KR101561223B1 - Pattern roll and printer including the same - Google Patents

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KR101561223B1 KR1020130164787A KR20130164787A KR101561223B1 KR 101561223 B1 KR101561223 B1 KR 101561223B1 KR 1020130164787 A KR1020130164787 A KR 1020130164787A KR 20130164787 A KR20130164787 A KR 20130164787A KR 101561223 B1 KR101561223 B1 KR 101561223B1
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Abstract

패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴롤은 외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트; 패턴시트가 권취되되, 외주연에 복수의 흡착공이 형성되어 패턴시트가 흡착되며, 패턴시트에 의하여 기판 상의 레지스트에 요홈 형태의 패턴홈을 형성시키는 패턴롤 본체를 포함한다.A pattern roll and a printing apparatus having the pattern roll are disclosed. A pattern roll according to an embodiment of the present invention includes a pattern sheet having a print pattern formed on an outer surface thereof; And a pattern roll body for winding a pattern sheet, a plurality of suction holes formed on an outer circumferential surface of the pattern roll, for attracting the pattern sheet, and forming pattern grooves in the form of concave grooves in the resist on the substrate by the pattern sheet.

Description

패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치{PATTERN ROLL AND PRINTER INCLUDING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pattern roll,

본 발명은, 패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판에 패턴을 형성하는 패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pattern roll and a printing apparatus having the pattern roll, and more particularly, to a pattern roll for forming a pattern on a substrate and a printing apparatus having the pattern roll.

최근에는, 디스플레이, 반도체 산업을 중심으로 저가의 제품을 구현하기 위해 기존 리소그래피(lithography) 공정을 기반으로 하는 기술을 대체할 수 있는 인쇄(imprinting) 기술이 이슈가 되고 있다.In recent years, imprinting technology that can replace technologies based on existing lithography processes has become an issue in order to realize low cost products mainly in the display and semiconductor industries.

인쇄(Imprinting) 기술은, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 디스플레이나 반도체 등의 제품 제조에 사용되는 가압 성형에 의한 패턴 형성기법이다.Imprinting technology is a pattern forming technique by press molding used for manufacturing displays such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), organic light emitting diode (OLED)

이러한, 인쇄 기술을 이용하여 전자 회로, 센서, 태양 전지(solar cell), 플렉서블 디스플레이(flexible display), RFID 등의 다양한 전자 소자들을 쉽게 제작할 수 있다.Various electronic devices such as an electronic circuit, a sensor, a solar cell, a flexible display, and an RFID can be easily manufactured using such a printing technique.

또한, 인쇄 기술은 기존의 리소그래피 공정과 비교하여 공정을 간소화시킬 수 있으며, 제품 제조 시간 및 생산 원가를 획기적으로 감소시킬 수 있다. 또한, 인쇄 기술은 낮은 제조 비용으로도 제품을 대량 생산할 수 있다.Further, the printing technique can simplify the process as compared with the existing lithography process, and can significantly reduce the production time and the production cost of the product. In addition, printing technology can mass produce a product with low manufacturing cost.

그리고, 인쇄 기술을 이용 시, 기존 유리 기판과는 달리 플라스틱, 섬유, 종이 등 다양한 소재들을 기판으로 사용할 수 있어 그 활용 범위가 매우 넓다.Unlike the conventional glass substrate, when printing technology is used, various materials such as plastic, fiber, and paper can be used as a substrate.

종래 기술에 따른 인쇄 기술은, 금속제의 롤(Roll) 혹은 실린더바디(Cylinder body)에 동도금 -> PR도포 -> 레이져Wiring -> 현상/에칭 -> 박리 및 Cr 강화도금의 공정으로 제작되며, 고에너지 레이져를 이용하여 표면에 직접 패턴을 형성하였다.The printing technology according to the related art is manufactured by a process of copper plating, PR coating, laser welding, development / etching, peeling and chromium plating on a metal roll or a cylinder body, An energy laser was used to form a pattern directly on the surface.

이경우 레이져 패턴을 형성하는 기구(레이져 식각기)가 필요하였으며, 롤이 1회전 할 때마다 원주방향으로 1줄의 패턴이 형성되고, 이후 레이져 소스(Source)를 이동하여 다음 줄의 패턴을 형성하는 것을 반복하여 롤 전체의 패턴이 형성되었다.In this case, a mechanism for forming a laser pattern (laser type) is required. Each time a roll is rotated, a single line pattern is formed in the circumferential direction, and then a laser source is moved to form a next line pattern The pattern of the entire roll was formed.

이러한 패턴 형성과정은, 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 제작 과정의 극소 불량이 발생하여도 재가공에 많은 시간이 소요되었다.This pattern formation process took a lot of time and it took a lot of time to reprocess even if the fabrication process was very small.

또한, 동일한 롤을 복수로 제작하는 경우도 복제가 불가능하여 제작시간이 증가하였다.Further, even when a plurality of identical rolls were produced, duplication was impossible and the production time increased.

그런데, 이러한 제작법으로는 에칭 과정에서 패턴의 깊이가 깊어지면서 선폭도 증가하게 되며, 레이져를 이용한 직접 식각에서도 패턴을 녹이는 과정에서 선폭 증가가 발생하여 표면상의 패턴 해상도가 작게 제한되는 문제점이 있었다.However, in this manufacturing method, the line width increases as the depth of the pattern deepens in the etching process, and the line width increases in the process of melting the pattern even in the direct etching using the laser, thereby limiting the pattern resolution on the surface.

대한민국 공개특허 제10-2013-0019298호(2013.08.16.공개)Korean Patent Publication No. 10-2013-0019298 (published on Aug. 16, 2013)

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트를 흡착시켜 해상도가 우수한 패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a pattern roll having excellent resolution by absorbing a pattern sheet having a print pattern formed on its outer surface, and a printing apparatus having the pattern roll.

본 발명의 일 측면에 따르면, 외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트; 및 상기 패턴시트가 권취되되, 외주연에 복수의 흡착공이 형성되어 상기 패턴시트가 흡착되며, 상기 패턴시트에 의하여 기판 상의 레지스트에 요홈 형태의 패턴홈을 형성시키는 패턴롤 본체를 포함하는 패턴롤이 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a pattern sheet comprising: a pattern sheet on which a printed pattern is formed; And a pattern roll body including a pattern roll body on which the pattern sheet is wound and on which a plurality of suction holes are formed to attract the pattern sheet and form pattern grooves in the form of concave grooves in the resist on the substrate by the pattern sheet, Can be provided.

상기 패턴시트는, 상기 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트 본체; 및 상기 패턴시트 본체의 하면에 결합되어 상기 패턴시트 본체의 구겨짐을 방지하기 위한 적어도 한 층의 베이스 필름을 포함할 수 있다.Wherein the pattern sheet comprises: a pattern sheet main body in which the print pattern is formed; And at least one base film coupled to a lower surface of the pattern sheet main body to prevent wrinkling of the pattern sheet main body.

상기 패턴시트 본체는, 도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매로 결합될 수 있다. The pattern sheet body may be joined at both ends with a wedge-shaped joint so as to prevent damage to a blade that wipes the ink to be coated.

