KR101571683B1 - 표시 패널 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 사용자에 의한 터치 위치를 감지할 수 있으며, 공정 편차나 셀 갭의 편차에도 불량이 발생되지 않는 표시 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 표시 패널은 제1 기판 상에 형성된 제1 센서 패드와, 제1 센서 패드와 이격하여 형성된 제2 센서 패드와, 제1 기판에 대향하여 배치된 제2 기판과, 제2 기판 상에 제1 센서 패드와 중첩되어 형성되고 제1 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서와, 제2 기판 상에 제2 센서 패드와 중첩되어 형성되고 제1 기판을 향하여 돌출된 제2 센서 스페이서와, 제1 센서 스페이서 및 제2 센서 스페이서 상에 제1 센서 패드 및 제2 센서 패드에 중첩되도록 형성된 센서 전극을 포함하되, 제2 센서 스페이서는 제1 센서 스페이서보다 제1 기판을 향하여 더 돌출된다.
터치 패널, 센서 스페이서, 센서 패드

Description

표시 패널 및 이의 제조 방법{Display panel and manufacturing method of the same}
본 발명은 표시 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 사용자에 의한 터치 위치를 감지할 수 있으며, 공정 편차나 셀 갭의 편차에도 불량이 발생되지 않는 표시 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
터치 패널은 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display: FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 및 전계 발광 소자(Electro Luminescence: ELD)등의 화상 표시면에 설치되어 사용자가 화면을 가압하면 정보를 입력하는 입력 수단이다.
터치 패널은 동작 원리에 따라 정전용량식과 저항막식으로 나뉘는데, 정전용량식 터치 패널은 1개의 투명한 도전성 필름 또는 투명 도전성 글래스에 정전용량의 충방전 상태가 반복되는 가운데, 펜 형태의 입력수단인 스타일러스(stylus)와 도전성 필름 사이에 소량의 전하가 축적되고 이 전하량을 입력점으로부터 검출하여 좌표값을 환산하는 방식이다. 그리고, 저항막식 터치 패널은 2개의 대향하는 도전막층에 전압이 인가된 상태에서 사용자가 화면을 눌러 대향하는 두 도전막층이 접 촉되게 하고 그 접촉점에서 발생하는 전압 또는 전류 변화를 검출하여 접촉점의 좌표값을 읽는 방식이다.
여기서, 정전용량식 터치 패널은 스타일러스에 전기를 공급해 주어야 하기 때문에 최근에는 액정 표시 패널과 일체로 구성되는 아날로그 입력 방식의 저항막 방식의 터치 패널이 주로 사용된다. 이때, 저항막 방식의 터치 패널은 액정 표시 패널의 휘도 저하를 방지하기 위해 액정 표시 패널의 내부에 형성되기도 한다.
터치 패널 일체형 액정 표시 패널은 입력점의 수평 위치에 대한 제1 좌표와, 수직 위치에 대한 제2 좌표를 검출하기 위해 박막 트랜지스터 기판에 제1 센서 라인 제2 센서 라인이 수평 및 수직하게 형성된다. 그리고, 터치 패널 일체형 액정 표시 패널은 컬러필터 기판에 제1 및 제2 센서 라인과 접촉하기 위한 센서 스페이서가 형성된다.
하부 표시판 또는 상부 표시판에 형성되는 센서 스페이서는 공정 편차에 따라 높이의 편차가 발생할 수 있다. 또한, 표시 패널의 셀 갭의 편차가 발생할 수 있다. 따라서, 사용자가 터치하기 전에 센서 전극과 센서 패드가 접촉되는 불량이 발생될 수 있다.
이에, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 사용자에 의한 터치 위치를 감지할 수 있으며, 공정 편차나 셀 갭의 편차에도 불량이 발생되지 않는 표시 패널에 관한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 사용자에 의한 터치 위치를 감지할 수 있으며, 공정 편차나 셀 갭의 편차에도 불량이 발생되지 않는 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 표시 패널은 제1 기판과, 상기 제1 기판 상에 형성된 제1 센서 패드와, 상기 제1 센서 패드와 이격하여 형성된 제2 센서 패드와, 상기 제1 기판에 대향하여 배치된 제2 기판과, 상기 제2 기판 상에 상기 제1 센서 패드와 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서와, 상기 제2 기판 상에 상기 제2 센서 패드와 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제2 센서 스페이서와, 상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서 상에 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드에 중첩되도록 형성된 센서 전극을 포함하되, 상기 제2 센서 스페이서는 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제1 기판을 향하여 더 돌출된다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 패널은, 제1 기판과, 상기 제1 기판에 대향하여 배치된 제2 기판과, 상기 제2 기판 상에 형성된 형성된 공통 전극과, 상기 제1 기판 상에 형성되고 상기 제2 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서와, 상기 제1 기판 상에 형성되고 상기 제2 기판을 향하여 돌출된 제2 센서 스페이서와, 상기 제1 센서 스페이서 상에 형성된 제1 센서 패드와, 상기 제2 센서 스페이서 상에 형성되고 상기 제1 센서 패드와 분리된 제2 센서 패드와, 상기 제2 기판 상에 상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서와 중첩되도록 형성된 센서 전극을 포함하되, 상기 제2 센서 스페이서는 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제2 기판을 향하여 더 돌출된다.
