는 RF 파워 입력 중 특정 주파수대역만을 통과시키는 제 1 대역통과필터(10a)와, 전자가속기로부터 반사되는 역방향 신호 입력 중 특정 주파수 대역만을 통과시키는 제 2 대역통과필터(10b)와, 제 1 대역통과필터(10a)를 통과한 신호의 위상차를 보상하는 위상 천이부(30)와, 위상 천이부(30) 및 제 2 대역통과필터(10b)를 통과한 각 신호의 위상을 측정하는 위상 검출부(50)와, 위상 천이부(30) 및 제 2 대역통과필터(10b)를 통과한 신호 간의 주파수 차이를 측정하는 주파수 검출부(60) 및 위상 검출부(50)와 주파수 검출부(60)로부터 측정된 값을 알고리즘을 통해 이진화하여 공진 주파수의 Up/Down을 선택하고 이를 바탕으로 RF 발생기에서 출력되는 RF 파워의 공진 주파수를 보정하는 제어부(70)를 포함한다.
일반적으로 고주파 전자가속기의 주파수 조정은 자동 조정과 함께 경우에 따라서는 수동으로도 이루어질 필요가 있으나, 특허문헌 1에서는 자동으로 조정하는 방안만이 제시되어 있을 뿐, 수동 조정은 불가능하다는 문제가 있다.
한편, 종래의 고주파 전자가속기에서는 마그네트론과 같은 고주파 공급원에서 발생하는 주파수의 조정에는 가변저항이 이용되며, 이와 같은 종래의 방법에서는 원격에 위치하는 가변저항이 현재 어느 위치로 조정되어 있는가를 알 수 없으므로 마그네트론이 발생하는 주파수의 원격 모니터링에 의한 주파수 모니터신호를 참고하여 자동 또는 수동으로 가변저항을 조정할 수밖에 없고, 또, 이와 같은 조정과정에서도 정확한 리미트 설정이 어려우므로 과도하게 가변저항을 조작함에 따른 물리적 충격 등에 의해 가변저항의 수명이 저하하는 등의 문제가 있었다.
특허문헌 1 : 등록특허 10-1449610호 공보(2014. 10. 13. 공고)
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로, 마그네트론이 발생하는 주파수를 조정하는 주파수 조정용 가변저항의 조정위치를 원격에서도 인식할 수 있도록 함으로써 특정 주파수에 대한 주파수 조정용 가변저항의 조정위치를 직접 지정하여 제어할 수 있는 동시에 자동 또는 수동에 의한 주파수 조정 시에 상기 인식된 가변저항의 조정위치에 의해 리미트 설정이 가능한 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 원격제어장치 및 제어방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치는, 고주파 파워를 발생하는 마그네트론과, 상기 마그네트론이 발생하는 상기 고주파 파워의 주파수를 조절하는 주파수조정용 가변저항과, 양측 출력 축 중 어느 한쪽의 출력 축에 상기 주파수조정용 가변저항이 결합하며, 상기 주파수조정용 가변저항을 구동하는 스테핑 모터와, 일정 전압을 갖는 전압 원 사이에 접속되고, 상기 스테핑 모터의 다른 쪽 출력 축에 결합하여, 상기 주파수조정용 가변저항과 연동하여 저항값이 가변되어 상기 전압 원의 전압을 강하시키는 위치인식용 가변저항과, 상기 위치인식용 가변저항에 의해 강하된 전압으로부터 상기 주파수조정용 가변저항의 현재 위치를 확인하고, 확인된 상기 현재위치를 참조하여 상기 스테핑 모터의 구동을 제어하는 제어부를 포함한다.
바람직하게는, 상기 제어부와 접속되는 제어용 컴퓨터를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 제어용 컴퓨터로부터 수신하는 제어명령에 의해 상기 스테핑 모터의 구동을 제어한다.
바람직하게는, 상기 제어부는 상기 스테핑 모터를 제어하는 제어명령을 발생시키는 수동제어부를 더 포함한다.
바람직하게는, 상기 수동제어부에 의한 상기 스테핑 모터의 제어는 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 한 단계씩 증가 또는 감소시키도록 상기 스테핑 모터를 제어하는 스텝제어, 또는, 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 미리 정해진 저항값으로 증가 또는 감소시키도록 상기 스테핑 모터를 제어하는 설정제어 중 어느 하나이다.
또, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어방법은, 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어방법으로, 상기 마그네트론이 발생하는 고주파 파워의 주파수가 고주파 전자가속기가 최대 출력을 내기에 적절한 주파수인가를 판단하는 단계와, 상기 고주파 파워의 주파수가 상기 적절한 주파수가 아닌 것으로 판단하면 상기 고주파 파워의 주파수를 조절하는 주파수조정용 가변저항의 저항값을 조정하는 단계를 포함하며, 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 조정하는 단계에서는 상기 주파수조정용 가변저항의 조정 전의 위치를 확인하고, 확인된 상기 조정 전의 위치를 참조하여 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 조정한다.
본 발명에 의하면 마그네트론이 발생하는 주파수를 조정하는 주파수 조정용 가변저항의 조정위치를 원격에서도 인식할 수 있도록 함으로써 특정 주파수에 대한 주파수 조정용 가변저항의 조정위치를 직접 지정하여 제어할 수 있는 동시에 자동 또는 수동에 의한 주파수 조정 시에 상기 인식된 가변저항의 조정위치에 의해 리미트 설정이 가능하다.
도 1은 종래의 고주파 전자가속기의 자동 주파수 제어장치를 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시형태의 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시형태의 고주파 전자가속기의 주파수 제어장치를 나타내는 도면이다.
도 2에 도시하는 것과 같이, 본 실시형태의 주파수 제어장치(100)는 마그네트론(110)과 주파수조정용 가변저항(120)과 위치인식용 가변저항(130)과 양축 스테핑 모터(140)와 제어부(150)와 제어컴퓨터(160) 및 수동조작부(162, 163)를 포함한다.
마그네트론(110)은 고주파 전자가속기에 고주파 파워를 공급하는 고주파 공급원이다.
주파수조정용 가변저항(120)은 소정의 범위 내에서 저항값을 조절할 수 있는 가변저항이며, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정함으로써 마그네트론(110)이 발생하는 고주파의 주파수를 조정할 수 있다. 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 범위는 고주파 전자가속기, 특히 마그네트론(110)의 사양에 따라서 적절한 범위의 값으로 결정된다.
스테핑 모터(140)는 주파수조정용 가변저항(120)과 기계적으로 결합하여 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정하며, 이에 의해 상기 마그네트론(110)이 발생하는 고주파의 주파수가 조정된다. 스테핑 모터(140)는 모터의 양측에 출력 축을 갖는 양축 스테핑 모터가 이용되고, 주파수조정용 가변저항(120)은 커플링(141)을 통해서 스테핑 모터(140)의 양 축 중 어느 한쪽 출력 축과 결합한다.
위치인식용 가변저항(130)은 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값이 얼마로 설정(조정)되어 있는가를 사용자가 확인할 수 있는 정보를 제공하기 위한 수단이다. 위치인식용 가변저항(130)은 일정 전압을 갖는 전압 원(+V)과 접지단 사이에 접속되는 가변저항으로서, 그 저항값에 따라서 전압 원(+V)과 접지단 사이에서 전압강하를 발생시키며, 위치인식용 가변저항(130)의 가변단자는 커플링(142)을 통해 스테핑 모터(140)의 양 출력 축 중 다른 쪽 출력 축과 결합하고 있다.
또, 위치인식용 가변저항(130)의 저항값의 조정(변화)에 따라서 위치인식용 가변저항(130)의 가변단자와 전압 원(+V) 사이(또는 위치인식용 가변저항(130)의 가변단자와 접지단 사이)의 전압은 A/D변환기(131)를 통해서 디지털신호로 변환되어서 제어부(150)에 입력되고, 또, 제어컴퓨터 인터페이스(161)를 통해서 제어컴퓨터(160)로 입력된다.
이와 같이 스테핑 모터(140)의 양 출력 축 중 어느 한쪽 출력 축에는 주파수조정용 가변저항(120)이 결합하고, 다른 쪽 출력 축에는 위치인식용 가변저항(130)이 결합하고 있으므로 스테핑 모터(140)의 회전에 연동하여 주파수조정용 가변저항(120)과 위치인식용 가변저항(130)은 일체로 동작하여 각각의 저항값이 변화되는 구성으로 하고 있으므로, 주파수조정용 가변저항(120)의 설정된 저항값과 주파수조정용 가변저항(120)과 연동하여 변화하는 위치인식용 가변저항(130)의 저항값은 서로 대응관계를 가지며, 이 대응관계는 위치인식용 가변저항(130)의 저항값의 변화에 따라서 강하하는 제어부(150)의 입력전압의 전압 값으로부터 확인할 수 있다.
