KR101580932B1 - 입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 - Google Patents
입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101580932B1 KR101580932B1 KR1020150121955A KR20150121955A KR101580932B1 KR 101580932 B1 KR101580932 B1 KR 101580932B1 KR 1020150121955 A KR1020150121955 A KR 1020150121955A KR 20150121955 A KR20150121955 A KR 20150121955A KR 101580932 B1 KR101580932 B1 KR 101580932B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- light source
- scattered light
- detector
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
- G01N15/1436—Optical arrangements the optical arrangement forming an integrated apparatus with the sample container, e.g. a flow cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1456—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/0303—Optical path conditioning in cuvettes, e.g. windows; adapted optical elements or systems; path modifying or adjustment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0638—Refractive parts
- G01N2201/0639—Sphere lens
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
- G01N2201/12723—Self check capacity; automatic, periodic step of checking
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
- G01N2201/12746—Calibration values determination
- G01N2201/12769—Calibration values determination and adjusting controls, e.g. zero and 100 %
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
Abstract
Description
도 2는 도 1에 도시된 빔 덤퍼(130)의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 여기광원의 빔 경로를 보여주는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 빔을 흡수하는 홀 구조를 보여주는 단면도이다.
110: 여기 광원
120: 제어회로
130: 빔 덤퍼
201: 홀 구조 203: 검출기
205: 빔 가이드부 207: 설치 플레이트
209: 경사각 210: 하우징
211: 내부 공간 220: 포토 다이오드셀
230: 빔 스토퍼 250: 제 1 리테이너
260: 제 2 리테이너 270: 빔덤퍼용 렌즈
290: 포토 다이오드
Claims (11)
- 설치 플레이트(207);
상기 설치 플레이트(207) 상에 조립되며 여기 광원을 수광하는 검출기(203);
상기 검출기(203)와 조립되며, 상기 여기 광원의 비산란광 광경로에 배치되어 비산란광을 유도하는 내부 공간(211)을 갖는 하우징(210);
상기 내부 공간에 배치되며, 상기 내부 공간으로 유입된 비산란광의 광경로에 일치하는 위치에서 비산란광을 출력하는 포토 다이오드부(290); 및
상기 출력을 측정하고, 광경로를 따라 발생한 손실을 측정해 상기 여기 광원의 실출력을 검출하며, 상기 실출력으로부터 상기 여기광원의 출력을 제어하는 제어회로(120);를 포함하며,
상기 하우징(210)의 전단에 위치한 빔 가이드부(205)는 빔 덤퍼용 렌즈(270), 상기 빔 덤퍼용 렌즈(270)를 고정하는 제 2 리테이너(260), 상기 제 2 리테이너(260)와 빔 덤퍼용 렌즈(270)를 감싸 고정하는 고정링(240)가 형성되고,
상기 빔 가이드부(205)는 비산란광의 일부가 집광유도로를 통해 되돌아가는 것을 방지하는 빔 스토퍼(230), 상기 빔 스토퍼(230)를 고정하는 제 1 리테이너(250)가 형성되고,
상기 빔 덤퍼용 렌즈(270)에 의해 검출기면을 향하도록 집광되는 비산란광이 간섭되지 않으면서 상기 검출기의 표면을 향하도록 집광 유도로(410)가 형성되며,
상기 출력을 측정하여 얻어진 손실은 상기 검출기(203)의 표면(420)에 의해 반사된 비산란광을 홀 내로 유도되도록 상기 내부 공간의 일측에 형성된 빔 홀 구조(201)가 형성되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 빔 홀 구조(201)에는, 홀 내로 유도된 비산란광이 상기 집광유도로로 다시 되돌아가지 못하게 상기 집광유도로의 중심축으로부터 30도 위치에 함입부(430)가 형성되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼. - 제 6 항에 있어서,
상기 빔 홀 구조(201)에는, 홀 내로 유도된 비산란광이 집광유도로로 다시 되돌아가지 못하도록, 상기 검출기 표면은 상기 집광유도로의 수직면으로부터 시계방향으로 15도만큼 기울여 형성되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
- 제 1 항에 있어서,
상기 빔홀 구조(201)에는, 한 번 이상의 꺽이는 절곡면이 형성되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
- 제 1 항에 있어서,
상기 빔홀 구조(201)는 내부면이 무반사 코팅되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
- 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 손실은 상기 빔홀 구조(201)로 반사되어 유도된 빔은 비구면 반사경(350)을 통한 뒤, 구면 반사경(340)을 경유해 일정 지점으로 포커싱된 위치에서 측정되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
- 제 1 항에 있어서,
상기 빔덤퍼용 렌즈(270)는 잡광(stray light)을 최소화하기 위해 실리카 렌즈에 AR(Anti-Reflection) 코팅되는 것을 특징으로 하는 빔 덤퍼.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150121955A KR101580932B1 (ko) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | 입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 |
GB1613801.8A GB2541804B (en) | 2015-08-28 | 2016-08-11 | Beam dumper for particle counter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150121955A KR101580932B1 (ko) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | 입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101580932B1 true KR101580932B1 (ko) | 2015-12-31 |
Family
ID=55129142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150121955A Active KR101580932B1 (ko) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | 입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101580932B1 (ko) |