상기 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 패널의 제조 방법은, 제1 기판 상에 서로 이격하여 형성된 제1 센서 패드 및 제2 센서 패드를 형성하는 단계와, 제2 기판 상에 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드와 각각 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서 및 제2 센서 스페이서를 형성하되, 상기 제2 센서 스페이서가 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제1 기판을 향하여 더 돌출되도록 형성하는 단계와, 상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서 상에 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드에 중첩되도록 형성된 센서 전극을 형성하는 단계와, 상기 제2 기판을 상기 제1 기판에 대향하여 배치하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방 향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
먼저 도 1 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 패널을 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 패널의 배치도이고, 도 2는 도 1의 표시 패널을 II-II' 선을 따라 절단한 표시 패널의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(1)은 서로 대향하여 형성되는 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200) 및 두 표시판(100, 200) 사이에 개재된 액정층(300)을 포함한다.
하부 표시판(100)은 제1 기판(110) 상에 형성된 게이트선(121), 제1 센서 배선(123), 데이터선(162), 제2 센서 배선(166), 박막 트랜지스터(TFT), 화소 전극(181), 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)를 포함한다.
게이트선(121)은 제1 기판(110) 상에 제1 방향으로 형성되어 게이트 신호를 박막 트랜지스터(TFT)에 전달한다. 제1 방향은 예를 들어 제1 기판(110)의 가로 방향이 될 수 있다. 이때, 게이트선(121)은 몰리브덴(Mo), 니오브(Nb), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag), 텅스텐(W), 티타늄(Ti) 또는 이들의 합금 중 어느 하나의 재질로 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 게이트선(121)의 일단부가 분지되어 확장된 게이트 전극(122)이 형성된다.
제1 센서 배선(123)은 게이트선(121)과 나란히 제1 방향으로 형성된다. 이와 같은 제1 센서 배선(123)은 게이트선(121)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 게이트선(121)과 제1 센서 배선(123) 상에는 게이트 절연막(130)이 도포된다.
게이트 절연막(130) 위에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 또는 다결정 규소 등으로 이루어진 반도체층(140)이 형성되어 있다. 반도체층(140)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등의 물질로 만들어진 오믹 콘택층(ohmic contact layer)(155, 156)이 형성되어 있다. 오믹 콘택층(155, 156)은 쌍(pair)을 이루어 반도체층(140) 위에 위치한다.
오믹 콘택층(155, 156) 및 게이트 절연막(130) 위에는 데이터선(162)과, 데이터선(162)에 각각 대응하는 드레인 전극(164)이 형성되어 있다.
데이터선(162)은 제1 기판(110) 상에 제2 방향으로 형성되며, 데이터 신호를 각 화소에 전달한다. 제2 방향은 제1 기판(110)의 세로 방향일 수 있다. 즉, 데이터선(162)은 게이트선(121)과 서로 교차되어 형성될 수 있다. 이때, 데이터선(162)은 몰리브덴(Mo), 니오브(Nb), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag), 티타늄(Ti) 또는 이들의 합금 중 어느 하나의 재질로 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.
제2 센서 배선(166)은 데이터선(162)과 나란히 형성된다. 이와 같은 제2 센서 배선(166)은 데이터선(162)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 데이터선(162)에는 드레인 전극(164)을 향하여 각각 뻗은 소스 전극(163)이 형성되어 있다. 드레인 전극(164)은 화소 전극(181)에 데이터 신호를 전달한다.
게이트 전극(122), 소스 전극(163) 및 드레인 전극(164)은 박막 트랜지스터(TFT)의 삼단자를 이룬다. 이러한 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 신호에 응답하여 소스 전극(163)으로 입력되는 데이터 신호를 드레인 전극(164)을 통하여 화소 전극(181)으로 전달한다.
박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(122)과 게이트 절연막(130)을 사이에 두고 중첩되면서 소스 전극(163)과 드레인 전극(164) 사이에 채널을 형성하는 반도체층(140)을 포함한다.
보호막(170)은 절연을 위해 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiOx)등과 같은 무기물질로 형성되거나, 아크릴(Acrylic), 폴리이미드(polyimide) 또는 벤조크릴로부텐(Benzoclylobutene: 이하 BCB) 등과 같은 유기물질로 형성된다. 여기서, 보호막(170)은 무기물질 및 유기물질이 단일층 또는 복층으로 적층되어 형성된다. 이와 같은, 보호막(170)은 박막 트랜지스터(TFT)와 게이트 절연막(130)을 덮도록 형성되어 박막 트랜지스터(TFT)와 화소 전극(181)을 절연시킨다.