상기 쐐기형 이음매는, 상기 쐐기형 이음매의 단차를 제거하기 위해 상기 베이스 필름 외부에 상기 패턴시트 본체를 권취한 후에 상기 쐐기형 이음매 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨 것을 특징으로 할 수 있다. The wedge-shaped joint is formed by winding the pattern sheet main body on the outside of the base film to remove a step of the wedge-shaped joint, and then filling the wedge-shaped joint region with UV resin (Ultra violet ray resin) .

상기 패턴롤 본체는, 이너롤(Inner roll); 상기 이너롤 외부에 고정되되, 이너롤과 함께 회전하며 상기 패턴시트가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공이 형성된 아우터롤(Outer roll); 및 상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되되 상기 복수의 흡착공과 연통되어 상기 패턴시트를 상기 아우터롤의 외주연에 진공흡착시키는 흡입챔버를 포함할 수 있다. The pattern roll body includes an inner roll; An outer roll fixed to the outside of the inner roll, the outer roll being rotated together with the inner roll and having a plurality of suction holes formed on the outer circumference to closely contact the pattern sheet; And a suction chamber provided between the inner roll and the outer roll, the suction chamber being in communication with the plurality of suction holes to vacuum adsorb the pattern sheet to the outer periphery of the outer roll.

상기 패턴롤 본체는, 상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되어 상기 흡입챔버를 구획하는 복수의 격벽을 더 포함할 수 있다.The pattern roll body may further include a plurality of partition walls provided between the inner roll and the outer roll to partition the suction chamber.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판을 연속 공급하는 기판 공급유닛; 상기 기판이 공급되고 회수되는 공정라인 상에서 상기 기판 상의 레지스트에 패턴홈을 형성시키는 패턴롤을 구비하는 임프린트유닛; 및 상기 패턴홈이 형성된 기판을 회수하는 기판 회수유닛 포함하며, 상기 패턴롤은, 외면에 상기 패턴홈을 형성시키기 위한 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트; 및 상기 패턴시트가 권취되되, 외주연에 복수의 흡착공이 형성되어 상기 패턴시트가 흡착되는 패턴롤 본체를 포함하는 인쇄장치가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a substrate supply unit for continuously supplying a substrate; An imprint unit having a pattern roll for forming a pattern groove in a resist on the substrate on a process line through which the substrate is supplied and recovered; And a substrate recovery unit that recovers the substrate on which the pattern grooves are formed, wherein the pattern roll includes a pattern sheet on which a print pattern for forming the pattern grooves is formed; And a pattern roll body on which the pattern sheet is wound and on which a plurality of suction holes are formed on the outer periphery of the pattern roll to absorb the pattern sheet.

상기 패턴시트는, 상기 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트 본체; 및 상기 패턴시트 본체의 하면에 결합되어 상기 패턴시트 본체의 구겨짐을 방지하기 위한 적어도 한 층의 베이스 필름을 포함할 수 있다.Wherein the pattern sheet comprises: a pattern sheet main body in which the print pattern is formed; And at least one base film coupled to a lower surface of the pattern sheet main body to prevent wrinkling of the pattern sheet main body.

상기 패턴시트 본체는, 도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매로 결합되며, 상기 쐐기형 이음매는, 상기 쐐기형 이음매의 단차를 제거하기 위해 상기 베이스 필름 외부에 상기 패턴시트 본체를 권취한 후에 상기 쐐기형 이음매 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨 것을 특징으로 할 수 있다. The pattern sheet body is joined at both ends with a wedge-shaped joint so as to prevent damage to a blade that wipes the applied ink, and the wedge- After the pattern sheet body is wound on the outside of the base film, the wedge-shaped joint region is filled with UV resin (Ultra violet ray resin) and cured.

상기 패턴롤 본체는, 이너롤(Inner roll); 상기 이너롤 외부에 고정되되, 이너롤과 함께 회전하며 상기 패턴시트가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공이 형성된 아우터롤(Outer roll); 및 상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되되 상기 복수의 흡착공과 연통되어 상기 패턴시트를 상기 아우터롤의 외주연에 진공흡착시키는 흡입챔버를 포함하며, 상기 패턴롤 본체는, 상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되어 상기 흡입챔버를 구획하는 복수의 격벽을 더 포함할 수 있다.The pattern roll body includes an inner roll; An outer roll fixed to the outside of the inner roll, the outer roll being rotated together with the inner roll and having a plurality of suction holes formed on the outer circumference to closely contact the pattern sheet; And a suction chamber which is provided between the inner roll and the outer roll and communicates with the plurality of suction holes to vacuum adsorb the pattern sheet to the outer periphery of the outer roll, And a plurality of partition walls provided between the outer rolls and partitioning the suction chamber.

상기 임프린트유닛은, 상기 패턴롤에 이웃하게 배치되어 상기 패턴롤 쪽으로 가압되는 적어도 하나의 가압롤을 더 포함할 수 있다.The imprint unit may further include at least one pressure roll disposed adjacent to the pattern roll and pressed toward the pattern roll.

상기 패턴롤의 인접 배치되며, 상기 패턴롤을 지난 상기 기판을 가경화시키는 패턴롤용 가경화부 더 포함할 수 있다.And a patterning roll for pattern rolls adjacent to the pattern rolls and for curing the substrate past the pattern rolls.

상기 기판이 상기 패턴롤로 공급되기 전에 상기 기판 상의 보호필름을 제거하는 보호필름 제거부를 더 포함할 수 있다.And a protective film removing unit for removing the protective film on the substrate before the substrate is supplied to the pattern roll.

상기 패턴롤의 공정 후방에 배치되며, 상기 패턴롤을 지난 상기 기판을 가경화시키는 임프린트유닛용 가경화부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a hardening unit for an imprint unit disposed behind the pattern roll and temporarily curing the substrate past the pattern roll.

본 발명의 실시 예들은, 외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트를 흡착시켜 해상도가 우수한 패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치를 제공된다.Embodiments of the present invention provide a pattern roll having excellent resolution by absorbing a pattern sheet on which an outer surface of a pattern is formed, and a printing apparatus having the pattern roll.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴롤의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 2는 패턴시트의 모습의 나타낸 사시도이다.
도 3은 쐐기형 이음매를 나타낸 단면도이다.
도 4는 패턴롤 본체를 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 4의 C-C 선을 따라 잘라낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄장치를 나타낸 구성도이다.
도 7은 임프린트유닛 영역의 확대도이다.
도 8은 기판 회수유닛 영역의 확대도이다.1 is a perspective view showing a pattern roll according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a pattern sheet.
3 is a cross-sectional view showing a wedge-type joint.
4 is a cross-sectional view showing the pattern roll main body.
5 is a cross-sectional view taken along line CC in Fig.
6 is a configuration diagram illustrating a printing apparatus according to another embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of the imprint unit area.
8 is an enlarged view of the substrate recovery unit area.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴롤의 모습을 나타낸 사시도이며, 도 2는 패턴시트의 모습의 나타낸 사시도이고, 도 3은 쐐기형 이음매를 나타낸 단면도이며, 도 4는 패턴롤 본체를 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4의 C-C 선을 따라 잘라낸 단면도이며, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄장치를 나타낸 구성도이며, 도 7은 임프린트유닛 영역의 확대도이고, 도 8은 기판 회수유닛 영역의 확대도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a pattern roll according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a state of a pattern sheet, FIG. 3 is a sectional view showing a wedge- 6 is a diagram showing a printing apparatus according to another embodiment of the present invention, Fig. 7 is an enlarged view of an imprint unit area, Fig. 8 is a cross- Is an enlarged view of the substrate recovery unit area.

