KR101565251B1 - 벨로우즈 시스템 - Google Patents

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KR101565251B1
KR101565251B1 KR1020140084268A KR20140084268A KR101565251B1 KR 101565251 B1 KR101565251 B1 KR 101565251B1 KR 1020140084268 A KR1020140084268 A KR 1020140084268A KR 20140084268 A KR20140084268 A KR 20140084268A KR 101565251 B1 KR101565251 B1 KR 101565251B1
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Abstract

본 발명은 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈; 상기 벨로우즈의 양단에 각각 마련되고, 상기 벨로우즈의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 상기 벨로우즈를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지; 및 상기 제 1 플랜지에 연결되고, 상기 벨로우즈의 내측면으로부터 이격되도록 상기 벨로우즈의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버;를 포함하도록 한 벨로우즈 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 공정 수행 중에 벨로우즈의 내측면에 파우더 등의 부산물이 증착 내지 적층되는 것을 차단하여, 벨로우즈가 부산물의 증착 등으로 인해 손상됨으로써 발생되는 리크(Leak)를 방지하고, 벨로우즈의 내측면에 증착 내지 적층된 부산물이 파티클로서 비산되어 챔버 측으로 유입되는 것을 차단할 뿐만 아니라, 이러한 파티클을 포집 내지 하방으로 이동하도록 가이드하며, 이로 인해 제조 공정시 파티클로 인한 결함 발생을 줄일 뿐만 아니라, 파티클로 인한 클리닝 등의 장치 가동률 저하를 유발하는 원인을 줄일 수 있다.

Description

벨로우즈 시스템{Bellows system}
본 발명은 벨로우즈 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정 수행 중 벨로우즈의 내측면에 파우더 등의 부산물이 증착 내지 적층되는 것을 차단하도록 하고, 부산물에 의한 파티클이 비산되어 공정장소에 유입되는 것을 최소화하도록 하는 벨로우즈 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 단위공정으로서, 증착공정, 사진공정, 식각공정, 확산공정 및 이온주입공정 등을 거침으로써 제조된다. 이러한 반도체 소자의 정밀한 제조를 위하여, 반도체 소자의 제조장비는 수행하는 공정에 적합하도록 고압, 고진공, 고온 등의 공정환경을 제공하게 된다.
반도체 소자의 제조장비는 반도체웨이퍼 또는 히터나 챔버 등의 장치를 승강시키기 위한 승강축을 가지는데, 이러한 승강축을 외부 환경으로부터 격리시키기 위한 벨로우즈가 승강축의 주변이나 챔버의 하측에 설치된다.
종래의 벨로우즈 중에서,히터 테이블의 승강을 허용하도록 하는 기술로는 한국공개특허 제10-2005-0003918호의 "벨로우즈 분리형 히터 테이블을 갖는 반도체 제조설비"가 제시된 바 있는데, 이는 공정챔버; 상기 공정챔버의 내부에 설치되어 상면에 웨이퍼가 안착되는 히터테이블 몸체; 상기 히터테이블 몸체의 저면에 설치되되 상기 공정챔버의 저면 외부로 인출된 구동축; 상기 공정챔버의 외측으로 인출된 상기 구동축과 연결된 고정유닛; 상기 히터테이블 몸체 저면에 상단이 결합되고 내부에 구동축이 삽입되며 하단이 상기 고정유닛과 결합된 벨로우즈; 및 상기 벨로우즈의 상ㆍ하단을 결합하는 결합유닛;을 포함한다.
그러나, 이와 같은 종래 기술에서 벨로우즈는, 상하 운동을 통하여 신축을 빈번하게 반복함으로써 자체의 재질적인 특성으로 인해, 신축시 덧댄 부분으로부터 부유물이 발생하게 되고, 특히 진공의 제조환경에서는 이러한 부유물이 파티클로서 비산되어 오염원으로 작용하는 문제점을 가지고 있었다.