이와 같은, 보호막(170)은 드레인 전극(164)과 제1 센서 배선(123) 및 제2 센서 배선(166)을 노출하는 제1 내지 제3 콘택홀(175, 176, 177)을 포함한다. 여기서, 제1 내지 제3 콘택홀(175, 176, 177)은 보호막(170)의 일부분을 마스크를 통해 식각하여 형성된다.
화소 전극(181)은 보호막(170)의 상부에 형성된다. 이러한 화소 전극(181)은 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(164)과 제1 콘택홀(175)을 통해 연결된다. 이와 같은, 화소 전극(181)은 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide: ITO) 또는 인듐 주석 산화물(Indium Zinc Oxide: IZO) 따위의 투명 도전체 또는 알루미늄 따위의 반사성 도전체로 이루어진다.
제1 센서 패드(182)는 후술할 센서 전극(252)과 접촉하여 X축 좌표값을 인식할 수 있는 신호를 제1 센서 배선(123)에 제공한다. 이러한 제1 센서 패드(182)는 제1 센서 배선(123)으로부터 분지된 제1 센서 배선 연장부(124)와 제2 콘택홀(176)로 연결된다.
제2 센서 패드(183)는 후술할 센서 전극(252)과 접촉하여 Y축 좌표값을 인식할 수 있는 신호를 제2 센서 배선(166)에 제공한다. 이러한 제2 센서 패드(183)는 제2 센서 배선(166)으로부터 분지된 제2 센서 배선 연장부(167)와 제3 콘택홀(177)로 연결된다.
제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)는 후술할 센서 스페이서(241, 242) 및 센서 전극(252)과 중첩되도록 형성된다. 이와 같은 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)는 화소 전극(181)과 동일한 물질로 동일한 공정을 통하여 형성될 수 있다.
다음으로, 상부 표시판(200)은 제2 기판(210) 상에 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스(220)와, 색 구현을 위한 컬러필터(230)와, 액정층(300)에 공통 전압을 인 가하기 위한 공통 전극(251)을 포함한다.
제2 기판(210)은 빛이 투과될 수 있는 투명한 절연 물질로 형성될 수 있으며, 상부에 가해지는 압력에 따라 유연하게 굴곡을 이룰 수 있는 플라스틱 또는 유리와 같은 물질로 형성될 수 있다.
블랙 매트릭스(220)는 액정을 제어할 수 없는 영역을 통해 빛이 출광되는 것을 막기 위해 하부 표시판(100)의 박막 트랜지스터(TFT), 게이트선(121), 데이터선(162), 제1 센서 배선(123) 및 제2 센서 배선(166)과 중첩되도록 형성될 수 있다. 이와 같은 블랙 매트릭스(220)는 불투명한 유기물질 또는 불투명한 금속으로 형성될 수 있다.
컬러필터(230)는 색을 구현하기 위해 세부적으로 적색, 녹색 및 청색의 컬러필터로 형성된다. 컬러필터(230)는 각각 자신이 포함하고 있는 적색, 녹색 및 청색 안료를 통해 특정 파장의 광을 흡수 또는 투과시킴으로써 적색, 녹색 및 청색을 띄게 된다. 이때, 컬러필터(230)는 각각 투과한 적색, 녹색 및 청색 광의 가법혼색을 통해 다양한 색상을 구현한다.
공통 전극(251)은 컬러필터(230) 및 블랙 매트릭스(220)의 상부에 형성된다. 컬러필터(230)와 블랙 매트릭스(220) 상에는 단차를 줄여주는 오버코트층(미도시)이 형성될 수 있으며, 공통 전극(251)은 오버코트층의 상부에 형성될 수 있다. 여기서, 공통 전극(251)은 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide: ITO) 또는 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide: IZO)등과 같은 투명한 도전성 물질로 형성될 수 있다. 이러한 공통 전극(251)은 공통 전압 발생부로부터 공급된 공통 전압과 화소 전 극(181)의 데이터 신호의 전압차로 형성된 액정 구동 전계를 액정층(300)에 인가한다.
제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 블랙 매트릭스(220) 상에 형성될 수 있다. 즉, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 빛이 투과되지 않은 블랙 매트릭스(220)에 중첩되도록 형성되며, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에는 센서 전극(252)이 형성된다. 이러한 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 유기 물질로 형성될 수 있으며, 컬러필터(230)의 유기 물질과 동일한 공정으로 형성될 수 있다. 다만, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)를 컬러필터(230)와 동일한 공정으로 형성하는 것은 하나의 예시에 불과한 것으로서, 블랙 매트릭스(220) 상의 오버코트층(미도시)과 함께 형성할 수 도 있으며, 별도의 독립된 공정으로 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 제1 기판(110)을 향하여 돌출되어 있다. 제2 센서 스페이서(242)는 제1 센서 스페이서(241)보다 제1 기판(110)을 향하여 더 돌출되어 있다. 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 서로 인접하여 형성될 수 있으며, 소정의 간격만큼 이격되어 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에는 센서 전극(252)이 형성되어 있다. 사용자가 상부 표시판(200)의 어느 지점에 압력을 가하면, 제2 기판(210)은 아래로 휘게 되고 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)가 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)에 접촉하여 압력이 가해진 위치가 인식될 수 있다.