상기 관계에 의해 제어부(150)가 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 확인하는 방법에 대해서 설명한다.
예를 들어 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 조정범위를 1단계에서 10단계까지 조정할 수 있는 것으로 가정하면, 만일, 주파수조정용 가변저항(120)이 1단계의 저항값에 조정되어 있으면, 주파수조정용 가변저항(120)과 위치인식용 가변저항(130)은 서로 연동하는 관계에 있으므로 이 1단계에 대응하는 값으로 위치인식용 가변저항(130)의 저항값도 변화하며, 이에 따라 전압 원(+V)의 전압 값도 위치인식용 가변저항(130)의 저항값에 대응하는 전압으로 변화하며, 만일, 예를 들어 주파수조정용 가변저항(120)이 2단계에서 3단계로, 또는 3단계에서 4단계로 저항값이 변화하면 전압 원(+V)의 전압 값도 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 변화에 따라서 단계적으로 변화하므로, 이들의 대응관계를 미리 설정해 두면 제어부(150)는 위치인식용 가변저항(130)으로부터 A/D변환기(131)를 통해서 입력되는 전압 값을 판독함으로써 주파수조정용 가변저항(120)의 조정위치를 확인할 수 있다.
또, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 조정범위를 단계별로 설정하지 않고 실제 조정된 저항값으로 설정해도 좋으며, 이 경우에도 상기 단계별로 설정하는 경우와 마찬가지로 실제 조정된 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 변화에 대응하여 변하는 전압 원(+V)의 전압 값과의 대응관계를 미리 설정해 두면 제어부(150)는 A/D변환기(131)를 통해서 위치인식용 가변저항(130)으로부터 입력되는 전압 값을 판독함으로써 주파수조정용 가변저항(120)의 조정위치를 확인할 수 있다.
제어부(150)는 후술하는 제어컴퓨터(160)로부터의 제어명령 또는 수동조작부(162, 163)의 조작에 의해 모터 드라이버(143)를 제어하여 스테핑 모터(140)를 구동시키며, 제어컴퓨터 인터페이스(161)를 통해서 제어컴퓨터(160)와 접속된다.
또, 제어부(150)에는 수동조작부(162, 163)가 접속되어 있으며, 제어컴퓨터(160)로부터의 제어명령에 따른 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 자동 조정과는 별도로, 이 수동조작부(162, 163)의 조작에 따른 제어신호에 의해서도 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정할 수 있다.
수동조작부(162, 163)는 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 수동으로 조정하는 수단으로, 예를 들어 푸시 스위치와 간은 스위치에 의해 구성할 수 있다.
수동조작부(162)는 예를 들어 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 증가시키는 방향으로 동작시키고, 수동조작부(163)는 예를 들어 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 감소시키는 방향으로 동작시키도록 할 수 있으며, 이와 반대로 동작하도록 해도 좋다.
또, 수동조작부(162, 163)에 의한 수동 제어는 스테핑 모터(140)를 지정된 스텝만큼 동작시키는 스텝제어 및 스테핑 모터(140)를 미리 설정된 설정위치까지 연속해서 동작시키는 설정제어가 가능하다.
예를 들어 사용자가 수동조작부(162)를 한번 짧게 누르면 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 한 단계 증가시키는 방향으로 제어하여 스테핑 모터(140)를 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 한 단계 증가시키는 방향으로 한 스텝 동작시키고, 수동조작부(163)를 한번 짧게 누르면 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 한 단계 감소시키는 방향으로 스테핑 모터(140)를 동작시키도록 설정할 수 있다.
또, 수동조작부(162, 163)를 일정한 시간간격으로 두 번 짧게 누르면 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 2단계 증가 또는 감소시키는 방향으로 스테핑 모터(140)를 두 스텝 동작시키도록 설정할 수도 있으며, 이와 같은 제어가 스텝제어에 해당한다.