또한 종래 기술 뿐만 아니라, 기존의 반도체 소자의 제조장비에 적용되는 벨로우즈의 경우, 반도체 제조공정, 예컨대 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정 중에 사용되는 소스(Source)가 챔버 내벽 및 틈새로 증착되므로, 주기적으로 내부 파트에 대해서 클리닝을 수행하게 되는데, 이러한 부산물은 챔버 하부에 설치되는 벨로우즈에도 증착 내지 적층되며, 벨로우즈의 신축 반복에 의해, 파티클로서 분리되어 비산됨으로써 오염원으로 작용하게 되어, 반도체 소자의 제조시 결함을 발생시켜서 반도체 소자의 수율을 현저하게 저하시키는 원인이 되며, 이를 해결하기 위한 잦은 클리닝으로 인해 장치의 가동률을 저하시키게 되는 문제점을 가지고 있었다. 또한 벨로우즈의 내측면에 증착된 부산물은 벨로우즈의 신축시, 저항으로 작용하여 벨로우즈의 손상을 초래함으로써 벨로우즈의 리크(Leak)를 유발시키는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 공정 수행 중 벨로우즈의 내측면에 파우더 등의 부산물이 증착 내지 적층되는 것을 차단하여, 벨로우즈가 부산물의 증착 등으로 인해 손상됨으로써 발생되는 리크(Leak)를 방지하고, 벨로우즈의 내측면에 증착 내지 적층된 부산물이 파티클로서 비산되어 공정장소, 예컨대 챔버 측으로 유입되는 것을 차단할 뿐만 아니라, 이러한 파티클을 포집 내지 하방으로 이동하도록 가이드하며, 이로 인해 제조 공정시 파티클로 인한 결함 발생을 줄일 뿐만 아니라, 파티클로 인한 클리닝 등의 장치 가동률 저하를 유발하는 원인을 줄이도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈; 상기 벨로우즈의 양단에 각각 마련되고, 상기 벨로우즈의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 상기 벨로우즈를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지; 및 상기 제 1 플랜지에 연결되고, 상기 벨로우즈의 내측면으로부터 이격되도록 상기 벨로우즈의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버;를 포함하는 벨로우즈 시스템이 제공된다.
상기 제 1 트랩커버는, 상기 제 1 플랜지에 일체를 이루도록 형성되거나, 상기 제 1 플랜지에 끼움방식에 의해 고정되도록 형성될 수 있다.
상기 제 2 플랜지에 연결되어 상기 벨로우즈의 내측면으로부터 이격되도록 상기 벨로우즈의 내측에 설치되고, 상기 벨로우즈가 수축시 상기 제 1 트랩커버와 겹쳐질 수 있는 중공으로 이루어지는 제 2 트랩커버를 더 포함할 수 있다.
상기 제 2 트랩커버는, 상기 제 2 플랜지에 일체를 이루도록 형성되거나, 상기 제 2 플랜지에 끼움방식에 의해 고정되도록 형성될 수 있다.
상기 제 1 트랩커버에 열을 가하도록 설치되는 히터를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 트랩커버의 외주면에 설치되는 상기 히터의 외측을 감싸기 위해 링형태로 이루어지고, 상기 제 1 플랜지의 일측에 결합되는 히터커버; 및 상기 히터커버의 외측에 고정되고, 상기 히터에 전기적으로 접속되어 전원을 공급하는 아답터;를 더 포함하고, 상기 제 1 트랩커버는, 상기 히터의 하측을 지지하도록 외주면을 따라 지지리브가 돌출되도록 마련되고, 상기 지지리브의 상측에 상기 히터커버의 하단이 지지되고, 상기 지지리브의 하측에 상기 벨로우즈의 끝단이 고정됨으로써 상기 벨로우즈의 끝단이 상기 제 1 플랜지에 고정되도록 매개할 수 있다.
본 발명에 따른 벨로우즈 시스템에 의하면, 벨로우즈의 내측에 설치되는 트랩커버에 의해, 공정 수행 중 벨로우즈의 내측면에 파우더 등의 부산물이 증착 내지 적층되는 것을 차단하여, 벨로우즈가 부산물의 증착 등으로 인해 손상됨으로써 발생되는 리크(Leak)를 방지하고, 벨로우즈의 내측면에 증착 내지 적층된 부산물이 파티클로서 비산되어 공정장소, 예컨대 챔버 측으로 유입되는 것을 차단할 뿐만 아니라, 이러한 파티클을 포집 내지 하방으로 이동하도록 가이드하며, 이로 인해 제조 공정시 파티클로 인한 결함 발생을 줄일 뿐만 아니라, 파티클로 인한 클리닝 등의 장치 가동률 저하를 유발하는 원인을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템의 설치례를 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템의 수축시 모습을 도시한 측단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템의 수축시 모습을 도시한 측단면도이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
도 11은 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템의 설치례를 도시한 측단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(100)은 벨로우즈(bellows; 110), 제 1 및 제 2 플랜지(flange; 120,130) 및 제 1 트랩커버(trap cover; 140)를 포함할 수 있다.