이하에서는 패턴롤(100)의 구성을 먼저 설명한 후에, 추후에 인쇄장치(1)를 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the pattern roll 100 will be described first, and the printing apparatus 1 will be described later.

도 1에 도시된 바와 같이, 패턴롤(100)은, 패턴시트(110)와, 패턴롤 본체(120)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the pattern roll 100 includes a pattern sheet 110 and a pattern roll body 120.

도 2에 상세히 도시된 바와 같이, 패턴시트(110)는, 외면에 인쇄하고자 하는 인쇄패턴이 형성된다.As shown in detail in Fig. 2, the pattern sheet 110 has a print pattern to be printed on the outer surface thereof.

여기서 패턴시트(110)는, 그 자체로 인쇄판으로 사용될 수 있으며, 본 실시예에서와 같이 패턴롤 본체(120)에 고정하여 사용할 수도 있다.The pattern sheet 110 may be used as a printing plate itself, or may be fixed to the pattern roll body 120 as in the present embodiment.

이를 상세하게 살펴보면, 패턴시트(110)는, 패턴시트 본체(111)와, 적어도 한층의 베이스 필름(113)을 포함한다.In detail, the pattern sheet 110 includes a pattern sheet main body 111 and at least one base film 113.

패턴시트 본체(111)는, 앞서 설명한 인쇄패턴이 형성되는 역할을 한다.The pattern sheet main body 111 serves to form the above-described print pattern.

도 3에 도시된 바와 같이, 패턴시트 본체(111)는, 도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매(111a)로 결합된다.As shown in Fig. 3, the pattern sheet main body 111 is joined at both ends with a wedge-shaped seam 111a so as to prevent damage to a blade that wipes the ink to be coated.

일반적으로 잉크가 도포된 후에는 나중에 표면을 긁어 내게 되는데, 이러한 동작을 수행하는 것이 블레이드이다.Generally, after the ink is applied, the surface is scratched at a later time. It is a blade to perform such an operation.

즉, 블레이드가 도포되는 잉크를 와이핑할 때에, 이음매의 형상이 단차지게 형성되어 있다면, 블레이드가 그 단차진 턱과 같은 곳에 걸리게 되어 손상이 발생할 수 있으므로 이를 방지하도록 쐐기형 이음매(111a)가 형성되는 것이다. That is, if the shape of the joint is formed in a stepped shape when wiping the ink to be coated with the blade, the blade may be caught in the same position as the stepped jaw, so that damage may occur. Therefore, a wedge- .

따라서 쐐기형 이음매(111a)는, 이음매 부분의 단차를 제거하기 위해 베이스 필름(113) 외부에 패턴시트 본체(111)를 권취한 후에, 쐐기형 이음매(111a) 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨다.The wedge-shaped joint 111a is formed by winding a pattern sheet main body 111 on the outside of the base film 113 to remove the stepped portion of the joint, ) And cured.

일반적으로 UV 레진이란, 수지 분자 구조내에 바이날(Vinyl)기 즉 C=C 와 같은 불포화기 성분을 가지고 있어, 광(자외선)을 받으면 광개시제가 활성화되어 자유 라디칼의 개시 반응을 통해 가교 결합과 고분자화(Gel)를 일으켜 경화가 이루어지는 수지를 의미한다. Generally, a UV resin is a resin having a vinyl group or an unsaturated group such as C = C in the molecular structure, and when a light (ultraviolet ray) is received, a photoinitiator is activated to initiate free radicals, Means a resin which causes curing by causing gelation.

특히, UV(자외선, Ultraviolet) 경화 방식이란, 자외선을 도료 성분 중의 광개시제가 흡수하여 반응성을 나타낸 후에, 모노머(monomer) 또는 올리고머(oligomer)와 반응하여 중합을 일으키는 것을 이용한 경화 방식으로, 종래의 열경화 방식에 비해 많은 장점을 갖고 있어서 다양한 분야에서 이용된다.Particularly, the UV (ultraviolet) curing system refers to a curing system that uses ultraviolet rays to react with a monomer or an oligomer to cause polymerization after the photoinitiator in the coating component absorbs and reactivity, It has many advantages over the curing system and is used in various fields.

즉, 쐐기형 이음매(111a)에 UV 레진으로 충진으로 경화시키게 되면 전술한 바와 같이 블레이드의 손상을 방지할 수 있다.That is, when the wedge joint 111a is cured by filling with UV resin, damage of the blade can be prevented as described above.

또한, 쐐기형 이음매(111a)는, 한쪽으로 갈수록 뾰족한 모양으로 된 두개의 면들을 치합시키므로, 적어도 한 층의 베이스 필름(113) 상에 패턴시트 본체(111)를 고정하거나 패턴롤 본체(120)에 패턴 시트(111)를 고정할 때, 패턴시트 본체(111)의 측방향 공차를 교정해주는 역할도 하게 된다.The wedge-shaped joint 111a is formed by joining the two surfaces of the wedge-shaped joint 111a to each other in a pointed manner. Therefore, the patterned sheet body 111 is fixed on at least one base film 113, And corrects the lateral tolerance of the pattern sheet main body 111 when the pattern sheet 111 is fixed to the main body 111. [

다음으로, 적어도 한 층의 베이스 필름(113)은, 패턴시트 본체(111)의 하면에 결합되어 패턴시트 본체(111)의 구겨짐을 방지하는 역할을 한다.Next, at least one base film 113 is bonded to the lower surface of the pattern sheet body 111 to prevent the pattern sheet body 111 from being wrinkled.

만약 패턴시트 본체(111) 하나로만 패턴롤 본체(120)에 감아서 사용하게 되면, 인쇄 공정 등에서 정해진 이송경로를 벗어나거나, 이송경로를 벗어나지 않더라도 비스듬히 경사지게 이송되는 사행피딩, 롤 등에서 발생하는 슬립(Slip) 현상, 힘이나 열의 불균형 등으로 패턴시트 본체(111)가 구겨질 수 있다.If the pattern sheet body 111 is wound around the pattern roll body 120 only, it is possible to prevent the slippage of the pattern sheet body 120 from occurring due to deviation from the conveyance path determined in the printing process or the like, The pattern sheet main body 111 may be warped due to a phenomenon such as slip phenomenon, force or heat imbalance.

따라서, 적어도 한 층의 베이스 필름(113)이 결합된다면, 복수층의 베이스 필름들이 구겨짐을 방지하게 되며, 패턴시트 본체(111)의 교체시에도 분리하여 제거할 수 있으므로 취급을 용이하게 하는 장점이 있다.Therefore, if at least one base film 113 is bonded, the base films of a plurality of layers can be prevented from wrinkling and can be separated and removed even when the pattern sheet body 111 is replaced. have.

본 실시예에서 적어도 한 층의 베이스 필름(113)은, 두 개의 층으로 마련되었으나 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않음은 당연하다 할 것이다.In this embodiment, at least one base film 113 is formed of two layers, but it is needless to say that the scope of the present invention is not limited thereto.