외부에서 상부 표시판(200)에 압력이 인가되기 전에는 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)와 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183) 사이에는 소정의 간격이 이격되도록 형성된다. 이때, 제2 센서 패드(183)와 제2 센서 스페이서(242) 사이의 간격은 제1 센서 패드(182)와 제1 센서 스페이서(241) 사이의 간격보다 작게 형성될 수 있다. 따라서, 상부 표시판(200)에 힘이 가해지면 일차적으로 제2 센서 스페이서(242)가 제2 센서 패드(183)에 접촉하고, 제2 센서 스페이서(242)가 지지하는 힘 이상이 가해지면 제1 센서 스페이서(241)가 제1 센서 패드(182)에 접촉한다. 이때, 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 접촉한 후, 추가적으로 약 80gf이상의 압력이 가해지면 제1 센서 스페이서(241)와 제1 센서 패드(182)가 접촉하게 된다.
제2 센서 스페이서(242)의 높이와 제1 센서 스페이서(241)의 높이의 차는 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다. 이와 같이 제2 센서 스페이서(242)의 높이와 제1 센서 스페이서(241)의 높이 차를 유지하면, 제1 센서 패드(182)와 제1 센서 스페이서(241) 사이의 간격과 제2 센서 패드(183)와 제2 센서 스페이서(242) 사이의 간격의 차를 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다.
한편, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에 형성된 센서 전극(252)은 공통 전극(251)과 동일한 공정에 의해 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다만, 센서 전극(252)은 플로팅되도록 공통 전극(251)과 절연되어 형성될 수 있다. 이와 같은 센서 전극(252)은 하나의 전극이 섬형태로 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널은 사용자에 의해 상부 표시판(200)에 압력을 가하면, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)가 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)와 접촉하게 된다. 이때, 접촉 위치에 따라 저항치를 가변시키게 되며, 가변된 저항치는 전류 또는 전압의 차이를 발생시켜 제1 센서 배선(123)을 통하여 X좌표 신호를 출력하고 제2 센서 배선(166)을 통하여 Y좌표 신호를 출력한다. 상기 상술한 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스페이서(242)는 서로 상대적인 높이 차이가 발생하도록 형성하면 된다. 즉, 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스페이서(242) 중 어느 하나가 더 높게 형성되어 두 센서 스페이서 사이에 높이차가 발생하도록 형성한다.
이하, 도 3a 내지 도 3c를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(1)의 작동 과정을 상세히 설명한다. 도 3a 내지 도 3c는 도 1의 표시 패널의 작동 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
먼저, 도 3a를 참조하면, 도 3a는 표시 패널(1)의 초기 상태를 도시한 것으로서, 초기 상태는 외부로부터 압력을 받지 않는 상태를 말한다. 초기 상태의 표시 패널(1)은 하부 표시판(100) 및 상부 표시판(200)이 평행을 유지한다. 이때, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)와 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)는 초기 설정된 간격만큼 이격되어 있으며, 제1 센서 패드(182)와 제2 센서 패드(183)는 서로 절연되어 있다.
초기 상태에서는 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183) 사이의 간격 이 제1 센서 스페이서(241)와 제1 센서 패드(182) 사이의 간격보다 작게 형성된다.
다음으로 도 3b를 참조하면, 도 3b는 표시 패널(1)에 소정의 압력이 가해진 상태를 도시한 것으로서, 상부 표시판(200) 상부에 압력이 가해진 경우이다. 상부 표시판(200) 상부에 압력이 가해지면, 상부 표시판(200)은 압력에 의해 하부 표시판(100)을 향하여 휘게되며, 제1 센서 스페이서(241)의 센서 전극(252)은 제1 센서 패드(182)와 접하게 된다. 이때, 원칙적으로 센서 전극(252)은 플로팅되어 있어 제2 센서 전극(252)은 압력이 인가된 Y좌표가 인식되지 않는다. 그러나, 센서 전극(252)과 제2 센서 전극(252)의 접촉으로 저항치의 변화가 발생하여 제2 센서 전극(252)에 인가된 전압의 차이가 발생됨으로써, 압력이 인가된 지점의 Y좌표가 인식될 수 있다. 다만, 이때에도 제1 센서 스페이서(241)와 제1 센서 패드(182)는 서로 이격되어 있어, 압력이 인가된 지점의 X좌표가 인식될 수 없다. 따라서, 구동 알고리즘에 의해 이와 같이 하나의 좌표만 인식되는 경우, 압력이 인가되지 않은 것으로 인식되도록 할 수 있다.