예를 들어 사용자가 수동조작부(162, 163) 중 어느 한 수동조작부를 미리 설정된 일정한 시간 동안 계속해서 누르면 제어부(150)는 이에 대응하도록 모터 드라이버(143)를 제어하여 스테핑 모터(140)를 연속적으로 동작시켜서 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값이 미리 설정된 저항값으로 증가 또는 감소시키고, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값이 미리 설정된 저항값에 도달하면 동작을 멈추도록 설정해도 좋으며, 이와 같은 제어가 설정제어에 해당한다.
이상과 같은 수동조작부(162, 163)에 의한 주파수조정용 가변저항(120)의 수동 조정은 제어부(150)가 내장하는 프로그램에 의해 실행되며, 수동조작부(162, 163)에서 상기 어느 하나의 조작이 이루어지면 제어부(150)는 이 조작신호를 검출하고, 검출한 조작신호에 대응하는 스테핑 모터(140) 제어명령을 모터 드라이버(143)에 출력하며, 모터 드라이버(143)는 제어부(150)로부터의 제어명령에 대응하여 스테핑 모터(140)를 동작시켜서 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정한다.
또, 제어부(150)는 마그네트론(110)에서 발생하는 고주파의 주파수를 모니터링 하며, 이 모니터링 신호는 모니터 출력 A/D변환기(170)에서 디지털신호로 변환되어서 제어부(150)에 입력되고, 제어부(150)는 이 모니터링 신호로부터 주파수조정용 가변저항(120)의 현재 조정위치 또는 저항값 정보를 알 수 있으며, 이 모니터링 신호도 참고하여 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 자동 또는 수동으로 조정해도 좋다.
제어컴퓨터(160)는 고주파 전자가속기 전체를 제어하는 제어수단이며, 예를 들어 고주파 전자가속기 주 제어실 등에 배치되며, 제어컴퓨터 인터페이스(161)를 통해서 제어부(150)와 접속되어 있다.
다음에, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값의 조정에 의해 마그네트론(110)이 발생하는 고주파의 주파수를 조절하는 방법에 대해서 설명한다.
만일, 마그네트론(110)이 발생하는 고주파의 주파수가 고주파 전자가속기가 최대 출력을 내기에 적절한 주파수가 아닌 것으로 판단하면, 제어컴퓨터(160)가 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정하는 제어명령을 제어컴퓨터 인터페이스(161)를 통해서 제어부(150)에 보낸다.
마그네트론(110)이 발생하는 고주파의 주파수가 고주파 전자가속기가 최대 출력을 내기에 적절한 주파수가 아닌가 여부는 앞에서 설명한, 마그네트론(110)에서 발생하는 고주파의 주파수를 모니터링 한 모니터링 신호로서, 모니터 출력 A/D변환기(170)를 통해서 제어부(150)로 입력되는 모니터링 신호로부터 확인해도 좋고, 그 외의 다른 방법에 의해 확인해도 좋다.
제어컴퓨터(160)로부터 제어명령을 수신한 제어부(150)는 이 제어명령에 따른 제어신호를 모터 드라이버(143)에 출력하며, 이에 따라 모터 드라이버(143)는 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 제어명령에서 지시된 저항값으로 조절하도록 스테핑 모터(140)를 동작시키고, 이에 의해 제어명령에서 지시된 저항값으로 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값이 조정된다.
이때, 제어컴퓨터(160)는 앞에서 설명한 방법에 의해 주파수조정용 가변저항(120)이 현재 어느 단계에 위치하고 있는가, 또는 얼마의 저항값으로 조정되어 있는가(이하, 표현의 간략화를 위해 「주파수조정용 가변저항(120)의 현재 위치」라고 표기한다)를 위치인식용 가변저항(130)으로부터 제어부(150)를 통해서 입력되는(또는 입력된) 전압 값으로부터 확인할 수 있고, 제어컴퓨터(160)는 확인된 주파수조정용 가변저항(120)의 현재위치를 참조하여 주파수조정용 가변저항(120)을 조절하도록 제어부(150)에 제어명령을 보낼 수 있다.
이상이 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 제어컴퓨터(160)로부터의 제어명령에 의해 자동으로 실행하는 자동조정에 대한 설명이다.
또, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값은 사용자가 수동조작부(162, 163)를 조작하여 수동으로 실행할 수도 있다.