도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 패턴롤 본체(120)는, 패턴시트(110)가 권취되되 외주연에 복수의 흡착공(123a)이 형성되어 패턴시트(110)가 흡착된다.4 to 5, the pattern roll body 120 has a pattern sheet 110 wound thereon and a plurality of suction holes 123a formed on the outer periphery thereof to absorb the pattern sheet 110. [

일반적으로 외주연은, 원이나 호와 같은 곡면상의 외측을 말하는 것으로, 패턴롤 본체(120)의 곡면상의 외측에 복수의 흡착공(123a)이 형성된다.Generally, the outer periphery refers to the outer side on a curved surface such as a circle or arc. A plurality of suction holes 123a are formed on the outer side of the curved surface of the pattern roll body 120.

그리고, 패턴롤 본체(120)는, 패턴시트(110)에 의하여 기판 상의 레지스트에 요홈 형태의 패턴홈을 형성시키는 역할을 한다. The pattern roll body 120 serves to form a concave pattern groove in the resist on the substrate by the pattern sheet 110. [

이를 위해, 패턴롤 본체(120)는, 이너롤(121)과, 아우터롤(123)과, 흡입챔버(125)와, 격벽(127)을 포함한다.To this end, the pattern roll body 120 includes an inner roll 121, an outer roll 123, a suction chamber 125, and a partition 127.

이너롤(121)은, 패턴롤 본체(120)의 내부에 마련된다.The inner roll 121 is provided inside the pattern roll body 120.

아우터롤(123)은, 이너롤(121) 외부에 고정되되, 이너롤(121)과 함께 회전하며 패턴시트(110)가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공(123a)이 형성된다.The outer roll 123 is fixed to the outer surface of the inner roll 121 and has a plurality of suction holes 123a formed on the outer circumferential surface thereof so as to rotate together with the inner roll 121 and closely contact the pattern sheet 110.

이렇게 패턴시트(110)의 고정부가 되는 패턴롤 본체(120)는 표면에 다공성 가공을 하거나 다공성 재질을 사용하여 패턴시트(110)의 교체 작업시에 흡착이 가능 하도록 한다.The pattern roll body 120, which is a fixing part of the pattern sheet 110, can be made porous by performing a porous process or adsorbing the pattern sheet 110 during the replacement operation of the pattern sheet 110 by using a porous material.

한편, 흡입챔버(125)는, 이너롤(121)과 아우터롤(123) 사이에 마련되되 복수의 흡착공(123a)과 연통되어 패턴시트(110)를 아우터롤(123)의 외주연에 진공흡착시키는 역할을 한다. The suction chamber 125 is provided between the inner roll 121 and the outer roll 123 and communicates with the plurality of suction holes 123a so that the pattern sheet 110 is vacuum- Adsorption.

다음으로 복수의 격벽(127)은, 이너롤(121)과 아우터롤(123) 사이에 마련되어 흡입챔버(125)를 구획하는 역할을 한다.The plurality of partition walls 127 are provided between the inner roll 121 and the outer roll 123 to define the suction chamber 125.

흡입챔버(125)는, 외부의 진공펌프(미도시)에 연결되며, 흡입챔버(125) 내부의 공기를 흡입하게 되면 흡입챔버(125) 내부가 진공상태가 되고, 공기가 외부로 흡입됨에 의해 아우터롤(123)의 외주연에 형성된 복수의 흡착공(123a)을 통해서 흡입챔버(125)내로 공기가 유입된다.The suction chamber 125 is connected to an external vacuum pump (not shown). When the air in the suction chamber 125 is sucked in, the suction chamber 125 is evacuated and the air is sucked to the outside Air is introduced into the suction chamber 125 through a plurality of suction holes 123a formed on the outer periphery of the outer roll 123. [

따라서, 공기를 흡입하는 흡착공(123a)에 의해 아우터롤(123)의 외주연에 접촉되는 패턴시트(110)는, 아우터롤(123)의 외주연에 흡착되고 아우터롤(1234)의 회전에 의해 이송된다.The pattern sheet 110 which is brought into contact with the outer periphery of the outer roll 123 by the suction holes 123a for sucking the air is attracted to the outer periphery of the outer roll 123 and is pressed against the rotation of the outer roll 1234 Lt; / RTI >

이처럼, 진공으로 패턴시트(110)를 흡착하여 패턴홈을 형성시키는 패턴롤(100)을 이용하는 경우, 정해진 이송경로를 벗어나지 않더라도 비스듬히 경사지게 이송되는 사행피딩 현상, 이송되는 동안 복수의 롤부 등에서 발생하는 슬립(slip) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the case of using the pattern roll 100 which forms the pattern grooves by suctioning the pattern sheet 110 in vacuum, the following phenomenon can be caused: a sagging feeding phenomenon that is fed obliquely downward without departing from a predetermined feeding path, the slip phenomenon can be prevented.

이하에서는 인쇄장치(1)를 설명하도록 한다.Hereinafter, the printing apparatus 1 will be described.

도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 인쇄장치(1)는, 기판 공급유닛(20)과, 임프린트유닛(10)과, 기판 회수유닛(30)을 포함한다.6 to 7, the printing apparatus 1 includes a substrate supply unit 20, an imprint unit 10, and a substrate collection unit 30. [

먼저 기판 공급유닛(20)은, 임프린트유닛(10) 측으로 기판을 연속 공급하는 역할을 한다.First, the substrate supply unit 20 serves to continuously supply the substrate to the imprint unit 10 side.

본 실시예에서 기판은, 두께에 비하여 소재의 폭이 크고 길이방향으로 연속성을 가지는 기판으로서, PC(poly carbonate), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalene), PI(polyimde) 등의 고분자 필름, 얇은 유리(thin glass), 금속 등으로 적용될 수 있다.In this embodiment, the substrate is a substrate having a larger width of material and continuity in the longitudinal direction than a thickness of the substrate. The substrate may be a polymer film such as polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalene (PEN) , Thin glass, metal, and the like.

기판의 표면에는 SiOx, SiNx 등의 박막이 증착되거나 임프린트 공정 등에 필요한 표면 처리가 되어 있을 수 있으며, 보호필름이 배치될 수 있다.A thin film of SiOx, SiNx, or the like may be deposited on the surface of the substrate, or may be subjected to a surface treatment necessary for the imprint process or the like, and a protective film may be disposed.

이때의 기판은 앞서 기술한 것처럼 필름을 포함하는 연속 기판으로서 공급롤(700)에 권취되어 있을 수 있으며, 공급롤 구동기(710)가 공급롤(700)을 회전시킴으로써 공급롤(700) 상에서 기판이 풀려 공정라인의 임프린트유닛(10) 측으로 공급되도록 한다.The substrate at this time may be wound on a supply roll 700 as a continuous substrate including a film as described above and the supply roll driver 710 may rotate the supply roll 700 to rotate the substrate on the supply roll 700 And supplied to the imprint unit 10 side of the process line.

참고로, 임프린트유닛(10), 기판 공급유닛(20), 기판 회수유닛(30) 등에는 연속 기판의 처짐을 저지하는 한편 연속 기판에 일정한 텐션(Tension)을 부여하는 수단으로서, 곳곳에 텐션 롤러(R)들이 마련되는데, 이들 롤러에 대해서는 편의상 자세한 설명은 생략한다.For example, the imprint unit 10, the substrate supply unit 20, the substrate recovery unit 30, and the like are means for preventing the deflection of the continuous substrate and applying a constant tension to the continuous substrate, (R) are provided. The detailed description of these rollers is omitted for the sake of convenience.