벨로우즈(110)는 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용된다. 벨로우즈(110)는 본 실시례에서 전체에 걸쳐서 주름구조를 가지나, 이에 한하지 않고 일부분에만 주름구조를 가질 수도 있으며, 주름구조를 가지기 위하여, 일례로 얇은 금속을 엇갈리게 덧댄 방식으로 용접을 통하여 만들어질 수 있고, 그 특성상 수축과 본래의 위치로의 복귀 특성을 가진다.
제 1 및 제 2 플랜지(120,130)는 벨로우즈(110)의 양단에 각각 마련되고, 벨로우즈(110)의 양단이 각각 고정되는 위치(10,20)에 각각 고정됨으로써 벨로우즈(110)를 고정시킨다. 제 1 및 제 2 플랜지(120,130)는 본 실시례에서 벨로우즈(110)의 양단에 직접적으로 마련되어 고정될 수 있으나, 이에 한하지 않고, 별도의 부재, 예컨대 제 1 트랩커버(140)를 매개로 하여 벨로우즈(110)에 마련될 수도 있다. 제 1 및 제 2 플랜지(120,130)는 일례로 수직되게 위치하는 벨로우즈(110)의 상단과 하단에 각각 마련됨을 나타내나, 이에 한하지 않고, 그 설치 위치를 반대로 할 수 있으며, 수평되게 위치하는 벨로우즈(110)의 좌측단과 우측단에 각각 마련될 수도 있다.
한편 벨로우즈(110)의 양단이 각각 고정되는 위치(10,20)는 히터(30)의 승강축(31)과 함께 승강하는 승강부(10)와, 히터(30)가 내측에 설치되는 챔버(20)의 하측일 수 있는데, 이는 하나의 예시일 뿐, 승강하는 부재를 외부와 격리시키기 위한 다양한 위치일 수 있고, 이에 한하지 않고, 외부와 내부를 격리시키되, 벨로우즈(110)의 주름구조에 의해 진동을 흡수하기 위한 다양한 위치일 수도 있다. 여기서, 챔버(20)는 일례로 반도체 소자의 제조를 위한 CVD 공정 등을 수행하는 챔버일 수 있으며, 반도체웨이퍼를 지지하는 히터(30)의 승강축(31)이 하방으로 인출되도록 개구(21)가 형성될 수 있다. 벨로우즈(110)는 히터(30)의 승강축(31)을 감싸도록 설치됨으로써 챔버(20)의 내부공간을 외부와 격리시키는 역할을 하게 된다.
제 1 및 제 2 플랜지(120,130) 각각은 상기의 고정되는 위치(10,20)에 볼트나 스크루 등으로 고정되기 위한 다수의 체결홀(121,131)이 형성될 수 있고, 벨로우즈(110)의 양단에 각각 마련되는 고정단(111,112)이 접착, 용접, 볼팅, 끼움 구조 등에 의해 고정되기 위한 고정부(122,132)가 각각 마련될 수 있다.
제 1 트랩커버(140)는 제 1 플랜지(120)에 연결되고, 벨로우즈(110)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(110)의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어질 수 있다. 제 1 트랩커버(140)는 일례로 제 1 플랜지(120)의 제작시 동시에 제작됨으로써 제 1 플랜지(120)에 일체를 이루도록 형성되거나, 다른 예로서 제 1 플랜지(120)와 별개로 이루어져서 제 1 플랜지(120)에 끼움방식에 의해 고정되도록 형성될 수 있다. 제 1 트랩커버(140)는 제 1 플랜지(120)에 끼움방식으로 고정시 상단이 제 1 플랜지(120)의 내주면에 형성되는 삽입결합부(123)에 삽입되어 고정될 수 있으며, 이때 필요에 따라 접착, 용접, 볼팅 등이 함께 적용될 수도 있다.