다음으로 도 3c를 참조하면, 도 3c는 표시 패널(1)에 기준 압력 이상이 인가된 상태를 도시한 것이다. 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 이미 접한 상태에서, 소정의 압력 이상이 더 인가된 경우이다. 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 이미 접한 상태에서 예를 들어, 약80gf 이상의 힘이 전달되면 제1 센서 스페이서(241)와 제1 센서 패드(182)가 서로 접하게 된다. 따라서, 센서 전극(252)은 제1 센서 패드(182)와 제2 센서 패드(183)를 서로 통전시키게 된다.
센서 전극(252)이 제1 센서 패드(182)와 제2 센서 패드(183)를 서로 통전시킴에 따라 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)에 인가된 기준 전압이 변하게 된다. 따라서, 제1 센서 패드(182)의 전압 변화에 따라 압력이 가해진 지점의 X좌표값을 인식하게 되며, 제2 센서 패드(183)의 전압 변화에 따라 압력이 가해진 지점의 Y좌표값을 인식하게 된다.
이하, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 제조 공정 과정에서의 공정 편차로 인하여 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183) 중 어느 하나가 센서 전극(252)과 접촉한 표시 패널(1)의 작동 과정을 상세히 설명한다. 여기서, 도 4a 및 도 4b는 두 센서 패드 중 하나가 센서 전극과 접촉한 표시 패널의 작동 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
먼저, 도 4a를 참조하면, 도 4a는 초기 상태에서 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 접촉하고 있는 표시 패널(1)을 도시한 것이다. 초기 상태는 외부로부터 압력을 인가 받지 않는 상태를 말하며, 초기 상태의 표시 패널(1)은 하부 표시판(100) 및 상부 표시판(200)이 평행을 유지한다.
제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 공정상의 편차에 따라 그 높이의 편차가 발생할 수 있다. 다만, 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스페이서(242)는 동일한 공정으로 함께 형성됨에 따라 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스페이서(242)는 높이차를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)의 높이가 기준치보다 높게 형성되거나, 상부 표시판(200)과 하부 표시판(100) 사이의 셀 갭이 기준치보다 작게 형성될 경우, 제 2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)는 서로 접하여 센서 전극(252)과 제2 센서 패드(183)는 통전될 수 있다.
이와 같이 외부로부터 압력이 인가되지 않은 상태에서 제2 센서 패드(183)와 센서 전극(252)이 통전된 경우, 제1 센서 패드(182)와 센서 전극(252)은 통전되지 않으므로 X좌표값이 인식되지 않은다. 따라서, 이 지점은 압력이 인가되지 않은 것으로 인식된다.
다음으로 도 4b를 참조하면, 도 4b는 표시 패널(1)에 기준 압력 이상이 인가된 상태를 도시한 것이다. 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 이미 접한 상태에서, 소정의 압력 이상이 더 인가된 경우이다. 제2 센서 스페이서(242)와 제2 센서 패드(183)가 이미 접한 상태에서 예를 들어, 약80gf 이상의 힘이 전달되면 제1 센서 스페이서(241)와 제1 센서 패드(182)가 서로 접하게 된다. 따라서, 센서 전극(252)은 제1 센서 패드(182)와 제2 센서 패드(183)를 서로 통전시키게 된다.
센서 전극(252)이 제1 센서 패드(182)와 제2 센서 패드(183)를 서로 통전시킴에 따라 제1 센서 패드(182) 및 제2 센서 패드(183)에 인가된 기준 전압이 변하게 된다. 따라서, 제1 센서 패드(182)의 전압 변화에 따라 압력이 가해진 지점의 X좌표값을 인식하게 되며, 제2 센서 패드(183)의 전압 변화에 따라 압력이 가해진 지점의 Y좌표값을 인식하게 된다.
이와 같이, 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스페이서(242) 사이에 높이 차이를 발생시킴으로써, 공정 편차에 의해 제1 센서 스페이서(241)와 제2 센서 스 페이서(242) 중 어느 하나가 센서 패드(182, 183)에 접하더라도 표시 패널(1)의 불량을 발생시키지 않고 신뢰성있는 표시 패널(1)을 얻을 수 있다.
이하, 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 상부 표시판의 제조 과정에 대하여 설명한다. 도 5a 내지 도 5d는 도 1의 표시 패널에 포함되는 상부 표시판의 제조 과정을 설명하기 위한 단면도이다.