다음으로 임프린트유닛(10)은, 기판이 공급되고 회수되는 공정라인 상에서 기판 상의 레지스트에 패턴홈을 형성시키는 패턴롤(100)을 구비한다.Next, the imprint unit 10 has a pattern roll 100 for forming a pattern groove in a resist on a substrate on a process line on which a substrate is supplied and recovered.

따라서, 임프린트유닛(10)은, 패턴롤(100)과, 적어도 하나의 가압롤(200)과, 패턴롤용 가경화부(300)와, 보호필름 제거부(400)와, 임프린트유닛용 가경화부(500)를 포함한다.Therefore, the imprint unit 10 includes the pattern roll 100, the at least one press roll 200, the pattern roll hardening and hardening unit 300, the protective film removing unit 400, the temporary hardening unit for the imprint unit 500).

먼저 패턴롤(100)은, 패턴시트(110)와, 패턴롤 본체(120)를 포함한다.First, the pattern roll 100 includes a pattern sheet 110 and a pattern roll body 120.

패턴롤(100)에 대하여는 앞서 설명한 바와 같이 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다.The pattern roll 100 will be described with reference to Figs. 1 to 5 as described above.

패턴시트(110)는, 외면에 인쇄하고자 하는 인쇄패턴이 형성된다.In the pattern sheet 110, a print pattern to be printed on the outer surface is formed.

여기서 패턴시트(110)는, 그 자체로 인쇄판으로 사용될 수 있으며, 본 실시예에서와 같이 패턴롤 본체(120)에 고정하여 사용할 수도 있다.The pattern sheet 110 may be used as a printing plate itself, or may be fixed to the pattern roll body 120 as in the present embodiment.

이를 상세하게 살펴보면, 패턴시트(110)는, 패턴시트 본체(111)와, 적어도 한층의 베이스 필름(113)을 포함한다.In detail, the pattern sheet 110 includes a pattern sheet main body 111 and at least one base film 113.

패턴시트 본체(111)는, 앞서 설명한 인쇄패턴이 형성되는 역할을 한다.The pattern sheet main body 111 serves to form the above-described print pattern.

그리고 패턴시트 본체(111)는, 도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매(111a)로 결합된다.The pattern sheet main body 111 is joined at both ends with a wedge-shaped seam 111a so as to prevent damage to a blade which wipes the ink to be coated.

일반적으로 잉크가 도포된 후에는 나중에 표면을 긁어 내게 되는데, 이러한 동작을 수행하는 것이 블레이드이다.Generally, after the ink is applied, the surface is scratched at a later time. It is a blade to perform such an operation.

즉, 블레이드가 도포되는 잉크를 와이핑할 때에, 이음매의 형상이 단차지게 형성되어 있다면, 블레이드가 그 단차진 턱과 같은 곳에 걸리게 되어 손상이 발생할 수 있으므로 이를 방지하도록 쐐기형 이음매(111a)가 형성되는 것이다. That is, if the shape of the joint is formed in a stepped shape when wiping the ink to be coated with the blade, the blade may be caught in the same position as the stepped jaw, so that damage may occur. Therefore, a wedge- .

따라서 쐐기형 이음매(111a)는, 이음매 부분의 단차를 제거하기 위해 베이스 필름(113) 외부에 패턴시트 본체(111)를 권취한 후에, 쐐기형 이음매(111a) 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨다.The wedge-shaped joint 111a is formed by winding a pattern sheet main body 111 on the outside of the base film 113 to remove the stepped portion of the joint, ) And cured.

일반적으로 UV 레진이란, 수지 분자 구조내에 바이날(Vinyl)기 즉 C=C 와 같은 불포화기 성분을 가지고 있어, 광(자외선)을 받으면 광개시제가 활성화되어 자유 라디칼의 개시 반응을 통해 가교 결합과 고분자화(Gel)를 일으켜 경화가 이루어지는 수지를 의미한다. Generally, a UV resin is a resin having a vinyl group or an unsaturated group such as C = C in the molecular structure, and when a light (ultraviolet ray) is received, a photoinitiator is activated to initiate free radicals, Means a resin which causes curing by causing gelation.

특히, UV(자외선, Ultraviolet) 경화 방식이란, 자외선을 도료 성분 중의 광개시제가 흡수하여 반응성을 나타낸 후에, 모노머(monomer) 또는 올리고머(oligomer)와 반응하여 중합을 일으키는 것을 이용한 경화 방식으로, 종래의 열경화 방식에 비해 많은 장점을 갖고 있어서 다양한 분야에서 이용된다.Particularly, the UV (ultraviolet) curing system refers to a curing system that uses ultraviolet rays to react with a monomer or an oligomer to cause polymerization after the photoinitiator in the coating component absorbs and reactivity, It has many advantages over the curing system and is used in various fields.

즉, 쐐기형 이음매(111a)에 UV 레진으로 충진으로 경화시키게 되면 전술한 바와 같이 블레이드의 손상을 방지할 수 있다.That is, when the wedge joint 111a is cured by filling with UV resin, damage of the blade can be prevented as described above.

또한, 쐐기형 이음매(111a)는, 한쪽으로 갈수록 뾰족한 모양으로 된 두개의 면들을 치합시키므로, 적어도 한 층의 베이스 필름(113) 상에 패턴시트 본체(111)를 고정하거나 패턴롤 본체(120)에 패턴 시트(111)를 고정할 때, 패턴시트 본체(111)의 측방향 공차를 교정해주는 역할도 하게 된다.The wedge-shaped joint 111a is formed by joining the two surfaces of the wedge-shaped joint 111a to each other in a pointed manner. Therefore, the patterned sheet body 111 is fixed on at least one base film 113, And corrects the lateral tolerance of the pattern sheet main body 111 when the pattern sheet 111 is fixed to the main body 111. [

다음으로, 적어도 한 층의 베이스 필름(113)은, 패턴시트 본체(111)의 하면에 결합되어 패턴시트 본체(111)의 구겨짐을 방지하는 역할을 한다.Next, at least one base film 113 is bonded to the lower surface of the pattern sheet body 111 to prevent the pattern sheet body 111 from being wrinkled.

본 실시예에서 적어도 한 층의 베이스 필름(113)은, 두 개의 층으로 마련되었으나 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않음은 당연하다 할 것이다.In this embodiment, at least one base film 113 is formed of two layers, but it is needless to say that the scope of the present invention is not limited thereto.

만약 패턴시트 본체(111) 하나로만 패턴롤 본체(120)에 감아서 사용하게 되면, 인쇄 공정 등에서 정해진 이송경로를 벗어나거나, 이송경로를 벗어나지 않더라도 비스듬히 경사지게 이송되는 사행피딩, 롤 등에서 발생하는 슬립(Slip) 현상, 힘이나 열의 불균형 등으로 패턴시트 본체(111)가 구겨질 수 있다.If the pattern sheet body 111 is wound around the pattern roll body 120 only, it is possible to prevent the slippage of the pattern sheet body 120 from occurring due to deviation from the conveyance path determined in the printing process or the like, The pattern sheet main body 111 may be warped due to a phenomenon such as slip phenomenon, force or heat imbalance.