도 4를 참조하면, 히터(30; 도 3에 도시)와 함께 승강부(10; 도 3에 도시)의 상승에 의해 벨로우즈(110)가 수축하게 된다. 이때 제 1 트랩커버(140)는 벨로우즈(110)의 최대 수축시, 다른 구성부재와의 간섭을 일으키지 않는 높이를 가질 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(200)은 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈(210)와, 벨로우즈(210)의 양단에 각각 마련되고, 벨로우즈(210)의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 벨로우즈(210)를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지(220,230)와, 제 1 플랜지(220)에 연결되고, 벨로우즈(210)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(210)의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버(240)를 포함하고, 나아가서, 제 2 플랜지(230)에 연결되어 벨로우즈(210)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(210)의 내측에 설치되고, 벨로우즈(210)가 수축시 제 1 트랩커버(240)와 겹쳐질 수 있는 중공으로 이루어지는 제 2 트랩커버(250)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(200)에서, 제 1 및 제 2 플랜지(220,230)에 체결홀(221,231)이 형성됨과 아울러, 벨로우즈(210) 양단의 고정단(211,212)이 고정되기 위한 고정부(222,232)가 형성되는 점, 제 1 트랩커버(240)가 제 1 플랜지(220)에 일체를 이루도록 형성되거나, 본 실시례에서처럼 제 1 플랜지(220)에 형성된 삽입결합부(223)에 끼움방식 등에 의해 고정되도록 형성되는 점 등을 비롯하여 벨로우즈(210), 제 1 및 제 2 플랜지(220,230), 그리고 제 1 트랩커버(240)에 대해서는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(100)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
제 2 트랩커버(250)는 본 실시례에서처럼 제 2 플랜지(230)에 일체를 이루도록 형성되거나, 다른 예로서 제 2 플랜지(230)의 삽입결합부(223)에 끼움방식 등으로 고정되도록 형성될 수 있다. 또한 제 2 트랩커버(250)는 본 실시례에서 제 1 트랩커버(240)의 내측으로 겹쳐지기 위한 직경을 가지나, 이와 달리 다른 예로서 제 1 트랩커버(240)의 외측으로 겹쳐지기 위한 직경을 가질 수 있다.
도 7을 참조하면, 히터(30; 도 3에 도시)와 함께 승강부(10; 도 3에 도시)의 승강에 의해 벨로우즈(210)가 수축하게 된다. 이때 제 1 트랩커버(240)와 제 2 트랩커버(250)는 서로 겹쳐질 수 있다. 또한 벨로우즈(210)의 최대 수축시, 서로 겹쳐지는 제 1 및 제 2 트랩커버(240,250)가 다른 구성부재와의 간섭이나 서로 간의 간섭을 일으키지 않는 높이를 가질 수 있다. 또한 제 1 트랩커버(240)는 제 2 트랩커버(250)와 겹쳐지는 부위를 벗어난 외주면에 턱부(241)가 형성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이고, 도 9는 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(300)은 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈(310)와, 벨로우즈(310)의 양단에 각각 마련되고, 벨로우즈(310)의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 벨로우즈(310)를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지(320,330)와, 제 1 플랜지(320)에 연결되고, 벨로우즈(310)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(310)의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버(340)를 포함하고, 나아가서, 제 1 트랩커버(340)에 열을 가하도록 설치되는 히터(360)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(300)에서, 제 1 트랩커버(340)가 제 1 플랜즈(320)와 벨로우즈(310) 사이에 개재되어, 제 1 플랜지(320)와 벨로우즈(310)의 결합을 매개하는 점을 제외하고, 제 1 및 제 2 플랜지(320,330)에 체결홀(321,331)이 형성되는 점, 제 2 플랜지(330)에 벨로우즈(310) 끝단의 고정단(312)이 고정되기 위한 고정부(332)가 형성되는 점, 제 1 트랩커버(340)가 제 1 플랜지(320)에 일체를 이루도록 형성되거나, 본 실시례에서처럼 제 1 플랜지(320)에 형성된 삽입결합부(323)에 끼움방식 등에 의해 고정되도록 형성되는 점 등을 비롯하여, 벨로우즈(310), 제 1 및 제 2 플랜지(320,330), 그리고 제 1 트랩커버(340)에 대해서는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(100)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
히터(360)는 전기에너지를 열에너지로 변환하는 전기히터가 사용될 수 있고, 일례로 제 1 트랩커버(340)의 외주면을 감싸도록 권선될 수 있는데, 이에 한하지 않고, 열을 제공하는 다양한 방식과 구조의 히팅장치가 사용될 수 있으며, 제 1 트랩커버(340)에 열을 제공하여, 제 1 트랩커버(340)의 내측을 가열할 뿐만 아니라, 제 1 트랩커버(340)의 내측면에 대한 부산물의 증착 내지 적층을 최소화시킬 수 있다.