먼저 도 5a를 참조하면, 제2 기판(210) 상에 블랙 매트릭스(220)를 형성한다. 블랙 매트릭스(220)는 제2 기판(210) 상에 불투명한 유기물질 또는 불투명한 금속을 도포한 뒤 포토리소그래피 및 식각 공정으로 패터닝하여 형성한다. 블랙 매트릭스(220)는 하부 표시판(100)의 불투명한 금속 패턴들이 시인되는 것을 차단하도록 소정의 폭으로 형성한다. 여기서, 제2 기판(210)은 표면에 가해지는 압력에도 유연하게 굴곡을 이룰 수 있도록 플라스틱과 같은 투명한 절연 물질로 형성된 기판을 사용할 수 있으며, 유리와 같은 물질을 이용할 수도 있다.
다음으로 도 5b를 참조하면, 블랙 매트릭스(220)가 형성된 제2 기판(210) 상에 컬러필터(230)를 형성한다. 컬러필터(230)는 포토리소그래피 방법으로 적(Red), 녹(Breen), 청(Blue) 순서로 형성할 수 있으며, 잉크젯 프린팅 방법으로 형성할 수도 있다.
다음으로 도 5c를 참조하면, 블랙 매트릭스(220) 상에 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)를 형성한다. 이와 같은 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 유기 물질 또는 도전성 고분자를 사용하여 형성할 수 있다.
이와 같은 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 제2 기판(210)의 전면에 감광성 유기물을 도포하고, 슬릿 마스크 또는 하프톤 마스크를 이용하여 부분 노광을 하여 형성할 수 있다. 즉, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242)는 부분 노광을 통하여 높이 차이를 발생시킬 수 있다. 다만, 이와 같은 감광성 유기물을 이용하는 방식은 예시적인 것에 불과하고, 잉크젯 프린팅 기법을 이용하거나 유기물을 도포하고 그 위에 포토레지스트를 도포하여 패터닝할 수 있다.
다음으로 도 5d를 참조하면, 블랙 매트릭스(220) 및 컬러필터(230) 상에 공통 전극(251)을 형성하고, 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에 센서 전극(252)을 형성한다.
우선, 블랙 매트릭스(220), 컬러필터(230), 제1 센서 스페이서(241) 및 제2 센서 스페이서(242) 상에 스퍼터링 등의 방법을 통해 투명 도전성 물질로 형성한다. 이를 위해, 투명 도전성 물질로는 ITO 또는 IZO와 같은 물질을 사용할 수 있다. 이와 같은 투명 도전성 물질을 마스크를 이용해 포토리소그래피 및 식각 공정을 통해 패터닝하여 공통 전극(251) 및 센서 전극(252)을 형성한다.
이하 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시 패널에 대하여 상세히 설명한다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다. 설명의 편의상 상기 제1 실시예의 도면에 나타낸 각 부재와 동일 기능을 갖는 동일 부재는 동일 부호로 나타내고, 따라서 그 설명은 생략한다.
본 발명의 제2 실시예에 따픈 표시 패널(1')은 제1 센서 스페이서(241')와 제2 센서 스페이서(242')의 측부가 서로 연결되어 있다. 구체적으로 설명하면, 상부 표시판(200)은 제2 기판(210) 상에 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스(220)와, 색 구현을 위한 컬러필터(230)와, 액정층(300)에 공통 전압을 인가하기 위한 공통 전극(251)을 포함한다.
제2 기판(210) 상에는 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(220)는 하부 표시판(100)의 박막 트랜지스터(TFT), 게이트선(121), 데이터선(162), 제1 센서 배선(123) 및 제2 센서 배선(166)과 중첩되도록 형성될 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스(220) 사이의 화소 영역에는 컬러필터(230)가 형성되어 있다.
공통 전극(251)은 컬러필터(230) 및 블랙 매트릭스(220)의 상부에 형성된다.
제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242')는 블랙 매트릭스(220) 상에 형성될 수 있다. 즉, 제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242')는 빛이 투과되지 않은 블랙 매트릭스(220)에 중첩되도록 형성되며, 제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242') 상에는 센서 전극(252)이 형성된다. 이러한 제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242')는 측부가 서로 연결되어 있다. 즉, 하나의 센서 스페이서에 두 개의 봉우리 형태로 형성될 수 있다. 여기서, 제1 센서 스페이서(241')와 제2 센서 스페이서(242')는 봉우리 형태로 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242')는 제1 기판(110)을 향하여 돌출되어 있다. 제2 센서 스페이서(242')는 제1 센서 스페이서(241')보다 제1 기판(110)을 향하여 더 돌출되어 있다.
제2 센서 스페이서(242')의 높이와 제1 센서 스페이서(241')의 높이의 차는 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다. 이와 같이 제2 센서 스페이서(242')의 높이와 제1 센서 스페이서(241')의 높이 차를 유지하면, 제1 센서 패드(182)와 제1 센서 스페이서(241') 사이의 간격과 제2 센서 패드(183)와 제2 센서 스페이서(242') 사이의 간격의 차를 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다.