따라서, 적어도 한 층의 베이스 필름(113)이 결합된다면, 복수층의 베이스 필름들이 구겨짐을 방지하게 되며, 패턴시트 본체(111)의 교체시에도 분리하여 제거할 수 있으므로 취급을 용이하게 하는 장점이 있다.Therefore, if at least one base film 113 is bonded, the base films of a plurality of layers can be prevented from wrinkling and can be separated and removed even when the pattern sheet body 111 is replaced. have.

다음으로 패턴롤 본체(120)는, 패턴시트(110)가 권취되되 외주연에 복수의 흡착공(123a)이 형성되어 패턴시트(110)가 흡착된다.Next, in the pattern roll body 120, the pattern sheet 110 is wound, and a plurality of suction holes 123a are formed on the outer periphery, so that the pattern sheet 110 is sucked.

일반적으로 외주연은, 원이나 호와 같은 곡면상의 외측을 말하는 것으로, 패턴롤 본체(120)의 곡면상의 외측에 복수의 흡착공(123a)이 형성된다.Generally, the outer periphery refers to the outer side on a curved surface such as a circle or arc. A plurality of suction holes 123a are formed on the outer side of the curved surface of the pattern roll body 120.

그리고, 패턴롤 본체(120)는, 패턴시트(110)에 의하여 기판 상의 레지스트에 요홈 형태의 패턴홈을 형성시키는 역할을 한다. The pattern roll body 120 serves to form a concave pattern groove in the resist on the substrate by the pattern sheet 110. [

이를 위해, 패턴롤 본체(120)는, 이너롤(121)과, 아우터롤(123)과, 흡입챔버(125)와, 격벽(127)을 포함한다.To this end, the pattern roll body 120 includes an inner roll 121, an outer roll 123, a suction chamber 125, and a partition 127.

이너롤(121)은, 패턴롤 본체(120)의 내부에 마련된다.The inner roll 121 is provided inside the pattern roll body 120.

아우터롤(123)은, 이너롤(121) 외부에 고정되되, 이너롤(121)과 함께 회전하며 패턴시트(110)가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공(123a)이 형성된다.The outer roll 123 is fixed to the outer surface of the inner roll 121 and has a plurality of suction holes 123a formed on the outer circumferential surface thereof so as to rotate together with the inner roll 121 and closely contact the pattern sheet 110.

이렇게 패턴시트(110)의 고정부가 되는 패턴롤 본체(120)는 표면에 다공성 가공을 하거나 다공성 재질을 사용하여 패턴시트(110)의 교체 작업시에 흡착이 가능 하도록 한다.The pattern roll body 120, which is a fixing part of the pattern sheet 110, can be made porous by performing a porous process or adsorbing the pattern sheet 110 during the replacement operation of the pattern sheet 110 by using a porous material.

한편, 흡입챔버(125)는, 이너롤(121)과 아우터롤(123) 사이에 마련되되 복수의 흡착공(123a)과 연통되어 패턴시트(110)를 아우터롤(123)의 외주연에 진공흡착시키는 역할을 한다. The suction chamber 125 is provided between the inner roll 121 and the outer roll 123 and communicates with the plurality of suction holes 123a so that the pattern sheet 110 is vacuum- Adsorption.

다음으로 복수의 격벽(127)은, 이너롤(121)과 아우터롤(123) 사이에 마련되어 흡입챔버(125)를 구획하는 역할을 한다.The plurality of partition walls 127 are provided between the inner roll 121 and the outer roll 123 to define the suction chamber 125.

흡입챔버(125)는, 외부의 진공펌프(미도시)에 연결되며, 흡입챔버(125) 내부의 공기를 흡입하게 되면 흡입챔버(125) 내부가 진공상태가 되고, 공기가 외부로 흡입됨에 의해 아우터롤(123)의 외주연에 형성된 복수의 흡착공(123a)을 통해서 흡입챔버(125)내로 공기가 유입된다.The suction chamber 125 is connected to an external vacuum pump (not shown). When the air in the suction chamber 125 is sucked in, the suction chamber 125 is evacuated and the air is sucked to the outside Air is introduced into the suction chamber 125 through a plurality of suction holes 123a formed on the outer periphery of the outer roll 123. [

따라서, 공기를 흡입하는 흡착공(123a)에 의해 아우터롤(123)의 외주연에 접촉되는 패턴시트(110)는, 아우터롤(123)의 외주연에 흡착되고 아우터롤(1234)의 회전에 의해 이송된다.The pattern sheet 110 which is brought into contact with the outer periphery of the outer roll 123 by the suction holes 123a for sucking the air is attracted to the outer periphery of the outer roll 123 and is pressed against the rotation of the outer roll 1234 Lt; / RTI >

이처럼, 진공으로 패턴시트(110)를 흡착하여 패턴홈을 형성시키는 패턴롤(100)을 이용하는 경우, 정해진 이송경로를 벗어나지 않더라도 비스듬히 경사지게 이송되는 사행피딩 현상, 이송되는 동안 복수의 롤부 등에서 발생하는 슬립(slip) 현상을 방지할 수 있다.As described above, in the case of using the pattern roll 100 which forms the pattern grooves by suctioning the pattern sheet 110 in vacuum, the following phenomenon can be caused: a sagging feeding phenomenon that is fed obliquely downward without departing from a predetermined feeding path, the slip phenomenon can be prevented.

다음으로, 적어도 하나의 가압롤(200)은, 패턴롤(100)에 이웃하게 배치되어 패턴롤(100) 쪽으로 가압되는 역할을 한다.Next, at least one pressure roll 200 is disposed adjacent to the pattern roll 100 and pressed toward the pattern roll 100.

적어도 하나의 가압롤(200)은, 패턴롤(100)을 사이에 두고 패턴롤(100)의 양측에 마련되어 그 사이를 지나는 기판 상의 레지스트에 패턴홈이 잘 형성될 수 있도록 한다.At least one pressing roll 200 is provided on both sides of the pattern roll 100 with the pattern roll 100 interposed therebetween so that the pattern grooves can be well formed in the resist on the substrate passing therebetween.

일측의 가압롤(200)과 패턴롤(100) 사이에는, 디스펜서(210)가 마련되어 레지스트를 기판으로 공급하며, 레지스트가 공급 완료되면 타측의 가압롤(100)과 패턴롤(100) 사이를 지나는 기판 상의 레지스트에 패턴홈이 형성되도록 임프린트 가공된다.A dispenser 210 is provided between the pressure roll 200 and the pattern roll 100 on one side to supply the resist to the substrate. When the resist is supplied, the pattern roll 100 passes between the pressure roll 100 on the other side and the pattern roll 100 And imprinted so as to form pattern grooves in the resist on the substrate.

한편, 패턴롤용 가경화부(300)는, 패턴롤(100)의 인접 배치되며, 패턴롤(100)을 지난 기판을 가경화 시키는 역할을 한다.On the other hand, the patterning rollers 300 for pattern rolls are disposed adjacent to the pattern rolls 100 and serve to harden the substrates past the pattern rolls 100.

패턴롤용 가경화부(300)는, 용어 그대로 가경화시키는 단계이기 때문에 패턴 롤(100)에 의해 형성된 패턴홈이 뭉개지는 현상 등을 저지할 수 있다.The provisional hardening section 300 for the pattern roll is capable of preventing the pattern groove formed by the pattern roll 100 from becoming clogged because it is a step of hardening the term in a word.