본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(300)은 히터(360)와 함께, 히터커버(370) 및 아답터(380)를 더 포함할 수 있다.
히터커버(370)는 제 1 트랩커버(340)의 외주면에 설치되는 히터(360)의 외측을 감싸기 위해 링형태로 이루어질 수 있고, 제 1 플랜지(320)의 일측, 예컨대 제 1 플랜지(320)의 하면에 마련되는 고정부(322)에 상단의 결합부(371)가 억지 끼움 등의 방식에 의해 결합되어 고정될 수 있다.
아답터(380)는 히터커버(370)의 외측에 고정되고, 히터(360)의 접속단(361)에 전기적으로 접속되어 전원을 공급하며, 본 실시례에서처럼 히터커버(370)에 형성되는 홈부(372)를 통해서 히터(360)의 접속단(361)에 연결될 수 있다.
제 1 트랩커버(340)는 히터(360)의 하측을 지지하도록 외주면을 따라 지지리브(341)가 돌출되도록 마련됨으로써 지지리브(341) 상측의 외주면에 히터(360)의 장착부(342)가 마련될 수 있고, 지지리브(341)의 상측에 히터커버(370)의 하단이 지지될 수 있고, 지지리브(341)의 하측에 벨로우즈(310) 끝단의 고정단(311)이 고정됨으로써 벨로우즈(310) 끝단의 고정단(311)이 제 1 플랜지(320)에 고정되도록 매개할 수 있다.
도 11은 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 분해하여 도시한 사시도이고, 도 12는 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 결합하여 도시한 사시도이고, 도 13은 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템을 도시한 측단면도이다.
도 11 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(400)은 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈(410)와, 벨로우즈(410)의 양단에 각각 마련되고, 벨로우즈(410)의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 벨로우즈(410)를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지(420,430)와, 제 1 플랜지(420)에 연결되고, 벨로우즈(410)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(410)의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버(440)를 포함하고, 나아가서, 제 2 플랜지(430)에 연결되어 벨로우즈(410)의 내측면으로부터 이격되도록 벨로우즈(410)의 내측에 설치되고, 벨로우즈(410)가 수축시 제 1 트랩커버(440)와 겹쳐질 수 있는 중공으로 이루어지는 제 2 트랩커버(450)와, 제 1 트랩커버(440)에 열을 가하도록 설치되는 히터(460)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(400)에서, 제 1 트랩커버(440)가 제 1 플랜즈(420)와 벨로우즈(410) 사이에 개재되어, 제 1 플랜지(420)와 벨로우즈(410)의 결합을 매개하는 점을 제외하고, 제 1 및 제 2 플랜지(420,430)에 체결홀(421,431)이 형성되는 점, 제 2 플랜지(430)에 벨로우즈(410) 끝단의 고정단(412)이 고정되기 위한 고정부(432)가 형성되는 점, 제 1 트랩커버(440)가 제 1 플랜지(420)에 일체를 이루도록 형성되거나, 본 실시례에서처럼 제 1 플랜지(420)에 형성된 삽입결합부(423)에 끼움방식 등에 의해 고정되도록 형성되는 점 등을 비롯하여, 벨로우즈(410), 제 1 및 제 2 플랜지(420,430), 제 1 트랩커버(440), 그리고 히터(460)에 대해서는 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(300)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
또한 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(400)에서 제 2 트랩커버(450)는 본 발명의 제 2 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(200)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