한편, 제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242') 상에 형성된 센서 전극(252)은 공통 전극(251)과 동일한 공정에 의해 동일한 물질로 형성될 수 있다. 다만, 센서 전극(252)은 플로팅되도록 공통 전극(251)과 절연되어 형성될 수 있다. 이와 같은 센서 전극(252)은 하나의 전극이 섬형태로 제1 센서 스페이서(241') 및 제2 센서 스페이서(242') 상에 형성될 수 있다.
이하 도 7을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 패널에 대하여 상세히 설명한다. 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다. 설명의 편의상 상기 제1 실시예의 도면에 나타낸 각 부재와 동일 기능을 갖는 동일 부재는 동일 부호로 나타내고, 따라서 그 설명은 생략한다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 패널(1'')은 하부 표시판(100)에 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)를 포함한다.
제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)는 제1 기판(110) 상에 형성된다. 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)는 빛이 투과되지 않은 블랙 매트릭스(220)에 중첩되도록 형성되며, 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172) 상에는 각각 제1 센서 패드(182')와 제2 센서 패드(183')가 형성된다. 이러한 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)는 유기 물질로 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)는 제2 기판(210)을 향하여 돌출되어 있다. 제1 센서 스페이서(171)는 제2 센서 스페이서(172)보다 제2 기판(210)을 향하여 더 돌출되어 있다. 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)는 서로 인접하여 형성될 수 있으며, 소정의 간격만큼 이격되어 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)와 중첩되는 제2 기판(210) 상에는 공통 전극(251)이 형성될 수 있다. 여기서, 공통 전극(251) 중 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)와 중첩되는 영역이 센서 전극이 된다.
사용자가 상부 표시판(200)의 어느 지점에 압력을 가하면, 제2 기판(210)은 아래로 휘게 되고 공통 전극(251)이 아래도 내려가면서, 공통 전극(251)이 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172) 상에 형성된 제1 센서 패드(182') 및 제2 센서 패드(183')에 접촉하여 압력이 가해진 위치가 인식될 수 있다.
외부에서 상부 표시판(200)에 압력이 인가되기 전에는 제1 센서 스페이서(171) 및 제2 센서 스페이서(172)와 공통 전극(251) 사이에는 소정의 간격이 이격되도록 형성된다. 이때, 공통 전극(251)과 제1 센서 스페이서(171) 사이의 간격은 공통 전극(251)과 제2 센서 스페이서(172) 사이의 간격보다 작게 형성될 수 있 다. 따라서, 상부 표시판(200)에 힘이 가해지면 일차적으로 제1 센서 스페이서(171)가 공통 전극(251)에 접촉하고, 제1 센서 스페이서(171)가 지지하는 힘 이상이 가해지면 제2 센서 스페이서(172)가 공통 전극(251)에 접촉한다.
이와 같이, 제1 센서 패드(182')와 제2 센서 패드(183')가 공통 전극(251)에 접촉하면, 공통 전극(251)에 인가된 공통 전압이 제1 센서 패드(182') 및 제2 센서 패드(183')에 전달되어 압력이 가해진 지점이 인식될 수 있다. 그러나, 센서 전극이 반드시 공통 전극(251)의 일부분일 것에 한정되지 않는다. 즉, 센서 전극은 공통 전극(251)과 분리되어 플로팅된 전극일 수 있다. 예를 들면, 센서 전극은 공통 전극(251)의 일부가 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 센서 전극은 제1 센서 스페이서(171)와 제2 센서 스페이서(172)에 동시에 중첩되도록 형성될 수 있다.
제1 센서 스페이서(171)의 높이와 제2 센서 스페이서(172)의 높이의 차는 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다. 이와 같이 제1 센서 스페이서(171)의 높이와 제2 센서 스페이서(172)의 높이 차를 유지하면, 공통 전극(251)과 제1 센서 스페이서(171) 사이의 간격과 공통 전극(251)과 제2 센서 스페이서(172) 사이의 간격의 차를 0.1㎛ 이상으로 형성할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 패널의 배치도이다.