다음으로, 보호필름 제거부(400)는, 기판이 패턴롤(100)로 공급되기 전에 기판 상의 보호필름을 제거하는 역할을 한다.Next, the protective film removing unit 400 serves to remove the protective film on the substrate before the substrate is supplied to the pattern roll 100.

일반적으로 기판은 보호필름이 부착된 상태로 공정으로 공급되기 때문에, 패턴 롤(100)을 이용한 임프린트 공정이 진행되기 전에 보호필름을 제거해야 한다. In general, since the substrate is supplied to the process with the protective film attached, the protective film must be removed before the imprint process using the pattern roll 100 proceeds.

따라서, 임프린트유닛(10)에는, 기판이 패턴롤(100)로 공급되기 전에 기판 상의 보호필름을 제거하는 보호필름 제거부(400)가 마련되는 것이다. Accordingly, the imprint unit 10 is provided with the protective film removing unit 400 for removing the protective film on the substrate before the substrate is supplied to the pattern roll 100. [

제거되는 보호필름 역시 롤 형상의 필름수거대(410)에 의해 수거될 수 있다.The protective film to be removed can also be collected by the roll-shaped film holder 410.

다음으로, 임프린트용 가경화부(500)는, 패턴롤(100)의 공정 후방에 배치되며, 패턴롤(100)을 지난 기판을 가경화 시키는 역할을 한다.Next, the imprint hardening unit 500 is disposed behind the pattern roll 100 and serves to harden the substrate past the pattern roll 100. [

임프린트유닛용 가경화부(500)는, 앞서 기술한 패턴롤용 가경화부(300)와 마찬가지로 패턴롤(100)에 의해 형성된 패턴홈이 뭉개지는 현상 등을 저지시키는 역할을 한다.The provisional hardening section 500 for the imprint unit serves to prevent the pattern groove formed by the pattern roll 100 from being scattered, as in the case of the above-described hardened section for pattern roll 300 described above.

도 8에 도시된 바와 같이, 기판 회수유닛(30)은 패턴홈이 형성된 기판을 회수하는 역할을 한다.As shown in FIG. 8, the substrate recovery unit 30 serves to recover the substrate on which the pattern grooves are formed.

완전 경화까지 완료된 기판은, 연속 기판이기 때문에 이 역시 회수롤(600)에 권취되면서 회수될 수 있다.Since the substrate that has been completely cured is a continuous substrate, it can also be recovered while being wound on the recovery roll 600.

그리고 완전 경화까지 완료된 기판이 회수롤(600)에 잘 감기면서 회수될 수 있도록 회수롤 구동기(610)가 회수롤(600)을 회전시킨다.The recovery roll driver 610 rotates the recovery roll 600 so that the substrate that has been completely cured can be recovered while being wound on the recovery roll 600.

이때, 완전 경화까지 완료된 기판이 회수롤(600)에 감겨 회전되기 전에 기판면을 보호해야 하기 때문에 깨끗한 보호필름을 부착시키는 과정이 선행되는데, 이를 위해 기판 회수유닛(30)에는 보호필름 부착기(620)가 더 구비될 수 있다.In this case, a process of attaching a clean protective film is performed in order to protect the substrate surface before the completely completed substrate is wound around the recovery roll 600 and rotated. To this end, the substrate recovery unit 30 is provided with a protective film attacher 620 ) May be further provided.

이하에서, 도 6 내지 도 8을 참조하여 인쇄장치(1)의 공정을 간략하게 알아본다.Hereinafter, the process of the printing apparatus 1 will be briefly described with reference to Figs. 6 to 8. Fig.

우선, 기판 공급유닛(20)이 공정라인으로 기판을 공급한다. First, the substrate supply unit 20 supplies the substrate to the process line.

공급된 기판이 임프린트유닛(10)에 도달되면, 임프린트유닛(10) 상의 디스펜서(210)가 기판 상에 레지스트를 도포한다. When the supplied substrate reaches the imprint unit 10, the dispenser 210 on the imprint unit 10 applies the resist on the substrate.

이때는 기판의 일면에만 레지스트를 도포한다.At this time, the resist is applied only to one side of the substrate.

다음, 임프린트유닛(10)에 마련되는 패턴롤(100)을 이용하여 임프린트 인쇄법을 진행한다. Next, the imprint printing method is carried out by using the pattern roll 100 provided in the imprint unit 10.

즉 구현하고자 하는 기판의 레지스트 상에 형성되는 패턴홈에 역상의 패턴, 즉 요철 패턴이 표면에 마련되는 패턴롤(100)이, 기판 상의 레지스트에 회전되면서 가압되도록 함으로써 기판 상의 레지스트에 원하는 패턴홈이 형성도록 한다. That is, the pattern roll 100 in which a reverse-phase pattern, that is, a concavo-convex pattern is provided on the surface of the pattern groove formed on the resist of the substrate to be implemented, is pressed while being rotated on the resist on the substrate, .

패턴홈이 형성된 후에는 가경화가 진행된다.After the pattern groove is formed, the hardening progresses.

기판은 기판 회수 유닛(102)에 의해 롤 형태로 회수된 후에 후공정으로 투입될 수 있다.The substrate can be recovered in the form of a roll by the substrate recovery unit 102 and then introduced into a post-process.

이와 같은 구조와 공정을 갖는 본 실시예에 따르면, 외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트를 흡착시켜 해상도가 우수한 패턴롤 및 그를 구비하는 인쇄장치가 제공될 수 있다.According to this embodiment having such a structure and a process, a pattern roll having an excellent resolution can be provided by adsorbing a pattern sheet having a print pattern formed on its outer surface, and a printing apparatus having the pattern roll.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100 : 패턴롤 110 : 패턴시트
120 : 패턴롤 본체 200 : 가압롤
210 : 디스펜서 300 : 패턴롤용 가경화부
400 : 보호필름 제거부 410 : 필름수거대
500 : 임프린트유닛용 가경화부 600 : 회수롤
610 : 회수롤 구동기 620 : 보호필름 부착기
630 : 기판 펼침모듈 700 : 공급롤
710 : 공급롤 구동기 10 : 임프린트유닛
20 : 기판 공급유닛 30 : 기판 회수유
1 : 인쇄장치100: pattern roll 110: pattern sheet
120: pattern roll body 200: pressure roll
210: dispenser 300: provisional hardening section for pattern roll
400: Protective film removing unit 410: Film film giant
500: Appropriate hardening unit for imprint unit 600:
610: Recovery roll actuator 620: Protective film attacher
630: substrate spreading module 700: feed roll
710: Feed roll actuator 10: Imprint unit
20: substrate feed unit 30: substrate feed oil
1: Printing device

Claims (14)