또한 본 발명의 제 4 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(400)에서 제 1 트랩커버(440)에 마련되는 지지리브(441) 및 장착부(442), 접속단(461)을 가지는 히터(460), 결합부(471) 및 홈부(472)를 가지는 히터커버(470), 그리고 아답터(480)에 대해서는 본 발명의 제 3 실시례에 따른 벨로우즈 시스템(300)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 벨로우즈 시스템에 따르면, 벨로우즈의 내측에 설치되는 트랩커버에 의해, 공정 수행 중에 벨로우즈의 내측면에 파우더 등의 부산물이 증착 내지 적층되는 것을 차단하여, 벨로우즈가 부산물의 증착 등으로 인해 손상됨으로써 발생되는 리크(Leak)를 방지하고, 벨로우즈의 내측면에 증착 내지 적층된 부산물이 파티클로서 비산되어 챔버 측으로 유입되는 것을 차단할 뿐만 아니라, 이러한 파티클을 포집 내지 하방으로 이동하도록 가이드하며, 이로 인해 제조 공정시 파티클로 인한 결함 발생을 줄일 뿐만 아니라, 파티클로 인한 클리닝 등의 장치 가동률 저하를 유발하는 원인을 줄일 수 있다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110,210,310,410 : 벨로우즈
111,112,211,212,311,312,411,412 : 고정단
120,220,320,420 : 제 1 플랜지
121,221,321,421 : 체결홀
122,222,322,422 : 고정부
123,223,323,423 : 삽입결합부
130,230,330,430 : 제 2 플랜지
131,231,331,431 : 체결홀
132,232,332,432 : 고정부
140,240,340,440 : 제 1 트랩커버
241 : 턱부
250,450 : 제 2 트랩커버
341,441 : 지지리브
342,442 : 장착부
360,460 : 히터
361,461 : 접속단
370,470 : 히터커버
371,371 : 결합부
372,472 : 홈부
380,480 : 아답터

Claims (6)

  1. 신축이 가능하도록 주름구조를 가지고, 중공으로 이루어져서 내부와 외부를 격리시키기 위하여 사용되는 벨로우즈;
    상기 벨로우즈의 양단에 각각 마련되고, 상기 벨로우즈의 양단이 각각 고정되는 위치에 고정됨으로써 상기 벨로우즈를 고정시키는 제 1 및 제 2 플랜지; 및
    상기 제 1 플랜지에 연결되고, 상기 벨로우즈의 내측면으로부터 이격되도록 상기 벨로우즈의 내측에 설치되며, 중공으로 이루어지는 제 1 트랩커버;
    상기 제 1 트랩커버에 열을 가하도록 설치되는 히터를 포함하고,
    상기 제 1 트랩커버의 외주면에 설치되는 상기 히터의 외측을 감싸기 위해 링형태로 이루어지고, 상기 제 1 플랜지의 일측에 결합되는 히터커버; 및
    상기 히터커버의 외측에 고정되고, 상기 히터에 전기적으로 접속되어 전원을 공급하는 아답터;를 더 포함하고,
    상기 제 1 트랩커버는,
    상기 히터의 하측을 지지하도록 외주면을 따라 지지리브가 돌출되도록 마련되고, 상기 지지리브의 상측에 상기 히터커버의 하단이 지지되고, 상기 지지리브의 하측에 상기 벨로우즈의 끝단이 고정됨으로써 상기 벨로우즈의 끝단이 상기 제 1 플랜지에 고정되도록 매개하는, 벨로우즈 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 트랩커버는,
    상기 제 1 플랜지에 일체를 이루도록 형성되거나, 상기 제 1 플랜지에 끼움방식에 의해 고정되도록 형성되는, 벨로우즈 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 플랜지에 연결되어 상기 벨로우즈의 내측면으로부터 이격되도록 상기 벨로우즈의 내측에 설치되고, 상기 벨로우즈가 수축시 상기 제 1 트랩커버와 겹쳐질 수 있는 중공으로 이루어지는 제 2 트랩커버를 더 포함하는, 벨로우즈 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제 2 트랩커버는,
    상기 제 2 플랜지에 일체를 이루도록 형성되거나, 상기 제 2 플랜지에 끼움방식에 의해 고정되도록 형성되는, 벨로우즈 시스템.
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