GB (1) | GB2541804B (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2544196A (en) * | 2015-11-06 | 2017-05-10 | Agency Defense Dev | Portable real-time biological aerosol-detecting device |
CN113820258A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-12-21 | 麦克微尔(天津)科技有限公司 | 一种尘埃粒子检测装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110080647A (ko) * | 2010-01-06 | 2011-07-13 | (주)에이치시티 | 입자 측정 장치 |
KR101139776B1 (ko) | 2011-12-09 | 2012-04-26 | 국방과학연구소 | 입자계수기용 또는 형광검출장비용 빔 덤퍼 |
JP2012199359A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Sony Corp | レーザー照射装置および微小粒子測定装置 |
KR20130142886A (ko) | 2012-06-18 | 2013-12-30 | 한국전기연구원 | 빔의 정렬특성 향상을 위한 펨토초 레이저 장치 및 이를 포함한 펨토초 레이저 시스템 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015145807A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | 学校法人同志社 | 微粒子検出装置 |
-
2015
- 2015-08-28 KR KR1020150121955A patent/KR101580932B1/ko active Active
-
2016
- 2016-08-11 GB GB1613801.8A patent/GB2541804B/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110080647A (ko) * | 2010-01-06 | 2011-07-13 | (주)에이치시티 | 입자 측정 장치 |
JP2012199359A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Sony Corp | レーザー照射装置および微小粒子測定装置 |
KR101139776B1 (ko) | 2011-12-09 | 2012-04-26 | 국방과학연구소 | 입자계수기용 또는 형광검출장비용 빔 덤퍼 |
KR20130142886A (ko) | 2012-06-18 | 2013-12-30 | 한국전기연구원 | 빔의 정렬특성 향상을 위한 펨토초 레이저 장치 및 이를 포함한 펨토초 레이저 시스템 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2544196A (en) * | 2015-11-06 | 2017-05-10 | Agency Defense Dev | Portable real-time biological aerosol-detecting device |
GB2544196B (en) * | 2015-11-06 | 2020-04-22 | Agency Defense Dev | Portable real-time biological aerosol-detecting device |
CN113820258A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-12-21 | 麦克微尔(天津)科技有限公司 | 一种尘埃粒子检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2541804A (en) | 2017-03-01 |
GB201613801D0 (en) | 2016-09-28 |
GB2541804B (en) | 2017-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9857287B2 (en) | Particulate sensor device | |
US6833909B2 (en) | Device for optical distance measurement of distance over a large measuring range | |
US8742370B2 (en) | Gas sensor | |
KR101581061B1 (ko) | 물체 검출을 위한 광 배리어 및 방법 | |
GB2420405A (en) | Laser distance measuring device with coincident emitting and receiving optical axes | |
WO2017090134A1 (ja) | 粒子センサ | |
US9874474B2 (en) | Biometric sensor and biometric analysis system including the same | |
JP2017138223A (ja) | 微小物検出装置 | |
KR102532618B1 (ko) | 광 감지 디바이스에서 노이즈를 감소시키기 위한 조명 시스템 및 방법 | |
US10732126B2 (en) | Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate and method emitting incident light | |
KR101580932B1 (ko) | 입자 계수기의 광측 정렬 모니터링 및 빔출력 측정용 빔덤퍼 | |
KR102522728B1 (ko) | 침착물 센서를 구비한 광 센서 | |
JP2009515159A (ja) | レーザ放射源 | |
JP2000193586A (ja) | 光学式雨滴検出装置 | |
CN110637225A (zh) | 光学传感器 | |
KR20040070216A (ko) | 반도체 웨이퍼 캐리어 맵핑 센서 | |
US7869048B2 (en) | Photoelectonic sensor | |
US20190369406A1 (en) | Backscatter reductant anamorphic beam sampler | |
KR102400468B1 (ko) | 입자계수용 광학계 | |
US20240102916A1 (en) | Emission optical system, emission device, and optical measurement device | |
US20170248795A1 (en) | Backscatter reductant anamorphic beam sampler | |
JP2006053055A (ja) | レーザ測定装置 | |
JP2011258610A (ja) | 光源装置 | |
WO2020088210A1 (zh) | 激光气体检测装置 | |
JP7033777B2 (ja) | 光学式センサチップ及び光学式ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20150828 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20150828 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination |
|
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20151021 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20151221 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20151222 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20151223 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181204 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20181204 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20201202 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241203 Start annual number: 10 End annual number: 10 |