외면에 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트; 및
상기 패턴시트가 권취되되, 외주연에 복수의 흡착공이 형성되어 상기 패턴시트가 흡착되며, 상기 패턴시트에 의하여 기판 상의 레지스트에 요홈 형태의 패턴홈을 형성시키는 패턴롤 본체를 포함하고,
상기 패턴시트는,
상기 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트 본체; 및
상기 패턴시트 본체의 하면에 결합되어 상기 패턴시트 본체의 구겨짐을 방지하기 위한 적어도 한 층의 베이스 필름을 포함하며,
상기 패턴시트 본체는,
도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매로 결합되는 패턴롤.A pattern sheet on which a printed pattern is formed on an outer surface; And
And a pattern roll body on which the pattern sheet is wound and on which a plurality of suction holes are formed to attract the pattern sheet and form pattern grooves in the form of concave grooves in the resist on the substrate by the pattern sheet,
In the pattern sheet,
A pattern sheet body on which the print pattern is formed; And
And at least one base film, which is bonded to a lower surface of the pattern sheet main body to prevent wrinkling of the pattern sheet main body,
The pattern sheet main body includes:
A pattern roll in which both ends are joined together in a wedge-shaped seam to prevent damage to the blade that wipes the ink to be applied. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 쐐기형 이음매는,
상기 쐐기형 이음매의 단차를 제거하기 위해 상기 베이스 필름 외부에 상기 패턴시트 본체를 권취한 후에 상기 쐐기형 이음매 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨 것을 특징으로 하는 패턴롤. The method according to claim 1,
The wedge-
Wherein the pattern sheet body is wound on the outside of the base film to remove the step of the wedge-shaped joint, and then the wedge-shaped joint region is filled with UV resin (Ultra violet ray resin) and cured. 제1항에 있어서,
상기 패턴롤 본체는,
이너롤(Inner roll);
상기 이너롤 외부에 고정되되, 이너롤과 함께 회전하며 상기 패턴시트가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공이 형성된 아우터롤(Outer roll); 및
상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되되 상기 복수의 흡착공과 연통되어 상기 패턴시트를 상기 아우터롤의 외주연에 진공흡착시키는 흡입챔버를 포함하는 패턴롤.The method according to claim 1,
Wherein the pattern roll body comprises:
Inner roll;
An outer roll fixed to the outside of the inner roll, the outer roll being rotated together with the inner roll and having a plurality of suction holes formed on the outer circumference to closely contact the pattern sheet; And
And a suction chamber which is provided between the inner roll and the outer roll and communicates with the plurality of suction holes to vacuum adsorb the pattern sheet to the outer periphery of the outer roll. 제5항에 있어서,
상기 패턴롤 본체는,
상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되어 상기 흡입챔버를 구획하는 복수의 격벽을 더 포함하는 패턴롤.6. The method of claim 5,
Wherein the pattern roll body comprises:
And a plurality of partition walls provided between the inner roll and the outer roll to partition the suction chamber. 기판을 연속 공급하는 기판 공급유닛;
상기 기판이 공급되고 회수되는 공정라인 상에서 상기 기판 상의 레지스트에 패턴홈을 형성시키는 패턴롤을 구비하는 임프린트유닛; 및
상기 패턴홈이 형성된 상기 기판을 회수하는 기판회수유닛 포함하며,
상기 패턴롤은,
외면에 상기 패턴홈을 형성시키기 위한 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트; 및
상기 패턴시트가 권취되되, 외주연에 복수의 흡착공이 형성되어 상기 패턴시트가 흡착되는 패턴롤 본체를 포함하고,
상기 패턴시트는,
상기 인쇄패턴이 형성되는 패턴시트 본체; 및
상기 패턴시트 본체의 하면에 결합되어 상기 패턴시트 본체의 구겨짐을 방지하기 위한 적어도 한 층의 베이스 필름을 포함하며,
상기 패턴시트 본체는,
도포되는 잉크를 와이핑(Wiping)하는 블레이드(Blade)의 손상을 방지하도록 양단이 쐐기형 이음매로 결합되는 인쇄장치. A substrate supply unit for continuously supplying a substrate;
An imprint unit having a pattern roll for forming a pattern groove in a resist on the substrate on a process line through which the substrate is supplied and recovered; And
And a substrate recovery unit for recovering the substrate on which the pattern groove is formed,
In the pattern roll,
A pattern sheet on which a print pattern for forming the pattern grooves is formed on an outer surface; And
And a pattern roll body on which the pattern sheet is wound and on which a plurality of suction holes are formed on the outer periphery to absorb the pattern sheet,
In the pattern sheet,
A pattern sheet body on which the print pattern is formed; And
And at least one base film, which is bonded to a lower surface of the pattern sheet main body to prevent wrinkling of the pattern sheet main body,
The pattern sheet main body includes:
Wherein both ends are joined in a wedge-shaped seam so as to prevent damage to a blade that wipes the ink to be applied. 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 쐐기형 이음매는,
상기 쐐기형 이음매의 단차를 제거하기 위해 상기 베이스 필름 외부에 상기 패턴시트 본체를 권취한 후에 상기 쐐기형 이음매 영역에 UV 레진(Ultra violet ray resin)으로 충진하여 경화시킨 것을 특징으로 하는 인쇄장치. 8. The method of claim 7,
The wedge-
Wherein the pattern sheet body is wound on the outside of the base film to remove the step of the wedge-shaped joint, and then the wedge-shaped joint region is filled with UV violet ray resin to cure. 제7항에 있어서,
상기 패턴롤 본체는,
이너롤(Inner roll);
상기 이너롤 외부에 고정되되, 이너롤과 함께 회전하며 상기 패턴시트가 밀착되도록 외주연에 복수의 흡착공이 형성된 아우터롤(Outer roll); 및
상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되되 상기 복수의 흡착공과 연통되어 상기 패턴시트를 상기 아우터롤의 외주연에 진공흡착시키는 흡입챔버를 포함하며,
상기 패턴롤 본체는,
상기 이너롤과 상기 아우터롤 사이에 마련되어 상기 흡입챔버를 구획하는 복수의 격벽을 더 포함하는 인쇄장치.8. The method of claim 7,
Wherein the pattern roll body comprises:
Inner roll;
An outer roll fixed to the outside of the inner roll, the outer roll being rotated together with the inner roll and having a plurality of suction holes formed on the outer circumference to closely contact the pattern sheet; And
And a suction chamber provided between the inner roll and the outer roll, the suction chamber being in communication with the plurality of suction holes to vacuum adsorb the pattern sheet to the outer periphery of the outer roll,
Wherein the pattern roll body comprises:
And a plurality of partition walls provided between the inner roll and the outer roll to partition the suction chamber. 제7항에 있어서,
상기 임프린트유닛은,
상기 패턴롤에 이웃하게 배치되어 상기 패턴롤 쪽으로 가압되는 적어도 하나의 가압롤을 더 포함하는 인쇄장치.8. The method of claim 7,
The imprint unit includes:
And at least one pressure roll disposed adjacent to the pattern roll and pressed toward the pattern roll. 제7항에 있어서,
상기 패턴롤에 인접 배치되며, 상기 패턴롤을 지난 상기 기판을 가경화시키는 패턴롤용 가경화부 더 포함하는 인쇄장치.8. The method of claim 7,
And a patterning roll adjacent to the pattern roll for patterning the substrate past the pattern roll. 제7항에 있어서,
상기 기판이 상기 패턴롤로 공급되기 전에 상기 기판 상의 보호필름을 제거하는 보호필름 제거부를 더 포함하는 인쇄장치.8. The method of claim 7,
Further comprising a protective film removing unit for removing the protective film on the substrate before the substrate is supplied to the pattern roll. 제7항에 있어서,
상기 패턴롤의 공정 후방에 배치되며, 상기 패턴롤을 지난 상기 기판을 가경화시키는 임프린트유닛용 가경화부를 더 포함하는 인쇄장치.8. The method of claim 7,
Further comprising a provisional hardening portion for an imprinting unit disposed behind the pattern roll and curing the substrate past the pattern roll.
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