도 2는 도 1의 표시 패널을 II-II' 선을 따라 절단한 표시 패널의 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 1의 표시 패널의 작동 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 두 센서 패드 중 하나가 센서 전극과 접촉한 표시 패널의 작동 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5a 내지 도 5d는 도 1의 표시 패널에 포함되는 상부 표시판의 제조 과정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1: 표시 패널 100: 하부 표시판
110: 제1 기판 121: 게이트선
122: 게이트 전극 123: 제1 센서 배선
124: 제1 센서 배선 연장부 130: 게이트 절연막
140: 반도체층 155, 156: 오믹 콘택층
162: 데이터선 163: 소스 전극
164: 드레인 전극 166: 제2 센서 배선
167: 제2 센서 배선 연장부 170: 보호막
175: 제1 콘택홀 176: 제2 콘택홀
177: 제3 콘택홀 181: 화소 전극
182: 제1 센서 패드 183: 제2 센서 패드
200: 상부 표시판 210: 제2 기판
220: 블랙 매트릭스 230: 컬러필터
241: 제1 센서 스페이서 242: 제2 센서 스페이서
251: 공통 전극 252: 센서 전극

Claims (21)

  1. 제1 기판;
    상기 제1 기판 상에 형성된 제1 센서 패드;
    상기 제1 센서 패드와 이격하여 형성된 제2 센서 패드;
    상기 제1 기판에 대향하여 배치된 제2 기판;
    상기 제2 기판 상에 형성된 공통 전극
    상기 제2 기판 상에 상기 제1 센서 패드와 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서;
    상기 제2 기판 상에 상기 제2 센서 패드와 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제2 센서 스페이서; 및
    상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서 상에 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드에 중첩되도록 형성된 센서 전극을 포함하되,
    상기 제2 센서 스페이서는 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제1 기판을 향하여 더 돌출되고, 상기 센서 전극은 상기 공통 전극과 분리된 표시 패널.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서 사이의 간격은 상기 제1 센서 패드와 상기 제1 센서 스페이서 사이의 간격보다 작은 표시 패널.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1 센서 패드와 상기 제1 센서 스페이서 사이의 간격과 상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서 사이의 간격의 차는 0.1㎛ 이상인 표시 패널.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서는 상기 센서 전극을 사이에 두고 서로 접하는 표시 패널.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서는 측부가 서로 연결된 표시 패널.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터를 더 포함하는 표시 패널.
  9. 제1 기판;
    상기 제1 기판에 대향하여 배치된 제2 기판;
    상기 제2 기판 상에 형성된 형성된 공통 전극;
    상기 제1 기판 상에 형성되고 상기 제2 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서;
    상기 제1 기판 상에 형성되고 상기 제2 기판을 향하여 돌출된 제2 센서 스페이서;
    상기 제1 센서 스페이서 상에 형성된 제1 센서 패드;
    상기 제2 센서 스페이서 상에 형성되고 상기 제1 센서 패드와 분리된 제2 센서 패드; 및
    상기 제2 기판 상에 상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서와 중첩되도록 형성된 센서 전극을 포함하되,
    상기 제2 센서 스페이서는 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제2 기판을 향하여 더 돌출되고, 상기 센서 전극은 상기 공통 전극과 분리된 표시 패널.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제2 센서 패드와 상기 센서 전극 사이의 간격은 상기 제1 센서 패드와 상기 센서 전극 사이의 간격보다 작은 표시 패널.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제1 센서 패드와 상기 센서 전극 사이의 간격과 상기 제2 센서 패드와 상기 센서 전극 사이의 간격의 차는 0.1㎛ 이상인 표시 패널.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 센서 전극과 상기 제2 센서 스페이서는 상기 제2 센서 패드를 사이에 두고 서로 접하는 표시 패널.
  13. 제1 기판 상에 서로 이격하여 형성된 제1 센서 패드 및 제2 센서 패드를 형성하는 단계;
    제2 기판 상에 공통 전극을 형성하고, 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드와 각각 중첩되어 형성되고 상기 제1 기판을 향하여 돌출된 제1 센서 스페이서 및 제2 센서 스페이서를 형성하되, 상기 제2 센서 스페이서가 상기 제1 센서 스페이서보다 상기 제1 기판을 향하여 더 돌출되도록 형성하는 단계;
    상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서 상에 상기 제1 센서 패드 및 상기 제2 센서 패드에 중첩되도고 상기 공통 전극과 분리되도록 형성된 센서 전극을 형성하는 단계;
    상기 제2 기판을 상기 제1 기판에 대향하여 배치하는 단계를 포함하는 표시 패널의 제조 방법.
  14. 삭제
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제2 기판 상에 투명 전극으로 형성된 공통 전극을 더 포함하되, 상기 센서 전극은 상기 공통 전극과 분리된 표시 패널의 제조 방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서는 슬릿 마스크 또는 하프톤 마스크를 이용하여 형성하는 표시 패널의 제조 방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서 사이의 간격은 상기 제1 센서 패드와 상기 제1 센서 스페이서 사이의 간격보다 작은 표시 패널의 제조 방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 제1 센서 패드와 상기 제1 센서 스페이서 사이의 간격과 상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서 사이의 간격의 차는 0.1㎛ 이상인 표시 패널의 제조 방법.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 제2 센서 패드와 상기 제2 센서 스페이서는 상기 센서 전극을 사이에 두고 서로 접하는 표시 패널의 제조 방법.
  20. 제13항에 있어서,
    상기 제1 센서 스페이서 및 상기 제2 센서 스페이서는 측부가 서로 연결된 표시 패널의 제조 방법.
  21. 제13항에 있어서,
    상기 제1 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터를 더 포함하는 표시 패널의 제조 방법.
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