수동조정의 경우에는 앞에서 설명한 자동조정과 같이 제어컴퓨터(160)가 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조절하는 제어명령을 자동으로 제어부(150)에 보내는 것이 아니라, 사용자의 판단에 의해, 사용자가 직접 수동조작부(162, 163)를 조작함으로써 이루어지는 것 외에는 사실상 상기 자동조정과 동일하다.
수동조정의 경우에도, 사용자는 앞에서 설명한 방법에 의해 주파수조정용 가변저항(120)의 현재 위치를 위치인식용 가변저항(130)을 통해서 제어부(150)에 입력되는 전압 값으로부터 확인할 수 있으므로, 수동조작부(162, 163)의 조작에 앞서 주파수조정용 가변저항(120)의 현재위치를 확인하고, 이를 참조하여 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 조정할 수 있다.
또, 주파수조정용 가변저항(120)의 저항값을 제어컴퓨터(160)에 의해 자동으로 조정하는가, 또는, 수동조작부(162, 163)에 의해 수동으로 조정하는가는 사용자의 선택에 따른 선택사항이며, 본 실시형태에서의 주파수 제어장치(100)는 자동 조정기능과 수동 조정기능을 모두 구비하고 있다.
100 주파수 제어장치
110 마그네트론
120 주파수조정용 가변저항
130 위치인식용 가변저항
140 스테핑 모터
143 모터 드라이버
150 제어부
160 제어컴퓨터

Claims (5)

  1. 고주파 파워를 발생하는 마그네트론과,
    상기 마그네트론이 발생하는 상기 고주파 파워의 주파수를 조절하는 주파수조정용 가변저항과,
    양측 출력 축 중 어느 한쪽의 출력 축에 상기 주파수 조정용 가변저항이 결합하며, 상기 주파수 조정용 가변저항을 구동하는 스테핑 모터와,
    일정 전압을 갖는 전압 원 사이에 접속되고, 상기 스테핑 모터의 다른 쪽 출력 축에 결합하여, 상기 주파수 조정용 가변저항과 연동하여 저항값이 가변되어 상기 전압 원의 전압을 강하시키는 위치인식용 가변저항과,
    상기 위치인식용 가변저항에 의해 강하된 전압으로부터 상기 주파수 조정용 가변저항의 현재 위치를 확인하고, 확인된 상기 현재위치를 참조하여 상기 스테핑 모터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 현재 위치는, 상기 주파수 조정용 가변저항의 저항값의 조정범위가 복수의 단계로 이루어진 때에는 현재 설정되어 있는 단계를 가리키고, 상기 주파수 조정용 가변저항의 조정범위가 실제 저항값인 때에는 현재 설정된 저항값을 가리키는 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부와 접속되는 제어용 컴퓨터를 더 포함하며,
    상기 제어부는 상기 제어용 컴퓨터로부터 수신하는 제어명령에 의해 상기 스테핑 모터의 구동을 제어하는 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는 상기 스테핑 모터를 제어하는 제어명령을 발생시키는 수동제어부를 더 포함하는 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 수동제어부에 의한 상기 스테핑 모터의 제어는 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 한 단계씩 증가 또는 감소시키도록 상기 스테핑 모터를 제어하는 스텝제어, 또는, 상기 주파수조정용 가변저항의 저항값을 미리 정해진 저항값으로 증가 또는 감소시키도록 상기 스테핑 모터를 제어하는 설정제어 중 어느 하나인 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어장치.
  5. 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어방법으로,
    상기 마그네트론이 발생하는 고주파 파워의 공진 주파수가 상기 고주파 전자가속기의 공동 내의 공진 주파수와 일치하여 상기 고주파 전자가속기가 최대 출력을 내기에 적절한 주파수인가를 판단하는 단계와,
    상기 고주파 파워의 공진 주파수가 상기 적절한 주파수가 아닌 것으로 판단하면 상기 고주파 파워의 공진 주파수를 조절하는 주파수 조정용 가변저항의 저항값을 조정하는 단계를 포함하며,
    상기 주파수 조정용 가변저항의 저항값을 조정하는 단계에서는 상기 주파수 조정용 가변저항의 조정 전의 위치를 확인하고, 확인된 상기 조정 전의 위치를 참조하여 상기 주파수 조정용 가변저항의 저항값을 조정하는 고주파 전자가속기 마그네트론의 주파수 제어방법.
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